JP4911954B2 - プローバ - Google Patents
プローバ Download PDFInfo
- Publication number
- JP4911954B2 JP4911954B2 JP2005336605A JP2005336605A JP4911954B2 JP 4911954 B2 JP4911954 B2 JP 4911954B2 JP 2005336605 A JP2005336605 A JP 2005336605A JP 2005336605 A JP2005336605 A JP 2005336605A JP 4911954 B2 JP4911954 B2 JP 4911954B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- heater
- wafer
- temperature
- power supply
- wafer chuck
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 15
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 4
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 3
- 239000007787 solid Substances 0.000 claims description 2
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 29
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 12
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 11
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 6
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 4
- 239000002826 coolant Substances 0.000 description 3
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000009499 grossing Methods 0.000 description 1
- 229920006015 heat resistant resin Polymers 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 230000001131 transforming effect Effects 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
12 ヒータ
14 温度センサ
15 制御部
22 プローブカード
21 プローブ
31 テスタ本体
41 直流ヒータ電源回路
43 整流回路
45 FET
51 ソリッド・ステート・リレー
52 スイッチ
W ウエハ
Claims (3)
- ウエハ上に形成された複数の半導体装置をテスタで検査をするために、前記テスタの各端子を前記半導体装置の電極に接続するプローバであって、
ウエハを保持するウエハチャックと、
前記ウエハチャック内に設けられ、前記ウエハチャックを加熱するヒータと、
前記ヒータに直流を供給して前記ヒータを発熱させる直流ヒータ電源回路と、
前記ヒータに交流を供給して前記ヒータを発熱させる交流ヒータ電源回路と、
前記ヒータを前記直流ヒータ電源回路又は前記交流ヒータ電源回路に接続するように切り換えるスイッチ回路と、
前記ウエハチャックの温度を検出する温度センサと、
前記温度センサの検出した前記ウエハチャックの温度に基づいて、前記直流ヒータ電源回路、前記交流ヒータ電源回路及び前記スイッチ回路を制御する制御部と、を備え、
前記制御部は、前記ウエハチャックの温度が測定温度近傍になるまでは前記交流ヒータ電源回路を前記ヒータに接続し、前記ウエハチャックの温度が測定温度近傍になった後、前記ウエハ上に形成された前記半導体装置をテスタで検査している間は、前記直流ヒータ電源回路を前記ヒータに接続するように制御することを特徴とするプローバ。 - 前記直流ヒータ電源回路は、前記制御部により電圧降下量が制御される降圧回路を備える請求項1に記載のプローバ。
- 前記交流ヒータ電源回路は、前記制御部により交流を出力するかしないかが制御されるソリッド・ステート・リレー(SSR)を備える請求項1に記載のプローバ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005336605A JP4911954B2 (ja) | 2005-11-22 | 2005-11-22 | プローバ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005336605A JP4911954B2 (ja) | 2005-11-22 | 2005-11-22 | プローバ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007142301A JP2007142301A (ja) | 2007-06-07 |
JP4911954B2 true JP4911954B2 (ja) | 2012-04-04 |
Family
ID=38204778
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005336605A Active JP4911954B2 (ja) | 2005-11-22 | 2005-11-22 | プローバ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4911954B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN113533873A (zh) * | 2020-04-21 | 2021-10-22 | 株洲中车时代电气股份有限公司 | 一种用于电缆温升试验的试验装置及方法 |
JP2023046600A (ja) * | 2021-09-24 | 2023-04-05 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板載置機構、検査装置、および検査方法 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000111609A (ja) * | 1998-10-05 | 2000-04-21 | Komatsu Ltd | 基板の温度調節用ステージ及びその電源回路 |
JP2002217278A (ja) * | 2001-01-12 | 2002-08-02 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | プラズマcvd装置 |
-
2005
- 2005-11-22 JP JP2005336605A patent/JP4911954B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2007142301A (ja) | 2007-06-07 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US11340283B2 (en) | Testing device | |
JP4275669B2 (ja) | 温度制御装置及び温度制御方法 | |
KR100858153B1 (ko) | 프로버 및 탐침 접촉 방법 | |
US20170027084A1 (en) | Continuous fluidic thermal interface material dispensing | |
JP2007019094A (ja) | 半導体試験装置 | |
JP6905179B2 (ja) | プローバ | |
JP2018160592A (ja) | プローバ | |
US7675306B2 (en) | Prober apparatus and operating method therefor | |
US6545494B1 (en) | Apparatus and method for controlling temperature in a wafer using integrated temperature sensitive diode | |
US20170176515A1 (en) | Thermal clutch for thermal control unit and methods related thereto | |
JP4911954B2 (ja) | プローバ | |
JP2007024702A (ja) | ヒータ機構を備える半導体検査用ソケット | |
JP2007024702A5 (ja) | ||
JP4082314B2 (ja) | 電子部品の試験方法および試験装置 | |
JP4999775B2 (ja) | プローバ | |
JP2007129090A (ja) | ウエハテストシステム、プローバ、ウエハテスト方法及びプローブカード | |
JP2008004673A (ja) | プローバ用チャック | |
JP5121322B2 (ja) | プローバおよびプローバのウエハチャックの温度制御方法 | |
JPH1144727A (ja) | 回路基板検査装置 | |
JP2005347612A (ja) | ウェハトレイ及びウェハバーンインユニット、それを用いたウェハレベルバーンイン装置並びに半導体ウェハの温度制御方法 | |
JP4936705B2 (ja) | プローバ | |
JP2019169548A (ja) | プローバの冷却システム | |
JP2007315906A (ja) | 半導体装置の温度制御方法及び装置、及び半導体装置の試験方法及び試験装置 | |
JP2007134545A (ja) | プローバ | |
JP2007288101A (ja) | プローバにおけるウエハ保持方法、プローバ及び高熱伝導性シート |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080821 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110701 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110712 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110822 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20111220 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120117 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4911954 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150127 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |