KR20030019101A - 필름 라미네이트방법과 그 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 일정간격을 가지고 반주로(반송주로)상을 반송되어 오는 각 기판과 필름 공급롤로부터 풀려 나온 필름을 상기 반주로에 설치되어 있는 라미네이트 롤러 사이를 통과시킴으로써 각 기판 표면상에 필름을 부착하는 필름 라미네이트방법과 그 장치에 관한 것이다.

본 발명에서는 기판에의 필름 라미네이트전에 필름의 상태를 감시하여, 필름에 불량개소를 포함하는지의 여부를 판단하여, 불량개소를 검출하였을 때는 필름의 불량개소 영역을 회피하여, 양호영역을 기판에 붙이도록 하였다.

본 발명에 의하면 필름 공급롤로부터 풀려 나온 필름의 양호영역을 기판에 붙임으로써 정상적인 기판의 폐기매수를 저감할 수 있다.

Description

필름 라미네이트방법과 그 장치{A METHOD FOR LAMINATING FILM AN APPARATUS THEREFOR}

본 발명은 기판 표면에의 필름 라미네이트방법과 그 장치에 관한 것으로, 특히 일정간격을 가지고 반주로상을 반송되어 오는 각 기판과 필름 공급롤로부터 풀려 나온 필름을 반주로에 설치하고 있는 라미네이트 롤러 사이를 통과시킴으로써 각 기판 표면상에 필름을 부착하는(라미네이트) 필름 라미네이트방법과 그 장치에 관한 것이다.

종래, 유리기판이나 반도체기판 등에 레지스트필름 등을 부착하는 액정 제조라인이나 반도체 제조라인 등에 있어서는, 필름 라미네이트장치의 하류에 필름 라미네이트후의 기판 표면상태를 감시하기 위한 광학적 감시장치를 설치하여 빛의 반사정도 등으로부터 기판과 필름 사이에 보이드가 존재하도록 하는 필름 라미네이트상황이나 필름에 주름이 존재하고 있는 것 같은 필름 표면상태 등을 검사한다.

그리고 불량개소 등이 검출된 경우는 제조라인으로부터 불량기판을 제거하고, 불량기판에 관하여 다시 가공처리는 실시하지 않도록 하는 방법이 취해지고 있다.

또한 필름 라미네이트장치로서는, 일본국 특개평5-338041호 공보나 특개평6-210595호 공보에 기재된 것이 있다.

필름 라미네이트전의 기판은 정상품이어도, 라미네이트후에 불량기판이 된 것은 필름을 박리하여 재이용을 도모하려고 하여도 기판 표면에 오염이 남아 재이용은 곤란하다.

따라서 불량기판을 검토하여 본 바, 필름 라미네이트에 기인하는 보이드발생등은 별도로 하고, 필름 라미네이트에 기인하지 않는다고 생각되는 불량을 찾아내었다. 즉 필름 공급롤로부터 풀려 나온 시점에서 이미 필름이 불량개소를 포함하고 있음을 확인하였다.

그러므로 본 발명의 목적은 필름 공급롤로부터 풀려 나온 필름의 양호영역을 기판에 붙임으로써 정상인 기판의 폐기매수를 저감할 수 있는 필름 라미네이트방법을 제공하는 것에 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시형태가 되는 라미네이트장치를 나타내는 개략도,

도 2는 도 1에 나타낸 라미네이트장치에서 사용하는 필름의 구조를 나타내는 도,

도 3은 도 1에 나타낸 라미네이트장치의 제어장치에서 실행하는 필름 라미네이트의 플로우프로그램을 나타내는 도,

도 4는 도 3의 플로우프로그램에 있어서의 티칭처리로 입력하는 데이터에 관하여 설명하는 도,

도 5는 도 1의 라미네이트장치에 있어서의 감시장치에서 얻은 검출결과에 의거하여 제어장치에서 작성하는 필름 관리파일을 설명하는 도,

도 6은 도 1의 라미네이트장치의 운전준비상황을 나타내는 개략도,

도 7은 도 1의 라미네이트장치로 라미네이트가 끝난 1매째 기판의 체재상태를 나타내는 개략도,

도 8은 도 1의 라미네이트장치로 라미네이트가 끝난 1매째 기판에 계속해서 2매째의 기판에도 라미네이트한 상태를 나타내는 개략도,

도 9는 도 1의 라미네이트장치로 1매째의 기판에 라미네이트한 후의 필름에불량개소가 있는 경우에 필름을 폐기하는 상황을 나타내는 개략도이다.

상기 목적을 달성하는 본 발명의 특징으로 하는 점은 기판에의 필름 라미네이트전에 필름의 상태를 감시하여 필름에 불량개소를 포함하는지의 여부를 판단하고, 불량개소를 검출하였을 때는 이 불량개소를 포함하는 필름의 불량개소 영역을 폐기하고, 양호영역만을 기판에 붙이도록 한 것에 있다.

이하, 도면에 나타내는 실시형태에 의거하여 본 발명을 상세하게 설명한다.

도 1에 있어서, 1은 필름(2)의 필름 공급롤이고, 이 필름(2)은 도 2에 나타내는 바와 같이 베이스필름(2a)과 레지스트필름(2b)과 커버필름(2c)을 3층 구성으로 겹친 것이다.

필름(2)은 필름 공급롤(1)로부터 풀어 내면, 즉시 커버필름(2c)을 박리하고,박리한 커버필름(2c)은 감아들임 롤(3)에 회수한다. 필름 공급롤(1)에는 필름(2)을 풀려 나온 방향과 역향인 토오크를 인가하고 있고, 필름의 풀어 냄량에 관계없이 일정한 장력을 필름(2)에 인가하도록 하고 있다.

4는 가이드롤, 5는 필름 표면상태의 감시장치이다.

감시장치(5)는 풀려 나온 필름면의 상태를 미리 정하여 놓은 샘플링주기로 감시하는(미소한 시간마다 감시함) 광학센서를 가지고, 색성분(RGB)검지 및 명암검지에의한 디지털 컬러판별을 행한다.

필름(2)의 불량개소는 레지스트필름(2b)에 있어서의 두께의 불균일이나 변색 등이고, 양품 필름에 비하여 색성분이나 명도가 다르다. 따라서 감시장치(5)는 필름 표면상태를 광학센서로 검지하여 제어장치(6)에 측정결과를 전송한다.

제어장치(6)에 있어서의 판정부는 양품으로서의 필름색에 얼마만큼 가까운지를 일치도(0 내지 999)로 판정한다. 일치도에 임의의 한계치를 설치하여 샘플링때마다 그 한계치보다도 클 때는 양호하다고 판정하고, 작을 때는 불량이라고 판정하여, 판정결과는 뒤에서 설명하는 필름관리 데이터파일에 저장하여 둔다. 또한 6a는 제어장치(6)에 부속된 조작패널이다.

7은 기판간 처리장치이고, 필름(2)에 있어서의 레지스트필름(2b)의 폭방향으로 2매의 원반 커버 등으로 2열의 절단선을 설치하여 절단선 사이의 레지스트필름 (2b)을 벗겨 내어 베이스필름(2a)을 노출시키는 기판간 처리를 행한다.

베이스필름(2a)상에 남은 레지스트필름(2b)을 기판에 부착하는 것이 된다. 따라서, 기판간 처리로 제거하는 레지스트필름(2b)에 있어서의 2열의 절단선의 간격(폭)은 연속하여 반송하고 있는 기판 사이의 간격과 각 기판의 레지스트필름을 붙이고 싶지 않은 길이의 합이 된다.

8은 필름 텐션유지 롤러이고, 롤러 표면에 슬릿이 있어 필름(2)을 흡인하여 필름의 반송(풀어 냄)방향과 역방향으로 회전하고, 하류의 라미네이트 롤러(9)로부터 필름 텐션유지 롤러(8)까지의 필름텐션을 일정하게 유지하도록 하고 있다. 10은 라미네이트 롤러(9)로부터 필름 텐션유지 롤러(8)까지의 필름텐션값을 측정하는 토오크센서를 가지는 가이드롤러이고, 토오크센서에서 검출한 토오크는 제어장치(6)에 보내어 필름텐션이 언제나 일정하게 되도록 필름 텐션유지 롤러(8)의 회전속도를 제어장치(6)에 의하여 제어하고 있다.

11은 반주로상을 상류로부터 기판(12)이 일정시간 이상 반송되지 않았을 때에 라미네이트 롤러(9)와 필름(2)의 접촉을 피하기 위한 가이드롤러이다. 상류기로부터의 기판반송 대기상태에서는 가이드롤러(11)는 강하하여 필름(2)과 라미네이트 롤러(9)와의 접촉을 피한다. 또 필름 라미네이트시에는 가이드롤러(11)는 상승하여 가이드롤러(10)로부터 라미네이트 롤러(9)에 필름을 반송한다. 또한 9a는 라미네이트 롤러(9)의 가압량(선압)을 균일하게 유지하는 백업롤이다.

13은 일정간격을 가지고 연속적으로 반송되어 오는 기판(12)을 보온하기 위한 보온장치, 14는 상류장치로부터 기판을 본 장치에 반입하기 위한 반송장치, 15는 기판반송 지지롤러, 16은 라미네이트후의 기판을 반송하기 위한 제 1 기판 닙롤러, 17은 필름을 반송하기 위한 필름 닙롤러, 18은 연속적으로 라미네이트되어 필름(2)으로 연결된 상태가 된 기판(12)과 기판(12)을 레이저커터 등으로 분리하기위한 기판 분리장치, 19는 상하 이동이 가능한 기판반송 지지롤러, 20은 필름 폐기롤러, 21은 라미네이트후의 기판을 반송하기 위한 제 2 기판 닐롤러이다.

필름 폐기롤러(20)는 뒤에서 설명하는 바와 같이 도시한 위치로부터 필름 닙롤러(17)의 하류위치의 범위에서 기판(12) 또는 필름(2)의 반송로에서의 반송방향의 전후로 이동할 수 있도록 되어 있다. 그리고 그 상류방향 또는 하류방향으로의 이동시에는 기판반송 지지롤러(19)는 이동이 방해가 되지 않도록 제어장치(6)에 의하여 강하된다.

22는 분리후의 기판을 배출하기 위한 배출장치, 23은 폐기필름 가이드, 24는 폐기필름의 감아 들임 롤, 25는 폐기필름을 감아 들임 롤(24)에 부착하는 가압롤러이다.

필름(2)은 감아 들임 롤(24)측이 레지스트필름(2b)으로 되어 있기 때문에 폐기필름을 가압롤러(25)로 감아 들임 롤(24)에 가압하면 레지스트필름(2a)의 점착성으로 붙여 감아 들일 수 있다.

제어장치(6)는 상기 각 센서에서의 검지결과나 조작패널(6a)로부터 입력한 라미네이트처리하기 위한 티치데이터나 장치 의존 데이터 등의 각종 데이터를 저장하기 위한 RAM, 라미네이트처리의 플로우프로그램을 저장한 ROM, 하드디스크, 그들 사이에서 신호의 교신을 행하는 인터페이스 등으로 구성되는 중앙처리장치나 각 구동부에 동작신호를 보내는 드라이버장치, 각종 데이터를 표시하는 모니터화면 등을 구비하고 있다.

기판(12)은 반송방향에서의 길이가 정렬된 복수매를 로트로 하여 필름 라미네이트처리를 행하나, 로트에 있어서 변경이 있었을 경우에는 기판의 길이에 맞추어 제어장치(6)에 의하여 기판이나 필름의 반송을 행하는 각 롤러의 위치를 반송방향에 있어서 약간 이동시켜 세팅할 수 있도록 되어 있다.

다음에 도 3의 플로우 프로그램에 따라 기판(12)에의 필름 라미네이트에 대하여 설명한다.

먼저 제어장치(6)의 전원을 넣어 단계(이하, S라 약기함)(100)의 티칭처리를 행한다.

티칭처리(S 100)에서는 미리 도 4에 나타낸 기판(12)의 폭(L1), 기판(13)의 길이(L2), 기판(13)에의 필름(2)의 부착 선단위치(P1), 기판(12)에의 필름(2)의 부착 길이(D1), 연속 라미네이트시의 기판 간격처리를 실시한 길이(D2)에 관한 데이터, 및 라미네이트 롤러(9)나 백업롤러(9a) 등의 설정온도 데이터, 또한 필름(2)에 거는 텐션의 데이터, 동일 로트로 부착하는 기판매수 등의 입력을 행하여, 제어장치 (6)의 RAM에 저장하여 둔다.

또한 기판간 처리장치(7)로부터 라미네이트 롤러(9)까지의 필름(2)의 길이는 기판(12)에의 필름(2)의 부착 길이(D1)와 연속 라미네이트시의 기판 간격처리를 실시한 길이(D2)의 정수배가 되도록 하여, 연속하여 반송되어 오는 각 기판(12)의 부착 길이(D1)에 대하여 부착 선단위치(P1)를 기준으로 하여 필름(2)에 남아 있는 부착하는 레지스트필름(2b)의 길이가 일치하도록 하고 있다. 그리고 기판간 처리장치 (7)에서 기판 간격처리를 실시할 때마다 길이(D1)의 각 레지스트필름(2b)에는 도 5에 나타내는 바와 같이 제어장치(6)의 RAM에 있어서의 필름관리 데이터파일(F)상에 있어서 부착하는 각 기판(12)에 대응시켜 필름번호(n)를 붙여 저장하여 둔다.

다음 운전준비처리(S200)에서는 조작패널(6a) 중의 기동버튼에 의하여 제어장치(6)는 운전준비동작을 개시한다. 운전준비로서는 티칭처리(S100)에서 입력된 기판 (12)의 길이에 맞도록 도 6에 나타낸 컨베이어(26)로 각 롤러의 위치를 반송방향에있어서 약간 이동시킨다. 그 후 본 장치내에 세트된 필름의 텐션을 유지하기 위하여 필름 공급롤(1), 감아 들임 롤(3), 필름 텐션유지 롤러(8)를 회전구동시켜, 필름 닙롤러(17)로 필름(2)을 닙한다. 또 필름 폐기롤러(20)와 감아 들임 롤(24)을 일정 토오크로 회전구동하여 필름을 폐기하기 위한 준비를 행한다. 기판 반입용에 기판반송 지지롤러(19)를 상승시키고, 다음에 가이드롤(11)을 하강시켜 라미네이트 롤러 (9)와 백업 롤러(9a)를 반송로 위치로부터 상하 각 방향으로 대피시켜, 필름(2)과의 접촉을 피한 상태로 하고, 라미네이트 롤러(9)와 백업 롤러(9a)나 보온장치(13)가 S 100에서 설정한 온도설정이 되도록 온도제어를 행한다.

필름 관리파일(F)의 데이터작성을 위하여 필름폐기 롤러(20)를 컨베이어(27)에 의하여 도 6에 점선으로 나타내는 바와 같이 필름 닙롤러(17)의 근방까지 이동시켜 필름(2)을 닙하고 나서 하류측으로 구동하여 필름(2)을 반송한다.

이때 필름 관리파일(F)에 있어서의 필름번호(No)(n)는 라미네이트 롤러 입구위치의 필름번호를 선두(n = 1)로 하여 기판간 처리장치(7)까지의 뒷부분을 n = n으로 하고 있으나, 다시 다음으로 밀려 센서 상면의 필름위치를 n = n으로 하여도 좋다. 필름반송 중에 감시장치(5)로 필름(2)의 표면상태를 감시하고, 제어장치(6)의 판정부에서는 상기한 바와 같이 일치도가 한계치 이하이면 불량개소가 있다고하여 필름 관리파일(F)의 필름번호(n)에 대응한 필름상태란에 플래그(1)를 세트하고, 조작패널(6a)상이나 모니터화면에 불량 검출표시와 버저콜을 행한다. 불량이 검출되지 않은 경우는 플래그를 세우지 않고 필름번호(n)에 대응한 필름상태란에 0을 세트한다. 그리고 필름(2)의 반송에 맞추어 필름 관리파일(F)의 필름번호란 및 필름상태란은 도 5(b)와 같이 라미네이트 롤러 입구위치를 향하여 진보(시프트)시켜 간다. 또한 준비단계에 있어서의 필름반송 중은 감아 들임 롤(24)에 선행하고 있는 여분의 필름(2)은 감아 들이고 있다.

그리고 필름상태 확인처리(S 300)에 있어서, 2매째 이후의 기판반입 개시전에 필름 관리파일(F) 중의 필름번호(n = 1)의 필름상태 데이터를 판독한다.

다음에 필름불량 판단처리(S400)로 진행하여 판독한 필름상태 데이터가 0인 지를 확인하고, 0이면 이제부터 부착하는 필름이 양품상태라고 하여, 1매째 기판반입처리(S 600)를 개시한다.

한편 필름불량 판단처리(S 400)에서 필름상태 데이터가 1로 되어 있으면, 이제부터 부착하는 필름에 불량개소가 있음을 나타내고 있으므로, 필름 폐기처리(S 500)로 진행하여 필름 닙롤러(17)로 라미네이트량(D1)(불량개소를 포함하는 기판 1매분에 상당하는 길이 = 불량개소 영역)의 필름을 보내고, 필름(2)은 감아 들임 롤(24)에 감아 들여 간다. 또한 필름(2)의 반송이 있으면 감시장치(5)는 필름(2)의 표면상태를 감시하고, 검출결과는 제어장치(6)에 보내어 그 RAM에 저장하고, 필름 관리파일(F)의 작성에 제공한다.

라미네이트 롤러 입구위치에서 불량개소를 포함하는 필름(2)의 불량개소 영역의 폐기가 종료되었으면, 필름상태 확인처리(S 300)로 되돌아가서, 라미네이트 롤러 입구에 도달하고 있는 다음에 부착하는 필름번호(n = 1)(직전에는 n = 2이었던 것이 시프트하여 n = 1로 되어 있음) 필름(2)에 대하여 필름상태 데이터를 판독하여, 필름불량 판단처리(S 400)에서 다시 불량개소가 없는지의 여부를 판단하여, 없으면 1매째 기판 반입처리(S 500)로 진행하고, 있으면 필름 폐기처리(S 500)로 진행하여 상기의 처리를 반복한다.

여기서는 1매째 기판 반입처리(S 500)로 진행한 것으로 하여 이 처리에 대하여 설명한다.

1매째 기판 반입처리(S 500)에서는 반송장치(14)에 의하여 기판(12) 폭방향의 경사를 라미네이트 롤러(9)의 각도에 대하여 보정하고 나서, 라미네이트 롤러(9)밑의 임의위치까지 반송한다.

그후 1매째 라미네이트처리(S 700)에서 라미네이트 롤러(9), 백업 롤러(9a)로 기판(12)을 닙하고, 가이드롤러(11)를 상승시켜 미리 티칭된 라미네이트 길이(D1)량에 대하여 필름(2)을 기판(12)에 붙인다. 이 라미네이트 중, 필름(2)은 반송되고 있으므로, 상기한 바와 같이 감시장치(5)에서 필름(2)의 표면상태의 감시를 하고 있 다. 또 기판간 처리장치(7)는 1매의 기판분[티치데이터량(D1)]의 필름(2)이 반송될 때마다 티치 데이터량(D2)의 레지스트필름(2b)를 제거하는 상기한 기판간 처리를 행하고 있다.

필름(2)부착이 종료하면 1매째 기판 분리처리(S 800)로 진행하여, 도 7에 나타내는 바와 같이 제 1 기판 닙롤러(16)에 의하여 필름부착이 종료된 기판(12)을닙하여 라미네이트 롤러(9), 백업 롤러(9a)를 대피시키고, 가이드롤(11)을 하강시킨다. 이어서 기판 분리장치(18)에 의하여 기판(12)과 여분의 필름을 커트하여 필름 폐기롤러(20)를 개방하여 필름유지를 개방한다.

개방과 동시에 여분의 필름(2)은 감아 들임 롤(24)에 회수한다.

한편 기판(12)은 제 1 기판 닙롤(16)에 의하여 티치데이터(D2)량만큼 하류측으로 반송되어 다음의 기판반입을 기다린다. 또 필름 관리파일(F)의 각 필름번호 (n)와 대응하는 필름상태 데이터를 각각 1 필름번호분, 시프트시킨다. 또한 도 7에서는 기판 분리장치(18)로 필름(2)을 커트하는 상황을 나타내고 있다.

그후 필름상태 확인처리(S900)로 진행하여 필름상태 확인처리(S300)와 마찬가지로 2매째 이후의 기판반입 개시전에 필름 관리파일(F) 중의 필름(n = 1)의 필름상태 데이터를 판독하여 필름불량 판단처리(S 1000)에 있어서 필름상태 데이터에 플래그(1)가 있는지의 여부를 확인한다.

플래그(1) 없어 필름번호(n = 1)의 필름(2)이 양호한 것이면, 2매째 이후 기판 반입처리(S 1200)로 진행한다. 그리고 2매째 이후 기판 라미네이트처리(S 1300), 2매째 이후 기판 분리처리(S 1400)에서는 상기한 1매째 라미네이트처리(S 700), 1매째 기판 분리처리(S 800)와 동일한 처리를 행한다. 이미 라미네이트되어 장치내에 체재하고 있는 기판(12)은 라미네이트속도에 동기하여 제 1 기판 닙롤러(16), 제 2 기판 닙롤러(21)에 의하여 하류방향의 분리위치로 반송한다.

도 8은 이 상태를 나타내고 있다.

2매째 이후 기판 분리처리(S 1400)에 있어서, 기판 분리장치(18)에 의하여분리된 라미네이트가 끝난 기판(12)은, 제 2 기판 닙롤러(21)로 배출장치(22)에 건네어 기판을 하류기에 반출한다.

필름불량 판단처리(S 1000)에 있어서, 필름 관리파일(F)의 필름번호(n = 1)의 필름상태 데이터 중에 1이 설정되어 있을 때는 기판 배출처리(S 1100)에서 라미네이트가 끝난 기판(12)의 배출을 행한다.

즉, 이 기판 배출처리(S 1100)에서는 2매째의 기판반입은 하지 않고, 도 9에 나타내는 바와 같이 제 1 기판 닙롤러(16), 제 2 기판 닙롤러(21)에 의하여 라미네이트가 끝난 기판(12)을 제 2 기판 닙롤러(21)가 위치하는 기판 분리위치로 반송하고, 필름 폐기롤러(20)를 컨베이어(27)로 필름 닙롤러(17)의 근방까지 이동시켜 필름을 닙하여 필름텐션을 유지한다. 이 기판 분리위치에의 반송 중에 있어도 감시장치(5)로 필름 표면상태의 검출감시를 한다. 그리고 불량개소를 포함하는 기판 1매분에 상당하는 길이의 필름(2)은 라미네이트 롤러(9)의 출구측으로부터 기판 분리장치(18)까지의 사이로 이동하여 폐기에 대비한다.

기판 분리장치(18)에 의하여 필름(2)과 라미네이트가 끝난 기판(12)을 분리하여 라미네이트가 끝난 기판을 배출한다.

이 경우의 기판배출이나 2매째 이후 기판 분리처리(S 1400)에서 라미네이트가 끝난 기판을 배출하였으면 티칭처리(S 100)에서 입력한 기판 매수에 대하여 배출시마다 나머지 매수를 1매씩 줄여 둔다.

기판 배출상태에서는 라미네이트 롤러(9)의 출구측으로부터 기판 분리장치 (18)까지의 사이에 기판(12)이 존재하지 않으므로, 필름상태 확인처리(S 300)로 되돌아가, 상기한 처리를 반복하고, 불량개소를 포함하는 기판 1매분에 상당하는 길이의 필름(2)은 필름 폐기처리(S 500)에 있어서 감아 들임 롤(24)에 감아 들여 필름상태 확인처리(S 300)로 되돌아가거나, 1매째 기판 분리처리(S 800)에 있어서 감아 들임 롤(24)에 감아 들여 필름상태 확인처리(S 900)로 진행한다.

2매째 이후 기판 분리처리(S 1400)에서 기판 분리후는 연속 라미네이트판단처리(S 1500)를 실행하고, 티칭처리(S 100)에서 입력한 기판매수에 대하여 나머지 매수를 확인함으로써 후속의 기판이 있는지의 여부를 판단하고, 있으면 필름상태 확인처리(S 900)로 되돌아가서, 나머지 매수가 0이 될 때까지 상기의 처리를 반복한다.

이상 설명한 바와 같이 본 실시형태에 의하면 필름(2)에 불량개소가 있으면 기판(12)에 부착하기 전에 불량개소를 포함하는 기판에 부착하는 영역의 필름(2)을 불량개소 영역으로서 폐기한다. 따라서 정상적인 기판(12)에 불량개소를 포함하는 필름을 부착하여 불량취급으로 하는 것을 회피할 수 있어 생산원가의 저감을 도모할 수 있다.

감시장치(5)는 기판간 처리장치의 상류에 있으므로, 필름 표면상태의 감시결과는 기판간 처리에 좌우되지 않는다.

감시장치(5)에서의 필름 표면상태 감시에 있어서, 불량개소가 도 4에서 설명하는 기판간 부분[티치 데이터(D2)량의 개소]에 존재하고 있을 때는 그 기판간 부분은 도 5의 필름 관리파일(F)의 필름번호(n)에 해당하지 않으므로, 필름상태란은 0으로 하여 기록을 남기지 않도록 한다. 그렇게 함으로써, 필름(2)의 소모도 저감할 수 있다.

도 1에 있어서의 기판 분리장치(18)는 라미네이트가 끝난 기판끼리의 분리와 불량개소를 포함하는 필름의 커트가 가능한 위치에 배치하고 있어, 구조의 간략화를 도모하고 있으나, 불량개소를 포함하는 필름의 커트전용의 커터를 필름 닙롤러(17)의 하류 근방 등에 설치하여 두면 불량개소가 있어 필름을 폐기하는 양을 도 9에 나타낸 기판 1매분으로부터 불량개소 제거의 길이로 저감할 수 있다.

도 1의 실시형태에서는 감시장치(5)는 필름 공급롤(1)로부터 풀려 나온 필름 그자체를 감시하고 있으나, 필름에 앞서 작업자가 점검하여 붙여 두어 불량개소 표시 마크 등을 검출하는 것이어도 좋다.

또 도 1의 실시형태에서는 기판의 상면에 필름을 라미네이트하고 있으나, 반송로를 경계로 하여 경면 대칭적으로 필름 공급롤이나 감시장치, 기판간 처리장치 등이 있어 기판의 하면에 필름을 라미네이트하도록 되어 있어도 좋다.

기판간 처리장치로서, 레지스트필름을 제거하는 예로 설명하였으나, 기판 간 부분의 레지스트필름상에 비접착성 테이프를 레지스트필름의 접착성을 이용하여 폭방향으로 부착하여 기판의 전후단부에 레지스트필름이 접촉하지 않도록 하는 것이어도 좋다.

다시 폐기 필름은 도 1에 나타낸 아래쪽의 필름 폐기롤러(20)에 가압하여 롤러(25)로 가압하여 감아 들이도록 하고, 폐기 필름가이드(23)나 감아 들임 롤(24)을 생략하여도 좋다. 이 경우 가압롤러(25)는 아래쪽의 필름 폐기롤러(20)의 바로 하류에 설치한다.

이상 설명한 바와 같이 본 발명에 의하면, 필름 공급롤로부터 풀어 내진 필름의 양호영역만을 기판에 부착함으로써 정상적인 기판의 폐기매수를 저감할 수 있다.

Claims (9)

1. 일정간격을 가지고 반주로상을 반송되어 오는 각 기판과 필름 공급롤로부터 풀려 나온 필름을 상기 반주로에 설치하여 둔 라미네이트 롤러 사이를 통과시킴으로써 각 기판 표면상에 필름을 부착하는 필름 라미네이트방법에 있어서,

   기판에의 필름 라미네이트전에 필름의 상태를 감시하여 필름에 불량개소를 포함하는지의 여부를 판단하고, 불량개소를 검출하였을 때는 필름의 상기 불량개소를 포함하는 영역을 폐기하고, 양호영역을 기판에 붙이도록 한 것을 특징으로 하는 필름 라미네이트방법.
2. 제 1항에 있어서,

   필름에 불량개소를 포함하는지의 여부를 판단하여, 불량개소를 검출하였을 때는 불량개소를 포함하는 기판 1매분에 상당하는 길이의 필름을 불량개소 영역으로서 폐기하는 것을 특징으로 하는 필름 라미네이트방법.
3. 제 1항에 있어서,

   상기 불량개소가 기판에 부착하는 영역에 포함되어 있는 경우에, 상기 불량개소를 포함하는 기판 1매분에 상당하는 길이의 필름을 불량개소 영역으로서 폐기하는 것을 특징으로 하는 필름 라미네이트방법.
4. 재 1항에 있어서,

   필름은 각 기판 표면상에 부착하는 필름층과 이 필름층을 지지하는 베이스필름층의 다층구성을 가지고, 필름의 상태를 감시하여 기판에의 필름 라미네이트를 하기 전에 필름의 필름층이 기판의 전후단부에 접촉하지 않도록 하는 필름의 기판간 처리를 행하는 것을 특징으로 하는 필름 라미네이트방법.
5. 제 4항에 있어서,

   필름의 상태를 감시하여 필름의 기판간 처리를 행하는 영역에 불량개소를 검출하였을 때는 그대로 기판간 처리를 하여, 양호영역을 기판에 붙이도록 한 것을 특징으로 하는 필름 라미네이트방법.
6. 제 4항에 있어서,

   기판간 처리는 기판 사이와 필름의 필름층이 기판의 전후단부에 접촉하는 것을 바라지 않는 영역에 상당하는 필름의 필름층을 제거하는 처리이거나 상기 상당하는 필름의 필름층 위에 비접착성의 테이프를 부착하는 처리인 것을 특징으로 하는 필름 라미네이트방법.
7. 일정간격을 가지고 반주로상을 반송되어 오는 각 기판과 필름 공급롤로부터 풀려 나온 필름을 상기 반주로에 설치하여 둔 라미네이트 롤러 사이를 통과시킴으로써 각 기판 표면상에 필름을 부착하는 필름 라미네이트장치에 있어서,

   기판에의 필름 라미네이트전에 필름의 상태를 감시하는 감시수단,

   상기 감시수단에서 얻은 검출결과로부터 필름에 불량개소를 포함하는지의 여부를 판단하는 판단수단,

   상기 판단수단이 불량개소를 검출하였을 때에 필름의 불량개소 영역을 폐기하고 양호영역을 기판에 부착하는 수단을 가지는 것을 특징으로 하는 필름 라미네이트장치.
8. 제 7항에 있어서,

   상기 감시수단의 하류에 필름에 대하여 기판간 처리를 행하여 필름이 기판의 전후단부에 접촉하지 않도록 하는 수단을 구비한 것을 특징으로 하는 필름 라미네이트장치.
9. 제 7항에 있어서,

   상기 감시수단은 색성분검지 및 명암검지에 의한 디지털 컬러판별을 행하는 광학센서이고, 상기 판단수단은 양품으로서의 필름색에 얼마만큼 가까운지를 일치도로 판정하고, 상기 일치도가 한계치보다도 클 때는 양호하다고 판정하고, 작을 때는 불량이라고 판정하는 것을 특징으로 하는 필름 라미네이트장치.