JPWO2008029434A1 - 半導体記憶装置、半導体記憶装置試験方法 - Google Patents
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Abstract
第1のケースにおいて使用されると判定された場合に使用されるメモリブロックM39,M38,…M1,M0と、第2のケースにおいて使用されると判定された場合に、メモリブロックM39,M38,…M1,M0の代替として使用されるメモリブロックMRと、判定時の判定のために、メモリブロックM39,M38,…M1,M0へ判定用データを書き込むとともに、該判定用データをメモリブロックMRへ書き込む書き込み部と、判定時の判定のために、書き込み部によりメモリブロックM39,M38,…M1,M0へ書き込まれた前記判定用データを読み出すとともに、書き込み部によりメモリブロックMRへ書き込まれた前記判定用データを読み出す読み出し部とを備えた。
Description
本発明は、通常セルの代替とすることができる冗長セルを備えた半導体記憶装置、半導体記憶装置試験方法に関するものである。
RAM(Random Access Memory)の大容量化に伴い、メモリセル不良が大きな問題となってきた。RAM内のメモリセルが全て用いられる場合、一つでも不良セルが存在すれば、そのRAMは使えなくなってしまう。そのため、通常使用するメモリセルである通常セルが不良セルであった場合を救済するため、予め通常セル以外に用意されたメモリセルである冗長セルを備える構成が用いられる。この構成において、PT(プローブテスト)試験により、通常セルに不良セルが発見された場合、冗長セルを不良セルの代わりに使用することにより歩留まりを上げる手法が広く用いられるようになった。PT試験は、ウェハ上の各チップに設けられた電極パッドに検査針(プローブ)を立てることにより行われるテストである。ここで、通常セルの代わりに冗長セルを使用するために、セルの選択信号を与えるヒューズを切断していた。
次に、従来の半導体記憶装置の構成について、書き込み機能の構成と読み出し機能の構成に分けて説明する。
図8は、従来の半導体記憶装置の書き込み機能の構成の一例を示すブロック図である。この半導体記憶装置は、ヒューズデコーダ回路111、メモリブロック選択ユニット(MEM.BLOCK選択ユニット)211、列選択回路(Col.Select)311、メモリブロック(MEM.BLOCK)M39,M38,…M1,M0,MR、書き込みデータを保持するラッチWD39,WD38,…WD1,WD0を備える。ここで、メモリブロックは、少なくとも一つのメモリセルを備える。また、40個のメモリブロックM39,M38,…M1,M0は、それぞれ通常メモリブロックであり、1個のメモリブロックMRは、冗長メモリブロック(冗長MEM.BLOCK)である。
メモリブロック選択ユニット211は、41個のセレクタを備える。各セレクタは、ヒューズデコーダ回路111から出力される制御信号SR,S39,S38,…S1,S0の中のそれぞれ対応する制御信号に従って入力を選択し、それぞれ対応するメモリブロックM39,M38,…M1,M0,MRに出力する。
制御信号SRに対応するセレクタは、VSS(そのメモリブロックを使用しないことを示す)とラッチWD39のデータのいずれか一方を選択し、メモリブロックM39へ書き込む。制御信号S39に対応するセレクタは、ラッチWD39のデータとラッチWD38のデータのいずれか一方を選択し、メモリブロックM38へ書き込む。制御信号S(i)(iは38〜1の整数)に対応するセレクタも同様であり、隣接するラッチWD(i)のデータとラッチWD(i−1)のデータのいずれか一方を選択し、出力に接続されたメモリブロックM(i−1)へ書き込む。制御信号S0に対応するセレクタは、ラッチWD0のデータとVSS(そのメモリブロックを使用しない)のいずれか一方を選択し、メモリブロックM0へ書き込む。
列選択回路311は、外部からの指示に従ってメモリブロックM39,M38,…M1,M0,MRに対応する列を選択する。更に、この半導体記憶装置は、図示されない構成として、外部からの指示に従ってメモリブロックM39,M38,…M1,M0,MR内の行(メモリセル)を選択する行選択回路を備える。
図9は、従来の半導体記憶装置の読み出し機能の構成の一例を示すブロック図である。この図において、図8と同一符号は図8に示された対象と同一又は相当物を示しており、ここでの説明を省略する。この図は、図8と比較すると、メモリブロック選択ユニット211の代わりにメモリブロック選択ユニット212を備え、列選択回路311の代わりに列選択回路312を備え、ラッチWD39,WD38,…WD1,WD0の代わりに読み出しデータ用を保持するラッチRD39,RD38,…RD1,RD0を備える。ラッチRD39,RD38,…RD1,RD0は、この順番でスキャンチェインに接続される。
メモリブロック選択ユニット212は、40個のセレクタを備える。各セレクタは、ヒューズデコーダ回路111から出力される制御信号S39,S38,…S1,S0の中のそれぞれ対応する制御信号に従って入力を選択し、それぞれ対応するラッチRD39,RD38,…RD1,RD0に出力する。
制御信号S39に対応するセレクタは、メモリブロックM39のデータとメモリブロックM38のデータのいずれか一方を選択し、ラッチRD39へ書き込む。制御信号S(i)(iは38〜0の整数)に対応するセレクタも同様であり、隣接するメモリブロックM(i)のデータとメモリブロックM(i−1)のデータのいずれか一方を選択し、出力に接続されたラッチRD(i)へ書き込む。
列選択回路312は、メモリブロックM39,M38,…M1,M0,MR内の列を選択する。更に、この半導体記憶装置は、図示されない構成として、メモリブロックM39,M38,…M1,M0,MR内の行を選択する行選択回路を備える。
ヒューズデコーダ回路111は、図示しないヒューズ回路または外部からのFUSE信号をデコードし、制御信号SR,S39,S38,…S1,S0を生成し、制御信号SR,S39,S38,…S1,S0をメモリブロック選択ユニット211内の各セレクタへ入力し、制御信号S39,S38,…S1,S0をメモリブロック選択ユニット内の各セレクタ212へ入力する。
この半導体記憶装置における各メモリブロック(通常セルからなる通常メモリブロックM0〜M39と冗長セルからなる冗長メモリブロックMR)は、複数のメモリセルで構成され、列選択回路311と行選択回路により選択された1ビットのメモリセルへ書き込みが行われ、列選択回路312と行選択回路により選択された1ビットのメモリセルから読み出しが行われるものである。また、この半導体記憶装置は、通常セル40ビットに対して冗長セル1ビットを持つ。
次に、通常メモリブロックに不良セルが存在しない場合の通常の運用時の動作について説明する。
書き込み時、例えば、ラッチWD39のデータは、メモリブロックM39に書き込まれる。つまり、ラッチWD39,WD38,…WD1,WD0のデータは、メモリブロック選択ユニット211の経路に従って、それぞれメモリブロックM39,M38,…M1,M0に書き込まれる。
読み込み時、メモリブロックM39に書き込まれたデータは、ラッチRD39に読み出される。つまり、メモリブロックM39,M38,…M1,M0のデータは、メモリブロック選択ユニット212に従って、それぞれラッチRD39,RD38,…RD1,RD0に読み出される。
次に、通常メモリブロックに不良セルが存在する場合の通常の運用時の動作について説明する。
図8及び図9において斜線で示したメモリブロックM39に不良セルが存在したと仮定すると、不良セルが存在するメモリブロックM39を示すFUSE信号が、ヒューズデコーダ回路111に入力されてデコードされ、メモリブロック選択ユニット211に入力される。ラッチWD39のデータは、メモリブロック選択ユニット211を経由してメモリブロックM38に書き込まれる。つまり、ラッチWD39,WD38,…WD1,WD0のデータは、メモリブロック選択ユニット211に従って、それぞれメモリブロックM38,M37,…M1,M0,MRに書き込まれる。
同様に、不良セルが存在するメモリブロックM39を示すFUSE信号が、ヒューズデコーダ回路111に入力されてデコードされ、メモリブロック選択ユニット212に入力される。メモリブロックM38のデータは、メモリブロック選択ユニット212を経由してラッチWD39に読み出される。つまり、メモリブロックM38,M37,…M1,M0,MRのデータは、メモリブロック選択ユニット212の経路に従って、それぞれラッチRD39,RD38,…RD1,RD0に読み出される。
ここで、FUSE信号は、図示しないヒューズ回路により生成され、ヒューズデコーダ回路111に入力される。不良セルが存在する場合、ヒューズ回路内の不良セルに対応するヒューズが切断されることにより、ヒューズ回路は不良セルを示すFUSE信号を生成するようになる。また、FUSE信号は、半導体記憶装置の外部から入力しても良い。
しかし、不良セルを救済するはずの冗長セルに不良があった場合、ヒューズを切断しても不良ビットを救済できず、結果として無駄に工程を費やしてしまうことになる。そのため、ヒューズを切断する前に冗長セルの試験を行う手法が用いられている。ヒューズを切断する前に冗長セルを試験する場合、大きく2つの方法に分けられる。
第1の試験方法として、初めに、FUSE信号による不良セルの指示がない状態で、通常セルに対する書き込みと読み出しを行う通常セル試験を行うことにより不良セルを検出し、次に、不良セルを冗長セルに切り替えるように外部からFUSE信号を与え、冗長セルに対する書き込みと読み出しを行う冗長セル試験を行う方法がある。第2の試験方法として、初めに、通常セル試験を行い、次に、不良セルの有無に関わらず、外部からのFUSE信号により強制的に冗長セルにアクセスし、冗長セル試験を行う方法がある。
通常セル試験及び冗長セル試験においては、ラッチRD39,RD38,…RD1,RD0のデータはスキャンチェインにより読み出され、書き込みに用いたラッチWD39,WD38,…WD1,WD0のデータと比較することにより、正常か否かの判断を行う。
なお、本発明の関連ある従来技術として、データビットと冗長ビットを有し、誤り訂正を行う半導体メモリ装置において、試験のためにデータビットと冗長ビットに所望のデータを書き込めるようにした半導体メモリ装置がある(例えば、特許文献1参照)。
特開平8−161897号公報
しかしながら、上述した第1の試験方法と第2の試験方法はいずれも、全ての通常セルと冗長セルを一度に試験することが出来ないため、通常セル試験と冗長セル試験に分け、最低2回の試験を行わなければならない。また、上述した第1の試験方法及び第2の試験方法においては、外部においてFUSE信号の制御が必要となる。
本発明は上述した問題点を解決するためになされたものであり、通常セルと冗長セルの試験を同時に行うことができる半導体記憶装置、半導体記憶装置試験方法を提供することを目的とする。
上述した課題を解決するため、本発明は、第1のケースにおいて使用されると判定された場合に使用される第1メモリブロックと、第2のケースにおいて使用されると判定された場合に、前記第1メモリブロックの代替として使用される第2メモリブロックと、前記判定時の前記判定のために、前記第1メモリブロックへ判定用データを書き込むとともに、該判定用データを前記第2メモリブロックへ書き込む書き込み部と、前記判定時の前記判定のために、前記書き込み部により前記第1メモリブロックへ書き込まれた前記判定用データを読み出すとともに、前記書き込み部により前記第2メモリブロックへ書き込まれた前記判定用データを読み出す読み出し部とを備えたものである。
また、本発明に係る半導体記憶装置において、前記書き込み部により前記第1メモリブロックへ書き込まれた前記判定用データと前記読み出し部により前記第1メモリブロックから読み出された前記判定用データとが等しい場合、前記第1のケースと判定され、前記書き込み部により前記第1メモリブロックへ書き込まれた前記判定用データと前記読み出し部により前記第1メモリブロックから読み出された前記判定用データとが異なる場合、前記第2のケースと判定されることを特徴とする。
また、本発明に係る半導体記憶装置において、前記書き込み部は、書き込みデータを保持する複数の書き込みデータ用ラッチと、外部からの指示に従って前記書き込み用ラッチを選択し、選択した前記書き込み用ラッチのデータを所定の前記第1メモリブロックまたは所定の前記第2メモリブロックへ出力する書き込み用選択部とを備え、前記読み出し部は、読み出しデータを保持する複数の読み出し用ラッチと、外部からの指示に従って前記第1メモリブロックまたは前記第2メモリブロックを選択し、選択したメモリブロックのデータを所定の前記読み出し用ラッチへ出力する読み出し用選択部とを備えることを特徴とする。
また、本発明に係る半導体記憶装置において、前記複数の読み出し用ラッチは、スキャンチェインで接続されることを特徴とする。
また、本発明に係る半導体記憶装置において、前記書き込み部は、書き込み時常に、少なくとも一つの所定の前記書き込み用ラッチのデータを、対応する前記第2メモリブロックへ出力し、前記読み出し部は、読み出し時常に、少なくとも一つの所定の前記第2メモリブロックのデータを、対応する前記読み出し用ラッチへ出力することを特徴とする。
また、本発明に係る半導体記憶装置において、更に、前記読み出し部により前記第1メモリブロックから読み出された前記判定用データと前記読み出し部により前記第2メモリブロックから読み出された前記判定用データとの比較を行う比較部を備えることを特徴とする。
また、本発明に係る半導体記憶装置において、前記第1メモリブロックは、前記第1メモリブロックとして用いるために用意された少なくとも一つのメモリブロックの中の一つのメモリブロックであり、前記第2メモリブロックは、前記第2メモリブロックとして用いるために用意された少なくとも一つのメモリブロックの中の一つのメモリブロックであることを特徴とする。
また、本発明に係る半導体記憶装置において、前記第1メモリブロック及び前記第2メモリブロックは、複数のメモリセルで構成され、該複数のメモリセルのうち、外部からの選択信号により選択された一つのメモリセルに対して、前記書き込み部による書き込み、または、前記読み出し部による読み出しが行われることを特徴とする。
また、本発明は、第1のケースにおいて使用されると判定された場合に使用される第1メモリブロックと、第2のケースにおいて使用されると判定された場合に、前記第1メモリブロックの代替として使用される第2メモリブロックとを備える半導体記憶装置の試験を行う半導体記憶装置試験方法であって、前記判定時の前記判定のために、前記第1メモリブロックへ判定用データを書き込むとともに、該判定用データを前記第2メモリブロックへ書き込む書き込みステップと、前記判定時の前記判定のために、前記書き込み部により前記第1メモリブロックへ書き込まれた前記判定用データを読み出すとともに、前記書き込み部により前記第2メモリブロックへ書き込まれた前記判定用データを読み出す読み出しステップとを実行するものである。
また、本発明に係る半導体記憶装置試験方法において、更に、前記書き込みステップにより前記第1メモリブロックへ書き込まれた前記判定用データと前記読み出しステップにより前記第1メモリブロックから読み出された前記判定用データとが等しい場合、前記第1のケースと判定し、前記書き込み部により前記第1メモリブロックへ書き込まれた前記判定用データと前記読み出し部により前記第1メモリブロックから読み出された前記判定用データとが異なる場合、前記第2のケースと判定する判定ステップを実行することを特徴とする。
また、本発明に係る半導体記憶装置試験方法において、前記書き込みステップは、書き込みデータを保持する複数の書き込みデータ用ラッチを選択し、選択した前記書き込み用ラッチのデータを前記第1メモリブロックまたは前記第2メモリブロックへ出力し、前記読み出しステップは、前記第1メモリブロックまたは前記第2メモリブロックを選択し、選択したメモリブロックのデータを、読み出しデータを保持する複数の読み出し用ラッチへ出力することを特徴とする。
また、本発明に係る半導体記憶装置試験方法において、前記読み出しステップは、前記複数の読み出し用ラッチのデータをスキャンチェインにより読み出すことを特徴とする。
また、本発明に係る半導体記憶装置試験方法において、前記書き込みステップは、書き込み時常に、少なくとも一つの所定の前記書き込み用ラッチのデータを、対応する前記第2メモリブロックへ出力し、前記読み出しステップは、読み出し時常に、少なくとも一つの所定の前記第2メモリブロックのデータを、対応する前記読み出し用ラッチへ出力することを特徴とする。
また、本発明に係る半導体記憶装置試験方法において、更に、前記読み出しステップにより前記第1メモリブロックから読み出された前記判定用データと前記読み出しステップにより前記第2メモリブロックから読み出された前記判定用データとの比較を行う比較ステップを備えることを特徴とする。
また、本発明に係る半導体記憶装置試験方法において、前記第1メモリブロックは、前記第1メモリブロックとして用いるために用意された少なくとも一つのメモリブロックの中の一つのメモリブロックであり、前記第2メモリブロックは、前記第2メモリブロックとして用いるために用意された少なくとも一つのメモリブロックの中の一つのメモリブロックであることを特徴とする。
また、本発明に係る半導体記憶装置試験方法において、前記第1メモリブロック及び前記第2メモリブロックは、複数のメモリセルで構成され、該複数のメモリセルのうち、外部からの選択信号により選択された一つのメモリセルに対して、前記書き込み部による書き込み、または、前記読み出し部による読み出しが行われることを特徴とする。
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しつつ説明する。
実施の形態1.
まず、本実施の形態に係る半導体記憶装置の構成について、書き込み機能の構成と読み出し機能の構成に分けて説明する。
まず、本実施の形態に係る半導体記憶装置の構成について、書き込み機能の構成と読み出し機能の構成に分けて説明する。
図1は、本実施の形態に係る半導体記憶装置の書き込み機能の構成の一例を示すブロック図である。この図において、図8と同一符号は図8に示された対象と同一又は相当物を示しており、ここでの説明を省略する。この図は、図8と比較すると、メモリブロック選択ユニット211の代わりにメモリブロック選択ユニット221を備える。メモリブロック選択ユニット221は、40個のセレクタを備え、メモリブロック選択ユニット211における制御信号S0に対応するセレクタを不要とし、メモリブロックMRとラッチWD0とを直接接続する。
図2は、本実施の形態に係る半導体記憶装置の読み出し機能の構成の一例を示すブロック図である。この図において、図9と同一符号は図9に示された対象と同一又は相当物を示しており、ここでの説明を省略する。この図は、図9と比較すると、新たにラッチREDを備える。ラッチREDは、メモリブロックMRから読み出したデータをラッチする。また、ラッチREDは、ラッチRD39,RD38,…RD1,RD0の後に、スキャンチェインに接続される。
上述した構成により、試験時の書き込みにおいて、図1に示すようにラッチWD0のデータは、常にメモリブロックMR(冗長メモリブロック)へ書き込まれる。試験時の読み出しにおいて、図2に示すようにメモリブロックMRのデータは、常にラッチREDへ読み出される。メモリブロックM0,MRの両方に欠陥がなければ、ラッチREDとラッチRD0には常に同じデータがラッチされるはずである。また、ラッチREDがスキャンチェインに組み込まれていることにより、通常セル試験と同様にしてラッチRD39,RD38,…RD1,RD0のデータを読み出すと共にラッチREDのデータを読み出すことができる。つまり、一度の書き込みと読み出しで、通常セル試験と冗長セル試験を合わせたセル試験を行うことができる。
次に、本実施の形態に係る半導体記憶装置の試験時の動作について説明する。
まず、従来の通常セル試験と同様にして、ラッチWD39,WD38,…WD1,WD0からメモリブロックM39,M38,…M1,M0,MRへのデータの書き込みが行われる(書き込みステップ)。次に、メモリブロックM39,M38,…M1,M0,MRからラッチRD39,RD38,…RD1,RD0,REDへのデータの読み出しが行われる(読み出しステップ)。次に、ラッチWD39,WD38,…WD1,WD0への書き込みデータとラッチRD39,RD38,…RD1,RD0からの読み出しデータを比較することにより、通常メモリブロック(メモリブロックM39,M38,…M1,M0)の良否判定が行われる(判定ステップ)。つまり、メモリブロックへの書き込みデータと読み出しデータが一致すればそのメモリブロックは、正常と判定される。次に、ラッチREDのデータとラッチRD0のデータを比較することにより、冗長メモリブロック(メモリブロックMR)の良否判定が行われる。
ここで、通常メモリブロックの良否判定によりメモリブロックW0が正常と判定され、ラッチREDのデータとラッチRD0のデータが等しい場合、メモリブロックWRは正常と判定される。また、通常メモリブロックの良否判定によりメモリブロックW0が正常と判定され、ラッチREDのデータとラッチRD0のデータが異なる場合、メモリブロックWRは異常と判定される。
ここで、通常メモリブロックの良否判定によりメモリブロックW0が異常と判定され、ラッチREDのデータとラッチRD0のデータが異なる場合、メモリブロックWRは正常と判定される。また、通常メモリブロックの良否判定によりメモリブロックW0が異常と判定され、ラッチREDのデータとラッチRD0のデータが等しい場合、メモリブロックWRは異常と判定される。
なお、ラッチREDをスキャンチェインに接続せず、ラッチREDだけを別の出力端子から外部に出力しても良い。
本実施の形態によれば、通常メモリブロックへの書き込みと同時に冗長メモリブロックへの書き込みを行うことができ、通常メモリブロックからの読み出しと同時に冗長メモリブロックからの読み出しを行うことができ、通常メモリブロックの試験と冗長メモリブロックの試験を同時に行うことができる。従って、従来の半導体記憶装置のように、通常セル試験と冗長セル試験とでFUSE信号を制御する必要がない。また、マクロ外部とのインターフェイスは、図8及び図9に示すような本発明を適用しない従来の半導体記憶装置と変わらないため、外部の設計に影響を与えることなく、通常セルと冗長セルの同時に試験を実現することができる。
実施の形態2.
まず、本実施の形態に係る半導体記憶装置の構成について、書き込み機能の構成と読み出し機能の構成に分けて説明する。
まず、本実施の形態に係る半導体記憶装置の構成について、書き込み機能の構成と読み出し機能の構成に分けて説明する。
図3は、本実施の形態に係る半導体記憶装置の書き込み機能の構成の一例を示すブロック図である。この図において、図1と同一符号は図1に示された対象と同一又は相当物を示しており、ここでの説明を省略する。この図において、メモリブロックMRは、メモリブロックM19とメモリブロックM20の間に配置される。また、この図は、図1と比較すると、メモリブロック選択ユニット221の代わりにメモリブロック選択ユニット231を備え、列選択回路311の代わりに列選択回路331を備える。
メモリブロック選択ユニット231は、41個のセレクタを備える。各セレクタは、ヒューズデコーダ回路111から出力される制御信号SR,S39,S38,…S1,S0の中のそれぞれ対応する制御信号に従って入力を選択し、それぞれ対応するメモリブロックM39,M38,…M1,M0,MRに出力する。
制御信号S39に対応するセレクタは、VSS(そのメモリブロックを使用しない)とラッチWD39のデータのいずれか一方を選択し、メモリブロックM39へ書き込む。制御信号S(i)(iは38〜20の整数)に対応するセレクタは、ラッチWD(i+1)のデータとラッチWD(i)のデータのいずれか一方を選択し、メモリブロックM(i)へ書き込む。制御信号SRに対応するセレクタは、ラッチWD20のデータとラッチWD19のデータのいずれか一方を選択し、メモリブロックMRへ書き込む。制御信号S(i)(iは19〜1の整数)に対応するセレクタは、ラッチWD(i)のデータとラッチWD(i−1)のデータのいずれか一方を選択し、メモリブロックM(i)へ書き込む。制御信号S0に対応するセレクタは、ラッチWD0のデータとVSS(そのメモリブロックを使用しない)のいずれか一方を選択し、メモリブロックM0へ書き込む。
図4は、本実施の形態に係る半導体記憶装置の読み出し機能の構成の一例を示すブロック図である。この図において、図2と同一符号は図2に示された対象と同一又は相当物を示しており、ここでの説明を省略する。この図において、メモリブロックMRは、メモリブロックM19とメモリブロックM20の間に配置される。この図は、図2と比較すると、メモリブロック選択ユニット212の代わりにメモリブロック選択ユニット232を備え、列選択回路312の代わりに列選択回路332を備える。ラッチREDは、スキャンチェインに接続され、ラッチRD20とラッチRD19間に接続される。
メモリブロック選択ユニット232は、40個のセレクタを備える。各セレクタは、ヒューズデコーダ回路111から出力される制御信号S39,S38,…S1,S0の中のそれぞれ対応する制御信号に従って入力を選択し、それぞれ対応するラッチRD39,RD38,…RD1,RD0に出力する。
制御信号S(i)(iは39〜21の整数)に対応するセレクタは、メモリブロックM(i)のデータとメモリブロックM(i−1)のデータのいずれか一方を選択し、ラッチRD(i)へ出力する。制御信号S20に対応するセレクタは、メモリブロックM20のデータとメモリブロックMRのデータのいずれか一方を選択し、ラッチRD20へ出力する。制御信号S19に対応するセレクタは、メモリブロックMRのデータとメモリブロックM19のデータのいずれか一方を選択し、ラッチRD19へ出力する。制御信号S(i)(iは18〜0)に対応するセレクタは、メモリブロックM(i+1)のデータとメモリブロックM(i)のデータのいずれか一方を選択し、ラッチRD(i)へ出力する。
上述した構成により、試験時の書き込みにおいて、図3に示すようにラッチWD19のデータとラッチWD20のデータのうち予め定められた一方は、常にメモリブロックMR(冗長メモリブロック)へ書き込まれる。試験時の読み出しにおいて、図4に示すようにメモリブロックMRのデータは、常にラッチREDへ読み出される。ここで、WD19のデータがメモリブロックMRへ書き込まれる場合について説明する。書き込みと読み込みを行い、ラッチWD19のデータとラッチRD19のデータが等しい場合、メモリブロックM19が正常と判定される。メモリブロックM19が正常と判定され、かつ、ラッチREDのデータとラッチRD19のデータが等しい場合、メモリブロックMRが正常と判定される。
本実施の形態によれば、冗長メモリブロックを2つの通常メモリブロックの間に配置することができ、2つの通常メモリブロックのいずれか一方のデータを用いて、冗長メモリブロックの試験を行うことができる。
実施の形態3.
まず、本実施の形態に係る半導体記憶装置の構成について、書き込み機能の構成と読み出し機能の構成に分けて説明する。
まず、本実施の形態に係る半導体記憶装置の構成について、書き込み機能の構成と読み出し機能の構成に分けて説明する。
図5は、本実施の形態に係る半導体記憶装置の書き込み機能の構成の一例を示すブロック図である。この図において、図1と同一符号は図1に示された対象と同一又は相当物を示しており、ここでの説明を省略する。この図において、メモリブロックMR1は、メモリブロックM39の外側に配置され、メモリブロックMR0は、メモリブロックM0の外側に配置される。また、この図は、図1と比較すると、メモリブロック選択ユニット221の代わりにメモリブロック選択ユニット241を備え、列選択回路311の代わりに列選択回路341を備える。
メモリブロック選択ユニット241は、40個のセレクタを備える。各セレクタは、ヒューズデコーダ回路111から出力される制御信号S39,S38,…S1,S0の中のそれぞれ対応する制御信号に従って入力を選択し、それぞれ対応するメモリブロックM39,M38,…M1,M0に出力する。
制御信号S39に対応するセレクタは、2入力であり、ラッチWD39のデータとラッチWD38のデータの一方を選択し、メモリブロックM39へ書き込む。制御信号S(i)(iは38〜1の整数)に対応するセレクタは、3入力であり、ラッチWD(i+1)のデータとラッチWD(i)のデータとラッチWD(i−1)のデータのいずれか一つを選択し、メモリブロックM(i)へ書き込む。制御信号S0に対応するセレクタは、2入力であり、ラッチWD1のデータとラッチWD0のデータの一方を選択し、メモリブロックM0へ書き込む。
図6は、本実施の形態に係る半導体記憶装置の読み出し機能の構成の一例を示すブロック図である。この図において、図2と同一符号は図2に示された対象と同一又は相当物を示しており、ここでの説明を省略する。この図において、メモリブロックMR1は、メモリブロックM39の外側に配置され、メモリブロックMR0は、メモリブロックM0の外側に配置される。また、この図は、図2と比較すると、メモリブロック選択ユニット212の代わりにメモリブロック選択ユニット242を備え、列選択回路312の代わりに列選択回路342を備え、ラッチREDの代わりにラッチRED0,RED1を備える。ラッチRED0は、スキャンチェインにおけるラッチRD39の前に接続される。ラッチRED1は、スキャンチェインにおけるラッチRD0の後に接続される。
メモリブロック選択ユニット242は、40個のセレクタを備える。各セレクタは、3入力であり、ヒューズデコーダ回路111から出力される制御信号S39,S38,…S1,S0の中のそれぞれ対応する制御信号に従って入力を選択し、それぞれ対応するラッチRD39,RD38,…RD1,RD0に出力する。
制御信号S39に対応するセレクタは、メモリブロックMR1のデータとメモリブロックM39のデータとメモリブロックM38のデータのいずれか一つを選択し、ラッチRD39へ出力する。制御信号S(i)(iは38〜1の整数)に対応するセレクタは、メモリブロックM(i+1)のデータとメモリブロックM(i)のデータとメモリブロックM(i−1)のデータのいずれか一つを選択し、ラッチRD(i)へ出力する。制御信号S0に対応するセレクタは、メモリブロックM1のデータとメモリブロックM0のデータとメモリブロックMR0のデータのいずれか一つを選択し、ラッチRD20へ出力する。
上述した構成により、試験時の書き込みにおいて、図5に示すようにラッチWD39のデータは、常にメモリブロックMR1へ書き込まれる。また、ラッチWD0のデータは、常にメモリブロックMR0へ書き込まれる。また、試験時の書き込みにおいて、図6に示すようにメモリブロックMR1のデータは、常にラッチRED1へ書き込まれる。また、メモリブロックMR0のデータは、常にラッチRED0へ書き込まれる。
書き込みと読み込みを行い、ラッチWD39のデータとラッチRD39のデータが等しい場合、メモリブロックM39が正常と判定される。メモリブロックM39が正常と判定され、かつ、ラッチRED1のデータとラッチRD39のデータが等しい場合、メモリブロックMR1が正常と判定される。同様にして、ラッチWD0のデータとラッチRD0のデータが等しい場合、メモリブロックM39が正常と判定される。メモリブロックM0が正常と判定され、かつ、ラッチRED0のデータとラッチRD0のデータが等しい場合、メモリブロックMR0が正常と判定される。
本実施の形態によれば、2つの冗長メモリブロックを用いることができ、2つの通常メモリブロックの不良を救済することができる。また、通常メモリブロックの試験と同時に2つの冗長メモリブロックの試験を行うことができる。
実施の形態4.
まず、本実施の形態に係る半導体記憶装置の構成について、書き込み機能の構成と読み出し機能の構成に分けて説明する。
まず、本実施の形態に係る半導体記憶装置の構成について、書き込み機能の構成と読み出し機能の構成に分けて説明する。
本実施の形態に係る半導体記憶装置の書き込み機能の構成は、実施の形態1と同様である。
図7は、本実施の形態に係る半導体記憶装置の読み出し機能の構成の一例を示すブロック図である。この図において、図2と同一符号は図2に示された対象と同一又は相当物を示しており、ここでの説明を省略する。この図は、図2と比較すると、メモリブロックMRとラッチREDを直接接続せず、代わりに、入力にメモリブロックM0とメモリブロックMRが接続され、出力にラッチREDが接続されたEXNOR(Exclusive Not OR)演算器411を新たに備える。
上述した構成により、実施の形態1と同様、通常メモリブロックの良否判定が行われる。
ここで、通常メモリブロックの良否判定によりメモリブロックW0が正常と判定され、ラッチREDのデータが1である場合、メモリブロックWRは正常と判定される。また、通常メモリブロックの良否判定によりメモリブロックW0が正常と判定され、ラッチREDのデータが0である場合、メモリブロックWRは異常と判定される。
ここで、通常メモリブロックの良否判定によりメモリブロックW0が異常と判定され、ラッチREDのデータが0である場合、メモリブロックWRは正常と判定される。また、通常メモリブロックの良否判定によりメモリブロックW0が異常と判定され、ラッチREDのデータが1である場合、メモリブロックWRは異常と判定される。
本実施の形態によれば、スキャンチェインにより、通常メモリブロックからの読み出しデータとともに、通常メモリブロックからの読み出しデータと冗長メモリブロックからの読み出しデータの比較結果を得ることができ、この比較を外部で行う必要がない。
なお、第1メモリブロックは、上述した実施の形態における通常メモリブロックに対応する。また、第2メモリブロックは、上述した実施の形態における冗長メモリブロックに対応する。また、選択部は、上述した実施の形態におけるセレクタに対応する。また、比較部は、上述した実施の形態におけるEXNOR演算器に対応する。また、書き込み用ラッチは、上述した実施の形態におけるラッチWD39,WD38,…WD1,WD0に対応する。また、読み出し用ラッチは、上述した実施の形態におけるラッチRD39,RD38,…RD1,RD0,REDまたはラッチRD39,RD38,…RD1,RD0,RED1,RED0に対応する。
また、本実施の形態に係る半導体記憶装置は、半導体メモリに容易に適用することができ、半導体メモリの性能をより高めることができる。ここで、半導体メモリには、例えばRAMやフラッシュメモリ等が含まれ得る。
以上説明したように、通常セルと冗長セルの試験を同時に行うことができる。
Claims (16)
- 第1のケースにおいて使用されると判定された場合に使用される第1メモリブロックと、
第2のケースにおいて使用されると判定された場合に、前記第1メモリブロックの代替として使用される第2メモリブロックと、
前記判定時の前記判定のために、前記第1メモリブロックへ判定用データを書き込むとともに、該判定用データを前記第2メモリブロックへ書き込む書き込み部と、
前記判定時の前記判定のために、前記書き込み部により前記第1メモリブロックへ書き込まれた前記判定用データを読み出すとともに、前記書き込み部により前記第2メモリブロックへ書き込まれた前記判定用データを読み出す読み出し部と
を備える半導体記憶装置。 - 請求項1に記載の半導体記憶装置において、
前記書き込み部により前記第1メモリブロックへ書き込まれた前記判定用データと前記読み出し部により前記第1メモリブロックから読み出された前記判定用データとが等しい場合、前記第1のケースと判定され、
前記書き込み部により前記第1メモリブロックへ書き込まれた前記判定用データと前記読み出し部により前記第1メモリブロックから読み出された前記判定用データとが異なる場合、前記第2のケースと判定されることを特徴とする半導体記憶装置。 - 請求項1に記載の半導体記憶装置において、
前記書き込み部は、書き込みデータを保持する複数の書き込みデータ用ラッチと、外部からの指示に従って前記書き込み用ラッチを選択し、選択した前記書き込み用ラッチのデータを所定の前記第1メモリブロックまたは所定の前記第2メモリブロックへ出力する書き込み用選択部とを備え、
前記読み出し部は、読み出しデータを保持する複数の読み出し用ラッチと、外部からの指示に従って前記第1メモリブロックまたは前記第2メモリブロックを選択し、選択したメモリブロックのデータを所定の前記読み出し用ラッチへ出力する読み出し用選択部とを備えることを特徴とする半導体記憶装置。 - 請求項3に記載の半導体記憶装置において、
前記複数の読み出し用ラッチは、スキャンチェインで接続されることを特徴とする半導体記憶装置。 - 請求項3に記載の半導体記憶装置において、
前記書き込み部は、書き込み時常に、少なくとも一つの所定の前記書き込み用ラッチのデータを、対応する前記第2メモリブロックへ出力し、
前記読み出し部は、読み出し時常に、少なくとも一つの所定の前記第2メモリブロックのデータを、対応する前記読み出し用ラッチへ出力することを特徴とする半導体記憶装置。 - 請求項1に記載の半導体記憶装置において、
更に、前記読み出し部により前記第1メモリブロックから読み出された前記判定用データと前記読み出し部により前記第2メモリブロックから読み出された前記判定用データとの比較を行う比較部を備えることを特徴とする半導体記憶装置。 - 請求項1に記載の半導体記憶装置において、
前記第1メモリブロックは、前記第1メモリブロックとして用いるために用意された少なくとも一つのメモリブロックの中の一つのメモリブロックであり、
前記第2メモリブロックは、前記第2メモリブロックとして用いるために用意された少なくとも一つのメモリブロックの中の一つのメモリブロックであることを特徴とする半導体記憶装置。 - 請求項1に記載の半導体記憶装置において、
前記第1メモリブロック及び前記第2メモリブロックは、複数のメモリセルで構成され、該複数のメモリセルのうち、外部からの選択信号により選択された一つのメモリセルに対して、前記書き込み部による書き込み、または、前記読み出し部による読み出しが行われることを特徴とする半導体記憶装置。 - 第1のケースにおいて使用されると判定された場合に使用される第1メモリブロックと、第2のケースにおいて使用されると判定された場合に、前記第1メモリブロックの代替として使用される第2メモリブロックとを備える半導体記憶装置の試験を行う半導体記憶装置試験方法であって、
前記判定時の前記判定のために、前記第1メモリブロックへ判定用データを書き込むとともに、該判定用データを前記第2メモリブロックへ書き込む書き込みステップと、
前記判定時の前記判定のために、前記書き込み部により前記第1メモリブロックへ書き込まれた前記判定用データを読み出すとともに、前記書き込み部により前記第2メモリブロックへ書き込まれた前記判定用データを読み出す読み出しステップと
を実行する半導体記憶装置試験方法。 - 請求項9に記載の半導体記憶装置試験方法において、
更に、前記書き込みステップにより前記第1メモリブロックへ書き込まれた前記判定用データと前記読み出しステップにより前記第1メモリブロックから読み出された前記判定用データとが等しい場合、前記第1のケースと判定し、前記書き込み部により前記第1メモリブロックへ書き込まれた前記判定用データと前記読み出し部により前記第1メモリブロックから読み出された前記判定用データとが異なる場合、前記第2のケースと判定する判定ステップを実行することを特徴とする半導体記憶装置試験方法。 - 請求項9に記載の半導体記憶装置試験方法において、
前記書き込みステップは、書き込みデータを保持する複数の書き込みデータ用ラッチを選択し、選択した前記書き込み用ラッチのデータを前記第1メモリブロックまたは前記第2メモリブロックへ出力し、
前記読み出しステップは、前記第1メモリブロックまたは前記第2メモリブロックを選択し、選択したメモリブロックのデータを、読み出しデータを保持する複数の読み出し用ラッチへ出力することを特徴とする半導体記憶装置試験方法。 - 請求項11に記載の半導体記憶装置試験方法において、
前記読み出しステップは、前記複数の読み出し用ラッチのデータをスキャンチェインにより読み出すことを特徴とする半導体記憶装置試験方法。 - 請求項11に記載の半導体記憶装置試験方法において、
前記書き込みステップは、書き込み時常に、少なくとも一つの所定の前記書き込み用ラッチのデータを、対応する前記第2メモリブロックへ出力し、
前記読み出しステップは、読み出し時常に、少なくとも一つの所定の前記第2メモリブロックのデータを、対応する前記読み出し用ラッチへ出力することを特徴とする半導体記憶装置試験方法。 - 請求項9に記載の半導体記憶装置試験方法において、
更に、前記読み出しステップにより前記第1メモリブロックから読み出された前記判定用データと前記読み出しステップにより前記第2メモリブロックから読み出された前記判定用データとの比較を行う比較ステップを備えることを特徴とする半導体記憶装置試験方法。 - 請求項9に記載の半導体記憶装置試験方法において、
前記第1メモリブロックは、前記第1メモリブロックとして用いるために用意された少なくとも一つのメモリブロックの中の一つのメモリブロックであり、
前記第2メモリブロックは、前記第2メモリブロックとして用いるために用意された少なくとも一つのメモリブロックの中の一つのメモリブロックであることを特徴とする半導体記憶装置試験方法。 - 請求項9に記載の半導体記憶装置試験方法において、
前記第1メモリブロック及び前記第2メモリブロックは、複数のメモリセルで構成され、該複数のメモリセルのうち、外部からの選択信号により選択された一つのメモリセルに対して、前記書き込み部による書き込み、または、前記読み出し部による読み出しが行われることを特徴とする半導体記憶装置試験方法。
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