KR20080034458A

KR20080034458A - 시트 첩부 장치 및 첩부 방법

Info

Publication number: KR20080034458A
Application number: KR1020087003151A
Authority: KR
Inventors: 히데아키 노나카; 겐지 고바야시
Original assignee: 린텍 가부시키가이샤
Priority date: 2005-08-11
Filing date: 2006-07-27
Publication date: 2008-04-21
Also published as: CN101238569A; US8807187B2; DE112006002113T5; JPWO2007018041A1; CN101238569B; WO2007018041A1; US20100236719A1; KR101282699B1; TW200721243A; TWI408726B; US20080236734A1; JP4461176B2; US7784515B2

Abstract

테이블(13)의 각 내측 테이블(52)에 웨이퍼(W)가 각각 지지되고, 이들 웨이퍼(W)의 상면측에 띠 형상의 시트(S)를 풀어낸 후에, 누름 롤러(14)가 누름력을 부여한다. 접착 시트(S)는 로봇(15)의 자유단측에 장착된 커터날(63)에 의해 웨이퍼 외측 가장자리를 따라 절단된다. 이 로봇(15)은 커터날(63)을 흡착 암(100)으로 바꿔 쥐는 동작을 하여 매거진(200)로부터 테이블(13)에 웨이퍼(W)를 반송하고, 또 시트 첩부된 웨이퍼(W)를 후공정으로 옮겨싣는 기능을 구비하고 있다.

테이블, 시트 풀어내기 유닛, 누름 롤러, 절단 수단, 외측 테이블, 내측 테이블

Description

시트 첩부 장치 및 첩부 방법{SHEET APPLICATION DEVICE AND APPLICATION METHOD}

본 발명은 시트 첩부 장치 및 첩부 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는, 복수의 판 형상 부재에 시트를 대략 동시에 첩부함과 아울러, 각 판 형상 부재의 외측 가장자리를 따라 시트를 절단할 수 있는 시트 첩부 장치 및 첩부 방법에 관한 것이다.

종래부터, 반도체 웨이퍼(이하, 간단히 「웨이퍼」라고 칭함)에는, 그 회로면을 보호하기 위한 보호 시트를 첩부하거나, 이면 또는 표면에 감열 접착성의 접착 시트를 첩부하는 것이 행해지고 있다.

이러한 시트의 첩부 방법으로서는, 띠 형상의 박리 시트에 상기 보호 시트나 접착 시트 등의 띠 형상의 시트가 임시 접착된 원재료 시트를 사용하여, 박리 시트로부터 그 시트를 박리하고 웨이퍼에 첩부한 후에, 웨이퍼 외주를 따라 절단을 행함으로써 웨이퍼 상에 시트를 첩부하는 방법이 알려져 있다(예를 들면, 특허문헌 1 참조).

특허문헌 1: 일본 특개 2003-257898호 공보

(발명의 개시)

(발명이 해결하고자 하는 과제)

그렇지만, 특허문헌 1에 개시된 절단 장치에 있어서는, 1장의 웨이퍼를 테이블에 지지시킨 상태에서 시트를 풀어내어 첩부하는 것으로, 복수매의 판 형상 부재에 시트를 대략 동시에 첩부할 수 없다고 하는 문제가 있다. 즉, 실리콘 웨이퍼와 달리, 화합물 반도체 웨이퍼의 대구경화는 진행되고 있지 않다. 그러나, LED(발광 다이오드)의 성능 향상에 따라, 이들 소구경의 웨이퍼의 수요가 높아지고 있다. 그런데, 대구경 웨이퍼를 처리하는 시트 첩부 장치를 그대로 전용해도, 그 크기의 이점을 누릴 수 없었다.

[발명의 목적]

본 발명은 이러한 문제에 주목하여 안출된 것으로, 그 목적은 복수의 판 형상 부재를 대상으로 하여 대략 동시에 시트를 첩부할 수 있는 시트 첩부 장치 및 첩부 방법을 제공하는 것에 있다.

(과제를 해결하기 위한 수단)

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은, 판 형상 부재를 지지하는 테이블과, 이 테이블에 지지된 판 형상 부재의 상면측에 띠 형상의 시트를 풀어내는 시트 풀어내기 유닛과, 상기 시트를 눌러 당해 시트를 판 형상 부재에 첩부하는 누름 롤러와, 상기 판 형상 부재의 외측 가장자리를 따라 상기 시트를 절단하는 절단 수단을 구비한 시트 첩부 장치에 있어서,

상기 테이블은 대략 동일 평면 내에 복수의 판 형상 부재를 지지 가능하게 되어, 각 판 형상 부재에 상기 시트를 대략 동시에 첩부 가능하게 설치된다고 하는 구성을 채용하고 있다.

본 발명에서, 상기 절단 수단은 복수의 관절을 가지며 그들 관절이 NC에 의해 제어되는 다관절 로봇에 의해 구성되어 있다.

상기 테이블은 외측 테이블과, 복수의 내측 테이블에 의해 구성되며, 이들 외측 테이블 및 내측 테이블은 각각 승강 가능하게 설치된다고 하는 구성을 채용하고 있다.

또, 상기 내측 테이블은 상기 외측 테이블의 상면을 기준위치로 하여 상기 판 형상 부재의 두께에 따라 승강하는 한편, 상기 외측 테이블은 상기 누름 롤러의 누름면을 기준으로 하여 상기 시트의 두께에 따라 승강하여 누름 롤러의 누름력을 대략 일정하게 유지하도록 설치되어 있다.

또, 상기 다관절 로봇은 자유단측에 커터날과 흡착 암이 선택적으로 장착 가능하게 설치되어, 상기 흡착 암을 장착한 상태에서, 상기 판 형상 부재를 테이블에 반송하는 반송 기능을 구비한다고 하는 구성을 채용할 수 있다.

또한, 상기 다관절 로봇의 근방에 검사 수단이 배치되고, 당해 검사 수단은 상기 판 형상 부재의 얼라인먼트를 행하는 기능과, 상기 커터날의 검사를 행하는 기능을 구비한다고 하는 구성을 채용하고 있다.

또, 본 발명은, 테이블에 판 형상 부재를 지지시킨 상태에서, 당해 판 형상 부재의 상면측에 풀려나온 띠 형상의 시트에 누름력을 부여하고, 상기 판 형상 부재의 외측 가장자리를 따라 시트를 절단하는 시트 첩부 방법에 있어서,

상기 테이블의 대략 동일 평면 내에 복수의 판 형상 부재를 지지시킨 상태에서, 상기 시트에 누름력을 부여하고,

이어서, 각 판 형상 부재의 외측 가장자리를 따라 시트를 절단한다고 하는 방법을 채용하고 있다.

(발명의 효과)

본 발명에 의하면, 테이블에 복수의 판 형상 부재를 지지하여 시트를 첩부할 수 있으므로, 시트의 동시 첩부에 의해 처리능력이 대폭 향상된 시트 첩부 장치를 제공할 수 있다.

또, 외측 테이블과 내측 테이블이 승강 가능하기 때문에, 판 형상 부재의 두께나 시트의 두께가 변화되어도 그것에 일정한 시트 누름력을 부여하여 첩부 정밀도를 일정하게 유지할 수 있다.

또한, 절단 장치가 다관절 로봇에 의해 구성되고, 그 자유단측에 커터날과 흡착 암을 선택적으로 장착함으로써 절단 장치와 반송 장치의 각 기능을 달성하는 다기능형으로 되어, 코스트 삭감을 달성할 수 있다.

또, 절단 장치의 근방에 얼라인먼트를 행하는 기능과, 커터날의 검사를 행하는 기능을 구비한 검사 수단을 배치함으로써, 판 형상 부재의 방향 또는 방위를 일정하게 유지하여 테이블 상에 배치할 수 있음과 아울러, 커터날의 불량 등도 검출하는 것이 가능하게 된다.

도 1은 본 실시형태에 따른 시트 첩부 장치의 개략 정면도.

도 2는 상기 시트 첩부 장치의 개략 사시도.

도 3은 로봇이 흡착 암을 유지한 상태의 도 2와 동일한 개략 사시도.

도 4는 커터날을 유지한 로봇의 선단측 영역을 도시하는 확대 사시도.

도 5는 흡착 암을 유지한 로봇의 선단측 영역을 도시하는 확대 사시도.

도 6은 테이블 및 로봇의 부분 단면도.

(부호의 설명)

10 시트 첩부 장치 12 시트 풀어내기 유닛

13 테이블 14 누름 롤러

15 다관절 로봇(절단 수단) 16 카메라(검사 수단)

51 외측 테이블 52 내측 테이블

62 로봇 본체 63 커터날

100 흡착 암 200 매거진

S 접착 시트 W 웨이퍼(판 형상 부재)

(발명을 실시하기 위한 최선의 형태)

이하, 본 발명의 실시형태에 대하여 도면을 참조하면서 설명한다.

도 1에는 본 발명의 실시형태에 따른 시트 첩부 장치의 개략 정면도가 도시되며, 도 2에는 그 개략 사시도가 도시되어 있다. 이들 도면에서, 시트 첩부 장치(10)는 베이스(11)의 상부에 배치된 시트 풀어내기 유닛(12)과, 판 형상 부재로서의 웨이퍼(W)를 대략 동일 평면 내에서 복수 지지하는 테이블(13)과, 웨이퍼(W) 의 상면측에 풀려나온 접착 시트(S)에 누름력을 부여하여 당해 접착 시트(S)를 웨이퍼(W)에 첩부하는 누름 롤러(14)와, 웨이퍼(W)에 접착 시트(S)를 첩부한 후에 당해 웨이퍼(W)의 외측 가장자리를 따라 접착 시트(S)를 절단하는 절단 수단으로서, 매거진(200)으로부터 웨이퍼(W)를 꺼내어 상기 테이블(13) 상에 반송하는 기능을 구비한 다관절 로봇(15)(이하, 간단히, 「로봇(15)」이라고 칭함)과, 웨이퍼(W)를 얼라인먼트함과 아울러, 후술하는 커터날을 검사하는 검사 수단으로서의 카메라(16)와, 커터날 및 흡착 암을 스톡하는 스톡 장치(17)와, 웨이퍼(W)의 외측의 불필요 접착 시트(S1)를 테이블(13)의 상면으로부터 박리하는 박리 장치(18)와, 불필요 접착 시트(S1)를 권취하는 권취 장치(19)를 구비하여 구성되어 있다.

상기 시트 풀어내기 유닛(12)은, 띠 형상의 박리 시트(PS)의 일방의 면에 띠 형상의 접착 시트(S)가 임시 접착된 롤 형상의 원재료 시트(L)를 지지하는 지지 롤러(20)와, 이 지지 롤러(20)로부터 풀어내진 원재료 시트(L)를 급격하게 반전하여 접착 시트(S)를 박리 시트(PS)로부터 박리하는 필 플레이트(22)와, 박리 시트(PS)를 권취하여 회수하는 회수 롤러(23)와, 지지 롤러(20)와 회수 롤러(23) 사이에 배치된 복수의 가이드 롤러(25∼31)와, 가이드 롤러(25, 26) 사이에 배치된 버퍼 롤러(33)와, 가이드 롤러(27, 28) 사이에 배치됨과 아울러, 로드 셀(39) 및 당해 로드 셀(39)에 지지되어 상기 필 플레이트(22)의 기부측에 위치하는 장력 측정 롤러(40)를 포함하는 장력 측정 수단(35)과, 필 플레이트(22), 가이드 롤러(27, 28, 29) 및 장력 측정 수단(35)을 일체적으로 지지하여 상기 누름 롤러(14)와 상호 작용하여 웨이퍼(W)에 대한 접착 시트(S)의 첩부 각도(θ)를 일정하게 유지하는 첩부 각도 유지 수단(37)을 구비하여 구성되어 있다. 상기 가이드 롤러(27, 29)에는, 브레이크 슈(32, 42)가 병설되어 있고, 이들 브레이크 슈(32, 42)는 접착 시트(S)를 웨이퍼(W)에 첩부할 때에, 실린더(38, 48)에 의해 대응하는 가이드 롤러(27, 29)에 대하여 진퇴함으로써 접착 시트(S)를 끼워넣어 그 풀어내기를 억제하게 되어 있다.

또한, 상기 시트 풀어내기 유닛(12) 및 당해 유닛을 구성하는 상기 장력 측정 수단(35) 및 첩부 각도 유지 수단(37)은 본 출원인에 의해 출원된 일본 특원 2005-198806호에 개시된 것과 동일하며, 여기에서는, 그것들의 상세한 설명을 생략한다.

상기 테이블(13)은, 도 2, 3 및 도 6에 도시되는 바와 같이, 평면도로 대략 사각형의 외측 테이블(51)과, 이 외측 테이블(51)의 영역 내에서 서로 이웃하도록 4개소에 배치된 평면도로 대략 원형의 내측 테이블(52)로 구성되어 있다. 외측 테이블(51)은 각 내측 테이블(52)의 외측 가장자리와의 사이에 간극(C)을 각각 형성한 상태로 당해 내측 테이블(52)을 수용할 수 있는 오목부를 4개소에 구비하고 있음과 아울러, 단축 로봇(54)을 통하여 베이스(11)에 대하여 승강 가능하게 설치되어 있다. 한편, 각 내측 테이블(52)은 단축 로봇(56)을 통하여 외측 테이블(51)에 대하여 승강 가능하게 설치되며, 이것에 의해, 내측 테이블(52)은 외측 테이블(51)의 상면을 기준 위치로 하여 웨이퍼(W)의 두께에 따라 승강하는 한편, 외측 테이블(51)은 누름 롤러(14)의 누름면을 기준으로 하여 시트(S)의 두께에 따라 승강함으로써 당해 누름 롤러(14)의 누름력을 대략 일정하게 유지하도록 설치되어 있다. 즉, 복수의 웨이퍼(W)의 상면을 외측 테이블(51)의 상면과 일치시킬 수 있으므로, 시트(S)의 누름력을 웨이퍼(W)의 수나 웨이퍼의 유무에 관계없이 일정하게 할 수 있다. 따라서, 시트(S)의 주름이나, 기포의 혼입이 되지 않는 첩부를 할 수 있게 된다. 또한, 본 실시예에서는 각 내측 테이블(51)은 도시하지 않은 가열 수단을 통하여 각각 가열할 수 있게 되어 있다. 그 때문에, 접착 시트(S)로서 감열 접착성의 접착 시트가 채용되는 경우에는, 웨이퍼(W)를 가열하여 접착시킬 수 있다.

상기 누름 롤러(14)는 문형(門型) 프레임(57)을 통하여 지지되어 있다. 문형 프레임(57)의 상면측에는 실린더(59, 59)가 설치되어 있고, 이들 실린더(59)의 작동에 의해 누름 롤러(14)가 상하로 승강 가능하게 설치되어 있다. 또한, 문형 프레임(57)은, 도 2에 도시되는 바와 같이, 단축 로봇(60) 및 가이드 레일(61)을 통하여 도 1중 X방향으로 이동 가능하게 설치되어 있다.

상기 로봇(15)은, 도 6에 도시되는 바와 같이, 로봇 본체(62)와, 당해 로봇 본체(62)의 자유단측에 지지되는 커터날(63) 또는 흡착 암(100)(도 3, 도 5 참조)을 구비하여 구성되어 있다. 로봇 본체(62)는 베이스부(64)와, 당해 베이스부(64)의 상면측에 배치되어 화살표(A∼F) 방향으로 회전 가능하게 설치된 제 1 암(65A)∼제 6 암(65F)과, 제 6 암(65F)의 선단측 즉 로봇 본체(52)의 자유단측에 부착된 공구 유지 척(69)을 포함한다. 제 2, 제 3 및 제 5 암(65B, 65C, 65E)은 도 6 중 Y×Z면 내에서 회전 가능하게 설치되어 있음과 아울러, 제 1, 제 4 및 제 6 암(65A, 65D, 65F)은 그 축 주위로 회전 가능하게 설치되어 있다. 본 실시형태에서의 로봇(15)은 NC(Numerical Control)에 의해 제어되는 것이다. 즉, 가공물에 대한 각 관절의 이동량이 각각에 대응하는 수치 정보로 제어되어, 모든 그 이동량이 프로그램에 의해 제어되는 것으로서, 종래의 절단 수단과 같이 웨이퍼 사이즈가 변경될 때마다 커터날의 위치를 수작업으로 변경하는 것과는 전혀 다른 방식을 이용하는 것이다. 이러한 수치 제어에 의해, 커터날(63)이 임의의 위치, 각도와 같은 자세변위가 가능하기 때문에, 상이한 위치에 놓여진 웨이퍼(W)이더라도, 그 외주를 따라 시트(S)를 절단할 수 있다. 또, 비절단 동작 시에, 커터날(63)을 테이블(13)의 상방 영역으로부터 벗어난 외측 위치, 즉 테이블(13)의 측방 위치로 대피시키도록 설치되어 있다.

상기 공구 유지 척(69)은, 도 4, 도 5에 도시되는 바와 같이, 대략 원통 형상을 이루는 수용체(70)와, 당해 수용체(70)의 둘레 방향 대략 120도 간격을 둔 위치에 배치되어 커터날(63) 또는 흡착 암(100)을 착탈 자유롭게 유지하는 3개의 척 발톱(71)을 구비하여 구성되어 있다. 각 척 발톱(71)은 안쪽 끝이 예각으로 되는 앞이 뾰족한 형상부(71A)로 되어 있고, 공압에 의해 수용체(70)의 중심에 대하여 직경 방향으로 진퇴 가능하게 되어 있다.

상기 커터날(63)은 기부영역을 형성하는 칼날 홀더(63A)와, 당해 칼날 홀더(63A)의 선단측에 삽입하여 고정된 칼날(63B)로 구성되어 있다. 칼날 홀더(63A)는 대략 원기둥 형상을 이루고, 그 외주면의 둘레 방향 대략 120도 간격 위치에는, 기단으로부터 중간부까지 연장되는 길이의 홈(72)이 축 방향을 따라 형성되고, 이들 홈(72)에 상기 척 발톱(71)의 앞이 뾰족한 형상부(71A)가 걸어맞추어짐으로써 공구 유지 척(69)에 대한 커터날(63)의 위치가 일정하게 유지되게 되어 있다.

상기 칼날 홀더(63A)에는, 도시하지 않은 히터와, 진동 장치가 내장되어 있고, 히터에 의해 칼날(63B)을 가열할 수 있음과 아울러, 진동 장치에 의해 칼날(63B)을 진동시킬 수도 있게 되어 있다. 또한, 히터로서는 코일 히터를 예시할 수 있고, 또 진동 장치로서는 초음파 진동 장치를 예시할 수 있다.

상기 카메라(16)는, 도 2 및 도 3에 도시되는 바와 같이, 로봇(15)의 근방에 배치되어 있다. 이 카메라(16)는 커터날(63)에서의 칼날 가장자리의 결손을 검지하거나, 또는, 점착제의 전착(轉着)량이 허용범위를 초과했을 때에, 도시하지 않은 제어 장치에 신호를 출력하고, 이것에 대응하여 로봇 본체(62)가 자동으로 스톡 장치(17)에 수용된 다른 커터날(63)과 교환하는 기능과, 로봇(15)이 매거진(200)으로부터 테이블(13)의 각 내측 테이블(52)에 웨이퍼(W)를 배치할 때의, 당해 웨이퍼의 도시하지 않은 V노치 또는 오리엔테이션 플랫을 검출하여 얼라인먼트를 행하는 기능을 달성하도록 되어 있다.

상기 스톡 장치(17)는, 도 2 및 도 3에 도시되는 바와 같이, 커터날(63)을 각각 수용하는 제 1 스토커(17A)와, 흡착 암(100)을 수용하는 제 2 스토커(17B)를 포함한다. 로봇(15)은, 커터날(63) 대신 흡착 암(100)을 유지했을 때에, 웨이퍼(W)를 매거진(200)으로부터 테이블(13)에 반송함과 아울러, 시트(S)가 첩부된 후의 웨이퍼(W)를 후공정에 반송하는 동작을 행하게 되어 있다. 또한, 흡착 암(100)은 상기 칼날 홀더(63A)와 동일한 홈(72)을 구비한 암 홀더(100A)와, 이 암 홀더(100A)에 부착됨과 아울러 선단측에 도시하지 않은 감압 장치로 연통하는 진공 구멍(100C)을 구비한 Y형 암부(100B)로 이루어진다. 다른 흡착 암(100)은 형상이 다른 I형 암이나, 사이즈가 다른 웨이퍼를 흡착하기 위한 암으로서, 8인치, 12인치 등의 반도체 웨이퍼에 대응하는 흡착 암을 스톡할 수 있게 되어 있다.

상기 박리 장치(18)는, 도 1 및 도 2에 도시되는 바와 같이, 소직경 롤러(80)와 대직경 롤러(81)로 구성되어 있다. 이들 소직경 롤러(80) 및 대직경 롤러(81)는 이동 프레임(F)에 지지되어 있다. 이 이동 프레임(F)은 도 2 중 Y방향을 따라 상대배치된 전방부 프레임(F1)과, 이 전방부 프레임(F1)에 연결 부재(83)를 통하여 연결된 후방부 프레임(F2)으로 이루어지고, 후방부 프레임(F2)은 단축 로봇(85)에 지지되어 있는 한편, 전방부 프레임(F1)은 상기 가이드 레일(61)에 지지되며, 이것에 의해, 이동 프레임(F)은 도 2 중 X방향으로 이동 가능하게 되어 있다. 대직경 롤러(81)는, 도 1에 도시되는 바와 같이, 암 부재(84)에 지지되어 있음과 아울러, 당해 암 부재(84)는 실린더(88)에 의해 대직경 롤러(81)가 소직경 롤러(80)에 대하여 이간하고 접근하는 방향으로 변위 가능하게 되어 있다.

상기 권취 장치(19)는 이동 프레임(F)에 지지된 구동 롤러(90)와, 회전 암(91)의 자유단측에 지지되어, 스프링(92)을 통하여 구동 롤러(90)의 외주면에 접하여 불필요 접착 시트(S1)를 니핑하는 권취 롤러(93)에 의해 구성되어 있다. 구동 롤러(90)의 축단에는, 구동 모터(M)가 배치되어 있고, 당해 모터(M)의 구동에 의해, 구동 롤러(90)가 회전하고, 권취 롤러(93)가 이것에 추종하여 회전함으로써 불필요 접착 시트(S1)가 권취되게 되어 있다. 또한, 권취 롤러(93)는, 권취량이 증대함에 따라, 스프링(92)의 힘에 저항하여 도 1 중 우측 방향으로 회전하게 된다.

다음에 본 실시형태의 작용에 대하여 설명한다. 지지 롤러(20)로부터 풀려나온 원재료 시트(L)는, 필 플레이트(22)의 선단 위치에서 박리 시트(PS)로부터 접착 시트(S)가 박리되고, 박리 시트(PS)의 리드단은 회수 롤러(23)에 고정된다. 한편, 접착 시트(S)의 리드단은 누름 롤러(14), 박리 장치(18)를 경유하여 권취 장치(19)의 권취 롤러(93)에 고정된다. 한편, 접착 시트(S)는 필 플레이트(22)와 누름 롤러(14)에 의해, 테이블(13)의 상방에 면하도록 배치되고, 가이드 롤러(27, 29)와 브레이크 슈(32, 42)에 의해 끼워 넣어져 그 풀어내기가 억제된다. 그리고, 누름 롤러(14)가 회전하면서 웨이퍼(W) 상을 도 1중 좌방향으로 이동함에 따라, 장력 측정 롤러(40)가 접착 시트(S)에 의해 잡아 당겨지고, 그 장력을 로드 셀(39)이 측정하면서 첩부 각도 유지 수단(37)을 사용하여 풀어내기 헤드(49)를 비스듬히 하방으로 내린다. 이렇게 하여 복수의 웨이퍼(W)에 대략 동시에 시트(S)가 첩부된다.

상기 로봇(15)은 공구 유지 척(69)을 통하여 흡착 암(100)를 유지하고 있고, 당해 흡착 암(100)에 의해 매거진(200)으로부터 웨이퍼(W)를 1장씩 흡착유지하고 카메라(16)로 얼라인먼트를 행하여 테이블(13)의 내측 테이블(52)에 차례로 옮겨 싣고, 이 상태에서 누름 롤러(14)의 누름력을 받으면서 접착 시트(S)가 각 웨이퍼(W)에 동시에 첩부된다.

각 웨이퍼(W)의 상면에 접착 시트(S)의 첩부가 행해지면, 로봇(15)은 흡착 암(100)을 제 2 스토커(17B)로 되돌리고, 커터날(63)로 바꿔 쥐는 동작을 행하고, 미리 입력된 이동궤적 데이터에 기초하여 웨이퍼(W)의 외측 가장자리를 따라 접착 시트(S)의 절단을 행한다. 그리고, 이 절단이 종료된 후에, 커터날(63)은 카메라(16)로 칼날 가장자리(63D)(도 4 참조)의 검사를 받게 된다. 여기에서, 칼날 가장자리(63D)의 파손이나, 점착제의 전착량이 허용 범위를 초과한 불량 커터날인 것이 검출되면, 다음 절단시에는, 당해 불량 커터날(63)을 사용하지 않고 새로운 커터날(63)로 교환할 신호를 도시하지 않은 제어 장치에 출력한 상태에서, 불량 커터날(63)을 제 1 스토커(17A)에 수용하고, 다시, 흡착 암(100)으로의 바꿔 쥐기 동작을 행하고, 접착 시트(S)의 절단이 완료된 후의 웨이퍼(W)를 흡착하여 다음 공정으로 옮겨싣는다.

로봇(15)을 통하여 웨이퍼(W)가 테이블(13)로부터 제거되면, 박리 장치(18)에 의해 불필요 접착 시트(S1)가 권취되고, 다시 로봇(15)에 의해 다음에 접착 시트(S)를 첩부할 웨이퍼(W)를 매거진(200)으로부터 테이블(13) 상에 옮겨싣는다. 또한, 이 권취는, 일본 특원 2005-198806호에 개시된 작용과 동일하기 때문에, 여기에서는 상세한 설명을 생략한다.

따라서, 이러한 실시형태에 의하면, 복수의 웨이퍼(W)를 동일한 테이블(13) 상에서 대략 동시에 접착 시트(S)를 첩부할 수 있고, 상기 로봇(15)에서 차례로 웨이퍼 외측 가장자리를 따라 접착 시트(S)를 절단할 수 있기 때문에, 극히 효율적인 시트 첩부와 절단을 행할 수 있다. 게다가, 웨이퍼(W)는 로봇(15)에 의해 매거진(200)으로부터 테이블(13) 상에 반송될 수 있음과 아울러, 당해 테이블(13)로부터 후공정으로 옮겨싣기도 가능하므로, 독립된 절단 장치와 반송 장치를 사용할 필요가 없기 때문에 코스트 삭감을 도모할 수 있다.

이상과 같이, 본 발명을 실시하기 위한 최선의 구성, 방법 등은 상기 기재에서 개시되어 있지만, 본 발명은 이것에 한정되는 것은 아니다.

즉, 본 발명은, 주로 특정 실시형태에 관하여 특별히 도시, 설명되어 있지만, 본 발명의 기술적 사상 및 목적의 범위로부터 일탈하지 않고, 이상에서 설명한 실시형태에 대하여, 형상, 위치 혹은 배치 등에 관한여, 필요에 따라 당업자가 여러 변경을 가할 수 있는 것이다.

예를 들면, 상기 실시형태에서는, 판 형상 부재로서 웨이퍼(W)를 대상으로 했지만, 본 발명은 다른 판 형상 부재에 시트를 첩부하여 절단하는 경우에도 적용할 수 있다. 또, 판 형상 부재는 원형의 것에 한정되지 않고, 다각 형상이어도 된다. 또, 웨이퍼(W)는 동일 사이즈의 것에 한정되지 않고, 다양한 크기를 대상으로 하여 동시에 시트를 첩부할 수 있다.

Claims

판 형상 부재를 지지하는 테이블과, 이 테이블에 지지된 판 형상 부재의 상면측에 띠 형상의 시트를 풀어내는 시트 풀어내기 유닛과, 상기 시트를 눌러 당해 시트를 판 형상 부재에 첩부하는 누름 롤러와, 상기 판 형상 부재의 외측 가장자리를 따라 상기 시트를 절단하는 절단 수단을 구비한 시트 첩부 장치에 있어서,

상기 테이블은 대략 동일 평면 내에 복수의 판 형상 부재를 지지 가능하게 되고, 각 판 형상 부재에 상기 시트가 대략 동시에 첩부 가능하게 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 시트 첩부 장치.
제 1 항에 있어서, 상기 절단 수단은 복수의 관절을 가지고 그들 관절이 NC에 의해 제어되는 다관절 로봇인 것을 특징으로 하는 시트 첩부 장치.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 테이블은 외측 테이블과, 복수의 내측 테이블에 의해 구성되며, 이들 외측 테이블 및 내측 테이블은 각각 승강 가능하게 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 시트 첩부 장치.
제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 내측 테이블은 상기 외측 테이블의 상면을 기준 위치로 하여 상기 판 형상 부재의 두께에 따라 승강하는 한편, 상기 외측 테이블은 상기 누름 롤러의 누름면을 기준으로 하여 상기 시트의 두께에 따라 승강하여 누름 롤러의 누름력을 대략 일정하게 유지하는 것을 특징으로 하는 시트 첩부 장치.
제 2 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 다관절 로봇은 자유단측에 커터날과 흡착 암이 선택적으로 장착 가능하게 설치되고, 상기 흡착 암을 장착한 상태에서, 상기 판 형상 부재를 테이블에 반송하는 반송 기능을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 시트 첩부 장치.
제 5 항에 있어서, 상기 다관절 로봇의 근방에 검사 수단이 배치되고, 당해 검사 수단은 상기 판 형상 부재의 얼라인먼트를 행하는 기능과, 상기 커터날의 검사를 행하는 기능을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 시트 첩부 장치.
테이블에 판 형상 부재를 지지시킨 상태에서, 당해 판 형상 부재의 상면측에 풀려나온 띠 형상의 시트에 누름력을 부여하고, 상기 판 형상 부재의 외측 가장자리를 따라 시트를 절단하는 시트 첩부 방법에 있어서,

상기 테이블의 대략 동일 평면 내에 복수의 판 형상 부재를 지지시킨 상태에서, 상기 시트에 누름력을 부여하고,

이어서, 각 판 형상 부재의 외측 가장자리를 따라 시트를 절단하는 것을 특징으로 하는 시트 첩부 방법.