KR20030001312A - 반사판, 그 제조방법, 액정표시장치 및 그 제조방법 - Google Patents

Abstract

반사판(11)은 물결모양표면을 가지도록 그리고 특정 방위각에 관련하여 표면의 법선방향들의 불균일한 분포를 가지도록 형성된다. 이 물결모양표면은 선형돌기패턴들(18) 및 제2절연층(19)에 의해 형성된다. 돌기패턴들(18)은 서로 교차하여 각각이 폐(closed)도형의 형상을 갖는 오목부들을 형성한다. 돌기패턴들(18)은 패터닝에 의해 형성되어, 거의 균일한 두께를 가진다.

Description

반사판, 그 제조방법, 액정표시장치 및 그 제조방법{Reflection plate, manufacturing method thereof, liquid crystal display device and manufacturing method thereof}

본 발명은 높은 콘트라스트를 달성할 수 있는 반사판, 그 제조방법, 액정표시장치 및 그 제조방법에 관한 것이다.

외부로부터 들어오는 입사광을 표시용 광원으로서 사용하여 그 속에 구비된 반사판으로써 반사하는 반사형 액정표시장치가 알려져 있다. 이 반사형 액정표시장치는 광원으로서 백라이트를 필요로 하지 않는다. 그러므로, 반사형 액정표시장치는 투과형 액정표시장치에 비해 전력소비를 더울 줄일 수 있고 더 얇게 될 수 있고, 그래서 휴대전화 등에 사용된다.

반사형 액정표시장치는 액정셀 내에 봉지된 액정, 액정을 구동하기 위한 스위칭소자들, 및 액정셀 내부 또는 외부에 마련된 반사판을 포함한다. 이 반사형 액정표시장치는 예를 들면 스위칭소자들로서 박막트랜지스터들을 채용하는 능동매트릭스형 액정표시장치이다.

반사판에 법선방향(관람자 방향)으로 산란되는 광을 증가시켜 콘트라스트를 향상시키기 위하여 요철패턴을 갖는 반사전극이 그 표면에 형성된 반사판을 포함하는 액정표시장치는, 반사형 액정표시장치로서 개발되었다. 이러한 액정표시장치는일본특허 제2825713호 및 다른 공보들에 개시되어 있다.

이 액정표시장치에서, 물결패턴들은, 광반사층 아래에, 수지로 이루어진 복수개의 실린더형 돌기부들을 배치함으로써 형성된다. 이 광반사층은 돌기패턴들이 형성된 반사판 위에 유기절연막을 개재하여 형성된다. 도 21에 보인 평면도에 도시된 바와 같이, 각각이 원형단면을 갖는 복수개의 돌기부들은 반사판의 표면상에 서로 독립적으로 배치된다. 원형단면을 갖는 돌기패턴들은 높은 광산란특성을 가지며, 입사광을 거의 균일하게 전(全)방위각 방향으로 반사한다.

극각(polar angle)은 도 22에 보인 반사판의 법선방향에서부터 측정된 각도(φ1)이고, 방위각은 반사판에 평행한 면에서 측정된 각도(φ2)이다. 일반적으로, 반사판의 반사특성들(방위각, 극각, 세기)은 -30도의 극각방향으로 들어오는 입사광의 반사광을 검사함으로써 관측된다.

0도의 극각방향 쪽으로(법선방향 쪽으로) 높은 반사광세기를 달성하는 반사판은 그것이 사용될 때 액정표시장치의 콘트라스트를 향상시킨다는 점에서 요구된다. 그러나, 도 21에 보인 것과 같은 돌기패턴들을 갖는 반사판은 전방위각 쪽으로 거의 균일하게 광을 반사한다. 따라서, 극각 및 반사광세기 사이의 관계는, 도 23의 그래프에 보인 바와 같이, 정규분포에 유사한 상태를 나타낸다. 그러므로, 원형단면을 갖는 돌기패턴들을 사용하여 0도의 극각방향 쪽으로 반사광세기가 얼마나 많이 향상될 수 있는 지에 대하여는 한계가 존재한다.

또한, 동일한 문제는, 반사형 액정표시장치에 한하지 않고, 일본특허 제2955277호에 개시되어 있는 바와 같은, 이른바 반투과형 액정표시장치에도 있을수 있다. 이 액정표시장치는, 투과영역과 반사영역을 갖는 화소전극과, 반사판을 구비하여, 투과 및 반사형 둘 다의 기능을 가진다. 이와 같은 액정표시장치도 역시, 반사판을 가져, 동일한 문제를 가진다.

전술한 상황을 고려한 본 발명의 목적은, 높은 콘트라스트를 달성할 수 있는 반사판, 그 제조방법, 액정표시장치 및 그 제조방법을 제공함에 있다.

본 발명의 다른 목적은, 반사판의 법선방향 쪽으로 광을 효율적으로 반사할 수 있는 반사판, 그 제조방법, 액정표시장치 및 그 제조방법을 제공함에 있다.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 반사형 액정표시장치의 단면을 보여주는 도면,

도 2a 및 2b는 반사되는 광을 도시하는 도면들,

도 3a 내지 3f는 도 1에 보인 하부기판을 제조하는 단계들을 보여주는 도면들,

도 4는 마스크패턴을 보여주는 도면,

도 5a 내지 5c는 마스크패턴의 교차부의 확대도들,

도 6a는 기본도형의 확대도이고, 도 6b 내지 6d는 도 6a를 A-A선을 따라 절단한 때의 단면도들,

도 7a 및 7b는 이 실시예에 따른 반사판에 관련하여, 반사광세기와 방위각 및 극각 사이의 관계를 보여주는 그래프들,

도 8은 등변삼각형의 기본도형을 갖는 돌기패턴을 보여주는 도면,

도 9는 측면의 선폭 및 두께 사이의 관계를 보여주는 그래프,

도 10은 180도의 방위각에서의 극각 및 반사율 사이의 관계를 보여주는 그래프,

도 11a 및 11b는 선폭이 변하는 경우에 극각 및 반사율 사이의 관계를 보여주는 그래프들,

도 12a 내지 12c는 측면의 길이가 변하는 경우의 극각 및 반사율 사이의 관계를 보여주는 그래프들,

도 13a 및 13b는 평탄화율이 변하는 경우의 극각 및 반사율 사이의 관계를 보여주는 그래프들,

도 14는 2등변삼각형 기본도형을 갖는 돌기패턴을 보여주는 도면,

도 15a 및 15b는 무작위도(randomness)가 변하는 경우의 극각 및 반사율 사이의 관계를 보여주는 그래프들,

도 16a 및 16b는 다른 마스크패턴들이 사용되는 경우의 극각 및 반사율 사이의 관계를 보여주는 그래프들,

도 17은 유기절연막의 두께가 변하는 경우의 방위각 및 반사율 사이의 관계를 보여주는 그래프,

도 18a 내지 18c는 이 발명의 다른 실시예에 따른 하부기판을 제조하는 단계들을 보여주는 도면들,

도 19는 노광량이 변하는 경우의 방위각 및 반사율 사이의 관계를 보여주는 그래프,

도 20은 이 발명의 다른 실시예에 반투과형 액정표시장치를 보여주는 도면,

도 21은 종래의 돌기패턴들을 보여주는 평면도,

도 22는 극각 및 방위각을 설명하기 위한 도면,

도 23은 도 21에 보인 돌기패턴들이 사용되는 경우의 극각 및 반사광세기 사이의 관계를 보여주는 그래프.

위의 목적들을 달성하기 위한 본 발명의 제1양태에 따른 반사판은, 오목 및 돌기부들을 그 표면에 가지며, 상기 표면에 대한 법선방향들의 분포는 특정 방위각에 관하여 균일하지 않고, 반사광세기는 방위각에 의존한다.

상기 특정 방위각에서의 극각에 관련한 반사광세기의 분포는, 정상적인 반사성분과는 달리, 하나 이상의 국소최대값들 나타낸다.

폐(closed)도형들이 상기 오목 및 돌기부들 중의 돌출부들에 의해 형성되어도 좋다.

상기 오목 및 돌기부들 중의 오목부들은 상기 폐도형들에 의해 둘러싸여도 좋다.

상기 폐도형은 다각형이라도 좋다.

상기 다각형은 거의 삼각형, 또는 거의 사다리꼴이라도 좋다.

상기 다각형은 0.5이상이고 0.8이하인 평탄화율을 갖는 대락적으로 삼각형이라도 좋다.

상기 폐도형들의 각각에서, 반사광세기가 가장 큰 제1방향에서의 그것의 길이는 상기 제1방향에 수직한 제2방향에서의 그것의 길이보다 작을 것이다.

상기 폐도형들의 상기 돌기부들에 의해 형성된 선형상들은 거의 균일한 폭을 가질 것이다.

상기 폐도형들의 상기 돌기부들에 의해 형성된 선형상들은 거의 균일한 두께를 가질 것이다.

본 발명의 제2양태에 따른 액정표시장치는 전술한 반사판을 가진다.

이 경우, 입사광이 상기 액정표시장치의 표시면에 -30도의 극각 방향으로부터 방사될 때, 반사광세기는 0 내지 10도의 극각 범위 내에서 국소최대에 도달할 것이다.

입사광이 상기 액정표시장치의 표시면에 -30도의 극각 방향으로부터 방사되는 경우, 반사광세기는 10 내지 20도의 극각 범위 내에서 극각에 관하여 양의 기울기를 가지며, 극각이 10 내지 A도(10<A<20)의 극각 범위 내에서 더 크게 되면 상기 기울기는 더 작게 되고, 극각이 A 내지 20도의 극각 범위 내에서 더 크게되면 상기 기울기는 더 크게 된다.

본 발명의 제3양태에 따른 반사판제조방법은, 유기수지를 기판상에 코팅하며, 상기 유지수지를 선형마스크로써 패터닝하여, 돌기패턴들이 서로 교차하여 폐도형의 형상을 각각 갖는 오목부들을 형성하도록 하는 복수개의 선형돌기패턴들을형성하고, 상기 선형돌기패턴들을 덮도록 층간막을 코팅한다.

상기 선형마스크는 마스크라인들의 교차부들 및 교차부들 부근에서의 마스크라인의 폭이 상기 교차부들과는 다른 부분들에서의 마스크라인의 폭보다 좁은 마스크라인들을 포함한다.

본 발명의 제4양태에 따른 반사판제조방법은, 유기수지를 기판상에 코팅하고 상기 유기수지를 노광량을 변화하면서 노광 및 현상하여, 접촉홀부분을 형성하고 동시에, 서로 교차하는 복수개의 선형돌기부들, 상기 돌기부들에 의해 둘러싸인 오목부들을 포함한 오목 및 돌기부들을 형성하는 것을 포함한다.

상기 접촉홀부분과 상기 오목 및 돌기부들의 상기 패터닝은, 다른 마스크들을 사용하여 그리고 두 개의 다른 부분들에 대해 다른 노광량으로 상기 유기수지들을 노광하는 것을 포함한다.

상기 오목 및 돌기부들의 패터닝을 위한 상기 유기수지의 노광량은 상기 접촉홀부분을 패터닝하기 위한 상기 유기수지의 노광량의 10 내지 50%일 것이다.

상기 접촉홀부분과 상기 오목 및 돌기부들의 상기 패터닝은, 상기 접촉홀부분 및 상기 오목 및 돌기부들을 위한 다른 광투과도들을 갖는 하프톤마스크를 사용하여 상기 유기수지를 노광하는 것을 포함한다.

상기 선형돌기부들을 위한 마스크는 상기 마스크라인들의 교차부들에서 및 이 교차부들 부근에서의 마스크라인의 폭이 상기 교차부들과는 다른 부분들에서의 마스크라인의 폭보다 좁은 마스크라인들을 포함한다.

본 발명의 제5양태에 따른 액정표시장치 제조방법은, 전술한 제조방법에 따라 반사판을 형성하는 것을 포함한다.

본 발명의 이러한 및 다른 목적들과 이점들은 다음의 상세한 설명과 첨부 도면들을 이해함으로써 보다 명확하게 될 것이다.

제1실시예

이 실시예에 따른 반사형 액정표시장치는 각 화소에 박막트랜지스터(TFT)와 같은 스위칭소자를 갖는 능동매트릭스형 액정표시장치이다.

도 1은 이 실시예에 따른 반사형 액정표시장치의 단위화소영역의 단면도이다. 도 1에 보인 것처럼, 반사형 액정표시장치는, 하부기판(11), 하부기판(11)에 대향하게 놓인 대향기판(12), 그리고 하부기판(11) 및 대향기판(12) 사이에 끼어있는 액정층(13)을 포함한다.

하부기판(11)은 절연기판(14), 절연보호막(15), TFT(16), 제1절연층(17), 돌기패턴(18), 제2절연층(19) 및 반사전극(20)을 구비한다.

무기 또는 유기절연재료로 이루어진 절연보호막(15)은 절연기판(14)상에 증착된다. 스위칭소자로서 소용되는 TFT(16)는 절연보호막(15)상에 형성된다.

TFT(16)는 절연기판(14)상에 형성된 게이트전극(16a), 게이트전극(16a) 바로 위에 절연보호막(15)을 개재하여 놓인 반도체층(16b), 및 도시되지 않은 반도체층에서의 드레인영역 및 소스영역에 각각 연결된 드레인전극(16c) 및 소스전극(16d)을 포함한다.

TFT와는 다른 트랜지스터들, MIM과 같은 다이오드가 스위칭소자로서 사용되어도 좋다.

제1절연층(17)은 무기 또는 유기절연재료로 이루어지고, TFT(16)가 형성된 절연보호막(15)상에 소정의 패턴을 가지도록 형성된다.

돌기패턴들(18)은 수지재료로 이루어지고, 제1절연층(17) 및 소스전극(16d)상에 형성된다. 돌기패턴들(18)은 나중에 설명될 것처럼 복수개의 선형패턴들로 형성된다.

제2절연층(19)은 돌기패턴(18)을 덮도록 형성된다. 제2절연층(19)은 수지재료로 이루어진다. 소스전극(16d)이 그것의 바닥에서 노출되는 접촉홀(21)은, 제2절연층(19) 내에 형성된다. 제2절연층(19)의 표면은 그 아래의 돌기패턴들(18) 때문에 물결형상(요철)이 된다.

반사전극(20)은 알루미늄과 같은 전도성재료로 이루어지고, 접촉홀(21)을 포함하여 제2절연층(19)상에 형성된다. 반사전극(20)은 접촉홀(21)을 통해 TFT(16)의 소스전극(16d)에 접속되어 화소전극 및 광반사층으로서의 기능을 한다. 반사전극(20)의 표면도 돌기패턴들(18) 및 제2절연층(19) 때문에 물결형상이 된다.

하부기판(11) 주변 둘레의 단자영역에는, 게이트단자(22)가 절연기판(14)상에 형성되고, 드레인단자(23)가 게이트단자(22)를 덮고 있는 절연보호막(15)상에 형성된다.

대향기판(12)은 색필터(25)와 투명전극(24)을 구비하고 이것들은 투명절연기판(26)의 한 표면에 순차 적층된다. 편광판(27)이 투명절연기판(26)의 다른 표면에 형성된다.

액정층(13)은 TN(Twisted Nematic)법, STN(Super Twisted Nematic)법, 1편광판법, GH(Guest Host)법, PDLC(Polymer Dispersed Liquid Crystal)법, 콜레스테릭법 등을 사용하여 형성된다. 액정층(13)은 소정 배향으로 마련된다.

이제 전술한 구조를 갖는 반사형 액정표시장치(10)의 동작을 설명한다.

백색모드에서, 대향기판(12)의 외부로부터 편광판(27)을 통해 들어오는 입사광(Li)은 절연기판(26), 색필터(25), 투명전극(24), 및 액정층(13)을 통과하여, 최종적으로는 반사전극(20)의 표면에 도달한다.

반사전극(20)의 표면은 돌기패턴들(18) 때문에 물결형성이므로, 입사광(Li)은 물결모양들에 의해 지향성이 영향을 받는 것에 따라 반사된다. 반사광(Lr)은 액정층(13), 투명전극(24), 색필터(25), 절연기판(26) 및 편광판(27)을 통하여 표시광으로서 외부로 되돌아간다.

반면, 흑색모드에서는, 대향기판(12)의 외부로부터 들어오는 입사광(Li)은 백색모드에서와 마찬가지로 반사전극(20)상에서 반사되지만, 반사된 광은 외부로 방출되는 것이 편광판(27)에 의해 방지된다. 이런 식으로, 반사형 액정표시장치(10)는 온 및 오프로 절환된다.

반사광(Lr)의 반사방향 및 반사광세기의 분포들은 반사전극(20)의 표면에 형성된 물결표면패턴들의 경사각 및 법선방향의 분포들에 의존한다. 도 2a는 입사광(Li)과 관람자에 의해 인지될 수 있는 반사광(Lr)을 예시적으로 보여주는 도면이다. 대향기판(12)의 법선방향에 대하여 광원으로부터의 입사광(Li)과 대향기판(12)상에서 반사된 광(Lr)에 의해 형성되는 각도들은 입사각(Ti) 및 반사각(Tr)으로 각각 정의된다. 입사광(Li)이 반사전극(20)의 물결모양표면상에서 반사되므로, 입사각(Ti)과 반사각(Tr)은 다른 값들을 가진다.

도 2b는 반사전극(20)이 물결모양표면상에 존재하는 지점(A)으로 들어가는 입사광(Li')의 반사를 예시적으로 보여주는 도면이다. 입사광(Li')이 지점(A)으로 들어가는 경우, 이 광은 반사전극(20)의 지점(A)에 있는 접촉면에서 반사된다. 따라서, 반사광(Lr')은 대칭축이 되는 지점(A)에서의 법선방향에 의해 결정되는 방향으로 반사되어 대칭축에 대하여 입사광(Li')의 각도와 동일한 각도를 가진다. 여기서, 지점(A)에서 반사전극(20)의 접촉면에 의해 형성된 각도는 지점(A)에서 경사각(θ)로 정해진다고 가정한다. 반사광(Lr)의 반사방향 및 반사광세기의 분포들은 반사전극(20)의 요철패턴들의 경사각(θ) 및 법선방향의 분포들에 의존한다.

다음으로, 전술한 반사형 액정표시장치(10)의 제조방법을 설명한다. 도 3a 내지 3f는 도 1에 보인 반사형 액정표시장치(10)의 특히 하부기판(11)의 제조단계들을 보여주는 예시도들이다.

먼저, 스위칭소자로서 소용되는 TFT(16)가 절연기판(14)상에 형성된다. 구체적으로는, 게이트전극(16a)이 절연기판(14)상에 형성된 다음, 절연보호막(15)이 절연기판(14) 및 게이트전극(16a)을 덮도록 형성된다. 다음으로, 드레인영역 및 소스영역(미도시)을 갖는 반도체층(16b)이 식각, 불순물주입 등에 의해 절연보호막(15)상에 형성된다(도 3a). 그 후, 드레인영역 및 소스영역에 각각 연결되는 드레인전극(16c) 및 소스전극(16d)이 절연보호막(15)상에 형성된다. 게다가, 제1절연층(17)이 TFT(16)상에 형성된다(도 3b).

그 후, 유기수지가 제1절연층(17)상에 코팅된 후, 이 수지는 소정의 포토리소그래피기법 및 식각기법을 이용하여 패터닝된다. 이 패터닝에 의해, 돌기패턴들(18)이 도 3c에 보인 것처럼 형성된다. 패터닝 후, 굽기(baking)공정이 돌기패턴들(18)에 행해진다. 돌기패턴들(18)의 형성들은 굽기공정에 의해 도 3d에 보인 것처럼 둥글게 된다.

돌기패턴들(18)은 선의 형상으로 형성된다. 인접한 돌기패턴들(18)은 기본도형(basic figure), 특히 삼각형과 같이 닫힌 도형의 형상을 갖는 오목부를 형성한다. 선형돌기패턴들(18)의 형성은 도 4에 보인 바와 같은 마스크패턴을 사용하여 행해진다. 그러한 선형돌기패턴들(18)을 갖는 반사판은 본 특허출원의 출원인에 의해 출원된 일본공개특허공보 제2001-55229호에 개시되어 있다.

선형돌기패턴들(18)을 기본도향의 형상을 갖는 오목부를 형성하도록 형성함으로써, 나중 단계에 형성되는 반사전극(20)은 그것의 표면에 소정 형상의 오목부들 및 돌기부들을 가질 것이다. 그 결과, 반사광이 방위각에 의존하게 하고 특정 방향쪽으로 반사되는 광이 높은 지향성의 광반사를 할 수 있게 하는 하부기판(11)이 제공될 것이다.

도 4에 보인 마스크패턴에서, 일부 선형돌기부형성부분들의 교차부의 패턴(도 5a에 보임)은 도 5b 및 도 5c에 보인 변형된 마스크패턴들에 의해 대체되어도 좋다. 이러한 변형된 마스크패턴들을 사용함으로써, 기본도형의 꼭지점 및 변(side)간의 막두께에서의 차이를 줄이는 것이 가능하다.

돌기패턴들이 도 5a에 보인 마스크패턴을 사용하여 형성되는 경우, 기본도형(삼각형)의 꼭지점들은, 노광분해능 및 레지스트해상도에서의 에러로 인해, 도 6a에 보인 것처럼, 폭이 넓어지게 되고 둥글게 될 것이다. 게다가, 도 6a의 A-A선을 따르는 도 6b에 보인 단면도에서 보인 바와 같이, 패턴들의 높이들(막두께들)은 균일하지 않을 것이고, 그래서 꼭대기부분이 측면부분보다 높게 된다.

꼭대기부분들 및 측면부분들의 높이들이 균일하지 않은 돌기패턴들(18)상에 제2절연층(19)이 형성되는 경우, 꼭대기부분들 둘레의 영역들이 적당한 경사각들을 가지도록 설계된다면, 제2절연층(19)은 측면부분들 근처의 영역들에서 평평하게 될 것이다(도 6c). 한편, 측면부분들 근처의 영역들이 적당한 경사각들을 가지도록 설계된다면, 꼭대기부분들은 제2절연층(19)으로부터 돌출할 것이다(도 6d). 그러므로, 돌기패턴들(18)의 높이들에 차이가 존재한다면, 효율적인 광반사는 얻어질 수 없고, 광반사의 불균일성이 야기될 것이다.

도 5b에 보인 마스크패턴에서, 돌기부형성부분들은 그것의 교차부에서 더 좁은 선폭을 가진다. 예를 들면, 도 5a에 보인 마스크패턴에서, 돌기부형성부분들의 선폭은 전체 선을 따라 약 4㎛로 설정되나, 도 5b에 보인 마스크패턴에서 그 선폭은 교차부들에서 및 교차부들 근처에서 약 2㎛로 설정된다. 도 5c에 보인 마스크패턴에서는, 교차부들에서 및 교차부들 근처에서 선들이 제거된다. 꼭대기부분들에서의 돌기패턴들(18)의 선폭을 좁도록 함으로써, 또는 꼭대기부분들에서의 선들을 제거함으로써, 기본도형의 꼭지점들 및 변들간의 높이(막두께)에서의 울퉁불퉁함을 감소시키거나 없애는 것이 가능하다. 따라서, 효율적인 광반사가 얻어질 수 있다.

이제 도 3d에 관해 설명한다. 이어서, 유기수지로 이루어진 층간막이 돌기패턴들(18) 위에 코팅되어, 그 표면은 완만한 물결모양이 된다. 그 후, 접촉홀(21)이포토리소그래피기법을 사용하여 개구된다. 그 후에, 층간막에 굽기가 행해져 제2절연층(19)이 형성된다(도 3e).

그 후, 알루미늄(Al)박막이 접촉홀(21)을 포함하여 제2절연층(19)상에 형성된다. 그 후, 반사화소전극으로서의 반사전극(20)이 패터닝에 의해 형성된다(도 3f). 따라서, 반사판으로서의 하부기판(11)이 완성된다.

그렇게 형성된 하부기판(11)과, 색필터(25) 등을 절연기판(26)상에 형성함으로써 형성된 대향기판(12) 사이에 이격기들(spacers)(미도시)이 위치된다. 이 이격기들에 의해 형성된 공간(셀)은 수지로 채워지고 봉지된다. 그 후, 편광판(27)이 대향기판(12)의 표면에 부착되어 도 1에 보인 반사형 액정표시장치(10)가 완성된다.

전술한 바와 같이, 선형돌기패턴들(18)을 구비한 전술한 구조를 갖는 반사형 액정표시장치(10)에서는, 반사광세기가 방위각에 의존하고, 따라서 특정 방향 쪽으로 반사되는 광은 증가될 수 있다.

도 7은 전술한 구조를 갖는 하부기판(11)(반사판)상에 -30도의 극각의 방향에서 광이 방사될 때의 방위각 및 반사광세기를 검사한 조사결과를 보여준다. 여기서, 극각은 반사판의 법선방향에서 측정되는 도 22에 보인 각도(φ1)이고, 방위각은 반사판에 평행한 면에서 측정된 각도(φ2)이다.

액정표시장치의 통상적인 사용상황을 고려해 볼 때, 입사광(Li)이 -30도의 극각(0도의 방위각)방향으로 표시면에 방사되는 경우 관람자는 20도의 극각(180도의 방위각)의 방향으로, 바람직하게는 0 내지 10도 또는 10 내지 20도의 극각(180도의 방위각) 방향으로 반사된 광(Lr)을 가장 잘 인지한다. 따라서, 입사광(Li)이 전술한 방향에서 방사될 때, 다른 방향보다는 전술한 방향으로 광을 반사하는 반사판을 갖는 액정표시장치에, 높은 콘트라스트가 실현될 수 있다.

도 7a 및 7b는, 전술한 구조를 갖는 하부기판(11)(반사판)에 -30도의 극각방향으로 광이 방사될 때 얻어지는 극각 및 반사광세기간의 관계와 방위각 및 반사광세기간의 관계를 각각 보여준다. 도 22에 보인 것처럼, 극각은 반사판의 법선방향으로 측정되는 각도(φ1)이고 방위각은 반사판에 평행한 면에서 측정되는 각도(φ2)이다.

등변삼각형의 기본도형들로 이루어진 폐(closed)도형패턴들이 도 8에 보인 것처럼 하부기판(11)상에 형성된다.

도 7a에 보인 것처럼, 반사광세기는, 법선방향(30도의 극각)에서와는 달리, 0 내지 10도의 극각 근처에서 피크를 나타낸다. 도 7b에 보인 것처럼, 반사광세기는 방위각의 변경에 응하여, 규칙적으로 변화한다. 특히, 이 반사광세기는 0도, 60도, 및 120도의 극각들에서 피크들을 나타낸다. 그리고 극각이 더 크게 될수록, 예를 들면, 10도에서 20도가 되면, 피크는 더 낮아지게 된다.

반사광세기가 특정 각도의 방향 쪽으로 더 강하게 되는 이유는, 하부기판(11)의 물결모양표면에 대한 법선방향들의 분포에 불균일성이 있기 때문이다.

0 내지 10도의 극각 근처의 반사특성은 주로 삼각형들의 측면부분들에 의해 유발되고, 20도 이상의 정상반사(mormal reflection) 근처의 성분의 반사특성은 삼각형들의 중앙 근처의 평평한 부분으로 인한 것이라 여겨진다. 따라서, 방위각이 180도일 때(방위각이 앞쪽을 향할 때) 0 내지 30도의 극각 근처에서의 반사율을 향상시키기 위해서는, 측정방향에 직각인 변들의 수를 증가시키는 것이 효과적이라고 생각된다.

예 1

도 9는, 2.35㎛ 두께의 수지를 코팅하며, 그 막을 도 5a 및 5b에 보인 마스크패턴들을 사용하여 패터닝하고, 그 막을 구움으로써 기본도형이 형성되는 경우에, 기본도형(삼각형)의 선폭과 꼭대기 및 측면부분들의 두께 사이의 관계를 보여준다.

도 9에 보인 것처럼, 도 5a에 보인 비변형 마스크패턴을 사용하는 경우, 꼭대기부분의 두께는 1.90㎛이다. 반면, 교차부에서의 선폭이 좁게 되는 도 5b에 보인 마스크패턴을 사용하는 경우, 꼭대기부분의 두께는 1.60㎛이다. 이 결과로부터, 변형된 마스크패턴이 사용되는 경우 꼭대기 및 측면부분들간의 두께의 차이는 감소될 수 있다는 것을 알 수 있다.

게다가, 선폭이 더 크게 될수록 측면부분은 더 두껍게 된다는 것은 명백하다. 그러므로, 측면부분의 선폭을 더 크게 할수록 측면부분 및 꼭대기부분간의 두께의 차이는 더 작게 된다고 말할 수 있다. 특히, 측면부분의 두께가 약 1.3㎛로 되게 하기 위해 선폭은 바람직하게는 약 5㎛로 설정되어야 한다는 것은 분명하다.

예 2

광원에 대하여 180도의 방위각에서의 극각 및 반사광세기간의 관계를 측정하기 위하여, 삼각형 오목부들을 구성하도록 돌기패턴들(18)이 형성된 하부기판(11)에 -30도의 극각방향으로 광이 방사된다.

이 측정에는, 오츠카전자 코엘티디 제조의 분광측광기(spectrophotometer) IMUC(LCD7000)가 사용된다. 게다가 이 측정에서, 입사광은 기본도형이 되는 삼각형의 하나의 꼭지점으로 방사되어진다. 그리고 분광측광기는 이 삼각형의 한 면에 수평하게 놓인다. 180도의 방위각에서의 측정결과가 도 10에 보여진다.

도 10에 보인 결과로부터 반사광세기는 30도의 극각 및 5도의 극각 근처에서 국소최대에 두 번 도달한다 것이 명백하다. 반사광세기의 이러한 변경이 극각에 따라 복수개의 국소최대를 나타낸다는 사실은, 방위각에 관하여, 하부기판(11)이 도 7a 및 7b에 보인 지향성을 가진다는 것을 증명한다.

0도에서의 반사광세기는 90도의 방위각에서의 반사광세기보다 더 강하다(그 데이터가 보여지진 않았음). 그 이유는, 180도의 방위각의 경우, 반사광세기의 국소최대는 도 7a 및 7b에 보인 바와 같은 '방위각에 의존하는 광반사'로 인한 것이라 생각된다. 0도의 극각에서의 반사광세기는, 이 반사광세기의 국소최대가 0 내지 10도 부근에서 나타난다면, 더 강하게 될 것이다.

예 3

180도의 방위각과 0도의 극각에서의 반사광세기를 극대화하기 위하여, 돌기패턴들(18)에 대한 매개변수들이 고려되었다.

예 3-1

도 11a 및 11b는 기본도형의 선폭이 도 11a에서 3㎛ 도 11b에서 4㎛로 설정된 경우에 180도의 방위각에서의 극각 및 반사광세기간의 관계를 측정한 결과들을 각각 보여준다. 측정을 위한 조건들은 예 2에서와 동일하다. 기본도형의 측면들에서의 돌기패턴들(18)의 막두께는 굽기가 행해진 후에 1.3㎛이다. 제2절연층(19)의 막두께는 1.5㎛이고, 기본도형의 측면(변)들의 길이는 평균 24㎛이다.

반사광세기는 도 11a 및 11b에 보인 그래프들의 각각에서 복수개의 국소최대값들을 가진다. 도 11a로부터, 선폭이 3㎛인 경우 반사광세기는 15도의 극각 부근에서 국소최대에 도달함을 알 수 있다. 한편, 도 11b로부터는, 선폭이 4㎛인 경우 반사광세기는 15도의 극각 이외에도 0도의 극각 부근에서도 국소최대에 도달함을 알 수 있다. 선폭이 4㎛인 경우, 반사광세기가 0도의 극각 부근에서 국소최대에 도달하므로, 0도의 극각에서의 반사광세기가 더 강해진다는 것이 판명되었다.

예 3-2

도 12a 내지 12c는, 삼각형(기본도형)의 변의 길이가 도 12a에서 24㎛, 도 12b에서 20㎛ 그리고 도 12c에서 16㎛인 경우 극각 및 반사광세기간의 관계를 측정한 결과들을 각각 보여준다. 측정을 위한 조건들은 예 2에서와 동일하다. 기본도형의 측면(변)들에서의 돌기패턴들(18)의 막두께는 굽기가 행해진 후 1.3㎛이다. 제2절연층(19)의 막두께는 1.5㎛이고, 기본도형의 선폭은 5㎛이다.

반사광세기는 도 12a 내지 12c에 보인 그래프들의 각각에서 복수개의 국소최대값들을 가진다. 도 12a 내지 12c를 비교해 보면, 변의 길이가 길수록 반사광세기의 국소최대가 나타나는 극각인 0도에 가깝게 된다는 것은 명백하다. 즉, 변의 길이가 더 길수록 0도의 극각에서는 반사광세기가 더 강하게 된다는 것이 판명되었다.

예 3-3

도 13a 및 13b는 삼각형의 평탄화율이 도 13a에서는 1.0이고 도 13b에서는 0.8인 경우에 극각 및 반사광세기간의 관계를 측정한 결과들을 보여준다. 여기서, 등변삼각형(도 8에 도시됨)의 밑변 및 높이간의 비는 1.0의 평탄화율을 나타내고, 등변삼각형의 높이의 0.8배의 높이를 갖는 2등변삼각형(도 14에 도시됨)의 밑면 및 높이간의 비는 0.8의 평탄화율을 나타낸다. 측정을 위한 조건들은 예 2에서와 동일하다. 삼각형의 변들에서의 돌기패턴들(18)의 막두께는 굽기가 행해진 후에 1.3㎛이다. 제2절연층(19)의 막두께는 1.5㎛이며, 삼각형의 변들의 길이는 평균 24㎛이고 그 선폭은 5㎛이다.

반사광세기는 도 13a 및 13b에 보인 그래프들의 각각에서 복수개의 국소최대값들을 가진다. 도 13a 및 13b를 비교해 보면, 1.0의 평탄화율을 갖는 삼각형이 형성된 경우에 비하여, 0.8의 평탄화율을 갖는 삼각형이 형성된 경우에 0도의 극각에서의 반사광세기가 더 강하다는 것은 분명하다. 위에서 설명된 바와 같이, 이런 결과의 이유는, 평탄화율 1.0인 경우에서보다는 평탄화율 0.8인 경우에서의 특정 영역 내에서 분광측광기에 수평으로 배치된 선형돌기패턴들(18)이 더 많기 때문이라고 생각된다.

그러나, 평탄화율이 0.5보다 작다면, 반사광은 간섭이 일어나게 하고, 따라서 반사판의 특성은 열화될 것이다. 그러므로, 평탄화율은 0.5 내지 0.8인 것이 바람직하다는 것이 발견되었다.

예 3-4

도 15a 및 15b는 기본도형들이 배치되는 경우의 무작위도(randomness)가 도 15a에서 0.5이고 도 15b에서는 0.75일 때의 극각 및 반사광세기간의 관계를 측정한 결과들을 각각 보여준다. 여기서, 모든 기본도형들이 서로 평행하게 배치된 경우 이 상태는 0.0의 무작위도를 갖는다고 정의하고, 반면에 모든 기본도형들이 완전히 무작위로 배치된 경우 이 상태는 1.0의 무작위도를 갖는다고 정의하는 것으로 한다. 측정 조건들은 예 2에서와 동일하다. 기본도형의 변들에서의 돌기패턴들(18)의 막두께는 굽기가 행해진 후에 1.3㎛이다. 제2절연층(19)의 막두께는 1.5㎛이며, 기본도형의 변들의 길이는 평균 24㎛이고 그 선폭은 5㎛이다.

반사광세기는 도 15a 및 15b에 보인 그래프들의 각각에서 복수개의 국소최대값들을 가진다. 도 15a 및 15b를 비교해 보면, 무작위도가 0.75인 경우에 비하여, 무작위도가 0.5인 경우에 0도의 극각에서의 반사광세기가 더 강하는 것은 분명하다. 이런 결과의 이유는, 분광측광기에 수평으로 배치된 선형돌기패턴들(18)의 수가 무작위도가 큰 경우에 더 적기 때문이고 생각된다. 그러나, 무작위도가 지나치게 작게되면, 반사광은 간섭을 일으키고, 따라서 반사판의 특성은 열화될 것이다.

예 3-5

도 16a 및 16b는 도 5b에 보인 변형된 마스크패턴이 도 16a의 기본도형의 꼭지점들에 적용되고 도 5a에 보인 비변형 마스크패턴이 도 16b의 기본도형의 꼭지점들에 적용된 경우에 극각 및 반사광세기간의 관계를 측정한 결과들을 각각 보여준다. 측정 조건들은 예 2에서와 동일하다. 기본도형의 변들에서의 돌기패턴들(18)의막두께는 굽기가 행해진 후 1.3㎛이다. 제2절연층(19)의 막두께는 1.5㎛이며, 기본도형의 변들의 길이는 평균 24㎛이고 그 선폭은 5㎛이다.

반사광세기는 도 16a 및 16b에 보인 그래프들의 각각에서 복수개의 국소최대값들을 가진다. 도 16a 및 16b를 비교해 보면, 비변형 마스크패턴이 사용되는 경우에 비하여 도 5b에 보인 변형된 마스크패턴이 사용되는 경우에 극각 0도에서의 반사광세기가 더 강하다는 것은 분명하다. 기본도형의 꼭지점들에서의 선폭을 좁게 함으로써, 돌기패턴들(18)의 꼭대기 및 측면부분들간의 높이의 차이는 감소된다. 따라서, 꼭대기들의 모양이 평면에서 보았을 때 도 21에 보인 것과 같이 원형으로 되는 것을 방지하고 반사광세기의 지향성(이방성)은 방위각의 방향 쪽으로 향상된다고 여겨진다.

예 3-6

극각 및 반사광세기간의 관계를 제2절연층(19)의 두께를 변경하여 살펴볼 것이다. 측정 조건들은 예 2에서와 동일하다. 도 17은, 기본도형이 삼각형이며, 평탄화율은 0.8, 선폭은 0.4㎛, 변의 길이는 28㎛, 돌기패턴(18)의 두께는 2.0㎛이고 무작위도는 0.75인 조건에서, 제2절연층(19)의 코팅두께가 1.5㎛, 2.0㎛ 또는 3.0㎛일 때의 결과들을 보여준다.

도 17로부터, 제2절연층(19)이 더 두꺼워질수록, 0도의 방위각 근처에 나타나는 피크가 20도 근처로 이동하고 최종적으로는 사라진다는 것을 알 수 있다. 이것은 삼각형들의 변들이 제2절연층(19)에 의해 평탄화되기 때문인 것이라 생각된다.

제2절연층(19)의 두께가 1.5㎛인 경우, 반사광세기는 0 내지 10도의 극각 부근에서 국소최대에 도달한다. 따라서, 표시장치가 이 범위의 각도에서 사용될 때, 반사판이 이런 식으로 설계된다면 높은 반사율이 얻어질 수 있다.

또한 제2절연층(19)의 두께가 2.9㎛인 경우 반사광세기의 변화는 10 내지 20도의 극각 범위에서 양의 기울기를 가짐을 알 수 있다. 그리고 10 내지 A도의 극각 범위(10<A<20)에서는, 극각이 더 크게 될수록 반사광세기의 변화의 기울기는 더 작게 된다. 게다가, A 내지 20도의 극각 범위에서는, 극각이 더 크게 될수록 반사광세기의 변화의 기울기는 더 크게 된다. 따라서, 표시장치가 이 범위의 극각에서 사용되는 경우, 반사판이 이런 식으로 설계된다면 높은 반사율이 얻어질 수 있다.

동일한 고찰이 굽기가 행해진 후에 다른 용융특성들을 갖는 3개의 재료들을 제2절연층(19)을 위한 재료로서 사용하여 행하여졌다(그 데이터는 보여지진 않았음). 이 측정의 결과로부터, 열악한 용융특성 가지고 따라서 그 형상의 변화가 열악하게 되는 경향이 있는 재료가, 0도의 극각에서 가장 강한 반사광세기를 달성함을 알 수 있었다.

위의 예들에서 설명된 바와 같이, 반사광세기는 기본도형을 형성하는 돌기패턴들(18)에 의해, 방위각에 따라, 변화된다. 그러므로, 극각에 관련하여 반사광세기의 변경(alteration)은 복수개의 국소최대값들이 있게 하고, 이러한 국소최대값들 중의 하나가 0 내지 10도의 극각 부근에서 나타난다면, 0도의 극각에서의 반사광세기는 강화될 수 있음이 확인되었다. 따라서, 하부기판(11)(반사판)은 극각 0도인 방향 쪽으로, 즉, 관람자 쪽으로 반사되는 광의 양을 증가시켜, 콘트라스트를향상시킬 수 있다.

구체적으로는, 돌기패턴들(18)의 막두께, 선폭 및 변의 길이, 및 제2절연층(19)의 막두께를 바꿈으로써, 반사판의 법선방향 쪽으로의 반사판의 이방성 및 반사광세기를 극대화하도록 돌기 및 오목부들을 형성하는 것이 가능하다. 게다가, 교차부들에서의 선형돌기패턴들(18)의 선폭을 좁게 함으로써, 돌기패턴들(18)의 두께들을 거의 균일하게 할 수 있다. 따라서, 기본도형의 꼭지점들 및 측면들간의 높이의 차이는 감소될 수 있다.

높이차의 감소에 의해, 제2절연층(19)으로부터의 돌기패턴들(18)의 돌출로 인한 광반사효율의 열화는 방지될 수 있다. 더욱이, 제2절연층(19)의 두께가 어느 정도는 자유로이 설정될 수 있으므로, 법선방향(극각 0도인 방향)으로의 반사광세기가 강화될 수 있도록 제2절연층(19)의 두께를 선택하는 것이 가능하다.

제2실시예

도 18c는 제2실시예에 따른 반사판(하부기판; 11)의 구조를 보여준다. 제2실시예에 따른 하부기판(11)은, 제1실시예와는 달리, 하나의 층간절연막(30)상에 물결모양체들을 형성함으로써, 반사전극(20)의 물결모양표면을 형성한다.

층간절연막(30)은 감광성 수지로 이루어지고, 이것의 오목 및 돌기 패턴들은, 나중에 설명될 것처럼, 자외선(UV)의 노광량을 바꿈으로써, 접촉홀(21)이 형성되는 것과 동시에 형성된다.

이하 제2실시예에 따른 하부기판(11)을 제조하는 방법을 도 18a 내지 18c를 참조하여 설명할 것이다. 이 제조방법은 일본공개특허공보 제2000-250025호에 개시되어 있다.

먼저, 도 18a에 보인 것처럼, 예를 들면, 양성의 감광성수지로 이루어진 유기수지층(31)이 제1절연층(17) 등의 위에 도 3b에 보인 상태에서처럼 코팅된다.

그 후, 유기수지층(31)은 노광 및 현상되어 접촉홀(21)을 형성하고 동시에 오목 및 돌기패턴들이 유기수지층(31)의 표면에 도 18b에 보인 것처럼 형성된다. 즉, 접촉홀(21)이 형성된 영역과, 오목 및 돌기패턴들이 형성된 영역들은 다른 마스크들을 사용하여 다른 노광량들로 노광된다. 바람직하게는, 오목 및 돌기패턴들의 영역들을 위한 노광량(UV1)은 접촉홀의 영역들을 위한 노광량(UV2)의 10 내지 50%이다.

양성의 감광성수지의 용해속도는 감광제의 분해율에 크게 의존한다. 이 특성을 이용하여, 오목 및 돌기패턴들의 영역 및 접촉홀의 영역을 위한 분해율들을 바꿈으로써, 두 영역들의 수지들간에 용해속도에 차이를 발생하는 것이 가능하다. 따라서, 접촉홀(21)을 형성하는 층을 용해(분해)하기에 충분한 기간 동안 유기수지층(31)을 현상함으로써, 깊은 접촉홀(21)과 얕은 패턴들을 형성하는 것이 가능하다.

유기수지층(31)의 패터닝은, 마스크가 이른바 하프톤마스크라면, 즉, 마스크가 접촉홀(21)의 영역을 위한 광투과도와 오목 및 돌기패턴들의 영역을 위한 광투과도가 다른 마스크라면, 이 마스크를 사용하여 행해져도 좋다.

유기수지층(31)은 패터닝된 후, 구워져서 층간절연막(30)을 형성한다. 그 후, 알루미늄 등으로 이루어진 금속막이 형성된 다음, 패터닝된다. 따라서, 반사전극(20)이 형성된다. 그 결과, 도 18c에 보인 하부기판(11)이 완성된다.

도 19는 유기수지층(31)의 막두께가 변하지 않고 오목 및 돌기패턴들의 영역을 위한 노광량이 접촉홀의 영역을 위한 노광량의 25%, 20% 및 15%인 때에 얻어진 결과들을 보여준다. 측정 조건들은 전술한 예 3-6에서와 동일하다.

도 19로부터 알 수 있는 바와 같이, 노광량이 감소할수록, 0도의 각도 부근의 반사광세기의 피크는 20도 각도 쪽으로 이동되고, 최종적으로는 사라진다. 이는 삼각형들의 변들이 층간절연막(30)에 의해 평탄화되기 때문일 것이다.

그 노광량이 접촉홀영역의 노광량의 25%인 경우, 반사광세기는 0 내지 10도의 극각 근처에서 국소최대에 도달한다. 따라서, 표시장치가 이 범위의 극각에서 사용된다면, 하부기판이 전술한 바와 같이 설계되는 경우 높은 반사율이 얻어질 수 있다.

그 노광량이 접촉홀영역의 노광량의 20%인 경우, 반사광세기의 변화는 10 내지 20도의 극각 범위에서 양의 기울기를 가진다.

그리고 10 내지 A도의 극각 범위(10<A<20)에서는, 극각이 더 크게 될수록 반사광세기의 변화의 기울기는 더 작게 된다. 게다가, A 내지 20도의 극각 범위에서는, 극각이 더 크게 될수록 반사광세기의 변화의 기울기는 더 크게 된다. 따라서, 표시장치가 이 범위의 극각에서 사용되는 경우, 반사판이 이런 식으로 설계된다면 높은 반사율이 얻어질 수 있다.

여러 실시예들 및 변경들은 발명의 넓은 사상 및 범위로부터 벗어남 없이 만들어질 수 있다. 전술한 실시예들은 본 발명을 설명하기 위한 것이지, 발명을 한정하고자 한 것은 아니다. 본 발명의 범위는 실시예들에서가 아니라 첨부의 청구범위에 의해 나타내어진다. 발명의 청구항들 및 이 청구항들의 등가물의 의미 내에서 만들어지는 여러 변형들은, 본 발명의 범위 내에 있는 것으로 간주된다.

전술한 실시예들에서, 본 발명이 반사형 액정표시장치에 적용되는 예가 설명되었다. 그러나, 본 발명은 일본특허 제2955277호에 개시된 바와 같은 이른바 반투과형 액정표시장치에도 적용될 수 있다. 예를 들면, 본 발명은 투명전극을 포함한 투명영역과 반사영역 및 반사판을 포함하여, 투과형 액정표시장치의 기능과 반사형 액정표시장치의 기능을 가지는 도 20에 보인 액정표시장치에 적용될 수 있다.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 오목 및 돌기패턴들을 갖는 반사판은 방위각에 의존하는 반사광특성을 얻을 수 있다. 그리고 극각에 관련한 반사광세기의 변화는 복수개의 국소최대값들을 보여준다. 0 내지 10도의 극각 부근에서 국소최대값들이 나타날 때 극각 0도에서의 높은 반사광세기가 실현된다.

Claims (20)

1. 오목 및 돌기부들을 그 표면에 가지는 반사판에 있어서,

   상기 표면에 대한 법선방향들의 분포는 특정 방위각에 관하여 균일하지 않고,

   반사광세기는 방위각에 의존하는 반사판.
2. 제1항에 있어서, 상기 특정 방위각에서의 극각에 관련한 반사광세기의 분포는, 정상적인 반사성분과는 달리, 하나 이상의 국소최대값들 나타내는 반사판.
3. 제1항에 있어서, 폐(closed)도형들이 상기 오목 및 돌기부들 중의 돌출부들에 의해 형성되고,

   상기 오목 및 돌기부들 중의 오목부들은 상기 폐도형들에 의해 둘러싸인 반사판.
4. 제3항에 있어서, 상기 폐도형은 다각형인 반사판.
5. 제4항에 있어서, 상기 다각형은 거의 삼각형, 또는 거의 사다리꼴인 반사판.
6. 제4항에 있어서, 상기 다각형은 0.5이상이고 0.8이하인 평탄화율을 갖는 대락적으로 삼각형인 반사판.
7. 제3항에 있어서, 상기 폐도형들의 각각에서, 반사광세기가 가장 큰 제1방향에서의 그것의 길이는 상기 제1방향에 수직한 제2방향에서의 그것의 길이보다 작은 반사판.
8. 제3항에 있어서, 상기 폐도형들의 상기 돌기부들에 의해 형성된 선형상들은 거의 균일한 폭을 가지는 반사판.
9. 제3항에 있어서, 상기 폐도형들의 상기 돌기부들에 의해 형성된 선형상들은 거의 균일한 두께를 가지는 반사판.
10. 제1항 내지 제9항 중 어느 한 항에 기재된 반사판을 갖는 액정표시장치.
11. 제10항에 있어서, 입사광이 상기 액정표시장치의 표시면에 -30도의 극각 방향으로부터 방사되는 경우, 반사광세기는 0 내지 10도의 극각 범위 내에서 국소최대에 도달하는 액정표시장치.
12. 제10항에 있어서, 입사광이 상기 액정표시장치의 표시면에 -30도의 극각 방향으로부터 방사되는 경우, 반사광세기는 10 내지 20도의 극각 범위 내에서 극각에관하여 양의 기울기를 가지며, 극각이 10 내지 A도(10<A<20)의 극각 범위 내에서 더 크게 되면 상기 기울기는 더 작게 되고, 극각이 A 내지 20도의 극각 범위 내에서 더 크게되면 상기 기울기는 더 크게 되는 액정표시장치.
13. 반사판을 제조하는 방법에 있어서,

    유기수지를 기판상에 코팅하며, 상기 유지수지를 선형마스크로써 패터닝하여, 돌기패턴들이 서로 교차하여 폐도형의 형상을 각각 갖는 오목부들을 형성하도록 하는 복수개의 선형돌기패턴들을 형성하고,

    상기 선형돌기패턴들을 덮도록 층간막을 코팅하는 반사판제조방법.
14. 제13항에 있어서, 상기 선형마스크는 마스크라인들의 교차부들 및 교차부들 부근에서의 마스크라인의 폭이 상기 교차부들과는 다른 부분들에서의 마스크라인의 폭보다 좁은 마스크라인들을 포함하는 반사판제조방법.
15. 유기수지를 기판상에 코팅하고 상기 유기수지를 노광량을 변화하면서 노광 및 현상하여, 접촉홀부분을 형성하고 동시에, 서로 교차하는 복수개의 선형돌기부들, 상기 돌기부들에 의해 둘러싸인 오목부들을 포함한 오목 및 돌기부들을 형성하는 반사판제조방법.
16. 제15항에 있어서, 상기 접촉홀부분과 상기 오목 및 돌기부들의 상기 패터닝은, 다른 마스크들을 사용하여 그리고 두 개의 다른 부분들에 대해 다른 노광량으로 상기 유기수지들을 노광하는 것을 포함하는 반사판제조방법.
17. 제16항에 있어서, 상기 오목 및 돌기부들의 패터닝을 위한 상기 유기수지의 노광량은 상기 접촉홀부분을 패터닝하기 위한 상기 유기수지의 노광량의 10 내지 50%인 반사판제조방법.
18. 제17항에 있어서, 상기 접촉홀부분과 상기 오목 및 돌기부들의 상기 패터닝은,

    상기 접촉홀부분 및 상기 오목 및 돌기부들을 위한 다른 광투과도들을 갖는 하프톤마스크를 사용하여 상기 유기수지를 노광하는 것을 포함하는 반사판제조방법.
19. 제15항에 있어서, 상기 선형돌기부들을 위한 마스크는 상기 마스크라인들의 교차부들에서 및 이 교차부들 부근에서의 마스크라인의 폭이 상기 교차부들과는 다른 부분들에서의 마스크라인의 폭보다 좁은 마스크라인들을 포함하는 반사판제조방법.
20. 제13항 내지 제19항 중 어느 한 항에 기재된 제조방법에 따라 반사판을 형성하는 단계를 포함하는 액정표시장치 제조방법.