KR20100058707A - 기판 이송 장치 - Google Patents

Abstract

기판 이송 장치는 경사각을 갖도록 배치되고 평판형 기판이 경사각을 갖는 상태로 적재되는 캐리어와, 일 방향으로 배치되고 캐리어를 지지하여 캐리어와 기어 결합하며 캐리어를 경사각을 갖는 상태로 이송하기 위해 회전하는 이송 기어들과, 이송 기어들과 연결되며 이송 기어들이 회전하도록 회전력을 제공하는 구동부를 포함한다. 따라서, 기판을 거의 수직에 가까운 상태로 이송하는 것이 가능하여 기판 처리 설비 면적을 크게 감소시킬 수 있다.

Description

기판 이송 장치{Apparatus for transferring a substrate}

본 발명은 기판 이송 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 평판형 기판을 큰 경사각을 갖는 상태로 이송하기 위한 기판 이송 장치에 관한 것이다.

일반적으로 처리된 정보의 표시를 위해 평판 디스플레이 장치가 널리 사용되고 있으며, 평판 디스플레이 장치의 대표적인 예로는 액정 표시 장치(LCD), 플라즈마 표시 장치(PDP), 유기 발광 표시 장치(OLED) 등을 들 수 있다.

이러한 평판 디스플레이 장치는 평판형 기판을 대상으로 상기 평판형 기판 상에 회로 패턴을 형성하기 위한 증착 공정, 식각 공정, 포토리소그래피 공정, 세정 공정, 검사 공정 등의 단위 공정들을 반복적으로 수행하여 제조된다.

상기 단위 공정들 중 식각 공정, 세정 공정 등은 액상의 처리 물질을 이용하여 상기 평판형 기판을 처리하게 된다. 이처럼 액상의 처리 물질을 이용하여 평판형 기판을 처리하는 경우 상기 평판형 기판을 소정 각도(약 6°각도)로 경사지도록 배치하여 이송하면서 처리 공정을 수행하는 방식이 일반적으로 사용된다. 즉, 상기 평판형 기판을 이송하기 위한 회전축들 및 회전 롤러들을 기울어지도록 배치하여 상기 평판형 기판이 기울어진 상태에서 이송되면서 상기 평판형 기판에 대한 처리 공정을 수행한다.

최근에는 디스플레이 장치의 대형화 요구에 의해 상기 평판형 기판의 면적이 점차 증가됨에 따라 상기 기판의 처리 공정 설비의 크기도 점차 증가되고 있다. 따라서 상기 기판 처리 설비의 설치 공간 확대에 다른 클린룸의 공간 사용 효율이 감소될 수 있다. 이에, 상기 클린룸의 공간 사용 효율을 증대시키기 위하여 상기 기판 처리 설비가 차지하는 면적을 감소시키기 위한 방안으로 상기 기판의 경사도를 증가시킬 수 있다.

하지만, 현재 적용되고 있는 롤러 방식의 기판 이송으로는 상기 기판의 경사도를 증가시키는데 한계가 있다.

상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 일 과제는 평판형 기판의 이송에서 기판의 경사도를 증가시킬 수 있는 기판 이송 장치를 제공하는 것이다.

상기 본 발명의 일 과제를 달성하기 위해 본 발명에 따른 기판 이송 장치는 경사각을 갖도록 배치되고, 평판형 기판이 상기 경사각을 갖는 상태로 적재되는 캐리어와, 일 방향으로 배치되고 상기 캐리어를 지지하여 상기 캐리어와 기어 결합하며, 상기 캐리어를 상기 경사각을 갖는 상태로 이송하기 위해 회전하는 이송 기어들과, 상기 이송 기어들과 연결되며, 상기 이송 기어들이 회전하도록 회전력을 제공하는 구동부를 포함할 수 있다.

여기서, 일 실시예에 따르면, 상기 캐리어의 일측에 배치되어 상기 캐리어의 이송 중에 상기 캐리어가 상기 경사각을 유지하도록 지지하는 아이들 롤러들(idle rollers)을 포함할 수 있다.

다른 실시예에 따르면, 상기 캐리어는 상기 이송 기어들과 접하는 하부에 상기 이송 기어들과 기어 결합을 위한 랙 기어가 구비될 수 있다.

또 다른 실시예에 다르면, 상기 캐리어는 상기 경사각에 대해 수직하며, 상기 경사각을 갖는 기판을 지지하는 제1 플레이트와, 상기 경사각을 갖고 상기 제1 플레이트의 일측에 접하는 제2 플레이트와, 상기 제1 플레이트에 지지된 상기 기판의 일측에 배치되어 상기 기판이 경사각을 갖도록 지지하며 아이들 회전하는 제1 아이들 롤러들을 포함할 수 있다.

또 다른 실시예에 다르면, 상기 제1 플레이트는 상기 기판을 안정적으로 지지하기 위해 상면에 상기 일 방향으로 형성된 슬릿 형태의 안착홈이 구비될 수 있다.

또 다른 실시예에 다르면, 상기 제1 플레이트는 상기 기판이 적재될 때 상기 안착홈을 따라 슬라이드 될 수 있게 상기 기판을 지지하기 위하여 회전 가능하게 구성된 제2 아이들 롤러들이 구비될 수 있다.

또 다른 실시예에 다르면, 상기 제2 아이들 롤러들은 상기 안착홈과 겹쳐지며, 상기 제1 플레이트 내에 배치되어 상기 제1 플레이트의 상면보다 낮은 높이를 갖고, 상기 안착홈의 바닥 높이보다는 높은 위치를 가질 수 있다.

또 다른 실시예에 따르면, 상기 캐리어 및 기판이 갖는 상기 경사각의 범위는 60ㅀ내지 80ㅀ인 것을 특징으로 한다.

또 다른 실시예에 따르면, 상기 구동부는 상기 회전력을 제공하는 동력 제공부와, 상기 동력 제공부와 상기 이송 기어들 사이에 연결되어 상기 회전력을 전달하는 동력 전달부를 포함할 수 있다.

또 다른 실시예에 따르면, 상기 동력 전달부는 제1 동력 전달부 및 제2 동력 전달부를 포함할 수 있다. 상기 제1 동력 전달부는 상기 동력 제공부와 연결된 타이밍 벨트와, 상기 타이밍 벨트와 연결된 다수의 구동 기어들과, 상기 구동 기어들과 결합된 다수의 제1 구동축들과, 상기 제1 구동축들의 단부들에 배치되며 영구 자석들을 포함하는 제1 마그네틱 기어들을 포함할 수 있다. 상기 제2 동력 전달부 는 상기 제1 마그네틱 기어들과 각각 마주하여 배치되며 영구 자석들을 포함하는 제2 마그네틱 기어들과, 상기 제2 마그네틱 기어들과 상기 이송 기어들 사이를 연결하는 제2 구동축들을 포함하는 제2 동력 전달부를 포함할 수 있다. 여기서, 상기 제1 및 제2 동력 전달부들 사이에서의 회전력 전달은 상기 제1 및 제2 마그네틱 기어들의 영구 자석들 사이에서 작용하는 자기력에 의해 이루어진다.

또 다른 실시예에 따르면, 상기 제1 및 제2 동력 전달 부재들은 상기 기판의 처리를 위한 챔버의 일 측벽을 사이에 두고 서로 마주하여 배치될 수 있다.

이와 같이 구성된 본 발명에 따른 이와 같이 구성된 본 발명에 따른 기판 이송 장치는 대면적을 갖는 차세대 평판형 기판의 처리를 위하여 상기 기판을 이송할 때 캐리어 및 이송 기어들을 이용하여 기판의 거의 수직에 가까운 상태로 이송함으로써 상기 기판의 처리를 위한 설비 면적을 크게 감소시킬 수 있다.

또한 상기 기판 이송 장치는 기판의 처리 설비 면적을 감소시킬 수 있으므로 상기 기판 처리 설비가 설치되는 클린룸의 공간 사용 효율을 크게 향상시킬 수 있다.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 기판 세정 장치에 대하여 상세히 설명한다.

본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 발명의 명확성을 기하기 위해 실제보다 확대하거나, 개략적인 구성을 설명하기 위하여 실제보다 축소하여 도시한 것이다. 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다.

본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.

한편, 다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용 되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.

실시예

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치를 나타내는 개략적인 구성도이고, 도 2는 도 1에 도시된 기판 이송 장치를 나타내는 개략적인 측면도이며, 도 3은 도 1에 도시된 구동부를 설명하기 위한 개략적인 도면이며, 도 4는 도 1의 Ⅰ-Ⅰ′선을 따라서 자른 단면도이다.

도 1 내지 도 4를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치(100)는 유리 기판과 같은 평판형 기판(G)에 대한 처리 공정에서 상기 기판(G)을 일 방향으로 이송하기 위하여 사용될 수 있다.

상기 평판형 처리 공정의 예로는 기판(G) 상의 막 또는 불순물을 제거하기 위한 식각 공정, 기판(G) 상의 불순물을 제거하기 위한 세정 공정, 식각 또는 세정 후 기판(G)을 린스 처리하기 위한 린스 공정, 기판(G)을 건조시키기 위한 건조 공정 등이 있다. 도시되지는 않았으나, 상기와 같은 처리 공정을 수행하기 위하여, 상기 기판 이송 장치(100)에 의해 이송되는 기판의 전면 및/또는 후면과 마주하는 위치에는 상기 기판(G)의 처리를 위한 약액 또는 처리 가스 등을 제공하는 노즐들, 에어 나이프(air knife) 또는 샤워 나이프(shower knife) 등이 배치될 수 있다.

상기 기판 이송 장치(100)는 제1 경사각을 갖도록 배치되어 평판형 기판(G)을 상기 제1 경사각을 갖는 상태로 적재하는 캐리어(110)와, 상기 캐리어(110)를 지지하여 상기 캐리어(110)와 기어 결합하며 상기 캐리어(110)를 이송하기 위해 회전 동작하는 이송 기어들(120)과, 상기 이송 기어들(120)과 연결되며 회전력을 제공하는 구동부(130)를 포함할 수 있다.

상기 캐리어(110)는 적재되는 기판(G)을 제1 경사각을 갖는 상태로 지지한다. 본 실시예에서 캐리어(110)는 기판(G)을 적재하여 이송하기 위한 운반 수단으로 사용된다. 즉, 상기 캐리어(110)에 기판(G)을 적재한 상태로 캐리어(110)를 이송하여 상기 기판(G)을 이송하게 된다. 상기 캐리어(110)는 기판(G)의 이송 방향 즉, 캐리어(110)의 이송 방향인 상기 이송 기어들(120)의 회전 방향으로 배치된다.

상기 캐리어(110)는 제1 경사각에 대해 수직한 제2 경사각으로 배치되어 제1 경사각을 갖는 기판(G)을 지지하는 제1 플레이트(111)와, 제1 경사각을 갖도록 배치되며 제1 플레이트(110)의 일측에 접하는 제2 플레이트(112)를 포함할 수 있다. 상기 캐리어(110)가 기판(G)의 이송 방향으로 배치됨은 상기 제1 및 제2 플레이트(111, 112)가 상기 기판(G)의 이송 방향과 평행하게 배치되는 것을 말한다. 상기 기판(G)을 지지하는 제1 플레이트(111)의 상면에는 상기 기판(G)을 안정적으로 지지할 수 있도록 안착홈(113)이 구비될 수 있다. 상기 안착홈(113)은 상기 기판(G)의 이송 방향을 따라서 형성된 슬릿 형태를 갖는다. 또한, 상기 안착홈(113)은 기판(G)이 수납될 수 있도록 기판(G)의 두께와 적어도 같거나, 기판(G)의 두께보다 조금 더 큰 폭을 갖는다. 또한, 상기 캐리어(110)는 제1 플레이트(111)에 지지된 기판(G)이 제1 경사각을 유지하도록 기판(G)의 일측(예컨대 일평면 방향)에 배치되어 상기 기판(G)을 지지하는 제1 아이들 롤러들(114)을 가질 수 있다.

본 실시예에서 상기 캐리어(110)에 기판(G)을 적재하는 방식은 슬라이드 방식이 이용될 수 있다. 이에, 상기 캐리어(110)에는 기판(G)이 슬라이드 방식으로 투입될 때 상기 기판(G)을 지지하며 아이들 회전하는 제2 아이들 롤러들(115)이 구비된다. 상기 기판(G)은 상기 안착홈(113)을 통해서 투입된다. 따라서 도 4의 도면에서와 같이 상기 제2 아이들 롤러들(115)은 기판(G)의 이송 방향과 수직한 회전축을 갖고, 상기 안착홈(113)과 겹쳐지게 배치된다. 또한, 상기 제2 아이들 롤러들(115)은 상기 안착홈(113)의 바닥면보다는 조금 더 높은 높이를 갖도록 배치된다. 이를 위해, 상기 제2 아이들 롤러들(115)은 상기 제1 플레이트(111) 내에 배치되어 상기 제1 플레이트(111)의 상면보다 낮은 높이를 가질 수 있다. 즉, 상기 제2 아이들 롤러들(115)은 상기 제1 플레이트(111) 내에 삽입되는 형상을 갖는다. 한편, 상기 캐리어(110)에 기판(G)이 투입될 때 상기 제1 아이들 롤러들(114)이 상기 기판(G)의 일 평면을 지지하며 아이들 회전하여 상기 기판(G)이 수월하게 투입되도록 보조한다. 결과적으로, 상기 기판(G)은 제1 및 제2 아이들 롤러들(114, 115)에 지지된 상태에서 상기 제1 및 제2 아이들 롤러들(114, 115)의 아이들 회전을 통해 수월하게 캐리어(110)에 적재된다.

특히, 본 실시예에서는 상기 제1 플레이트(111)의 하면에 상기 캐리어(110)를 상기 이송 기어들(120)과 기어 결합시키기 위한 랙 기어(116)가 구비된다. 상기 랙 기어(116)는 상기 제1 플레이트(111)의 하면에서 상기 기판(G)의 이송 방향을 따라서 배치된다. 즉, 상기 랙 기어(116)는 기어 이들이 일렬로 배치되는 구조를 갖는다. 상기 랙 기어(116)의 기어 이의 형상은 통상의 기어들이 갖는 기어 이의 형상을 갖는다. 상기 랙 기어(122)의 기어 이의 형상 및 개수는 한정되지 않고, 동력 전달이 가능하다면 다양한 형상 및 개수를 가질 수 있다.

도 5는 도 1에 도시된 이송 기어를 나타내는 개략적인 정면도이다.

도 5를 추가적으로 참조하면, 상기 이송 기어들(120)은 상기 캐리어(110)를 지지하며, 캐리어(110)를 제1 경사각을 갖는 상태로 이송하는 역할을 한다. 이를 위해 상기 이송 기어들(120)은 회전 동작한다. 즉, 이송 기어들(120)은 캐리어(110)를 지지하여 상기 제1 플레이트(111)의 하면에 구비되는 랙 기어(116)와 기어 결합하며, 회전을 통해 지지된 캐리어(110)를 회전 방향으로 이송한다. 이 때, 상기 이송 기어들(120)의 외주면 형성되는 기어 이는 상기 랙 기어(116)의 형상에 대응하는 형상을 갖는다. 예를 들어, 상기 랙 기어(116)가 삼각 형상의 기어 이를 갖는 경우 상기 이송 기어들(120)도 삼각 형사의 기어 이를 갖는다. 결과적으로 상기 이송 기어들(120)은 상기 랙 기어(116)와 기어 결합이 가능하다면 충분하다. 상기 이송 기어들(120)은 기판(G)의 이송 방향을 따라서 배치되며, 상기 캐리어(110)를 수평 이동시키기 위해 상기 이송 기어들(120)이 동일한 높이로 배치되는 것이 바람직하다. 상기 이송 기어들(120)의 간격, 장착 수량, 직경 등은 상기 캐리어(110)의 크기 즉, 기판(G)의 크기에 따라서 다양하게 변경될 수 있으므로, 이에 의해 본 발명의 범위가 한정되지는 않을 것이다.

상기 이송 기어들(120)은 상기 캐리어(110)가 갖는 제1 경사각과 수직한 회전축을 갖도록 배치된다. 이는 상기 캐리어(110)가 제1 경사각을 갖는 상태로 상기 이송 기어들(120)에 지지되므로, 안정적인 지지와 원활한 이송을 위함이다. 다시 말해서, 이송 기어들(120)과 상기 캐리어(110)의 제1 플레이트(111)가 서로 평행할 수 있게 상기 이송 기어들(120)을 배치시키는 것이다. 이와 달리, 상기 이송 기어들(120)은 수평 회전축을 가질 수 있다. 이 경우 상기 캐리어(110)가 수평 회전축을 갖는 이송 기어들(120)과 평행한 상태로 접촉할 수 있게, 상기 제1 플레이트(111)의 하면이 수평을 갖도록 형성될 수 있을 것이다.

다시 도 1 내지 도 4를 참조하면, 상기 구동부(140)는 상기 회전력을 발생시키는 동력 제공부(150)와 상기 회전력을 전달하는 동력 전달부(160)를 포함할 수 있다.

상기 동력 제공부(150)는 회전력을 제공하는 모터(미도시)와 상기 모터의 회전력 및 회전 속도 등을 조절하기 위한 감속기(미도시)를 포함할 수 있다. 또한, 상기 모터(미도시)에 의해 회전하는 피니언 기어(151)를 포함할 수 있다.

상기 동력 전달부(160)는 상기 챔버(102)의 외부에 배치되는 제1 동력 전달부(170)와 상기 챔버(102) 내부에 배치되는 제2 동력 전달부(180)를 포함할 수 있다.

상기 제1 동력 전달부(170)는 타이밍 벨트(171)와 다수의 구동 기어들(172)을 포함할 수 있다. 상기 구동 기어들(172)은 상기 기판(G)의 이송 방향과 평행하게 배열되며, 제1 구동축들(173)과 결합된다. 상기 제1 구동축들(173)은 상기 챔버(102) 외측에서 제1 지지부재(174)에 의해 지지된다. 상기 제1 지지부재(174)는 상기 챔버(102)의 일측 벽(102a)에 장착된 브래킷(미도시) 상에 배치될 수 있으며, 상기 제1 구동축들(173)의 원활한 회전을 위하여 다양한 형태의 베어링들을 포함할 수 있다.

상기 타이밍 벨트(171)는 상기 동력 제공부(150)의 피니언 기어(151)와 상기 구동 기어들(172)을 연결함으로써 상기 회전력을 상기 제1 구동축들(173) 모두에 일정하게 전달할 수 있다.

상기 제1 구동 기어들(172) 사이에는 상기 회전력의 전달 효율을 향상시키기 위한 제1 아이들 기어들(idle gears, 175)이 배치될 수 있으며, 상기 동력 제공부(150)의 피니언 기어(151)와 인접하는 위치에는 상기 타이밍 벨트(171)의 장력을 조절하기 위한 제2 아이들 기어(176, 도 3 참조)가 배치될 수 있다.

한편, 상기 제1 구동축들(173)은 상기 챔버(102)의 일 측벽(102a)을 향하여 연장하며, 상기 제1 구동축들(173)의 단부들에는 제1 마그네틱 기어들(177)이 각각 결합된다.

상기 제2 동력 전달부(180)는 상기 제1 마그네틱 기어들(177)과 각각 마주하여 배치되는 제2 마그네틱 기어들(181)과, 상기 제2 마그네틱 기어들(181)과 상기 이송 기어들(120) 사이를 연결하는 제2 구동축들(182)을 포함할 수 있다.

상기 제1 및 제2 마그네틱 기어들(177, 181)은 각각 다수의 영구 자석들을 포함하며, 상기 제1 및 제2 마그네틱 기어들(177, 181) 사이에서 상기 영구 자석들에 의해 작용하는 자기력에 의해 회전력 전달이 이루어진다. 구체적으로, 각각의 제1 및 제2 마그네틱 기어들(177, 181)은 자체의 중심에 대하여 방사상으로 배치되는 다수의 영구 자석들을 포함하며, 상기 자석들은 원주 방향으로 극성이 번갈아 바뀌도록 배치된다.

또한, 상기 제1 및 제2 마그네틱 기어들(177, 181)은 상기 챔버(102)의 일 측벽을 사이에 두고 서로 마주하며, 상기 챔버(102)의 일 측벽으로부터 소정 간격 이격되어 배치되므로, 상기 동력 제공부(150) 및 제1 동력 전달부(180)의 구동에 의해 발생되는 진동이 이송 벨트(110) 전달되는 것을 방지할 수 있다.

결과적으로, 상기 동력 제공부(150)로부터 제공되는 회전력은 타이밍 벨트(171), 구동 기어들(172), 제1 구동축들(173), 제1 마그네틱 기어들(177), 제2 마그네틱 기어들(181), 제2 구동축들(182) 및 이송 기어들(120)을 통해 상기 이송 벨트(110)로 전달된다. 상기와 같이 동력 제공부(150)로부터 상기 회전력이 각각의 이송 기어들(120) 모두에 균일하게 전달될 수 있으므로, 상기 이송 벨트(110)는 원활하게 회전하게 된다.

상기 제2 구동축들(182)은 상기 챔버(102) 내에 구비되는 제2 지지부재들(183)에 의해 지지될 수 있으며, 상기 제2 지지부재들(183)은 상기 제2 구동축들(182)의 원활한 회전을 위하여 다양한 형태의 베어링들을 포함할 수 있다.

여기서, 상기 제2 구동축들(182)은 상기 이송 기어들(120)의 회전축으로 기능한다. 따라서, 제2 구동축들(182)들은 상기 이송 기어들(120)이 상기 캐리어(110)가 갖는 경사각에 대해 수직한 회전축을 가질 수 있도록 상기 캐리어(110)의 경사각에 수직하게 배치될 수 있다. 따라서, 상기 제2 지지부재(183)들은 상기 제2 구동축들(182)을 상기 캐리어(110)의 경사각과 수직한 상태로 지지한다.

도 1 및 도 2를 참조하면, 상기 기판 이송 장치(100)는 상기 캐리어(110)가 경사각을 갖는 상태로 이송될 때 쓰러지지 않고 상기 경사각을 유지하도록 상기 캐 리어(110)를 지지하는 제3 아이들 롤러들(140)을 포함할 수 있다. 상기 제3 아이들 롤러들(140)은 상기 경사각을 갖는 캐리어(110)의 일측에 배치되며, 상기 캐리어(110)의 이송을 방해하지 않기 위해 상기 캐리어(110)의 이송 방향과 수직한 방향의 회전축을 갖고 아이들 회전한다. 상기 아이들 롤러들(140)은 챔버(102) 내에 구비된 브래킷(142)에 설치될 수 있다. 예를 들어, 상기 아이들 롤러들(140)은 상기 챔버(102)의 일측벽(102a)에 구비될 수 있다. 그러나 상기 아이들 롤러들(140)은 상기 챔버(102) 내에서 다양한 형태로 제공될 수 있으며, 상기 캐리어(110)의 이송 중에 상기 캐리어(110)가 상기 경사각을 유지하도록 지지할 수 있으면 충분하다.

한편, 상기 캐리어(110)가 이송 중에 갖게 되는 경사각은 그 범위가 약 60ㅀ 내지 80ㅀ인 것이 바람직하다. 상기 캐리어(110)의 경사각이 약 60° 미만인 경우, 상기 아이들 롤러들(140)에 작용되는 기판(G)이 적재된 캐리어(110)의 하중이 증가될 수 있으며, 이 경우 캐리어(110)를 지지하기 위해서는 매우 많은 수량의 아이들 롤러들(140)이 요구된다. 또한, 종래의 수평 이송에 비하여 공간 효율 측면에서 그다지 큰 효과를 거둘 수 없게되어 바람직하지 못하다. 그러나, 상기 캐리어(110)의 경사각이 60° 미만인 경우에도 본 발명의 기술적 범위에 해당될 수 있음은 자명하다.

상술한 바와 같이, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기판 이송 장치에 의하면 평판형 기판의 처리를 위하여 상기 기판을 이송하는 장치에서 기판을 적재하 는 캐리어 및 상기 캐리어를 지지하여 기어 결합하는 이송 기어들을 이용하여 캐리어를 거의 수직에 가까운 상태로 이송함으로써, 궁극적으로 기판을 거의 수직에 가까운 상태로 이송하여 상기 기판의 처리를 위한 설비 면적을 크게 감소시킬 수 있다.

또한 상기 기판 이송 장치는 기판의 처리 설비 면적을 감소시킬 수 있으므로 상기 기판 처리 설비가 설치되는 클린룸의 공간 사용 효율을 크게 향상시킬 수 있다.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치를 나타내는 개략적인 구성도이다.

도 2는 도 1에 도시된 기판 이송 장치를 나타내는 개략적인 측면도이다.

도 3은 도 1에 도시된 구동부를 설명하기 위한 개략적인 도면이다.

도 4는 도 1의 Ⅰ-Ⅰ′선을 따라서 자른 단면도이다.

도 5는 도 1에 도시된 이송 기어를 나타내는 개략적인 정면도이다.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *

100: 기판 이송 장치 102: 챔버

110: 캐리어 111: 제1 플레이트

112: 제2 플레이트 113: 안착홈

114: 제1 아이들 롤러 115: 제2 아이들 롤러

116: 랙 기어 120: 이송 기어

130: 구동부 140: 제3 아이들 롤러

142: 브래킷 150: 동력 제공부

152: 피니언 기어 160: 동력 전달부

170: 제1 동력 전달부 171: 타이밍 벨트

172: 구동 기어 173: 제1 구동축

174: 제1 지지부재 175: 제1 아이들 기어

176: 제2 아이들 기어 177: 제1 마그네틱 기어

180: 제2 동력 전달부 181: 제2 마그네틱 기어

182: 제2 구동축 183: 제2 지지부재

G: 기판

Claims (11)

1. 경사각을 갖도록 배치되고, 평판형 기판이 상기 경사각을 갖는 상태로 적재되는 캐리어;

   일 방향으로 배치되고 상기 캐리어를 지지하여 상기 캐리어와 기어 결합하며, 상기 캐리어를 상기 경사각을 갖는 상태로 이송하기 위해 회전하는 이송 기어들; 및

   상기 이송 기어들과 연결되며, 상기 이송 기어들이 회전하도록 회전력을 제공하는 구동부를 포함하는 기판 이송 장치.
2. 제1항에 있어서, 상기 캐리어의 일측에 배치되어 상기 캐리어의 이송 중에 상기 캐리어가 상기 경사각을 유지하도록 지지하는 아이들 롤러들(idle rollers)을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
3. 제1항에 있어서, 상기 캐리어는 상기 이송 기어들과 접하는 하부에 상기 이송 기어들과 기어 결합을 위한 랙 기어가 구비되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
4. 제1항에 있어서, 상기 캐리어는

   상기 경사각에 대해 수직하며, 상기 경사각을 갖는 기판을 지지하는 제1 플 레이트;

   상기 경사각을 갖고 상기 제1 플레이트의 일측에 접하는 제2 플레이트; 및

   상기 제1 플레이트에 지지된 상기 기판의 일측에 배치되어 상기 기판이 경사각을 갖도록 지지하며 아이들 회전하는 제1 아이들 롤러들을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
5. 제4항에 있어서, 상기 제1 플레이트는 상기 기판을 안정적으로 지지하기 위해 상면에 상기 일 방향으로 형성된 슬릿 형태의 안착홈이 구비된 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
6. 제5항에 있어서, 상기 제1 플레이트는 상기 기판이 적재될 때 상기 안착홈을 따라 슬라이드 될 수 있게 상기 기판을 지지하기 위하여 회전 가능하게 구성된 제2 아이들 롤러들이 구비된 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
7. 제6항에 있어서, 상기 제2 아이들 롤러들은 상기 안착홈과 겹쳐지며, 상기 제1 플레이트 내에 배치되어 상기 제1 플레이트의 상면보다 낮은 높이를 갖고, 상기 안착홈의 바닥 높이보다는 높은 위치를 갖는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
8. 제1항에 있어서, 상기 캐리어 및 기판이 갖는 상기 경사각의 범위는 60°내 지 80°인 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
9. 제1항에 있어서, 상기 구동부는

   상기 회전력을 제공하는 동력 제공부; 및

   상기 동력 제공부와 상기 이송 기어들 사이에 연결되어 상기 회전력을 전달하는 동력 전달부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
10. 제9항에 있어서, 상기 동력 전달부는

    상기 동력 제공부와 연결된 타이밍 벨트와, 상기 타이밍 벨트와 연결된 다수의 구동 기어들과, 상기 구동 기어들과 결합된 다수의 제1 구동축들과, 상기 제1 구동축들의 단부들에 배치되며 영구 자석들을 포함하는 제1 마그네틱 기어들을 포함하는 제1 동력 전달부; 및

    상기 제1 마그네틱 기어들과 각각 마주하여 배치되며 영구 자석들을 포함하는 제2 마그네틱 기어들과, 상기 제2 마그네틱 기어들과 상기 이송 기어들 사이를 연결하는 제2 구동축들을 포함하는 제2 동력 전달부를 포함하되,

    상기 제1 및 제2 동력 전달부들 사이에서의 회전력 전달은 상기 제1 및 제2 마그네틱 기어들의 영구 자석들 사이에서 작용하는 자기력에 의해 이루어지는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
11. 제10항에 있어서, 상기 제1 및 제2 동력 전달 부재들은 상기 기판의 처리를 위한 챔버의 일 측벽을 사이에 두고 서로 마주하여 배치되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.

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