KR20060100931A

KR20060100931A - 필터 일체화 오리피스, 슬로우 리턴 밸브, 유압 구동 유닛

Info

Publication number: KR20060100931A
Application number: KR1020060022171A
Authority: KR
Inventors: 오사무 사토; 요시타케 사카이
Original assignee: 가야바코교 가부시기가이샤
Priority date: 2005-03-14
Filing date: 2006-03-09
Publication date: 2006-09-21
Also published as: CA2538286A1; US7343740B2; US20060242957A1; CN1834472A; JP2006250311A; KR101296864B1; JP4616672B2; CN100549429C; CA2538286C

Abstract

소형화가 요구되는 유압 회로에 있어서, 제작비, 조립비의 비용 절감을 더욱 도모할 수 있는 필터 일체화 오리피스(orifice)를 제공한다.

유압 회로에서 사용되는 오리피스(13)에 그 오리피스 구멍(14)을 폐색(閉塞)할 수 있는 장애물을 제거하는 필터(12)를 일체화한 필터 일체화 오리피스(11).

유압 구동 유닛, 오리피스, 유압 액추에이터, 필터, 슬로우 리턴 밸브

Description

필터 일체화 오리피스, 슬로우 리턴 밸브, 유압 구동 유닛{Orifice with incorporated filter, slow return valve and hydraulic driving unit}

도 1은 본 발명의 필터 일체화 오리피스를 구비한 슬로우 리턴 밸브의 일례의 구체적인 구조를 나타내는 것으로, 도 1(a)은 그 제어류 시의 요부 단면도, 도 1(b)은 도 1(a)의 AA 횡단면도, 도 1(c)은 그 자유류 시의 요부 단면도.

도 2(a), 도 2(b)는 본 발명의 필터 일체화 오리피스를 구비한 슬로우 리턴 밸브의 다른 예의 구체적인 구조를 나타내는 요부 단면도.

도 3(a) ~ 도 3(f)은 본 발명의 필터 일체화 오리피스의 다른 예의 구체적인 구조를 나타내는 종단면도.

도 4는 본 발명의 필터 일체화 오리피스를 구비한 선택식 슬로우 리턴 밸브를 포함하는 유압 구동 유닛의 일례를 개념적으로 나타내는 구성도.

도 5(a)는 본 발명의 필터 일체화 오리피스를 구비한 선택식 슬로우 리턴 밸브를 포함하는 유압 구동 유닛의 다른 예를 개념적으로 나타내는 구성도, 도 5(b)는 도 5(a)의 보다 구체적인 BB선 단면도, 도 5(c)는 도 5(b)의 CC 단면도.

도 6은 유압 구동 유닛의 기본적인 구성을 나타내는 유압 회로도.

도 7은 종래의 슬로우 리턴 밸브의 구체적인 구조를 나타내는 것으로, 도 7(a)은 그 제어류 시의 요부 단면도, 도 7(b)는 도 7(a)의 DD 횡단면도, 도 7(c)는 그 자유류 시의 요부 단면도.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

1 : 유압 펌프 2 : 유압 액추에이터

3 : 탱크 4 : 오퍼레이트 체크 밸브

4a : 밸브 수용부 4b : 체크 밸브

5 : 전환 밸브 7 : 복합 밸브

7a : 밸브 수용부 7i : 비상용 수동 밸브의 밸브 몸체

7t : 릴리프 밸브의 밸브 몸체 72 : 밸브 몸체 탈락 방지 수단

8, 8' : 슬로우 리턴 밸브 8a : 부가 하우징

8f, 8g : 오리피스 8h, 8i : 부가 관로

8j : 수동 밸브 9 : 밸브 하우징

10 ~ 10B : 유압 구동 유닛 11 ~ 11H : 필터 일체화 오리피스

12 ~ 12E : 필터 13 ~ 13E : 오리피스

본 발명은 독립하여 피구동체에 유압에 의한 구동력을 부여하는 유압 구동 유닛으로 대표되는 유압 회로에 있어서 사용되고, 한 방향의 작동유의 유량을 조절하기 위한 필터 일체화 오리피스를 구비하고, 상기 유압 구동 유닛의 구동력을 발생시키는 유압 액추에이터로부터 유출되는 작동유의 유량을 조정하는 슬로우 리턴 밸브, 이 슬로우 리턴 밸브를 구비한 유압 구동 유닛에 관한 것이다.

유압 배관을 하지 않고, 전원만 있으면 손쉽게 유압에 의한 구동력을 부여하는 유압 구동 유닛은, 예를 들면, 농업용 특수 차량의 경지면에 대한 작업 기기의 승강 등에 사용되고, 앞으로 다방면에 산업상의 이용 분야가 기대·확대되는 것이다.

도 6은 그 유압 구동 유닛의 기본적인 구성을 나타내는 유압 회로도이다.

유압 구동 유닛(OU)은 독립하여, 즉 작동유를 폐쇄계로 순환시키면서, 피구동체(W)에 유압에 의한 구동력을 부여하기 때문에, 정역 회전 모터(M)에 의해 작동유를 정역 쌍방향으로 압송하는 유압 펌프(OP)와, 이 작동유에 의해 작동하고 상기 구동력을 발생시키는 유압 액추에이터(OA)(여기에서는 유압 실린더), 폐쇄 공간 내에 작동유를 저장하는 탱크(OT), 유압 펌프(OP)와 유압 액추에이터(OA)와의 사이의 작동유의 정역 쌍방향의 흐름을 제어하는 오퍼레이트 체크 밸브(OC), 유압 펌프(OP)와 탱크(OT)와의 사이의 정역 쌍방향의 작동유의 흐름을 제어하는 전환 밸브(OI)를 기본 구성 요소로서 구비하고 있다.

오퍼레이트 체크 밸브(OC)는 기본적으로 유압 펌프(OP)로부터 유압 액추에이터(OA)로의 작동유의 흐름만을 허용하는 한 쌍의 체크 밸브(OCa)와, 각각 체크 밸브(OCa)로의 작동유압을 다른 체크 밸브(OCa)로 파일럿(pilot)하는 한 쌍의 파일럿 라인(OCb)를 구비하고 있다.

이 한 쌍의 체크 밸브(OCa)는 유압 펌프(OP)의 한쪽 포트와 유압 액추에이터(OA)의 보텀측 유실(油室)(OAa)을 연결하는 관로(管路)와, 유압 펌프(OP)의 다른 쪽의 포트와 유압 액추에이터(OA)의 로드측 유실(OAb)을 연결하는 관로에 각각 마련되어 있다.

전환 밸브(OI)는 유압 펌프(OP)와 유압 액추에이터(OA)의 보텀측 유실(OAa), 로드측 유실(OAb)과의 사이의 어느 하나의 관로와 탱크(OT)와의 사이를 전환 단접(斷接)하는 것이다.

또한, 아래의 설명에서는 좌우 한 쌍으로 배치된 체크 밸브(OCa) 등의 도면상 좌측의 것을 유압 액추에이터(OA)의 보텀측 유실(OAa)에 출입하는 작동유에 관한 것으로서 보텀측, 우측의 것을 로드측 유실(OAb)에 출입하는 작동유에 관한 것으로서 로드측이라 칭하는 것이 있다. 마찬가지로, 유압 펌프(OP)의 포트도 좌측을 보텀측, 우측을 로드측이라고 칭하는 것이 있다.

이와 같은 구성으로 하는 이 유압 구동 유닛(OU)에 따르면, 유압 펌프(OP)가 정지하고 있는 상태에서는 오퍼레이트 체크 밸브(OC)에 의해 유압 액추에이터(OA)의 보텀측 유실(OAa), 로드측 유실(OAb)의 어느 측으로부터도 작동유의 유출이 저지되어, 소정의 외력에 저항하여 유압 액추에이터(OA)의 현상 정지 상태가 유지된다.

유압 펌프(OP)가 보텀측 포트로 작동유를 토출하도록 회전하면, 유압 펌프(OP)로부터 보텀측 체크 밸브(OCa)를 통과하여 보텀측 유실(OAa)로 작동유가 공급되고, 동시에 보텀측 파일럿 라인(OCb)의 작동유압에 의해 로드측 체크 밸브(OCa)가 밀려 열리고, 로드측 유실(OAb)로부터 유압 펌프(OP)로의 작동유의 유출을 허용하고, 유압 펌프(OP)와 유압 액추에이터(OA)와의 사이를 시계방향으로 순환하는 작 동유의 흐름이 발생하고, 유압 액추에이터(OA)에 연장 방향으로의 구동력이 발생한다.

이 때, 유압 액추에이터(OA)가 도시한 바와 같은 유압 실린더의 경우를 생각하면, 이 유압 실린더의 피스톤의 이동량에 대하여 보텀측 유실(OAa)로 유입하는 작동유량에 비하여 로드측 유실(OAb)로부터 유출하는 작동유량이 이 피스톤의 로드의 분만큼 적어지지만, 압력이 보다 높은 보텀측의 작동유에 밀려 전환 밸브(OI)가 로드측 유실(OAb)에의 관로와 탱크(OT)와의 사이를 접속하도록 전환하고, 부족분의 작동유가 탱크(OT)로부터 공급되도록 되어 있다.

한편, 유압 펌프(OP)가 로드측 포트로 작동유를 토출하도록 회전하면, 상기와 반대의 작동유의 순환류가 발생하고, 유압 액추에이터(OA)에 축소 방향으로의 구동력이 발생하고, 보텀측 유실(OAa)로부터 유압 펌프(OP)로 유입하는 작동유가 여분이 되지만, 그 여분의 작동유는 상기와 반대의 전환 밸브(OI)의 작용에 의해 보텀측 유실(OAa)로의 관로와 탱크(OT)가 접속되어 탱크(OT)로 복귀하도록 되어 있다.

또한, 유압 액추에이터(OA)인 유압 실린더의 피스톤의 위치에 따라, 밀폐된 탱크(OT) 내의 작동유량이 증감하고, 이 탱크(OT) 내에 봉지(封止)된 기체 압력이 변동하지만, 이 봉지 기체 체적을 적당하게 함으로써, 이 기체 압력의 변동이 유압 구동 유닛(OU)의 작동에 영향을 주지 않도록 하고 있다.

이렇게 하여 폐쇄계로서 그 작동에 의해 작동유의 출입량에 차(差)가 있는 유압 액추에이터(OA)를 이용하면서, 유압 구동 유닛(OU)의 기능이 발휘 유지되고 있는 것이다.

이 유압 구동 유닛(OU)에는 기술한 기본 구성 요소 이외에 아래의 부가적 요소가 구비되어 있다.

유압 액추에이터(OA)의 보텀측 유실(OAa), 로드측 유실(OAb)과 오퍼레이트 체크 밸브(OC)의 각각의 체크 밸브(OCa)와의 사이의 관로에는 각각의 유실(OAa, OAb)로부터 체크 밸브(OCa)로의 작동유의 흐름만을 조절하는 슬로우 리턴(slow return) 밸브(SR)가 각각 마련되어 있다

이 슬로우 리턴 밸브(SR)는 유압 펌프(OP)의 작동 중에 피구동체(W)로부터 외력이 발생한 경우에 발생하는 헌팅(hunting)을 방지하기 위한 것이다.

상기 각각의 슬로우 리턴 밸브(SR)와 체크 밸브(OCa)와의 사이의 관로로부터는 각각 릴리프(relief) 밸브(RV1)를 제공한 관로가 탱크(OT)로 분기(分岐)하고 있다. 마찬가지로, 유압 펌프(OP)와 보텀측, 로드측의 체크 밸브(OCa)와의 사이의 관로로부터는 각각 릴리프 밸브(RV2)를 제공한 관로가 탱크(OT)로 분기하고 있다.

이들 릴리프 밸브(RV1, RV2)는 분기원의 관로에 이상압이 발생한 경우에 과잉의 작동유를 탱크(OT)로 놓아주는 것이다.

또한, 로드측, 보텀측의 슬로우 리턴 밸브(SR)와 체크 밸브(OCa)와의 사이의 관로로부터는 비상용 수동 밸브(MV)를 마련한 관로가 탱크(OT)로 분기하고 있고, 유압 펌프(OP)가 전원을 얻지 못하고 정지한 경우 등에, 이 비상용 수동 밸브(MV)로 유압 액추에이터(OA)의 보텀측 유실(OAa), 로드측 유실(OAb)의 관로를 탱크(OT)로 해방하여, 유압 액추에이터(OA)를 수동 조작할 수 있도록 하고 있다.

이와 같은 구성으로, 이 유압 구동 유닛(OU)은 그 기본 기능을 양호하게 달성하면서, 이상 사태가 발생한 경우에도, 그것이 유닛(OU)의 파손으로 이어지지 않도록 하여, 안정성, 신뢰성, 사고 회피성을 확보하고, 그 중에서 슬로우 리턴 밸브(SR)도 중요한 역할을 하고 있다.

도 7은 이 종래의 슬로우 리턴 밸브의 구체적 구조를 나타내는 것으로, 도 7(a)은 그 제어류 시의 요부 단면도, 도 7(b)은 도 7(a)의 DD 횡단면도, 도 7(c)은 그 자유류 시의 요부 단면도이다.

이 도 7에 도시된 슬로우 리턴 밸브(40)는 일본국 특허 제2858168호 공보의 도 5에 부호 SV로 표기된 것을 본 출원인이 더욱 개량하여, 슬로우 리턴 밸브(40)의 요소로서, 이 필터(32)가 항상 필터(32)에 밀착하도록 힘을 가하는 스프링(31)을 추가한 것이다.

이 슬로우 리턴 밸브(40)는 오리피스 구멍(34)을 구비한 오리피스(33), 이 오리피스 구멍(34)을 폐색할 수 있는 장애물을 제거하는 상기 필터(32), 상기 스프링(31)을 구비하고 있다.

또한, 이 슬로우 리턴 밸브(40)는 도 6에 있는 유압 펌프(OP)측의 하우징(21)과 유압 액추에이터(OA)측의 하우징(22)과의 연결 부분에 끼워지도록 설치되어 있다.

구체적으로는 하우징(21)의 관로(23)로부터 직경이 확대되어, 오리피스(33)의 외경을 슬라이드 가능하게 수용하는 수용 구멍(24)에 이 오리피스(33)가 수용되어 있다. 이 수용 구멍(24)의 연결측은 보다 직경이 확대되어 개구한 연결 구멍 (25)으로 되어 있다.

연결 구멍(25)의 내주에는 오링(o-ring)(O6)이 끼워지고, 하우징(22)과의 유밀한 연결이 유지되고 있다.

유압 액추에이터(OA)측의 하우징(22)에는 유압 펌프(OP)측의 하우징(21)의 연결 구멍(25)으로 개구하는 관로(26)가 마련되어 있다.

오리피스(33)는 편방(片方) 개구의 통 형상체이고, 그 닫힌 측의 중심 부분에 오리피스 구멍(34)이 마련되어 있다. 이 오리피스 구멍(34)의 직경은 예시하면, 이 선행 기술예의 유압 구동 유닛의 경우에 0.8 밀리미터이다.

이와 같은 구성으로 이 슬로우 리턴 밸브(40)는 도 7(a)에 도시하는 바와 같이, 유압 액추에이터(OA)측으로부터 유압 펌프측(OP)으로의 제어류(f)의 경우, 관로(23)는 오리피스(33)로 폐쇄되고, 그 오리피스 구멍(34)의 제어 유량만이 흐른다.

한편, 도 7(c)에 도시하는 바와 같이, 유압 펌프측(OP)으로부터 유압 액추에이터(OA)측으로의 자유류(F)의 경우, 오리피스(33)는 관로(23)를 열고, 작동유는 그 외경의 평면과, 수용 구멍(24)에 내경과의 사이(도 7(b) 참고)를 통하여, 오리피스(33)에 제한되지 않고 자유롭게 흐른다.

이와 같이, 이 슬로우 리턴 밸브(40)는 도 6에서 설명한 슬로우 리턴 밸브(SR)의 기능을 하고 있다.

또한, 이 슬로우 리턴 밸브(40)에 있어서는 오리피스 구멍(34)이 작으므로, 그 폐색을 방지하기 위한 필터(32), 그 필터 효과를 적어도 제어류(f)가 있는 동안 은 발휘시켜야 하고, 이 필터(32)를 오리피스 구멍(34)에 밀착시키기 위한 스프링(31)은 필수 구성 요소였다.

그러나, 오리피스 구멍(34)이 상술한 바와 같이 작은 경우, 대응하여, 오리피스(33)의 외경이 4 밀리미터 정도, 필터(32), 스프링(31)의 외경이 3 밀리미터 정도로 작아지게 되고, 개개의 부품의 제조 비용이 상승하고, 또한 조립에도 어려움을 동반한다는 문제가 있었다.

또한, 이와 같은 필터를 필요로 하는 오리피스의 해결 과제는 여기에 예시된 유압 구동 유닛뿐만 아니라, 마찬가지의 소형 혹은 초소형의 유압 회로에 있어서도 마찬가지로 인식될 수 있는 것이었다.

또한, 일본국 특허 제 2858168호 공보(도 5)에 있어서는 상기 문제 자체가 인식되지 않고, 따라서 그 해결 방법에 대해서도 일절 시사 내지 교시되지 않았다.

본 발명은 상기 문제를 개선하고자 한 것으로, 소형화가 요구되는 유압 회로에 있어서, 보다 더 제작비, 조립비의 절감을 도모할 수 있는 필터 일체화 오리피스, 이 오리피스를 구비한 슬로우 리턴 밸브, 이 슬로우 리턴 밸브를 구비한 유압 구동 유닛을 제공하는 것을 목표로 하고 있다.

본 발명의 필터 일체화 오리피스는 유압 회로에서 사용되는 오리피스에, 그 오리피스 구멍을 폐색할 수 있는 장애물을 제거하는 필터를 일체화한 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명의 슬로우 리턴 밸브는 이러한 특징을 가지는 필터 일체화 오리피스를 구비한 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명의 유압 구동 유닛은 이러한 특징을 가지는 슬로우 리턴 밸브를 구비한 것을 특징으로 한다.

본 발명의 필터 일체화 오리피스에 따르면, 유압 회로에서 사용되는 오리피스에 그 오리피스 구멍을 폐색할 수 있는 장애물을 제거하는 필터를 일체화하였으므로, 필터를 오리피스에 밀착시키기 위한 스프링이 불필요하고, 부품점수가 저감된다. 필터와 오리피스가 일체화되므로, 조립 공정수가 저감된다. 또한, 필터가 오리피스 전면(全面)에 걸쳐 제조 가능하고, 필터 면적이 넓어지고, 필터 효율이 좋아지고, 필터 수명이 길어지게 된다.

또한, 본 발명의 슬로우 리턴 밸브는 이러한 효과를 가지는 필터 일체화 오리피스를 구비하였으므로, 그 효과를 슬로우 리턴 밸브로서 발휘한다.

또한, 본 발명의 유압 구동 유닛은 이러한 효과를 가지는 슬로우 리턴 밸브를 구비하였으므로, 그 효과를 유압 구동 유닛으로서 발휘한다.

아래에, 본 발명의 실시형태(실시예)에 대하여 도면을 이용하여 설명한다.

[실시예 1]

도 1은 본 발명의 필터 일체화 오리피스를 구비한 슬로우 리턴 밸브의 일례의 구체적인 구조를 도시한 것으로, 도 1(a)은 그 제어류 시의 요부 단면도, 도 1(b)은 도 1(a)의 AA 횡단면도, 도 1(c)은 그 자유류 시의 요부 단면도이다.

이 슬로우 리턴 밸브(20)는 필터 일체화 오리피스(11)를 구비하고, 도 6에 있는 유압 펌프(OP)측에 상당하는 하우징(P1)과 유압 액추에이터(OA)측에 상당하는 하우징(P2)과의 연결 부분에 끼워지도록 설치되고, 하우징(P1)으로부터 하우징(P2)으로의 작동유의 흐름을 자유류(F), 역방향을 제어류(f)로서 이용할 수 있는 것이다.

구체적으로는 하우징(P1)의 관로(Q1)로부터 직경이 확대되고, 오리피스(11)의 외경을 슬라이드 가능하게 수용하는 수용 구멍(Q2)에, 이 오리피스(11)가 수용되어 있다. 이 수용 구멍(Q2)의 연결측은 보다 직경이 확대되어 개구한 연결 구멍(Q3)으로 되어 있다.

연결 구멍(Q3)의 내주에는 오링(O-ring)(O1)이 끼워지고, 하우징(P2)과의 유밀한 연결이 유지되고 있다.

유압 액추에이터(OA)측에 상당하는 하우징(P2)에는 이 유압 펌프(OP)측에 상당하는 하우징(P1)의 연결 구멍(Q3)으로 개구하는 관로(Q4)가 마련되어 있다.

또한, 여기에서는 본 발명의 필터 일체화 오리피스(11), 슬로우 리턴 밸브(20)가 사용되는 유압 회로로서 보다 일반적인 것을 상정하고 있고, 따라서, 이들 오리피스(11), 슬로우 리턴 밸브(20)가 설치되는 부분의 부호도 보다 일반화한 것으로서 영자 부호를 사용하고 있다.

필터 일체화 오리피스(11)는 이 유압 회로에서 사용되는 오리피스(13)에 그 오리피스 구멍(14)을 폐색할 수 있는 장애물을 제거하는 필터(12)를 일체화한 것이다.

보다 구체적으로는 이 예시의 필터 일체화 오리피스(11)에 있어서는 필터 (12)를 다공질체로 구성하고, 그 성형 후, 필터(12)와 오리피스(13)를 일체화한 것이다.

이 경우, 필터(12)를 구성하는 다공질체로서는 후술하는 다공질 소결체, 종래와 같은 금속제, 특히 스테인레스제의 망을 적층한 것 등을 채용할 수 있다. 오리피스(13)로서는 금속에서 절삭 가공 등에 의해 제조된 것을 채용할 수 있다.

양자의 일체화는 납땜이나 연납땜의 연결 수단으로 수행한다. 따라서, 오리피스 구멍(14)의 필터(12)측에는 납땜 등의 잉여분이 잔존하여도 이 오리피스 구멍(14)의 유효 직경을 확보하기 위해, 테이퍼부(14a)가 마련되어 있다.

또한, 필터(12)와 오리피스(13)의 외경은 동일하고, 그 외경과 하우징(P1)의 수용 구멍(Q2)의 내경과의 간극은 상술한 바와 같이, 오리피스(11)가 이 수용 구멍(Q2) 내부에서 도면의 상하 방향으로 슬라이드 가능한 정도로 되어 있다.

필터(12)와 오리피스(13)의 외주는 부분적으로 평탄부(11a)로 되어 있다.

이와 같은 구성으로, 이 슬로우 리턴 밸브(20)는 도 1(a)에 도시한 바와 같이, 유압 액추에이터(OA)측에 상당하는 하우징(P2)으로부터 유압 펌프(OP)측에 상당하는 하우징(P1)으로의 제어류(f)의 경우, 관로(Q1)는 오리피스(11)로 폐쇄되고, 그 오리피스 구멍(14)의 제어 유량만이 흐른다.

한편, 도 1(c)에 도시하는 바와 같이, 유압 펌프(OP)측에 상당하는 하우징(P1)으로부터 유압 액추에이터(OA)측에 상당하는 하우징(P2)으로의 자유류(F)의 경우, 오리피스(11)는 관로(Q1)를 열고, 작동유는 오리피스(11)의 평탄부(11a)와, 수용 구멍(Q2)의 내경과의 간극(도 1(b) 참조)을 통하여, 오리피스(11)에 제한되지 않고 자유롭게 흐른다.

이와 같이, 이 슬로우 리턴 밸브(20)는 도 6에서 설명한 슬로우 리턴 밸브(SR)의 기능을 하고 있다.

이 슬로우 리턴 밸브(20)에 따르면, 그 기본 기능을 발휘하면서, 필터 일체화 오리피스(11)를 사용함으로써, 소형의 오리피스, 필터 등을 순차 조립하는 일없이, 일체화된 오리피스(11)를 수용 구멍(Q2)에 수용하는 것만으로 좋고, 조립 공정수가 삭감된다.

또한, 필터(12), 오리피스(13)를 동일 형상으로 할 수 있고, 오리피스(13)에는 필터를 수용하도록 하는 구멍 가공이 불필요하게 되고, 가공 공정수가 삭감된다. 또한, 종래 필터와 오리피스를 밀착시키기 위해 필요했던 스프링이 불필요하게 되고, 부품점수도 삭감된다.

즉, 이 필터 일체화 오리피스(11), 슬로우 리턴 밸브(20)에 따르면, 소형화가 요구되는 유압 회로에 있어서, 보다 제작비 및 조립비의 절감을 도모할 수 있다.

더하여, 필터(12) 부분을 보다 크게 할 수 있으므로, 보다 넓은 면적(혹은 용적)에서 필터 기능을 발휘시킬 수 있고, 필터 성능이 향상되며, 필터의 수명이 길어진다.

[실시예 2]

도 2(a), 도 2(b)는 본 발명의 필터 일체화 오리피스를 구비한 슬로우 리턴 밸브의 다른 예의 구체적 구조를 나타내는 요부 단면도이다. 여기에서 이미 설명 한 부분과 같은 부분에 대해서는 같은 부호를 붙이고 중복 설명은 생략하기로 한다. 또한, 각 부분의 집합체에 대하여 별개의 부호가 있는 경우에 대해서는 번잡함을 피하기 위해, 집합체의 부호만을 나타내는 일이 있다.

도 2(a)의 슬로우 리턴 밸브(20A)에서는 도 1의 슬로우 리턴 밸브(20)에 비하여, 그 필터 일체화 오리피스(11A)의 필터(12)에 스프링 받이 오목부분(12a)이 마련되고, 이 스프링 받이 오목부분(12a)과, 하우징(P2)과의 사이에 항상 오리피스(11A)가 하우징(P1)의 관로(Q1)를 폐쇄하도록 힘을 가하는 스프링(15)이 구비되어 있는 점이 다르다.

이 스프링(15)은 필터 일체화 오리피스(11A)의 필터(12A)와 오리피스(11A)를 밀착시키는 것이 아니라, 자유류(F)에 저항하지 않는 정도의 탄성력으로 오리피스(11A)를 관로(Q1) 방향으로 밀어내는 것이다.

이 스프링(15)은 자유류로부터 제어류로 전환될 때에, 보다 빨리 오리피스(11A)에 의해 관로(Q1)를 폐쇄시키고, 이것에 의해 제어류에 의해 급격하게 오리피스(11A)가 관로(Q1)를 폐쇄함으로써 발생음을 회피한다는 효과를 발휘한다.

이와 같은 구성으로 하더라도, 이 필터 일체화 오리피스(11A), 슬로우 리턴 밸브(20A)는 상술한 스프링(15)의 효과에 더하여, 도 1의 필터 일체화 오리피스(11), 슬로우 리턴 밸브(20)와 같은 효과를 발휘한다.

도 2(b)의 슬로우 리턴 밸브(20B)에서는 도 1의 슬로우 리턴 밸브(20)에 비하여, 그 필터 일체화 오리피스(11B)의 오리피스(13A)가 이 오리피스에 요구되는 구조적, 기능적 강도를 필터(12B)가 담당하게 하고 있는 점이 다르다.

그 결과, 도시하는 바와 같이, 오리피스(13A)는 오리피스(12B)와 일체화하여, 관로(Q1)를 폐쇄하는 측의 평면이 유지되고, 또한 오리피스 구멍(14A)을 확보하는 정도의 최저한의 두께로 할 수 있다.

이와 같이 오리피스(13A)의 두께를 얇게 할 수 있다고 하는 것은 또한 오리피스 구멍(14A)의 길이도 짧게 할 수 있다는 것이고, 이에 따라, 스로틀(throttle)부의 길이를 그 단면 치수에 비하여 짧게 할 수 있고, 작동유의 점성의 영향을 거의 받지 않게 할 수 있어, 오리피스 설계가 좀 더 쉬워진다.

또한, 여기에서 사용한 필터(12B)에 마련된 도피용 오목부분(12b)은 도 2(a)의 오리피스(14)의 테이퍼부(14a)와 마찬가지로, 필터(12B)와 오리피스(13A)의 납땜 등을 할 때의 잉여의 납땜 재료의 악영향을 피하기 위한 것이다.

[실시예 3]

도 3(a) ~ 도 3(f)은 본 발명의 필터 일체화 오리피스의 다른 예의 구체적 구조를 나타내는 종단면도이다.

도 3(a)의 필터 일체화 오리피스(11C)는 도 1의 필터 일체화 오리피스(11)와 비교하여, 오리피스(13B)가 작동유를 투과시키지 않는 소결체로 소결 성형된 점이 다르고, 필터(12), 오리피스(13B)를 각각 성형 후에, 쌍방을 일체화하는 점은 공통하고 있다.

이와 같은 구성의 필터 일체화 오리피스(11C)에 따르면, 오리피스(13B)가 절삭 가공 등에 동반하지 않고 성형할 수 있으므로, 생산하는 개수에 따라서는 보다 가공 공정수를 절감할 수 있다.

도 3(b)의 필터 일체화 오리피스(11D)는 도 1의 필터 일체화 오리피스(11)에 비하여, 필터(12C)가 소정 기공도의 다공질 소결체로 구성되고, 오리피스(13C)도 작동유를 투과시키지 않는 소결체로 구성되고, 필터(12C), 오리피스(13C)가 일체 소결 성형된 것인 점이 다르다.

이 때, 보다 상세하게는 필터(12C), 오리피스(13C)를 각각 소결 성형 후, 양자를 소결 형성의 한 방법인 확산 접합함으로써 오리피스(11D)가 일체 소결 성형된다.

이와 같은 구성의 필터 일체화 오리피스(11D)에 따르면, 오리피스(11D) 제조의 모든 공정에 있어서, 절삭 가공 등을 동반하지 않고 형성할 수 있으므로, 더욱 가공 공정수를 줄일 수 있다.

도 3(c)의 필터 일체화 오리피스(11E)는 도 3(b)의 필터 일체화 오리피스(11D)와 비교하여, 그 제조 공정은 동일하지만, 오리피스(13C)에 마련된 오리피스 구멍(14B)이 필터(12D)의 내부측까지 연장하고 있는 점이 다르다.

이와 같은 구성의 필터 일체화 오리피스(11E)에 따르면, 상술한 필터 일체화 오리피스(11D)의 효과에 더하여, 보다 넓은 면적에서 오리피스 구멍(14B)과 필터(12D)가 접하게 되어, 필터 효율이 상승하고, 또한, 오리피스 구멍(14B)이 폐색될 가능성이 보다 낮아지게 된다는 효과가 발휘된다.

도 3(d)의 필터 일체화 오리피스(11F)는 도 3(a)의 필터 일체화 오리피스(11C)에 비하여, 오리피스(13B)가 작동유를 투과시키지 않는 소결체로 소결 성형되고, 필터(12E), 오리피스(13B)를 각각 성형한 후에, 도 1의 필터 일체화 오리피스 (11)와 같은 방법으로 일체화한 점은 공통하지만, 필터(12E)가 오리피스(13B)의 전후에 마련되어, 샌드위치 상태로 되어 있는 점이 다르다.

이와 같은 구성의 필터 일체화 오리피스(11F)에 따르면, 오리피스(11F)의 어느 방향의 흐름에 대해서도 필터 기능이 발휘된다.

도 3(e)의 필터 일체화 오리피스(11G)는 도 3(d)의 필터 일체화 오리피스(11F)에 비하여, 필터(12F)가 오리피스(13A)의 전후에 마련되고, 샌드위치 상태로 되어 있는 점과 그 일체화 공정은 공통하지만, 중앙의 오리피스(13A)는 도 2(b)의 오리피스(13A)와 공통하고, 또한 필터(12F)에는 이 도 2(b)의 필터(12B)와 마찬가지의 도피용 오목부분(12b)이 마련되어 있는 점이 다르다.

이와 같은 구성의 필터 일체화 오리피스(11G)에 따르면, 상기 필터 일체화 오리피스(11F)의 효과에 더하여, 도 2(b)의 필터 일체화 오리피스(11B)의 효과가 겸하여 발휘된다.

도 3(f)의 필터 일체화 오리피스(11H)는 도 3(e)의 필터 일체화 오리피스(11G)에 비하여, 필터(12E)가 오리피스(13E)의 전후에 마련되고, 샌드위치 상태로 되어 있는 점과, 오리피스(13E)가 그 구조적, 기능적 강도를 필터(12E)가 담당하고 있는 점은 공통한다.

한편, 중앙의 오리피스(13E)가 도 3(b)의 오리피스(13C)와 공통하여, 작동유를 투과시키지 않는 소결체로 소결 성형되고, 이 오리피스(13E)와 양측의 필터(12E)가 일체 소결 성형되는 점은, 도 3(e)의 필터 일체화 오리피스(11G)와 다르다.

이와 같은 구성의 필터 일체화 오리피스(11H)에 따르면, 상기 필터 일체화 오리피스(11H)의 효과에 더하여, 도 3(b)의 필터 일체화 오리피스(11D)의 효과가 겸하여 발휘된다.

[실시예 4]

도 4는 본 발명의 필터 일체화 오리피스를 구비한 선택식 슬로우 리턴 밸브를 포함하는 유압 구동 유닛의 일례를 개념적으로 나타낸 구성도이다.

이 유압 구동 유닛(10)은 독립하여 손쉽게 유압에 의한 구동력이 필요하게 되는, 예를 들면, 농업용 특수 차량의 농지면에 대한 작업 기기의 승강 등에 사용되고, 또한, 이 유압 구동 유닛(10)에 포함되는 슬로우 리턴 밸브(8)는 이와 같은 유압 구동 유닛(10)에 있어서, 상기 구동력을 발생시키는 유압 액추에이터(2)로부터 유출하는 작동유의 유량을 조절하는데에 사용된다.

그 유닛(10)의 구성은 전동 모터(M)를 구비하여 작동유를 정역 쌍방향으로 압송하는 유압 펌프(1)와, 이 작동유에 의해 작동하고 피구동체(W)로의 구동력을 발생시키는 유압 액추에이터로서의 유압 실린더(2), 폐쇄 공간 내에 작동유를 저장하는 탱크(3), 유압 펌프(1)와 유압 실린더(2)와의 사이의 작동유의 정역 쌍방향의 흐름을 제어하는 오퍼레이트 체크 밸브(4), 유압 펌프(1)와 탱크(3)와의 사이의 정역 쌍방향의 작동유의 흐름을 제어하는 전환 밸브(5), 상술한 슬로우 리턴 밸브(8)로 이루어지는 것을 기본으로 하고, 슬로우 리턴 밸브(8)의 조절량이 선택적으로 설정 가능하게 되어 있는 것을 특징으로 한다.

이들 유압 펌프(1), 유압 실린더(2), 탱크(3), 오퍼레이트 체크 밸브(4), 전 환 밸브(5)의 기본적인 기능, 상호 관계는 종래예의 유압 구동 유닛(OU)을 구성하는 유압 펌프(OP), 유압 액추에이터(OA), 탱크(OT), 오퍼레이트 체크 밸브(OC), 전환 밸브(OI)와 같은 것이므로, 중복 설명은 생략한다. 유압 실린더(2)의 부호 2a는 보텀측 유실, 부호 2b는 로드측 유실이다.

또한, 여기에서는 도 6의 유압 회로도에서 도시한 릴리프 밸브(RV1, RV2)는 도시하지 않았지만 이들은 필요에 따라 구비되어 있는 것으로 한다.

슬로우 리턴 밸브(8)는 그 관련 부품 전체를 수용하는 부가 하우징(8a) 내에, 도면 내에 같은 부호로 나타내고 있는 바와 같이, 같은 것이 유압 실린더(2)의 보텀측 유실(2a)로부터 유출하는 작동유의 조절용과 로드측 유실(2b)로부터 유출하는 작동유의 조절용이 한 쌍으로 내장되어 있다.

부가 하우징(8a)에는 유압 실린더(2)와 오퍼레이트 체크 밸브(4)와의 사이의 보텀측, 로드측의 관로를 연결하도록 관통한 주밸브 관로(8e)와, 이 주밸브 관로(e)의 중도에서 갈라져 나오고, 각각 유압 실린더(2)측으로 개구하여, 연결된 부가 밸브 관로(8h, 8i)가 각각 한쌍으로 마련되어 있다.

주밸브 관로(8e)의 구성은 종래의 슬로우 리턴 밸브와 동일하고, 유압 실린더(2)로부터 유출하는 작동유의 유량을 조절하는 오리피스(11), 주밸브 관로(8e)의 유압 실린더(2)측에 마련되고, 오리피스(11)를 탈락하지 않도록 수용하고 있는 오목부분(8d)을 구비하고 있다.

여기에서 그 부호(11)로부터 알 수 있는 바와 같이, 이 슬로우 리턴 밸브(8)에서는 그 오리피스로서는 본 발명의 필터 일체화 오리피스(11)를 이용하고 있다. 따라서, 이 오리피스(11)의 효과를 그 단체(單體)로서, 또한 슬로우 리턴 밸브(8)로서 발휘한다.

또한, 이 슬로우 리턴 밸브에 필터가 없었던 것이라면, 그 필터(12)의 효과, 즉, 오리피스 구멍(14)을 막는 것을 방지한다는 효과를 발휘한다.

또한, 필터 일체화 오리피스(11) 대신에, 상술한 다양한 필터 일체화 오리피스(11A ~ 11E)로 하는 것도 가능하고, 그 경우에는 그들의 필터 일체화 오리피스의 효과를 겸하여 발휘한다.

부가 밸브 관로(8h, 8i)의 개구에는 소정 조절량의 오리피스(8f, 8g)가 고정되어 있다.

더하여, 주밸브 관로(8e)에 대하여, 부가 밸브 관로(8h, 8i)로의 분기를 독립하여 개폐하는 수동 밸브(8j)가 각각 마련되어 있다.

이와 같은 구성으로 이 슬로우 리턴 밸브(8)는 먼저, 주밸브 관로(8e)에 대해서는 유압 실린더(2)로 작동유가 유입하는 경우, 오리피스(11)가 작동유의 압력에 의해 주밸브 관로(8e)를 열고, 작동유는 자유롭게 유입한다.

한편, 유압 실린더(2)로부터 작동유가 유출하는 경우에는 오리피스(11)를 주밸브 관로(8e)를 닫아서, 그 고정된 조절량만큼을 유출한다.

이렇게 하여, 이 주밸브 관로(8e)만을 보면, 조절량 고정의 슬로우 리턴 밸브로서 기능하고 있다. 이 경우, 종래라면, 이 조절량을 바꾸기 위해서는 오리피스(11)를 다른 조절량의 것으로 교환하지 않으면 안 되었다.

그러나, 이 슬로우 리턴 밸브(8)에서는 수동 밸브(8j)를 조작하여 부가 밸브 관로(8h)를 열면 오리피스(8f)의 조절량을 부가할 수 있고, 부가 밸브 관로(8i)를 열면 오리피스(8g)의 조절량을 부가할 수 있고, 쌍방을 열면 오리피스(8f), 오리피스(8g)의 조절량을 부가할 수 있고, 전체로서 오리피스(11), 오리피스(11)+오리피스(8f), 오리피스(11)+오리피스(8g), 오리피스(11)+오리피스(8f)+오리피스(8g)의 4종류의 조절량에서 선택 설정할 수 있다.

따라서, 이 슬로우 리턴 밸브(8)에 따르면, 그 조절량이 선택적으로 설정 가능하게 되고, 다양한 용도에서 요구되는 슬로우 리턴의 조절량에 대응할 수 있고, 유압 구동 유닛의 다용도 적합성을 높인다. 또한, 일반 사용자에게 있어서도, 조절량을 자유 가변으로 설정하는 것이 아니라, 소정의 유량으로부터 선택한다는 간단한 조작이 가능하게 되고, 사용하기 편리하게 된다.

또한, 상기 소정의 오리피스를 마련한 부가 밸브 관로의 수는 1 이상이면 좋고, 상기 2개에 한정되는 것은 아니다. 또한, 오리피스의 조절량은 필요한 선택 조절량에 대응시켜 적절히 결정할 수 있는 것으로, 다른 오리피스의 조절량이 다르더라도 동일하여도 좋다.

또한, 여기에서는 슬로우 리턴 기능이 유압 액추에이터(2)의 보텀측, 로드측의 각각에 발휘되는 구성의 슬로우 리턴 밸브(8)를 예시하였지만, 필요에 따라 어느 한쪽만이 기능하는 구성으로 하는 것도 가능하다.

또한, 부가 밸브 관로의 오리피스(8f, 8g)도 주밸브 관로의 오리피스(11 ~ 11E)와 같은 필터 일체화 오리피스로 하는 것도 가능하고, 그 경우에는 그들 필터 일체화 오리피스의 효과를 단체로 하고, 또한 슬로우 리턴 밸브로서 발휘한다.

또한, 이와 같은 필터 일체화 오리피스(11 ~ 11E)는 여기에 설명한 바와 같은 선택식이 아닌 통상의 조절량 고정의 슬로우 리턴 밸브에도 적용 가능하고, 그 경우에도 그들 필터 일체화 오리피스의 효과를 단체로 하고, 또한 슬로우 리턴 밸브로서 발휘한다.

[실시예 5]

도 5(a)는 본 발명의 필터 일체화 오리피스를 구비한 선택식 슬로우 리턴 밸브를 포함하는 유압 구동 유닛의 다른 예를 개념적으로 나타내는 구성도, 도 5(b)는 도 5(a)의 보다 구체적인 BB선 단면도, 도 5(c)는 도 5(b)의 CC 단면도이다.

이 유압 구동 유닛(10A)은 도 5에 도시하는 바와 같이, 도 4의 유압 구동 유닛(10)에 비하여, 슬로우 리턴 밸브(8')의 관련 부품을 내장한 부가 하우징(8a')이펌프(1)와 오퍼레이트 체크 밸브(4), 전환 밸브(5)를 수용하는 밸브 하우징(9)에 대하여 적층 부착시킬 수 있는 구조로 되어 있는 점이 다르고 특징점이다.

이 부가 하우징(8a')에는 밸브 하우징(9)을 적층 부착시키지 않은 측에 유압 실린더(2)의 부착 플레이트(21)가 적층 부착되어 있다. 즉, 하우징(8a')은 밸브 하우징(9)과 유압 액추에이터인 유압 실린더(2)와의 사이에 적층 부착되어 있다.

이와 같이 적층 부착시키면, 각각 부착한 상호 간에서, 별도로 유압 배관하는 일 없이, 쌍방에 마련된 유압 배관이 유밀하게 연결되므로, 별도 배관 등의 공정수와 비용을 삭감할 수 있다.

이 적층 부착의 상세한 사항은 이 슬로우 리턴 밸브(8')의 하우징(8a')의 내부 구조에 대하여, 도 5(b), 도 5(c)를 이용하여 보다 상세하게 설명한다.

슬로우 리턴 밸브(8')에 있어서는 먼저 도 4에서 설명한 보텀측, 로드측의 쌍방의 관로 내의 한쪽만, 구체적으로는 이 예에서는 로드측에만 슬로우 리턴 밸브가 마련되어 있고, 따라서 도시하는 바와 같이 도 5(b), 도 5(c)의 하방인 보텀측에서는 오리피스가 없는 주밸브 관로(8e')만이 마련되어 있다.

한편, 도 5(b), 도 5(c)의 상방인 로드측에서는 오리피스(11)를 구비한 주밸브 관로(8e), 그 주밸브 관로(8e)로부터 갈리어 나뉘고, 오리피스(8g)를 마련한 부가 밸브 관로(8i)가 보이고 있다. 단, 다른 하나의 오리피스(8f)를 마련한 부가 밸브 관로(8h')는 주밸브 관로(8e)로부터가 아니라, 부가 밸브 관로(8i)로부터 분기하고 있다.

수동 밸브(8j)는 주밸브 관로(8e)에 하나 마련되는 부가 밸브 관로(8i)를 개폐하고, 다른 하나의 수동 밸브(8j')는 부가 밸브 관로(8h')에 마련되고, 부가 밸브 관로(8i)에 대하여, 이 부가 밸브 관로(8h')를 개폐한다.

이와 같은 구성이라고 하더라도, 슬로우 리턴 밸브(8')는 수동 밸브(8j, 8j')의 개폐에 따라, 오리피스(11), 오리피스(11)+오리피스(8g), 오리피스(11)+오리피스(8g)+오리피스(8f)의 3종류의 조절량으로부터 선택적으로 설정할 수 있고, 선택지는 적지만 슬로우 리턴 밸브(8)와 같은 효과를 발휘할 수 있다.

또한, 도 4의 슬로우 리턴 밸브(8)와 마찬가지로, 필터 일체화 오리피스(11)의 효과를 단체로 하고, 또한 슬로우 리턴 밸브로서 발휘한다.

또한, 슬로우 리턴 밸브(8')에 있어서는 필터 일체화 오리피스(11A ~ 11E)를 이용하는 것도 가능하고, 그 경우에는 그들의 효과를 단체로서, 또한 슬로우 리턴 밸브로서 발휘한다.

또한, 이 슬로우 리턴 밸브(8')에서는 수동 밸브(8j)를 부가 하우징(8a')의 두께 방향(도 5(b)의 좌우 방향)으로 중첩하는 위치에 마련할 수 있고, 부가 하우징(8a')의 두께를 얇게 할 수 있다.

또한, 도 5(b), 도 5(c)에 있어서는 유압 실린더(2)의 부착 플레이트(21) 내의 관로를 부호 21a, 밸브 하우징(9) 내의 관로를 부호 9a로 하고 있다. 부호 82는 슬로우 리턴 밸브(8')측의 주밸브 관로(8e), 부가 밸브 관로(8h'), 부가 밸브 관로(8i)를 합류시켜, 유압 실린더(2)측의 관로(21a)(로드측)와 관통시키기 위한 오목부분, 부호 83은 슬로우 리턴 밸브(8')측의 주밸브 관로(8e')와 유압 실린더(2)측의 관로(21a)(보텀측)와도 유통시키기 위한 오목부분이다.

상기 오목부분(82, 83)에는 슬로우 리턴 밸브(8')의 부가 하우징(8a')과 유압 실린더(2)의 부착 플레이트(21)를 적층 부착하였을 때의 유밀을 확보하기 위한 오링(O3, O2)이 끼워져 있다. 밸브 하우징(9)의 오목부분(91), 오링(O2)도 마찬가지의 작용을 하는 것이다.

또한, 상술한 필터 일체화 오리피스(11 ~ 11E)의 효과, 이것을 구비한 슬로우 리턴 밸브의 효과는 이들을 구비한 유압 구동 유닛(10, 10A)에 있어서는 유닛으로서 발휘되는 것이다.

또한, 상기 실시예 1부터 실시예 5에서는 필터 일체화 오리피스와, 그 다양한 변형례, 이들 필터 일체화 오리피스를 구비한 슬로우 리턴 밸브, 이들 슬로우 리턴 밸브를 구비한 유압 구동 유닛에 대해서 설명하였지만, 이들의 조합은 여기에 예시한 것에 한정되는 것은 아니며, 이 이외의 조합도 가능하고, 그 경우에는 조합의 상승적 효과를 발휘한다.

또한, 유압 액추에이터로서는 여기에서 설명한 유압 실린더 이외에 유압에 의한 구동력을 토크로서 출력하는 유압 로터리 액추에이터도 포함된다.

또한, 본 발명의 필터 일체화 오리피스는 한쪽 방향으로의 유량만을 조절할 필요가 있고, 오리피스 구멍 직경이 작고, 그 구멍이 막히는 것이 문제가 되고, 조립 공정수, 부품점수의 저감이 요구되는 모든 산업 분야에 사용할 수 있다.

또한, 본 발명의 필터 일체화 오리피스를 구비한 슬로우 리턴 밸브는 일반 사용자에 의해 다용도로 사용되는 유압 구동 유닛에 있어서 적절하게 이용된다.

또한, 본 발명의 유압 구동 유닛은 관련 슬로우 리턴 밸브를 구비하고, 독립하여 피구동체에 유압에 의한 구동력을 부여하고, 콤팩트성, 오리피스의 구멍을 막는 것을 방지하는데 바람직하고, 일반 사용자에게도 편리하게 사용되는 것이 요구되는 모든 산업 분야에 사용할 수 있다.

또한, 본 발명의 슬로우 리턴 밸브는 관련 효과를 가지는 필터 일체화 오리피스를 구비하였으므로, 그 효과를 슬로우 리턴 밸브로서 발휘한다.

또한, 본 발명의 유압 구동 유닛은 관련 효과를 가지는 슬로우 리턴 밸브를 구비하였으므로, 그 효과를 유압 구동 유닛으로서 발휘한다.

Claims

유압 회로에서 사용되는 오리피스에 그 오리피스 구멍을 폐색할 수 있는 장애물을 제거하는 필터를 일체화한 것을 특징으로 하는 필터 일체화 오리피스.
제 1 항에 있어서, 상기 오리피스의 구조적 및 기능적 강도를 상기 필터가 담당하도록 하는 것을 특징으로 하는 필터 일체화 오리피스.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 필터를 다공질체로 구성하고, 그 성형 후, 이 필터와 상기 오리피스를 일체화한 것을 특징으로 하는 필터 일체화 오리피스.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 필터를 소정 기공도의 다공질 소결체로 구성하고, 이 필터와 이 오리피스를 일체 소결 성형하는 것을 특징으로 하는 필터 일체화 오리피스.
제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 필터를 상기 오리피스의 전후에 마련한 것을 특징으로 하는 필터 일체화 오리피스.
제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항 기재된 필터 일체화 오리피스를 구비한 것을 특징으로 하는 슬로우 리턴 밸브.
제 6 항에 기재된 슬로우 리턴 밸브를 구비한 것을 특징으로 하는 유압 구동 유닛.