KR20080007547A

KR20080007547A - 시험장치 및 선택장치

Info

Publication number: KR20080007547A
Application number: KR1020077021443A
Authority: KR
Inventors: 마사루 도이
Original assignee: 가부시키가이샤 어드밴티스트
Priority date: 2006-01-24
Filing date: 2006-12-20
Publication date: 2008-01-22
Also published as: KR100899855B1; US20080244340A1; JP4435833B2; US7634695B2; TWI325593B; TW200739594A; WO2007086214A1; CN101147204A; JPWO2007086214A1

Abstract

복수의 블록과 리페어용 칼럼을 구비하는 피시험 메모리를 시험하는 시험장치에 있어서, 시험부와, 칼럼별 양호 여부를 나타내는 플래그를 기억하는 플래그 메모리와 칼럼별 불량 블록 수를 기억하는 카운트 메모리와 시험결과가 불량인 것 및 대응하는 칼럼에 대한 플래그 메모리 내의 플래그가 불량인 것을 나타내는 것 중 어느 하나를 만족하는 것을 조건으로 불량을 나타내는 플래그를 플래그 메모리에 기입하는 페일 기입부와, 시험결과가 불량이며 대응하는 칼럼에 대해 플래그 메모리 내에 불량을 나타내는 플래그가 기억되어 있지 않은 것을 조건으로 대응하는 칼럼에 대한 카운트 메모리의 블록 수를 증분시키는 카운트부와, 칼럼별 불량 블록 수를 바탕으로 리페어용 칼럼으로 치환해야 하는 칼럼을 선택하는 선택부를 구비하는 시험 장치를 제공한다.

Description

시험장치 및 선택장치{TESTER AND SELECTOR}

본 발명은 시험장치 및 선택장치에 관한 것이다. 특히, 본 발명은 칼럼(column)을 일괄해서 치환이 가능하게 설치된 리페어용 칼럼을 구비하는 피시험 메모리를 시험하는 시험장치 및 이 시험장치에 사용되는 선택장치에 관한 것이다. 본 출원은 하기의 일본 출원에 관련한다. 문헌의 참조에 의한 편입이 인정되는 지정국에 대해서는, 하기 출원에 기재된 내용을 참조하여 본 출원에 편입시켜 본 출원의 일부로 한다.

1. 특허출원 2006-015627 출원일 2006년 1월 24일

비휘발성 반도체 메모리로 플래쉬 메모리가 알려져 있다. 플래쉬 메모리는 각종 정보기기 등에 널리 사용되고 있다. 플래쉬 메모리를 포함하는 일반적인 메모리 디바이스(memory device)는 방대한 수의 기억 셀(cell)을 가지므로 이들 기억 셀 중에 불량 기억 셀을 포함할 가능성이 있다. 그래서, 메모리 디바이스는 미리 시험공정에서 불량 기억 셀과 치환할 수 있는 리던던시 기억 셀을 갖는다. 메모리 디바이스는 불량 기억 셀이 리던던시 기억 셀로 치환되면 불량이었던 기억 영역이 구제된다. 리던던시 기억 셀과 불량 기억 셀의 치환 처리는 일반적으로 메모리 디바이스의 시험공정에서 행해져 메모리 리페어(memory repair) 처리(또는 리던던시) 라 불린다.

또는, 메모리 리페어 처리를 행함에 있어서 불량 기억 셀의 위치를 검출하고, 검출한 불량 기억 셀을 어떻게 리던던시 기억 셀과 치환할 것인가를 분석해 미리 결정해야만 한다. 이 처리는 메모리 리페어 해석이라고 불리며 시험장치에 의해 행해진다.

아울러, 현시점에서 선행 기술 문헌의 존재를 인지하고 있지 않기 때문에 선행 기술 문헌에 관한 기재를 생략한다.

[발명이 해결하고자 하는 과제]

시험장치는, 예를 들어, 시험으로 얻은 페일(fail) 정보를 페일 메모리(fail memory)에 기입 후, 이 페일 메모리로부터 페일 정보를 읽어 에러 수를 계산하고, 이에 의해 메모리 리페어 해석을 행한다. 메모리 리페어 해석은 이와 같이 페일 정보의 기입 및 읽기를 행하기 때문에 시간이 걸린다.

또한, 메모리 리페어 해석을 행하고 있을 때에는, 시험장치는 다른 처리를 행할 수 없기 때문에 메모리 리페어 해석은 시험기간의 데드타임(dead time)이었다. 그리고, 최근에 플래쉬 메모리의 대용량화가 진행되어 시험시간이 보다 길어 질 것으로 예상되기 때문에 메모리 리페어 해석의 시간 단축이 바람직하다.

또한, 압축 전의 페일 정보를 일단 페일 메모리에 기입해 두고, 소프트웨어적으로 페일 정보를 압축하는 방법도 있을 수 있지만 이 방법도 페일 정보를 읽는데 시간이 걸린다.

따라서, 본 발명은, 상기 과제를 해결할 수 있는 시험장치 및 선택장치를 제공하는 것을 목적으로 한다. 이 목적은 청구 범위에서 독립항에 기재된 특징의 조합에 의해 달성된다. 또한, 종속항은 본 발명의 추가적으로 유리한 구체적인 예를 규정한다.

[과제를 해결하기 위한 수단]

본 발명의 제1 형태에 의하면, 복수의 칼럼을 각각 갖는 복수의 블록과 복수 블록에 있어서의 동일한 칼럼 위치의 모든 칼럼을 일괄해서 치환이 가능하게 설치된 리페어용 칼럼을 구비한 피시험 메모리를 시험하는 시험장치에 있어서, 피시험 메모리를 블록별로 시험해 시험대상 블록의 칼럼별 양호 여부를 출력하는 시험부와, 시험대상 블록을 갖는 복수의 칼럼 각각에 대응해서 해당 블록의 해당 칼럼의 양호 여부를 나타내는 플래그를 기억하는 플래그 메모리와, 복수의 칼럼 각각에 대응해서 해당 칼럼의 칼럼 위치에 불량을 갖는 블록 수를 기억하는 카운트 메모리와, 시험대상 블록 내의 시험대상 칼럼의 시험결과를 시험부로부터 수취해 해당 시험결과가 불량인 것 및 해당 칼럼에 대응해 플래그 메모리 내에 기억된 플래그가 불량을 나타내는 것의 적어도 하나를 만족하는 것을 조건으로 해당 칼럼이 불량인 것을 나타내는 플래그를 플래그 메모리에 기입하는 페일 기입부와, 시험대상 칼럼의 시험결과를 시험부로부터 수취해 해당 시험결과가 불량이며 해당 칼럼에 대응해 플래그 메모리 내에 불량을 나타내는 플래그가 기억되어 있지 않은 것을 조건으로 해당 칼럼에 대응해 카운트 메모리에 기억된 블록 수를 증분시키는 카운트부와, 카운트 메모리에 기억된 칼럼별 불량 블록 수를 바탕으로 리페어용 칼럼으로 치환해야 하는 칼럼을 선택하는 선택부를 구비하는 시험장치를 제공한다.

시험부는 복수의 블록 각각에 대해, 해당 블록이 갖는 복수의 페이지를 가각 시험해 해당 페이지에 대한 칼럼별 양호 여부를 출력하고, 페일 기입부는 시험대상 블록 내 최초의 시험대상 페이지 내의 시험대상 칼럼의 시험결과를 수취한 것을 조건으로 해당 시험결과의 양호 여부를 나타내는 플래그를 플래그 메모리에 기입해도 된다. 시험부는 복수의 블록 각각을 순서대로 시험해 시험대상 블록의 칼럼별 양호 여부를 출력하고, 플래그 메모리는 복수의 블록에 대해 공통되는 기억영역에 시험대상 블록을 갖는 복수의 칼럼 각각에 대응하는 플래그를 기억해도 된다.

플래그 메모리는 복수의 블록 각각에 대해 개별로 설치된 기억영역에 해당 블록이 갖는 복수의 칼럼 각각에 대응하는 플래그를 기억해도 된다. 시험부는 복수의 블록 각각에 대해 해당 블록이 갖는 복수의 페이지를 페이지 번호가 최소인 페이지부터 순서대로 시험하고, 페일 기입부는 시험대상 블록 내의 페이지 번호가 최소인 페이지에 대한 시험대상 칼럼의 시험결과를 수취한 것을 조건으로 해당 시험 결과의 양호 여부를 나타내는 플래그를 플래그 메모리에 기입해도 된다. 선택부는 리페어용 칼럼으로 치환해야 하는 칼럼으로 불량 블록 수가 더 큰 칼럼 위치에 대응하는 칼럼을 보다 우선적으로 선택해도 된다.

본 발명의 제2 형태에 의하면, 복수의 칼럼을 각각 갖는 복수의 블록과 복수의 블록에 있어서의 동일한 칼럼 위치의 모든 칼럼을 일괄해서 치환이 가능하게 설치된 리페어용 칼럼을 구비하는 피시험 메모리에 대해 리페어용 칼럼과 치환해야 하는 칼럼 위치를 선택하는 선택장치에 있어서, 시험대상이 된 시험대상 블록을 갖는 복수의 칼럼 각각에 대응해 해당 블록의 해당 칼럼의 양호 여부를 나타내는 플래그를 기억하는 플래그 메모리와, 복수의 칼럼 각각에 대응해 해당 칼럼의 칼럼 위치에 불량을 갖는 블록 수를 기억하는 카운트 메모리와, 시험대상 블록 내의 시험대상 칼럼의 시험결과를 입력받아 해당 시험결과가 불량인 것 및 해당 칼럼에 대응해 플래그 메모리 내에 기억된 플래그가 불량인 것을 나타내는 것의 적어도 하나를 만족하는 조건으로 해당 칼럼이 불량인 것을 나타내는 플래그를 플래그 메모리에 기입하는 페일 기입부와, 시험대상 칼럼의 시험결과를 입력받아 해당 시험결과가 불량이며 해당 칼럼에 대응해 플래그 메모리 내에 불량을 나타내는 플래그가 기억되어 있지 않은 것을 조건으로 해당 칼럼에 대응해 카운트 메모리에 기억된 블록 수를 증분시키는 카운트부와, 카운트 메모리에 기억된 칼럼별 불량 블록 수를 바탕으로 리페어용 칼럼으로 치환해야 하는 칼럼을 선택하는 선택부를 구비한 선택장치를 제공한다.

본 발명의 제3 형태에 의하면, 복수의 블록으로 분할된 기억영역과 복수 열의 리페어용 리페어 라인을 구비하는 플래쉬 메모리인 피시험 메모리를 시험해 시험결과를 바탕으로 리페어용 해석처리를 행하는 시험장치에 있어서, 시험신호를 피시험 메모리에 공급하고 시험신호에 응해 피시험 메모리에서 출력된 읽기 데이터를 기대값과 비교한 결과를 페일 정보로 출력하는 시험부와, 피시험 메모리에 대한 시험과 병행해 리페어용 해석처리정보를 생성하는 해석부를 구비하며, 해석부는 시험부가 피시험 메모리에 액세스하는 어드레스에 대응한 어드레스 신호를 받아 피시험 메모리의 블록을 리페어 라인에 대응해 분할한 메모리 영역별로 시험부가 출력하는 페일 정보를 누적 가산한 플래그 정보를 기억하는 플래그 메모리와, 시험부가 피시험 메모리에 액세스하는 어드레스에 대응한 어드레스 신호를 받아 피시험 메모리가 구비하는 복수 열 리페어 라인별로 시험부가 출력하는 페일 정보의 발생횟수를 계산한 결과를 기억하는 카운트 메모리를 갖는 시험장치를 제공한다.

한편, 상기 발명의 개요는 본 발명의 필요한 특징 모두를 열거한 것이 아니며 이들 특징군의 서브 콤비네이션(sub combination)도 발명이 될 수 있다.

도 1은 본 발명의 실시형태에 따른 시험장치(10)의 구성을 피시험 메모리와 함께 도시한다.

도 2는 피시험 메모리(100)의 구성의 일례를 도시한다.

도 3은 본 발명의 실시형태에 관한 시험장치(10)에 의한 도 2에 나타낸 피시험 메모리(100)에 대한 시험 플로우를 도시한다.

도 4는 도 2의 불량 기억 셀의 패턴을 갖는 피시험 메모리(100)을 시험한 경우의 플래그 메모리(31)에 기억된 플래그 및 카운트 메모리(32)에 기억된 불량 블록 수를 도시한다.

도 5는 도 4에 나타낸 피시험 메모리(100)에 포함된 불량 기억 셀의 패턴의 일 예 및 이 패턴에 대한 칼럼 리페어 처리 및 블록 리페어 처리의 일 예를 도시한다.

도 6은 본 발명의 실시형태의 불량 블록 수 산출부(31)의 구성의 일 예를 도시한다.

도 7은 기억 셀 단위의 리페어용 칼럼을 구비하는 피시험 메모리(100)의 일례를 도시한다.

도 8은 본 발명의 실시형태 제 1 변형례에 관한 시험장치(10)의 구성을 피시험 메모리(100)와 함께 도시한다.

도 9는 본 발명의 실시형태의 제 2 변형례에 관한 시험장치(10)의 구성을 피시험 메모리(100)와 함께 도시한다.

(부호의 설명)

10 시험장치

20 시험부

21 페일 메모리

22 패턴 발생부

23 파형 발생부

24 논리 비교부

25 페일 압축부

26 논리합부

30 불량 블록 수 산출부

31 플래그 메모리

32 카운트 메모리

33 페일 기입부

34 카운트부

40 선택부

61 최소 번호 페이지 검출부

62 AND 회로

63 OR 회로

64 에지(edge) 검출부

65 가산회로

100 피시험 메모리

[발명의 실시를 위한 최선의 형태]

이하, 발명의 실시 형태를 통하여 본 발명을 설명하지만, 이하의 실시 형태는 청구 범위에 관한 발명을 한정하는 것이 아니고, 또한 실시 형태에서 설명하고 있는 특징의 조합 모두가 발명의 해결 수단에 필수적인 것은 아니다.

도 1은 본 실시형태에 관한 시험장치(10)의 구성을 피시험 메모리(100)와 함께 도시한다. 시험장치(10)는 플래쉬 메모리 등의 피시험 메모리(100)를 시험한다. 피시험 메모리(100)은 복수의 칼럼을 각각 갖는 복수의 블록과 복수의 블록에서 동일한 칼럼 위치의 모든 칼럼을 일괄해서 치환이 가능하게 설치된 리페어용 칼럼을 구비한다.

시험장치(10)는, 시험부(20)와 불량 블록 수 산출부(30)와 선택부(40)를 구비한다. 시험부(20)는 피시험 메모리(100)를 블록별로 시험해서 시험대상 블록의 칼럼별 양호 여부를 출력한다. 시험부(20)는 일례로 페일 메모리(21), 패턴 발생 부(22), 파형 발생부(23), 논리 비교부(24), 페일 압축부(25), 논리합부(26)를 갖는다. 페일 메모리(21)는 피시험 메모리(100)의 기억 셀별 양호 여부를 나타내는 페일 정보를 기억한다. 이를 대신해, 페일 메모리(21)는 기억 셀별 양호 여부를 나타내는 페일 정보를 압축한 정보, 예를 들면 IO 별 양호 여부 또는 칼럼별 양호 여부를 나타내는 페일 정보를 기억할 수 있다.

패턴 발생부(22)는 피시험 메모리(100)에 대해 공급해야 하는 시험 신호의 시험 패턴, 공급한 시험 신호에 응해 피시험 메모리(100)로부터 출력되어야 하는 출력 신호의 기대값, 피시험 메모리(100)의 시험대상이 되어 있는 기억 셀의 피시험 메모리(100)의 어드레스가 발생한다. 파형 발생부(23)는 시험 패턴을 바탕으로 시험 신호를 발생하여 피시험 메모리(100)에 공급한다.

논리 비교부(24)는 피시험 메모리(100)에서 출력된 출력 신호와 기대값을 비트별로 논리 비교해 각 비트에 대응하는 기억 셀이 불량인지 아닌지를 판단한다. 그리고, 논리 비교부(24)는 기억 셀이 불량인지 아닌지를 비트별로 나타내는 페일 정보를 페일 메모리(21) 상의 패턴 발생부(22)에서 발생된 어드레스를 바탕으로 한 위치에 논리합부(26)를 이용해 기입한다. 페일 압축부(25)는 논리 비교부(24)에서 출력된 기억 셀이 불량인지 아닌지를 비트 별로 나타내는 페일 정보를, 예를 들면, OR 함으로써 칼럼별 양호 여부를 나타내는 플래그로 압축해서 시험결과로 출력한다. 논리합부(26)는 논리 비교부(24)에서 출력된 페일 정보와 페일 메모리(21) 상의 기입 대상 위치에서 읽은 페일 정보를 논리합 연산한다. 논리합부(26)는 복수 회 시험을 한 경우에 동일 비트 위치에 대해 적어도 1회 불량이 검출되면 페일 메 모리(21) 상의 해당 비트 위치의 값을 불량으로 할 수 있다.

불량 블록 수 산출부(30)는 시험부(20)에서 출력된 피시험 메모리(100)의 칼럼별 양호 여부를 나타내는 시험 결과를 취득하고 이 시험결과를 바탕으로 피시험 메모리(100) 내의 복수의 칼럼 각각에 포함되는 불량 블록 수를 산출한다. 불량 블록 수 산출부(30)는 시험부(20)에 의한 피시험 메모리(100)의 시험과 병렬로 불량 블록 수를 산출해도 된다.

보다 구체적으로는, 불량 블록 수 산출부(30)는 플래그 메모리(31), 카운트 메모리(32), 페일 기입부(33) 및 카운트부(34)를 갖는다. 플래그 메모리(31)는 피시험 메모리(100) 내의 시험대상이 되는 블록인 시험대상 블록을 갖는 복수의 칼럼 각각에 대응해 해당 블록의 해당 칼럼의 양호 여부를 나타내는 플래그를 기억한다. 카운트 메모리(32)는 피시험 메모리(100) 내 복수의 칼럼 각각에 대응해 이 칼럼의 칼럼 위치에 불량을 갖는 블록 수를 기억한다.

페일 기입부(33)는 시험대상 블록 내의 시험대상 칼럼의 시험결과를 시험부(20)에서 수취해 이 시험결과가 불량인 것 및 이 칼럼에 대응해 플래그 메모리(31) 내에 기억된 플래그가 불량을 나타내는 것의 적어도 하나를 만족하는 조건으로 이 칼럼이 불량인 것을 나타내는 플래그를 플래그 메모리(31)에 기입한다. 이에 의해 페일 기입부(33)는 시험대상 블록이 갖는 복수의 칼럼 각각에 대해 양호 여부를 나타내는 플래그를 플래그 메모리(31)에 대해 기입할 수 있다.

카운트부(34)는 시험대상 칼럼의 시험결과를 시험부(20)로부터 수취해 이 시험결과가 불량이며 이 칼럼에 대응해 플래그 메모리(31) 내에 불량을 나타내는 플 래그가 기억되어 있지 않은 것을 조건으로 이 칼럼에 대응해 카운트 메모리(32)에 기억된 블록 수를 증분시킨다. 이에 의해 카운터부(34)는 피시험 메모리(100) 내의 모든 블록에 대한 시험이 완료한 후에 이 피시험 메모리(100) 내 복수의 칼럼 각각에 포함되는 불량 블록 수를 카운트 메모리(32)에 기억시킬 수 있다.

선택부(40)는 카운트 메모리(32)에 기억된 칼럼별 불량 블록 수를 바탕으로 리페어용 칼럼으로 치환해야 하는 칼럼을 선택한다. 또, 선택부(40)는 리페어용 칼럼으로 치환해야 하는 칼럼으로 불량 블록 수가 보다 큰 칼럼 위치에 대응하는 칼럼을 보다 우선해서 선택해도 된다. 예를 들면, 선택부(40)는 카운트 메모리(32)에 기억된 칼럼별 불량 블록 수를 바탕으로 각각의 칼럼에 대해 우선도를 결정하고 결정한 우선도의 상위 칼럼부터 순서대로 리페어용 칼럼으로 치환해야 하는 칼럼으로 선택해도 된다. 그리고 선택부(40)는 피시험 메모리(100)의 소정의 기억 영역에 대해 선택한 칼럼과 리페어용 칼럼과의 대응관계를 기입하는 것 등으로 선택한 칼럼을 리페어용 칼럼으로 치환할 수 있다.

이상과 같이 시험장치(10)는 페일 메모리(21)에 대한 정보의 기입과는 별도로 피시험 메모리(100)의 칼럼별 불량 블록 수를 구해 리페어용 칼럼으로 치환해야 하는 칼럼을 선택한다. 이에 의해, 시험장치(10)에 의하면 페일 메모리(21)에서 페일 정보를 읽지 않고 단시간에 효과적으로 리페어용 칼럼으로 치환해야 하는 칼럼을 선택할 수 있다. 이에 의해, 시험장치(10)에 의하면 압축 전의 페일 정보를 페일 메모리(21)에 기입할 수 있고, 예를 들면, 물리적인 불량 위치를 나타내는 분포 데이터 작성 등에도 페일 메모리(21) 상의 페일 정보를 이용할 수 있다.

도 2는 피시험 메모리(100)의 구성의 일례를 도시한다. 피시험 메모리(100)는 복수 페이지를 각각 갖는 복수의 블록과 복수의 리페어용 칼럼과 복수의 리페어용 블록을 구비하는 플래쉬메모리여도 된다. 복수의 블록은 각각의 위치를 나타내는 블록 번호가 부여되어 있다. 페이지는 데이터의 기입 및 읽기 단위이다. 복수의 페이지는 각각에 대한 블록 내의 위치를 나타내는 페이지 번호가 부여되어 있다.

페이지는 각각 복수의 칼럼을 갖는다. 페이지 내의 칼럼 수는 모든 페이지에서 동일하다. 각각의 페이지 내 복수의 칼럼은 각각을 특정하는 칼럼 번호가 부여되어 있다. 칼럼 번호는 모든 블록의 모든 페이지에 걸쳐 공통된다. 따라서, 칼럼 번호를 특정함으로써 모든 블록의 모든 페이지에 대해 동일 위치의 칼럼을 특정할 수 있다. 또, 각 페이지 내에는 유저 데이터(user data)가 기억되는 데이터 영역(data area)과 관리 데이터 등이 기록된 엑스트라 영역(extra area)으로 분할된다. 또, 하나의 페이지 내의 하나의 칼럼은 소정수의 비트의 기억 셀을 포함하며 복수의 IO 핀(pin)을 사용해 병렬로 입출력된다.

리페어용 칼럼은 불량 기억 셀을 포함한 칼럼을 대신해 기억영역으로 이용되는 것을 목적으로 한 칼럼이다. 리페어용 칼럼은 피시험 메모리(100) 내의 모든 블록의 전 페이지에 대해 동일 위치의 칼럼에 대응하는 IO를 포함하고 있으며 리페어 처리가 됨으로써 모든 블록의 모든 페이지에 대해 동일 위치의 하나의 칼럼과 일괄해서 치환할 수 있다.

리페어용 블록은 불량 기억 셀을 포함한 블록을 대신해 기억영역으로 사용되는 것을 목적으로 한 블록이다. 리페어용 블록은 블록과 거의 동일한 구성이며 리 페어 처리됨으로써 임의의 하나의 블록과 치환된다. 이렇게 리페어 처리된 피시험 메모리(100)는 양품(良品)의 메모리 디바이스로 사용할 수 있다.

도 3은 본 실험형태에 관한 시험장치(10)에 따른 도 2에 도시된 피시험 메모리(100)에 대한 시험 플로우를 도시한다. 우선, 시험부(20)는 단계(S11)에서 피시험 메모리(100)에 대해 기입한 데이터를 읽고, 읽은 데이터를 기대값과 비교해 각각의 기억 셀의 양호 여부를 판단한다. 그리고, 시험부(20)는 판정결과를 피시험 메모리(100)의 페일 정보로 페일 메모리(21)에 기입한다. 또, 단계(S11)에서 불량 블록 수 산출부(30)는 칼럼별 불량 블록 수를 산출한다. 이 경우, 불량 블록 수 산출부(30)는 시험부(20)에 의한 읽기 시험과 병렬로 칼럼별 불량 블록 수를 산출해도 된다. 그리고, 선택부(40)는 불량 블록 수 산출부(30)에 의해 산출된 불량 블록 수을 바탕으로 리페어용 칼럼으로 치환해야 하는 칼럼을 선택한다.

다음으로, 단계(S12)에서 선택부(40)는 단계(S11)에 의해 선택된 칼럼을 리페어용 칼럼으로 치환하는 처리(칼럼 리페어(clumn repair) 처리)를 행한다. 선택부(40)는, 일례로, 피시험 메모리(100)의 소정의 기억영역에 칼럼 리페어에 관한 정보를 기입함으로써 칼럼 리페어 처리를 행한다. 칼럼 리페어 처리된 피시험 메모리(100)는 이후, 유저(user) 기기에 의해 칼럼 리페어 처리의 대상이 된 칼럼 번호에 액세스된 경우 해당 칼럼을 대신해 리페어용 칼럼에 대한 기입, 읽기 또는 삭제가 행해진다.

계속해서, 단계(S13)에서, 선택부(40)는 칼럼 리페어 처리에 의해 치환된 칼럼을 제외한 칼럼에 불량 기억 셀을 포함한 블록을 검출해 이 블록을 리페어용 블 록으로 치환하는 처리(블록 리페어 처리)를 행한다. 선택부(40)는 일례로, 소정의 기억영역에 블록 리페어에 관한 정보를 기입함으로써 블록 리페어 처리를 행한다. 블록 리페어 처리된 피시험 메모리(100)는 이후, 유저 기기에 의해 블록 리페어 처리의 대상이 된 블록 번호에 액세스된 경우, 이 블록을 대신해 리페어용 칼럼에 대한 기입, 읽기 또는 삭제가 행해진다.

또한, 여기서 선택부(40)는 칼럼 리페어 처리에 의한 불량 기억 셀을 포함하는 복수의 블록을 구제할 수 있다. 그리고, 선택부(40)는 리페어용 블록으로 치환해야 하는 블록 수를 저감하는 것을 목적으로, 칼럼 리페어 처리를 블록 리페어 처리보다도 전에 행한다.

다음으로, 단계(S14)에서, 선택부(40)는 블록 리페어 처리된 상태에서 전체 블록 수에 대한 불량 기억 셀을 포함하는 블록 수의 비율이 일정 비율(예를 들면, 다른 방법으로 불량 기억 셀이 구제될 수 있는 비율) 이하인지 아닌지를 판단한다. 선택부(40)는 일정 비율을 넘는 경우에는 (단계(S14)의 아니오) 계속해서 단계(S15)에서 피시험 메모리(100)가 불량이라고 판단한다. 선택부(40)는 일정 비율 이하의 경우에는 (단계(S14)의 예), 계속해서 단계(S16)에서 피시험 메모리(100)는 양품이라고 판단한다.

이상의 단계(S11~S16) 처리로 시험장치(10)에 의하면 불량 기억 셀을 포함하는 피시험 메모리(100)에 대해 칼럼 리페어 처리 및 블록 리페어 처리를 행하고 칼럼 리페어 처리 및 블록 리페어 처리를 반영한 상태에서 피시험 메모리(100)의 양호 여부 판단할 수 있다. 또한, 시험장치(10)에 의하면, 읽기 시험과 병렬로 칼럼 리페어 처리를 해야 하는 칼럼을 선택할 수 있기 때문에 시험기간을 단축할 수 있다.

또한, 단계(S16)에서 양품판정을 한 경우, 시험장치(10)는 다음의 다른 또는 동일한 내용의 새로운 기입과 읽기 시험을 할 때, 이상의 단계(11)에서 단계(S16)까지의 처리를 행해도 된다. 이에 의해, 시험장치(10)에 의하면 다음의 새로운 읽기 시험을 할 때 새롭게 검출된 불량 기억 셀에 대해서도 칼럼 리페어 처리 및 블록 리페어 처리로 더욱 구제할 수 있다.

도 4는 도 2의 불량 기억 셀의 패턴을 갖는 피시험 메모리(100)를 시험한 경우의 플래그 메모리(31)에 기억되는 플래그 및 카운트 메모리(32)에 기억되는 불량 블록 수를 도시한다. 도 4에서는 횡방향에 칼럼번호, 종방향에 블록번호 및 페이지번호를 부여하였고, 페이지와 칼럼이 교차하는 부분에 해당 위치에 포함되는 불량 기억 셀의 개수를 나타내고 있다.

플래그 메모리(31)는 각 블록의 각각의 칼럼에 대해 적어도 하나의 불량 기억 셀을 포함하고 있는 경우에는, 칼럼이 불량인 것을 표시하는 플래그(도 4에서, 칼럼 불량 플래그라고 칭함)를 기억한다. 예를 들면, 도 4에 나타낸 예의 칼럼 번호 #0이면 블록번호 #2의 페이지번호 #3의 IO에 포함되는 하나의 기억 셀이 불량이기 때문에 플래그 메모리(31)는 블록번호 #2의 칼럼번호 #0의 칼럼 불량 플래그를 "1"로 기억하고 있다.

카운트 메모리(32)는 복수의 칼럼의 각각에 대해 불량이 포함되는 블록 수를 기억한다. 즉, 카운트 메모리(32)는 각각의 칼럼에 대한 모든 블록의 칼럼 불량 플 래그의 합계를 불량이 포함되는 블록 수로 기억한다. 예를 들면, 도 4에 나타낸 예의 칼럼번호 #0이면 카운트 메모리(32)는 불량 블록 수로 "1"을 기억하고 있다.

카운트 메모리(32)가 피시험 메모리(100)에 대한 칼럼별 불량 블록 수를 기억함으로써 선택부(40)는 이 카운트 메모리(32)에 기억된 불량 블록 수의 대소를 비교해 우선도를 산출할 수 있다. 이에 의해, 선택부(40)는 매우 간단한 처리로 리페어용 칼럼으로 치환해야 하는 칼럼을 선택할 수 있다.

도 5는 도 4에 나타낸 피시험 메모리(100)에 포함되는 불량 기억 셀의 패턴의 일례 및 이 패턴에 대한 칼럼 리페어 처리 및 블록 리페어 처리의 일 예를 도시한다. 도 5에 도시된 예에서는, 리페어용 칼럼 수가 4개, 리페어용 블록 수가 2개인 경우를 나타낸다.

피시험 메모리(100)에 대한 읽기 시험이 종료해 불량 기억 셀의 검출이 완료되면 선택부(40)는 칼럼 리페어 처리를 행한다. 칼럼 리페어 처리에서 선택부(40)는 피시험 메모리(100)가 갖는 리페어용 칼럼의 수보다도 불량 기억 셀이 포함된 칼럼의 수가 많은 경우 불량 기억 셀이 포함된 모든 칼럼을 리페어용 칼럼으로 치환할 수는 없다. 따라서, 선택부(40)는 불량 블록 수를 바탕으로 각각의 칼럼에 대해 칼럼을 치환해야 하는 우선도를 산출하고 이 우선도의 상위부터 순서대로 칼럼을 선택한다.

예를 들면, 도 5에 도시된 예라면, 리페어용 칼럼 수가 4개인데 비해 불량 기억 셀이 포함된 칼럼이 7개 존재하기 때문에 선택부(40)는 이들 7개의 불량 칼럼에 대해 많아도 우선도의 상위부터 리페어용 칼럼 수만큼(본 예의 경우 4개)을 선 택해 칼럼 리페어 처리를 행한다.

여기서, 칼럼 리페어 후에 블록 리페어를 행하는 경우, 선택부(40)는 칼럼 리페어 후의 불량 블록 수가 가장 적어지도록 우선도를 결정하는 것이 바람직하다. 이 경우, 우선도 결정에 대해 각각의 블록의 칼럼이 존재하는 불량 기억 셀의 개수는 영향을 미치지 않으며 이 칼럼에 불량 블록이 몇 개 있는지가 영향을 미친다. 즉, 이 칼럼을 리페어용 칼럼으로 치환하는 것으로 몇 개의 불량 블록을 구제할 수 있는지가 우선도의 기준이 된다. 따라서, 선택부(40)는 카운트 메모리(32)에 기억된 칼럼별 불량 블록 수를 바탕으로 불량 블록 수가 많은 순서대로 우선도를 높여도 좋다.

예를 들면, 도 5에 도시된 예라면, 선택부(40)는 불량 블록 수가 많은 순으로 칼럼번호 #6 -> 칼럼번호 #11 -> 칼럼번호 #3 -> … 으로 우선도를 결정한다. 또한, 선택부(40)는 불량 블록 수가 같은 칼럼이 존재하는 경우(도 5의 예라면 칼럼번호 #0, #1, #7이 불량 블록 수가 동일) 이들에 대해서는 다른 기준에 근거해 우선도를 결정해도 된다. 예를 들면, 선택부(40)는 이들에 대해 칼럼번호 순으로 우선도를 결정해도 된다. 이 경우라면 선택부(40)는 불량 블록 수가 많은 순으로 우선도를 결정하고 다음으로 칼럼번호 순으로 우선도를 결정하기 때문에 칼럼번호 #6 -> 칼럼번호 #11 -> 칼럼번호 #3 -> 칼럼번호 #0 -> 칼럼번호 #1 -> 칼럼번호 #7 -> …이라는 우선도가 된다.

칼럼 리페어 처리가 종료하면 선택부(40)는 다음으로 블록 리페어 처리를 행한다. 블록 리페어 처리 시에 선택부(40)는 칼럼 리페어 처리로 치환된 칼럼을 제 외한 칼럼에 불량 기억 셀을 포함하는 블록을 리페어용 블록으로 치환한다. 블록 리페어 처리시에도 피시험 메모리(100)가 갖는 리페어용 블록 수보다도 불량 기억 셀이 포함된 블록의 수가 많을 가능성이 있다. 따라서, 선택부(40)는 칼럼 리페어 처리로 치환된 칼럼을 제외한 칼럼에 불량 기억 셀을 포함한 블록에 대해서도 블록을 치환해야 하는 우선도를 결정해 이 우선도의 상위부터 순서대로 블록을 선택해도 된다.

예를 들면, 도 5에 도시된 예라면, 칼럼 리페어 후에 블록번호 #1, 블록번호 #2 및 블록번호 #3에 불량 기억 셀이 포함된다. 선택부(40)는 일례로, 블록번호 순으로 우선도를 결정하며, 그 결과 블록번호 #1 및 블록번호 #2에 대해 블록 리페어를 행했다.

그리고, 선택부(40)는 블록 리페어 처리가 종료한 후에도 불량 블록을 카운트해, 그 수가 전체 블록 수에 대해 일정 비율 이하이면 피시험 메모리(100)를 양품으로 판단하고 일정 비율을 넘었으면 피시험 메모리(100)를 불량품으로 판단한다.

도 6은 불량 블록 수 산출부(30)의 구성의 일례를 도시한다. 본 예에서 시험부(20)는 피시험 메모리(100)의 복수의 블록 각각에 대해 이 블록이 갖는 복수 페이지를 각각 시험해 이 페이지에 대한 칼럼별 양호 여부를 출력한다. 이 경우에 시험부(20)는 이 칼럼이 불량이면 "H 논리", 칼럼이 양품이면 "L 논리"를 나타내는 시험결과를 출력해도 된다. 또, 시험부(20)는 시험결과에 대한 시험대상 블록 내의 칼럼 위치를 나타내는 시험대상 칼럼 위치 및 시험결과에 대한 시험대상 블록 내의 페이지 위치를 나타내는 시험대상 페이지 위치를 출력해도 된다.

또, 나아가, 본 예에 관한 시험부(20)는 복수의 블록 각각을 순서대로 시험해 시험대상 블록의 칼럼별 양호 여부를 출력한다. 즉, 시험부(20)는 하나의 블록 내의 모든 페이지의 모든 칼럼에 대해 시험이 완료한 후에 다음 블록의 시험을 행함과 동시에 같은 블록에 대해서는 중복되지 않도록 시험을 행한다. 또한, 시험부(20)는 피시험 메모리(100)에 대한 기입 및 읽기 시험을 행하고 있는 것을 나타내는 라이트 이네이블(write enable, WE)을 출력해도 된다.

플래그 메모리(31)는 적어도 피시험 메모리(100)의 칼럼 개수의 플래그(예를 들면 1비트 데이터)를 기억한다. 또 시험부(20)가 복수의 블록 각각을 순서대로 시험한 결과, 하나의 칼럼에 대해 복수 블록의 시험결과가 페일 기입부(33)에서 기입되지만 플래그 메모리(31)은 복수 블록에 대해 공통하는 기억영역에 시험대상 블록이 갖는 복수의 칼럼 각각에 대응하는 플래그를 기억한다. 이에 의해 플래그 메모리(31)에 의하면 복수의 블록별로 기억영역을 가질 필요가 없게 된다.

카운트 메모리(32)는 적어도 피시험 메모리(100)의 칼럼 개수의 데이터값을 기억한다. 보다 구체적으로는, 카운트 메모리(32)는 적어도 피시험 메모리(100)가 갖는 블록 수를 표현할 수 있는 워드수의 데이터값을 기억한다. 이에 의해, 카운트 메모리(32)는 피시험 메모리(100)의 각각의 칼럼에 포함되는 불량 블록 수를 기억한 데어터치로 표현할 수 있다.

또한, 플래그 메모리(31) 및 카운트 메모리(32)는 라이트 이네이블(WE)에 응해 페일 기입부(33) 또는 카운트부(34)에 의한 기입을 허가해도 된다. 이에 의해 불량 블록 수 산출부(30)는 시험부(20)에 의한 동작과 병렬로 함께 동작할 수 잇다.

페일 기입부(33)는 시험대상 블록 내의 시험대상 칼럼이 불량인 것을 나타내는 플래그를 플래그 메모리(31) 상의 시험대상 칼럼 위치로 특정된 어드레스에 대해 기입해도 된다. 또, 페일 기입부(33)는 플래그 메모리(31)에 기억된 플래그를 이 플래그 메모리(31) 상의 시험대상 칼럼 위치로 특정되는 어드레스에서 읽어도 된다. 이에 의해 페일 기입부(33)에 의하면 시험대상 블록 내의 시험대상 칼럼의 시험결과를 시험부(22)에서 수취해 이 시험결과가 불량인 것 및 이 칼럼에 대응해 플래그 메모리(31) 내에 기억된 플래그가 불량을 나타내는 것의 적어도 하나를 만족하는 것을 조건으로 이 칼럼이 불량인 것을 나타내는 플래그를 플래그 메모리(31)에 기입할 수 있다.

또한, 페일 기입부(33)는 시험대상 블록 내 최초의 시험대상 페이지 내의 시험대상 칼럼의 시험결과를 수취한 것을 조건으로 이 시험결과의 양호 여부를 나타내는 플래그를 플래그 메모리(31)에 기입해도 된다. 이에 의해 페일 기입부(33)에 의하면 복수의 블록 각각을 순서대로 시험하는 경우, 시험대상 블록이 갱신된 것을 조건으로 플래그 메모리(31)에 대해 플래그를 기입할 수 있다. 따라서, 이러한 페일 기입부(33)에 의하면 플래그 메모리(31)의 기억영역을 복수 블록에 대해 공통으로 이용할 수 있다.

또한, 시험부(20)는 복수의 블록 각각에 대해 이 블록이 갖는 복수의 페이지를 페이지번호가 최소 페이지부터 순서대로 시험해 이 페이지에 대한 칼럼별 양호 여부를 출력해도 된다. 이 경우에, 페일 기입부(33)는 시험대상 블록 내의 페이지번호가 최소 페이지에 대한 시험대상 칼럼의 시험결과를 수취한 것을 조건으로 이 시험결과의 양호 여부를 나타내는 플래그를 플래그 메모리(31)에 기입해도 좋다. 이에 의해, 페일 기입부(33)에 의하면 복수의 블록 각각을 순서대로 시험하는 경우 시험대상 블록 내 최초의 페이지부터 플래그 메모리(31)에 대해 플래그를 기입할 수 있다. 따라서 이러한 페일 기입부(33)에 의하면 플래그 메모리(31)의 기억영역을 복수 블록에 대해 공통으로 이용할 수 있다.

페일 기입부(33)는 일례로 최소번호 페이지 검출부(61), AND 회로(62) 및 OR 회로(63)를 포함해도 된다. 최소번호 페이지 검출부(61)에는 시험부(20)에서 출력된 시험대상 페이지번호가 입력된다. 그리고 최소번호 페이지 검출부(61)는 시험대상 블록 내의 최소 페이지번호(예를 들면 ALL "0")의 페이지가 기입된 경우에 H 논리를 출력하고 최소 페이지번호 이외의 페이지번호가 입력된 경우에 L 논리를 출력한다.

AND 회로(62)는 플래그 메모리(31)의 시험대상 칼럼 위치로 특정되는 어드레스에 기억되어 있는 플래그의 논리값과 최소번호 페이지 검출부(61)의 출력값을 반전한 논리치가 입력되어 이들을 AND 논리 연산한 논리값을 출력한다. AND 회로(62)가 출력하는 논리값은 시험대상 페이지 번호가 최소번호 페이지 이외의 페이지이며 플래그 메모리(31)에 기억된 논리치가 H 논리인 경우에 H 논리가 된다. 또, AND 회로(62)가 출력하는 논리값은 시험대상 페이지번호가 최소번호 페이지인 경우 및 시험대상 페이지번호가 최소번호 페이지가 아닌 경우라도 플래그 메모리(31)에 기억 된 논리값이 L 논리인 경우에 L 논리가 된다.

OR 회로(63)는 시험대상 블록 내 시험대상 페이지의 시험대상 칼럼의 시험결과를 나타내는 논리값과 AND 회로(62)에서 출력된 논리값이 입력되어 이들을 OR 논리연산한 논리값을 출력한다. OR 회로(63)가 출력하는 논리값은 시험대상 칼럼의 시험결과가 H 논리인 경우 또는 AND회로(62)에서 출력된 논리값이 H 논리인 경우에 H 논리가 된다. 또 OR 회로(63)가 출력하는 논리값은 시험대상 칼럼의 시험결과가 L 논리이며 AND 회로(62)에서 출력된 논리값이 L 논리인 경우에 L 논리가 된다. 그리고, OR 회로(63)는 출력하는 논리값을 플래그 메모리(31) 상의 시험대상 칼럼 위치로 측정되는 어드레스에 대해 기입한다.

이상으로 페일 기입부(33)에 의하면, 시험대상 블록 내의 페이지번호가 최소인 페이지에 대한 시험대상 칼럼의 시험결과를 수취한 것을 조건으로 이 시험결과의 양호 여부를 나타내는 플래그를 플래그 메모리(31)에 이미 기억된 값에 관계없이 플래그 메모리(31)에 기입해 초기화할 수 있다. 그리고 초기화한 후는, 페일 기입부(33)에 의하면 시험대상 블록 내의 시험대상 칼럼의 시험결과가 불량인 것 및 이 칼럼에 대응해 플래그 메모리(31) 내에 기억된 플래그가 불량을 나타내는 것의 적어도 하나를 만족하는 것을 조건으로 이 칼럼이 불량인 것을 나타내는 플래그를 플래그 메모리(31)에 기입할 수 있다. 이에 의해, 페일 기입부(33)에 의하면 시험대상 블록의 시험대상 칼럼 중 어느 한 페이지에 불량을 포함하는 경우, 이 칼럼이 불량인 것을 나타내는 플래그를 플래그 메모리(31)에 기입할 수 있다.

카운트부(34)는 일례로 에지 검출부(64)와 가산회로(65)를 포함해도 된다. 에지 검출부(64)는 시험대상 칼럼의 시험결과와 AND회로(62)에서 출력된 논리값이 입력된다. 에지 검출부(64)는 시험대상 칼럼의 시험결과가 H 논리이며 AND회로(62)에서 출력된 논리치가 L 논리인 경우에 "1"을 출력하고, 그 외의 경우에 "0"을 출력한다. 즉, 에지 검출부(64)의 출력신호는 시험대상 블록 내의 시험대상 칼럼이 최초에 시험결과가 불량이 된 타이밍에 "1"이 되고 그 외의 타이밍에 "0"이 된다.

가산회로(65)는 카운트 메모리(32)의 시험대상 칼럼 위치로 특정되는 어드레스에 기억된 데이터값과 에지 검출부(64)의 출력값이 입력되고 이들 가산치를 출력한다. 카운트 메모리(32)에 기억된 데이터값은 불량 블록 수를 나타내기 때문에 에지 검출부(64)의 출력값이 "1"인 경우 가산회로(65)의 출력값은 이 불량 블록 수가 증분된 값이 된다.

그리고, 가산회로(65)는 가산결과를 카운트 메모리(32) 상의 시험대상 칼럼 위치로 특정되는 어드레스에 기입한다. 이에 의해 카운트부(34)는 시험대상 칼럼의 시험결과가 불량이며 이 칼럼에 대응해 플래그 메모리(31) 내에 불량을 나타내는 플래그가 기억되어 있지 않은 것을 조건으로 이 칼럼에 대응해서 카운트 메모리(32)에 기억된 블록 수를 증분시킬 수 있다.

또, 이상적인 형태를 대신해 플래그 메모리(31)는 복수의 블록 각각에 대해 개별로 설치된 기억영역에 이 블록이 갖는 복수의 칼럼 각각에 대응하는 플래그를 기억해도 된다. 이 경우에, 페일 기입부(33)는 시험대상 블록 내의 시험대상 칼럼이 불량인 것을 나타내는 플래그를 플래그 메모리(31) 상의 시험대상 블록 위치 및 시험대상 칼럼 위치로 특정되는 어드레스에 대해 기입한다. 또, 페일 기입부(33)는 플래그 메모리(31)에 기억된 플래그를 이 플래그 메모리(31) 상의 시험대상 블록 위치 및 시험대상 칼럼 위치로 특정되는 어드레스에서 읽는다.

불량 블록 수 산출부(30)는 이러한 플래그 메모리(31)를 가지므로 복수 블록에 대한 시험결과를 블록별로 순서대로 출력하지 않는 경우라도 피시험 메모리(100) 각각의 칼럼에 포함되는 불량 블록 수를 나타내는 데이터값을 기억할 수 있다.

도 7은 본 실시형태의 제1 변형례에 관한 시험장치(10)로 시험되는 피시험 메모리(100)의 구성의 일례를 도시한다. 본 변형례에 관한 시험장치(10)는 IO 비트 위치마다 개별로 치환되는 복수의 리페어용 칼럼을 구비하는 피시험 메모리(100)를 시험해도 된다. 이 레퍼어용 칼럼은 칼럼 리페어 처리됨으로써 모든 블록의 모든 페이지에 대해 동일 위치의 하나의 칼럼의 IO 상 소정의 비트 위치의 기억 셀과 일괄해서 치환된다.

도 8은 도 7의 피시험 메모리(100)에 대해 시험하는 본 실시형태 제 1 변형례에 관한 시험장치(10)의 구성을 이 피시험 메모리(100)과 함께 도시한다. 본 변형례에 관한 시험장치(10)는 도 1에 도시한 동일 부호의 부재와 거의 동일한 구성 및 기능을 취하기 때문에 이하 상이점을 제외하고는 설명을 생략한다.

본 변형예에 관한 시험부(20)는, 시험결과로 IO에 각각의 비트 위치의 칼럼별 양호 여부를 나타내는 페일 정보를 출력한다. 시험장치(10)는 IO의 각각의 비트 위치에 대응한 복수의 불량 블록 수 산출부(30)(30-1~30-m, 여기서 m은 IO 비트수를 나타낸다)를 구비한다. 불량 블록 수 산출부(30) 각각은 시험부(20)에서 출력된 시험결과 중 대응하는 비트 위치의 시험결과를 취득해 불량 블록 수를 산출한다.

그리고, 선택부(40)는 불량 블록 수 산출부(30)(30-1~30-m) 각각에서 불량 블록 수를 취득해 리페어용 칼럼으로 치환해야 하는 칼럼을 IO 비트 위치별로 선택한다. 이와 같은 본 변형례에 관한 시험장치(10)에 의하면 리페어용 칼럼으로 치환해야 하는 칼럼을 IO의 각각의 비트 위치의 기억 셀 단위로 선택할 수 있다.

도 9는 본 실시형태의 제 2 변형례에 관한 시험장치(10)의 구성을 피시험 메모리(100)와 함께 도시한다. 본 변형례에 관한 시험장치(10)는 도 1에 도시한 동일 부호의 부재와 거의 동일한 구성 및 기능을 취하기 때문에 이하 상이점을 제외하고는 설명을 생략한다.

선택부(40)는, 페일 메모리(21)에 대해 읽기 명령 및 어드레스를 출력해서 페일 메모리(21)에 최종적으로 기억된 칼럼별 양호 여부를 나타내는 시험결과를 순차적으로 읽는다. 페일 압축부(25)는 페일 메모리(21)에서 출력되는 기억 셀이 불량인지 아닌지를 비트별로 나타내는 페일 정보를, 예를 들면 OR 함으로써 칼럼별 양호 여부를 나타내는 플래그에 압축해서 시험결과로 출력한다. 불량 블록 수 산출부(30)는 페일 압축부(25)에서 출력된 시험결과와 선택부(40)에서 출력된 어드레스를 바탕으로 불량 불럭수를 산출한다. 이에 의해 불량 블록 수 산출부(30)는 페일 메모리(21)에 최종적으로 기억된 시험결과를 바탕으로 피시험 메모리(100) 내의 복수의 칼럼 각각에 포함되는 불량 블록 수를 산출할 수 있다.

이상, 본 발명의 실시형태를 이용해 설명했으나 본 발명의 기술적 범위는 상기 실시형태에 기재된 범위에 한정되지 않는다. 상기 실시형태에 다양한 변형 또는 개량을 가할 수 있다는 것은 당업자에게는 자명하다. 이러한 변형 또는 개량을 가한 형태도 본 발명의 기술적 범위에 포함될 수 있음이 청구 범위의 기재에서도 분명히 알 수 있다.

Claims

복수의 칼럼을 각각 갖는 복수의 블록과, 상기 복수의 블록에 있어서의 동일한 칼럼 위치의 모든 칼럼을 일괄해서 치환이 가능하게 설치된 리페어용 칼럼을 구비한 피시험 메모리를 시험하는 시험장치에 있어서,

상기 피시험 메모리를 블록별로 시험해 시험대상 블록의 칼럼별 양호 여부를 출력하는 시험부;

상기 시험대상 블록을 갖는 상기 복수의 칼럼 각각에 대응해 해당 블록의 해당 칼럼의 양호 여부를 나타내는 플래그를 기억하는 플래그 메모리;

상기 복수의 칼럼 각각에 대응해 해당 칼럼의 칼럼 위치에 불량을 갖는 블록 수를 기억하는 카운트 메모리;

상기 시험대상 블록 내의 시험대상 칼럼의 시험결과를 상기 시험부에서 수취해 해당 시험결과가 불량인 것 및 해당 칼럼에 대응해 상기 플래그 메모리 내에 기억된 상기 플래그가 불량인 것을 나타내는 것의 적어도 하나를 만족하는 것을 조건으로 해당 칼럼이 불량인 것을 나타내는 상기 플래그를 상기 플래그 메모리에 기입하는 페일 기입부;

상기 시험대상 칼럼의 시험결과를 상기 시험부에서 수취해 해당 시험결과가 불량이며 해당 칼럼에 대응해 상기 플래그 메모리 내에 불량을 나타내는 상기 플래그가 기억되어 있지 않은 것을 조건으로 해당 칼럼에 대응해 상기 카운트 메모리에 기억된 블록 수를 증분시키는 카운트부; 및

상기 카운트 메모리에 기억된 칼럼별 불량 블록 수를 바탕으로 상기 리페어용 칼럼으로 치환해야 하는 칼럼을 선택하는 선택부;

를 구비하는 시험장치.
제1항에 있어서,

상기 시험부는 상기 복수의 블록 각각에 대해 해당 블록이 갖는 복수의 페이지를 각각 시험해 해당 페이지에 대한 칼럼별 양호 여부를 출력하고,

상기 페일 기입부는 상기 시험대상 블록 내 최초의 시험대상 페이지 내의 시험대상 칼럼의 시험결과를 수취한 것을 조건으로 해당 시험결과의 양호 여부를 나타내는 상기 플래그를 상기 플래그 메모리에 기입하는 것을 특징으로 하는 시험장치.
제2항에 있어서,

상기 시험부는 상기 복수의 블록 각각을 순서대로 시험해 상기 시험대상 블록의 칼럼별 양호 여부를 출력하고,

상기 플래그 메모리는 상기 복수의 블록에 대해 공통되는 기억영역에 상기 시험대상 블록이 갖는 상기 복수의 칼럼 각각에 대응하는 상기 플래그를 기억하는 것을 특징으로 하는 시험장치.
제2항에 있어서,

상기 플래그 메모리는 상기 복수의 블록 각각에 대해 개별로 설치된 기억영역에 해당 블록이 갖는 상기 복수의 칼럼 각각에 대응하는 상기 플래그를 기억하는 것을 특징으로 하는 시험장치.
제2항에 있어서,

상기 시험부는 상기 복수의 블록 각각에 대해 해당 블록이 갖는 복수의 페이지를 페이지번호가 최소인 페이지부터 순서대로 시험하고,

상기 페일 기입부는 상기 시험대상 블록 내의 페이지번호가 최소인 페이지에 대한 상기 시험대상 칼럼의 시험결과를 수취한 것을 조건으로 해당 시험결과의 양호 여부를 나타내는 상기 플래그를 상기 플래그 메모리에 기입하는 것을 특징으로 하는 시험장치.
제1항에 있어서,

상기 선택부는 상기 리페어용 칼럼으로 치환해야 하는 칼럼으로 불량 블록 수가 더 큰 칼럼 위치에 대응하는 칼럼을 보다 우선해서 선택하는 것을 특징으로 하는 시험장치.
복수의 칼럼을 각각 갖는 복수의 블록과 상기 복수의 블록에 있어서의 동일한 칼럼 위치의 모든 칼럼을 일괄해서 치환이 가능하게 설치된 리페어용 칼럼을 구비한 피시험 메모리에 대해 상기 리페어용 칼럼과 치환해야하는 칼럼 위치를 선택 하는 선택장치에 있어서,

시험대상이 된 시험대상 블록이 갖는 상기 복수의 칼럼 각각에 대응해 해당 블록의 해당 칼럼의 양호 여부를 나타내는 플래그를 기억하는 플래그 메모리;

상기 복수의 칼럼 각각에 대응해 해당 칼럼의 칼럼 위치에 불량을 갖는 블록수를 기억하는 카운트 메모리;

상기 시험대상 블록 내의 시험대상 칼럼의 시험결과를 입력받아 해당 시험결과가 불량인 것 및 해당 칼럼에 대응해 상기 플래그 메모리 내에 기억된 상기 플래그가 불량인 것을 나타내는 것의 적어도 하나를 만족하는 것을 조건으로 해당 칼럼이 불량인 것을 나타내는 상기 플래그를 상기 플래그 메모리에 기입하는 페일 기입부;

상기 시험대상 칼럼의 시험결과를 입력받아 해당 시험결과가 불량이며 해당 칼럼에 대응해 상기 플래그 메모리 내에 불량을 나타내는 상기 플래그가 기억되어 있지 않은 것을 조건으로 해당 칼럼에 대응해 상기 카운트 메모리에 기억된 블록 수를 증분시키는 카운트부; 및

상기 카운트 메모리에 기억된 칼럼별 불량 블록 수를 바탕으로 상기 리페어용 칼럼으로 치환해야 하는 칼럼을 선택하는 선택부;

를 구비하는 선택장치.
복수의 블록으로 분할된 기억영역과 복수 열의 리페어용 리페어 라인을 구비하는 플래쉬메모리인 피시험 메모리를 시험해 시험결과를 바탕으로 리페어용 해석 처리를 행하는 시험장치에 있어서,

시험신호를 상기 피시험 메모리에 공급하고 상기 시험신호에 응해 상기 피시험 메모리에서 출력된 읽기 데이터를 기대값과 비교한 결과를 페일 정보로 출력하는 시험부; 및

상기 피시험 메모리에 대한 시험과 병행해 리페어용 해석처리정보를 생성하는 해석부;

를 구비하며,

상기 해석부는,

상기 시험부가 상기 피시험 메모리에 액세스하는 어드레스에 대응한 어드레스 신호를 받아 상기 피시험 메모리의 상기 블록을 상기 리페어 라인에 대응해 분할한 메모리 영역별로 상기 시험부가 출력하는 페일 정보를 누적 가산한 플래그정보를 기억하는 플래그 메모리; 및

상기 시험부가 상기 피시험 메모리에 액세스하는 어드레스에 대응한 어드레스 신호를 받아 상기 피시험 메모리가 구비하는 복수 열의 리페어 라인별로 상기 시험부가 출력하는 상기 페일 정보의 발생 회수를 계수한 결과를 기억하는 카운트 메모리;

를 갖는 시험장치.