JP3196461B2 - 焦電体磁器組成物及びそれを用いた赤外線センサー - Google Patents
焦電体磁器組成物及びそれを用いた赤外線センサーInfo
- Publication number
- JP3196461B2 JP3196461B2 JP30401193A JP30401193A JP3196461B2 JP 3196461 B2 JP3196461 B2 JP 3196461B2 JP 30401193 A JP30401193 A JP 30401193A JP 30401193 A JP30401193 A JP 30401193A JP 3196461 B2 JP3196461 B2 JP 3196461B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pyroelectric
- composition
- infrared sensor
- light receiving
- receiving element
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は焦電体磁器組成物及びそ
れを受光素子材料として用いた赤外線センサーに関する
ものである。
れを受光素子材料として用いた赤外線センサーに関する
ものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、自動ドア，トイレの自動水洗装
置，照明機器，空調機器，セキュリティー機器等の人間
検知センサーとして焦電型赤外線センサーが使用されて
いるが、これらセンサーに使用される受光素子には焦電
特性を有する焦電体磁器が使用されている。受光素子の
性能は焦電体磁器の持つ焦電係数，熱容量，ｔａｎδな
どの固有の特性に加え、大きな感度を得るためには可能
な限り素子の厚みを薄くする必要がある。この薄板化加
工時に割れや欠けを生じず、薄板状態で安定した機械的
強度を有する焦電体磁器が求められている。更には量産
性の面から分極電圧が低く、焼結温度が低い焦電体磁器
が求められている。
置，照明機器，空調機器，セキュリティー機器等の人間
検知センサーとして焦電型赤外線センサーが使用されて
いるが、これらセンサーに使用される受光素子には焦電
特性を有する焦電体磁器が使用されている。受光素子の
性能は焦電体磁器の持つ焦電係数，熱容量，ｔａｎδな
どの固有の特性に加え、大きな感度を得るためには可能
な限り素子の厚みを薄くする必要がある。この薄板化加
工時に割れや欠けを生じず、薄板状態で安定した機械的
強度を有する焦電体磁器が求められている。更には量産
性の面から分極電圧が低く、焼結温度が低い焦電体磁器
が求められている。
【０００３】これらの要求特性を充たすものとしてＰｂ
ＴｉＯ3 系の磁器組成物が開発されている。しかしなが
らこの磁器組成物は、焼結性が悪く、大型の焼結体を得
ることが困難で、また分極に高温，高電圧が必要とし、
更に製品得率が低いという問題点を有していた。そこ
で、これらの問題点を解決するものとして、ＰｂＴｉＯ
3 の焼結性と、分極条件の緩和を図った磁器組成物とし
てＰｂＴｉＯ3 −Ｐｂ（Ｃｏ1/2 Ｗ1/2 ）Ｏ3 の組成系
が特公昭５８−４１７９０号公報に開示されている。
ＴｉＯ3 系の磁器組成物が開発されている。しかしなが
らこの磁器組成物は、焼結性が悪く、大型の焼結体を得
ることが困難で、また分極に高温，高電圧が必要とし、
更に製品得率が低いという問題点を有していた。そこ
で、これらの問題点を解決するものとして、ＰｂＴｉＯ
3 の焼結性と、分極条件の緩和を図った磁器組成物とし
てＰｂＴｉＯ3 −Ｐｂ（Ｃｏ1/2 Ｗ1/2 ）Ｏ3 の組成系
が特公昭５８−４１７９０号公報に開示されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記従来
の構成では、この２成分系は焼結が容易で、分極も容易
であるが、一方加工時に割れや欠けを生じ易いという問
題点を有していることがわかった。そのため、素子の薄
肉化が極めて困難で作業性が悪く、製品得率も低いとい
う問題点を有していた。また、薄肉化ができないため高
感度の受光素子を得難いという問題点を有していた。
の構成では、この２成分系は焼結が容易で、分極も容易
であるが、一方加工時に割れや欠けを生じ易いという問
題点を有していることがわかった。そのため、素子の薄
肉化が極めて困難で作業性が悪く、製品得率も低いとい
う問題点を有していた。また、薄肉化ができないため高
感度の受光素子を得難いという問題点を有していた。
【０００５】本発明は上記従来の問題点を解決するもの
で、ＰｂＴｉＯ3 −Ｐｂ（Ｃｏ1/2Ｗ1/2 ）Ｏ3 系の容
易な分極条件を維持しながら薄板加工時の割れや欠けの
生じ難い高品質の焦電体磁器を高得率で与えることので
きる焦電体磁器組成物を提供すること、及び焦電体磁器
組成物から得られる受光素子材料を用いた高感度で生産
性に優れた赤外線センサーを提供することを目的とす
る。
で、ＰｂＴｉＯ3 −Ｐｂ（Ｃｏ1/2Ｗ1/2 ）Ｏ3 系の容
易な分極条件を維持しながら薄板加工時の割れや欠けの
生じ難い高品質の焦電体磁器を高得率で与えることので
きる焦電体磁器組成物を提供すること、及び焦電体磁器
組成物から得られる受光素子材料を用いた高感度で生産
性に優れた赤外線センサーを提供することを目的とす
る。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に本発明は次の構成からなる。
に本発明は次の構成からなる。
【０００７】請求項１に記載の焦電体磁器組成物は、一
般式がＰｂx ［Ｔｉy （Ｃｏ z Ｗ1-z ）1-y ］1-x Ｏn
（但し、ｎは任意の数）で表され、ｘ，ｙ，ｚが０．５
０１≦ｘ≦０．５１０，０．８０≦ｙ≦０．９７，０．
４６≦ｚ≦０．４９の条件を充たし、かつ、Ｐｂ原子の
一部がＣａ原子で２０〜３０原子％置換されている構成
を有しており、請求項２に記載の焦電体磁器組成物は、
請求項１に記載した焦電体磁器組成物１００重量部に対
し、ＭｎＯ2 が０〜３重量部添加含有されている構成を
有しており、請求項３に記載の赤外線センサーは、請求
項１又は２に記載の焦電体磁器組成物を受光素子材料と
して用いた構成を有している。
般式がＰｂx ［Ｔｉy （Ｃｏ z Ｗ1-z ）1-y ］1-x Ｏn
（但し、ｎは任意の数）で表され、ｘ，ｙ，ｚが０．５
０１≦ｘ≦０．５１０，０．８０≦ｙ≦０．９７，０．
４６≦ｚ≦０．４９の条件を充たし、かつ、Ｐｂ原子の
一部がＣａ原子で２０〜３０原子％置換されている構成
を有しており、請求項２に記載の焦電体磁器組成物は、
請求項１に記載した焦電体磁器組成物１００重量部に対
し、ＭｎＯ2 が０〜３重量部添加含有されている構成を
有しており、請求項３に記載の赤外線センサーは、請求
項１又は２に記載の焦電体磁器組成物を受光素子材料と
して用いた構成を有している。
【０００８】ここで、ｘ＜０．５０１，ｙ＜０．７９，
ｚ＞０．５０の組成では機械的特性が劣り３０μｍ以下
の薄板化加工が不可能であり、そのためセンサーとして
大きな感度も得ることができないので好ましくない。ｚ
＜０．４５，ｙ＞０．９８の組成では薄板化の加工は可
能であるが、焦電特性が欠けるため高感度が得られない
ので好ましくない。ｘ＞０．５１１の組成では焼結性が
悪くなり高い焼結温度を必要とするので好ましくない。
Ｃａ原子は２０〜３０原子％の範囲で分極電圧及びキュ
ーリー温度が最適値を与えることができ、またＭｎＯ2
は０〜３重量部添加することで感度を向上させることが
できる。
ｚ＞０．５０の組成では機械的特性が劣り３０μｍ以下
の薄板化加工が不可能であり、そのためセンサーとして
大きな感度も得ることができないので好ましくない。ｚ
＜０．４５，ｙ＞０．９８の組成では薄板化の加工は可
能であるが、焦電特性が欠けるため高感度が得られない
ので好ましくない。ｘ＞０．５１１の組成では焼結性が
悪くなり高い焼結温度を必要とするので好ましくない。
Ｃａ原子は２０〜３０原子％の範囲で分極電圧及びキュ
ーリー温度が最適値を与えることができ、またＭｎＯ2
は０〜３重量部添加することで感度を向上させることが
できる。
【０００９】本発明の焦電体磁器組成物は一般的には粉
末冶金的方法によって容易に製造することができる。例
えば、原料酸化物としてＰｂＴｉＯ3 ，ＰｂＯ，ＴｉＯ
2 ，ＣｏＯ，ＷＯ3 ，ＢａＯ，ＳｒＯ，ＣａＯ等を所定
の割合に正確に秤取し、これらをボールミルなどによっ
てよく混合する。尚、この際用いる原料は加熱によって
酸化物に転ずる化合物例えば水酸化物，炭酸塩，シュウ
酸塩などであってもよい。
末冶金的方法によって容易に製造することができる。例
えば、原料酸化物としてＰｂＴｉＯ3 ，ＰｂＯ，ＴｉＯ
2 ，ＣｏＯ，ＷＯ3 ，ＢａＯ，ＳｒＯ，ＣａＯ等を所定
の割合に正確に秤取し、これらをボールミルなどによっ
てよく混合する。尚、この際用いる原料は加熱によって
酸化物に転ずる化合物例えば水酸化物，炭酸塩，シュウ
酸塩などであってもよい。
【００１０】次いで、前記混合物を例えば６００〜９０
０℃程度の温度で予備焼成し、更にボールミルなどによ
って粉砕して調製粉末とすることにより得られる。次
に、この焦電体組成物からの焦電体磁器の製造は、この
調製粉末に水あるいはポリビニルアルコールなどの粘結
剤を添加配合して、０．５〜２ ton／cm2 程度の圧力で
加圧成形した後、１１００〜１３００℃程度の温度で焼
成する。この焼成において一つの組成分たるＰｂＯの一
部が蒸発揮散する恐れもあるので焼成は閉炉内で行うの
が好ましい。また最高温度での保持は一般に０．５〜５
時間程度で充分である。
０℃程度の温度で予備焼成し、更にボールミルなどによ
って粉砕して調製粉末とすることにより得られる。次
に、この焦電体組成物からの焦電体磁器の製造は、この
調製粉末に水あるいはポリビニルアルコールなどの粘結
剤を添加配合して、０．５〜２ ton／cm2 程度の圧力で
加圧成形した後、１１００〜１３００℃程度の温度で焼
成する。この焼成において一つの組成分たるＰｂＯの一
部が蒸発揮散する恐れもあるので焼成は閉炉内で行うの
が好ましい。また最高温度での保持は一般に０．５〜５
時間程度で充分である。
【００１１】受光素子の製造は、上記方法で得られた焦
電体磁器を厚さ５００〜７００μｍに切断し、両面にＡ
ｇペースト等の導電性ペーストを焼付けた後シリコンオ
イル中で３〜５KV／mmの条件で分極処理を行う。次い
で、所定の大きさに切断後限界厚みまで加工した後、両
面にニクロム電極等を所定量受光面積に成膜することに
より行われる。
電体磁器を厚さ５００〜７００μｍに切断し、両面にＡ
ｇペースト等の導電性ペーストを焼付けた後シリコンオ
イル中で３〜５KV／mmの条件で分極処理を行う。次い
で、所定の大きさに切断後限界厚みまで加工した後、両
面にニクロム電極等を所定量受光面積に成膜することに
より行われる。
【００１２】
【作用】この構成によって、０．５０１≦ｘ≦０．５１
０，０．８０≦ｙ≦０．９７，０．４６≦ｚ≦０．４９
の条件を充たすＰｂx ［Ｔｉy （Ｃｏ z Ｗ1-z ）1-y ］
1-x Ｏn （但し、ｎは任意の数）を焦電体磁器原料とす
ることにより、高い焦電特性を得ることができる。ま
た、Ｐｂ原子の一部をＣａ原子と、２０〜３０原子％と
置換したので、好適なキューリー温度を得ることができ
るとともに分極電圧を著しく低くすることができる。ま
た、ＭｎＯ2 を系内に加えたので、感度を向上させるこ
とができるとともに、機械的特性を向上させ３０μｍ以
下の薄板加工を行うことができた。これらの組成範囲の
焦電体磁器組成物を受光素子材料とすることにより、３
０００Ｖ／Ｗ以上の高感度の赤外線センサーを得ること
ができる。
０，０．８０≦ｙ≦０．９７，０．４６≦ｚ≦０．４９
の条件を充たすＰｂx ［Ｔｉy （Ｃｏ z Ｗ1-z ）1-y ］
1-x Ｏn （但し、ｎは任意の数）を焦電体磁器原料とす
ることにより、高い焦電特性を得ることができる。ま
た、Ｐｂ原子の一部をＣａ原子と、２０〜３０原子％と
置換したので、好適なキューリー温度を得ることができ
るとともに分極電圧を著しく低くすることができる。ま
た、ＭｎＯ2 を系内に加えたので、感度を向上させるこ
とができるとともに、機械的特性を向上させ３０μｍ以
下の薄板加工を行うことができた。これらの組成範囲の
焦電体磁器組成物を受光素子材料とすることにより、３
０００Ｖ／Ｗ以上の高感度の赤外線センサーを得ること
ができる。
【００１３】
【実施例】以下本発明の一実施例について、図面を参照
しながら説明する。
しながら説明する。
【００１４】（実施例１）原料として、化学的に高純度
なＰｂＴｉＯ3 ，ＴｉＯ2 ，ＣｏＯ，ＷＯ3 ，ＣａＣＯ
3 を使用し、（表１）に示された所定の組成に正確に秤
量を行い、これをボールミルを用い湿式混合処理を行
う。
なＰｂＴｉＯ3 ，ＴｉＯ2 ，ＣｏＯ，ＷＯ3 ，ＣａＣＯ
3 を使用し、（表１）に示された所定の組成に正確に秤
量を行い、これをボールミルを用い湿式混合処理を行
う。
【００１５】
【表１】
【００１６】この混合物を乾燥し、８００℃で２時間仮
焼成を行った後、この仮焼成粉を更にボールミルで粉砕
し、脱水乾燥後に粘結材としてポリビニルアルコールを
適当量加え、１ ton／cm2 の圧力を加えて、縦３０mm，
横３０mm，厚さ１０mmの角板に成形した。次いで、この
成形体を１２００〜１２５０℃で４時間本焼成を行い焦
電体磁器を得た。尚、焼成は成分の蒸発を考慮して、同
一組成の仮焼成粉体で十分に充填された白金容器中に成
形体試料を入れた状態で行った。得られた磁器を厚さ７
００μｍに切断し、両面にＡｇペーストを塗布後７００
℃で焼き付け、シリコンオイル中、３KV／mmの条件で１
０分間分極処理を行った後、３×４mmの角板に切断す
る。その後この磁器を平面研削機にて限界厚さまで加工
し、両面にスパッタ装置にてニクロム電極を０．５μｍ
の厚さでφ２mmの受光面積に成膜し、受光素子を作製し
た。次に、得られた受光素子を用い赤外線センサーを作
製した。
焼成を行った後、この仮焼成粉を更にボールミルで粉砕
し、脱水乾燥後に粘結材としてポリビニルアルコールを
適当量加え、１ ton／cm2 の圧力を加えて、縦３０mm，
横３０mm，厚さ１０mmの角板に成形した。次いで、この
成形体を１２００〜１２５０℃で４時間本焼成を行い焦
電体磁器を得た。尚、焼成は成分の蒸発を考慮して、同
一組成の仮焼成粉体で十分に充填された白金容器中に成
形体試料を入れた状態で行った。得られた磁器を厚さ７
００μｍに切断し、両面にＡｇペーストを塗布後７００
℃で焼き付け、シリコンオイル中、３KV／mmの条件で１
０分間分極処理を行った後、３×４mmの角板に切断す
る。その後この磁器を平面研削機にて限界厚さまで加工
し、両面にスパッタ装置にてニクロム電極を０．５μｍ
の厚さでφ２mmの受光面積に成膜し、受光素子を作製し
た。次に、得られた受光素子を用い赤外線センサーを作
製した。
【００１７】図１は本発明の一実施例における赤外線セ
ンサーの回路図であり、図２は本発明の一実施例におけ
る赤外線センサーの要部断面図である。図中、１は受光
素子、２は抵抗、３は電界効果型トランジスタ（ＦＥ
Ｔ）、４はプリント基板、５はハーメチックシール、６
は金属製キャップ７に設けられた窓に装着されたシリコ
ン板、８は赤外線センサーである。赤外線センサー８の
製造は、受光素子１，抵抗２，ＦＥＴ３の組み合わせか
らなる回路をプリント基板４に形成し、受光素子１を導
電ペーストにて電気的、機械的にプリント基板の端子と
接続する。これをハーメチックシール５のピンに半田付
けし、シリコン製の窓６を付加した金属製のキャップ７
をハーメチックシールに溶接して行った。
ンサーの回路図であり、図２は本発明の一実施例におけ
る赤外線センサーの要部断面図である。図中、１は受光
素子、２は抵抗、３は電界効果型トランジスタ（ＦＥ
Ｔ）、４はプリント基板、５はハーメチックシール、６
は金属製キャップ７に設けられた窓に装着されたシリコ
ン板、８は赤外線センサーである。赤外線センサー８の
製造は、受光素子１，抵抗２，ＦＥＴ３の組み合わせか
らなる回路をプリント基板４に形成し、受光素子１を導
電ペーストにて電気的、機械的にプリント基板の端子と
接続する。これをハーメチックシール５のピンに半田付
けし、シリコン製の窓６を付加した金属製のキャップ７
をハーメチックシールに溶接して行った。
【００１８】各組成において割れや欠けが発生しない平
面研削による限界最小厚さ及び得られた受光素子により
構成された赤外線センサーの測定周波数１Ｈｚ、熱源温
度５００Ｋにおける感度を測定した。その結果を（表
１）に示した。
面研削による限界最小厚さ及び得られた受光素子により
構成された赤外線センサーの測定周波数１Ｈｚ、熱源温
度５００Ｋにおける感度を測定した。その結果を（表
１）に示した。
【００１９】この（表１）から明らかなように、本発明
による組成範囲では、いずれも３０μｍ以下の受光素子
が得られ、これを使用した赤外線センサーは３０００Ｖ
／Ｗ以上の大きな感度を有していることがわかった。そ
れに反し、Ｃａ原子が２０原子％未満の組成ではキュー
リー温度が高すぎるため分極が困難になる傾向が認めら
れ、３０原子％より大きい組成ではキューリー温度が低
すぎ実用性に欠けるということがわかった。また、ｘ＜
０．５０１，ｙ＜０．７９，ｚ＞０．５０の組成では３
０μｍ以下の加工が不可能であり、そのためセンサーと
して大きな感度も得られない。ｚ＜０．４５，ｙ＞０．
９８の組成では薄板の加工は可能であるが、高感度が得
られない。またｘ＞０．５１１の組成では焼結性が悪く
なることがわかった。
による組成範囲では、いずれも３０μｍ以下の受光素子
が得られ、これを使用した赤外線センサーは３０００Ｖ
／Ｗ以上の大きな感度を有していることがわかった。そ
れに反し、Ｃａ原子が２０原子％未満の組成ではキュー
リー温度が高すぎるため分極が困難になる傾向が認めら
れ、３０原子％より大きい組成ではキューリー温度が低
すぎ実用性に欠けるということがわかった。また、ｘ＜
０．５０１，ｙ＜０．７９，ｚ＞０．５０の組成では３
０μｍ以下の加工が不可能であり、そのためセンサーと
して大きな感度も得られない。ｚ＜０．４５，ｙ＞０．
９８の組成では薄板の加工は可能であるが、高感度が得
られない。またｘ＞０．５１１の組成では焼結性が悪く
なることがわかった。
【００２０】（実施例２）原料として、化学的に高純度
なＰｂＴｉＯ3 ，ＴｉＯ2 ，ＣｏＯ，ＷＯ3 ，ＣａＣＯ
3 ，ＭｎＯ2 を使用し、（表２）に示された所定の組成
に正確に秤量を行い、これをボールミルを用い湿式混合
処理する。
なＰｂＴｉＯ3 ，ＴｉＯ2 ，ＣｏＯ，ＷＯ3 ，ＣａＣＯ
3 ，ＭｎＯ2 を使用し、（表２）に示された所定の組成
に正確に秤量を行い、これをボールミルを用い湿式混合
処理する。
【００２１】
【表２】
【００２２】次いで、実施例１と同様の方法で供試試料
を得た。尚、受光素子はいずれの素子も２０μｍの厚さ
に加工した。各組成において得られた受光素子により構
成された赤外線センサーの測定周波数１Ｈｚ、熱源温度
５００Ｋにおける感度を測定した。その結果を（表２）
に示した。
を得た。尚、受光素子はいずれの素子も２０μｍの厚さ
に加工した。各組成において得られた受光素子により構
成された赤外線センサーの測定周波数１Ｈｚ、熱源温度
５００Ｋにおける感度を測定した。その結果を（表２）
に示した。
【００２３】この（表２）から明らかなように、Ｃａで
Ｐｂを２０〜３０ mol％置換し、かつＭｎＯ2 を３重量
％以下添加する組み合わせにより実施例１に対し更に感
度が向上していることがわかった。本発明による組成範
囲ではいずれの組成でも感度が４０００Ｖ／Ｗ以上と非
常に良好な電気的特性を有していることがわかった。
Ｐｂを２０〜３０ mol％置換し、かつＭｎＯ2 を３重量
％以下添加する組み合わせにより実施例１に対し更に感
度が向上していることがわかった。本発明による組成範
囲ではいずれの組成でも感度が４０００Ｖ／Ｗ以上と非
常に良好な電気的特性を有していることがわかった。
【００２４】
【発明の効果】以上のように本発明は、一般式Ｐｂx
［Ｔｉy （Ｃｏz Ｗ1-z ）1-y ］1-x Ｏ n （但し、ｎは
任意の数）で表され、０．５０１≦ｘ≦０．５１０の範
囲にあるｘに対して０．８０≦ｙ≦０．９７，０．４６
≦ｚ≦０．４９の範囲にある、即ち複合ペロブスカイト
構造のＡサイトイオンとＢサイトイオンの比を１：１か
ら微妙にずらすとともにＰｂ原子の一部をＣａ原子で２
０〜３０原子％置換したので容易な分極条件を維持しな
がら薄板加工時の割れや欠けの生じ難い高品質の焦電体
磁器を高収率で与えることのできる焦電体磁器組成物を
実現できるものである。更に上記組成物にＭｎＯ2 を３
重量部添加することにより高感度な受光素子材を与える
ことのできる焦電体磁器組成物を実現できるものであ
る。また、これら優れた焦電体磁器組成物から得られる
受光素子材料を用いたので、生産性に優れ高感度で製品
得率の高い赤外線センサーを実現できるものである。
［Ｔｉy （Ｃｏz Ｗ1-z ）1-y ］1-x Ｏ n （但し、ｎは
任意の数）で表され、０．５０１≦ｘ≦０．５１０の範
囲にあるｘに対して０．８０≦ｙ≦０．９７，０．４６
≦ｚ≦０．４９の範囲にある、即ち複合ペロブスカイト
構造のＡサイトイオンとＢサイトイオンの比を１：１か
ら微妙にずらすとともにＰｂ原子の一部をＣａ原子で２
０〜３０原子％置換したので容易な分極条件を維持しな
がら薄板加工時の割れや欠けの生じ難い高品質の焦電体
磁器を高収率で与えることのできる焦電体磁器組成物を
実現できるものである。更に上記組成物にＭｎＯ2 を３
重量部添加することにより高感度な受光素子材を与える
ことのできる焦電体磁器組成物を実現できるものであ
る。また、これら優れた焦電体磁器組成物から得られる
受光素子材料を用いたので、生産性に優れ高感度で製品
得率の高い赤外線センサーを実現できるものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例における赤外線センサーの回
路図
路図
【図２】本発明の一実施例における赤外線センサーの要
部断面図
部断面図
１ 受光素子 ２ 抵抗 ３ 電界効果型トランジスタ（ＦＥＴ） ４ プリント基板 ５ ハーメチックシール ６ シリコン板 ７ 金属製キャップ ８ 赤外線センサー
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) C04B 35/42 - 35/49 ＣＡ（ＳＴＮ) ＲＥＧＩＳＴＲＹ（ＳＴＮ)
Claims (3)
- 【請求項１】一般式がＰｂx ［Ｔｉy （Ｃｏ z Ｗ1-z ）
1-y ］1-x Ｏn （但し、ｎは任意の数）で表され、ｘ，
ｙ，ｚが０．５０１≦ｘ≦０．５１０，０．８０≦ｙ≦
０．９７，０．４６≦ｚ≦０．４９の条件を充たし、か
つ、Ｐｂ原子の一部がＣａ原子で２０〜３０原子％置換
されていることを特徴とする焦電体磁器組成物。 - 【請求項２】請求項１に記載した焦電体磁器組成物１０
０重量部に対し、ＭｎＯ2 が０〜３重量部添加含有され
ていることを特徴とする焦電体磁器組成物。 - 【請求項３】請求項１又は請求項２に記載の焦電体磁器
組成物を加工焼成した焦電体磁器を受光素子材料として
用いたことを特徴とする赤外線センサー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30401193A JP3196461B2 (ja) | 1993-12-03 | 1993-12-03 | 焦電体磁器組成物及びそれを用いた赤外線センサー |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30401193A JP3196461B2 (ja) | 1993-12-03 | 1993-12-03 | 焦電体磁器組成物及びそれを用いた赤外線センサー |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07159237A JPH07159237A (ja) | 1995-06-23 |
| JP3196461B2 true JP3196461B2 (ja) | 2001-08-06 |
Family
ID=17927995
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30401193A Expired - Fee Related JP3196461B2 (ja) | 1993-12-03 | 1993-12-03 | 焦電体磁器組成物及びそれを用いた赤外線センサー |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3196461B2 (ja) |
-
1993
- 1993-12-03 JP JP30401193A patent/JP3196461B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07159237A (ja) | 1995-06-23 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3406611B2 (ja) | 低い焼結温度で銀とともに焼成し得る低損失ｐｚｔセラミック組成物およびそれを製造するための方法 | |
| EP2431343B1 (en) | Piezoelectric ceramic, method for producing same, and piezoelectric device | |
| Wang et al. | Effect of excess Bi 2 O 3 on the electrical properties and microstructure of (Bi 1/2 Na 1/2) TiO 3 ceramics | |
| KR101393190B1 (ko) | 압전 세라믹 조성물 및 압전 장치 | |
| KR100187901B1 (ko) | 압전 세라믹 조성물 | |
| JP4927378B2 (ja) | 圧電磁器組成物および圧電素子 | |
| CN100360466C (zh) | 一种掺杂改性钛酸铋钠钾压电陶瓷及其制备方法 | |
| JP2000128632A (ja) | 圧電セラミックス | |
| JP4247936B2 (ja) | 圧電体磁器組成物 | |
| JP3196461B2 (ja) | 焦電体磁器組成物及びそれを用いた赤外線センサー | |
| WO2001021548A1 (en) | Piezoelectric ceramic compositions and methods for production thereof | |
| JPH11217262A (ja) | 圧電磁器組成物 | |
| JP2002348173A (ja) | 圧電セラミック材料とその製造方法 | |
| JP3287104B2 (ja) | 焦電体材料及びそれを用いた焦電用受光素子の製造方法、及びそれを用いた赤外線センサー | |
| JP2006169032A (ja) | 圧電磁器組成物および圧電素子 | |
| KR100426722B1 (ko) | 압전 세라믹 조성물 및 이의 제조방법 | |
| JP2004077304A (ja) | 圧電素子及びこれを用いたノッキングセンサ | |
| JP2000022235A (ja) | 圧電磁器組成物 | |
| JP2000143339A (ja) | 圧電体磁器組成物 | |
| JP3278958B2 (ja) | 焦電体材料 | |
| JP2001294486A (ja) | 圧電セラミックス | |
| Bai et al. | Low-temperature sintering of (Ba 0.85 Ca 0.15)(Zr 0.1 Ti 0.9) O 3 ceramics and thick-films | |
| Allahverdi et al. | Direct-write of PZT thick films | |
| JP2000044335A (ja) | 圧電体磁器組成物 | |
| JP2000335968A (ja) | 圧電磁器組成物 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |