KR20060034730A - 온도 제어 장치 및 온도 제어 방법 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (24)
- 피시험 전자 부품에 테스트 패턴을 송출하고, 그 응답 패턴을 검출함으로써 상기 피시험 전자 부품의 테스트를 실행하는 전자 부품 시험 장치에 사용되고,상기 피시험 전자 부품에 접촉되도록 설계된 온도 조절기와,상기 테스트 패턴에 의한 상기 피시험 전자 부품의 소비 전력과 상기 온도 조절기의 소비 전력과의 총전력이 일정치가 되도록, 상기 온도 조절기의 소비 전력을 제어하는 전력 제어 수단을 갖는 것을 특징으로 하는 온도 제어 장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 전력 제어 수단은,상기 피시험 전자 부품으로 송출되는 테스트 패턴으로부터 상기 피시험 전자 부품에서의 소비 전력 패턴을 예측하는 소비 전력 패턴 예측부와,상기 피시험 전자 부품에서의 소비 전력 패턴을 상쇄하는 소비 전력 상쇄 패턴을 생성하는 소비 전력 상쇄 패턴 생성부와,상기 소비 전력 상쇄 패턴을 상기 온도 조절기로 송출하는 소비 전력 상쇄 패턴 송출부를 갖는 것을 특징으로 하는 온도 제어 장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 전력 제어 수단은,일정 전류를 공급하는 정전류 공급 수단으로부터 병렬의 일측으로 분기되어 상기 피시험 전자 부품으로 전류를 공급하는 제1의 전력 공급 수단과,상기 정전류 공급 수단으로부터 병렬의 타측으로 분기되어 상기 온도 조절기로 전류를 공급하는 제2의 전력 공급 수단을 갖는 것을 특징으로 하는 온도 제어 장치.
- 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 온도 조절기의 전력 소비에 의한 온도 변화 특성이, 상기 피시험 전자 부품의 전력 소비에 의한 온도 변화 특성과 같거나 또는 근사한 것을 특징으로 하는 온도 제어 장치.
- 제 4 항에 있어서,상기 온도 조절기의 열용량이, 상기 피시험 전자 부품의 열용량과 같거나 또는 근사한 것을 특징으로 하는 온도 제어 장치.
- 피시험 전자 부품으로 테스트 패턴을 송출하고, 그 응답 패턴을 검출함으로써 상기 피시험 전자 부품의 테스트를 실행할 때에,상기 피시험 전자 부품에 온도 조절기를 접촉시키는 스텝과,상기 피시험 전자 부품의 소비 전력과 상기 온도 조절기의 소비 전력과의 총전력이 일정치가 되도록 상기 온도 조절기의 소비 전력을 제어하는 스텝을 갖는 것 을 특징으로 하는 온도 제어 방법.
- 제 6 항에 있어서,상기 소비 전력을 제어하는 스텝은,상기 피시험 전자 부품으로 송출되는 테스트 패턴으로부터 상기 피시험 전자 부품에서의 소비 전력 패턴을 예측하는 스텝과,상기 피시험 전자 부품에서의 소비 전력 패턴을 상쇄하는 소비 전력 상쇄 패턴을 생성하는 스텝과,상기 소비 전력 상쇄 패턴을 상기 온도 조절기로 송출하는 스텝을 갖는 것을 특징으로 하는 온도 제어 방법.
- 제 6 항에 있어서,상기 소비 전력을 제어하는 스텝은,일정 전류를 공급하는 정전류 공급 수단으로부터 병렬의 일측으로 분기되어 상기 피시험 전자 부품으로 전류를 공급하는 스텝과,상기 정전류 공급 수단으로부터 병렬의 타측으로 분기되어 상기 온도 조절기로 전류를 공급하는 스텝을 갖는 것을 특징으로 하는 온도 제어 방법.
- 테스트 패턴이 입력되는 콘택트 단자에 피시험 전자 부품을 밀착시키는 푸셔와,상기 피시험 전자 부품에 접촉되도록 상기 푸셔에 설치된 온도 조절기를 갖고,상기 테스트 패턴에 의한 상기 피시험 전자 부품의 소비 전력과 상기 온도 조절기의 소비 전력과의 총전력이 일정치가 되도록 상기 온도 조절기의 소비 전력을 제어하는 것을 특징으로 하는 전자 부품 시험용 핸들러.
- 소정의 테스트 패턴을 생성하는 테스트 패턴 생성 수단과,피시험 전자 부품의 단자가 밀착되는 콘택트 단자로 상기 테스트 패턴 생성 수단에서 생성된 테스트 패턴을 송출하는 테스트 패턴 송출 수단과,상기 테스트 패턴의 응답 패턴에 의거하여 상기 피시험 전자 부품의 평가를 수행하는 판정 수단과,상기 테스트 패턴에 의한 상기 피시험 전자 부품의 소비 전력과, 상기 피시험 전자 부품에 접촉되도록 설치된 온도 조절기의 소비 전력의 총전력이 일정치가 되도록, 상기 온도 조절기의 소비 전력을 제어하는 전력 제어 수단을 갖는 것을 특징으로 하는 전자 부품 시험 장치.
- 제 10 항에 있어서,상기 전력 제어 수단은,상기 피시험 전자 부품으로 송출되는 테스트 패턴으로부터 상기 피시험 전자 부품에서의 소비 전력 패턴을 예측하는 소비 전력 패턴 예측부와,상기 피시험 전자 부품에서의 소비 전력 패턴을 상쇄하는 소비 전력 상쇄 패턴을 생성하는 소비 전력 상쇄 패턴 생성부와,상기 소비 전력 상쇄 패턴을 상기 온도 조절기로 송출하는 소비 전력 상쇄 패턴 송출부를 갖는 것을 특징으로 하는 전자 부품 시험 장치.
- 제 10 항에 있어서,상기 전력 제어 수단은,일정 전류를 공급하는 정전류 공급 수단으로부터 병렬의 일측으로 분기되어 상기 피시험 전자 부품으로 전류를 공급하는 제1의 전력 공급 수단과,상기 정전류 공급 수단으로부터 병렬의 타측으로 분기되어 상기 온도 조절기로 전류를 공급하는 제2의 전력 공급 수단을 갖는 것을 특징으로 하는 전자 부품 시험 장치.
- 피시험 전자 부품의 단자를 콘택트 단자에 밀착시킨 상태에서, 상기 콘택트 단자를 통하여 상기 피시험 전자 부품으로 소정의 테스트 패턴을 송출하고, 그 응답 패턴을 검출함으로써 피시험 전자 부품의 테스트를 실행하는 전자 부품 시험 방법으로서,상기 피시험 전자 부품에 온도 조절기를 접촉시키는 스텝과,상기 테스트 패턴에 의한 상기 피시험 전자 부품의 소비 전력과 상기 온도 조절기의 소비 전력의 총전력이 일정치가 되도록 상기 온도 조절기의 소비 전력을 제어하는 스텝과,상기 테스트 패턴의 응답 패턴에 의거하여 상기 피시험 전자 부품의 평가를 수행하는 스텝을 갖는 것을 특징으로 하는 전자 부품의 시험 방법.
- 피시험 전자 부품으로 테스트 패턴을 송출하고, 그 응답 패턴을 검출함으로써 상기 피시험 전자 부품의 테스트를 실행하는 전자 부품 시험 장치에 사용되고,상기 피시험 전자 부품을 동적으로 가열하는 히터와,상기 피시험 전자 부품을 냉각 또는 가열하는 펠티에 소자로 구성되는 쿨러와,상기 쿨러에 열적으로 접속되어 상기 쿨러의 방열면을 냉각 또는 가열하는 히트싱크를 갖는 것을 특징으로 하는 온도 제어 장치.
- 제 14 항에 있어서,상기 테스트 패턴에 의한 피시험 전자 부품의 소비 전력에 의거하여 상기 히터의 가열 능력을 동적으로 제어하는 것을 특징으로 하는 온도 제어 장치.
- 제 14 항에 있어서,상기 피시험 전자 부품에 설치된 온도 감응 소자로부터의 신호에 의거하여 소비 전력 상쇄 패턴을 발생하고, 상기 히터의 가열 능력을 동적으로 제어하는 것을 특징으로 하는 온도 제어 장치.
- 제 14 항에 있어서,상기 피시험 전자 부품에 설치된 온도 감응 소자로부터의 신호에 의거하여, 상기 쿨러의 냉각 또는 가열을 제어하는 것을 특징으로 하는 온도 제어 장치.
- 제 14 항에 있어서,상기 피시험 전자 부품에 설치된 온도 감응 소자로부터의 신호에 의거하여, 상기 쿨러의 냉각 능력을 피드백 제어하는 제1 제어 수단과,상기 테스트 패턴에 의한 피시험 전자 부품의 소비 전력에 의거하여 상기 히터의 가열 능력을 피드 포워드 제어하는 제2 제어 수단을 갖는 것을 특징으로 하는 온도 제어 장치.
- 피시험 전자 부품으로 테스트 패턴을 송출하고, 그 응답 패턴을 검출함으로써 상기 피시험 전자 부품의 테스트를 실행하는 전자 부품 시험 장치로서,제 14 항 내지 제 18 항 중 어느 한 항에 기재된 온도 제어 장치와,테스트 패턴이 입력되는 콘택트 단자로 피시험 전자 부품을 밀착시키는 푸셔와,상기 피시험 전자 부품에 열적으로 접촉되도록 상기 푸셔에 설치되고, 상기 피시험 전자 부품을 냉각 또는 가열하는 펠티에 소자로 이루어지는 쿨러를 갖는 것을 특징으로 하는 전자 부품 시험 장치.
- 제 19 항에 있어서,상기 테스트 패턴에 의한 피시험 전자 부품의 소비 전력에 의거하여 소비 전력 상쇄 패턴을 발생하고, 상기 히터의 가열 능력을 동적으로 제어하는 것을 특징으로 하는 전자 부품 시험 장치.
- 제 19 항에 있어서,상기 피시험 전자 부품에 설치된 온도 감응 소자로부터의 신호에 의거하여, 상기 히터의 가열 능력을 동적으로 제어하는 것을 특징으로 하는 전자 부품 시험 장치.
- 제 19 항에 있어서,상기 피시험 전자 부품에 설치된 온도 감응 소자로부터의 신호에 의거하여, 상기 쿨러의 냉각 또는 가열을 제어하는 것을 특징으로 하는 전자 부품 시험 장치.
- 제 19 항에 있어서,상기 테스트 패턴에 의한 피시험 전자 부품의 소비 전력 및 상기 피시험 전자 부품 내부에 도달하는 열전도 시간에 의거하여, 소비 전력 상쇄 패턴을 소정 시간 빠른 단계에서 발생시키고, 상기 히터의 가열 능력을 동적으로 제어하는 것을 특징으로 하는 전자 부품 시험 장치.
- 제 19 항에 있어서,상기 피시험 전자 부품에 설치된 온도 감응 소자로부터의 신호의 온도 변화량에 의거하여, 상기 히터의 가열 능력을 미분적으로 가산 부여/감산 부여하는 것을 특징으로 하는 전자 부품 시험 장치.
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