KR20020036964A - 마이크로 가공된 탄성중합체 밸브 및 펌프 시스템 - Google Patents
마이크로 가공된 탄성중합체 밸브 및 펌프 시스템 Download PDFInfo
- Publication number
- KR20020036964A KR20020036964A KR1020017016720A KR20017016720A KR20020036964A KR 20020036964 A KR20020036964 A KR 20020036964A KR 1020017016720 A KR1020017016720 A KR 1020017016720A KR 20017016720 A KR20017016720 A KR 20017016720A KR 20020036964 A KR20020036964 A KR 20020036964A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- elastomeric
- layer
- channel
- elastomer
- microfabricated
- Prior art date
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 112
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims description 722
- 239000000806 elastomer Substances 0.000 claims description 476
- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 claims description 475
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 419
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 164
- 230000005291 magnetic effect Effects 0.000 claims description 119
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims description 115
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 114
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 claims description 98
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 41
- 239000013536 elastomeric material Substances 0.000 claims description 39
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 claims description 33
- 238000003672 processing method Methods 0.000 claims description 32
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 30
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 28
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 28
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 28
- 239000012528 membrane Substances 0.000 claims description 26
- 238000005459 micromachining Methods 0.000 claims description 26
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims description 23
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 23
- 230000002572 peristaltic effect Effects 0.000 claims description 21
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 19
- 238000005086 pumping Methods 0.000 claims description 19
- 230000004044 response Effects 0.000 claims description 19
- 229920000435 poly(dimethylsiloxane) Polymers 0.000 claims description 18
- 235000013870 dimethyl polysiloxane Nutrition 0.000 claims description 17
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 17
- 229920002635 polyurethane Polymers 0.000 claims description 17
- 239000004814 polyurethane Substances 0.000 claims description 17
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 17
- 238000000059 patterning Methods 0.000 claims description 16
- -1 aliphatic urethane diamine Chemical class 0.000 claims description 15
- 239000004205 dimethyl polysiloxane Substances 0.000 claims description 15
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 14
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 claims description 14
- 239000002904 solvent Substances 0.000 claims description 14
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 13
- 230000006870 function Effects 0.000 claims description 13
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 claims description 13
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 13
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 13
- 239000004971 Cross linker Substances 0.000 claims description 12
- 238000001723 curing Methods 0.000 claims description 12
- 229920003229 poly(methyl methacrylate) Polymers 0.000 claims description 12
- 239000004926 polymethyl methacrylate Substances 0.000 claims description 12
- 229920002379 silicone rubber Polymers 0.000 claims description 12
- 229920000468 styrene butadiene styrene block copolymer Polymers 0.000 claims description 12
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 11
- 229920002367 Polyisobutene Polymers 0.000 claims description 11
- FACXGONDLDSNOE-UHFFFAOYSA-N buta-1,3-diene;styrene Chemical compound C=CC=C.C=CC1=CC=CC=C1.C=CC1=CC=CC=C1 FACXGONDLDSNOE-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 11
- 230000008859 change Effects 0.000 claims description 11
- 239000002019 doping agent Substances 0.000 claims description 11
- 125000000391 vinyl group Chemical group [H]C([*])=C([H])[H] 0.000 claims description 11
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 10
- 239000005062 Polybutadiene Substances 0.000 claims description 10
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 claims description 10
- 238000004891 communication Methods 0.000 claims description 10
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 10
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 10
- 229920001084 poly(chloroprene) Polymers 0.000 claims description 10
- 229920002857 polybutadiene Polymers 0.000 claims description 10
- 229920001195 polyisoprene Polymers 0.000 claims description 10
- 239000004945 silicone rubber Substances 0.000 claims description 9
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 claims description 8
- FJKIXWOMBXYWOQ-UHFFFAOYSA-N ethenoxyethane Chemical compound CCOC=C FJKIXWOMBXYWOQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- 238000002174 soft lithography Methods 0.000 claims description 8
- BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N Silane Chemical group [SiH4] BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 7
- 239000000243 solution Substances 0.000 claims description 7
- 238000010030 laminating Methods 0.000 claims description 6
- 229920002492 poly(sulfone) Polymers 0.000 claims description 6
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 claims description 6
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 claims description 6
- 239000004800 polyvinyl chloride Substances 0.000 claims description 6
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims description 6
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 6
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 claims description 6
- 238000013006 addition curing Methods 0.000 claims description 5
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims description 5
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims description 5
- 239000006229 carbon black Substances 0.000 claims description 5
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 claims description 5
- 230000008021 deposition Effects 0.000 claims description 5
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 229910001172 neodymium magnet Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 claims description 5
- DNFCWSSKOHQUES-UHFFFAOYSA-N 1,1-dichloroethene;1,1,2,3,3,3-hexafluoroprop-1-ene Chemical group ClC(Cl)=C.FC(F)=C(F)C(F)(F)F DNFCWSSKOHQUES-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 229920002449 FKM Polymers 0.000 claims description 4
- 229920004459 Kel-F® PCTFE Polymers 0.000 claims description 4
- 229920000459 Nitrile rubber Polymers 0.000 claims description 4
- NTXGQCSETZTARF-UHFFFAOYSA-N buta-1,3-diene;prop-2-enenitrile Chemical compound C=CC=C.C=CC#N NTXGQCSETZTARF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 229920003237 carborane-containing polymer Polymers 0.000 claims description 4
- UUAGAQFQZIEFAH-UHFFFAOYSA-N chlorotrifluoroethylene Chemical compound FC(F)=C(F)Cl UUAGAQFQZIEFAH-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 239000003431 cross linking reagent Substances 0.000 claims description 4
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 claims description 4
- 125000004428 fluoroalkoxy group Chemical group 0.000 claims description 4
- 238000005304 joining Methods 0.000 claims description 4
- GKTNLYAAZKKMTQ-UHFFFAOYSA-N n-[bis(dimethylamino)phosphinimyl]-n-methylmethanamine Chemical compound CN(C)P(=N)(N(C)C)N(C)C GKTNLYAAZKKMTQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 claims description 4
- 239000004033 plastic Substances 0.000 claims description 4
- 229920001748 polybutylene Polymers 0.000 claims description 4
- 229920001343 polytetrafluoroethylene Polymers 0.000 claims description 4
- 229920000131 polyvinylidene Polymers 0.000 claims description 4
- 239000000843 powder Substances 0.000 claims description 4
- 229910052990 silicon hydride Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 claims description 4
- 230000033228 biological regulation Effects 0.000 claims description 3
- 238000007772 electroless plating Methods 0.000 claims description 3
- 238000001746 injection moulding Methods 0.000 claims description 3
- 229920002554 vinyl polymer Polymers 0.000 claims description 3
- 229920001328 Polyvinylidene chloride Polymers 0.000 claims description 2
- 125000001931 aliphatic group Chemical group 0.000 claims description 2
- 238000003486 chemical etching Methods 0.000 claims description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 2
- 230000005684 electric field Effects 0.000 claims description 2
- 238000005868 electrolysis reaction Methods 0.000 claims description 2
- JZMPIUODFXBXSC-UHFFFAOYSA-N ethyl carbamate;prop-2-enoic acid Chemical compound OC(=O)C=C.OC(=O)C=C.CCOC(N)=O JZMPIUODFXBXSC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 238000003698 laser cutting Methods 0.000 claims description 2
- 239000002923 metal particle Substances 0.000 claims description 2
- 230000035515 penetration Effects 0.000 claims description 2
- 238000000820 replica moulding Methods 0.000 claims description 2
- 239000000470 constituent Substances 0.000 claims 4
- 230000000873 masking effect Effects 0.000 claims 4
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 4
- 230000003252 repetitive effect Effects 0.000 claims 4
- 229910000938 samarium–cobalt magnet Inorganic materials 0.000 claims 4
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-M Chloride anion Chemical compound [Cl-] VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims 2
- 239000004809 Teflon Substances 0.000 claims 2
- 229920006362 Teflon® Polymers 0.000 claims 2
- 150000001252 acrylic acid derivatives Chemical class 0.000 claims 2
- 230000009471 action Effects 0.000 claims 2
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 claims 2
- 239000013626 chemical specie Substances 0.000 claims 2
- 229920001940 conductive polymer Polymers 0.000 claims 2
- 238000004924 electrostatic deposition Methods 0.000 claims 2
- 125000002573 ethenylidene group Chemical group [*]=C=C([H])[H] 0.000 claims 2
- XUCNUKMRBVNAPB-UHFFFAOYSA-N fluoroethene Chemical group FC=C XUCNUKMRBVNAPB-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 claims 2
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 claims 2
- 229910001111 Fine metal Inorganic materials 0.000 claims 1
- 238000003475 lamination Methods 0.000 claims 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 6
- 210000004027 cell Anatomy 0.000 description 38
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 25
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 23
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 20
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 18
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 18
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 15
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 14
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 13
- 238000001080 multi-layer soft lithography Methods 0.000 description 12
- 108020004414 DNA Proteins 0.000 description 11
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 11
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 description 11
- 229920001222 biopolymer Polymers 0.000 description 8
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 8
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 239000000178 monomer Substances 0.000 description 7
- 239000004576 sand Substances 0.000 description 7
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 6
- 238000004587 chromatography analysis Methods 0.000 description 6
- 238000005370 electroosmosis Methods 0.000 description 6
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 6
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 6
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 5
- 230000001276 controlling effect Effects 0.000 description 5
- 239000010408 film Substances 0.000 description 5
- 238000005194 fractionation Methods 0.000 description 5
- 230000037230 mobility Effects 0.000 description 5
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 5
- 230000002441 reversible effect Effects 0.000 description 5
- 241000894007 species Species 0.000 description 5
- KAKZBPTYRLMSJV-UHFFFAOYSA-N Butadiene Chemical compound C=CC=C KAKZBPTYRLMSJV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- RRHGJUQNOFWUDK-UHFFFAOYSA-N Isoprene Chemical compound CC(=C)C=C RRHGJUQNOFWUDK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 150000005829 chemical entities Chemical class 0.000 description 4
- IJOOHPMOJXWVHK-UHFFFAOYSA-N chlorotrimethylsilane Chemical compound C[Si](C)(C)Cl IJOOHPMOJXWVHK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 description 4
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 4
- 239000000376 reactant Substances 0.000 description 4
- KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N Isopropanol Chemical compound CC(C)O KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 108091034117 Oligonucleotide Proteins 0.000 description 3
- JLCPHMBAVCMARE-UHFFFAOYSA-N [3-[[3-[[3-[[3-[[3-[[3-[[3-[[3-[[3-[[3-[[3-[[5-(2-amino-6-oxo-1H-purin-9-yl)-3-[[3-[[3-[[3-[[3-[[3-[[5-(2-amino-6-oxo-1H-purin-9-yl)-3-[[5-(2-amino-6-oxo-1H-purin-9-yl)-3-hydroxyoxolan-2-yl]methoxy-hydroxyphosphoryl]oxyoxolan-2-yl]methoxy-hydroxyphosphoryl]oxy-5-(5-methyl-2,4-dioxopyrimidin-1-yl)oxolan-2-yl]methoxy-hydroxyphosphoryl]oxy-5-(6-aminopurin-9-yl)oxolan-2-yl]methoxy-hydroxyphosphoryl]oxy-5-(6-aminopurin-9-yl)oxolan-2-yl]methoxy-hydroxyphosphoryl]oxy-5-(6-aminopurin-9-yl)oxolan-2-yl]methoxy-hydroxyphosphoryl]oxy-5-(6-aminopurin-9-yl)oxolan-2-yl]methoxy-hydroxyphosphoryl]oxyoxolan-2-yl]methoxy-hydroxyphosphoryl]oxy-5-(5-methyl-2,4-dioxopyrimidin-1-yl)oxolan-2-yl]methoxy-hydroxyphosphoryl]oxy-5-(4-amino-2-oxopyrimidin-1-yl)oxolan-2-yl]methoxy-hydroxyphosphoryl]oxy-5-(5-methyl-2,4-dioxopyrimidin-1-yl)oxolan-2-yl]methoxy-hydroxyphosphoryl]oxy-5-(5-methyl-2,4-dioxopyrimidin-1-yl)oxolan-2-yl]methoxy-hydroxyphosphoryl]oxy-5-(6-aminopurin-9-yl)oxolan-2-yl]methoxy-hydroxyphosphoryl]oxy-5-(6-aminopurin-9-yl)oxolan-2-yl]methoxy-hydroxyphosphoryl]oxy-5-(4-amino-2-oxopyrimidin-1-yl)oxolan-2-yl]methoxy-hydroxyphosphoryl]oxy-5-(4-amino-2-oxopyrimidin-1-yl)oxolan-2-yl]methoxy-hydroxyphosphoryl]oxy-5-(4-amino-2-oxopyrimidin-1-yl)oxolan-2-yl]methoxy-hydroxyphosphoryl]oxy-5-(6-aminopurin-9-yl)oxolan-2-yl]methoxy-hydroxyphosphoryl]oxy-5-(4-amino-2-oxopyrimidin-1-yl)oxolan-2-yl]methyl [5-(6-aminopurin-9-yl)-2-(hydroxymethyl)oxolan-3-yl] hydrogen phosphate Polymers Cc1cn(C2CC(OP(O)(=O)OCC3OC(CC3OP(O)(=O)OCC3OC(CC3O)n3cnc4c3nc(N)[nH]c4=O)n3cnc4c3nc(N)[nH]c4=O)C(COP(O)(=O)OC3CC(OC3COP(O)(=O)OC3CC(OC3COP(O)(=O)OC3CC(OC3COP(O)(=O)OC3CC(OC3COP(O)(=O)OC3CC(OC3COP(O)(=O)OC3CC(OC3COP(O)(=O)OC3CC(OC3COP(O)(=O)OC3CC(OC3COP(O)(=O)OC3CC(OC3COP(O)(=O)OC3CC(OC3COP(O)(=O)OC3CC(OC3COP(O)(=O)OC3CC(OC3COP(O)(=O)OC3CC(OC3COP(O)(=O)OC3CC(OC3COP(O)(=O)OC3CC(OC3COP(O)(=O)OC3CC(OC3COP(O)(=O)OC3CC(OC3CO)n3cnc4c(N)ncnc34)n3ccc(N)nc3=O)n3cnc4c(N)ncnc34)n3ccc(N)nc3=O)n3ccc(N)nc3=O)n3ccc(N)nc3=O)n3cnc4c(N)ncnc34)n3cnc4c(N)ncnc34)n3cc(C)c(=O)[nH]c3=O)n3cc(C)c(=O)[nH]c3=O)n3ccc(N)nc3=O)n3cc(C)c(=O)[nH]c3=O)n3cnc4c3nc(N)[nH]c4=O)n3cnc4c(N)ncnc34)n3cnc4c(N)ncnc34)n3cnc4c(N)ncnc34)n3cnc4c(N)ncnc34)O2)c(=O)[nH]c1=O JLCPHMBAVCMARE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 3
- 238000003556 assay Methods 0.000 description 3
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 3
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 3
- 238000010790 dilution Methods 0.000 description 3
- 239000012895 dilution Substances 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 239000003792 electrolyte Substances 0.000 description 3
- 238000001962 electrophoresis Methods 0.000 description 3
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 3
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 3
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 3
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000004128 high performance liquid chromatography Methods 0.000 description 3
- 230000002209 hydrophobic effect Effects 0.000 description 3
- 238000001465 metallisation Methods 0.000 description 3
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 3
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 3
- 108090000765 processed proteins & peptides Proteins 0.000 description 3
- 230000004043 responsiveness Effects 0.000 description 3
- 229920005573 silicon-containing polymer Polymers 0.000 description 3
- 238000004073 vulcanization Methods 0.000 description 3
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000000018 DNA microarray Methods 0.000 description 2
- JOYRKODLDBILNP-UHFFFAOYSA-N Ethyl urethane Chemical compound CCOC(N)=O JOYRKODLDBILNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 2
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 2
- 238000003491 array Methods 0.000 description 2
- 239000012620 biological material Substances 0.000 description 2
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 2
- 230000000295 complement effect Effects 0.000 description 2
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 2
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 2
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 2
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 2
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 2
- 238000005336 cracking Methods 0.000 description 2
- 238000004132 cross linking Methods 0.000 description 2
- 230000001934 delay Effects 0.000 description 2
- 238000013461 design Methods 0.000 description 2
- 238000011161 development Methods 0.000 description 2
- 125000005442 diisocyanate group Chemical group 0.000 description 2
- 238000012377 drug delivery Methods 0.000 description 2
- 238000001727 in vivo Methods 0.000 description 2
- 230000006698 induction Effects 0.000 description 2
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 2
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 2
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 2
- 229910021421 monocrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000012299 nitrogen atmosphere Substances 0.000 description 2
- 239000012071 phase Substances 0.000 description 2
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 2
- 239000002243 precursor Substances 0.000 description 2
- 102000004196 processed proteins & peptides Human genes 0.000 description 2
- 102000004169 proteins and genes Human genes 0.000 description 2
- 108090000623 proteins and genes Proteins 0.000 description 2
- 238000005070 sampling Methods 0.000 description 2
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 2
- 239000011343 solid material Substances 0.000 description 2
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 2
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 description 2
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 2
- FPGGTKZVZWFYPV-UHFFFAOYSA-M tetrabutylammonium fluoride Chemical compound [F-].CCCC[N+](CCCC)(CCCC)CCCC FPGGTKZVZWFYPV-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 230000008646 thermal stress Effects 0.000 description 2
- 239000005051 trimethylchlorosilane Substances 0.000 description 2
- 230000035899 viability Effects 0.000 description 2
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 2
- HECLRDQVFMWTQS-RGOKHQFPSA-N 1755-01-7 Chemical compound C1[C@H]2[C@@H]3CC=C[C@@H]3[C@@H]1C=C2 HECLRDQVFMWTQS-RGOKHQFPSA-N 0.000 description 1
- 239000005046 Chlorosilane Substances 0.000 description 1
- 102000053602 DNA Human genes 0.000 description 1
- 239000003298 DNA probe Substances 0.000 description 1
- 241000588724 Escherichia coli Species 0.000 description 1
- 208000010412 Glaucoma Diseases 0.000 description 1
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004566 IR spectroscopy Methods 0.000 description 1
- 108091028043 Nucleic acid sequence Proteins 0.000 description 1
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000012300 Sequence Analysis Methods 0.000 description 1
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 1
- NINIDFKCEFEMDL-UHFFFAOYSA-N Sulfur Chemical compound [S] NINIDFKCEFEMDL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 208000035010 Term birth Diseases 0.000 description 1
- 238000002679 ablation Methods 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 1
- 230000003213 activating effect Effects 0.000 description 1
- 230000004913 activation Effects 0.000 description 1
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 description 1
- 150000001412 amines Chemical class 0.000 description 1
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 1
- 239000011324 bead Substances 0.000 description 1
- 230000003542 behavioural effect Effects 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 1
- 239000013060 biological fluid Substances 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 230000036772 blood pressure Effects 0.000 description 1
- 238000009835 boiling Methods 0.000 description 1
- 230000001413 cellular effect Effects 0.000 description 1
- 210000001175 cerebrospinal fluid Anatomy 0.000 description 1
- 230000005465 channeling Effects 0.000 description 1
- 239000003153 chemical reaction reagent Substances 0.000 description 1
- KOPOQZFJUQMUML-UHFFFAOYSA-N chlorosilane Chemical class Cl[SiH3] KOPOQZFJUQMUML-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920000891 common polymer Polymers 0.000 description 1
- 239000012141 concentrate Substances 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 230000000994 depressogenic effect Effects 0.000 description 1
- 238000001212 derivatisation Methods 0.000 description 1
- 238000002405 diagnostic procedure Methods 0.000 description 1
- 150000004985 diamines Chemical class 0.000 description 1
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 1
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000001993 dienes Chemical class 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 239000003085 diluting agent Substances 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 239000003814 drug Substances 0.000 description 1
- 229940079593 drug Drugs 0.000 description 1
- 238000003487 electrochemical reaction Methods 0.000 description 1
- 238000004070 electrodeposition Methods 0.000 description 1
- 238000000609 electron-beam lithography Methods 0.000 description 1
- 238000000407 epitaxy Methods 0.000 description 1
- 230000007717 exclusion Effects 0.000 description 1
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 1
- 210000003608 fece Anatomy 0.000 description 1
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 1
- 238000011049 filling Methods 0.000 description 1
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 1
- 238000002795 fluorescence method Methods 0.000 description 1
- 238000001506 fluorescence spectroscopy Methods 0.000 description 1
- 238000011010 flushing procedure Methods 0.000 description 1
- 210000004051 gastric juice Anatomy 0.000 description 1
- 238000001502 gel electrophoresis Methods 0.000 description 1
- 230000009477 glass transition Effects 0.000 description 1
- 239000010720 hydraulic oil Substances 0.000 description 1
- 238000009652 hydrodynamic focusing Methods 0.000 description 1
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 1
- 238000010348 incorporation Methods 0.000 description 1
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 1
- 238000007641 inkjet printing Methods 0.000 description 1
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 1
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 1
- 230000002452 interceptive effect Effects 0.000 description 1
- 238000005342 ion exchange Methods 0.000 description 1
- 230000002427 irreversible effect Effects 0.000 description 1
- 150000002540 isothiocyanates Chemical class 0.000 description 1
- 239000006193 liquid solution Substances 0.000 description 1
- 238000010551 living anionic polymerization reaction Methods 0.000 description 1
- 238000011068 loading method Methods 0.000 description 1
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 238000004949 mass spectrometry Methods 0.000 description 1
- 238000013178 mathematical model Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 239000000155 melt Substances 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 1
- 210000003205 muscle Anatomy 0.000 description 1
- 239000013642 negative control Substances 0.000 description 1
- 235000006286 nutrient intake Nutrition 0.000 description 1
- 235000015097 nutrients Nutrition 0.000 description 1
- 238000011017 operating method Methods 0.000 description 1
- 238000005457 optimization Methods 0.000 description 1
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 1
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 1
- 210000003101 oviduct Anatomy 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 230000035699 permeability Effects 0.000 description 1
- PARWUHTVGZSQPD-UHFFFAOYSA-N phenylsilane Chemical class [SiH3]C1=CC=CC=C1 PARWUHTVGZSQPD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000049 pigment Substances 0.000 description 1
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 description 1
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002861 polymer material Substances 0.000 description 1
- 238000006116 polymerization reaction Methods 0.000 description 1
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 description 1
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 1
- 238000003908 quality control method Methods 0.000 description 1
- 238000000163 radioactive labelling Methods 0.000 description 1
- 230000035484 reaction time Effects 0.000 description 1
- 230000009257 reactivity Effects 0.000 description 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 1
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 1
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000012216 screening Methods 0.000 description 1
- 238000011896 sensitive detection Methods 0.000 description 1
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 1
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004513 sizing Methods 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 239000007790 solid phase Substances 0.000 description 1
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 1
- 238000000992 sputter etching Methods 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 230000035882 stress Effects 0.000 description 1
- 229910052717 sulfur Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011593 sulfur Substances 0.000 description 1
- 239000004094 surface-active agent Substances 0.000 description 1
- 230000004083 survival effect Effects 0.000 description 1
- 239000000725 suspension Substances 0.000 description 1
- 230000002459 sustained effect Effects 0.000 description 1
- 230000002194 synthesizing effect Effects 0.000 description 1
- 238000010189 synthetic method Methods 0.000 description 1
- 150000003673 urethanes Chemical class 0.000 description 1
- 239000011800 void material Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
- B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
- B81B7/00—Microstructural systems; Auxiliary parts of microstructural devices or systems
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B43/00—Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members
- F04B43/12—Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members having peristaltic action
- F04B43/14—Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members having peristaltic action having plate-like flexible members
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
- B01L3/00—Containers or dishes for laboratory use, e.g. laboratory glassware; Droppers
- B01L3/50—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes
- B01L3/502—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes with fluid transport, e.g. in multi-compartment structures
- B01L3/5027—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes with fluid transport, e.g. in multi-compartment structures by integrated microfluidic structures, i.e. dimensions of channels and chambers are such that surface tension forces are important, e.g. lab-on-a-chip
- B01L3/502707—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes with fluid transport, e.g. in multi-compartment structures by integrated microfluidic structures, i.e. dimensions of channels and chambers are such that surface tension forces are important, e.g. lab-on-a-chip characterised by the manufacture of the container or its components
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
- B01L3/00—Containers or dishes for laboratory use, e.g. laboratory glassware; Droppers
- B01L3/50—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes
- B01L3/502—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes with fluid transport, e.g. in multi-compartment structures
- B01L3/5027—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes with fluid transport, e.g. in multi-compartment structures by integrated microfluidic structures, i.e. dimensions of channels and chambers are such that surface tension forces are important, e.g. lab-on-a-chip
- B01L3/50273—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes with fluid transport, e.g. in multi-compartment structures by integrated microfluidic structures, i.e. dimensions of channels and chambers are such that surface tension forces are important, e.g. lab-on-a-chip characterised by the means or forces applied to move the fluids
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
- B01L3/00—Containers or dishes for laboratory use, e.g. laboratory glassware; Droppers
- B01L3/50—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes
- B01L3/502—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes with fluid transport, e.g. in multi-compartment structures
- B01L3/5027—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes with fluid transport, e.g. in multi-compartment structures by integrated microfluidic structures, i.e. dimensions of channels and chambers are such that surface tension forces are important, e.g. lab-on-a-chip
- B01L3/502738—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes with fluid transport, e.g. in multi-compartment structures by integrated microfluidic structures, i.e. dimensions of channels and chambers are such that surface tension forces are important, e.g. lab-on-a-chip characterised by integrated valves
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C51/00—Shaping by thermoforming, i.e. shaping sheets or sheet like preforms after heating, e.g. shaping sheets in matched moulds or by deep-drawing; Apparatus therefor
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
- B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
- B81B5/00—Devices comprising elements which are movable in relation to each other, e.g. comprising slidable or rotatable elements
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
- B81C—PROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS
- B81C1/00—Manufacture or treatment of devices or systems in or on a substrate
- B81C1/00015—Manufacture or treatment of devices or systems in or on a substrate for manufacturing microsystems
- B81C1/00023—Manufacture or treatment of devices or systems in or on a substrate for manufacturing microsystems without movable or flexible elements
- B81C1/00119—Arrangement of basic structures like cavities or channels, e.g. suitable for microfluidic systems
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C12—BIOCHEMISTRY; BEER; SPIRITS; WINE; VINEGAR; MICROBIOLOGY; ENZYMOLOGY; MUTATION OR GENETIC ENGINEERING
- C12Q—MEASURING OR TESTING PROCESSES INVOLVING ENZYMES, NUCLEIC ACIDS OR MICROORGANISMS; COMPOSITIONS OR TEST PAPERS THEREFOR; PROCESSES OF PREPARING SUCH COMPOSITIONS; CONDITION-RESPONSIVE CONTROL IN MICROBIOLOGICAL OR ENZYMOLOGICAL PROCESSES
- C12Q1/00—Measuring or testing processes involving enzymes, nucleic acids or microorganisms; Compositions therefor; Processes of preparing such compositions
- C12Q1/68—Measuring or testing processes involving enzymes, nucleic acids or microorganisms; Compositions therefor; Processes of preparing such compositions involving nucleic acids
- C12Q1/6869—Methods for sequencing
- C12Q1/6874—Methods for sequencing involving nucleic acid arrays, e.g. sequencing by hybridisation
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B43/00—Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members
- F04B43/02—Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members having plate-like flexible members, e.g. diaphragms
- F04B43/04—Pumps having electric drive
- F04B43/043—Micropumps
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
- F15C—FLUID-CIRCUIT ELEMENTS PREDOMINANTLY USED FOR COMPUTING OR CONTROL PURPOSES
- F15C1/00—Circuit elements having no moving parts
- F15C1/02—Details, e.g. special constructional devices for circuits with fluid elements, such as resistances, capacitive circuit elements; devices preventing reaction coupling in composite elements ; Switch boards; Programme devices
- F15C1/06—Constructional details; Selection of specified materials ; Constructional realisation of one single element; Canal shapes; Jet nozzles; Assembling an element with other devices, only if the element forms the main part
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
- F15C—FLUID-CIRCUIT ELEMENTS PREDOMINANTLY USED FOR COMPUTING OR CONTROL PURPOSES
- F15C5/00—Manufacture of fluid circuit elements; Manufacture of assemblages of such elements integrated circuits
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K1/00—Lift valves or globe valves, i.e. cut-off apparatus with closure members having at least a component of their opening and closing motion perpendicular to the closing faces
- F16K1/16—Lift valves or globe valves, i.e. cut-off apparatus with closure members having at least a component of their opening and closing motion perpendicular to the closing faces with pivoted closure-members
- F16K1/18—Lift valves or globe valves, i.e. cut-off apparatus with closure members having at least a component of their opening and closing motion perpendicular to the closing faces with pivoted closure-members with pivoted discs or flaps
- F16K1/20—Lift valves or globe valves, i.e. cut-off apparatus with closure members having at least a component of their opening and closing motion perpendicular to the closing faces with pivoted closure-members with pivoted discs or flaps with axis of rotation arranged externally of valve member
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K11/00—Multiple-way valves, e.g. mixing valves; Pipe fittings incorporating such valves
- F16K11/10—Multiple-way valves, e.g. mixing valves; Pipe fittings incorporating such valves with two or more closure members not moving as a unit
- F16K11/20—Multiple-way valves, e.g. mixing valves; Pipe fittings incorporating such valves with two or more closure members not moving as a unit operated by separate actuating members
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K13/00—Other constructional types of cut-off apparatus; Arrangements for cutting-off
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K31/00—Actuating devices; Operating means; Releasing devices
- F16K31/12—Actuating devices; Operating means; Releasing devices actuated by fluid
- F16K31/126—Actuating devices; Operating means; Releasing devices actuated by fluid the fluid acting on a diaphragm, bellows, or the like
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K99/00—Subject matter not provided for in other groups of this subclass
- F16K99/0001—Microvalves
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K99/00—Subject matter not provided for in other groups of this subclass
- F16K99/0001—Microvalves
- F16K99/0003—Constructional types of microvalves; Details of the cutting-off member
- F16K99/0015—Diaphragm or membrane valves
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K99/00—Subject matter not provided for in other groups of this subclass
- F16K99/0001—Microvalves
- F16K99/0034—Operating means specially adapted for microvalves
- F16K99/0042—Electric operating means therefor
- F16K99/0046—Electric operating means therefor using magnets
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K99/00—Subject matter not provided for in other groups of this subclass
- F16K99/0001—Microvalves
- F16K99/0034—Operating means specially adapted for microvalves
- F16K99/0042—Electric operating means therefor
- F16K99/0048—Electric operating means therefor using piezoelectric means
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K99/00—Subject matter not provided for in other groups of this subclass
- F16K99/0001—Microvalves
- F16K99/0034—Operating means specially adapted for microvalves
- F16K99/0042—Electric operating means therefor
- F16K99/0051—Electric operating means therefor using electrostatic means
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K99/00—Subject matter not provided for in other groups of this subclass
- F16K99/0001—Microvalves
- F16K99/0034—Operating means specially adapted for microvalves
- F16K99/0055—Operating means specially adapted for microvalves actuated by fluids
- F16K99/0059—Operating means specially adapted for microvalves actuated by fluids actuated by a pilot fluid
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
- B01L2300/00—Additional constructional details
- B01L2300/08—Geometry, shape and general structure
- B01L2300/0861—Configuration of multiple channels and/or chambers in a single devices
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
- B01L2300/00—Additional constructional details
- B01L2300/08—Geometry, shape and general structure
- B01L2300/0887—Laminated structure
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
- B01L2300/00—Additional constructional details
- B01L2300/12—Specific details about materials
- B01L2300/123—Flexible; Elastomeric
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
- B01L2400/00—Moving or stopping fluids
- B01L2400/04—Moving fluids with specific forces or mechanical means
- B01L2400/0403—Moving fluids with specific forces or mechanical means specific forces
- B01L2400/046—Chemical or electrochemical formation of bubbles
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
- B01L2400/00—Moving or stopping fluids
- B01L2400/04—Moving fluids with specific forces or mechanical means
- B01L2400/0475—Moving fluids with specific forces or mechanical means specific mechanical means and fluid pressure
- B01L2400/0481—Moving fluids with specific forces or mechanical means specific mechanical means and fluid pressure squeezing of channels or chambers
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
- B01L2400/00—Moving or stopping fluids
- B01L2400/06—Valves, specific forms thereof
- B01L2400/0633—Valves, specific forms thereof with moving parts
- B01L2400/0655—Valves, specific forms thereof with moving parts pinch valves
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B33—ADDITIVE MANUFACTURING TECHNOLOGY
- B33Y—ADDITIVE MANUFACTURING, i.e. MANUFACTURING OF THREE-DIMENSIONAL [3-D] OBJECTS BY ADDITIVE DEPOSITION, ADDITIVE AGGLOMERATION OR ADDITIVE LAYERING, e.g. BY 3-D PRINTING, STEREOLITHOGRAPHY OR SELECTIVE LASER SINTERING
- B33Y80/00—Products made by additive manufacturing
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
- B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
- B81B2201/00—Specific applications of microelectromechanical systems
- B81B2201/03—Microengines and actuators
- B81B2201/036—Micropumps
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
- B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
- B81B2201/00—Specific applications of microelectromechanical systems
- B81B2201/05—Microfluidics
- B81B2201/054—Microvalves
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
- B81C—PROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS
- B81C2201/00—Manufacture or treatment of microstructural devices or systems
- B81C2201/01—Manufacture or treatment of microstructural devices or systems in or on a substrate
- B81C2201/0174—Manufacture or treatment of microstructural devices or systems in or on a substrate for making multi-layered devices, film deposition or growing
- B81C2201/019—Bonding or gluing multiple substrate layers
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
- B81C—PROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS
- B81C2201/00—Manufacture or treatment of microstructural devices or systems
- B81C2201/03—Processes for manufacturing substrate-free structures
- B81C2201/034—Moulding
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K99/00—Subject matter not provided for in other groups of this subclass
- F16K2099/0073—Fabrication methods specifically adapted for microvalves
- F16K2099/0074—Fabrication methods specifically adapted for microvalves using photolithography, e.g. etching
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K99/00—Subject matter not provided for in other groups of this subclass
- F16K2099/0073—Fabrication methods specifically adapted for microvalves
- F16K2099/0076—Fabrication methods specifically adapted for microvalves using electrical discharge machining [EDM], milling or drilling
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K99/00—Subject matter not provided for in other groups of this subclass
- F16K2099/0073—Fabrication methods specifically adapted for microvalves
- F16K2099/0078—Fabrication methods specifically adapted for microvalves using moulding or stamping
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K99/00—Subject matter not provided for in other groups of this subclass
- F16K2099/0073—Fabrication methods specifically adapted for microvalves
- F16K2099/008—Multi-layer fabrications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K99/00—Subject matter not provided for in other groups of this subclass
- F16K2099/0082—Microvalves adapted for a particular use
- F16K2099/0094—Micropumps
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T137/00—Fluid handling
- Y10T137/0318—Processes
- Y10T137/0402—Cleaning, repairing, or assembling
- Y10T137/0491—Valve or valve element assembling, disassembling, or replacing
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T137/00—Fluid handling
- Y10T137/0318—Processes
- Y10T137/0402—Cleaning, repairing, or assembling
- Y10T137/0491—Valve or valve element assembling, disassembling, or replacing
- Y10T137/0497—Fluid actuated or retarded
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T137/00—Fluid handling
- Y10T137/206—Flow affected by fluid contact, energy field or coanda effect [e.g., pure fluid device or system]
- Y10T137/2224—Structure of body of device
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T137/00—Fluid handling
- Y10T137/8593—Systems
- Y10T137/87249—Multiple inlet with multiple outlet
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T137/00—Fluid handling
- Y10T137/8593—Systems
- Y10T137/87917—Flow path with serial valves and/or closures
- Y10T137/87981—Common actuator
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T156/00—Adhesive bonding and miscellaneous chemical manufacture
- Y10T156/10—Methods of surface bonding and/or assembly therefor
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10T428/24—Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.]
- Y10T428/24479—Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.] including variation in thickness
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10T428/24—Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.]
- Y10T428/24744—Longitudinal or transverse tubular cavity or cell
Abstract
Description
Claims (433)
- 그 안에 마이크로 가공된 리세스가 형성되어 있는 탄성중합체 블록과, 작동시 편향 가능한 탄성중합체 블록의 일부분을 포함하는 것인 마이크로 가공된 탄성중합체 구조물.
- 제1항에 있어서, 상기 리세스의 폭은 0.01 내지 1000 ㎛ 인 것인 마이크로 가공된 탄성중합체 구조물.
- 제1항에 있어서, 상기 리세스의 폭은 0.2 내지 500 ㎛ 인 것인 마이크로 가공된 탄성중합체 구조물.
- 제1항에 있어서, 상기 리세스의 폭은 10 내지 200 ㎛ 인 것인 마이크로 가공된 탄성중합체 구조물.
- 제1항에 있어서, 상기 리세스의 깊이 대 높이의 비는 약 0.1:1 내지 100:1 인 것인 마이크로 가공된 탄성중합체 구조물.
- 제1항에 있어서, 상기 리세스의 깊이 대 높이의 비는 약 1:1 내지 50:1 인 것인 마이크로 가공된 탄성중합체 구조물.
- 제1항에 있어서, 상기 리세스의 깊이 대 높이의 비는 약 2:1 내지 20:1 인 것인 마이크로 가공된 탄성중합체 구조물.
- 제1항에 있어서, 상기 리세스의 깊이는 약 0.01 내지 1000 ㎛ 인 것인 마이크로 가공된 탄성중합체 구조물.
- 제1항에 있어서, 상기 리세스의 깊이는 약 0.2 내지 250 ㎛ 인 것인 마이크로 가공된 탄성중합체 구조물.
- 제1항에 있어서, 상기 리세스의 깊이는 약 2 내지 20 ㎛ 인 것인 마이크로 가공된 탄성중합체 구조물.
- 제1항에 있어서, 상기 일부분의 두께는 약 0.01 내지 1000 ㎛ 인 것인 마이크로 가공된 탄성중합체 구조물.
- 제1항에 있어서, 상기 일부분의 두께는 약 0.2 내지 250 ㎛ 인 것인 마이크로 가공된 탄성중합체 구조물.
- 제1항에 있어서, 상기 일부분의 두께는 약 2 내지 50 ㎛ 인 것인 마이크로가공된 탄성중합체 구조물.
- 제1항에 있어서, 상기 일부분은 가해지는 작동력에 대해 선형으로 반응하는 것인 마이크로 가공된 탄성중합체 구조물.
- 제1항에 있어서, 상기 일부분은 100Hz 이상의 속도로 작동되는 것인 마이크로 가공된 탄성중합체 구조물.
- 제1항에 있어서, 상기 구조물은 상기 부분이 작동될 때 실질적으로 포함하지 않는 것인 마이크로 가공된 탄성중합체 구조물.
- 제1항에 있어서, 상기 리세스는 마이크로 가공된 제1 채널과 마이크로 가공된 제2 채널을 포함하고, 상기 일부분은 작동시 마이크로 가공된 제1 채널 또는 마이크로 가공된 제2 채널 중 어느 한쪽으로 편향될 수 있는 탄성중합체 박막을 포함하는 것인 마이크로 가공된 탄성중합체 구조물.
- 제1항에 있어서, 상기 리세스는 마이크로 가공된 제1 채널과 마이크로 가공된 제1 리세tm를 포함하고, 상기 일부분은 작동시 마이크로 가공된 제1 채널쪽으로 편향될 수 있는 탄성중합체 박막을 포함하는 것인 마이크로 가공된 탄성중합체 구조물.
- 제18항에 있어서, 상기 마이크로 가공된 제1 리세스는 마이크로 가공된 제2 채널을 포함하는 것인 마이크로 가공된 탄성중합체 구조물.
- 제18항에 있어서, 상기 박막은 마이크로 가공된 제1 리세스가 가압될 때 제1 채널쪽으로 편향될 수 있는 것인 마이크로 가공된 탄성중합체 구조물.
- 제18항에 있어서, 상기 박막은 정전기적으로 작동될 때 제1 채널쪽으로 편향될 수 있는 것인 마이크로 가공된 탄성중합체 구조물.
- 제21항에 있어서, 상기 박막에는 제1 전도성 부분이 마련되고, 이 제1 전도성 부분과 대향하는 측면의 제1 채널 상에는 제2 전도성 부분이 배치되는 것인 마이크로 가공된 탄성중합체 구조물.
- 제22항에 있어서, 제1 전도성 부분 및 제2 전도성 부분 중 하나 이상은 본래 전도성인 탄성중합체로 이루어지는 것인 마이크로 가공된 탄성중합체 구조물.
- 제22항에 있어서, 제1 전도성 부분 및 제2 전도성 부분 중 하나 이상은 전도성 물질로 도핑된 탄성중합체로 이루어지는 것인 마이크로 가공된 탄성중합체 구조물.
- 제24항에 있어서, 상기 전도성 물질은 미세한 금속 입자를 포함하는 것인 마이크로 가공된 탄성중합체 구조물.
- 제24항에 있어서, 상기 전도성 물질은 카본을 포함하는 것인 마이크로 가공된 탄성중합체 구조물.
- 제18항에 있어서, 상기 박막은 자기적으로 작동될 때 제1 채널쪽으로 편향될 수 있는 것인 마이크로 가공된 탄성중합체 구조물.
- 제27항에 있어서, 상기 박막에는 자성 부분이 마련되고, 이 자성 부분과 대향하는 측면의 제1 채널 상에는 자기장 인가 수단이 배치되는 것인 마이크로 가공된 탄성중합체 구조물.
- 제27항에 있어서, 상기 박막에는 자성 부분이 마련되고, 이 자성 부분과 동일한 측면의 제1 채널 상에는 자기장 인가 수단이 배치되는 것인 마이크로 가공된 탄성중합체 구조물.
- 제28항에 있어서, 상기 자기장 인가 수단은 자석을 포함하는 것인 마이크로 가공된 탄성중합체 구조물.
- 제28항에 있어서, 상기 자기장 인가 수단은 자기 코일을 포함하는 것인 마이크로 가공된 탄성중합체 구조물.
- 제28항에 있어서, 상기 자기장 인가 수단은 마이크로 가공된 자기 코일을 포함하는 것인 마이크로 가공된 탄성중합체 구조물.
- 제28항에 있어서, 상기 자성 부분은 본래 자성인 탄성중합체로 이루어지는 것인 마이크로 가공된 탄성중합체 구조물.
- 제28항에 있어서, 상기 자성 부분은 자성 물질로 도핑된 탄성중합체로 이루어지는 것인 마이크로 가공된 탄성중합체 구조물.
- 제34항에 있어서, 도펀트는 자기적으로 극화 가능한 물질을 포함하는 것인 마이크로 가공된 탄성중합체 구조물.
- 제34항에 있어서, 도펀트는 영구히 자화된 물질을 포함하는 것인 마이크로 가공된 탄성중합체 구조물.
- 제27항에 있어서, 상기 박막에는 영구히 자화된 부분이 마련되고, 이 영구히자화된 부분과 동일한 측면의 제1 채널 상에는 자기장 인가 수단이 배치되는 것인 마이크로 가공된 탄성중합체 구조물.
- 제27항에 있어서, 상기 박막에는 영구히 자화된 부분이 마련되고, 이 영구히 자화된 부분과 대향하는 측면의 제1 채널 상에는 자기장 인가 수단이 배치되는 것인 마이크로 가공된 탄성중합체 구조물.
- 제19항에 있어서, 상기 마이크로 가공된 제1 채널과 마이크로 가공된 제2 채널은 서로 교차하지만 직접 만나지는 않는 것인 마이크로 가공된 탄성중합체 구조물.
- 제19항에 있어서, 상기 마이크로 가공된 제1 채널과 마이크로 가공된 제2 채널은 서로에 대해 소정의 각도를 이루어 배치되어 있지만 서로 접하지는 않는 것인 마이크로 가공된 탄성중합체 구조물.
- 제19항에 있어서, 상기 마이크로 가공된 제1 채널과 마이크로 가공된 제2 채널은 모두 탄성중합체 구조물을 통과하는 것인 마이크로 가공된 탄성중합체 구조물.
- 제19항에 있어서, 상기 마이크로 가공된 제2 채널은 탄성중합체 구조물을 통과하고, 마이크로 가공된 제1 채널은 탄성중합체 구조물의 표면을 따라 통과하는 것인 마이크로 가공된 탄성중합체 구조물.
- 제42항에 있어서, 마이크로 가공된 제1 채널이 따라 통과하는 탄성중합체 구조물의 표면에 인접하게 배치되는 평탄한 기판을 더 포함하는 것인 마이크로 가공된 탄성중합체 구조물.
- 제18항에 있어서, 제1 채널쪽으로 편향될 수 있는 제2 박막 및 제3 박막에 의해 각각 제1 채널로부터 분리되는 제2 리세스 및 제3 리세스를 더 포함하는 것인 마이크로 가공된 탄성중합체 구조물.
- 제19항에 있어서, 제2 채널에 평행하게 배치되는 제3 채널 및 제4 채널을 더 포함하고, 이 제2 채널, 제3 채널 및 제4 채널은 제1 채널쪽으로 편향될 수 있는 제1 박막, 제2 박막 및 제3 박막에 의해 각각 제1 채널로부터 분리되는 것인 마이크로 가공된 탄성중합체 구조물.
- 제45항에 있어서, 상기 제1 박막, 제2 박막 및 제3 박막은 제2 채널, 제3 채널 및 제4 채널이 각각 가압될 때 제1 채널쪽으로 편향될 수 있는 것인 마이크로 가공된 탄성중합체 구조물.
- 제44항에 있어서, 상기 제1 박막, 제2 박막 및 제3 박막은 이들 박막이 정전기적으로 작동될 때 제1 채널쪽으로 편향될 수 있는 것인 마이크로 가공된 탄성중합체 구조물.
- 제47항에 있어서, 상기 각 박막에는 제1 전도성 부분, 제2 전도성 부분 및 제3 전도성 부분이 마련되고, 이 제1 전도성 부분, 제2 전도성 부분 및 제3 전도성 부분에 대향하게 제4 전도성 부분, 제5 전도성 부분 및 제6 전도성 부분이 마련되어, 제1 및 제4 전도성 부분, 제2 및 제5 전도성 부분, 제3 및 제6 전도성 부분이 제1 채널의 대향 측면 상에 배치되는 것인 마이크로 가공된 탄성중합체 구조물.
- 제44항에 있어서, 상기 박막은 자기적으로 작동될 때 제1 채널쪽으로 편향될 수 있는 것인 마이크로 가공된 탄성중합체 구조물.
- 제49항에 있어서, 상기 제1 박막, 제2 박막 및 제3 박막 각각에는 제1 자성 부분, 제2 자성 부분 및 제3 자성 부분이 마련되고, 이 자성 부분과 대향하는 측면의 제1 채널 상에는 자기장 인가 수단이 배치되는 것인 마이크로 가공된 탄성중합체 구조물.
- 제49항에 있어서, 상기 제1 박막, 제2 박막 및 제3 박막 각각에는 제1, 2, 3영구히 자화된 부분이 마련되고, 이 자성 부분과 동일한 측면의 제1 채널 상에는자기장 인가 수단이 배치되는 것인 마이크로 가공된 탄성중합체 구조물.
- 제49항에 있어서, 상기 제1 박막, 제2 박막 및 제3 박막 각각에는 제1, 2, 3 영구히 자화된 부분이 마련되고, 이 자성 부분과 대향하는 측면의 제1 채널 상에는 자기장 인가 수단이 배치되는 것인 마이크로 가공된 탄성중합체 구조물.
- 제19항에 있어서, 제1 채널에 평행한 마이크로 가공된 제3 채널을 더 포함하고, 제2 채널은 그 길이를 따라 폭이 넓은 부분과 협소한 부분을 모두 구비하며, 제1 채널 부근에는 폭이 넓은 부분이 배치되고 제3 채널 부근에는 폭이 협소한 부분이 배치되는 것인 마이크로 가공된 탄성중합체 구조물.
- 제53항에 있어서, 상기 제2 채널을 가압하면 제1 채널과 제2 채널을 분리하는 박막이 제1 채널쪽으로 편향될 것이지만, 제3 채널과 제2 채널을 분리하는 박막은 제3 채널쪽으로 편향되지 않는 것인 마이크로 가공된 탄성중합체 구조물.
- 제18항에 있어서, 상기 박막은 만곡된 바닥면을 구비하여 제1 채널의 상단부가 만곡되는 것인 마이크로 가공된 탄성중합체 구조물.
- 제18항에 있어서, 상기 박막의 바닥면 및 제1 채널의 상부면 중 하나 이상에는 돌출부가 포함되는 것인 마이크로 가공된 탄성중합체 구조물.
- 탄성중합체 블록과, 탄성중합체 구조물의 분리부에 의해 분리되는 제1 채널 및 제2 채널과, 그리고 상기 분리부에 인접한 탄성중합체 블록에 있는 마이크로 가공된 리세스를 포함하며, 상기 분리부는 상기 마이크로 가공된 리세스쪽으로 편향하도록 작동되는 것인 마이크로 가공된 탄성중합체 구조물.
- 제57항에 있어서, 상기 마이크로 가공된 리세스는 상기 분리부를 마이크로 가공된 리세스쪽으로 편향시키는 감압을 경험하는 것인 마이크로 가공된 탄성중합체 구조물.
- 제57항에 있어서, 상기 분리부는 정전기적으로 작동될 때 상기 마이크로 가공된 리세스쪽으로 편향될 수 있는 것인 마이크로 가공된 탄성중합체 구조물.
- 제59항에 있어서, 상기 분리부에는 제1 전도성 부분이 마련되고, 이 제1 전도성 부분과 대향하는 측면의 마이크로 가공된 리세스 상에는 제2 전도성 부분이 배치되는 것인 마이크로 가공된 탄성중합체 구조물.
- 제57항에 있어서, 상기 분리부는 자기적으로 작동될 때, 상기 마이크로 가공된 리세스쪽으로 편향될 수 있는 것인 마이크로 가공된 탄성중합체 구조물.
- 제61항에 있어서, 상기 분리부에는 제1 자성 부분이 마련되고, 이 제1 자성 부분과 대향하는 측면의 마이크로 가공된 리세스 상에는 자기장 생성 수단이 배치되는 것인 마이크로 가공된 탄성중합체 구조물.
- 제61항에 있어서, 상기 분리부에는 제1 영구히 자화된 부분이 마련되고, 이 제1 영구히 자화된 부분과 대향하는 측면의 마이크로 가공된 리세스 상에는 자기장 생성 수단이 배치되는 것인 마이크로 가공된 탄성중합체 구조물.
- 제61항에 있어서, 상기 분리부에는 제1 영구히 자화된 부분이 마련되고, 이 제1 영구히 자화된 부분과 동일한 측면의 마이크로 가공된 리세스 상에는 자기장 생성 수단이 배치되는 것인 마이크로 가공된 탄성중합체 구조물.
- 제57항에 있어서, 제1 채널 및 제2 채널이 따라 통과하는 탄성중합체 구조물의 표면에 인접하게 배치되는 평탄한 기판을 더 포함하는 것인 마이크로 가공된 탄성중합체 구조물.
- 제57항에 있어서, 상기 분리부가 편향되면 제1 채널 및 제2 채널 사이의 통로가 개방되는 것인 마이크로 가공된 탄성중합체 구조물.
- 제57항에 있어서, 상기 제1 리세스는 상기 분리부에 인접하게 배치된 폭이넓은 부분을 구비하는 것인 마이크로 가공된 탄성중합체 구조물.
- 제1항에 있어서, 상기 탄성중합체 구조물은 폴리이소프렌, 폴리부타디엔, 폴리클로로프렌, 폴리이소부틸렌, 폴리(스티렌-부타디엔-스티렌), 폴리우레탄, 실리콘으로 이루어진 그룹에서 선택되는 물질을 포함하는 것인 마이크로 가공된 탄성중합체 구조물.
- 제1항에 있어서, 상기 탄성중합체 구조물은 폴리(비스(플루오르알콕시)포스파젠)(PNF, Eypel-F), 폴리(카보레인-실록산)(Dexsil), 폴리(아크릴로니트릴-부타디엔)(니트릴 고무), 폴리(1-부텐), 폴리(클로로트리플루오르에틸렌-염화 비닐리덴) 공중합체(Kel-F), 폴리(에틸 비닐 에테르), 폴리(염화 비닐리덴), 폴리(염화 비닐리덴-헥사플루오르프로필렌) 공중합체(Viton)로 이루어진 그룹에서 선택되는 물질을 포함하는 것인 마이크로 가공된 탄성중합체 구조물.
- 제1항에 있어서, 상기 탄성중합체 구조물은 탄성중합체 조성의 폴리염화비닐(PVC), 폴리술폰, 폴리카보네이트, 폴리메틸메타크릴레이트(PMMA), 폴리테트라플루오르에틸렌(Teflon)으로 이루어진 그룹에서 선택되는 물질을 포함하는 것인 마이크로 가공된 탄성중합체 구조물.
- 제68항에 있어서, 상기 탄성중합체 구조물은 제너럴 일렉트릭의 RTV 615, 다우 케미컬스 코포레이션의 Sylgard 182, 184 또는 186 등과 같은 폴리디메틸실록산(PDMS), UCB 케미컬의 Ebecryl 270 또는 Irr 245 등과 같은 지방족 우레탄 디아크릴레이트로 이루어진 그룹에서 선택되는 물질을 포함하는 것인 마이크로 가공된 탄성중합체 구조물.
- 제43항에 있어서, 상기 평탄한 기판은 유리인 것인 마이크로 가공된 탄성중합체 구조물.
- 제43항에 있어서, 상기 평탄한 기판은 탄성중합체 물질인 것인 마이크로 가공된 탄성중합체 구조물.
- 제18항에 있어서, 상기 마이크로 가공된 제1 채널은 T자형이고, 제1 브랜치 및 제2 브랜치와 유체 연통되어 있는 스템을 포함하며,상기 탄성중합체 박막은 제1 브랜치 위에 위치하고 제1 브랜치쪽으로 편향될 수 있으며,상기 탄성중합체 구조물은 제2 브랜치 위에 위치하는 제2 리세스를 더 포함하여 제2 탄성중합체 박막이 작동시 제2 브랜치쪽으로 편향될 수 있으므로, 스템을 향하는 유체의 흐름은 제2 탄성중합체 박막 및 제1 탄성중합체 박막을 각각 작동시킴으로써 제1 브랜치 및 제2 브랜치 중 한쪽으로 안내되는 것인 마이크로 가공된 탄성중합체 구조물.<작동 방법>
- 그 안에 마이크로 가공된 제1 리세스와 마이크로 가공된 제2 리세스가 형성된 탄성중합체 블록으로서, 상기 마이크로 가공된 제1 리세스와 마이크로 가공된 제2 리세스는 작동력에 반응하여 이들 중 한쪽으로 편향될 수 있는 탄성중합체 블록의 박막 부분에 의해 분리되는 탄성중합체 블록을 제공하는 단계와,상기 박막 부분이 제1 리세스 및 제2 리세스 중 한쪽으로 편향되도록 박막 부분에 작동력을 인가하는 단계를 포함하는 것인 탄성중합체 구조물의 작동 방법.
- 제75항에 있어서, 상기 작동력 인가 단계는 상기 박막 부분을 마이크로 가공된 제1 리세스쪽으로 편향시키도록 마이크로 가공된 제2 리세스에 압력을 인가하는 단계를 포함하는 것인 작동 방법.
- 제75항에 있어서, 상기 작동력 인가 단계는 상기 박막의 전도성 부분을 마이크로 가공된 제1 리세스쪽으로 끌어당기기 위해 전기장을 인가하는 단계를 포함하는 것인 작동 방법.
- 제75항에 있어서, 상기 작동력 인가 단계는 상기 박막의 자기적으로 극화 가능한 부분을 마이크로 가공된 제1 리세스쪽으로 끌어당기기 위해 자기장을 인가하는 단계를 포함하는 것인 작동 방법.
- 제75항에 있어서, 상기 작동력 인가 단계는 상기 박막의 영구히 자화된 부분을 마이크로 가공된 제1 리세스쪽으로 끌어당기기 위해 자기장을 인가하는 단계를 포함하는 것인 작동 방법.
- 제75항에 있어서, 상기 작동력 인가 단계는 상기 박막의 영구히 자화된 부분을 마이크로 가공된 제1 리세스쪽으로 밀어내기 위해 자기장을 인가하는 단계를 포함하는 것인 작동 방법.
- 마이크로 가공된 제1 채널과 마이크로 가공된 제1 리세스를 구비하는 탄성중합체 블록으로서, 상기 마이크로 가공된 제1 채널과 마이크로 가공된 제1 리세스는 제1 채널쪽으로 편향될 수 있는 박막에 의해 분리되는 탄성중합체 블록을 제공하는 단계와,제1 채널을 통해 유체 또는 가스의 흐름을 통과시키는 단계와,제1 채널쪽으로 상기 박막을 편향시키는 단계를 포함하는 것인 탄성중합체 구조물을 통하는 유체 또는 가스의 흐름의 제어 방법.
- 제81항에 있어서, 상기 박막은 마이크로 가공된 제1 리세스 내의 압력을 증가시킴으로써 제1 채널쪽으로 편향되는 것인 제어 방법.
- 제82항에 있어서, 마이크로 가공된 제1 리세스 내에서 발생하는 화학반응에 의해 마이크로 가공된 제1 리세스 내의 압력이 증가되는 것인 제어 방법.
- 제83항에 있어서, 상기 화학 반응은 전기분해인 것인 제어 방법.
- 제82항에 있어서, 상기 압력의 상승은 마이크로 가공된 제1 리세스와 유체 연통하는 벨로즈 구조물의 정전기적 작동에 기인하는 것인 제어 방법.
- 제83항에 있어서, 상기 압력의 상승은 마이크로 가공된 제1 리세스와 유체 연통하는 벨로즈 구조물의 자기적 작동에 기인하는 것인 제어 방법.
- 제82항에 있어서, 상기 마이크로 가공된 제1 리세스 내에서의 압력의 상승은 마이크로 가공된 제1 리세스 내의 동전기 흐름으로 인해 일어나는 것인 제어 방법.
- 제81항에 있어서, 상기 박막에 제1 전도성 부분을 제공하는 단계와,제1 채널의 대향하는 측면 상에 제1 전도성 부분과 대향하게 배치되도록 제2 전도성 부분을 제공하는 단계와,박막이 정전기적 인력에 의해 제1 채널쪽으로 편향되도록 제1 전도성 부분과제2 전도성 부분에 전압을 인가하는 단계를 더 포함하는 것인 제어 방법.
- 제81항에 있어서, 상기 박막에 자기적으로 극화 가능한 부분을 제공하는 단계와, 박막이 자기적 인력에 의해 제1 채널쪽으로 편향되도록 제1 채널을 가로질러 자기장을 인가하는 단계를 더 포함하는 것인 제어 방법.
- 제81항에 있어서, 상기 박막에 영구히 자화된 부분을 제공하는 단계와, 박막이 자기적 인력에 의해 제1 채널쪽으로 편향되도록 제1 채널을 가로질러 자기장을 인가하는 단계를 더 포함하는 것인 제어 방법.
- 제81항에 있어서, 상기 박막에 영구히 자화된 부분을 제공하는 단계와, 박막이 자기적 척력에 의해 제1 채널쪽으로 편향되도록 제1 채널을 가로질러 자기장을 인가하는 단계를 더 포함하는 것인 제어 방법.
- 마이크로 가공된 제1, 2, 3 리세스를 구비하는 탄성중합체 블록으로서, 이를 통과하는 마이크로 가공된 제1 채널을 포함하고, 마이크로 가공된 제1, 2, 3 리세스는 제1 채널쪽으로 편향될 수 있는 제1, 2, 3 박막에 의해 제1 채널로부터 분리되는 탄성중합체 블록을 제공하는 단계와,제1 채널을 통하는 유체의 흐름을 연동식으로 펌핑하기 위해, 제1, 2, 3, 박막을 반복적인 순서로 제1 채널쪽으로 편향시키는 단계를 포함하는 것인 탄성중합체 구조물을 통하는 유체 또는 가스 흐름의 제어 방법.
- 제92항에 있어서, 상기 제1, 2, 3 박막은 제1, 2, 3 채널 내의 압력을 증가시킴으로써 제1 채널쪽으로 편향되는 것인 제어 방법.
- 제92항에 있어서, 제1, 2, 3 전도성 부분을 제1, 2, 3 박막에 각각 제공하는 단계와,제1, 2, 3 전도성 부분 각각에 대향하게 제4, 5, 6 전도성 부분을 제공하여, 제1 및 제4, 제2 및 제5, 제3 및 제6 전도성 부분을 제1 채널의 대향 측면 상에 배치하는 단계와,상기 박막들이 정전기적 인력에 의해 제1 채널쪽으로 편향되도록, 제1 및 제4, 제2 및 제5, 제3 및 제6 전도성 부분에 반복적인 순서로 전압을 인가하는 단계를 더 포함하는 것인 제어 방법.
- 제92항에 있어서, 제1, 2, 3 박막에 각각 제1, 2, 3 자기적으로 극화 가능한 부분을 제공하는 단계와,상기 제1, 2, 3 박막이 자기적 인력에 의해 제1 채널쪽으로 편향되도록, 제1, 2, 3 자기적으로 극화 가능한 부분에 반복적인 순서로 자기장을 인가하는 단계를 더 포함하는 것인 제어 방법.
- 제92항에 있어서, 제1, 2, 3 박막에 각각 제1, 2, 3 영구히 자화된 부분을 제공하는 단계와,상기 제1, 2, 3 박막이 자기적 인력에 의해 제1 채널쪽으로 편향되도록, 제1, 2, 3 영구히 자화된 부분에 반복적인 순서로 자기장을 인가하는 단계를 더 포함하는 것인 제어 방법.
- 제92항에 있어서, 제1, 2, 3 박막에 각각 제1, 2, 3 영구히 자화된 부분을 제공하는 단계와,상기 제1, 2, 3 박막이 자기적 척력에 의해 제1 채널쪽으로 편향되도록, 제1, 2, 3 영구히 자화된 부분에 반복적인 순서로 자기장을 인가하는 단계를 더 포함하는 것인 제어 방법.
- 분리부에 의해 분리되는 마이크로 가공된 제1 채널과 마이크로 가공된 제2 채널을 구비하고, 상기 분리부에 인접하게 마이크로 가공된 제1 리세스가 마련되는 탄성중합체 블록을 제공하는 단계와,제1 채널을 통해 유체 또는 가스의 흐름을 통과시키는 단계와,상기 마이크로 가공된 제1 리세스쪽으로 분리부를 편향시켜, 마이크로 가공된 제1 채널과 마이크로 가공된 제2 채널 사이에 통로를 만들어내는 단계를 포함하는 것인 탄성중합체 블록을 통하는 유체 또는 가스 흐름의 제어 방법.
- 제98항에 있어서, 상기 분리부는 상기 마이크로 가공된 제1 리세스 내의 압력을 경감시킴으로써 마이크로 가공된 제1 리세스쪽으로 편향되는 것인 제어 방법.
- 제98항에 있어서, 상기 분리부에 제1 전도성 부분을 제공하는 단계와, 마이크로 가공된 제1 리세스의 대향하는 측면 상에 제1 전도성 부분과 대향하게 배치되도록 제2 전도성 부분을 제공하는 단계와, 상기 분리부가 정전기적 인력에 의해 마이크로 가공된 제1 리세스쪽으로 편향되도록 제1 전도성 부분과 제2 전도성 부분에 전압을 인가하는 단계를 더 포함하는 것인 제어 방법.
- 제98항에 있어서, 상기 분리부에 자기적으로 극화 가능한 부분을 제공하는 단계와, 상기 분리부가 자기적 인력에 의해 마이크로 가공된 제1 리세스쪽으로 편향되도록 마이크로 가공된 제1 리세르를 가로질러 자기장을 인가하는 단계를 더 포함하는 것인 제어 방법.
- 제98항에 있어서, 상기 분리부에 영구히 자화된 부분을 제공하는 단계와, 상기 분리부가 자기적 인력에 의해 마이크로 가공된 제1 리세스쪽으로 편향되도록 마이크로 가공된 제1 리세tm를 가로질러 자기장을 인가하는 단계를 더 포함하는 것인 제어 방법.
- 제98항에 있어서, 상기 분리부에 영구히 자화된 부분을 제공하는 단계와, 상기 분리부가 자기적 척력에 의해 마이크로 가공된 제1 리세스쪽으로 편향되도록 자기장을 인가하는 단계를 더 포함하는 것인 제어 방법.
- 마이크로 가공된 제1 전도성 부분과 마이크로 가공된 제2 전도성 부분을 구비하는 탄성중합체 구조물로서, 상기 2개의 마이크로 가공된 전도성 부분에 전하가 공급될 때 마이크로 가공된 제1 전도성 부분과 마이크로 가공된 제2 전도성 부분 중 하나 이상이 변형될 수 있는 탄성중합체 구조물을 제공하는 단계와,상기 2개의 마이크로 가공된 전도성 부분에 전압을 인가하여, 이들 마이크로 가공된 전도성 부분 중 하나 이상이 편향되도록 이들 사이에 인력을 발생시키는 단계를 포함하는 것인 마이크로 가공된 탄성중합체 구조물의 작동 방법.
- 자기장이 인가될 때 편향될 수 있는 자성 부분을 구비하는 탄성중합체 구조물을 제공하는 단계와,상기 자성 부분에 자기장을 인가하여, 자성부분이 편향되도록 자성 부분 상에 발생시키는 단계를 포함하는 것인 마이크로 가공된 탄성중합체 구조물의 작동 방법.
- 탄성중합체 구조물의 마이크로 가공된 채널 내의 유체의 흐름을 제어하는 편향 가능한 박막의 용도.
- 마이크로 가공된 가동부를 포함한 마이크로 가공된 탄성중합체 장치를 제조하는 탄성중합체층의 용도.
- 마이크로 가공된 밸브 또는 펌프를 제조하는 탄성중합체 물질의 용도.
- 제1 탄성중합체층을 마이크로 가공하는 단계와,제2 탄성중합체층을 마이크로 가공하는 단계와,제1 탄성중합체층 위에 제2 탄성중합체층을 배치하는 단계와,제1 탄성중합체층의 상부면에 제2 탄성중합체층의 바닥면을 접합시는 단계를 포함하는 것인 탄성중합체 구조물의 마이크로 가공 방법.
- 제109항에 있어서, 상기 제1 탄성중합체층 및 제2 탄성중합체층은 복제 성형에 의해 마이크로 가공되는 것인 마이크로 가공 방법.
- 제109항에 있어서, 상기 제1 탄성중합체층 및 제2 탄성중합체층은 레이저 컷팅에 의해 마이크로 가공되는 것인 마이크로 가공 방법.
- 제109항에 있어서, 상기 제1 탄성중합체층 및 제2 탄성중합체층은 화학 에칭에 의해 마이크로 가공되는 것인 마이크로 가공 방법.
- 제109항에 있어서, 상기 제1 탄성중합체층 및 제2 탄성중합체층은 희생층 방법에 마이크로 가공되는 것인 마이크로 가공 방법.
- 제109항에 있어서, 상기 제 탄성중합체층 및 제2 탄성중합체층은 사출성형에 의해 마이크로 가공되는 것인 마이크로 가공 방법.
- 제109항에 있어서, 상기 제1 탄성중합체층의 바닥에 하나 이상의 리세스를 형성하는 하나 이상의 융기된 돌출부를 구비하는 마이크로 가공된 제1 몰드 위에서 제1 탄성중합체층이 가공되고, 상기 제2 탄성중합체층의 바닥에 하나 이상의 리세스를 형성하는 하나 이상의 융기된 돌출부를 구비하는 마이크로 가공된 제2 몰드 위에서 제2 탄성중합체층이 가공되는 것인 마이크로 가공 방법.
- 제115항에 있어서, 상기 마이크로 가공된 제1 몰드는 제1 탄성중합체층의 바닥면에 하나 이상의 제1 채널을 형성하는 하나 이상의 제1 융기된 돌출부를 구비하는 것인 마이크로 가공 방법.
- 제116항에 있어서, 상기 마이크로 가공된 제2 몰드는 제2 탄성중합체층의 바닥면에 하나 이상의 제2 채널을 형성하는 하나 이상의 제2 융기된 돌출부를 구비하는 것인 마이크로 가공 방법.
- 제117항에 있어서, 상기 제2 탄성중합체층의 바닥면은 제1 탄성중합체층의 상부면 위에 접합되어, 하나 이상의 제2 채널이 제1 탄성중합체층과 제2 탄성중합체층 사이에서 격납되는 것인 마이크로 가공 방법.
- 제116항에 있어서, 상기 하나 이상의 제1 채널이 제1 탄성중합체층과 평탄한 기판 사이에서 격납되도록, 평탄한 기판 위에 제1 탄성중합체층을 배치하는 단계를 더 포함하는 것인 마이크로 가공 방법.
- 제116항에 있어서, 제1 층의 하부와 평탄한 기판의 상부 사이에 허메틱 시일이 형성되는 것인 마이크로 가공 방법.
- 제109항에 있어서, n번째 탄성중합체층을 마이크로 가공하는 단계와, n번째 탄성중합체층의 상부면 위에 (n-1)번째 탄성중합체층의 바닥면을 접합시키는 단계를 더 포함하는 것인 마이크로 가공 방법.
- 제109항에 있어서, 추가의 탄성중합체층을 순차적으로 추가하는 단계를 더 포함하고, 이들 각 층은 후속 탄성중합체층을 마이크로 가공하고, 탄성중합체 구조물의 상부면 위에 후속 탄성중합체층의 바닥면을 접합시킴으로써 추가되는 것인 마이크로 가공 방법.
- 마이크로 가공된 제1 탄성중합체 구조물을 제공하는 단계와,마이크로 가공된 제2 탄성중합체 구조물을 제공하는 단계와,제2 탄성중합체 구조물의 표면 위에 제1 탄성중합체 구조물의 표면을 접합시키는 단계를 포함하는 것인 마이크로 가공 방법.
- 제109항에 있어서, 상기 제1 탄성중합체층과 제2 탄성중합체층 중 하나 이상은 폴리이소프렌, 폴리부타디엔, 폴리클로로프렌, 폴리이소부틸렌, 폴리(스티렌-부타디엔-스티렌), 폴리우레탄, 실리콘으로 이루어진 그룹에서 선택되는 물질로 가공되는 것인 마이크로 가공 방법.
- 제109항에 있어서, 상기 제1 탄성중합체층과 제2 탄성중합체층 중 하나 이상은 폴리(비스(플루오르알콕시)포스파젠)(PNF, Eypel-F), 폴리(카보레인-실록산) (Dexsil), 폴리(아크릴로니트릴-부타디엔)(니트릴 고무), 폴리(1-부텐), 폴리(클로로트리플루오르에틸렌-염화 비닐리덴) 공중합체(Kel-F), 폴리(에틸 비닐 에테르), 폴리(염화 비닐리덴), 폴리(염화 비닐리덴-헥사플루오르프로필렌) 공중합체(Viton)로 이루어진 그룹에서 선택되는 물질로 가공되는 것인 마이크로 가공 방법.
- 제109항에 있어서, 상기 제1 탄성중합체층과 제2 탄성중합체층 중 하나 이상은 탄성중합체 조성의 폴리염화비닐(PVC), 폴리술폰, 폴리카보네이트, 폴리메틸메타크릴레이트(PMMA), 폴리테트라플루오르에틸렌(Teflon)으로 이루어진 그룹에서 선택되는 물질로 가공되는 것인 마이크로 가공 방법.
- 제124항에 있어서, 상기 제1 탄성중합체층과 제2 탄성중합체층 중 하나 이상은 제너럴 일렉트릭의 RTV 615, 다우 케미컬스 코포레이션의 Sylgard 182, 184 또는 186 등과 같은 폴리디메틸실록산(PDMS), UCB 케미컬의 Ebecryl 270 또는 Irr 245 등과 같은 지방족 우레탄 디아크릴레이트로 이루어진 그룹에서 선택되는 물질로 가공되는 것인 마이크로 가공 방법.
- 제109항에 있어서, 제1 탄성중합체층은 제1 화학종이 과잉이며, 제2 탄성중합체층은 제2 화학종이 과잉인 것인 마이크로 가공 방법.
- 제128항에 있어서, 상기 탄성중합체층은 열경화성 탄성중합체로 이루어져, 제1 탄성중합체층 및 제2 탄성중합체층 중 하나 이상의 탄성/소성 변화 온도 이상의 온도로 가열함으로써 서로 결합되는 것인 마이크로 가공 방법.
- 제128항에 있어서, 상기 제1 화학종 및 제2 화학종은 서로 다른 분자로 이루어지는 것인 마이크로 가공 방법.
- 제128항에 있어서, 상기 제1 화학종 및 제2 화학종은 서로 다른 폴리머 사슬을 포함하는 것인 마이크로 가공 방법.
- 제128항에 있어서, 상기 제1 화학종 및 제2 화학종은 동일한 유형의 폴리머 사슬에 서로 다른 측기를 포함하는 것인 마이크로 가공 방법.
- 제128항에 있어서, 하나 이상의 화학종이 활성화될 때, 상기 제1 화학종은 제2 화학종과 함께 결합부를 형성하는 것인 마이크로 가공 방법.
- 제133항에 있어서, 상기 하나 이상의 화학종은 빛에 의해 활성화되는 것인 마이크로 가공 방법.
- 제133항에 있어서, 상기 하나 이상의 화학종은 열에 의해 활성화되는 것인 마이크로 가공 방법.
- 제133항에 있어서, 상기 하나 이상의 화학종은 제3 화학종의 첨가에 의해 활성화되는 것인 마이크로 가공 방법.
- 제136항에 있어서, 상기 하나 이상의 화학종은 탄성중합체 구조물을 통해 확산하는 것인 마이크로 가공 방법.
- 제128항에 있어서, 상기 제1 탄성중합체층 및 제2 탄성중합체층은 서로 다른 탄성중합체 물질로 형성되는 것인 마이크로 가공 방법.
- 제128항에 있어서, 제1 탄성중합체층 및 제2 탄성중합체층은 처음에 동일한 탄성중합체 물질로 구성되며, 제1층 및 제2층 중 하나에 추가의 탄성중합체 물질이 첨가되는 것인 마이크로 가공 방법.
- 제128항에 있어서, 제1 탄성중합체층 및 제2 탄성중합체층은 동일한 구성 물질로 구성되지만, 구성 물질이 서로 혼합되는 비율은 서로 다른 것인 마이크로 가공 방법.
- 제140항에 있어서, 각 탄성중합체층은 2부분 실리콘으로 제조되는 것인 마이크로 가공 방법.
- 제141항에 있어서, 각 탄성중합체층은 첨가 경화 탄성중합체 시스템을 포함하는 것인 마이크로 가공 방법.
- 제141항에 있어서, 상기 실리콘은 2개의 상이한 반응 그룹과 촉매를 포함하는 것인 마이크로 가공 방법.
- 제143항에 있어서, 제1 반응 그룹은 수소화 규소 부분을 포함하고, 제2 반응 그룹은 비닐 부분을 포함하며, 촉매는 백금을 포함하는 것인 마이크로 가공 방법.
- 제144항에 있어서, 각 탄성중합체층은 GE RTV 615로 이루어지는 것인 마이크로 가공 방법.
- 제145항에 있어서, 제1 탄성중합체층은 10A:1B(Si-H 그룹 과잉) 미만의 비율로 혼합되고, 제2 탄성중합체층은 10A:1B(비닐 그룹 과잉) 초과의 비율로 혼합되는 것인 마이크로 가공 방법.
- 제146항에 있어서, 제1 탄성중합체층의 비는 3A:1B(Si-H 그룹 과잉)이고, 제2 탄성중합체층의 비는 30A:1B(비닐 그룹 과잉)인 것인 마이크로 가공 방법.
- 제128항에 있어서, 각 탄성중합체층은 폴리우레탄으로 제조되는 것인 마이크로 가공 방법.
- 제148항에 있어서, 상기 폴리우레탄은 UCB 케미컬스의 Ebecryl 270 또는 Irr245인 것인 마이크로 가공 방법.
- 제109항에 있어서, 상기 제1 탄성중합체층 및 제2 탄성중합체층은 동일한 물질로 제조되는 것인 마이크로 가공 방법.
- 제150항에 있어서, 상기 제1 탄성중합체층 및 제2 탄성중합체층 중 하나 이상은 불완전하게 경화되는 것인 마이크로 가공 방법.
- 제150항에 있어서, 제1 탄성중합층 및 제2 탄성중합체층은 모두 가교제를 포함하는 것인 마이크로 가공 방법.
- 제152항에 있어서, 상기 가교제는 빛에 의해 활성화되는 것인 마이크로 가공 방법.
- 제152항에 있어서, 상기 가교제는 열에 의해 활성화되는 것인 마이크로 가공 방법.
- 제152항에 있어서, 상기 가교제는 화학종의 첨가에 의해 활성화되는 것인 마이크로 가공 방법.
- 제150항에 있어서, 상기 탄성중합체층은 열경화성 탄성중합체로 이루어져, 제1 탄성중합체층 및 제2 탄성중합체층 중 하나 이상의 탄성/소성 변화 온도 이상의 온도로 가열함으로써 서로 결합되는 것인 마이크로 가공 방법.
- 제109항에 있어서, 상기 제1층 및 제2층은 접착층에 의해 결합되는 것인 마이크로 가공 방법.
- 제157항에 있어서, 상기 접착제는 비경화된 탄성중합체로 이루어져, 제1 탄성중합체층 및 제2 탄성중합체층과 함께 결합되도록 경화되는 것인 마이크로 가공 방법.
- 제158항에 있어서, 상기 접착제는 제1 탄성중합체층과 제2 탄성중합체층 중 하나 이상의 것과 동일한 물질로 이루어지는 것인 마이크로 가공 방법.
- 제109항에 있어서, 상기 탄성중합체층 중 하나 이상은 전도성 부분을 더 포함하는 것인 마이크로 가공 방법.
- 제160항에 있어서, 상기 전도성 부분은 금속 적층에 제조되는 것인 마이크로 가공 방법.
- 제161항에 있어서, 상기 전도성 부분은 스퍼터링에 의해 제조되는 것인 마이크로 가공 방법.
- 제161항에 있어서, 상기 전도성 부분은 증착에 의해 제조되는 것인 마이크로 가공 방법.
- 제161항에 있어서, 상기 전도성 부분은 전기 도금에 의해 제조되는 것인 마이크로 가공 방법.
- 제161항에 있어서, 상기 전도성 부분은 무전해 도금에 의해 제조되는 것인 마이크로 가공 방법.
- 제161항에 있어서, 상기 전도성 부분은 화학적 적층 성장에 의해 제조되는 것인 마이크로 가공 방법.
- 제160항에 있어서, 상기 전도성 부분은 카본 증착에 의해 제조되는 것인 마이크로 가공 방법.
- 제167항에 있어서, 상기 전도성 부분은 탄성중합체층 위에 직접 물질을 기계적으로 문지름으로써 제조되는 것인 마이크로 가공 방법.
- 제167항에 있어서, 상기 전도성 부분은 용제에 카본 입자를 넣은 용액에 탄성중합체를 노출시킴으로써 제조되는 것인 마이크로 가공 방법.
- 제169항에 있어서, 상기 용제는 탄성중합체의 팽창을 일으키는 것인 마이크로 가공 방법.
- 제169항에 있어서, 상기 탄성중합체는 실리콘을 포함하고, 상기 용제는 염소화용제를 포함하는 것인 마이크로 가공 방법.
- 제167항에 있어서, 상기 전도성 부분은 정전기적 증착에 의해 제조되는 것인 마이크로 가공 방법
- 제167항에 있어서, 상기 전도성 부분은 카본을 생성하는 화학 반응에 의해 제조되는 것인 마이크로 가공 방법.
- 제160항에 있어서, 상기 전도성 부분은 평탄한 기판 상에 얇은 금속층을 패터닝하고, 상기 평탄한 기판 위에 탄성중합체층을 접착시키며, 상기 금속이 탄성중합체층에 고착되고 평탄한 기판으로부터 떨어지도록 상기 평탄한 기판으로부터 탄성중합체층을 벗겨 냄으로써 제조되는 것인 마이크로 가공 방법.
- 제174항에 있어서, 상기 평탄한 기판에 대한 금속의 부착은 상기 탄성중합체에 대한 금속의 부착에 비해 더 약한 것인 마이크로 가공 방법.
- 제160항에 있어서, 상기 전도성 부분은 패터닝되는 것인 마이크로 가공 방법.
- 제176항에 있어서, 상기 전도성 부분은 그 표면을 패터닝된 희생물질로 마스킹함으로써 패터닝되는 것인 마이크로 가공 방법.
- 제176항에 있어서, 상기 전도성 부분은 탄성중합체층 중 하나에 희생물질을 증착하고, 이 희생물질을 패터닝하며, 그 위에 전도성 물질의 얇은 피막을 증착하고, 희생물질을 제거함으로써 패터닝되는 것인 마이크로 가공 방법.
- 제176항에 있어서, 상기 전도성 부분은 그 표면을 섀도우 마스크로 마스킹함으로써 패터닝되는 것인 마이크로 가공 방법.
- 제179항에 있어서, 상기 전도성 부분은 탄성중합체층에 인접하게 섀도 마스크를 배치하고, 이 섀도 마스크에 있는 구멍을 통해 전기 전도성 물질의 얇은 피막을 증착하며, 섀도 마스크를 제거함으로써 패터닝되는 것인 마이크로 가공 방법.
- 제176항에 있어서, 상기 전도성 부분은 에칭에 의해 패터닝되는 것인 마이크로 가공 방법.
- 제176항에 있어서, 상기 전도성 부분은 탄성중합체층 중 하나에 마스크층을 증착하고, 이 마스크층을 패터닝하며, 이 마스크층에 있는 구멍을 통해 전도성 부분을 에칭하고, 마스크층을 제거함으로써 패터닝되는 것인 마이크로 가공 방법.
- 제160항에 있어서, 상기 전도성 부분은 전도성 물질로 탄성중합체를 도핑함으로써 생성되는 것인 마이크로 가공 방법.
- 제183항에 있어서, 상기 전도성 물질은 금속을 포함하는 것인 마이크로 가공 방법.
- 제183항에 있어서, 상기 전도성 물질은 카본을 포함하는 것인 마이크로 가공 방법.
- 제183항에 있어서, 상기 전도성 물질은 전도성 폴리머를 포함하는 것인 마이크로 가공 방법.
- 제183항에 있어서, 상기 사용되는 탄성중합체는 본래 전도성인 것인 마이크로 가공 방법.
- 제160항에 있어서, 상기 마이크로 가공된 탄성중합체 구조물을 하나 이상의 전도성 부분을 포함하는 평탄한 기판 상에 밀봉시키는 단계를 더 포함하는 것인 마이크로 가공 방법.
- 제188항에 있어서, 상기 평탄한 기판은 절연층에 의해 덮히는 것인 마이크로 가공 방법.
- 제54항에 있어서, 상기 제1 탄성중합체층 또는 제2 탄성중합체층 중 하나 이상은 자성 부분을 포함하는 것인 마이크로 가공 방법.
- 제190항에 있어서, 상기 자성 부분은 본래 자성인 탄성중합체로 구성되는 것인 마이크로 가공 방법.
- 제190항에 있어서, 상기 자성 부분은 자성 물질로 도핑되는 탄성중합체로 구성되는 것인 마이크로 가공 방법.
- 제192항에 있어서, 자성 도펀트는 자기적으로 극화 가능한 물질인 것인 마이크로 가공 방법.
- 제193항에 있어서, 상기 자성 도펀트는 미세한 철 입자인 것인 마이크로 가공 방법.
- 제192항에 있어서, 상기 자성 도펀트는 영구히 자화된 물질인 것인 마이크로 가공 방법.
- 제195항에 있어서, 상기 영구히 자화된 물질은 고자기장에 노출됨으로써 자화된 NdFeB 또는 SmCo인 것인 마이크로 가공 방법.
- 제190항에 있어서, 자성 물질의 조각의 크기는 탄성중합체에 병합된 자성 부분의 크기에 비해 비교적 큰 것인 마이크로 가공 방법.
- 제197항에 있어서, 상기 자성 물질은 자기적으로 극화 가능한 물질인 것인 마이크로 가공 방법.
- 제198항에 있어서, 상기 자성 물질은 철인 것인 마이크로 가공 방법.
- 제197항에 있어서, 상기 자성 물질은 영구히 자화되는 것인 마이크로 가공방법.
- 제200항에 있어서, 상기 영구히 자화된 물질은 고자기장에 노출됨으로써 자화된 NdFeB 또는 SmCo인 것인 마이크로 가공 방법.
- 제190항에 있어서, 절환 가능한 자기장을 발생시킬 수 있는 구조물을 상기 자기장 부분에 인접하게 배치하여 제공하는 단계를 더 포함하여, 상기 자기장이 탄성중합체 구조물에 인가되면 자성 부분에 힘을 발생시킬 수 있는 것인 마이크로 가공 방법.
- 제202항에 있어서, 상기 자기장을 발생시키는 구조물은 자기 코일인 것인 마이크로 가공 방법.
- 제202항에 있어서, 상기 자기장을 발생시키는 구조물은 그 위에 하나 이상의 마이크로 가공된 자기 코일이 배치되어 있는 기판인 것인 마이크로 가공 방법.
- 기판 위에 제1 탄성중합체층을 형성하는 단계와,이 제1 탄성중합체층을 경화시키는 단계와,제1 탄성중합체층 위에 제1 희생층을 패터닝하는 단계와,제1 탄성중합체층 위에 제2 탄성중합체층을 형성하여, 제1 및 제2 탄성중합체층 사이에 패터닝된 제1 희생층을 격납하는 단계와,제2 탄성중합체층을 경화시키는 단계와,제1 및 제2 탄성중합체층에 대해 선택적으로 패터닝된 제1 희생층을 제거하여, 제1 및 제2 탄성중합체층 사이에 하나 이상의 제1 리세스를 형성하는 단계를 포함하는 것인 탄성중합체 구조물의 마이크로 가공 방법.
- 제205항에 있어서, 패터닝된 제1 희생층의 제거 중에 패터닝된 제2 희생층이 제거되어 제1 탄성중합체층의 바닥면을 따라 하나 이상의 리세스가 형성되도록, 제1 탄성중합체층을 형성하기 전에 기판 위에 제2 희생층을 패터닝하는 단계를 더 포함하는 것인 마이크로 가공 방법.
- 제205항에 있어서, 제2 탄성중합체층 위에 제2 희생층을 패터닝하는 단계와, 제2 탄성중합체층 위에 제3 탄성중합체층을 형성하여 제2 및 제3 탄성중합체층 사이에서 패터닝된 제2 희생층을 격납하는 단계와, 패터닝된 제2 희생층이 패터닝된 제1 희생층의 제거 도중에 제거되어 제2 및 제3 탄성중합체층 사이에 리세스가 형성되도록, 제3 탄성중합체층을 경화하는 단계를 더 포함하는 것인 마이크로 가공 방법.
- 제205항에 있어서, n번째 탄성중합체층 위에 (n-1)번째 희생층을 패터닝하는 단계와, 패터닝된 (n-1)번째 희생층 위에 (n+1)번째 탄성중합체층을 형성하는 단계와, n번째 탄성중합체층의 상부면에 (n-1)번째 탄성중합체층의 바닥면을 접합시켜, n번째 및 (n+1)번째 탄성중합체층 사이에 패터닝된 (n-1)번째 희생층을 격납하는 단계와, 패터닝된 (n-1)번째 희생층이 패터닝된 제1 희생층의 제거 도중에 제거되어 n번째 및 (n+1)번째 탄성중합체층 사이에 리세스가 형성되도록, (n+1)번째 탄성중합체층을 경화하는 단계를 더 포함하는 것인 마이크로 가공 방법.
- 제205항에 있어서, 상기 패터닝된 제1 희생층은 포토레지스트를 포함하는 것인 마이크로 가공 방법.
- 제205항에 있어서, 상기 제1 탄성중합체층 및 제2 탄성중합체층 중 하나 이상은 스핀 코팅법에 의해 형성되는 것인 마이크로 가공 방법.
- 제205항에 있어서, 상기 제1 리세스는 채널을 포함하는 것인 마이크로 가공 방법.
- 제205항에 있어서, 제1 탄성중합체층을 제2 탄성중합체층에 접합시키는 단계를 더 포함하는 것인 마이크로 가공 방법.
- 제207항에 있어서, 제1 탄성중합체층을 제2 탄성중합체층에 접합시키는 단계와, 제3 탄성중합체층을 제2 탄성중합체층에 접합시키는 단계를 더 포함하는 것인마이크로 가공 방법.
- 제205항에 있어서, 상기 제1 탄성중합체층과 제2 탄성중합체층 중 하나 이상은 폴리이소프렌, 폴리부타디엔, 폴리클로로프렌, 폴리이소부틸렌, 폴리(스티렌-부타디엔-스티렌), 폴리우레탄, 실리콘으로 이루어진 그룹에서 선택되는 물질로 가공되는 것인 마이크로 가공 방법.
- 제205항에 있어서, 상기 제1 탄성중합체층과 제2 탄성중합체층 중 하나 이상은 폴리(비스(플루오르알콕시)포스파젠)(PNF, Eypel-F), 폴리(카보레인-실록산)(Dexsil), 폴리(아크릴로니트릴-부타디엔)(니트릴 고무), 폴리(1-부텐), 폴리(클로로트리플루오르에틸렌-염화 비닐리덴) 공중합체(Kel-F), 폴리(에틸 비닐 에테르), 폴리(염화 비닐리덴), 폴리(염화 비닐리덴-헥사플루오르프로필렌) 공중합체(Viton)로 이루어진 그룹에서 선택되는 물질로 가공되는 것인 마이크로 가공 방법.
- 제205항에 있어서, 상기 제1 탄성중합체층과 제2 탄성중합체층 중 하나 이상은 탄성중합체 조성의 폴리염화비닐(PVC), 폴리술폰, 폴리카보네이트, 폴리메틸메타크릴레이트(PMMA), 폴리테트라플루오르에틸렌(Teflon)으로 이루어진 그룹에서 선택되는 물질로 가공되는 것인 마이크로 가공 방법.
- 제214항에 있어서, 상기 탄성중합체 구조물은 제너럴 일렉트릭의 RTV 615, 다우 케미컬스 코포레이션의 Sylgard 182, 184 또는 186 등과 같은 폴리디메틸실록산(PDMS), UCB 케미컬의 Ebecryl 270 또는 Irr 245 등과 같은 지방족 우레탄 디아크릴레이트로 이루어진 그룹에서 선택되는 물질로 가공되는 것인 마이크로 가공 방법.
- 제212항에 있어서, 상기 접합은 비경화된 탄성중합체의 폴리머 사슬과 경화된 탄성중합체의 폴리머 사슬의 상호 침투 및 반응에 의해 발생하는 것인 마이크로 가공 방법.
- 제212항에 있어서, 상기 제1 탄성중합체층은 제1 화학종이 과잉이고, 제2 탄성중합체층은 제2 화학종이 과잉인 것인 마이크로 가공 방법.
- 제219항에 있어서, 상기 제1 화학종 및 제2 화학종은 서로 다른 분자를 포함하는 것인 마이크로 가공 방법.
- 제219항에 있어서, 상기 제1 화학종 및 제2 화학종은 서로 다른 폴리머 사슬을 포함하는 것인 마이크로 가공 방법.
- 제219항에 있어서, 상기 제1 화학종 및 제2 화학종은 동일한 유형의 폴리머사슬에 서로 다른 측기를 포함하는 것인 마이크로 가공 방법.
- 제219항에 있어서, 하나 이상의 화학종이 활성화될 때, 상기 제1 화학종은 제2 화학종과 함께 결합부를 형성하는 것인 마이크로 가공 방법.
- 제223항에 있어서, 상기 하나 이상의 화학종은 빛에 의해 활성화되는 것인 마이크로 가공 방법.
- 제223항에 있어서, 상기 하나 이상의 화학종은 열에 의해 활성화되는 것인 마이크로 가공 방법.
- 제223항에 있어서, 상기 하나 이상의 화학종은 제3 화학종의 첨가에 의해 활성화되는 것인 마이크로 가공 방법.
- 제226항에 있어서, 상기 하나 이상의 화학종은 탄성중합체 구조물을 통해 확산하는 것인 마이크로 가공 방법.
- 제219항에 있어서, 상기 제1 탄성중합체층 및 제2 탄성중합체층은 서로 다른 탄성중합체 물질로 형성되는 것인 마이크로 가공 방법.
- 제219항에 있어서, 제1 탄성중합체층 및 제2 탄성중합체층은 처음에 동일한 탄성중합체 물질로 구성되며, 제1층 및 제2층 중 하나에 추가의 탄성중합체 물질이 첨가되는 것인 마이크로 가공 방법.
- 제219항에 있어서, 제1 탄성중합체층 및 제2 탄성중합체층은 동일한 구성 물질로 구성되지만, 구성 물질이 서로 혼합되는 비율은 서로 다른 것인 마이크로 가공 방법.
- 제230항에 있어서, 각 탄성중합체층은 2부분 실리콘으로 제조되는 것인 마이크로 가공 방법.
- 제231항에 있어서, 각 탄성중합체층은 첨가 경화 탄성중합체 시스템을 포함하는 것인 마이크로 가공 방법.
- 제231항에 있어서, 상기 실리콘은 2개의 상이한 반응 그룹과 촉매를 포함하는 것인 마이크로 가공 방법.
- 제233항에 있어서, 제1 반응 그룹은 수소화 규소 부분을 포함하고, 제2 반응 그룹은 비닐 부분을 포함하며, 촉매는 백금을 포함하는 것인 마이크로 가공 방법.
- 제234항에 있어서, 각 탄성중합체층은 GE RTV 615로 이루어지는 것인 마이크로 가공 방법.
- 제235항에 있어서, 제1 탄성중합체층은 10A:1B(Si-H 그룹 과잉) 미만의 비율로 혼합되고, 제2 탄성중합체층은 10A:1B(비닐 그룹 과잉) 초과의 비율로 혼합되는 것인 마이크로 가공 방법.
- 제229항에 있어서, 제1 탄성중합체층의 비는 3A:1B(Si-H 그룹 과잉)이고, 제2 탄성중합체층의 비는 30A:1B(비닐 그룹 과잉)인 것인 마이크로 가공 방법.
- 제219항에 있어서, 각 탄성중합체층은 폴리우레탄으로 제조되는 것인 마이크로 가공 방법.
- 제238항에 있어서, 상기 폴리우레탄은 UCB 케미컬스의 Ebecryl 270 또는 Irr 245인 것인 마이크로 가공 방법.
- 제212항에 있어서, 상기 제1 탄성중합체층 및 제2 탄성중합체층은 동일한 물질로 제조되는 것인 마이크로 가공 방법.
- 제240항에 있어서, 상기 제1 탄성중합체층 및 제2 탄성중합체층 중 하나 이상은 불완전하게 경화되는 것인 마이크로 가공 방법.
- 제240항에 있어서, 제1 탄성중합층 및 제2 탄성중합체층은 모두 가교제를 포함하는 것인 마이크로 가공 방법.
- 제242항에 있어서, 상기 가교제는 빛에 의해 활성화되는 것인 마이크로 가공 방법.
- 제242항에 있어서, 상기 가교제는 열에 의해 활성화되는 것인 마이크로 가공 방법.
- 제242항에 있어서, 상기 가교제는 화학종의 첨가에 의해 활성화되는 것인 마이크로 가공 방법.
- 제212항에 있어서, 상기 탄성중합체층은 열경화성 탄성중합체로 이루어져, 제1 탄성중합체층 및 제2 탄성중합체층 중 하나 이상의 탄성/소성 변화 온도 이상의 온도로 가열함으로써 서로 결합되는 것인 마이크로 가공 방법.
- 제205항에 있어서, 상기 제1 탄성중합체층 및 제2 탄성중합체층 중 하나 이상은 전도성 부분을 더 포함하는 것인 마이크로 가공 방법.
- 제247항에 있어서, 상기 전도성 부분은 금속 적층에 제조되는 것인 마이크로 가공 방법.
- 제247항에 있어서, 상기 전도성 부분은 스퍼터링에 의해 제조되는 것인 마이크로 가공 방법.
- 제247항에 있어서, 상기 전도성 부분은 증착에 의해 제조되는 것인 마이크로 가공 방법.
- 제248항에 있어서, 상기 전도성 부분은 전기 도금에 의해 제조되는 것인 마이크로 가공 방법.
- 제248항에 있어서, 상기 전도성 부분은 무전해 도금에 의해 제조되는 것인 마이크로 가공 방법.
- 제248항에 있어서, 상기 전도성 부분은 화학적 적층 성장에 의해 제조되는 것인 마이크로 가공 방법.
- 제247항에 있어서, 상기 전도성 부분은 카본 증착에 의해 제조되는 것인 마이크로 가공 방법.
- 제254항에 있어서, 상기 전도성 부분은 탄성중합체층 위에 직접 물질을 기계적으로 문지름으로써 제조되는 것인 마이크로 가공 방법.
- 제254항에 있어서, 상기 전도성 부분은 용제에 카본 입자를 넣은 용액에 탄성중합체를 노출시킴으로써 제조되는 것인 마이크로 가공 방법.
- 제256항에 있어서, 상기 용제는 탄성중합체의 팽창을 일으키는 것인 마이크로 가공 방법.
- 제256항에 있어서, 상기 탄성중합체는 실리콘을 포함하고, 상기 용제는 염소화용제를 포함하는 것인 마이크로 가공 방법.
- 제254항에 있어서, 상기 전도성 부분은 정전기적 증착에 의해 제조되는 것인 마이크로 가공 방법
- 제254항에 있어서, 상기 전도성 부분은 카본을 생성하는 화학 반응에 의해 제조되는 것인 마이크로 가공 방법.
- 제247항에 있어서, 상기 전도성 부분은 평탄한 기판 상에 얇은 금속층을 패터닝하고, 상기 평탄한 기판 위에 탄성중합체층을 접착시키며, 상기 금속이 탄성중합체층에 고착되고 평탄한 기판으로부터 떨어지도록 상기 평탄한 기판으로부터 탄성중합체층을 벗겨 냄으로써 제조되는 것인 마이크로 가공 방법.
- 제261항에 있어서, 상기 평탄한 기판에 대한 금속의 부착은 상기 탄성중합체에 대한 금속의 부착에 비해 더 약한 것인 마이크로 가공 방법.
- 제247항에 있어서, 상기 전도성 부분은 패터닝되는 것인 마이크로 가공 방법.
- 제262항에 있어서, 상기 전도성 부분은 그 표면을 패터닝된 희생물질로 마스킹함으로써 패터닝되는 것인 마이크로 가공 방법.
- 제262항에 있어서, 상기 전도성 부분은 탄성중합체층 중 하나에 희생물질을 증착하고, 이 희생물질을 패터닝하며, 그 위에 전도성 물질의 얇은 피막을 증착하고, 희생물질을 제거함으로써 패터닝되는 것인 마이크로 가공 방법.
- 제262항에 있어서, 상기 전도성 부분은 그 표면을 섀도우 마스크로 마스킹함으로써 패터닝되는 것인 마이크로 가공 방법.
- 제266항에 있어서, 상기 전도성 부분은 탄성중합체층에 인접하게 섀도 마스크를 배치하고, 이 섀도 마스크에 있는 구멍을 통해 전기 전도성 물질의 얇은 피막을 증착하며, 섀도 마스크를 제거함으로써 패터닝되는 것인 마이크로 가공 방법.
- 제262항에 있어서, 상기 전도성 부분은 에칭에 의해 패터닝되는 것인 마이크로 가공 방법.
- 제268항에 있어서, 상기 전도성 부분은 탄성중합체층 중 하나에 마스크층을 증착하고, 이 마스크층을 패터닝하며, 이 마스크층에 있는 구멍을 통해 전도성 부분을 에칭하고, 마스크층을 제거함으로써 패터닝되는 것인 마이크로 가공 방법.
- 제250항에 있어서, 상기 전도성 부분은 전도성 물질로 탄성중합체를 도핑함으로써 생성되는 것인 마이크로 가공 방법.
- 제270항에 있어서, 상기 전도성 물질은 금속을 포함하는 것인 마이크로 가공 방법.
- 제270항에 있어서, 상기 전도성 물질은 카본을 포함하는 것인 마이크로 가공 방법.
- 제270항에 있어서, 상기 전도성 물질은 전도성 폴리머를 포함하는 것인 마이크로 가공 방법.
- 제269항에 있어서, 상기 사용되는 탄성중합체는 본래 전도성인 것인 마이크로 가공 방법.
- 제247항에 있어서, 상기 마이크로 가공된 탄성중합체 구조물을 하나 이상의 전도성 부분을 포함하는 평탄한 기판 상에 밀봉시키는 단계를 더 포함하는 것인 마이크로 가공 방법.
- 제275항에 있어서, 상기 평탄한 기판은 절연층에 의해 덮히는 것인 마이크로 가공 방법.
- 제205에 있어서, 상기 제1 탄성중합체층 또는 제2 탄성중합체층 중 하나 이상은 자성 부분을 포함하는 것인 마이크로 가공 방법.
- 제277항에 있어서, 상기 자성 부분은 본래 자성인 탄성중합체로 구성되는 것인 마이크로 가공 방법.
- 제277항에 있어서, 상기 자성 부분은 자성 물질로 도핑되는 탄성중합체로 구성되는 것인 마이크로 가공 방법.
- 제279항에 있어서, 자성 도펀트는 자기적으로 극화 가능한 물질인 것인 마이크로 가공 방법.
- 제280항에 있어서, 상기 자성 도펀트는 미세한 철 입자인 것인 마이크로 가공 방법.
- 제279항에 있어서, 상기 자성 도펀트는 영구히 자화된 물질인 것인 마이크로 가공 방법.
- 제282항에 있어서, 상기 영구히 자화된 물질은 고자기장에 노출됨으로써 자화된 NdFeB 또는 SmCo인 것인 마이크로 가공 방법.
- 제277항에 있어서, 자성 물질의 조각의 크기는 탄성중합체에 병합된 자성 부분의 크기에 비해 비교적 큰 것인 마이크로 가공 방법.
- 제284항에 있어서, 상기 자성 물질은 자기적으로 극화 가능한 물질인 것인 마이크로 가공 방법.
- 제285항에 있어서, 상기 자성 물질은 철인 것인 마이크로 가공 방법.
- 제284항에 있어서, 상기 자성 물질은 영구히 자화되는 것인 마이크로 가공 방법.
- 제287항에 있어서, 상기 영구히 자화된 물질은 고자기장에 노출됨으로써 자화된 NdFeB 또는 SmCo인 것인 마이크로 가공 방법.
- 제286항에 있어서, 절환 가능한 자기장을 발생시킬 수 있는 구조물을 상기 자기장 부분에 인접하게 배치하여 제공하는 단계를 더 포함하여, 상기 자기장이 탄성중합체 구조물에 인가되면 자성 부분에 힘을 발생시킬 수 있는 것인 마이크로 가공 방법.
- 제286항에 있어서, 상기 자기장을 발생시키는 구조물은 자기 코일인 것인 마이크로 가공 방법.
- 제286항에 있어서, 상기 자기장을 발생시키는 구조물은 그 위에 하나 이상의 마이크로 가공된 자기 코일이 배치되어 있는 기판인 것인 마이크로 가공 방법.
- 제1 탄성중합체층의 바닥면을 따라 연장하는 제1 리세스를 형성하는 제1 융기된 돌출부가 마련된 마이크로 가공된 제1 몰드 위에 제1 탄성중합체층을 형성하는 단계와,제2 탄성중합체층의 바닥면을 따라 연장하는 제2 리세스를 형성하는 제2 융기된 돌출부가 마련된 마이크로 가공된 제2 몰드 위에 제2 탄성중합체층을 형성하는 단계와,제1 탄성중합체층 및 제2 탄성중합체층 사이에 있는 제2 리세스에 제어 채널을 형성하도록, 제1 탄성중합체층의 상부면 위에 제2 탄성중합체층의 바닥면을 접합시키는 단계와,제1 탄성중합체층 및 평탄한 기판 사이에 있는 제1 리세스에 흐름 채널을 형성하도록, 평탄한 기판의 위에 제1 탄성중합체층을 배치하는 단계를 포함하는 것인 탄성중합체 구조물의 가공 방법.
- 제292항에 있어서, 상기 제1 탄성중합체층 및 제2 탄성중합체층은 마이크로 가공된 몰드 위에서 각각 성형되는 것인 가공 방법.
- 제292항에 있어서, 상기 제1 리세스 및 제2 리세스는 제1 탄성중합체층 및 제2 탄성중합체층의 바닥면을 각각 완전히 가로질러 연장하는 것인 가공 방법.
- 제292항에 있어서, 상기 제1 탄성중합체층 및 제2 탄성중합체층에 형성된 리세스의 폭 대 깊이의 비는 약 10 대 1인 것인 가공 방법.
- 제295항에 있어서, 상기 리세스의 폭은 약 100 um이며, 깊이는 약 10 um인 것인 가공 방법.
- 제292항에 있어서, 상기 제1 탄성중합체층의 두께는 약 40 um인 것인 가공 방법
- 제292항에 있어서, 상기 제1 리세스 및 제2 리세스 사이에 배치된 제1 탄성중합체층의 일부분의 두께는 약 30 um인 것인 가공 방법.
- 제292항에 있어서, 상기 제2 탄성중합체층의 두께는 약 4 um인 것인 가공 방법.
- 제292항에 있어서, 상기 제2 탄성중합체층의 두께는 제1 탄성중합체층의 두께의 약 100 배인 것인 가공 방법.
- 제292항에 있어서, 상기 제1 탄성중합체의 상부면 위에 제2 탄성중합체의 바닥면을 접합시키는 단계는 소프트 리소그래피법을 포함하는 것인 가공 방법.
- 제292항에 있어서, 상기 제1 탄성중합체의 상부면 위에 제2 탄성중합체의 바닥면을 소프트 리소그래피법에 의해 접합시키는 단계는 2성분 첨가 경화 접합법을 포함하는 것인 가공 방법.
- 제292항에 있어서, 제2 탄성중합체층의 바닥면과 제1 탄성중합체층의 상부면 중 하나는 결합 요소가 과잉이고, 제2 탄성중합체층의 바닥면과 제1 탄성중합체층의 상부면 중 다른 하나는 결합 요소가 결핍인 것인 가공 방법.
- 제292항에 있어서, 제1 탄성중합체층 및 제2 탄성중합체층은 실리콘 고무, 폴리이소프렌, 폴리부타디엔, 폴리클로로프렌, 폴리이소부틸렌, 폴리(스티렌-부타디엔-스티렌), 폴리우레탄, 실리콘으로 이루어진 그룹에서 선택되는 물질인 것인 가공 방법.
- 제304항에 있어서, 상기 제1 탄성중합체층과 제2 탄성중합체층은 폴리염화비닐(PVC), 폴리술폰, 폴리카보네이트, 폴리메틸메타크릴레이트(PMMA), 폴리테트라플루오르에틸렌(Teflon)으로 이루어진 그룹에서 선택되는 물질인 것인 가공 방법.
- 제304항에 있어서, 상기 제1층 및 제2층은 제너럴 일렉트릭의 RTV 615, 다우 케미컬스 코포레이션의 Sylgard 182, 184 또는 186 등과 같은 폴리디메틸실록산(PDMS), UCB 케미컬의 Ebecryl 270 또는 Irr 245 등과 같은 지방족 우레탄 디아크릴레이트로 이루어진 그룹에서 선택되는 물질인 것인 가공 방법.
- 제292항에 있어서, 제1 탄성중합체층 상의 제1 리세스가 제2 탄성중합체 상의 제2 리세스와 소정의 각도를 이루어 배치되도록, 상기 제2 탄성중합체층의 바닥면이 제1 탄성중합체층의 상부면 위에 접합되는 것인 가공 방법.
- 제307항에 있어서, 상기 각은 대개 직각인 것인 가공 방법.
- 제292항에 있어서, 평탄한 기판 위에 제1층을 배치하는 단계는 평탄한 기판 위에 제1층을 밀봉시키는 단계를 포함하는 것인 가공 방법.
- 제292항에 있어서, 제2 탄성중합체층의 일부분에 전극을 형성하기 위해, 탄성중합체층 중 하나 이상에 금속 분말을 스퍼터링, 증착 또는 전기 도금하는 단계를 더 포함하는 것인 가공 방법.
- 제310항에 있어서, 상기 제1 전극은 제1 리세스 위에 배치된 제2 탄성중합체층의 일부분에 형성되는 것인 가공 방법.
- 제292항에 있어서, 평탄한 기판의 일부분에 전극을 형성하기 위하여, 평탄한 기판의 일부분 위에 금속 분말을 적층시키는 단계를 더 포함하는 것인 가공 방법.
- 제312항에 있어서, 상기 평탄한 기판의 일부분은 제1 리세스의 밑에 배치되는 것인 가공 방법.
- 제292항에 있어서, 제2 탄성중합체층의 적어도 일부분을 자성으로 만들기 위해, 하나 이상의 탄성중합체층에 자성 물질을 적층시키는 단계를 더 포함하는 것인 가공 방법.
- 제314항에 있어서, 제1 탄성중합체층의 자성 부분은 제1 리세스 위에 배치되는 것인 가공 방법.
- 제292항에 있어서, 상기 평탄한 기판의 일부분을 자성으로 만들기 위하여, 평탄한 기판의 일부분 위에 금속 분말을 적층시키는 단계를 더 포함하는 것인 가공 방법.
- 제316항에 있어서, 상기 평탄한 기판의 자성 부분은 제1 리세스의 밑에 배치되는 것인 가공 방법.
- 제292항에 있어서, 탄성중합체층의 적어도 일부분을 전기 전도성으로 만들기 위하여, 하나 이상의 탄성중합체층을 카본 블랙으로 도핑하는 것인 가공 방법.
- 제292항의 탄성중합체 구조물을 통하는 유체 또는 가스 흐름의 제어 방법으로서,흐름 채널을 통해 유체 흐름을 통과시키는 단계와,흐름 채널로부터 제어 채널을 분리하는 탄성중합체 구조물의 일부분이 흐름 채널쪽으로 편향되어 흐름 채널을 통하는 유체의 흐름을 차단하도록, 상기 제어 채널을 가압하는 단계를 포함하는 것인 제어 방법.
- 제319항에 있어서, 상기 제어 채널은 가스에 의해 가압되는 것인 제어 방법.
- 제319항에 있어서, 상기 제어 채널은 액체에 의해 가압되는 것인 제어 방법.
- 제1 탄성중합체층의 바닥면을 따라 연장하는 제1 리세스를 형성하는 복수 개의 제1 융기된 돌출부가 마련된 마이크로 가공된 제1 몰드 위에 제1 탄성중합체층을 형성하는 단계와,제2 탄성중합체층의 바닥면을 따라 연장하는 제2 리세스를 형성하는 제2 융기된 돌출부가 마련된 마이크로 가공된 제2 몰드 위에 제2 탄성중합체층을 형성하는 단계와,제1 탄성중합체층 및 제2 탄성중합체층 사이에 있는 제2 리세스에 제어 채널을 형성하도록, 제1 탄성중합체층의 상부면 위에 제2 탄성중합체층의 바닥면을 접합시키는 단계와,제1 탄성중합체층 및 평탄한 기판 사이에 있는 제1 리세스에 복수 개의 흐름 채널을 형성하도록, 평탄한 기판의 위에 제1 탄성중합체층을 배치하는 단계를 포함하는 것인 탄성중합체 구조물의 가공 방법.
- 제322항에 있어서, 상기 복수 개의 제1 리세스는 대개 서로 평행한 것인 가공 방법.
- 제322항에 있어서, 상기 복수 개의 제1 리세스는 대개 상기 제2 리세스에 대해 소정의 각도로 배치되어 있는 것인 가공 방법.
- 제324항에 있어서, 상기 각은 대개 직각인 것인 가공 방법.
- 제292항의 탄성중합체 구조물을 통하는 유체 또는 가스 흐름의 제어 방법으로서,흐름 채널을 통해 유체 흐름을 통과시키는 단계와,흐름 채널로부터 제어 채널을 분리하는 탄성중합체 구조물의 일부분이 흐름 채널쪽으로 편향되어 흐름 채널을 통하는 유체의 흐름을 차단하도록, 상기 제어 채널을 가압하는 단계를 포함하는 것인 제어 방법.
- 제326항에 있어서, 상기 제어 채널은 가스에 의해 가압되는 것인 제어 방법.
- 제326항에 있어서, 상기 제어 채널은 액체에 의해 가압되는 것인 제어 방법.
- 제1 탄성중합체층의 바닥면을 따라 연장하는 제1 리세스를 형성하는 제1 융기된 돌출부가 마련된 마이크로 가공된 제1 몰드 위에 제1 탄성중합체층을 형성하는 단계와,제2 탄성중합체층의 바닥면을 따라 연장하는 복수 개의 제2 리세스를 형성하는 복수 개의 제2 융기된 돌출부가 마련된 마이크로 가공된 제2 몰드 위에 제2 탄성중합체층을 형성하는 단계와,제1 탄성중합체층 및 제2 탄성중합체층 사이에 있는 제2 리세스에 복수 개의 제어 채널을 형성하도록, 제1 탄성중합체층의 상부면 위에 제2 탄성중합체층의 바닥면을 접합시키는 단계와,제1 탄성중합체층 및 평탄한 기판 사이에 있는 제1 리세스에 흐름 채널을 형성하도록, 평탄한 기판의 위에 제1 탄성중합체층을 배치하는 단계를 포함하는 것인 탄성중합체 구조물의 가공 방법.
- 제329항에 있어서, 상기 복수 개의 제2 리세스는 대개 서로 평행한 것인 가공 방법.
- 제329항에 있어서, 상기 복수 개의 제2 리세스는 대개 상기 제1 리세스에 대해 소정의 각도로 배치되어 있는 것인 가공 방법.
- 제331항에 있어서, 상기 각은 대개 직각인 것인 가공 방법.
- 제329항의 탄성중합체 구조물을 통하는 유체 또는 가스 흐름의 제어 방법으로서,흐름 채널로부터 제어 채널을 분리하는 탄성중합체 구조물의 일부분들이 흐름 채널쪽으로 순차적으로 편향되어 흐름 채널을 통하는 유체의 흐름을 순차적으로 밀어내도록, 상기 제어 채널을 가압하여 연동식 펌핑 작용을 발생시키는 단계를 포함하는 것인 제어 방법.
- 제329항에 있어서, 상기 제어 채널은 가스에 의해 가압되는 것인 제어 방법.
- 제329항에 있어서, 상기 제어 채널은 액체에 의해 가압되는 것인 제어 방법.
- 기판 위에 제1 탄성중합체층을 형성하는 단계와,제1 탄성중합체층 상부면 위에 제1 포토레지스트층을 적층하는 단계와,제1 포토레지스트 라인이 제1 탄성중합체층의 상부면 위에 남아있도록, 제1 포토레지스트층의 일부를 제거하는 단계와,제1 탄성중합체층 위에 제2 탄성중합체층을 형성하여, 제1 및 제2 탄성중합체층 사이에 제1 포토레지스트 라인을 격납하는 단계와,제2 탄성중합체층의 상부면 위에 제2 포토레지스트층을 적층하는 단계와,제2 포토레지스트 라인이 제2 탄성중합체층의 상부면 위에 남아있도록, 제2 포토레지스트층의 일부를 제거하는 단계와,제2 탄성중합체층 위에 제3 탄성중합체층을 형성하여, 제2 및 제3 탄성중합체층 사이에 제2 포토레지스트 라인을 격납하는 단계와,제1 및 제2 포토레지스트 라인을 제거하여, 각각 탄성중합체 구조물을 통과하는 제1 및 제2 채널을 형성하는 단계를 포함하는 것인 탄성중합체 구조물의 가공 방법.
- 제425항에 있어서, 소프트 리소그래피법으로 제2 탄성중합체층을 제1 탄성중합체층에 접합시키는 단계와, 소프트 리소그래피법으로 제3 탄성중합체층을 제2 탄성중합체층에 접합시켜 일체화된 탄성중합체 구조물을 형성하는 단계를 더 포함하는 것인 가공 방법.
- 제336항에 있어서, 일체화된 탄성중합체 구조물의 바닥으로부터 기판을 제거하는 단계를 더 포함하는 것인 가공 방법.
- 제425항에 있어서, 상기 제2 탄성중합체층을 제1 탄성중합체층에 그리고 제3 탄성중합체층을 제2 탄성중합체층에 접합시키는 단계는 2성분 첨가 경화 접합법으로 이루어지는 것인 가공 방법.
- 제336항에 있어서, 상기 제1 탄성중합체층 상의 제1 포토레지스트 라인 또는 패턴은 제2 탄성중합체층 상의 제2 포토레지스트 라인에 대해 소정의 각도로 배치되어 있는 것인 가공 방법.
- 제340항에 있어서, 상기 각도는 대개 직각인 것인 가공 방법.
- 제336항에 있어서, 제1 및 제2 탄성중합체층 상에 적층된 제1 및 제2 포토레지스트 라인 또는 패턴의 폭 대 깊이의 비는 약 10 대 1인 것인 가공 방법.
- 제336항에 있어서, 제1 및 제2 탄성중합체층 상에 적층된 제1 및 제2 포토레지스트 라인 또는 패턴의 폭은 약 100 um이고 깊이는 약 10 um인 것인 가공 방법.
- 제336항에 있어서, 상기 제2 탄성중합체층의 두께는 약 40 um인 것인 가공 방법.
- 제336항에 있어서, 상기 제3 탄성중합체층의 두께는 약 4 mm인 것인 가공 방법.
- 제425항에 있어서, 상기 제1 및 제2 탄성중합체층은 함께 경화되는 것인 가공 방법.
- 제425항에 있어서, 상기 제1 및 제2 탄성중합체층은 함께 경화되는 것인 가공 방법.
- 제336항에 있어서, 제1 탄성중합체층 및 제2 탄성중합체층은 실리콘 고무, 폴리이소프렌, 폴리부타디엔, 폴리클로로프렌, 폴리이소부틸렌, 폴리(스티렌-부타디엔-스티렌), 폴리우레탄, 실리콘으로 이루어진 그룹에서 선택되는 물질인 것인 가공 방법.
- 제348항에 있어서, 상기 제1 탄성중합체층과 제2 탄성중합체층은 폴리염화비닐(PVC), 폴리술폰, 폴리카보네이트, 폴리메틸메타크릴레이트(PMMA), 폴리테트라플루오르에틸렌(Teflon)으로 이루어진 그룹에서 선택되는 물질인 것인 가공 방법.
- 제348항에 있어서, 상기 제1 탄성중합체층 및 제2 탄성중합체층은 제너럴 일렉트릭의 RTV 615, 다우 케미컬스 코포레이션의 Sylgard 182, 184 또는 186 등과같은 폴리디메틸실록산(PDMS), UCB 케미컬의 Ebecryl 270 또는 Irr 245 등과 같은 지방족 우레탄 디아크릴레이트로 이루어진 그룹에서 선택되는 물질인 것인 가공 방법.
- 제336항에 있어서, 제304항에 전술된 단계 중 임의의 단계를 더 포함하는 것인 가공 방법.
- 제1항의 탄성중합체 구조물을 통하는 유체 또는 가스 흐름의 제어 방법으로서,제1 채널을 통해 유체 흐름을 통과시키는 단계와,제1 채널로부터 제2 채널을 분리시키는 탄성중합체 구조물의 일부가 제1 채널쪽으로 편향되어 제1 채널을 통한 유체 흐름을 차단하도록, 제2 채널을 가압하는 단계를 포함하는 것인 제어 방법.
- 제336항에 있어서, 상기 제2 채널은 가스에 의해 가압되는 것인 제어 방법.
- 제336항에 있어서, 상기 제2 채널은 액체에 의해 가압되는 것인 제어 방법.
- 기판 위에 제1 탄성중합체층을 형성하는 단계와,제1 탄성중합체층 상부면 위에 제1 포토레지스트층을 적층하는 단계와,복수 개의 제1 포토레지스트 라인이 제1 탄성중합체층의 상부면 위에 남아있도록, 제1 포토레지스트층의 일부를 제거하는 단계와,제1 탄성중합체층 위에 제2 탄성중합체층을 형성하여, 제1 및 제2 탄성중합체층 사이에 제1 포토레지스트 라인을 격납하는 단계와,제2 탄성중합체층의 상부면 위에 제2 포토레지스트층을 적층하는 단계와,제2 포토레지스트 라인이 제2 탄성중합체층의 상부면 위에 남아있도록, 제2 포토레지스트층의 일부를 제거하는 단계와,제2 탄성중합체층 위에 제3 탄성중합체층을 형성하여, 제2 및 제3 탄성중합체층 사이에 제2 포토레지스트 라인을 격납하는 단계와,제1 및 제2 포토레지스트 라인을 제거하여, 각각 탄성중합체 구조물을 통과하는 제1 및 제2 채널을 형성하는 단계를 포함하는 것인 탄성중합체 구조물의 가공 방법.
- 제425항에 있어서, 소프트 리소그래피법으로 제2 탄성중합체층을 제1 탄성중합체층에 접합시키는 단계와, 소프트 리소그래피법으로 제3 탄성중합체층을 제2 탄성중합체층에 접합시켜 일체화된 탄성중합체 구조물을 형성하는 단계를 더 포함하는 것인 가공 방법.
- 제335항에 있어서, 상기 복수 개의 제1 포토레지스트 라인은 대개 서로에 대해 평행한 것인 가공 방법.
- 제335항에 있어서, 상기 복수 개의 제1 포토레지스트 라인은 대개 제2 포토레지스트 라인에 대해 소정의 각도로 배치되어 있는 것인 가공 방법.
- 제358항에 있어서, 상기 각도는 대개 직각인 것인 가공 방법.
- 제336항의 탄성중합체 구조물을 통하는 유체 또는 가스 흐름의 제어 방법으로서,제1 채널을 통해 유체 흐름을 통과시키는 단계와,제1 채널로부터 제2 채널을 분리시키는 탄성중합체 구조물의 일부가 제1 채널쪽으로 편향되어 제2 채널을 통한 유체 흐름을 차단하도록, 제2 채널을 가압하는 단계를 포함하는 것인 제어 방법.
- 제360항에 있어서, 상기 제2 채널은 가스에 의해 가압되는 것인 제어 방법.
- 제360항에 있어서, 상기 제2 채널은 액체에 의해 가압되는 것인 제어 방법.
- 기판 위에 제1 탄성중합체층을 형성하는 단계와,제1 탄성중합체층 상부면 위에 제1 포토레지스트층을 적층하는 단계와,제1 포토레지스트 라인이 제1 탄성중합체층의 상부면 위에 남아있도록, 제1 포토레지스트층의 일부를 제거하는 단계와,제1 탄성중합체층 위에 제2 탄성중합체층을 형성하여, 제1 및 제2 탄성중합체층 사이에 제1 포토레지스트 라인을 격납하는 단계와,제2 탄성중합체층의 상부면 위에 제2 포토레지스트층을 적층하는 단계와,복수 개의 제2 포토레지스트 라인이 제2 탄성중합체층의 상부면 위에 남아있도록, 제2 포토레지스트층의 일부를 제거하는 단계와,제2 탄성중합체층 위에 제3 탄성중합체층을 형성하여, 제2 및 제3 탄성중합체층 사이에 복수 개의 제2 포토레지스트 라인을 격납하는 단계와,제1 및 제2 포토레지스트 라인을 제거하여, 각각 탄성중합체 구조물을 통과하는 제1 및 제2 채널을 형성하는 단계를 포함하는 것인 탄성중합체 구조물의 가공 방법.
- 제363항에 있어서, 제2 탄성중합체층을 제1 탄성중합체층에 접합시키는 단계와, 제3 탄성중합체층을 제2 탄성중합체층에 접합시켜 일체화된 탄성중합체 구조물을 형성하는 단계를 더 포함하는 것인 가공 방법.
- 제363항에 있어서, 상기 복수 개의 제2 포토레지스트 라인은 대개 서로에 대해 평행한 것인 가공 방법.
- 제363항에 있어서, 상기 복수 개의 제2 포토레지스트 라인은 대개 제1 포토레지스트 라인에 대해 소정의 각도로 배치되어 있는 것인 가공 방법.
- 제366항에 있어서, 상기 각도는 대개 직각인 것인 가공 방법.
- 제336항의 탄성중합체 구조물을 통하는 유체 또는 가스 흐름의 제어 방법으로서,제1 채널로부터 제2 채널을 분리하는 탄성중합체 구조물의 일부분들이 제1 채널쪽으로 순차적으로 편향되어 제1 채널을 통하는 유체의 흐름을 순차적으로 밀어내도록, 상기 제2 채널을 가압하여 연동식 펌핑 작용을 발생시키는 단계를 포함하는 것인 제어 방법.
- 제368항에 있어서, 상기 제2 채널은 가스에 의해 가압되는 것인 가공 방법.
- 제368항에 있어서, 상기 제2 채널은 액체에 의해 가압되는 것인 가공 방법.
- 유체 또는 가스의 흐름 조절용 탄성중합체 구조물로서,서로 교차하지만 직접 만나지는 않는 제1 및 마이크로 가공된 제2 채널이 그것을 통과하게 형성되어 있는 탄성중합체 블록을 포함하는 것인 탄성중합체 구조물.
- 유체 또는 가스의 흐름 조절용 구조물로서,평탄한 기판과,상기 평탄한 기판 위에 배치된 탄성중합체 블록을 포함하며, 상기 탄성중합체 블록은 그 바닥면을 따라 연장하는 제1 리세스를 포함하고, 이 제1 리세스는 상기 평탄한 기판과 탄성중합체 블록 사이를 따라 연장하는 마이크로 가공된 제1 채널을 형성하며, 상기 탄성중합체 블록은 그것을 통과하는 마이크로 가공된 제2 채널을 더 포함하고, 상기 제1 및 마이크로 가공된 제2 채널은 서로 교차하지만 직접 만나지는 않는 것인 구조물.
- 제371항에 있어서, 상기 제1 및 마이크로 가공된 제2 채널은 서로에 대해 소정의 각도로 배치되는 것인 탄성중합체 구조물.
- 제373항에 있어서, 상기 각도는 직각인 것인 탄성중합체 구조물.
- 제371항에 있어서, 상기 제1 및 마이크로 가공된 제2 채널의 폭 대 높이의 비는 약 10 대 1인 것인 탄성중합체 구조물.
- 제371항에 있어서, 상기 제1 및 마이크로 가공된 제2 채널의 폭은 약 100 um이고, 높이는 약 10 um인 것인 탄성중합체 구조물.
- 제371항에 있어서, 상기 탄성중합체 구조물 또는 블록은 본원의 방법 중 어느 한 방법에 따라 가공되는 것인 탄성중합체 구조물.
- 제371항에 있어서, 상기 평탄한 기판은 유리인 것인 탄성중합체 구조물.
- 제371항에 있어서, 상기 평탄한 기판은 탄성중합체 물질인 것인 탄성중합체 구조물.
- 제371항에 있어서, 상기 제1 채널의 상부면은 만곡되어 있는 것인 탄성중합체 구조물.
- 제371항에 있어서, 상기 제1 및 제2 채널의 교차부에 있어서 제1 및 제2 채널 사이에 배치된 탄성중합체 구조물의 일부의 두께는 약 30 um인 것인 탄성중합체 구조물.
- 제371항에 있어서, 상기 제1 채널이 가압될 때 제2 채널쪽으로 하향 편향되어 제2 채널을 폐쇄할 수 있는 구조물의 일부분에 의해 제1 및 제2 채널이 분리되는 것인 탄성중합체 구조물.
- 제371항에 있어서, 상기 탄성중합체 블록은 실리콘 고무, 폴리이소프렌, 폴리부타디엔, 폴리클로로프렌, 폴리이소부틸렌, 폴리(스티렌-부타디엔-스티렌), 폴리우레탄, 실리콘, 제너럴 일렉트릭의 RTV 615, 다우 케미컬스 코포레이션의 Sylgard 182, 184 또는 186 등과 같은 폴리디메틸실록산(PDMS), UCB 케미컬의 Ebecryl 270 또는 Irr 245 등과 같은 지방족 우레탄 디아크릴레이트로 이루어진 그룹에서 선택되는 물질로 형성되는 탄성중합체 구조물.
- 복수 개의 평행한 마이크로 가공된 제1 채널과, 마이크로 가공된 제2 채널이 그것을 통과하고, 상기 마이크로 가공된 제2 채널은 복수 개의 평행한 마이크로 가공된 제1 채널과 교차하지만 서로 만나지는 않게 형성되어 있는 탄성중합체 블록을 포함하는 것인 유체 또는 가스 흐름 조절용 탄성중합체 구조물.
- 제384항에 있어서, 상기 복수 개의 평행한 마이크로 가공된 제1 채널은 마이크로 가공된 제2 채널에 대해 소정의 각도로 배치되는 것인 탄성중합체 구조물.
- 제385항에 있어서, 상기 각도는 직각인 것인 탄성중합체 구조물.
- 유체 또는 가스의 흐름 조절용 구조물로서,평탄한 기판과,상기 평탄한 기판 위에 결합된 탄성중합체 블록을 포함하며, 상기 탄성중합체 블록은 그 바닥면을 따라 연장하는 복수 개의 제1 리세스를 포함하고, 이 복수 개의 제1 리세스는 상기 평탄한 기판과 탄성중합체 블록 사이를 따라 연장하는 복수 개의 제1 채널을 형성하며, 상기 탄성중합체 블록은 그것을 통과하는 제2 채널을 더 포함하고, 상기 제2 채널은 복수 개의 제1 채널과 서로 교차하지만 직접 만나지는 않는 것인 구조물.
- 제387항에 있어서, 상기 복수 개의 제1 채널은 마이크로 가공된 제2 채널에 대해 소정의 각도로 배치되는 것인 탄성중합체 구조물.
- 제388항에 있어서, 상기 각도는 직각인 것인 탄성중합체 구조물.
- 마이크로 가공된 제1 채널과, 복수 개의 평행한 마이크로 가공된 제2 채널이 그것을 통과하고, 상기 복수 개의 마이크로 가공된 제2 채널은 마이크로 가공된 제1 채널과 교차하지만 서로 만나지는 않게 형성되어 있는 탄성중합체 블록을 포함하는 것인 유체 또는 가스 흐름 조절용 탄성중합체 구조물.
- 제390항에 있어서, 상기 마이크로 가공된 제1 채널은 복수 개의 평행한 마이크로 가공된 제2 채널에 대해 소정의 각도로 배치되는 것인 탄성중합체 구조물.
- 제391항에 있어서, 상기 각도는 직각인 것인 탄성중합체 구조물.
- 유체 또는 가스의 흐름 조절용 구조물로서,평탄한 기판과,상기 평탄한 기판 위에 결합된 탄성중합체 블록을 포함하며, 상기 탄성중합체 블록은 그 바닥면을 따라 연장하는 제1 리세스를 포함하고, 이 제1 리세스는 상기 평탄한 기판과 탄성중합체 블록 사이를 따라 연장하는 제1 채널을 형성하며, 상기 탄성중합체 블록은 그것을 통과하는 복수 개의 평행한 제2 채널을 더 포함하고, 상기 복수 개의 평행한 제2 채널은 제1 채널과 서로 교차하지만 직접 만나지는 않는 것인 구조물.
- 제393항에 있어서, 상기 제1 채널은 복수 개의 마이크로 가공된 제2 채널에 대해 소정의 각도로 배치되는 것인 탄성중합체 구조물.
- 제394항에 있어서, 상기 각도는 직각인 것인 탄성중합체 구조물.
- 제322항에 있어서, 상기 제어 채널은 그 길이를 따라 폭이 넓은 부분과 협소한 부분을 모두 구비하며, 그 폭이 넓은 부분은 하나 이상의 흐름 채널 위에 배치되고 그 폭이 협소한 부분은 나머지 흐름 채널 위에 배치되는 것인 가공 방법.
- 제326항에 있어서, 상기 제어 채널은 그 길이를 따라 폭이 넓은 부분과 협소한 부분을 모두 구비하며, 그 폭이 넓은 부분은 하나 이상의 흐름 채널 위에 배치되고 그 폭이 협소한 부분은 나머지 흐름 채널 위에 배치되며, 상기 제어 채널을 가압하면, 흐름 채널로부터 제어 채널을 분리하는 탄성중합체 구조물의 일부분들은 단지 제어 채널의 폭이 넓은 부분이 그 위에 배치된 흐름 채널들쪽으로만 편향되는 것인 제어 방법.
- 제355항에 설명된 방법 또는 제93항에 설명된 구조물에 있어서, 상기 제2 채널은 그 길이를 따라 폭이 넓은 부분과 협소한 부분을 모두 구비하며, 그 폭이 넓은 부분은 하나 이상의 흐름 채널 위에 배치되고 그 폭이 협소한 부분은 나머지 흐름 채널 위에 배치되는 것인 가공 방법.
- 제326항에 설명된 방법 또는 제96항에 설명된 구조물에 있어서, 상기 제2 채널은 그 길이를 따라 폭이 넓은 부분과 협소한 부분을 모두 구비하며, 그 폭이 넓은 부분은 하나 이상의 흐름 채널 위에 배치되고 그 폭이 협소한 부분은 나머지 흐름 채널 위에 배치되며, 상기 제어 채널을 가압하면, 흐름 채널로부터 제어 채널을 분리하는 탄성중합체 구조물의 일부분들은 단지 제어 채널의 폭이 넓은 부분이 그 위에 배치된 흐름 채널들쪽으로만 편향되는 것인 제어 방법.
- 마이크로 가공된 제1 몰드 위에 제1 탄성중합체를 형성하는 단계로서, 이 마이크로 가공된 제1 몰드는 제1 탄성중합체층의 바닥면에 제1 리세스를 형성하는 제1 융기된 돌출부를 구비하고 있는 단계와,마이크로 가공된 제2 몰드 위에 제2 탄성중합체를 형성하는 단계로서, 이 마이크로 가공된 제2 몰드는 제2 탄성중합체층의 바닥면에 제2 리세스를 형성하는 제2 융기된 돌출부를 구비하고 있는 단계와,상기 제2 리세스가 제1 및 제2 탄성중합체층 사이에 격납되도록, 제1 탄성중합체층의 상부면 위에 제2 탄성중합체층의 바닥면을 접합시키는 단계와,상기 제1 리세스가 제1 탄성중합체층 및 평탄한 기판 사이에 격납되도록, 평탄한 기판 위에 제1 탄성중합체층을 배치하는 단계를 포함하는 것인 탄성중합체 구조물의 가공 방법.
- 제400항에 있어서, 2개의 교차 채널은 교차하지만, 직접 만나지는 않는 것인 가공 방법.
- 제400항에 있어서, 이들의 치수는 탄성중합체 구조물이 밸브의 기능을 하도록 조정되는 것인 가공 방법.
- 기판 위에 제1 탄성중합체층을 형성하는 단계와,제1 탄성중합체층 상부면 위에 제1 포토레지스트층을 적층하는 단계와,제1 포토레지스트 패턴이 제1 탄성중합체층의 상부면 위에 남아있도록, 제1포토레지스트층의 일부를 제거하는 단계와,제1 탄성중합체층 위에 제2 탄성중합체층을 형성하여, 제1 및 제2 탄성중합체층 사이에 제1 포토레지스트 패턴을 격납하는 단계와,제2 탄성중합체층의 상부면 위에 제2 포토레지스트층을 적층하는 단계와,제2 포토레지스트 패턴이 제2 탄성중합체층의 상부면 위에 남아있도록, 제2 포토레지스트층의 일부를 제거하는 단계와,제2 탄성중합체층 위에 제3 탄성중합체층을 형성하여, 제2 및 제3 탄성중합체층 사이에 제2 포토레지스트 패턴을 격납하는 단계와,제1 및 제2 포토레지스트 패턴을 제거하여, 각각 탄성중합체 구조물을 통과하는 제1 및 제2 리세스층을 형성하는 단계를 포함하는 것인 탄성중합체 구조물의 가공 방법.
- 제402항에 있어서, 상기 2개의 교차 채널은 교차하지만, 직접 만나지는 않는 것인 가공 방법.
- 제403항에 있어서, 이들의 치수는 탄성중합체 구조물이 밸브의 기능을 하도록 조정되는 것인 가공 방법.
- 복수 개의 마이크로 가공된 리세스가 서로 교차하지만 직접 접하지는 않게 형성되어 있는 것인 탄성중합체 구조물.
- 제406항에 있어서, 상기 2개의 교차 채널은 교차하지만, 직접 만나지는 않는 것인 가공 방법.
- 제406항에 있어서, 이들의 치수는 탄성중합체 구조물이 밸브의 기능을 하도록 조정되는 것인 가공 방법.
- 평탄한 기판과,상기 평탄한 기판 위에 배치된 탄성중합체 블록을 포함하며, 상기 탄성중합체 블록에는 평탄한 기판에 의해 밀봉되는 그 바닥면 상에 있는 리세스 등의 복수 개의 마이크로 가공된 리세스가 형성되고, 이들 리세스는 서로 교차하지만 직접 만나지는 않는 것인 마이크로 가공된 구조물.
- 제409항에 있어서, 상기 2개의 교차 채널은 교차하지만, 직접 만나지는 않는 것인 구조물.
- 제409항에 있어서, 이들의 치수는 탄성중합체 구조물이 밸브의 기능을 하도록 조정되는 것인 구조물.
- 제1 경화된 탄성중합체층을 형성하는 단계와,제2 경화된 탄성중합체층을 형성하는 단계와,이들 2개의 층을 접촉시키는 단계와,이들 2개의 층을 서로 결합시키는 단계를 포함하는 것인 2개의 경화된 탄성중합체층의 결합 방법.
- 제412항에 있어서, 상기 2개의 층은 화학적으로 서로 다른 것인 결합 방법.
- 제413항에 있어서, 상기 탄성중합체는 2개 이상의 혼합물로 형성되고, 이들 층은 그 조성비가 서로 다른 것인 결합 방법.
- 제414항에 있어서, 상기 탄성중합체는 2부분 실리콘 고무인 것인 결합 방법.
- 제412항에 있어서, 상기 탄성중합체는 GE RTV 615 이고, 상기 2개의 층은 3A:1B(Si-H 그룹 과잉) 및 30A:1B(비닐 그룹 과잉)의 비로 혼합되는 것인 결합 방법.
- 제414항에 있어서, 상기 탄성중합체는 2부분 폴리우레탄인 것인 결합 방법.
- 제417항에 있어서, 상기 탄성중합체는 UCB 케미컬스의 Ebecryl 270 또는 Irr 245인 것인 결합 방법.
- 제417항에 있어서, 상기 탄성중합체는 제13항, 제14항 또는 제15항에 기재된 임의의 물질인 것인 결합 방법.
- 제412항에 있어서, 상기 2개의 층은 동일한 조성인 것인 결합 방법.
- 제417항에 있어서, 상기 층들은 불완전하게 경화된 것인 결합 방법.
- 제417항에 있어서, 상기 층들이 경화된 후 활성화 되는 가교제를 이들 층이 함유하는 것인 결합 방법.
- 제417항에 있어서, 상기 층들은 가열에 의해 결합되는 것인 결합 방법.
- 제412항에 있어서, 상기 2개의 층은 얇은 접착제층을 이용하여 결합되는 것인 결합 방법.
- 제1 경화된 탄성중합체층을 형성하는 단계와,제1 경화된 층을 패터닝 가능한 레지스트층으로 피복하는 단계와,레지스트층을 패터닝하는 단계와,제2 비경화된 탄성중합체층을 첨가하는 단계와,제2 탄성중합체층을 경화시켜 모놀리식 탄성중합체 블록을 형성하고 패터닝된 레지스트를 격납하는 단계와,패터닝된 레지스트를 탄성중합체로부터 제거하는 단계를 포함하는 것인 패터닝 가능한 레지스트층의 격납 방법.
- 제425항에 있어서, 복수 개의 레지스트층이 탄성중합체 내에 격납되는 것인 격납 방법.
- 제425항에 있어서, 각 탄성중합체층의 조성은 동일한 것인 격납 방법.
- 제425항에 있어서, 서로 다른 탄성중합체층의 조성은 서로 다른 것인 격납 방법.
- 제425항에 있어서, 각 층의 조성은 제304항에 기재된 임의의 물질로 이루어지는 것인 격납 방법.
- 제292항의 탄성중합체 구조물의 작동 방법으로서, 제1 채널로부터 제2 채널을 분리하는 탄성중합체 구조물의 일부분이 제1 채널쪽으로 편향되도록 제2 채널을 가압하는 단계를 포함하는 것인 작동 방법.
- 제319항에 있어서, 상기 흐름 채널로부터 제어 채널을 분리하는 탄성중합체 구조물의 일부분이 흐름 채널쪽으로 편향되어 흐름 채널을 통한 유체의 흐름을 차단하도록, 상기 제어 채널이 가압되는 것인 제어 방법.
- 제292항의 탄성중합체 구조물의 작동 방법으로서, 2개의 채널을 분리하는 박막 및 기판 상에 전극을 더 마련하는 단계와, 2개의 전극 사이에 전압을 인가하여 이들 사이에 인력을 발생시키는 단계를 포함하는 것인 작동 방법.
- 제292항의 탄성중합체 구조물의 작동 방법으로서, 2개의 자기적으로 작동하는 탄성중합체 채널을 분리하는 박막을 구성하는 단계와, 기판을 향해 인력을 발생시키도록 자기장을 발생시키는 단계를 포함하는 것인 작동 방법.
Applications Claiming Priority (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US14150399P | 1999-06-28 | 1999-06-28 | |
US60/141,503 | 1999-06-28 | ||
US14719999P | 1999-08-03 | 1999-08-03 | |
US60/147,199 | 1999-08-30 | ||
US18685600P | 2000-03-03 | 2000-03-03 | |
US60/186,856 | 2000-03-03 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20020036964A true KR20020036964A (ko) | 2002-05-17 |
KR100865105B1 KR100865105B1 (ko) | 2008-10-24 |
Family
ID=27385668
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020017016720A KR100865105B1 (ko) | 1999-06-28 | 2000-06-27 | 마이크로 가공된 탄성중합체 밸브 및 펌프 시스템 |
Country Status (18)
Country | Link |
---|---|
US (15) | US7601270B1 (ko) |
EP (3) | EP2309130B1 (ko) |
JP (5) | JP2003524738A (ko) |
KR (1) | KR100865105B1 (ko) |
CN (1) | CN100402850C (ko) |
AT (3) | ATE343724T1 (ko) |
AU (1) | AU779988B2 (ko) |
BR (1) | BR0011982B1 (ko) |
CA (2) | CA2721172C (ko) |
DE (3) | DE60031540T2 (ko) |
DK (1) | DK1065378T3 (ko) |
ES (1) | ES2174798T3 (ko) |
GB (1) | GB2352283A (ko) |
IL (2) | IL147302A0 (ko) |
MX (1) | MXPA01012959A (ko) |
NO (1) | NO330662B1 (ko) |
NZ (1) | NZ533466A (ko) |
WO (1) | WO2001001025A2 (ko) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2011108803A2 (ko) * | 2010-03-04 | 2011-09-09 | 전북대학교산학협력단 | 3차원 나선형 액추에이터의 제조방법 |
KR101321912B1 (ko) * | 2007-08-28 | 2013-10-30 | 삼성전자주식회사 | 탄성 밸브 및 이를 구비한 미세유동 장치 |
KR20170109746A (ko) * | 2016-03-21 | 2017-10-10 | 주식회사 엘지화학 | 플렉서블 디스플레이용 보호 필름 |
Families Citing this family (721)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6048734A (en) | 1995-09-15 | 2000-04-11 | The Regents Of The University Of Michigan | Thermal microvalves in a fluid flow method |
US6221654B1 (en) | 1996-09-25 | 2001-04-24 | California Institute Of Technology | Method and apparatus for analysis and sorting of polynucleotides based on size |
US7052594B2 (en) | 2002-01-31 | 2006-05-30 | Sri International | Devices and methods for controlling fluid flow using elastic sheet deflection |
US6833242B2 (en) * | 1997-09-23 | 2004-12-21 | California Institute Of Technology | Methods for detecting and sorting polynucleotides based on size |
US6780591B2 (en) | 1998-05-01 | 2004-08-24 | Arizona Board Of Regents | Method of determining the nucleotide sequence of oligonucleotides and DNA molecules |
US7875440B2 (en) | 1998-05-01 | 2011-01-25 | Arizona Board Of Regents | Method of determining the nucleotide sequence of oligonucleotides and DNA molecules |
JP2002541975A (ja) | 1999-04-26 | 2002-12-10 | ジーエムピー ヴィジョン ソルーションズ インコーポレイテッド | 緑内障の治療のための線維柱帯切開装置および方法 |
US8550119B2 (en) * | 1999-06-28 | 2013-10-08 | California Institute Of Technology | Microfabricated elastomeric valve and pump systems |
US6929030B2 (en) * | 1999-06-28 | 2005-08-16 | California Institute Of Technology | Microfabricated elastomeric valve and pump systems |
US8052792B2 (en) | 2001-04-06 | 2011-11-08 | California Institute Of Technology | Microfluidic protein crystallography techniques |
US20080277007A1 (en) * | 1999-06-28 | 2008-11-13 | California Institute Of Technology | Microfabricated elastomeric valve and pump systems |
US7217321B2 (en) | 2001-04-06 | 2007-05-15 | California Institute Of Technology | Microfluidic protein crystallography techniques |
US7052545B2 (en) * | 2001-04-06 | 2006-05-30 | California Institute Of Technology | High throughput screening of crystallization of materials |
US7195670B2 (en) | 2000-06-27 | 2007-03-27 | California Institute Of Technology | High throughput screening of crystallization of materials |
US7306672B2 (en) | 2001-04-06 | 2007-12-11 | California Institute Of Technology | Microfluidic free interface diffusion techniques |
US7144616B1 (en) | 1999-06-28 | 2006-12-05 | California Institute Of Technology | Microfabricated elastomeric valve and pump systems |
US8709153B2 (en) | 1999-06-28 | 2014-04-29 | California Institute Of Technology | Microfludic protein crystallography techniques |
US7459022B2 (en) * | 2001-04-06 | 2008-12-02 | California Institute Of Technology | Microfluidic protein crystallography |
US6899137B2 (en) | 1999-06-28 | 2005-05-31 | California Institute Of Technology | Microfabricated elastomeric valve and pump systems |
US6818395B1 (en) | 1999-06-28 | 2004-11-16 | California Institute Of Technology | Methods and apparatus for analyzing polynucleotide sequences |
MXPA01012959A (es) * | 1999-06-28 | 2002-07-30 | California Inst Of Techn | Sistemas elastomericos, microfabricados, de valvulas y bombas. |
CA2290731A1 (en) * | 1999-11-26 | 2001-05-26 | D. Jed Harrison | Apparatus and method for trapping bead based reagents within microfluidic analysis system |
US6432290B1 (en) | 1999-11-26 | 2002-08-13 | The Governors Of The University Of Alberta | Apparatus and method for trapping bead based reagents within microfluidic analysis systems |
CA2399199A1 (en) * | 2000-02-23 | 2001-08-30 | Ring-Ling Chien | Multi-reservoir pressure control system |
AU2001240040A1 (en) * | 2000-03-03 | 2001-09-17 | California Institute Of Technology | Combinatorial array for nucleic acid analysis |
US7867763B2 (en) | 2004-01-25 | 2011-01-11 | Fluidigm Corporation | Integrated chip carriers with thermocycler interfaces and methods of using the same |
US20050118073A1 (en) * | 2003-11-26 | 2005-06-02 | Fluidigm Corporation | Devices and methods for holding microfluidic devices |
US6638239B1 (en) | 2000-04-14 | 2003-10-28 | Glaukos Corporation | Apparatus and method for treating glaucoma |
US7867186B2 (en) | 2002-04-08 | 2011-01-11 | Glaukos Corporation | Devices and methods for treatment of ocular disorders |
US7351376B1 (en) * | 2000-06-05 | 2008-04-01 | California Institute Of Technology | Integrated active flux microfluidic devices and methods |
US6627159B1 (en) | 2000-06-28 | 2003-09-30 | 3M Innovative Properties Company | Centrifugal filling of sample processing devices |
US7236831B2 (en) * | 2000-07-13 | 2007-06-26 | Northstar Neuroscience, Inc. | Methods and apparatus for effectuating a lasting change in a neural-function of a patient |
US6669669B2 (en) * | 2001-10-12 | 2003-12-30 | Insulet Corporation | Laminated patient infusion device |
WO2002023163A1 (en) | 2000-09-15 | 2002-03-21 | California Institute Of Technology | Microfabricated crossflow devices and methods |
US7097809B2 (en) * | 2000-10-03 | 2006-08-29 | California Institute Of Technology | Combinatorial synthesis system |
US7258774B2 (en) * | 2000-10-03 | 2007-08-21 | California Institute Of Technology | Microfluidic devices and methods of use |
US6508988B1 (en) * | 2000-10-03 | 2003-01-21 | California Institute Of Technology | Combinatorial synthesis system |
WO2002030486A2 (en) * | 2000-10-13 | 2002-04-18 | Fluidigm Corporation | Microfluidic device based sample injection system for analytical devices |
WO2002055198A2 (en) * | 2000-11-06 | 2002-07-18 | Nanostream Inc | Microfluidic flow control devices |
WO2002065005A1 (en) | 2000-11-06 | 2002-08-22 | California Institute Of Technology | Electrostatic valves for microfluidic devices |
US8097471B2 (en) * | 2000-11-10 | 2012-01-17 | 3M Innovative Properties Company | Sample processing devices |
US20030007894A1 (en) * | 2001-04-27 | 2003-01-09 | Genoptix | Methods and apparatus for use of optical forces for identification, characterization and/or sorting of particles |
US6936811B2 (en) * | 2000-11-13 | 2005-08-30 | Genoptix, Inc. | Method for separating micro-particles |
US20020121443A1 (en) * | 2000-11-13 | 2002-09-05 | Genoptix | Methods for the combined electrical and optical identification, characterization and/or sorting of particles |
US20020160470A1 (en) * | 2000-11-13 | 2002-10-31 | Genoptix | Methods and apparatus for generating and utilizing linear moving optical gradients |
US20020123112A1 (en) * | 2000-11-13 | 2002-09-05 | Genoptix | Methods for increasing detection sensitivity in optical dielectric sorting systems |
AU2002248149A1 (en) * | 2000-11-16 | 2002-08-12 | Fluidigm Corporation | Microfluidic devices for introducing and dispensing fluids from microfluidic systems |
WO2002040874A1 (en) | 2000-11-16 | 2002-05-23 | California Institute Of Technology | Apparatus and methods for conducting assays and high throughput screening |
FR2817974B1 (fr) * | 2000-12-12 | 2003-09-12 | Commissariat Energie Atomique | Micro-actionneur optique, composant optique utilisant le micro-actionneur, et procede de realisation d'un micro-actionneur optique |
CA2697026A1 (en) * | 2000-12-12 | 2002-06-12 | Bayer Healthcare Llc | Method of making a capillary channel |
WO2002053290A2 (en) * | 2001-01-08 | 2002-07-11 | President And Fellows Of Harvard College | Valves and pumps for microfluidic systems and method for making microfluidic systems |
US20020098122A1 (en) * | 2001-01-22 | 2002-07-25 | Angad Singh | Active disposable microfluidic system with externally actuated micropump |
US6692700B2 (en) | 2001-02-14 | 2004-02-17 | Handylab, Inc. | Heat-reduction methods and systems related to microfluidic devices |
US6904784B2 (en) * | 2001-02-27 | 2005-06-14 | Teledyne Isco, Inc. | Liquid chromatographic method and system |
US20050196785A1 (en) * | 2001-03-05 | 2005-09-08 | California Institute Of Technology | Combinational array for nucleic acid analysis |
EP1384076B1 (en) * | 2001-03-19 | 2012-07-25 | Gyros Patent Ab | Characterization of reaction variables |
US8895311B1 (en) | 2001-03-28 | 2014-11-25 | Handylab, Inc. | Methods and systems for control of general purpose microfluidic devices |
US6852287B2 (en) | 2001-09-12 | 2005-02-08 | Handylab, Inc. | Microfluidic devices having a reduced number of input and output connections |
US7010391B2 (en) | 2001-03-28 | 2006-03-07 | Handylab, Inc. | Methods and systems for control of microfluidic devices |
US7323140B2 (en) | 2001-03-28 | 2008-01-29 | Handylab, Inc. | Moving microdroplets in a microfluidic device |
US7829025B2 (en) | 2001-03-28 | 2010-11-09 | Venture Lending & Leasing Iv, Inc. | Systems and methods for thermal actuation of microfluidic devices |
EP1661623A3 (en) * | 2001-04-06 | 2006-06-07 | Fluidigm Corporation | Microfluidic delivery system |
EP1679121A3 (en) * | 2001-04-06 | 2006-07-26 | Fluidigm Corporation | Microfabricated fluidic circuit elements and applications |
US6752922B2 (en) | 2001-04-06 | 2004-06-22 | Fluidigm Corporation | Microfluidic chromatography |
EP1384022A4 (en) | 2001-04-06 | 2004-08-04 | California Inst Of Techn | AMPLIFICATION OF NUCLEIC ACID USING MICROFLUIDIC DEVICES |
JP5162074B2 (ja) | 2001-04-06 | 2013-03-13 | フルイディグム コーポレイション | ポリマー表面修飾 |
US20020164816A1 (en) * | 2001-04-06 | 2002-11-07 | California Institute Of Technology | Microfluidic sample separation device |
US6802342B2 (en) | 2001-04-06 | 2004-10-12 | Fluidigm Corporation | Microfabricated fluidic circuit elements and applications |
US7431710B2 (en) | 2002-04-08 | 2008-10-07 | Glaukos Corporation | Ocular implants with anchors and methods thereof |
DE60225815T2 (de) | 2001-04-07 | 2009-02-05 | Glaukos Corp., Laguna Hills | Glaukom-stent für die glaukom-behandlung |
US20030194755A1 (en) * | 2001-04-27 | 2003-10-16 | Genoptix, Inc. | Early detection of apoptotic events and apoptosis using optophoretic analysis |
US20040023310A1 (en) * | 2001-04-27 | 2004-02-05 | Genoptix, Inc | Quantitative determination of protein kinase C activation using optophoretic analysis |
US20030124516A1 (en) * | 2001-04-27 | 2003-07-03 | Genoptix, Inc. | Method of using optical interrogation to determine a biological property of a cell or population of cells |
US20020186263A1 (en) * | 2001-06-07 | 2002-12-12 | Nanostream, Inc. | Microfluidic fraction collectors |
US6729352B2 (en) | 2001-06-07 | 2004-05-04 | Nanostream, Inc. | Microfluidic synthesis devices and methods |
US7318912B2 (en) * | 2001-06-07 | 2008-01-15 | Nanostream, Inc. | Microfluidic systems and methods for combining discrete fluid volumes |
GB0116384D0 (en) * | 2001-07-04 | 2001-08-29 | Diagnoswiss Sa | Microfluidic chemical assay apparatus and method |
KR100421359B1 (ko) * | 2001-07-24 | 2004-03-06 | 엘지전자 주식회사 | 탄성 재질의 기판 내에서 유체를 이송하는 방법 및 이를위한 장치 |
US6734436B2 (en) | 2001-08-07 | 2004-05-11 | Sri International | Optical microfluidic devices and methods |
US7331984B2 (en) | 2001-08-28 | 2008-02-19 | Glaukos Corporation | Glaucoma stent for treating glaucoma and methods of use |
US7075162B2 (en) * | 2001-08-30 | 2006-07-11 | Fluidigm Corporation | Electrostatic/electrostrictive actuation of elastomer structures using compliant electrodes |
SG106631A1 (en) * | 2001-08-31 | 2004-10-29 | Agency Science Tech & Res | Liquid delivering device |
DE20115733U1 (de) * | 2001-09-25 | 2001-12-20 | Festo Ag & Co | Ventileinrichtung |
US20030073961A1 (en) * | 2001-09-28 | 2003-04-17 | Happ Dorrie M. | Medical device containing light-protected therapeutic agent and a method for fabricating thereof |
US20030108664A1 (en) * | 2001-10-05 | 2003-06-12 | Kodas Toivo T. | Methods and compositions for the formation of recessed electrical features on a substrate |
US8440093B1 (en) | 2001-10-26 | 2013-05-14 | Fuidigm Corporation | Methods and devices for electronic and magnetic sensing of the contents of microfluidic flow channels |
US20040005720A1 (en) * | 2001-10-30 | 2004-01-08 | Cremer Paul S. | Method and apparatus for temperature gradient microfluidics |
US20030087455A1 (en) * | 2001-11-07 | 2003-05-08 | Eggers Mitchell D | Sample carrier system |
GB0128350D0 (en) * | 2001-11-27 | 2002-01-16 | Lab901 Ltd | Non-rigid apparatus for microfluidic applications |
US7691333B2 (en) | 2001-11-30 | 2010-04-06 | Fluidigm Corporation | Microfluidic device and methods of using same |
ES2403560T3 (es) | 2001-11-30 | 2013-05-20 | Fluidigm Corporation | Dispositivo microfluídico y procedimientos de utilización del mismo |
AU2002351291A1 (en) | 2001-12-06 | 2003-06-23 | Nanostream, Inc. | Adhesiveless microfluidic device fabrication |
US6622746B2 (en) | 2001-12-12 | 2003-09-23 | Eastman Kodak Company | Microfluidic system for controlled fluid mixing and delivery |
US6739576B2 (en) | 2001-12-20 | 2004-05-25 | Nanostream, Inc. | Microfluidic flow control device with floating element |
US7867757B2 (en) * | 2001-12-28 | 2011-01-11 | Norchip As | Fluid manipulation in a microfabricated reaction chamber systems |
GB2383546B (en) * | 2001-12-28 | 2006-03-01 | Norchip As | Fluid manipulation in a microfabricated reaction chamber system |
US7289132B1 (en) * | 2003-12-19 | 2007-10-30 | Apple Inc. | Method and apparatus for image acquisition, organization, manipulation, and publication |
US6568799B1 (en) | 2002-01-23 | 2003-05-27 | Eastman Kodak Company | Drop-on-demand ink jet printer with controlled fluid flow to effect drop ejection |
US7524459B2 (en) * | 2002-01-24 | 2009-04-28 | California Institute Of Technology In Pasadena | Optoelectronic and microfluidic integration for miniaturized spectroscopic devices |
US6814859B2 (en) | 2002-02-13 | 2004-11-09 | Nanostream, Inc. | Frit material and bonding method for microfluidic separation devices |
US6561224B1 (en) * | 2002-02-14 | 2003-05-13 | Abbott Laboratories | Microfluidic valve and system therefor |
GB0204009D0 (en) * | 2002-02-20 | 2002-04-03 | Xaar Technology Ltd | Actuation device and use thereof in droplet deposition |
US20030180711A1 (en) * | 2002-02-21 | 2003-09-25 | Turner Stephen W. | Three dimensional microfluidic device having porous membrane |
US6958119B2 (en) * | 2002-02-26 | 2005-10-25 | Agilent Technologies, Inc. | Mobile phase gradient generation microfluidic device |
JP4557551B2 (ja) * | 2002-02-27 | 2010-10-06 | ミシガン大学リージェンツ | 運動性精子選別法 |
EP2666849A3 (en) * | 2002-04-01 | 2014-05-28 | Fluidigm Corporation | Microfluidic particle-analysis systems |
US6637476B2 (en) | 2002-04-01 | 2003-10-28 | Protedyne Corporation | Robotically manipulable sample handling tool |
US6872645B2 (en) * | 2002-04-02 | 2005-03-29 | Nanosys, Inc. | Methods of positioning and/or orienting nanostructures |
US9943847B2 (en) | 2002-04-17 | 2018-04-17 | Cytonome/St, Llc | Microfluidic system including a bubble valve for regulating fluid flow through a microchannel |
US6877528B2 (en) * | 2002-04-17 | 2005-04-12 | Cytonome, Inc. | Microfluidic system including a bubble valve for regulating fluid flow through a microchannel |
US6976590B2 (en) | 2002-06-24 | 2005-12-20 | Cytonome, Inc. | Method and apparatus for sorting particles |
US6808075B2 (en) | 2002-04-17 | 2004-10-26 | Cytonome, Inc. | Method and apparatus for sorting particles |
US20030211461A1 (en) * | 2002-05-01 | 2003-11-13 | Genoptix, Inc | Optophoretic detection of durgs exhibiting inhibitory effect on Bcr-Abl positive tumor cells |
US20040033539A1 (en) * | 2002-05-01 | 2004-02-19 | Genoptix, Inc | Method of using optical interrogation to determine a biological property of a cell or population of cells |
DE10220371A1 (de) * | 2002-05-07 | 2003-11-27 | Fraunhofer Ges Forschung | Freistrahldosiermodul und Verfahren zu seiner Herstellung |
US20030208936A1 (en) * | 2002-05-09 | 2003-11-13 | Lee Charles Hee | Method for manufacturing embroidery decorated cards and envelopes |
US7059348B2 (en) * | 2002-05-13 | 2006-06-13 | Fluidigm Corporation | Drug delivery system |
US7125510B2 (en) * | 2002-05-15 | 2006-10-24 | Zhili Huang | Microstructure fabrication and microsystem integration |
US20030217923A1 (en) * | 2002-05-24 | 2003-11-27 | Harrison D. Jed | Apparatus and method for trapping bead based reagents within microfluidic analysis systems |
US7217426B1 (en) | 2002-06-21 | 2007-05-15 | Advanced Cardiovascular Systems, Inc. | Coatings containing polycationic peptides for cardiovascular therapy |
EP1535066A2 (en) * | 2002-06-24 | 2005-06-01 | Fluidigm Corporation | Recirculating fluidic network and methods for using the same |
US20040124085A1 (en) * | 2002-06-26 | 2004-07-01 | California Institute Of Technology | Microfluidic devices and methods with electrochemically actuated sample processing |
JP2006507921A (ja) | 2002-06-28 | 2006-03-09 | プレジデント・アンド・フェロウズ・オブ・ハーバード・カレッジ | 流体分散のための方法および装置 |
US7452509B2 (en) * | 2002-07-26 | 2008-11-18 | Applied Biosystems Inc. | Microfluidic device including displaceable material trap, and system |
US7135147B2 (en) * | 2002-07-26 | 2006-11-14 | Applera Corporation | Closing blade for deformable valve in a microfluidic device and method |
US7198759B2 (en) * | 2002-07-26 | 2007-04-03 | Applera Corporation | Microfluidic devices, methods, and systems |
US7201881B2 (en) * | 2002-07-26 | 2007-04-10 | Applera Corporation | Actuator for deformable valves in a microfluidic device, and method |
DE10241294A1 (de) * | 2002-09-04 | 2004-03-18 | Basf Ag | Hybriddispersionen aus Polyadditionsprodukten und radikalischen Polymerisaten |
US20060099135A1 (en) * | 2002-09-10 | 2006-05-11 | Yodh Arjun G | Carbon nanotubes: high solids dispersions and nematic gels thereof |
EP1403209A1 (en) * | 2002-09-24 | 2004-03-31 | The Technology Partnership Limited | Fluid routing device |
US8220494B2 (en) * | 2002-09-25 | 2012-07-17 | California Institute Of Technology | Microfluidic large scale integration |
US7143785B2 (en) * | 2002-09-25 | 2006-12-05 | California Institute Of Technology | Microfluidic large scale integration |
TW590982B (en) * | 2002-09-27 | 2004-06-11 | Agnitio Science & Technology I | Micro-fluid driving device |
WO2004032228A2 (de) * | 2002-09-30 | 2004-04-15 | Siemens Aktiengesellschaft | Substrat mit einem planen oberflächenabschnitt, verfahren zum herstellen eines materialfilms auf dem oberflächenabschnitt des substrats und verwendung des substrats |
WO2004040001A2 (en) | 2002-10-02 | 2004-05-13 | California Institute Of Technology | Microfluidic nucleic acid analysis |
GB0224121D0 (en) * | 2002-10-16 | 2002-11-27 | Microemissive Displays Ltd | Method of patterning a functional material on to a substrate |
DE10254312B4 (de) | 2002-11-21 | 2005-04-21 | Hahn-Schickard-Gesellschaft für angewandte Forschung e.V. | Variabler Flußwiderstand |
EP1563186B1 (en) * | 2002-11-21 | 2007-05-16 | California Institute Of Technology | Hydroimpedance pump |
US7086288B2 (en) * | 2002-11-27 | 2006-08-08 | Northwestern University | Thin membrane transducer |
US6920203B2 (en) * | 2002-12-02 | 2005-07-19 | General Electric Company | Method and apparatus for selectively attenuating a radiation source |
US7152616B2 (en) | 2002-12-04 | 2006-12-26 | Spinx, Inc. | Devices and methods for programmable microscale manipulation of fluids |
US20040121474A1 (en) * | 2002-12-19 | 2004-06-24 | Genoptix, Inc | Detection and evaluation of chemically-mediated and ligand-mediated t-cell activation using optophoretic analysis |
US20040121307A1 (en) * | 2002-12-19 | 2004-06-24 | Genoptix, Inc | Early detection of cellular differentiation using optophoresis |
JP2006512092A (ja) * | 2002-12-30 | 2006-04-13 | ザ・リージェンツ・オブ・ジ・ユニバーシティ・オブ・カリフォルニア | 病原体の検出および分析のための方法および装置 |
US6866233B2 (en) * | 2003-01-03 | 2005-03-15 | Orbital Research Inc. | Reconfigurable porous technology for fluid flow control and method of controlling flow |
US7090471B2 (en) * | 2003-01-15 | 2006-08-15 | California Institute Of Technology | Integrated electrostatic peristaltic pump method and apparatus |
ATE432420T1 (de) * | 2003-03-10 | 2009-06-15 | Univ Michigan | Intergrierte mikrofluidische kontrollvorrichtung mit programmierbaren taktilen stellgliedern |
US6844953B2 (en) * | 2003-03-12 | 2005-01-18 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Micro-mirror device including dielectrophoretic liquid |
US20040179972A1 (en) * | 2003-03-14 | 2004-09-16 | Nanostream, Inc. | Systems and methods for detecting manufacturing defects in microfluidic devices |
US7279027B2 (en) * | 2003-03-21 | 2007-10-09 | Air Products And Chemicals, Inc. | Planar ceramic membrane assembly and oxidation reactor system |
US7249529B2 (en) | 2003-03-28 | 2007-07-31 | Protedyne Corporation | Robotically manipulable sample handling tool |
US20060078893A1 (en) | 2004-10-12 | 2006-04-13 | Medical Research Council | Compartmentalised combinatorial chemistry by microfluidic control |
GB0307428D0 (en) | 2003-03-31 | 2003-05-07 | Medical Res Council | Compartmentalised combinatorial chemistry |
GB0307403D0 (en) | 2003-03-31 | 2003-05-07 | Medical Res Council | Selection by compartmentalised screening |
US20050145496A1 (en) * | 2003-04-03 | 2005-07-07 | Federico Goodsaid | Thermal reaction device and method for using the same |
US7666361B2 (en) | 2003-04-03 | 2010-02-23 | Fluidigm Corporation | Microfluidic devices and methods of using same |
US7604965B2 (en) | 2003-04-03 | 2009-10-20 | Fluidigm Corporation | Thermal reaction device and method for using the same |
US8828663B2 (en) | 2005-03-18 | 2014-09-09 | Fluidigm Corporation | Thermal reaction device and method for using the same |
US7476363B2 (en) | 2003-04-03 | 2009-01-13 | Fluidigm Corporation | Microfluidic devices and methods of using same |
WO2006102264A1 (en) | 2005-03-18 | 2006-09-28 | Fluidigm Corporation | Thermal reaction device and method for using the same |
EP2266687A3 (en) | 2003-04-10 | 2011-06-29 | The President and Fellows of Harvard College | Formation and control of fluidic species |
US6929969B2 (en) * | 2003-04-23 | 2005-08-16 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company | Reflective spatial light modulator mirror device manufacturing process and layout method |
US8791171B2 (en) * | 2003-05-01 | 2014-07-29 | Abbott Cardiovascular Systems Inc. | Biodegradable coatings for implantable medical devices |
US7074327B2 (en) * | 2003-05-08 | 2006-07-11 | Nanostream, Inc. | Sample preparation for parallel chromatography |
US20050002025A1 (en) * | 2003-05-15 | 2005-01-06 | Toshiba Ceramics Co., Ltd. | Channel structure and process for production thereof |
US6962658B2 (en) * | 2003-05-20 | 2005-11-08 | Eksigent Technologies, Llc | Variable flow rate injector |
EP1636017A2 (en) | 2003-05-20 | 2006-03-22 | Fluidigm Corporation | Method and system for microfluidic device and imaging thereof |
FR2855076B1 (fr) * | 2003-05-21 | 2006-09-08 | Inst Curie | Dispositif microfluidique |
US7381361B2 (en) * | 2003-06-26 | 2008-06-03 | Intel Corporation | Fabricating structures in micro-fluidic channels based on hydrodynamic focusing |
US7115230B2 (en) * | 2003-06-26 | 2006-10-03 | Intel Corporation | Hydrodynamic focusing devices |
WO2005007852A2 (en) * | 2003-07-09 | 2005-01-27 | Genvault Corporation | Room temperature elution of nucleic acids |
WO2005007223A2 (en) * | 2003-07-16 | 2005-01-27 | Sasha John | Programmable medical drug delivery systems and methods for delivery of multiple fluids and concentrations |
JP4996248B2 (ja) | 2003-07-31 | 2012-08-08 | ハンディーラブ インコーポレイテッド | 粒子含有サンプルの処理 |
CA2535566A1 (en) * | 2003-08-11 | 2005-07-07 | California Institute Of Technology | Microfluidic large scale integration |
US7413712B2 (en) | 2003-08-11 | 2008-08-19 | California Institute Of Technology | Microfluidic rotary flow reactor matrix |
US20050051489A1 (en) | 2003-08-20 | 2005-03-10 | California Institute Of Technology | IC-processed polymer nano-liquid chromatography system on-a-chip and method of making it |
CN104069784B (zh) | 2003-08-27 | 2017-01-11 | 哈佛大学 | 流体物种的电子控制 |
CA2536360C (en) * | 2003-08-28 | 2013-08-06 | Celula, Inc. | Methods and apparatus for sorting cells using an optical switch in a microfluidic channel network |
US7247778B2 (en) * | 2003-08-29 | 2007-07-24 | Spencer Chase | Addressable pneumatic valve system |
US7296592B2 (en) * | 2003-09-16 | 2007-11-20 | Eksigent Technologies, Llc | Composite polymer microfluidic control device |
US20060233673A1 (en) * | 2003-09-19 | 2006-10-19 | Beard Nigel P | High density plate filler |
US20060272738A1 (en) * | 2003-09-19 | 2006-12-07 | Gary Lim | High density plate filler |
US8277760B2 (en) * | 2003-09-19 | 2012-10-02 | Applied Biosystems, Llc | High density plate filler |
US20060233671A1 (en) * | 2003-09-19 | 2006-10-19 | Beard Nigel P | High density plate filler |
US20050226782A1 (en) * | 2003-09-19 | 2005-10-13 | Reed Mark T | High density plate filler |
US7407630B2 (en) * | 2003-09-19 | 2008-08-05 | Applera Corporation | High density plate filler |
US7695688B2 (en) * | 2003-09-19 | 2010-04-13 | Applied Biosystems, Llc | High density plate filler |
US9492820B2 (en) | 2003-09-19 | 2016-11-15 | Applied Biosystems, Llc | High density plate filler |
US20050220675A1 (en) * | 2003-09-19 | 2005-10-06 | Reed Mark T | High density plate filler |
US7998435B2 (en) * | 2003-09-19 | 2011-08-16 | Life Technologies Corporation | High density plate filler |
EP1694731B1 (en) | 2003-09-23 | 2012-03-28 | University Of North Carolina At Chapel Hill | Photocurable perfluoropolyethers for use as novel materials in microfluidic devices |
US20050232817A1 (en) * | 2003-09-26 | 2005-10-20 | The University Of Cincinnati | Functional on-chip pressure generator using solid chemical propellant |
US7284966B2 (en) * | 2003-10-01 | 2007-10-23 | Agency For Science, Technology & Research | Micro-pump |
US20050100712A1 (en) * | 2003-11-12 | 2005-05-12 | Simmons Blake A. | Polymerization welding and application to microfluidics |
US7169560B2 (en) | 2003-11-12 | 2007-01-30 | Helicos Biosciences Corporation | Short cycle methods for sequencing polynucleotides |
EP1542074A1 (en) * | 2003-12-11 | 2005-06-15 | Heptagon OY | Manufacturing a replication tool, sub-master or replica |
US7351380B2 (en) * | 2004-01-08 | 2008-04-01 | Sandia Corporation | Microfluidic structures and methods for integrating a functional component into a microfluidic device |
US7407799B2 (en) * | 2004-01-16 | 2008-08-05 | California Institute Of Technology | Microfluidic chemostat |
US20050164373A1 (en) * | 2004-01-22 | 2005-07-28 | Oldham Mark F. | Diffusion-aided loading system for microfluidic devices |
SG152261A1 (en) | 2004-01-25 | 2009-05-29 | Fluidigm Corp | Crystal forming devices and systems and methods for making and using the same |
US20050182312A1 (en) * | 2004-02-12 | 2005-08-18 | Medtronic Xomed, Inc. | Contact tonometer using MEMS technology |
CA2555912A1 (en) * | 2004-02-13 | 2005-09-15 | The University Of North Carolina At Chapel Hill | Functional materials and novel methods for the fabrication of microfluidic devices |
WO2005080605A2 (en) | 2004-02-19 | 2005-09-01 | Helicos Biosciences Corporation | Methods and kits for analyzing polynucleotide sequences |
US20050196321A1 (en) * | 2004-03-03 | 2005-09-08 | Zhili Huang | Fluidic programmable array devices and methods |
WO2005087314A1 (en) * | 2004-03-11 | 2005-09-22 | Advanced Neuromodulation Systems, Inc. | Brain stimulation system and method |
US20050221339A1 (en) | 2004-03-31 | 2005-10-06 | Medical Research Council Harvard University | Compartmentalised screening by microfluidic control |
SG2013006333A (en) * | 2004-05-02 | 2014-08-28 | Fluidigm Corp | Thermal reaction device and method for using the same |
CN101811074B (zh) * | 2004-05-02 | 2012-09-12 | 弗卢丁公司 | 热反应设备及使用其的方法 |
US8852862B2 (en) | 2004-05-03 | 2014-10-07 | Handylab, Inc. | Method for processing polynucleotide-containing samples |
AU2005241080B2 (en) | 2004-05-03 | 2011-08-11 | Handylab, Inc. | Processing polynucleotide-containing samples |
US8642353B2 (en) * | 2004-05-10 | 2014-02-04 | The Aerospace Corporation | Microfluidic device for inducing separations by freezing and associated method |
US7694694B2 (en) * | 2004-05-10 | 2010-04-13 | The Aerospace Corporation | Phase-change valve apparatuses |
US7419639B2 (en) * | 2004-05-12 | 2008-09-02 | The Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University | Multilayer microfluidic device |
BRPI0510811B1 (pt) | 2004-05-13 | 2018-12-26 | Goel Anita | métodos para amplificação de ácido nucléico, método de detecção de patógeno e métodos para execução de amplificação de ácido nucléico |
CA2567720A1 (en) * | 2004-05-24 | 2005-12-08 | Genvault Corporation | Stable protein storage and stable nucleic acid storage in recoverable form |
US8197234B2 (en) * | 2004-05-25 | 2012-06-12 | California Institute Of Technology | In-line actuator for electromagnetic operation |
US7799553B2 (en) | 2004-06-01 | 2010-09-21 | The Regents Of The University Of California | Microfabricated integrated DNA analysis system |
JP4911722B2 (ja) | 2004-06-07 | 2012-04-04 | フルイディグム コーポレイション | 微小流体素子のための光学レンズシステムおよび方法 |
US7650910B2 (en) * | 2004-06-24 | 2010-01-26 | The Aerospace Corporation | Electro-hydraulic valve apparatuses |
US7721762B2 (en) * | 2004-06-24 | 2010-05-25 | The Aerospace Corporation | Fast acting valve apparatuses |
US7686040B2 (en) * | 2004-06-24 | 2010-03-30 | The Aerospace Corporation | Electro-hydraulic devices |
US9477233B2 (en) | 2004-07-02 | 2016-10-25 | The University Of Chicago | Microfluidic system with a plurality of sequential T-junctions for performing reactions in microdroplets |
JP4412081B2 (ja) * | 2004-07-07 | 2010-02-10 | 株式会社日立製作所 | ガスタービンとガスタービンの冷却方法 |
US20060018795A1 (en) * | 2004-07-23 | 2006-01-26 | General Electric Company | Fabrication methods and multifunctional substrate materials for chemical and biological analysis in microfluidic systems |
US7244443B2 (en) | 2004-08-31 | 2007-07-17 | Advanced Cardiovascular Systems, Inc. | Polymers of fluorinated monomers and hydrophilic monomers |
DE102004042578A1 (de) * | 2004-09-02 | 2006-03-23 | Roche Diagnostics Gmbh | Mikropumpe zur Förderung von Flüssigkeiten mit niedrigen Förderraten im Druck/Saug-Betrieb |
DE102004042987A1 (de) * | 2004-09-06 | 2006-03-23 | Roche Diagnostics Gmbh | Push-Pull betriebene Pumpe für ein mikrofluidisches System |
JP2008513022A (ja) | 2004-09-15 | 2008-05-01 | マイクロチップ バイオテクノロジーズ, インコーポレイテッド | マイクロ流体デバイス |
JP3922280B2 (ja) * | 2004-09-30 | 2007-05-30 | セイコーエプソン株式会社 | 配線パターンの形成方法及びデバイスの製造方法 |
US20070243627A1 (en) * | 2004-09-30 | 2007-10-18 | Shuichi Takayama | Computerized control method and system for microfluidics and computer program product for use therein |
US20060073035A1 (en) * | 2004-09-30 | 2006-04-06 | Narayan Sundararajan | Deformable polymer membranes |
US7968287B2 (en) | 2004-10-08 | 2011-06-28 | Medical Research Council Harvard University | In vitro evolution in microfluidic systems |
US7832429B2 (en) * | 2004-10-13 | 2010-11-16 | Rheonix, Inc. | Microfluidic pump and valve structures and fabrication methods |
DE102004051394B4 (de) * | 2004-10-21 | 2006-08-17 | Advalytix Ag | Verfahren zur Bewegung von kleinen Flüssigkeitsmengen in Mikrokanälen und Mikrokanalsystem |
WO2006047757A1 (en) * | 2004-10-26 | 2006-05-04 | Massachusetts Institute Of Technology | Systems and methods for transferring a fluid sample |
KR100661347B1 (ko) * | 2004-10-27 | 2006-12-27 | 삼성전자주식회사 | 미소 박막 구조물 및 이를 이용한 mems 스위치 그리고그것들을 제조하기 위한 방법 |
US9260693B2 (en) | 2004-12-03 | 2016-02-16 | Cytonome/St, Llc | Actuation of parallel microfluidic arrays |
EP1838431A4 (en) * | 2004-12-03 | 2012-08-22 | California Inst Of Techn | MICROFLUIDIC DEVICES WITH CIRCUITRY OF CHEMICAL REACTIONS |
WO2006060748A2 (en) | 2004-12-03 | 2006-06-08 | California Institute Of Technology | Microfluidic sieve valves |
ATE410220T1 (de) | 2005-01-05 | 2008-10-15 | Olympus Life Science Res Europ | Verfahren und vorrichtung zur dosierung und durchmischung kleiner flüssigkeitsmengen |
DE102005000835B3 (de) * | 2005-01-05 | 2006-09-07 | Advalytix Ag | Verfahren und Vorrichtung zur Dosierung kleiner Flüssigkeitsmengen |
US7328882B2 (en) * | 2005-01-06 | 2008-02-12 | Honeywell International Inc. | Microfluidic modulating valve |
CA2591951C (en) * | 2005-01-10 | 2011-10-11 | Silverbrook Research Pty Ltd | Inkjet printhead production method |
US7465545B2 (en) * | 2005-01-29 | 2008-12-16 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Microfluidic chip and manipulating apparatus having the same |
US7601554B1 (en) | 2005-01-31 | 2009-10-13 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force | Shaped MEMS contact |
US7235750B1 (en) | 2005-01-31 | 2007-06-26 | United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force | Radio frequency MEMS switch contact metal selection |
DE102005005121A1 (de) * | 2005-02-04 | 2006-08-17 | Forschungszentrum Jülich GmbH | Verfahren zur Herstellung eines Elastomers und Elastomer |
US20080009835A1 (en) * | 2005-02-17 | 2008-01-10 | Kriesel Marshall S | Fluid dispensing apparatus with flow rate control |
US20070054119A1 (en) * | 2005-03-04 | 2007-03-08 | Piotr Garstecki | Systems and methods of forming particles |
EP1861194A2 (en) | 2005-03-04 | 2007-12-05 | The President and Fellows of Harvard College | Method and apparatus for forming multiple emulsions |
US20060246493A1 (en) | 2005-04-04 | 2006-11-02 | Caliper Life Sciences, Inc. | Method and apparatus for use in temperature controlled processing of microfluidic samples |
KR20070120605A (ko) * | 2005-04-14 | 2007-12-24 | 더 프레지던트 앤드 펠로우즈 오브 하바드 칼리지 | 미세제작을 위한 희생층의 조절가능한 용해도 |
US7618391B2 (en) * | 2005-04-20 | 2009-11-17 | Children's Medical Center Corporation | Waveform sensing and regulating fluid flow valve |
EP1882189A2 (en) | 2005-04-20 | 2008-01-30 | Fluidigm Corporation | Analysis engine and database for manipulating parameters for fluidic systems on a chip |
US8220014B2 (en) | 2005-05-09 | 2012-07-10 | The Invention Science Fund I, Llc | Modifiable memory devices having limited expected lifetime |
US7596073B2 (en) * | 2005-05-09 | 2009-09-29 | Searete Llc | Method and system for fluid mediated disk activation and deactivation |
US9396752B2 (en) | 2005-08-05 | 2016-07-19 | Searete Llc | Memory device activation and deactivation |
US7694316B2 (en) * | 2005-05-09 | 2010-04-06 | The Invention Science Fund I, Llc | Fluid mediated disk activation and deactivation mechanisms |
US7519980B2 (en) * | 2005-05-09 | 2009-04-14 | Searete Llc | Fluid mediated disk activation and deactivation mechanisms |
US8099608B2 (en) | 2005-05-09 | 2012-01-17 | The Invention Science Fund I, Llc | Limited use data storing device |
US7916615B2 (en) | 2005-06-09 | 2011-03-29 | The Invention Science Fund I, Llc | Method and system for rotational control of data storage devices |
US8218262B2 (en) | 2005-05-09 | 2012-07-10 | The Invention Science Fund I, Llc | Method of manufacturing a limited use data storing device including structured data and primary and secondary read-support information |
US8159925B2 (en) | 2005-08-05 | 2012-04-17 | The Invention Science Fund I, Llc | Limited use memory device with associated information |
US8140745B2 (en) | 2005-09-09 | 2012-03-20 | The Invention Science Fund I, Llc | Data retrieval methods |
US7668069B2 (en) * | 2005-05-09 | 2010-02-23 | Searete Llc | Limited use memory device with associated information |
US7916592B2 (en) | 2005-05-09 | 2011-03-29 | The Invention Science Fund I, Llc | Fluid mediated disk activation and deactivation mechanisms |
US7565596B2 (en) | 2005-09-09 | 2009-07-21 | Searete Llc | Data recovery systems |
US8462605B2 (en) * | 2005-05-09 | 2013-06-11 | The Invention Science Fund I, Llc | Method of manufacturing a limited use data storing device |
US8121016B2 (en) | 2005-05-09 | 2012-02-21 | The Invention Science Fund I, Llc | Rotation responsive disk activation and deactivation mechanisms |
US7512959B2 (en) * | 2005-05-09 | 2009-03-31 | Searete Llc | Rotation responsive disk activation and deactivation mechanisms |
US7770028B2 (en) * | 2005-09-09 | 2010-08-03 | Invention Science Fund 1, Llc | Limited use data storing device |
US7668068B2 (en) * | 2005-06-09 | 2010-02-23 | Searete Llc | Rotation responsive disk activation and deactivation mechanisms |
US7907486B2 (en) | 2006-06-20 | 2011-03-15 | The Invention Science Fund I, Llc | Rotation responsive disk activation and deactivation mechanisms |
US7748012B2 (en) * | 2005-05-09 | 2010-06-29 | Searete Llc | Method of manufacturing a limited use data storing device |
EP1915618A4 (en) | 2005-06-02 | 2009-09-30 | Fluidigm Corp | ANALYSIS USING MICROFLUIDIC SEPARATION DEVICES |
CN101262948B (zh) * | 2005-06-06 | 2011-07-06 | 决策生物标志股份有限公司 | 基于流过阵列的液体流的测定 |
TWI288116B (en) * | 2005-06-07 | 2007-10-11 | Chien-Chung Fu | Method of manufacturing a LIGA mold by backside exposure |
US8309057B2 (en) * | 2005-06-10 | 2012-11-13 | The Invention Science Fund I, Llc | Methods for elevating neurotrophic agents |
KR101264673B1 (ko) * | 2005-06-24 | 2013-05-20 | 엘지디스플레이 주식회사 | 소프트 몰드를 이용한 미세 패턴 형성방법 |
TWI256905B (en) * | 2005-06-29 | 2006-06-21 | Univ Nat Cheng Kung | Method of forming micro-droplets and chips thereof |
US8628055B2 (en) | 2005-07-27 | 2014-01-14 | The Board Of Trustees Of The University Of Illinois | Bi-direction rapid action electrostatically actuated microvalve |
EP1922364A4 (en) | 2005-08-09 | 2010-04-21 | Univ North Carolina | METHODS AND MATERIALS FOR MANUFACTURING MICROFLUIDIC DEVICES |
US20070048192A1 (en) * | 2005-08-10 | 2007-03-01 | Emil Kartalov | Integrated microfluidic vias, overpasses, underpasses, septums, microfuses, nested bioarrays and methods for fabricating the same |
US7666593B2 (en) | 2005-08-26 | 2010-02-23 | Helicos Biosciences Corporation | Single molecule sequencing of captured nucleic acids |
US20070054293A1 (en) * | 2005-08-30 | 2007-03-08 | California Institute Of Technology | Microfluidic chaotic mixing systems and methods |
WO2007027928A1 (en) * | 2005-09-02 | 2007-03-08 | California Institute Of Technology | Method and apparatus for the mechanical actuation of valves in fluidic devices |
EP1938097A4 (en) * | 2005-09-09 | 2009-12-09 | Eksigent Technologies Llc | SYSTEM WITH CHANGING FLOW SPEED FOR COLUMN CHROMATOGRAPHY |
EP1938101A2 (en) * | 2005-09-13 | 2008-07-02 | Fluidigm Corporation | Microfluidic assay devices and methods |
US7390377B1 (en) * | 2005-09-22 | 2008-06-24 | Sandia Corporation | Bonding thermoplastic polymers |
US7611673B2 (en) * | 2005-09-28 | 2009-11-03 | California Institute Of Technology | PMDS microfluidic components and methods of operation of the same |
EP1940543B1 (en) * | 2005-09-29 | 2012-03-07 | Siemens Medical Solutions USA, Inc. | Microfluidic chip capable of synthesizing radioactively labeled molecules on a scale suitable for human imaging with positron emission tomography |
US8123834B2 (en) * | 2005-10-06 | 2012-02-28 | The Board Of Trustees Of The University Of Illinois | High gain selective metal organic framework preconcentrators |
WO2007044856A1 (en) * | 2005-10-11 | 2007-04-19 | The Johns Hopkins University | Device and method for high-throughput stimulation, immunostaining, and visualization of single cells |
WO2007044888A2 (en) * | 2005-10-11 | 2007-04-19 | The Johns Hopkins Univerisity | Microfluidic device and method for high-throughput cellular gradient and dose response studies |
US7727473B2 (en) | 2005-10-19 | 2010-06-01 | Progentech Limited | Cassette for sample preparation |
US8206975B2 (en) * | 2005-10-28 | 2012-06-26 | California Institute Of Technology | Method and device for regulating fluid flow in microfluidic devices |
US7913928B2 (en) | 2005-11-04 | 2011-03-29 | Alliant Techsystems Inc. | Adaptive structures, systems incorporating same and related methods |
US20070106200A1 (en) * | 2005-11-08 | 2007-05-10 | Brian Levy | Intraocular shunt device and method |
US8998884B2 (en) * | 2005-11-09 | 2015-04-07 | The Invention Science Fund I, Llc | Remote controlled in situ reaction method |
US8273071B2 (en) | 2006-01-18 | 2012-09-25 | The Invention Science Fund I, Llc | Remote controller for substance delivery system |
US7699834B2 (en) | 2005-11-09 | 2010-04-20 | Searete Llc | Method and system for control of osmotic pump device |
US20070106277A1 (en) * | 2005-11-09 | 2007-05-10 | Searete Llc, A Limited Liability Corporation Of The State Of Delaware | Remote controller for substance delivery system |
US20070178133A1 (en) * | 2005-11-09 | 2007-08-02 | Liquidia Technologies, Inc. | Medical device, materials, and methods |
US8992511B2 (en) | 2005-11-09 | 2015-03-31 | The Invention Science Fund I, Llc | Acoustically controlled substance delivery device |
US8083710B2 (en) | 2006-03-09 | 2011-12-27 | The Invention Science Fund I, Llc | Acoustically controlled substance delivery device |
US8936590B2 (en) * | 2005-11-09 | 2015-01-20 | The Invention Science Fund I, Llc | Acoustically controlled reaction device |
US7942867B2 (en) * | 2005-11-09 | 2011-05-17 | The Invention Science Fund I, Llc | Remotely controlled substance delivery device |
US7986686B2 (en) | 2005-11-25 | 2011-07-26 | Cisco Technology, Inc. | Techniques for distributing network provider digital content to customer premises nodes |
EP1790861A1 (en) * | 2005-11-25 | 2007-05-30 | Bonsens AB | Microfluidic system |
CA2636855C (en) | 2006-01-11 | 2016-09-27 | Raindance Technologies, Inc. | Microfluidic devices and methods of use in the formation and control of nanoreactors |
DE102006002924B3 (de) | 2006-01-20 | 2007-09-13 | Albert-Ludwigs-Universität Freiburg | Fluidhandhabungsvorrichtung und Verfahren zum Handhaben eines Fluids |
US8021582B2 (en) * | 2006-01-23 | 2011-09-20 | National Cheng Kung University | Method for producing microparticles in a continuous phase liquid |
US20070248971A1 (en) * | 2006-01-26 | 2007-10-25 | California Institute Of Technology | Programming microfluidic devices with molecular information |
AU2007210152A1 (en) * | 2006-01-27 | 2007-08-09 | President And Fellows Of Harvard College | Fluidic droplet coalescence |
US7749365B2 (en) | 2006-02-01 | 2010-07-06 | IntegenX, Inc. | Optimized sample injection structures in microfluidic separations |
WO2008030631A2 (en) | 2006-02-03 | 2008-03-13 | Microchip Biotechnologies, Inc. | Microfluidic devices |
US7862000B2 (en) * | 2006-02-03 | 2011-01-04 | California Institute Of Technology | Microfluidic method and structure with an elastomeric gas-permeable gasket |
US8124015B2 (en) | 2006-02-03 | 2012-02-28 | Institute For Systems Biology | Multiplexed, microfluidic molecular assay device and assay method |
US7815868B1 (en) | 2006-02-28 | 2010-10-19 | Fluidigm Corporation | Microfluidic reaction apparatus for high throughput screening |
ES2493921T3 (es) | 2006-03-14 | 2014-09-12 | University Of Southern California | Dispositivo MEMS para la administración de agentes terapéuticos |
US7766033B2 (en) | 2006-03-22 | 2010-08-03 | The Regents Of The University Of California | Multiplexed latching valves for microfluidic devices and processors |
US11806718B2 (en) | 2006-03-24 | 2023-11-07 | Handylab, Inc. | Fluorescence detector for microfluidic diagnostic system |
US8883490B2 (en) | 2006-03-24 | 2014-11-11 | Handylab, Inc. | Fluorescence detector for microfluidic diagnostic system |
US7998708B2 (en) | 2006-03-24 | 2011-08-16 | Handylab, Inc. | Microfluidic system for amplifying and detecting polynucleotides in parallel |
US10900066B2 (en) | 2006-03-24 | 2021-01-26 | Handylab, Inc. | Microfluidic system for amplifying and detecting polynucleotides in parallel |
DK2001990T3 (en) | 2006-03-24 | 2016-10-03 | Handylab Inc | Integrated microfluidic sample processing system and method for its use |
US8088616B2 (en) | 2006-03-24 | 2012-01-03 | Handylab, Inc. | Heater unit for microfluidic diagnostic system |
US9862984B2 (en) * | 2006-04-21 | 2018-01-09 | Nanobiosym, Inc. | Single-molecule platform for drug discovery: methods and apparatuses for drug discovery, including discovery of anticancer and antiviral agents |
US8828661B2 (en) * | 2006-04-24 | 2014-09-09 | Fluidigm Corporation | Methods for detection and quantification of nucleic acid or protein targets in a sample |
RU2008147093A (ru) * | 2006-05-01 | 2010-06-10 | Конинклейке Филипс Электроникс Н.В. (Nl) | Устройство транспортировки образца текучей среды с уменьшенным мертвым объемом для переработки, контролирования и/или выявления образца текучей среды |
US20070260174A1 (en) * | 2006-05-05 | 2007-11-08 | Searete Llc | Detecting a failure to maintain a regimen |
EP2047910B1 (en) | 2006-05-11 | 2012-01-11 | Raindance Technologies, Inc. | Microfluidic device and method |
US9562837B2 (en) | 2006-05-11 | 2017-02-07 | Raindance Technologies, Inc. | Systems for handling microfludic droplets |
JP4721227B2 (ja) * | 2006-05-22 | 2011-07-13 | アイダエンジニアリング株式会社 | マイクロ流路チップ及びその製造方法 |
EP3260556B1 (en) | 2006-05-31 | 2019-07-31 | Sequenom, Inc. | Methods for the extraction of nucleic acid from a sample |
AU2007293476B2 (en) * | 2006-06-02 | 2011-07-07 | The Board Of Trustees Of The University Of Illinois | Soft mems |
US20090016333A1 (en) * | 2006-06-14 | 2009-01-15 | Derek Wang | Content-based adaptive jitter handling |
US8432777B2 (en) | 2006-06-19 | 2013-04-30 | The Invention Science Fund I, Llc | Method and system for fluid mediated disk activation and deactivation |
US8264928B2 (en) | 2006-06-19 | 2012-09-11 | The Invention Science Fund I, Llc | Method and system for fluid mediated disk activation and deactivation |
DE102006030068A1 (de) | 2006-06-28 | 2008-01-03 | M2P-Labs Gmbh | Vorrichtung und Verfahren zur Zu- und Abfuhr von Fluiden in geschüttelten Mikroreaktoren Arrays |
US9028859B2 (en) | 2006-07-07 | 2015-05-12 | Advanced Cardiovascular Systems, Inc. | Phase-separated block copolymer coatings for implantable medical devices |
WO2008079440A2 (en) | 2006-07-10 | 2008-07-03 | Medipacs, Inc. | Super elastic epoxy hydrogel |
US7959876B2 (en) * | 2006-07-17 | 2011-06-14 | Industrial Technology Research Institute | Fluidic device |
TWI404929B (zh) * | 2006-07-17 | 2013-08-11 | Ind Tech Res Inst | 流體裝置及其控制方法 |
US20080021364A1 (en) * | 2006-07-17 | 2008-01-24 | Industrial Technology Research Institute | Fluidic device |
US7794665B2 (en) * | 2006-07-17 | 2010-09-14 | Industrial Technology Research Institute | Fluidic device |
WO2008091294A2 (en) * | 2006-07-28 | 2008-07-31 | California Institute Of Technology | Polymer nems for cell physiology and microfabricated cell positioning system for micro-biocalorimeter |
EP2047157A1 (en) * | 2006-08-02 | 2009-04-15 | The Regents of the University of Michigan | Multiplexed microfluidic valve activator |
EP2077912B1 (en) | 2006-08-07 | 2019-03-27 | The President and Fellows of Harvard College | Fluorocarbon emulsion stabilizing surfactants |
US7817698B2 (en) * | 2006-08-11 | 2010-10-19 | California Institute Of Technology | Mechanically tunable elastomeric optofluidic distributed feedback dye lasers |
TW200808957A (en) * | 2006-08-15 | 2008-02-16 | Univ Nat Cheng Kung | Chip for cell culture |
US8055034B2 (en) | 2006-09-13 | 2011-11-08 | Fluidigm Corporation | Methods and systems for image processing of microfluidic devices |
US8050516B2 (en) | 2006-09-13 | 2011-11-01 | Fluidigm Corporation | Methods and systems for determining a baseline during image processing |
US20080131327A1 (en) * | 2006-09-28 | 2008-06-05 | California Institute Of Technology | System and method for interfacing with a microfluidic chip |
WO2008044174A1 (en) * | 2006-10-12 | 2008-04-17 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Magnetic and/or electric label assisted detection system and method |
US8123192B2 (en) * | 2006-10-18 | 2012-02-28 | California Institute Of Technology | Control arrangement for microfluidic devices and related methods and systems |
US7790118B2 (en) * | 2006-10-18 | 2010-09-07 | California Institute Of Technology | Microfluidic devices and related methods and systems |
WO2008052138A2 (en) | 2006-10-25 | 2008-05-02 | The Regents Of The University Of California | Inline-injection microdevice and microfabricated integrated dna analysis system using same |
EP1916420B1 (en) * | 2006-10-28 | 2009-09-23 | Sensirion Holding AG | Multicellular pump |
US8540677B2 (en) * | 2006-11-02 | 2013-09-24 | Becton, Dickinson And Company | Vascular access device chamber venting |
CA2668954C (en) | 2006-11-10 | 2020-09-08 | Glaukos Corporation | Uveoscleral shunt and methods for implanting same |
US8709787B2 (en) | 2006-11-14 | 2014-04-29 | Handylab, Inc. | Microfluidic cartridge and method of using same |
WO2008066485A1 (en) * | 2006-11-28 | 2008-06-05 | Åstc Aerospace Ab | Micromechanical slow acting valve system |
WO2008067552A2 (en) | 2006-11-30 | 2008-06-05 | Fluidigm Corporation | Method and apparatus for biological sample analysis |
US8128393B2 (en) | 2006-12-04 | 2012-03-06 | Liquidia Technologies, Inc. | Methods and materials for fabricating laminate nanomolds and nanoparticles therefrom |
US7902345B2 (en) | 2006-12-05 | 2011-03-08 | Sequenom, Inc. | Detection and quantification of biomolecules using mass spectrometry |
EP1931158B1 (en) * | 2006-12-08 | 2013-04-10 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Apparatus and method for selecting frame structure in multihop relay broadband wireless access communication system |
US7932034B2 (en) | 2006-12-20 | 2011-04-26 | The Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University | Heat and pH measurement for sequencing of DNA |
US20080160603A1 (en) * | 2006-12-28 | 2008-07-03 | Narayan Sundararajan | Flow stabilization in micro-and nanofluidic devices |
US20080163946A1 (en) * | 2006-12-28 | 2008-07-10 | The Trustees Of California State University | Magnetically controlled valve for flow manipulation in polymer microfluidic devices |
GB2445739A (en) * | 2007-01-16 | 2008-07-23 | Lab901 Ltd | Polymeric laminates containing heat seals |
US8157434B2 (en) | 2007-01-19 | 2012-04-17 | Fluidigm Corporation | High efficiency and high precision microfluidic devices and methods |
WO2008091694A2 (en) * | 2007-01-23 | 2008-07-31 | Siemens Medical Solutions Usa, Inc. | Fully-automated microfluidic system for the synthesis of radiolabeled biomarkers for positron emission tomography |
KR20100028526A (ko) | 2007-02-05 | 2010-03-12 | 마이크로칩 바이오테크놀로지스, 인크. | 마이크로유체 및 나노유체 장치, 시스템 및 응용 |
US8772046B2 (en) | 2007-02-06 | 2014-07-08 | Brandeis University | Manipulation of fluids and reactions in microfluidic systems |
US7871570B2 (en) * | 2007-02-23 | 2011-01-18 | Joseph Zhili Huang | Fluidic array devices and systems, and related methods of use and manufacturing |
JPWO2008108481A1 (ja) * | 2007-03-05 | 2010-06-17 | 日本電気株式会社 | マイクロチップの流体制御機構 |
US7776927B2 (en) * | 2007-03-28 | 2010-08-17 | President And Fellows Of Harvard College | Emulsions and techniques for formation |
US20080258036A1 (en) * | 2007-03-30 | 2008-10-23 | Labrador Research Llc | System for dimensional stability of elastomeric microdevices |
KR101448208B1 (ko) | 2007-04-09 | 2014-10-10 | 한국생명공학연구원 | 생물학적, 화학적 및 생화학적 평가용 미세유체 어레이 시스템 |
US8071035B2 (en) * | 2007-04-12 | 2011-12-06 | Siemens Medical Solutions Usa, Inc. | Microfluidic radiosynthesis system for positron emission tomography biomarkers |
WO2008130623A1 (en) | 2007-04-19 | 2008-10-30 | Brandeis University | Manipulation of fluids, fluid components and reactions in microfluidic systems |
WO2008141183A2 (en) * | 2007-05-09 | 2008-11-20 | Fluidigm Corporation | Method and system for crystallization and x-ray diffraction screening |
US7952261B2 (en) | 2007-06-29 | 2011-05-31 | Bayer Materialscience Ag | Electroactive polymer transducers for sensory feedback applications |
US9656009B2 (en) | 2007-07-11 | 2017-05-23 | California Institute Of Technology | Cardiac assist system using helical arrangement of contractile bands and helically-twisting cardiac assist device |
US8182763B2 (en) | 2007-07-13 | 2012-05-22 | Handylab, Inc. | Rack for sample tubes and reagent holders |
US8133671B2 (en) | 2007-07-13 | 2012-03-13 | Handylab, Inc. | Integrated apparatus for performing nucleic acid extraction and diagnostic testing on multiple biological samples |
US9618139B2 (en) | 2007-07-13 | 2017-04-11 | Handylab, Inc. | Integrated heater and magnetic separator |
US8324372B2 (en) | 2007-07-13 | 2012-12-04 | Handylab, Inc. | Polynucleotide capture materials, and methods of using same |
US9186677B2 (en) | 2007-07-13 | 2015-11-17 | Handylab, Inc. | Integrated apparatus for performing nucleic acid extraction and diagnostic testing on multiple biological samples |
US8287820B2 (en) | 2007-07-13 | 2012-10-16 | Handylab, Inc. | Automated pipetting apparatus having a combined liquid pump and pipette head system |
US20090136385A1 (en) | 2007-07-13 | 2009-05-28 | Handylab, Inc. | Reagent Tube |
USD621060S1 (en) | 2008-07-14 | 2010-08-03 | Handylab, Inc. | Microfluidic cartridge |
AU2013205252B8 (en) * | 2007-07-13 | 2015-10-22 | Handylab, Inc. | Integrated apparatus for performing nucleic acid extraction and diagnostic testing on multiple biological samples |
US8105783B2 (en) | 2007-07-13 | 2012-01-31 | Handylab, Inc. | Microfluidic cartridge |
US8016260B2 (en) * | 2007-07-19 | 2011-09-13 | Formulatrix, Inc. | Metering assembly and method of dispensing fluid |
WO2009015296A1 (en) | 2007-07-24 | 2009-01-29 | The Regents Of The University Of California | Microfabricated dropley generator |
US8206025B2 (en) * | 2007-08-07 | 2012-06-26 | International Business Machines Corporation | Microfluid mixer, methods of use and methods of manufacture thereof |
EP2195452B1 (en) | 2007-08-29 | 2012-03-14 | Sequenom, Inc. | Methods and compositions for universal size-specific polymerase chain reaction |
CA2698545C (en) | 2007-09-07 | 2014-07-08 | Fluidigm Corporation | Copy number variation determination, methods and systems |
CA2700946A1 (en) * | 2007-09-28 | 2009-04-02 | University Of Toronto | A system, apparatus and method for applying mechanical force to a material |
WO2009059430A1 (en) | 2007-11-07 | 2009-05-14 | The University Of British Columbia | Microfluidic device and method of using same |
JP2009128037A (ja) * | 2007-11-20 | 2009-06-11 | Canon Inc | マイクロ流体装置 |
US8152136B2 (en) * | 2007-11-26 | 2012-04-10 | The Hong Kong Polytechnic University | Polymer microvalve with actuators and devices |
DE102007060352A1 (de) | 2007-12-12 | 2009-06-18 | Richter, Andreas, Dr. | Ansteuerung für integrierte aktive Mikrosysteme auf Hydrogelbasis |
US8561963B2 (en) * | 2007-12-19 | 2013-10-22 | Palo Alto Research Center Incorporated | Electrostatically addressable microvalves |
US9308124B2 (en) | 2007-12-20 | 2016-04-12 | University Of Southern California | Apparatus and methods for delivering therapeutic agents |
US8123841B2 (en) | 2008-01-16 | 2012-02-28 | The Board Of Trustees Of The University Of Illinois | Column design for micro gas chromatograph |
EP3699291A1 (en) | 2008-01-17 | 2020-08-26 | Sequenom, Inc. | Single molecule nucleic acid sequence analysis processes and compositions |
US9138700B2 (en) * | 2008-01-18 | 2015-09-22 | The Regents Of The University Of California | Accurate and rapid micromixer for integrated microfluidic devices |
US20090253181A1 (en) | 2008-01-22 | 2009-10-08 | Microchip Biotechnologies, Inc. | Universal sample preparation system and use in an integrated analysis system |
WO2009100449A1 (en) | 2008-02-08 | 2009-08-13 | Fluidigm Corporation | Dynamic array assay methods |
KR100952056B1 (ko) * | 2008-02-29 | 2010-04-07 | 아주대학교산학협력단 | 기계적 자극에 대한 줄기세포 분화의 최적의 조건을 검출할수 있는 셀-칩 및 이의 자동 제어 시스템 |
WO2009114543A2 (en) | 2008-03-11 | 2009-09-17 | Sequenom, Inc. | Nucleic acid-based tests for prenatal gender determination |
WO2009119698A1 (ja) * | 2008-03-24 | 2009-10-01 | 日本電気株式会社 | マイクロチップの流路制御機構 |
US8269029B2 (en) | 2008-04-08 | 2012-09-18 | The Board Of Trustees Of The University Of Illinois | Water repellent metal-organic frameworks, process for making and uses regarding same |
EP2280905B1 (en) * | 2008-04-11 | 2016-07-06 | Fluidigm Corporation | Multilevel microfluidic systems and methods |
US8096784B2 (en) * | 2008-04-16 | 2012-01-17 | National Taiwan Ocean University | Bi-directional continuous peristaltic micro-pump |
US8961902B2 (en) * | 2008-04-23 | 2015-02-24 | Bioscale, Inc. | Method and apparatus for analyte processing |
US9333297B2 (en) | 2008-05-08 | 2016-05-10 | Minipumps, Llc | Drug-delivery pump with intelligent control |
WO2009137785A2 (en) * | 2008-05-08 | 2009-11-12 | Replenish Pumps, Llc | Drug-delivery pumps and methods of manufacture |
EP2898911A1 (en) | 2008-05-08 | 2015-07-29 | MiniPumps, LLC | Implantable pumps and cannulas therefor |
CN105344389B (zh) | 2008-05-16 | 2018-01-02 | 哈佛大学 | 微流体系统、方法和装置 |
TWI350891B (en) * | 2008-05-27 | 2011-10-21 | Ying Chyi Chou | Omnibus quasi-hydrosystem |
US7999257B2 (en) * | 2008-06-02 | 2011-08-16 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Process for eliminating delamination between amorphous silicon layers |
DE102008002336A1 (de) | 2008-06-10 | 2009-12-24 | Robert Bosch Gmbh | Quetschventil und Verfahren zu dessen Herstellung |
WO2009152520A2 (en) * | 2008-06-13 | 2009-12-17 | Decode Biostructures, Inc. | Nanovolume microcapillary crystallization system |
US20090314368A1 (en) * | 2008-06-20 | 2009-12-24 | Silverbrook Research Pty Ltd | Microfluidic System Comprising Pinch Valve and On-Chip MEMS Pump |
WO2009155612A2 (en) * | 2008-06-20 | 2009-12-23 | Genvault Corporation | Sample collection and storage devices and methods of use thereof |
US20090315126A1 (en) * | 2008-06-20 | 2009-12-24 | Silverbrook Research Pty Ltd | Bonded Microfluidic System Comprising Thermal Bend Actuated Valve |
GB0811856D0 (en) | 2008-06-27 | 2008-07-30 | Ucl Business Plc | Magnetic microbubbles, methods of preparing them and their uses |
WO2010004721A1 (ja) * | 2008-07-08 | 2010-01-14 | パナソニック株式会社 | 導電性高分子を用いた流体搬送装置 |
USD618820S1 (en) | 2008-07-11 | 2010-06-29 | Handylab, Inc. | Reagent holder |
EP2143492A1 (en) * | 2008-07-11 | 2010-01-13 | Max-Planck-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V. | Method and microfluidic device for combining reaction components contained in liquids |
USD787087S1 (en) | 2008-07-14 | 2017-05-16 | Handylab, Inc. | Housing |
WO2010009365A1 (en) | 2008-07-18 | 2010-01-21 | Raindance Technologies, Inc. | Droplet libraries |
US7976789B2 (en) * | 2008-07-22 | 2011-07-12 | The Board Of Trustees Of The University Of Illinois | Microfluidic device for preparing mixtures |
CN102165076B (zh) | 2008-07-25 | 2014-07-09 | 弗卢丁公司 | 用于制造集成流体芯片的方法和系统 |
US8617488B2 (en) | 2008-08-07 | 2013-12-31 | Fluidigm Corporation | Microfluidic mixing and reaction systems for high efficiency screening |
DE102008038462B4 (de) * | 2008-08-20 | 2010-06-17 | Advanced Display Technology Ag | Vorrichtung zur fluidischen Anzeige und Verfahren dazu |
US20100059120A1 (en) * | 2008-09-11 | 2010-03-11 | General Electric Company | Microfluidic device and methods for droplet generation and manipulation |
JP2012501681A (ja) | 2008-09-12 | 2012-01-26 | ジェンボールト コーポレイション | 生体分子の貯蔵および安定化のためのマトリックスおよび媒体 |
US8476013B2 (en) * | 2008-09-16 | 2013-07-02 | Sequenom, Inc. | Processes and compositions for methylation-based acid enrichment of fetal nucleic acid from a maternal sample useful for non-invasive prenatal diagnoses |
US8962247B2 (en) | 2008-09-16 | 2015-02-24 | Sequenom, Inc. | Processes and compositions for methylation-based enrichment of fetal nucleic acid from a maternal sample useful for non invasive prenatal diagnoses |
EP2329021B1 (en) | 2008-09-16 | 2016-08-10 | Sequenom, Inc. | Processes and compositions for methylation-based enrichment of fetal nucleic acid from a maternal sample useful for non invasive prenatal diagnoses |
US8082810B2 (en) * | 2008-09-29 | 2011-12-27 | Ysi Incorporated | Microfluidic elastic micro-aliquotter |
US20100093098A1 (en) * | 2008-10-14 | 2010-04-15 | Siemens Medical Solutions | Nonflow-through appratus and mehod using enhanced flow mechanisms |
US20100102261A1 (en) * | 2008-10-28 | 2010-04-29 | Microfluidic Systems, Inc. | Microfluidic valve mechanism |
DK2376226T3 (en) | 2008-12-18 | 2018-10-15 | Opko Diagnostics Llc | IMPROVED REAGENT STORAGE IN MICROFLUIDIC SYSTEMS AND RELATED ARTICLES AND PROCEDURES |
JP4824743B2 (ja) * | 2008-12-26 | 2011-11-30 | アイダエンジニアリング株式会社 | マイクロ流路チップ |
WO2010077322A1 (en) | 2008-12-31 | 2010-07-08 | Microchip Biotechnologies, Inc. | Instrument with microfluidic chip |
US8058630B2 (en) | 2009-01-16 | 2011-11-15 | Fluidigm Corporation | Microfluidic devices and methods |
US8100293B2 (en) | 2009-01-23 | 2012-01-24 | Formulatrix, Inc. | Microfluidic dispensing assembly |
JP2012517238A (ja) | 2009-02-11 | 2012-08-02 | カリス エムピーアイ インコーポレイテッド | 腫瘍の分子プロファイリング法 |
US8989230B2 (en) | 2009-02-20 | 2015-03-24 | Vixar | Method and apparatus including movable-mirror mems-tuned surface-emitting lasers |
US9700038B2 (en) | 2009-02-25 | 2017-07-11 | Genea Limited | Cryopreservation of biological cells and tissues |
WO2010107946A2 (en) * | 2009-03-18 | 2010-09-23 | Sequenom, Inc. | Use of thermostable endonucleases for generating reporter molecules |
WO2010111231A1 (en) | 2009-03-23 | 2010-09-30 | Raindance Technologies, Inc. | Manipulation of microfluidic droplets |
AU2010232439C1 (en) | 2009-04-02 | 2017-07-13 | Fluidigm Corporation | Multi-primer amplification method for barcoding of target nucleic acids |
WO2010115016A2 (en) | 2009-04-03 | 2010-10-07 | Sequenom, Inc. | Nucleic acid preparation compositions and methods |
EP2239793A1 (de) | 2009-04-11 | 2010-10-13 | Bayer MaterialScience AG | Elektrisch schaltbarer Polymerfilmaufbau und dessen Verwendung |
US10206813B2 (en) | 2009-05-18 | 2019-02-19 | Dose Medical Corporation | Implants with controlled drug delivery features and methods of using same |
DE102009023430B4 (de) | 2009-05-29 | 2013-07-25 | Siemens Aktiengesellschaft | Vorrichtung und Verfahren zum Steuern von Fluidströmen in Lab-on-a-Chip-Systemen sowie Verfahren zum Herstellen der Vorrichtung |
DE102009023429B4 (de) | 2009-05-29 | 2013-08-14 | Siemens Aktiengesellschaft | Ventil für Lab-on-a-Chip-Systeme, Verfahren zum Betätigen und zur Herstellung des Ventils |
WO2010141326A1 (en) | 2009-06-02 | 2010-12-09 | Integenx Inc. | Fluidic devices with diaphragm valves |
WO2010141131A1 (en) | 2009-06-04 | 2010-12-09 | Lockheed Martin Corporation | Multiple-sample microfluidic chip for dna analysis |
EP3586945A3 (en) | 2009-06-05 | 2020-03-04 | IntegenX Inc. | Universal sample preparation system and use in an integrated analysis system |
US8623288B1 (en) | 2009-06-29 | 2014-01-07 | Nanosys, Inc. | Apparatus and methods for high density nanowire growth |
US8551787B2 (en) | 2009-07-23 | 2013-10-08 | Fluidigm Corporation | Microfluidic devices and methods for binary mixing |
CA2771584A1 (en) | 2009-08-18 | 2011-02-24 | Minipumps, Llc | Electrolytic drug-delivery pump with adaptive control |
KR101274113B1 (ko) * | 2009-09-01 | 2013-06-13 | 한국전자통신연구원 | 금속볼을 이용한 자기력 마이크로밸브 및 그 제조방법 |
JP5869482B2 (ja) | 2009-09-02 | 2016-02-24 | プレジデント アンド フェローズ オブ ハーバード カレッジ | ジェッティングおよび他の技術を使用して生成された多重エマルジョン |
SG169918A1 (en) | 2009-10-02 | 2011-04-29 | Fluidigm Corp | Microfluidic devices with removable cover and methods of fabrication and application |
KR101252829B1 (ko) * | 2009-10-06 | 2013-04-11 | 한국전자통신연구원 | 단일세포 분주용 어레이 장치 |
WO2011042564A1 (en) | 2009-10-09 | 2011-04-14 | Universite De Strasbourg | Labelled silica-based nanomaterial with enhanced properties and uses thereof |
EP2494077A4 (en) | 2009-10-27 | 2013-08-21 | Caris Mpi Inc | MOLECULAR PROFILING FOR PERSONALIZED MEDICINE |
US8145114B2 (en) | 2009-10-29 | 2012-03-27 | Eastman Kodak Company | Digital manufacture of a microfluidic device |
US20110143378A1 (en) * | 2009-11-12 | 2011-06-16 | CyVek LLC. | Microfluidic method and apparatus for high performance biological assays |
US9500645B2 (en) | 2009-11-23 | 2016-11-22 | Cyvek, Inc. | Micro-tube particles for microfluidic assays and methods of manufacture |
US10022696B2 (en) | 2009-11-23 | 2018-07-17 | Cyvek, Inc. | Microfluidic assay systems employing micro-particles and methods of manufacture |
US9216412B2 (en) | 2009-11-23 | 2015-12-22 | Cyvek, Inc. | Microfluidic devices and methods of manufacture and use |
US9229001B2 (en) | 2009-11-23 | 2016-01-05 | Cyvek, Inc. | Method and apparatus for performing assays |
US10065403B2 (en) | 2009-11-23 | 2018-09-04 | Cyvek, Inc. | Microfluidic assay assemblies and methods of manufacture |
US9855735B2 (en) | 2009-11-23 | 2018-01-02 | Cyvek, Inc. | Portable microfluidic assay devices and methods of manufacture and use |
US9700889B2 (en) | 2009-11-23 | 2017-07-11 | Cyvek, Inc. | Methods and systems for manufacture of microarray assay systems, conducting microfluidic assays, and monitoring and scanning to obtain microfluidic assay results |
US9759718B2 (en) | 2009-11-23 | 2017-09-12 | Cyvek, Inc. | PDMS membrane-confined nucleic acid and antibody/antigen-functionalized microlength tube capture elements, and systems employing them, and methods of their use |
US9205468B2 (en) | 2009-11-30 | 2015-12-08 | Fluidigm Corporation | Microfluidic device regeneration |
US8584703B2 (en) | 2009-12-01 | 2013-11-19 | Integenx Inc. | Device with diaphragm valve |
IT1397819B1 (it) * | 2009-12-17 | 2013-02-04 | Silicon Biosystems Spa | Sistema microfluidico |
DK2516680T3 (en) | 2009-12-22 | 2016-05-02 | Sequenom Inc | Method and kits to identify aneuploidy |
EP2517025B1 (en) | 2009-12-23 | 2019-11-27 | Bio-Rad Laboratories, Inc. | Methods for reducing the exchange of molecules between droplets |
KR101851117B1 (ko) | 2010-01-29 | 2018-04-23 | 마이크로닉스 인코포레이티드. | 샘플-투-앤서 마이크로유체 카트리지 |
US10351905B2 (en) | 2010-02-12 | 2019-07-16 | Bio-Rad Laboratories, Inc. | Digital analyte analysis |
EP2534267B1 (en) | 2010-02-12 | 2018-04-11 | Raindance Technologies, Inc. | Digital analyte analysis |
US9366632B2 (en) | 2010-02-12 | 2016-06-14 | Raindance Technologies, Inc. | Digital analyte analysis |
US9399797B2 (en) | 2010-02-12 | 2016-07-26 | Raindance Technologies, Inc. | Digital analyte analysis |
CN103237901B (zh) | 2010-03-01 | 2016-08-03 | 卡里斯生命科学瑞士控股有限责任公司 | 用于治疗诊断的生物标志物 |
IT1399361B1 (it) * | 2010-03-31 | 2013-04-16 | Milano Politecnico | Metodo per la realizzazione di un dispositivo microfluidico e dispositivo derivante dallo stesso |
BR112012025593A2 (pt) | 2010-04-06 | 2019-06-25 | Caris Life Sciences Luxembourg Holdings | biomarcadores em circulação para doença |
WO2011134038A1 (en) | 2010-04-26 | 2011-11-03 | National Research Council Of Canada | Semipermanently closed microfluidic valve |
US9267618B2 (en) | 2010-05-18 | 2016-02-23 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Microvalve device and method of manufacturing the same |
PL2575442T3 (pl) | 2010-05-28 | 2023-10-30 | Genea Ip Holdings Pty Limited | Ulepszone urządzenie i metody mikromanipulacji oraz przechowywania |
US8512538B2 (en) | 2010-05-28 | 2013-08-20 | Integenx Inc. | Capillary electrophoresis device |
KR20110136629A (ko) | 2010-06-15 | 2011-12-21 | 삼성전자주식회사 | 마이크로 밸브를 갖는 미세 유체 소자 |
JP5804535B2 (ja) | 2010-06-18 | 2015-11-04 | マイエフシー アクチエボラグMyfc Ab | 電気化学作動バルブ |
GB2481425A (en) | 2010-06-23 | 2011-12-28 | Iti Scotland Ltd | Method and device for assembling polynucleic acid sequences |
US9125655B2 (en) | 2010-07-16 | 2015-09-08 | California Institute Of Technology | Correction and optimization of wave reflection in blood vessels |
US9121058B2 (en) | 2010-08-20 | 2015-09-01 | Integenx Inc. | Linear valve arrays |
US8763642B2 (en) | 2010-08-20 | 2014-07-01 | Integenx Inc. | Microfluidic devices with mechanically-sealed diaphragm valves |
WO2012045012A2 (en) | 2010-09-30 | 2012-04-05 | Raindance Technologies, Inc. | Sandwich assays in droplets |
AU2011315951B2 (en) | 2010-10-15 | 2015-03-19 | Lockheed Martin Corporation | Micro fluidic optic design |
US9353406B2 (en) | 2010-10-22 | 2016-05-31 | Fluidigm Corporation | Universal probe assay methods |
DE102010051743B4 (de) | 2010-11-19 | 2022-09-01 | C. Miethke Gmbh & Co. Kg | Programmierbares Hydrocephalusventil |
EP2673614B1 (en) | 2011-02-11 | 2018-08-01 | Raindance Technologies, Inc. | Method for forming mixed droplets |
EP2675819B1 (en) | 2011-02-18 | 2020-04-08 | Bio-Rad Laboratories, Inc. | Compositions and methods for molecular labeling |
KR20120096175A (ko) * | 2011-02-22 | 2012-08-30 | 엘지전자 주식회사 | 태양전지 모듈용 프레임 시스템 |
KR20140008416A (ko) | 2011-03-01 | 2014-01-21 | 바이엘 인텔렉쳐 프로퍼티 게엠베하 | 변형가능한 중합체 장치 및 필름을 제조하기 위한 자동화 제조 방법 |
WO2012129357A2 (en) | 2011-03-22 | 2012-09-27 | Bayer Materialscience Ag | Electroactive polymer actuator lenticular system |
US9168531B2 (en) | 2011-03-24 | 2015-10-27 | Fluidigm Corporation | Method for thermal cycling of microfluidic samples |
BR112013026451B1 (pt) | 2011-04-15 | 2021-02-09 | Becton, Dickinson And Company | sistema e método para realizar ensaios de diagnóstico molecular em várias amostras em paralelo e simultaneamente amplificação em tempo real em pluralidade de câmaras de reação de amplificação |
WO2012145301A2 (en) * | 2011-04-20 | 2012-10-26 | California Institute Of Technology | Single-layer pcb microfluidics |
WO2012149339A2 (en) | 2011-04-29 | 2012-11-01 | Sequenom, Inc. | Quantification of a minority nucleic acid species |
US8857275B2 (en) | 2011-05-02 | 2014-10-14 | California Institute Of Technology | NEMS sensors for cell force application and measurement |
WO2012151473A2 (en) | 2011-05-04 | 2012-11-08 | Luminex Corporation | Apparatus and methods for integrated sample preparation, reaction and detection |
US9644231B2 (en) | 2011-05-09 | 2017-05-09 | Fluidigm Corporation | Nucleic acid detection using probes |
EP2707507B1 (en) | 2011-05-09 | 2017-11-01 | Fluidigm Corporation | Probe based nucleic acid detection |
KR20140034242A (ko) | 2011-05-23 | 2014-03-19 | 프레지던트 앤드 펠로우즈 오브 하바드 칼리지 | 다중 에멀젼을 포함하는 에멀젼의 제어 |
JP4934750B1 (ja) * | 2011-05-31 | 2012-05-16 | 株式会社メトラン | ポンプユニット、呼吸補助装置 |
US8841071B2 (en) | 2011-06-02 | 2014-09-23 | Raindance Technologies, Inc. | Sample multiplexing |
DE202012013668U1 (de) | 2011-06-02 | 2019-04-18 | Raindance Technologies, Inc. | Enzymquantifizierung |
US10245178B1 (en) | 2011-06-07 | 2019-04-02 | Glaukos Corporation | Anterior chamber drug-eluting ocular implant |
US20140220350A1 (en) | 2011-07-06 | 2014-08-07 | President And Fellows Of Harvard College | Multiple emulsions and techniques for the formation of multiple emulsions |
US8658430B2 (en) | 2011-07-20 | 2014-02-25 | Raindance Technologies, Inc. | Manipulating droplet size |
WO2013016676A2 (en) | 2011-07-27 | 2013-01-31 | MYTEK, LLC (doing business as VIXAR) | Method and apparatus including improved vertical-cavity surface-emitting lasers |
WO2013049706A1 (en) | 2011-09-30 | 2013-04-04 | Becton, Dickinson And Company | Unitized reagent strip |
USD692162S1 (en) | 2011-09-30 | 2013-10-22 | Becton, Dickinson And Company | Single piece reagent holder |
US20150136604A1 (en) | 2011-10-21 | 2015-05-21 | Integenx Inc. | Sample preparation, processing and analysis systems |
US8894946B2 (en) | 2011-10-21 | 2014-11-25 | Integenx Inc. | Sample preparation, processing and analysis systems |
US10865440B2 (en) | 2011-10-21 | 2020-12-15 | IntegenX, Inc. | Sample preparation, processing and analysis systems |
WO2013067202A1 (en) | 2011-11-04 | 2013-05-10 | Handylab, Inc. | Polynucleotide sample preparation device |
EP2786019B1 (en) | 2011-11-16 | 2018-07-25 | International Business Machines Corporation | Microfluidic device with deformable valve |
CN104204812B (zh) | 2012-02-03 | 2018-01-05 | 贝克顿·迪金森公司 | 用于分子诊断测试分配和测试之间兼容性确定的外部文件 |
US9371965B2 (en) * | 2012-02-21 | 2016-06-21 | Fluidigm Corporation | Method and systems for microfluidic logic devices |
US9322054B2 (en) | 2012-02-22 | 2016-04-26 | Lockheed Martin Corporation | Microfluidic cartridge |
FR2987282B1 (fr) | 2012-02-24 | 2017-12-29 | Fonds De L'espci Georges Charpak | Microcanal avec dispositif d'ouverture et/ou fermeture et/ou pompage |
US9304065B2 (en) | 2012-02-29 | 2016-04-05 | Fluidigm Corporation | Methods, systems and devices for multiple single-cell capturing and processing using microfluidics |
US9605313B2 (en) | 2012-03-02 | 2017-03-28 | Sequenom, Inc. | Methods and processes for non-invasive assessment of genetic variations |
CN104144873B (zh) | 2012-03-05 | 2017-12-05 | 英派尔科技开发有限公司 | 柔性电路 |
KR102114734B1 (ko) | 2012-03-08 | 2020-05-25 | 싸이벡, 아이엔씨 | 미세유체 분석 장치용 마이크로튜브 입자 및 제조방법 |
JP2015510956A (ja) | 2012-03-14 | 2015-04-13 | メディパックス インコーポレイテッド | 過剰反応性分子を含むスマートポリマー材料 |
EP2828901B1 (en) | 2012-03-21 | 2017-01-04 | Parker Hannifin Corporation | Roll-to-roll manufacturing processes for producing self-healing electroactive polymer devices |
CA3098762C (en) | 2012-03-26 | 2023-01-17 | Glaukos Corporation | System and method for delivering multiple ocular implants |
US20150050172A1 (en) * | 2012-03-26 | 2015-02-19 | Alere San Diego, Inc. | Microfluidic pump |
EP3549524B1 (en) | 2012-03-30 | 2023-01-25 | Insulet Corporation | Fluid delivery device with transcutaneous access tool, insertion mechanism and blood glucose monitoring for use therewith |
AU2013204332B2 (en) | 2012-04-16 | 2015-07-16 | Commonwealth Scientific And Industrial Research Organisation | Methods and systems for detecting an analyte or classifying a sample |
US9238833B2 (en) | 2012-04-17 | 2016-01-19 | California Institute Of Technology | Thermally controlled chamber with optical access for high-performance PCR |
US9150907B2 (en) | 2012-04-27 | 2015-10-06 | General Electric Company | Microfluidic flow cell assemblies and method of use |
US9080941B2 (en) | 2012-04-27 | 2015-07-14 | General Electric Company | Microfluidic flow cell assemblies for imaging and method of use |
SG11201407901PA (en) | 2012-05-21 | 2015-01-29 | Fluidigm Corp | Single-particle analysis of particle populations |
US9920361B2 (en) | 2012-05-21 | 2018-03-20 | Sequenom, Inc. | Methods and compositions for analyzing nucleic acid |
KR20150031285A (ko) | 2012-06-18 | 2015-03-23 | 바이엘 인텔렉쳐 프로퍼티 게엠베하 | 연신 공정을 위한 연신 프레임 |
US20140004105A1 (en) | 2012-06-29 | 2014-01-02 | Sequenom, Inc. | Age-related macular degeneration diagnostics |
WO2014011928A1 (en) | 2012-07-13 | 2014-01-16 | Sequenom, Inc. | Processes and compositions for methylation-based enrichment of fetal nucleic acid from a maternal sample useful for non-invasive prenatal diagnoses |
US8519644B1 (en) * | 2012-08-15 | 2013-08-27 | Transmute, Inc. | Accelerator having acceleration channels formed between covalently bonded chips |
US20150247790A1 (en) * | 2012-09-14 | 2015-09-03 | President And Fellows Of Harvard College | Microfluidic Assisted Cell Screening |
GB2506630A (en) * | 2012-10-04 | 2014-04-09 | Univ Leiden | Method and apparatus for processing a liquid |
EP4009329A1 (en) | 2012-10-04 | 2022-06-08 | Sequenom, Inc. | Methods and processes for non-invasive assessment of genetic variations |
JP6396911B2 (ja) | 2012-10-15 | 2018-09-26 | ナノセレクト バイオメディカル, インコーポレイテッド | 粒子を選別するためのシステム、装置、および、方法 |
US10942184B2 (en) | 2012-10-23 | 2021-03-09 | Caris Science, Inc. | Aptamers and uses thereof |
ES2912033T3 (es) | 2012-10-23 | 2022-05-24 | Caris Science Inc | Aptámeros y usos de los mismos |
US9590193B2 (en) | 2012-10-24 | 2017-03-07 | Parker-Hannifin Corporation | Polymer diode |
US9857333B2 (en) | 2012-10-31 | 2018-01-02 | Berkeley Lights, Inc. | Pens for biological micro-objects |
US9233225B2 (en) | 2012-11-10 | 2016-01-12 | Curvo Medical, Inc. | Coaxial bi-directional catheter |
US9549666B2 (en) | 2012-11-10 | 2017-01-24 | Curvo Medical, Inc. | Coaxial micro-endoscope |
US20140142438A1 (en) * | 2012-11-19 | 2014-05-22 | Biosense Webster (Israel), Ltd. | Using location and force measurements to estimate tissue thickness |
US9939443B2 (en) | 2012-12-19 | 2018-04-10 | Caris Life Sciences Switzerland Holdings Gmbh | Compositions and methods for aptamer screening |
JP6498125B2 (ja) | 2012-12-21 | 2019-04-10 | マイクロニクス, インコーポレイテッド | 流体回路および関連する製造方法 |
JP2016509206A (ja) | 2012-12-21 | 2016-03-24 | マイクロニクス, インコーポレイテッド | 携帯型蛍光検出システムおよびマイクロアッセイカートリッジ |
US10518262B2 (en) | 2012-12-21 | 2019-12-31 | Perkinelmer Health Sciences, Inc. | Low elasticity films for microfluidic use |
US9826733B2 (en) | 2013-01-07 | 2017-11-28 | Genea Ip Holdings Pty Limited | Method, system and apparatus for improved micromanipulation and storage |
US20150352752A1 (en) * | 2013-01-16 | 2015-12-10 | General Electric Company | An aqueous -solvent based process for continuous manufacturing of supported ion selective membranes |
US9863542B2 (en) | 2013-02-01 | 2018-01-09 | Swagelok Company | Diaphragm valve with welded diaphragm seat carrier |
DE102013202623A1 (de) * | 2013-02-19 | 2014-08-21 | Robert Bosch Gmbh | Ventil mit verbesserter Kaltstartfähigkeit |
EP3597774A1 (en) | 2013-03-13 | 2020-01-22 | Sequenom, Inc. | Primers for dna methylation analysis |
US9163277B2 (en) | 2013-03-14 | 2015-10-20 | Formulatrix, Inc. | Microfluidic device |
US9039993B2 (en) | 2013-03-14 | 2015-05-26 | Formulatrix, Inc. | Microfluidic device |
US10933417B2 (en) | 2013-03-15 | 2021-03-02 | Nanobiosym, Inc. | Systems and methods for mobile device analysis of nucleic acids and proteins |
US10578633B2 (en) | 2013-03-15 | 2020-03-03 | Fluidigm Corporation | Methods and devices for analysis of defined multicellular combinations |
US10517759B2 (en) | 2013-03-15 | 2019-12-31 | Glaukos Corporation | Glaucoma stent and methods thereof for glaucoma treatment |
US9592151B2 (en) | 2013-03-15 | 2017-03-14 | Glaukos Corporation | Systems and methods for delivering an ocular implant to the suprachoroidal space within an eye |
WO2014182844A1 (en) | 2013-05-07 | 2014-11-13 | Micronics, Inc. | Microfluidic devices and methods for performing serum separation and blood cross-matching |
WO2014182831A1 (en) | 2013-05-07 | 2014-11-13 | Micronics, Inc. | Methods for preparation of nucleic acid-containing samples using clay minerals and alkaline solutions |
EP2994543B1 (en) | 2013-05-07 | 2018-08-15 | Micronics, Inc. | Device for preparation and analysis of nucleic acids |
ITTO20130447A1 (it) | 2013-05-31 | 2014-12-01 | St Microelectronics Srl | Valvola microfluidica a membrana e procedimento per fabbricare una valvola microfluidica a membrana |
JP2016533752A (ja) | 2013-08-28 | 2016-11-04 | カリス ライフ サイエンシズ スウィッツァーランド ホー | オリゴヌクレオチドプローブおよびその使用 |
WO2015050998A2 (en) | 2013-10-01 | 2015-04-09 | The Broad Institute, Inc. | Sieve valves, microfluidic circuits, microfluidic devices, kits, and methods for isolating an analyte |
US11901041B2 (en) | 2013-10-04 | 2024-02-13 | Bio-Rad Laboratories, Inc. | Digital analysis of nucleic acid modification |
WO2015057641A1 (en) | 2013-10-15 | 2015-04-23 | The Regents Of The University Of Michigan | Vitrification of biological material |
US9889445B2 (en) | 2013-10-22 | 2018-02-13 | Berkeley Lights, Inc. | Micro-fluidic devices for assaying biological activity |
KR102221894B1 (ko) | 2013-10-22 | 2021-03-03 | 버클리 라잇츠, 인크. | 격리 펜을 갖는 미세유체 소자 및 이를 사용한 생물학적 미세 물체를 시험하는 방법 |
EP3783094B1 (en) | 2013-10-22 | 2023-10-11 | Berkeley Lights, Inc. | Micro-fluidic devices for assaying biological activity |
CN114471756B (zh) | 2013-11-18 | 2024-04-16 | 尹特根埃克斯有限公司 | 用于样本分析的卡盒和仪器 |
US9944977B2 (en) | 2013-12-12 | 2018-04-17 | Raindance Technologies, Inc. | Distinguishing rare variations in a nucleic acid sequence from a sample |
WO2015103367A1 (en) | 2013-12-31 | 2015-07-09 | Raindance Technologies, Inc. | System and method for detection of rna species |
US10344753B2 (en) | 2014-02-28 | 2019-07-09 | Encite Llc | Micro pump systems |
EP3117011B1 (en) | 2014-03-13 | 2020-05-06 | Sequenom, Inc. | Methods and processes for non-invasive assessment of genetic variations |
US10300484B2 (en) | 2014-03-26 | 2019-05-28 | The George Washington University | Handheld fluid handling systems and methods |
WO2015179098A1 (en) | 2014-05-21 | 2015-11-26 | Integenx Inc. | Fluidic cartridge with valve mechanism |
WO2015184173A1 (en) | 2014-05-29 | 2015-12-03 | Dose Medical Corporation | Implants with controlled drug delivery features and methods of using same |
US10760040B1 (en) * | 2014-07-03 | 2020-09-01 | NanoCav, LLC | Mechanical transfection devices and methods |
US10081816B1 (en) | 2014-07-03 | 2018-09-25 | Nant Holdings Ip, Llc | Mechanical transfection devices and methods |
CN113092563A (zh) | 2014-10-22 | 2021-07-09 | 尹特根埃克斯有限公司 | 用于样品制备、处理和分析的系统和方法 |
US10330095B2 (en) * | 2014-10-31 | 2019-06-25 | Encite Llc | Microelectromechanical systems fabricated with roll to roll processing |
WO2016094333A1 (en) | 2014-12-08 | 2016-06-16 | Berkeley Lights, Inc. | Actuated microfluidic structures for directed flow in a microfluidic device and methods of use thereof |
CN107206377B (zh) * | 2014-12-09 | 2020-02-11 | 伯克利之光生命科技公司 | 微流体装置中测定阳性的区域的自动检测 |
WO2016145128A1 (en) | 2015-03-09 | 2016-09-15 | Caris Science, Inc. | Oligonucleotide probes and uses thereof |
US10101250B2 (en) | 2015-04-22 | 2018-10-16 | Berkeley Lights, Inc. | Manipulation of cell nuclei in a micro-fluidic device |
SG10202100281RA (en) | 2015-04-22 | 2021-02-25 | Berkeley Lights Inc | Microfluidic cell culture |
NL2014801B1 (en) * | 2015-05-13 | 2017-01-27 | Berkin Bv | Fluid flow device, comprising a valve unit, as well as method of manufacturing the same. |
US9907210B2 (en) * | 2015-06-25 | 2018-02-27 | International Business Machines Corporation | Active perforation for advanced server cooling |
US10136563B2 (en) | 2015-06-25 | 2018-11-20 | International Business Machines Corporation | Active perforation for advanced server cooling |
CA2991045A1 (en) | 2015-06-29 | 2017-01-05 | Caris Science, Inc. | Therapeutic oligonucleotides binding c1q |
US9733239B2 (en) | 2015-07-24 | 2017-08-15 | HJ Science & Technology, Inc. | Reconfigurable microfluidic systems: scalable, multiplexed immunoassays |
US9956557B2 (en) | 2015-07-24 | 2018-05-01 | HJ Science & Technology, Inc. | Reconfigurable microfluidic systems: microwell plate interface |
US9956558B2 (en) | 2015-07-24 | 2018-05-01 | HJ Science & Technology, Inc. | Reconfigurable microfluidic systems: homogeneous assays |
WO2017019918A1 (en) | 2015-07-28 | 2017-02-02 | Caris Science, Inc. | Targeted oligonucleotides |
US10875020B2 (en) | 2015-09-01 | 2020-12-29 | The Regents Of The University Of California | Reconfigurable microvalve optical waveguide |
US11925578B2 (en) | 2015-09-02 | 2024-03-12 | Glaukos Corporation | Drug delivery implants with bi-directional delivery capacity |
US10647981B1 (en) | 2015-09-08 | 2020-05-12 | Bio-Rad Laboratories, Inc. | Nucleic acid library generation methods and compositions |
US10598166B2 (en) | 2015-09-09 | 2020-03-24 | Massachusetts Institute Of Technology | Atherofluidics-on-chip |
US11564833B2 (en) | 2015-09-25 | 2023-01-31 | Glaukos Corporation | Punctal implants with controlled drug delivery features and methods of using same |
US10799865B2 (en) | 2015-10-27 | 2020-10-13 | Berkeley Lights, Inc. | Microfluidic apparatus having an optimized electrowetting surface and related systems and methods |
US11666913B2 (en) | 2015-11-23 | 2023-06-06 | Berkeley Lights, Inc | In situ-generated microfluidic isolation structures, kits and methods of use thereof |
CN105258738B (zh) * | 2015-11-26 | 2018-01-30 | 黑龙江大学 | 一种压力/二维磁场单片集成传感器 |
US10203604B2 (en) * | 2015-11-30 | 2019-02-12 | Applied Materials, Inc. | Method and apparatus for post exposure processing of photoresist wafers |
US10228367B2 (en) | 2015-12-01 | 2019-03-12 | ProteinSimple | Segmented multi-use automated assay cartridge |
WO2017100347A1 (en) | 2015-12-08 | 2017-06-15 | Berkeley Lights, Inc. | Microfluidic devices and kits and methods for use thereof |
SG11201805473SA (en) | 2015-12-30 | 2018-07-30 | Berkeley Lights Inc | Microfluidic devices for optically-driven convection and displacement, kits and methods thereof |
US10857536B2 (en) | 2016-01-08 | 2020-12-08 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Polymerase chain reaction device |
CN105510101B (zh) * | 2016-01-28 | 2018-02-13 | 哈尔滨理工大学 | 一种用于研究干式空心电抗器匝间绝缘老化过程的试样的制作方法及片状试样 |
EP3429753A4 (en) | 2016-03-16 | 2019-11-06 | Berkeley Lights, Inc. | METHODS, SYSTEMS AND DEVICES FOR SELECTION AND PRODUCTION OF GENERICALLY WORKED CLONES |
DK3430131T3 (da) | 2016-03-17 | 2022-08-22 | Berkeley Lights Inc | Selektion og kloning af t-lymfocytter i en mikrofluidanordning |
CN109715802A (zh) | 2016-03-18 | 2019-05-03 | 卡里斯科学公司 | 寡核苷酸探针及其用途 |
IL262367B (en) | 2016-04-15 | 2022-09-01 | Berkeley Lights Inc | Systems methods and kits for tests based on isolation in a confinement cell |
CN109937025B (zh) | 2016-04-20 | 2022-07-29 | 多斯医学公司 | 生物可吸收眼部药物的递送装置 |
WO2017205686A1 (en) | 2016-05-25 | 2017-11-30 | Caris Science, Inc. | Oligonucleotide probes and uses thereof |
KR20190010641A (ko) | 2016-05-26 | 2019-01-30 | 버클리 라잇츠, 인크. | 공유 결합으로 개질된 표면들, 키트들, 및 준비 및 사용 방법들 |
JP6953513B2 (ja) * | 2016-08-05 | 2021-10-27 | スティーブン アラン マーシュ, | マイクロ圧力センサ |
WO2018035051A1 (en) | 2016-08-14 | 2018-02-22 | Insulet Corporation | Drug delivery device with detection of position of the plunger |
US11872559B2 (en) | 2016-09-14 | 2024-01-16 | Ecole Polytechnique Federale De Lausanne (Epfl) | Device for high throughput single-cell studies |
WO2018067645A1 (en) | 2016-10-07 | 2018-04-12 | Insulet Corporation | Multi-stage delivery system |
US10780217B2 (en) | 2016-11-10 | 2020-09-22 | Insulet Corporation | Ratchet drive for on body delivery system |
US11952612B2 (en) | 2016-11-14 | 2024-04-09 | Commonwealth Scientific And Industrial Research Organisation | Protease sensor molecules |
AT15707U1 (de) * | 2016-11-18 | 2018-04-15 | Secop Gmbh | Kältemittelkompressor |
CN106767551A (zh) * | 2016-11-18 | 2017-05-31 | 合肥工业大学 | 一种微纳米测量设备用高精度高灵敏弹性簧片的制作方法 |
US10767742B2 (en) * | 2016-12-08 | 2020-09-08 | Ford Global Technologies, Llc | Transaxle having chain final drive |
US10732712B2 (en) | 2016-12-27 | 2020-08-04 | Facebook Technologies, Llc | Large scale integration of haptic devices |
TWI621794B (zh) * | 2017-01-05 | 2018-04-21 | 研能科技股份有限公司 | 流體控制裝置 |
WO2018136699A1 (en) | 2017-01-19 | 2018-07-26 | Insulet Corporation | Cartridge hold-up volume reduction |
US10695485B2 (en) | 2017-03-07 | 2020-06-30 | Insulet Corporation | Very high volume user filled drug delivery device |
US11325125B2 (en) | 2017-04-23 | 2022-05-10 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Particle separation |
EP3624943A1 (en) * | 2017-05-16 | 2020-03-25 | Cairn Biosciences, Inc. | Microfluidic-enabled multiwell cell culture devices and systems for precision culture, control and monitoring of living cells |
WO2018226876A1 (en) | 2017-06-06 | 2018-12-13 | The Regents Of The University Of California | Systems and methods for rapid generation of droplet libraries |
EP3662161B1 (en) | 2017-08-03 | 2024-05-01 | Insulet Corporation | Micro piston pump |
US10973978B2 (en) | 2017-08-03 | 2021-04-13 | Insulet Corporation | Fluid flow regulation arrangements for drug delivery devices |
CN111164426B (zh) | 2017-08-08 | 2023-12-08 | 联邦科学技术研究组织 | 碳水化合物传感器 |
JP7169345B2 (ja) * | 2017-09-01 | 2022-11-10 | 深▲セン▼華大智造科技股▲ふん▼有限公司 | シリコンセンサと一体型の注入形成型のマイクロ流体/流体カートリッジ |
US11786668B2 (en) | 2017-09-25 | 2023-10-17 | Insulet Corporation | Drug delivery devices, systems, and methods with force transfer elements |
US11116625B2 (en) | 2017-09-28 | 2021-09-14 | Glaukos Corporation | Apparatus and method for controlling placement of intraocular implants |
EP3721209B1 (en) | 2017-10-15 | 2024-02-07 | Berkeley Lights, Inc. | Methods for in-pen assays |
US11046575B2 (en) | 2017-10-31 | 2021-06-29 | Encite Llc | Broad range micro pressure sensor |
US20190142111A1 (en) * | 2017-11-10 | 2019-05-16 | Head Technology Gmbh | Liner for sports shoes |
US11478790B2 (en) * | 2017-11-10 | 2022-10-25 | Nok Corporation | Microfluidic chip and microfluidic device |
WO2019103729A1 (en) * | 2017-11-22 | 2019-05-31 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Microfluidic devices with lid for loading fluid |
WO2019116306A1 (en) | 2017-12-13 | 2019-06-20 | Ecole Polytechnique Federale De Lausanne (Epfl) | System for capture or immunoprecipitation of a protein-dna complex |
US11154864B2 (en) | 2018-01-17 | 2021-10-26 | Qiagen Sciences, Llc | Microfluidic device with vented microchambers |
WO2019169060A1 (en) * | 2018-03-02 | 2019-09-06 | President And Fellows Of Harvard College | Layered microfluidic devices and techniques |
US11867320B2 (en) | 2018-03-02 | 2024-01-09 | National Research Council Of Canada | Polymeric microfluidic valve |
EP3774047A1 (en) | 2018-03-29 | 2021-02-17 | Yeda Research and Development Co. Ltd | Use of electric field gradients to control gene expression |
DE102018107585B3 (de) * | 2018-03-29 | 2019-03-28 | Universität Rostock | Vorrichtung zur Herstellung von 3D-gedruckten Wirkstofffreisetzungssystemen mit Wirkstoffdepots, sowie Verfahren zur Herstellung von 3D-gedruckten Wirkstofffreisetzungssystemen |
DE102018109314A1 (de) * | 2018-04-19 | 2019-10-24 | Eisenhuth Gmbh & Co. Kg | Elektrochemischer Fällungsreaktor mit bewegter Elektrode |
EP3787795A4 (en) | 2018-04-30 | 2022-01-26 | Protein Fluidics, Inc. | VALVELESS FLUID SWITCHING FLOW CHIP AND USES THEREOF |
CN112204380A (zh) | 2018-05-31 | 2021-01-08 | 伯克利之光生命科技公司 | 微流体设备中的微物体的自动检测和表征 |
US10874803B2 (en) | 2018-05-31 | 2020-12-29 | Insulet Corporation | Drug cartridge with drive system |
EP3801682A1 (en) | 2018-06-06 | 2021-04-14 | Insulet Corporation | Linear shuttle pump for drug delivery |
WO2020018687A1 (en) | 2018-07-17 | 2020-01-23 | Insulet Corporation | Semi-rigid and flexible elements for wearable drug delivery device reservoir |
US10611995B2 (en) | 2018-08-15 | 2020-04-07 | Deepcell, Inc. | Systems and methods for particle analysis |
US11815507B2 (en) | 2018-08-15 | 2023-11-14 | Deepcell, Inc. | Systems and methods for particle analysis |
CN108843855B (zh) * | 2018-08-31 | 2024-03-12 | 湖南乐准智芯生物科技有限公司 | 一种微流控系统及常闭微阀、控制方法 |
CA3107467A1 (en) | 2018-09-07 | 2020-03-12 | Sequenom, Inc. | Methods, and systems to detect transplant rejection |
BR112020026480A2 (pt) | 2018-11-16 | 2021-05-18 | Illumina, Inc. | aparelho e método de circuito fluídico laminado para um cartucho de fluido |
CN113167258B (zh) | 2018-11-28 | 2023-05-12 | 英赛罗公司 | 药物输送往复泵系统和阀组件 |
WO2020113237A1 (en) | 2018-11-30 | 2020-06-04 | Caris Mpi, Inc. | Next-generation molecular profiling |
CN109718875B (zh) * | 2018-12-24 | 2021-08-24 | 东南大学 | 一种基于pdms微流体结构上集成聚氨酯薄膜的方法 |
WO2020172164A1 (en) | 2019-02-19 | 2020-08-27 | Sequenom, Inc. | Compositions, methods, and systems to detect hematopoietic stem cell transplantation status |
DE102019105191A1 (de) * | 2019-02-28 | 2020-09-03 | Prominent Gmbh | Verdrängerpumpe mit strömungsbegünstigten Oberflächen |
USD919833S1 (en) | 2019-03-06 | 2021-05-18 | Princeton Biochemicals, Inc | Micro valve for controlling path of fluids in miniaturized capillary connections |
EP3962652A4 (en) | 2019-04-30 | 2023-01-18 | Berkeley Lights, Inc. | METHODS FOR ENCAPSULATION AND TESTING OF CELLS |
US11780227B2 (en) | 2019-06-25 | 2023-10-10 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Molded structures with channels |
WO2021030268A2 (en) | 2019-08-09 | 2021-02-18 | Nutcracker Therapeutics, Inc. | Microfluidic apparatus and methods of use thereof |
IL269674B (en) | 2019-09-25 | 2020-08-31 | Roy Bar Ziv | Assembling protein complexes on a chip |
JP2022552194A (ja) | 2019-10-10 | 2022-12-15 | 1859,インク. | マイクロ流体スクリーニングのための方法およびシステム |
CN110586216A (zh) * | 2019-10-16 | 2019-12-20 | 陕西优博特生物科技有限公司 | 一种用于微控流芯片实验的试样采加样系统 |
US11369735B2 (en) | 2019-11-05 | 2022-06-28 | Insulet Corporation | Component positioning of a linear shuttle pump |
US11744561B2 (en) | 2019-11-07 | 2023-09-05 | Smylio Inc. | Saliva collection and testing system |
TW202142856A (zh) | 2019-11-17 | 2021-11-16 | 美商伯克利之光生命科技公司 | 用於生物樣本之分析的系統及方法 |
EP4069865A4 (en) | 2019-12-02 | 2023-12-20 | Caris MPI, Inc. | PLATINUM RESISTANCE TEST FOR PAN CANCER |
EP3845790B1 (en) * | 2019-12-30 | 2024-04-17 | Imec VZW | Microfluidic device for controlling pneumatic microvalves |
WO2021144396A1 (en) | 2020-01-17 | 2021-07-22 | F. Hoffmann-La Roche Ag | Microfluidic device and method for automated split-pool synthesis |
CN115003415A (zh) | 2020-01-22 | 2022-09-02 | 豪夫迈·罗氏有限公司 | 用于下一代测序库制备的微流控珠粒捕获装置和方法 |
US20230120825A1 (en) | 2020-02-28 | 2023-04-20 | Laboratory Corporation Of America Holdings | Compositions, Methods, and Systems for Paternity Determination |
US20210394184A1 (en) * | 2020-06-19 | 2021-12-23 | Sysmex Corporation | Particle sorter, particle sorting method, and micro flow path cartridge |
EP4240460A1 (en) | 2020-11-09 | 2023-09-13 | Agile Devices, Inc. | Devices for steering catheters |
CN112452365B (zh) * | 2020-11-23 | 2021-12-07 | 无锡市夸克微智造科技有限责任公司 | 微加工流体装置 |
WO2023035003A1 (en) | 2021-09-03 | 2023-03-09 | Elegen Corp. | Multi-way bead-sorting devices, systems, and methods of use thereof using pressure sources |
DE102022107894A1 (de) * | 2022-04-01 | 2023-10-05 | Eberhard Karls Universität Tübingen, Körperschaft des öffentlichen Rechts | Verfahren zum Herstellen eines Reaktors, Reaktoren und Anordnungen |
WO2023196802A1 (en) | 2022-04-04 | 2023-10-12 | The Broad Institute, Inc. | Cas9 variants having non-canonical pam specificities and uses thereof |
USD1024314S1 (en) | 2022-06-01 | 2024-04-23 | Insulet Corporation | Automated drug delivery device |
WO2023238132A1 (en) | 2022-06-07 | 2023-12-14 | Yeda Research And Development Co. Ltd. | Microfluidic device for analyzing steady state biological reactions |
ES2958141A1 (es) * | 2022-07-07 | 2024-02-02 | Univ Madrid Carlos Iii | Material conductivo autorreparable |
CN115445678B (zh) * | 2022-08-23 | 2023-08-01 | 电子科技大学 | 一种驱动磁流体水平运动的方法、装置及应用 |
Family Cites Families (220)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US499312A (en) * | 1893-06-13 | Alonzo g | ||
US147199A (en) | 1874-02-03 | Improvement in revolving horse hay-rakes | ||
US141503A (en) | 1873-08-05 | Improvement in treating cotton-seed oil to render it drying | ||
US409832A (en) * | 1889-08-27 | Compound fire-proof column | ||
US186856A (en) | 1877-01-30 | Improvement in sheet-metal cans | ||
US2260938A (en) * | 1940-06-24 | 1941-10-28 | Standard Railway Equipment Mfg | Hatch construction |
US2620938A (en) | 1949-09-02 | 1952-12-09 | Package Devices Inc | Container closure |
US3495608A (en) | 1967-05-04 | 1970-02-17 | Pitney Bowes Inc | Fluidic elements and devices thereof |
US3570515A (en) | 1969-06-19 | 1971-03-16 | Foxboro Co | Aminar stream cross-flow fluid diffusion logic gate |
GB1362952A (en) | 1970-07-21 | 1974-08-07 | Rasmussen O B | Conjugate fibre and method of manufacturing same |
NL7102074A (ko) | 1971-02-17 | 1972-08-21 | ||
DE2138491B1 (de) * | 1971-07-31 | 1973-02-15 | Hoffman-Rheem Maschinen Gmbh, 5000 Koeln | Hand Dampf und Bugelplatte |
GB1520402A (en) * | 1974-07-30 | 1978-08-09 | Mitsubishi Electric Corp | Combustion apparatus |
FR2287606A1 (fr) | 1974-10-08 | 1976-05-07 | Pegourie Jean Pierre | Circuits logiques pneumatiques et leurs circuits integres |
JPS5941169B2 (ja) * | 1975-12-25 | 1984-10-05 | シチズン時計株式会社 | エラストマ−ヒヨウジソウチ |
US4153655A (en) * | 1976-07-23 | 1979-05-08 | Minnick Leonard J | Products from molten fly ash and scrubber sludge including fly ash |
US4153855A (en) | 1977-12-16 | 1979-05-08 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army | Method of making a plate having a pattern of microchannels |
US4245673A (en) | 1978-03-01 | 1981-01-20 | La Telemechanique Electrique | Pneumatic logic circuit |
US4434704A (en) | 1980-04-14 | 1984-03-06 | Halliburton Company | Hydraulic digital stepper actuator |
US4581624A (en) | 1984-03-01 | 1986-04-08 | Allied Corporation | Microminiature semiconductor valve |
US5088515A (en) | 1989-05-01 | 1992-02-18 | Kamen Dean L | Valve system with removable fluid interface |
EP0314469B1 (en) | 1987-10-27 | 1993-06-23 | Fujitsu Limited | Process and apparatus for preparation of single crystal of biopolymer |
US4848722A (en) | 1987-12-11 | 1989-07-18 | Integrated Fluidics, Inc. | Valve with flexible sheet member |
US4852851A (en) * | 1987-12-11 | 1989-08-01 | Integrated Fluidics, Inc. | Valve with flexible sheet member |
US4898582A (en) | 1988-08-09 | 1990-02-06 | Pharmetrix Corporation | Portable infusion device assembly |
EP0374313B2 (en) | 1988-12-20 | 1997-07-02 | E.I. Du Pont De Nemours And Company | Polyester resin filled with low-adhesive glass fibre |
US4992312A (en) | 1989-03-13 | 1991-02-12 | Dow Corning Wright Corporation | Methods of forming permeation-resistant, silicone elastomer-containing composite laminates and devices produced thereby |
CH679555A5 (ko) | 1989-04-11 | 1992-03-13 | Westonbridge Int Ltd | |
DE3917396A1 (de) | 1989-05-29 | 1990-12-06 | Buerkert Gmbh | Mikroventil |
WO1990015929A1 (fr) | 1989-06-14 | 1990-12-27 | Westonbridge International Limited | Micropompe perfectionnee |
US5238223A (en) * | 1989-08-11 | 1993-08-24 | Robert Bosch Gmbh | Method of making a microvalve |
JP2555193B2 (ja) * | 1989-08-22 | 1996-11-20 | ファナック株式会社 | オルダム継手 |
US5171132A (en) | 1989-12-27 | 1992-12-15 | Seiko Epson Corporation | Two-valve thin plate micropump |
DE4006152A1 (de) | 1990-02-27 | 1991-08-29 | Fraunhofer Ges Forschung | Mikrominiaturisierte pumpe |
US6054034A (en) * | 1990-02-28 | 2000-04-25 | Aclara Biosciences, Inc. | Acrylic microchannels and their use in electrophoretic applications |
US5096388A (en) | 1990-03-22 | 1992-03-17 | The Charles Stark Draper Laboratory, Inc. | Microfabricated pump |
US5429856A (en) | 1990-03-30 | 1995-07-04 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Composite materials and process |
SE470347B (sv) | 1990-05-10 | 1994-01-31 | Pharmacia Lkb Biotech | Mikrostruktur för vätskeflödessystem och förfarande för tillverkning av ett sådant system |
DE69106240T2 (de) | 1990-07-02 | 1995-05-11 | Seiko Epson Corp | Mikropumpe und Verfahren zur Herstellung einer Mikropumpe. |
US5108682A (en) * | 1990-07-24 | 1992-04-28 | Bridgestone/Firestone, Inc. | Coextrusion apparatus and method using an elastic die for varying the outer profile of a tubular extrudate |
US5164558A (en) | 1991-07-05 | 1992-11-17 | Massachusetts Institute Of Technology | Micromachined threshold pressure switch and method of manufacture |
JP3328300B2 (ja) * | 1991-07-18 | 2002-09-24 | アイシン精機株式会社 | 流体制御装置 |
DE4135655A1 (de) | 1991-09-11 | 1993-03-18 | Fraunhofer Ges Forschung | Mikrominiaturisierte, elektrostatisch betriebene membranpumpe |
US5265327A (en) | 1991-09-13 | 1993-11-30 | Faris Sadeg M | Microchannel plate technology |
US5384261A (en) * | 1991-11-22 | 1995-01-24 | Affymax Technologies N.V. | Very large scale immobilized polymer synthesis using mechanically directed flow paths |
US5637469A (en) | 1992-05-01 | 1997-06-10 | Trustees Of The University Of Pennsylvania | Methods and apparatus for the detection of an analyte utilizing mesoscale flow systems |
DE4220077A1 (de) | 1992-06-19 | 1993-12-23 | Bosch Gmbh Robert | Mikropumpe |
US5364742A (en) * | 1992-09-21 | 1994-11-15 | International Business Machines Corporation | Micro-miniature structures and method of fabrication thereof |
JP2812629B2 (ja) | 1992-11-25 | 1998-10-22 | 宇宙開発事業団 | 結晶成長セル |
US5290240A (en) | 1993-02-03 | 1994-03-01 | Pharmetrix Corporation | Electrochemical controlled dispensing assembly and method for selective and controlled delivery of a dispensing fluid |
US5670102A (en) * | 1993-02-11 | 1997-09-23 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Method of making thermoplastic foamed articles using supercritical fluid |
US5387329A (en) * | 1993-04-09 | 1995-02-07 | Ciba Corning Diagnostics Corp. | Extended use planar sensors |
US5400741A (en) | 1993-05-21 | 1995-03-28 | Medical Foundation Of Buffalo, Inc. | Device for growing crystals |
ATE156895T1 (de) | 1993-05-27 | 1997-08-15 | Fraunhofer Ges Forschung | Mikroventil |
SE501713C2 (sv) * | 1993-09-06 | 1995-05-02 | Pharmacia Biosensor Ab | Ventil av membrantyp, speciellt för vätskehanteringsblock med mikroflödeskanaler |
US5642015A (en) * | 1993-07-14 | 1997-06-24 | The University Of British Columbia | Elastomeric micro electro mechanical systems |
US5417235A (en) * | 1993-07-28 | 1995-05-23 | Regents Of The University Of Michigan | Integrated microvalve structures with monolithic microflow controller |
US5659171A (en) | 1993-09-22 | 1997-08-19 | Northrop Grumman Corporation | Micro-miniature diaphragm pump for the low pressure pumping of gases |
DE4332720C2 (de) | 1993-09-25 | 1997-02-13 | Karlsruhe Forschzent | Mikromembranpumpe |
US5423267A (en) * | 1993-12-30 | 1995-06-13 | Eklund; Byron G. | Pocket rerailer |
CH689836A5 (fr) | 1994-01-14 | 1999-12-15 | Westonbridge Int Ltd | Micropompe. |
US5538223A (en) * | 1994-04-21 | 1996-07-23 | Scace; Gregory | Single line multiple purchase block and tackle system |
US5472053A (en) * | 1994-09-14 | 1995-12-05 | Halliburton Company | Leakproof floating apparatus and method for fabricating said apparatus |
DE4433894A1 (de) * | 1994-09-22 | 1996-03-28 | Fraunhofer Ges Forschung | Verfahren und Vorrichtung zur Ansteuerung einer Mikropumpe |
DE69531430T2 (de) * | 1994-10-07 | 2004-07-01 | Bayer Corp. | Entlastungsventil |
US5571410A (en) * | 1994-10-19 | 1996-11-05 | Hewlett Packard Company | Fully integrated miniaturized planar liquid sample handling and analysis device |
US5788468A (en) | 1994-11-03 | 1998-08-04 | Memstek Products, Llc | Microfabricated fluidic devices |
KR100314996B1 (ko) | 1994-11-10 | 2002-01-15 | 윌리암 제이. 버크 | 액체분배시스템 |
JP3094880B2 (ja) | 1995-03-01 | 2000-10-03 | 住友金属工業株式会社 | 有機化合物の結晶化制御方法およびそれに用いる結晶化制御用固体素子 |
US5775371A (en) | 1995-03-08 | 1998-07-07 | Abbott Laboratories | Valve control |
US5876187A (en) | 1995-03-09 | 1999-03-02 | University Of Washington | Micropumps with fixed valves |
US6168948B1 (en) * | 1995-06-29 | 2001-01-02 | Affymetrix, Inc. | Miniaturized genetic analysis systems and methods |
US5856174A (en) * | 1995-06-29 | 1999-01-05 | Affymetrix, Inc. | Integrated nucleic acid diagnostic device |
CA2183478C (en) | 1995-08-17 | 2004-02-24 | Stephen A. Carter | Digital gas metering system using tri-stable and bi-stable solenoids |
US6130098A (en) | 1995-09-15 | 2000-10-10 | The Regents Of The University Of Michigan | Moving microdroplets |
US5598033A (en) | 1995-10-16 | 1997-01-28 | Advanced Micro Devices, Inc. | Micro BGA stacking scheme |
US5958344A (en) | 1995-11-09 | 1999-09-28 | Sarnoff Corporation | System for liquid distribution |
US5705018A (en) * | 1995-12-13 | 1998-01-06 | Hartley; Frank T. | Micromachined peristaltic pump |
KR100207410B1 (ko) * | 1995-12-19 | 1999-07-15 | 전주범 | 광로 조절 장치의 제조방법 |
US5660370A (en) * | 1996-03-07 | 1997-08-26 | Integrated Fludics, Inc. | Valve with flexible sheet member and two port non-flexing backer member |
US5724677A (en) | 1996-03-08 | 1998-03-10 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Multi-part headband and respirator mask assembly and process for making same |
US5942443A (en) | 1996-06-28 | 1999-08-24 | Caliper Technologies Corporation | High throughput screening assay systems in microscale fluidic devices |
US5885470A (en) | 1997-04-14 | 1999-03-23 | Caliper Technologies Corporation | Controlled fluid transport in microfabricated polymeric substrates |
US5810325A (en) | 1996-06-25 | 1998-09-22 | Bcam International, Inc. | Microvalve |
US5779868A (en) | 1996-06-28 | 1998-07-14 | Caliper Technologies Corporation | Electropipettor and compensation means for electrophoretic bias |
WO1998002601A1 (fr) | 1996-07-15 | 1998-01-22 | Sumitomo Metal Industries, Ltd. | Equipement de croissance de cristaux et procede pour la croissance de cristaux utilisant cet equipement |
US5876157A (en) * | 1996-07-17 | 1999-03-02 | Wethered; William | Drill centering jig and forming tool guide |
US6136212A (en) | 1996-08-12 | 2000-10-24 | The Regents Of The University Of Michigan | Polymer-based micromachining for microfluidic devices |
US5738799A (en) * | 1996-09-12 | 1998-04-14 | Xerox Corporation | Method and materials for fabricating an ink-jet printhead |
US5788488A (en) * | 1996-09-23 | 1998-08-04 | Precision Dental International, Inc. | Dental reamer stop dispenser |
US6221654B1 (en) * | 1996-09-25 | 2001-04-24 | California Institute Of Technology | Method and apparatus for analysis and sorting of polynucleotides based on size |
US5865417A (en) | 1996-09-27 | 1999-02-02 | Redwood Microsystems, Inc. | Integrated electrically operable normally closed valve |
US5839722A (en) * | 1996-11-26 | 1998-11-24 | Xerox Corporation | Paper handling system having embedded control structures |
US6123316A (en) * | 1996-11-27 | 2000-09-26 | Xerox Corporation | Conduit system for a valve array |
US5971355A (en) | 1996-11-27 | 1999-10-26 | Xerox Corporation | Microdevice valve structures to fluid control |
FR2757906A1 (fr) * | 1996-12-31 | 1998-07-03 | Westonbridge Int Ltd | Micropompe avec piece intermediaire integree |
US6436529B1 (en) | 1997-01-21 | 2002-08-20 | 3M Innovative Properties Company | Elatomeric laminates and composites |
US6376971B1 (en) * | 1997-02-07 | 2002-04-23 | Sri International | Electroactive polymer electrodes |
US5882496A (en) * | 1997-02-27 | 1999-03-16 | The Regents Of The University Of California | Porous silicon structures with high surface area/specific pore size |
US6069392A (en) | 1997-04-11 | 2000-05-30 | California Institute Of Technology | Microbellows actuator |
US6116863A (en) * | 1997-05-30 | 2000-09-12 | University Of Cincinnati | Electromagnetically driven microactuated device and method of making the same |
US5922604A (en) * | 1997-06-05 | 1999-07-13 | Gene Tec Corporation | Thin reaction chambers for containing and handling liquid microvolumes |
US6304364B1 (en) | 1997-06-11 | 2001-10-16 | President & Fellows Of Harvard College | Elastomeric light valves |
WO1999000655A2 (en) | 1997-06-27 | 1999-01-07 | Immunetics, Inc. | Rapid flow-through binding assay apparatus and method |
AU8492998A (en) | 1997-07-16 | 1999-02-10 | Diversified Scientific, Inc. | Method for acquiring, storing and analyzing crystal images |
US5932799A (en) * | 1997-07-21 | 1999-08-03 | Ysi Incorporated | Microfluidic analyzer module |
US6073482A (en) * | 1997-07-21 | 2000-06-13 | Ysi Incorporated | Fluid flow module |
US5876675A (en) | 1997-08-05 | 1999-03-02 | Caliper Technologies Corp. | Microfluidic devices and systems |
US5965410A (en) | 1997-09-02 | 1999-10-12 | Caliper Technologies Corp. | Electrical current for controlling fluid parameters in microchannels |
US5999307A (en) | 1997-09-04 | 1999-12-07 | The University Of British Columbia | Method and apparatus for controllable frustration of total internal reflection |
US20020092767A1 (en) * | 1997-09-19 | 2002-07-18 | Aclara Biosciences, Inc. | Multiple array microfluidic device units |
US6540895B1 (en) * | 1997-09-23 | 2003-04-01 | California Institute Of Technology | Microfabricated cell sorter for chemical and biological materials |
US6833242B2 (en) | 1997-09-23 | 2004-12-21 | California Institute Of Technology | Methods for detecting and sorting polynucleotides based on size |
US7214298B2 (en) * | 1997-09-23 | 2007-05-08 | California Institute Of Technology | Microfabricated cell sorter |
US5842787A (en) | 1997-10-09 | 1998-12-01 | Caliper Technologies Corporation | Microfluidic systems incorporating varied channel dimensions |
US5836750A (en) * | 1997-10-09 | 1998-11-17 | Honeywell Inc. | Electrostatically actuated mesopump having a plurality of elementary cells |
US5958694A (en) | 1997-10-16 | 1999-09-28 | Caliper Technologies Corp. | Apparatus and methods for sequencing nucleic acids in microfluidic systems |
AU1522299A (en) * | 1997-11-12 | 1999-05-31 | California Institute Of Technology | Micromachined parylene membrane valve and pump |
US6174675B1 (en) | 1997-11-25 | 2001-01-16 | Caliper Technologies Corp. | Electrical current for controlling fluid parameters in microchannels |
WO1999036714A2 (en) | 1998-01-20 | 1999-07-22 | Triconex, Incorporated | Two out of three voting solenoid arrangement |
US6790526B2 (en) * | 1998-01-30 | 2004-09-14 | Integument Technologies, Inc. | Oxyhalopolymer protective multifunctional appliqués and paint replacement films |
US6451674B1 (en) * | 1998-02-18 | 2002-09-17 | Matsushita Electronics Corporation | Method for introducing impurity into a semiconductor substrate without negative charge buildup phenomenon |
US6376619B1 (en) | 1998-04-13 | 2002-04-23 | 3M Innovative Properties Company | High density, miniaturized arrays and methods of manufacturing same |
WO1999052633A1 (en) | 1998-04-14 | 1999-10-21 | Ivd Systems | Test cartridge with a single inlet port |
AU4719399A (en) | 1998-06-26 | 2000-01-17 | University Of Washington | Crystallization media |
US6225243B1 (en) | 1998-08-03 | 2001-05-01 | Bba Nonwovens Simpsonville, Inc. | Elastic nonwoven fabric prepared from bi-component filaments |
US6221483B1 (en) | 1998-09-10 | 2001-04-24 | Avery Dennison Corporation | Reversibly extensible film |
US6482306B1 (en) * | 1998-09-22 | 2002-11-19 | University Of Washington | Meso- and microfluidic continuous flow and stopped flow electroösmotic mixer |
RU2143343C1 (ru) * | 1998-11-03 | 1999-12-27 | Самсунг Электроникс Ко., Лтд. | Микроинжектор и способ изготовления микроинжектора |
US6958865B1 (en) * | 1998-11-12 | 2005-10-25 | California Institute Of Technology | Microlicensing particles and applications |
CA2350595A1 (en) | 1998-11-16 | 2000-05-25 | California Institute Of Technology | Parylene micro check valve and fabrication method thereof |
WO2000050871A1 (en) * | 1999-02-26 | 2000-08-31 | Orchid Biosciences, Inc. | Microstructures for use in biological assays and reactions |
JP2000314381A (ja) * | 1999-03-03 | 2000-11-14 | Ngk Insulators Ltd | ポンプ |
ATE357656T1 (de) | 1999-04-06 | 2007-04-15 | Univ Alabama Res Found | Vorrichtung zum screening von kristallisierungsbedingungen in lösungen zur kristallzüchtung |
US20030129654A1 (en) * | 1999-04-15 | 2003-07-10 | Ilya Ravkin | Coded particles for multiplexed analysis of biological samples |
US6406605B1 (en) * | 1999-06-01 | 2002-06-18 | Ysi Incorporated | Electroosmotic flow controlled microfluidic devices |
US6296673B1 (en) | 1999-06-18 | 2001-10-02 | The Regents Of The University Of California | Methods and apparatus for performing array microcrystallizations |
US7306672B2 (en) | 2001-04-06 | 2007-12-11 | California Institute Of Technology | Microfluidic free interface diffusion techniques |
MXPA01012959A (es) | 1999-06-28 | 2002-07-30 | California Inst Of Techn | Sistemas elastomericos, microfabricados, de valvulas y bombas. |
US6899137B2 (en) | 1999-06-28 | 2005-05-31 | California Institute Of Technology | Microfabricated elastomeric valve and pump systems |
US6929030B2 (en) | 1999-06-28 | 2005-08-16 | California Institute Of Technology | Microfabricated elastomeric valve and pump systems |
US7459022B2 (en) * | 2001-04-06 | 2008-12-02 | California Institute Of Technology | Microfluidic protein crystallography |
US7144616B1 (en) | 1999-06-28 | 2006-12-05 | California Institute Of Technology | Microfabricated elastomeric valve and pump systems |
WO2001006575A1 (en) * | 1999-07-20 | 2001-01-25 | Sri International | Improved electroactive polymers |
EP1206697A2 (en) | 1999-08-02 | 2002-05-22 | Emerald Biostructures Inc. | Method and system for creating a crystallization results database |
US7255506B2 (en) * | 2000-06-02 | 2007-08-14 | The Procter & Gamble Company | Semi-enclosed applicator for distributing a substance onto a target surface |
US20020112961A1 (en) * | 1999-12-02 | 2002-08-22 | Nanostream, Inc. | Multi-layer microfluidic device fabrication |
AU2001240040A1 (en) | 2000-03-03 | 2001-09-17 | California Institute Of Technology | Combinatorial array for nucleic acid analysis |
US6409832B2 (en) | 2000-03-31 | 2002-06-25 | Micronics, Inc. | Protein crystallization in microfluidic structures |
US7279146B2 (en) | 2003-04-17 | 2007-10-09 | Fluidigm Corporation | Crystal growth devices and systems, and methods for using same |
US7867763B2 (en) | 2004-01-25 | 2011-01-11 | Fluidigm Corporation | Integrated chip carriers with thermocycler interfaces and methods of using the same |
US20050118073A1 (en) * | 2003-11-26 | 2005-06-02 | Fluidigm Corporation | Devices and methods for holding microfluidic devices |
JP2003533681A (ja) * | 2000-05-15 | 2003-11-11 | テカン・トレーディング・アクチェンゲゼルシャフト | ミクロ流体装置および細胞ベースの分析を実行する方法 |
US6431212B1 (en) * | 2000-05-24 | 2002-08-13 | Jon W. Hayenga | Valve for use in microfluidic structures |
US7351376B1 (en) * | 2000-06-05 | 2008-04-01 | California Institute Of Technology | Integrated active flux microfluidic devices and methods |
US7062418B2 (en) * | 2000-06-27 | 2006-06-13 | Fluidigm Corporation | Computer aided design method and system for developing a microfluidic system |
US6885982B2 (en) * | 2000-06-27 | 2005-04-26 | Fluidigm Corporation | Object oriented microfluidic design method and system |
US6301055B1 (en) * | 2000-08-16 | 2001-10-09 | California Institute Of Technology | Solid immersion lens structures and methods for producing solid immersion lens structures |
WO2002023163A1 (en) | 2000-09-15 | 2002-03-21 | California Institute Of Technology | Microfabricated crossflow devices and methods |
US7097809B2 (en) | 2000-10-03 | 2006-08-29 | California Institute Of Technology | Combinatorial synthesis system |
US6508988B1 (en) | 2000-10-03 | 2003-01-21 | California Institute Of Technology | Combinatorial synthesis system |
US7678547B2 (en) * | 2000-10-03 | 2010-03-16 | California Institute Of Technology | Velocity independent analyte characterization |
US7258774B2 (en) * | 2000-10-03 | 2007-08-21 | California Institute Of Technology | Microfluidic devices and methods of use |
WO2002030486A2 (en) | 2000-10-13 | 2002-04-18 | Fluidigm Corporation | Microfluidic device based sample injection system for analytical devices |
WO2002065005A1 (en) * | 2000-11-06 | 2002-08-22 | California Institute Of Technology | Electrostatic valves for microfluidic devices |
AU2002248149A1 (en) | 2000-11-16 | 2002-08-12 | Fluidigm Corporation | Microfluidic devices for introducing and dispensing fluids from microfluidic systems |
WO2002040874A1 (en) | 2000-11-16 | 2002-05-23 | California Institute Of Technology | Apparatus and methods for conducting assays and high throughput screening |
US6802342B2 (en) | 2001-04-06 | 2004-10-12 | Fluidigm Corporation | Microfabricated fluidic circuit elements and applications |
JP5162074B2 (ja) * | 2001-04-06 | 2013-03-13 | フルイディグム コーポレイション | ポリマー表面修飾 |
US6752922B2 (en) * | 2001-04-06 | 2004-06-22 | Fluidigm Corporation | Microfluidic chromatography |
EP1384022A4 (en) | 2001-04-06 | 2004-08-04 | California Inst Of Techn | AMPLIFICATION OF NUCLEIC ACID USING MICROFLUIDIC DEVICES |
US7075162B2 (en) | 2001-08-30 | 2006-07-11 | Fluidigm Corporation | Electrostatic/electrostrictive actuation of elastomer structures using compliant electrodes |
JP2005505441A (ja) | 2001-10-08 | 2005-02-24 | カリフォルニア インスティテュート オブ テクノロジー | 微小加工レンズ、その製造の方法および応用 |
US7192629B2 (en) * | 2001-10-11 | 2007-03-20 | California Institute Of Technology | Devices utilizing self-assembled gel and method of manufacture |
US7691333B2 (en) * | 2001-11-30 | 2010-04-06 | Fluidigm Corporation | Microfluidic device and methods of using same |
ES2403560T3 (es) | 2001-11-30 | 2013-05-20 | Fluidigm Corporation | Dispositivo microfluídico y procedimientos de utilización del mismo |
EP2666849A3 (en) * | 2002-04-01 | 2014-05-28 | Fluidigm Corporation | Microfluidic particle-analysis systems |
US7059348B2 (en) | 2002-05-13 | 2006-06-13 | Fluidigm Corporation | Drug delivery system |
EP1535066A2 (en) | 2002-06-24 | 2005-06-01 | Fluidigm Corporation | Recirculating fluidic network and methods for using the same |
US7143785B2 (en) * | 2002-09-25 | 2006-12-05 | California Institute Of Technology | Microfluidic large scale integration |
WO2004040001A2 (en) * | 2002-10-02 | 2004-05-13 | California Institute Of Technology | Microfluidic nucleic acid analysis |
GB0302302D0 (en) | 2003-01-31 | 2003-03-05 | Glaxo Group Ltd | Microfluidic apparatus and method |
US8828663B2 (en) | 2005-03-18 | 2014-09-09 | Fluidigm Corporation | Thermal reaction device and method for using the same |
US7476363B2 (en) * | 2003-04-03 | 2009-01-13 | Fluidigm Corporation | Microfluidic devices and methods of using same |
US7666361B2 (en) | 2003-04-03 | 2010-02-23 | Fluidigm Corporation | Microfluidic devices and methods of using same |
US7604965B2 (en) * | 2003-04-03 | 2009-10-20 | Fluidigm Corporation | Thermal reaction device and method for using the same |
US20050145496A1 (en) | 2003-04-03 | 2005-07-07 | Federico Goodsaid | Thermal reaction device and method for using the same |
EP1636017A2 (en) * | 2003-05-20 | 2006-03-22 | Fluidigm Corporation | Method and system for microfluidic device and imaging thereof |
SG145697A1 (en) | 2003-07-28 | 2008-09-29 | Fluidigm Corp | Image processing method and system for microfluidic devices |
US7042649B2 (en) | 2003-08-11 | 2006-05-09 | California Institute Of Technology | Microfabricated rubber microscope using soft solid immersion lenses |
US7413712B2 (en) * | 2003-08-11 | 2008-08-19 | California Institute Of Technology | Microfluidic rotary flow reactor matrix |
US20060172408A1 (en) | 2003-12-01 | 2006-08-03 | Quake Steven R | Device for immobilizing chemical and biochemical species and methods of using same |
US7407799B2 (en) * | 2004-01-16 | 2008-08-05 | California Institute Of Technology | Microfluidic chemostat |
TW200600492A (en) * | 2004-05-18 | 2006-01-01 | Achillion Pharmaceuticals Inc | Substituted aryl acylthioureas and related compounds; inhibitors of viral replication |
JP4911722B2 (ja) | 2004-06-07 | 2012-04-04 | フルイディグム コーポレイション | 微小流体素子のための光学レンズシステムおよび方法 |
DE602005004410T2 (de) * | 2004-07-07 | 2009-01-08 | Philips Intellectual Property & Standards Gmbh | System und verfahren zur korrektur zeitlicher artefakte in tomographischen bildern |
EP1838431A4 (en) | 2004-12-03 | 2012-08-22 | California Inst Of Techn | MICROFLUIDIC DEVICES WITH CIRCUITRY OF CHEMICAL REACTIONS |
WO2006060748A2 (en) | 2004-12-03 | 2006-06-08 | California Institute Of Technology | Microfluidic sieve valves |
EP1882189A2 (en) | 2005-04-20 | 2008-01-30 | Fluidigm Corporation | Analysis engine and database for manipulating parameters for fluidic systems on a chip |
EP1915618A4 (en) | 2005-06-02 | 2009-09-30 | Fluidigm Corp | ANALYSIS USING MICROFLUIDIC SEPARATION DEVICES |
US20070048192A1 (en) * | 2005-08-10 | 2007-03-01 | Emil Kartalov | Integrated microfluidic vias, overpasses, underpasses, septums, microfuses, nested bioarrays and methods for fabricating the same |
US20070054293A1 (en) | 2005-08-30 | 2007-03-08 | California Institute Of Technology | Microfluidic chaotic mixing systems and methods |
EP1938101A2 (en) | 2005-09-13 | 2008-07-02 | Fluidigm Corporation | Microfluidic assay devices and methods |
US8206975B2 (en) * | 2005-10-28 | 2012-06-26 | California Institute Of Technology | Method and device for regulating fluid flow in microfluidic devices |
US20070248971A1 (en) | 2006-01-26 | 2007-10-25 | California Institute Of Technology | Programming microfluidic devices with molecular information |
US8039269B2 (en) | 2006-01-26 | 2011-10-18 | California Institute Of Technology | Mechanically induced trapping of molecular interactions |
US7815868B1 (en) | 2006-02-28 | 2010-10-19 | Fluidigm Corporation | Microfluidic reaction apparatus for high throughput screening |
US8828661B2 (en) * | 2006-04-24 | 2014-09-09 | Fluidigm Corporation | Methods for detection and quantification of nucleic acid or protein targets in a sample |
US8055034B2 (en) * | 2006-09-13 | 2011-11-08 | Fluidigm Corporation | Methods and systems for image processing of microfluidic devices |
WO2008043046A2 (en) | 2006-10-04 | 2008-04-10 | Fluidigm Corporation | Microfluidic check valves |
WO2008067552A2 (en) * | 2006-11-30 | 2008-06-05 | Fluidigm Corporation | Method and apparatus for biological sample analysis |
US8157434B2 (en) | 2007-01-19 | 2012-04-17 | Fluidigm Corporation | High efficiency and high precision microfluidic devices and methods |
WO2008141183A2 (en) * | 2007-05-09 | 2008-11-20 | Fluidigm Corporation | Method and system for crystallization and x-ray diffraction screening |
CA2698545C (en) * | 2007-09-07 | 2014-07-08 | Fluidigm Corporation | Copy number variation determination, methods and systems |
WO2009100449A1 (en) | 2008-02-08 | 2009-08-13 | Fluidigm Corporation | Dynamic array assay methods |
US9487822B2 (en) | 2008-03-19 | 2016-11-08 | Fluidigm Corporation | Method and apparatus for determining copy number variation using digital PCR |
CN102165076B (zh) | 2008-07-25 | 2014-07-09 | 弗卢丁公司 | 用于制造集成流体芯片的方法和系统 |
US8617488B2 (en) | 2008-08-07 | 2013-12-31 | Fluidigm Corporation | Microfluidic mixing and reaction systems for high efficiency screening |
WO2010077618A1 (en) | 2008-12-08 | 2010-07-08 | Fluidigm Corporation | Programmable microfluidic digital array |
US8058630B2 (en) | 2009-01-16 | 2011-11-15 | Fluidigm Corporation | Microfluidic devices and methods |
-
2000
- 2000-06-27 MX MXPA01012959A patent/MXPA01012959A/es active IP Right Grant
- 2000-06-27 DE DE60031540T patent/DE60031540T2/de not_active Expired - Lifetime
- 2000-06-27 EP EP10180441.7A patent/EP2309130B1/en not_active Expired - Lifetime
- 2000-06-27 AT AT00943235T patent/ATE343724T1/de not_active IP Right Cessation
- 2000-06-27 BR BRPI0011982-2A patent/BR0011982B1/pt not_active IP Right Cessation
- 2000-06-27 EP EP00943235A patent/EP1194693B1/en not_active Expired - Lifetime
- 2000-06-27 EP EP20000305389 patent/EP1065378B1/en not_active Expired - Lifetime
- 2000-06-27 CN CNB008113009A patent/CN100402850C/zh not_active Expired - Lifetime
- 2000-06-27 US US09/605,520 patent/US7601270B1/en not_active Expired - Fee Related
- 2000-06-27 KR KR1020017016720A patent/KR100865105B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2000-06-27 DE DE2000600109 patent/DE60000109T2/de not_active Expired - Lifetime
- 2000-06-27 AT AT00305389T patent/ATE215673T1/de active
- 2000-06-27 JP JP2001515901A patent/JP2003524738A/ja active Pending
- 2000-06-27 DK DK00305389T patent/DK1065378T3/da active
- 2000-06-27 AT AT01128819T patent/ATE290166T1/de not_active IP Right Cessation
- 2000-06-27 ES ES00305389T patent/ES2174798T3/es not_active Expired - Lifetime
- 2000-06-27 AU AU57734/00A patent/AU779988B2/en not_active Expired
- 2000-06-27 WO PCT/US2000/017740 patent/WO2001001025A2/en active IP Right Grant
- 2000-06-27 GB GB0015726A patent/GB2352283A/en not_active Withdrawn
- 2000-06-27 DE DE2000618425 patent/DE60018425T2/de not_active Expired - Lifetime
- 2000-06-27 CA CA 2721172 patent/CA2721172C/en not_active Expired - Lifetime
- 2000-06-27 CA CA2378190A patent/CA2378190C/en not_active Expired - Lifetime
- 2000-06-27 NZ NZ533466A patent/NZ533466A/en not_active IP Right Cessation
- 2000-06-27 IL IL14730200A patent/IL147302A0/xx active IP Right Grant
-
2001
- 2001-02-28 US US09/796,871 patent/US7040338B2/en not_active Expired - Lifetime
- 2001-02-28 US US09/796,378 patent/US6793753B2/en not_active Expired - Lifetime
- 2001-02-28 US US09/796,666 patent/US6408878B2/en not_active Expired - Lifetime
- 2001-12-20 NO NO20016268A patent/NO330662B1/no not_active IP Right Cessation
- 2001-12-25 IL IL147302A patent/IL147302A/en unknown
-
2002
- 2002-05-15 US US10/150,895 patent/US7169314B2/en not_active Expired - Fee Related
-
2004
- 2004-09-20 US US10/945,737 patent/US7494555B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2004-09-24 JP JP2004278576A patent/JP2005096072A/ja not_active Withdrawn
-
2005
- 2005-05-13 US US11/129,167 patent/US20050226742A1/en not_active Abandoned
- 2005-12-29 JP JP2005380631A patent/JP2006247830A/ja active Pending
-
2006
- 2006-06-28 JP JP2006178847A patent/JP2006315174A/ja not_active Withdrawn
-
2007
- 2007-11-01 US US11/933,998 patent/US8220487B2/en not_active Expired - Lifetime
- 2007-11-02 US US11/934,192 patent/US20080210320A1/en not_active Abandoned
- 2007-11-02 US US11/934,235 patent/US8002933B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2007-11-02 US US11/934,212 patent/US20080210321A1/en not_active Abandoned
-
2008
- 2008-09-04 JP JP2008227637A patent/JP2009034814A/ja active Pending
-
2009
- 2009-08-13 US US12/540,994 patent/US8104515B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2009-09-24 US US12/566,392 patent/US20100200782A1/en not_active Abandoned
-
2012
- 2012-01-27 US US13/360,261 patent/US8695640B2/en not_active Expired - Fee Related
-
2014
- 2014-03-18 US US14/218,872 patent/US20140322489A1/en not_active Abandoned
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101321912B1 (ko) * | 2007-08-28 | 2013-10-30 | 삼성전자주식회사 | 탄성 밸브 및 이를 구비한 미세유동 장치 |
WO2011108803A2 (ko) * | 2010-03-04 | 2011-09-09 | 전북대학교산학협력단 | 3차원 나선형 액추에이터의 제조방법 |
WO2011108803A3 (ko) * | 2010-03-04 | 2011-11-10 | 전북대학교산학협력단 | 3차원 나선형 액추에이터의 제조방법 |
KR20170109746A (ko) * | 2016-03-21 | 2017-10-10 | 주식회사 엘지화학 | 플렉서블 디스플레이용 보호 필름 |
Also Published As
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100865105B1 (ko) | 마이크로 가공된 탄성중합체 밸브 및 펌프 시스템 | |
US7144616B1 (en) | Microfabricated elastomeric valve and pump systems | |
US7216671B2 (en) | Microfabricated elastomeric valve and pump systems | |
EP1195523B1 (en) | Microfabricated elastomeric valve and pump systems | |
RU2261393C2 (ru) | Микрообработанные эластомерные клапанные и насосные системы | |
EP1557565B1 (en) | Microfabricated elastomeric valve and pump systems | |
CA2767084C (en) | Microfabricated elastomeric valve and pump systems |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
AMND | Amendment | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
AMND | Amendment | ||
E601 | Decision to refuse application | ||
J201 | Request for trial against refusal decision | ||
AMND | Amendment | ||
B601 | Maintenance of original decision after re-examination before a trial | ||
J301 | Trial decision |
Free format text: TRIAL DECISION FOR APPEAL AGAINST DECISION TO DECLINE REFUSAL REQUESTED 20070727 Effective date: 20080613 |
|
S901 | Examination by remand of revocation | ||
GRNO | Decision to grant (after opposition) | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20121008 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20131008 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20141007 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20151006 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20161011 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20171012 Year of fee payment: 10 |
|
LAPS | Lapse due to unpaid annual fee |