JP4630122B2 - 試験装置、及び試験方法 - Google Patents
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Claims (3)
- 被試験デバイスの静止電源電流に基づいて、被試験デバイスの良否を判定する試験装置であって、
前記被試験デバイスを駆動する電力を、前記被試験デバイスに供給する電源と、
前記被試験デバイスの回路を所定の状態に設定する設定ベクトルを、前記被試験デバイスに供給するパターン発生部と、
前記設定ベクトルにより前記被試験デバイスが前記所定の状態に設定されたときに、前記電源から前記被試験デバイスに供給される前記静止電源電流を測定する電源電流測定部と、
前記被試験デバイスの内部に設けられた温度センサから、前記被試験デバイスの温度を取得し、前記電源電流測定部が測定した前記静止電源電流、及び前記被試験デバイスの温度に基づいて、前記被試験デバイスの良否を判定する判定部と
を備え、
前記判定部は、
前記被試験デバイスの温度毎に与えられる、前記静止電源電流の期待値を予め格納する期待値格納部と、
測定した前記静止電源電流と、当該静止電源電流を測定したときの前記被試験デバイスの温度に対応する前記期待値とを比較することにより、前記被試験デバイスの良否を判定する比較部と
を有する試験装置。 - 前記判定部は、
前記静止電源電流と前記期待値との差分が予め定められた範囲内にない場合に、前記被試験デバイスを不良と判定する請求項1に記載の試験装置。 - 被試験デバイスの静止電源電流に基づいて、被試験デバイスの良否を判定する試験方法であって、
前記被試験デバイスの温度毎に与えられる、前記静止電源電流の期待値を予め格納する期待値格納段階と、
前記被試験デバイスを駆動する電力を、前記被試験デバイスに供給する電源供給段階と、
前記被試験デバイスの回路を所定の状態に設定する設定ベクトルを、前記被試験デバイスに供給するパターン発生段階と、
前記設定ベクトルにより前記被試験デバイスが前記所定の状態に設定されたときに、前記被試験デバイスに供給される前記静止電源電流を測定する電源電流測定段階と、
前記被試験デバイスの内部に設けられた温度センサから、前記被試験デバイスの温度を取得し、前記電源電流測定段階において測定した前記静止電源電流、及び前記被試験デバイスの温度に基づいて、前記被試験デバイスの良否を判定する判定段階と、
を備え、
前記判定段階においては、
測定した前記静止電源電流と、当該静止電源電流を測定したときの前記被試験デバイスの温度に対応する前記期待値とを比較することにより、前記被試験デバイスの良否を判定する試験方法。
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