KR20080047976A - 전자 부품의 제조 장치 및 제조 방법 - Google Patents

전자 부품의 제조 장치 및 제조 방법 Download PDF

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Abstract

전자 부품의 제조 장치는, 절단된 패키지의 집합체(15)의 밀봉 수지(24)에 접촉하는 세정 롤러(14)와, 세정 롤러(14)의 하방에 마련된 수조(26)와, 수조(26)에 저장된 저장수(27)와, 수조(26)를 향하여 물(29)을 분사하는 물공급관(28)과, 저장수(27)를 함침한 세정 롤러(14)에 눌러대지는 수절 롤러(31)와, 수절 롤러(31)를 진퇴시키는 진퇴 기구(32)를 구비한다, 집합체(15)에 부착한 이물은, 세정 롤러(14)에 부착함에 의해 제거된다. 또한, 세정 롤러(14)에 부착한 이물은, 세정 롤러(14)가 저장수(27)에 함침됨에 의해 제거되고, 세정 롤러(14)로부터 이물이 제거되는 효과는 저장수(27)의 파(W)와 저장수(27)의 수면에 반사한 물(R)에 의해 증대한다.
전자 부품

Description

전자 부품의 제조 장치 및 제조 방법{MANUFACTURING DEVICE AND METHOD OF ELECTRONIC COMPONENT}
본 발명은, 기판에 마련된 복수의 영역에 각각 장착된 반도체 칩 등을 수지 밀봉함에 의해 밀봉완료 기판을 형성하고, 그 밀봉완료 기판을 영역마다 개편화(個片化)함에 의해 복수의 전자 부품을 제조할 때에 사용되는 전자 부품의 제조 장치 및 제조 방법에 관한 것이다.
복수의 전자 부품을 효율적으로 제조할 목적으로 종래로부터 실시되고 있는 방식의 하나로, 밀봉완료 기판을 개편화(個片化)하는 방식이 있다. 전자 부품을 제조할 때의 개편화의 대상물인 밀봉완료 기판에 관해, 도 4A 내지 C를 참조하여 설명한다. 도 4A는 개편화의 대상물인 밀봉완료 기판을 기판측에서 보고 개략적으로 도시하는 사시도이고, 도 4B는 밀봉완료 기판의 하나의 예를, 도 4C는 밀봉완료 기판의 다른 예를 각각 밀봉 수지측에서 보고 도시하는 평면도이다. 또한, 본 출원 서류에 포함되는 어느 도면에 관해서도, 알기 쉽게 하기 위해, 적절히 생략 또는 과장하여 모식적으로 그려져 있다.
도 4A 내지 C에 도시되어 있는 바와 같이, 밀봉완료 기판(91)은, 프린트 기 판 등으로 이루어지는 기판(92)과, 기판(92)의 편방(片方)의 면에 형성된 밀봉 수지(93)를 갖는다. 기판(92)은, 각각 가상적으로 마련된 X방향에서의 경계선(94)과 Y방향에서의 경계선(95)에 의해, 격자형상의 복수의 영역(96)으로 구획되어 있다. 각 영역(96)에는, 각각 반도체 칩 등의 칩형상 부품(도시 생략)이 장착되어 있다.
그런데, 근래, 전자 부품에 대한 저가격화나 소형화 등의 요청 때문에, 기판(92)이 대형화하는 경향에 있다. 또한, 1장의 기판(92)에서의 전자 부품이 취하는 수, 즉 영역(96)의 수가 증가하는 경향에 있다(도 4B 참조), 또한, 밀봉완료 기판(91)에서의 휘어짐 방지 등의 요청 때문에, 복수의 영역(96)과 밀봉 수지(93)로 이루어지는 독립한 부분을 포함하는 섬형상부(島狀部)(97)가 밀봉완료 기판(91)에 복수개 형성되는 경우도 있다(도 4C 참조).
밀봉완료 기판(91)을 사용하여 복수의 전자 부품을 제조하는 방식을 설명한다, 우선, 기판(92)에 마련된 복수의 영역(96)에, 칩형상 부품(이하 「칩」이라고 한다)을 각각 장착한다. 다음에, 기판(92)에 장착된 복수의 칩을, 밀봉 수지(93)에 의해 일괄하여 수지 밀봉한다. 이로써, 밀봉완료 기판(91)이 완성된다. 다음에, 그 밀봉완료 기판(91)을, 경계선(94, 95)에 따라 절단(개편화)한다. 이로써, 밀봉완료 기판(91)이, 영역(96)에 각각 대응하는 복수의 전자 부품으로 개편화된다. 또한, 밀봉 수지(93)를 갖는 개편화된 전자 부품은, 가끔 패키지라고 불린다.
밀봉완료 기판(91)을 절단(개편화)하는 공정에서는, 회전날을 사용하는 절단 장치(다이서)나, 레이저광 등을 사용하는 절단 장치 등이 사용되고 있다. 이들의 장치를 사용하여 개편화한 경우에는, 기판(92)이나 밀봉 수지(93) 등의 일부로 이 루어지는 미소한 이물(異物)이 발생한다. 이 이물은, 외관상의 문제를 야기함과 함께, 완성한 전자 부품을 전자 기기 등에 실장하는 경우에 접촉 불량을 야기할 우려가 있다. 따라서, 밀봉완료 기판(91)을 절단(개편화)한 후에, 개편화된 전자 부품을 충분히 세정할 필요가 있다. 그리고, 종래의 세정은, 전자 부품에 세정수 또는 스팀을 분사함에 의해 행하여지고 있다(예를 들면, 특허 문헌 1 : 특개2004-207424호 공보(제 2페이지, 제 9페이지, 도 7) 참조).
그러나, 상술한 종래의 기술에 의하면, 다음과 같은 문제가 있다. 우선, 전자 부품에 세정수를 분사하는 기술에 의하면, 전자 부품에 대해 세정수가 구석구석까지 분사되기 어렵다. 또한, 전자 부품에 세정수를 분사하는 것만으로는, 밀봉 수지에 강하게 부착한 이물을 제거하는 효과에는 한계가 있다. 이로 인해, 미소한 이물을 완전히 제거되지 않을 우려가 있다. 또한, 전자 부품에 스팀을 분사하는 기술에 의하면, 스팀을 생성하는 기구가 필요하게 되기 때문에, 전자 부품의 제조 장치가 대형화한다, 또한, 스팀을 생성하는 기구가 필요하게 되는 것에 더하여, 고온의 스팀을 사용하기 때문에, 메인티넌스를 행하는 경우에 번거로움이 증대한다. 또한, 고온의 스팀을 사용하기 때문에, 안전상의 문제가 생길 우려가 있다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는, 밀봉완료 기판을 개편화함에 의해 복수의 전자 부품을 제조하는 전자 부품의 제조 장치 및 제조 방법에 관하는, 다음의 점이다. 우선, 하나의 과제는, 미소한 이물을 완전히 제거하지 못할 우려가 있는 점이다. 또한, 다른 과제는, 전자 부품의 제조 장치가 대형화하는 점이다, 또다른 과제는, 메인티넌스를 행하는 경우에 있어서, 번거로움이 증대하는 점과, 안전상의 문제가 생길 우려가 있는 점이다.
이하의 설명에서 () 내의 숫자는, 도면에서의 부호를 나타내고 있고, 설명에서의 용어와 도면에 도시된 구성 요소를 대비하기 쉽게 할 목적으로 기재된 것이다. 또한, 이들의 숫자는, 「설명에서의 용어를, 도면에 도시된 구성 요소로 한정 하여 해석하는 것」을 의미하는 것이 아니다.
상술한 과제를 해결하기 위해, 본 발명에 관한 전자 부품의 제조 장치(1)는, 기판((23)에 마련된 복수의 영역에 각각 장착된 칩을 수지 밀봉함에 의해 밀봉완료 기판(8)을 형성한 후에, 밀봉완료 기판(8)을 영역마다 개편화함에 의해 복수의 전자 부품을 제조할 때에 사용되는 전자 부품의 제조 장치(1)로서, 밀봉완료 기판(8)을 받아들이는 수납부(2)와, 밀봉완료 기판(8)을 복수의 전자 부품으로 개편화하는 개편화부(3)와, 복수의 전자 부품(15)을 세정하는 세정 기구(13)를 갖는 세정부(4)를 구비한다. 세정 기구(13)는, 수조(26)와, 그 수조(26)에 물(29)을 공급하는 물공급 기구(28)와, 수조(26)의 상방에 마련된 세정 롤러(14)를 구비하고, 세정 롤러(14)는 수조(26)에서의 저장수(27)를 포함한 상태로 회전함에 의해 복수의 전자 부품(15)에 접촉한다.
또한, 상술한 제조 장치(1)는, 세정 롤러(14)의 회전축(36)과, 회전축(36)을 회전 구동하는 에어 모터(45)를 구비하는 것이라도 좋다.
또한, 상술한 제조 장치(1)는, 세정 롤러(14)에 대해 접리 가능하게 마련된 수절(水切) 롤러(31)와, 세정 롤러(14)에 대해 수절 롤러(31)를 진퇴시키는 진퇴 기구(32)를 구비함과 함께, 진퇴 기구(32)는 세정 롤러(14)에 수절 롤러(31)를 눌러댐에 의해 세정 롤러(14)로부터 물을 짜내는 것이라도 좋다.
또한, 상술한 제조 장치(1)는, 한 쌍의 측판(35)과, 회전축(36)의 양단의측에서 각각 마련된 축받이(42)와, 한 쌍의 측판(35)에 각각 마련되고 축받이(42)가 감장(嵌裝)되는 노치(도시 생략)와, 한 쌍의 측판(35)에 각각 부착되고 노치에서 축받이(42)를 누르는 누름부재(43)를 구비함과 함께, 노치의 단부측이 개방된 상태에서 축받이(42)가 각각 한 쌍의 측판(35)으로부터 착탈 자유로워도 좋다.
또한, 상술한 제조 장치(1)에 있어서, 바람직하게는, 회전축(36)은 제 1의 회전축(37)과 해당 제 1의 회전축(37)에 부착된 제 2의 회전축(38)을 갖고 있고, 제 1의 회전축(37)과 제 2의 회전축(38)은 착탈 자유롭다.
또한, 본 발명에 관한 전자 부품의 제조 방법은, 기판(23)에 마련된 복수의 영역에 각각 장착된 칩을 수지 밀봉함에 의해 밀봉완료 기판(8)을 형성한 후에, 밀봉완료 기판(8)을 영역마다 개편화함에 의해 복수의 전자 부품을 제조한 전자 부품의 제조 방법으로서, 밀봉완료 기판(8)을 받아들이는 공정과, 밀봉완료 기판(8)을 복수의 전자 부품으로 개편화하는 공정과, 복수의 전자 부품(15)을 세정하는 공정을 구비한다. 세정하는 공정은, 수조(26)에 물(29)을 공급하는 공정과, 수조(26)의 상방에 마련된 세정 롤러(14)의 일부를 수조(26)에서의 저장수(27)에 침지하는 공정과, 세정 롤러(14)를 회전시키는 공정과, 세정 롤러(14)의 일부를 저장수(27)에 침지한 후에 세정 롤러(14)를 복수의 전자 부품(15)에 접촉시키는 공정을 구비하는 것을 특징으로 한다..
또한, 상술한 제조 방법에서의 세정하는 공정에서는, 세정 롤러(14)를 저장수(27)에 침지한 후에 복수의 전자 부품(15)에 접촉시키기까지의 사이에서 세정 롤러(14)에 수절 롤러(31)를 눌러대어도 좋다.
또한, 상술한 제조 방법은, 세정하는 공정의 후에 복수의 전자 부품(49)을 2 개의 스테이지(17)에 배분하여 배치하는 공정과, 2개의 스테이지(17)에 각각 배치된 전자 부품(49)을 스테이지(17)마다 검사하는 공정과, 검사하는 공정에서 불량품이라고 판정된 전자 부품(49)을 스테이지(17)로부터 불량품 트레이(20)에 이재(移載)하는 공정과, 검사하는 공정에서 양품이라고 판정된 전자 부품(49)을 스테이지(17)로부터 양품 트레이(21)에 이재하는 공정을 구비하는 것이라도 좋다. 불량품 트레이(20)에 이재하는 공정 및 양품 트레이(21)에 이재하는 공정중 적어도 어느 하나가 이재하는 공정과 검사하는 공정을 병행하여 행하고, 배치하는 공정에서는, 복수의 전자 부품(49)을 체크무늬에서의 하나의 색과 다른 색과의 위치 관계가 되도록 2개의 군으로 배분하고, 2개의 군의 각각을 2개의 스테이지(17)에 배치하여도 좋다.
본 발명에 관한 전자 부품의 제조 장치(1) 및 제조 방법에 의하면, 세정 롤러(14)는 수조(26)에서의 저장수(27)를 포함한 상태로 회전함에 의해 복수의 전자 부품(15)에 접촉한다. 이로써, 저장수(27)를 포함하는 세정 롤러(14)가, 복수의 전자 부품(15)에 구석구석까지 접촉함과 함께, 복수의 전자 부품(15)의 표면을 비비도록 하여 회전한다. 따라서, 복수의 전자 부품(15)의 표면에서의 미소한 이물을 제거하는 효과가 증대한다.
또한, 본 발명에 관한 전자 부품의 제조 장치(1)에서는, 세정 기구(13)는, 수조(26)와, 해당 수조(26)에 물(29)을 공급하는 물공급 기구(28)와, 수조(26)의 상방에 마련된 세정 롤러(I4)를 구비한다. 이로써, 전자 부품의 제조 장치(1)에 필 요한 구성 요소는, 밀봉완료 기판(8)의 크기에 걸맞는 수조(26)와 세정 롤러(14)와 물공급 기구(28)가 된다. 따라서, 제조 장치(1)의 소형화가 가능하게 됨과 함께, 제조 장치(1)의 메인티넌스가 용이해진다. 또한, 물을 사용하여 세정하기 때문에, 메인티넌스가 용이해짐과 함께 높은 안전성을 갖는 제조 장치(1)가 실현된다.
또한, 본 발명에 관한 전자 부품의 제조 장치(1)가, 세정 롤러(14)의 회전축(36)을 회전 구동하는 에어 모터(45)를 구비하는 경우, 물을 사용함에 의해 회전 구동계에 생기는 부적합함이 회피된다.
또한, 본 발명에 관한 전자 부품의 제조 장치(1) 및 제조 방법의 한 양태에 의하면, 세정 롤러(14)를 저장수(27)에 침지한 후에 복수의 전자 부품(15)에 접촉시키기까지의 사이에 있어서, 진퇴 기구(32)가 세정 롤러(14)에 수절 롤러(31)를 눌러댐에 의해, 세정 롤러(14)로부터 물을 짜낸다. 이로써, 세정 롤러(14)가 복수의 전자 부품(15)에 접촉할 때에 세정 롤러(14)에 포함되는 물의 양은, 거의 일정하게 된다, 따라서, 복수의 전자 부품(15)의 표면에서의 미소한 이물을 제거하는 효과가, 일정하게 됨과 함께 지속된다.
또한, 본 발명에 관한 전자 부품의 제조 장치(1)의 한 양태에 의하면 한 쌍의 측판(35)에 각각 마련된 노치(도시 생략)에 각각 감장(嵌裝)된 축받이(42)는, 통상의 상태에서는 누름부재(43)에 의해 눌려 있고, 노치의 단부측이 개방된 상태에서는 측판(35)으로부터 착탈 자유롭다. 이로써, 세정 롤러(14)의 회전축(36)에 부착된 부재를 벗겨내는 일 없이, 회전축(36)을 한 쌍의 측판(35)으로부터 벗겨낼 수 있다. 따라서 제조 장치(1)의 메인티넌스가 용이하게 된다.
또한, 본 발명에 관한 전자 부품의 제조 장치(1)의 한 양태에 의하면 회전축(36)은 제 1의 회전축(37)과 해당 제 1의 회전축(37)에 부착된 제 2의 회전축(38)을 가지며, 제 1의 회전축(37)과 제 2의 회전축(38)은 착탈 자유롭게 구성되어 있다, 이 구성에 의해, 회전축(36)이, 제 1의 회전축(37)과 제 2의 회전축(38)으로 분리 가능해진다. 이로써, 회전축(36)에 대해 세정 롤러(14)를 착탈할 때에, 회전축(36)에서 세정 롤러(14)로부터 외측에 부착된 부재를 분리할 필요가 없어진다. 따라서, 제조 장치(1)의 메인티넌스가 더욱 용이해진다.
또한, 본 발명에 관한 전자 부품의 제조 방법의 한 양태에 의하면, 밀봉완료 기판(8)이 개편화된 복수의 전자 부품(15)을 세정하는 공정의 후에, 복수의 전자 부품(49)을 2개의 스테이지(17)에 배분하여 배치하는 공정을 마련한다. 그리고, 그 배치하는 공정에서는, 복수의 전자 부품(49)을 체크무늬에서의 하나의 색과 다른 색의 위치 관계가 되도록 2개의 군으로 배분하고, 2개의 군의 각각을 2개의 스테이지(17)에 배치한다. 또한, 하나의 스테이지(17)로부터 불량품 트레이(20)에 이재하는 공정 및 양품 트레이(21)에 이재하는 공정중 적어도 어느 하나의 공정과, 다른 스테이지(17)에 배치된 전자 부품(49)을 검사하는 공정을 병행하여 행한다. 이로써, 세정된 복수의 전자 부품(49)을 검사하는 공정과, 양품이라고 판정된 전자 부품(49)을 양품 트레이(21)에 이재하는 공정과, 불량품이라고 판정된 전자 부품(49)을 불량품 트레이(20)에 이재하는 공정을, 효율적으로 행할 수 있다.
전자 부품의 제조 장치(1)는, 절단된 패키지(49)의 집합체(15)가 가지는 밀 봉 수지(24)에 접촉하면서 회전하는 세정 롤러(14)와, 세정 롤러(14)의 하방에 마련된 수조(26)와, 수조(26)에 저장된 저장수(27)와, 수조(26)를 향하여 물(29)을 분사하는 물공급관(28)과, 저장수(27)를 함침한 세정 롤러(14)에 눌려 닿는 수절 롤러(31)와, 수절 롤러(31)를 진퇴시키는 진퇴 기구(32)를 구비한다. 또한, 제조 장치(1)는, 서로 대향하는 한 쌍의 측판(35)과, 세정 롤러(14)의 회전축(36)의 양단의 측에서 각각 마련된 축받이(42)와, 한 쌍의 측판(35)에 각각 마련되고 축받이(42)가 감장된 노치(도시 생략)와, 한 쌍의 측판(35)에 각각 부착되고 노치에서 축받이(42)를 눌러서 고정하는 누름부재(43)(43)를 구비한다. 노치의 단부측이 개방된 상태에 있어서, 축받이(42)가, 각각 한 쌍의 측판(35)으로부터 착탈 자유롭게 구성되어 있다. 또한, 제조 장치(1)는, 세정 롤러(14)의 회전축(36)의 양측에 각각 마련된 연결 부분(40)과, 연결 부분(40)을 통하여 회전축(36)의 양측에 각각 마련된 외측 축(41)을 구비한다. 외측 축(41)은 각각 축받이(42)에 회전 가능하게 지지되어 있고, 회전축(36)은 제 1의 회전축(37)과 제 1의 회전축(37)에 부착된 제 2의 회전축(38)으로 구성되고, 제 1의 회전축(37)과 제 2의 회전축(38)은 착탈 자유롭게 구성되어 있다.
[실시예 1]
본 발명에 관한 전자 부품의 제조 장치 및 제조 방법에 관한 실시예 1에 관해, 도 1과 도 2를 참조하여 설명한다. 도 1A는 본 발명에 관한 전자 부품의 제조 장치의 좌측 부분을, 도 1B는 그 제조 장치의 우측 부분을, 각각 도시하는 평면도이다. 도 2A는 도 1의 제조 장치에서의 세정기구의 주요부를 도시하는 부분 정면 도, 도 2B는 그 세정기구의 주요부를 도시하는 우측면도이다.
본 발명에 관한 전자 부품의 제조 장치(1)는, 밀봉완료 기판을 복수의 전자 부품으로 개편화하는 개편화 장치이다. 그리고, 도 1에 도시되는 바와 같이, 전자 부품의 제조 장치(1)는, 수납부(2)와, 개편화부(3)와, 세정부(4)와, 검사부(5)와, 불출부(6)를 갖는다.
도 1A에 도시되어 있는 바와 같이, 수납부(2)에서는 프레스테이지(7)가 마련되어 있다. 이 프레스테이지(7)에서, 전 공정의 장치인 수지 밀봉 장치로부터 밀봉완료 기판(8)이 받아들여진다. 이 밀봉완료 기판(8)은, 도 4에 도시된 밀봉완료 기판(91)에 상당한다. 밀봉완료 기판(91)은, 도 4의 밀봉 수지(93)의 측을 밑으로 하여 프레스테이지(7)에 배치된다. 이 프레스테이지(7)에서, 필요에 따라 밀봉완료 기판(8)의 위치맞춤이 행하여진다. 또한, 도 4에 도시된 밀봉완료 기판(91)과 마찬가지로, 밀봉완료 기판(8)에서는, 격자형상의 복수의 영역에 각각 칩이 장착되고, 복수의 칩이 일괄하여 수지 밀봉되어 있다.
개편화부(3)에는, 절단용 테이블(9)이 마련되어 있다. 절단용 테이블(9)은, 도면의 Y방향으로 이동 가능하고, 또한, θ방향으로 회동 가능하다. 절단용 테이블(9)의 위에는, 절단용 스테이지(10)가 부착되어 있다. 개편화부(3)의 속의 부분에는, 2개의 스핀들(11)이 마련되어 있다. 2개의 스핀들(11)은, 독립하여 X방향으로 이동 가능하다. 2개의 스핀들(11)에는, 각각 회전날(12)이 마련되어 있다. 이들의 회전날(12)은, 각각 Y방향에 따른 면 내에 있어서 회전한다.
세정부(4)에는, 세정 기구(13)가 마련되어 있다, 세정 기구(13)에는, Y방향 에 따른 축을 중심으로 하여 회전 가능하게 하여, 세정 롤러(14)가 마련되어 있다. 세정 기구(13)의 상방에는, 밀봉완료 기판(8)이 절단된 복수의 전자 부품(패키지)으로 이루어지는 집합체(15)가 배치된다. 집합체(15)는, 그 기판측의 면(도면의 용지에서의 표측(表側)의 면)에서 반송 기구(도시 생략)에 의해 흡착 고정되어 있다, 환언하면, 집합체(15)는, 도 4에 도시된 기판(92)측의 면에서 흡착 고정되어 있다. 그리고, 반송 기구에 의해 흡착 고정된 집합체(15)는, 도면의 왼쪽으로부터 오른쪽으로 이동한다. 그 이동에 수반하여, 집합체(15)의 밀봉 수지측의 면(도면의 용지에서 이측(裏側)의 면)이, 회전하는 세정 롤러(14)에 접촉한다,
도 1B에 도시되어 있는 바와 같이, 검사부(5)에는 2개의 검사용 테이블(16)이 마련되어 있다. 2개의 검사용 테이블(16)의 위에는, 각각 검사용 스테이지(17)가 부착되어 있다. 각 검사용 스테이지(17)에는, 복수의 전자 부품으로 이루어지는 집합체(15)를 흡착 고정하고 있는 반송 기구(도시 생략)로부터, 세정된 복수의 전자 부품이 이재(移載)된다. 각 검사용 테이블(16)은, 검사부(5)에서, 소정의 이동 경로에 따라 독립하여 Y방향으로 이동 가능함과 함께, 독립하여 θ방향으로 회동 가능하다. 도 1B에서는, 2개의 검사용 테이블(16)중 좌측의 검사용 테이블(16)의 이동 경로가, 부호가 붙지 않은 굵은 실선의 화살표로 도시되어 있다.
검사부(5)의 속의 부분에서는, 전자 부품의 정지 화상을 촬영하는 카메라(18)가 마련되어 있다, 카메라(18)는, 큰 실선의 화살표로 도시된 이동 방향(19)에 따라 X방향으로 이동 가능함과 함께, Y방향으로도 이동 가능하다. 여기서, 전자 부품의 제조 장치(1)에는 제어부(도시 생략)가 마련되어 있다. 이 제어부는, 카메 라(18)로부터 수취한 전자 부품의 정지 화상에 의거하여 화상 처리를 행하고, 얻어진 화상 데이터와 미리 기억한 데이터를 비교함에 의해, 그 전자 부품이 양품인지 불량품인지를 판정한다.
또한, 도 1B에 도시되어 있는 바와 같이, 검사부(5)에는 1개의 불량품 트레이(20)가 마련되어 있다. 불량품 트레이(20)에는, 제어부(도시 생략)가 불량품이라고 판정한 전자 부품이, 2개의 검사용 스테이지(17)로부터 반송 기구(도시 생략)를 경유하여 각각 수용된다.
불출부(6)에는, 2개의 양품 트레이(21)가 마련되어 있다. 이들의 양품 트레이(21)에는, 제어부(도시 생략)가 양품이라고 판정한 전자 부품이, 2개의 검사용 스테이지(17)로부터 반송 기구(도시 생략)를 경유하여 각각 수용된다, 그리고, 이들의 양품 트레이(21)에 각각 수용된 전자 부품(양품)은, 다음 공정(예를 들면, 포장 공정)으로 반송된다,
또한, 도 1B에서는, 2개의 검사용 스테이지(17)로부터 복수의 전자 부품을 각각 흡착 고정하여 반송하는, 2계통의 반송 기구(도시 생략)가 마련되어 있다. 이들의 반송 기구는, 모두, 굵은 파선의 화살표로 도시된 이동 방향에 따라, 독립하여 XY방향으로 이동 가능하다. 그리고, 이들의 반송 기구는, 모두, 2개의 검사용 스테이지(17)로부터 수취하여 흡착 고정한 복수의 전자 부품중, 양품을 양품 트레이(21)에, 불량품을 불량품 트레이(20)에, 각각 이재한다. 이와 같은 이재는, 각 반송 기구가 제어부(도시 생략)로부터 수취한 양품과 불량품에 관한 판정 결과에 의거하여 행하여진다.
이하, 세정 기구(13)에 관해, 도 2를 참조하여 설명한다. 도 2A에 도시되어 있는 바와 같이, 반송 기구(22)에는, 개편화된 복수의 전자 부품(패키지)으로 이루어지는 집합체(15)가 흡착 고정되어 있다. 집합체(15)는, 기판(23)과, 밀봉 수지(24)와, 절단됨에 의해 형성된 간극(25)을 갖는다. 집합체(15)의 밀봉 수지(24)에 눌려 닿아 있은 것과 같이 하여, 스펀지 등으로 이루어지는 세정 롤러(14)가 마련되어 있다. 세정 롤러(14)는, 구동 기구에 의해, 도면에서의 세선의 화살표에 의해 도시된 방향(반시계회전의 방향)으로 회전 구동된다(후에 실시예 2에서 설명한다).
도 2A, 도 2B에 도시되어 있는 바와 같이, 세정 롤러(14)의 하방에는 수조(26)가 마련되고, 수조(26)에는 저장수(27)가 저장되어 있다. 세정 롤러(14)와 수조(26) 는, 도면의 Y방향에 따른 세정 롤러(14)의 모든 폭(全幅)에 걸쳐서 세정 롤러(14)의 하부가 저장수(27)에 침지되도록 하여, 각각 배치되어 있다, 수조(26)의 부근으로서 저장수(27)의 상방에는, 물공급관(28)이 마련되어 있다, 물공급관(28)에서의 세정 롤러(14)의 모든 폭에 대응하는 부분에는, 수조(26)를 향하여 물(29)을 공급할 수 있도록 복수개의 개구(도시 생략)가 마련되어 있다.
여기서, 물공급관(28)이 마련되어 있는 위치는, 다음의 위치인 것이 바람직하다. 즉 해당 위치는, 집합체(15)가 반송되는 방향과의 사이의 관계에서는, 집합체(15)가 반송되는 경로에서 세정 롤러(14)의 상류측의 위치이다. 또한, 세정 롤러(14)의, 회전 방향과의 사이의 관계에서는, 회전하는 세정 롤러(14)가 저장수(27)에 입수하기 직전의 위치이다.
도 2A, B에 도시된 세정 기구(13)에 있어서, 수조(26)에 물(29)이 공급됨에 의해, 수조(26)에는 저장수(27)가 저장된다, 그리고, 회전하는 세정 롤러(14)가 저장수(27)에 침지됨에 의해, 저장수(27)의 일부가 오버플로우(30)로서 수조(26)로부터 넘쳐 나옴과 함께, 저장수(27)에 파(波)(W)가 발생한다. 수조(26)의 하방에는, 오버플로우(30)를 수용하여 배출하는 배수 기구(도시 생략)가 마련되어 있다.
세정 롤러(14)의 측방에는, 수절 롤러(31)가, 세정 롤러(14)에 대해 접리 가능하게 마련되어 있다. 이 수절 롤러(31)가 마련되어 있는 위치는, 세정 롤러(14)가 저장수(27)에 침지된 후에 집합체(15)에 접촉하기까지의 사이에서, 수절 롤러(31)가 세정 롤러(14)에 접촉할 수 있는 위치이다. 진퇴 기구(32)는, 적당한 조인트를 통하여 수절 롤러(31)에 연결되어 있는 액추에이터로서, 예를 들면, 직동 실린더 등으로 구성되어 있다, 그리고, 수절 롤러(31)는, 전진함에 의해 세정 롤러(14)에 눌려 닿는다. 이로써, 세정 롤러(14)에 포함되는 저장수(27)가 짜내진다. 또한, 수절 롤러(31)는, 후퇴함에 의해 세정 롤러(14)로부터 벌어진다.
복수의 전자 부품으로 이루어지는 집합체(15)가 반송되는 경로에서, 세정 롤러(14)의 하류측에 에어 분사관(33)이 마련되어 있다. 에어 분사관(33)의 분사구는, 집합체(15)의 전폭에 대해 에어(34)를 분사할 수 있도록, 도면의 Y방향에 따라 늘어나도록 하여 마련되어 있다.
본 발명에 관한 전자 부품의 제조 방법을, 도 1A과 도 2A, B를 참조하여 설명한다. 우선, 도 1A에 도시된 개편화부(3)에서, 회전날(12)을 사용하여 밀봉완료 기판(8)을 복수의 전자 부품(패키지)으로 절단(개편화)한다. 여기서, 회전날(12)에 의해 수지 밀봉체(8)가 절단될 때에, 절단된 부분에 물이 공급된다. 이 물에 의해, 회전날(12)에 의해 수지 밀봉체(8)가 절단되는 측에서는, 즉 도 2A에 도시된 기판(23)측에서는, 미소한 이물을 제거할 수 있다.
다음에, 도 1A와 도 2A, B에 도시된 세정 기구(13)에서, 도 2A, B에 도시하는 바와 같이, 미리 수조(26)에 저장수(27)를 저장하여 둔다. 이로써, 세정 롤러(14)의 전폭에 걸쳐서 세정 롤러(14)의 하부를 저장수(27)에 침지시켜서, 세정 롤러(14)의 하부에 저장수(27)를 포함시킨다.
다음에, 도 2A에 도시하는 바와 같이 세선으로 도시된 방향(반시계회전의 방향)으로 세정 롤러(14)를 회전시킨다. 또한, 물공급관(28)에 의해, 수조(26)를 향하여 물(29)을 공급한다. 이들에 의해, 저장수(27)의 일부를 오버플로우(30)로서 수조(26)로부터 넘쳐 나오게 함과 함께, 저장수(27)에 파(W)를 발생시킨다.
다음에, 도 2A에 도시하는 바와 같이, 진퇴 기구(32)에 의해 세정 롤러(14)를 향하여 수절 롤러(31)를 전진시키고, 세정 롤러(14)에 수절 롤러(31)를 눌러 닿게 한다. 이로써, 도 2A의 세정 롤러(14)에서 2점쇄선으로 도시하는 바와 같이, 세정 롤러(14)를 부분적으로 눌러 찌부려, 세정 롤러(14)에 포함되는 저장수(27)의 일부를 짜낸다.
여기서, 세정 롤러(14)에 대해 수절 롤러(31)를 눌러댈 때의 압력에 응하여, 세정 롤러(14)로부터 짜내지는 물의 양, 환언하면 수절 롤러(31)가 눌러대여진 후의 세정 롤러(14)에 포함되는 물의 양이, 결정된다, 따라서, 세정 롤러(14)에 포함되는 물의 양에 관해 최적치를 실험 등으로 찾아내 두고, 세정 롤러(14)에 대해 수 절 롤러(31)를 눌러댈 때의 압력(수절 롤러(31)를 압입하는 양)을 그 최적치에 응하여 미리 설정하여 두는 것이 바람직하다. 또한, 경우에 따라서는, 세정 롤러(14)에 대해 수절 롤러(31)를 눌러대지 않고 세정을 행할 수도 있다.
다음에, 도 2A에 도시하는 바와 같이 복수의 전자 부품으로 이루어지는 집합체(15)를, 반송 기구(22)에 의해 흡착 고정하여, 세정 기구(13)에 반입한다. 그리고, 계속해서 도면의 우방향에 집합체(15)를 이동시킴에 의해, 집합체(15)를 세정한다. 상세하게 설명하면, 저장수(27)를 포함하는 상태로 회전하는 세정 롤러(14)를 집합체(15)의 밀봉 수지(24)에 눌러대면서, 집합체(15)를 이동시킨다. 따라서, 저장수(27)를 포함하는 세정 롤러(14)에 의해 집합체(15)의 표면을 비비기 때문에, 집합체(15)의 표면에 부착한 미소한 이물을 제거할 수 있다. 또한, 세정 롤러(14)가 집합체(15)의 밀봉 수지(24)에 눌러 닿음에 의해, 세정 롤러(14)로부터 짜내여진 물이 집합체(15)의 간극(25)에 진입한다. 이로써, 집합체(15)의 간극(25)에 존재한 이물을 씻어낼 수 있다.
여기서, 세정 롤러(14)의 회전 방향과 집합체(15)의 이동 방향과의 관계는, 세정 롤러(14)와 집합체(15)가 접촉하는 부분에서 서로 대향하는 방향인 것이 바람직하다. 이로써, 세정 롤러(14)가 집합체(15)의 표면에 큰 상대 속도로 접촉하게 된다, 따라서, 집합체(15)를 세정할 때의 세정 효과가 증대한다.
다음에, 저장수(27)를 포함하는 세정 롤러(14)에 의해 비벼진 집합체(15)를 향하여, 집합체(15)의 모든 폭에 대해 에어(34)를 분사한다, 이로써, 집합체(15)에 부착한 물을 날려 버림과 함께, 집합체(15)의 표면을 건조시킨다. 이 공정에서는, 건조 효과를 높이기 위해, 에어(34)로서 핫 에어를 사용하는 것이 바람직하다.
본 실시예에 의하면, 도 2A의 세선으로 도시된 방향으로 회전하는 세정 롤러(14)는, 그 하부에서 수조(26)에서의 저장수(27)에 침지된다, 이로 인해, 스펀지 등으로 이루어지는 세정 롤러(14)는, 저장수(27)를 포함하는 상태로 회전한다. 그래서, 집합체(15)의 밀봉 수지(24)에 세정 롤러(14)가 적당한 압력으로 눌려 닿고, 이로 인해, 세정 롤러(14)에 포함되어 있던 물이 세정 롤러(14)로부터 압출된다,
이와 같은 세정을 행함에 의해, 다음 3개의 효과를 얻을 수 있다. 첫째, 물을 포함하는 상태로 회전하는 세정 롤러(14)가, 반송되는 집합체(15)의 밀봉 수지(24)에 눌려 닿는다. 이로써, 집합체(15)의 밀봉 수지(24)의 표면은, 물을 포함하는 세정 롤러(14)에 의해 구석구석까지 비벼진다. 따라서, 밀봉 수지(24)의 표면에 강하게 부착한 이물에 대해서도 우수한 세정 효과를 얻을 수 있고, 그 세정 효과는 밀봉 수지(24)의 전체에 걸쳐 미친다. 둘째, 세정 롤러(14)로부터 짜내여진 물이 간극(25)에 진입함에 의해, 간극(25)에 존재하는 이물이 씻어내진다, 셋째, 집합체(15)의 표면에서 제거된 이물이, 다음과 같이 하여 수조(26)로부터 확실하게 배출된다. 즉, 집합체(15)의 표면에서 제거된 이물은, 세정 롤러(14)로부터 짜내진 물과 함께 수조(26)에 낙하하여 수용된다. 그리고, 수조(26)에 수용된 이물은, 오버플로우(30)와 함께 수조(26)로부터 배출된다,
또한, 집합체(15)의 표면에서 제거된 이물이, 세정 롤러(14)의 표면에 부착하는 경우도 있다. 이 경우에는, 세정 롤러(14)가 저장수(27)에 침지됨에 의해, 세정 롤러(14)의 표면에 부착한 이물이 그 표면으로부터 떨어져 제거된다. 이 효과 는, 회전하는 세정 롤러(14)가 저장수(27)에 침지될 때에 발생하는 파(W)가 세정 롤러(14)의 표면에 접촉함에 의해, 증대한다. 그 이유는, 세정 롤러(14)의 표면이 파(W)에 의해 씻겨지는 것으로 되기 때문이다.
또한, 세정 롤러(14)에 수절 롤러(31)를 눌러댐에 의해, 세정 롤러(14)로부터 물을 짜낸다. 이로써, 세정 롤러(14)가 복수의 전자 부품으로 이루어지는 집합체(15)에 접촉할 때에 세정 롤러(14)에 포함되는 물의 양은, 거의 일정하게 된다, 따라서, 복수의 전자 부품의 표면에서의 미소한 이물을 제거하는 효과가 안정되게 얻어짐과 함께, 그 효과가 지속된다.
또한, 본 실시예에 관한 전자 부품의 제조 장치(1)에 의하면 소형화가 가능해지고, 메인티넌스가 용이하게 되고, 또한, 높은 안전성이 실현된다. 이 효과는, 특히 스팀을 생성하는 기구를 필요로 하는 제조 장치에 비교한 경우에 현저하다.
또한, 수절 롤러(31)로서 직동 실린더 등의 직동 기구를 사용한다. 이로써, 요동 실링 등의 요동 기구를 사용하는 경우에 비교하여, 전자 부품의 제조 장치에서 구조의 간소화와 소형화가 가능해진다.
또한, 본 실시예에서, 물공급관(28)의 개구(도시 생략)로부터 수조(26)에 대해 물(29)을 공급하는데는, 저장수(27)를 향하여 물(29)을 연속적으로 또는 맥동적으로 분사하는 것이 바람직하다. 이와 같이 물(29)을 분사함에 의해, 분사된 물(29)이 저장수(27)의 표면에 반사하고, 그 반사한 물(R)이 세정 롤러(14)의 표면에 강한 세력으로 닿는다. 또한, 분사된 물(29)에 의해 저장수(27)의 표면에 파(W)가 생성되는 효과가 증대한다. 이들에 의해, 세정 롤러(14)의 표면에 부착한 이물 이, 그 표면으로부터 떨어져 제거되기 쉬워진다. 따라서, 세정 롤러(14)의 표면에 부착한 이물을 제거하는 효과가 증대한다.
또한, 물공급관(28)이 가지는 복수개의 개구는, 세정 롤러(14)의 표면을 향하여 물(29)을 분사하도록 하여 마련되어 있어도 좋다, 이에 의해서도, 세정 롤러(14)의 표면에 부착한 이물이 그 표면으로부터 떨어져 제거되는 효과를 얻을 수 있다. 이 경우에는, 세정 롤러(14)의 표면에 닿은 물이 수조(26)에 공급된다, 또한, 세정 롤러(14)의 표면과 저장수(27)의 쌍방을 향하여 물(29)을 분사할 수 있다.
또한, 본 실시예에서는, 스펀지 등으로 이루어지는 세정 롤러(14)를 사용하는 것으로 하였다. 여기서, 세정 롤러(14)를 구성하는 재료로서는, 우수한 흡수성을 갖는 재료면 좋다. 따라서, 세정 롤러(14)에 대신하여, 가는 털이 밀집한 롤러형상의 브러시 등을 사용할 수도 있다. 환언하면, 본 발명에서 「세정 롤러」라는 용어는, 협의의 롤러뿐만 아니라, 우수한 흡수성을 갖는 롤러형상의 부재도 포함하여 사용되고 있다.
또한, 집합체(15)를 세정하는 공정에서, 세정 롤러(14)에서는 마모나 미소한 파손 등이 발생한다. 이로써, 세정 롤러(14)를 계속해서 사용하면, 마모나 파손 등에 의해 충분한 세정 효과를 얻을 수 없게 된다. 따라서, 세정 롤러(14)는 소모품으로서 취급되고, 적당한 빈도로 교환된다.
또한, 진퇴 기구(32)에 관해서는, 에어에 의해 구동되는 액추에이터인 것이 바람직하다. 이로써, 전기에 의해 구동되는 액추에이터를 사용하는 경우에 비교하 여, 물에 기인한 부적합함의 발생이 억제된다. 또한, 액추에이터에 관해 고도의 방수성이 불필요하게 된다.
또한, 본 실시예에서는, 도 1에 도시되어 있는 바와 같이, 수납부(2)와 개편화부(3)와 세정부(4)라는 순서로 밀봉완료 기판(8)을 반송할 때에, 밀봉완료 기판(8)의 긴변방향에 따라 반송한다. 이에 대신하여, 수납부(2)와 개편화부(3)와 세정부(4) 라는 순서로, 밀봉완료 기판(8)을 그 짧음변방향에 따라 반송하여도 좋다. 이 경우에는, 도 1A의 Y방향에서, 세정 롤러(14)와 세정 기구(13)가 밀봉완료 기판(8)의 길이에 대응하는 치수(Y방향의 치수)를 갖도록 구성하면 좋다. 또한, 도 1A에 도시된 프레스테이지(7)와 절단용 스테이지(10)를, Y방향을 따라 길어지도록 구성하여도 좋다. 이들의 구성에 의하면, 도 1A에 도시된 전자 부품의 절단 장치(1)의 X방향의 치수를 저감할 수 있다.
[실시예 2]
본 발명에 관한 전자 부품의 제조 장치에 관한 실시예 2에 관해, 도 2B를 참조하여 설명한다. 본 실시예는, 메인티넌스가 용이한 제조 장치를 실현하는 것을 목적으로 한다. 도 2B에 도시되는 바와 같이, 본 실시예에 관한 전자 부품의 제조 장치에는, 서로 대향하는 한 쌍의 측판(35) 사이에 회전축(36)이 마련되어 있다. 이 회전축(36)은, 제 1의 축(37)과 제 2의 축(38)으로 구성되어 있다. 그리고, 제 1의 축(37)과 제 2의 축(38)은, 회전축(36)의 중앙 부근에서 감합(嵌合)이나 나사체결 등에 의해 일체화되어 있고, 또한, 착탈 가능하게 구성되어 있다. 회전축(36)에는, 세정 롤러(14)가 부착되어 있다, 또한, 회전축(36)에서의 세정 롤러(14)의 양측에는, 고정 너트(39)가 각각 부착되어 있다.
고정 너트(39)의 내부에서의 연결 부분(40)에서, 회전축(36)은 외측 축(41)에 연결되어 있다. 구체적으로는, 회전축(36)과 외측 축(41)은 연결 부분(40)에서 나사체결되어 있다. 환언하면, 고정 너트(39)의 외측에는 각각 외측 축(41)이 마련되고, 회전축(36)과 각 외측 축(41)은, 각각 고정 너트(39)의 내부의 연결 부분(40)에서 연결되어 있다. 이로써, 각 연결 부분(40)의 부분에서, 회전축(36)이 그 외측의 부재로부터 분리 가능하게 되어 있다. 또한, 회전축(36)과 2개의 외측 축(41)은, 세정 롤러(14)의 회전축으로서 광의(廣義)의 회전축을 구성하는 구성 요소로 되어 있다. 또한, 도 2B에서, 각 연결 부분(40)을 마련하는 일 없이, 제 1의 축(37)과 그 외측(좌측)의 외측 축(41)을 일체화하고, 제 2의 축(38)과 그 외측(우측)의 외측 축(41)을 일체화하여도 좋다. 이 구성에 의하면, 광의의 회전축이 2개의 부재로 분리 가능하게 되어 있다.
각 외측 축(41)에는, 각각 축받이(42)가 부착되어 있다. 그들의 축받이(42)는, 각 측판(35)에 마련된 거의 U자형의 노치(도시 생략)에, 각각 감장되어 있다. 각 노치의 상부에서는, 누름부재(43)가 각 측판(35)에 각각 고정되어 있다. 이들의 누름부재(43)는, 각 측판(35)에 대해 각각 착탈 자유롭다. 그리고, 이들의 누름부재(43)가 각 측판(35)에 고정됨에 의해, 축받이(42)가 누름부재(43)에 눌려서 각 측판(35)에 고정된다. 또한, 이들의 누름부재(43)가 각 측판(35)으로부터 벗겨짐에 의해, 각각 축받이(42)가 측판(35)으로부터 벗겨지는 것이 가능하게 된다. 그리고, 한편의 외측 축(41)에서의 측판(35)의 외측에는, 기어(44)가 부착되어 있다.
여기서, 예를 들면, 누름부재(43)를 측판(35)에 고정하고 있는 나사의 일부를 벗겨냄에 의해 누름부재(43)를 이동시키고, 노치의 단부측(개구하고 있는 측 ; 도 2B에서는 상측)이 개방 가능하게 되도록 구성하여도 좋다. 이 구성에 의하면, 누름부재(43)를 벗겨내는 일 없이, 노치의 단부측(개구하고 있는 측)이 개방된 상태에서, 축받이(42)가 각 측판(35)으로부터 벗겨지는 것이 가능하게 된다.
수조(26)의 하방에서는, 에어 모터(45)와 이것에 에어를 공급하는 에어 배관(46)이 마련되어 있다. 그리고, 에어 모터(45)의 모터 축(47)에는, 기어(48)가 고정되어 있다. 모터 축(47)에 고정된 기어(48)와, 외측 축(41)에 고정된 기어(44)는, 다른 기어(도시 생략)를 통하여, 모터 축(47)의 회전이 외측 축(41)에 전달되도록 하여 연결되어 있다. 이상의 구성에 의해, 에어 모터(45)의 모터 축(47)의 회전은, 기어(48)와는 다른 기어(도시 생략)와 기어(44)와 외측 축(41)을 순차적으로 통하여, 세정 롤러(14)가 부착되어 있는 회전축(36)에 전달된다. 따라서, 에어 모터(45)에 의해 세정 롤러(14)가, 도 2A에서 세선의 화살표로 도시된 방향(반시계 회전의 방향)으로 회전 구동된다.
본 실시예에 의하면, 다음의 효과를 얻을 수 있다. 첫째, 한 쌍의 측판(35)에 각각 마련된 노치에 각각 감장된 축받이(42)는, 통상의 상태에서는 누름부재(43)에 의해 늘려 고정되고, 노치의 단부측이 개방된 상태에서는 측판(35)으로부터 착탈 자유롭다. 이로써, 노치의 단부측을 개방함에 의해, 세정 롤러(14)의 회전축(36)에 부착된 부재를 벗겨내는 일 없이, 회전축(36)을 한 쌍의 측판(35)으로부터 벗겨낼 수 있다. 따라서, 전자 부품의 제조 장치(1)의 메인티넌스가 용이해진 다.
둘째, 회전축(36)은 제 1의 회전축(37)과 제 2의 회전축(38)이 일체화됨에 의해 구성되어 있다. 또한, 제 1의 회전축(37)과 제 2의 회전축(38)은 착탈 자유롭게 구성되어 있다. 이들에 의해, 회전축(36)에 대해 세정 롤러(14)를 착탈할 때에, 회전축(36)을 제 1의 회전축(37)과 제 2의 회전축(38)으로 분리할 수 있기 때문에, 회전축(36)에서 세정 롤러(14)로부터 외측에 부착된 부재를 벗겨낼 필요가 없어진다. 따라서, 제조 장치(1)의 메인티넌스가 더욱 용이해진다.
셋째, 전자 부품의 제조 장치(1)에, 세정 롤러(14)의 회전축(36)을 회전 구동하는 에어 모터(45)를 구비한다. 이로 인해, 물을 사용함에 의해 회전 구동계에 생기는 부적합함이 회피된다.
[실시예 3]
본 발명에 관한 전자 부품의 제조 방법에 관한 실시예 3을, 도 1과 도 3을 참조하여 설명한다. 본 실시예는, 세정된 복수의 전자 부품을 검사하는 공정의 효율화, 나아가서는 전자 부품의 제조 방법의 효율화를 목적으로 한다. 도 3은, 도 1의 제조 장치에서의 검사부의 주요부를 도시하는 확대 평면도이다.
도 3에 도시하는 바와 같이 본 실시예에서는, 1개의 밀봉완료 기판(8)이 개편화된 복수의 전자 부품, 즉 복수의 패키지(49)를 세정하는 공정의 후에, 다음의 동작을 행한다. 우선, 세정된 복수의 패키지(49)를 2개의 군으로 배분하고, 각 군을 2개의 검사용 스테이지(17)의 각각에 이재(移載)한다. 여기서, 패키지(49)를 2개의 군으로 배분하는데는, 복수의 패키지(49)를 체크무늬에서의 하나의 색과 다른 색과 사이의 위치 관계가 되도록 하여 배분한다.
다음에, 예를 들면, 하나의 검사용 스테이지(17)로부터 불량품 트레이(20)에 이재하는 공정과, 다른 검사용 스테이지(17)에 배치된 패키지(49)를 검사하는 공정을, 병행하여 행한다. 더하여, 이들의 공정과, 개편화부(3)(도 1A 참조)에 다음에 반송된 밀봉완료 기판(8)을 절단하는 공정 또는 복수의 패키지(49)를 세정하는 공정을, 병행하여 행한다. 또한, 이 공정에서는, 하나의 검사용 스테이지(17)로부터 불량품 트레이(20)에 이재하는 공정에 대신하여, 또는 이에 더하여, 하나의 검사용 스테이지(17)로부터 양품 트레이(21)(도 1B 참조)에 이재하는 공정을 행하여도 좋다.
여기까지 설명한 바와 같이, 본 실시예에 관한 전자 부품의 제조 방법에 의하면 복수의 공정을 병행하여 행한다. 따라서, 다음의 복수의 공정을 효율 좋게 행할 수 있다. 그들의 공정이란, 밀봉완료 기판(8)을 패키지(49)로 절단하는 공정과, 복수의 패키지(49)를 세정하는 공정과, 세정된 복수의 패키지(49)를 검사하는 공정과, 양품이라고 판정된 패키지(49)를 양품 트레이(21)에 이재하는 공정과, 불량품이라고 판정된 패키지(49)를 불량품 트레이(20)에 이재하는 공정이다. 따라서, 전자 부품의 제조 방법의 효율화를 도모할 수 있다.
또한, 복수의 패키지(49)를 체크무늬에서의 하나의 색과 다른 색 사이의 위치 관계가 되도록 하여 배분한다, 이것에 의해, 특히 소형의 패키지(49)를 제조하는 경우에 있어서, 검사용 스테이지(17)로부터 패키지(49)를 안정하게 흡착 고정할 수 있다. 또한, 이웃하는 패키지(49)끼리가 접촉할 가능성이 감소하기 때문에, 패 키지(49)에 있어서의 상처의 발생을 방지할 수 있다.
또한, 도 1A에 도시된 밀봉완료 기판(8)에서는, 격자형상의 복수의 영역에 각각 칩이 장착되어 있고, 복수의 칩이 일괄하여 수지 밀봉되어 있다. 여기서 말하는 「격자형상」이라는 용어는, 엄밀한 의미에서 격자형상인 것을 의미하는 것이 아니고, 각 패키지(49)에 각각 상당하는 영역이 XY 각 방향으로 나열되어 있는 것을 의미한다. 그리고, 패키지(49)로서는, 통상은, 외형이 직사각형인 패키지가 대상이 된다. 또한, 패키지(49)로서는, 예를 들면 어떤 종류의 메모리 카드와 같이, 평면으로 본 경우에 각 변에 곡선이나 절선(切線)을 갖는 패키지도 포함된다. 본 실시예(실시예 3)에 의하면, 특히 이와 같은 패키지를 제조하는 경우에 있어서, 이웃하는 패키지끼리가 접촉하는 것이 방지된다. 따라서, 본 실시예는, 특히 각 변에 곡선이나 절선을 갖는 패키지를 제조하는 경우에 있어서, 패키지에서의 상처의 발생을 방지한다는 현저한 효과를 이룬다,
또한, 체크무늬란, 본래, 감(柑)색과 흰색을 교차시켜서 바둑판 무늬를 나열한 글자모양을 말한다. 그리고, 본 실시예에서는, 체크무늬란, 체커 플래그의 모양(이른바 블록·체크)을 말한다.
또한, 여기까지 설명한 각 실시예에서는, 회전날(12)을 사용하여 밀봉완료 기판(8)을 절단하였다, 이것으로 한하지 않고, 밴드 쏘어, 와이어 쏘어 등을 사용하여 밀봉완료 기판(8)을 절단하여도 좋다, 또한, 고압의 액체, 즉 워터제트에 의해 밀봉완료 기판(8)을 절단하여도 좋다. 이 경우에는, 연마재를 병용하여도 좋고, 병용하지 않아도 좋다. 또한, 레이저광을 사용하여 밀봉완료 기판(8)을 용단(溶斷) 하여도 좋다.
또한, 도 1에 도시되어 있는 바와 같이, 본 발명에 관한 전자 부품의 제조 장치는, 도면의 왼쪽부터 수납부(2)와 개편화부(3)와 세정부(4)와 검사부(5)와 불출부(6)가 순차적으로 연결됨에 의해 구성되어 있다. 환언하면, 유닛화(모듈화)된 각 부분이 상술한 순서로 연결됨에 의해, 전자 부품의 제조 장치가 구성되어 있다, 이 구성으로 한하지 않고, 도면의 오른쪽부터 수납부(2)와 개편화부(3)와 세정부(4)와 검사부(5)와 불출부(6)가 순차적으로 연결됨에 의해, 전자 부품의 제조 장치가 구성되어 있어도 좋다. 그리고, 도 1A에서, 왼쪽부터 개편화부(3)와 수납부(2)와 세정부(4)와 검사부(5)와 불출부(6)가 순차적으로 연결되어 있어도 좋고, 오른쪽부터 각 부분이 상술한 순서로 연결되어 있어도 좋다.
또한, 본 발명은, 상술한 각 실시예로 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 취지를 일탈하지 않는 범위 내에서, 필요에 따라 임의로 또한 적절하게 조합시키고, 변경하고, 또는 선택하여 채용할 수 있는 것이다.
도 1A는 본 발명에 관한 전자 부품의 제조 장치의 좌측 부분을, 도 1B는 그 제조 장치의 우측 부분을, 각각 도시하는 평면도,
도 2A는 도 1의 제조 장치에서의 세정기구의 주요부를 도시하는 부분 정면도, 도 2B는 그 세정기구의 주요부를 도시하는 우측면도.
도 3은, 도 1A, B의 제조 장치에서의 검사부의 주요부를 도시하는 확대 평면도.
도 4A는 개편화의 대상물인 밀봉완료 기판을 기판측에서 보고 개략적으로 도시하는 사시도, 도 4B는 밀봉완료 기판의 하나의 예를, 도 4C는 밀봉완료 기판의 다른 예를 각각 밀봉 수지측에서 보고 도시하는 평면도.

Claims (8)

  1. 기판에 마련된 복수의 영역에 각각 장착된 칩을 수지 밀봉함에 의해 밀봉완료 기판을 형성한 후에, 상기 밀봉완료 기판을 상기 영역마다 개편화하는 공정에 의해 복수의 전자 부품을 제조할 때에 사용되는 전자 부품의 제조 장치에 있어서,
    상기 밀봉완료 기판을 받아들이는 수납부와,
    상기 밀봉완료 기판을 상기 복수의 전자 부품으로 개편화하는 개편화부와,
    상기 복수의 전자 부품을 세정하는 세정기구를 갖는 세정부를 구비하고,
    상기 세정기구는, 수조와, 해당 수조에 물을 공급하는 물공급 기구와, 상기 수조의 상방에 마련된 세정 롤러를 포함하고,
    상기 세정 롤러는 상기 수조에서의 저장수를 포함한 상태에서 회전함에 의해 상기 복수의 전자 부품에 접촉하는 것을 특징으로 하는 전자 부품의 제조 장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 세정 롤러의 회전축과,
    상기 회전축을 회전 구동하는 에어 모터를 또한 구비하는 것을 특징으로 하는 전자 부품의 제조 장치.
  3. 제 1항 또는 제 2항에 있어서,
    상기 세정 롤러에 대해 접리 가능하게 마련된 수절 롤러와,
    상기 세정 롤러에 대해 상기 수절 롤러를 진퇴시키는 진퇴 기구를 또한 구비함과 함께,
    상기 진퇴 기구는 상기 세정 롤러에 상기 수절 롤러를 눌러댐에 의해 상기 세정 롤러로부터 물을 짜내는 것을 특징으로 하는 전자 부품의 제조 장치.
  4. 제 2항에 있어서,
    한 쌍의 측판과,
    상기 회전축의 양단의 측에서 각각 마련된 축받이와,
    상기 한 쌍의 측판에 각각 마련되고 상기 축받이가 감장된 노치와,
    상기 한 쌍의 측판에 각각 부착되고 상기 노치에서 상기 축받이를 누르는 누름부재를 또한 구비함과 함께,
    상기 노치의 단부측이 개방된 상태에서 상기 축받이가 각각 상기 한 쌍의 측판으로부터 착탈 자유로운 것을 특징으로 하는 전자 부품의 제조 장치.
  5. 제 4항에 있어서,
    상기 회전축은 제 1의 회전축과 해당 제 1의 회전축에 부착된 제 2의 회전축을 갖고 있고,
    상기 제 1의 회전축과 상기 제 2의 회전축은 착탈 자유로운 것을 특징으로 하는 전자 부품의 제조 장치.
  6. 기판에 마련된 복수의 영역에 각각 장착된 칩을 수지 밀봉함에 의해 밀봉완료 기판을 형성한 후에, 상기 밀봉완료 기판을 상기 영역마다 개편화함에 의해 복수의 전자 부품을 제조하는 전자 부품의 제조 방법으로서,
    상기 밀봉완료 기판을 받아들이는 공정과,
    상기 밀봉완료 기판을 상기 복수의 전자 부품으로 개편화하는 공정과,
    상기 복수의 전자 부품을 세정하는 공정을 구비하고,
    상기 세정하는 공정은, 수조에 물을 공급하는 공정과, 상기 수조의 상방에 마련된 세정 롤러의 일부를 상기 수조에서의 저장수에 침지하는 공정과, 상기 세정 롤러를 회전시키는 공정과, 상기 세정 롤러의 일부를 상기 저장수에 침지한 후에 상기 세정 롤러를 상기 복수의 전자 부품에 접촉시키는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 전자 부품의 제조 방법.
  7. 제 6항에 있어서,
    상기 세정하는 공정에서는, 상기 세정 롤러를 상기 저장수에 침지한 후에 상기 복수의 전자 부품에 접촉시키기까지의 사이에서 상기 세정 롤러에 수절 롤러를 눌러대는 것을 특징으로 하는 전자 부품의 제조 방법.
  8. 제 6항 또는 제 7항에 있어서,
    상기 세정하는 공정의 후에 상기 복수의 전자 부품을 2개의 스테이지에 배분하여 배치하는 공정과,
    상기 2개의 스테이지에 각각 배치된 전자 부품을 상기 스테이지마다 검사하는 공정과,
    상기 검사하는 공정에서 불량품이라고 판정된 전자 부품을 상기 스테이지로부터 불량품 트레이에 이재하는 공정과,
    상기 검사하는 공정에서 양품이라고 판정된 전자 부품을 상기 스테이지로부터 양품 트레이에 이재하는 공정을 또한 구비하고,
    상기 불량품 트레이에 이재하는 공정 및 상기 양품 트레이에 이재하는 공정중 적어도 어느 하나의 상기 이재하는 공정과 상기 검사하는 공정을 병행하여 행하고,
    상기 배치하는 공정에서는, 상기 복수의 전자 부품을 체크무늬에서의 하나의 색과 다른 색과의 위치 관계가 되도록 2개의 군으로 배분하고, 상기 2개의 군의 각각을 상기 2개의 스테이지에 배치하는 것을 특징으로 하는 전자 부품의 제조 방법.
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