KR20050052489A - 세라믹 및 이의 제조방법 - Google Patents
세라믹 및 이의 제조방법 Download PDFInfo
- Publication number
- KR20050052489A KR20050052489A KR1020057004059A KR20057004059A KR20050052489A KR 20050052489 A KR20050052489 A KR 20050052489A KR 1020057004059 A KR1020057004059 A KR 1020057004059A KR 20057004059 A KR20057004059 A KR 20057004059A KR 20050052489 A KR20050052489 A KR 20050052489A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- ceramic
- oxide
- terms
- weight
- sample
- Prior art date
Links
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 title claims abstract description 59
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title description 10
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims abstract description 25
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 22
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 claims abstract description 16
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 16
- 229910052748 manganese Inorganic materials 0.000 claims abstract description 11
- 229910018657 Mn—Al Inorganic materials 0.000 claims abstract description 10
- 229910052596 spinel Inorganic materials 0.000 claims abstract description 10
- 239000011029 spinel Substances 0.000 claims abstract description 10
- 229910052791 calcium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 7
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 7
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims abstract description 7
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 5
- 238000010304 firing Methods 0.000 claims abstract description 5
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N iron Substances [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 28
- 239000011572 manganese Substances 0.000 claims description 18
- 239000010936 titanium Substances 0.000 claims description 18
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 claims description 12
- 230000001186 cumulative effect Effects 0.000 claims description 12
- 229910010413 TiO 2 Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 7
- UQSXHKLRYXJYBZ-UHFFFAOYSA-N Iron oxide Chemical compound [Fe]=O UQSXHKLRYXJYBZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- NUJOXMJBOLGQSY-UHFFFAOYSA-N manganese dioxide Chemical compound O=[Mn]=O NUJOXMJBOLGQSY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 claims description 4
- -1 calsite Substances 0.000 claims description 3
- 239000004927 clay Substances 0.000 claims description 3
- 229910000514 dolomite Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000010459 dolomite Substances 0.000 claims description 3
- 239000001095 magnesium carbonate Substances 0.000 claims description 3
- ZLNQQNXFFQJAID-UHFFFAOYSA-L magnesium carbonate Chemical compound [Mg+2].[O-]C([O-])=O ZLNQQNXFFQJAID-UHFFFAOYSA-L 0.000 claims description 3
- 229910000021 magnesium carbonate Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 235000014380 magnesium carbonate Nutrition 0.000 claims description 3
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 claims description 3
- 229910052570 clay Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000011812 mixed powder Substances 0.000 claims description 2
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 claims description 2
- 238000001354 calcination Methods 0.000 claims 1
- 229910017344 Fe2 O3 Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 229910052661 anorthite Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 229910052593 corundum Inorganic materials 0.000 abstract 1
- GWWPLLOVYSCJIO-UHFFFAOYSA-N dialuminum;calcium;disilicate Chemical compound [Al+3].[Al+3].[Ca+2].[O-][Si]([O-])([O-])[O-].[O-][Si]([O-])([O-])[O-] GWWPLLOVYSCJIO-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 1
- 229910001845 yogo sapphire Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 57
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 13
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 11
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 7
- 238000002441 X-ray diffraction Methods 0.000 description 6
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 6
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 5
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 4
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 4
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 3
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 3
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- AYJRCSIUFZENHW-UHFFFAOYSA-L barium carbonate Chemical compound [Ba+2].[O-]C([O-])=O AYJRCSIUFZENHW-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 2
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 2
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000012634 fragment Substances 0.000 description 2
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 2
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 2
- 229910052723 transition metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000003624 transition metals Chemical class 0.000 description 2
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 2
- 238000007088 Archimedes method Methods 0.000 description 1
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- 238000007743 anodising Methods 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 229910052878 cordierite Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000002425 crystallisation Methods 0.000 description 1
- 230000008025 crystallization Effects 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- JSKIRARMQDRGJZ-UHFFFAOYSA-N dimagnesium dioxido-bis[(1-oxido-3-oxo-2,4,6,8,9-pentaoxa-1,3-disila-5,7-dialuminabicyclo[3.3.1]nonan-7-yl)oxy]silane Chemical compound [Mg++].[Mg++].[O-][Si]([O-])(O[Al]1O[Al]2O[Si](=O)O[Si]([O-])(O1)O2)O[Al]1O[Al]2O[Si](=O)O[Si]([O-])(O1)O2 JSKIRARMQDRGJZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000977 initiatory effect Effects 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000006060 molten glass Substances 0.000 description 1
- 239000004570 mortar (masonry) Substances 0.000 description 1
- 239000000615 nonconductor Substances 0.000 description 1
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 1
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 description 1
- 238000009774 resonance method Methods 0.000 description 1
- 238000001694 spray drying Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/01—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics
- C04B35/10—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on aluminium oxide
- C04B35/111—Fine ceramics
- C04B35/117—Composites
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/01—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics
- C04B35/10—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on aluminium oxide
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
- C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
- C04B2235/32—Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
- C04B2235/3201—Alkali metal oxides or oxide-forming salts thereof
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
- C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
- C04B2235/32—Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
- C04B2235/3205—Alkaline earth oxides or oxide forming salts thereof, e.g. beryllium oxide
- C04B2235/3206—Magnesium oxides or oxide-forming salts thereof
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
- C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
- C04B2235/32—Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
- C04B2235/3205—Alkaline earth oxides or oxide forming salts thereof, e.g. beryllium oxide
- C04B2235/3208—Calcium oxide or oxide-forming salts thereof, e.g. lime
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
- C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
- C04B2235/32—Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
- C04B2235/3205—Alkaline earth oxides or oxide forming salts thereof, e.g. beryllium oxide
- C04B2235/3208—Calcium oxide or oxide-forming salts thereof, e.g. lime
- C04B2235/3212—Calcium phosphates, e.g. hydroxyapatite
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
- C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
- C04B2235/32—Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
- C04B2235/3217—Aluminum oxide or oxide forming salts thereof, e.g. bauxite, alpha-alumina
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
- C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
- C04B2235/32—Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
- C04B2235/3217—Aluminum oxide or oxide forming salts thereof, e.g. bauxite, alpha-alumina
- C04B2235/3222—Aluminates other than alumino-silicates, e.g. spinel (MgAl2O4)
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
- C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
- C04B2235/32—Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
- C04B2235/3231—Refractory metal oxides, their mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof
- C04B2235/3232—Titanium oxides or titanates, e.g. rutile or anatase
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
- C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
- C04B2235/32—Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
- C04B2235/3231—Refractory metal oxides, their mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof
- C04B2235/3232—Titanium oxides or titanates, e.g. rutile or anatase
- C04B2235/3234—Titanates, not containing zirconia
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
- C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
- C04B2235/32—Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
- C04B2235/3262—Manganese oxides, manganates, rhenium oxides or oxide-forming salts thereof, e.g. MnO
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
- C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
- C04B2235/32—Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
- C04B2235/327—Iron group oxides, their mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof
- C04B2235/3272—Iron oxides or oxide forming salts thereof, e.g. hematite, magnetite
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
- C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
- C04B2235/34—Non-metal oxides, non-metal mixed oxides, or salts thereof that form the non-metal oxides upon heating, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
- C04B2235/3418—Silicon oxide, silicic acids or oxide forming salts thereof, e.g. silica sol, fused silica, silica fume, cristobalite, quartz or flint
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
- C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
- C04B2235/34—Non-metal oxides, non-metal mixed oxides, or salts thereof that form the non-metal oxides upon heating, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
- C04B2235/3427—Silicates other than clay, e.g. water glass
- C04B2235/3463—Alumino-silicates other than clay, e.g. mullite
- C04B2235/3481—Alkaline earth metal alumino-silicates other than clay, e.g. cordierite, beryl, micas such as margarite, plagioclase feldspars such as anorthite, zeolites such as chabazite
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
- C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
- C04B2235/34—Non-metal oxides, non-metal mixed oxides, or salts thereof that form the non-metal oxides upon heating, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
- C04B2235/349—Clays, e.g. bentonites, smectites such as montmorillonite, vermiculites or kaolines, e.g. illite, talc or sepiolite
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/65—Aspects relating to heat treatments of ceramic bodies such as green ceramics or pre-sintered ceramics, e.g. burning, sintering or melting processes
- C04B2235/656—Aspects relating to heat treatments of ceramic bodies such as green ceramics or pre-sintered ceramics, e.g. burning, sintering or melting processes characterised by specific heating conditions during heat treatment
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/70—Aspects relating to sintered or melt-casted ceramic products
- C04B2235/74—Physical characteristics
- C04B2235/77—Density
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/70—Aspects relating to sintered or melt-casted ceramic products
- C04B2235/80—Phases present in the sintered or melt-cast ceramic products other than the main phase
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/70—Aspects relating to sintered or melt-casted ceramic products
- C04B2235/96—Properties of ceramic products, e.g. mechanical properties such as strength, toughness, wear resistance
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/70—Aspects relating to sintered or melt-casted ceramic products
- C04B2235/96—Properties of ceramic products, e.g. mechanical properties such as strength, toughness, wear resistance
- C04B2235/963—Surface properties, e.g. surface roughness
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/70—Aspects relating to sintered or melt-casted ceramic products
- C04B2235/96—Properties of ceramic products, e.g. mechanical properties such as strength, toughness, wear resistance
- C04B2235/9646—Optical properties
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Structural Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Composite Materials (AREA)
- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
Abstract
본 발명은 Mn, Ti, Fe, Si, Ca, Mg, 및 80중량% 이상의 알루미나(Al2O3)를 함유하고, 소성에 의해 Mn-Al 스피넬(MnOㆍAl2O3) 결정과 아노사이트 결정(CaOㆍAl2O3ㆍ2SiO2)이 생성되는, 체적 고유저항이 1 ×1011Ωㆍ㎝ 이하인 세라믹에 관한 것이다. 바람직하게는, 세라믹의 산화물로 환산한 Mn, Ti 및 Fe의 함량이 총 2 내지 11중량% 이상이며, 산화물(MnO)로 환산한 Mn의 함량이 0.5중량% 이상이고, 산화물(TiO2)로 환산한 Ti의 함량이 0.5중량% 이상이며, 산화물(Fe2O3)로 환산한 Fe의 함량이 O.5중량% 이상이다.
Description
[기술분야]
본 발명은 FPD(flat panel display)용 유리 기판을 유지시키는 정밀 척(chuck), 예를 들면, 진공 척 또는 정전 척에 적합한 세라믹 및 이의 제조방법에 관한 것이다.
[배경기술]
FPD 제조장치 및 반도체 제조장치에서, 유리 기판이나 반도체 웨이퍼를 유지시키기 위해 각종 정밀 척 또는 지지대가 사용되고 있다. 일반적으로, 이들 장치에는 불필요한 광반사 또는 광투과가 없어야 한다.
일본 공개특허공보 제(평)8-262090호에는 LCD(Liquid Crystal Display)용 유리 기판이 적재되는, 알루마이트 처리가 실시되어 흑색화된 지지대가 기재되어 있다. 광은 흑색 지지대의 표면에서 난반사하는 동시에 흡수되므로, 광반사가 발생하는 원치 않은 할레이션(halation)이 방지된다.
일본 공개특허공보 제(평)8-139168호에는 반사율이 낮은 박막층이 형성된 세라믹제 진공 척이 기재되어 있다. 최근 수년 동안, 보다 큰 사이즈의 FPD용 기판 또는 웨이퍼의 공급이 가능하게 되어, 비강성(比剛性)(영율/비중)이 큰 세라믹제 척의 수요가 높아지고 있다. 알루미늄의 비강성이 28GPaㆍ㎤/g인데 비해, 알루미나 세라믹이나 AlN 세라믹의 비강성은 80 내지 95GPaㆍ㎤/g, 90 내지 95GPaㆍ㎤/g이다.
일본 특허공보 제2001-019540호 및 일본 공개특허공보 제(평)10-095673호에는 각각 코디어라이트를 기재로 한 흑색 세라믹 및 AlN을 기재로 하는 흑색 세라믹이 기재되어 있다. 이들 흑색 세라믹은 FPD용 기판과 동일하게 전기 절연체이다. FPD용 기판이 절연성 세라믹제 척에 접촉되는 경우 기판내에 정전 분극이 생성된다. 그 결과, 스파크 방전이 발생하여 기판이 손상되는 경우가 있다.
일본 공개특허공보 제(평)11-245133호에는 자기 헤드의 슬라이더의 제조시에 발생하는 정전 분극에 따르는 문제점에 대해 기재되어 있다. 다수의 박막 소자가 형성된 슬라이더 바를 절단하여 여러 개의 슬라이더를 수득한다. 슬라이더 바를 절연성 지그(jig)에 접합시키는 경우, 당해 박막 소자의 금속층 속에서 전하가 분극되어 버린다. 당해 공보에는, 이러한 정전 분극으로 인한 문제점을 해결하기 위해 반도전성 세라믹제 지그를 사용하는 것으로 기재되어 있다. 기재된 지그의 표면 저항은 1 ×106Ω/sq 이상 1 ×1012Ω/sq 미만의 범위이다.
TiO2가 0.5 내지 2중량% 첨가된 알루미나(Al2O3)를 기재로 한 반도전성 세라믹이 일본 공개특허공보 제(소)62-094953호에 기재되어 있다. 이러한 알루미나 세라믹은 환원 분위기에서 소성된다.
일본 공개특허공보 제(평)11-189458호에는 체적 고유저항이 104 내지 1012Ωㆍ㎝이고 절연 내압이 10kV/mm 이상인 반도전성 세라믹이 기재되어 있다. 이러한 반도전성 세라믹은 40 내지 85체적%의 알루미나 결정립, 및 MnNb2O6, Mn2AlO4, MnFe2O4의 1종 이상의 결정립을 포함한다. 비교적 염가인 알루미나는 일반적인 대기 분위기에서 소성되기 때문에, 반도전성 세라믹의 대량 생산이 가능하다.
본 발명의 목적은 주성분인 알루미나를 높은 비율로 함유함으로써 높은 비강성을 갖는 알루미나 세라믹을 제공하는 것이다.
본 발명의 별도의 목적은 알루미나의 비율을 과도하게 저하시키지 않고도 낮은 반사율과 반도전성을 만족시키는 세라믹을 제공하는 것이다.
[발명의 개시]
본 발명에 따르면, 세라믹은 Mn, Ti, Fe, Si, Ca, Mg, 및 80중량% 이상의 알루미나(Al2O3)를 함유하고, 소성에 의해 Mn-Al 스피넬(MnOㆍAl2O3) 결정과 아노사이트(CaOㆍAl2O3ㆍ2SiO2) 결정이 생성되며, 체적 고유저항이 1 ×1011Ωㆍ㎝ 이하이다.
바람직하게는, 세라믹의 산화물로 환산한 Mn, Ti 및 Fe의 함량이 총 2 내지 11중량% 이상이며, 산화물(MnO)로 환산한 Mn의 함량이 0.5중량% 이상이고, 산화물(TiO2)로 환산한 Ti의 함량이 0.5중량% 이상이며, 산화물(Fe2O3)로 환산한 Fe의 함량이 O.5중량% 이상이다.
보다 바람직하게는, 세라믹의 산화물로 환산한 Si, Ca 및 Mg의 함량이 총 6 내지 9중량% 이상이며, 산화물(SiO2)로 환산한 Si의 함량이 4중량% 이상이고, 산화물(CaO)로 환산한 Ca의 함량이 0.4중량% 이상이며, 산화물(MgO)로 환산한 Mg의 함량이 0.4중량% 이상이다.
본 발명에 따르면, 세라믹의 제조방법은 이산화망간(MnO2), 산화티탄(TiO2), 산화철(Fe2O3), 규석 또는 점토, 돌로마이트, 칼사이트, 마그네사이트, 및 주성분으로서의 알루미나를 함유하는 혼합 분말로 성형체를 제조하고, 당해 성형체를 LPG로 또는 전기로에서 1300 내지 1450℃에서 소성시켜 Mn-Al 스피넬 결정과 아노사이트 결정을 생성시키는 것이다.
그 밖의 신규한 특징은 하기에 계속되는 설명에서 기술된다.
[도면의 간단한 설명]
도 1은 세라믹의 체적 고유저항을 Mn, Ti 및 Fe의 총 중량비의 함수로서 도시한 그래프이다.
도 2는 시료(5)의 X선 회절 패턴이다.
도 3은 시료(6)의 X선 회절 패턴이다.
도 4는 시료(7)의 X선 회절 패턴이다.
도 5는 EPMA에 의한 시료(5)의 원소 맵이다.
도 6은 EPMA에 의한 시료(7)의 원소 맵이다.
도 7은 시료(1)의 누적 반사율을 도시한 것이다.
도 8은 시료(5)의 누적 반사율을 도시한 것이다.
도 9는 시료(6)의 누적 반사율을 도시한 것이다.
도 10은 시료(7)의 누적 반사율을 도시한 것이다.
도 11은 시료(1)의 정반사율을 도시한 것이다.
도 12는 시료(5)의 정반사율을 도시한 것이다.
도 13은 시료(6)의 정반사율을 도시한 것이다.
도 14는 시료(7)의 정반사율을 도시한 것이다.
[발명을 실시하기 위한 최량의 형태]
우선, 이산화망간(MnO2) 분말, 산화티탄(TiO2) 분말, 산화철(Fe2O3) 분말, 규석 또는 점토 분말, 돌로마이트 분말, 칼사이트 분말 및 마그네사이트 분말을 칭량한 후에 이들을 주성분인 알루미나(Al2O3) 분말에 혼합하였다. 그 다음, 혼합 분말을 습식 분쇄하여 슬러리를 생성시켰다. 슬러리를 스프레이 드라이법으로 건조시켜, 원료 분말을 생성시켰다. 원료 분말을 프레스 성형하고, 전기로에서 1300 내지 1650℃의 온도에서 소성하였다. 그 결과, 알루미나를 기재로 한 세라믹 소결체 시료[시료(1) 내지 시료(8)]를 수득하였다. 시료(4) 내지 시료(7)의 세라믹은 적절한 실시예이며, 시료(1), 시료(2), 시료(3) 및 시료(8)의 세라믹은 비교 실시예이다. 표 1에는 각각의 시료에 대한 조성, 소성 온도, 물리적 특성, 체적 고유저항, 결정상, 누적 반사율 및 정반사율이 기재되어 있다.
표 1에 기재된 바와 같이, 성분 각각의 중량비는 산화물로 환산하여 표시되어 있다. Al, Ti, Fe, Mn은 각각 Al2O3, TiO2, Fe2O3, MnO로 환산되어 있다. Si, Ca, Mg는 각각 SiO2, CaO, MgO로 환산되어 있다. 시료(1)은 주성분인 알루미나를 가장 높은 비율로 함유하는 세라믹이다. 시료(1) 내지 시료(3)의 세라믹은 MnO를 함유하지 않는다.
표 1에서, 비중에 관해서는 두께가 20mm인 약 30mm의 정사각형 시료를 준비하여, 측정은 아르키메데스법에 의해 실시하였다. 100mm ×20mm ×2mm의 시료를 준비하여, JIS(일본공업규격) R1602에 따라 정해진 공진법에 의해 영율이 측정하였다. 비강성은 영율을 비중으로 나누어 산출하였다. 대형 정밀 척 또는 지지대에도 사용할 수 있도록, 세라믹의 비강성은 65GPaㆍ㎤/g 이상인 것이 바람직하다. 시료(1)의 고순도의 알루미나 세라믹의 비강성은 94.9GPaㆍ㎤/g이다. 한편, 시료(8)의 세라믹의 비강성은 59.5GPaㆍ㎤/g으로, 시료(1)의 비강성의 70%에도 미치치 못한다. 시료(8)의 세라믹은 비강성 측면에서 부적절하며, 세라믹은 알루미나를 80중량% 이상 함유하는 것이 필요하다.
두께가 20mm인 100mm의 정사각형 시료의 두께가 6mm로 될 때까지, 시료의 상하면을 입도 140번의 다이아몬드 숫돌에 의해 연마하였다. 당해 시료의 양쪽 말단에 전극을 도포하고, 저항치 r을 절연저항계를 사용하여 측정하였다. 체적 고유저항 R을 수학식 1에 의해 구하였다.
위의 수학식 1에서,
S는 저항계의 전극의 면적이고,
t는 시료의 두께이다.
정밀 척용 세라믹의 체적 고유저항이 1 ×1011Ωㆍ㎝ 이하인 경우, 정전 분극으로 인한 FPD용 기판의 손상이 확실하게 방지된다. 시료(4) 내지 시료(8)의 세라믹은 이러한 낮은 체적 고유저항을 만족시키지 못한다. 시료(1) 내지 시료(3)을 참조하면, Mn을 함유하지 않은 세라믹에는 도전성이 발현되지 않는다. 시료(3)의 세라믹은 Ti를 1.1중량% 함유하고 Fe를 0.1중량% 함유하지만, 반도전성을 갖지 않는다. 시료(4)의 세라믹은 Mn을 0.7중량% 함유한다. 따라서, 세라믹은 도전성의 발현을 위해 Mn을 0.5중량% 이상 함유하는 것이 바람직하다. 시료(4) 내지 시료(8)의 세라믹은 Mn에 추가하여 Ti를 0.5중량% 이상 함유하고 Fe를 0.5중량% 이상 함유한다. 또한, 시료(4) 내지 시료(8)의 세라믹은 SiO2, CaO 및 MgO를 총 6 내지 9중량% 함유한다. 도 1의 그래프를 참조하면, TiO2, Fe2O3 및 MnO의 총 중량비가 커지면 체적 고유저항이 낮아진다는 것을 알 수 있다. 시료(2)와 시료(3)을 참조하면, TiO2, Fe2O3 및 MnO를 총 2중량% 미만 함유하는 세라믹에는 도전성이 발현되지 않는다. 따라서, 도전성의 발현을 위해, 알루미나 세라믹이 TiO2, Fe2O3 및 MnO를 총 2중량% 이상 함유하는 것이 바람직하다.
시료 각각의 파편은 유발(乳鉢; mortar)을 사용하여 분쇄하고, X선 회절 장치에 의해 결정 분석을 실시하였다. 표 1에 기재된 결정의 양은 X선 회절 강도에 근거하여 판정한 것이다. 도 2, 도 3 및 도 4는 각각 시료(5), 시료(6) 및 시료(7)의 세라믹의 X선 회절 패턴을 도시한 것이다. 시료(4) 내지 시료(8)의 세라믹은 주로 알루미나(Al2O3), Mn-Al 스피넬(MnO-Al2O3), 아노사이트(CaOㆍAl2O3ㆍ2SiO2) 결정으로 구성되어 있음을 알 수 있다. 시료(4) 내지 시료(6)의 세라믹에는 Ti 또는 Fe로 이루어진 결정이 미량 존재한다. 시료(7)과 시료(8)의 세라믹에는 Ti 또는 Fe로 이루어진 결정이 함유되어 있지 않다. 따라서, Ti와 Fe는 대부분 Mn-Al 스피넬 결정에 고용(固溶)되는 것으로 판정된다. 그 결과로서 생성된 부정비(不定比) 화합물 중의 격자 결함에 의해 도전성이 효율적으로 발현된다.
결정 격자 사이에 산소가 결핍된 상태를 산소 부족형 격자 결함이라고 한다. 결정의 격자 사이에 산소가 과잉으로 함유된 상태를 산소 과잉형 또는 금속 부족형 격자 결함이라고 한다. 양쪽형 격자 결함이 3d 전이금속의 산화물인 TiO2에 생성될 수 있다. TiO2는 광범위한 부정비를 갖는다. 3d 전이금속인 Fe의 산화물에는 산소 부족형 격자 결함과 산소 과잉형 격자 결함이 복합적으로 생성될 수 있다. 산화물이 부정비 화합물로 되기 쉬운 Ti와 Fe는, 알루미나의 비율을 과도하게 저하시키지 않고 다수의 격자 결함을 발현시킬 수 있다.
시료(5)와 시료(7)의 파편을 다이아몬드 숫돌 입자에 의해 버프(buff) 연마하였다. EPMA(Electron Probe X-ray Micro Analyzer)에 의해 이들 파편을 Mg, Ca, Al, Fe, Si, Mn 및 Ti 각각의 원소에 대해 분석하였다. 도 5와 도 6은 각각 시료(5)와 시료(7)의 원소 맵을 도시한 것이다. Mn은 불균일하게 분포되어 있다. Mn의 분포 범위는 Mn-Al 스피넬 결정이 생성된 장소를 나타내며, 이는 Fe 또는 Ti의 분포 범위와 중첩되어 있다. Ca도 불균일하게 분포되어 있다. Ca의 분포 범위는 아노사이트 결정이 생성된 장소를 나타내며, 이는 Mn, Ti 및 Fe의 분포 범위와 거의 인접하고 있다. 각각의 성분이 냉각 과정에서 분리되어 Mn-Al 스피넬 결정과 아노사이트 결정이 생성되는 것으로 추정된다. 또는, 소성 과정에서 고온하에 Mn-Al 스피넬 결정이 용융 유리의 계면에 생성되는 것으로 추정된다. 어떻든 간에, 아노사이트 결정의 생성은 Mn, Ti 및 Fe의 중첩된 분포에 기여하고 있다.
체적 고유저항의 측정에서 사용된 것과 동일한 100mm의 정사각형 시료를 광반사율의 측정을 위해 사용하였다. 파장이 220 내지 800nm인 광을 시료의 표면에 조사하였다. 확산 반사되는 광을 검출하여 누적 반사율을 구하고, 0°로 반사되는 광을 검출하여 정반사율을 구하였다. 시료의 표면 조도는 0.6μRa이었다. 탄산바륨 분말의 가압 성형체의 누적 반사율을 100%로 하였다. 거울면으로 가공된 알루미늄 소재의 정반사율을 100%로 하였다. 도 7, 도 8, 도 9 및 도 10은 파장 220 내지 800nm에서 시료(1), 시료(5), 시료(6) 및 시료(7)의 누적 반사율을 도시한 것이다. 동일하게, 도 11, 도 12, 도 13 및 도 14는 이들 시료의 정반사율을 도시한 것이다. 누적 반사율은 220 내지 350nm의 파장에서 10.3 내지 15.0%이고, 400 내지 550nm의 파장에서 11.9 내지 16.5%이며, 600 내지 800nm의 파장에서 13.8 내지 21.7%이다. 정반사율은 220 내지 350nm의 파장에서 0.6 내지 0.9%이고, 400 내지 550nm의 파장에서 0.8 내지 1.0%이며, 600 내지 800nm의 파장에서 0.9 내지 1.7%이었다.
표 2에 시료(1)의 반사율을 100%로 하는 경우의 시료(5) 내지 시료(8)의 반사율의 비율을 기재하였다. 표 2에서, 시료(5) 내지 시료(8)의 누적 반사율은 시료(1)의 누적 반사율의 18 내지 62% 정도이다. 또한, 시료(5) 내지 시료(8)의 정반사율은 시료(1)의 정반사율의 28 내지 67% 정도이다.
시료(5), 시료(6) 및 시료(7)과 동일한 분말 성형체를, 전기로 대신에 LPG로를 사용하여 세라믹으로 소성시켰다. 표 3은 이들 세라믹의 특성을 기재한 것이며, 이들 세라믹은 충분히 높은 비강성, 낮은 체적 고유저항, 낮은 반사율을 갖는다.
최근 수년 동안, FPD용 기판의 대형화에 따라, 대형 정밀 척 또는 지지대의 수요가 증가하고 있다. "미터" 단위로 표시될 정도의 대형 기판을 구비한 정밀 척 또한 공지되어 있다. FPD 제조장치 및 반도체 제조장치에서 이러한 대형 정밀 척 또는 지지대에 본 발명의 세라믹을 적용할 수 있다. 또한, 당해 세라믹의 제조방법은 특별한 분위기를 필요로 하지 않는다.
Claims (10)
- Mn, Ti, Fe, Si, Ca, Mg, 및 80중량% 이상의 알루미나(Al2O3)를 함유하며, 소성에 의해 Mn-Al 스피넬(MnOㆍAl2O3) 결정과 아노사이트(CaOㆍAl2O3ㆍ2SiO2) 결정이 생성되는, 체적 고유저항이 1 ×1011Ωㆍ㎝ 이하인 세라믹.
- 제1항에 있어서, 산화물로 환산한 Mn, Ti 및 Fe의 함량이 총 2 내지 11중량% 이상인 세라믹.
- 제1항에 있어서, 산화물(MnO)로 환산한 Mn의 함량이 0.5중량% 이상인 세라믹.
- 제1항에 있어서, 산화물(TiO2)로 환산한 Ti의 함량이 0.5중량% 이상이고, 산화물(Fe2O3)로 환산한 Fe의 함량이 O.5중량% 이상인 세라믹.
- 제1항에 있어서, 비강성이 65GPaㆍ㎤/g 이상인 세라믹.
- 제1항에 있어서, 연마된 세라믹의 표면에 광이 조사되는 경우, 누적 반사율이 220 내지 350nm의 파장에서 10.3 내지 15.0%이고, 400 내지 550nm의 파장에서 11.9 내지 16.5%이며, 600 내지 800nm의 파장에서 13.8 내지 21.7%인 세라믹.
- 제1항에 있어서, 표면 조도가 0.6μRa인 세라믹의 표면에 광이 조사되는 경우, 0°에서의 정반사율이 220 내지 350nm의 파장에서 0.6 내지 0.9%이고, 400 내지 550nm의 파장에서 0.8 내지 1.0%이며, 600 내지 800nm의 파장에서 0.9 내지 1.7%인 세라믹.
- 제1항에 있어서, 산화물로 환산한 Si, Ca 및 Mg의 함량이 총 6 내지 9중량% 이상인 세라믹.
- 제1항에 있어서, 산화물(SiO2)로 환산한 Si의 함량이 4중량% 이상이고, 산화물(CaO)로 환산한 Ca의 함량이 0.4중량% 이상이며, 산화물(MgO)로 환산한 Mg의 함량이 0.4중량% 이상인 세라믹.
- 이산화망간(MnO2), 산화티탄(TiO2), 산화철(Fe2O3), 규석 또는 점토, 돌로마이트, 칼사이트, 마그네사이트, 및 주성분으로서의 알루미나(Al2O3)를 함유하는 혼합 분말로 성형체를 제조하고, 당해 성형체를 LPG로 또는 전기로에서 1300 내지 1450℃에서 소성시켜 Mn-Al 스피넬 결정과 아노사이트 결정(CaOㆍAl2O3ㆍ2SiO2)을 생성시키는, 세라믹의 제조방법.
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002267186A JP4248833B2 (ja) | 2002-09-12 | 2002-09-12 | セラミックス及びその製造方法 |
| JPJP-P-2002-00267186 | 2002-09-12 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR20050052489A true KR20050052489A (ko) | 2005-06-02 |
| KR100961629B1 KR100961629B1 (ko) | 2010-06-09 |
Family
ID=31986693
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020057004059A KR100961629B1 (ko) | 2002-09-12 | 2003-09-10 | 세라믹 및 이의 제조방법 |
Country Status (7)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US7091146B2 (ko) |
| EP (1) | EP1538132B1 (ko) |
| JP (1) | JP4248833B2 (ko) |
| KR (1) | KR100961629B1 (ko) |
| CN (1) | CN1296313C (ko) |
| TW (1) | TW200413270A (ko) |
| WO (1) | WO2004024649A1 (ko) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20140133436A (ko) * | 2013-05-09 | 2014-11-19 | 신꼬오덴기 고교 가부시키가이샤 | 정전 척 및 반도체 제조 장치 |
| KR20200071986A (ko) * | 2018-12-12 | 2020-06-22 | 한국세라믹기술원 | 산화티탄-산화망간 복합 세라믹스의 제조방법 |
Families Citing this family (20)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1309681C (zh) * | 2005-08-10 | 2007-04-11 | 武汉科技大学 | 一种合成锰铝尖晶石及其制备方法 |
| JP2010177415A (ja) * | 2009-01-29 | 2010-08-12 | Kyocera Corp | 保持用治具およびこれを備えた吸着装置 |
| US8899564B2 (en) | 2009-02-23 | 2014-12-02 | Sodick Co., Ltd. | Colored ceramic vacuum chuck and manufacturing method thereof |
| JP5396353B2 (ja) * | 2009-09-17 | 2014-01-22 | 日本碍子株式会社 | 静電チャック及びその製法 |
| CN101962287B (zh) * | 2010-09-14 | 2012-10-17 | 石家庄铁道大学 | 可加工的氧化铝基复合陶瓷材料及其制备方法 |
| JP4989792B2 (ja) * | 2010-11-01 | 2012-08-01 | 昭和電工株式会社 | アルミナ質焼結体の製造方法、アルミナ質焼結体、砥粒、及び砥石 |
| CN103189330B (zh) | 2010-11-01 | 2014-09-24 | 昭和电工株式会社 | 氧化铝质烧结体、磨粒和砂轮 |
| KR101316665B1 (ko) * | 2010-11-01 | 2013-10-10 | 쇼와 덴코 가부시키가이샤 | 알루미나질 소결체, 숫돌입자, 및 숫돌 |
| JP5998787B2 (ja) * | 2011-12-02 | 2016-09-28 | Toto株式会社 | 半導電性セラミックス焼結体 |
| JP6056312B2 (ja) | 2011-12-02 | 2017-01-11 | Toto株式会社 | 半導電性セラミックス焼結体 |
| JP6017895B2 (ja) * | 2012-09-03 | 2016-11-02 | 日本特殊陶業株式会社 | アルミナ質焼結体の製造方法、真空チャックの製造方法、及び静電チャックの製造方法 |
| PT2933236T (pt) | 2014-04-15 | 2016-07-26 | Refractory Intellectual Property Gmbh & Co Kg | Composição cerâmica refratária, utilização de uma tal composição e vaso de fusão metalúrgica |
| CN107663080B (zh) * | 2016-07-27 | 2020-05-08 | 北京华卓精科科技股份有限公司 | 应用于j-r型静电卡盘的氧化铝陶瓷及其制备方法 |
| RU2633463C1 (ru) * | 2016-07-29 | 2017-10-12 | Общество с ограниченной ответственностью "АЛОКС" | СПОСОБ ПРИГОТОВЛЕНИЯ ШИХТЫ ДЛЯ КОРУНДОВОЙ КЕРАМИКИ (варианты) |
| DE112017006548T5 (de) * | 2016-12-26 | 2019-09-26 | Kyocera Corporation | Korrosionsbeständiges element |
| US10585358B2 (en) * | 2017-09-19 | 2020-03-10 | Corning Incorpotated | Method for manufacturing a flat polymer coated electrostatic chuck |
| CN108395222B (zh) * | 2018-03-15 | 2021-09-17 | 江苏瓷光光电有限公司 | 一种反射式激光显示用光转换、散热一体化陶瓷材料及其制备方法 |
| CN108649148B (zh) * | 2018-06-20 | 2021-05-14 | 上海定向材料科技有限公司 | 一种瘠性钛酸铝复合材料匣钵的制备方法 |
| JP7194306B1 (ja) | 2022-07-27 | 2022-12-21 | 黒崎播磨株式会社 | アルミナ焼結体及び静電チャック |
| TW202423875A (zh) * | 2022-11-29 | 2024-06-16 | 日商京瓷股份有限公司 | 陶瓷燒結體 |
Family Cites Families (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5424118B1 (ko) * | 1968-10-18 | 1979-08-18 | ||
| JPS60176966A (ja) * | 1984-02-20 | 1985-09-11 | 日本特殊陶業株式会社 | 着色アルミナ磁器組成物 |
| JPH0697675B2 (ja) | 1985-10-21 | 1994-11-30 | 東陶機器株式会社 | 静電チャック基盤 |
| US4714640A (en) * | 1986-02-04 | 1987-12-22 | General Electric Co. | (Alumina electrically conductive) guide article |
| JPS6422225A (en) | 1987-07-17 | 1989-01-25 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Electric cleaner equipped with rotary brush |
| ATE95513T1 (de) * | 1988-04-26 | 1993-10-15 | Toto Ltd | Verfahren zur herstellung dielektrischer keramik fuer elektrostatische haltevorrichtungen. |
| US5830819A (en) * | 1994-04-20 | 1998-11-03 | Kyocera Corporation | Alumina sintered product |
| JPH0867553A (ja) * | 1994-08-29 | 1996-03-12 | Kyocera Corp | 電子銃用アルミナ質焼結体 |
| JPH08262090A (ja) | 1995-03-18 | 1996-10-11 | Tokyo Electron Ltd | 液晶表示体用基板の検査装置 |
| JPH08139168A (ja) | 1994-11-10 | 1996-05-31 | Toto Ltd | 露光用保持治具 |
| US5658838A (en) * | 1995-03-17 | 1997-08-19 | Norton Desmarquest Fine Ceramics | Alumina-based ceramic for sintering, method of manufacture and sliding parts obtained thereby |
| JP3769081B2 (ja) | 1996-09-24 | 2006-04-19 | 新日本製鐵株式会社 | 黒色ＡｌＮ系セラミックスの製造方法 |
| JPH11189458A (ja) | 1997-12-26 | 1999-07-13 | Kyocera Corp | 半導電性セラミックス及びその製造方法 |
| JPH11245133A (ja) | 1998-02-27 | 1999-09-14 | Alps Electric Co Ltd | スライダ製造用治具 |
| JP3133302B2 (ja) | 1999-06-29 | 2001-02-05 | 新日本製鐵株式会社 | 黒色低熱膨張セラミックス焼結体及びその製造方法 |
-
2002
- 2002-09-12 JP JP2002267186A patent/JP4248833B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
2003
- 2003-09-10 CN CNB038027275A patent/CN1296313C/zh not_active Expired - Lifetime
- 2003-09-10 EP EP03795349.4A patent/EP1538132B1/en not_active Expired - Lifetime
- 2003-09-10 KR KR1020057004059A patent/KR100961629B1/ko active IP Right Grant
- 2003-09-10 WO PCT/JP2003/011538 patent/WO2004024649A1/ja active Application Filing
- 2003-09-10 TW TW092124961A patent/TW200413270A/zh unknown
-
2004
- 2004-07-21 US US10/895,091 patent/US7091146B2/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20140133436A (ko) * | 2013-05-09 | 2014-11-19 | 신꼬오덴기 고교 가부시키가이샤 | 정전 척 및 반도체 제조 장치 |
| KR20200071986A (ko) * | 2018-12-12 | 2020-06-22 | 한국세라믹기술원 | 산화티탄-산화망간 복합 세라믹스의 제조방법 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2004099413A (ja) | 2004-04-02 |
| US20040266606A1 (en) | 2004-12-30 |
| TW200413270A (en) | 2004-08-01 |
| KR100961629B1 (ko) | 2010-06-09 |
| EP1538132A1 (en) | 2005-06-08 |
| JP4248833B2 (ja) | 2009-04-02 |
| WO2004024649A1 (ja) | 2004-03-25 |
| EP1538132A4 (en) | 2009-09-02 |
| CN1296313C (zh) | 2007-01-24 |
| CN1622924A (zh) | 2005-06-01 |
| EP1538132B1 (en) | 2013-07-24 |
| US7091146B2 (en) | 2006-08-15 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR100961629B1 (ko) | 세라믹 및 이의 제조방법 | |
| US6939819B2 (en) | Glass ceramic composition | |
| Ouchi | Piezoelectric Properties and Phase Relations of Pb (Mg1/3Nb2/3) O3‐PbTiO3− PbZrO3 Ceramics with Barium or Strontium Substitutions | |
| US7229940B2 (en) | Dense cordierite based sintered body and method of manufacturing the same | |
| JPH09205036A (ja) | 改質バリウムストロンチウムチタネートの誘電体を備える多層コンデンサー | |
| KR20010090765A (ko) | 비환원성 유전체 세라믹 및 이것을 사용한 모놀리식세라믹 커패시터 | |
| JPH04292440A (ja) | 化学的に安定化されたクリストバライト | |
| EP0466122B1 (en) | Dielectric ceramic compositions and manufacturing method of dielectric ceramics | |
| Reda et al. | Sintering and dielectric behavior for doped cordierite by xCuO within MgO (1-x)–Al2O3–SiO2 ceramics | |
| US7312172B2 (en) | Dielectric ceramic composition, electronic device and production methods of the same | |
| JPWO2008114619A1 (ja) | 誘電体磁器およびコンデンサ | |
| JPH0335257B2 (ko) | ||
| JP2009012990A (ja) | 誘電体磁器およびこれを用いた積層セラミックコンデンサ | |
| JP2009126754A (ja) | 誘電体磁器組成物の製造方法 | |
| JP2001278662A (ja) | 誘電体磁器およびその製法 | |
| CN110550948B (zh) | 高耐压陶瓷电容器介质材料、其制备方法及其电容器的制备方法 | |
| JP3287104B2 (ja) | 焦電体材料及びそれを用いた焦電用受光素子の製造方法、及びそれを用いた赤外線センサー | |
| JP3438008B2 (ja) | チタン酸バリウム系セラミック用被覆ガラス | |
| JP2508373B2 (ja) | 誘電体磁器組成物および誘電体磁器の製造方法 | |
| JPH10259055A (ja) | 誘電体磁器組成物と磁器コンデンサ | |
| JPH0335258B2 (ko) | ||
| JPH1174144A (ja) | 積層セラミックコンデンサ | |
| JP3196461B2 (ja) | 焦電体磁器組成物及びそれを用いた赤外線センサー | |
| JPH10303057A (ja) | セラミック電子部品とその製造方法 | |
| JP2000215733A (ja) | 誘電体磁器材料 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A201 | Request for examination | ||
| E902 | Notification of reason for refusal | ||
| E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
| GRNT | Written decision to grant | ||
| FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20130225 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20140225 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20150224 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20160224 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20170519 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20180523 Year of fee payment: 9 |