KR20050018602A

KR20050018602A - 평면 기판의 인쇄 방법 및 인쇄 장치, 플라즈마디스플레이 패널의 제조 방법 및 액정 표시 장치의 제조방법

Info

Publication number: KR20050018602A
Application number: KR1020040059732A
Authority: KR
Inventors: 누노무라케이지
Original assignee: 파이오니아 플라즈마 디스플레이 가부시키가이샤
Priority date: 2003-08-08
Filing date: 2004-07-29
Publication date: 2005-02-23
Also published as: JP4026845B2; KR100666893B1; JP2005088577A

Abstract

본 발명은 토털 피치 어긋남이 적은 평면 기판의 인쇄 방법, 상기 인쇄 방법을 이용하는 플라즈마 디스플레이 패널 및 액정 표시 장치의 제조 방법, 및 평면 기판의 인쇄 장치를 제공한다.

인쇄되는 평면 유리 기판(1)을 만곡시키고, 스크린판(3)의 이면에 개략 접촉시키고, 상기 접촉 위치로부터 인쇄 시작 단측에 소정의 거리만큼 떨어진 위치에서 스퀴지(5)에 인압을 걸고, 상기 접촉부를 연속적으로 서로 어긋남을 발생시키는 일 없이 인쇄 종단 방향을 향하여 이동시킴과 함께, 소정의 거리를 유지하고 스퀴지(5)를 스크린판(3)상에서 인쇄용의 페이스트(6)를 압출하면서 이동함으로써 만곡시킨 유리 표면에 전극이나 컬러 필터 등의 패턴을 인쇄한다.

Description

평면 기판의 인쇄 방법 및 인쇄 장치, 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 방법 및 액정 표시 장치의 제조 방법{PRINT METHOD AND PRINT APPARATUS OF FLAT SUBSTRATE, MANUFACTURING METHOD OF PLASMA DISPLAY PANEL, AND MANUFACTURING METHOD OF LIQUID CRYSTAL DISPLAY APPARATUS}

발명의 배경

발명의 분야

본 발명은 평면 기판의 인쇄 방법, 특히 대형 평면형 매트릭스 표시 기판의 고미세(高精細) 패턴의 전극 등을 형성할 수 있는 인쇄 방법, 상기 평면 기판의 인쇄 방법을 사용하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 방법 및 액정 표시 장치의 제조 방법, 및 평면 기판의 인쇄 장치에 관한 것이다.

종래의 기술

평면 디스플레이 장치의 예로서, AC 면방전형 컬러 플라즈마 디스플레이의 대표적인 패널 구조예를 나타낸다. 도 14는 AC 면방전형 컬러 플라즈마 디스플레이를 도시한 사시도이다. 도 14에 도시한 바와 같이, 플라즈마 디스플레이 패널(이하, PDP(Plasma Display Panel)라고도 한다)(100)은 배면 기판(102)과 전면 기판(101)으로 이루어지고, 배면 기판(102)는 투명 유리 기판(104)상에 데이터 전극(105), 백색 유전체층(106), 격벽(107), 형광체층(RGB)(108) 등이 형성되어 있고, 또한 전면 기판(101)에는 투명 유리 기판(103)상에 주사 전극(110), 유지 전극(120), 투명 유전체층(131), 표면 보호막(132)이 형성되어 있다. 주사 전극은 버스 전극(111)과 투명 전극(112)으로, 유지 전극(120)도 버스 전극(121)과 투명 전극(122)으로 형성되어 있다. 또한, 선명한 표시를 실현하기 위해 전면 기판(101)에는 블랙 마스크나 컬러 필터층(RGB)(도시 생략)이 마련되는 것도 있다.

이들의 구성물중 데이터 전극(105), 격벽(107), 형광체층(108), 투명 전극(112 및 122), 버스 전극(111 및 121), 블랙 마스크, 컬러 필터층은 미세한 패턴형상으로 형성된다. 예를 들면 50형 와이드 XGA 표시의 플라즈마 디스플레이 패널의 경우에서는, 0.81㎜ 피치의 화소가 종방향으로 768행, 횡방향으로 1365열 배열되어 있다. 또한, 각 화소는 0.27㎜×0.81㎜의 적, 녹, 청을 각각 발광하는 직사각형의 단위 셀로 구성되어 있다. 따라서, 단위 셀이 횡방향으로 0.27㎜의 좁은 피치로 4095열 배열되어 있다. 이들의 화소가 배열하고 있는 표시부의 사이즈는 622㎜×1100㎜나 된다. 또한, 데이터 전극이나 버스 전극에서는 단자부도 필요하고, 표시부 외에 수10㎜ 정도의 길이에 걸쳐서 인출부나 단자부가 형성된다. 예를 들면 배면 기판에 형성되는 데이터 전극을 예로 하면, 약 80㎛ 폭, 길이 약 650㎜의 가늘고 길다란 금속 전극이 0.27㎜ 피치로 약 5000개나 나열되게 된다. 또한 전면 기판에 형성되는 버스 전극의 경우에서는, 주사 전극 및 공통 전극으로 이루어지는 768쌍의 페어 라인이 0.81㎜ 피치로 형성된다. 인출부 및 단자부를 더한다면 버스 전극이 패턴 형성되는 면적은 620㎜×1150㎜ 이상의 대면적으로 된다. 전극 이외에서는 단자부는 불필요하지만 표시부 전체의 대면적에 걸쳐서 고미세 패턴 형상인 것은 마찬가지이다.

이와 같은 대면적 고미세 패턴의 형성에는 포토리소그래피 기술을 사용하는 것이 일반적으로 되어 있다. 데이터 전극 및 버스 전극으로서는, (Cr/Al) 2층막 또는 (Cr/Cu/Cr) 3층막 등의 금속 박막을 스퍼터링에 의해 성막하고, 그 위에 레지스트층을 형성하고, 노광, 현상, 에칭, 박리를 행하는 박막의 포토리소그래피 기술에 의해 패터닝 하거나, 또는 듀폰사제 등의 감광성 은(銀)페이스트를 도포하고, 건조, 노광, 현상, 소성을 행하여 제작하는 후막의 포토리소그래피 기술에 의해 패터닝하거나 하고 있다. 흑색의 무기 미립자 페이스트를 이용하는 블랙 마스크의 형성에도, 후막 포토리소그래피 기술이 이용되고 있다. 100㎛ 전후의 높이가 필요한 격벽은 포토리소그래피 기술과 샌드 블라스트를 조합시킨 공법에 의해 형성되어 있다. 형광체층은 포토리소그래피 기술로도 제작할 수 있지만, 격벽을 제방(土手)으로서 이용할 수 있기 때문에, 요구되는 정밀도가 약간 느슨하게 되어, 스크린 인쇄 또는 노즐로부터 페이스트를 토출시키는 디스펜서 방식에 의해 제조되고 있다.

포토리소그래피 기술은, 정밀도가 높은 포토 마스크를 사용할 수 있기 때문에, 대면적 기판의 패턴화에 있어서도, 라인 폭의 정밀도뿐만 아니라, 피치 어긋남도 생기기 어렵고 우수한 패턴화 기술이다. 그러나, 공정이 극히 길어지는 것, 고가의 노광기를 사용할 필요가 있는 것, 재료의 이용 효율이 극히 나쁜 것, 감광성 재료가 고가인 것, 등의 이유 때문에, 생산성이 낮고 고비용으로 된다는 문제가 있다.

이에 대해, 각종의 인쇄 기술은 기판상에 직접 인쇄 패턴을 형성할 수 있기 때문에, 생산성이 높은 기술로서 기대되고 있다. 이들의 직접 묘화 기술 중에서도 스크린 인쇄는 종래부터 잘 알려진 기술이고, 플라즈마 디스플레이 패널의 제조에 있어서도, 은페이스트의 스크린 인쇄로 전극이 형성되는 경우도 있다. 단, 현재 상태에서는 스크린 인쇄법에 의해 전극이 인쇄되는 패널은, 소형 패널 및 해상도가 낮은 패널로 한정되어 있다.

도 15의 (a) 및 (b)는, 종래의 스크린 인쇄법을 그 공정 순으로 도시한 단면도이다. 스크린 인쇄는 형성 패턴에 대응한 개구부가 형성된 스크린판을 이용하고, 인쇄 페이스트를 개구부로부터 압출하여 기판상에 인쇄하는 방법이다. 구체적으로는, 도 15의 (a)에 도시한 바와 같이, 견고한 평면 스테이지(302)상에 피인쇄물의 평면 기판(303)이 실리고, 그 위에 판틀(305)에 일정한 장력으로 팽팽하게 된 스크린판(301)이 기판(303)과의 사이에 적당한 간극을 마련하여 설치된다. 그리고, 스퀴지(307)에 인압(印壓)[누르는 힘]을 가하고 스크린판(301)의 이면을 기판(303)의 표면에 꽉눌러서, 스퀴지(307)의 전면에 놓여진 페이스트(306)을 압출하면서 스퀴지(307)을 이동시킨다. 이로써, 도 15의 (b)에 도시한 바와 같이, 평면 기판(303)상에 페이스트층이 인쇄된다. 또한, 도 15의 (a) 및 (b)에 도시한 바와 같이, 이와 같은 스크린 인쇄에서는 스크린판(301)을 스퀴지(307)에 의해 탄성 변형시키면서 인쇄하기 때문에, 인쇄 패턴 또는 스퀴지 길이에 대해 여유가 있는 큰 스크린판을 이용할 필요가 있다. 예를 들면, 50형 플라즈마 디스플레이 패널 기판에 비교적 인쇄 정밀도가 엄격하지 않은 형광체층을 인쇄하는 경우에도, 2.0m×1.5m 정도의 극히 큰 스크린판이 사용된다.

그러나, 상기 종래의 스크린 인쇄법에는, 이하와 같은 문제점이 있다. 즉, 이와 같은 큰 스크린판은 고가임과 함께, 인쇄 장치 및 판 세척 장치도 대형으로 되고, 취급도 어려워진다. 또한, 대면적 고미세 스크린 인쇄의 더욱 큰 과제는 토털 피치 어긋남에 있다. 50형 와이드 XGA의 데이터 전극의 예로 보면, 횡방향으로의 어긋남 량은 패널 전체면에 걸쳐서 50㎛정도 이하를 확보할 필요가 있다. 스크린 판틀의 비틀림, 스크린판을 팽팽하게 걸 때의 잔류 응력 또는 장력의 불균일, 취급 또는 열응력에 의한 변형, 또는 판을 변형시키면서의 반복 인쇄 또는 판 세척 처리 등에 의해, 스크린 전체의 약간의 신축 또는 부분적인 미세한 변형이 생기고, 토털 피치 어긋남이 생긴다. 그리고, 어긋남 량이 큰 경우는 기록 불량 및 인접 셀로의 오기록이 발생하여, 올바른 표시를 행할 수가 없게 된다. 따라서, 표시부인 622㎜×1100㎜의 넓은 영역에 걸쳐서, 어긋남 량이 50㎛ 이하 정도의 고정밀도 인쇄가 요구된다.

한편, 최근, 컬러 LCD도 대화면화가 급격하게 진전되고 있고, 40형 정도의 대화면 액정 텔레비전 및 업무용 디스플레이도 제품화되어 오고 있다. 대화면 텔레비전 용도로는 저비용으로 제조하는 것이 특히 중요해진다. 대화면 텔레비전용의 컬러 LCD의 경우는, 퍼스널 컴퓨터의 모니터용의 컬러 LCD와 비교하여 필요한 정밀도는 낮은 것도 있고, 컬러 필터 및 블랙 마스크를 고비용 프로세스인 포토리소그래피 기술이 아니라, 저비용 프로세스인 잉크젯 인쇄 방식 또는 오프셋 인쇄 방식 등의 인쇄 기술에 의해 기판상에 직접 형성하는 것이 검토되어 있다. 이들의 인쇄 방식과 비교하여도, 안료 또는 염료를 포함한 페이스트를 이용하여 스크린 인쇄로 형성할 수 있으면, 더욱 커다란 비용 저감을 실현할 수 있다. 텔레비전 용도의 컬러 LCD 패널에서는 컬러 필터의 패턴 폭은 0.2㎜ 전후이고, 최근의 스크린 인쇄 기술로는 충분히 형성 가능한 선폭이지만, 스크린 인쇄에서는 토털 피치 어긋남의 문제가 장해로 되어 있다.

이와 같은 스크린의 신축 및 부분적인 변형에 기인하는 토털 피치 어긋남을 해소하는 방법으로서, 기판을 만곡시킨 상태에서 인쇄를 행하는 방법이 개발되어 있다(예를 들면, 특허 문헌 1 참조). 도 16은 이와 같은 종래의 기판을 만곡시키는 스크린 인쇄 방법을 도시한 단면도이다. 도 16에 도시한 바와 같이, 상기 인쇄 방법에 있어서는, 원호형상의 인쇄대(401)에 세라믹 그린 시트와 같은 피인쇄물(402)을 고정하고, 인쇄 마스크(403)와 피인쇄물(402)과의 접선 위치와 스퀴지(404)의 선단 위치를 일치시킨다. 그리고, 스퀴지(404)의 이동 방향의 전방에 페이스트(405)를 배치하고, 인쇄대(401)를 회전 구동함에 의해, 스퀴지(404)에 대해 피인쇄물(402)을 상대적으로 이동시키고, 상기 이동과 동기하여 인쇄 마스크(403)을 직선 이동시킴에 의해, 인쇄한다. 상기 방법에서는 스크린판이 하측으로 신장하는 일은 생길 수 없고, 인쇄 마스크(403)와 인쇄대(401)과의 전면적인 밀착에 수반하는 페이스트의 인쇄 어긋남 및 형상 정밀도의 열화가 생기는 일이 없고, 인쇄 어긋남 및 형상 정밀도의 열화를 유효하게 방지할 수 있는 효과가 있다고 되어 있다.

[특허 문헌 1]

특개평8-112891호 공보

그러나, 상술한 종래의 기술에는, 이하에 나타내는 바와 같은 문제점이 있다. 양호한 스크린 인쇄를 행하기 위해서는 판의 이격이 중요한다. 도 15의 (a)에 도시한 바와 같이, 판의 이격은 스퀴지(307)로 꽉눌린 부분에 있어서 스크린판(301)과 기판(303)이 이루어지는 판의 이격각(α)과, 스크린판(301)의 장력이 중요하고, 판의 이격각(α)가 크고 스크린판의 장력이 큰 편이, 판의 이격성은 좋아진다. 적절한 스크린 인쇄가 가능해지는 판의 이격각 및 스크린판의 장력은, 인쇄 페이스트의 점도, 인쇄 패턴, 인쇄 면적, 스크린판 사이즈, 인쇄 속도 등에 의해 변하지만, 현재 이용할 수 있는 대형 스크린에서 은(銀) 전극 등을 인쇄하는 경우는, 경험적으로 판의 이격각(α)은 0.3°이상이 필요하고, 보다 바람직하게는 0.7°이상이다.

도 15의 (a) 및 (b)로부터 알 수 있는 바와 같이, 판의 이격각을 크게 하기 위해서는, 종래의 스크린 인쇄에서는 스퀴지를 스크린판에 꽉누르지 않는 때의 스크린판과 기판과의 사이의 거리인 클리어런스를 크게 할 필요가 있다. 그러나, 클리어런스를 크게 하는 것은 스크린판의 변형이 커지는 것이기도 하고, 또한 스크린판의 장력을 강하게 하는 것이과 상반되는 것이 되기 때문에, 타협된 조건을 선택하여 인쇄하게 된다. 50형 플라즈마 디스플레이 패널의 데이터 전극을 인쇄하는 경우의 일반적인 조건으로서는, 5 내지 10㎜ 정도의 클리어런스가 적용되고 있다. 또한, 클리어런스가 일정한 경우는, 도 15의 (a) 및 (b)로 부터 알 수 있는 바와 같이, 인쇄 시작측에서의 판의 이격각, 즉 스퀴지의 인쇄 시작측의 스크린판과 만곡시킨 평면 기판이 이루는 각도는 크지만, 인쇄 종단측에서의 판의 이격각은 작아진다. 이와 같이, 기판의 사이즈가 커지면, 스크린판의 변형을 억제하면서, 일정한 크기의 판의 이격각도를 확보하는 것이 곤란하다. 상기 때문에, 토털 피치 어긋남을 억제하는 효과가 불충분하다.

근래, 스크린 인쇄용의 페이스트 및 스크린판의 성능의 향상도 현저하고, 50㎛ 정도의 세선 인쇄도 가능하여져 오고 있고, 컬러 플라즈마 디스플레이 패널의 전극 인쇄 등에 요구되는 세선 패턴 인쇄에의 적용도 기대된다. 또한, 대화면 컬러 LCD용의 컬러 필터를 스크린 인쇄로 형성하는 것도 기대할 수 있는 레벨에 있다. 그러나, 대면적 고해상도 패널의 인쇄에서는, 패턴의 선폭의 미세화와 함께 중요 과제인 토털 피치 어긋남의 저감에 관해서는 충분한 진보는 없고, 스크린판의 대형화에 의지하고 있는 상태에 있다.

또한, 도 16에 도시한 원주형상의 스테이지를 사용하는 기술에서는, 판의 이격각을 크게 하기 위해서는 스테이지 표면의 곡률 반경을 작게 할 필요가 있다. 상기 때문에, 대형의 표시 패널의 유리 기판에 대해 적용하는 것은 곤란하다.

본 발명은 이러한 문제점을 감안하여 이루어진 것으로, 대형 기판에 대해 인쇄할 수 있고, 토털 피치 어긋남이 적은 평면 기판의 인쇄 방법, 상기 인쇄 방법을 이용하는 플라즈마 디스플레이 패널 및 액정 표시 장치의 제조 방법, 및 평면 기판의 인쇄 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명에 관한 평면 기판의 인쇄 방법은, 평면 기판의 인쇄면상에 스크린 인쇄 마스크를 배치하고, 상기 평면 기판과 함께 상기 스크린 인쇄 마스크를 협압(挾壓)하도록 일방향으로 늘어나는 스퀴지를 배치하고, 상기 스퀴지의 상기 스퀴지가 늘어나는 방향에 교차하는 인쇄 방향 전방에 인쇄 페이스트를 배치하고, 상기 스퀴지를 상기 인쇄 방향으로 상기 평면 기판에 대해 상대적으로 이동시킴에 의해 상기 평면 기판의 인쇄면에 인쇄하는 평면 기판의 인쇄 방법에 있어서, 상기 평면 기판을 일방향으로 만곡시켜서 인쇄면을 볼록형상으로 하는 공정과, 상기 만곡한 기판의 인쇄면에 평면형상의 상기 스크린 인쇄 마스크의 제 1의 면을 접촉시키는 공정과, 상기 스퀴지를 상기 스크린 인쇄 마스크의 제 2의 면에 있어서의 상기 기판과의 접촉 부분으로부터 상기 인쇄 방향 후방에 사이가 떨어진 부분에 꽉눌러서 상기 부분을 상기 기판과 함께 협압하는 공정과, 상기 스크린 인쇄 마스크의 제 2의 면상에 있어서의 상기 스퀴지의 상기 인쇄 방향 전방에 인쇄 페이스트를 배치하는 공정과, 상기 기판과 상기 스크린 인쇄 마스크와의 접촉 부분을 상기 인쇄 방향으로 이동시키면서, 상기 스퀴지를 상기 인쇄 방향으로 상기 기판에 대해 상대적으로 이동시킴에 의해 상기 기판의 인쇄면에 인쇄하는 공정을 갖는 것을 특징으로 한다.

본 발명에서는, 스퀴지를 스크린 인쇄 마스크와 상기 기판과의 접촉 부분으로부터 인쇄 방향 후방에 사이가 떨어진 부분에 꽉눌러서 상기 부분을 상기 기판과 함께 협압함에 의해, 스크린 인쇄 마스크의 변형량을 극히 작게 억제한 채로, 인쇄 후단에서의 판의 이격각을 크게 할 수 있다. 이로써, 평면 기판의 사이즈를 크게 한 경우에도, 토털 피치 어긋남을 작게 억제할 수 있고, 고정밀도의 인쇄를 행할 수 있다.

또한, 상기 평면 기판은 플라즈마 디스플레이 패널의 전면 기판 또는 배면 기판이고, 상기 기판의 인쇄면에 전극, 블랙 마스크, 컬러 필터, 유전체층 및 형광체층으로 이루어지는 군으로부터 선택된 1 또는 2 이상의 패턴을 인쇄하는 것이라도 좋다. 또는, 상기 평면 기판은 액정 패널의 기판이고, 상기 기판의 인쇄면에 블랙 마스크 및 컬러 필터중 적어도 한쪽을 인쇄하는 것이라도 좋다.

본 발명에 관한 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 방법은, 상기 인쇄 방법에 의해 플라즈마 디스플레이 패널의 전면 기판 및 배면 기판의 밀봉체(封着體)를 제조하는 제 1의 공정과, 상기 밀봉체 및 상기 밀봉체를 구동하는 회로에 의해 모듈을 제조하는 제 2의 공정과, 화상 신호의 포맷 변환을 행하고, 상기 모듈에 송신하는 인터페이스를 제조하는 제 3의 공정과, 상기 모듈와 상기 인터페이스를 상호간에 전기적으로 접속하는 제 4의 공정을 갖는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 관한 액정 표시 장치의 제조 방법은, 상기 인쇄 방법에 의해 액정 패널을 제조하는 제 1의 공정과, 상기 액정 패널 및 상기 액정 패널을 구동하는 회로에 의해 모듈을 제조하는 제 2의 공정과, 화상 신호의 포맷 변환을 행하고, 상기 모듈에 송신하는 인터페이스를 제조하는 제 3의 공정과, 상기 모듈과 상기 인터페이스를 상호간에 전기적으로 접속하는 제 4의 공정을 갖는 것을 특징으로 한다.

이로써, 대형의 플라즈마 디스플레이 패널 및 액정 표시 장치를 수율 좋게 저비용으로 제조할 수 있다.

본 발명에 관한 다른 평면 기판의 인쇄 방법은, 평면 기판을 제 1의 방향으로 일양하게 만곡시켜서 인쇄면을 볼록형상으로 하는 공정과, 상기 인쇄면에 평면형상의 스크린 인쇄 마스크의 제 1의 면을 접촉시키는 공정과, 스퀴지를 상기 스크린 인쇄 마스크의 제 2의 면에 꽉눌러서, 상기 스크린 인쇄 마스크의 상기 제 1의 면과 상기 인쇄면을 상호간에 띠(帶) 형상으로 접촉시키는 공정을 갖는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 관한 또다른 평면 기판의 인쇄 방법은, 평면 기판을 인쇄면이 볼록형상이 되도록 제 1의 방향으로 일양하게 만곡시키는 공정과, 상기 인쇄면에 있어서 상기 제 1의 방향과 교차하는 제 2의 방향으로 늘어나는 직선을 접선으로 하여 상기 인쇄면에 평면형상의 스크린 인쇄 마스크의 제 1의 면을 접촉시키는 공정과, 상기 인쇄면의 상기 접선 위치로부터 소정의 거리만큼 떨어진 위치에서 스퀴지를 상기 스크린 인쇄 마스크의 제 2의 면에 꽉눌러서, 상기 스크린 인쇄 마스크와 상기 인쇄면을 상호간에 접촉시키는 공정과, 상기 스퀴지를 상기 인쇄면에 대해 상기 접선 위치를 향하는 방향으로 상대적으로 이동시키는 공정을 갖는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 관한 평면 기판의 인쇄 장치는, 평면 기판을 일방향으로 만곡시켜서 인쇄면을 볼록형상으로 한 상태에서 고정하는 고정 수단과, 만곡된 상기 기판상에 배치되고 상기 기판의 일부에 접촉하는 평면형상의 스크린 인쇄 마스크와, 일방향으로 늘어나고 상기 스크린 인쇄 마스크상에 배치되고 상기 스크린 인쇄 마스크에 있어서의 상기 기판과의 접촉 부분으로부터 인쇄 방향 후방에 사이가 떨어진 부분을 상기 평면 기판과 함께 협압하는 스퀴지와, 상기 기판에 있어서의 상기 스크린 인쇄 마스크와의 접촉 부분을 상기 인쇄 방향으로 이동시키는 제 1의 이동 수단과, 상기 접촉 부분의 이동에 동기하여 상기 스퀴지를 상기 인쇄 방향으로 상기 기판에 대해 상대적으로 이동시키는 제 2의 이동 수단을 갖는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 관한 다른 평면 기판의 인쇄 장치는, 평면 기판을 제 1의 방향으로 만곡시켜서 인쇄면을 볼록형상으로 한 상태로 고정하는 고정 수단과, 만곡된 상기 기판상에 배치되고 상기 인쇄면에 그 제 1의 면에서 접촉하는 평면형상의 스크린 인쇄 마스크와, 상기 스크린 인쇄 마스크의 제 2의 면에 꽉눌려지고, 상기 스크린 인쇄 마스크의 상기 제 1의 면과 상기 인쇄면을 상호간에 띠 형상의 영역에서 접촉시키는 스퀴지를 갖는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 관한 또다른 평면 기판의 인쇄 장치는, 탄성을 갖는 피인쇄물을 제 1의 방향으로 만곡시켜서 인쇄면을 볼록형상으로 한 상태에서 고정하는 고정 수단과, 상기 인쇄면에 있어서 상기 제 1의 방향과 교차하는 제 2의 방향으로 늘어나는 직선을 접선으로 하여 상기 인쇄면에 접촉하도록 배치되는 스크린 인쇄 마스크와, 상기 접선의 위치를 상기 인쇄면에 따라 이동시키는 제 1의 이동 수단과, 상기 접선으로부터 소정의 거리만큼 떨어진 위치에서 상기 스크린 인쇄 마스크의 제 2의 면에 꽉눌려지고, 상기 스크린 인쇄 마스크와 상기 인쇄면을 상호간에 접촉시키는 스퀴지와, 상기 접선의 위치의 이동에 동기하여 상기 스퀴지와 상기 스크린 인쇄 마스크를 상대적으로 이동시키는 제 2의 이동 수단을 갖는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 의하면, 플라즈마 디스플레이 패널 및 컬러 LCD 등의 표시 장치에서 사용되는 평면 유리 기판이 탄성을 갖고 있는 것과 및 형성되는 패턴 형상의 특징에 주목하여, 상술한 바와 같이 인쇄 방법을 모색함에 의해, 토털 피치 어긋남이 적은 스크린 인쇄를 실현할 수 있다. 또한, 판의 이격각을 확보하고, 양호한 스크린 인쇄를 실현할 수 있다. 이로써, 대화면 박형 텔레비전으로서 기대되는 플라즈마 표시 장치 및 컬러 LCD 등의 대화면 평면 표시 장치의 저가격화에 기여할 수 있다.

이하, 본 발명의 실시 형태에 관해 첨부한 도면을 참조하여 구체적으로 설명한다. 우선, 본 발명의 제 1의 실시 형태에 관해 설명한다. 도 1의 (a) 내지 (f)는 본 실시 형태에 관한 평면 기판의 인쇄 방법을 그 공정 순으로 도시한 단면도이다. 본 실시 형태는, 평면 기판의 인쇄 방법의 실시 형태이다. 또한, 도 2는, 본 실시 형태에 관한 평면 기판의 인쇄 방법을 도시한 사시도이고, 도 3은 그 단면도이다. 또한, 도 1의 (a) 내지 (f)에 있어서, 도시의 횡방향을 제 1의 방향으로 하고, 지면에 수직한 방향을 제 2의 방향으로 한다. 또한, 도 2에 도시한 X방향이 제 1의 방향이고, Y방향이 제 2의 방향이다. 본 명세서에서는 특히 거절하지 않는 한 제 2의 방향은 단면도에 있어서의 지면에 수직한 방향으로 한다.

우선, 도 1의 (a) 및 (b)에 도시한 바와 같이, 제 2의 방향에 직교하는 제 1의 방향으로 일양하게 만곡하는 만곡 표면(7)을 갖는 만곡면 스테이지(2)에 있어서, 우선 평면 유리 기판(1)에 압력을 가하여, 만곡면 스테이지(2)의 만곡 표면(7)에 따라 고정한다. 상기 때, 진공 흡착에 의해 평면 유리 기판(1)을 만곡면 스테이지(2)의 만곡 표면(7)에 밀착시킨다. 즉 탄성을 갖는 평면 유리 기판(1)을 탄성 한계 내에서 제 1의 방향으로 인쇄면이 볼록형상이 되도록 일양하게 만곡시킨다. 만곡면 스테이지(2)의 만곡 표면(7)은 반경 5m의 원통의 일부를 잘라낸 형상으로 한다.

다음에, 도 1의 (c)에 도시한 바와 같이, 상기 만곡 표면 스테이지(2)를 스크린 인쇄 마스크인 판틀(4)에 고정된 평면형상의 스크린판(3)의 아래에 배치하고, 피인쇄물인 평면 유리 기판(1)의 인쇄 동작 시작측의 부위를, 스테이지(2)의 인쇄 시작측을 들어올림에 의해 스크린판(3)의 이면과 접촉시킨다. 상기 때, 평면 유리 기판(1)은 스크린판(3)과 제 2의 방향으로 늘어나는 직선을 접선으로 하여 선형상으로 접촉하고 있다. 그리고, 제 2의 방향으로 늘어나는 라인 형상의 스퀴지를, 상기 접선(C)보다 인쇄 시작측에 소정의 거리만큼 비켜놓은 위치(P)에서 스크린판 표면에 적절한 인압(印壓)으로 꽉눌러서, 스크린판(3)을 만곡시킨 평면 유리 기판(1)에 띠 형상의 영역에서 접촉시킨다. 스퀴지(5)의 전면, 즉 인쇄 종단측에는 인쇄 페이스트(6)가 놓여진다. 또한, 스퀴지(5)로는, 예를 들면, 경도가 70의 우레탄으로 이루어지는 평형(平型) 스퀴지를 사용한다.

다음에, 도 1의 (d) 및 (e)에 도시한 바와 같이, 인쇄 시작측의 만곡면 스테이지(2)와 인쇄 종단측의 만곡면 스테이지(2)가 상대적으로 역방향으로 상하운동함에 의해 스크린판(3)과 만곡된 평면 유리 기판(1)의 접촉 위치를 연속적으로 바꾸면서 띠 형상의 접촉부가 인쇄 시작측에서부터 인쇄 종단측으로, 즉 도면중의 오른쪽 방향으로 이동한다. 상기 접촉부의 이동과 동기하여 스퀴지(5)가, 접선(C)으로부터 소정의 거리를 유지한 위치(P)에서 스크린판(3)을 만곡시킨 평면 유리 기판(1)에 접촉시킨 채로, 스크린판(3)의 위를 오른쪽 방향으로 이동한다. 인쇄 종단까지 이처럼 이동시킴에 의해 만곡시킨 평면 유리 기판(1)의 전체면에 인쇄 패턴(14)을 인쇄한다. 다음에, 도 1의 (f)에 도시한 바와 같이, 만곡면 스테이지(2)로부터 평면 유리 기판(1)이 떼어지고 평면 유리 기판(1)상에의 인쇄가 완료된다.

이와 같이, 탄성을 갖는 평면 기판을 제 1의 방향으로 일양하게 만곡시키고, 만곡한 기판의 인쇄면상의 제 2의 방향으로 늘어나는 직선을 접선으로 하여 기판에 접하도록 평면형상의 인쇄 마스크를 배치하고, 상기 접선의 위치를 제 1의 방향으로 이동시키는데 동기하여 스퀴지와 인쇄 마스크를 상대적으로 이동시킴에 의해, 기판의 인쇄면의 인쇄를 행할 수 있다. 즉, 접선의 이동에 동기하여 스퀴지(5)와 스크린판(3)이 접하는 위치도 이동한다. 또한, 본 실시 형태에서는, 평면 유리 기판을 원호형상으로 만곡시켰다. 원호형상의 만곡은 가장 단순하고 실용화하기 쉽지만, 원리적으로는, 탄성 한계 내에서 일양하게 만곡시키는 것이면, 포물선형상 또는 타원형상 등, 단면은 원호형상이 아니라도 좋고, 만곡 형상에 응한 제어를 행함에 의해 본 발명의 인쇄를 행할 수가 있다.

본 실시 형태는 50형 플라즈마 디스플레이 패널의 배면 기판에 형성되는 데이터 전극으로서 은페이스트를 인쇄하는 예인데, 도 2에 도시한 바와 같이, 데이터 전극이 라인 형상으로 늘어나는 방향으로 인쇄를 행하고 있다.

본 실시 형태에서는, 평면 기판을 만곡시키고 스퀴지 위치를 적절하게 배치함에 의해 양호한 스크린 인쇄를 할 수 있는 판의 이격각을 확보할 수 있다. 이에 관해 도 3으로 설명한다. 도 3에 도시한 바와 같이, 평면 기판(1)이 점(O)을 중심으로 하는 반경(R)의 원호형상으로 만곡되어 있다. 평면형상의 스크린판(3)의 이면에 만곡된 기판(1)의 표면을 접근시킴에 의해 선형상으로 접하게 된다. 단면에 있어서의 상기 접촉점을 C라고 한다. 즉, 도 3에 있어서 접촉점(C)을 통과하는 지면에 수직한 직선을 접선으로 하여 스크린판(3)과 만곡된 평면 기판(1)은 접한다. 그리고, 스퀴지(5)를 점(C)으로부터 인쇄 시작측으로 길이(L)만큼 떨어진 스크린판(3)상의 위치(P)에 배치하고, 스퀴지(5)를 스크린판(3)의 면에 수직으로 꽉누름에 의해 스크린판(3)을 만곡된 기판(1)에 가압하면, 스크린판(3)과 기판(1)은 띠 형상으로 접하게 된다. 도 3의 단면도에 있어서, 만곡된 기판(1)의 표면의 접촉점(C)과 점(O)을 연결하는 직선과 스퀴지(5)에 의해 스크린판(3)이 꽉눌린 만곡된 기판(1)의 표면의 점(P)이 이루는 각도를 γ라고 한다. 또한, 상기 2점의 높이 방향의 거리를 H라고 한다. 높이(H)만큼 스퀴지에 의해 스크린판을 압하함에 의한 스크린판의 경사한 각도를 β라고 한다. 인쇄 시작 후에 있어서의 기판(1)의 표면과 스크린판(3)의 이면이 이루는 각도가 판의 이격각이고, 이것을 α라고 한다. 이들의 사이에서는 이하에 나타내는 관계가 있다.

H = R(1-cosγ)

L = Rsinγ

a = β+γ

R을 5m로 하고, L을 61㎜으로 함에 의해, γ는 0.7°, H는 0.37㎜로 된다. β는 스크린판의 사이즈 및 인쇄 위치에 따라 다르지만, 통상의 스크린 인쇄의 클리어런스에 상당한 H가 0.37㎜로 작기 때문에, 판틀과 인쇄 위치와의 사이의 거리를 1m로 하면, β는 0.O2°밖에 없다. 따라서, 본 실시 형태에서는, 판의 이격각(α)은 거의 γ로 결정되게 된다. 이와 같이, 본 실시 형태에 의하면, 스크린판의 변형을 극히 작게 할 수 있다. 예를 들면, 도 15의 (a) 및 (b)에 도시한 종래의 방법에서, 스크린판의 인쇄 방향의 길이가 1500㎜인 경우에는, 0.7°의 판의 이격각도를 중앙부에서 확보하기 위해서는, 클리어런스는 9.2㎜로 할 필요가 있고, 상기 경우 스크린판은 75ppm 정도 신장하게 된다. 이에 대해, 본 실시 형태에서는, 같은 0.7°의 판의 이격각을 실현하면서도 스크린판의 신장은 불과 1ppm밖에 없다. 또한, 인쇄 방향에 직교하는 방향(제 2의 방향)의 스크린판의 신장도 극히 작다. 인쇄 방향에 직교하는 방향의 스크린판의 길이를 2000㎜로 하고, 스퀴지의 길이를 1200㎜로 하면, 종래의 스크린 인쇄에서는 9.2㎜의 클리어런스분을 스퀴지로 압입하고 있기 때문에, 106ppm의 신장으로 됨에 대해, 본 실시 형태에서는 스퀴지로 스크린판을 압입하고 있는 것은 0.37㎜밖에 없고, 인쇄 방향과 직교하는 방향의 스크린판의 신장은 0.1ppm로 극히 작다. 또한, 본 실시 형태에서는, 스크린판(3)과 평면 유리 기판(1)과의 접촉 영역의 인쇄 방향에 있어서의 길이는 2㎜ 이상으로 하는 것이 바람직하다. 또한, 판의 이격각(α)은 0.2°이상으로 하는 것이 바람직하다.

만곡된 평면 기판의 곡률 반경을 작게 할 수록, 같은 판의 이격각을 실현하는 H와 L의 값은 작아지고, 인쇄시의 스크린판의 신장도 작게 할 수 있다. 단, 평면 유리의 두께가 두꺼운 경우는, 곡률 반경을 과도하게 작게 하면, 평면 유리 기판이 갈라져 버리기 때문에, 그다지 곡률 반경을 작게 할 수 없다. 또한, 평면 기판을 만곡시킴에 의해 인쇄 표면의 길이가 변화하는 것도 고려할 필요가 있다. 컬러 LCD용의 유리 기판에는, 두께가 0.7㎜ 정도의 극히 얇은 것이 사용되고 있고, 상기 경우는 반경 1m 정도의 매우작은 곡률로 할 수 있다. 이에 대해 컬러 플라즈마 디스플레이 패널용의 유리 기판은 이것보다도 두껍기 때문에, 곡률 반경을 8m 이상으로 하는 것이 실용적이다. 그러나, 컬러 플라즈마 디스플레이 패널용의 유리 기판도 얇게 하는 방향에 있고, 가까운 장래에는 1 내지 2㎜ 정도의 유리 두께가 주류가 된다고 판단된다. 상기 경우는, 3m 정도의 곡률 반경으로 하는 것도 가능해진다.

역으로, 곡률 반경이 큰 경우는, 큰 판의 이격각을 얻기 어려워지는 것, 판의 변형이 커지는 것, 스크린판 사이즈를 크게 할 필요가 생기는 등의 문제가 생긴다. 물론, 그래도 종래의 스크린 인쇄에 비교하면, 이들의 점에서는 우위성이 역전되는 것이 아니고, 100m의 큰 곡률 반경으로 하여도, 이점은 있다. 그러나, 본 발명을 실현하기 위해서는 정밀도가 높은 만곡면 스테이지 및 복잡한 인쇄 기구가 필요하고, 종래의 인쇄 장치에 비하여 고비용의 것으로 되기 때문에, 본 발명의 메리트가 작은 경우에는 공업적으로 이용하는 가치가 감소된다. 상기 때문에, 종래의 스크린 인쇄와는 10배 정도의 큰 효과를 얻을 수 있는 40m 이하의 곡률 반경으로 하는 것이 바람직하다.

또한, 상술한 도 3에 도시한 예에서는, 스퀴지로 스크린판을 압입하기 전의 상태로서는 만곡시킨 기판 표면과 스크린판 이면이 꼭 접하는 상태로 하였지만, 만곡시킨 기판을 스크린판 이면과의 접촉한 높이로부터 더욱 들어올리는 방법도 있다. 이하, 본 실시 형태의 변형예에 관해 설명한다. 도 4는 본 변형예에 관한 평면 기판의 인쇄 방법을 도시한 단면도이다. 전술한 본 실시 형태에서는, 판의 이격각(α)는 원래 클리어런스에 의한 각도(β)의 영향은 적고, 만곡에 의해 얻어지는 각도(γ)가 대부분이다. 상기 때문에, 도 4에 도시한 바와 같이, 도 3에 도시한 각도(β)가 0이 되도록 하면, 스퀴지로 스크린판을 압입하는 일 없이 적절한 판의 이격각을 실현할 수 있다. 도 4에 도시한 본 변형예에 있어서는, 도 3의 방법에 비하여 스퀴지의 인압을 작게 할 수 있다. 또한, 도 4의 경우와는 역으로 스크린판과 만곡시킨 기판 표면과의 사이에 종래의 스크린 인쇄와 마찬가지로 큰 클리어런스를 마련하고, 스퀴지로 스크린판을 압입하여 인쇄할 수도 있다. 상기 경우는 판의 이격각을 더욱 크게할 수 있지만, 스크린판의 변형도 당연히 커져 버리기 때문에, 본 발명의 이점을 줄이는 것으로 되기 때문에 적절한 방책이 아니다.

상술한 바와 같이, 본 실시 형태 및 그 변형예에 관한 인쇄 방법에서는, 스크린판의 변형을 작게 하면서 양호한 판의 이격을 실현할 수 있지만, 본 실시 형태의 방법에 의한 또하나의 이점은, 인쇄할 때에 스퀴지의 전방측에서 스크린판 이면과 피인쇄 기판의 표면이 띠 형상으로 밀착하고 있는 것으로부터 얻어진다. 스크린 인쇄에서는, 토털 피치 어긋남 및 국소적인 변형 등을 없애서 인쇄 패턴 정밀도를 확보하는것 이전에, 당연하지만 인쇄 패턴 전체가 긁히는 일 없이 또한 번짐 없이 패턴 인쇄할 수 있는 것이 기본적인 요건이다. 단선 및 선이 가늘게 되는 긁힘과 패턴의 번짐과는 트레이드 오프의 관계가 되기 때문에, 인쇄 페이스트의 점탄성의 조정 및 인쇄 조건의 조정을 행하여, 적절한 조건에 하나하나 맞출 필요가 있다. 그러나, 표시 장치의 고미세화 및 대면적화에 수반하여, 양호한 패턴 인쇄를 할 수 있는 페이스트의 특성 및 인쇄 조건의 적정 범위가 좁아지고, 공업적으로 안정된 인쇄를 행하는 것이 어려워진다.

스크린 인쇄는 스퀴지를 이동시킴에 의해, 스퀴지의 전면에 있는 페이스트에 압력을 가하고 스크린판의 개구부에 충전하여 기판 표면에 전사함에 의해 인쇄되는 것이다. 전술한 바와 같이, 종래의 스크린 인쇄 방법에서는, 인쇄 기판 표면에서부터 간극을 띄어서 스크린판을 설치하고, 스크린판을 스퀴지로 압하함에 의해, 스퀴지의 에지부로 스크린판 이면의 에멀전 면을 기판 표면에 밀착시키고 있다. 따라서, 그 전방에서는 스크린판 이면과 기판 표면과는 간극이 생겨 있는 상태에 있다. 따라서, 페이스트의 점도가 너무 낮은 경우, 및 스퀴지의 설정에 의해 페이스트를 압출하는 힘이 너무 강한 경우에는, 스퀴지의 전방부위로의 스크린판의 개구부로부터 압출된 페이스트가 스크린판 이면의 에멀전 면과 기판 표면의 간극으로 배어져 나와, 번짐으로 되어 버린다.

이에 대해, 본 실시 형태에서는, 스크린판이 만곡된 기판 표면에 꽉눌려져서, 스퀴지의 전방에서 띠 형상으로 밀착하고 있다. 상기 때문에 스퀴지의 전방에서 스크린판의 개구부로부터 페이스트가 배어져 나오기 어렵고, 인쇄의 번짐이 생기기 어렵다. 또한, 전술한 인쇄면 전체면에 걸쳐서 적절한 판의 이격 상태를 유지할 수 있는 효과도, 번짐이 없는 인쇄의 실현에 기여한다. 상기 때문에, 본 실시 형태의 스크린 인쇄를 이용함에 의해, 대면적의 기판의 표면 전체면에 걸쳐서, 균일하게 긁힘 및 번짐이 없는 패턴 인쇄를 행할 수가 있다. 이것은, 인쇄 페이스트의 점탄성, 스퀴지의 각도 및 에지의 상태 등의 조정 폭에 마진을 갖게 할 수 있는 것으로도 된다. 또한, 일반적인 인쇄 페이스트를 사용하는 경우에서는, 스퀴지 전면에서 스크린판과 기판 표면이 밀착하고 있는 길이가 조금이라도 증가하면 번빔 방지의 효과가 있지만, 실용적으로는 2㎜ 정도를 확보함에 의해, 공업적으로 재현성이 있는 효과를 얻을 수 있다. 또한, 번짐은 스퀴지의 에지 부근에서 발생하는 현상이고, 밀착부를 너무 길게 하여도 번짐 방지 효과는 포화되기 때문에, 20㎜ 이하면 좋다. 본 발명에서는 도 3 및 도 4에 도시한 L의 값이 밀착 길이이고, 필요한 판의 이격각을 얻기 위해 L의 값을 수밀리 이상에 설정하는 것으로 되기 때문에, 번짐 방지에 주안을 두어 L의 값을 길게 하도록 설정할 필요는 없다.

또한, 스크린 인쇄 및 메탈판 인쇄에서는 콘택트 방식이 알려져 있다. 상기 방법은 평면 기판 표면상에 개구부를 갖는 인쇄판을 직접 놓고, 스퀴지로 인쇄하는 것이다. 상기 방식에서는, 인쇄판은 단지 기판 표면에 놓여져 있을 뿐이고, 인쇄판 이면과 기판 표면이 압력을 받아서 밀착하고 있는 상태는 없다. 따라서, 인쇄 페이스트의 개구부로부터의 번짐에 대한 방지 효과는 거의 없다. 본 실시 형태의 방법에서는, 강한 장력으로 팽팽하여진 스크린판을 만곡된 기판과 스퀴지 에지로 꽉 끼우도록 압력이 걸려 있기 때문에, 스크린판은 스퀴지 에지의 전방에서 기판 표면의 띠 형상 영역에 꽉눌려 있고, 콘택트 인쇄와는 명확하게 다르게 번짐 방지 효과를 갖는다.

이와 같이, 본 실시 형태에서는, 충분한 판의 이격각도를 실현하면서 인쇄시의 스크린판의 변형을 극히 작게 할 수 있다. 상기 때문에, 스크린판의 사이즈를 종래의 스크린 인쇄에 필요하게 되는 사이즈보다 작게 할 수 있다. 또한, 스크린판의 장력을 크게 하는 것도 가능해진다. 상기 경우, 양호한 인쇄에 필요해지는 판의 이격각 자체도 작게 할 수 있다. 상술한 실시 형태에서는, 종래의 스크린판과 같은 2000㎜×1500㎜의 스크린판을 상정하여 변형량 등을 비교하였는데, 본 발명으로는 1400㎜×1000㎜의 한단계 이상 작은 스크린판을 사용하고, 0.5°의 판의 이격각으로 인쇄하더라도, 판의 신장은 극히 작고 양호한 고정밀도 인쇄를 행할 수가 있다. 상기 경우에도 인쇄시의 스크린판의 인쇄 방향의 신장은 2ppm 이하이고, 또한 인쇄 방향과 직교하는 방향의 스크린판의 신장은 0.3ppm 이하이다. 즉, 작은 스크린판을 사용함에도 불구하고 스크린판의 변형은 극히 작다. 또한, 양호한 인쇄에 필요해지는 판의 이격각은 여러가지의 상황에 의해 변하지만, 본 발명의 경우에서는 상술한 바와 같이 통상의 인쇄보다 작게 하는 것이 가능하고, 또한, 만곡 효과에 의해 스퀴지로부터 멀어짐 따라 급속하게 스크린판과 만곡된 기판 표면의 거리가 커지는 효과도 있고, 스퀴지 위치에서의 판의 이격각도는 0.2°정도라도, 많은 경우 양호한 인쇄가 가능해진다.

또한, 도 3 및 도 4를 종래의 스크린 인쇄의 상태를 도시한 도 15와 비교하면 용이하게 이해할 수 있지만, 본 발명에서는 판의 이격각의 대부분은 기판 표면의 만곡 형상 및 H 및 L의 설정으로 결정되기 때문에, 인쇄 위치에 관계없이 일정한 판의 이격각으로 할 수 있고, 큰 기판에서도 전체면에 걸쳐서 균일하게 인쇄할 수 있다. 상기 특징은 패턴 인쇄뿐만 아니라, 베타 인쇄에 본 발명을 적용하여도 인쇄 두께의 균일성을 개선하는 등의 효과를 얻을 수 있다. 또한, 인쇄 패턴 형상의 소밀(疏密)이 면 내에서 크게 다른 등, 최적의 판의 이격각도가 인쇄 위치에 따라 다른 경우에서는, L의 길이를 인쇄중에 다이내믹하게 변화시킴에 의해, 용이하게 판의 이격각을 바꾸면서 최적의 인쇄를 행할 수 있다.

작은 스크린판 사이즈를 사용할 수 있는 것은, 스크린판의 취급이 용이해지고, 인쇄 장치 및 스크린판 세척 장치를 소형으로 할 수 있다는 이점이 있을뿐만 아니라, 고미세 인쇄에 적합한 선경이 가는 리지타이즈 메시, 캘린더 롤 메시 및 고인장도 액정 섬유를 사용한 V스크린(상표) 등의 원단 폭이 좁은 메시를 높은 장력으로 사용할 수 있도록 된다. 상기 때문에, 고정밀도 인쇄를 보다 가능하게 하는 상승 효과도 얻어지고, 본 발명의 효과를 높이게 된다.

본 실시 형태에서는, 인쇄시의 스퀴지에 의한 스크린판의 압입하는 량이 극히 작기 때문에, 스퀴지의 인압도 통상의 스크린 인쇄와 비교하여 낮게 할 수 있다. 따라서, 스퀴지와 스크린판과의 사이의 마찰도 적고, 복수회의 반복 인쇄에 의해 생기는 스크린판의 패턴의 변형도 생기기 어렵다. 상기 때문에, 인쇄 정밀도가 현격하게 개선되고, 세선이며 좁은 피치 패턴의 대면적 인쇄가 가능해지고, 대화면 플라즈마 디스플레이 패널의 데이터 전극 인쇄에도 채용할 수 있다.

마찬가지로, 본 실시 형태에 관한 인쇄 방법은, 데이터 전극 이외에도, 은을 사용하여 전면 유리 기판에 형성되는 버스 전극에도 적용할 수 있다. 버스 전극은 표시 특성을 좋게 하기 위해 흑색화된 흑색층과 저항이 낮은 저저항층과의 2층 구성으로 하는 것이 바람한데, 본 실시 형태에서는, 토털 피치 어긋남이 적기 때문에, 흑색층을 인쇄하고, 건조한 후에, 저저항층을 위치 어긋남 없이 인쇄할 수 있다.

또한, 본 인쇄에서는 경도 70의 우레탄계의 평형 스퀴지를 사용하였지만, 인쇄 상황에 따라 적당한 것을 사용하면 좋다. 또한, 스퀴지의 설치 각도, 스퀴지의 형상 및 경도, 페이스트 점도, 스크린판의 장력, 인쇄 속도 등의 일반적 인쇄 조건은, 인쇄 상태를 판단하면서 종래의 스크린 인쇄와 같은 방식으로 조정하면 좋다.

다음에, 본 실시 형태에 관한 평면 기판의 인쇄 방법에 있어서, 적절한 인쇄 방향에 관해 설명한다. 플라즈마 디스플레이 패널 등의 평면 디스플레이 패널의 전극 및 다른 구성물의 제조에 있어서는, 일반적으로, 높은 인쇄 정밀도가 요구되는 방향과 인쇄 정밀도가 엄격하지 않은 방향이 존재한다. 도 5의 (a)는 플라즈마 디스플레이 패널의 데이터 전극 패턴을 도시한 평면도이고, (b)는 버스 전극 패턴을 도시한 평면도이다. 도 5의 (a)에 도시한 데이터 전극의 예에서는, 표시 화소가 배열되는 부분에서는 길다란 라인이 같은 배열 피치로 배열되고, 유리 기판의 단부에서는 라인의 배열 피치가 변화하여, 기판 단부에 형성되는 단자부에 접속되는 형상으로 되어 있는 것이 일반적이다. 상기와 같은 때, 데이터 전극(15)이 늘어나는 방향(라인 방향)으로 요구되는 길이 정밀도는 엄격하지는 않다. 이에 대해, 라인 방향과 직교하는 피치 방향으로 데이터 전극이 좁은 피치로 배열되기 때문에, 요구되는 정밀도가 엄격하다. 상기 데이터 전극의 배열 피치와 후에 형성되는 격벽 및 형광체층의 피치와는 일치하고 있을 필요가 있고, 표시부에서 부분적으로도 어긋남이 생기면 불량품이 된다. 도 5의 (b)에 도시한 버스 전극의 경우는, 버스 전극(16)의 형상은 데이터 전극(15)이 늘어나는 방향에 직교하는 방향으로 늘어나는 라인 형상이고, 그 라인 방향으로는 필요 정밀도는 낮지만, 피치 방향으로는, 투명 전극 및 블랙 마스크 등과의 위치 관계를 엄밀하게 제어할 필요가 있기 때문에, 높은 정밀도가 요구된다.

본 실시 형태에서는, 강도가 높은 판틀 및 사이즈가 작은 스크린판을 사용하고, 또한 스크린판을 거의 변형시키지 않고 인쇄를 행할 수가 있기 때문에, 높은 패턴 형성 정밀도를 실현할 수 있다. 그러나, 인쇄를 하면서 만곡면 스테이지 등을 이동시킬 필요가 있고, 인쇄 방향의 인쇄 패턴 정밀도는 인쇄 장치의 기계적 정밀도에 영향을 받게 된다. 물론 인쇄 장치의 고정밀도화, 고제어화에 의해 높은 이동 정밀도를 실현하는 것은 원리적으로는 가능하기는 하지만, 요구 정밀도가 높은 피치 방향을 인쇄 방향과 직교하는 방향(도2에 도시한 Y방향)과 일치시킴에 의해, 인쇄 장치의 비용을 증대시키는 일 없이, 높은 토털 피치 정밀도를 용이하게 실현할 수 있다.

즉, 평면 유리 기판(1)의 인쇄면에, 도 1의 지면에 수직한 방향인 제 1의 방향과는 직교하는 방향으로 실질적으로 평행한 라인 형상의 패턴을 인쇄함에 의해, 또한 인쇄 방향을 실질적으로 제 1과는 직교하는 방향으로 함에 의해, 높은 토털 피치 정밀도가 용이하게 실현된다.

본 실시 형태에 관한 플라즈마 디스플레이에 있어서, 데이터 전극 및 버스 전극 이외의 블랙 마스크, 컬러 필터, 형광체 및 패턴화된 유전체층에 있어서도, 요구되는 토털 피치 정밀도는 일반적으로 방향에 따라 다르고, 요구 정밀도가 상대적으로 엄격한 방향과 상대적으로 엄격하지 않은 방향이 있다. 예를 들면 콘트라스트 향상을 위해 단위 셀의 주위를 흑색화하는 블랙 마스크의 경우에도, 열방향으로는 0.27㎜ 피치이고, 행방향으로는 0.81㎜ 피치이고, 또한 행방향의 길이도 짧기 때문에, 행방향의 토털 피치 어긋남의 허용도는 열방향에 비교하여 엄격해지고. 이는, 플라즈마 디스플레이 이외에서도, 컬러 액정용의 블랙 매트릭스 및 컬러 필터 및 전자 방사 디스플레이의 전극 패턴 등에서도 마찬가지이다.

본 실시 형태에서는, 상기 특징을 적극적으로 이용하여, 평면 유리 기판을 요구 토털 피치 정밀도가 엄격하지 않은 라인 방향에서 만곡시키고, 상기 방향을 인쇄 방향으로 하고, 토털 피치의 요구가 엄격한 방향을 인쇄 방향과 직교하는 방향으로 한다. 이로써, 인쇄 방향과 직교하는 방향에는 평면 유리 기판의 만곡에 의한 길이의 변화가 없고, 인쇄 동작에 수반하는 스크린판의 신장도 적기 때문에, 토털 피치의 어긋남을 극히 작게 할 수 있다. 물론, 인쇄함할 때에는 라인 방향과 인쇄 방향을 완전하게 일치시킬 필요는 없고, 스퀴지의 미세한 상처의 영향 등을 배려하여, 인쇄 정밀도에 영향을 주지 않는 범위에서 약간의 바이어스 각을 주어도 좋다.

이상 기술한 바와 같이, 본 실시 형태에서는, 종래의 스크린 인쇄와는 달리, 스크린판의 탄성 변형을 억제하면서, 용이하게 적절한 판의 이격각을 얻을 수 있다. 상기 특징을 살려서 스크린판 사이즈를 종래보다도 작게 할 수 있고, 스크린판의 장력도 높게할 수 있다. 또한, 토털 피치 어긋남이 엄격한 방향과 엄격하지 않은 방향이 있는 것을 이용함에 의해, 보다 한층 정밀도가 높은 패턴 인쇄가 가능해진다.

다음에, 본 발명의 제 2의 실시 형태에 관해 설명한다. 도 6의 (a) 내지 (c)는 본 실시 형태에 관한 평면 기판의 인쇄 장치의 동작을 그 공정 순으로 도시한 단면도이다. 본 실시 형태는, 본 발명에 관한 평면 기판의 인쇄 장치의 실시 형태이다.

본 실시 형태의 인쇄 방법에 있어서는, 만곡면 스테이지상에 고정되고 만곡된 유리 기판을, 스크린판과의 사이에서 어긋남이 생기는 일 없이, 스크린판의 이면을 구르도록 접촉 위치를 연속적으로 바꾸면서 이동시키는 것이 바람직하다. 이와 같은 운동을 실현하는 방법으로서는 회전 중심에 축받이를 마련하고, 만곡면 스테이지를 회전시키는 것이 일반적인 방법이 된다. 상기 경우, 면적이 작고 극히 얇고 용이하게 변형하는 그린 시트에의 인쇄함에 있어서는, 수10센치 정도의 반경의 회전 스테이지로 충분하고 인쇄 장치의 제조도 용이하다. 그러나, 본 발명의 주목적인 플라즈마 디스플레이 패널용의 유리 기판에의 인쇄에서는, 일반적으로 유리 기판이 대형이며, 또한 크게 만곡시킬 수도 없다. 따라서, 회전 중심에 축받이를 마련하고 스테이지와 직결시키는 구조로는, 인쇄 장치가 회전 반경이 수미터나 되는 거대한 장치로 되어 현실적이지 못하게 된다.

도 6의 (a)에 도시한 바와 같이, 본 실시 형태에 관한 평면 기판의 인쇄 장치에 있어서는, 일방향으로 만곡한 만곡면 스테이지(2)가 마련되어 있고, 상기 만곡면 스테이지(2)의 볼록면, 즉 만곡 표면(7)이 평면 유리 기판(1)을 만곡한 상태에서 탑재하는 기판 탑재면으로 되어 있다. 또한, 복수의 굴림대(8)가 회전 가능하게 마련되어 있다. 그리고, 이들의 굴림대(8)는 굴림대(8)의 중심축을 연결하는 면이, 만곡 표면(7)과 동심면을 형성하도록, 등간격으로 배치되어 있다. 이로써, 만곡면 스테이지(2)의 오목면, 즉, 만곡 표면(7)의 반대면이 굴림대(8)에 구름접촉하고 있다. 또한, 굴림대(8)는 구동 모터(도시 생략)에 연결되어 있고, 굴림대(8)가 회전함에 의해 만곡면 스테이지(2)가 이동하고, 평면 유리 기판(1)이 이동하도록 되어 있다.

한편, 만곡면 스테이지(2)의 상방에는, 만곡된 평면 유리 기판(1)의 일부에 접촉하도록, 스크린판(3)이 마련되어 있다. 또한, 만곡면 스테이지(2)의 이동과 동기하여, 스크린판(3)을 이동시키는 구동 장치(도시 생략)가 마련되어 있고, 스크린판(3)에 연결되어 있다. 상기 구동 장치는, 평면 유리 기판(1)과 스크린판(3)과의 접촉면에 있어서 양자가 서로 어긋나지 않도록, 만곡면 스테이지(2)의 이동과 동기하여 스크린판(3)을 이동시키는 것이다.

전술한 제 1의 실시 형태에서 나타낸 인쇄 동작을 행하게 하는데는, 도 6의 (a) 내지 (c)에 도시한 바와 같이, 만곡면 스테이지의 내면에 만곡 표면(7)과 동심원이 되는 원호의 내면 가이드를 마련하고, 상기 내면 가이드를 복수의 굴림대(8)로 받고, 기어 등으로 만곡면 스테이지(2)를 활주시킴에 의해, 만곡면 스테이지(2)를 회전운동시키는 방법을 채용할 수 있다. 즉 굴림대(8)를 가이드로 하여 만곡면 스테이지(2)를 회전운동시킴과 함께, 만곡면 스테이지(2)의 활주에 동기하여, 스크린판을 평행 이동시킴에 의해 인쇄할 수 있다. 이로써, 만곡면 스테이지(2)를 그 만곡 표면(7)의 단면(斷面)이 이루는 원호의 중심을 축으로 하여 회전운동시킴과 함께, 인쇄 마스크인 스크린판(3)을 스크린판(3)의 평면에 평행하게 이동시킴에 의해, 만곡면 스테이지(2)와 스크린판(3)을 상대적으로 움직일 수 있다. 이와 같이 인쇄 마스크는 평행운동, 만곡면 스테이지는 회전운동과 움직임을 각각 단순화할 수 있기 때문에 구성이 단순하게 되고, 또한, 전술한 스테이지의 회전 중심에 축을 마련하는 방법과 비교하여, 장치를 소형화할 수 있다.

또한, 만곡면 스테이지를 그 만곡 표면의 단면이 이루는 원호의 곡률 반경의 중심을 축으로 하여 회전운동시키는 동시에, 만곡면 스테이지를 스크린판의 평면에 평행하게 이동시킴에 의해, 만곡면 스테이지와 스크린판을 상대적으로 움직일 수 있다. 즉, 만곡면 스테이지의 만곡 표면과 동심원을 형성하는 원호형상의 가이드를 구비하고, 만곡면 스테이지를 가이드에 따라 이동시킴에 의해 상술한 회전운동을 시키고, 또한 상기 가이드를 평행운동시킬 수 있다. 이와 같이 하면 스크린판을 이동시키지 않는분만큼, 장치를 보다 한층 소형화할 수 있다는 메리트가 있다.

다음에, 본 발명의 제 3의 실시 형태에 관해 설명한다. 도 7의 (a) 내지 (c)는 본 실시 형태에 관한 평면 기판의 인쇄 장치의 동작을 그 공정 순으로 도시한 단면도이다. 상술한 제 2의 실시 형태에 나타낸 바와 같은 만곡 표면의 곡률에 맞춘 활주 동작을 행하게 하는 것은, 등속 이동을 행하기 쉽고, 스테이지 및 스퀴지의 움직임도 단순하다는 이점을 갖지만, 회전활주운동을 정밀도 높게 행하기 위해서는 고정밀도의 곡률면 가공이 필요하고, 큰 인쇄 장치에서는 장치의 가격이 높아지는 문제가 있다.

따라서 대형 장치에서는, 도 7의 (a) 내지 (c)에 도시한 바와 같이, 부채질하는 식의 동작으로 스테이지를 움직이는 방법을 채용하는 것이 바람직하다. 상기 예에서는 만곡면 스테이지의 인쇄 방향으로 나열된 2개소에 회전축부(10)을 마련하고, 상기 부분을 수평 방향 및 수직 방향 등의 2방향으로 동기시키면서 제어하여 이동시키는 방법을 이용하고 있다. 즉, 도 7의 (a) 내지 (c)에 도시한 바와 같이, 인쇄 시작측의 회전축부(10)를 하방 및 인쇄 방향으로 이동시킴과 함께, 인쇄 종료측의 회전축부(10)을 상방 및 인쇄 방향으로 이동시킨다. 이로써, 만곡면 스테이지(2)가 스크린판(3)에 대해 상대적으로 회전하면서 평행 이동한다. 상기 결과, 전술한 제 2의 실시 형태와 동일한 효과를 얻을 수 있다.

다음에, 본 실시 형태의 변형예에 관해 설명한다. 도 8의 (a) 내지 (c)는 본 변형예에 관한 평면 기판의 인쇄 장치의 동작을 그 공정 순으로 도시한 단면도이다. 도 8의 (a) 내지 (c)에 도시한 바와 같이, 본 변형예에서는, 전술한 제 3의 실시 형태보다도 단순한 구성으로 하고, 스테이지의 중앙부에 스테이지를 지지한 고정 회전축부(11)를 마련하고, 이것을 중심으로 스테이지를 회전운동시킨다. 회전운동은 스테이지에 부착된 가동 회전축부(12)를 실린더 등에 의해 상하 움직임과 함께, 고정 회전축부(11)을 상하로 움직임에 의해, 용이하게 실현할 수 있다. 고정 회전축부(11)의 부착 위치는 중앙으로 한정되는 것이 아니다. 예를 들면, 스테이지의 단에 고정 회전축부를 구비하고, 반대측에 실린더 등과 연결된 회전축부를 구비시킨 장치 구성으로 하여도 좋다. 이로써, 스테이지 전체의 상하 방향 동작이 단순하게 된다.

상술의 제 3의 실시 형태 및 그 변형예에 나타낸 방법 이외에도 각종의 방법 및 배치가 있을 수 있지만, 도 7 및 도 8에 도시한 것 같은 만곡면 스테이지의 부채질 동작을 실현하기 위해서는, 스테이지에 인쇄 방향으로 나열한 적어도 2개소 이상의 회전축부를 마련하고, 이들의 회전축부중 적어도 1개의 회전축부를 이동시키는 기구를 갖고 있으면 좋다. 이와 같은 부채질 운동에서는 인쇄 위치가 상하로 움직이게 되고, 이것을 보상하기 위해, 만곡면 스테이지가 부채질 동작에 맞추어서, 스테이지 전체 또는 스크린판 및 스퀴지 등을 상기 부채질 동작에 동기시켜서 상대적으로 이동시키는 기구도 구비할 필요가 있다. 또한, 이들의 인쇄중의 이동 동작은 등속 이동이 아닌 복잡한 이동이 필요해지는 경우도 있지만, 전자적으로 제어된 메커트로닉스 기구를 이용함에 의해 이동 동작을 제어하면 좋다. 즉, 만곡면 스테이지는 적어도 인쇄 방향에 배열된 2개소의 회전축부를 구비하고, 그 중 적어도 1개소의 회전축부를 이동시키는 축이동 기구를 구비함에 의해, 만곡면 스테이지와 스크린판을 상대적으로 움직일 수 있다.

어느 장치라 하더라도, 적절한 판의 이격각을 얻기 위해서는, 스퀴지를 선형상 접촉부의 중앙으로부터 적절한 거리만큼 인쇄 시작단측으로 오프셋된 상태에서 인쇄 동작을 행하게 할 필요가 있는데, 상기 기구의 실현에 그다지 특수한 것은 필요하지는 않고 용이하게 실현할 수 있다.

또한, 전술한 각 실시 형태에서는, 스크린판은 인쇄하는 동안 항상 수평으로 유지되어 있는 경우를 나타냈지만, 예를 들면 인쇄 종료측을 항상 들어올린 경사 인쇄로 하여도 좋다. 또한, 상술한 기구를 스크린 판틀 및 스퀴지의 이동의 기구를 고정하는 구조물에 구비시키고, 만곡 스테이지를 고정한 채로 스크린판의 경사를 인쇄의 진행에 맞추어 순차적으로 바꿈에 의해, 기판 표면을 따르도록 이동시키면서 인쇄하는 것도 가능하다. 또한, 도 7 및 도 8에 도시한 바와 같이, 2방향 이상의 이동을 제어함에 의해 스테이지를 움직이는 경우는, 만곡면 스테이지의 만곡 표면의 만곡은 반드시 원호일 필요는 없다. 적당한 만곡 형상에 맞추어서 스테이지 및 스크린판 및 스퀴지를 움직임에 의해 마찬가지의 인쇄를 실현할 수도 있다.

다음에, 본 발명의 제 4의 실시 형태에 관해 설명한다. 본 실시 형태는, 상술한 제 1 및 제 2의 실시 형태에 있어서, 평면 유리 기판의 고정 방법을 개량한 실시 형태이다. 도 9의 (a) 내지 (d)는 본 실시 형태에 있어서의 평면 유리 기판의 고정 방법을 도시한 단면도이다. 통상의 평면 스테이지의 스크린 인쇄 장치와는 달리, 본 발명에서는 평면 유리 기판을 높은 정밀도로 만곡한 상태로 할 필요가 있다. 이를 위해서는 본 발명의 인쇄 장치에서는 높은 정밀도로 만곡 표면이 형성된 만곡면 스테이지를 이용한다. 만곡면 스테이지의 만곡면으로서는 곡률 반경이 1 내지 40m 정도의 원주 형상의 일부분을 잘라낸 형상으로 하는 것이 바람직하다. 만곡면 스테이지상에 평면 유리 기판의 자중으로 만곡면 스테이지 표면에 면접촉시키던지, 평면 유리 기판을 기계적인 힘으로 강제적으로 스테이지에 꽉누른다. 도 9의 (a) 내지 (c)에 도시한 바와 같이, 평면 유리 기판의 양단을 누름 헤드(9)로 꽉누름에 의해, 평면 유리 기판을 만곡시켜서 만곡면 스테이지상에 접촉시킬 수 있다.

다음에, 본 제 4의 실시 형태의 변형예에 관해 설명한다. 도 10의 (a) 내지 (d)는 본 변형예에 있어서의 다른 평면 유리 기판의 고정 방법을 도시한 단면도이다. 도 10의 (a) 내지 (d)에 도시한 바와 같이, 평면 유리 기판(1)의 일단을 먼저 고정 헤드(17)에 의해 고정하고, 반대측의 단부를 누름 헤드(9)에 의해 평면 유리 기판을 꽉누름에 의해, 만곡면 스테이지에 밀착시킬 수 있다. 도 10의 (a) 내지 (d)에 도시한 방법은, 만곡면 스테이지(2)측에 위치 결정을 겸한 고정 헤드(17)가 마련되어 있는 예이다. 상기 후, 만곡면 스테이지(2)에 만들어져 있는 진공 흡착 기구 또는 정전 흡착 기구(도시 생략)에 의해, 만곡면 스테이지(2)의 표면에 평면 유리 기판(1)을 밀착 고정한다.

다음에, 본 실시 형태의 다른 변형예에 관해 설명한다. 도 11은 평면 유리 기판(1)을 만곡면 스테이지에 고정하는 치구를 도시한 단면도이다. 평면 유리 기판을 강제적으로 만곡시켜서 스테이지에 진공 흡착시킨 경우는 평면 스테이지에의 흡착과는 달리, 뭔가의 원인으로 진공 흡착이나 정전 흡착이 깨진 경우에는 유리 기판이 급격하게 투어올라 스크린판을 깨는 등이 불편이 생기게 된다. 이를 막기 위해서는, 평면 유리 기판의 주변부나 유리 기판의 목귀부(面取部; chamfer)를 이용하여, 평면 유리 기판을 눌러서 고정시키는 것이 유효하다. 즉, 피인쇄물을 만곡 표면에 진공 흡착이나 정전 흡착에 의해 면 전체로 고정시키는 제 1의 고정 기구와, 진공 흡착이 깨진 때에 피인쇄물이 튀어오름을 방지하는 제 2의 고정 기구를 구비하는 것이 유효하다.

구체적으로는, 도 11에 도시한 바와 같이 미소한 튀어나온 부분(13a)을 갖는 목귀부 고정 헤드(13)에 의해 유리 목귀부의 형상을 이용하여 고정할 수 있다. 즉, 피인쇄물의 목귀부에 힘을 가함에 의해 만곡면 스테이지에 피인쇄물을 고정할 수 있다. 상기 목귀부 고정 헤드는 유리 기판 표면에서부터 튀어나오지 않는 형상으로 하던지, 튀어나오더라도 실질적으로 안정된 인쇄에 영향을 주지 않는 정도로 하여 둠에 의해, 만곡시킨 유리 기판을 기계적으로 고정하면서 인쇄할 수 있다. 도 9 및 도 10의 누름 헤드에 의해 만곡면 스테이지에 꽉누른 후, 진공 흡착에 더하여 상기 목귀부 고정 헤드(13)을 동작시키면 좋다. 물론, 도 10에 도시한 고정 헤드(17)로서 상기 목귀부 고정 헤드(13)를 그대로 사용할 수 있다. 또한, 꽉누름 헤드로서도, 스테이지 내에 수납할 수 있는 이동 스트로크의 길다란 목귀부 고정 헤드(13)를 채용함에 의해 실현할 수도 있다.

다음에, 인쇄 방향의 길이의 보정에 관해 설명한다. 상술한 제 1의 실시 형태에 관한 인쇄 방법에서는, 평면 유리 기판을 만곡시키기 때문에 인쇄되는 유리 기판 표면이 신장하게 된다. 예를 들면, 장래 두께가 1.8㎜의 평면 유리 기판을 이용하여, 플라즈마 디스플레이 패널의 버스 전극을 인쇄하는 경우, 곡률 반경이 3미터의 곡률 스테이지를 이용하면, 인쇄되는 유리 기판의 표면은 약 300ppm 신장한다. 만곡시킨 유리 기판 표면에 패턴을 인쇄한 후, 평면으로 되돌리면 만곡 방향과 직교하는 Y방향의 길이는 변화하지 않지만, 만곡 방향인 X방향의 패턴의 길이는 300ppm만큼 축소하게 된다. 라인 패턴이 단순한 균일폭 패턴의 경우는 상기 정도의 신장은 허용되는 경우도 있지만, 보다 정밀하게 소정의 길이의 패턴이나 라인 방향에도 정밀도를 요구되는 패턴의 경우는 문제로 된다. 이것을 막기 위해서는, 미리 스크린판의 개구 패턴을 인쇄 방향(X방향)으로 300ppm 신장시킨 형상으로 함에 의해, 인쇄 후의 평면 기판 표면에 정상적인 패턴을 형성할 수 있다.

상술한 보정은 스크린판 이면을 만곡시켜서 유리 기판 표면이 완전히 상호간에 어긋남이 생기는 일 없이 면과 면이 겹치는 것같이 이동한 경우에 유효한 보정량이다. 그러나, 본 발명의 방법에서는, 상기 평면 유리 기판의 만곡에 의한 신장의 문제 이외에, 기계 정밀도 및 제어의 불완전성으로부터 만곡 스테이지와 스크린판과의 문에 상대적으로 미소한 어긋남이 생기는 경우에도, 인쇄 방향(X방향)으로 인쇄 패턴의 신축이 발생하게 된다. 이에 대해서는, 인쇄 장치 자체가 고유한 어긋남을 갖고 있는 경우는, 한번 인쇄를 행하고, 그 인쇄 방향의 어긋남 량을 측정하고, 인쇄 방향의 개구 패턴을 보정한 스크린판을 이용하면 좋다. 상술한 바와 같이, 본 발명의 인쇄 장치로 사용된 스크린판의 개구 패턴은, 인쇄 방향과 직교하는 방향에서는 실현하여야 할 패턴과 동일한 길이로 하고, 인쇄 방향에서는 유리 기판의 만곡 변형이나 인쇄 장치에서 발생하는 어긋남을 보정한 길이의 패턴으로 하는 것이 바람직하다.

또한, 역으로 만곡면 스테이지와 스크린판의 상대적인 이동을 고도(高度)로 제어하는 기구를 마련하고, 인쇄중에 어긋남을 제어하여 발생시킴에 의해, 인쇄 방향의 길이를 조정할 수 있다. 스크린판에는 어긋남에 의한 응력이 걸리게 되지만 미소하고 스크린판 등에 악영향을 주는 일은 없다. 상기 기구를 갖는 장치에서는, 유리 기판의 두께가 다른 경우에도 조정량을 바꿈에 의해 동일한 스크린판을 이용하는 것도 가능해진다.

다음에, 본 발명의 제 5의 실시 형태에 관해 설명한다. 본 실시 형태는, 스크린판의 바이어스 각도를 개량한 예이다. 도 12의 (a) 및 (b)는 스크린판과 평면 유리 기판과의 위치 관계를 도시한 평면도로서, (a)는 종래의 인쇄법을 도시하고, (b)는 본 실시 형태의 인쇄법을 도시한다. 본 실시 형태에 관한 바이어스 각도 이외의 구성은, 전술한 어느 하나의 실시 형태와 같다. 스크린 인쇄용의 스크린판은, 스테인리스 등의 금속 세선 또는 인장 강도가 강한 고분자 세선을 이용하고, 날실과 씨실을 엮은 메시가 사용되고 있다. 고미세한 개구 패턴과 메시와의 사이의 간섭을 방지하고, 선 끊어짐이 없는 양호한 인쇄를 실현하기 위해서는, 인쇄의 라인 패턴과 메시의 엮는 방향에 적당한 바이어스 각을 마련할 필요하고, 일반적으로는 10 내지 30° 정도의 바이어스 각도가 채용되고 있다.

도 12의 (a)에 도시한 종래의 인쇄 방법에 있어서는, 메시의 원단을 날실 방향과 씨실 방향으로 균일하게 장력을 건 상태에서 각도를 붙여서 판틀을 메시 위에 놓고, 접착 후 잘라냄에 의해, 도 12의 (a)에 도시한 바와 같이, 판틀과 소정의 바이어스 각도를 이룬 스크린판이 제작된다. 상기 때문에, 메시 원단 폭보다 상당 정도 폭이 좁은 스크린판이 되지 않을 수 없는 것에 더하여, 바이어스 각도를 붙임에 의해 스크린판의 변형이 생기기 쉽다. 특히 마름모꼴 형상의 변형이 생기기 쉬워지고, 토털 피치 어긋남을 일으키기 쉽다. 또한, 장력의 불균일이 생기기 쉽고 패턴의 일그러짐이 생기기 쉽다.

이에 대해, 도 12의 (b)에 도시한 본 실시 형태의 인쇄 방법에서는, 스크린판의 메시와 판틀은 바이어스 각도를 마련하는 일 없이 제작되어 있다. 단, 스크린판의 패턴은 바이어스 각을 붙여서 형성되어 있고, 스퀴지를 인쇄 패턴의 바이어스 각도에 맞추어서 이동시킨다. 또한, 바이어스 각은 종래와 마찬가지 10°이상을 확보하는 것이 바람직하다. 본 실시 형태에 의하면, 강도가 높은 판틀을 이용하고, 메시를 바이어스 각도를 붙이는 일 없이 균일 장력으로 고정할 수 있기 때문에, 마름모꼴 변형 및 국부적인 변형을 대폭적으로 저감할 수 있다. 이와 같은 방법이 가능해지는 이유는, 스크린판을 큰 클리어런스분만큼 스퀴지로 압입하여 인쇄하는 종래의 방식과는 달리, 본 발명의 스크린 인쇄 방식에서는 스크린판을 거의 변형시키는 일 없이 인쇄할 수 있기 때문에, 스퀴지의 단부와 판틀와의 거리가 스퀴지의 이동에 따라 인쇄하는 동안에 변화하여도, 인쇄에 지장을 초래하는 일이 없는 것과, 판의 이격각(角)도 스퀴지와 스크린판과의 사이의 거리에 거의 영향을 받지 않는 것이다. 본 방법에서는 스크린판을 비스듬하게 사용하는 것으로 되기 때문에, 스크린판에 메시 원단 폭을 유효하게 이용할 수 있다. 또한, 인쇄 패턴 사이즈에 대해 스크린판 사이즈를 그다지 크게 할 필요가 없기 때문에, 종래의 스크린 인쇄보다 스크린판을 소형화할 수 있다.

또한, 전술한 각 실시 형태에서는, 스크린판에는 메시를 이용한 것을 사용하는 예를 설명하였지만, 스크린판으로서 메탈 스크린판을 사용하여도 좋다. 상기 경우에 있어서도, 메시 스크린판을 사용한 경우과 마찬가지로, 본 발명은 유효하다. 메탈 스크린은, 예를 들면, 스테인리스 등으로 이루어지는 금속 박판에 에칭 또는 레이저 가공에 의해 개구 패턴을 형성하여 제작된 것이다. 또는, 예를 들면, 전기(電氣) 주조법에 의해 제작된 니켈로 이루어지는 박판에 개구 패턴을 형성하여 제작된 것이다. 한편, 메시 스크린판은, 메시에 에멀전층을 형성하여 제작된 것이다. 메탈 스크린판은, 메시 스크린판과 비교하여, 패턴 정밀도가 높고, 변형하기 어렵고, 내쇄성(耐刷性)이 우수하다는 장점이 있다. 상기 때문에, 일반적으로 메탈 스크린판은, 솔더 인쇄 및 미세 전극 패턴의 형성 등에 이용되고 있다. 그러나, 메탈 스크린판은 금속 박판에 의해 형성되어 있고, 판의 신장이 거의 없기 때문에, 통상의 메시 스크린판과 같이, 판을 탄성 변형시켜서 일정한 판의 이격각을 얻으면서 인쇄하는 방법에는 적용할 수 없다. 상기 때문에, 종래, 메탈 스크린판은 대형 기판의 인쇄에는 사용되지 않는다.

그러나, 전술한 각 실시 형태에 관한 스크린 인쇄 방법에 의하면, 스크린판을 약간 탄성 변형시킬뿐으로, 소정의 판의 이격각을 얻고, 고품질의 인쇄를 할 수가 있다. 즉, 스크린판의 신장이 거의 없는 상태에서 판의 이격이 가능하다. 상기 때문에, 전술한 각 실시 형태에서는, 메탈 스크린판을 사용하여도 대면적의 영역에 인쇄를 행할 수가 있다.

또한, 메탈 스크린판을 사용하여 전극 등의 가늘고 길다란 라인 형상의 패턴을 인쇄하는 경우에는, 특수한 메탈 스크린판이 필요하게 되고, 이것은 극히 고가이지만, 도트 형상의 패턴을 인쇄하는 경우는, 일반적인 저비용의 메탈 스크린판을 사용할 수 있다.

한편, 최근, PDP에 있어서, 발광 효율을 향상시키기 위해, 셀 구조를, 단순한 띠 형상의 격벽에 의해 구획된 스트라이프 구조가 아니라, 우물정자형 구조, 와플 구조, 또는 델타 구조 등의 폐(閉) 셀 구조로 하는 것이 있다. 상기 경우는, 도트 형상의 개구 패턴이 형성된 스크린판을 사용하고, 스퀴지로 페이스트를 개구로부터 압입하도록 하여 형광체층을 인쇄한다. 그리고, 상기 기술에서는, 띠 형상의 격벽에 의해 구획된 홈의 내면에 형광체 페이스트를 인쇄하는 방법과는 달리, 격벽으로 완전히 둘러싸인 홈에 각각의 개구 구멍으로부터 형광체를 압입함에 의해, 모든 홈에 균일하게 형광체를 도포할 필요가 있다. 그러나, 메시 스크린판에서는, 패턴의 개구부에도 메시가 있기 때문에에, 개구 구멍의 실질적인 개구율이 낮은 것으로 된다. 그래서, 메시와 구멍과의 위치 관계에 따라 실질적인 개구율이 다르고, 실질적인 개구율이 특히 낮은 부분에서 결함이 생기기 쉽다. 또한, 메시 부분에 페이스트 또는 이물이 남거나 하는 경우도 있어서, 고정 결함이 생기기 쉽다. 그리고, 메시 스크린판은, 패널의 미세도가 올라가면 결함 수가 급격하게 증대하고, 생산에 사용할 수 없게 된다.

이에 대해, 메탈 스크린판은, 도트 형상의 패턴의 인쇄를 저비용으로 행할 수 있기 때문에, 이와 같은 형광체층의 인쇄에 적합하다. 그리고, 메탈 스크린판에서는, 개구부는 완전한 구멍이고, 개구 구멍의 실질적인 개구율이 메시 스크린판보다도 높다. 따라서, 페이스트의 압입이 메시로 방해되는 일은 없다. 또한, 판의 변형이 극히 작기 때문에, 도트 형상의 개구 패턴을 정밀도 높게 형성할 수 있다. 상기 때문에, 메탈 스크린판에서는, 메시 스크린판과 비교하여, 실질적으로 페이스트가 압입되는 구멍의 개구 면적을 용이하게 2배 이상으로도 할 수가 있다. 또한, 메시와의 간섭이 없기 때문에, 모든 개구 구멍의 실질적인 개구 면적을 동일하게 하는 것도 용이하다. 이와 같이, 전술한 각 실시 형태에 있어서 메탈 스크린판을 사용함에 의해, 형광체층에 도포 결함이 없는 플라즈마 디스플레이 패널을 제조할 수 있다. 그리고, 메탈 스크린판은, 패턴 정밀도가 높고, 변형하기 어렵고, 내쇄성이 우수하기 때문에, 종래 곤란하였던 대형이며 고미세한 패널에 대해서도, 제조 비용이 낮은 형광체 인쇄를 시행하는 것이 가능해진다.

또한, 상술한 메탈 스크린판에 관해서는, 페이스트의 끊어짐의 방지, 이면을 닦는 작업의 생략, 또는 페이스트의 격벽 상부에의 번짐의 방지 등의 부가적인 효과를 얻기 위해, 필요에 응하여, 이면 또는 구멍 내벽에 불소 수지 코팅을 시행하거나, 점탄성을 갖는 수지층을 코팅 하거나 하여도 좋다. 또한, 라인 형상의 개구부를 형성하고, 상기 개구부에 미세한 브리지를 마련한 메탈 스크린판을 사용함에 의해, 형광체 페이스트의 도트 인쇄 이외에 라인 형상의 은전극 페이스트 등의 인쇄를 행하는 것도 당연히 가능하다.

다음에, 본 발명의 제 6의 실시 형태에 관해 설명한다. 본 실시 형태는, 전술한 제 1의 실시 형태에 관한 평면 기판의 인쇄 방법 및 제 2의 실시 형태에 관한 평면 기판의 인쇄 장치를 이용하여, 플라즈마 디스플레이 패널을 제조하는 방법의 실시 형태이다. 본 실시 형태의 제조 방법에 의해 제조되는 플라즈마 디스플레이 패널의 구성은, 도 14에 도시한 종래의 플라즈마 디스플레이 패널과 마찬가지이다. 즉, 도 14에 도시한 바와 같이, 플라즈마 디스플레이 패널(100)은 전면판(101)과 배면판(102)으로 구성되어 있다.

전면판(101)은, 투명 유리 기판과, 투명 유리 기판상에 상호간에 평행하게 배치된 주사 전극 및 유지 전극과, 주사 전극 및 유지 전극을 덮고 투명 유리 기판상에 형성된 유전체층과, 유전체층을 덮는 보호층으로 구성되어 있다.

배면판(102)은, 투명 유리 기판과, 투명 유리 기판상에 형성되고, 주사 전극 및 유지 전극과 직교하는 방향으로 늘어나는 데이터 전극과, 데이터 전극을 덮고 투명 유리 기판상에 형성된 백색 유전체층과, 백색 유전체층상에 형성되고, 표시 셀을 구획하는 격벽으로 구성되어 있다.

배면판(102)에 형성되어 있는 격벽의 측면 및 유전체층의 표면상에는, 방전 가스의 방전에 의해 발생하는 자외선을 가시광으로 변환하는 형광체층이 형성되어 있다. 형광체층은, 표시 셀마다, 예를 들면, 광의 3원색인 적(R), 녹(G) 및 청(B)으로 구분 도색되어 있다.

전면판(101) 및 배면판(102)은 100㎛ 정도의 갭을 사이에 띠고 대향한 상태로 고정되어 있고, 그 주변부는 밀봉재로 기밀 밀봉되어 있다.

전면판(101) 및 배면판(102)의 사이에 형성되는 공간은 방전 가스 공간을 규정하고 있고, 상기 방전 가스 공간 내에, 헬륨, 네온 또는 크세논 또는 이들의 혼합 가스로 이루어지는 방전 가스가 충전되어 있다.

배면판(102)을 구성하는 유리 기판에는 적당한 개소에 통기 구멍이 형성되어 있고, 유리 기판의 외측 표면에는, 도 14에서는 생략되어 있지만, 통기 구멍에 위치를 맞춘 상태에서, 통기관이 밀봉상태하에 부착되어 있다.

배면판(102)에 부착되어 있는 단부와는 반대측의 통풍관의 단부는, 당초의 상태에서는 개구되어 있고, 상기 개구단부를 통하여 통풍관이 배기·가스 충전 장치에 접속된다. 우선, 배기·가스 충전 장치에 의해, 방전 가스 공간이 진공으로 배기된 후, 방전 가스 공간에 방전 가스가 충전된다. 방전 가스의 충전이 종료된 후, 통풍관은 과열에 의해 칩 온 되고, 개구 단부가 폐색된다. 이와 같이 하여, 방전 가스 공간에는 방전 가스가 충전되고, 플라즈마 디스플레이 패널(100)이 완성된다.

뒤이어, 본 실시 형태에 관한 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 방법을 이하에 설명한다.

우선, 전면판(101)을 통상 알려진 방법으로 제조한다. 단, 버스 전극은 상술한 본 발명의 스크린 인쇄 방법을 사용하여 형성한다. 마찬가지로, 배면판(102)을 통상 알려진 방법으로 제조한다. 단, 데이터 전극은 상술 한 본 발명의 스크린 인쇄 방법을 사용하여 형성한다. 전면판(101), 배면판(102)의 어느 한쪽 또는 양쪽의 주변부에 융착용 부재를 도포하고, 클립을 이용하여 전면판(101) 및 배면판(102)을 상호간에 대향한 상태에서 고정한다.

뒤이어, 배면판(102)의 유리 투명 기판에 형성된 통기 구멍의 주위에 접착용 부재를 도포하고, 통풍관을 고정하고, 전면판(101) 및 배면판(102) 상호간의 밀봉과, 통풍관의 배면판(102)에의 고정을 동시에 행한다. 뒤이어, 통풍관 및 통기 구멍을 통하여, 플라즈마 디스플레이 패널의 내부를 배기한 후, 방전 가스를 충전한다. 이와 같이 하여 플라즈마 디스플레이 패널이 완성된다.

도 13은 이와 같이 하여 형성된 플라즈마 디스플레이 패널을 포함하는 플라즈마 표시 장치(60)의 구조를 도시한 블록도이다. 도 13에 도시한 바와 같이, 본 플라즈마 표시 장치(60)는, 모듈 구조를 갖는 것으로 하여 설계되어 있고, 구체적으로는, 아날로그 인터페이스(20)와 플라즈마 디스플레이 패널 모듈(30)로 구성되어 있다.

아날로그 인터페이스(20)는, 크로마·디코더를 구비하는 Y/C 분리 회로(21)와, A/D 변환 회로(22)와, PLL 회로를 구비하는 동기 신호 제어 회로(23)와, 화상 포맷 변환 회로(24)와, 역γ(감마) 변환 회로(25)와, 시스템·컨트롤 회로(26)와, PLE 제어 회로(27)로 구성되어 있다.

대략적으로는, 아날로그 인터페이스(20)는, 수신한 아날로그 영상 신호를 디지털 영상 신호로 변환한 후, 그 디지털 영상 신호를 플라즈마 디스플레이 패널 모듈(30)에 공급한다.

예를 들면, 텔레비전 튜너로부터 발신된 아날로그 영상 신호는 Y/C 분리 회로(21)에서 RGB의 각 색의 휘도 신호로 분해된 후, A/D 변환 회로(22)에서 디지털 신호로 변환된다.

그 후, 플라즈마 디스플레이 패널 모듈(30)의 화소 구성과 영상 신호의 화소 구성이 다른 경우에는, 화상 포맷 변환 회로(24)에서 필요한 화상 포맷의 변환이 행하여진다.

플라즈마 디스플레이 패널의 입력 신호에 대한 표시 휘도의 특성은 선형적으로 비례하지만, 통상의 영상 신호는 CRT의 특성에 맞추어서, 미리 보정(γ 변환)되어 있다. 상기 때문에, A/D 변환 회로(22)에서 영상 신호의 A/D 변환을 행한 후, 역γ 변환 회로(25)에서, 영상 신호에 대해 역γ 변환을 시행하고, 선형 특성으로 복원된 디지털 영상 신호를 생성한다. 상기 디지털 영상 신호는 RGB 영상 신호로서 플라즈마 디스플레이 패널 모듈(30)에 출력된다.

아날로그 영상 신호에는, A/D 변환용의 샘플링 클록 및 데이터 클록 신호가 포함되어 있지 않기 때문에, 동기 신호 제어 회로(23)에 내장되어 있는 PLL 회로가, 아날로그 영상 신호와 동시에 공급되는 수평 동기 신호를 기준으로 하여, 샘플링 클록 및 데이터 클록 신호를 생성하고, 플라즈마 디스플레이 패널 모듈(30)에 출력한다.

아날로그 인터페이스(20)의 PLE 제어 회로(27)는 휘도 제어를 행한다. 구체적으로는, 평균 휘도 레벨이 소정치 이하인 경우에는 표시 휘도를, 상승시키고, 평균 휘도 레벨이 소정치를 넘는 경우에는 표시 휘도를 저하시킨다.

시스템·컨트롤 회로(26)는, 각종 제어 신호를 플라즈마 디스플레이 패널 모듈(30)에 대해 출력한다.

한편, 플라즈마 디스플레이 패널 모듈(30)은, 디지털 신호 처리·제어 회로(31)와, 패널부(32)와, DC/DC 컨버터를 내장하는 모듈 내 전원 회로(33)로 구성되어 있다.

디지털 신호 처리·제어 회로(31)는, 입력 인터페이스 신호 처리 회로(34)와, 프레임 메모리(35)와, 메모리 제어 회로(36)와, 드라이버 제어 회로(37)로 구성되어 있다.

예를 들면, 입력 인터페이스 신호 처리 회로(34)에 입력된 영상 신호의 평균 휘도 레벨은 입력 인터페이스 신호 처리 회로(34) 내의 입력 신호 평균 휘도 레벨 연산 회로(도시 생략)에 의해 계산되고, 예를 들면, 5비트 데이터로서 출력된다. 또한, PLE 제어 회로(27)는, 평균 휘도 레벨에 응하여 PLE 제어 데이터를 설정하고, 입력 인터페이스 신호 처리 회로(34) 내의 휘도 레벨 제어 회로(도시 생략)에 입력한다.

디지털 신호 처리·제어 회로(31)는, 입력 인터페이스 신호 처리 회로(34)에서, 이들의 각종 신호를 처리한 후, 제어 신호를 패널부(32)에 송신한다. 동시에, 메모리 제어 회로(36) 및 드라이버 제어 회로(37)는 메모리 제어 신호 및 드라이버 제어 신호를 패널부(32)에 송신한다.

패널부(32)는, 상술한 실시 형태에 관한 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 방법에 의해 제조된 플라즈마 디스플레이 패널(50)과, 주사 전극을 구동하는 주사 드라이버(38)와, 데이터 전극을 구동하는 데이터 드라이버(39)와, 플라즈마 디스플레이 패널(50) 및 주사 드라이버(38)에 펄스 전압을 공급하는 고압 펄스 회로(40)와, 고압 펄스 회로(40)으로부터의 잉여 전력을 회수하는 전력 회수 회로(41)로 구성되어 있다.

플라즈마 디스플레이 패널(50)은 1365개×768개로 배열된 화소를 갖는 것으로서 구성되어 있다. 플라즈마 디스플레이 패널(50)에서는, 주사 드라이버(38)가 주사 전극을 제어하고, 데이터 드라이버(39)가 데이터 전극을 제어함에 의해, 소정의 화소의 점등 또는 비점등이 제어되고, 소망하는 표시가 행하여진다. 또한, 로직용 전원이 디지털 신호 처리·제어 회로(31) 및 패널부(32)에 로직용 전력을 공급하고 있다. 또한, 모듈 내 전원 회로(33)는, 표시용 전원으로부터 직류 전력을 공급되고, 상기 직류 전력의 전압을 소정의 전압으로 변환한 후, 패널부(32)에 공급하고 있다.

이하, 플라즈마 표시 장치(60)의 제조 방법을 개략적으로 설명한다. 우선, 상술한 실시 형태에 관한 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 방법에 의해 제조한 플라즈마 디스플레이 패널(50)와, 주사 드라이버(38)와, 데이터 드라이버(39)와, 고압 펄스 회로(40)와, 전력 회수 회로(41)를 하나의 기판상에 배치하고, 패널부(32)를 형성한다. 또한, 패널부(32)와는 별개로 디지털 신호 처리·제어 회로(31)를 형성한다.

이와 같이 하여 형성된 패널부(32) 및 디지털 신호 처리·제어 회로(31)와 모듈 내 전원 회로(33)를 하나의 모듈로서 조립하여, 플라즈마 디스플레이 패널 모듈(30)을 형성한다.

또한, 플라즈마 디스플레이 패널 모듈(30)과는 별개로 아날로그 인터페이스(20)를 형성한다.

이와 같이, 플라즈마 디스플레이 패널 모듈(30)과 아날로그 인터페이스(20)를 각각 별개로 형성한 후, 쌍방을 전기적으로 접속함에 의해, 도 13에 도시한 플라즈마 디스플레이 패널(60)이 완성된다.

이와 같이, 플라즈마 디스플레이 패널(60)을 모듈화함에 의해, 플라즈마 표시 장치를 구성하는 다른 구성 부품과는 별개 독립으로 플라즈마 디스플레이 패널(60)을 제조하는 것이 가능해지고, 예를 들면, 플라즈마 표시 장치에 있어서, 플라즈마 디스플레이 패널(60)이 고장난 경우에는, 플라즈마 디스플레이 패널 모듈(30)마다 교환함에 의해, 보수의 간소화 및 단시간화를 도모할 수 있다.

또한, 본 발명의 액정 표시 장치의 제조 방법도, 상술한 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 방법과 마찬가지이다. 즉, 상술한 제 1 및 제 2의 실시 형태에 나타낸 방법에 의해, 유리 기판상에 전극 등을 형성하고, 액정 패널을 제조한다. 다음에, 상기 액정 패널 및 상기 액정 패널을 구동하는 회로에 의해 모듈을 제조한다. 그리고, 화상 신호의 포맷 변환을 행하고, 상기 모듈에 송신하는 인터페이스를 제조한다. 그 후, 상기 모듈과 상기 인터페이스를 상호간에 전기적으로 접속한다. 이로써, 액정 표시 장치를 제조할 수 있다.

또한, 상술한 각 실시 형태에서는, 은페이스트를 재료로 하여 플라즈마 디스플레이 패널의 데이터 전극 및 버스 전극을 형성하는 예를 중심으로 기술하였지만, 이들의 구성물 이외에, 각종의 페이스트를 이용하여 각종의 패턴화된 구조물을 형성할 수 있다. 플라즈마 디스플레이의 블랙 매트릭스 및 블랙 스트라이프는 무기의 흑색 필러를 포함한 페이스트를 사용함에 의해 형성할 수 있다. 또한, 산화철 또는 코발트불루 등의 미분말 착색 안료를 포함한 페이스트를 사용하여 인쇄함에 의해, 컬러 필터를 형성할 수 있다. 또한, 저융점 유리 미분말을 포함한 페이스트를 인쇄함에 의해 패턴화된 유전체층을 형성할 수 있다. 또한, 형광체 분말을 포함한 페이스트를 인쇄함에 의해, 형광체층을 형성할 수 있다. 물론, 본 발명은 대면적 고정밀도 패턴 형성에 특히 유효하지만, 유전체층 등을 형성할 때의 베타 인쇄에 대해서도, 본 발명에 의하면 요구되는 조금 큰 판의 이격각을 인쇄 부위에 관계없이 균일하게 실현하는 것이 가능하고 인쇄 두께의 균일성의 향상을 얻을 수 있기 때문에, 본 발명은 베타 패턴 인쇄에 이용할 수 있는 것은 말할 필요도 없다. 상술한 바와 같이, 컬러 플라즈마 디스플레이 패널을 구성하는 각종의 구성물을 본 발명의 제조 방법으로 실현할 수 있고, 컬러 플라즈마 디스플레이 장치의 저비용화에 크게 기여할 수 있다.

컬러 플라즈마 디스플레이 이외에, 컬러 LCD도 대형화가 진전되어 있고, 비용 저감이 더욱 중요해지고 있다. 본 발명의 제조 방법을 이용하여, 유기 안료 또는 염료를 포함한 페이스트를 인쇄함에 의해, 컬러 LCD용의 블랙 마스크나 컬러 필터를 형성할 수 있고, 대폭적으로 비용을 저감한 컬러 LCD 장치를 실현할 수 있다.

또한, 전술한 각 실시 형태에서는 1면을 취한 경우를 나타내고 있지만, 플라즈마 디스플레이 패널용 및 컬러 LCD 등에서 일반적으로 행해지고 있는 다면(多面) 취함의 경우도, 마찬가지로 본 발명을 적용할 수 있다. 다면 취함의 경우는 보다 인쇄 패턴 사이즈가 커지고, 토털 피치 어긋남을 확보하는 것이 보다 곤란하여, 본 발명의 인쇄 방법은 보다 중요해진다.

대화면의 박형 텔레비전은 매력적인 상품이지만 제조 비용이 높기 때문에 고가격이고 보급이 방해되고 있다. 평면형 디스플레이 패널의 제조에 있어서는, 대면적에 걸쳐서 극히 정밀도가 높은 패턴 형성이 필요하고, 비용이 높은 포토리소그래피 기술을 많이 이용하지 않을 수 없었던 것도 고비용의 요인으로 되어 있다. 본 발명에 의해 인쇄 방식으로 각종의 패턴화된 구성물을 고정밀도로 형성할 수 있고, 생산성의 향상, 공정의 단축화, 사용 재료의 저감 등 대폭적으로 저비용화를 실현할 수 있다. 또한, 본 발명에서 사용된 스크린판은 사이즈도 종래의 스크린 인쇄 방식에서 사용되는 것보다 소사이즈로 좋고, 그것에 수반하여 인쇄 장치의 훗프린트를 작게 할 수 있다. 이들의 요인에 의해, 저가격이 실현되고, 컬러 플라즈마 표시 장치나 컬러 액정 표시 장치의 보급에 공헌하다. 또한, 현시점에서는 컬러 플라즈마 디스플레이 패널 및 컬러 LCD의 대화면화가 선행하여 있고, 본 발명은 이들에 대해 유효하지만, 유기 EL 디스플레이 및 FED(field emission display) 등에 있어서도, 전극이나 컬러 필터, 블랙 마스크, 고분자 EL 페이스트, 형광체 등의 인쇄 형성에 본 발명은 그대로 적용할 수 있는 것이다.

본 발명은, 플라즈마 디스플레이 패널(PDP), 액정 표시 패널(LCD), 유기 El 디스플레이 및 필드·이미션·디스플레이(FED) 등의 대형 표시 패널의 제조에, 매우 적합하게 이용할 수 있다.

도 1의 (a) 내지 (f)는 본 실시 형태에 관한 평면 기판의 인쇄 방법을 그 공정 순으로 도시한 단면도.

도 2는 본 발명의 제 1의 실시 형태에 관한 평면 기판의 인쇄 방법을 도시한 사시도.

도 3은 본 실시 형태에 관한 평면 기판의 인쇄 방법을 도시한 단면도.

도 4는 제 1의 실시 형태의 변형예에 관한 평면 기판의 인쇄 방법을 도시한 단면도.

도 5의 (a)는 플라즈마 디스플레이 패널의 데이터 전극 패턴을 도시한 평면도, (b)는 버스 전극 패턴을 도시한 평면도.

도 6의 (a) 내지 (c)는 본 발명의 제 2의 실시 형태에 관한 평면 기판의 인쇄 장치의 동작을 그 공정 순으로 도시한 단면도.

도 7의 (a) 내지 (c)는 본 발명의 제 3의 실시 형태에 관한 평면 기판의 인쇄 장치의 동작을 그 공정 순으로 도시한 단면도.

도 8의 (a) 내지 (c)는 제 3의 실시 형태의 변형예에 관한 평면 기판의 인쇄 장치의 동작을 그 공정 순으로 도시한 단면도.

도 9의 (a) 내지 (d)는 본 발명의 제 4의 실시 형태에 있어서의 평면 유리 기판의 고정 방법을 도시한 단면도.

도 10 (a) 내지 (d)는 본 실시 형태의 변형예에 있어서의 다른 평면 유리 기판의 고정 방법을 도시한 단면도.

도 11은 평면 유리 기판(1)을 만곡면 스테이지에 고정하는 치구를 도시한 단면도.

도 12의 (a) 및 (b)는 스크린판과 평면 유리 기판과의 위치 관계를 도시한 평면도로서, (a)는 종래의 인쇄법을 도시하고, (b)는 제 5의 실시 형태의 인쇄법을 도시한 도면.

도 13은 플라즈마 표시 장치의 구조를 도시한 블록도.

도 14는 AC 면방전형 컬러 플라즈마 디스플레이를 도시한 사시도.

도 15의 (a) 및 (b)는 종래의 스크린 인쇄법을 그 공정 순으로 도시한 단면도.

도 16은 종래의 기판을 만곡시키는 스크린 인쇄 방법을 도시한 단면도.

♣부호의 설명♣

1 : 평면 유리 기판 2 : 만곡면 스테이지

3 : 스크린판 4 : 스크린 판틀

5 : 스퀴지 6 : 페이스트

7 : 만곡 표면 8 : 굴림대

9 : 누름 헤드 10 : 회전축부

11 : 고정 회전축부 12 : 가동 회전축부

13 : 목귀부 고정 헤드 13a : 돌출 부분

14 : 인쇄 패턴 15 : 데이터 전극

16 : 버스 전극 20 : 아날로그 인터페이스

21 : Y/C 분리 회로 22 : A/D 변환 회로

23 : 동기 신호 제어 회로 24 : 화상 포맷 변환 회로

25 : 역γ(감마) 변환 회로 26 : 시스템·컨트롤 회로

27 : PLE 제어 회로 30 : 플라즈마 디스플레이 패널 모듈

31 : 디지털 신호 처리·제어 회로 32 : 패널부

33 : 모듈 내 전원 회로 34 : 입력 인터페이스 신호 처리 회로

35 : 프레임 메모리 36 : 메모리 제어 회로

37 : 드라이버 제어 회로 38 : 주사 드라이버

39 : 데이터 드라이버 40 : 고압 펄스 회로

41 : 전력 회수 회로 50 : 플라즈마 디스플레이 패널

60 : 플라즈마 표시 장치 100 : 플라즈마 디스플레이 패널

101 : 전면 기판 102 : 배면 기판

103 : 투명 유리 기판 104 : 투명 유리 기판

105 : 데이터 전극 106 : 백색 유전체층

107 : 격벽 108 : 형광체층(RGB)

110 : 주사 전극 111 : 버스 전극

112 : 투명 전극 120 : 유지 전극

121 : 버스 전극 122 : 투명 전극

131 : 투명 유전체층 132 : 표면 보호막

301 : 스크린판 302 : 평면 스테이지

303 : 평면 기판 305 : 판틀

306 : 페이스트 307 : 스퀴지

401 : 인쇄대 402 : 피인쇄물

403 : 인쇄 마스크 404 : 스퀴지

405 : 페이스트

Claims

평면 기판의 인쇄면상에 스크린 인쇄 마스크를 배치하고, 상기 평면 기판과 함께 상기 스크린 인쇄 마스크를 협압(挾壓)하도록 일방향으로 늘어나는 스퀴지를 배치하고, 이 스퀴지의 이 스퀴지가 늘어나는 방향에 교차하는 인쇄 방향 전방에 인쇄 페이스트를 배치하고, 상기 스퀴지를 상기 인쇄 방향으로 상기 평면 기판에 대해 상대적으로 이동시킴에 의해 상기 평면 기판의 인쇄면에 인쇄하는 평면 기판의 인쇄 방법에 있어서,

상기 평면 기판을 한 방향으로 만곡시켜서 인쇄면을 볼록형상으로 하는 공정과,

이 만곡한 기판의 인쇄면에 평면형상의 상기 스크린 인쇄 마스크의 제 1의 면을 접촉시키는 공정과,

상기 스퀴지를 상기 스크린 인쇄 마스크의 제 2의 면에 있어서의 상기 기판과의 접촉 부분으로부터 상기 인쇄 방향 후방으로 사이가 떨어진 부분에 꽉눌러서 이 부분을 상기 기판과 함께 협압하는 공정과,

상기 스크린 인쇄 마스크의 제 2의 면상에 있어서의 상기 스퀴지의 상기 인쇄 방향 전방에 인쇄 페이스트를 배치하는 공정과,

상기 기판과 상기 스크린 인쇄 마스크와의 접촉 부분을 상기 인쇄 방향으로 이동시키면서, 상기 스퀴지를 상기 인쇄 방향으로 상기 기판에 대해 상대적으로 이동시킴에 의해 상기 기판의 인쇄면에 인쇄하는 공정을 갖는 것을 특징으로 하는 평면 기판의 인쇄 방법.
제 1항에 있어서,

상기 스크린 인쇄 마스크에 있어서의 상기 스퀴지가 꽉눌려진 부분을 기점으로 하여 상기 인쇄 방향 후방을 향하는 영역에 있어서, 상기 스크린 인쇄 마스크의 제 1의 면과 상기 기판의 표면이 이루는 각도를 0.2°이상으로 하는 것을 특징으로 하는 평면 기판의 인쇄 방법.
제 1항 또는 제 2항에 있어서,

상기 스크린 인쇄 마스크에 있어서의 상기 스퀴지가 꽉눌려진 부분으로부터 상기 인쇄 방향 전방에 2㎜ 이상 늘어난 영역이, 상기 기판의 표면에 압력을 받아서 밀착하고 있는 것을 특징으로 하는 평면 기판의 인쇄 방법.
제 1항 내지 제 3항중 어느 한 항에 있어서,

상기 기판이 유리 기판인 것을 특징으로 하는 평면 기판의 인쇄 방법.
제 1항 내지 제 4항중 어느 한 항에 있어서,

만곡시킨 상기 기판의 인쇄면은 원주 측면의 일부를 이루고 있고, 그 곡률 반경은 1 내지 40m인 것을 특징으로 하는 평면 기판의 인쇄 방법.
제 1항 내지 제 5항중 어느 한 항에 있어서,

상기 스크린 인쇄 마스크는, 상기 평면 기판을 만곡시켜서 인쇄면이 상기 인쇄 방향으로 신장한 상태에서 인쇄함에 의해 생기는 상기 인쇄 방향의 어긋남, 및 상기 스크린 인쇄 마스크와 상기 기판과의 상대적인 이동차에 의해 생기는 상기 인쇄 방향의 길이의 어긋남중 적어도 한쪽을 보정한 것을 특징으로 하는 평면 기판의 인쇄 방법.
제 1항 내지 제 6항중 어느 한 항에 있어서,

상기 스크린 인쇄 마스크가 메탈 스크린 인쇄 마스크인 것을 특징으로 하는 평면 기판의 인쇄 방법.
제 1항 내지 제 6항중 어느 한 항에 있어서,

상기 스크린 인쇄 마스크가, 각각 복수의 날실과 씨실이 엮여진 메시와, 이 메시의 외연부에 연결되고 이 메시를 지지하는 직사각형 형상의 판틀을 가지며, 상기 판틀의 1변이 늘어나는 방향이, 상기 날실이 늘어나는 방향에 대해 실질적으로 평행하고, 상기 판틀의 다른 1변이 늘어나는 방향이, 상기 씨실이 늘어나는 방향에 대해 실질적으로 평행하고, 상기 스크린 마스크에 형성된 인쇄 패턴에 있어서의 상호 직교하는 2개의 기준 방향은 상기 날실 및 씨실이 늘어나는 방향에 대해 각각 10°이상의 바이어스 각을 가지며, 상기 인쇄 방향은 상기 패턴의 기준 방향중 어느 한쪽과 평행인 것을 특징으로 하는 평면 기판의 인쇄 방법.
제 1항 내지 제 8항중 어느 한 항에 있어서,

상기 스퀴지의 이동에 수반하여, 상기 인쇄 방향에 있어서의 상기 기판과 상기 스크린 인쇄 마스크와의 접촉 부분의 길이를 변화시킴에 의해 상기 스크린 인쇄 마스크의 판 떨어짐 각을 제어하는 것을 특징으로 하는 평면 기판의 인쇄 방법.
제 1항 내지 제 9항중 어느 한 항에 있어서,

상기 평면 기판은 플라즈마 디스플레이 패널의 전면 기판 또는 배면 기판이고, 이 기판의 인쇄면에 전극, 블랙 마스크, 컬러 필터, 유전체층 및 형광체층으로 이루어지는 군으로부터 선택된 1 또는 2 이상의 패턴을 인쇄하는 것을 특징으로 하는 평면 기판의 인쇄 방법.
제 1항 내지 제 9항중 어느 한 항에 있어서,

상기 평면 기판은 액정 패널의 기판이고, 이 기판의 인쇄면에 블랙 마스크 및 컬러 필터중 적어도 한쪽을 인쇄하는 것을 특징으로 하는 평면 기판의 인쇄 방법.
제 10항에 기재된 방법에 의해 플라즈마 디스플레이 패널의 전면 기판 및 배면 기판의 밀봉체(封着體)를 제조하는 제 1의 공정과,

이 밀봉체 및 이 밀봉체를 구동하는 회로에 의해 모듈을 제조하는 제 2의 공정과,

화상 신호의 포맷 변환을 행하고, 상기 모듈에 송신하는 인터페이스를 제조하는 제 3의 공정과,

상기 모듈과 상기 인터페이스를 상호간에 전기적으로 접속하는 제 4의 공정을 갖는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 방법.
제 11항에 기재된 방법에 의해 액정 패널을 제조하는 제 1의 공정과,

이 액정 패널 및 이 액정 패널을 구동하는 회로에 의해 모듈을 제조하는 제 2의 공정과,

화상 신호의 포맷 변환을 행하고, 상기 모듈에 송신하는 인터페이스를 제조하는 제 3의 공정과,

상기 모듈과 상기 인터페이스를 상호간에 전기적으로 접속하는 제 4의 공정을 갖는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 제조 방법.
평면 기판을 제 1의 방향으로 일양하게 만곡시켜서 인쇄면을 볼록형상으로 하는 공정과,

상기 인쇄면에 평면형상의 스크린 인쇄 마스크의 제 1의 면을 접촉시키는 공정과,

스퀴지를 상기 스크린 인쇄 마스크의 제 2의 면에 꽉눌러서, 상기 스크린 인쇄 마스크의 상기 제 1의 면과 상기 인쇄면을 상호간에 띠 형상으로 접촉시키는 공정를 갖는 것을 특징으로 하는 평면 기판의 인쇄 방법.
평면 기판을 인쇄면이 볼록형상이 되도록 제 1의 방향으로 일양하게 만곡시키는 공정과,

상기 인쇄면에 있어서 상기 제 1의 방향과 교차하는 제 2의 방향으로 늘어나는 직선을 접선으로 하여 상기 인쇄면에 평면형상의 스크린 인쇄 마스크의 제 1의 면을 접촉시키는 공정과,

상기 인쇄면의 상기 접선 위치로부터 소정의 거리만큼 떨어진 위치에서 스퀴지를 상기 스크린 인쇄 마스크의 제 2의 면에 꽉눌러서, 상기 스크린 인쇄 마스크와 상기 인쇄면을 상호간에 접촉시키는 공정과,

상기 스퀴지를 상기 인쇄면에 대해 상기 접선 위치를 향하는 방향으로 상대적으로 이동시키는 공정을 갖는 것을 특징으로 하는 평면 기판의 인쇄 방법.
평면 기판을 일방향으로 만곡시켜서 인쇄면을 볼록형상으로 한 상태에서 고정하는 고정 수단과,

만곡된 상기 기판상에 배치되고 상기 기판의 일부에 접촉하는 평면형상의 스크린 인쇄 마스크와, 일방향으로 늘어나고 상기 스크린 인쇄 마스크상에 배치되고 상기 스크린 인쇄 마스크에 있어서의 상기 기판과의 접촉 부분으로부터 인쇄 방향 후방에 사이가 떨어진 부분을 상기 평면 기판과 함께 협압하는 스퀴지와, 상기 기판에 있어서의 상기 스크린 인쇄 마스크와의 접촉 부분을 상기 인쇄 방향으로 이동시키는 제 1의 이동 수단과,

상기 접촉 부분의 이동에 동기하여 상기 스퀴지를 상기 인쇄 방향으로 상기 기판에 대해 상대적으로 이동시키는 제 2의 이동 수단을 갖는 것을 특징으로 하는 평면 기판의 인쇄 장치.
제 16항에 있어서,

상기 고정 수단은, 표면이 만곡하여 있고 이 표면에 상기 기판을 밀착시켜서 고정하는 스테이지를 갖는 것을 특징으로 하는 평면 기판의 인쇄 장치.
제 17항에 있어서,

상기 스테이지에 있어서의 상기 기판을 밀착시키는 표면이 원주 측면의 일부를 이루고 있고, 그 곡률 반경이 1 내지 40m인 것을 특징으로 하는 평면 기판의 인쇄 장치.
제 18항에 있어서,

상기 제 1의 이동 수단은 상기 스테이지를 상기 원주의 중심축을 회전축으로 하여 회전운동시키는 것이고,

상기 제 2의 이동 수단은 상기 회전운동에 동기하여 상기 스크린 인쇄 마스크를 상기 마스크의 평면에 평행한 방향으로 이동시키는 것을 특징으로 하는 평면 기판의 인쇄 장치.
제 19항에 있어서,

상기 제 1의 이동 수단은 상기 원주 측면과 동심면을 이루는 가이드를 가지며, 상기 스테이지를 상기 가이드에 따라 이동시킴에 의해 상기 회전운동을 시키는 것을 특징으로 하는 평면 기판의 인쇄 장치.
제 17항 또는 제 18항에 있어서,

상기 스테이지는 상기 인쇄 방향으로 배열된 적어도 2개소의 회전축부를 가지며, 상기 제 1의 이동 수단은 적어도 1개소의 상기 회전축부를 이동시키는 축 이동 수단을 갖는 것을 특징으로 하는 평면 기판의 인쇄 장치.
제 17항 내지 제 21항중 어느 한 항에 있어서,

상기 고정 수단은,

상기 평면 기판을 상기 스테이지에 밀착시키는 제 1의 수단과,

상기 제 1의 수단이 기능하지 않게 된 때에 상기 평면 기판이 튀어오르는 것을 방지하는 제 2의 수단을 갖는 것을 특징으로 하는 평면 기판의 인쇄 장치.
제 22항에 있어서,

상기 제 1의 수단은 상기 기판을 진공 흡착 또는 정전 흡착에 의해 상기 스테이지에 밀착시키는 것이고,

상기 제 2의 수단은, 상기 기판의 주변부를 기계적으로 상기 스테이지에 연결하는 것을 특징으로 하는 평면 기판의 인쇄 장치.
제 16항 내지 제 23항중 어느 한 항에 있어서,

상기 스크린 인쇄 마스크는, 상기 평면 기판을 만곡시켜서 인쇄면이 상기 인쇄 방향으로 신장한 상태에서 인쇄함에 의해 생기는 상기 인쇄 방향의 어긋남, 및 상기 스크린 인쇄 마스크와 상기 기판과의 상대적인 이동차에 의해 생기는 인쇄 방향의 길이의 어긋남중 적어도 한쪽을 보정한 것을 특징으로 하는 평면 기판의 인쇄 장치.
제 16항 내지 제 23항중 어느 한 항에 있어서,

상기 스크린 인쇄 마스크와 상기 고정 수단과의 상대적인 이동량을 제어함에 의해, 상기 평면 기판을 만곡시켜서 인쇄면이 상기 인쇄 방향으로 신장한 상태에서 인쇄함에 의해 생기는 상기 인쇄 방향의 어긋남, 및 상기 스크린 인쇄 마스크와 상기 기판과의 상대적인 이동차에 의해 생기는 인쇄 방향의 길이의 어긋남중 적어도 한쪽을 보정하는 보정 수단을 갖는 것을 특징으로 하는 평면 기판의 인쇄 장치.
제 16항 내지 제 25항중 어느 한 항에 있어서,

상기 스크린 인쇄 마스크가 각각 복수의 날실과 씨실이 엮여진 메시와, 이 메시의 외연부에 연결되고 이 메시를 지지하는 직사각형 형상의 판틀을 가지며, 상기 판틀의 1변이 늘어나는 방향이, 상기 날실이 늘어나는 방향에 대해 실질적으로 평행하고, 상기 판틀의 다른 1변이 늘어나는 방향이, 상기 씨실이 늘어나는 방향에 대해 실질적으로 평행하고, 상기 스크린 마스크에 형성된 인쇄 패턴에 있어서의 상호 직교하는 2개의 기준 방향은 상기 날실 및 씨실이 늘어나는 방향에 대해 각각 10°이상의 바이어스 각을 가지며, 상기 인쇄 방향은 상기 패턴의 기준 방향중 어느 한쪽과 평행인 것을 특징으로 하는 평면 기판의 인쇄 장치.
제 16항 내지 제 26항중 어느 한 항에 있어서,

상기 스퀴지의 이동에 수반하여, 상기 인쇄 방향에 있어서의 상기 기판과 상기 스크린 인쇄 마스크와의 접촉 부분의 길이를 변화시킴에 의해 상기 스크린 인쇄 마스크의 판 떨어짐 각을 제어하는 것을 특징으로 하는 평면 기판의 인쇄 장치.
평면 기판을 제 1의 방향으로 만곡시켜서 인쇄면을 볼록형상으로 한 상태에서 고정하는 고정 수단과,

만곡된 상기 기판상에 배치되고 상기 인쇄면에 그 제 1의 면에서 접촉하는 평면형상의 스크린 인쇄 마스크와,

상기 스크린 인쇄 마스크의 제 2의 면에 꽉눌려지고, 상기 스크린 인쇄 마스크의 상기 제 1의 면과 상기 인쇄면을 상호간에 띠 형상의 영역에서 접촉시키는 스퀴지를 갖는 것을 특징으로 하는 평면 기판의 인쇄 장치.
탄성을 갖는 피인쇄물을 제 1의 방향으로 만곡시켜서 인쇄면을 볼록형상으로 한 상태에서 고정하는 고정 수단과,

상기 인쇄면에 있어서 상기 제 1의 방향과 교차하는 제 2의 방향으로 늘어나는 직선을 접선으로 하여 상기 인쇄면에 접촉하도록 배치되는 스크린 인쇄 마스크와,

상기 접선의 위치를 상기 인쇄면에 따라 이동시키는 제 1의 이동 수단과,

상기 접선으로부터 소정의 거리만큼 떨어진 위치에서 상기 스크린 인쇄 마스크의 제 2의 면에 꽉눌려지고, 상기 스크린 인쇄 마스크와 상기 인쇄면을 상호간에 접촉시키는 스퀴지와,

상기 접선의 위치의 이동에 동기하여 상기 스퀴지와 상기 스크린 인쇄 마스크를 상대적으로 이동시키는 제 2의 이동 수단을 갖는 것을 특징으로 하는 평면 기판의 인쇄 장치.
제 16항 내지 제 25항 및 제 28항 내지 제 29항중 어느 한 항에 있어서,

상기 스크린 인쇄 마스크가 메탈 스크린 인쇄 마스크인 것을 특징으로 하는 평면 기판의 인쇄 장치.