JP7316798B2 - 電子部品ハンドリング装置及び電子部品試験装置 - Google Patents
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Description
10…テスタ
11…第1のスイッチ
11a…入力端
11b,11c…出力端
12…第2の演算部
14~16…第1~第3の送信部
17…第2の制御部
18…第4の受信部
20…ソケット
21…接触子
30…ケーブル
50…ハンドラ
60…プッシャ
61…内部空間
62…温度センサ
70…温度調整装置
71…流量調整部
711…バルブ
712…アクチュエータ
72…冷媒供給部
73…温媒供給部
80…制御装置
82~84…第1~第3の受信部
85…変換部
86…第1の演算部
87…温度制御部
871…第2のスイッチ
871a,871b…入力端
871c…出力端
872…第3の演算部
88…第1の制御部
89…第4の送信部
90…DUT
91…主回路
92…温度検出回路
93…入出力端子
Claims (7)
- 温度検出回路を有するDUTをハンドリングして、前記DUTを試験するテスタに電気的に接続されたソケットに前記DUTを押し付ける電子部品ハンドリング装置であって、
前記DUTの温度を調整する温度調整装置と、
前記温度検出回路の検出結果に基づいて前記DUTの温度を演算する第1の演算部と、
前記温度調整装置を制御する温度制御部と、
前記温度制御部に第1の信号を出力する第1の制御部と、を備え、
前記温度制御部が実行する温度制御は、
前記第1の演算部によって演算された前記DUTの温度に基づく第1の温度制御と、
前記第1の温度制御とは別の第2の温度制御と、を含み、
前記温度制御部は、前記第1の温度制御を開始した後に、前記第1の制御部から第1の信号が入力された場合に、前記DUTの温度制御を前記第1の温度制御から前記第2の温度制御に切り替え、
前記第1の信号は、前記第1の温度制御の開始から第1の所定時間後に前記温度制御部に入力され、
前記第1の所定時間は、予め測定された温度プロファイルに基づいて設定されており、
前記温度プロファイルは、前記第1の温度制御によって温度調整されながら前記テスタによって試験される前記DUTの温度の挙動を示すプロファイルであり、
前記第1の所定時間は、
前記温度プロファイルにおける発熱ピークの前記試験開始からの経過時間と、
前記発熱ピークにおける発熱量と、に基づいて設定され、
前記第2の温度制御は、前記第1の信号に基づき、前記DUTの冷却又は加熱を強制的に開始するように前記温度調整装置を制御することを含む電子部品ハンドリング装置。 - 請求項1に記載の電子部品ハンドリング装置であって、
前記第1の所定時間は、前記温度プロファイルに加えて、前記温度調整装置の温度制御応答特性と、前記DUTの温度制御応答特性と、に基づいて設定されている電子部品ハンドリング装置。 - 請求項1又は2に記載の電子部品ハンドリング装置であって、
前記温度制御部は、前記第2の温度制御が完了した場合に、前記DUTの温度制御を前記第2の温度制御から前記第1の温度制御に戻す電子部品ハンドリング装置。 - 請求項1~3の何れか一項に記載の電子部品ハンドリング装置であって、
前記第2の温度制御は、前記第1の信号に基づき、前記DUTの冷却又は加熱を強制的に開始し、前記第2の温度制御の開始から第2の所定時間経過した後に、前記DUTの冷却又は加熱を停止して、前記DUTの加熱又は冷却を開始するように前記温度調整装置を制御することを含む電子部品ハンドリング装置。 - 請求項1~4の何れか一項に記載の電子部品ハンドリング装置であって、
前記第1の制御部は、前記温度制御部にスタート信号を出力し、
前記温度制御部は、前記第1の制御部から前記スタート信号が入力された場合に、前記第1の温度制御を開始する部品ハンドリング装置。 - 請求項1~5の何れか一項に記載の電子部品ハンドリング装置であって、
前記テスタから出力され、前記テスタの第2の演算部により前記温度検出回路の検出値が補正された前記DUTのジャンクション温度を示す第2の信号を受信する第1の受信部と、
前記テスタから出力され、前記テスタの第2の演算部により補正されていない前記温度検出回路の検出値を示す第3の信号を受信する第2の受信部と、を備え、
前記第1の演算部は、前記第2の信号及び前記第3の信号を用いて前記DUTの温度を演算する電子部品ハンドリング装置。 - 請求項1~6の何れか一項に記載の電子部品ハンドリング装置と、
ソケットが電気的に接続されていると共に前記DUTを試験するテスタと、を備えており、
前記テスタは、
前記温度検出回路の検出値を補正して前記DUTのジャンクション温度を演算する第2の演算部と、
前記第2の演算部の演算結果を第2の信号として送信する第1の送信部と、
前記第2の演算部により補正されていない前記温度検出回路の検出値を第3の信号として送信する第2の送信部と、を含み、
前記第1の演算部は、前記第2の信号及び前記第3の信号を用いて前記DUTの温度を演算する電子部品試験装置。
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