JP2009145151A - 温度制御方式 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】低温に設定された低温環境領域内において、加熱器、温度センサ及び制御器を用いて局所的に加熱制御を行う。この際、低温環境領域内の低温の設定は冷凍庫のスイッチをオンすることにより行い、冷凍庫のスイッチをオンにした状態で、加熱器、温度センサ及び制御器を用いた局所的な加熱制御を実施する。また、常温に設定された常温環境領域内において、加熱器、温度センサ及び制御器を用いて局所的に加熱制御を行って高温温度制御を行い、低温に設定された低温環境領域内において、加熱器、温度センサ及び制御器を用いて局所的に加熱制御を行って低温温度制御を行う。
【選択図】図3
Description
Test:被試験デバイス)ソケットを用いた低温温度制御方式、及び、低温/高温温度制御方式に関する。
2 ソケットボード
3 ソケット機構
4 温度センサ
5 加熱器
6 電流調整器
7 制御器
Claims (10)
- 低温に設定された冷凍庫等の低温環境領域内において、加熱器、温度センサ及び制御器を用いて局所的に加熱制御を行って低温温度制御を行うことを特徴とする低温温度制御方式。
- 請求項1に記載の温度制御方式において、前記低温環境領域内の低温の設定は前記冷凍庫等のスイッチをオンすることにより行うことを特徴とする低温温度制御方式。
- 請求項1に記載の低温温度制御方式において、前記加熱器、温度センサ及び制御器を用いた局所的な加熱制御は、前記冷凍庫等のスイッチをオンにした状態で実施することを特徴とする低温温度制御方式。
- 請求項1に記載の低温温度制御方式において、前記加熱器、温度センサ及び制御器の複数の組を有し、前記局所的な加熱制御による低温温度制御は、前記複数の組に対応した異なる局所的な位置で、異なる低温温度で制御されることを特徴とする低温温度制御方式。
- 請求項1乃至請求項4のいずれかに記載の低温温度制御方式において、前記加熱器、温度センサ及び制御器が被検査装置のソケットに組み込まれていることを特徴とする低温温度制御方式。
- 常温に設定された常温環境領域内において、前記加熱器、温度センサ及び制御器を用いて局所的に加熱制御を行って高温温度制御を行い、低温に設定された低温環境領域内において、前記加熱器、温度センサ及び制御器を用いて局所的に加熱制御を行って低温温度制御を行うことを特徴とする高温/低温温度制御方式。
- 請求項6に記載の温度制御方式において、前記低温環境領域内の低温の設定を冷凍庫等のスイッチをオンすることにより行い、前記常温に設定された常温環境領域への移行を、前記低温に設定された前記冷凍庫等のスイッチをオフすることにより行うことを特徴とする高温/低温温度制御方式。
- 請求項6に記載の温度制御方式において、常温状態または低温状態から高温温度制御状態への移行は、冷凍庫等のスイッチをオフした状態で前記加熱器、温度センサ及び制御器を用いて局所的に加熱制御して行い、高温温度制御状態から低温温度制御状態への移行は、前記冷凍庫等のスイッチをオンした状態で前記加熱器、温度センサ及び制御器を用いた局所的な加熱制御をオフして行うことを特徴とする高温/低温温度制御方式。
- 請求項6に記載の低温温度制御方式において、前記加熱器、温度センサ及び制御器の複数の組を有し、前記局所的な加熱制御による高温/低温温度制御は、前記複数の組に対応した異なる局所的な位置で、異なる高温/低温温度で制御されることを特徴とする低温温度制御方式。
- 請求項6乃至請求項9のいずれかに記載の高温/低温温度制御方式において、前記加熱器、温度センサ及び制御器が被検査装置のソケットに組み込まれていることを特徴とする高温/低温温度制御方式。
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