KR20050014955A - 감광성 수지 조성물을 제거하기 위한 씬너 조성물 - Google Patents
감광성 수지 조성물을 제거하기 위한 씬너 조성물Info
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Abstract
Description
구분 | DMAc | 아세톤 | CXN | PGME | PGMEA | nBA | S | |
실시예 | 1 | 70 | 30 | - | - | - | - | - |
2 | 70 | 30 | - | - | - | - | 0.5 | |
3 | 10 | - | 90 | - | - | - | - | |
4 | 10 | - | 90 | - | - | - | 0.5 | |
비교예 | 1 | - | - | - | 50 | - | 50 | - |
2 | - | - | - | 70 | 30 | - | - | |
3 | - | - | - | - | 50 | 50 | - | |
4 | - | 50 | - | 50 | - | - | - | |
5 | 50 | - | - | - | - | 50 | - |
구 분 | 조성물 종류 | 조성물 제품명 | 막두께(㎛) |
감광성수지조성물 | 수지 블랙 매트릭스 | FFO 사 | 2 |
적(Red) | JSR 사 | 2 | |
녹(Green) | 2 | ||
청(Blue) | 2 |
구 분 | 회전속도(rpm) | 시간(sec) |
분배(dispense) 조건 | 300 | 3 |
스핀 코팅 | 500 | 25 |
EBR 조건 1 | 150 | 13 |
EBR 조건 2 | 150 | 15 |
건조 조건 | 700 | 7 |
현상 조건 | 감광막에 따라 결정 |
구 분 | 실 시 예 | 비 교 예 | ||||||||
1 | 2 | 3 | 4 | 1 | 2 | 3 | 4 | 5 | ||
수지블랙 매트릭스 | EBR 후 테일(tail) 유무 | ○ | ◎ | ○ | ○ | × | × | × | △ | △ |
EBR 후 균일성(Uniformity) | ◎ | ◎ | ○ | ○ | × | × | × | △ | △ | |
EBR 검정막 유무 | ◎ | ◎ | △ | ○ | × | × | × | × | × | |
현상 후 띠 유무 | ○ | ◎ | △ | ○ | × | × | × | × | × | |
적(Red) | EBR 후 테일(tail) 유무 | ○ | ◎ | ○ | ○ | × | × | × | △ | △ |
EBR 후 균일성(Uniformity) | ◎ | ◎ | ○ | ○ | × | × | × | △ | △ | |
EBR 검정막 유무 | ◎ | ◎ | △ | ○ | × | × | × | × | △ | |
현상 후 띠 유무 | ○ | ◎ | △ | ○ | × | × | × | × | △ | |
녹(Green) | EBR 후 테일(tail) 유무 | ○ | ◎ | ○ | ○ | × | × | × | △ | △ |
EBR 후 균일성(Uniformity) | ◎ | ◎ | ○ | ○ | × | × | × | △ | △ | |
EBR 검정막 유무 | ◎ | ◎ | △ | ○ | × | × | × | × | △ | |
현상 후 띠 유무 | ○ | ◎ | △ | ○ | × | × | × | × | △ | |
청(Blue) | EBR 후 테일(tail) 유무 | ○ | ◎ | ○ | ○ | × | × | × | △ | △ |
EBR 후 균일성(Uniformity) | ◎ | ◎ | ○ | ○ | × | × | × | △ | △ | |
EBR 검정막 유무 | ◎ | ◎ | △ | ○ | × | × | × | × | △ | |
현상 후 띠 유무 | ○ | ◎ | △ | ○ | × | × | × | × | △ |
Claims (7)
- a) 알킬 아마이드; 및b) 케톤을 포함하는 감광성 수지 조성물 제거용 씬너 조성물.
- 제 1 항에 있어서,a) 알킬 아마이드 10 내지 90 중량부; 및b) 케톤 10 내지 90 중량부를 포함하는 감광성 수지 조성물 제거용 씬너 조성물.
- 제 1항에 있어서, 상기 씬너 조성물은 c) 퍼플루오로알킬 아민옥사이드를 더 포함하는 감광성 수지 조성물 제거용 씬너 조성물.
- 제 3항에 있어서,a) 알킬 아마이드 10 내지 90 중량부;b) 케톤 10 내지 90 중량부; 및c) 퍼플루오로알킬 아민옥사이드 0.001 내지 1 중량부를 포함하는 감광성 수지 조성물 제거용 씬너 조성물.
- 제 1항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 알킬 아마이드는 N-메틸 아세트 아마이드, 디메틸 포름 아마이드, 및 디메틸 아세트 아마이드로 이루어진 군으로부터 1 종 이상 선택되는 감광성 수지 조성물 제거용 씬너 조성물.
- 제 1항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 케톤이 아세톤, 메틸이소프로필케톤, 메틸노말프로필케톤, 메틸에틸케톤, 메틸이소부틸케톤, 디이소부틸케톤, 사이클로 펜타논, 사이클로헥사논, 사이클로헵타논으로 이루어진 군으로부터 1 종 이상 선택되는 감광성 수지 조성물 제거용 씬너 조성물.
- 제 3항 또는 제 4 항에 있어서,상기 퍼플루오로알킬 아민옥사이드의 알킬기는 탄소수 5 내지 30를 갖는 것인 감광성 수지 조성물 제거용 씬너 조성물.
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