KR20040024620A - 전동기 제어 장치의 공진 주파수 검출 장치 - Google Patents

전동기 제어 장치의 공진 주파수 검출 장치 Download PDF

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KR20040024620A
KR20040024620A KR10-2004-7002090A KR20047002090A KR20040024620A KR 20040024620 A KR20040024620 A KR 20040024620A KR 20047002090 A KR20047002090 A KR 20047002090A KR 20040024620 A KR20040024620 A KR 20040024620A
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Abstract

간단한 연산으로 공진 주파수를 고속으로 계측할 수 있고, 저렴한 연산 장치로 공진 주파수를 검출할 수 있는 전동기 제어 장치의 공진 주파수 검출 장치를 제공한다.
기계를 구동하는 전동기(3)와, 그 기계(3)의 동작량을 검출하는 검출 수단(5)과, 제어 지령을 받아서 전동기(3)를 구동하는 제어기(2)로 이루어지는 전동기 제어 시스템에서, 소인 정현파 신호를 발생하여 전동기 제어 시스템에 입력하는 지령 발생기(1)와, 지령 발생기(1)가 출력하는 소인 정현파 신호의 주파수 정보와 검출 수단(5)의 신호를 입력하여, 검출 수단(5)의 신호의 절대값이 최대가 되는 소인 정현파 신호의 주파수를 공진 주파수로서 출력한다.

Description

전동기 제어 장치의 공진 주파수 검출 장치{ELECTRIC MOTOR CONTROLLER RESONANCE FREQUENCY DETECTION APPARATUS}
반도체 제조 장치나 공작 기계, 산업용 로봇 등에서는, 전동기를 이용하여 위치 결정 제어되는 경우가 많다. 그 위치 결정 정밀도에는, 기계의 공진 주파수가 부여하는 영향이 크기 때문에, 미리 정확한 공진 주파수를 파악해 두는 것이 바람직하고, 동시에, 제어 시스템이 장착되어 가동되고 있는 상태에서 정확하게 측정할 수 있는 것이 바람직하다. 이 필요성으로부터, 종래에는 FFT를 이용하여 주파수 특성을 해석하여, 공진 주파수를 산출하는 방법이 이용되고 있다. 이 종래 기술을 도면에 기초하여 설명한다.
도 11은 전동기 제어 시스템에 장착된 종래의 공진 주파수 검출 장치의 구성을 도시하는 블록도이다. 도면에 있어서, 1은 지령 발생기이고, 2는 제어기, 3은 전동기, 4는 기계, 5는 검출기, 12는 FFT 애널라이저, 13은 출력 장치이고, 다음과 같이 동작한다.
지령 발생기(1)는 소인(掃引; sweep) 정현파나 백색 잡음파, M계열 파형, 임팩트파 중 어느 하나의 지령 신호(C)를 생성하여, 제어기(2)에 입력한다. 이 지령에 따라서 제어기(2)가 전동기(3)에 전류를 공급하면, 전동기(3)가 기계(4)를 구동한다. 이 때, 검출기(5)는, 전동기(3)의 회전 위치나 회전 속도 등의 전동기 동작량(m)을 검출하여 응답 신호(S)를 출력한다. FFT 애널라이저(12)는 지령 신호(C)와 응답 신호(S)를 동시에 입력하면 FFT 연산을 실시하여, 주파수 특성(F)을 산출한다. 출력 장치(13)는 주파수 특성(F)을 입력하면 수치나, 그래프화하여 가시화한 것을 출력한다. 이와 같이 하여 공진 주파수가 계측되면, 안정화를 위해서 전동기 제어 시스템에 반영된다.
안정화한 제어 시스템에 대해서 도 12를 이용하여 설명한다. 도면에 있어서, 2∼5는 도 11과 동일한 제어기, 전동기, 기계, 검출기이고, 7은 폐쇄 루프 제어기, 8은 필터 처리부이다. 필터 처리부(8)는 이 제어 시스템의 공진 주파수를 억제하기 위해서 설치된 것으로, 그 주파수 설정은, 계측한 공진 주파수에 대응하는 필터부 입력값(B)을 수동으로 입력하여 행해진다. 이렇게 하여 설정되면, 이 제어 시스템에 소망의 동작을 하게 하도록, 소망의 동작 지령(M)을 부여하여 전동기(3)에 의해서 기계(4)를 구동시키고 있었다.
그런데, 종래 기술에 의하면, 공진 주파수를 계측하기 위해서 FFT를 사용하여 다량의 데이터를 이용한 연산을 필요로 하고 있고, 전동기 제어에 통상은 사용되지 않는 FFT 애널라이저를 별도로 준비하거나, FFT 연산을 실시할 수 있고 다량의 연산 처리가 가능한 고가의 연산 장치를 필요로 하기 때문에, 연산 시간이 길어지고, 비용이 상승하며, 또한 사용하는 데에 불편하다는 문제가 있었다.
본 발명은, 전동기를 이용한 위치 결정 장치에 관한 것으로, 특히, 위치 결정 제어 시스템을 이용하여 기계의 공진 주파수를 검출하는 전동기 제어 장치의 공진 주파수 검출 장치에 관한 것이다.
도 1은, 본 발명을 적용한 전동기 제어 시스템의 구성을 도시하는 블록도이다.
도 2는, 제2 실시예의 구성을 도시하는 블록도이다.
도 3은, 제3 실시예의 구성을 도시하는 블록도이다.
도 4는, 제4 실시예의 구성을 도시하는 블록도이다.
도 5는, 제5 실시예의 구성을 도시하는 블록도이다.
도 6은, 제6 실시예의 구성을 도시하는 블록도이다.
도 7은, 필터 설정 후의 구성을 도시하는 블록도이다.
도 8은, 지령 발생기가 생성하는 지령 신호의 시간 파형을 도시하는 도면이다.
도 9는, 본 발명을 적용한 소인 정현파의 주파수와 시간의 관계를 도시하는 도면이다.
도 10은, 제7 실시예의 구성을 도시하는 블록도이다.
도 11은, 종래 기술을 적용한 전동기 제어 시스템의 구성을 도시하는 블록도이다.
도 12는, 종래의 필터 설정 후의 구성을 도시하는 블록도이다.
본 발명은, 간단한 연산으로 공진 주파수를 고속으로 계측할 수 있고, 저렴한 연산 장치로 공진 주파수를 검출할 수 있는 전동기 제어 장치의 공진 주파수 검출 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 공진 주파수 검출 장치는, 기계를 구동하는 전동기와, 그 기계의 동작량을 검출하는 검출 수단과, 제어 지령을 받아서 상기 전동기를 구동하는 제어기로 이루어지는 전동기 제어 시스템에서, 소인 정현파 신호를 발생하여 상기 전동기 제어 시스템에 입력하는 지령 발생기와, 상기 지령 발생기가 출력하는 상기 소인 정현파 신호의 주파수 정보와 상기 검출 수단의 신호를 입력하여, 상기 검출 수단의 신호의 절대값이 최대가 되는 상기 소인 정현파 신호의 주파수를 공진 주파수로서 출력하는 신호 처리기를 구비한 것을 특징으로 하는 것이다.
청구항 2, 3에 기재된 본 발명은, 상기 검출 수단은 상기 전동기의 위치 또는 속도, 혹은 상기 기계의 위치 또는 속도를 검출하여 상기 동작량으로 하는 것을 특징으로 하고, 상기 전동기 제어 시스템이 오픈 루프인 경우에는 상기 지령 발생기의 신호는 상기 제어기에 입력되어 있는 것을 특징으로 하고 있다.
청구항 4에 기재된 본 발명은, 상기 검출 수단의 신호를 (-)단자에 입력하는 감산기와, 그 감산기의 신호를 받아서 작동하여 상기 제어기에 제어 지령을 출력하는 폐쇄 루프 제어기를 구비하여 상기 전동기 제어 시스템이 폐쇄 루프를 이루고 있는 경우에는, 상기 지령 발생기의 신호는 상기 감산기의 (+)단자에 입력되어 있는 것을 특징으로 하고 있다.
청구항 5에 기재된 본 발명은, 상기 검출 수단의 신호를 (-)단자에 입력하는 감산기와, 그 감산기의 신호를 받아서 작동하여 제어 지령을 출력하는 폐쇄 루프 제어기와, 그 제어 지령을 입력하여 소정의 대역의 신호를 저감한 후, 상기 제어기에 출력하는 필터 처리부를 구비하여 상기 전동기 제어 시스템이 폐쇄 루프를 이루고 있는 경우에는, 가산기가 상기 필터 처리부와 상기 제어기의 사이에 설치되고, 그 한쪽의 입력에 상기 지령 발생기의 신호가 입력되어 있으며, 상기 지령 발생기의 신호와 상기 필터 처리부의 신호의 합이 상기 제어기에 입력되어 있는 것을 특징으로 하고 있다.
청구항 6에 기재된 본 발명은, 상기 소인 정현파 신호는, 최소 주파수(Fmin)에서 최대 주파수(Fmax)까지의 범위로 주파수가 제한되어 있고, 상기 신호 처리기는, 상기 검출 수단의 신호를 소정의 주파수 범위로 제한하여 입력하는 동시에, 상기 최소 주파수(Fmin) 이상의 주파수만을 검출하는 것을 특징으로 하고 있다.
청구항 7에 기재된 본 발명은, 상기 소인 정현파 신호는, 최소 주파수(Fmin)에서 최대 주파수(Fmax)까지의 범위로 주파수가 제한되어 있고, 상기 신호 처리기는, 상기 검출 수단의 신호를 소정의 주파수 범위로 제한하여 입력하는 동시에, 상기 최소 주파수(Fmin)보다 큰 검출 최소 주파수(Flim) 이상의 주파수만을 검출하는 것을 특징으로 하고 있다.
청구항 8에 기재된 본 발명은, 상기 검출기와 상기 신호 처리기의 사이에 하이패스 필터가 설치되어 있는 것을 특징으로 하고 있다.
이상과 같이 되어 있기 때문에, 간단한 연산으로 공진 주파수를 고속으로 계측할 수 있고, 저렴한 연산 장치로 공진 주파수를 검출할 수 있는 것이다.
이하, 본 발명의 실시예를 도면에 기초하여 설명한다. 도 1은 본 발명의 공진 주파수 검출 장치의 구성을 도시하는 블록도이다. 도면에서, 1은 지령 발생기, 2는 제어기, 3은 전동기, 4는 기계, 5는 검출기, 6은 신호 처리기이다. 지령 발생기(1)는 최소 주파수(Fmin)에서 최대 주파수(Fmax)까지 주파수가 변화하는 소인 정현파 지령을 지령 신호(C)로서 출력하고, 동시에, 시시각각 변화하는 지령 신호(C)의 주파수의 정보(A)도 출력한다. 제어기(2)는, 지령 발생기(1)에서 받은 지령 신호(C)에 따라서 전동기(3)를 구동하여, 연결된 기계(4)가 동작한다. 전동기(3)에 연결된 검출기(5)의 출력은 도 8과 같이 전동기 동작량(m)을 검출하여, 이것을 응답 신호(S)로서 신호 처리기(6)에 보낸다. 이 도면에서는 전동기(3)와 기계(4)가 연결되어 있기 때문에, 전동기 동작량(m)을 검출하면, 기계(4)의 공진 특성을 검출할 수 있다. 이 응답 신호(S)는 기계(4)가 주파수에 의존하여 조금의 외력에서도 큰 반응을 나타내는 공진 특성을 갖기 때문에, 공진 주파수에서는 진폭이 최대가 된다.
신호 처리기(6)는 소인 정현파 지령의 주파수 정보(A)와 응답 신호(S)를 수취하여, 최소 주파수(Fmin)를 지난 검출 최소 하한 주파수(Flim)부터 공진 주파수의 검출을 위한 연산을 행한다. 검출 최소 하한 주파수(Flim) 이상에서, 도 8과 같이, 응답 신호(S)의 절대값이 최대가 될 때의 소인 정현파의 주파수를 공진 주파수라고판단하여 공진 주파수 검출 결과(f)를 출력한다.
도 9는 소인 정현파의 주파수와 시간의 관계를 나타내는 그래프이다. t0에서 te사이의 시간 중, 최소 주파수(Fmin)에서 검출 최소 하한 주파수(Flim)을 지나서, 최대 주파수(Fmax)까지 주파수가 변화하는 소인 정현파 지령이 지령 신호(C)가 된다. 신호 처리기(6)는 검출 최소 하한 주파수(Flim)보다 높은 주파수가 되는 시간(ts에서 te) 사이에서, 공진 주파수의 검출을 실시한다.
또한, 제1 실시예에서는, 검출기(5)가 전동기 동작량(m)을 검출하였지만, 기계(4)의 기계 동작량(x)을 검출해도 좋다. 또, 소인 정현파의 주파수와 시간의 관계는, 직선에 한정되지 않고, 임의의 곡선이어도 상관없다.
또, 검출 최소 하한 주파수(Flim)를 최소 주파수(Fmin)과 동일하게 취급해도 상관없다.
도 2는 제2 실시예의 구성을 도시하는 블록도이고, 검출기(5)가 기계(4)의 기계 동작량(x)를 검출하도록 배치한 점이 도 1과 다르다. 신호 처리기(6)는 소인 정현파 지령의 주파수 정보(A)와 응답 신호(S)를 수취하여, 응답 신호(S)의 절대값이 최대가 될 때의 소인 정현파의 주파수를 공진 주파수라고 판단하여 공진 주파수 검출 결과(f)를 출력한다.
도 3은 제3 실시예의 구성을 도시하는 블록도이고, 전동기 제어 시스템이 폐쇄 루프를 이루고 있는 경우의 블록도이다. 이 예에서는, 검출기(5)는 전동기(3)의 전동기 동작량(m)을 검출하도록 설치되어 있고, 또, 제어기(2)의 전단에 폐쇄 루프 제어기(7)가 설치되며, 그 전단에 감산기가 설치되어 있다. 그리고 감산기의 (+)단자에 인가되는 지령과 검출기(5)의 신호가 비교되어, 그 차이를 받은 폐쇄 루프 제어기(7)가, 그 차이를 작게 하도록 작동하여 제어기(2)에 지령을 출력한다. 이 폐쇄 루프 제어 시스템에 지령 발생기(1)와 신호 처리기(6)가 추가되어, 지령 발생기(1)의 지령 신호(C)가 감산기의 (+)단자에 인가된다. 신호 처리기(6)는, 지령 발생기(1)가 출력하는 소인 정현파 지령의 주파수 정보(A)와 검출기(5)가 출력하는 응답 신호(S)를 수취하여, 응답 신호(S)의 절대값이 최대가 될 때의 소인 정현파의 주파수를 공진 주파수라고 판단하여 공진 주파수 검출 결과(f)를 출력한다.
도 4는 제4 실시예의 구성을 도시하는 블록도이고, 도 3에서 지령 발생기(1)가 출력하는 지령 신호(C)를 감산기의 (+)단자에 인가하고 있었던 것을, 제어기(2)와 폐쇄 루프 제어기(7)의 사이에 설치한 가산기의 한쪽의 입력 단자로 바꾼 것이다. 이와 같은 구성으로 해도, 도 3의 경우와 동일하게, 응답 신호(S)의 절대값이 최대가 될 때의 소인 정현파의 주파수를 공진 주파수라고 판단하여 공진 주파수 검출 결과(f)를 출력한다. 또한, 도 3, 도 4에서는 검출기(5)를 전동기(3)에 연결하여 전동기 동작량(m)을 검출하고 있지만, 검출기(5)를 기계(4)에 연결하여 기계 동작량(x)을 직접 검출해도 좋다.
도 5는 제5 실시예의 구성을 도시하는 블록도이다. 이 도면은, 도 4의 폐쇄 루프 제어기(7)의 후단에 필터 처리부(8)를 추가 삽입하여 설치한 구성으로 되어 있고, 필터 처리부(8)는 외부에서 지령을 부여하여 필터 특성을 바꿀 수 있도록 되어 있다. 제4 실시예와 동일하게 하여 신호 처리기(6)가 공진 주파수를 검출하여, 그 공진 주파수 검출 결과(f)를 필터 처리부(8)에 입력하면, 그 입력에 따라서 필터 처리부(8)가 설정되어, 공진 주파수의 대역의 특성을 억제하는 필터로 할 수 있다. 공진 주파수를 검출할 수 있으면, 공진 주파수 검출 결과(f)를 기초로 필터 처리부(8)의 설정값을 자동적으로 결정할 수 있다.
또한, 이 실시예에서는 지령 신호(C)를 필터 처리부(8)와 제어기(2)의 사이에 설치한 가산기의 한쪽의 입력으로 하였지만, 폐쇄 루프 제어기(7)의 전단에 설치한 감산기의 (+)단자에 입력해도 좋다.
도 6은 제6 실시예의 구성을 도시하는 블록도이고, 도 5의 폐쇄 루프 제어기(7)와, 그 전단의 감산기 부근의 구성을 바꾼 구성으로 되어 있다. 폐쇄 루프 제어기(7B)는, 감산기와 위치 제어기(9), 감산기, 속도 제어기(10), 속도 연산기(11)로 구성되어 있다. 이 도면에서 위치 제어기(9)의 전단에 있는 감산기의 (+)단자에는, 크기가 0인 동작 지령(M)을 부여하고 있고, 이것에 의해서 위치 어긋남 없이 공진 주파수의 검출이 행해진다. 폐쇄 루프 제어기(7B)에서는, 전동기 동작량(m)을 검출하여 얻어진 응답 신호가, 감산기를 경유하여 위치 제어기(9)에 입력되고, 동시에, 속도 연산기(11)를 경유하여 속도 제어기(10)에 입력된다. 그리고 속도 제어기(10)는 위치 제어기(9)의 출력과 일치하도록 제어하고, 위치 제어기(9)는 전동기 동작량(m)의 위치가 동작 지령(M)의 0위치와 일치하도록 제어한다. 공진 주파수는 도 1∼도 5와 동일하게 하여 구해진다. 또한, 도 5의 경우와 동일하게, 검출기를 기계(4)에 연결하여 기계 동작량을 직접 검출해도 좋고, 전동기(3)나 기계(4)의 위치 어긋남이 문제가 아니면, 동작 지령 신호(M) 대신에 지령 신호(C)를 입력하여 공진 주파수를 검출해도 좋다. 또, 이상의 실시예에서는, 공진 주파수를 검출하는 목적에 따라서, 예를 들면, 필터 처리부(8)에 다수의 필터를 설정할 때에, 필터간의 간섭을 피하기 위해서 필터 설정 주파수가 한정되어 있는 경우에는, 주파수 범위를 제한하여 주파수를 검출해도 좋고, 임의로 설정한 주파수 Flim 이상 Fmax 이하의 절대값의 최대값을 검출하여 공진 주파수로 해도 좋다.
도 7은 도 5, 6에서 검출한 공진 주파수에 기초하여 필터 처리부를 설정하고, 그 후, 설정한 필터 처리부를 살려서 통상의 운전을 하고 있을 때의 구성을 도시하는 블록도이다. 이 제어 시스템에서 동작 지령(M)을 입력하면, 폐쇄 루프 제어기(7)는, 전동기 동작량(m)과 동작 지령(M)이 일치하도록 제어하고, 공진을 억제하는 필터 처리부가 잘 기능하여 전동기 동작량(m)과 동작 지령(M)이 보다 일치하기 쉽게 되어 있다.
또한, 도 7의 구성과 도 5의 구성은, 스위치를 설치하여 전환되도록 해도 좋다. 또, 도 3, 도 4, 도 5, 도 7에서는 폐쇄 루프 제어기(7)를 1개의 제어기로서 도시하였지만, 도 6과 같이 위치 제어기(9), 속도 연산기(11), 속도 제어기(10)를 포함하는 구성으로 해도 좋다. 또, 기계의 동작량이 지령 신호와 일치하도록 전동기(3)의 동작을 검출기(5)가 검출한 응답 신호(S)에 기초하여 제어하는 것이면, 내부 구성을 변경한 폐쇄 루프 제어기(7)여도 좋다. 필터 처리부(8)나 제어기(2)를 포함시켜서 순서나 구성을 변경해도 좋다.
도 10은 제7 실시예의 구성을 도시하는 블록도이다. 도면에서, 1은 지령 발생기, 2는 제어기, 3은 전동기, 4는 기계, 5는 검출기, 6은 신호 처리기, 14는 하이패스 필터 수단이다.
검출기(5)가 전동기 동작량(m)을 검출하여, 이것을 응답 신호(S)로서, 하이패스 필터 수단(14)을 경유하여 신호 처리기(6)에 보내는 점이 도 1과 다르다. 신호 처리기(6)는 소인 정현파 지령의 주파수 정보(A)와 응답 신호(S)를 수취하여, 하이패스 필터 수단(14)으로써 신호의 오프셋이나 저주파수 성분을 응답 신호(S)로부터 제거하여, 응답 신호(S)의 절대값이 최대가 될 때의 소인 정현파의 주파수를 공진 주파수라고 판단하여 공진 주파수 검출 결과(f)를 출력한다.
또한, 이 실시예에서는, 신호 처리기(6)는 검출 최소 하한 주파수(Flim) 이상이라는 조건을 붙이지 않았지만, 제1 실시예와 동일하게, 검출 최소 하한 주파수(Flim) 이상에서, 응답 신호(S)의 절대값이 최대가 될 때의 소인 정현파의 주파수를 공진 주파수라고 판단하여 공진 주파수 검출 결과(f)를 출력해도 좋다.
또, 검출기(5)는 전동기 동작량(m)을 검출하였지만, 기계(4)의 기계 동작량(x)을 검출해도 좋다.
본 발명에 의하면, 청구항에 기재된 구성의 공진 주파수 검출 장치로 하였기 때문에, 간단한 연산으로 공진 주파수를 고속으로 산출할 수 있고, 저렴한 연산 장치를 이용하여, 공진 주파수를 검출하는 효과가 있다. 또, 공진 주파수를 검출하는 동시에, 필터 처리부에 공진 주파수를 억제하는 필터 처리 입력값을 자동 입력하고 설정하여, 자동적으로 전동기 제어 장치의 성능을 향상할 수 있다고 하는 효과가 있다.

Claims (8)

  1. 기계를 구동하는 전동기와, 그 기계의 동작량을 검출하는 검출 수단과, 제어 지령을 받아서 상기 전동기를 구동하는 제어기로 이루어지는 전동기 제어 시스템에 있어서,
    소인 정현파 신호를 발생하여 상기 전동기 제어 시스템에 입력하는 지령 발생기와, 상기 지령 발생기가 출력하는 상기 소인 정현파 신호의 주파수 정보와 상기 검출 수단의 신호를 입력하여, 상기 검출 수단의 신호의 절대값이 최대가 되는 상기 소인 정현파 신호의 주파수를 공진 주파수로서 출력하는 신호 처리기를 구비한 것을 특징으로 하는 전동기 제어 장치의 공진 주파수 검출 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 검출 수단은 상기 전동기의 위치 또는 속도, 혹은 상기 기계의 위치 또는 속도를 검출하여 상기 동작량으로 하는 것을 특징으로 하는 전동기 제어 장치의 공진 주파수 검출 장치.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 전동기 제어 시스템이 오픈 루프인 경우에는 상기 지령 발생기의 신호는 상기 제어기에 입력되어 있는 것을 특징으로 하는 전동기 제어 장치의 공진 주파수 검출 장치.
  4. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 검출 수단의 신호를 (-)단자에 입력하는감산기와, 그 감산기의 신호를 받아서 작동하여 상기 제어기에 제어 지령을 출력하는 폐쇄 루프 제어기를 구비하여 상기 전동기 제어 시스템이 폐쇄 루프를 이루고 있는 경우에는, 상기 지령 발생기의 신호는 상기 감산기의 (+)단자에 입력되어 있는 것을 특징으로 하는 전동기 제어 장치의 공진 주파수 검출 장치.
  5. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 검출 수단의 신호를 (-)단자에 입력하는 감산기와, 그 감산기의 신호를 받아서 작동하여 제어 지령을 출력하는 폐쇄 루프 제어기와, 그 제어 지령을 입력하여 소정의 대역의 신호를 저감한 후, 상기 제어기에 출력하는 필터 처리부를 구비하여 상기 전동기 제어 시스템이 폐쇄 루프를 이루고 있는 경우에는, 가산기가 상기 필터 처리부와 상기 제어기의 사이에 설치되고, 그 한쪽의 입력에 상기 지령 발생기의 신호가 입력되어 있으며, 상기 지령 발생기의 신호와 상기 필터 처리부의 신호의 합이 상기 제어기에 입력되어 있는 것을 특징으로 하는 전동기 제어 장치의 공진 주파수 검출 장치.
  6. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 소인 정현파 신호는, 최소 주파수(Fmin)에서 최대 주파수(Fmax)까지의 범위로 주파수가 제한되어 있고, 상기 신호 처리기는, 상기 검출 수단의 신호를 소정의 주파수 범위로 제한하여 입력하는 동시에, 상기 최소 주파수(Fmin) 이상의 주파수만을 검출하는 것을 특징으로 하는 전동기 제어 장치의 공진 주파수 검출 장치.
  7. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 소인 정현파 신호는, 최소 주파수(Fmin)에서 최대 주파수(Fmax)까지의 범위로 주파수가 제한되어 있고, 상기 신호 처리기는, 상기 검출 수단의 신호를 소정의 주파수 범위로 제한하여 입력하는 동시에, 상기 최소 주파수(Fmin)보다 큰 검출 최소 주파수(Flim) 이상의 주파수만을 검출하는 것을 특징으로 하는 전동기 제어 장치의 공진 주파수 검출 장치.
  8. 제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 검출기와 상기 신호 처리기의 사이에 하이패스 필터가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 전동기 제어 장치의 공진 주파수 검출 장치.
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