JP2001118763A

JP2001118763A - 基板処理装置

Info

Publication number: JP2001118763A
Application number: JP29520599A
Authority: JP
Inventors: Shingo Tomita; 眞吾冨田; Tomohiko Miyagi; 智彦宮城
Original assignee: Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
Priority date: 1999-10-18
Filing date: 1999-10-18
Publication date: 2001-04-27

Abstract

(57)【要約】【課題】基板処理についての処理情報を高速に表示す
ることができる基板処理装置を提供する。【解決手段】基板の処理についての処理情報は、マス
ターコントローラ４０および槽コントローラ５０から卓
上型コンピュータ３０に伝達される。ＣＰＵ３１は、そ
の処理情報を処理対象とされたロットを特定するための
基板特定情報と、処理対象のロットに行われた実際の処
理の内容・条件等を示す処理内容情報とに分別して編集
し、それぞれヘッダファイルおよび詳細部ファイルに記
録する。処理情報を表示するときには、ＣＰＵ３１は、
まずヘッダファイルのみをディスプレイ３８に表示す
る。そして、キーボード３９から詳細部ファイルを表示
する旨の指定があったときに、ＣＰＵ３１は詳細部ファ
イルをディスプレイ３８に表示する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体基板、液晶
表示装置用ガラス基板、フォトマスク用ガラス基板、光
ディスク用基板等（以下、単に「基板」と称する）にエ
ッチング等の処理を行う処理部を備え、その処理部にて
基板の処理を行うとともに、当該処理についての処理情
報を記録する基板処理装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来より、上記の基板の製造工程におい
ては、基板をエッチング液等の薬液や純水中に順次浸漬
させることにより薬液処理や洗浄処理を繰り返し、一連
の基板処理を進行させている。このような一連の基板処
理は、処理内容や処理条件を記述したレシピに従って行
われる。

【０００３】図７は、レシピの構造の一例を示す概念図
である。基板処理装置には、複数のレシピが予め準備さ
れている（ここでは、レシピ１〜レシピ５）。そして、
各レシピには、大まかな処理を示す処理ステップが順に
記述されている。例えば、レシピ１のステップ１では第
１の薬液処理を行い、ステップ２では第１の水洗処理を
行うというように記述されている。そして、さらに、各
処理ステップにはその処理の具体的内容が記述されてい
る。処理の具体的内容とは、例えば、使用する処理槽、
処理時間、処理液の温度等である。

【０００４】基板の製造工程においては、ロット（複数
の基板の集合体であり、本明細書中では基板と同義に扱
う）が順次に装置に搬入され処理に供される。そして、
順次に搬入されるロットのそれぞれが所定のレシピに従
って処理される。このときに、順次に搬入されるロット
のそれぞれは、同じレシピに従って処理される場合もあ
り、また異なるレシピに従って処理される場合もある。

【０００５】よって、ロットごとの処理手順は不定であ
り、各ロットごとに処理情報を記録しておくのが好まし
いことが多い。例えば、装置に搬入されたロットが所定
のレシピの内容に従って処理されたか否かを事後的に確
認したい場合がある。また、処理不良のロットが発生し
たときに、そのロットの処理の履歴を調査したい場合も
ある。

【０００６】そこで、従来より、装置に搬入されて処理
された各ロットごとの処理情報を順次に記録し、それを
１つのログファイルとして作成するようにしていた。図
８は、従来より作成されていたログファイルの一例を示
す図である。同図に示すように、処理が行われたロット
ごとに順にその処理情報が記録されており、具体的には
例えば装置へのロット投入時刻、装置からのロット払出
時刻、処理液の温度等がそれぞれ記述されている。

【０００７】処理済みのロットについての処理情報を得
たい場合には、図８の如きログファイルを検索すること
によって行われていた。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
たような従来の技術において、例えばロットのリスト表
示（ロットのＩＤ番号の表示）をさせる場合には、ログ
ファイルに含まれる全ての項目を比較式によって順次に
検索し、表示すべきデータ（ここでは、ロットＩＤ）を
全て抽出した後に、該当する項目を表示するようにして
いた。このため、検索に長時間を要することとなり、リ
スト表示にも時間がかかるという問題が生じていた。こ
のような問題は、処理済みロットについての処理情報が
蓄積され、ログファイルが大きな容量となるに従って顕
著になる。

【０００９】また、処理される各ロットごとに処理内容
が異なるため、各ロットごとにログファイル中の記述量
に差が生じる。従って、ある特定のロットについての処
理情報を表示させたい場合であっても、逐一比較式によ
る検索を行ってそのロットについての記述の最初の位置
と最終の位置とを見つけ出し、その間の記述を表示する
ようにしていた。このため、上記と同様に検索に長時間
を要することとなり、ある特定のロットについての処理
情報を表示させる場合にも時間がかかるという問題が生
じていた。

【００１０】そして、これらの問題に起因して、オペレ
ータが各ロットの処理情報を確認・調査するときの効率
が低下せざるを得ない状況となっていた。

【００１１】本発明は、上記課題に鑑みてなされたもの
であり、基板処理についての処理情報を高速に表示する
ことができる基板処理装置を提供することを目的とす
る。

【００１２】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、請求項１の発明は、基板に所定の処理を行う処理部
を備え、前記処理部にて基板の処理を行うとともに、当
該処理についての処理情報を記録する基板処理装置にお
いて、前記処理情報を、処理対象の基板を特定する基板
特定情報と、前記基板に行われた処理の内容を示す処理
内容情報とに分別して編集し、記録する分別編集手段を
備えている。

【００１３】また、請求項２の発明は、請求項１の発明
に係る基板処理装置において、前記基板特定情報に、少
なくとも基板の識別符号と、前記基板の前記基板処理装
置への投入時刻と、前記基板の前記基板処理装置からの
払出時刻とを含ませている。

【００１４】また、請求項３の発明は、請求項２の発明
に係る基板処理装置において、前記基板特定情報に、さ
らに前記処理内容情報と関連付けられた処理内容情報識
別標識を含ませている。

【００１５】また、請求項４の発明は、請求項１から請
求項３のいずれかの発明に係る基板処理装置において、
少なくとも前記基板特定情報を表示する表示手段をさら
に備えている。

【００１６】また、請求項５の発明は、請求項３記載の
発明に係る基板処理装置において、前記処理情報を表示
する表示手段と、前記処理内容情報識別標識を指定する
指定手段と、をさらに備え、前記表示手段に、前記基板
特定情報のみを表示した後、前記指定手段によって前記
処理内容情報識別標識が指定されたときに前記処理内容
情報を表示させている。

【００１７】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照しつつ本発明の
実施の形態について詳細に説明する。

【００１８】＜１．基板処理装置の全体構成＞まず、本
発明に係る基板処理装置の全体構成について説明する。
図１は、本発明に係る基板処理装置の一例を示す正面概
略図である。この基板処理装置１００は、基板Ｗ（厳密
には、複数の基板Ｗの集合体であるロット）を処理液中
に浸漬して表面処理を施す浸漬処理装置であり、薬液槽
ＣＢ１、ＣＢ２と、水洗槽ＷＢ１、ＷＢ２、ＦＲと、乾
燥部ＳＤと、基板を搬送する基板搬送ロボットＴＲとを
備えている。また、基板処理装置１００は、その両端
に、未処理基板Ｗを収納したカセット２０を載置するロ
ーダー部ＬＤと処理済みの基板Ｗが格納されたカセット
２０を載置するアンローダー部ＵＬＤとを備えている。
さらに、基板処理装置１００は、卓上型コンピュータ３
０とそれに接続された手段とで構成される制御機構を備
えている。なお、この制御機構については、後に詳述す
る。

【００１９】薬液槽ＣＢ１、ＣＢ２は硫酸、アンモニ
ア、塩酸、フッ酸、過酸化水素水またはそれらの混合液
などの薬液を収容可能な処理槽であり、基板に対して表
面薬液処理を行うための処理槽である。また、水洗槽Ｗ
Ｂ１、ＷＢ２は純水を収容し、基板Ｗに付着した薬液を
洗浄する処理槽である。また、水洗槽ＦＲも純水を収容
する洗浄処理槽であるが、主として仕上洗浄用として用
いられる。さらに、乾燥部ＳＤは基板Ｗを回転させつつ
当該基板Ｗに付着した水滴を除去、乾燥させる処理槽で
ある。なお、本実施形態においては、これら薬液槽ＣＢ
１、ＣＢ２、水洗槽ＷＢ１、ＷＢ２、ＦＲおよび乾燥部
ＳＤが基板に所定の処理を行う処理部に相当する。

【００２０】基板搬送ロボットＴＲは、水平方向および
上下方向に移動可能であり、ローダー部ＬＤから未処理
ロットを受け取って処理部に投入し、予め作成されたレ
シピに従って上記各処理槽間でロットを循環搬送すると
ともに、処理済みのロットをアンローダー部ＵＬＤに払
い出すロボットである。なお、本明細書中において、基
板処理装置にロットを投入すると言うときは、ローダー
部ＬＤから処理部に未処理ロットを投入することを示す
ものとし、基板処理装置からロットを払い出すと言うと
きは、処理済みのロットをアンローダー部ＵＬＤに払い
出すことを示すものとする。

【００２１】基板搬送ロボットＴＲは、開閉自在の一対
のハンド１１を備えている。当該ハンド１１には、その
内側に基板Ｗを保持するための複数の溝が一定のピッチ
で平行に設けられており（図示省略）、当該複数の溝に
よってロットが保持されることとなる。この基板搬送ロ
ボットＴＲによるローダー部ＬＤからのロットの受け取
りは、カセット２０の下方に設けられた図示を省略する
ホルダによってカセット２０から上昇されたロットを基
板搬送ロボットＴＲの一対のハンド１１が把持すること
によって行われる。また、アンローダー部ＵＬＤにロッ
トを渡す場合には、上記とは逆に、ハンド１１から図示
を省略するホルダにロットが渡され、そのホルダが下降
することによって、ロットがカセット２０内部に格納さ
れる。

【００２２】なお、ここに示している例は、カセット２
０からロットを取り出して、そのロットを直接基板搬送
ロボットＴＲが把持、搬送する方式の装置であるが、カ
セット２０ごと基板搬送ロボットＴＲが保持してロット
を搬送する、いわゆるカセット搬送方式の装置であって
もかまわない。

【００２３】＜２．基板処理装置の制御機構＞次に、基
板処理装置１００の制御機構について説明する。図２
は、基板処理装置１００の制御機構を説明するための機
能ブロック図である。この基板処理装置１００には、卓
上型コンピュータ３０が組み込まれており、オペレータ
は当該卓上型コンピュータ３０を介して装置に指令を与
えたり、レシピの内容、すなわち処理内容や処理条件の
設定を行ったりできる。

【００２４】卓上型コンピュータ３０は、その本体部で
あるＣＰＵ３１と、読み出し専用メモリーであるＲＯＭ
３２と、読み書き自在のメモリーであるＲＡＭ３３と、
制御用ソフトウェア、データ、レシピおよび後述するヘ
ッダファイルや詳細部ファイルなどを記憶しておく磁気
ディスク３４と、付随する入出力機器とのインターフェ
イスである入出力ポート３５と、基板処理装置１００を
直接制御する装置とのインターフェイスであるネットワ
ークポート３６と、基板処理装置１００外部に設けられ
ているホストコンピュータなどと通信を行う通信ポート
３７とを備えている。

【００２５】また、卓上型コンピュータ３０には、入出
力ポート３５を介してディスプレイ３８とキーボード３
９とが付随して設けられている。オペレータはディスプ
レイ３８の表示を確認しつつ、キーボード３９からコマ
ンドやパラメータを入力して、卓上型コンピュータ３０
に指令を与えたり、磁気ディスク３４に格納されている
レシピの内容を編集・変更することができる。また、デ
ィスプレイ３８は後述するヘッダファイルや詳細部ファ
イルを表示する表示手段としての機能を有し、キーボー
ド３９は詳細部ファイル名を指定する指定手段としての
機能を有している。なお、ディスプレイ３８とキーボー
ド３９との組み合わせに代えて、例えば、タッチパネル
などのように表示とともにコマンドやパラメータ等の入
力ができるものを用いても良い。また、キーボード３９
の代わりにマウスを用いるようにしても良い。

【００２６】卓上型コンピュータ３０に入力された指令
は、処理用のソフトウェアに基づいて処理され、必要に
応じて当該卓上型コンピュータ３０からネットワークポ
ート３６を介してマスターコントローラ４０および槽コ
ントローラ５０などに伝達される。マスターコントロー
ラ４０は、基板搬送ロボットＴＲの動作を制御するとと
もに、装置へのロットの投入時刻、装置からのロットの
払出時刻等を計測して卓上型コンピュータ３０に伝達す
る。また、槽コントローラ５０は、槽制御装置ＢＣを制
御して、各処理槽への注排液などを行うとともに、処理
液（薬液および純水の総称）の温度等を監視してそれを
卓上型コンピュータ３０に伝達する。

【００２７】マスターコントローラ４０および槽コント
ローラ５０は、それぞれメモリーとしてＲＡＭ４１、５
１とバッファ４２、５２とを備えている。このＲＡＭ４
１、５１は、それぞれマスターコントローラ４０および
槽コントローラ５０の作業用メモリーである。また、バ
ッファ４２、５２は、磁気ディスク３４からレシピが複
写されるメモリーであり複数のバッファエリアにより構
成されている。基板搬送ロボットＴＲおよび槽制御装置
ＢＣは、それぞれバッファ４２、５２に複写されたレシ
ピに従って動作する。

【００２８】＜３．基板処理装置における処理手順＞次
に、上記の本発明に係る基板処理装置１００における処
理手順について説明する。基板自体の処理は、上述した
ように、マスターコントローラ４０に制御される基板搬
送ロボットＴＲによって薬液槽ＣＢ１、ＣＢ２、水洗槽
ＷＢ１、ＷＢ２、ＦＲおよび乾燥部ＳＤの間でロットが
循環搬送され、基板に薬液処理や純水による洗浄処理が
繰り返されることによって達成される。そして、このよ
うな一連の処理は、図７に示したようなレシピに従って
行われる。

【００２９】本発明に係る基板処理装置においては、順
次に処理される各ロットごとに処理情報を記録してい
る。そして、各ロットごとの処理情報の記録は、ヘッダ
ファイルおよび詳細部ファイルの作成を通じて行われ
る。なお、本明細書において、処理情報とは、どのロッ
トについて如何なる内容の処理が行われたという実際の
処理の履歴を意味している。

【００３０】図３は、基板処理装置１００におけるヘッ
ダファイルおよび詳細部ファイルの作成手順を示すフロ
ーチャートである。まず、卓上型コンピュータ３０のＣ
ＰＵ３１が順次に処理されている各ロットについての処
理情報を取得する（ステップＳ１）。具体的には、マス
ターコントローラ４０から処理対象のロットのロットＩ
Ｄ、そのロットの装置への投入時刻、装置からの払出時
刻等の処理情報を取得する。また、槽コントローラ５０
から処理液の温度、処理槽内の内圧等の処理情報を取得
する。なお、ロットＩＤとは、処理対象のロットごとに
付与されているロットの識別符号である。

【００３１】次に、ＣＰＵ３１が取得した処理情報につ
いて、それが基板を特定する情報であるか否かを逐一判
断する（ステップＳ２）。ステップＳ１にて得られた処
理情報には、大別して２種類の情報が含まれている。そ
の一は処理の内容自体とは直接の関係は薄いものの、処
理対象とされたロットを特定するのに必要な基板特定情
報であり、具体的には例えばロットＩＤ、ロットの装置
への投入時刻、ロットの装置からの払出時刻等が該当す
る。すなわち、ロットＩＤはロットを特定するための最
も確実な情報であり、また、ロットの投入時刻、払出時
刻は、事後的に確認を行うときにロットを特定するのに
便利な情報である。

【００３２】また、処理情報の他の一は、処理対象のロ
ットに行われた実際の処理の内容・条件等を示す処理内
容情報であり、具体的には例えば処理液の温度、処理槽
内の内圧等が該当する。

【００３３】なお、いずれの種類の情報が基板特定情報
であるかは、予め設定されてテーブルとして磁気ディス
ク３４に記憶されている。ＣＰＵ３１は、そのテーブル
を参照しつつ、ステップＳ１にて得られた処理情報が上
記の基板特定情報であるか否かを判断するのである。

【００３４】処理情報が基板特定情報である場合には、
ステップＳ３に進み、当該処理情報をヘッダファイルに
記述する。一方、処理情報が基板特定情報でない場合、
すなわち処理情報が処理内容情報である場合には、ステ
ップＳ４に進み、当該処理情報を詳細部ファイルに記述
する。なお、作成されたヘッダファイルおよび詳細部フ
ァイルは、磁気ディスク３４に記憶される。

【００３５】図５は、ヘッダファイルの一例を示す図で
ある。同図に示すように、ヘッダファイルの冒頭には、
「最終ポインタ位置」と「レコード数」とが記述されて
いる。「最終ポインタ位置」はヘッダファイルの最終位
置を示す値であり、「レコード数」はヘッダファイルに
記述されているロットの数を示す値である。「最終ポイ
ンタ位置」および「レコード数」は、ヘッダファイル自
身の管理情報であって、処理対象とされたロットを特定
するための基板特定情報ではない。

【００３６】ヘッダファイルにおいて、「最終ポインタ
位置」および「レコード数」の以降には、処理対象とさ
れたロットごとに「詳細部ファイル名」、「ロットＩ
Ｄ」、「レシピ名」、「投入時刻」および「払出時刻」
の各項目について記述されている。これらのうち「ロッ
トＩＤ」、「投入時刻」および「払出時刻」については
既に説明した通りであり、それぞれロットの識別符号、
ロットの装置への投入時刻およびロットの装置からの払
出時刻である。また、「詳細部ファイル名」は後記の詳
細部ファイルと関連付けられたファイルネームであり、
「レシピ名」はそのロットの処理に使用されたレシピの
名称である。これらの「詳細部ファイル名」、「ロット
ＩＤ」、「レシピ名」、「投入時刻」および「払出時
刻」は、いずれも処理対象とされたロットを特定するの
に役立つ基板特定情報である。なお、本実施形態におい
ては、詳細部ファイル名が処理内容情報識別標識に相当
する。

【００３７】本実施形態においては、これらの項目が基
板特定情報として予め設定されてテーブルの形式にて磁
気ディスク３４に記憶されており、ステップＳ２の判断
において参照される。そして、処理対象とされた各ロッ
トごとに上記各項目の内容が基板特定情報としてヘッダ
ファイルに記述されるのである。

【００３８】一方、図６は、詳細部ファイルの一例を示
す図である。図５のヘッダファイルが１つの基板処理装
置１００について１つしか作成されないのに対して、図
６の詳細部ファイルは処理対象とされた各ロットごとに
作成されるものである。図６に示すように、詳細部ファ
イルには、処理対象とされたロットについての処理ステ
ップごとに、「処理時間」、「温度」等の各項目が記述
されている。なお、処理ステップとは大まかな処理手順
の区分である（既述した図７参照）。また、「処理時
間」、「温度」は、それぞれその処理ステップでの処理
時間、処理液の温度であり、処理対象のロットに行われ
た実際の処理の内容・条件等を示す処理内容情報であ
る。

【００３９】本実施形態においては、処理対象とされた
各ロットごと詳細部ファイルが作成され、それぞれの詳
細部ファイルには、「温度」等の各項目の内容が処理内
容情報として記述される。

【００４０】以上のように、本発明に係る基板処理装置
１００においては、基板処理についての処理情報を、処
理対象とされたロットを特定するための基板特定情報
と、処理対象のロットに行われた実際の処理の内容・条
件等を示す処理内容情報とに分別して編集し、それぞれ
ヘッダファイルおよび詳細部ファイルに記録しているの
である。

【００４１】次に、上記の処理情報の表示について説明
する。図４は、処理情報の表示手順を示すフローチャー
トである。まず、ＣＰＵ３１がリスト表示の指示の有無
を判別する（ステップＳ１１）。リスト表示の指示は、
装置のオペレータがキーボード３９を介して行うもので
ある。リスト表示の指示が無い場合は、指示が行われる
まで待たれる。

【００４２】一方、リスト表示の指示があった場合に
は、ステップＳ１２に進み、ヘッダファイルの読み込み
が行われる。ＣＰＵ３１は、磁気ディスク３４からヘッ
ダファイルを読み込み、ヘッダファイルのみをディスプ
レイ３８に表示する（ステップＳ１３）。ヘッダファイ
ルの内容は、図５に示した通りである。ヘッダファイル
には処理対象とされたロットを特定するのに役立つ基板
特定情報が記述されているため、ディスプレイ３８に表
示されたヘッダファイルをオペレータが視認することに
よって処理に供されたロットを容易に確認することがで
きる。また、ヘッダファイルにおけるロットごとの記述
形式は一定であり、その記述量も固定されているため、
項目の検索を行う場合であっても短時間で簡単に行うこ
とができる。

【００４３】処理に供されたロットを確認したオペレー
タがあるロットについての処理の詳細な内容を調査した
い場合には、キーボード３９を介して詳細部ファイル名
を指定する。なお、指定する詳細部ファイル名は、ヘッ
ダファイルに記述されている当該ロットについての詳細
部ファイル名である。ＣＰＵ３１は、詳細部ファイル名
の指定の有無を判別し（ステップＳ１４）、指定があっ
た場合にはステップＳ１５に進む。一方、詳細部ファイ
ル名の指定が無い場合には、ＣＰＵ３１はそのまま待機
することとなる。

【００４４】ステップＳ１５においては、ＣＰＵ３１が
指定された詳細部ファイル名に対応する詳細部ファイル
を磁気ディスク３４から読み込む。そして、ＣＰＵ３１
は、読み込んだ詳細部ファイルをディスプレイ３８に表
示する（ステップＳ１６）。詳細部ファイルの内容は、
図６に示した通りである。詳細部ファイルには、処理対
象のロットに行われた実際の処理の内容・条件等を示す
処理内容情報が記述されているため、ディスプレイ３８
に表示された詳細部ファイルをオペレータが視認するこ
とによって所望のロットについての処理の詳細な内容を
容易に確認することができる。

【００４５】以上のようにすれば、処理対象とされたロ
ットを特定するのに役立つロットＩＤ等の基板特定情報
が記述されたヘッダファイルのみが最初に表示されるた
め、リスト表示をする場合に比較式による検索が不要ま
たは簡単になり、高速なリスト表示が可能となる。

【００４６】そして、ヘッダファイルに記述された詳細
部ファイル名を指定するだけで、その詳細部ファイル名
に関連付けられた詳細部ファイルが表示されるため、特
定のロットの実際の処理の内容・条件等を表示させる場
合にも検索が不要となり、高速な表示が可能となる。

【００４７】また、オペレータの側から見ても、ロット
を特定するための基板特定情報が記述されたヘッダファ
イルのみを最初に確認した後、必要に応じて特定のロッ
トの実際の処理の内容・条件を短時間のうちに確認する
ことができるため、各ロットの処理情報を確認・調査す
るときの効率を向上させることができる。

【００４８】以上、本発明の実施の形態について説明し
たが、この発明は上記の例に限定されるものではない。
例えば、上記実施形態においては、ヘッダファイルに
「詳細部ファイル名」、「ロットＩＤ」、「レシピ
名」、「投入時刻」および「払出時刻」の各項目につい
て記述するようにしていたが、これ以外の項目を記述す
るようにしても良い。もっとも、ヘッダファイルには、
処理対象とされたロットを特定するための情報を記述す
ることが好ましく、少なくとも「ロットＩＤ」、「投入
時刻」および「払出時刻」の３項目については記述して
おく必要がある。

【００４９】また、詳細部ファイルにも「処理時間」、
「温度」以外の処理の内容・条件等を示す項目を記述す
るようにしても良い。例えば、上記実施形態においてヘ
ッダファイルに記述していた「レシピ名」は、詳細部フ
ァイルに記述するようにしても良い。

【００５０】また、上記実施形態の基板処理装置は、薬
液槽および水洗槽のそれぞれを個別に備えるいわゆる多
槽式の装置であったが、一つの処理槽において薬液処理
や洗浄処理を繰り返すワンバスタイプの装置としても良
い。

【００５１】また、本発明に係る基板処理装置は、処理
液中に基板を浸漬して表面処理を行う浸漬処理装置に限
定されるものではなく、基板を１枚ずつ複数の処理部に
循環搬送し、その基板を回転させつつフォトレジストの
塗布処理や現像処理を行う枚葉式の基板処理装置であっ
ても良い。

【００５２】

【発明の効果】以上、説明したように、請求項１の発明
によれば、処理情報を、処理対象の基板を特定する基板
特定情報と、基板に行われた処理の内容を示す処理内容
情報とに分別して編集し、記録しているため、処理情報
を表示するときにその目的に応じて基板特定情報または
処理内容情報を表示すればよく、基板処理についての処
理情報を高速に表示することができる。

【００５３】また、請求項２の発明によれば、基板特定
情報が少なくとも基板の識別符号と、基板の基板処理装
置への投入時刻と、基板の基板処理装置からの払出時刻
とを含むため、その基板特定情報によって基板を容易に
特定することができ、請求項１の発明と同様の効果を得
ることができる。

【００５４】また、請求項３の発明によれば、基板特定
情報がさらに処理内容情報と関連付けられた処理内容情
報識別標識を含むため、その処理内容情報識別標識によ
って容易に対応する処理内容情報を導くことができ、請
求項１の発明と同様の効果を得ることができる。

【００５５】また、請求項４の発明によれば、少なくと
も基板特定情報を表示する表示手段を備えるため、請求
項１の発明と同様の効果を得ることができる。

【００５６】また、請求項５の発明によれば、表示手段
が基板特定情報のみを表示した後、指定手段によって処
理内容情報識別標識が指定されたときに処理内容情報を
表示するため、請求項１の発明と同様の効果が得られる
のに加えて、処理情報の調査の効率を向上させることが
できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る基板処理装置の一例を示す正面概
略図である。

【図２】図１の基板処理装置の制御機構を説明するため
の機能ブロック図である。

【図３】基板処理装置におけるヘッダファイルおよび詳
細部ファイルの作成手順を示すフローチャートである。

【図４】処理情報の表示手順を示すフローチャートであ
る。

【図５】ヘッダファイルの一例を示す図である。

【図６】詳細部ファイルの一例を示す図である。

【図７】レシピの構造の一例を示す概念図である。

【図８】従来より作成されていたログファイルの一例を
示す図である。

【符号の説明】

３０卓上型コンピュータ３１ＣＰＵ３４磁気ディスク３８ディスプレイ３９キーボード４０マスターコントローラ５０槽コントローラ１００基板処理装置

フロントページの続き (72)発明者宮城智彦京都市上京区堀川通寺之内上る４丁目天神北町１番地の１大日本スクリーン製造株式会社内Ｆターム(参考） 5F043 DD23 DD30 GG10

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】基板に所定の処理を行う処理部を備え、
前記処理部にて基板の処理を行うとともに、当該処理に
ついての処理情報を記録する基板処理装置であって、前記処理情報を、処理対象の基板を特定する基板特定情
報と、前記基板に行われた処理の内容を示す処理内容情
報とに分別して編集し、記録する分別編集手段を備える
ことを特徴とする基板処理装置。
【請求項２】請求項１記載の基板処理装置において、前記基板特定情報は、少なくとも基板の識別符号と、前
記基板の前記基板処理装置への投入時刻と、前記基板の
前記基板処理装置からの払出時刻とを含むことを特徴と
する基板処理装置。
【請求項３】請求項２記載の基板処理装置において、前記基板特定情報は、さらに前記処理内容情報と関連付
けられた処理内容情報識別標識を含むことを特徴とする
基板処理装置。
【請求項４】請求項１から請求項３のいずれかに記載
の基板処理装置において、少なくとも前記基板特定情報を表示する表示手段をさら
に備えることを特徴とする基板処理装置。
【請求項５】請求項３記載の基板処理装置において、前記処理情報を表示する表示手段と、前記処理内容情報識別標識を指定する指定手段と、をさ
らに備え、前記表示手段は、前記基板特定情報のみを表示した後、
前記指定手段によって前記処理内容情報識別標識が指定
されたときに前記処理内容情報を表示することを特徴と
する基板処理装置。