JP2001278662A - 誘電体磁器およびその製法 - Google Patents
誘電体磁器およびその製法Info
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- JP2001278662A JP2001278662A JP2000093738A JP2000093738A JP2001278662A JP 2001278662 A JP2001278662 A JP 2001278662A JP 2000093738 A JP2000093738 A JP 2000093738A JP 2000093738 A JP2000093738 A JP 2000093738A JP 2001278662 A JP2001278662 A JP 2001278662A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】燒成後の磁器破断面におけるＭｎ粒子の偏析を
低減することができるとともに、高温負荷試験における
信頼性を向上できる誘電体磁器を提供する。 【解決手段】組成式｛（Ｂａ1-xＣａx)m(Ｔｉ1-yＺ
ｒy)｝Ｏ3（但し、０．０１≦ｘ≦０．１０、０．１５
≦ｙ≦０．２５、０．９８≦ｍ≦１．０１）で表される
結晶粒子１００重量部に対してＭｎＯ2が０．１〜０．
３重量部含有された主成分と、該主成分１００重量部に
対して、ＳｉＯ2、Ｙ2Ｏ3、ＢａＯ、ＣａＯと、Ｌｉ2Ｏ
又はＢ2Ｏ3からなるガラス成分を０．２〜３．０重量部
含有してなる。
低減することができるとともに、高温負荷試験における
信頼性を向上できる誘電体磁器を提供する。 【解決手段】組成式｛（Ｂａ1-xＣａx)m(Ｔｉ1-yＺ
ｒy)｝Ｏ3（但し、０．０１≦ｘ≦０．１０、０．１５
≦ｙ≦０．２５、０．９８≦ｍ≦１．０１）で表される
結晶粒子１００重量部に対してＭｎＯ2が０．１〜０．
３重量部含有された主成分と、該主成分１００重量部に
対して、ＳｉＯ2、Ｙ2Ｏ3、ＢａＯ、ＣａＯと、Ｌｉ2Ｏ
又はＢ2Ｏ3からなるガラス成分を０．２〜３．０重量部
含有してなる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は誘電体磁器に関する
ものであり、特に、内部電極に卑金属材料、例えばＮｉ
等を用いることができる積層型磁器コンデンサの誘電体
磁器に関するものである。
ものであり、特に、内部電極に卑金属材料、例えばＮｉ
等を用いることができる積層型磁器コンデンサの誘電体
磁器に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、積層型磁器コンデンサは、所定の
誘電体磁器組成物からなるグリーンシートに導電ペース
トを印刷し、該導電ペーストを印刷した複数枚のグリー
ンシートを積層し、グリーンシートと内部電極とを一体
的に焼成し、形成されている。
誘電体磁器組成物からなるグリーンシートに導電ペース
トを印刷し、該導電ペーストを印刷した複数枚のグリー
ンシートを積層し、グリーンシートと内部電極とを一体
的に焼成し、形成されている。
【０００３】そして、従来、卑金属を内部電極として用
いることができる非還元性誘電体磁器組成物として、例
えば、特公昭５７−４２５８８号公報に開示されるよう
なものが知られている。この公報に開示される誘電体磁
器組成物は、組成式［（Ｂａ 1-x-yＣａxＳｒy）Ｏ］mＴ
ｉＯ2で表されるものである。
いることができる非還元性誘電体磁器組成物として、例
えば、特公昭５７−４２５８８号公報に開示されるよう
なものが知られている。この公報に開示される誘電体磁
器組成物は、組成式［（Ｂａ 1-x-yＣａxＳｒy）Ｏ］mＴ
ｉＯ2で表されるものである。
【０００４】しかしながら、特公昭５７−４２５８８号
に開示された誘電体磁器組成物では、焼成時に発生する
誘電体材料の還元反応を抑えることができるものの、焼
成温度が１３００℃を越えてしまい、積層型磁器コンデ
ンサの内部電極にＮｉを用いた場合、Ｎｉ粒子が凝集反
応を示し、安定した電極形成が困難であった。また、同
時にＮｉ粒子が誘電体磁器に拡散反応を示し、絶縁抵抗
値を劣化させるという問題点があった。そこで、近年、
低温焼成が可能な誘電体磁器組成物として、特公平６−
１４４９６号および特開平４−３６７５５９号公報に開
示されるようなものが知られている。
に開示された誘電体磁器組成物では、焼成時に発生する
誘電体材料の還元反応を抑えることができるものの、焼
成温度が１３００℃を越えてしまい、積層型磁器コンデ
ンサの内部電極にＮｉを用いた場合、Ｎｉ粒子が凝集反
応を示し、安定した電極形成が困難であった。また、同
時にＮｉ粒子が誘電体磁器に拡散反応を示し、絶縁抵抗
値を劣化させるという問題点があった。そこで、近年、
低温焼成が可能な誘電体磁器組成物として、特公平６−
１４４９６号および特開平４−３６７５５９号公報に開
示されるようなものが知られている。
【０００５】特公平６−１４４９６号には、｛（Ｂａ
1-xＣａx)｝Ｏm(Ｔｉ1-y-zＺｒyＲz )Ｏ2-z/2（ＲはＹ
等の希土類元素）で表される基本成分と、ＳｉＯ2、Ｌ
ｉ2ＯおよびＭＯ（ＭＯはＢａＯ等）からなる添加成分
との混合物を焼成してなるものが開示されている。この
公報には、基本成分を１２００℃で仮焼し、添加成分を
１０００℃で仮焼し、基本成分と添加成分の仮焼粉末を
混合し、この混合粉末でスラリーを形成し、所定形状に
成形し、１１５０℃で焼成することにより焼結体が得ら
れている。
1-xＣａx)｝Ｏm(Ｔｉ1-y-zＺｒyＲz )Ｏ2-z/2（ＲはＹ
等の希土類元素）で表される基本成分と、ＳｉＯ2、Ｌ
ｉ2ＯおよびＭＯ（ＭＯはＢａＯ等）からなる添加成分
との混合物を焼成してなるものが開示されている。この
公報には、基本成分を１２００℃で仮焼し、添加成分を
１０００℃で仮焼し、基本成分と添加成分の仮焼粉末を
混合し、この混合粉末でスラリーを形成し、所定形状に
成形し、１１５０℃で焼成することにより焼結体が得ら
れている。
【０００６】また、特開平４−３６７５５９号公報に
は、（Ｂａ1-xＣａx)m(Ｔｉ1-yＺｒy) nＯ3＋ａＭ１＋ｂ
Ｍ２＋ｃＭ３（Ｍ１はＭｎ等の化合物、Ｍ２はＳｉの化
合物、Ｍ３はＹの化合物）で表されている誘電体磁器組
成物が開示されている。この公報には、ＢａＣＯ3、Ｃ
ａＣＯ3、ＴｉＯ2、ＺｒＯ2、ＳｉＯ2、Ｙ2Ｏ3等の粉末
を混合し、この粉末を１０５０〜１２４０℃で仮焼し、
この仮焼粉末を用いて成形体を作製し、８００〜１１０
０℃で焼成することにより焼結体が得られている。
は、（Ｂａ1-xＣａx)m(Ｔｉ1-yＺｒy) nＯ3＋ａＭ１＋ｂ
Ｍ２＋ｃＭ３（Ｍ１はＭｎ等の化合物、Ｍ２はＳｉの化
合物、Ｍ３はＹの化合物）で表されている誘電体磁器組
成物が開示されている。この公報には、ＢａＣＯ3、Ｃ
ａＣＯ3、ＴｉＯ2、ＺｒＯ2、ＳｉＯ2、Ｙ2Ｏ3等の粉末
を混合し、この粉末を１０５０〜１２４０℃で仮焼し、
この仮焼粉末を用いて成形体を作製し、８００〜１１０
０℃で焼成することにより焼結体が得られている。
【０００７】これらの誘電体磁器組成物では、還元性雰
囲気で焼成しても磁器が還元されず、焼成温度を１１５
０℃以下とすることができ、低温焼成が可能である。
囲気で焼成しても磁器が還元されず、焼成温度を１１５
０℃以下とすることができ、低温焼成が可能である。
【０００８】しかしながら、上記した誘電体磁器は、高
温中における信頼性が低いという問題があった。即ち、
近年においては小型高容量化が要求されているが、この
ために積層型磁器コンデンサにおける誘電体層を薄層化
すると絶縁抵抗の低下等により信頼性不良が多発すると
いう問題があった。
温中における信頼性が低いという問題があった。即ち、
近年においては小型高容量化が要求されているが、この
ために積層型磁器コンデンサにおける誘電体層を薄層化
すると絶縁抵抗の低下等により信頼性不良が多発すると
いう問題があった。
【０００９】そこで、本発明者等は、上記問題点につい
て鋭意検討した結果、特公平６−１４４９６号および特
開平４−３６７５５９号公報のように、添加される希土
類元素を誘電特性を向上するために添加するＹを、結晶
相中に固溶させるのではなく、主結晶相の粒界に主にガ
ラスとして存在せしめることにより、誘電特性を向上で
きるとともに、積層型磁器コンデンサの誘電体層を薄層
化した場合において、高温中における信頼性不良を低減
することができ、長寿命とできることを知見し、特開平
１０−２７９３５３号、特開平１１−１３０５３１号公
報で発明に至っている。
て鋭意検討した結果、特公平６−１４４９６号および特
開平４−３６７５５９号公報のように、添加される希土
類元素を誘電特性を向上するために添加するＹを、結晶
相中に固溶させるのではなく、主結晶相の粒界に主にガ
ラスとして存在せしめることにより、誘電特性を向上で
きるとともに、積層型磁器コンデンサの誘電体層を薄層
化した場合において、高温中における信頼性不良を低減
することができ、長寿命とできることを知見し、特開平
１０−２７９３５３号、特開平１１−１３０５３１号公
報で発明に至っている。
【００１０】
【発明が解決しようとしている課題】しかしながら、特
開平１０−２７９３５３号、特開平１１−１３０５３１
号公報に開示された誘電体磁器では、燒成後の磁器破断
面において、Ｍｎ粒子が偏析しやすく、積層型磁器コン
デンサの誘電体層を、従来に比べて、さらに薄層化した
場合において、高温負荷試験において、積層型磁器コン
デンサの内部電極間で導通が起きやすくなり、信頼性が
低いという問題があった。
開平１０−２７９３５３号、特開平１１−１３０５３１
号公報に開示された誘電体磁器では、燒成後の磁器破断
面において、Ｍｎ粒子が偏析しやすく、積層型磁器コン
デンサの誘電体層を、従来に比べて、さらに薄層化した
場合において、高温負荷試験において、積層型磁器コン
デンサの内部電極間で導通が起きやすくなり、信頼性が
低いという問題があった。
【００１１】本発明は上述の課題に鑑みて案出されたも
のであり、その目的は燒成後の磁器破断面において、Ｍ
ｎ粒子の偏析を低減し、積層型磁器コンデンサの誘電体
層をさらに薄層化した場合においても、高温負荷試験に
おける信頼性を向上することができ、長寿命とできる誘
電体磁器を提供することを目的とする。
のであり、その目的は燒成後の磁器破断面において、Ｍ
ｎ粒子の偏析を低減し、積層型磁器コンデンサの誘電体
層をさらに薄層化した場合においても、高温負荷試験に
おける信頼性を向上することができ、長寿命とできる誘
電体磁器を提供することを目的とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】本発明の誘電体磁器は、
組成式｛（Ｂａ1-xＣａx)m(Ｔｉ1-yＺｒy)｝Ｏ3（但
し、０．０１≦ｘ≦０．１０、０．１５≦ｙ≦０．２
５、０．９８≦ｍ≦１．０１）で表される結晶粒子１０
０重量部に対してＭｎＯ2が０．１〜０．３重量部含有
した主成分と、該主成分１００重量部に対して、ＳｉＯ
2、Ｙ2Ｏ3、ＢａＯ、ＣａＯと、Ｌｉ2Ｏ又はＢ2Ｏ3から
なるガラス成分を０．２〜３．０重量部含有するととも
に、ガラス成分が、ＳｉＯ2、Ｙ2Ｏ3、ＢａＯ、ＣａＯ
と、Ｌｉ2ＯまたはＢ2Ｏ3の５成分組成において、Ｓｉ
Ｏ2が２０〜５０モル％、Ｙ2Ｏ3が５〜３０モル％、Ｂ
ａＯ、ＣａＯがそれぞれ５〜２０モル％、Ｌｉ2Ｏまた
はＢ2Ｏ 3が１０〜４０モル％含有してなることを特徴と
するものである。
組成式｛（Ｂａ1-xＣａx)m(Ｔｉ1-yＺｒy)｝Ｏ3（但
し、０．０１≦ｘ≦０．１０、０．１５≦ｙ≦０．２
５、０．９８≦ｍ≦１．０１）で表される結晶粒子１０
０重量部に対してＭｎＯ2が０．１〜０．３重量部含有
した主成分と、該主成分１００重量部に対して、ＳｉＯ
2、Ｙ2Ｏ3、ＢａＯ、ＣａＯと、Ｌｉ2Ｏ又はＢ2Ｏ3から
なるガラス成分を０．２〜３．０重量部含有するととも
に、ガラス成分が、ＳｉＯ2、Ｙ2Ｏ3、ＢａＯ、ＣａＯ
と、Ｌｉ2ＯまたはＢ2Ｏ3の５成分組成において、Ｓｉ
Ｏ2が２０〜５０モル％、Ｙ2Ｏ3が５〜３０モル％、Ｂ
ａＯ、ＣａＯがそれぞれ５〜２０モル％、Ｌｉ2Ｏまた
はＢ2Ｏ 3が１０〜４０モル％含有してなることを特徴と
するものである。
【００１３】さらに、本発明の誘電体磁器の製法は、組
成式｛（Ｂａ1-xＣａx)m(Ｔｉ1-yＺｒy)｝Ｏ3（但し、
０．０１≦ｘ≦０．１０、０．１５≦ｙ≦０．２５、
０．９８≦ｍ≦１．０１）で表される結晶粒子の粉末
に、該結晶粒子粉末１００重量部に対してＭｎＯ2粉末
を０．１〜０．３重量部添加後仮焼し、該仮焼粉末を成
形した後、焼成することを特徴とする方法である。
成式｛（Ｂａ1-xＣａx)m(Ｔｉ1-yＺｒy)｝Ｏ3（但し、
０．０１≦ｘ≦０．１０、０．１５≦ｙ≦０．２５、
０．９８≦ｍ≦１．０１）で表される結晶粒子の粉末
に、該結晶粒子粉末１００重量部に対してＭｎＯ2粉末
を０．１〜０．３重量部添加後仮焼し、該仮焼粉末を成
形した後、焼成することを特徴とする方法である。
【００１４】
【発明の実施の形態】本発明の誘電体磁器は、組成式
｛（Ｂａ1-xＣａx)m(Ｔｉ1-yＺｒy)｝Ｏ3（但し、０．
０１≦ｘ≦０．１０、０．１５≦ｙ≦０．２５、０．９
８≦ｍ≦１．０１）で表される結晶粒子の周囲にＭｎ粒
子が包囲された主結晶粒子と、Ｙ2Ｏ3を含有する粒界相
とからなるものである。
｛（Ｂａ1-xＣａx)m(Ｔｉ1-yＺｒy)｝Ｏ3（但し、０．
０１≦ｘ≦０．１０、０．１５≦ｙ≦０．２５、０．９
８≦ｍ≦１．０１）で表される結晶粒子の周囲にＭｎ粒
子が包囲された主結晶粒子と、Ｙ2Ｏ3を含有する粒界相
とからなるものである。
【００１５】この組成式において、xはＣａ原子数を表
すが、このＣａは主に温度特性を平坦化するディプレッ
サーとして作用するとともに、絶縁抵抗値を向上させる
元素として作用するものである。ｘが０．０１未満にな
ると絶縁抵抗値が１×１０9Ωを下回ることになり、ま
た、ｘが０．１０を越えると比誘電率が８０００を下回
り、いずれの場合でも積層磁器コンデンサとしての基本
特性を満足することができない。従って、ｘの値は、
０．０１≦ｘ≦０．１０の範囲が望ましく、特に０．０
３≦ｘ≦０．０８の範囲が望ましい。
すが、このＣａは主に温度特性を平坦化するディプレッ
サーとして作用するとともに、絶縁抵抗値を向上させる
元素として作用するものである。ｘが０．０１未満にな
ると絶縁抵抗値が１×１０9Ωを下回ることになり、ま
た、ｘが０．１０を越えると比誘電率が８０００を下回
り、いずれの場合でも積層磁器コンデンサとしての基本
特性を満足することができない。従って、ｘの値は、
０．０１≦ｘ≦０．１０の範囲が望ましく、特に０．０
３≦ｘ≦０．０８の範囲が望ましい。
【００１６】前記組成式において、ｙはＺｒの原子数を
表すが、このＺｒは主にキュリー点を低温側に移動させ
るシフターとして作用するものである。ｙが０．１５未
満となると誘電損失が５．０％を越えてしまい、また、
ｙが０．２５を越えると比誘電率が８０００を下回り、
いずれの場合でも積層磁器コンデンサとしての基本特性
を満足することができない。従って、ｙの値は０．１５
≦ｙ≦０．２５の範囲が望ましい。
表すが、このＺｒは主にキュリー点を低温側に移動させ
るシフターとして作用するものである。ｙが０．１５未
満となると誘電損失が５．０％を越えてしまい、また、
ｙが０．２５を越えると比誘電率が８０００を下回り、
いずれの場合でも積層磁器コンデンサとしての基本特性
を満足することができない。従って、ｙの値は０．１５
≦ｙ≦０．２５の範囲が望ましい。
【００１７】前記組成式において、ｍが０．９８未満に
なると絶縁抵抗値が１×１０9Ω未満となってしまい、
また、ｍが１．０１を越えると焼結性が低下し、緻密な
焼結体が得られない。従って、ｍは０．９８≦ｍ≦１．
０１の範囲が好ましい。
なると絶縁抵抗値が１×１０9Ω未満となってしまい、
また、ｍが１．０１を越えると焼結性が低下し、緻密な
焼結体が得られない。従って、ｍは０．９８≦ｍ≦１．
０１の範囲が好ましい。
【００１８】ここで、Ｙ2Ｏ3が粒界に存在することによ
り、主結晶相の誘電特性を劣化させることなく、薄層化
した場合の信頼性不良を低減することができ、長寿命と
できるのである。
り、主結晶相の誘電特性を劣化させることなく、薄層化
した場合の信頼性不良を低減することができ、長寿命と
できるのである。
【００１９】本発明の誘電体磁器の製法は、組成式
｛（Ｂａ1-xＣａx)m(Ｔｉ1-yＺｒy)｝Ｏ 3で表される結
晶粒子の固溶体粉末に、ＭｎＯ2粉末を添加後、仮焼
し、この仮焼固溶体粉末をさらに仮焼粉末とした後、焼
成する。
｛（Ｂａ1-xＣａx)m(Ｔｉ1-yＺｒy)｝Ｏ 3で表される結
晶粒子の固溶体粉末に、ＭｎＯ2粉末を添加後、仮焼
し、この仮焼固溶体粉末をさらに仮焼粉末とした後、焼
成する。
【００２０】ここで、ＭｎＯ2粉末の添加量は、組成式
（１−α）ｗｔ％｛（Ｂａ1-xＣａx) m（Ｔｉ1-yＺｒy)
｝Ｏ3＋αｗｔ％ＭｎＯ2で表した場合、α＝０．１〜
０．３であることが望ましい。これは、Ｍｎが燒結性、
絶縁抵抗値を向上させる作用があり、０．１重量部未満
では燒結性向上効果が小さく、また、０．３重量部を越
えると比誘電率が低下し、コンデンサとしての基本特性
を満足することができないからである。
（１−α）ｗｔ％｛（Ｂａ1-xＣａx) m（Ｔｉ1-yＺｒy)
｝Ｏ3＋αｗｔ％ＭｎＯ2で表した場合、α＝０．１〜
０．３であることが望ましい。これは、Ｍｎが燒結性、
絶縁抵抗値を向上させる作用があり、０．１重量部未満
では燒結性向上効果が小さく、また、０．３重量部を越
えると比誘電率が低下し、コンデンサとしての基本特性
を満足することができないからである。
【００２１】このように、組成式｛（Ｂａ1-xＣａx)
m(Ｔｉ1-yＺｒy)｝Ｏ3で表される、粒径が大きい固溶体
粉末に、粒径が小さいＭｎＯ2粉末を添加後、前記固溶
体粉末の仮焼温度より低い温度で仮焼するため、該固溶
体粉末の周囲にＭｎ粒子が包囲された主結晶粒子が得ら
れる。すなわち、Ｍｎ粒子は固溶体粉末の周囲を物理的
に包囲しているだけで、ペロブスカイト構造の内部に取
り込まれていないので、誘電体磁器の電気的・機械的特
性に影響を与えることはない。ここで、該固溶体粉末を
混合粉砕する際に、Ｍｎ粒子は固溶体粉末と一緒に移動
するため、均一に分散しやすくなる。
m(Ｔｉ1-yＺｒy)｝Ｏ3で表される、粒径が大きい固溶体
粉末に、粒径が小さいＭｎＯ2粉末を添加後、前記固溶
体粉末の仮焼温度より低い温度で仮焼するため、該固溶
体粉末の周囲にＭｎ粒子が包囲された主結晶粒子が得ら
れる。すなわち、Ｍｎ粒子は固溶体粉末の周囲を物理的
に包囲しているだけで、ペロブスカイト構造の内部に取
り込まれていないので、誘電体磁器の電気的・機械的特
性に影響を与えることはない。ここで、該固溶体粉末を
混合粉砕する際に、Ｍｎ粒子は固溶体粉末と一緒に移動
するため、均一に分散しやすくなる。
【００２２】本発明の誘電体磁器の組成は、組成式
｛（Ｂａ1-xＣａx)m(Ｔｉ1-yＺｒy)｝Ｏ 3（但し、０．
０１≦ｘ≦０．１０、０．１５≦ｙ≦０．２５、０．９
８≦ｍ≦１．０１）で表される結晶粒子１００重量部に
対してＭｎＯ2が０．１〜０．３重量部含有した主成分
と、該主成分１００重量部に対して、ＳｉＯ2、Ｙ
2Ｏ3、ＢａＯ、ＣａＯと、Ｌｉ2Ｏ又はＢ2Ｏ3からなる
ガラス成分を０．２〜３．０重量部含有してなるもので
ある。
｛（Ｂａ1-xＣａx)m(Ｔｉ1-yＺｒy)｝Ｏ 3（但し、０．
０１≦ｘ≦０．１０、０．１５≦ｙ≦０．２５、０．９
８≦ｍ≦１．０１）で表される結晶粒子１００重量部に
対してＭｎＯ2が０．１〜０．３重量部含有した主成分
と、該主成分１００重量部に対して、ＳｉＯ2、Ｙ
2Ｏ3、ＢａＯ、ＣａＯと、Ｌｉ2Ｏ又はＢ2Ｏ3からなる
ガラス成分を０．２〜３．０重量部含有してなるもので
ある。
【００２３】ここで、組成式｛（Ｂａ1-xＣａx)m(Ｔｉ
1-yＺｒy)｝Ｏ3（但し、０．０１≦ｘ≦０．１０、０．
１５≦ｙ≦０．２５、０．９８≦ｍ≦１．０１）で表さ
れる結晶粒子１００重量部に対して、ＭｎＯ2を０．１
〜０．３重量部含有しているのは、Ｍｎは焼結性、絶縁
抵抗値を向上させる作用があり、０．１重量部未満では
焼結性向上効果が小さく、また、０．３重量部を越える
と比誘電率が低下し、積層磁器コンデンサとしての基本
特性を満足することができないからである。
1-yＺｒy)｝Ｏ3（但し、０．０１≦ｘ≦０．１０、０．
１５≦ｙ≦０．２５、０．９８≦ｍ≦１．０１）で表さ
れる結晶粒子１００重量部に対して、ＭｎＯ2を０．１
〜０．３重量部含有しているのは、Ｍｎは焼結性、絶縁
抵抗値を向上させる作用があり、０．１重量部未満では
焼結性向上効果が小さく、また、０．３重量部を越える
と比誘電率が低下し、積層磁器コンデンサとしての基本
特性を満足することができないからである。
【００２４】また、主成分１００重量部に対して、Ｓｉ
Ｏ2、Ｙ2Ｏ3、ＢａＯ、ＣａＯと、Ｌｉ2Ｏ又はＢ2 Ｏ3
を含むガラス成分を０．２〜３．０重量％添加している
のは、ガラス成分が０．２重量％未満となると焼結性が
低下し、緻密な焼結体が得られないためである。また、
３．０重量％を越えると絶縁抵抗値が１×１０9Ωを下
回ることになり、積層磁器コンデンサとしての基本特性
を満足することができないためである。
Ｏ2、Ｙ2Ｏ3、ＢａＯ、ＣａＯと、Ｌｉ2Ｏ又はＢ2 Ｏ3
を含むガラス成分を０．２〜３．０重量％添加している
のは、ガラス成分が０．２重量％未満となると焼結性が
低下し、緻密な焼結体が得られないためである。また、
３．０重量％を越えると絶縁抵抗値が１×１０9Ωを下
回ることになり、積層磁器コンデンサとしての基本特性
を満足することができないためである。
【００２５】このガラス成分は、ＳｉＯ2、Ｙ2Ｏ3、Ｂ
ａＯ、ＣａＯと、Ｌｉ2Ｏ又はＢ2Ｏ3の５成分組成にお
いて、ＳｉＯ2が２０〜５０モル％、Ｌｉ2ＯまたＢ2Ｏ
３が１０〜４０モル％、Ｙ2Ｏ3が５〜３０モル％、Ｂａ
Ｏ、ＣａＯがそれぞれ５〜２０モル％からなるものであ
る。ＳｉＯ2、Ｙ2Ｏ3、ＢａＯ、ＣａＯと、Ｌｉ2Ｏ又は
Ｂ2Ｏ3の量が、上記範囲を外れると電気特性、焼結性が
低下してしまう。
ａＯ、ＣａＯと、Ｌｉ2Ｏ又はＢ2Ｏ3の５成分組成にお
いて、ＳｉＯ2が２０〜５０モル％、Ｌｉ2ＯまたＢ2Ｏ
３が１０〜４０モル％、Ｙ2Ｏ3が５〜３０モル％、Ｂａ
Ｏ、ＣａＯがそれぞれ５〜２０モル％からなるものであ
る。ＳｉＯ2、Ｙ2Ｏ3、ＢａＯ、ＣａＯと、Ｌｉ2Ｏ又は
Ｂ2Ｏ3の量が、上記範囲を外れると電気特性、焼結性が
低下してしまう。
【００２６】本発明の誘電体磁器は以下のようにして作
製される。先ず、組成式｛（Ｂａ1- xＣａx) m（Ｔｉ1-y
Ｚｒy) ｝Ｏ3（但し、０．０１≦ｘ≦０．１０、０．１
５≦ｙ≦０．２５、０．９８≦ｍ≦１．０１）で表され
る結晶粒子粉末を作製する。この結晶粒子粉末は、固相
法または湿式合成法のどちらの製法を用いても同様の特
性が得られる。得られた結晶粒子粉末100重量部に対し
て、ＭｎＯ2粉末０．１〜０．３重量部を添加し、約１
０００〜１１００℃で仮焼後、湿式粉砕して仮焼主成分
粉末を作製する。
製される。先ず、組成式｛（Ｂａ1- xＣａx) m（Ｔｉ1-y
Ｚｒy) ｝Ｏ3（但し、０．０１≦ｘ≦０．１０、０．１
５≦ｙ≦０．２５、０．９８≦ｍ≦１．０１）で表され
る結晶粒子粉末を作製する。この結晶粒子粉末は、固相
法または湿式合成法のどちらの製法を用いても同様の特
性が得られる。得られた結晶粒子粉末100重量部に対し
て、ＭｎＯ2粉末０．１〜０．３重量部を添加し、約１
０００〜１１００℃で仮焼後、湿式粉砕して仮焼主成分
粉末を作製する。
【００２７】次に、ガラス成分粉末を、例えば、ＳｉＯ
2、Ｙ2Ｏ3、ＢａＣＯ3、ＣａＣＯ3、とＬｉ2ＣＯ3又は
Ｂ2Ｏ3粉末を上記した組成となるように混合し、これを
１２００〜１４００℃で溶融し、この溶融物を冷水中に
投入してガラスカレットを作製し、このガラスカレット
を粉砕して作製する。
2、Ｙ2Ｏ3、ＢａＣＯ3、ＣａＣＯ3、とＬｉ2ＣＯ3又は
Ｂ2Ｏ3粉末を上記した組成となるように混合し、これを
１２００〜１４００℃で溶融し、この溶融物を冷水中に
投入してガラスカレットを作製し、このガラスカレット
を粉砕して作製する。
【００２８】そして、このガラス成分粉末を、主成分粉
末１００重量部に対して０．２〜３．０重量部添加して
混合し、窒素雰囲気、または還元雰囲気中において１０
５０〜１２５０℃の温度で０．５〜５時間焼成すること
により、本発明の誘電体磁器が得られる。このように、
主成分粉末とは別に、Ｙ2Ｏ3をガラス成分として添加せ
しめることにより、Ｙ2Ｏ3が主にガラスとして粒界に存
在することになり、薄層化した場合においても信頼性が
向上し、長寿命化を図れるのである。
末１００重量部に対して０．２〜３．０重量部添加して
混合し、窒素雰囲気、または還元雰囲気中において１０
５０〜１２５０℃の温度で０．５〜５時間焼成すること
により、本発明の誘電体磁器が得られる。このように、
主成分粉末とは別に、Ｙ2Ｏ3をガラス成分として添加せ
しめることにより、Ｙ2Ｏ3が主にガラスとして粒界に存
在することになり、薄層化した場合においても信頼性が
向上し、長寿命化を図れるのである。
【００２９】尚、ＳｉＯ2、ＢａＯ、ＣａＯはガラスと
して粒界に存在する。また、Ｙ2Ｏ3、ＳｉＯ2は粒界に
結晶相として析出する場合もあるが、ガラスとして存在
することが望ましい。
して粒界に存在する。また、Ｙ2Ｏ3、ＳｉＯ2は粒界に
結晶相として析出する場合もあるが、ガラスとして存在
することが望ましい。
【００３０】本発明の誘電体磁器を用いた積層型磁器コ
ンデンサは、誘電体磁器からなる誘電体層、及び内部電
極とが交互に積層してなるコンデンサ本体と、このコン
デンサ本体の両端部に形成された第１の端子電極、およ
び第２の端子電極とから構成されている。
ンデンサは、誘電体磁器からなる誘電体層、及び内部電
極とが交互に積層してなるコンデンサ本体と、このコン
デンサ本体の両端部に形成された第１の端子電極、およ
び第２の端子電極とから構成されている。
【００３１】内部電極は、隣接する内部電極が交互に前
記対向する端面に導出し、第１の端子電極、又は第２の
端子電極に接続されて構成されている。この内部電極
は、卑金属のＮｉを主成分とした材料からなる。
記対向する端面に導出し、第１の端子電極、又は第２の
端子電極に接続されて構成されている。この内部電極
は、卑金属のＮｉを主成分とした材料からなる。
【００３２】このような積層型磁器コンデンサは、上記
した主成分粉末とガラス成分粉末とを所定量添加し、ボ
ールミルで湿式粉砕して有機ビヒクルを加え、均質混合
を行い、ドクタブレード法によってテープ成形を行う。
その後、テープを所定大きさに裁断し、グリーンシート
とする。
した主成分粉末とガラス成分粉末とを所定量添加し、ボ
ールミルで湿式粉砕して有機ビヒクルを加え、均質混合
を行い、ドクタブレード法によってテープ成形を行う。
その後、テープを所定大きさに裁断し、グリーンシート
とする。
【００３３】次に、Ｎｉ粉末、有機ビヒクルとを均質混
合した導電性ペーストをスクリーン印刷で、上記グリー
ンシート上に内部電極となる導体膜を形成する。
合した導電性ペーストをスクリーン印刷で、上記グリー
ンシート上に内部電極となる導体膜を形成する。
【００３４】このように、内部電極となる導体膜が形成
されたグリーンシートを内部電極導出方向を考慮して、
積層し、圧着して一体化する。
されたグリーンシートを内部電極導出方向を考慮して、
積層し、圧着して一体化する。
【００３５】そして、グリーンシート積層体を切断し、
個々に切断した未焼成のグリーンチップを還元性雰囲気
で１０５０〜１２５０℃で焼成し、外部電極用のペース
トとして、Ｃｕペーストを塗布し、窒素雰囲気中で８０
０〜９００℃で焼き付け、外部電極を形成してなる。
個々に切断した未焼成のグリーンチップを還元性雰囲気
で１０５０〜１２５０℃で焼成し、外部電極用のペース
トとして、Ｃｕペーストを塗布し、窒素雰囲気中で８０
０〜９００℃で焼き付け、外部電極を形成してなる。
【００３６】上述の積層型磁器コンデンサは、燒成後の
磁器破断面において、Ｍｎ粒子の偏析を低減することが
できる。そして、積層磁器コンデンサの誘電体層をさら
に薄層化した場合において、高温負荷試験における信頼
性を向上することができ、長寿命となる。
磁器破断面において、Ｍｎ粒子の偏析を低減することが
できる。そして、積層磁器コンデンサの誘電体層をさら
に薄層化した場合において、高温負荷試験における信頼
性を向上することができ、長寿命となる。
【００３７】
【実施例】出発原料として、ＢａＣＯ3、ＣａＣＯ3、Ｔ
ｉＯ2、ＺｒＯ2粉末を、表１に示す組成となるように秤
量し、ＺｒＯ2ボールを用いたボールミルで湿式処理
し、乾燥後、大気中で１２００℃で２時間仮焼処理し、
更に湿式粉砕、乾燥し、固溶体粉末を作製した。
ｉＯ2、ＺｒＯ2粉末を、表１に示す組成となるように秤
量し、ＺｒＯ2ボールを用いたボールミルで湿式処理
し、乾燥後、大気中で１２００℃で２時間仮焼処理し、
更に湿式粉砕、乾燥し、固溶体粉末を作製した。
【００３８】この固溶体粉末に、表１に示す組成となる
ようにＭｎＯ2を秤量し、ＺｒＯ2ボールを用いたボール
ミルで湿式処理し、乾燥後、大気中で１０００℃で２時
間仮焼処理し、更に湿式粉砕、乾燥し、仮焼主成分粉末
を作製した。
ようにＭｎＯ2を秤量し、ＺｒＯ2ボールを用いたボール
ミルで湿式処理し、乾燥後、大気中で１０００℃で２時
間仮焼処理し、更に湿式粉砕、乾燥し、仮焼主成分粉末
を作製した。
【００３９】その後、ガラス成分として、ＳｉＯ2、Ｙ2
Ｏ3、ＢａＣＯ3、ＣａＣＯ3と、Ｌｉ2ＣＯ3又はＢ2Ｏ3
を表１のガラス組成となるように所定量秤量し、１時間
乾式混合した。その後、白金ルツボに混合粉をいれ、大
気中で１３００℃で溶融させ、冷水に流し出し、ガラス
カレットとした。このカレットにイソプロピルアルコー
ル（ＩＰＡ）を加え、上記ボールミルで湿式粉砕し、乾
燥し、ガラス成分粉末を作製した。
Ｏ3、ＢａＣＯ3、ＣａＣＯ3と、Ｌｉ2ＣＯ3又はＢ2Ｏ3
を表１のガラス組成となるように所定量秤量し、１時間
乾式混合した。その後、白金ルツボに混合粉をいれ、大
気中で１３００℃で溶融させ、冷水に流し出し、ガラス
カレットとした。このカレットにイソプロピルアルコー
ル（ＩＰＡ）を加え、上記ボールミルで湿式粉砕し、乾
燥し、ガラス成分粉末を作製した。
【００４０】その後、表１に示すように、ガラス成分粉
末を仮焼主成分粉末１００重量部に対して表１に示す量
だけ添加し、ＭｎＯ2粉末を表１に示す量だけ添加し、
上記ボールミルで湿式粉砕して有機ビヒクルを加え、ド
クターブレード法によって１５μｍの厚みになるようテ
ープ成型を行い、その後、テープを所定大きさに裁断
し、グリーンシートを作製した。
末を仮焼主成分粉末１００重量部に対して表１に示す量
だけ添加し、ＭｎＯ2粉末を表１に示す量だけ添加し、
上記ボールミルで湿式粉砕して有機ビヒクルを加え、ド
クターブレード法によって１５μｍの厚みになるようテ
ープ成型を行い、その後、テープを所定大きさに裁断
し、グリーンシートを作製した。
【００４１】内部電極を形成する導電性ペーストを、Ｎ
ｉ粉末と有機ビヒクルとを均質混合して作製し、この導
電性ペーストをスクリーン印刷で上記グリーンシート上
に塗布する。
ｉ粉末と有機ビヒクルとを均質混合して作製し、この導
電性ペーストをスクリーン印刷で上記グリーンシート上
に塗布する。
【００４２】導電性ペーストが塗布されたグリーンシー
トを１１枚を積層し、この積層体の上下に導電性ペース
トが塗布されていない上記グリーンシートをそれぞれ１
０枚ずつ積層し、圧着して一体化してグリーンシート積
層体を作製した後、これを切断し、個々に切断した未焼
成のグリーンチップを還元性雰囲気で表２に示す温度で
２時間焼成した。
トを１１枚を積層し、この積層体の上下に導電性ペース
トが塗布されていない上記グリーンシートをそれぞれ１
０枚ずつ積層し、圧着して一体化してグリーンシート積
層体を作製した後、これを切断し、個々に切断した未焼
成のグリーンチップを還元性雰囲気で表２に示す温度で
２時間焼成した。
【００４３】この後、外部電極用のペーストとして、Ｃ
ｕ粉末と有機ビヒクルを均質混合して作製し、このペー
ストを塗布し、窒素雰囲気中で９００℃で焼き付け、外
部電極を形成し、積層型磁器コンデンサを作製した。
ｕ粉末と有機ビヒクルを均質混合して作製し、このペー
ストを塗布し、窒素雰囲気中で９００℃で焼き付け、外
部電極を形成し、積層型磁器コンデンサを作製した。
【００４４】作製された積層型磁器コンデンサは、誘電
体層の厚みが１０μｍ、有効誘電体層は１０層、内部電
極の有効電極面積は３．０ｍｍ2であった。
体層の厚みが１０μｍ、有効誘電体層は１０層、内部電
極の有効電極面積は３．０ｍｍ2であった。
【００４５】この積層型磁器コンデンサの特性を、基準
温度２５℃でデジタルＬＣＲメータ（ＹＨＰ製４２７４
Ａ）にて周波数１ｋＨｚ、測定電圧１．０Ｖｒｍｓの信
号を入力し、静電容量、誘電損失ｔａｎδを測定した。
誘電体磁器の比誘電率εｒは積層型コンデンサの誘電体
磁器の試料寸法と静電容量を考慮して算出した。尚、絶
縁抵抗値は、積層型磁器コンデンサに１６Ｖの直流電圧
を１分間印可し、その値とした。
温度２５℃でデジタルＬＣＲメータ（ＹＨＰ製４２７４
Ａ）にて周波数１ｋＨｚ、測定電圧１．０Ｖｒｍｓの信
号を入力し、静電容量、誘電損失ｔａｎδを測定した。
誘電体磁器の比誘電率εｒは積層型コンデンサの誘電体
磁器の試料寸法と静電容量を考慮して算出した。尚、絶
縁抵抗値は、積層型磁器コンデンサに１６Ｖの直流電圧
を１分間印可し、その値とした。
【００４６】評価として、比誘電率εｒは小型で高誘電
率のコンデンサを作成するために重要な特性であり、８
０００を越えるものを良好とした。誘電損失ｔａｎδは
誘電体グリーンシートの薄膜化を実現し、小型で高誘電
率のコンデンサを作成するために重要な特性であり、
５．０％以下を良好とした。絶縁抵抗値は１×１０9Ω
以上を良好した。また、これらの特性値は磁器コンデン
サのｎ＝１０個を平均した値とした。
率のコンデンサを作成するために重要な特性であり、８
０００を越えるものを良好とした。誘電損失ｔａｎδは
誘電体グリーンシートの薄膜化を実現し、小型で高誘電
率のコンデンサを作成するために重要な特性であり、
５．０％以下を良好とした。絶縁抵抗値は１×１０9Ω
以上を良好した。また、これらの特性値は磁器コンデン
サのｎ＝１０個を平均した値とした。
【００４７】また、積層型磁器コンデンサの高温負荷寿
命を、１５０℃で６４Ｖの直流電圧の印加状態に保持す
ることにより測定した。この高温負荷寿命は、３００個
の積層型コンデンサについて行い、最初にショートした
コンデンサの、印加開始からショートに至るまでの時間
を測定することにより評価した。高温負荷寿命は、誘電
体層を薄層化する際に特に重要となるものであり、印加
開始からショートに至るまでの時間が１００時間以上を
良品とした。これらの結果を表２に記載した。
命を、１５０℃で６４Ｖの直流電圧の印加状態に保持す
ることにより測定した。この高温負荷寿命は、３００個
の積層型コンデンサについて行い、最初にショートした
コンデンサの、印加開始からショートに至るまでの時間
を測定することにより評価した。高温負荷寿命は、誘電
体層を薄層化する際に特に重要となるものであり、印加
開始からショートに至るまでの時間が１００時間以上を
良品とした。これらの結果を表２に記載した。
【００４８】
【表１】
【００４９】
【表２】
【００５０】試料番号１〜６で、基本成分中のｍ値の範
囲の作用が理解できる。試料番号１のようにｍが０．９
７の場合、絶縁抵抗値が１×１０9未満となってしま
う。また、試料番号６のようにｍが１．０２の場合には
１２５０℃で焼成しても緻密な焼結体が得られない。こ
のことから、ｍの値は、０．９８≦ｍ≦１．０１の範囲
となる。
囲の作用が理解できる。試料番号１のようにｍが０．９
７の場合、絶縁抵抗値が１×１０9未満となってしま
う。また、試料番号６のようにｍが１．０２の場合には
１２５０℃で焼成しても緻密な焼結体が得られない。こ
のことから、ｍの値は、０．９８≦ｍ≦１．０１の範囲
となる。
【００５１】次に試料番号７〜１２で複合酸化物のｘ値
の範囲の作用が理解できる。試料番号７に示すようにｘ
が０の場合、絶縁抵抗値が１×１０9未満となってしま
う。また、試料番号１２のようにｘの値が０．１を越え
ると、比誘電率が７４００と８０００を下回ってしま
う。このことから、ｘの値は、０．０１≦ｘ≦０．１０
となる。
の範囲の作用が理解できる。試料番号７に示すようにｘ
が０の場合、絶縁抵抗値が１×１０9未満となってしま
う。また、試料番号１２のようにｘの値が０．１を越え
ると、比誘電率が７４００と８０００を下回ってしま
う。このことから、ｘの値は、０．０１≦ｘ≦０．１０
となる。
【００５２】次に試料番号１３〜１８で複合酸化物のｙ
値の範囲の作用が理解できる。試料番号１３に示すよう
にｙが０．１２５の場合、誘電損失が７．１％となって
しまう。また、試料番号１８のようにｙが０．２７５の
場合、比誘電率が５６００と８０００を下回ってしま
う。このことから、ｙの値は、０．１５≦ｙ≦０．２５
の範囲となる。
値の範囲の作用が理解できる。試料番号１３に示すよう
にｙが０．１２５の場合、誘電損失が７．１％となって
しまう。また、試料番号１８のようにｙが０．２７５の
場合、比誘電率が５６００と８０００を下回ってしま
う。このことから、ｙの値は、０．１５≦ｙ≦０．２５
の範囲となる。
【００５３】次に試料番号１９，２０でＭｎの添加量の
範囲の作用が理解できる。添加量が０．１〜０．３重量
％に制御することにより、緻密な焼結体が得られ、その
他の特性も安定するものとなる。ここで本実験の範囲で
は、Ｍｎの添加量が多くなると、比誘電率や絶縁抵抗も
大きくなるが、誘電損失も大きくなることがわかる。次
に試料番号２１〜２４でガラス成分の添加量の範囲の作
用が理解できる。添加量が０．２〜３．０重量％に制御
することにより、緻密な焼結体が得られ、その他の特性
も安定するものとなる。
範囲の作用が理解できる。添加量が０．１〜０．３重量
％に制御することにより、緻密な焼結体が得られ、その
他の特性も安定するものとなる。ここで本実験の範囲で
は、Ｍｎの添加量が多くなると、比誘電率や絶縁抵抗も
大きくなるが、誘電損失も大きくなることがわかる。次
に試料番号２１〜２４でガラス成分の添加量の範囲の作
用が理解できる。添加量が０．２〜３．０重量％に制御
することにより、緻密な焼結体が得られ、その他の特性
も安定するものとなる。
【００５４】また、ガラス成分を構成するＳｉＯ2、Ｙ2
Ｏ3、ＢａＯ、ＣａＯと、Ｌｉ2Ｏ又はＢ2Ｏ3のモル％に
ついて試料番号２５〜３７でその作用が理解できる。即
ち、試料番号２９のように、Ｙ2Ｏ3添加量が０ｍｏｌ％
の場合、１５０℃で６４Ｖの直流電圧の印加状態に保持
する高温負荷寿命において、最初にショートしたコンデ
ンサの、印加開始からショートに至るまでの時間が３９
時間となり、１００時間をきることになる。また、試料
番号２５，２８のように、Ｌｉ2Ｏ添加量がそれぞれ０
ｍｏｌ％，５０ｍｏｌ％の場合、絶縁抵抗値が１×１０
9未満となる。さらに、試料番号３３のように、Ｙ2Ｏ3
添加量が４０ｍｏｌ％の場合、比誘電率が５８００とな
ってしまう。また、試料番号３４のように、ＢａＯ、Ｃ
ａＯのモル比が両方とも０ｍｏｌ％の場合、高温負荷寿
命において、印加開始からショートに至るまでの時間が
６７時間となり、また、試料番号３７のように、Ｂａ
Ｏ、ＣａＯのモル比が両方とも２５ｍｏｌ％の場合、比
誘電率が５５００となってしまう。
Ｏ3、ＢａＯ、ＣａＯと、Ｌｉ2Ｏ又はＢ2Ｏ3のモル％に
ついて試料番号２５〜３７でその作用が理解できる。即
ち、試料番号２９のように、Ｙ2Ｏ3添加量が０ｍｏｌ％
の場合、１５０℃で６４Ｖの直流電圧の印加状態に保持
する高温負荷寿命において、最初にショートしたコンデ
ンサの、印加開始からショートに至るまでの時間が３９
時間となり、１００時間をきることになる。また、試料
番号２５，２８のように、Ｌｉ2Ｏ添加量がそれぞれ０
ｍｏｌ％，５０ｍｏｌ％の場合、絶縁抵抗値が１×１０
9未満となる。さらに、試料番号３３のように、Ｙ2Ｏ3
添加量が４０ｍｏｌ％の場合、比誘電率が５８００とな
ってしまう。また、試料番号３４のように、ＢａＯ、Ｃ
ａＯのモル比が両方とも０ｍｏｌ％の場合、高温負荷寿
命において、印加開始からショートに至るまでの時間が
６７時間となり、また、試料番号３７のように、Ｂａ
Ｏ、ＣａＯのモル比が両方とも２５ｍｏｌ％の場合、比
誘電率が５５００となってしまう。
【００５５】また、ガラス成分として、Ｌｉ2Ｏを用い
た場合とＢ2Ｏ3を用いた場合について、試料番号３８〜
４０でその作用が理解できる。
た場合とＢ2Ｏ3を用いた場合について、試料番号３８〜
４０でその作用が理解できる。
【００５６】以上のように、実施例から、１２５０℃以
下で焼成可能で、比誘電率が８０００以上、誘電損失が
５．０％以下、絶縁抵抗値が１×１０9以上の誘電体磁
器組成物とするためには、上述のように、基本成分の
ｘ、ｙ、ｍ、を厳密に制御し、ＭｎＯ2の重量％を制御
し、ガラス成分のＳｉＯ2、Ｙ2Ｏ3及びＬｉ２Ｏまたは
Ｂ 2Ｏ3のモル％、そのガラス成分の重量％を制御するこ
とで達成されることになる。
下で焼成可能で、比誘電率が８０００以上、誘電損失が
５．０％以下、絶縁抵抗値が１×１０9以上の誘電体磁
器組成物とするためには、上述のように、基本成分の
ｘ、ｙ、ｍ、を厳密に制御し、ＭｎＯ2の重量％を制御
し、ガラス成分のＳｉＯ2、Ｙ2Ｏ3及びＬｉ２Ｏまたは
Ｂ 2Ｏ3のモル％、そのガラス成分の重量％を制御するこ
とで達成されることになる。
【００５７】さらに、試料番号４の組成について、特開
平１０−２７９３５３号、特開平１１−１３０５３１号
公報に開示された誘電体磁器を用いた積層磁器コンデン
サを作製した（試料番号４１）。組成式が、（Ｂａ0.95
Ｃａ0.05)1.000(Ｔｉ0.800Ｚｒ0 。 200)Ｏ3＋１．０重量
％ＭｎＯ2＋０．２重量％Ｙ2Ｏ3となるように、ＢａＣ
Ｏ3、ＣａＣＯ3、ＴｉＯ2、ＺｒＯ2、Ｙ2Ｏ3等の粉末を
混合し、この粉末を１２００℃で仮焼し、この仮焼粉末
を用いて、上記実施例と同様にして積層磁器コンデンサ
を作製した。尚、焼成温度は１２００℃２時間とした。
誘電体層の比誘電率は１２０００であり、誘電損失は
３．０％であり、絶縁抵抗は１．０×１０10Ωであり優
れた誘電特性を有していたが、高温負荷試験において、
最初にショートしたコンデンサのショートに至までの時
間は９２時間であり、信頼性に欠けることが判った。
平１０−２７９３５３号、特開平１１−１３０５３１号
公報に開示された誘電体磁器を用いた積層磁器コンデン
サを作製した（試料番号４１）。組成式が、（Ｂａ0.95
Ｃａ0.05)1.000(Ｔｉ0.800Ｚｒ0 。 200)Ｏ3＋１．０重量
％ＭｎＯ2＋０．２重量％Ｙ2Ｏ3となるように、ＢａＣ
Ｏ3、ＣａＣＯ3、ＴｉＯ2、ＺｒＯ2、Ｙ2Ｏ3等の粉末を
混合し、この粉末を１２００℃で仮焼し、この仮焼粉末
を用いて、上記実施例と同様にして積層磁器コンデンサ
を作製した。尚、焼成温度は１２００℃２時間とした。
誘電体層の比誘電率は１２０００であり、誘電損失は
３．０％であり、絶縁抵抗は１．０×１０10Ωであり優
れた誘電特性を有していたが、高温負荷試験において、
最初にショートしたコンデンサのショートに至までの時
間は９２時間であり、信頼性に欠けることが判った。
【００５８】また、焼成後の誘電体磁器の１つを割り、
破断面をＥＰＭＡで分析したところ、試料番号４１の試
料はＭｎがところどころに固まって検出され、Ｍｎが偏
析していた。しかし、試料番号４の試料においては、Ｍ
ｎは均一に分散しており、Ｍｎの偏析を防ぐことができ
たと考えられる。
破断面をＥＰＭＡで分析したところ、試料番号４１の試
料はＭｎがところどころに固まって検出され、Ｍｎが偏
析していた。しかし、試料番号４の試料においては、Ｍ
ｎは均一に分散しており、Ｍｎの偏析を防ぐことができ
たと考えられる。
【００５９】
【発明の効果】以上のように、本発明の誘電体磁器によ
れば、燒成後の磁器破断面において、Ｍｎ粒子の偏析を
低減することができる。そして、積層磁器コンデンサの
誘電体層をさらに薄層化した場合において、高温負荷試
験における信頼性不良を低減することができ、長寿命と
なる。
れば、燒成後の磁器破断面において、Ｍｎ粒子の偏析を
低減することができる。そして、積層磁器コンデンサの
誘電体層をさらに薄層化した場合において、高温負荷試
験における信頼性不良を低減することができ、長寿命と
なる。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 4G031 AA01 AA04 AA06 AA08 AA11 AA12 AA19 AA28 AA30 BA09 GA02 GA07 5E001 AA00 AB03 AE02 AE03 AE04 AJ02 5G303 AA01 AB14 AB20 BA12 CA01 CA03 CB02 CB03 CB06 CB16 CB18 CB30 CB35 CB39 CB40 DA04
Claims (2)
- 【請求項１】 組成式｛（Ｂａ1-xＣａx)m(Ｔｉ1-yＺｒ
y)｝Ｏ3（但し、０．０１≦ｘ≦０．１０、０．１５≦
ｙ≦０．２５、０．９８≦ｍ≦１．０１）で表される結
晶粒子１００重量部に対してＭｎＯ2が０．１〜０．３
重量部含有した主成分と、該主成分１００重量部に対し
て、ＳｉＯ2、Ｙ2Ｏ3、ＢａＯ、ＣａＯと、Ｌｉ2Ｏ又は
Ｂ2Ｏ3からなるガラス成分を０．２〜３．０重量部含有
するとともに、ガラス成分が、ＳｉＯ2、Ｙ2Ｏ3、Ｂａ
Ｏ、ＣａＯと、Ｌｉ2ＯまたはＢ2Ｏ3の５成分組成にお
いて、ＳｉＯ2が２０〜５０モル％、Ｙ2Ｏ3が５〜３０
モル％、ＢａＯ、ＣａＯがそれぞれ５〜２０モル％、Ｌ
ｉ2ＯまたはＢ2Ｏ3が１０〜４０モル％含有してなるこ
とを特徴とする誘電体磁器。 - 【請求項２】 組成式｛（Ｂａ1-xＣａx)m(Ｔｉ1-yＺｒ
y)｝Ｏ3（但し、０．０１≦ｘ≦０．１０、０．１５≦
ｙ≦０．２５、０．９８≦ｍ≦１．０１）で表される結
晶粒子の粉末に、該結晶粒子粉末１００重量部に対して
ＭｎＯ2粉末を０．１〜０．３重量部添加後仮焼し、該
仮焼粉末を成形した後、焼成することを特徴とする誘電
体磁器の製法。
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| JP2000093738A JP2001278662A (ja) | 2000-03-30 | 2000-03-30 | 誘電体磁器およびその製法 |
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| JP (1) | JP2001278662A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| KR100632001B1 (ko) | 2005-07-29 | 2006-10-09 | 삼성전기주식회사 | 저온 소결용 유리 조성물, 유리 프릿, 유전체 조성물 및이를 이용한 적층 세라믹 콘덴서 |
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2000
- 2000-03-30 JP JP2000093738A patent/JP2001278662A/ja active Pending
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