JP2005327832A - 搬送装置 - Google Patents

Abstract

【課題】高価な特殊ベアリングを用いたり、シャフトを太くしたりすることを避けながら、被搬送物を正確に搬送することができる搬送装置を提供する。
【解決手段】固定系の支持部材１４−１，１４−２と、上記支持部材１４−１，１４−２に両端を支持され互いの軸線方向が平行して位置するように所定の間隔を開けて配設された複数のシャフト１６と、上記シャフト１６に同軸状に所定の間隔を開けて配設された複数のローラ１８と、上記シャフト１６の下方側に配設され内部に液体３００を貯留した槽２２−１，２２−２と、上記槽２２−１，２２−２に貯留された上記液体３００の比重より小さい比重を有し、上記シャフト１６の略中央部位に配設されて上記槽２２−１、２２−２に貯留された上記液体３００に浸漬された補助部材２０とを有する。
【選択図】図３

Description

本発明は、搬送装置に関し、さらに詳細には、半導体基板、液晶素子用ガラス基板、カラーフィルタ基板、特に、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ：Ｌｉｑｕｉｄ Ｃｒｙｓｔａｌ Ｄｉｓｐｌａｙ）、プラズマディスプレイ（ＰＤＰ：Ｐｌａｓｍａ Ｄｉｓｐｌａｙ Ｐａｎｅｌ）ならびに低温ポリシリコンＴＦＴ（ＬＴＰＳ−ＴＦＴ：Ｌｏｗ Ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ Ｐｏｌｙ−ｓｉｌｉｃｏｎ Ｔｈｉｎ Ｆｉｌｍ Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ）を含むＦｌａｔ Ｐａｎｅｌ Ｄｉｓｐｌａｙ（ＦＰＤ）用のガラス基板などの各種被搬送物を搬送する際に用いて好適な搬送装置に関する。

従来より、ＦＰＤ用のガラス基板などの各種の基板（以下、単に「基板」と称する。）を洗浄する洗浄装置には、洗浄に際して基板を１枚ずつ枚葉式で搬送する搬送装置が配設されている（図１（ａ）参照）。

この図１（ａ）に示す従来の搬送装置１００は、複数のローラ１０４を同軸状に配設した複数のシャフト１０２がそれぞれ、その両端部分をシャフト支持部材１０６によって支持され軸線方向が互いに平行して位置するようにして配設されている。そして、図示しない駆動装置の駆動力によってシャフト１０２が軸線回りに回転するのに伴って回転するローラー１０４により、ローラー１０４上に載置された被搬送物たる基板２００が所定の搬送方向に１枚ずつ搬送されるものである。

近年、上記したような従来の搬送装置１００においては、被搬送物である基板の大型化に伴い、シャフト１０２の軸線方向に沿った全長が以前よりも長くなってきている。つまり、図１（ａ）に示す搬送装置１００のシャフト１０２の全長Ｌａより、図１（ｂ）に示す搬送装置１００’のシャフト１０２’の全長Ｌｂは長くなっており、大型の基板２００の広い幅に対応させている。

しかしながら、こうして長いシャフト１０２’が配設された従来の搬送装置１００’（図１（ｂ）参照）においては、シャフト１０２’の全長が長いためにシャフト１０２’がたわんでしまい、ローラ１０４上に載置された被搬送物を水平に維持することができず、被搬送物たる基板２００を正確に搬送することができない恐れがあるという問題点があった。

こうした従来の搬送装置１００’が有する問題点を解決するために、例えば、図２（ａ）に示すように、長いシャフト１０２’の中央部位を支持する中間支持部材１０８を配設することが提案されている。

ところが、基板２００を搬送するために回転するシャフト１０２’を支持する中間支持部材１０８としては、基板２００の洗浄に影響を及ぼすベアリングからの発塵を防止するために、高価な特殊ベアリングを使用しなければならないとともに、その組み付けなどの作業が繁雑化するという新たな問題点が招来されるものであった。

また、従来の搬送装置１００’における長いシャフト１０２’のたわみ量を少なくするために、例えば、図２（ｂ）に示すように、シャフト１０２’に比べて太いシャフト１１０を配設することも提案されている。

ところが、このようにシャフトを太くしてしまうとシャフト１１０の自重が重くなるので、当該シャフト１１０を支持するシャフト支持部材１０６’の強度を増す必要があり、搬送装置１００’の固定系であるシャフト支持部材の構造が複雑になってしまうという新たな問題点が招来されるものであった。

本発明は、上記したような従来の技術の有する種々の問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、高価な特殊ベアリングを用いたり、シャフトを太くしたりすることを避けながら、被搬送物を正確に搬送することができる搬送装置を提供しようとするものである。

上記目的を達成するために、本発明は、被搬送物を搬送する搬送手段のたわみを浮力によって防止するようにしたものである。

即ち、本発明のうち請求項１に記載の発明は、所定の方向に延長されて配設され、軸線回りに回転することにより載置した被搬送物を所定の搬送方向に搬送する搬送手段と、上記搬送手段を浮かべる流体を溜めた貯留手段とを有するようにしたものである。

従って、本発明のうち請求項１に記載の発明によれば、貯留手段に溜められた流体に浮かんでいる搬送手段には浮力が働き、この浮力によって所定の方向に延長されて配設された搬送手段のたわみを防止することができ、高価な特殊ベアリングを用いたり、シャフトを太くしたりすることなしに、被搬送物を正確に搬送することができるようになる。

また、本発明のうち請求項２に記載の発明は、固定系の支持部材と、上記支持部材に両端を支持され互いの軸線方向が平行して位置するように所定の間隔を開けて配設された複数のシャフトと、上記シャフトに同軸状に所定の間隔を開けて配設された複数のローラと、上記シャフトの下方側に配設され内部に液体を貯留した槽と、上記槽に貯留された上記液体の比重より小さい比重を有し、上記シャフトの略中央部位に配設されて上記槽に貯留された上記液体に浸漬された補助部材とを有するようにしたものである。

また、本発明のうち請求項３に記載の発明は、請求項２に記載の発明において、上記補助部材は、上記ローラに載置されて搬送される被搬送物を洗浄するブラシであるようにしたものである。

また、本発明のうち請求項４に記載の発明は、内部に液体を貯留した貯留槽と、上記貯留槽に貯留された液体のない位置において両端を支持され互いの軸線方向が平行して位置するように所定の間隔を開けて配設された複数のシャフトと、上記貯留槽に貯留された上記液体の比重より小さい比重を有し、上記シャフトに配設されて上記貯留槽に貯留された上記液体に浸漬された略円筒状体のローラとを有するようにしたものである。

また、本発明のうち請求項５に記載の発明は、内部に液体を貯留した内槽と、上記内槽の外周側に配設された外槽と、上記外槽の槽壁に両端を支持され互いの軸線方向が平行して位置するように所定の間隔を開けて配設された複数のシャフトと、上記内槽に貯留された上記液体の比重より小さい比重を有し、上記シャフトに配設されて上記内槽に貯留された上記液体に浸漬された略円筒状体のローラとを有するようにしたものである。

また、本発明のうち請求項６に記載の発明は、請求項４または請求項５のいずれか１項に記載の発明において、上記ローラは、ポリビニルアルコールにより形成されており、多くの気泡孔を有する多孔質のスポンジ状の形状を有するようにしたものである。

また、本発明のうち請求項７に記載の発明は、請求項４、請求項５または請求項６のいずれか１項に記載の発明において、上記ローラは１本の上記シャフトに複数配設されており、当該複数のローラのうち少なくとも１以上のローラが、上記液体の比重より小さい比重を有し上記液体に浸漬されるものであるようにしたものである。

また、本発明のうち請求項８に記載の発明は、請求項２、請求項３、請求項４、請求項５、請求項６または請求項７のいずれか１項に記載の発明において、上記シャフトまたは上記ローラの少なくともいずれか一方は、中空構造を有するようにしたものである。

また、本発明のうち請求項９に記載の発明は、請求項２、請求項３、請求項４、請求項５、請求項６、請求項７または請求項８のいずれか１項に記載の発明において、上記液体は、上記ローラに載置されて搬送される被搬送物を洗浄可能な洗浄液であるようにしたものである。

また、本発明のうち請求項１０に記載の発明は、請求項２、請求項３、請求項４、請求項５、請求項６、請求項７または請求項８のいずれか１項に記載の発明において、上記液体は、上記シャフトまたは上記ローラを洗浄可能な洗浄液であるようにしたものである。

また、本発明のうち請求項１１に記載の発明は、請求項２、請求項３、請求項４、請求項５、請求項６、請求項７、請求項８、請求項９または請求項１０のいずれか１項に記載の発明において、さらに、上記液体をフィルタを介して循環する機構を有するようにしたものである。

本発明による搬送装置は、被搬送物を正確に搬送することができるようになるという優れた効果を奏する。

以下、添付の図面に基づいて、本発明による搬送装置の実施の形態の一例を詳細に説明するものとする。

はじめに、図３乃至図５を参照しながら、本発明の第１の実施の形態による搬送装置について説明する。

図３には、本発明による搬送装置の第１の実施の形態を示す概略構成説明図が示されており、図４には、図３のＡ−Ａ線断面図が示されている。

この搬送装置１０は、固定系のベース部材１２と、ベース部材１２から立設されるとともに基板の搬送方向（図３に示す矢印参照）に沿って延長されて互いに対向して配置されたシャフト支持部材１４−１，１４−２と、シャフト支持部材１４−１，１４−２に両端を回動自在に支持されるとともに互いの軸線方向が平行して位置するように所定の間隔を開けて並列状に配設された複数のシャフト１６と、複数のシャフト１６のそれぞれに同軸状に所定の間隔を開けて配設された複数のローラ１８と、複数のシャフト１６のそれぞれの略中央部位に配設された補助部材２０と、シャフト１６の下方側に配設され内部に液体３００が貯留された槽２２−１，２２−２とを有して構成されている。

なお、この実施の形態においては、搬送装置１０によって、図３に示す基板の搬送方向に直交する方向における長さＬ１（幅）がおよそ１１００ｍｍで、図３に示す基板の搬送方向における長さＬ２（長さ）がおよそ１２５０ｍｍのサイズを有する基板２００を搬送するものとする。

ここで、シャフト１６は、例えば、ステンレス鋼（ＳＵＳ）により形成されており、図４に示すように内部は中実である。このシャフト１６の軸線方向に沿った長さは、基板２００の幅（即ち、図３に示す長さＬ１）より長くなるようにして寸法設定されており、例えば、およそ２０００ｍｍ以上である。そして、複数のシャフト１６は、軸線方向が基板の搬送方向と直交する方向に一致するようにそれぞれ配置されるとともに、軸線回りに回転自在な状態でシャフト支持部材１４−１，１４−２に支持されている。

なお、符号２４は、シャフト支持部材１４−２に支持されたシャフト１６の一方の端部に配設された搬送用ギアであり、図示しない駆動装置の駆動力が当該搬送用ギア２４を介してシャフト１６に伝達されるようになされている。この搬送用ギア２４を介して駆動装置の駆動力がシャフト１６に伝達されると、複数のシャフト１６はそれぞれ軸線回りに同一方向で回転するものである。

一方、ローラ１８は、例えば、樹脂により形成されており、図４に示すように内部は中実である。なお、この実施の形態においては、１本のシャフト１６には４つのローラ１８が固定されている。従って、シャフト１６が軸線回りに回転するのに伴って、シャフト１６に配設された複数のローラ１８も同一方向でそれぞれ回転する。

さらに、シャフト１６には補助部材２０が固定されている。この補助部材２０は、後述する液体３００の比重より小さい比重を有する物体であり、全体は略円筒状体であって、シャフト１６の略中央部位に外挿されている。

図５（ａ）（ｂ）（ｃ）を参照しながら、補助部材２０をより詳細に説明すると、補助部材２０は、略円筒状体を中心軸に沿って半分に分割した形状をそれぞれ備えた第１部材２０ａと第２部材２０ｂとにより構成されている（図５（ｂ）参照）。これら第１部材２０ａと第２部材２０ｂとはそれぞれ、ステンレス鋼（ＳＵＳ）により形成されており、図５（ｃ）に示すように内部は中空であって密閉構造を有している。そして、第１部材２０ａと第２部材２０ｂとによってシャフト１６を挟み込むようにして、連結具２６により第１部材２０ａと第２部材２０ｂとを連結してシャフト１６に固定する（図５（ａ）参照）。

なお、こうしてシャフト１６に外装された略円筒状体の補助部材２０の直径Ｒ１（図５（ｃ）参照）は、シャフト１６に配設されたローラ１８の直径Ｒ２（図４参照）より小さくなるようにして寸法設定されている（図３参照）。

そして、複数のシャフト１６にそれぞれ配設された補助部材２０の下方側には、槽２２−１，２２−２が配設されている。これら槽２２−１と槽２２−２とは同一の構成を備えており、内部に液体３００が貯留されている。この液体３００は純水であり、補助部材２０が浸漬可能な水面の高さを維持するように所定量が貯留されている。なお、槽２２−１，２２−２の全体の大きさは、補助部材２０が液体３００に浸浸可能な範囲で寸法設定されている。

以上の構成において、本発明による搬送装置１０を用いて基板２００を搬送するには、まず、駆動装置の駆動力を搬送用ギア２４を介してシャフト１６に伝達する。すると、シャフト１６がそれぞれ軸線回りに同一方向で回転するのに伴って、シャフト１６に配設されたローラ１８が軸線回りに同一方向で回転する。これにより、ローラ１８上に載置された基板２００が、基板の搬送方向（図１参照）に１枚ずつ枚葉式で搬送される。

ここで、シャフト１６の軸線方向に沿った長さは、基板２００の幅より長くなるようにして寸法設定されており、シャフト１６は、大型の基板の広い幅に対応しておよそ２０００ｍｍ以上の長さを有する長いシャフトである。

この搬送装置１０においては、こうした長いシャフト１６を用いているが、シャフト１６の略中央部位に配設された比重の小さい補助部材２０が槽２２−１，２２−２に貯留された液体３００に浸漬しているので、シャフト１６の略中央部位において浮力が働くことになる。

この浮力によってシャフト１６のたわみを防止することができ、その結果、ローラ１８上に載置された基板２００を水平に維持することが可能となり、被搬送物たる基板２００を正確に搬送することができるようになるので、基板搬送性能を向上することができる。

また、浮力を利用してシャフト１６のたわみ防止を実現する本発明の搬送装置１０においては、上記「背景技術」の項において記載した従来の搬送装置１００’（図２（ａ）参照）のように、長いシャフト１０２’の中央部位を支持する中間支持部材１０８を配設する必要がない。

このため、本発明によれば、従来に比べて部品点数を削減することができるとともに、特殊ベアリングを用いる必要がないので、コストを低減することもできる。

また、本発明による搬送装置１０においては、浮力を利用してシャフト１６のたわみ防止を実現できるとともに、シャフト１６を支持する部分であるシャフト支持部材１４−１，１４−２への荷重を小さくすることができるため、シャフト支持部材１４−１，１４−２の軸受部分の磨耗を防止することができる。

また、本発明によれば、上記「背景技術」の項において記載した従来の搬送装置１００’（図２（ｂ）参照）のように、たわみ量を少なくするためにシャフトを太くしてシャフト支持部材１０６’を補強する必要もない。つまり、本発明は、簡単な構成により、長いシャフトのたわみを防止するとともに、当該シャフトを支持する部分への荷重を小さくしているので、正確に被搬送物を搬送することが可能になるとともに、長いシャフトの高速回転にも対応可能なものである。

次に、図６乃至図７を参照しながら、本発明の第２の実施の形態による搬送装置について説明する。

図６には、本発明による搬送装置の第２の実施の形態を示す概略構成説明図が示されており、図７には、図６のＣ−Ｃ線断面図が示されている。

この搬送装置３０は、固定系の略板状体のベース部材３２と、ベース部材３２から立設されてベース部材３２とともに外槽３６を形成する外槽壁３４と、外槽壁３４の内周側においてベース部材３２から立設されてベース部材３２とともに内槽４０を形成する内槽壁３８と、外槽壁３４の基板の搬送方向（図６に示す矢印参照）に沿って互いに対向して延長された部分たるシャフト支持部４２−１，４２−２と、シャフト支持部４２−１，４２−２に両端を支持され互いの軸線方向が平行して位置するように所定の間隔を開けて配設された複数のシャフト４４と、複数のシャフト４４のそれぞれに外挿されて固定された略円筒状体のローラ４６とを有して構成されている。

なお、この第２の実施の形態においても上記した第１の実施の形態と同様に、搬送装置３０によって、図６に示す基板の搬送方向に直交する方向における長さＬ３（幅）がおよそ１１００ｍｍで、図６に示す基板の搬送方向における長さＬ４（長さ）がおよそ１２５０ｍｍのサイズを有する基板２００を搬送するものとする。

ここで、搬送装置３０においては、複数のシャフト４４の下方側において、外槽３６と当該外槽３６の内周側に位置する内槽４０とが配設されている。

外槽３６は、上記したようにベース部材３２と外槽壁３４とによって形成されており、外槽壁３４近傍のベース部材３２には排液口３２ａが穿設されている。この排液口３２ａには、排液管５０（図７参照）が接続されている。

一方、内槽４０は、上記したようにベース部材３２と内槽壁３８とによって形成されており、内槽壁３８には、シャフト支持部４２−１，４２−２によって支持されるシャフト４４が位置する部分が切り欠かれて凹部３８ａが形成されている。また、内槽壁３８近傍のベース部材３２には液体供給口３２ｂが穿設されており、当該液体供給口３２ｂには、供給管５２（図７参照）が接続されている。液体３００がこの供給管５２を介して、内槽４０内に供給されるようになされている。なお、この実施の形態においては、液体３００として純水を用いる。

また、液体供給口３２ｂから内槽４０内に供給される液体３００は、内槽４０の内槽壁３８の凹部３８ａ側から溢れ出すように流量などが調整されている。こうして内槽４０からオーバーフローした液体３００は、内槽４０の外周側に位置する外槽３６内に流入し、外槽３６の排液口３２ａから排液管５０を経て排液されるようになされている。

なお、外槽３６ならびに内槽４０の全体の大きさは、シャフト４４の長さやその数などに応じて寸法設定されており、特に、内槽４０はローラ４６が液体３００に浸浸可能な範囲で寸法設定されている。

ここで、シャフト４４は、例えば、ステンレス鋼（ＳＵＳ）により形成されており、図７に示すように内部は中空である。このシャフト４４の軸線方向に沿った長さは、基板２００の幅（即ち、図６に示す長さＬ３）より長くなるようにして寸法設定されており、例えば、およそ２０００ｍｍ以上である。そして、複数のシャフト４４は、軸線方向が基板の搬送方向と直交する方向に一致するようにそれぞれ配置されるとともに、軸線回りに回転自在な状態でシャフト支持部４２−１，４２−２に支持されている。

なお、符号４８は、シャフト支持部４２−２に支持されたシャフト４４の一方の端部に配設された搬送用ギアであり、図示しない駆動装置の駆動力が当該搬送用ギア４８を介してシャフト４４に伝達されるようになされている。この搬送用ギア４８を介して駆動装置の駆動力がシャフト４４に伝達されると、複数のシャフト４４はそれぞれ軸線回りに同一方向で回転するものである。

一方、ローラ４６は、例えば、ポリビニルアルコール（ＰＶＡ）により形成されており、多くの気泡孔を有する多孔質のスポンジ状の形状を備えている。このようにローラ４６はスポンジ状に形成されているが、その気泡孔の量や材質などを適宜選択することにより、ローラ４６全体としては液体３００の比重より小さい比重を有するものとして構成する。

ローラ４６の全体は略円筒状体であって、内径側の直径はシャフト４４の外径と略同一となるように寸法設定されている。また、ローラ４６の軸線方向に沿った全長は、シャフト４４の両端部近傍を除くほぼ全長にわたるように寸法設定されている。シャフト４４が軸線回りに回転するのに伴って、シャフト４４に外周側に固定されたローラ４６も同一方向で回転する。

以上の構成において、本発明による搬送装置３０を用いて基板２００を搬送するには、まず、駆動装置の駆動力を搬送用ギア４８を介してシャフト４４に伝達する。すると、シャフト４４がそれぞれ軸線回りに同一方向で回転するのに伴って、シャフト４４に配設されたローラ４６が軸線回りに同一方向で回転する。これにより、ローラ４６上に載置された基板２００が基板の搬送方向（図６参照）に１枚ずつ枚葉式で搬送される。

ここで、シャフト４４の軸線方向に沿った長さは、基板２００の幅より長くなるようにして寸法設定されており、シャフト４４は、大型の基板の広い幅に対応しておよそ２０００ｍｍ以上の長さを有する長いシャフトである。

この搬送装置３０においては、こうした長いシャフト４４を用いているが、シャフト４４のほぼ全長にわたって配設された比重の小さいスポンジ状のローラ４６が内槽４０に貯留された液体３００に浸漬しているので、シャフト４４の全長にわたって浮力が働くことになる。

この浮力によってシャフト４４のたわみを防止することができ、その結果、ローラ４６上に載置された基板２００を水平に維持することが可能となり、被搬送物たる基板２００を正確に搬送することができるようになるので、基板搬送性能を向上することができる。

また、本発明による搬送装置３０においては、図７に示されているようにシャフト４４の内部が中空の略円柱状体に形成されているので軽量であり、自重たわみが少ないものである。即ち、中空構造のシャフト４４を用いることにより浮力を増大することができ、シャフト４４のたわみを一層確実に浮力によって防止することができる。

また、本発明による搬送装置３０においては、シャフト４４を支持するシャフト支持部４２−１，４２−２は、外槽３６の外槽壁３４の一部として構成されている。つまり、内部に液体３００が貯留される内槽４０の外部であって、液体３００のない箇所でシャフト４４を支持する構造となっている。このため、本発明によれば、シャフト支持部４２−１，４２−２からの発塵によって異物が液体３００中に混入することを回避することができ、被搬送物である基板２００の破損や汚染を防止することができる。

さらに、本発明による第２の実施の形態の搬送装置３０は、上記した第１の実施の形態の搬送装置１０と同様に、従来に比べて部品点数を削減することができるとともに、高価な特殊ベアリングを用いる必要がないため、コストを低減することもできる。また、簡単な構成で長いシャフトを支持する部分への荷重を小さくすることができるので、シャフト支持部４２−１，４２−２の軸受部分の磨耗を防止でき、長いシャフトの高速回転にも対応可能なものである。

ここで、本発明による第１の実施の形態の搬送装置１０と第２の実施の形態の搬送装置３０とはいずれも、例えば、基板の洗浄装置に配設することができる。

図８には、本発明による第１の実施の形態の搬送装置１０を配設した洗浄装置の一例を示す概略構成説明図が示されている。この図８に示す洗浄装置６０は、本発明による搬送装置１０を収容する処理室６２を備え、当該処理室６２内にはガス噴射孔６４からオゾンガスなどの処理ガスが噴射されるようになされている。

洗浄装置６０における被洗浄物であって、搬送装置１０によって搬送される被搬送物である基板２００は、処理室６２内において搬送装置１０によって正確に搬送されるので、処理ガスによる基板２００の表面の清浄化が均一に行われて良好な洗浄結果を得ることができ、高精度で高速の洗浄を実現することができる。

また、図９には、本発明による第２の実施の形態の搬送装置３０を配設した洗浄装置の一例を示す概略構成説明図が示されている。この図９に示す洗浄装置７０は、本発明による搬送装置３０のローラ４６の上方側に、アルカリ洗浄剤などの洗浄用溶液を噴射するシャワーパイプ７２を備えている。

洗浄装置７０における被洗浄物であり被搬送物である基板２００は、搬送装置３０によって正確に搬送されるので、シャワーパイプ７２から噴射された洗浄用溶液によって基板２００の表面は均一に洗浄されて良好な洗浄結果を得ることができる。この際、本発明による搬送装置３０を用いているのでシャフト４４のたわみが防止されており、シャフトの中央部位などがたわんで、載置されている基板２００の中央部位に洗浄用溶液が溜まってさらにシャフトのたわみ量が増加するようなことがない。その結果、高精度で高速の洗浄を実現することができる。

このように本発明による搬送装置１０，３０は、ドライ洗浄を行う洗浄装置やウェット洗浄を行う洗浄装置に用いて好適なものである。なお、上記した洗浄装置に限られるものではないことは勿論であり、被搬送物を乾燥するためのエアーナイフや排気ダクトなど、洗浄装置に必要な各種構成を付加してもよい。

なお、上記した実施の形態は、以下の（１）乃至（１０）に説明するように適宜に変形してもよい。

（１）上記した実施の形態の搬送装置１０，３０においては、シャフト１６，４４はステンレス鋼（ＳＵＳ）により形成されるようにしたが、これに限られるものではないことは勿論であり、例えば、カーボンやアルミなどの各種材料により形成するようにしてもよい。

また、シャフトの形状も、中空あるいは中実の任意の形状を選択可能なものである。つまり、搬送装置１０のシャフト１６を中空に構成し、搬送装置３０のシャフト４４を中実に構成するようにしてもよい。

また、ＳＵＳのシャフトにＰＦＡコートを施したり、カーボンのシャフトにＰＶＣコートを施したりしてもよく、搬送装置が使用される装置や被搬送物の種類などに応じて適宜変更可能なものである。

（２）上記した実施の形態の搬送装置１０においては、ローラ１８は樹脂により形成されるようにしたが、具体的には、ＰＶＣ、ＰＴＦＥ、ＵＰＥ（ＵＨＭＷ−ＰＥ）、ＰＰＳならびにＰＥＥＫ（登録商標）などの各種樹脂を使用することができる。

また、搬送装置３０においては、ローラ４６はポリビニルアルコール（ＰＶＡ）により形成されるようにしたが、例えばＰＦＡなど、各種の多孔質材料やあるいは多孔質材料とは異なる弾性材料などによりスポンジ様に形成してもよい。要はローラ４６全体として液体３００の比重より小さい比重を有する物体となるように、気泡孔の量や表面のコーティングなどを適宜変更するとよい。

なお、搬送装置３０においては、１本のシャフト４４に単一のローラ４６が配設されるようにしたが、１本のシャフト４４に複数のローラが配設されるようにしてもよく、当該複数のローラがシャフト４４に配設される位置や取り付け構造なども適宜変更可能なものである。こうして複数のローラが１本のシャフト４４に配設される場合には、複数のローラのうち少なくとも１以上のローラが、液体３００の比重より小さい比重を有して液体３００に浸漬されるようにすればよい。

そして、ローラ１８，４６は中実に構成されるのに限られるものではなく、中空に構成されるようにしてもよい。

（３）上記した実施の形態の搬送装置１０においてはシャフト１６にローラ１８が配設され、搬送装置３０においてはシャフト４４にローラ４６が配設されるようにしたが、これに限られるものではないことは勿論であり、基板２００などの被搬送物が載置されるローラと当該ローラを支持し回転するシャフトとを一体的に成型し、中実または中空に構成するようにしてもよい。

（４）上記した実施の形態の搬送装置１０においては、図５（ａ）（ｂ）（ｃ）に示すような補助部材２０をシャフト１６に配設するようにしたが、これに限られるものではないことは勿論であり、水に比べて比重の小さい樹脂（例えば、ポリプロピレン、ポリエチレン、ＵＰＥ）など各種材料によって、中空または中実の構造で、液体３００の比重より小さい比重を有する物体となるように構成すればよい。また、補助部材の全体の大きさや、補助部材がシャフトに配設される位置や数量、そして取り付け構造なども適宜変更可能なものである。

例えば、補助部材をローラに載置されて搬送される基板２００などの被搬送物を洗浄するブラシとして構成すれば、当該ブラシたる補助部材が当接する被搬送物を洗浄することが可能になる。

（５）上記した実施の形態の搬送装置１０，３０においては、搬送用ギア２４，４８を介して駆動装置の駆動力がシャフト１６，４４に伝達されてシャフト１６，４４が軸線回りに回転するようにしたが、これに限られるものではないことは勿論であり、被搬送物を搬送するためにシャフト１６，４４を軸線回りに回転する機構は、搬送装置が使用される装置や被搬送物の種類などに応じて適宜変更可能なものである。

（６）上記した実施の形態の搬送装置１０，３０においては、被搬送物として略矩形形状の板状体の基板２００が搬送されるようにしたが、これに限られるものではないことは勿論であり、本発明による搬送装置は、各種形状・用途の基板や精密部品などの種々の被搬送物の搬送に用いて好適なものであり、被搬送物の種類や大きさなどに応じて寸法設定や材料などを変更するとよい。

（７）上記した実施の形態の搬送装置３０においては、シャフト４４の下方側に外槽３６と内槽４０とが配設されるようにしたが、これに限られるものではないことは勿論であり、外槽３６を配設せずに内槽４０のみが配設されるようにしてもよい。その際、液体３００をオーバーフローさせずに、また、シャフト４４が内槽４０の内槽壁３８によって回転自在に支持されるようにしてもよい。

要は、液体３００のない位置においてシャフトの両端を支持する構造とすることで、シャフトを支持する部位からの発塵によって異物が液体３００中に混入することを回避することができ、被搬送物の破損や汚染を防止することができる。

（８）上記した実施の形態の搬送装置３０において、さらに、排液管５０と供給管５２とを連結する配管を配設し、当該配管にフィルタや循環ポンプなどを配設して、液体３００をフィルタを介して循環する機構を有するようにしてもよい。このようにすると、シャフト４４の下方側に溜めた液体３００をフィルタを介して循環できるので、異物の巻き上がりによる基板２００への付着を防止することができる。

なお、こうした液体３００をフィルタを介して循環する機構は、搬送装置１０においても配設可能なものである。

（９）上記した実施の形態の搬送装置１０，３０においては、液体３００は純水であるようにしたが、これに限られるものではないことは勿論であり、液体３００としては、例えば、水道水、界面活性剤や有機溶剤を含んだ水などを使用することができる。そして、使用する液体の種類によって、当該液体が貯留される槽の材質や構造を適宜変更すればよい。

また、浮力を得るための液体３００に代えて、本発明による搬送装置が使用される装置や被搬送物の種類などに応じては、ガスなどの気体を使用することもでき、流体によって浮力が得られるようにすればよい。

そして、液体３００として洗浄液を用いた場合には、液体３００によって浮力が得られるとともに、搬送装置３０においてはスポンジ状のローラ４６が当接する基板２００の面を洗浄することができるようになる。さらに、搬送装置３０においては、内槽４０からオーバーフローする液体３００に基板２００が水没するような構成とすれば、液体３００たる洗浄液によって基板の両面を洗浄することができる。

さらに、液体３００として洗浄液を使用する場合に、液体３００を攪拌する手段や２流体シャワーなどを付加することにより、搬送装置３０を洗浄装置として用いることができる。

そして、液体３００たる洗浄液の種類を適宜選択することにより、搬送装置１０，３０のシャフト１６，４４やローラ１８，４６を洗浄することも可能であり、装置全体を清潔に保つことができる。

（１０）上記した実施の形態ならびに上記（１）乃至（９）に示す変形例は、適宜に組み合わせるようにしてもよい。

本発明は、ＦＰＤの製造工程やプリント基板の製造工程において利用することができる。

（ａ）（ｂ）は、従来の搬送装置の一例を示す概略構成説明図である。 （ａ）（ｂ）は、従来の搬送装置の他の例を示す概略構成説明図である。 本発明による搬送装置の第１の実施の形態を示す概略構成説明図である。 図３のＡ−Ａ線断面図である。 図３に示す搬送装置の補助部材を中心に示す説明図であり、（ａ）はシャフトに固定されている補助部材を示す概略構成斜視説明図であり、（ｂ）は（ａ）に示す補助部材の概略構成分解斜視説明図であり、（ｃ）は（ａ）のＢ−Ｂ線端面図である。 本発明による搬送装置の第２の実施の形態を示す概略構成説明図である。 図６のＣ−Ｃ線断面図である。 本発明による第１の実施の形態の搬送装置を配設した洗浄装置の一例を示す概略構成説明図である。 本発明による第２の実施の形態の搬送装置を配設した洗浄装置の一例を示す概略構成説明図である。

符号の説明

１０，３０ 搬送装置
１２，３２ ベース部材
１４−１，１４−２ シャフト支持部材
１６，４４ シャフト
１８，４６ ローラ
２０ 補助部材
２２−１，２２−２ 槽
３６ 外槽
４０ 内槽
４２−１，４２−２ シャフト支持部
１００，１００’ 搬送装置
２００ 基板
３００ 液体

Claims (11)

1. 所定の方向に延長されて配設され、軸線回りに回転することにより載置した被搬送物を所定の搬送方向に搬送する搬送手段と、
   前記搬送手段を浮かべる流体を溜めた貯留手段と
   を有することを特徴とする搬送装置。
2. 固定系の支持部材と、
   前記支持部材に両端を支持され互いの軸線方向が平行して位置するように所定の間隔を開けて配設された複数のシャフトと、
   前記シャフトに同軸状に所定の間隔を開けて配設された複数のローラと、
   前記シャフトの下方側に配設され内部に液体を貯留した槽と、
   前記槽に貯留された前記液体の比重より小さい比重を有し、前記シャフトの略中央部位に配設されて前記槽に貯留された前記液体に浸漬された補助部材と
   を有することを特徴とする搬送装置。
3. 請求項２に記載の搬送装置において、
   前記補助部材は、前記ローラに載置されて搬送される被搬送物を洗浄するブラシである
   ことを特徴とする搬送装置。
4. 内部に液体を貯留した貯留槽と、
   前記貯留槽に貯留された液体のない位置において両端を支持され互いの軸線方向が平行して位置するように所定の間隔を開けて配設された複数のシャフトと、
   前記貯留槽に貯留された前記液体の比重より小さい比重を有し、前記シャフトに配設されて前記貯留槽に貯留された前記液体に浸漬された略円筒状体のローラと
   を有することを特徴とする搬送装置。
5. 内部に液体を貯留した内槽と、
   前記内槽の外周側に配設された外槽と、
   前記外槽の槽壁に両端を支持され互いの軸線方向が平行して位置するように所定の間隔を開けて配設された複数のシャフトと、
   前記内槽に貯留された前記液体の比重より小さい比重を有し、前記シャフトに配設されて前記内槽に貯留された前記液体に浸漬された略円筒状体のローラと
   を有することを特徴とする搬送装置。
6. 請求項４または請求項５のいずれか１項に記載の搬送装置において、
   前記ローラは、ポリビニルアルコールにより形成されており、多くの気泡孔を有する多孔質のスポンジ状の形状を有する
   ことを特徴とする搬送装置。
7. 請求項４、請求項５または請求項６のいずれか１項に記載の搬送装置において、
   前記ローラは１本の前記シャフトに複数配設されており、該複数のローラのうち少なくとも１以上のローラが、前記液体の比重より小さい比重を有し前記液体に浸漬されるものである
   ことを特徴とする搬送装置。
8. 請求項２、請求項３、請求項４、請求項５、請求項６または請求項７のいずれか１項に記載の搬送装置において、
   前記シャフトまたは前記ローラの少なくともいずれか一方は、中空構造を有する
   ことを特徴とする搬送装置。
9. 請求項２、請求項３、請求項４、請求項５、請求項６、請求項７または請求項８のいずれか１項に記載の搬送装置において、
   前記液体は、前記ローラに載置されて搬送される被搬送物を洗浄可能な洗浄液である ことを特徴とする搬送装置。
10. 請求項２、請求項３、請求項４、請求項５、請求項６、請求項７または請求項８のいずれか１項に記載の搬送装置において、
    前記液体は、前記シャフトまたは前記ローラを洗浄可能な洗浄液である
    ことを特徴とする搬送装置。
11. 請求項２、請求項３、請求項４、請求項５、請求項６、請求項７、請求項８、請求項９または請求項１０のいずれか１項に記載の搬送装置において、さらに、
    前記液体をフィルタを介して循環する機構を有する
    ことを特徴とする搬送装置。

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