KR20030060795A - 처리시스템 및 처리방법 - Google Patents

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KR20030060795A KR10-2003-0000696A KR20030000696A KR20030060795A KR 20030060795 A KR20030060795 A KR 20030060795A KR 20030000696 A KR20030000696 A KR 20030000696A KR 20030060795 A KR20030060795 A KR 20030060795A
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동경 엘렉트론 주식회사
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Abstract

본 발명은, 처리시스템 및 처리방법에 관한 것으로, 오퍼레이터에 의한 처리 레시피 선택 필요없이, 또한, 스루 풋을 향상시킬 수 있는 처리 시스템 및 처리방법을 제공하는 데에 있다.
1 또는 2 이상의 피처리체로 이루어지는 피처리체군(WS)을, 처리조에 있어서 처리액에 의해 처리하는 처리 시스템에 있어서, 적어도 하나 이상의 처리조로 이루어지고 동일한 처리를 실행가능한 처리조군(M1, M2, M3)을 복수 구비함과 동시에 이들 복수의 처리조군에 피처리체군(WS)을 반송하는 반송장치(22)와, 이 반송장치(22)에 의해 피처리체군(W)을 반송시키는 처리조군(WS)을 선택하는 제어부(45)를 구비하고, 상기 제어부(45)는 각 피처리체군에 대해 처리 레시피를 할당하는 할당기능과, 할당된 각 처리 레시피를 실행하는 처리조군을 소정 순서로 선택하는 선택기능을 갖는 것으로 했다.

Description

처리시스템 및 처리방법{PROCESSING SYSTEM AND PROCESSING METHOD}
본 발명은 예를 들면 반도체 웨이퍼 등의 피처리체를 처리하는 처리시스템 및 처리방법에 관한 것이다.
예를 들면, 반도체 디바이스의 제조프로세스에 있어서는 반도체 웨이퍼(이하, 「웨이퍼」라 한다.)의 표면에 대해 세정, 레지스트막 제거 등의 처리를 실시하는 처리시스템이 사용된다. 그 일례로서 웨이퍼를 처리하는 처리액을 처리조 내에 저류하고, 이에 웨이퍼를 지침하여 처리하는 처리시스템이 공지되어 있다. 이 처리시스템에 있어서는 예를 들면 처리조를 하나 이상 구비하는 처리조군을 따라 반송장치를 이동시키고, 처리조군에 설치된 처리조에 있어서 복수매의 웨이퍼로 이루어지는 로트를 처리액에 지침시켜서 처리가 이루어진다. 처리조군에 배열되는 처리조에는 세정처리를 하는 수 종의 약액조, 순수를 저류하여 물세정하는 물세정조, 또는 수종의 처리액을 저류하는 처리조 등이 있다.
그러나, 종래의 처리시스템에 있어서는 동일한 처리가 가능한 처리조가 복수의 처리조군에 설치되어 있는 경우, 오퍼레이터가 어느 처리조군의 처리조를 사용할 지 선택하고 처리 레시피를 작성했다. 그리고 복수의 로트를 처리할 때에는 로트별로 처리조군과 처리조를 선택하여 처리레시피를 작성했다. 예를 들면, 연속적으로 웨이퍼를 처리부로 반입하여 처리하는 경우, 반입할 때에 각각의 로트에 대해 처리조군과 처리조를 선택하였다. 이렇게 오퍼레이터에 의한 처리 레시피의 작성은 번잡하고, 판단 지연과 미스를 초래할 가능성이 높으며, 스루 풋이 저하되는 원인이 되었다. 예를 들면, 복수 개의 동일 약액조 중, 특정한 것을 빈번하게 선택해버리는 판단미스로 특정 약액조가 과잉으로 사용되는 일이 있었다. 또, 선행한 로트가 처리되고 있는 처리조에 그 처리를 마치지 않은 동안에 후속 로트를 반입하도록 선택을 하는 판단미스에서, 다시 선택을 하는 경우와, 처리시스템에 있어서 처리 중단이 발생하는 경우가 있었다.
따라서, 본 발명의 목적은, 오퍼레이터에 의한 처리 레시피 작성을 간단하게 하고, 스루 풋을 향상시킬 수 있는 처리시스템 및 처리방법을 제공하는 데에 있다.
상기 과제를 해결하기 위해, 본 발명에 따르면, 1 또는 2 이상의 피처리체로 이루어지는 피처리체군을 처리조에 있어서 처리액에 의해 처리하는 처리시스템에 있어서, 적어도 하나 이상의 처리조로 이루어지는 동일한 처리를 실행가능한 처리조군을 복수 구비함과 동시에 이들 복수의 처리조군에 피처리체군을 반송하는 반송장치와, 이 반송장치에 의해 피처리체군을 반송시키는 처리조군을 선택하는 제어부를 구비하고, 상기 제어부는 각 피처리체군에 대해 처리 레시피를 할당하는 할당기능과, 할당된 각 처리 레시피를 실행하는 처리조군을 소정의 순서로 선택하는 선택기능을 갖는 것을 특징으로 하는, 처리시스템이 제공된다. 이 처리시스템에 있어서는 복수의 피처리체군을 처리하는 경우, 오퍼레이터에 의한 처리 레시피의 작성과 처리조군의 선택이 용이해진다. 또한, 피처리체란, 예를 들면 웨이퍼 등의 기판이고, 피처리체군이란, 각 처리조군에 있어서 일괄적으로 처리되는 예를 들면 1매 또는 복수매의 웨이퍼로 이루어지는 웨이퍼군 등의 기판군이다.
상기 복수의 처리조군은 동일한 처리액에서 피처리체군을 처리가능한 처리조를 각각 갖고 있는 것이 바람직하다.
또, 상기 제어부는 상기 처리 레시피를 기억하는 기억기능을 갖는 것이 바람직하다. 또한, 상기 제어부는 각 처리조군의 사용여부를 판단하는 판단기능을 갖는 것을 특징으로 해도 좋다. 그리고, 상기 제어부는 사용불가로 판단한 처리조군을 제외하고 처리조군을 선택하는 것이 바람직하다.
상기 처리조에 처리액을 공급하는 공급수단을 적어도 하나 구비하도록 해도 좋다. 또한, 하나의 처리조에 대해, 다른 종류의 처리액을 공급하는 복수의 공급수단을 구비하도록 해도 좋다.
상기 제어부는 상기 처리조군의 처리조의 처리액을 동시에 교환할 수 있도록 각 처리조군의 처리를 제어할 수 있다.
본 발명에 따르면, 1 또는 2 이상의 피처리체로 이루어지는 피처리체군을, 처리조에 있어서 처리액에 의해 처리하는 처리시스템에 있어서, 오퍼레이터가 처리레시피를 입력하는 입력부와, 적어도 하나 이상의 처리조로 이루어지는 동일한 처리를 실행가능한 복수의 처리조군과, 이들 복수의 처리조군에 피처리체군을 반송하는 반송장치와, 상기 입력부에서 입력된 처리 레시피가 복수의 처리조군에 대해 동일한 처리 레시피인 경우, 상기 동일한 처리 레시피를 실행하는 처리조군을 소정의 순서로 선택하고, 상기 각 피처리체군을 상기 소정의 순서로 선택한 처리조군으로 반송하도록 상기 반송장치를 제어하는 제어부를 구비하는 것을 특징으로 하는 처리시스템이 제공된다.
상기 복수의 처리조군은 동일한 처리액에서 피처리체군을 처리가능한 처리조를 각각 갖고 있는 것이 바람직하다.
상기 제어부는 상기 처리 레시피를 기억하는 기억기능을 갖는 것이 바람직하다. 또, 상기 제어부는 각 처리조군의 사용여부를 판단하는 판단기능을 갖는 것을 특징으로 해도 좋다. 또, 상기 제어부는 사용불가로 판단한 처리조군을 제외하고 처리조군을 선택하는 것이 바람직하다.
상기 제어부는 상기 처리조군의 처리조의 처리액을 동시에 교환할 수 있도록 각 처리조군의 처리조 처리를 제어할 수 있다.
또, 본 발명에 따르면, 1 또는 2 이상의 피처리체로 이루어지는 피처리체군을 처리조를 적어도 하나 이상 구비하는 처리조군으로 반송하고, 처리조에 있어서 처리액에 의해 처리하는 처리방법에 있어서, 피처리체군을 처리하는 처리조군을 복수의 처리조군 중에서 소정의 순서에 따라 순차적으로 다른 처리조군을 선택하고, 상기 선택된 처리군에 있어서, 미리 정해진 처리 레시피에 따라 피처리체군을 처리하는 것을 특징으로 하는 처리방법이 제공된다. 이 처리방법에 있어서는 오퍼레이터에 의한 처리 레시피의 작성이 용이해지고, 판단미스 등에 의한 스루 풋의 저하를 방지할 수 있다.
상기 복수의 처리조군은 동일한 처리 레시피에 따라 피처리체군을 처리하는 처리조군을 포함하도록 해도 좋다. 또, 상기 복수의 처리조군에 있어서, 복수의 피처리체군을 병행하여 처리하는 것이 바람직하다. 이 경우, 스루 풋을 향상시킬 수 있다. 또한, 사용불가로 판단한 처리조군을 제외하고 처리조군을 선택하는 것이 바람직하다.
상기 처리조군의 처리조의 처리액을 동시에 교환할 수 있도록 각 처리조군의 처리를 제어하게 해도 좋다.
도 1 은 처리시스템의 사시도이다.
도 2 는 처리시스템의 평면도이다.
도 3 은 처리조군과 제어부의 설명도이다.
도 4 는 입출력장치에 제시되는 초기상태의 표이다.
도 5 는 오퍼레이터가 입력된 순서를 제시한 표이다.
도 6 은 약액조 및 약액공급수단의 설명도이다.
도 7 은 약액공급수단 및 DIW공급수단의 설명도이다.
도 8 은 POU식 처리조의 설명도이다.
도 9 는 처리조의 배열 변경예를 도시하는 평면도이다.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
C : 캐리어 W : 웨이퍼
WS : 웨이퍼군 1 : 처리 시스템
2 : 반입출부 3 : 인터페이스부
4 : 액처리부 7 : 액처리 유닛
8 : 건조유닛 21b : 웨이퍼 수직유직기구
22 : 웨이퍼 반송장치 M1, M2, M3 : 처리조군
P1, P2, P3 : 약액조 R1, R2, R3 : 물세정조
40, 41, 42 : 처리조군 내 반송기 RE0, RE1, RE2, RE3 : 처리 레시피
45 : 제어부 46 : 입출력장치
47 : 연산장치 48 : 기억장치
50 : 제어장치 70 : 약액공급수단
80 : DIW공급수단 90 : POU식 처리조
이하, 본 발명의 바람직한 실시예를, 기판의 일례인 웨이퍼를 세정처리하는 처리조인 약액조에 기초하여 설명한다. 도 1은 본 실시예에 관한 약액조(P3)를 설치한 처리시스템(1)의 하나의 실시예를 도시하는 사시도이고, 도 2는 그 평면도이다. 도 1 및 도 2에 도시하는 것과 같이, 처리시스템(1)은, 웨이퍼(W)가 수평상태로 수납된 캐리어(C)를 반입출하고, 또 보관 등 하는 반입출부(2)와, 웨이퍼(W)에 소정의 약액을 이용한 액처리를 하고, 또 건조처리 등을 하는 액처리부(4)와, 반입출부(2)와 액처리부(4) 사이에서 웨이퍼(W)를 반송하는 인터페이스부(3)로 주로 구성되어 있다.
반입출부(2)는 소정 매수, 예를 들면 25매의 웨이퍼(W)를 대략 수평으로 소정간격으로 수납가능하고, 그 한 측면이 웨이퍼(W)의 반입출구가 되어 있으며, 이 반입출구가 개(蓋)체에 의해 개폐가능해져 있는 구조를 갖는 캐리어(C)를 재치하기 위한 스테이지(11)가 형성된 캐리어 반입출부(5)와, 캐리어(C)를 유지하는 캐리어유지부(13)가 소정수 배설되고, 복수의 캐리어(C)가 보관가능한 캐리어 스토크부(6)가 구성되어 있다. 스테이지(11)에 재치된 액처리 전의 웨이퍼(W)가 수납된 캐리어(C)는 캐리어 반송장치(12)에 의해 캐리어 스토크부(6)로 반입되고, 한편, 액처리를 종료한 웨이퍼(W)가 수납된 캐리어(C)는 캐리어 스토크부(6)에서 캐리어 반송장치(12)를 이용하여 스테이지(11)로 반출된다.
캐리어 반입출부(5)와 캐리어 스토크부(6) 사이에는 셔터(14)가 설치되어 있고, 캐리어 반입출부(5)와 캐리어 스토크부(6) 사이에서의 캐리어(C) 인수인계시에 셔터(14)가 열리고, 그 이외의 경우에는 캐리어 반입출부(5)와 캐리어 스토크부(6) 사이의 분위기 분리를 하도록 셔터(14)는 닫힌 상태가 된다.
캐리어 반송장치(12)는 예를 들면 적어도 캐리어(C)를 X방향으로 이동시키는 것이 가능하도록 구동되는 다관절 암 또는 신축 암 등의 암(12a)을 갖고 있고, 이러한 암(12a)이 캐리어(C)를 지지하여 캐리어(C)의 반송을 한다. 또, 캐리어 반송장치(12)는 미도시의 Y축 구동기구와 Z축 구동기구에 의해 Y방향 및 Z방향(높이방향)으로도 구동가능하고, 이에 의해 소정위치에 배설된 캐리어 유지부재(13)에 캐리어(C)를 재치하는 것이 가능해진다.
캐리어 유지부재(13)는 도 2에서는 캐리어 스토크부(6)를 형성하는 벽면 근방에 설치되어 있고, 각 개소에 있어서 높이 방향으로 복수단에 예를 들면 4단으로설치되어 있다. 캐리어 스토크부(6)는 액처리 전의 웨이퍼(W)가 수납된 캐리어(C)를 일시적으로 보관하고, 또, 웨이퍼(W)가 반출된 내부가 비어있는 캐리어(C)를 보관하는 역할을 한다.
캐리어 스토크부(6)와 인터페이스부(3)의 경계에는 창부(16)가 형성되어 있고, 이 창부(16)의 캐리어 스토크부(6)측에는 캐리어(C)의 개체가 창부(16)에 대면하도록 캐리어(C)를 재치할 수 있게 캐리어 유지부재(13)와 동일한 구조를 갖는 검사/반입출 스테이지(15)가 배설되어 있다. 또한, 검사/반입출 스테이지(15)를 배설하는 일 없이, 창부(16)에 대면한 소정의 스페이스에 있어서 캐리어 반송장치(12)가 캐리어(C)를 소정시간 유지하도록 해도 좋다.
창부(16)의 캐리어 스토크부(6)에는 검사/반입출 스테이지(15)에 재치된 캐리어(C)의 개체 개폐를 하기 위한 개체개폐기구(17)가 설치되어 있고, 창부(16) 및 캐리어(C)의 개체를 열린 상태로 하므로써 캐리어(C) 내의 웨이퍼(W)를 인터페이스부(3)측으로 반출할 수 있게 되고, 반대로, 인터페이스부(3) 측에서 빈 캐리어(C) 내로 웨이퍼(W)를 반입하는 것도 가능하다. 또 개체개폐기구(17)는 창부(16)의 인터페이스부(3) 측으로 설치해도 좋다.
창부(16)의 인터페이스부(3) 측에는 캐리어(C) 내의 웨이퍼(W) 매수를 계측하기 위한 웨이퍼검사장치(18)가 배설되어 있다. 웨이퍼 검사장치(18)는 예를 들면 송신부와 수신부를 갖는 적외선 센서헤드를 캐리어(C) 내에 수납된 웨이퍼(W)의 X방향 단부 근방에 있어서 Z방향으로 스캔시키면서, 송신부와 수신부 사이에서 적외선 투과광 또는 반사광의 신호를 검지하고 웨이퍼(W)의 매수를 검사한다. 여기에서웨이퍼 검사장치(18)로서는 웨이퍼(W)의 매수 검사와 병행하여, 웨이퍼(W)의 수납상태, 예를 들면 캐리어(C) 내에 웨이퍼(W)가 소정 피치로 평행하게 1매씩 배치되어 있는 지, 웨이퍼(W)가 단차가 나도록 비스듬하게 수납되어 있는 지를 검출하는 기능을 구비한 것을 이용하는 것이 바람직하다. 또, 웨이퍼(W)의 수납상태를 확인한 후에, 동일 센서를 이용하여 웨이퍼(W) 매수를 검출하도록 해도 좋다.
또한, 웨이퍼(W)의 매수만을 검사하는 웨이퍼 검사장치는 예를 들면 캐리어(C) 내에서의 웨이퍼(W) 단차 등이 경험상, 거의 발생하지 않는 경우 등에 이용되고, 웨이퍼(W)의 수납상태만을 검사하는 웨이퍼 검출장치는 예를 들면 웨이퍼(W)의 수납매수에 과부족이 발생하는 것이 경험상, 극히 적은 횟수로밖에 발생하지 않는 경우 등에 이용할 수 있다.
캐리어 반송장치(12)와 웨이퍼 검사장치(18)는, 캐리어 반송장치 제어부(90)에 의해 그 동작이 제어된다. 예를 들면 캐리어 반송장치 제어부(90)는 캐리어(C) 내의 웨이퍼(W)의 매수를 웨이퍼 검사장치(18)에 의해 검사한 후에 그 캐리어(C)를 캐리어 스토크부(6)에 보관하도록 캐리어 반송장치(12)를 제어한다. 또한, 캐리어 반송장치 제어부(90)에 의해 셔터(14)의 개폐와 창부(16)의 개폐, 개체개폐기구(17)의 동작이 캐리어 반송장치(12)의 움직임에 연동하여 제어된다.
인터페이스부(3)에는 웨이퍼 반입출장치(19)와, 웨이퍼 이체장치(21)와, 웨이퍼 반송장치(22)가 배설되어 있고, 웨이퍼 이체장치(21)는 웨이퍼 반입출장치(19) 사이에서 웨이퍼(W)의 인수인계를 하고, 또한, 웨이퍼(W)의 자세를 변환하는 자세변환기구(21a)와, 자세변환기구(21a)와 웨이퍼 반송장치(22) 사이에서 웨이퍼(W)의 인수인계를 하는 웨이퍼 수직유지기구(21b)로 구성되어 있다.
웨이퍼 반입출장치(19)는, 창부(16)를 통해 캐리어(C) 내의 웨이퍼(W)를 반출하여 자세변환기구(21a)로 인수인계하고 또 액처리가 종료된 웨이퍼(W)를 자세변환기구(21a)에서 수취하여 캐리어(C)로 반입한다. 이 웨이퍼 반입출장치(19)는 미처리 웨이퍼(W)의 반송을 하는 암(19a)과, 액처리 완료된 웨이퍼(W)의 반송을 하는 암(19b)의 2계통의 암을 갖고, 암(19a ·19b)은 캐리어(C) 내에 수납된 복수의 웨이퍼(W)를 일괄적으로 유지할 수 있도록 캐리어(C) 내에 있어서 웨이퍼(W)의 배열피치에 적합하게 하고 소정수만큼 Z방향으로 소정간격으로 늘어서 있다. 또, 도 2에 도시한 상태에 있어서 암(19a ·19b)은 화살표 A방향으로 이동(슬라이드) 또는 신축이 자유롭고, 또한 Z방향으로 소정거리 승강가능해져 있다. 또한 웨이퍼 반입출장치(19) 전체는 θ방향으로 회전가능하게 구성되어 있고, 이에 의해 암(19a ·19b)은 검사/반입출 스테이지(15)에 재치된 캐리어(C) 및 자세변환기구(21a) 중 어느 하나에도 액세스가능해져 있다.
웨이퍼 반입출장치(19)의 구동형태는 예를 들면 다음과 같다. 우선, 암(19a)이 웨이퍼 이체장치(21)측에 있고, 화살표 A방향이 X방향과 일치하고 있는 상태에 있어서 암(19a)을 이동(슬라이드) 또는 신축시켜서 웨이퍼(W)의 하측으로 삽입하고, 암(19a)을 소정거리 상승시켜서 웨이퍼(W)를 암(19a)에 유지시키고, 그 후 암(19a)을 역방향으로 이동(슬라이드) 또는 줄이므로써, 캐리어(C) 내의 웨이퍼(W)를 반출한다. 이어서 웨이퍼 반입출장치(19) 전체를 도 2에 있어서 반시계방향으로 90도(°) 회전시켜서 화살표 A방향이 Y방향과 일치하고, 또한 암(19a)이액처리부(4)측에 있는 상태로 하고 암(19a)을 이동(슬라이드) 또는 신축시키므로써 암(19a)에 유지한 웨이퍼(W)를 자세변환기구(21a)로 인수인계할 수 있다.
한편, 화살표 A방향이 Y방향과 일치하고, 또한 암(19b)이 액처리부(4)측에 있는 상태로 하고, 암(19b)을 이동(슬라이드) 또는 신축시켜서 자세변환기구(21a)에서 액처리 완료된 웨이퍼(W)를 반출한 후, 웨이퍼 반입출장치(19) 전체를 도 2에 있어서 시계방향으로 90°회전시켜서 화살표 A방향과 X방향을 일치시키고, 또한 암(19b)이 웨이퍼 이체장치(21)측에 있는 상태로 하고 암(19b)을 이동(슬라이드) 또는 신축시키므로써, 암(19b)에 유지된 웨이퍼(W)를 빈 캐리어(C)로 반입할 수 있다.
웨이퍼 반입출장치(19)를 이용한 웨이퍼(W) 반송은 웨이퍼(W)를 대략 수평상태로 하여 이루어지지만, 웨이퍼(W)의 세정은 웨이퍼(W)를 대략 수직상태로 할 필요가 있으므로, 자세변환기구(21a)에 있어서 웨이퍼(W)의 자세변환을 한다. 자세변환기구(21a)는 예를 들면 웨이퍼 반입출장치(19)에 있어서 웨이퍼(W)의 배열피치에 맞추어 웨이퍼(W)를 유지하기 위한 홈 등이 형성된 가이드부재 등을 갖고 있고, 이 가이드부재 등이 복수의 웨이퍼(W)를 유지하고 소정방향으로 약 90°회전하므로써, 복수의 웨이퍼(W)를 수평상태에서 수직상태로 변환한다. 이렇게 하여 수직상태로 변환된 웨이퍼(W)는 웨이퍼 반송장치(22)로 인수인계되기 전에 일단, 웨이퍼 수직유지기구(21b)로 인수인계된다.
웨이퍼 수직유지기구(21b)는 캐리어(C) 내의 웨이퍼 배열피치의 반의 배열피치로 웨이퍼(W)를 수납할 수 있도록 홈부가 형성된 구조를 갖고 있고, 2개의 캐리어(C) 내에 수납된 합계 50매의 웨이퍼(W)를 수납할 수 있게 되어 있다. 이렇게 해서 합계 50매의 웨이퍼(W)로 이루어지는 웨이퍼군(WS)이 형성되고, 2개의 캐리어(C) 내에 수납된 웨이퍼(W)는 동시에 액처리할 수 있다. 웨이퍼 수직유지기구(21b)는 자세변환기구(21a)와의 사이에서 웨이퍼(W)의 인수인계가 가능한 위치와, 웨이퍼 반송장치(22)의 척(28a ~ 28c) 사이에서 웨이퍼(W)의 인수인계가 가능한 위치와의 사이에서 슬라이드가 자유롭고, 대략 수직상태인 웨이퍼(W)를 웨이퍼(W) 하측에서 유지하면서, 웨이퍼 반송장치(22) 측으로 슬라이드했을 때에 웨이퍼 반송장치(22)의 척(28a ~ 28c)과 충돌하지 않는 구조를 갖고 있다.
웨이퍼 이체장치(21)에 있어서 웨이퍼(W)의 배열피치의 조제는 예를 들면 다음과 같이 하여 이루어진다. 우선, 1개씩의 캐리어(C)에서 25매의 웨이퍼(W)를 웨이퍼 반입출장치(19)에 의해 자세변환기구(21a)로 이체한다. 다음으로 자세변환기구(21a)는 웨이퍼(W)를 대략 수직상태로 자세변환하여 웨이퍼 수직유지기구(21b)에 인수인계한다. 이 시점에서는 웨이퍼 수직유지기구(21b)에 인수인계된 웨이퍼(W)의 배열피치는 캐리어(C) 내에서의 배열피치와 동일하다. 이어서, 2개째의 캐리어(C)에서 25매의 웨이퍼(W)를 웨이퍼 반입출장치(19)에 의해 자세변환기구(21a)로 이체한다. 그 후에 자세변환기구(21a)는 웨이퍼(W)를 대략 수직상태로 자세변환하고 웨이퍼 수직유지기구(21b)로 인수인계하지만, 이 때 웨이퍼 수직유지기구(21b)의 위치를 웨이퍼(W)의 배열방향으로 배열피치의 반정도 거리만큼 어긋나게 하므로써 웨이퍼 수직유지기구(21b)에 캐리어(C)내에서의 배열피치의 반의 배열피치로 웨이퍼(W)을 유지할 수 있다. 이렇게 해서 웨이퍼 수직유지기구(21b)는 캐리어(C)2개분의 웨이퍼(W)를, 캐리어(C) 내에서의 배열피치의 반의 배열피치로 세울 수 있고, 이들 합계 50매의 웨이퍼(W)를 웨이퍼군(WS)으로 유지할 수 있다.
웨이퍼 반송장치(22)는 웨이퍼 수직유지기구(21b)와의 사이에서 수직상태의 웨이퍼(W) 50매로 이루어지는 웨이퍼군(WS)의 인수인계를 하고, 미처리된 웨이퍼(W)로 이루어지는 웨이퍼군(WS)을 액처리부(4)로 반입하고, 반대로 액처리 등이 종료된 웨이퍼(W)로 이루어지는 웨이퍼군(WS)을 액처리부(4)에서 반출하고, 웨이퍼 수직유지기구(21b)에 인수인계한다. 웨이퍼 반송장치(22)에 있어서는 웨이퍼군(WS)은 3개의 척(28a ~ 28c)으로 유지된다.
웨이퍼 반송장치(22)가 웨이퍼 수직유지기구(21b)와의 사이에서 웨이퍼군(WS)의 인수인계를 하고, 또 액처리부(4)로 웨이퍼군(WS)을 반송할 수 있도록 웨이퍼 반송장치(22)는 가이드레일(23)을 따라 X방향으로 이동하고, 액처리부(4)로 진입/퇴출할 수 있도록 되어 있다. 또 액처리 후의 웨이퍼군(WS) 중의 웨이퍼(W)에 손상과 위치어긋남 등의 발생이 없는 지를 확인하기 위해, 웨이퍼 수직유지기구(21b)와 웨이퍼 반송장치(22)와의 사이에서 웨이퍼군(WS)의 인수인계가 이루어지는 위치에 웨이퍼군(WS)에 있어서 웨이퍼(W)의 배열상태를 검사하는 검출센서(27)가 설치되어 있다. 또한, 검출센서(27)는 이러한 위치에 한정되지 않고 웨이퍼군(WS)이 액처리 후 웨이퍼 반입출위치(19)로 반송되기까지의 사이에서 웨이퍼(W)의 검사를 할 수 있는 위치에 있으면 된다.
인터페이스부(3)에는 웨이퍼 수직유지기구(21b)와 웨이퍼 반송장치(22)와의 사이에서 웨이퍼군(WS)의 인수인계가 이루어지는 장소 옆에 파킹 에이리어(9a)가설치되어 있고, 이 파킹 에이리어(9a)에는 예를 들면 미처리된 웨이퍼군(WS)을 대기시킬 수 있게 되어 있다. 예를 들면 어떤 웨이퍼군(WS)에 관해 액처리 또는 건조처리가 이루어져 있고 웨이퍼 반송장치(22)를 운전시킬 필요가 없는 시간을 이용하여 다음에 액처리를 개시해야 할 웨이퍼군(WS)을 파킹 에이리어(9a)로 반송해둔다. 이에 의해 예를 들면 캐리어 스토크부(6)에서 웨이퍼(W)를 반송해오는 경우와 비교하면, 웨이퍼군(WS)의 액처리 유닛(7)에의 이동시간을 단축할 수 있게 되고, 스루 풋을 향상시킬 수 있다.
액처리부(4)는 액처리유닛(7)과 건조유닛(8)과 파킹 에이리어(9b)로 구성되어 있고, 인터페이스부(3) 측에서 건조유닛(8), 액처리유닛(7), 파킹 에이리어(9b)순으로 배치되어 있다.
웨이퍼 반송장치(22)는 X방향으로 연재하는 가이드 레일(23)을 따라 액처리부(4) 내를 이동할 수 있게 되어 있다.
파킹 에이리어(9b)는 파킹 에이리어(9a)와 동일하게 미처리된 웨이퍼군(WS)을 대기시키는 장소이다. 액처리 또는 건조처리가 어떤 웨이퍼군(WS)에 관해 이루어져 있고, 웨이퍼 반송장치(22)를 운전시키는 것이 필요하지 않은 시간을 이용하고 다음으로 액처리를 개시해야 할 웨이퍼군(WS)이 파킹 에이리어(9b)로 반송된다. 파킹 에이리어(9b)는 액처리 유닛(7)에 인접하고 있으므로 액처리 개시에 있어서 웨이퍼군(WS)의 이동시간을 단축할 수 있고, 스루 풋을 향상시킬 수 있다.
액처리유닛(7)에는 도 2에 도시하는 것과 같이 파킹 에이리어(9b)측에서 제 1 처리조군(M1), 제 2 처리조군(M2), 제 3 처리조군(M3)이 순차적으로 배치되어 있다. 제 1 처리조군(M1), 제 2 처리조군(M2), 제 3 처리조군(M3)은 모두다 약액에 의해 웨이퍼(W)를 세정처리하는 약액조와, 순수(DIW)에 의해 웨이퍼(W)를 물세정 처리하는 물세정조를 처리조로 하여 구비한 처리조군이다. 제 1 처리조군(M1)은, 제 1 약액조(P1), 제 1 물세정조(R1)를 구비하고 있다. 또, 제 1 약액조(P1)와 제 1 물세정조(R1)과의 사이에 웨이퍼군(WS)을 반송하기 위한 제 1 처리조군 내 반송기(40)가 구비되어 있다. 제 2 처리조군(M2)은 제 2 약액조(P2), 제 2 물세정조(R2)를 구비하고 있다. 또, 제 2 약액조(P2)와 제 2 물세정조(R2) 사이에서 웨이퍼군(WS)을 반송하기 위한 제 2 처리조군 내 반송기(41)가 구비되어 있다. 제 3 처리조군(M3)은 제 3 약액조(P3), 제 3 물세정조(R3)를 구비하고 있다. 또, 제 3 약액조(P3)와 제 3 물세정조(R3) 사이에 웨이퍼군(WS)을 반송하기 위한 제 3 처리조군 내 반송기(42)가 구비되어 있다. 이렇게 처리조군(M1, M2, M3)은 각각 다른 2종류의 처리조, 즉 약액조와 물세정조를 갖고, 또 약액조와 물세정조의 조합이 서로 동일하다.
제 1 약액조(P1), 제 2 약액조(P2), 제 3 약액조(P3)에는 웨이퍼(W)를 세정처리하는 약액, 예를 들면 파티클 등의 부착물을 제거하는 SC-1액(암모니아와 과산화수소와 물의 혼합용액) 등의 약액이 저류되어 있다. 제 1 물세정조(R1), 제 2 물세정조(R2), 제 3 물세정조(R3)에는 웨이퍼(W)를 물세정처리하는 DIW(순수)가 저류되어 있다. 제 1에서 제 3 물세정조(R1, R2, R3)는 각각 제 1에서 제 3 약액조(P1, P2, P3)에 의한 액처리에 의해 웨이퍼(W)에 부착된 약액을 제거하는 것으로, 예를 들면 오버 플로 린스와 퀵 덤프 린스 등의 각종 물세정 수법이 이용된다. 이렇게제 1 처리조군(M1), 제 2 처리조군(M2), 제 3 처리조군(M3)은 모두 다 약액조와 물세정조에 의해 구성된 처리조군이고, 각 처리조군 중에서는 모두 다 웨이퍼(W)에 대해 동일한 처리를 한다. 즉, 약액에 의한 세정처리와, 세정처리 후의 물세정을 하도록 되어 있다. 또한, 약액조(P1, P2, P3)에 저류되는 약액은 SC-1액에 한정되지 않고, 웨이퍼(W)에 대해 세정처리를 실시하는 그 외의 약액을 저류해도 좋다.
제 1 처리조군 내 반송기(40)는 Z방향으로 승강가능한 구동기구를 갖고 있고, 웨이퍼 반송장치(22)에서 인수인계된 웨이퍼군(WS)을 하강시켜서 제 1 약액조(P1)에 담궈서 소정시간 경과 후로 끌어올리고, 이어서 웨이퍼군(WS)을 X방향으로 평행이동시켜서 웨이퍼군(WS)을 제 1 물세정조(R1)에 담궈서 소정시간 유지하고, 끌어올리듯이 동작한다. 제 1 물세정조(R1)에서의 처리를 마친 웨이퍼군(WS)은 웨이퍼 반송장치(22)의 척(28a ~ 28c)으로 돌아온 후, 웨이퍼 반송장치(22)에 의해 건조유닛(8)으로 반송된다. 제 2 및 제 3 처리조군 내 반송기(41, 42)는 제 1 처리조군 내 반송기(40)와 동일한 구성을 갖고, 또 동일하게 동작한다. 이렇게 웨이퍼 반송장치(22)는 처리조군(M1, M2, M3)으로 웨이퍼군(WS)을 반송하고 처리조군 내 반송기(40, 41, 42)에 웨이퍼군(WS)을 인수인계하여 반입한다. 제 1 에서 제 3 처리조군 내 반송기(40, 41, 42)는 각각 처리조군(M1, M2, M3) 중에서 웨이퍼군(WS)을 반송한다. 또, 웨이퍼 반송장치(22)는 처리조군 내 반송기(40, 41, 42)에서 웨이퍼군(WS)을 수취하여 반출한다. 또한, 웨이퍼 반송장치(22)와 제 1 에서 제 3 처리조군 내 반송기(40, 41, 42) 사이에서의 웨이퍼군(WS)의 인수인계는 각각 제 1에서 제 3 물세정조(R1, R2, R3)상에서 이루어지는 것이 바람직하다. 이것은 웨이퍼 반송장치(22)를 제 1에서 제 3 약액조(P1, P2, P3)의 상부에 정지시킨 경우에는 약액의 증기 등에 의해 웨이퍼 반송장치(22)가 오염되고, 또 손상받는 것을 방지하기 때문이다.
제 1 처리조군(M1), 제 2 처리조군(M2), 제 3 처리조군(M3)에 있어서 웨이퍼군(WS)의 처리는 웨이퍼 반송장치(22)에 의해 웨이퍼군(WS)을 반송시키는 처리조군을 처리조군(M1, M2, M3)에서 선택하는 제어부(45)에 의해 제어된다. 도 3에 도시하는 것과 같이 웨이퍼 반송장치(22), 처리조군 내 반송기(40, 41, 42), 약액조(P1, P2, P3), 물세정조(R1, R2, R3)에는 제어부(45)의 출력신호(제어신호)가 입력되도록 되어 있다. 제어부(45)는 각 웨이퍼군(WS)에 부여된 처리 레시피를 실행하는 처리조군을 각 처리조군(M1, M2, M3)에서 선택하는 연산장치(47)와, 처리 레시피를 기억하는 기억기능을 구비한 기억장치(48)와, 처리 레시피를 해석하여 처리 시스템의 각 부에 적절한 지시를 내리는 제어장치(50), 및 이들과 상호 접속되고, 오퍼레이터로부터의 입력을 송신하고, 수신데이터를 오퍼레이터에 대해 제시하는 출력을 하는 입출력장치(46)를 구비하고 있다. 입출력장치(46), 연산장치(47), 기억장치(48), 제어장치(50)는 미도시의 접속회로에 의해 상호 접속되고, 신호 등을 상호 송수신할 수 있다.
액처리부(4)에 있어서 웨이퍼군(WS)의 처리를 관리하는 오퍼레이터는 각 웨이퍼(WS)군에 대해 행하는 처리 레시피를 파악하고 있다. 예를 들면 오퍼레이터가 파악하고 있는 처리 레시피는, 1번째에 예를 들면 SC-1액 등의 약액을 이용한 세정처리, 2번째로 물세정처리, 3번째로 건조처리를 하는 내용으로 되어 있다. 또, 오퍼레이터는 세정처리는 약액조(P1, P2, P3) 중 어느 하나에 있어서 실행하고, 물세정처리는 세정조(R1, R2, R3) 중 어느 하나에 있어서 실행하고 건조처리는 건조유닛(8)에 있어서 실행할 수 있는 것을 파악하고 있다. 또한, 웨이퍼군(WS)의 세정처리에 이용하는 약액은 SC-1액에 한정되지 않는다.
입출력장치(46)는 액처리부(4)에 있어서 웨이퍼군(WS)의 처리를 관리하는 오퍼레이터에 대해 웨이퍼군(WS)을 처리하는 처리공정의 명칭을 모니터 등에 의해 제시한다. 예를 들면 도 4에 도시하는 것과 같은 처리공정을 실행하는 처리조의 명칭을 제시하는 란과, 웨이퍼군(WS)에 대해 처리공정을 실행하는 순번을 제시하는 란과, 처리시스템(1)에 있어서 실행가능한 처리공정의 명칭을 제시하는 난을 설치한 표를 제시한다. 도 5의 예에서는 처리조의 명칭란에 처리시스템(1)에 설치되어 있는 약액조(P1, P2, P3), 물세정조(R1, R2, R3), 건조유닛(8)의 명칭이 제시되고, 순번을 제시하는 란에, 세정처리가 실행되는 순번(1), 물세정처리가 실행되는 순번(2), 및 건조처리가 실행되는 순번(3)이 제시되고, 처리공정의 명칭란에 각 약액조(P1, P2, P3)에 있어서 실행하는 세정처리공정과, 각 물세정조(R1, R2, R3)에 있어서 실행하는 물세정처리공정과, 건조유닛(8)에 있어서 실행하는 건조처리공정의 명칭이 제시되어 있다. 이렇게 각 약액조(P1, P2, P3), 물세정조(R1, R2, R3), 건조유닛(8)의 명칭과, 세정처리, 물세정처리 및 건조처리를 실행하는 순번과 물세정처리, 물세정처리 및 건조처리 공정의 명칭을, 오퍼레이터가 용이하게 알 수 있는 형식으로 제시한다. 또한, 도 4에 도시하는 표는 초기상태로 표시되는 것이다.
입출력장치(46)는 오퍼레이터에 대해 웨이퍼군(WS)의 세정처리를 실행하는각 약액조(P1, P2, P3), 물세정처리를 실행하는 물세정조(R1, R2, R3), 건조처리를 실행하는 건조유닛(8)의 명칭과, 각 세정처리, 물세정처리, 건조처리를 실행하는 설정된 순번과, 각 세정처리, 물세정처리 및 건조처리 공정의 명칭을 모니터 등에 의해 제시한다. 예를 들면 도 4에 도시하는 것과 같은 처리시스템(1)에 설치되어 있는 각 약액조(P1, P2, P3), 물세정조(R1, R2, R3), 건조유닛(8)의 명칭란과, 각 세정처리, 물세정처리, 건조처리를 실행하는 순번란과, 각 세정처리, 물세정처리, 건조처리 공정의 명칭란을 설치한 표를 제시한다. 이렇게 각 약액조(P1, P2, P3), 물세정조(R1, R2, R3), 건조유닛(8)의 명칭과, 각 세정처리, 물세정처리, 건조처리를 실행하는 순번과, 각 세정처리, 물세정처리, 건조처리공정의 명칭을 오퍼레이터가 용이하게 아 수 있는 형식으로 제시한다.
입출력장치(46)는 오퍼레이터가 각 약액조(P1, P2, P3), 물세정조(R1, R2, R3), 건조유닛(8)의 순서를 제어부(45)에 입력하는 입력부로서의 기능을 갖고 있다. 오퍼레이터는 입출력장치(46)의 터치패널식 모니터 등에 의해 각 세정처리, 물세정처리, 건조처리를 실행하는 순서를 입력할 수 있다. 예를 들면, 오퍼레이터는 모니터에 출력되고 있는 도 4에 도시하는 표에 설치되었다. 각 세정처리, 물세정처리, 건조처리를 실행하는 순서란에 입출력장치(46)를 이용하여 순서를 기입하거나, 순서란에 기입된 순서를 변경할 수 있다. 예를 들면 도 4에 도시하는 초기상태에 있어서 표의 순서란에 제시된 순서를 변경하고 도 5에 도시하는 것과 같이 1번째 처리인 세정처리가 표시되어 있는 행의 순서란에 번호(1), 2번째 처리인 물세정처리가 표시되어 있는 행의 순서란에 번호(2), 3번째 처리인 건조처리가 표시되어 있는 행의 순서란에는 번호(3)을 부여한다. 오퍼레이터는 각 세정처리, 물세정처리, 건조처리의 순서를 파악하고 있으므로, 각 세정처리, 물세정처리, 건조처리의 순서를 용이하게 순서를 입력할 수 있다. 이에 의해 세정처리를 하는 각 약액조(P1, P2, P3)에 번호(1), 물세정처리를 하는 물세정조(R1, R2, R3)에 번호(2), 건조처리를 하는 건조유닛(8)에 번호(3)가 동시에 입력된다. 그러면, 동일한 처리를 실행하는 처리조에는 동일한 번호가 설정된다.
또, 입출력장치(46)는 오퍼레이터가 각 처리조군(WS)에 대한 처리 레시피를 제어부(45)에 입력하는 입력부로서의 기능을 갖고 있다. 오퍼레이터는 예를 들면 미처리된 웨이퍼군(WS)을 액처리부(4)로 반입할 때에, 그 웨이퍼군(WS)을 처리하는 처리 레시피를 입력한다. 도 4에 도시하는 표에 있어서 세정처리에 (1), 물세정처리에 (2), 건조처리에 (3)의 번호를 부여하면, 1번째에 세정처리, 2번째에 물세정처리, 3번째에 건조처리를 하는 처리 레시피(RE0)가 작성된다. 각 웨이퍼군(WS)을 동일한 처리 레시피(RE0)에 따라 처리하는 경우는 오퍼레이터가 연속적으로 반입되는 각 웨이퍼군(WS)을 동일한 처리 레시피(RE0)에 따라 처리하는 취지를 입출력장치(46)에 입력한다.
연산장치(47)는 오퍼레이터에 의해 입출력장치(46)에서 입력된 처리 레시피와 미리 기억된 프로그램 등에 기초하여 연산을 하고, 입력된 처리 레시피가 반입되는 각 웨이퍼군(WS)에 대해 실행되도록 각 웨이퍼군(WS)에 대해 처리 레시피를 할당한다. 또한, 입출력장치(46)에서 입력된 복수의 처리 레시피가 동일한 처리 레시피(RE0)인 경우, 예를 들면 오퍼레이터가 연속적으로 반입되는 각 웨이퍼군(WS)을 동일한 처리 레시피(RE0)에 따라 처리하는 취지를 입출력장치(46)에 입력한 경우, 또, 각 웨이퍼군(WS)을 액처리부(4)에 반입할 때에 오퍼레이터가 각 웨이퍼군(WS)에 대해 처리 레시피(RE0)를 입력하는 경우 등은, 연산장치(47)는 각 웨이퍼군(WS)에 대해 할당한 각 처리 레시피(RE0) 중의 세정처리와 물세정처리를 실행하는 처리조군을 처리조군(M1, M2, M3) 중에서 소정 순서로 선택한다. 즉, 약액조(P1, P2, P3) 중 어느 것을 사용하여 세정처리를 하는 지 선택하고, 또, 물세정조(R1, R2, R3) 중 어느 것을 사용하여 물세정처리를 하는 지 선택한다. 이에 의해 각 웨이퍼군(WS)에 대해 물세정처리를 실행하는 약액조와 물세정처리를 실행하는 물세정조가 결정된 처리 레시피가 할당되게 된다. 즉, 오퍼레이터는 각 웨이퍼군(WS)에 대해 세정처리, 물세정처리 및 건조처리의 순서를 지정하는 것만으로도 좋고, 약액조(P1, P2, P3) 중 어느 것을 사용하여 세정처리를 하고, 물세정조(R1, R2, R3) 중 어느 것을 사용하여 물세정처리를 하는 지를 선택할 필요는 없다. 따라서, 오퍼레이터에 의한 처리 레시피의 작성을 간단하게 할 수 있다.
예를 들면, 오퍼레이터가 연속적으로 반입된 웨이퍼군(WS)의 각각에 대해 1번째에 세정처리, 2번째에 물세정처리, 3번째에 건조처리를 하는 동일한 처리 레시피(RE0)를 입력한 경우, 연산장치(47)는 오퍼레이터에 의해 동일한 처리 레시피(RE0)가 부여된 웨이퍼군(WS)의 각각에 대해 처리조군(M1)에 있어서 처리 레시피(RE)를 실행하는 처리 레시피(RE1)와, 처리조군(M2)에 있어서 처리 레시피(RE0)를 실행하는 처리 레시피(RE2)와, 처리조군(M3)에 있어서 처리 레시피(RE0)를 실행하는 처리 레시피(RE3)를 순서대로 할당한다. 즉, 처리레시피(RE1, RE2, RE3, RE1, RE2, RE3 ……)와 같이 처리 레시피(RE1, RE2, RE3)의 순서를 반복하여 할당한다. 이렇게 해서 처리 레시피(RE0)의 세정처리 및 물세정처리를 실행하는 처리조군(M1, M2, M3)이 소정 순서에 따라 선택된다. 즉, 처리 레시피(RE0)의 중 세정처리를 실행하는 약액조(P1, P2, P3)가 소정순서에 따라 선택되고, 처리 레시피(RE0) 중 물세정 처리를 실행하는 물세정조(R1, R2, R3)가 소정순서에 따라 선택된다. 또, 예를 들면 오퍼레이터가 연속적으로 반입되는 각 웨이퍼군(WS)을 동일한 처리 레시피(RE0)에 따라서 처리하는 취지를 입출력장치(46)에 입력한 경우, 연산장치(47)는 처리 레시피(RE1, RE2, RE3)를 순서대로 늘어세운 처리 레시피 루트[(1) 처리 레시피(RE1), (2) 처리 레시피(RE2), (3) 처리 레시피(RE3)]를 미리 설정하고, 반입된 각 웨이퍼군(WS)에 대해 처리 레시피 루트에 정한 순서를 반복하여 처리 레시피(RE1, RE2, RE3)를 순서대로 할당하게 한다.
또, 연산장치947)는 각 웨이퍼군(WS)에 대해 미리 할당한 처리 레시피를 실행한다. 처리 레시피(RE1)를 실행하는 경우는 약액조(P1), 물세정조(R1) 및 처리조군 내 반송기(40)를 제어하므로써, 처리조군(M1)의 처리를 제어한다. 처리 레시피(RE2)를 실행하는 경우는, 약액조(P2), 물세정조(R2) 및 처리조군 내 반송기(41)를 제어하므로써, 처리조군(M2)의 처리를 제어한다. 처리 레시피(RE3)를 실행하는 경우는, 약액조(P3), 물세정조(R3) 및 처리조군 내 반송기(42)를 제어하므로써 처리조군(M3)의 처리를 제어한다. 또, 처리 레시피(RE1)를 실행하는 경우는 1번째에 약액조(P1), 2번째에 물세정조(R1), 3번째에 건조유닛(8)을 사용한다. 처리 레시피(RE2)를 실행하는 경우는 1번째에 약액조(P2), 2번째에 물세정조(R2), 3번째에 건조유닛(8)을 사용한다. 처리 레시피(RE3)를 실행하는 경우는 1번째에 약액조(P3), 2번째에 물세정조(R3), 3번째에 건조유닛(8)을 사용한다.
또한, 연산장치(47)는 뒤에서 서술하는 제어부(45)의 감시기능에 의해 검출되는 각 약액조(P1, P2, P3), 물세정조(R1, R2, R3), 처리조군 내 반송기(40, 41, 42)의 상태에서 처리조군(M1, M2, M3)이 사용가능한 지 판단할 수 있다. 예를 들면, 약액조(P1), 물세정조(R1) 또는 처리조군 내 반송기(40) 중 어느 하나가 고장 등에 의해 사용할 수 없는 경우, 연산장치(47)는 처리조군(M1)이 사용 불가능하다고 판단한다. 약액조(P2), 물세정조(R2) 또는 처리조군 내 반송기(41) 중 어느 하나가 고장 등에 의해 사용할 수 없는 경우, 연산장치(47)는 처리조군(M2)이 사용 불가능하다고 판단한다.
약액조(P3), 물세정조(R3) 또는 처리조군 내 반송기(42) 중 어느 하나가 고장 등에 의해 사용할 수 없는 경우, 연산장치(47)는 처리조군(M3)이 사용 불가능하다고 판단한다. 그리고, 처리조군(M1)이 사용 불가능하다고 판단했을 때는 처리조군(M1)에서 처리하기 위한 처리 레시피(RE1)를 제외하고, 처리 레시피(RE2, RE3)를 교호로 각 웨이퍼군(WS)에 할당한다. 처리조군(M2)이 사용 불가능하다고 판단했을 때는, 처리조군(M2)에서 처리하기 위한 처리 레시피(RE2)를 제외하고, 처리 레시피(RE2, RE3)를 교호로 각 웨이퍼군(WS)에 할당한다. 처리조군(M3)이 사용불가능하다고 판단했을 때는, 처리조군(M3)에서 처리하기 위한 처리 레시피(RE3)를 제외하고, 처리 레시피(RE1, RE2)를 교호로 각 웨이퍼군(WS)에 할당한다.
기억장치(48)에는 처리 레시피를 작성하기 위한 프로그램 등, 미리 명령과데이터가 기억되어 있다. 또, 기억장치(48)는 오퍼레이터에 의해 입력된 처리 레시피(RE0)를 기억할 수 있다. 또한 연산장치(47)에 있어서 연속적으로 웨이퍼(W)를 액처리부(4)에 반입하기 전에 미리 처리 레시피 루트를 설정하는 경우, 설정한 처리 레시피 루트를 기억할 수 있다.
제어장치(50)는 웨이퍼군(WS)에 할당된 각 처리 레시피(RE1, RE2, RE3)와, 연산장치(47)로부터의 처리 레시피를 실행하는 명령과 및 약액조(P1, P2, P3), 물세정조(R1, R2, R3), 처리조군 내 반송기(40, 41, 42)를 제어하는 명령을 판독하여 해석하고, 각 약액조(P1, P2, P3), 물세정조(R1, R2, R3), 처리조군 내 반송기(40, 41, 42), 웨이퍼 반송장치(22), 건조유닛(8)에 대한 적절한 지시를 내린다. 이 제어장치(50)의 지시는 제어신호로서, 각 약액조(P1, P2, P3), 물세정조(R1, R2, R3), 처리조군 내 반송기(40, 41, 42), 웨이퍼 반송장치(22), 건조유닛(8)으로 송신된다. 예를 들면, 반입된 웨이퍼군(WS1)에 처리 레시피(RE1)가 할당되어 있는 경우, 웨이퍼 반송장치(22)에 대해 처리조군(M1)으로 반송하는 제어신호를 송신하고, 처리조군 내 반송기(40)와 처리조군(M1)에 대해서는 처리 레시피(RE1)에 따라 제 1 처리조군(M1)의 처리를 제어하는 신호를 송신한다. 그리고, 웨이퍼 반송장치(22)에 대해 다음 로트인 웨이퍼군(WS2)을 반입하는 지시를 부여하고, 웨이퍼군(WS2)에 처리 레시피(RE2)가 할당되어 있는 경우, 처리조군(M2)으로 반송하는 제어신호를 송신한다. 또, 복수의 웨이퍼(W)를 연속적으로 반입하는 경우, 처리 레시피(RE1, RE2, RE3)에 따른 처리를 병행하여 행하도록 제어한다. 예를 들면, 처리조군 내 반송기(40)와 처리조군(M1)의 약액조(P1)와 물세정조(R1)에 대해서는 처리레시피(RE1)에 따라 웨이퍼군(WS1) 처리진행에 따른 제어신호를 부여하면서, 한편으로는 처리조군 내 반송기(41)와 처리조군(M2)의 약액조(P2)와 물세정조(R2)에 대해, 처리 레시피(RE2)에 따라 웨이퍼군(WS2)의 처리진행에 따른 제어신호를 부여하고, 웨이퍼 반송장치(22)에 대해서는 웨이퍼군(WS3)을 처리조군(M3)으로 반송하는 제어신호를 송신한다.
이상과 같은 구성에 의해 제어부(45)는 각 처리조군(M1, M2, M3)에서 행하는 처리 레시피(RE0)를 기억하는 기억기능과, 각 처리조군(M1, M2, M3)의 사용여부를 판단하는 판단기능과, 처리 레시피(RE0)를 각 웨이퍼군(WS)에 대해 할당하는 할당기능과, 처리 레시피(RE0)를 실행하는 처리조군(M1, M2, M3)을 선택하는 선택기능을 갖고 있다. 또, 제어부(45)는 각 약액조(P1, P2, P3), 물세정조(R1, R2, R3), 처리조군 내 반송기(40, 41, 42), 건조유닛(8) 내의 상태를 상시 감시하는 기능을 구비하고, 약액조(P1, P2, P3), 물세정조(R1, R2, R3), 처리조군 내 반송기(40, 41, 42)가 고장난 경우는 고장 상태를 자동적으로 검출할 수 있다.
제어부(45)에 의해 웨이퍼군(WS)의 처기를 제어할 때에는 미리 처리 레시피(RE1, RE2, RE3)를 작성하는 공정이 이루어진다. 우선, 액처리부(4)에 있어서 웨이퍼군(WS)의 처리를 관리하는 오퍼레이터가 각 약액조(P1, P2, P3), 물세정조(R1, R2, R3), 건조유닛(8)의 순서를 입출력장치(46)에 입력하므로써, 처리 레시피(RE0)를 입력하고, 기억장치(48)가 처리 레시피(RE0)를 기억한다. 그리고, 미처리된 각 웨이퍼군(WS)을 액처리부(4)에 반입할 때에, 연산장치(47)가 입력된 처리 레시피(RE0)를 각 웨이퍼군(WS)에 대해 할당하고, 반입된 미처리 웨이퍼군(WS)에할당된 처리 레시피(RE0)를 실행하는 처리조군(M1, M2, M3)을 선택한다. 이렇게 해서, 연산장치(47)에 의해 반입된 미처리 웨이퍼군(WS)에 대해, 처리 레시피(RE1, RE2, RE3) 중 어느 하나가 할당된다. 그리고, 연산장치(47)가, 반입된 미처리 웨이퍼군(WS)에 대해 할당된 처리 레시피(RE1, RE2, RE3) 중 어느 하나를 실행한다. 처리 레시피(RE1, RE2, RE3)를 실행할 때는, 제어장치(50)가 각 처리조군(M1, M2, M3)에 대해 각 처리 레시피(RE1, RE2, RE3)에 따른 적절한 지시를 내린다.
도 6은 약액을 순환유통시킨 경우에 있어서 약액조(P1, P2, P3)의 회로계통 설명도이다. 약액조(P1, P2, P3)는 동일한 구성과 기능을 갖고 있다. 그래서, 대표적으로 약액조(P1)에 관해 설명한다. 약액조(P1)는 웨이퍼군(WS)을 수납하는 데에 충분한 크기를 갖는 상자형 내부조(52)와 외부조(53)로 구성되어 있다. 내부조(52)의 상면은 개구되어 있고, 이 상면의 개구부를 통해 웨이퍼군(WS)이 내부조(52)의 내부에 삽입된다. 외부조(53)는 내부조(52)의 상단부에서 오버 플로된 약액을 받아내도록, 내부조(52)의 개구부를 둘러싸서 장착되어 있다. 내부조(52) 하부에는 내부조(52) 내의 약액을 배출하는 배출관(64)이 설치되어 있다. 외부조(53) 하부에는 외부조(53) 내의 약액을 배출하는 배출관(66)이 설치되어 있다.
내부조(52)와 외부조(53) 사이에는 웨이퍼군(WS)의 세정처리 중에 약액을 순환유통시켜서 공급하는 순환공급회로(54)가 접속되어 있다. 이 순환공급회로(54)의 한쪽은 밸브(55)를 통해 외부조(53) 저면에 접속되어 있고, 순환공급회로(54)의 도중에는 온도제어부(58), 펌프(56), 필터(60)가 순서대로 배열되고, 순환공급회로(54)의 다른 쪽은 내부조(52) 내의 노즐에 접속되어 있다. 그리고, 내부조(52)에서 외부조(53)로 오버 플로된 약액을, 순환공급회로(54)에 유입시키도록 되어 있다. 순환공급회로(54)에 유입된 약액은, 펌프(56)를 가동하므로써 온도제어부(58), 필터(60)의 순서로 흘러서 온도조절 및 청정화시킨 후, 노즐을 거쳐 다시 내부조(52) 내로 공급하게 되어 있다. 노즐은 내부조(52)의 아래쪽에 배치되어 있고, 웨이퍼군(WS) 중의 웨이퍼(W) 표면을 향해 약액을 공급하도록 구성되어 있다. 또, 제어부(45)에서 펌프(56)로 제어신호를 출력하므로써, 약액조(P1) 내의 약액 순환을 제어하도록 되어 있다.
온도제어부(58)는 내부조(52) 내의 약액이 소정 처리온도보다도 낮고 또는 높아지지 않도록 순환공급회로(54)에서 내부조(52) 내로 공급되는 약액을 웨이퍼(W)의 지침전에 미리 냉각 또는 가열해두는 기능을 갖고 있다. 또, 내부조(52) 내로 공급된 후의 약액을 순환공급회로(54)에 의해 순환하면서, 서서히 냉각 또는 가열한다. 이렇게 냉각 또는 가열된 약액을 내부조(52) 내로 공급하므로써, 내부조(52) 내의 약액을 설정한 온도로 유지할 수 있게 된다. 또, 온도제어부(58)는 콘트롤러(63)에 접속되어 있다. 예를 들면 온도제어부(58)는 히터와 열교환기 및 냉각수공급수단으로 구성되어 있고, 열교환기 내부에 냉각수를 도입하는 냉각수 공급로의 도중에 배치된 밸브와 히터가 콘트롤러(63)에 접속되어 있다. 그리고, 콘트롤러(63)는 필요에 따라 소정 제어신호를 히터 또는 밸브 중 어느 하나로 송신하는 구성으로 되어 있다.
순환공급회로(54)의 도중에는 순환공급회로(54) 내의 약액을 외부조(53)로 유입시키는 분기관(61)이 접속되어 있고, 또한 분기관(61)에는 약액의 온도 및 농도를 검출하기 위한 농도 ·온도검출부(62)가 개설되어 있다. 농도 ·온도검출부(62)는 콘트롤러(63)에 신호입력기기로서 접속되어 있다. 농도 ·온도검출부(62)에는 약액의 온도를 검출하는 온도계와, 약액의 농도를 검출하는 농도계가 구비되어 있고, 각각 검출된 온도 및 농도를 검출신호로 콘트롤러(63)에 송신한다. 콘트롤러(63)는 이 검출신호에 기초하여, 온도제어부(58)에 송신하는 제어신호를 결정하고, 내부조(52) 내의 약액온도를 유지하는 제어를 한다.
소정농도의 SC-1액(암모니아와 과산화수소와 물의 혼합용액)을 약액조(P1, P2, P3)에 공급하기 위한 약액공급수단(70)은 NH4OH(암모니아수)의 공급원인 NH4OH공급탱크(71), H2O2(과산화수소)의 공급원인 H2O2공급탱크(72), DIW(순수)의 공급원인 DIW공급원(73), NH4OH와 H2O2와 DIW를 혼합하여 SC-1액을 소정농도로 조제하는 혼합밸브(74), 조제한 SC-1액을 약액조(P1, P2, P3) 중 어느 하나에 공급하도록 전환하는 전환밸브(75)를 구비하고 있다. 혼합밸브(74)는 제어부(45)에 신호출력기기로서 접속되어 있다. 제어부(45)에서 제어신호를 받은 혼합밸브(74)는 NH4OH, H2O2, 및 DIW를 혼합하여 소정농도의 SC-1액을 조제한다. 조제한 SC-1액은 제어부(45)에서 제어신호를 받은 전환밸브(75)에 의해 약액조(P3)로 공급된다 이렇게 제어부(45)에서 혼합밸브(74), 전환밸브(75)에 제어신호를 출력하므로써, 약액조(P1, P2, P3) 내에 소정농도의 약액을 공급한다.
이상이 처리조군(M1)에 구비된 약액조(P1)의 구성과 기능이지만, 액처리 유닛(7) 중의 다른 처리조군에 구비된 약액조(P2, P3)도, 약액조(P1)와 동일한 구성과 기능을 갖고 있으므로, 설명은 생략한다. 또, 물세정조(R1, R2, R3)는 상호 동일한 구성과 기능을 갖고 있다. 그리고, 웨이퍼군(WS)을 수납하는 데에 충분한 크기를 갖는 상자형 내부조(52)를 갖고, 뒤에서 서술하는 DIW공급수단(80)에서 DIW가 공급된다. 그리고, 약액조(P1, P2, P3)와 물세정조(R1, R2, R3)에 의해 구성되는 처리조군(M1, M2, M3)은 동일한 구성과 기능을 갖고 있다.
도 7은 처리액의 공급회로 설명도이다. 약액공급수단(70)은 전환밸브(75)의 전환에 의해 혼합밸브(74)에 있어서 소정농도로 조제된 약액을 약액조(P1, P2, P3)중 어느 하나에 공급한다. 또, DIW공급수단(80)은 DIW공급원(81)과 전환밸브(82)를 구비하고, 전환밸브(82)의 전환에 의해 DIW공급원(81)에서 공급되는 DIW를 물세정조(R1, R2, R3) 중 어느 하나에 공급한다. 농도의 조제와 전환은, 제어부(45)의 제어신호에 의해 이루어진다. 또한, 약액공급수단(70)에 있어서, DIW를 혼합밸브(74)에 흘려넣는 위치는 NH4OH 및 H2O2가 혼합밸브(74)로 흘러들어가는 위치보다도 상류로 되어 있고, DIW에 의해 혼합밸브(74) 중에서 NH4OH, H2O2를 밀어넣어서 혼합밸브(74) 중을 물세정할 수 있도록 되어 있다.
건조유닛(8)에는 물세정조(24)와 웨이퍼반송장치(22)의 척(28a ~ 28c)을 세정하는 척세정기구(26)가 배설되어 있고, 물세정조(24)의 상부에는 예를 들면 이소프로필 알콜(IPA)의 증기가 공급되어 웨이퍼군(WS)을 건조하는 건조실(미도시)이 설치되어 있다. 또, 물세정조(24)와 건조실 사이에 웨이퍼군(WS)을 반송하는 건조유닛 내 반송기(25)가 설치되어 있고, 물세정조(24)에서 물세정된 웨이퍼군(WS)이건조유닛 내 반송기(25)에서 끌어올려져서, 건조실에서 IPA건조되도록 되어 있다. 건조유닛 내 반송기(25)는 X방향의 이동이 불가능한 다른 것은 앞에서 서술한 제 1 처리조군 내 반송기(40) 등과 동일하에 구성되어 있고, 웨이퍼 반송장치(22) 사이에서 웨이퍼군(WS)의 인수인계가 가능해져 있다. 또, 도 3에 도시하는 것과 같이 건조유닛(8) 내에 배설된 물세정조(24), 건조유닛 내 반송기(25), 건조실 등에는 제어부(45)의 출력신호(제어신호)가 입력되게 되어 있다. 또, 건조유닛(8) 내에 배설된 물세정조(24), 건조유닛 내 반송기(25), 건조실 등이 고장난 경우는 제어부(45)가 고정난 상태를 자동적으로 검출한다.
다음으로, 이상과 같이 구성된 본 실시예에 관한 처리시스템(1)에 있어서 웨이퍼군(WS)의 처리공정을 설명한다. 우선, 미리 처리 레시피(RE1, RE2, RE3)을 작성하는 공정이 이루어진다. 오퍼레이터가 웨이퍼군(WS)의 처리공정 순서를 입출력장치(46)에 입력하므로써, 처리 레시피(RE0)를 작성하여 입력한다. 처리 레시피(RE0)는 기억장치(48)에 기억된다.
한편, 아직 처리되지 않은 웨이퍼(W)를 예를 들면 25매씩 수납한 캐리어(C)를 처리 시스템(1)에 반입한다. 우선, 미도시의 반송로보트가 캐리어(C)를 반입출부(2)의 캐리어 반입출부(5)에 재치한다. 셔터(14)가 열리고, 캐리어 반입출부(5)에 재치된 캐리어(C)를 캐리어 반송장치(12)에 의해 캐리어 스토크부(6)로 반입한다. 캐리어 스토크부(6)에서는 미처리된 웨이퍼(W)가 수납된 캐리어(C)를 복수개 보관된다.
캐리어 스토크부(6)에서는 보관되어 있던 미처리된 웨이퍼(W)를 수납한 캐리어(C)를 검사/반입출 스테이지(15)에 재치하고, 창부(16)에 대면시킨다. 그리고, 개체개폐기구(17)에 의해 창부(16)를 열고, 웨이퍼 검사장치(18)에 의해 캐리어(C) 내의 웨이퍼(W) 매수를 계측함과 동시에 소정의 피치로 평행하게 1매씩 배치되어 있는 지를 적절하게 검출한다. 그 후, 웨이퍼 반입출장치(19)에 의해 창부(16)를 통해 1개의 캐리어(C) 내에 수납된 25매의 웨이퍼(W)를 반출하고, 자세변환기구(21a)에 있어서 25매의 웨이퍼(W)를 수평상태에서 수직상태로 자세변환한다. 그리고 웨이퍼 수직유지기구(21b)로 인수인계한다. 이어서, 2개째의 캐리어(C)에서 25매의 웨이퍼(W)를 웨이퍼 반입출장치(19)에 의해 자세변환기구(21a)로 이체하고, 웨이퍼 수직유지기구(21b)로 인수인계한다. 여기에서 웨이퍼(W)의 배열피치를 반으로 하고, 2개의 캐리어(C) 내로 수납된 합계 50매의 웨이퍼군(WS1)이 형성된다. 그리고, 웨이퍼 반송장치(22)가 웨이퍼 수직유지기구(21b)에서 웨이퍼군(WS1)을 수취하고, 적절하게 파킹 에이리어(9a, 9b)에 대기시킨 후, 액처리부(4) 내로 반입한다.
웨이퍼군(WS1)을 액처리부(4)의 액처리유닛(7)으로 반입할 때에, 웨이퍼 반송장치(22)를 감시하고 있는 제어부(45)는 미처리된 웨이퍼군(WS1)을 반입하는 것을 검출한다. 그리고, 연산장치(47)에 의해 미처리된 웨이퍼군(WS1)에 대해 처리 레시피(RE0)를 할당하고, 처리 레시피(RE0)를 실행하는 처리조군을 선택한다. 이렇게 해서 미처리된 웨이퍼군(WS1)에 대해 처리 레시피(RE1)가 할당된다. 이어서, 제어장치(50)가 연산장치(47)에서 처리 레시피(RE1)를 판독하고, 처리 레시피(RE1)에 따라, 웨이퍼 반송장치(22)에 대해 웨이퍼군(WS1)을 제 1 처리조군 내 반송기(40)로 인수인계하는 취지의 지시를 부여한다.
웨이퍼 반송장치(22)에서 제 1 처리조군 내 반송기(40)로 웨이퍼군(WS1)이 인수인계되면, 처리 레시피(RE1)에 따른 지시에 의해 제 1 처리조군 내 반송기(40)는 웨이퍼군(WS1)을 하강시켜서 약액조(P1) 내의 SC-1액에 담근다. SC-1액은 미리 약액공급수단(70)에서 공급되어 저류되어 있고, 펌프(56)의 가동에 의해 순환공급회로(54)를 흘리고, 온도제어부(58), 필터(60)에 의해 온도조제 및 청정화되어 있다. 그리고, 펌프(56)의 가동에 의해 약액을 순환시키면서 웨이퍼군(WS1)을 지침시키고, 파티클 등의 부착물을 제거한다. 소정시간 경과 후, 처리 레시피(RE1)에 따른 지시를 받은 처리조군 내 반송기(40)에 의해 웨이퍼군(WS)을 끌어올린다.
이어서, 처리조군 내 반송기(40)를 물세정조(R1)의 상부로 이동시키고, 웨이퍼군(WS1)을 하강시켜서 물세정조(R1) 내의 DIW에 담근다. 물세정조(R1) 내에서는, 펌프(56)의 가동에 의해 순환하고 있는 DIW에 웨이퍼군(WS1)을 지침시키고, 세정처리시에 웨이퍼군(WS1)에 부착된 약액을 제거한다. 소정시간 경과 후, 처리 레시피(RE1)에 따른 지시를 받은 처리조군 내 반송기(40)에 의해 웨이퍼군(WS1)을 끌어올린다. 물세정조(R1) 내에서의 처리를 마친 웨이퍼군(WS1)은 물세정조(R1) 상에서 웨이퍼 반송장치(22)의 척(28a ~ 28c)으로 되돌아온 후, 웨이퍼 반송장치(22)에 의해 액처리 유닛(7)에서 반출된다.
웨이퍼 반송장치(22)는 웨이퍼군(WS1)을 액처리 유닛(7)에서 반출하고, 건조유닛(8) 내로 반송한다. 건조유닛(8) 내에서는 물세정조(24)에서 물세정된 후, 건조유닛 내 반송기(25)에서 끌어올려지고, 건조실에 있어서 IPA건조된다. 건조처리후의 웨이퍼군(WS1)은 웨이퍼 반송장치(22)에 의해 액처리부(4)에서 반송되고, 인터페이스부(3)로 되돌아가고, 웨이퍼군(WS1)의 피치변환과 자세변환이 이루어진다. 그리고 웨이퍼군(WS1)을 구성하고 있던 웨이퍼(W1)는 반입출부(2)에 있어서 캐리어(C)내에 수납되고, 처리 후의 웨이퍼(W1)를 수납한 캐리어(C)는 캐리어 반입출부(5)에 재치되고, 처리 시스템(1) 바깥으로 반출된다.
이상이 처리 시스템(1)에 의한 웨이퍼군(WS1)에 대한 처리공정이다. 또한, 미처리된 웨이퍼군(WS)에 대해, 처리 레시피(RE2, RE3)를 할당한 경우도, 이것과 동일한 처리공정을 한다. 즉, 처리 레시피(RE1)를 할당한 경우과 동일한 웨이퍼군(WS)의 형성공정을 거쳐, 웨이퍼 반송장치(22)에서 각 처리조군 내 반송기(41, 42)로 웨이퍼군(WS)이 인수인계된다. 그리고, 미리 약액공급수단(70)에서 공급되고 각 약액조(P2, P3) 내에 저류된 SC-1액에 웨이퍼군(WS)을 지침시켜서 세정처리를 한다. 세정처리의 소정시간 경과 후, 각 처리조군 내 반송기(41, 42)에 의해 각 물세정조(R2, R3)에 웨이퍼군(WS)을 반송하고, 미리 DIW공급수단(80)에서 공급되어 각 물세정조(R2, R3) 내에 저류된 DIW에 웨이퍼군(WS)을 지침시켜서 물세정처리를 한다. 물세정처리의 소정시간 경과 후, 웨이퍼군(WS)이 웨이퍼반송장치(22)에 인수인계되고, 처리 레시피(RE1)를 할당한 경우와 동일한 건조처리공정과 액처리부(4)로부터의 반출공정이 이루어진다.
다음으로, 복수의 웨이퍼군(WS1, WS2, WS3 …)을 병행하여 처리하는 공정을 설명한다. 예를 들면, 캐리어 스토크부(6)에 보관되어 있던 웨이퍼군(WS2)을 인터페이스부(3)에 반입하고, 피치변환과 자세변환을 한다. 그리고, 제 1 처리조군 내반송기(40)로 웨이퍼군(WS1)을 인도한 웨이퍼 반송장치(22)는 다음으로 처리하는 웨이퍼군(WS2)을 수취하고, 액처리부(4) 내로 반입한다. 그리고 연산장치(47)가 미처리된 웨이퍼군(WS2)에 대해, 처리 레시피(RE2)를 할당한다. 이어서 제어장치(50)는 연산장치(47)에서 처리 레시피(RE2)를 판독하고 처리 레시피(RE2)에 따라 웨이퍼 반송장치(22)에 대해 웨이퍼군(WS2)을 제 2 처리조군 내 반송기(41)로 인도하는 취지의 지시를 부여한다. 웨이퍼 반송장치(22)에서 제 2 처리조군 내 반송기(41)로 웨이퍼군(WS2)이 인도되면, 처리 레시피(RE2)에 따른 지시를 받은 제 2 처리조군 내 반송기(41)는 웨이퍼군(WS2)을 하강시켜서 약액조(P2) 내의 SC-1액에 담그고, 파티클 등의 부착물을 제거하는 공정을 행한다. 이렇게 해서 처리조군(M1)에 있어서 웨이퍼군(WS1)의 세정처리 또는 물세정처리를 하는 동안에 처리조군(M2)에 있어서 웨이퍼군(WS2)의 세정처리를 개시한다. 그리고, 처리 레시피(RE1)에 따른 웨이퍼군(WS1)의 처리와, 처리 레시피(RE2)에 따른 웨이퍼군(WS2)의 처리를 병행하여 행하는 상태가 된다.
또한, 웨이퍼 반송장치(22)는 제 2 처리조군 내 반송기(41)로 웨이퍼군(WS2)을 인도하면, 다음으로 처리하는 웨이퍼군(WS3)을 수취하고, 액처리부(4) 내로 반입한다. 그리고 연산장치(47)가 미처리된 웨이퍼군(WS3)에 대해 처리 레시피(RE3)를 할당한다. 이어서 제어장치(50)는 연상장치(47)에서 처리 레시피(RE3)를 판독하고, 처리 레시피(RE3)에 따라 웨이퍼 반송장치(22)에 대해 웨이퍼군(WS3)을 제 3 처리조군 내 반송기(42)로 인도하는 취지의 지시를 부여한다. 웨이퍼 반송장치(22)에서 제 3 처리조군 내 반송기(42)로 웨이퍼군(WS2)이 인도되면, 처리레시피(RE3)에 따른 지시를 받은 제 3 처리조군 내 반송기(42)는, 웨이퍼군(WS3)을 하강시키고 약액조(P2)내의 SC-1액에 담그어 파티클 등의 부착물을 제거하는 공정을 행한다. 이렇게 해서 처리조군(M1)에 있어서 세정처리 또는 물세정처리를 하고, 또 처리조군(M2)에 있어서 세정처리 또는 물세정처리를 하는 동안에, 처리조군(M3)에 있어서 세정처리를 개시한다. 그리고 처리 레시피(RE1)에 따른 웨이퍼군(WS1)의 처리와, 처리 레시피(RE2)에 따른 웨이퍼군(WS2)의 처리와, 처리 레시피(RE3)에 따른 웨이퍼군(WS3)의 처리를 병행하여 행하는 상태가 된다.
이렇게 처리 레시피(RE1, RE2, RE3)는 반입되는 웨이퍼군(WS)에 대해 할당된 처리 레시피(RE0)를 실행하는 처리조군이 처리조군(M1, M2, M3)에서 순서대로 할당되므로, 처리조군(M1, M2, M3)의 순서대로 웨이퍼군(WS)이 반송된다. 그리고, 처리조군(M1, M2, M3)의 순서로 처리가 개시되고, 각각의 소정시간이 경과하여 처리조군(M1, M2, M3)의 순서대로 세정처리 및 물세정처리가 종료한다. 즉, 반송된 웨이퍼군(WS1, WS2, WS3)의 순서대로 반송하여 처리를 개시했으므로, 웨이퍼군(WS1, WS2, WS3)의 순서대로 처리가 진행되고 있다.
웨이퍼 반송장치(22)는 처음으로 처리가 종료하는 제 1 처리조군(M1)에 있어서 처리가 종료하기 전에 웨이퍼군(WS3)을 제 3 처리조군(M3)으로 반입한다. 그 후, 제 1 처리조군(M1) 내의 웨이퍼군(WS1)을 척에 의해 수취하고 액처리유닛(7)에서 반출하여, 건조유닛(8) 내로 반송한다. 건조유닛(8)내에서는 물세정조(24) 내에 웨이퍼군(WS1)을 지침시킨다. 그 후, 웨이퍼군(WS1)은 물세정된 후, 건조유닛 내 반송기(25)에서 끌어올려지고, 건조실에 있어서 IPA건조가 개시된다.
한편, 인터페이스부(3)에서는 웨이퍼 수직유지기구(21b)가 새로운 미처리 웨이퍼군(WS4)의 피치변환과 자세변환을 하고 있다. 건조유닛(8) 내의 물세정조(24) 내에 웨이퍼군(WS1)을 인도한 웨이퍼 반송장치(22)는 인터페이스부(3)로 되돌아와 웨이퍼군(WS4)을 웨이퍼 수직유지기구(21b)에서 수취하고, 액처리부(4)에 반입한다.
액처리부(4)에서는 웨이퍼군(WS1)이 반출된 후의 제 1 처리조군(M1)이 사용가능 상태에서 대기하고 있다. 제 2 처리조군(M2), 제 3 처리조군(M3)에 있어서는 각각 처리 레시피(RE2, RE3)에 따라 세정처리 또는 물세정처리를 하고 있다. 액처리부(4)에 반입되는 웨이퍼군(WS4)에 할당된 처리 레시피(RE0)를 실행하는 처리조군에는 다시 처리조군(M1)이 선택된다. 따라서, 웨이퍼군(WS4)은 제 1 처리조군(M1)으로 반송되고, 처리 레시피(RE1)에 따라 처리된다. 이렇게 해서 웨이퍼군(WS2, WS3, WS4)의 처리를 병행하여 행하는 상태가 된다. 즉, 제 2 처리조군(M2)은 처리 레시피(RE2)에 따라 웨이퍼군(WS2)을 처리하고, 제 3 처리조군(M3)은 처리 레시피(RE3)에 따라 웨이퍼군(WS3)을 처리하고, 제 1 처리조군(M1)은 처리 레시피(RE1)에 따라 웨이퍼군(WS4)을 처리한다. 또, 반입한 순서, 즉 웨이퍼군(WS2, WS3, WS4)의 순서대로 처리가 진행하고 있다. 예를 들면, 웨이퍼군(WS2)는 제 2 물세정조(R2)에서 물세정처리되고, 웨이퍼군(WS3)은 제 3 약액조(P3)에서 세정처리되어 있고, 제 1 약액조(P1)에서 웨이퍼군(WS4)의 세정처리가 개시된다.
그런데, 건조유닛(8) 내에서는 건조실에 있어서, 웨이퍼군(WS1)의 IPA건조가 진행되고 있다. 웨이퍼군(WS1)의 건조처리 소정시간이 경과하기 전에웨이퍼군(WS4)을 액처리부(4)로 반입한 후의 웨이퍼 반입장치(22)를 건조유닛(8) 내의 소정위치로 이동시킨다. 그리고, IPA에 의한 건조처리를 마친 웨이퍼군(WS1)을 수취하고, 인터페이스부(3)의 웨이퍼 수직유지기구(21b)로 인도한다.
그 후, 제 2 처리조군(M2)에 있어서 처리의 소정시간이 경과하고, 웨이퍼군(WS2)의 반출이 이루어진다. 이하, 웨이퍼군(WS1)과 동일하게 액처리유닛(7)에서 반출되고, 건조처리부(8)에 있어서 건조처리가 개시된다. 웨이퍼군(WS2)을 건조처리하는 소정시간 동안에 웨이퍼 반송장치(22)에 의해 웨이퍼군(WS5)이 액처리부(4)로 반입된다. 그리고, 웨이퍼군(WS5)에 처리 레시피(RE2)가 할당되고, 제 2 처리조군(M2)에 인수되어 웨이퍼군(WS5)의 처리가 개시된다. 이렇게 해서 웨이퍼군(WS3, WS4, WS5)의 처리를 병행하여 행하는 상태가 된다. 즉, 제 3 처리조군(M3)은 처리 레시피(RE3)에 따라 웨이퍼군(WS3)을 처리하고, 제 1 처리조군(M1)은 처리 레시피(RE1)에 따라 웨이퍼군(WS4)을 처리하고, 제 2 처리조군(M2)은 처리 레시피(RE2)에 따라 웨이퍼군(WS5)을 처리한다. 또, 반입한 순서, 즉 웨이퍼군(WS3, WS4, WS5)의 순서로 처리가 진행되고 있다. 예를 들면, 웨이퍼군(WS3)은 제 3 물세정조(R3)에서 물세정처리되고, 웨이퍼군(WS4)은 제 1 약액조(P1)에 있어서 물세정처리되어 있고, 제 2 약액조(P2)에 있어서 웨이퍼군(WS5)의 세정처리가 개시된다. 그리고, 웨이퍼군(WS2)의 건조처리의 소정시간이 경과하기 전에 웨이퍼 반송장치(22)를 건조유닛(8) 내의 소정위치로 이동시키고, IPA에 의한 건조처리를 마친 웨이퍼군(WS2)을 수취하고, 인터페이스부(3)의 웨이퍼 수직유지기구(21b)에 인도한다.
이렇게 동일한 구성과 기능을 갖고, 동일한 처리를 하는 처리조군(M1, M2, M3)을 복수개 설치하면, 복수의 웨이퍼군(WS)의 처리를 병행하여 행할 수 있다. 또한, 처리조군(M1, M2, M3)에 각각 처리조군 내 반송기(40, 41, 42)를 구비하고 있으므로, 웨이퍼 반송장치(22)는 효율적으로 웨이퍼군(WS)을 처리조군(M1, M2, M3)으로 반송할 수 있다. 따라서, 복수의 미처리 웨이퍼군(WS)을 연속적으로 반입하고, 복수의 웨이퍼군(WS)을 병행하여 처리하고, 처리를 마친 웨이퍼군(WS)을 연속적으로 반출하므로, 스루 풋을 향상시킬 수 있다.
약액조 내에 저류된 약액의 라이프타임과 웨이퍼군(WS)의 지침횟수 등에 의해 처리액의 교환이 필요해졌을 때는 각 처리조군(M1, M2, M3)에서 웨이퍼군(WS)을 반출하고 처리액의 교환을 한다. 연속적으로 복수의 웨이퍼군(WS)을 처리하는 공정 도중에 약액조(P1, P2, P3)의 액교환을 하는 경우는 처리 레시피(RE1, RE2, RE3)를 소정횟수 순환시켜서 실행한 후, 액교환을 동시에 하면 좋다. 즉, 웨이퍼군(WS)에 처리 레시피(RE1, RE2, RE3)가 순서대로 할당되므로, 처리 레시피(RE1, RE2, RE3)의 실행횟수와 각 약액조(P1, P2, P3), 물세정조(R1, R2, R3)의 지침횟수는 동일하다. 즉, 처리 레시피(RE1, RE2, RE3)가 X회 이루어진 경우, 약액조(P1, P2, P3), 물세정조(R1, R2, R3)에 웨이퍼군(WS)이 지침된 횟수는 각각 X회이다. 따라서, 처리조군(M1)에 있어서 X회째의 처리 레시피(RE1)를 종료 후, X + 1회째의 처리 레시피(RE1)는 실행하지 않고, 처리조군(M1)에 웨이퍼군(WS)을 반입하지 않은 채 대기시켜둔다. 동일하게 X회째의 처리 레시피(RE2)를 종료 후, 처리조군(M2)도 웨이퍼군(WS)을 반입하지 않은 채 대기시켜 둔다. 처리 레시피(RE3) 종료 후,웨이퍼군(WS)을 처리조군(M3)에서 반출한 후, 약액조(P1, P2, P3)의 약액을 배출하여 약액공급수단(70)에서 약액을 공급한다.
통상적으로는, 위에서 서술한 것과 같이 웨이퍼군(WS)이 약처리부(4)에 반입될 때에 처리조군(M1, M2, M3)의 순서에 따라 웨이퍼군(WS)에 할당된 처리 레시피(RE0)를 실행하는 처리조군을 선택한다. 만약, 약액조(P1, P2, P3), 물세정조(R1, R2, R3), 처리조군 내 반송기(40, 41, 42) 중 어느 하나가 고장나서 사용 불가능해지면, 고장난 어느 하나의 약액조(P1, P2, P3), 물세정조(R1, R2, R3)를 포함하는 어느 하나의 처리조군(M1, M2, M3), 및 고장난 어느 하나의 처리조 내 반송기(40, 41, 42)가 웨이퍼군(WS)을 반송하는 어느 하나의 처리조군(M1, M2, M3)을 사용 불가능한 처리조군으로 선택에서 제외할 필요가 있다. 즉, 사용 불가능한 어느 하나의 처리조군(M1, M2, M3)을 제외하고, 남은 사용가능한 처리조군 중에서 처리조군을 선택한다.
우선, 제어부(45)가 약액조(P1, P2, P3), 물세정(R1, R2, R3), 처리조군 내 반송기(40, 41, 42) 중 어느 하나가 고장난 것을 자동적으로 검출하고, 고정난 약액조(P1, P2, P3), 물세정조(R1, R2, R3), 처리조군 내 반송기(40, 41, 42)를 특정한다. 또, 예를 들면, 오퍼레이터가 고장난 약액조(P1, P2, P3), 물세정조(R1, R2, R3), 처리조군 내 반송기(40, 41, 42)를 지정하는 입력을 제어부(45)에 대해 행하도록 해도 좋다. 연상장치(47)는 고장난 약액조(P1, P2, P4), 물세정조(R1, R2, R3), 처리조군 내 반송기(40, 41, 42)에서 사용불가능한 처리조군을 특정한다. 그리고, 특정한 처리조군을 제외대상으로 하여, 기억장치(48)에 기억시킨다. 반입된웨이퍼군(WS)에 할당된 처리 레시피(RE0)을 실행하는 처리조군을 선택할 때는 사용 불가능한 처리조군을 제외하여 선택한다. 이렇게 해서 제어부(45)는 사용불가로 판단한 처리조군을 제외하고 처리조군의 선택을 할 수 있다.
예를 들면, 제 2 약액조(P2)가 고장나서 사용불가능해진 경우, 연산장치(47)는 제 2 약액조(P2)가 포함되어 있는 처리조군(M2)은 사용 불가능한 처리조군이라고 판단하고, 이것을 제어하는 처리 레시피(RE2)는 사용 불가능한 처리 레시피로 판단하고, 처리 레시피(RE2)는 제외대상이라는 취지를 기억장치(48)에 기억시킨다. 한편, 연산장치(47)는 처리 레시피(RE2)가 제외대상이므로, 순서가 처리 레시피(RE2)로 돌아갔을 때, 처리 레시피(RE2)를 무시하여 다음 처리 레시피(RE3)를 웨이퍼군(WS)에 할당한다. 예를 들면 오퍼레이터가 연속적으로 반입되는 각 웨이퍼군(WS)을 동일한 처리 레시피(RE0)에 따라 처리하는 취지를 입출력장치(46)에 입력하고 연산장치(47)는 처리 레시피 루트[(1) 처리 레시피(RE1), (2) 처리 레시피(RE2), (3) 처리 레시피(RE3)]에 기초하여 각 웨이퍼군(WS)에 할당하는 처리 레시피를 판단하는 경우, 현재 이용하고 있는 처리 레시피 루트는 변경하지 않고, 제외대상의 조건을 새롭게 부가한다. 연상장치(47)는 현재 이용하고 있는 처리 레시피 루트와 제외대상의 조건보다, 사용불가능한 처리 레시피를 제외하고, 남은 처리 레시피를 각 웨이퍼군(WS)에 할당한다. 이렇게 해서 연산장치(47)는 처리 레시피(RE1)의 다음에 처리 레시피(RE3)를 할당하므로, 실행되는 처리 레시피 루트는 [(1) 처리 레시피(RE1), (2) 처리 레시피(RE3)]이다. 따라서 액처리부(4)에 연속하여 웨이퍼군(WS)를 반입하는 경우, 각 웨이퍼군(WS)에 처리 레시피(RE1, RE3)를 교호로 할당하므로, 처리 레시피(RE1)에 따라 처리하는 처리조군(M1)과 처리 레시피(RE3)에 따라 처리하는 처리조군(M3)이 교호로 선택되어 처리를 하게 된다. 이렇게 사용 불가능한 처리조가 발생해도, 웨이퍼군(WS)에 대해 다른 처리 레시피를 자동적으로 할당하므로, 사용가능한 처리조에 의해 처리할 수 있다. 따라서, 사용불가능한 처리조가 발생해도 처리공정을 속행하고, 스루 풋의 저하를 억제할 수 있다.
이러한 처리 시스템(10에 따르면, 연산장치(47)가 오퍼레이터를 입력한 처리 레시피에 기초하여 오퍼레이터를 입력한 처리 레시피(RE0)를 실행하는 처리조군을 처리조군(M1, M2, M3) 중에서 선택한다. 즉, 연산장치(47)가 각 약액조(P1, P2, P3), 물세정조(R1, R2, R3), 건조유닛(8) 중 어느 것을 사용하여 오퍼레이터를 입력한 처리 레시피(RE0)를 실행하는 지 판단한다. 따라서, 오퍼레이터가 각 약액조(P1, P2, P3), 물세정조(R1, R2, R3), 건조유닛(8) 중 어느 것을 사용하여 처리 레시피를 실행하는 지 판단할 필요가 없다. 이에 의해 오퍼레이터가 행하는 입력조작을 간소화하고, 오퍼레이터의 입력미스 또는 판단미스에 기인하는 처리공정의 중단을 방지하고, 스루 풋의 저하를 억제할 수 있다. 또, 웨이퍼군(WS)을 2개 이상 병행하여 처리하므로, 복수의 웨이퍼군(WS)을 연속적으로 처리할 수 있고, 스루 풋을 향상시킨다. 복수의 웨이퍼군(WS)을 연속적으로 처리하고 있는 동안에 약액조(P1, P2, P3), 물세정조(R1, R2, R3), 처리조군 내 반송기(40, 41, 42) 중 어느 것이 고장나도 웨이퍼군(WS)에 대해 다른 처리조군의 처리 레시피를 자동적으로 할당하고, 사용가능한 처리조군(M1, M2, M3)에 의해 처리하므로, 처리공정을 중단시키지 않는다. 따라서, 스루 풋의 저하를 억제할 수 있다.
이상, 본 발명의 바람직한 실시예의 일례를 설명했지만, 본 발명은 이상에 설명한 실시예에 한정되지 않는 것은 물론이고, 적당히 변경실시할 수 있다. 예를 들면 약액공급수단의 혼합밸브는 각 처리조군(M1, M2, M3)에 설치하고, 각 처리조군(M1, M2, M3)별로 소정농도의 약액을 조제하여 공급하는 혼합밸브로 하고, 혼합밸브를 개방하므로써 약액공급하게 해도 좋다.
또, 처리조는 세정처리와 물세정처리를 양쪽 행할 수 있는 POU식(원 버스식)의 처리조여도 좋다. 도 8에 도시하는 것과 같이 POU식 처리조(90)는 약액조(P3)와 동일하게 내부조(52) 및 외부조(53)를 구비하고, POU식 처리조(90)에 대한 처리액 공급수단으로서, 예를 들면 암모니아 공급수단(91)과, 황산공급수단(92)과, DIW공급수단(93)과, H2O2공급수단(94)을 구비한다. 암모니아 공급수단(91)은, 암모니아를 저류하는 암모니아공급탱크(101)와, 혼합밸브(100)로 구성된다. 황산공급수단(92)은, 황산을 저류하는 황산공급탱크(102)와, 혼합밸브(100)로 구성된다. DIW공급수단(93)은 순수의 공급원인 DIW공급원(103)과, 혼합밸브(100)로 구성된다. H2O2공급수단(94)은 H2O2공급수단(94)은, H2O2공급탱크(104)와, 혼합밸브(100)로 구성된다. 혼합밸브(100)는 제어부(45)에 신호출력기기로서 접속되고, 제어부(45)의 제어신호에 따라, 웨이퍼군(WS)에 공급하는 처리액을 암모니아, 황산, H2O2또는 DIW 중 어느 하나에서 선택하여 전환하고, 내부조(52)의 하부에 설치된 노즐(101)에 처리액을 흐르도록 개방한다. 혼합밸브(100)에서 흐른 처리액은 노즐(101)에서내부조(52)내의 웨이퍼군(WS)에 맞춰 공급된다. 또, 혼합밸브(100)는 제어부(45)의 제어신호에 따라 암모니아 또는 황산과, H2O2와, DIW 중에서 선택하여 소정농도의 처리액을 조제하고, 노즐(101)로 처리액을 흐르게 할 수 있다. POU식 처리조(90)의 내부조(52)내에 처리액이 계속해서 공급된 경우는 처리액은 외부조(53)로 유출하고, 밸브(67)를 통해 외부조(53)에 접속된 배출관(66)에서 배액된다. 이 POU실 처리조(90)에 있어서는 예를 들면 우선 암모니아 공급수단(91)에서 공급되는 암모니아에 의해 웨이퍼군(WS)을 처리하고 내부조(52)의 하부에 밸브(65)를 통해 설치된 배출관(64)에 의해 암모니아를 내부조(52)에서 배출하고, 그 후, DIW공급수단(93)에 의해 DIW를 웨이퍼군(WS)에 공급하여 물세정처리를 한다. 또한, DIW를 혼합밸브(100)에 흘려보내는 위치는 암모니아, 황산, H2O2가 혼합밸브(100)로 흘러들어가는 위치보다도 상류가 되어 있고, DIW에 의해 혼합밸브(100) 중에서 암모니아, 황산, H2O2를 밀어내어, 혼합밸브(100) 중을 물세정할 수 있게 되어 있다.
POU식 처리조(90)의 경우도, 오퍼레이터는 처리액을 공급하는 순서를 파악하고 있으면 이것을 입출력장치(46)에서 입력하고 제어부(45)에 입력신호를 부여할 수 있다. 그리고, 연산장치(47)는 처리액의 순서로 구성되는 처리 레시피를 작성하고, 연산장치(47)는 처리액의 순서로 구성되는 처리 레시피의 처리 레시피 루트에 기초하여 할당한다. 제어장치(50)는 처리액의 혼합밸브(100), 밸브(67) 및 밸브(65)를 제어하고 처리액의 공급과 배출을 제어한다. 이렇게 해서 POU실 처리조(90)는 처리 레시피에 따라 웨이퍼군(WS)의 처리를 할 수 있다. 이 경우, 약액조와 물세정조의 처리를 하나의 처리조에서 행할 수 있으므로, 공간을 절약할 수 있다.
처리조의 배열은 적당히 변경할 수 있고, 예를 들면 약액조(P1, P2, P3)를 인접시키고, 물세정조(R1, R2, R3)를 인접시키게 해도 좋다. 도 9에 도시하는 예에서는 파킹 에이리어(9b)측에서, 물세정조(R1, R2, R3), 약액조(P1, P2, P3)가 순서대로 배치되어 있다. 또, 약액조(P1)와 물세정조(R1)에 의해 처리조군(M1)이 구성되고, 약액조(P2)와 물세정조(R2)에 의해 처리조군(M2)가 구성되며, 약액조(P3)와 물세정조(R3)에 의해 처리조군(M3)이 구성된다. 즉, 웨이퍼군(WS)에 대한 처리는 할당된 처리 레시피가 제어하는 처리조군으로 행한다. 예를 들면 약액조(P1)에 있어서 세정처리한 웨이퍼군(WS)은 물세정조(R2)로 반송하여 물세정처리를 한다. 또, 약액조에서 물세정조로 웨이퍼군(WS)을 반송하는 처리조군 내 반송기가 적당히 설치된다. 웨이퍼군(WS)에 대해 처리 레시피를 자동적으로 할당하고, 복수의 웨이퍼군(WS)을 연속적으로 처리할 수 있다.
본 발명은 세정액이 공급되는 처리 시스템에 한정되지 않고, 그 외의 여러가지 처리액 등을 이용하여 세정 이외의 다른 처리를 기판에 대해 실시하는 것이어도 좋다. 또, 피처리체는 반도체 웨이퍼에 한정되지 않고, 그 외의 LCD기판용 유리와, CD기판, 프린트기판, 세라믹기판 등이어도 좋다.
본 발명의 처리 시스템 및 처리방법에 따르면, 오퍼레이터의 입력미스와 판단미스에 기인하는 처리공정 중단을 방지하고, 스루 풋의 저하를 억제할 수 있다.복수의 웨이퍼군을 연속적으로 처리할 수 있고, 스루 풋을 향상시킨다.

Claims (19)

1 또는 2 이상의 피처리체로 이루어지는 피처리제군을, 처리조에 있어서 처리액에 의해 처리하는 처리 시스템에 있어서,
적어도 하나 이상의 처리조로 이루어지는 동일한 처리를 실행가능한 처리조군을 복수 구비함과 동시에 이들 복수의 처리조군에 피처리체군을 반송하는 반송장치와,
이 반송장치에 의해 피처리체군을 반송시키는 처리조군을 선택하는 제어부를 구비하고,
상기 제어부는 각 피처리체군에 대해 처리 레시피를 할당하는 할당기능과,
할당한 각 처리 레시피를 실행하는 처리조군을 소정 순번으로 선택하는 선택기능을 갖는 것을 특징으로 하는 처리 시스템.
청구항 1에 있어서,
상기 복수의 처리조군은, 동일한 처리액에서 피처리체군을 처리가능한 처리조를 각각 갖고 있는 것을 특징으로 하는 처리 시스템.
청구항 1에 있어서,
상기 제어부는 상기 처리 레시피를 기억하는 기억기능을 갖는 것을 특징으로 하는 처리 시스템.
청구항 1에 있어서,
상기 제어부는 각 처리조군의 사용여부를 판단하는 판단기능을 갖는 것을 특징으로 하는 처리 시스템.
청구항 4에 있어서,
상기 제어부는 사용불가로 판단한 처리조군을 제외하고 처리조군의 선택을 하는 것을 특징으로 하는 처리 시스템.
청구항 1에 있어서,
상기 처리조에 처리액을 공급하는 공급수단을 적어도 하나 구비하는 것을 특징으로 하는 처리 시스템.
청구항 6에 있어서,
하나의 처리조에 대해, 다른 종류의 처리액을 공급하는 복수의 공급수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 처리 시스템.
청구항 1에 있어서,
상기 제어부는 상기 처리조군의 처리조의 처리액을 동시에 교환할 수 있도록 각 처리조군의 처리를 제어하는 것을 특징으로 하는 처리 시스템.
1 또는 2 이상의 피처리체로 이루어지는 피처리체군을 처리조에서 처리액에 의해 처리하는 처리 시스템에 있어서,
오퍼레이터가 처리 레시피를 입력하는 입력부와, 적어도 하나 이상의 처리조로 이루어지는 동일한 처리를 실행가능한 복수의 처리조군과,
이들 복수의 처리조군에 피처리체군을 반송하는 반송장치와,
상기 입력부에서 입력된 처리 레시피가 복수의 처리조군에 대해 동일한 처리 레시피인 경우, 상기 동일한 처리 레시피를 실행하는 처리조군을 소정의 순서에서 선택하고, 상기 각 피처리체군을 상기 소정의 순서에서 선택한 처리조군으로 반송하도록 상기 반송장치를 제어하는 제어부를 구비하는 것을 특징으로 하는 처리 시스템.
청구항 9에 있어서,
상기 복수의 처리조군은, 동일한 처리액으로 피처리체군을 처리가능한 처리조를 각각 갖고 있는 것을 특징으로 하는 처리 시스템.
청구항 9에 있어서,
상기 제어부는 상기 처리 레시피를 기억하는 기억기능을 갖는 것을 특징으로 하는 처리 시스템.
청구항 9에 있어서,
상기 제어부는 각 처리조군의 사용여부를 판단하는 판단기능을 갖는 것을 특징으로 하는 처리 시스템.
청구항 12에 있어서,
상기 제어부는 사용불가로 판단한 처리조군을 제외하고 처리조군의 선택을 하는 것을 특징으로 하는 처리 시스템.
청구항 9에 있어서,
상기 제어부는 상기 처리조군의 처리조의 처리액을 동시에 교환할 수 있도록 각 처리조군의 처리를 제어하는 것을 특징으로 하는 처리 시스템.
1 또는 2 이상의 피처리체로 이루어지는 피처리체군을, 처리조를 적어도 하나 이상 구비하는 복수의 처리조군으로 반송하고, 처리조에 있어서 처리액에 의해 처리하는 처리방법에 있어서,
피처리체군을 처리하는 처리조군을 복수의 처리조군 중에서 소정 순서에 따라 순차적으로 다른 처리조군을 선택하고, 상기 선택된 처리조군에 있어서 미리 정해진 처리 레시피에 따라 피처리체군을 처리하는 것을 특징으로 하는 처리방법.
청구항 15에 있어서,
상기 복수의 처리조군은 동일한 처리 레시피에 따라 피처리체군을 처리하는 처리조군을 포함하는 것을 특징으로 하는 처리방법.
청구항 15에 있어서,
상기 복수의 처리조군에 있어서, 복수의 피처리체군을 병행하여 처리하는 것을 특징으로 하는 처리방법.
청구항 15에 있어서,
사용불가로 판단한 처리조군을 제외하여 처리조군의 선택을 하는 것을 특징으로 하는 처리방법.
청구항 15에 있어서,
상기 처리조군의 처리조의 처리액을 동시에 교환할 수 있도록 각 처리조군의 처리를 제어하는 것을 특징으로 하는 처리방법.
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