KR20070114040A - 기판 반송 장치, 기판 처리 시스템 및 기판 반송 방법 - Google Patents

Abstract

기판 반송 장치에 있어서, 각 포크는 상하 방향으로 미리 설정된 포크 피치에 상당하는 만큼 이격되도록 설치되고 있다. 각 포크가 제1 기판 수용부에서 기판을 빼낼 때에, 각 포크는, 그 기판의 아래쪽에 있는 예정 추출 위치로부터 미리 설정된 추출 스트로크량만큼 위쪽으로 이동함으로써 이 기판을 들어올려 지지하도록 되어 있다. 상기 포크 피치는 제1 기판 수용부에 수용된 복수의 기판의 제1 피치와 추출 스트로크량의 합계의 크기로 설정되고 있다.

Description

기판 반송 장치, 기판 처리 시스템 및 기판 반송 방법{SUBSTRATE CONVEYING APPARATUS, SUBSTRATE TREATING SYSTEM AND SUBSTRATE CONVEYING METHOD}

도 1은 본 발명의 일 실시 형태의 기판 처리 시스템의 구성을 도시하는 개략측면도이다.

도 2는 도 1의 기판 처리 시스템의 A-A 화살표를 따라 취한 횡단면도이다.

도 3은 도 1의 기판 처리 시스템의 B-B 화살표를 따라 취한 횡단면도이다.

도 4는 도 1의 기판 처리 시스템의 C-C 화살표를 따라 취한 종단면도이다.

도 5a는 도 1의 기판 처리 시스템에 있어서의, 웨이퍼가 수용된 상태의 후프의 구성을 도시하는 종단면도이고, 도 5b는 도 5a의 후프에 있어서 1장의 웨이퍼가 웨이퍼 반송 장치의 포크에 의해 들어 올려졌을 때의 상태를 도시하는 종단면도이다.

도 6은 도 5a의 후프의 D-D 화살표를 따라 취한 횡단면도이다.

도 7은 도 1의 기판 처리 시스템에 있어서의 제1 웨이퍼 반송 장치의 구성을 도시하는 사시도이다.

도 8a는 도 7의 웨이퍼 반송 장치에 있어서의 포크의 구성을 도시하는 평면도이고, 도 8b는 도 8a에 도시하는 포크의 F-F 화살표를 따라 취한 종단면도이다.

도 9는 도 1의 기판 처리 시스템에 있어서의 전달 유닛의 구성을 도시하는 측면도이다.

도 10a는 도 1의 기판 처리 시스템에 있어서의 제2 웨이퍼 반송 장치의 구성을 도시하는 사시도이고, 도 10b는 도 10a에 도시하는 제2 웨이퍼 반송 장치의 포크의 종단면도이다.

도 11의 (a)∼(f)는 도 1의 기판 처리 시스템에 있어서, 웨이퍼 반송 장치에 의해 후프로부터 웨이퍼가 빼내어질 때의 일련의 동작을 연속적으로 도시한 개략도이다.

도 12의 (a)∼(f)는 도 1의 기판 처리 시스템에 있어서, 웨이퍼 반송 장치에서 웨이퍼가 전달 유닛으로 전달될 때의 일련의 동작을 연속적으로 도시한 개략도이다.

도 13의 (a)∼(d)는 웨이퍼 반송 장치에서 웨이퍼가 전달 유닛으로 전달될 때의 다른 일련의 동작을 연속적으로 도시한 개략도이다.

도 14는 종래의 기판 처리 시스템의 구성을 도시하는 개략 측면도이다.

도 15는 도 14의 기판 처리 시스템의 E-E 화살표를 따라 취한 횡단면도이다.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

32 : 구획 부재

33, 33a, 33b : 돌기 부재

40 : 처리 챔버

50 : 제1 웨이퍼 반송 장치

51 : 베이스 부재

52 : 수직 이동 기구

53 : 포크 지지 부재

60 : 제2 웨이퍼 반송 장치

본 발명은, 반도체 웨이퍼 등의 기판을 반송하기 위한 기판 반송 장치, 이 기판 반송 장치를 갖춘 기판 처리 시스템 및 기판 반송 방법에 관한 것으로, 특히 제1 기판 수용부에서 제2 기판 수용부로의 복수 기판의 반송을 신속하게 행할 수 있는 기판 반송 장치, 이 기판 반송 장치를 갖춘 기판 처리 시스템 및 기판 반송 방법에 관한 것이다.

종래부터 반도체 웨이퍼 등의 기판에 대하여 세정 처리나 열적 처리 등의 처리를 실시하기 위한 기판 처리 시스템으로서 다양한 종류의 것이 알려져 있다.

도 14 및 도 15를 이용하는 이러한 종래의 기판 처리 시스템의 일례를 설명한다. 여기서, 도 14는 종래의 기판 처리 시스템의 구성을 도시하는 개략 측면도이며, 도 15는 도 14의 기판 처리 시스템의 E-E 화살표를 따라 취한 횡단면도이다.

도 14 및 도 15에 도시한 바와 같이, 종래의 기판 처리 시스템(70)은, 처리 전 및 처리 후의 반도체 웨이퍼(W)(이하, 웨이퍼(W)라고도 함)를 적치하기 위한 캐리어 스테이션(70a)과, 이 캐리어 스테이션(70a)에 인접하여 설치되어, 웨이퍼(W)에 세정 처리 및 세정 처리한 후의 열적 처리를 실시하기 위한 프로세스 스테이 션(70b)으로 구성되어 있다. 캐리어 스테이션(70a)에는 여러 장, 예컨대 25장의 웨이퍼(W)를 상하 방향으로 소정 간격으로 대략 수평으로 수용할 수 있는 후프(FOUP ; Front Opening Unified Pod, 웨이퍼 저장용 포드)(20)와, 후프(20)를 병렬로 복수 개, 예컨대 4개 적재할 수 있는 적재대(25)가 배치되어 있다. 또한, 프로세스 스테이션(70b) 내에는, 후프(20)로부터 보내진 웨이퍼(W)가 일시적으로 적재되는 전달 유닛(TRS ; Transit Station)(30)과, 전달 유닛(30)에 일시적으로 적재된 웨이퍼(W)가 또 보내지고, 이 보내진 웨이퍼(W)의 세정이나 건조 등의 처리를 행하는 예컨대 4개의 스핀식의 처리 챔버(SPIN)(40)(도 14에서는, 4개의 처리 챔버(40) 중 2개만을 도시하고 있음)가 배치되어 있다.

또한, 캐리어 스테이션(70a) 내에 있어서, 후프(20)와 전달 유닛(30) 사이에서 웨이퍼(W)의 전달을 담당하는 이동 가능한 하나의 웨이퍼 반송 장치(CRA)(80)가 배치되어 있다. 마찬가지로, 프로세스 스테이션(70b) 내에 있어서, 전달 유닛(30)과 처리 챔버(40) 사이에서 웨이퍼(W)의 전달을 담당하는 이동 가능한 다른 웨이퍼 반송 장치(PRA)(60)가 배치되어 있다.

이어서, 후프(20)와 전달 유닛(30) 사이에서 웨이퍼(W)의 전달을 담당하기 위해서 이용되는 하나의 웨이퍼 반송 장치(80)에 관해서 상술한다.

하나의 웨이퍼 반송 장치(80)는, 도 15에 있어서의 Y 방향으로 연장되는 레일(도시하지 않음) 위를 주행하는 베이스 부재(81)와, 이 베이스 부재(81)의 상면에 설치되어, Z 방향으로 신축할 수 있는 수직 이동 기구(82)를 갖고 있다. 이 수직 이동 기구(82)의 상부에는 베이스(85)가 설치되어 있고, 이 베이스(85)에 포크 지지 부재(83)가 부착되어 있다. 그리고, 이 포크 지지 부재(83)에 의해, 웨이퍼(W)를 유지하기 위한 포크(84)가 지지되어 있다.

또한, 수직 이동 기구(82)는 도 15에 도시한 바와 같이 베이스 부재(81)에 대하여 θ 방향으로 회전할 수 있도록 되어 있다. 즉, 베이스(85)는 Y 방향, Z 방향으로 이동할 수 있는 동시에, θ 방향으로 회전할 수 있도록 구성되어 있다. 그리고, 포크(84)가 베이스(85)의 위쪽에 배치되어 있다. 포크 지지 부재(83)는, 포크(84)의 기단부에 부착된 수평 이동 기구(도시하지 않음)를 갖고 있으며, 이 수평 이동 기구는 포크(84)를 도 14, 도 15의 X 방향으로 진퇴 이동시키도록 되어 있다.

포크(84)가 후프(20)로부터 웨이퍼(W)를 빼낼 때의 상황에 관해서 설명하면, 우선, 빼내야 할 웨이퍼(W)의 아래쪽에 있는 예정 추출 위치로 포크(84)를 이동시키고, 이어서, 베이스(85)를 위쪽으로 이동시킴으로써, 포크(84)를 예정 추출 위치로부터 위쪽으로 일정 거리만큼 이동시킨다. 그렇게 하여, 이 포크(84)의 위쪽으로의 이동 과정에 있어서, 후프(20)에 수용된 웨이퍼(W)를 그 포크(84)가 들어올림으로써, 이 웨이퍼(W)가 포크(84)의 상면에 전달되게 된다.

또한, 처리 챔버(40) 내에 있어서 복수의 웨이퍼(W)를 순차적으로 중단 없이 처리하기 위해서, 후프(20) 내에 있는 복수의 웨이퍼(W)를 순차 전달 유닛(30)에 반송할 필요가 있다. 여기서, 하나의 웨이퍼 반송 장치(80)는 1 라인의 포크(84)만을 구비하고 있기 때문에, 후프(20) 내에 있는 복수의 웨이퍼(W)를 순차 전달 유닛(30)으로 반송할 경우에는, 우선 웨이퍼 반송 장치(80)는 후프(20)의 근방으로 이동하고, 이어서 포크(84)가 후프(20)로부터 1장의 웨이퍼(W)를 빼내 유지하고, 그 후 하나의 웨이퍼 반송 장치(80)가 전달 유닛(30)의 근방으로 이동하며, 웨이퍼(W)를 유지하고 있는 포크(84)가 이 웨이퍼(W)를 전달 유닛(30)으로 다시 전달하는 동작으로 이루어지는 일련의 사이클이 반복되게 된다.

그러나, 이러한 방법에서는 후프(20) 내에 있는 복수의 웨이퍼(W)를 순차 전달 유닛(30)에 반송하는 데에 시간이 걸려, 기판 처리 시스템(70)의 전체적인 처리 능력이 낮아진다고 하는 문제가 있다.

또한, 예컨대 일본 특허 공개 평9-270450호 공보에 기재된 바와 같은, 복수의 포크가 동시에 전진 수평 운동, 승강 운동 및 후퇴 수평 운동을 순차 행하는 웨이퍼 반송 장치가 알려져 있다. 일본 특허 공개 평9-270450호 공보에 기재된 바와 같은 웨이퍼 반송 장치를 이용함으로써, 복수의 포크로 복수의 웨이퍼(W)를 일괄적으로 후프로부터 빼내, 이들 복수의 포크로 복수의 웨이퍼(W)를 일괄적으로 전달 유닛에 수용시켜 반송 능력을 향상시키는 방법도 생각할 수 있지만, 이러한 방법을 실제로 이용하기는 어렵다. 그 이유에 관해서 이하에 설명한다.

일반적인 기판 처리 시스템에서는, 후프에 수용된 복수의 웨이퍼(W) 사이의 피치는 규격 등에 따라 300 mm의 웨이퍼(W)에서는 약 10 mm로 정해져 있으며, 후프에 있어서의 이 웨이퍼(W) 사이의 피치 크기를 바꿀 수는 없게 되어 있다. 또한, 이 후프로부터 웨이퍼(W)를 빼내기 위한 예정 추출 위치도 후프의 구조에 기초하여 일정한 장소로 결정된다.

한편, 후프로부터 전달 유닛으로 웨이퍼(W)를 반송하기 위한 포크 사이의 피치는, 후프에 있어서의 웨이퍼(W) 사이의 피치와 동일하게 해야만 한다. 또한, 전 달 유닛에 복수의 웨이퍼(W)가 수용되었을 때의 이들 웨이퍼(W) 사이의 피치도 일반적으로 후프에 있어서의 피치와 동일하게 되도록 설계할 필요가 있다.

그러나, 전달 유닛으로부터 처리 챔버로의 웨이퍼(W)의 전달을 담당하는 다른 웨이퍼 반송 장치〔도 15에 있어서의 웨이퍼 반송 장치(60)〕의 포크 사이의 피치를, 전달 유닛 내에서의 웨이퍼(W) 사이의 피치에 맞추는 것이 설계상 곤란한 경우가 있다. 그 이유는, 전달 유닛으로부터 웨이퍼(W)를 반출하는 다른 웨이퍼 반송 장치는, 복수의 처리 챔버에 액세스하기 위해서 하나의 웨이퍼 반송 장치보다도 고속으로 움직일 것이 요구되며, 이 밖의 웨이퍼 반송 장치는 하나의 웨이퍼 반송 장치와 비교하여 웨이퍼(W)를 유지하는 포크의 강도를 올릴 필요가 있고, 이 때문에 포크를 두껍게 할 필요가 있으므로, 다른 웨이퍼 반송 장치가 액세스하는 전달 유닛에 있어서의 웨이퍼(W) 사이의 피치도 크게 해야만 하기 때문이다. 또, 복수의 포크가 동시에 움직이는 경우, 후프로부터 복수의 웨이퍼(W)를 빼낼 때에, 그 후프 내에 있어서 위쪽 또는 아래쪽에서 순차 포크의 수만큼씩 웨이퍼(W)를 빼내게 되어, 기판 처리의 형편상, 예컨대 후프 내의 웨이퍼(W)를 1장 걸러서 빼낼 필요가 있을 때에 곤란하게 되어 버린다.

이와 같이, 종래의 기판 처리 시스템에서는, 후프 내에 있는 복수의 웨이퍼(W)를 순차 전달 유닛으로 반송하는 데에 시간이 걸려, 기판 처리 시스템의 전체적인 처리 능력이 낮아져 버리는 문제가 있다. 또한, 후프 내에서 웨이퍼(W)를 빼내는 경우에, 그 후프 내에 있어서 위쪽 또는 아래쪽에서부터 순차적으로 또한 1장씩 웨이퍼(W)를 빼낼 것이 요구되는 경우도 있기 때문에, 이러한 추출 동작을 할 수 있는 기판 반송 장치가 요구되고 있다.

본 발명은, 이러한 점을 고려하여 이루어진 것으로, 제1 기판 수용부에서 제2 기판 수용부로 기판을 보다 신속하게 반송할 수 있는 기판 반송 장치 및 기판 반송 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다. 본 발명의 다른 목적은, 이러한 기판 반송 장치를 갖춤으로써, 스루풋(처리 능력)을 향상시킬 수 있는 기판 처리 시스템을 제공하는 데에 있다.

본 발명은, 복수의 기판을 상하 방향으로 서로 제1 피치(P1)에 상당하는 만큼 이격시켜 겹쳐 쌓는 식으로 수용하는 제1 기판 수용부로부터, 복수의 기판을 수용하는 제2 기판 수용부까지 기판을 반송하는 기판 반송 장치로서, 상기 제1 기판 수용부 및 제2 기판 수용부에 대하여 상하 방향으로 이동 가능한 포크 지지부와, 각각이 서로 독립적으로 수평 방향으로 이동 가능하도록 상기 포크 지지부에 설치된, 기판을 유지하는 복수의 포크로서, 각 포크는 상하 방향으로 서로 미리 설정된 포크 피치(P3)에 상당하는 만큼 이격되도록 상기 포크 지지부에 설치되어 있어, 각 포크가 제1 기판 수용부로부터 기판을 빼낼 때에 그 기판의 아래쪽에 있는 예정 추출 위치로부터 미리 설정된 추출 스트로크량(ST1)만큼 위쪽으로 이동함으로써 이 기판을 들어올려 지지하도록 되어 있고, 상기 포크 피치(P3)는 상기 제1 피치(P1)와 상기 추출 스트로크량(ST1)의 합계의 크기로 설정되어 있는 복수의 포크를 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 반송 장치이다.

이러한 기판 반송 장치에 따르면, 상기 기판 반송 장치가 제1 기판 수용부로부터 복수의 기판을 빼낼 때에, 복수의 포크 중 인접하는 2개의 포크에 대해서, 우선 상측의 포크를 전진 수평 운동시켜 그 상측의 포크를 예정 추출 위치로 이동시키고, 이어서 상측의 포크와 하측의 포크를 상향으로 동시에 이동시켜, 상측의 포크에 기판을 들어올려 이 기판을 지지하게 하고, 그 후 상측 포크의 후퇴 수평 운동 및 하측 포크의 전진 수평 운동을 동시에 행하게 하여, 상측의 포크를 제1 기판 수용부로부터 후퇴시키는 동시에 하측의 포크를 예정 추출 위치로 이동시키고, 그 후 상측의 포크와 하측의 포크를 더욱 상향으로 동시에 이동시켜, 하측의 포크에 기판을 들어올려 이 기판을 지지하게 할 수 있게 된다.

여기서, 제1 기판 수용부로부터 기판을 빼내는 공정에 있어서 상측 포크의 후퇴 수평 운동 및 하측 포크의 전진 수평 운동을 동시에 행하게 하여 여러 장의 기판을 반송함으로써, 1 라인의 포크로 기판의 반송을 하는 경우와 비교하여, 기판 반송 장치가 제1 기판 수용부로부터 복수의 기판을 빼내는 시간을 단축할 수 있다. 더구나, 이 때에, 기판 반송 장치는, 복수의 포크 중 인접하는 2개의 포크에 대해서, 제1 기판 수용부에 있어서의 상하 방향에 인접하는 2장의 기판을 빼내도록 할 수 있다. 이로써, 제1 기판 수용부에 있어서 위쪽 또는 아래쪽에서 순차적으로 기판을 빼낼 수 있다.

본 발명의 기판 반송 장치에 있어서는, 상기 제2 기판 수용부가, 복수의 기판을 상하 방향으로 서로 제2 피치(P2)에 상당하는 만큼 이격시켜 겹쳐 쌓는 식으로 수용하도록 되어 있는 상기 기판 반송 장치에 있어서, 상기 각 포크는, 유지하 고 있는 기판을 제2 기판 수용부에 전달할 때에 그 기판이 적재되어야 하는 부위의 위쪽에 있는 예정 적재 위치로부터 미리 설정된 적재 스트로크량(ST2)만큼 아래쪽으로 이동함으로써 이 기판을 제2 기판 수용부로 전달하도록 되어 있고, 상기 각 포크 사이의 포크 피치(P3)는 상기 제2 기판 수용부에 있어서의 상기 제2 피치(P2)에서 적재 스트로크량(ST2)을 감한 크기인 것이 바람직하다.

이러한 기판 반송 장치에 의하면, 기판 반송 장치에 유지된 기판을 제2 기판 수용부로 전달함에 있어서, 복수의 포크 중 인접하는 2개의 포크에 대해서, 우선 기판을 유지하고 있는 상측의 포크를 전진 수평 운동시켜 그 상측의 포크를 예정 적재 위치로 이동시키고, 이어서 상측의 포크와 하측의 포크를 아래 방향으로 동시에 이동시켜, 상측의 포크에 유지된 기판을 제2 기판 수용부로 전달하고, 그 후 상측 포크의 후퇴 수평 운동 및 하측 포크의 전진 수평 운동을 동시에 행하게 하여, 상측의 포크를 제2 기판 수용부로부터 후퇴시키는 동시에 기판을 유지하고 있는 하측의 포크를 예정 적재 위치로 이동시키고, 그 후 상측의 포크와 하측의 포크를 더욱 아래 방향으로 동시에 이동시켜, 하측의 포크에 유지된 기판을 제2 기판 수용부로 전달할 수 있게 된다.

여기서, 제2 기판 수용부로 기판을 전달하는 공정에 있어서 상측 포크의 후퇴 수평 운동 및 하측 포크의 전진 수평 운동을 동시에 행하게 함으로써, 1 라인의 포크로 기판의 반송을 하는 경우와 비교하여, 기판 반송 장치가 복수의 기판을 제2 기판 수용부로 전달하는 시간을 단축할 수 있다. 이로써, 기판 반송 장치는, 제1 기판 수용부로부터 제2 기판 수용부로 기판을 보다 신속하게 반송할 수 있게 된다.

또는, 상기 제2 기판 수용부가, 복수의 기판을 상하 방향으로 서로 제2 피치(P2)에 상당하는 만큼 이격시켜 겹쳐 쌓는 식으로 수용하도록 되어 있는 상기 기판 반송 장치에 있어서, 상기 각 포크는, 유지하고 있는 기판을 제2 기판 수용부에 전달할 때에 그 기판이 적재되어야 하는 부위의 위쪽에 있는 예정 적재 위치에서 아래쪽으로 이동함으로써 이 기판을 제2 기판 수용부로 전달할 수 있게 되어 있고, 상기 각 포크 사이의 포크 피치(P3)는 상기 제2 기판 수용부에서의 상기 제2 피치(P2)와 대략 동일한 크기인 것이 바람직하다.

이러한 기판 반송 장치에 따르면, 상기 기판 반송 장치에 유지된 기판을 제2 기판 수용부로 전달함에 있어서, 우선 기판을 유지하고 있는 모든 포크를 동시에 전진 수평 운동시켜 이들 포크를 예정 적재 위치로 각각 이동시키고, 그 후 모든 포크를 아래 방향으로 동시에 이동시켜, 이들 포크에 유지된 각 기판을 제2 기판 수용부로 전달하고, 그 후 모든 포크의 후퇴 수평 운동을 동시에 행하게 하여, 이들 포크를 각각 제2 기판 수용부로부터 후퇴시킬 수 있게 된다.

여기서, 제2 기판 수용부로 기판을 전달하는 공정에 있어서 모든 포크의 전진 수평 운동 및 후퇴 수평 운동을 동시에 행하게 하고, 또한 1회의 각 포크의 아래쪽으로의 이동에 의해 이들 포크에 유지된 모든 기판에 대해서 제2 기판 수용부로 전달하는 것을 일괄적으로 행하고 있기 때문에, 전술한 바와 같은 상측 포크의 후퇴 수평 운동과 하측 포크의 전진 수평 운동을 동시에 행하는 방법과 비교하여, 기판 반송 장치가 복수의 기판을 제2 기판 수용부로 전달하는 시간을 더욱 단축할 수 있다. 이로써, 기판 반송 장치는 제1 기판 수용부로부터 제2 기판 수용부로 기 판을 보다 신속하게 반송할 수 있게 된다.

본 발명은, 복수의 기판을 상하 방향으로 서로 제1 피치(P1)에 상당하는 만큼 이격시켜 겹쳐 쌓는 식으로 수용하는 제1 기판 수용부로부터, 복수의 기판을 상하 방향으로 서로 상기 제1 피치(P1)보다도 큰 제2 피치(P2)에 상당하는 만큼 이격시켜 겹쳐 쌓는 식으로 수용하는 제2 기판 수용부까지 기판을 반송하는 기판 반송 장치로서, 상기 제1 기판 수용부 및 제2 기판 수용부에 대하여 상하 방향으로 이동 가능한 포크 지지부와, 각각이 서로 독립적으로 수평 방향으로 이동 가능하도록 상기 포크 지지부에 설치된, 기판을 유지하는 복수의 포크로서, 각 포크는 상하 방향으로 서로 미리 설정된 포크 피치(P3)에 상당하는 만큼 이격되도록 상기 포크 지지부에 설치되어, 각 포크가 유지하고 있는 기판을 제2 기판 수용부에 전달할 때에 그 기판이 적재되어야 하는 부위의 위쪽에 있는 예정 적재 위치로부터 아래쪽으로 이동함으로써 이 기판을 제2 기판 수용부로 전달하게 되어 있고, 상기 포크 피치(P3)는 상기 제2 피치(P2)와 대략 동일한 크기로 설정되어 있는 복수의 포크를 구비한 것을 특징으로 하는 기판 반송 장치이다.

이러한 기판 반송 장치에 따르면, 제2 기판 수용부로 기판을 전달하는 공정에 있어서 모든 포크의 전진 수평 운동 및 후퇴 수평 운동을 동시에 행하게 하고, 또한 1회의 각 포크의 아래쪽으로의 이동에 의해 이들 포크에 유지된 모든 기판에 대해서 제2 기판 수용부로 전달하는 것을 일괄적으로 행하고 있기 때문에, 1 라인의 포크로 기판의 반송을 행하는 경우와 비교하여, 기판 반송 장치가 복수의 기판을 제2 기판 수용부로 전달하는 시간을 단축할 수 있다. 이로써, 기판 반송 장치 는, 제1 기판 수용부로부터 제2 기판 수용부로 기판을 보다 신속하게 반송할 수 있게 된다.

본 발명의 기판 반송 장치에 있어서는, 상기 복수의 포크를 동시에 상하 방향으로 구동시키는 단일의 구동부를 더 구비한 것이 바람직하다.

본 발명은, 복수의 기판을 상하 방향으로 서로 제1 피치(P1)에 상당하는 만큼 이격시켜 겹쳐 쌓는 식으로 수용하는 제1 기판 수용부와, 복수의 기판을 수용하는 제2 기판 수용부와, 상기 제1 기판 수용부로부터 상기 제2 기판 수용부까지 기판을 반송하는 기판 반송 장치를 구비하고, 상기 기판 반송 장치는, 상기 제1 기판 수용부 및 제2 기판 수용부에 대하여 상하 방향으로 이동 가능한 포크 지지부와, 각각이 서로 독립적으로 수평 방향으로 이동 가능하도록 상기 포크 지지부에 설치된, 기판을 유지하는 복수의 포크로서, 각 포크는 상하 방향으로 서로 미리 설정된 포크 피치(P3)에 상당하는 만큼 이격되도록 상기 포크 지지부에 설치되어, 각 포크가 제1 기판 수용부에서 기판을 빼낼 때에 그 기판의 아래쪽에 있는 예정 추출 위치로부터 미리 설정된 추출 스트로크량(ST1)만큼 위쪽으로 이동함으로써 이 기판을 들어올려 지지하도록 되어 있는 복수의 포크를 지니고, 상기 포크 피치(P3)가 상기 제1 피치(P1)와 상기 추출 스트로크량(ST1)의 합계의 크기로 되도록, 이들 포크 피치(P3), 제1 피치(P1) 및 추출 스트로크량(ST1)이 설정되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 처리 시스템이다.

또한, 본 발명은, 복수의 기판을 상하 방향으로 서로 이격시켜 겹쳐 쌓는 식으로 수용하는 제1 기판 수용부와, 복수의 기판을 수용하는 제2 기판 수용부와, 상 기 제1 기판 수용부로부터 상기 제2 기판 수용부까지 기판을 반송하는 기판 반송 장치로서, 상기 제1 기판 수용부 및 제2 기판 수용부에 대하여 상하 방향으로 이동 가능한 포크 지지부와, 각각이 서로 독립적으로 수평 방향으로 이동 가능하도록 상기 포크 지지부에 설치된, 기판을 유지하는 복수의 포크로서, 각 포크는 상하 방향으로 서로 미리 설정된 거리만큼 이격되도록 상기 포크 지지부에 설치되어 있어, 각 포크가 제1 기판 수용부에서 기판을 빼낼 때에 그 기판의 아래쪽에 있는 예정 추출 위치로부터 미리 설정된 추출 스트로크량만큼 위쪽으로 이동함으로써 이 기판을 들어올려 지지하도록 되어 있는 복수의 포크를 갖는 기판 반송 장치와, 제1 기판 수용부에서 기판을 빼낼 때에, 상기 복수의 포크 중 인접하는 2개의 포크에 대해서, 상측의 한쪽의 포크를 전진 수평 운동시켜 이 한쪽의 포크에 의해 빼내어야 하는 기판의 아래쪽의 예정 추출 위치로 그 한쪽의 포크를 이동시키고, 그 후 한쪽의 포크와 하측의 다른 쪽의 포크를 상향으로 동시에 이동시켜, 한쪽의 포크에 기판을 들어올려 이 기판을 지지하게 하고, 그 후 한쪽 포크의 후퇴 수평 운동 및 다른 쪽 포크의 전진 수평 운동을 동시에 행하여, 기판을 유지한 한쪽의 포크를 제1 기판 수용부로부터 후퇴시키는 동시에 다른 쪽의 포크를 그 다른 쪽의 포크에 의해 빼내야 하는 기판의 아래쪽의 예정 추출 위치로 이동시키고, 그 후, 한쪽의 포크와 다른 쪽의 포크를 더욱 상향으로 동시에 이동시켜, 다른 쪽의 포크에 기판을 들어올려 이 기판을 지지하게 할 수 있도록, 상기 기판 반송 장치의 각 포크를 제어하는 제어 장치를 구비한 것을 특징으로 하는 기판 처리 시스템이다.

본 발명의 기판 처리 시스템에 있어서는, 상기 제2 기판 수용부는, 복수의 기판을 상하 방향으로 서로 제2 피치(P2)에 상당하는 만큼 이격시켜 겹쳐 쌓는 식으로 수용하도록 되어 있어, 상기 각 포크는, 유지하고 있는 기판을 제2 기판 수용부에 전달할 때에 그 기판이 적재되어야 하는 부위의 상측에 있는 예정 적재 위치로부터 미리 설정된 적재 스트로크량(ST2)만큼 아래쪽으로 이동함으로써 이 기판을 제2 기판 수용부로 전달하도록 되어 있고, 상기 제2 피치(P2)가 상기 포크 피치(P3)와 상기 적재 스트로크량(ST2)의 합계의 크기가 되도록, 제2 피치(P2), 포크 피치(P3) 및 적재 스트로크량(ST2)이 설정되는 것이 바람직하다.

또한, 상기 제2 기판 수용부는, 복수의 기판을 상하 방향으로 서로 이격시켜 겹쳐 쌓는 식으로 수용하도록 되어 있고, 상기 제어 장치는, 각 포크에 유지된 기판을 제2 기판 수용부로 전달함에 있어서, 상기 복수의 포크 중 인접하는 2개의 포크에 대해서, 기판을 유지하고 있는 상측의 한쪽의 포크를 전진 수평 운동시켜 그 기판이 적재되어야 하는 부위의 위쪽에 있는 예정 적재 위치로 이 한쪽의 포크를 이동시키고, 그 후 한쪽의 포크와 다른 쪽의 포크를 아래 방향으로 동시에 이동시켜, 한쪽의 포크에 유지된 기판을 제2 기판 수용부로 전달하고, 그 후 한쪽 포크의 후퇴 수평 운동 및 다른 쪽 포크의 전진 수평 운동을 동시에 행하여, 한쪽의 포크를 제2 기판 수용부로부터 후퇴시키는 동시에 기판을 유지하고 있는 다른 쪽의 포크를 그 기판이 적재되어야 하는 부위의 위쪽에 있는 예정 적재 위치로 이동시키고, 그 후 한쪽의 포크와 다른 쪽의 포크를 더욱 아래 방향으로 동시에 이동시켜, 다른 쪽의 포크에 유지된 기판을 제2 기판 수용부로 전달할 수 있도록, 상기 기판 반송 장치의 각 포크를 제어하는 것이 바람직하다.

또는, 본 발명의 기판 처리 시스템에 있어서는, 상기 제2 기판 수용부는, 복수의 기판을 상하 방향으로 서로 제2 피치(P2)에 상당하는 만큼 이격시켜 겹쳐 쌓는 식으로 수용하도록 되어 있고, 상기 각 포크는, 유지하고 있는 기판을 제2 기판 수용부에 전달할 때에 그 기판이 적재되어야 하는 부위의 위쪽에 있는 예정 적재 위치에서 아래쪽으로 이동함으로써 이 기판을 제2 기판 수용부로 전달하도록 되어 있고, 상기 제2 피치(P2)가 상기 포크 피치(P3)와 대략 동일한 크기가 되도록, 제2 피치(P2) 및 포크 피치(P3)가 각각 설정되는 것이 바람직하다.

또한, 상기 제2 기판 수용부는, 복수의 기판을 상하 방향으로 서로 이격시켜 겹쳐 쌓는 식으로 수용하도록 되어 있고, 상기 제어 장치는, 각 포크에 유지된 기판을 제2 기판 수용부로 전달함에 있어서, 기판을 유지하고 있는 모든 포크를 동시에 전진 수평 운동시켜 각 기판이 적재되어야 하는 부위의 위쪽에 있는 예정 적재 위치로 각각 이동시키고, 그 후 모든 포크를 아래 방향으로 동시에 이동시켜, 이들 포크에 유지된 각 기판을 각각 제2 기판 수용부로 전달하고, 그 후 모든 포크의 후퇴 수평 운동을 동시에 행하여, 이들 포크를 제2 기판 수용부로부터 후퇴시킬 수 있도록, 상기 기판 반송 장치의 각 포크를 제어하는 것이 바람직하다.

본 발명은, 복수의 기판을 상하 방향으로 서로 제1 피치(P1)에 상당하는 만큼 이격시켜 겹쳐 쌓는 식으로 수용하는 제1 기판 수용부와, 복수의 기판을 상하 방향으로 서로 상기 제1 피치(P1)보다도 큰 제2 피치(P2)에 상당하는 만큼 이격시켜 겹쳐 쌓는 식으로 수용하는 제2 기판 수용부와, 상기 제1 기판 수용부로부터 상기 제2 기판 수용부까지 기판을 반송하는 기판 반송 장치를 구비하고, 상기 기판 반송 장치는, 상기 제1 기판 수용부 및 제2 기판 수용부에 대하여 상하 방향으로 이동 가능한 포크 지지부와, 각각이 서로 독립적으로 수평 방향으로 이동 가능하도록 상기 포크 지지부에 설치된, 기판을 유지하는 복수의 포크로서, 각 포크는 상하 방향으로 서로 미리 설정된 포크 피치(P3)에 상당하는 만큼 이격되도록 상기 포크 지지부에 설치되어 있어, 각 포크가 유지하고 있는 기판을 제2 기판 수용부에 전달할 때에 그 기판이 적재되어야 하는 부위의 위쪽에 있는 예정 적재 위치로부터 아래쪽으로 이동함으로써 이 기판을 제2 기판 수용부로 전달하도록 되어 있는 복수의 포크를 지니고, 상기 제2 피치(P2)가 상기 포크 피치(P3)와 대략 동일한 크기가 되도록, 제2 피치(P2) 및 포크 피치(P3)가 설정되는 것을 특징으로 하는 기판 처리 시스템이다.

또는, 본 발명은, 복수의 기판을 상하 방향으로 서로 제1 피치(P1)에 상당하는 만큼 이격시켜 겹쳐 쌓는 식으로 수용하는 제1 기판 수용부와, 복수의 기판을 상하 방향으로 서로 상기 제1 피치(P1)보다도 큰 제2 피치(P2)에 상당하는 만큼 이격시켜 겹쳐 쌓는 식으로 수용하는 제2 기판 수용부와, 상기 제1 기판 수용부로부터 상기 제2 기판 수용부까지 기판을 반송하는 기판 반송 장치로서, 상기 제1 기판 수용부 및 제2 기판 수용부에 대하여 상하 방향으로 이동 가능한 포크 지지부와, 각각이 서로 독립적으로 수평 방향으로 이동 가능하도록 상기 포크 지지부에 설치된, 기판을 유지하는 복수의 포크로서, 각 포크는 상하 방향으로 서로 미리 설정된 포크 피치(P3)에 상당하는 만큼 이격되도록 상기 포크 지지부에 설치되어 있어, 각 포크가 유지하고 있는 기판을 제2 기판 수용부에 전달할 때에 그 기판이 적재되어 야 하는 부위의 위쪽에 있는 예정 적재 위치로부터 아래쪽으로 이동함으로써 이 기판을 제2 기판 수용부로 전달하도록 되어 있는 복수의 포크를 갖는 기판 반송 장치와, 제1 기판 수용부로부터 기판을 빼낼 때에, 기판을 1장씩 제1 기판 수용부로부터 빼내어, 각 포크에 유지된 기판을 제2 기판 수용부로 전달함에 있어서, 기판을 유지하고 있는 모든 포크를 동시에 전진 수평 운동시켜 각 기판이 적재되어야 하는 부위의 위쪽에 있는 예정 적재 위치로 각각 이동시키고, 그 후 모든 포크를 아래 방향으로 동시에 이동시켜, 이들 포크에 유지된 각 기판을 각각 제2 기판 수용부로 전달하고, 그 후 모든 포크의 후퇴 수평 운동을 동시에 행하여, 이들 포크를 각각 제2 기판 수용부로부터 후퇴시킬 수 있도록, 상기 기판 반송 장치의 각 포크를 제어하는 제어 장치를 구비한 것을 특징으로 하는 기판 처리 시스템이다.

상기 각 기판 처리 시스템에 따르면, 각각의 처리 시스템은 전술한 각종 기판 반송 장치를 각각 구비하고 있다. 이 때문에, 제1 기판 수용부로부터 제2 기판 수용부로 기판을 보다 신속하게 반송할 수 있으므로, 기판 처리 시스템에 있어서의 스루풋(처리 능력)을 향상시킬 수 있다.

본 발명은, 복수의 기판을 상하 방향으로 서로 이격시켜 겹쳐 쌓는 식으로 수용하는 제1 기판 수용부로부터, 복수의 기판을 수용하는 제2 기판 수용부까지 기판을 반송하는 기판 반송 방법으로서, 각각이 서로 독립적으로 수평 방향으로 이동 가능하게 되어 있으며, 기판을 유지하는 복수의 포크로서, 상하 방향으로 서로 미리 설정된 거리만큼 이격되는 복수의 포크를 준비하는 공정과, 제1 기판 수용부로부터 기판을 빼낼 때에, 상기 복수의 포크 중 인접하는 2개의 포크에 대해서, 상측 의 한쪽의 포크를 전진 수평 운동시켜 이 한쪽의 포크에 의해 빼내어야 하는 기판의 아래쪽의 예정 추출 위치로 상기 한쪽의 포크를 이동시키는 공정과, 한쪽의 포크와 아래쪽 측의 다른 쪽의 포크를 상향으로 동시에 이동시켜, 한쪽의 포크에 기판을 들어올려 이 기판을 지지하게 하는 공정과, 한쪽 포크의 후퇴 수평 운동 및 다른 쪽 포크의 전진 수평 운동을 동시에 행하여, 기판을 유지한 한쪽의 포크를 제1 기판 수용부로부터 후퇴시키는 동시에 다른 쪽의 포크를 상기 다른 쪽의 포크에 의해 빼내어야 하는 기판의 아래쪽의 예정 추출 위치로 이동시키는 공정과, 한쪽의 포크와 다른 쪽의 포크를 더욱 상향으로 동시에 이동시켜, 다른 쪽의 포크에 기판을 들어올리게 하여 이 기판을 지지하게 하는 공정을 구비한 것을 특징으로 하는 기판 반송 방법이다.

본 발명의 기판 반송 방법에 있어서는, 상기 제2 기판 수용부가, 복수의 기판을 상하 방향으로 서로 이격시켜 겹쳐 쌓는 식으로 수용하도록 되어 있는 상기 기판 반송 방법에 있어서, 각 포크에 유지된 기판을 제2 기판 수용부로 전달함에 있어서, 상기 복수의 포크 중 인접하는 2개의 포크에 대해서, 기판을 유지하고 있는 하측의 한쪽의 포크를 전진 수평 운동시켜 상기 기판이 적재되어야 하는 부위의 위쪽에 있는 예정 적재 위치로 이 한쪽의 포크를 이동시키는 공정과, 한쪽의 포크와 다른 쪽의 포크를 아래 방향으로 동시에 이동시켜, 한쪽의 포크에 유지된 기판을 제2 기판 수용부로 전달하는 공정과, 한쪽 포크의 후퇴 수평 운동 및 다른 쪽 포크의 전진 수평 운동을 동시에 행하여, 한쪽의 포크를 제2 기판 수용부로부터 후퇴시키는 동시에 기판을 유지하고 있는 다른 쪽의 포크를 상기 기판이 적재되어야 하는 부위의 위쪽에 있는 예정 적재 위치로 이동시키는 공정과, 한쪽의 포크와 다른 쪽의 포크를 더욱 아래 방향으로 동시에 이동시켜, 다른 쪽의 포크에 유지된 기판을 제2 기판 수용부로 전달하는 공정을 구비한 것이 바람직하다.

또는, 상기 제2 기판 수용부가, 복수의 기판을 상하 방향으로 서로 이격시켜 겹쳐 쌓는 식으로 수용하도록 되어 있는 상기 기판 반송 방법에 있어서, 각 포크에 유지된 기판을 제2 기판 수용부로 전달함에 있어서, 기판을 유지하고 있는 모든 포크를 동시에 전진 수평 운동시켜 각각 각 기판이 적재되어야 하는 부위의 위쪽에 있는 예정 적재 위치로 각각 이동시키는 공정과, 모든 포크를 아래 방향으로 동시에 이동시켜, 이들 포크에 유지된 각 기판을 제2 기판 수용부로 전달하는 공정과, 모든 포크의 후퇴 수평 운동을 동시에 행하여, 이들 포크를 각각 제2 기판 수용부로부터 후퇴시키는 공정을 구비한 것이 바람직하다.

본 발명은, 복수의 기판을 수용하는 제1 기판 수용부로부터, 복수의 기판을 상하 방향으로 서로 이격시켜 겹쳐 쌓는 식으로 수용하는 제2 기판 수용부까지 기판을 반송하는 기판 반송 방법으로서, 각각이 서로 독립적으로 수평 방향으로 이동 가능하게 되어 있으며, 기판을 유지하는 복수의 포크로서, 상하 방향으로 서로 미리 설정된 거리만큼 이격되는 복수의 포크를 준비하는 공정과, 제1 기판 수용부로부터 기판을 빼낼 때에, 기판을 1장씩 제1 기판 수용부로부터 빼내는 공정과, 각 포크에 유지된 기판을 제2 기판 수용부로 전달함에 있어서, 기판을 유지하고 있는 모든 포크를 동시에 전진 수평 운동시켜 각 기판이 적재되어야 하는 부위의 위쪽에 있는 예정 적재 위치로 각각 이동시키는 공정과, 모든 포크를 아래 방향으로 동시 에 이동시켜, 이들 포크에 유지된 각 기판을 각각 제2 기판 수용부로 전달하는 공정과, 모든 포크의 후퇴 수평 운동을 동시에 행하여, 이들 포크를 각각 제2 기판 수용부로부터 후퇴시키는 공정을 구비한 것을 특징으로 하는 기판 반송 방법이다.

상기 각종 기판 반송 방법에 따르면, 각각은 기판 반송 방법은, 제1 기판 수용부로부터 제2 기판 수용부로 기판을 보다 신속하게 반송할 수 있게 한다.

〔제1 실시 형태〕

이하, 도면을 참조하여 본 발명의 제1 실시 형태에 관해서 설명한다. 도 1 내지 도 12는 본 발명에 의한 기판 처리 시스템의 제1 실시 형태를 도시한 도면이다. 이 중, 도 1은 본 실시 형태의 기판 처리 시스템의 구성을 도시하는 개략 측면도이고, 도 2는 도 1의 기판 처리 시스템의 A-A 화살표를 따라 취한 횡단면도이고, 도 3은 도 1의 기판 처리 시스템의 B-B 화살표를 따라 취한 횡단면도이고, 도 4는 도 1의 기판 처리 시스템의 C-C 화살표를 따라 취한 종단면도이다. 한편, 본 실시 형태에서는, 기판으로서 반도체 웨이퍼를 이용하고 있다.

또한, 도 5a는 도 1의 기판 처리 시스템에 있어서, 웨이퍼가 수용된 상태의 후프의 구성을 도시하는 종단면도이고, 도 5b는 도 5a의 후프에 있어서 1장의 웨이퍼가 웨이퍼 반송 장치의 포크에 의해 들어 올려졌을 때의 상태를 도시하는 종단면도이고, 도 6은 도 5a의 후프의 D-D 화살표를 따라 취한 횡단면도이다.

또한, 도 7은 도 1의 기판 처리 시스템에 있어서의 제1 웨이퍼 반송 장치의 구성을 도시하는 사시도, 도 8a는 도 7의 웨이퍼 반송 장치에 있어서의 포크의 구성을 도시하는 평면도이고, 도 8b는 도 8a에 도시하는 포크의 F-F 화살표를 따라 취한 종단면도이다.

또한, 도 9는 도 1의 기판 처리 시스템에 있어서의 전달 유닛의 구성을 도시하는 측면도이고, 도 10a는 도 1의 기판 처리 시스템에 있어서의 제2 웨이퍼 반송 장치의 구성을 도시하는 사시도이고, 도 10b는 도 10a에 도시하는 제2 웨이퍼 반송 장치의 포크의 종단면도이다.

또한, 도 11의 (a)∼(f)는 도 1의 기판 처리 시스템에 있어서, 웨이퍼 반송 장치에 의해 후프로부터 웨이퍼가 빼내어질 때의 일련의 동작을 연속적으로 도시한 개략도이며, 도 12의 (a)∼(f)는 도 1의 기판 처리 시스템에 있어서, 웨이퍼 반송 장치로부터 웨이퍼가 전달 유닛에 전달될 때의 일련의 동작을 연속적으로 도시한 개략도이다.

한편, 도 1 내지 도 12를 참조함에 있어서, 도 14 및 도 15에 도시한 종래의 기판 처리 시스템과 동일한 부재에는 동일 부호를 붙여 설명한다.

처음에, 기판 처리 시스템(10)의 전체적인 구성에 관해서 설명한다.

도 1 내지 도 4에 도시한 바와 같이, 본 실시 형태의 기판 처리 시스템(10)은, 처리 전 및 처리 후의 반도체 웨이퍼(W)(이하, 웨이퍼(W)라고도 함)를 적치하기 위한 캐리어 스테이션(10a)과, 이 캐리어 스테이션(10a)에 인접하여 설치되어, 웨이퍼(W)에 세정 처리 및 세정 처리한 후의 열적 처리를 실시하기 위한 프로세스 스테이션(10b)으로 구성되어 있다. 캐리어 스테이션(10a)에는 여러 장, 예컨대 25장의 웨이퍼(W)가 상하 방향으로 소정 간격으로 대략 수평으로 수용할 수 있는 후프(FOUP ; Front Opening Unified Pod, 웨이퍼 저장용 포드)(20)와, 후프(20)를 병 렬로 여러 개, 예컨대 4개 적재할 수 있는 적재대(25)가 배치되어 있다. 또한, 프로세스 스테이션(10b) 내에는, 후프(20)로부터 보내진 웨이퍼(W)가 일시적으로 적재되는 전달 유닛(TRS; Transit Station)(30)과, 전달 유닛(30)에 일시적으로 적재된 웨이퍼(W)가 보내지고, 이 보내진 웨이퍼(W)의 세정이나 건조 등의 처리를 하는 복수의, 예컨대 4개의 스핀식 처리 챔버(SPIN)(40)가 배치되어 있다.

또한, 캐리어 스테이션(10a) 내에서, 후프(20)와 전달 유닛(30)의 사이에서 웨이퍼(W)의 전달을 담당하는 이동 가능한 제1 웨이퍼 반송 장치(CRA)(50)가 배치되어 있다. 마찬가지로, 프로세스 스테이션(10b) 내에서, 전달 유닛(30)과 처리 챔버(40) 사이에서 웨이퍼(W)의 전달을 담당하는 이동 가능한 제2 웨이퍼 반송 장치(PRA)(60)가 배치되어 있다. 또한, 기판 처리 시스템(10)에는, 제1 웨이퍼 반송 장치(50)나 제2 웨이퍼 반송 장치(60), 각 처리 챔버(40) 등을 제어하기 위한 제어 장치(15)가 설치되어 있다.

한편, 본 실시 형태의 기판 처리 시스템(10)에 의해 처리되어야 하는 웨이퍼(W)의 두께는 예컨대 약 1 mm로 되어 있다.

이어서, 기판 처리 시스템(10)의 각 구성 요소에 관해서 상술한다.

적재대(25) 상에 적재된 각 후프(FOUP)(20)에 관해서 도 5a, 도 5b 및 도 6을 이용하여 설명한다. 각 후프(20)는, 복수장, 예컨대 25장의 웨이퍼(W)를 상하 방향으로 서로 제1 피치(P1)(예컨대 약 10 mm)에 상당하는 만큼 이격하여 겹쳐 쌓는 식으로 수용할 수 있도록 되어 있다. 구체적으로는, 각 후프(20)는, 수직 방향으로 연장되는 중공 형상의 하우징(21)과, 이 하우징(21)의 내벽에 부착되어, 각 웨이퍼(W)가 수평 상태로 상면에 적재되는 복수의 웨이퍼 적재 부재(22)를 구비하고 있다. 하우징(21)은, 도 6에 도시한 바와 같이 횡단면이 U자형으로 되도록 한쪽의 측면이 개구되어 있고, 이 개구 부분에 셔터 등으로 이루어지는 창부 개폐 기구(23)가 설치되어 있다. 창부 개폐 기구(23)가 열린 상태로 되었을 때에, 후프(20) 내에 수용된 웨이퍼(W)를 빼낼 수 있게 된다.

각 웨이퍼 적재 부재(22)는 도 5a에 도시한 바와 같이, 하우징(21)의 내벽에 수평 방향으로 부착되는 판형 부재로 이루어지며, 이들 웨이퍼 적재 부재(22)의 각 상면은 상하 방향으로 서로 제1 피치(P1)에 상당하는 만큼 이격되어 있다. 도 6에 도시한 바와 같이, 각 웨이퍼 적재 부재(22)는 중앙 부분에 개구(22a)가 형성되는 U자형으로 되어 있다. 도 6에 도시한 바와 같이, 각 웨이퍼 적재 부재(22)의 개구(22a)는 웨이퍼(W)보다도 작게 되어 있다. 이 때문에, 웨이퍼(W)의 주연 부분이 각 웨이퍼 적재 부재(22)의 상면에 적재되게 된다.

여기서, 각 웨이퍼 적재 부재(22)의 두께 D1은 예컨대 약 4 mm로 되어 있다. 이 때문에, 하나의 웨이퍼 적재 부재(22)의 상면과, 이 웨이퍼 적재 부재(22)의 바로 위에 형성된 다른 웨이퍼 적재 부재(22)의 하면과의 사이의 거리 L1은 예컨대 약 6 mm로 되어 있다.

전달 유닛(TRS)(30)에 관해서 도 9를 이용하여 설명한다. 전달 유닛(30)은, 복수매, 예컨대 8장의 웨이퍼(W)를 상하 방향으로 서로 제2 피치(P2)(예컨대 약 26 mm)에 상당하는 만큼 이격되어 겹쳐 쌓는 식으로 수용할 수 있도록 되어 있다. 도 1에 도시한 바와 같이, 전달 유닛(30)은, 처리 챔버(40)로 보내지기 전의 4장의 처 리 전의 웨이퍼(W)를 수용할 수 있는 하측 영역(30b)과, 처리 챔버(40)로부터 보내진 4장의 처리 후의 웨이퍼(W)를 수용할 수 있는 상측 영역(30a)으로 분할되어 있다.

전달 유닛(30)의 구성에 관해서 구체적으로 설명하면, 이 전달 유닛(30)은, 도 9에 도시한 바와 같이, 수직 방향으로 연장되는 동시에 측면의 일부가 개구되어 있는 하우징(31)과, 이 하우징(31)의 내벽에 부착된 대략 원형 판 형상의 복수의 구획 부재(32)와, 각 구획 부재(32)의 상면에서 위쪽으로 돌출하도록 설치된 예컨대 3 라인의 돌기 부재(33)〔도 9에서는 3 라인의 돌기 부재(33) 중 2 라인만을 나타내고 있음〕를 갖고 있다. 복수의 구획 부재(32)는 도 9에 도시한 바와 같이, 그 하면에 대해서 상하 방향으로 서로 제2 피치(P2)에 상당하는 만큼 이격되어 있다. 이 제2 피치(P2)의 크기의 설정에 관해서는 후술한다. 또한, 각 돌기 부재(33)는 도 9에 도시한 바와 같이 각 구획 부재(32)의 상면에서 위쪽으로 돌출하는 막대 형상 부재로 구성되어 있다. 각각의 돌기 부재(33)는 도 8a, 도 8b(후술) 및 도 9에 도시한 바와 같이, 대략 원형의 구획 부재(32)의 중심점을 무게 중심으로 하는 가상 정삼각형의 각 정점에 위치하도록 되어 있어, 웨이퍼(W)의 중심 근방에서의 하면을 지지하도록 되어 있다.

여기서, 구획 부재(32)의 두께 D2는 예컨대 약 5 mm로 되어 있고, 또한 각 돌기 부재(33)의 상하 방향 길이 L2는 예컨대 약 14 mm로 되어 있다.

스핀식의 각 처리 챔버(SPIN)(40)는 웨이퍼(W)를 회전시키면서 그 웨이퍼(W)에 대하여 세정 처리나 건조 처리 등을 행하도록 되어 있다.

제1 웨이퍼 반송 장치(50)는, 후프(20)와 전달 유닛(30) 사이에서 웨이퍼(W)의 전달을 담당하도록 되어 있다. 이 제1 웨이퍼 반송 장치(50)의 구성에 관해서 이하에 상술한다.

도 7에 도시한 바와 같이, 제1 웨이퍼 반송 장치(50)는, 도 2에 있어서의 Y 방향으로 연장되는 레일(56) 위를 주행하는 베이스 부재(51)와, 이 베이스 부재(51)의 상면에 설치되어, Z 방향으로 신축할 수 있는 수직 이동 기구(52)를 갖고 있다. 이 수직 이동 기구(52)의 상부에는 베이스(55)가 형성되어 있고, 이 베이스(55)에 포크 지지 부재(53)가 부착되어 있다. 그리고, 이 포크 지지 부재(53)에 의해, 웨이퍼(W)를 유지하기 위한 1쌍의 포크(54a, 54b)가 지지되어 있다.

또한, 수직 이동 기구(52)는 도 7에 도시한 바와 같이 베이스 부재(51)에 대하여 θ 방향으로 회전할 수 있도록 되어 있다. 즉, 베이스(55)는, Y 방향, Z 방향으로 이동할 수 있는 동시에, θ 방향으로 회전할 수 있도록 구성되어 있다. 그리고, 1쌍의 포크(54a, 54b)가 베이스(55)의 위쪽에서 겹쳐 배치되어 있다. 포크 지지 부재(53)는, 1쌍의 포크(54a, 54b)의 기단부에 각각 부착된 수평 이동 기구(53a, 53b)를 갖고 있고, 이 수평 이동 기구(53a, 53b)는 각각 포크(54a, 54b)를 도 7의 X 방향으로 진퇴 이동시키도록 되어 있다.

이와 같이, 1쌍의 포크(54a, 54b)는 일체적으로 포크 지지 부재(53)를 통해 베이스(55)에 설치되어, 수직 이동 기구(52)가 베이스(55)를 상하 방향으로 이동시킬 수 있게 되어 있다. 이 때문에, 수직 이동 기구(52)를, 1쌍의 포크(54a, 54b)를 동시에 상하 방향으로 구동시키는 단일의 구동부로서 이용할 수 있게 된다. 이와 같이, 1쌍의 포크(54a, 54b)를 동시에 상하 방향으로 구동시키는 단일의 구동부가 설치됨으로써, 포크(54a, 54b)를 독립적으로 Z축 방향으로 구동시키는 것과 비교하여, 포크(54a, 54b)의 구동 기구를 단순하게 할 수 있다.

더욱이, 제1 웨이퍼 반송 장치(50)에는 제어부(58)가 내장되어 있다. 이 제어부(58)는, 수직 이동 기구(52) 및 포크 지지 부재(53)의 수평 이동 기구(53a, 53b)를 제어하도록 되어 있고, 이로써 각 포크(54a, 54b)의 동작을 각각 독립적으로 제어할 수 있도록 되어 있다. 도 1에 도시한 바와 같이, 제어부(58)는 기판 처리 시스템(10)의 제어 장치(15)에 접속되어, 이 제어 장치(15)로부터 제어 신호가 보내지도록 되어 있다. 한편, 도 1에서는 제어부(58)가 제1 웨이퍼 반송 장치(50)에 내장된 형태에 관해서 예시하고 있지만, 이 제어부(58)는 제1 웨이퍼 반송 장치(50)의 외부에 별도로 설치되더라도 좋다. 또한, 이러한 제어부(58)는 생략 가능하며, 대신에 제어 장치(15)가 직접 제1 웨이퍼 반송 장치(50)의 각 포크(54a, 54b)의 동작을 제어하도록 하여도 좋다. 제어부(58)에 있어서의 제어 내용의 상세한 것에 관해서는 후술한다.

1쌍의 포크(54a, 54b)는, 상하 방향으로 미리 설정된 포크 피치(P3)에 상당하는 만큼 이격되도록 각각 포크 지지 부재(53)에 의해 지지되어 있다. 여기서, 각 포크(54a, 54b)는, 수평 이동 기구(53a, 53b)에 의해, 포크 지지 부재(53)에 대하여 서로 독립적으로 수평 방향으로 이동 가능하게 되어 있다. 이들 포크(54a, 54b)를 수평 이동시킨 경우라도, 각 포크(54a, 54b) 사이의 포크 피치(P3)는 변화하지 않도록 되어 있다. 각 포크(54a, 54b)의 두께 D3은 예컨대 약 6 mm로 되어 있다(도 5a, 도 5b 참조).

각 포크(54a, 54b)의 형상에 관해서 구체적으로 설명하면, 도 8a에 도시한 바와 같이, 각 포크(54a, 54b)는 대략 U자형의 선단부와, 포크 지지 부재(53)에 연결되는 기단부로 구성되어 있다. 도 8a에 도시한 바와 같이, 이 대략 U자형의 선단부에 의해 웨이퍼(W)(도 8a에서는 이점 쇄선으로 표시)를 유지하도록 되어 있다. 또한, 이 선단부에 있어서의 개구 부분은, 전달 유닛(30)에 있어서의 3 라인의 돌기 부재(33)(도 8a에서는 이점 쇄선으로 표시)가 각각 통과할 수 있게 되어 있다. 또한, 이 선단부는 후프(20)에 있어서의 웨이퍼 적재 부재(22)의 U자형 부분의 개구(22a)(도 6 참조)를 통과할 수 있도록 되어 있다. 또한, 도 8b에 도시한 바와 같이, 각 포크(54a, 54b)의 표면에는, 웨이퍼(W)의 단부 가장자리의 유지 및 위치 결정을 하기 위한 예컨대 3개의 유지 부재(54p)가 부착되어 있다.

각 포크(54a, 54b)는 웨이퍼(W)를 이면에서 지지하는 동시에 그 단부 가장자리를 유지 부재(54p)에 끼워 결합시킴으로써 그 웨이퍼(W)를 유지하도록 되어 있다.

여기서, 각 포크(54a, 54b)가 후프(20)로부터 웨이퍼(W)를 빼낼 때의 상황에 관해서 설명하면, 우선, 빼내야 할 웨이퍼(W)의 아래쪽에 있는 예정 추출 위치로 각 포크(54a, 54b)를 이동시킨다(도 5a 참조). 다음에, 베이스(55)를 미리 설정된 추출 스트로크량(ST1)만큼 위쪽으로 이동시킴으로써, 각 포크(54a, 54b)를 예정 추출 위치로부터 추출 스트로크량(ST1)만큼 위쪽으로 이동시킨다. 여기서, 이 각 포크(54a, 54b)의 위쪽으로의 이동 과정에 있어서, 후프(20)의 웨이퍼 적재 부재(22) 상에 있는 웨이퍼(W)를 각 포크(54a, 54b)가 들어올림으로써, 이 웨이퍼(W)가 각 포크(54a, 54b)의 상면으로 전달되게 된다.

추출 스트로크 ST1의 크기는, 후프(20)의 형상에 기초하여 미리 설정되도록 되어 있다. 구체적으로는, 빼내야 하는 웨이퍼(W)의 아래쪽에 있는 예정 추출 위치(도 5a 참조)에 관해서, 각 포크(54a, 54b)의 두께 D3이 비교적 크고(예컨대 약 6 mm), 또한 빼내야 하는 웨이퍼(W)의 아래쪽 부위로 각 포크(54a, 54b)를 이동시킬 때에 이 포크(54a, 54b)의 상하에 있는 각 웨이퍼(W)와 각 포크(54a, 54b)와의 사이에서 일정한 간격(예컨대 1 mm 이상)을 유지할 필요가 있기 때문에, 이 예정 추출 위치의 높이 레벨이 후프(20)의 구조에 기초하여 필연적으로 정해진다. 그리고, 웨이퍼(W)를 유지한 각 포크(54a, 54b)를 후프(20)로부터 빼낼 때에는, 각 포크(54a, 54b) 상에 있는 웨이퍼(W)에 관해서 이 웨이퍼(W)의 상하에 있는 웨이퍼 적재 부재(22)와 충돌하지 않도록 하기 위해서(도 5b 참조), 뽑아낼 때의 각 포크(54a, 54b)의 높이 레벨도 필연적으로 정해진다. 이로써, 뽑아낼 때의 각 포크(54a, 54b)의 높이 레벨에서 예정 추출 위치의 각 포크(54a, 54b)의 높이 레벨을 뺀 값에 상당하는 추출 스트로크량(ST1)의 크기도 필연적으로 정해지게 되며, 구체적으로는 이 추출 스트로크량(ST1)은 예컨대 약 6.5 mm로 된다.

그리고, 포크(54a, 54b) 사이의 포크 피치(P3)는 후프(20)에 있어서의 웨이퍼(W)의 제1 피치(P1)와 추출 스트로크량(ST1)의 합계의 크기로 설정된다. 구체적으로는, 제1 피치(P1)이 약 10 mm이며, 추출 스트로크량(ST1)이 약 6.5 mm이기 때문에, 포크 피치(P3)이 약 16.5 mm로 설정된다.

이어서, 유지하고 있는 웨이퍼(W)를 각 포크(54a, 54b)가 전달 유닛(30)으로 전달할 때의 상황에 관해서 설명하면, 우선, 웨이퍼(W)가 적재되어야 하는 부위의 위쪽에 있는 예정 적재 위치로 각 포크(54a, 54b)를 이동시키고, 이어서 베이스(55)를 미리 설정된 적재 스트로크량(ST2)만큼 아래쪽으로 이동시킴으로써, 각 포크(54a, 54b)를 예정 적재 위치에서 적재 스트로크량(ST2)만큼 아래쪽으로 이동시킨다. 여기서, 이 각 포크(54a, 54b)의 아래쪽으로의 이동 과정에 있어서, 각 포크(54a, 54b) 상에 있는 웨이퍼(W)의 바닥면에 전달 유닛(30)의 돌기 부재(33)의 꼭대기부가 접촉하게 되어, 이 웨이퍼(W)가 전달 유닛(30)으로 전달되게 된다.

이렇게 하여, 적재 스트로크량(ST2) 및 전달 유닛(30)에 있어서의 웨이퍼(W)의 제2 피치(P2)는 이 제2 피치(P2)가 포크 피치(P3)와 적재 스트로크량(ST2)을 합계한 크기로 되도록 각각 설정되어 있다. 구체적으로는, 포크 피치(P3)가 약 16.5 mm인 경우에, 제2 피치(P2)가 약 23 mm 또는 이것보다 큰 값으로, 적재 스트로크량(ST2)가 약 6.5 mm 또는 이것보다 큰 값으로 설정된다. 이하의 기재에서는, 제2 피치(P2)를 약 23 mm, 적재 스트로크량(ST2)를 약 6.5 mm로 각각 설정한 경우에 관해서 설명한다.

제2 웨이퍼 반송 장치(PRA)(60)는 전술한 바와 같이, 프로세스 스테이션(10b) 내에서, 전달 유닛(30)과 처리 챔버(40) 사이에서 웨이퍼(W)의 전달을 담당하도록 되어 있다. 이 제2 웨이퍼 반송 장치(60)의 구성에 관해서 이하에 상술한다.

도 10a에 도시한 바와 같이, 제2 웨이퍼 반송 장치(60)는, 도 2에 있어서의 X 방향으로 연장되는 레일(66) 위를 주행하는 베이스 부재(61)와, 이 베이스 부재(61)의 상면에 설치되어, Z 방향으로 신축할 수 있는 수직 이동 기구(62)를 갖고 있다. 이 수직 이동 기구(62)의 상부에는 베이스(65)가 설치되어 있고, 이 베이스(65)에 포크 지지 부재(63)가 부착되고 있다. 그리고, 이 포크 지지 부재(63)에 의해, 웨이퍼(W)를 유지하기 위한 1쌍의 포크(64a, 64b)가 지지되어 있다.

또한, 수직 이동 기구(62)는, 도 10a에 도시한 바와 같이 베이스 부재(61)에 대하여 θ 방향으로 회전할 수 있게 되어 있다. 즉, 베이스(65)는, X 방향, Z 방향으로 이동할 수 있는 동시에, θ 방향으로 회전할 수 있도록 구성되어 있다. 그리고, 1쌍의 포크(64a, 64b)가 베이스(65)의 위쪽에서 겹쳐 배치되어 있다. 포크 지지 부재(63)는, 1쌍의 포크(64a, 64b)의 기단부에 각각 부착된 수평 이동 기구(63a, 63b)를 갖고 있고, 이 수평 이동 기구(63a, 63b)는 각각 포크(64a, 64b)를 도 10a의 Y 방향으로 진퇴 이동시키도록 되어 있다.

또한, 도 10b에 도시한 바와 같이, 각 포크(64a, 64b)에는 웨이퍼(W)의 단부 가장자리의 유지 및 위치 결정을 하기 위한 예컨대 3개의 유지 부재(64p)가 부착되어 있다. 여기서, 상술한 바와 같이 제2 웨이퍼 반송 장치(60)는 제1 웨이퍼 반송 장치(50)보다도 웨이퍼(W)를 고속으로 반송하기 때문에, 각 포크(64a, 64b)는 웨이퍼(W)를 보다 견고하게 유지할 필요가 있다. 이 때문에, 제2 웨이퍼 반송 장치(60)에 있어서의 유지 부재(64p)의 두께를 제1 웨이퍼 반송 장치(50)에 있어서의 유지 부재(54p)의 두께보다도 크게 할 필요가 있다. 이 때문에, 일반적으로 제2 웨이퍼 반송 장치(60)에 있어서의 웨이퍼(W) 사이의 제2 피치(P2)는 제1 웨이퍼 반송 장 치(50)에 있어서의 웨이퍼(W) 사이의 제1 피치(P1)보다도 커진다.

이어서, 이러한 구성으로 이루어지는 본 실시 형태의 기판 처리 시스템(10)의 작용에 관해서 설명한다. 우선, 기판 처리 시스템(10)에 있어서의 전체적인 동작에 관해서 설명한다.

처음에, 처리 대상 웨이퍼(W)를 예컨대 25장 수용한 후프(20)가 적재대(25) 상에 적재된다. 이어서, 후프(20)에 설치된 창부 개폐 기구(23)가 열려, 이 후프(20) 내의 웨이퍼(W)를 빼낼 수 있게 된다. 그리고, 이 후프(20)에 대하여 제1 웨이퍼 반송 장치(50)가 접근하여, 이 제1 웨이퍼 반송 장치(50)의 각 포크(54a, 54b)가 각각 후프(20) 내의 웨이퍼(W)를 들어올려 유지한다. 이 때에, 1쌍의 포크(54a, 54b)에 의해, 후프(20) 내의 인접하는 2장의 웨이퍼(W)를 빼낼 수 있게 되어 있다. 제1 웨이퍼 반송 장치(50)에 의해, 후프(20)로부터 웨이퍼(W)가 빼내어질 때의 동작의 상세한 것에 관해서는 후술한다.

이어서, 제1 웨이퍼 반송 장치(50)의 각 포크(54a, 54b)에 각각 유지된 웨이퍼(W)는 전달 유닛(30)에 보내진다. 이 제1 웨이퍼 반송 장치(50)의 동작은 제어 장치(15)에 의해 제어된다. 구체적으로는, 우선 제1 웨이퍼 반송 장치(50)가 캐리어 스테이션(10a) 내에서 수평 방향의 이동 및 회전을 실행하여, 전달 유닛(30)에 접근한다. 그리고, 각 포크(54a, 54b)가 전진 수평 이동을 하고, 또한 베이스(55)가 아래쪽으로 이동함으로써, 각 포크(54a, 54b)로부터 전달 유닛(30)의 각 돌기 부재(33) 상에 웨이퍼(W)를 전달한다. 여기서, 웨이퍼(W)는 전달 유닛(30) 중 하측 영역(30b)에 수용된다. 제1 웨이퍼 반송 장치(50)로부터 웨이퍼(W)가 전달 유 닛(30)에 전달될 때의 동작의 상세한 것에 관해서는 후술한다.

그 후, 제2 웨이퍼 반송 장치(60)가 전달 유닛(30)에 접근하여, 이 제2 웨이퍼 반송 장치(60)의 하측의 포크(64b)가 전달 유닛(30)의 돌기 부재(33) 상에 적재된 웨이퍼(W)를 들어올려 유지한다. 그리고, 하측의 포크(64b)가 웨이퍼(W)를 유지한 상태로 제2 웨이퍼 반송 장치(60)가 처리 챔버(40)에 접근하여, 이 하측의 포크(64b)에 의해서 유지된 웨이퍼(W)가 처리 챔버(40) 안으로 들어가게 된다. 이 제2 웨이퍼 반송 장치(60)의 동작은 제어 장치(15)에 의해 제어된다.

그 후, 처리 챔버(40) 내에서, 웨이퍼(W)에 대한 세정 처리 및 건조 처리가 이루어진다. 이 세정 처리 및 건조 처리의 상세한 것에 관해서는 생략한다.

세정 처리 및 건조 처리가 실시된 웨이퍼(W)는 다시 제2 웨이퍼 반송 장치(60)에 수용되어, 전달 유닛(30)으로 들어가게 된다. 이 때에, 웨이퍼(W)는, 제2 웨이퍼 반송 장치(60)의 상측의 포크(64a)에 의해 유지되어, 전달 유닛(30)의 상측 영역(30a)에 수용된다.

그 후, 전달 유닛(30) 내로 보내진 웨이퍼(W)는, 제1 웨이퍼 반송 장치(50)에 의해서 수용되어, 다시 후프(20) 내로 보내진다. 구체적으로는 우선, 제1 웨이퍼 반송 장치(50)가 캐리어 스테이션(10a) 내에서 수평 방향의 이동 및 회전을 실행하여, 전달 유닛(30)에 접근한다. 그리고, 각 포크(54a, 54b)가 전진 수평 이동을 하고, 또한 베이스(55)가 위쪽으로 이동함으로써, 전달 유닛(30)의 각 돌기 부재(33) 상에 있는 웨이퍼(W)를 각 포크(54a, 54b)가 들어올려 유지한다. 그 후, 제1 웨이퍼 반송 장치(50)의 각 포크(54a, 54b)에 각각 유지된 웨이퍼(W)가 후프(20) 에 전달된다.

이와 같이 하여, 기판 처리 시스템(10)에서의 웨이퍼(W)에 대한 일련의 처리가 종료된다.

이어서, 제1 웨이퍼 반송 장치(50)에 의해 후프(20)로부터 상하 방향으로 인접하는 2장의 웨이퍼(W)가 빼내어질 때의 일련의 동작의 상세한 것에 관해서 도 11의 (a)∼(f)를 이용하여 설명한다. 한편, 이 일련의 동작은, 제1 웨이퍼 반송 장치(50)에 내장된 제어부(58)에 의해서 수직 이동 기구(52) 및 수평 이동 기구(53a, 53b)가 제어됨으로써 이루어진다.

우선, 도 11의 (a)에 도시한 바와 같이, 제1 웨이퍼 반송 장치(50)가 후프(20)에 접근한다. 이 때에, 상측의 포크(54a)가 도 5a에 도시하는 것과 같은 예정 추출 위치와 동일한 높이 레벨이 되도록, 미리 베이스(55)가 상하 방향으로 이동하고 있다. 상측의 포크(54a)가 예정 추출 위치와 동일한 높이 레벨에 있을 때에, 이 상측의 포크(54a)가 빼내야 하는 하나의 웨이퍼(W)의 바닥면과 이 상측의 포크(54a)의 상면과의 사이의 거리 R1은 전술한 추출 스트로크량(ST1)보다도 작아지고 있다.

이어서, 상측의 포크(54a)를 전진 수평 운동시켜, 도 11의 (b)에 도시한 바와 같이, 이 상측의 포크(54a)에 의해 빼내야 하는 하나의 웨이퍼(W)의 바로 아래에 있는 예정 추출 위치로 상기 상측의 포크(54a)를 이동시킨다. 이 때에, 하측의 포크(54b)는 정지된 상태로 있으며, 이 하측의 포크(54b)는 후프(20)로부터 이격되어 있다.

이어서, 도 11의 (c)에 도시한 바와 같이, 베이스(55)를 위쪽으로 추출 스트로크량(ST1)에 상당하는 만큼 이동시킨다. 여기서, 상측의 포크(54a)가 위쪽으로 추출 스트로크량(ST1)에 상당하는 만큼 이동함으로써, 후프(20)의 웨이퍼 적재 부재(22) 상에 있는 하나의 웨이퍼(W)를 이 상측의 포크(54a)가 이면에서 들어올려, 상기 상측의 포크(54a)가 하나의 웨이퍼(W)를 유지하게 된다.

또한, 하측의 포크(54b)도 위쪽으로 추출 스트로크량(ST1)에 상당하는 만큼 이동한다. 여기서, 포크 피치(P3)가 제1 피치(P1)와 추출 스트로크량(ST1)의 합계의 크기로 되어 있으므로, 상측의 포크(54a)에 의해 빼내어진 하나의 웨이퍼(W)의 바로 아래에 위치하는 다른 웨이퍼(W)의 바닥면과, 상기 하측의 포크(54b)의 상면과의 사이의 거리가 전술한 거리 R1과 동일한 크기로 된다(도 11의 (a) 및 (c) 참조). 이로써, 하측의 포크(54b)도 자동적으로 예정 추출 위치와 동일한 높이 레벨로 이동하게 된다.

이어서, 상측의 포크(54a)를 후퇴 수평 운동시키고, 동시에, 하측의 포크(54b)를 전진 수평 운동시킨다. 이로써, 도 11의 (d)에 도시한 바와 같이, 웨이퍼(W)를 유지하고 있는 상측의 포크(54a)가 후프(20)로부터 후퇴하는 동시에, 하측의 포크(54b)가, 이 하측의 포크(54b)에 의해 빼내야 하는 다른 웨이퍼(W)의 바로 아래에 있는 예정 추출 위치로 이동한다.

이어서, 도 11의 (e)에 도시한 바와 같이, 베이스(55)를 더욱 위쪽으로 추출 스트로크량(ST1)에 상당하는 만큼 이동시킨다. 여기서, 하측의 포크(54b)가 위쪽으로 추출 스트로크량(ST1)에 상당하는 만큼 이동함으로써, 후프(20)의 웨이퍼 적재 부재(22) 상에 있는 다른 웨이퍼(W)를 이 하측의 포크(54b)가 이면에서 들어올려, 상기 하측의 포크(54b)가 다른 웨이퍼(W)를 유지하게 된다.

마지막으로, 하측의 포크(54b)를 후퇴 수평 운동시킨다. 이로써, 도 11의 (f)에 도시한 바와 같이, 하측의 포크(54b)도 후프(20)로부터 후퇴한다. 이와 같이 하여, 제1 웨이퍼 반송 장치(50)에 의해 후프(20)로부터 상하 방향으로 인접하는 2장의 웨이퍼(W)를 빼내는 일련의 동작이 종료된다.

한편, 전달 유닛(30)에서 후프(20)로 웨이퍼(W)를 복귀시킬 때에 있어서의, 제1 웨이퍼 반송 장치(50)에 유지된 2장의 웨이퍼(W)를 후프(20)에 전달할 때의 일련의 동작은, 도 11의 (a)∼(f)에 도시한 바와 같은 전술한 일련의 동작을 반대의 순서대로(도 11(f)∼(a)의 순서로) 행하는 동작으로 된다.

이어서, 제1 웨이퍼 반송 장치(50)에 유지된 2장의 웨이퍼(W)를 전달 유닛(30)에 전달할 때의 일련의 동작의 상세한 것에 관해서 도 12의 (a)∼(f)를 이용하여 설명한다.

우선, 도 12의 (a)에 도시한 바와 같이, 제1 웨이퍼 반송 장치(50)가 전달 유닛(30)에 접근한다. 이 때에, 상측의 포크(54a)가 예정 적재 위치와 동일한 높이 레벨이 되도록, 미리 베이스(55)가 상하 방향으로 이동하고 있다. 여기서, 예정 적재 위치란, 포크(54a, 54b)가 유지하고 있는 웨이퍼(W)가 적재되어야 하는 부위의 바로 위의 위치로서, 상기 포크(54a, 54b)가 웨이퍼(W)를 전달 유닛(30)의 각 돌기 부재(33a, 33b)로 바꿔 옮기기 위해서 행하는 하강 운동의 시작 위치를 말한다. 상측의 포크(54a)가 예정 적재 위치와 동일한 높이 레벨에 있을 때에, 이 상측의 포 크(54a)가 유지하고 있는 하나의 웨이퍼(W)의 바닥면과 전달 유닛(30)의 하나의 돌기 부재(33a)와의 사이의 거리 R2는 전술한 적재 스트로크량(ST2)보다도 작게 되어 있다.

이어서, 상측의 포크(54a)를 전진 수평 운동시켜, 도 12의 (b)에 도시한 바와 같이, 이 상측의 포크(54a)를 예정 적재 위치로 이동시킨다. 이 때에, 하측의 포크(54b)는 정지된 상태로 있으며, 이 하측의 포크(54b)는 전달 유닛(30)으로부터 이격되어 있다.

이어서, 도 12의 (c)에 도시한 바와 같이, 베이스(55)를 아래쪽으로 적재 스트로크량(ST2)에 상당하는 만큼 이동시킨다. 여기서, 상측의 포크(54a)가 아래쪽으로 적재 스트로크량(ST2)에 상당하는 만큼 이동함으로써, 상측의 포크(54a)에 의해 이면이 지지된 하나의 웨이퍼(W)가 전달 유닛(30)의 하나의 돌기 부재(33a)에 전달되게 된다.

또한, 하측의 포크(54b)도 아래쪽으로 적재 스트로크량(ST2)에 상당하는 만큼 이동한다. 여기서, 제2 피치(P2)가 포크 피치(P3)와 적재 스트로크량(ST2)의 합계의 크기로 되어 있으므로, 하측의 포크(54b)가 유지하고 있는 다른 웨이퍼(W)의 바닥면과 전달 유닛(30)의 다른 돌기 부재(33b)와의 사이의 거리가 전술한 거리 R2와 동일한 크기로 된다(도 12의 (a) 및 (c) 참조). 이로써, 하측의 포크(54b)도 자동적으로 예정 적재 위치와 동일한 높이 레벨로 이동하게 된다.

이어서, 상측의 포크(54a)를 후퇴 수평 운동시키고, 동시에, 하측의 포크(54b)를 전진 수평 운동시킨다. 이로써, 도 12의 (d)에 도시한 바와 같이, 상측 의 포크(54a)가 전달 유닛(30)으로부터 후퇴하는 동시에, 하측의 포크(54b)가 다른 돌기 부재(33b)의 바로 위에 있는 예정 적재 위치로 이동한다.

이어서, 도 12의 (e)에 도시한 바와 같이, 베이스(55)를 더욱 아래쪽으로 적재 스트로크량(ST2)에 상당하는 만큼 이동시킨다. 여기서, 하측의 포크(54b)가 아래쪽으로 적재 스트로크량(ST2)에 상당하는 만큼 이동함으로써, 하측의 포크(54b)에 의해 이면이 지지된 다른 웨이퍼(W)가 전달 유닛(30)의 다른 돌기 부재(33a)에 전달되게 된다.

마지막으로, 하측의 포크(54b)를 후퇴 수평 운동시킨다. 이로써, 도 12의 (f)에 도시한 바와 같이, 하측의 포크(54b)도 전달 유닛(30)으로부터 후퇴한다. 이와 같이 하여, 제1 웨이퍼 반송 장치(50)에 유지된 2장의 웨이퍼(W)를 전달 유닛(30)에 전달하는 일련의 동작이 종료된다.

한편, 전달 유닛(30)으로부터 후프(20)로 웨이퍼(W)를 복귀시킬 때에 있어서의, 제1 웨이퍼 반송 장치(50)에 의해 전달 유닛(30)으로부터 웨이퍼(W)가 빼내어질 때의 일련의 동작은, 도 12의 (a)∼(f)에 도시한 바와 같은 전술한 일련의 동작을 반대의 순서대로(도 12의 (f)∼(a)의 순서로) 행하는 동작이 된다.

이상과 같이 본 실시 형태의 웨이퍼 반송 장치(50)에 따르면, 각 포크(54a, 54b)는 상하 방향으로 미리 설정된 포크 피치(P3)에 상당하는 만큼 이격되도록 포크 지지 부재(53)에 설치되어 있어, 각 포크(54a, 54b)가 후프(20)로부터 웨이퍼(W)를 빼낼 때에 상기 웨이퍼(W)의 아래쪽에 있는 예정 추출 위치로부터 미리 설정된 추출 스트로크량(ST1)만큼 위쪽으로 이동함으로써 이 웨이퍼(W)를 들어올려 지지하도록 되어 있고, 상기 포크 피치(P3)는 후프(20)에 수용된 복수의 웨이퍼(W) 사이의 제1 피치(P1)와 추출 스트로크량(ST1)의 합계의 크기로 설정되어 있다.

이로써, 웨이퍼 반송 장치(50)가 후프(20)로부터 복수의 웨이퍼(W)를 빼낼 때에, 인접하는 2개의 포크(54a, 54b)에 대해서, 우선 상측의 포크(54a)를 전진 수평 운동시켜 상기 상측의 포크(54a)를 예정 추출 위치로 이동시키고, 이어서, 상측의 포크(54a)와 하측의 포크(54b)를 상향으로 동시에 이동시켜, 상측의 포크(54a)에 웨이퍼(W)를 들어올려 이 웨이퍼(W)를 지지하게 하고, 그 후, 상측 포크(54a)의 후퇴 수평 운동 및 하측 포크(54b)의 전진 수평 운동을 동시에 행하게 하여, 상측의 포크(54a)를 후프(20)로부터 후퇴시키는 동시에 하측의 포크(54b)를 예정 추출 위치로 이동시키고, 그 후 상측의 포크(54a)와 하측의 포크(54b)를 더욱 상향으로 동시에 이동시켜, 하측의 포크(54b)에 웨이퍼(W)를 들어올려 이 웨이퍼(W)를 지지하게 할 수 있게 된다.

여기서, 웨이퍼(W)를 후프(20)로부터 빼내는 공정에 있어서 상측 포크(54a)의 후퇴 수평 운동 및 하측 포크(54b)의 전진 수평 운동을 동시에 행하게 함으로써, 1 라인의 포크로 웨이퍼(W)를 반송하는 경우와 비교하여, 웨이퍼 반송 장치(50)가 후프(20)로부터 복수의 웨이퍼(W)를 빼내는 시간을 단축할 수 있다. 더구나, 이 때에, 웨이퍼 반송 장치(50)는, 인접하는 2개의 포크(54a, 54b)에 대해서, 후프(20)에 있어서의 상하 방향으로 인접하는 2장의 웨이퍼(W)를 빼낼 수 있게 할 수 있다. 이로써, 후프(20)에 있어서 위쪽 또는 아래쪽에서부터 순차적으로 웨이퍼(W)를 빼낼 수 있다.

또한, 각 포크(54a, 54b)는, 유지하고 있는 웨이퍼(W)를 전달 유닛(30)에 전달할 때에 그 웨이퍼(W)가 적재되어야 하는 부위의 위쪽에 있는 예정 적재 위치로부터 미리 설정된 적재 스트로크량(ST2)만큼 아래쪽으로 이동함으로써 이 웨이퍼(W)를 전달 유닛(30)으로 전달하도록 되어 있으며, 각 포크(54a, 54b) 사이의 포크 피치(P3)는 전달 유닛(30)에 있어서의 제2 피치(P2)로부터 적재 스트로크량(ST2)을 감한 크기로 되어 있다.

이로써, 웨이퍼 반송 장치(50)에 유지된 웨이퍼(W)를 전달 유닛(30)으로 전달함에 있어서, 인접하는 2개의 포크(54a, 54b)에 관해서, 우선 웨이퍼(W)를 유지하고 있는 상측의 포크(54a)를 전진 수평 운동시켜 그 상측의 포크(54a)를 예정 적재 위치로 이동시키고, 이어서, 상측의 포크(54a)와 하측의 포크(54b)를 아래 방향으로 동시에 이동시켜, 상측의 포크(54a)에 유지된 웨이퍼(W)를 전달 유닛(30)으로 전달하고, 그 후, 상측 포크(54a)의 후퇴 수평 운동 및 하측 포크(54b)의 전진 수평 운동을 동시에 행하게 하여, 상측의 포크(54a)를 전달 유닛(30)으로부터 후퇴시키는 동시에 웨이퍼(W)를 유지하고 있는 하측의 포크(54b)를 예정 적재 위치로 이동시키고, 그 후, 상측의 포크(54a)와 하측의 포크(54b)를 더욱 아래 방향으로 동시에 이동시켜, 하측의 포크(54b)에 유지된 웨이퍼(W)를 전달 유닛(30)으로 전달할 수 있게 된다.

여기서, 웨이퍼(W)를 전달 유닛(30)으로 전달하는 공정에 있어서 상측 포크(54a)의 후퇴 수평 운동 및 하측 포크(54b)의 전진 수평 운동을 동시에 행하게 함으로써, 1 라인의 포크로 웨이퍼(W)의 반송을 하는 경우와 비교하여, 웨이퍼 반 송 장치(50)가 복수의 웨이퍼(W)를 전달 유닛(30)으로 전달하는 시간을 단축할 수 있다. 이로써, 웨이퍼 반송 장치(50)는, 후프(20)로부터 전달 유닛(30)으로 웨이퍼(W)를 보다 신속하게 반송할 수 있게 된다.

본 실시 형태에 있어서의 기판 처리 시스템(10)은, 상술한 바와 같이 웨이퍼 반송 장치(50)를 갖추고 있다. 이 때문에, 후프(20)로부터 전달 유닛(30)으로의 웨이퍼(W)의 반송을 보다 신속하게 행할 수 있음으로 인해, 기판 처리 시스템(10)에 있어서의 스루풋(처리능력)을 향상시킬 수 있다.

한편, 본 실시 형태에 의한 기판 처리 시스템(10)은, 상기 형태에 한정되는 것이 아니라, 다양한 변경을 가할 수 있다. 예컨대, 제1 웨이퍼 반송 장치(50)가 갖는 포크의 개수는 2 라인에 한정되지 않고, 제1 웨이퍼 반송 장치(50)가 3 라인 이상의 포크를 갖고 있더라도 좋다. 이 경우에는, 각 포크는 각각 상하 방향으로 서로 포크 피치(P3)에 상당하는 만큼 이격되어 나란히 늘어서도록 포크 지지 부재(53)에 설치된다. 또한, 각 포크가 후프(20)로부터 각각 웨이퍼(W)를 빼낼 때에, 맨 처음에 가장 위쪽에 있는 포크가 후프(20)로부터 웨이퍼(W)를 빼내고, 이 가장 위쪽에 있는 포크가 후퇴 수평 운동을 하는 동시에 위에서 2번째의 포크가 전진 수평 운동을 하여, 이어서 이러한 위에서 2번째의 포크가 후프(20)로부터 웨이퍼(W)를 빼내고, 그 후, 위에서 2번째의 포크가 후퇴 수평 운동을 하는 동시에 위에서 3번째의 포크가 전진 수평 운동을 한다. 이와 같이 하여, 위쪽의 포크부터 순서대로 서로 인접하는 2개의 포크에 대해서 한쪽이 후퇴 수평 운동을 하는 동시에 다른 쪽이 전진 수평 운동을 하도록 하여, 각 포크가 후프(20)로부터 각각 웨이퍼(W)를 빼 내도록 한다. 이 때에, 예컨대 포크의 개수가 4 라인인 경우에는, 후프(20)에 있어서 상하 방향에서 연속적으로 나란히 늘어선 4장의 웨이퍼(W)가 빼내어지게 된다.

마찬가지로, 제1 웨이퍼 반송 장치(50)가 3 라인 이상의 포크를 갖고 있는 경우에, 각 포크에 유지된 웨이퍼(W)를 전달 유닛(30)으로 전달함에 있어서, 상측의 포크부터 순서대로, 서로 인접하는 2개의 포크에 대해서 한쪽이 후퇴 수평 운동을 하는 동시에 다른 쪽이 전진 수평 운동을 하도록 하여, 각 포크에 유지된 웨이퍼(W)를 전달 유닛(30)의 돌기 부재(33) 상에 전달하게 한다.

〔제2 실시 형태〕

이하, 도면을 참조하여 본 발명의 제2 실시 형태에 관해서 설명한다. 도 13은 본 실시 형태의 기판 처리 시스템에 있어서의 웨이퍼 반송 장치로부터 웨이퍼가 전달 유닛에 전달될 때의 다른 일련의 동작을 연속적으로 도시한 개략도이다.

본 실시 형태의 기판 처리 시스템(10)은, 제2 피치(P2)가 포크 피치(P3)와 적재 스트로크량(ST2)의 합계의 크기인 대신에, 제2 피치(P2)와 포크 피치(P3)가 대략 동일한 크기로 되어 있는 점이 다를 뿐이며, 다른 것은 실질적으로 도 1 내지 도 12에 도시하는 제1 실시 형태와 같은 구성을 갖고 있다.

본 실시 형태에 있어서, 도 1 내지 도 12에 도시하는 제1 실시 형태와 동일 부분에는 동일 부호를 붙여 상세한 설명은 생략한다.

제1 웨이퍼 반송 장치(50)에 대해서, 유지하고 있는 웨이퍼(W)를 각 포크(54a, 54b)가 전달 유닛(30)으로 전달할 때의 상황에 관해서 설명하면, 우선, 웨이퍼(W)가 적재되어야 하는 부위의 위쪽에 있는 예정 적재 위치로 각 포크(54a, 54b)를 동시에 이동시키고, 이어서, 베이스(55)를 미리 설정된 적재 스트로크량(ST2)만큼 아래쪽으로 이동시킴으로써, 각 포크(54a, 54b)를 예정 적재 위치로부터 적재 스트로크량(ST2)만큼 아래쪽으로 동시에 이동시키도록 되어 있다. 여기서, 이 각 포크(54a, 54b)의 아래쪽으로의 이동 과정에 있어서, 각 포크(54a, 54b) 상에 있는 웨이퍼(W)의 바닥면에 전달 유닛(30)의 돌기 부재(33)의 꼭대기부가 접촉하게 되어, 이들 웨이퍼(W)가 전달 유닛(30)에 전달되게 된다.

제1 웨이퍼 반송 장치(50)가 이러한 동작을 할 수 있도록 하기 위해서는, 전달 유닛(30)에 있어서의 웨이퍼(W)의 제2 피치(P2)를, 제1 웨이퍼 반송 장치(50)에 있어서의 포크 피치(P3)와 거의 동일한 크기가 되도록 설정할 필요가 있다. 구체적으로는, 제2 피치(P2) 및 포크 피치(P3)가 약 16.5 mm로 설정된다.

이어서, 본 실시 형태의 제1 웨이퍼 반송 장치(50)에 유지된 2장의 웨이퍼(W)를 전달 유닛(30)에 전달할 때의 일련의 동작의 상세한 것에 관해서 도 13의 (a)∼(d)를 이용하여 설명한다.

우선, 도 13의 (a)에 도시한 바와 같이, 제1 웨이퍼 반송 장치(50)가 전달 유닛(30)에 접근한다. 이 때에, 상측의 포크(54a) 및 하측의 포크(54b)가 각각 예정 적재 위치와 동일한 높이 레벨이 되도록, 미리 베이스(55)가 상하 방향으로 이동하고 있다. 상측의 포크(54a) 및 하측의 포크(54b)가 각각 예정 적재 위치와 동일한 높이 레벨에 있을 때에, 이 상측의 포크(54a)가 유지하고 있는 하나의 웨이퍼(W)의 바닥면과 전달 유닛(30)의 하나의 돌기 부재(33a)와의 사이의 거리 R2는, 전술한 적재 스트로크량(ST2)보다도 작게 되어 있다. 또한, 제2 피치(P2)와 포크 피치(P3)가 대략 동일한 크기이기 때문에, 하측의 포크(54b)가 유지하고 있는 다른 웨이퍼(W)의 바닥면과 전달 유닛(30)의 다른 돌기 부재(33b) 사이의 거리는 상기 거리 R2와 대략 동일한 크기로 되어 있다(도 13의 (a) 참조).

이어서, 상측의 포크(54a) 및 하측의 포크(54b)를 동시에 전진 수평 운동하여, 도 13의 (b)에 도시한 바와 같이, 이들 상측의 포크(54a) 및 하측의 포크(54b)를 예정 적재 위치로 이동시킨다.

이어서, 도 13의 (c)에 도시한 바와 같이, 베이스(55)를 아래쪽으로 적재 스트로크량(ST2)에 상당하는 만큼 이동시킨다. 여기서, 상측의 포크(54a) 및 하측의 포크(54b)가 각각 아래쪽으로 적재 스트로크량(ST2)에 상당하는 만큼 이동함으로써, 상측의 포크(54a)에 의해 이면이 지지된 하나의 웨이퍼(W)가 전달 유닛(30)의 하나의 돌기 부재(33a)에 전달되는 동시에, 하측의 포크(54b)에 의해 이면이 지지된 다른 웨이퍼(W)가 전달 유닛(30)의 다른 돌기 부재(33b)에 전달되게 된다.

마지막으로, 상측의 포크(54a) 및 하측의 포크(54b)를 동시에 후퇴 수평 운동시킨다. 이로써, 도 13의 (d)에 도시한 바와 같이, 상측의 포크(54a) 및 하측의 포크(54b)가 전달 유닛(30)으로부터 후퇴한다. 이와 같이 하여, 제1 웨이퍼 반송 장치(50)에 유지된 2장의 웨이퍼(W)를 전달 유닛(30)에 전달하는 일련의 동작이 종료된다.

이상과 같이 본 실시 형태의 웨이퍼 반송 장치(50)에 따르면, 각 포크(54a, 54b)는, 유지하고 있는 웨이퍼(W)를 전달 유닛(30)에 적재할 때에 그 웨이퍼(W)가 적재되어야 하는 부위의 위쪽에 있는 예정 적재 위치로부터 미리 설정된 적재 스트 로크량(ST2)만큼 아래쪽으로 이동함으로써 이 웨이퍼(W)를 전달 유닛(30)으로 전달할 수 있게 되어 있으며, 각 포크(54a, 54b) 사이의 포크 피치(P3)는 전달 유닛(30)에 있어서의 제2 피치(P2)와 대략 동일한 크기로 되어 있다.

이로써, 웨이퍼 반송 장치(50)에 유지된 웨이퍼(W)를 전달 유닛(30)으로 전달함에 있어서, 우선 웨이퍼(W)를 유지하고 있는 모든 포크(54a, 54b)를 동시에 전진 수평 운동시켜 이들 포크(54a, 54b)를 예정 적재 위치로 각각 이동시키고, 그 후, 모든 포크(54a, 54b)를 아래 방향으로 동시에 이동시켜, 이들 포크(54a, 54b)에 유지된 각 웨이퍼(W)를 각각 전달 유닛(30)으로 전달하고, 그 후, 모든 포크(54a, 54b)의 후퇴 수평 운동을 동시에 행하게 하여, 이들 포크(54a, 54b)를 각각 전달 유닛(30)으로부터 후퇴시킬 수 있게 된다.

여기서, 웨이퍼(W)를 전달 유닛(30)으로 전달하는 공정에 있어서 모든 포크(54a, 54b)의 전진 수평 운동 및 후퇴 수평 운동을 동시에 행하게 하고, 또한 1회의 각 포크(54a, 54b)의 아래쪽으로의 이동에 의해 이들 포크(54a, 54b)에 유지된 모든 웨이퍼(W)를 전달 유닛(30)으로 전달하는 것을 일괄적으로 행하고 있기 때문에, 제1 실시 형태에 기재되는 것과 같은 상측 포크(54a)의 후퇴 수평 운동과 하측 포크(54b)의 전진 수평 운동을 동시에 행하는 방법과 비교하여, 웨이퍼 반송 장치(50)가 복수의 웨이퍼(W)를 전달 유닛(30)으로 전달하는 시간을 더욱 단축할 수 있다. 이로써, 웨이퍼 반송 장치(50)는, 후프(20)로부터 전달 유닛(30)으로 웨이퍼(W)를 더욱 신속하게 반송할 수 있게 된다.

한편, 본 실시 형태에 의한 기판 처리 시스템(10)은 상기 형태에 한정되는 것이 아니라, 다양한 변경을 가할 수 있다. 예컨대, 제1 웨이퍼 반송 장치(50)가 갖는 포크의 개수는 2 라인에 한정되지 않고, 제1 웨이퍼 반송 장치(50)가 3 라인 이상의 포크를 갖고 있더라도 좋다. 이 경우에는, 각 포크는 상하 방향으로 서로 포크 피치(P3)에 상당하는 만큼 이격되어 나란히 늘어서도록 포크 지지 부재(53)에 설치된다. 또한, 각 포크에 유지된 웨이퍼(W)를 전달 유닛(30)으로 전달할 때에, 각각 웨이퍼(W)를 유지하고 있는 3 라인 이상의 모든 포크에 동시에 전진 수평 운동을 하게 하고, 이어서 모든 포크가 아래쪽으로 동시에 이동함으로써 이들 포크에서 각각의 웨이퍼(W)를 전달 유닛(30)으로 전달하고, 그 후 모든 포크에 동시에 후퇴 수평 운동을 하게 함으로써, 각 포크에 유지된 웨이퍼(W)를 단시간에 전달 유닛(30)으로 전달할 수 있다.

〔제3 실시 형태〕

이하, 본 발명의 제3 실시 형태에 관해서 설명한다. 본 실시 형태의 기판 처리 시스템(10)은, 후프(20)에 있어서의 각 웨이퍼(W) 사이의 제1 피치(P1)와, 제1 웨이퍼 반송 장치(50)에 있어서의 포크 피치(P3) 및 추출 스트로크량(ST1)의 관계가 특별히 규정되어 있지 않은 점이 다를 뿐이며, 다른 것은 실질적으로 도 13에 도시하는 제2 실시 형태와 같은 구성을 갖고 있다.

본 실시 형태에 있어서, 도 13에 도시하는 제2 실시 형태와 동일 부분에는 동일 부호를 붙여 상세한 설명은 생략한다.

본 실시 형태의 기판 처리 시스템(10)에 대해서, 전달 유닛(30)에 있어서의 웨이퍼(W) 사이의 제2 피치(P2)는, 제1 실시 형태와 마찬가지로 약 23 mm 또는 이 것보다 큰 값으로 미리 설정되어 있다. 그리고, 제2 실시 형태에 있어서 설명한 바와 같이, 전달 유닛(30)에 있어서의 웨이퍼(W)의 제2 피치(P2) 및 제1 웨이퍼 반송 장치(60)에 있어서의 포크 피치(P3)는 상기 제2 피치(P2)와 포크 피치(P3)가 거의 같은 크기가 되도록 설정되어 있다. 구체적으로는, 제1 웨이퍼 반송 장치(50)에 있어서의 포크 피치(P3)가 약 23 mm 또는 이것보다 큰 값으로 설정된다.

여기서, 기판 처리 시스템(10)의 후프(20)에 있어서의 제1 피치(P1)는 약 10 mm로 미리 설정되어 있고, 이 후프(20)에 있어서의 웨이퍼(W)의 수용 장수의 형편상, 이 제1 피치(P1)를 이 이상 크게 할 수는 없게 되어 있다. 이 때문에, 제1 웨이퍼 반송 장치(50)가 후프(20)로부터 복수의 웨이퍼(W)를 빼낼 때에, 각각의 포크(54a, 54b)가 다른 포크와 연동하는 일이 없이 각각 단독으로 후프(20)로부터 웨이퍼(W)를 빼내도록 되어 있다.

즉, 후프(20)로부터 웨이퍼(W)를 빼낼 때에, 상측의 포크(54a)에 우선 전진 수평 운동을 하게 하고, 이어서 이 상측의 포크(54a)를 위쪽으로 이동시켜, 상기 상측의 포크(54a)에 웨이퍼(W)를 들어올려 이 웨이퍼(W)를 유지시키고, 상측의 포크(54a)에 후퇴 수평 운동을 하게 한다. 그 후, 하측의 포크(54b)가 예정 추출 위치와 대략 동일한 높이 레벨이 되도록 베이스(55)를 높이 방향으로 이동시켜, 하측의 포크(54b)에 전진 수평 운동을 하게 하고, 이어서, 이 하측의 포크(54b)를 위쪽으로 이동시켜, 상기 하측의 포크(54b)에 웨이퍼(W)를 들어올려 이 웨이퍼(W)를 유지하게 하고, 마지막으로, 하측의 포크(54b)에 후퇴 수평 운동을 하게 한다. 이와 같이, 본 실시 형태의 기판 처리 시스템(10)에 의하면, 제1 웨이퍼 반송 장치(50) 가 후프(20)로부터 복수의 웨이퍼(W)를 빼내는 공정에 대해서는, 제1 실시 형태보다도 시간이 많이 소요된다. 그러나, 제1 웨이퍼 반송 장치(50)에 유지된 웨이퍼(W)를 전달 유닛(30)으로 전달하는 것에 대해서는, 제1 실시 형태보다도 시간을 단축할 수 있다.

본 실시 형태의 기판 처리 시스템(10) 및 웨이퍼 반송 장치(50)에 따르면, 1 라인의 포크로 웨이퍼(W)의 반송을 하는 경우와 비교하여, 웨이퍼 반송 장치(50)가 복수의 웨이퍼(W)를 전달 유닛(30)으로 전달하는 시간을 단축할 수 있다. 이로써, 웨이퍼 반송 장치(50)는, 후프(20)로부터 전달 유닛(30)으로 웨이퍼(W)를 더욱 신속하게 반송할 수 있게 된다.

본 발명에 따르면, 제1 기판 수용부에서 제2 기판 수용부로 기판을 보다 신속하게 반송할 수 있는 기판 반송 장치 및 기판 반송 방법을 제공할 수 있으며, 또한, 이러한 기판 반송 장치를 구비하여 스루풋(처리 능력)을 향상시킬 수 있는 기판 처리 시스템을 제공할 수 있다.

Claims (18)

1. 복수의 기판을 상하 방향으로 서로 제1 피치(P1)에 상당하는 만큼 이격시켜 겹쳐 쌓는 식으로 수용하는 제1 기판 수용부로부터, 복수의 기판을 수용하는 제2 기판 수용부까지 기판을 반송하는 기판 반송 장치로서,

   상기 제1 기판 수용부 및 제2 기판 수용부에 대하여 상하 방향으로 이동 가능한 포크 지지부와,

   각각이 서로 독립적으로 수평 방향으로 이동 가능하도록 상기 포크 지지부에 설치된, 기판을 유지하는 복수의 포크로서, 각 포크는 상하 방향으로 서로 미리 설정된 포크 피치(P3)에 상당하는 만큼 이격되도록 상기 포크 지지부에 설치되어 있어, 각 포크가 제1 기판 수용부로부터 기판을 빼낼 때에 그 기판의 아래쪽에 있는 예정 추출 위치로부터 미리 설정된 추출 스트로크량(ST1)만큼 위쪽으로 이동함으로써 이 기판을 들어올려 지지하도록 되어 있고, 상기 포크 피치(P3)는 상기 제1 피치(P1)와 상기 추출 스트로크량(ST1)의 합계의 크기로 설정되어 있는 것인 복수의 포크를 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 반송 장치.
2. 제1항에 있어서, 상기 복수의 포크를 동시에 상하 방향으로 구동시키는 단일의 구동부를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 반송 장치.
3. 제1항에 있어서, 상기 제2 기판 수용부는 복수의 기판을 상하 방향으로 서로 제2 피치(P2)에 상당하는 만큼 이격시켜 겹쳐 쌓는 식으로 수용하도록 되어 있고,

   상기 각 포크는, 유지하고 있는 기판을 제2 기판 수용부에 전달할 때에 그 기판이 적재되어야 하는 부위의 위쪽에 있는 예정 적재 위치로부터 미리 설정된 적재 스트로크량(ST2)만큼 아래쪽으로 이동함으로써 이 기판을 제2 기판 수용부로 전달하도록 되어 있고,

   상기 각 포크 사이의 포크 피치(P3)는 상기 제2 기판 수용부에 있어서의 상기 제2 피치(P2)에서 적재 스트로크량(ST2)을 감한 크기인 것을 특징으로 하는 기판 반송 장치.
4. 제1항에 있어서, 상기 제2 기판 수용부는 복수의 기판을 상하 방향으로 서로 제2 피치(P2)에 상당하는 만큼 이격시켜 겹쳐 쌓는 식으로 수용하도록 되어 있고,

   상기 각 포크는, 유지하고 있는 기판을 제2 기판 수용부에 전달할 때에 그 기판이 적재되어야 하는 부위의 위쪽에 있는 예정 적재 위치로부터 아래쪽으로 이동함으로써 이 기판을 제2 기판 수용부로 전달하도록 되어 있고,

   상기 각 포크 사이의 포크 피치(P3)는 상기 제2 기판 수용부에 있어서의 상기 제2 피치(P2)와 대략 동일한 크기인 것을 특징으로 하는 기판 반송 장치.
5. 복수의 기판을 상하 방향으로 서로 제1 피치(P1)에 상당하는 만큼 이격시켜 겹쳐 쌓는 식으로 수용하는 제1 기판 수용부로부터, 복수의 기판을 상하 방향으로 서로 상기 제1 피치(P1)보다도 큰 제2 피치(P2)에 상당하는 만큼 이격시켜 겹쳐 쌓 는 식으로 수용하는 제2 기판 수용부까지 기판을 반송하는 기판 반송 장치로서,

   상기 제1 기판 수용부 및 제2 기판 수용부에 대하여 상하 방향으로 이동 가능한 포크 지지부와,

   각각이 서로 독립적으로 수평 방향으로 이동 가능하도록 상기 포크 지지부에 설치된, 기판을 유지하는 복수의 포크로서, 각 포크는 상하 방향으로 서로 미리 설정된 포크 피치(P3)에 상당하는 만큼 이격되도록 상기 포크 지지부에 설치되어 있어, 각 포크가 유지하고 있는 기판을 제2 기판 수용부에 전달할 때에 그 기판이 적재되어야 하는 부위의 위쪽에 있는 예정 적재 위치로부터 아래쪽으로 이동함으로써 이 기판을 제2 기판 수용부로 전달하도록 되어 있고, 상기 포크 피치(P3)는 상기 제2 피치(P2)와 대략 동일한 크기로 설정되어 있는 것인 복수의 포크를 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 반송 장치.
6. 제5항에 있어서, 상기 복수의 포크를 동시에 상하 방향으로 구동시키는 단일의 구동부를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 반송 장치.
7. 복수의 기판을 상하 방향으로 서로 제1 피치(P1)에 상당하는 만큼 이격시켜 겹쳐 쌓는 식으로 수용하는 제1 기판 수용부와,

   복수의 기판을 수용하는 제2 기판 수용부와,

   상기 제1 기판 수용부로부터 상기 제2 기판 수용부까지 기판을 반송하는 기판 반송 장치를 구비하고,

   상기 기판 반송 장치는, 상기 제1 기판 수용부 및 제2 기판 수용부에 대하여 상하 방향으로 이동 가능한 포크 지지부와, 각각이 서로 독립적으로 수평 방향으로 이동 가능하도록 상기 포크 지지부에 설치된, 기판을 유지하는 복수의 포크로서, 각 포크는 상하 방향으로 서로 미리 설정된 포크 피치(P3)에 상당하는 만큼 이격되도록 상기 포크 지지부에 설치되어 있어, 각 포크가 제1 기판 수용부로부터 기판을 빼낼 때에 그 기판의 아래쪽에 있는 예정 추출 위치로부터 미리 설정된 추출 스트로크량(ST1)만큼 위쪽으로 이동함으로써 이 기판을 들어올려 지지하도록 되어 있는 복수의 포크를 포함하고,

   상기 포크 피치(P3)는 상기 제1 피치(P1)와 상기 추출 스트로크량(ST1)의 합계의 크기가 되도록, 이들 포크 피치(P3), 제1 피치(P1) 및 추출 스트로크량(ST1)이 각각 설정되는 것을 특징으로 하는 기판 처리 시스템.
8. 제7항에 있어서, 상기 제2 기판 수용부는 복수의 기판을 상하 방향으로 서로 제2 피치(P2)에 상당하는 만큼 이격시켜 겹쳐 쌓는 식으로 수용하도록 되어 있고,

   상기 각 포크는, 유지하고 있는 기판을 제2 기판 수용부에 전달할 때에 그 기판이 적재되어야 하는 부위의 위쪽에 있는 예정 적재 위치로부터 미리 설정된 적재 스트로크량(ST2)만큼 아래쪽으로 이동함으로써 이 기판을 제2 기판 수용부로 전달하도록 되어 있고,

   상기 제2 피치(P2)가 상기 포크 피치(P3)와 상기 적재 스트로크량(ST2)의 합계의 크기가 되도록, 제2 피치(P2), 포크 피치(P3) 및 적재 스트로크량(ST2)가 각 각 설정되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 처리 시스템.
9. 제7항에 있어서, 상기 제2 기판 수용부는, 복수의 기판을 상하 방향으로 서로 제2 피치(P2)에 상당하는 만큼 이격시켜 겹쳐 쌓는 식으로 수용하도록 되어 있고,

   상기 각 포크는, 유지하고 있는 기판을 제2 기판 수용부에 전달할 때에 그 기판이 적재되어야 하는 부위의 위쪽에 있는 예정 적재 위치로부터 아래쪽으로 이동함으로써 이 기판을 제2 기판 수용부로 전달하도록 되어 있고,

   상기 제2 피치(P2)가 상기 포크 피치(P3)와 대략 동일한 크기가 되도록, 제2 피치(P2) 및 포크 피치(P3)가 각각 설정되는 것을 특징으로 하는 기판 처리 시스템.
10. 복수의 기판을 상하 방향으로 서로 제1 피치(P1)에 상당하는 만큼 이격시켜 겹쳐 쌓는 식으로 수용하는 제1 기판 수용부와,

    복수의 기판을 상하 방향으로 서로 상기 제1 피치(P1)보다도 큰 제2 피치(P2)에 상당하는 만큼 이격시켜 겹쳐 쌓는 식으로 수용하는 제2 기판 수용부와,

    상기 제1 기판 수용부로부터 상기 제2 기판 수용부까지 기판을 반송하는 기판 반송 장치를 구비하고,

    상기 기판 반송 장치는, 상기 제1 기판 수용부 및 제2 기판 수용부에 대하여 상하 방향으로 이동 가능한 포크 지지부와, 각각이 서로 독립적으로 수평 방향으로 이동 가능하도록 상기 포크 지지부에 설치된, 기판을 유지하는 복수의 포크로서, 각 포크는 상하 방향으로 서로 미리 설정된 포크 피치(P3)에 상당하는 만큼 이격되도록 상기 포크 지지부에 설치되어 있어, 각 포크가 유지하고 있는 기판을 제2 기판 수용부에 전달할 때에 그 기판이 적재되어야 하는 부위의 위쪽에 있는 예정 적재 위치로부터 아래쪽으로 이동함으로써 이 기판을 제2 기판 수용부로 전달하도록 되어 있는 복수의 포크를 포함하고,

    상기 제2 피치(P2)가 상기 포크 피치(P3)와 대략 동일한 크기가 되도록, 제2 피치(P2) 및 포크 피치(P3)가 설정되는 것을 특징으로 하는 기판 처리 시스템.
11. 복수의 기판을 상하 방향으로 서로 이격시켜 겹쳐 쌓는 식으로 수용하는 제1 기판 수용부와,

    복수의 기판을 수용하는 제2 기판 수용부와,

    상기 제1 기판 수용부로부터 상기 제2 기판 수용부까지 기판을 반송하는 기판 반송 장치로서, 상기 제1 기판 수용부 및 제2 기판 수용부에 대하여 상하 방향으로 이동 가능한 포크 지지부와, 각각이 서로 독립적으로 수평 방향으로 이동 가능하도록 상기 포크 지지부에 설치된, 기판을 유지하는 복수의 포크로서, 각 포크는 상하 방향으로 서로 미리 설정된 거리만큼 이격되도록 상기 포크 지지부에 설치되어 있어, 각 포크가 제1 기판 수용부로부터 기판을 빼낼 때에 그 기판의 아래쪽에 있는 예정 추출 위치로부터 미리 설정된 추출 스트로크량만큼 위쪽으로 이동함으로써 이 기판을 들어올려 지지하도록 되어 있는 복수의 포크를 갖는 기판 반송 장치와,

    제1 기판 수용부로부터 기판을 빼낼 때에, 상기 복수의 포크 중 인접하는 2개의 포크에 대해서, 상측의 한쪽의 포크를 전진 수평 운동시켜 이 한쪽의 포크에 의해 빼내야 하는 기판의 아래쪽의 예정 추출 위치로 상기 한쪽의 포크를 이동시키고, 그 후 한쪽의 포크와 하측의 다른 쪽의 포크를 위 방향으로 동시에 이동시켜, 한쪽의 포크에 기판을 들어올려 이 기판을 지지하게 하고, 그 후 한쪽의 포크의 후퇴 수평 운동 및 다른 쪽 포크의 전진 수평 운동을 동시에 행하여, 기판을 유지한 한쪽의 포크를 제1 기판 수용부로부터 후퇴시키는 동시에 다른 쪽의 포크를 상기 다른 쪽의 포크에 의해 빼내야 하는 기판의 아래쪽의 예정 추출 위치로 이동시키고, 그 후 한쪽의 포크와 다른 쪽의 포크를 더욱 상향으로 동시에 이동시켜, 다른 쪽의 포크에 기판을 들어올려 이 기판을 지지하게 할 수 있도록, 상기 기판 반송 장치의 각 포크의 제어를 하는 제어 장치를 구비한 것을 특징으로 하는 기판 처리 시스템.
12. 제11항에 있어서, 상기 제2 기판 수용부는, 복수의 기판을 상하 방향으로 서로 이격시켜 겹쳐 쌓는 식으로 수용하도록 되어 있고,

    상기 제어 장치는, 각 포크에 유지된 기판을 제2 기판 수용부로 전달함에 있어서, 상기 복수의 포크 중 인접하는 2개의 포크에 대해서, 기판을 유지하고 있는 상측의 한쪽의 포크를 전진 수평 운동시켜 그 기판이 적재되어야 하는 부위의 위쪽에 있는 예정 적재 위치로 이 한쪽의 포크를 이동시키고, 그 후 한쪽의 포크와 다 른 쪽의 포크를 아래 방향으로 동시에 이동시켜, 한쪽의 포크에 유지된 기판을 제2 기판 수용부로 전달하고, 그 후 한쪽 포크의 후퇴 수평 운동 및 다른 쪽 포크의 전진 수평 운동을 동시에 행하여, 한쪽의 포크를 제2 기판 수용부로부터 후퇴시키는 동시에 기판을 유지하고 있는 다른 쪽의 포크를 그 기판이 적재되어야 하는 부위의 위쪽에 있는 예정 적재 위치로 이동시키고, 그 후 한쪽의 포크와 다른 쪽의 포크를 더 아래 방향으로 동시에 이동시켜, 다른 쪽의 포크에 유지된 기판을 제2 기판 수용부로 전달할 수 있도록, 상기 기판 반송 장치의 각 포크를 제어하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 시스템.
13. 제11항에 있어서, 상기 제2 기판 수용부는, 복수의 기판을 상하 방향으로 서로 이격시켜 겹쳐 쌓는 식으로 수용하도록 되어 있고,

    상기 제어 장치는, 각 포크에 유지된 기판을 제2 기판 수용부로 전달함에 있어서, 기판을 유지하고 있는 모든 포크를 동시에 전진 수평 운동시켜 각 기판이 적재되어야 하는 부위의 위쪽에 있는 예정 적재 위치로 각각 이동시키고, 그 후 모든 포크를 아래 방향으로 동시에 이동시켜, 이들 포크에 유지된 각 기판을 각각 제2 기판 수용부로 전달하고, 그 후 모든 포크의 후퇴 수평 연동을 동시에 행하여, 이들 포크를 제2 기판 수용부로부터 후퇴시킬 수 있도록, 상기 기판 반송 장치의 각 포크를 제어하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 시스템.
14. 복수의 기판을 상하 방향으로 서로 제1 피치(P1)에 상당하는 만큼 이격시켜 겹쳐 쌓는 식으로 수용하는 제1 기판 수용부와,

    복수의 기판을 상하 방향으로 서로 상기 제1 피치(P1)보다도 큰 제2 피치(P2)에 상당하는 만큼 이격시켜 겹쳐 쌓는 식으로 수용하는 제2 기판 수용부와,

    상기 제1 기판 수용부로부터 상기 제2 기판 수용부까지 기판을 반송하는 기판 반송 장치로서, 상기 제1 기판 수용부 및 제2 기판 수용부에 대하여 상하 방향으로 이동 가능한 포크 지지부와, 각각이 서로 독립적으로 수평 방향으로 이동 가능하도록 상기 포크 지지부에 설치된, 기판을 유지하는 복수의 포크로서, 각 포크는 상하 방향으로 서로 미리 설정된 포크 피치(P3)에 상당하는 만큼 이격되도록 상기 포크 지지부에 설치되어 있어, 각 포크가 유지하고 있는 기판을 제2 기판 수용부에 전달할 때에 그 기판이 적재되어야 하는 부위의 위쪽에 있는 예정 적재 위치로부터 아래쪽으로 이동함으로써 이 기판을 제2 기판 수용부로 전달하도록 되어 있는 복수의 포크를 갖는 기판 반송 장치와,

    제1 기판 수용부로부터 기판을 빼낼 때에, 기판을 1장씩 제1 기판 수용부로부터 빼내어, 각 포크에 유지된 기판을 제2 기판 수용부로 전달함에 있어서, 기판을 유지하고 있는 모든 포크를 동시에 전진 수평 운동시켜 각각 각 기판이 적재되어야 하는 부위의 위쪽에 있는 예정 적재 위치로 각각 이동시키고, 그 후 모든 포크를 아래 방향으로 동시에 이동시켜, 이들 포크에 유지된 각 기판을 제2 기판 수용부로 전달하고, 그 후 모든 포크의 후퇴 수평 운동을 동시에 행하여, 이들 포크를 제2 기판 수용부로부터 후퇴시킬 수 있도록, 상기 기판 반송 장치의 각 포크를 제어하는 제어 장치를 구비한 것을 특징으로 하는 기판 처리 시스템.
15. 복수의 기판을 상하 방향으로 서로 이격시켜 겹쳐 쌓는 식으로 수용하는 제1 기판 수용부로부터, 복수의 기판을 수용하는 제2 기판 수용부까지 기판을 반송하는 기판 반송 방법으로서,

    각각이 서로 독립적으로 수평 방향으로 이동 가능하게 되어 있고 기판을 유지하는 복수의 포크로서, 상하 방향으로 서로 미리 설정된 거리만큼 이격되는 복수의 포크를 준비하는 공정과,

    제1 기판 수용부로부터 기판을 빼낼 때에, 상기 복수의 포크 중 인접하는 2개의 포크에 대해서, 상측의 한쪽의 포크를 전진 수평 운동시켜 이 한쪽의 포크에 의해 빼내야 하는 기판의 아래쪽의 예정 추출 위치로 상기 한쪽의 포크를 이동시키는 공정과,

    한쪽의 포크와 하측의 다른 쪽의 포크를 상향으로 동시에 이동시켜, 한쪽의 포크에 기판을 들어올려 이 기판을 지지하게 하는 공정과,

    한쪽 포크의 후퇴 수평 운동 및 다른 쪽 포크의 전진 수평 운동을 동시에 행하여, 기판을 유지한 한쪽의 포크를 제1 기판 수용부로부터 후퇴시키는 동시에 다른 쪽의 포크를 상기 다른 쪽의 포크에 의해 빼내야 하는 기판의 아래쪽의 예정 추출 위치로 이동시키는 공정과,

    한쪽의 포크와 다른 쪽의 포크를 더욱 상향으로 동시에 이동시키고, 다른 쪽의 포크에 기판을 들어올려 이 기판을 지지하게 하는 공정

    을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 반송 방법.
16. 제15항에 있어서, 상기 제2 기판 수용부가, 복수의 기판을 상하 방향으로 서로 이격시켜 겹쳐 쌓는 식으로 수용하도록 되어 있고,

    각 포크에 유지된 기판을 제2 기판 수용부로 전달함에 있어서, 상기 복수의 포크 중 인접하는 2개의 포크에 대해서, 기판을 유지하고 있는 상측의 한쪽의 포크를 전진 수평 운동시켜 상기 기판이 적재되어야 하는 부위의 상측에 있는 예정 적재 위치로 이 한쪽의 포크를 이동시키는 공정과,

    한쪽의 포크와 다른 쪽의 포크를 아래 방향으로 동시에 이동시켜, 한쪽의 포크에 유지된 기판을 제2 기판 수용부로 전달하는 공정과,

    한쪽 포크의 후퇴 수평 운동 및 다른 쪽 포크의 전진 수평 운동을 동시에 행하여, 한쪽의 포크를 제2 기판 수용부로부터 후퇴시키는 동시에 기판을 유지하고 있는 다른 쪽의 포크를 상기 기판이 적재되어야 하는 부위의 상측에 있는 예정 적재 위치로 이동시키는 공정과,

    한쪽의 포크와 다른 쪽의 포크를 더욱 아래 방향으로 동시에 이동시켜, 다른 쪽의 포크에 유지된 기판을 제2 기판 수용부로 전달하는 공정

    을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 반송 방법.
17. 제15항에 있어서, 상기 제2 기판 수용부는 복수의 기판을 상하 방향으로 서로 이격시켜 겹쳐 쌓는 식으로 수용하도록 되어 있고,

    각 포크에 유지된 기판을 제2 기판 수용부로 전달함에 있어서, 기판을 유지 하고 있는 모든 포크를 동시에 전진 수평 운동시켜 각각 각 기판이 적재되어야 하는 부위의 상측에 있는 예정 적재 위치로 각각 이동시키는 공정과,

    모든 포크를 아래 방향으로 동시에 이동시켜, 이들 포크에 유지된 각 기판을 제2 기판 수용부로 전달하는 공정과,

    모든 포크의 후퇴 수평 운동을 동시에 행하여, 이들 포크를 각각 제2 기판 수용부로부터 후퇴시키는 공정

    을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 반송 방법.
18. 복수의 기판을 수용하는 제1 기판 수용부로부터, 복수의 기판을 상하 방향으로 서로 이격시켜 겹쳐 쌓는 식으로 수용하는 제2 기판 수용부까지 기판을 반송하는 기판 반송 방법으로서,

    각각이 서로 독립적으로 수평 방향으로 이동 가능하게 되어 있으며, 기판을 유지하는 복수의 포크로서, 상하 방향으로 서로 미리 설정된 거리만큼 이격되는 복수의 포크를 준비하는 공정과,

    제1 기판 수용부로부터 기판을 빼낼 때에, 기판을 1장씩 제1 기판 수용부로부터 빼내는 공정과,

    각 포크에 유지된 기판을 제2 기판 수용부로 전달함에 있어서, 기판을 유지하고 있는 모든 포크를 동시에 전진 수평 운동시켜 각 기판이 적재되어야 하는 부위의 위쪽에 있는 예정 적재 위치로 각각 이동시키는 공정과,

    모든 포크를 아래 방향으로 동시에 이동시켜, 이들 포크에 유지된 각 기판을 제2 기판 수용부로 전달하는 공정과,

    모든 포크의 후퇴 수평 운동을 동시에 행하여, 이들 포크를 각각 제2 기판 수용부로부터 후퇴시키는 공정을 구비한 것을 특징으로 하는 기판 반송 방법.

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