DE102008002336A1 - Quetschventil und Verfahren zu dessen Herstellung - Google Patents

Quetschventil und Verfahren zu dessen Herstellung Download PDF

Info

Publication number
DE102008002336A1
DE102008002336A1 DE102008002336A DE102008002336A DE102008002336A1 DE 102008002336 A1 DE102008002336 A1 DE 102008002336A1 DE 102008002336 A DE102008002336 A DE 102008002336A DE 102008002336 A DE102008002336 A DE 102008002336A DE 102008002336 A1 DE102008002336 A1 DE 102008002336A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
substrate
recess
pinch valve
valve according
welding
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
DE102008002336A
Other languages
English (en)
Inventor
Manuela Schmidt
Jochen Rupp
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Robert Bosch GmbH
Original Assignee
Robert Bosch GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Robert Bosch GmbH filed Critical Robert Bosch GmbH
Priority to DE102008002336A priority Critical patent/DE102008002336A1/de
Priority to EP09761549A priority patent/EP2286126A1/de
Priority to CN200980121722XA priority patent/CN102057198A/zh
Priority to US12/994,919 priority patent/US8869815B2/en
Priority to PCT/EP2009/054902 priority patent/WO2009149986A1/de
Publication of DE102008002336A1 publication Critical patent/DE102008002336A1/de
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16KVALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K99/00Subject matter not provided for in other groups of this subclass
    • F16K99/0001Microvalves
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04BPOSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
    • F04B43/00Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members
    • F04B43/12Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members having peristaltic action
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16KVALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K99/00Subject matter not provided for in other groups of this subclass
    • F16K99/0001Microvalves
    • F16K99/0003Constructional types of microvalves; Details of the cutting-off member
    • F16K99/0015Diaphragm or membrane valves
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16KVALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K99/00Subject matter not provided for in other groups of this subclass
    • F16K99/0001Microvalves
    • F16K99/0034Operating means specially adapted for microvalves
    • F16K99/0042Electric operating means therefor
    • F16K99/0044Electric operating means therefor using thermo-electric means
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16KVALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K99/00Subject matter not provided for in other groups of this subclass
    • F16K99/0001Microvalves
    • F16K99/0034Operating means specially adapted for microvalves
    • F16K99/0055Operating means specially adapted for microvalves actuated by fluids
    • F16K99/0057Operating means specially adapted for microvalves actuated by fluids the fluid being the circulating fluid itself, e.g. check valves
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16KVALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K99/00Subject matter not provided for in other groups of this subclass
    • F16K99/0001Microvalves
    • F16K99/0034Operating means specially adapted for microvalves
    • F16K99/0055Operating means specially adapted for microvalves actuated by fluids
    • F16K99/0059Operating means specially adapted for microvalves actuated by fluids actuated by a pilot fluid
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16KVALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K99/00Subject matter not provided for in other groups of this subclass
    • F16K99/0001Microvalves
    • F16K99/0034Operating means specially adapted for microvalves
    • F16K99/0055Operating means specially adapted for microvalves actuated by fluids
    • F16K99/0061Operating means specially adapted for microvalves actuated by fluids actuated by an expanding gas or liquid volume
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16KVALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K99/00Subject matter not provided for in other groups of this subclass
    • F16K2099/0073Fabrication methods specifically adapted for microvalves
    • F16K2099/008Multi-layer fabrications
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16KVALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K99/00Subject matter not provided for in other groups of this subclass
    • F16K2099/0082Microvalves adapted for a particular use
    • F16K2099/0094Micropumps
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T137/00Fluid handling
    • Y10T137/0318Processes
    • Y10T137/0402Cleaning, repairing, or assembling
    • Y10T137/0491Valve or valve element assembling, disassembling, or replacing
    • Y10T137/0497Fluid actuated or retarded
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T137/00Fluid handling
    • Y10T137/206Flow affected by fluid contact, energy field or coanda effect [e.g., pure fluid device or system]
    • Y10T137/218Means to regulate or vary operation of device
    • Y10T137/2191By non-fluid energy field affecting input [e.g., transducer]
    • Y10T137/2196Acoustical or thermal energy
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T137/00Fluid handling
    • Y10T137/206Flow affected by fluid contact, energy field or coanda effect [e.g., pure fluid device or system]
    • Y10T137/2224Structure of body of device
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T137/00Fluid handling
    • Y10T137/7722Line condition change responsive valves
    • Y10T137/7758Pilot or servo controlled
    • Y10T137/7762Fluid pressure type
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T29/00Metal working
    • Y10T29/49Method of mechanical manufacture
    • Y10T29/49405Valve or choke making
    • Y10T29/49412Valve or choke making with assembly, disassembly or composite article making

Abstract

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Quetschventil, einen ein derartiges Quetschventil umfassenden Chip, eine ein derartiges Quetschventil umfassende peristaltische Pumpe und ein Verfahren zu deren Herstellung.

Description

  • Die vorliegende Erfindung betrifft ein Quetschventil, einen ein derartiges Quetschventil umfassenden Chip, eine ein derartiges Quetschventil umfassende peristaltische Pumpe und ein Verfahren zu deren Herstellung.
  • Stand der Technik
  • In mikrofluidischen, insbesondere biologischen, Anwendungen werden häufig Quetschventile genutzt, um Flüssigkeiten zu manipulieren. Beispielsweise verwendet die Firma Fluidigm auf fluidischen Chips derartige Ventile unter dem Namen „Nanoflex”. Der fluidische Chip sowie die darauf befindlichen Ventile sind dabei aus einem elastischem Vollmaterial, beispielsweise Polydimethylsiloxan, ausgebildet. Insbesondere da zahlreiche Herstellungsschritte notwendig sind, ist die Herstellung derartiger Ventile und Chips jedoch aufwendig und kostspielig. Darüber hinaus sind die Möglichkeiten beim Ventil- und Chipdesign eingeschränkt.
  • Offenbarung der Erfindung
  • Vorteile der Erfindung
  • Das erfindungsgemäße Quetschventil nach Anspruch 1, der erfindungsgemäße Chip nach Anspruch 10, die erfindungsgemäße peristaltische Pumpe nach Anspruch 12 und das erfindungsgemäße Verfahren nach Anspruch 12 haben den Vorteil, dass die Herstellungskosten, insbesondere aufgrund geringer Materialkosten und einer geringen Anzahl von Verfahrensschritten, gering sind. Darüber hinaus ermöglicht ein erfindungsgemäßes Quetschventil und Verfahren den Einsatz einer Vielzahl von Materialien zur Ausbildung des dritten Substrats, wodurch die Funktion des Ventils optimiert werden kann.
  • Zeichnungen
  • Weitere Vorteile und vorteilhafte Ausgestaltungen des erfindungsgemäßen Gegenstandes werden durch die Zeichnungen veranschaulicht und in der nachfolgenden Beschreibung erläutert. Dabei ist zu beachten, dass die Figuren nur beschreibenden Charakter haben und nicht dazu gedacht sind, die Erfindung in irgendeiner Form einzuschränken. Es zeigt
  • 1a einen schematischer Querschnitt entlang der Linie A-A' durch eine erste Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Ventils im offenen Zustand;
  • 1b einen schematischer Querschnitt entlang der Linie B-B' durch die in 1a gezeigte, erste Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Ventils;
  • 1c einen schematischer Querschnitt entlang der Linie A-A' durch die in 1a gezeigte, erste Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Ventils im geschlossenen Zustand;
  • 2a einen schematischer Querschnitt entlang der Linie C-C' durch eine zweite Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Ventils im offenen Zustand;
  • 2b einen schematischer Querschnitt entlang der Linie D-D' durch die in 2a gezeigte, zweite Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Ventils;
  • 2c einen schematischer Querschnitt entlang der Linie C-C' durch die in 2a gezeigte, zweite Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Ventils im geschlossenen Zustand;
  • 3a einen schematischer Querschnitt entlang der Linie E-E' durch eine dritte Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Ventils im geschlossenen Zustand;
  • 3b einen schematischer Querschnitt entlang der Linie F-F' durch die in 3a gezeigte, dritte Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Ventils;
  • 3c einen schematischer Querschnitt entlang der Linie E-E' durch die in 3a gezeigte, dritte Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Ventils im offenen Zustand;
  • 4 ist eine schematische Draufsicht auf ein erstes, zweites oder drittes Substrat und veranschaulicht die Anordnung einer auf das Substrat aufgedruckten Fügelinie bezüglich einer Aussparung in dem Substrat beziehungsweise bezüglich einer Aussparung in einem darüber oder darunter angeordneten Substrat; und
  • 5 eine Richtungsgeberstruktur zur Herstellung eines Ventils beziehungsweise Chips mittels Ultraschallschweißen.
  • 1a ist ein schematischer Querschnitt entlang der Linie A-A' durch eine erste Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Ventils im offenen Zustand. 1a zeigt, dass das erfindungsgemäße Quetschventil ein erstes 1, zweites 2 und drittes 3 Substrat umfasst. Das dritte Substrat 3 ist aus einem elastischen Material ausgebildet ist und, insbesondere Sandwichartig, zwischen dem ersten 1 und zweiten 2 Substrat angeordnet. Dabei grenzt das erste Substrat 1 an das dritte Substrate 3 an und weist an der an das dritte Substrat 3 angrenzenden Seite mindestens eine erste Aussparung 4 auf. Ebenso grenzt das zweite Substrat 2 an das dritte Substrate 3 an und weist an der an das dritte Substrat 3 angrenzenden Seite mindestens eine zweite Aussparung 5 auf. Neben den in 1a gezeigten Aussparungen können das erste 1 und zweite 2 Substrat im Rahmen der vorliegenden Erfindung noch weitere Strukturierungen aufweisen. 1a zeigt, dass die erste Aussparung 4 und die zweite Aussparung 5 dabei einander gegenüber angeordnet sind. Mit anderen Worten, die erste 4 und zweite 5 Aussparung überlappen sich gegenseitig vollständig. Im Rahmen der vorliegenden Erfindung, beispielsweise in der in den 3a bis 3c gezeigten, dritten Ausführungsform, ist es jedoch ebenso möglich, dass die erste Aussparung 4 und die zweite Aussparung 5 nur teilweise gegenüber einander angeordnet sind beziehungsweise sich nur teilweise gegenseitig überlappen.
  • 1b ist ein schematischer Querschnitt entlang der Linie B-B' durch die in 1a gezeigte, erste Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Ventils. In 1b sowie in den Querschnittszeichnungen 2b und 3c sind über der Schnittebene angeordnete Elemente und Bezugszeichen strichzweipunktiert dargestellt. 1b zeigt ebenso wie 2b, dass im Rahmen der ersten und zweiten erfindungsgemäßen Ausführungsform die Längsachsen der ersten 4 und zweiten 5 Aussparung in einem Winkel von mehr als null Grad, beispielsweise von mehr als 20 Grad, insbesondere in einem rechten Winkel, zueinander angeordnet sind.
  • Dem erfindungsgemäßen Quetschventil liegt das Prinzip zu Grunde, dass sich der zwischen der ersten 4 und zweiten 5 Aussparung angeordnete Bereich des dritten, elastischen Substrates 3 bei unterschiedlichen Drücken in den Aussparungen 4, 5 in die Aussparung 4, 5 mit dem geringeren Druck hinein dehnen kann. In den in den 1a bis 2c gezeigten, erfindungsgemäßen Ausführungsformen, dehnt sich der zwischen der ersten 4 und zweiten 5 Aussparung angeordnete Bereich des dritten, elastischen Substrates 3 durch eine Druckerhöhung in der ersten Aussparung 4, welche auch als Ventilkontrollkanal bezeichnet werden kann, in die zweite Aussparung 5, welche beispielsweise ein Fluidkanal sein kann, hinein aus und verengt beziehungsweise verschließt dabei die zweite Aussparung 5 beziehungsweise den Fluidkanal. Im Rahmen der in den 1a bis 2c gezeigten, erfindungsgemäßen Ausführungsformen handelt es sich um ein „normally on” Ventil, das heißt das Quetschventil ist normalerweise, beispielsweise bei Normaldruck in der ersten Aussparung 4, offen und wird durch eine Druckerhöhung in der ersten Aussparung 4, wie in 1c gezeigt aktiviert beziehungsweise teilweise oder vollständig geschlossen.
  • Im Rahmen der in den 1a bis 1c gezeigten ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung wird der Druck in der ersten Aussparung 4 durch eine externe, das heißt beispielsweise durch eine außerhalb der Substrate 1, 2, 3 angeordnete, Druckvorrichtung geregelt. Dies wird in 1c durch den mit dem Bezugszeichen p gekennzeichneten Pfeil veranschaulicht.
  • Das erfindungsgemäße Quetschventil kann in all seinen Ausführungsformen ein mikrofluidisches Quetschventil sein. Dabei bedeutet mikrofluidisch, dass die Menge an manipulierter Flüssigkeit typischerweise im Bereich einiger 100 μl bis wenige Nanoliter liegt. Die Querschnittsfläche der zweiten Aussparung 5, insbesondere des Fluidkanals, kann ≤ 90000 μm2, beispielsweise ≤ 300 μm × 300 μm, insbesondere ≤ 50 μm (Höhe) × 100 μm (Breite), betragen. Der zwischen der ersten 4 und zweiten 5 Aussparung angeordnete Bereich des dritten, elastischen Substrates 3, insbesondere die Fläche zwischen Ventilkontrollkanal und Fluidkanal, kann ≤ 250000 μm2, beispielsweise ≤ 500 μm × 500 μm betragen. Beispielsweise kann es sich bei dem erfindungsgemäßen Quetschventil um ein Ventil für einen mikrofluidischen Chip, insbesondere Biochip, handeln.
  • Die 2a und 2c zeigen einen schematischen Querschnitt entlang der Linie C-C' durch eine zweite Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Ventils im offenen und im geschlossenen Zustand.
  • 2a zeigt, dass sich die zweite erfindungsgemäße Ausführungsform dadurch von der ersten unterscheidet, das die erste Aussparung 4 mit einer elektrisch beheizbaren, insbesondere in das erste Substrat 1 integrierten, Druckkammer 6, insbesondere zum Öffnen und Schließen des Ventils, und nicht mit einer externen Druckvorrichtung verbunden ist. Insbesondere bildet die erste Aussparung 4 im Rahmen dieser Ausführungsform zusammen mit der Druckkammer 6 eine geschlossene Einheit. Das heißt, es bedarf vorteilhafterweise keiner gas- und/oder flüssigkeitsdurchlässigen Verbindung der ersten Aussparung 4 und/oder der Druckkammer 6 mit einem externen Gerät, beispielsweise einer externen Druckvorrichtung.
  • 2b ist ein schematischer Querschnitt entlang der Linie D-D' durch die in 2a gezeigte, zweite Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Ventils. Im Rahmen der vorliegenden Erfindung umfasst die elektrisch beheizbare Druckkammer 6 ebenso wie die erste Aussparung 4 vorzugsweise ein Gas und/oder eine Flüssigkeit. Beispielsweise eignen sich hierfür Luft, Stickstoff, Edelgase, Wasser und/oder Öle. 2b zeigt, dass in der Druckkammer 6 ein Heizwendel 8 angeordnet sein kann, der über zwei durch das erste Substrat 1 geführte Leiterbahnen 7a, 7b an eine externe Spannungs- und/oder Stromversorgungsvorrichtung 9 angeschlossen ist.
  • Durch einen derartigen Aufbau kann ein in der Druckkammer 6 und/oder Aussparung 4 befindliches Gas und/oder eine in der Druckkammer 6 und/oder Aussparung 4 befindliche Flüssigkeit erwärmt werden, wodurch sich das Gas und/oder die Flüssigkeit ausdehnt und damit den Druck in der ersten Aussparung 4 erhöht. Der Druck in der ersten Aussparung 4 kann somit durch die elektrisch beheizbare Druckkammer 6 geregelt werden.
  • Ein derartiger Aufbau ist besonders vorteilhaft, da der Druck in der ersten Aussparung 4 elektrisch ansteuerbar ist, wenige Peripherieelemente benötigt werden, „on-Chip” erzeugbar ist und, insbesondere in Mikrosystemen, eine schnelle Taktzeit zwischen Heizen und Abkühlen und damit zwischen Druckerhöhung und Druckerniedrigung erzielt werden kann.
  • Die 3a und 3c zeigen einen schematischen Querschnitt entlang der Linie E-E' durch eine dritte Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Ventils im geschlossenen Zustand und im offenen Zustand. 3a zeigt, dass das zweite Substrat 2 an der an das dritte Substrate 3 angrenzenden Seite mindestens eine dritte Aussparung 5b aufweist, welche zu der zweiten Aussparung 5a benachbart angeordnet ist, wobei sowohl die zweite Aussparung 5a als auch die dritte Aussparung 5b zumindest teilweise gegenüber der ersten Aussparung 4 angeordnet sind. Mit anderen Worten, 3a zeigt, dass die erste Aussparung 4 sowohl die zweite 5a als auch die dritte 5b Aussparung zumindest teilweise überlappt. Die dritte Aussparung 5b ist dabei von der zweiten Aussparung 5a durch einen Steg 10 getrennt. Ferner zeigen die 3a bis 3c, dass die erste Aussparung 4 geschlossen sein kann. Das heißt, es bedarf nicht notwendigerweise einer gas- und/oder flüssigkeitsdurchlässigen Verbindung nach Außen.
  • Im Gegensatz zu den Quetschventilen der ersten und zweiten erfindungsgemäßen Ausführungsform, handelt es sich bei dem Quetschventil der dritten erfindungsgemäßen Ausführungsform um ein „normally off” Ventil. Das heißt, das Quetschventil der dritten erfindungsgemäßen Ausführungsform ist normalerweise, beispielsweise bei Normaldruck in der ersten Aussparung 4 geschlossen und wird, beispielsweise durch eine externe Druckvorrichtung, durch eine Druckerhöhung in der zweiten 5a und/oder dritten 5a Aussparung, wie in 3c gezeigt aktiviert beziehungsweise teilweise oder vollständig geöffnet.
  • „Normally off” Ventile sind üblicherweise aufwendiger herzustellen als „normally on” Ventile. Ein erfindungsgemäßes, in den 3a bis 3c gezeigtes, „normally off” Ventil hat hingegen den Vorteil, dass es auf einfache Weise hergestellt werden kann.
  • 3b ist ein schematischer Querschnitt entlang der Linie F-F' durch die in 3a gezeigte, dritte Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Ventils. 3b zeigt, dass die Längsachsen der ersten Aussparung 4 im Rahmen dieser Ausführungsform beispielsweise im Wesentlichen parallel zu der Längsachse der zweiten Aussparung 5a und im Wesentlichen parallel zu der Längsachse der dritten Aussparung 5b angeordnet ist. Dabei bedeutet im Wesentlichen, dass Abweichungen von der Parallelität insofern eingeschlossen sind als dass die im Zusammenhang mit den 3a bis 3c beschriebene Ventilfunktion dadurch nicht beeinträchtigt wird.
  • Im Rahmen der vorliegenden Erfindung ist das dritte Substrat 3 vorzugsweise schichtförmig, insbesondre eine Elastomerfolie. Vorzugsweise ist das dritte Substrat 3, insbesondere die Elastomerfolie, dabei um ≥ 5% dehnbar. Beispielsweise kann das dritte Substrat 3 eine Elastomerfolie mit einer Foliendicke von ≥ 0,01 μm bis ≤ 100 μm, beispielsweise von ≥ 0,1 μm bis ≤ 50 um, insbesondere von ≥ 15 μm bis ≤ 35 μm, ist. Vorzugsweise weist das dritte Substrat 3 beziehungsweise das Material aus dem das dritte Substrat 3 ausgebildet ist ein Young-Modul von ≥ 0,01 GPa bis ≤ 0,1 GPa, insbesondere von ≥ 0,05 GPa bis ≤ 0,08 GPa, auf Das dritte Substrat 3 ist im Rahmen der vorliegenden Erfindung vorzugsweise aus einem biokompatiblen Material ausgebildet. Dabei bedeutet biokompatibel, dass das Material möglichst wenige, insbesondere keine, Wechselwirkungen mit, insbesondere biochemischen, Analyten und Proben eingeht. Insbesondere soll das Material möglichst wenige, insbesondere keine, Wechselwirkungen mit, insbesondere biochemischen, Analyten und Proben eingehen, welche die für die Anwendung der Analyten und Proben notwendigen spezifischen Eigenschaften verändern.
  • Im Rahmen der vorliegenden Erfindung kann das dritte Substrat 3 sowohl aus einem, insbesondere schweißbarem, thermoplastischen als auch einem nicht-thermoplastischen Elastomer ausgebildet sein.
  • Im Rahmen eines auf einer Schweißtechnik basierenden erfindungsgemäßen Herstellungsverfahrens ist das dritte Substrat 3 vorzugsweise aus einem thermoplastischen, insbesondere schweißbaren, Elastomer ausgebildet. Beispielsweise eignen sich zur Ausbildung des dritten Substrats 3 thermoplastische Elastomere auf Olefinbasis (TPE-O), thermoplastische Elastomere auf Urethanbasis (TPE-U), thermoplastische Elastomere auf Polyestherbasis (TPE-E), oder thermoplastische Elastomere auf Styrolbasis (TPE-S) oder Mischungen davon.
  • Die Verwendung einer Schweißtechnik und der Einsatz eines schweißbarem thermoplastischen Elastomers, insbesondere einer thermoplastischen Elastomerfolie, hat sich im Rahmen der vorliegenden Erfindung als vorteilhaft herausgestellt, da das Elastomer neben der Ventilfunktion auch die Verbindung des ersten 1, zweiten 2 und dritten 3 Substrates sowie die Absichtung erfüllt.
  • Im Rahmen eines auf einer Thermokompressionsschweißtechnik basierenden erfindungsgemäßen Herstellungsverfahrens werden die Materialien des ersten 1, zweiten 2 und dritten 3 Substrats vorzugsweise derart ausgewählt, dass die Schmelz- und/oder Erweichungstemperatur des dritten Substrats 3 niedriger als die Schmelz- und/oder Erweichungstemperatur des ersten 1 und zweiten 2 Substrats ist. Beispielsweise kann die Schmelz- und/oder Erweichungstemperatur des dritten Substrats 3 in einem Bereich von ≥ 50°C bis ≤ 200°C, beispielsweise von ≥ 90°C bis ≤ 190°C, insbesondere von ≥ 130°C bis ≤ 150°C, liegen, wobei die Schmelz- und/oder Erweichungstemperatur des ersten 1 und zweiten 2 Substrats höher, beispielsweise ≥ 5°C bis ≤ 40°C höher, insbesondere ≥ 10°C bis ≤ 20°C höher, als die des dritten Substrats sein kann. Die Schmelz- und/oder Erweichungstemperatur des ersten 1 und zweiten 2 Substrats kann beispielsweise ≥ 100°C oder ≥ 150°C oder ≥ 200°C insbesondere ≥ 130°C oder ≥ 230°C, sein.
  • Dadurch wird vorteilhafterweise gewährleistet, dass Strukturen, insbesondere Mikrostrukturen, im ersten 1 und zweiten 2 Substrat nicht beim Fügen verändert oder zerstört werden.
  • Im Rahmen eines auf einer Klebetechnik basierenden erfindungsgemäßen Herstellungsverfahrens kann das dritte Substrat 3 auch aus einem nicht-thermoplastischen Elastomer ausgebildet sein. Beispielsweise eignen sich hierfür Silikone, Polyurethane, Ethylen-Propylen-Dien-Kautschuk (EPDM), Butadienkautschuk, Polyacrylatkautschuke, oder Styrolkautschuke oder Mischungen davon.
  • Ebenso wie das dritte Substrat 3 sind das erste 1 und zweite 2 Substrat im Rahmen der vorliegenden Erfindung vorzugsweise aus einem biokompatiblen Material ausgebildet.
  • Wie auch das dritte Substrat 3 können das erste 1 und zweite 2 Substrat im Rahmen der vorliegenden Erfindung unabhängig voneinander sowohl aus einem, insbesondere schweißbarem, thermoplastischen als auch einem nicht-thermoplastischen Elastomer ausgebildet sein.
  • Im Rahmen eines auf einer Schweißtechnik basierenden erfindungsgemäßen Herstellungsverfahrens sind vorzugsweise das erste 1 und zweite 2 Substrat unabhängig voneinander aus einem thermoplastischen, insbesondere schweißbaren, Elastomer ausgebildet. Beispielsweise eignen sich zur Ausbildung des ersten 1 und zweiten 2 Substrats Polymer wie Polyolefine, insbesondere Polypropylen (PP), Polyethylen (PE) oder Polystyrol (PS), Polycarbonate (PC), Poly(meth)acrylate, insbesondere Polymethylmethacrylat (PMMA), Cyclo-Olefin-Copolymere (COC) oder Cyclo-Olefin-Polymere (COP) oder Mischungen davon. Insbesondere können das erste 1 und zweite 2 Substrat jeweils unabhängig voneinander aus einem Polycarbonat oder Cyclo-Olefin-Copolymer oder einer Mischung davon ausgebildet sein. Diese Polymere haben sich im Rahmen der vorliegenden Erfindung als besonders Vorteilhaft erwiesen, da sie sowohl biokompatibel als auch thermoplastisch und somit schweißbar sind.
  • Im Rahmen eines auf einer Klebetechnik basierenden erfindungsgemäßen Herstellungsverfahrens können das erste 1 und zweite 2 Substrat jedoch auch unabhängig voneinander aus einem aus einem nicht-thermoplastischen Elastomer ausgebildet sein. Beispielsweise eignen sich hierfür Silikone, Polyurethane, Ethylen-Propylen-Dien-Kautschuk (EPDM), Butadienkautschuk, Polyacrylatkautschuke, oder Styrolkautschuke oder Mischungen davon.
  • Das erste 1 und zweite 2 Substrat können im Rahmen der vorliegenden Erfindung beispielsweise durch ein Spritzguss- oder Heißprägeverfahren hergestellt werden. Die in dem ersten 1 und zweiten 2 Substrat befindlichen Aussparungen 4, 5 können ebenfalls im Zuge des Spritzguss- oder Heißprägeverfahren hergestellt werden. Darüber hinaus können die Aussparungen 4, 5 nachträglich durch Photolithographie in dem ersten 1 und/oder zweiten 2 Substrat ausgebildet werden. Vorteilhafterweise können das erste 1 und zweite 2 Substrat im Rahmen der vorliegenden Erfindung mit derselben Technologie hergestellt werden.
  • Das erste 1 und zweite 2 Substrat können im Rahmen der vorliegenden Erfindung schichtförmig sein. Beispielsweise können das erste 1 und zweite 2 Substrat unabhängig voneinander eine Schichtdicke von ≥ 1 μm bis ≤ 2 mm, beispielsweise von ≥ 10 μm bis ≤ 500 μm, insbesondere von ≥ 15 μm bis ≤ 30 μm, aufweisen.
  • Die erste 4, zweite 5, 5a und dritte 5b Aussparung können im Rahmen der vorliegenden Erfindung unabhängig voneinander eine Querschnittsfläche von ≤ 25 mm2 (beispielsweise von ≤ 5 mm × 5 mm), oder von ≤ 250000 μm2 (beispielsweise von ≤ 500 μm × 500 μm), insbesondere von ≤ 100 μm2 (beispielsweise von ≤ 10 μm × 10 μm), aufweisen.
  • Hinsichtlich weiterer Merkmale und Vorteile des erfindungsgemäßen Ventils wird hiermit explizit auf die Beschreibung des erfindungsgemäßen Verfahrens verwiesen.
  • Ein weiterer Gegenstand der vorliegenden Erfindung ist ein mikrofluidischer Chip, insbesondere ein Biochip, der mindestens ein erfindungsgemäßes Quetschventil umfasst. Erfindungsgemäß kann der Chip dadurch realisiert werden, dass das erste 1, zweite 2 und/oder dritte 3 Substrat neben den für die Ventilfunktion relevanten Elementen, insbesondere Aussparungen 4, 5, 5a, 5b, weitere Elemente, wie weitere Fluidkanäle, Reagenzienkammern, umfasst
  • Ferner betrifft die vorliegende Erfindung eine peristaltische Pumpe, die mindestens ein erfindungsgemäßes Quetschventil umfasst. Dabei können sowohl alle der mindestens drei Ventile der peristaltischen Pumpe erfindungsgemäße Quetschventile sein, als auch kann die peristaltische Pumpe ein oder mehrere andere Ventile umfassen.
  • Beispielsweise kann eine erfindungsgemäße peristaltische Pumpe mit drei erfindungsgemäßen Quetschventilen ein erstes 1, zweites 2 und drittes 3 Substrat umfassen, wobei das dritte Substrat 3 aus einem elastischen Material ausgebildet ist und zwischen dem ersten 1 und zweiten 2 Substrat angeordnet ist, wobei das erste Substrat 1 an das dritte Substrate 3 angrenzt und an der an das dritte Substrat 3 angrenzenden Seite mindestens eine erste 4, eine vierte und eine fünfte Aussparung aufweist, wobei das zweite Substrat 2 an das dritte Substrate 3 angrenzt und an der an das dritte Substrat 3 angrenzenden Seite mindestens eine zweite Aussparung 5 aufweist, wobei die erste 4, vierte und fünfte Aussparung zumindest teilweise gegenüber der zweiten Aussparung 5 angeordnet sind.
  • Dabei kann die vierte und/oder fünfte Aussparung in Analogie zur ersten erfindungsgemäßen Ausführungsform mit einer externen Druckvorrichtung oder in Analogie zur zweiten erfindungsgemäßen Ausführungsform mit einer elektrisch beheizbaren Druckkammer verbunden sein. In Analogie zur dritten erfindungsgemäßen Ausführungsform kann das zweite Substrat 2 an der an das dritte Substrate 3 angrenzenden Seite mindestens eine dritte 5b, sechste und siebte Aussparung aufweisen, welche mit der zweiten Aussparung 5a benachbart in Reihe angeordnet sind, wobei die zweite Aussparung 5a und die dritte Aussparung 5b zumindest teilweise gegenüber der ersten Aussparung 4 angeordnet sind, wobei die dritte 5b und sechste Aussparung zumindest teilweise gegenüber der vierten Aussparung angeordnet sind, wobei die sechste und siebte Aussparung zumindest teilweise gegenüber der fünften Aussparung angeordnet sind. Die zweite Aussparung 5a ist dabei von der dritten Aussparung 5b durch einen Steg 10 getrennt, wobei die dritte Aussparung von der sechsten Aussparung sowie die sechste Aussparung von der siebten Aussparung durch zwei weitere Stege voneinander getrennt sind.
  • Hinsichtlich weiterer Merkmale und Vorteile wird hiermit explizit auf die Beschreibung der ersten, zweiten und dritten Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Ventils verwiesen.
  • Darüber hinaus betrifft die vorliegende Erfindung ein Verfahren zur Herstellung eines erfindungsgemäßen Quetschventils, eines erfindungsgemäßen Chips und/oder einer erfindungsgemäßen peristaltischen Pumpe, umfassend die Verfahrensschritte:
    • – Bereitstellen eines ersten 1 und eines zweites 2 Substrats mit jeweils mindestens einer Aussparung 4, 5;
    • – Bereitstellen eines dritten elastischen Substrates 3; und
    • – Verbinden des ersten Substrates 1 mit dem dritten Substrat 3 und des dritten Substrates 3 mit dem zweiten Substrat 2.
  • Ein derartiges Verfahren hat sich im Rahmen der vorliegenden Erfindung als besonders vorteilhaft erwiesen, da es keiner Strukturierung des dritten Substrates bedarf und einfach eine Elastomerfolie eingesetzt werden kann.
  • Insbesondere kann das erfindungsgemäße Verfahren vor dem Verfahrensschritt des Verbindens den Verfahrensschritt: Anordnen des dritten Substrates 3 zwischen dem ersten 1 und zweiten 2 Substrat, wobei jeweils die Seiten des ersten 1 und zweiten 2 Substrates, welche mindesten eine Aussparung aufweisen, an das dritte Substrat 3 angrenzen, aufweisen.
  • Wie bereits im Zusammenhang mit der Beschreibung des erfindungsgemäßen Ventils erläutert, können das erste 1 und zweite 2 Substrat im Rahmen der vorliegenden Erfindung beispielsweise durch ein Spritzguss- oder Heißprägeverfahren, optional in Kombination mit Photolithographie, bereitgestellt werden.
  • Beispielsweise können die Substrate 1, 2, 3 im Rahmen des erfindungsgemäßen Verfahrens durch eine Schweiß- und/oder Klebetechnik, beispielsweise eine Laminiertechnik, miteinander verbunden werden.
  • Wie bereits erläutert, kann beim Einsatz einer Klebetechnik das dritte Substrat 3 vorteilhafterweise auch aus einem Elastomer ohne thermoplastischen Anteil ausgebildet sein.
  • Insbesondere können die Substrate 1, 2, 3 durch Thermokompressionsschweißen, Laserdurchstrahlschweißen und/oder Ultraschallschweißen miteinander verbunden werden.
  • Zur Durchführung des Laserdurchstrahlschweißens, umfasst das erste 1 und/oder zweite 2 und/oder dritte 3 Substrat zweckmäßigerweise einen schwarzen Farbstoff und/oder einen anderen Absorber, und/oder weist mindestens eine Fügelinie 11 aus einem schwarzen Farbstoff und/oder einem anderen Absorber auf.
  • Als „anderer Absorber” sind beispielsweise Substanzen geeignet, die eine Wellenlänge beziehungsweise einen Wellenlängenbereich absorbieren, welche/r beim Laserdurchstrahlschweißen verwendet wird. Derartige Substanzen sind beispielsweise bei der Firma BASF unter dem Markennamen „Lumogen” und bei der Firma Clearweld unter dem Markennamen „Clearweld” kommerziell erhältlich.
  • Zur Durchführung des Laserdurchstrahlschweißen können beispielsweise
    • – das erste 1 und dritte 3 Substrate transparent sein und das zweite Substrat 2 einen schwarzen Farbstoff und/oder einen anderen Absorber umfassen; oder
    • – das zweite 2 und dritte 3 Substrate transparent sein und das erste Substrat 2 einen schwarzen Farbstoff und/oder einen anderen Absorber umfassen; oder
    • – das erste 1 und zweite 2 Substrate transparent sein und das dritte Substrat 3 einen schwarzen Farbstoff und/oder einen anderen Absorber umfassen; oder
    • – das erste 1, das zweite 2 und das dritte 3 Substrat transparent sein und das erste 1 und/oder zweite 2 und/oder dritte 3 Substrat mindestens eine Fügelinie 11 aus einem schwarzen Farbstoff und/oder einem anderen Absorber aufweisen.
  • Im Rahmen der vorliegenden Erfindung ist es jedoch ebenso möglich, dass zwei oder mehr der Substrate 1, 2, 3 einen schwarzen Farbstoff und/oder einen anderen Absorber umfassen oder mit mindestens einer derartigen Fügelinie 11 versehen sind.
  • Vorzugsweise umfasst das erfindungsgemäße Verfahren, insbesondere vor dem Anordnen der Substrate, mindestens einen der Verfahrensschritte: Einbringen eines schwarzen Farnstoffs und/oder eines anderen Absorbers in ein Substrat 1, 2, 3 und/oder Aufdrucken von mindesten einer Fügelinie 11 auf mindestens ein Substrat 1, 2, 3. Das Aufdrucken der Fügelinie 11 kann dabei beispielsweise mittels eines Dispensers, mittels Siebdruck oder mittels eines Ink-Jet-Verfahren erfolgen.
  • Im Rahmen einer bevorzugten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung wird/werden die Fügelinie/n 11 derart auf die an das dritte Substrat 3 angrenzende Seite des ersten 1 und/oder zweiten 2 Substrats aufgedruckt, dass sie die Aussparungsöffnung teilweise oder vollständig, benachbart umlaufen; und/oder die Fügelinie/n 11 wird/werden derart auf mindestens eine an das erste 1 oder zweite 2 Substrat 3 angrenzende Seite des dritten Substrats 3 aufgedruckt, dass die Fügelinie/n 11 die Aussparungsöffnung/en eines angrenzenden Substrats 2, 3 teilweise oder vollständig, benachbart umlaufen. Die Anordnung einer derartigen auf das Substrat aufgedruckten Fügelinie 11 bezüglich einer Aussparung in dem Substrat beziehungsweise bezüglich einer Aussparung in einem darüber oder darunter angeordneten Substrat wird durch 4 veranschaulicht.
  • Das Laserdurchstrahlschweißen hat sich im Rahmen der vorliegenden Erfindung gegenüber dem Thermokompressionsschweißen als vorteilhaft erwiesen, da nicht alle Fügepartner komplett erwärmt werden, sondern nur die zu verschweißenden Bereiche in der Fügeebene punktuell erhitzt und aufgeschmolzen werden. Dadurch werden empfindliche Mikrostrukturen nicht erhitzt und/oder verformt. Ebenso wird das dritte Substrat 3, insbesondere die Elastomerfolie nicht ganzflächig thermisch gestresst und verformt, wodurch gegebenenfalls die spätere Ventilfunktion beeinträchtigen werden könnte. Unter anderem kann auch das dritte Substrat 3, insbesondere die thermoplastische Elastomerfolie, einen ähnlichen oder sogar einen etwas höheren Schmelz- und/oder Erweichungspunkt als das Material des strukturierten ersten 1 und zweiten 2 Substrats haben. Darüber hinaus können Schweißnähte gezielt gelegt werden, wodurch die Designmöglichkeiten erhöht werden. Ferner können vor dem Verbinden der Substrate 1, 2, 3 hitzeempfindliche Reagenzien, wie Enzyme und Antikörper, in die Kanäle eingebracht werden, werden ohne dass diese beim Schweißvorgang durch Erhitzen des gesamten Verbunds zerstört werden.
  • Daher umfasst das erfindungsgemäße Verfahren im Rahmen einer Ausführungsform, insbesondere vor dem Verbinden der Substrate, den Verfahrensschritt: Einbringen von mindestens einer, insbesondere hitzeempfindlichen Reagenz in mindestens eine Aussparung, insbesondere in eine Aussparung 5, 5a, 5b im zweiten Substrat.
  • Zur Durchführung des Ultraschallschweißens weist das erste 1 und/oder zweite 2 und/oder dritte 3 Substrat zweckmäßigerweise mindestens eine Richtungsgeberstruktur 12, insbesondere eine Energierichtungsgeberstruktur 12, auf. 5 zeigt eine derartige Richtungsgeberstruktur 12 im ersten 1 und zweiten 2 Substrat eines erfindungsgemäßen Quetschventils. 5 zeigt, dass das dritte Substrat 3 zwischen dem ersten 1 und zweiten Substrat gequetscht und an der Stellen, an der sich die Richtungsgeberstruktur befindet, mit verschweißt wird. Eine derartige Richtungsgeberstruktur 12 kann durch ein Spritzguss- oder Heißprägeverfahren und/oder durch Photolithographie, in das erste 1 und zweite 2 Substrat eingebracht werden.
  • Das Ultraschallschweißen hat sich im Rahmen der vorliegenden Erfindung ebenfalls gegenüber dem Thermokompressionsschweißen als vorteilhaft erwiesen, da nicht alle Fügepartner komplett erwärmt werden, sondern nur in der Fügeebene erwärmt werden. Darüber hinaus ist das Ultraschallschweißen vorteilhafterweise ein sehr günstiges Verfahren mit sehr kurzen Taktzeiten. Gegenüber dem Laserdurchstrahlschweißen weist es ferner den Vorteil auf, dass alle Fügepartner transparent und Absorber-frei sein können.
  • Hinsichtlich weiterer verfahrenstechnischer Merkmale und Vorteile wird hiermit explizit auf die Beschreibung des erfindungsgemäßen Ventils verwiesen.
  • Schließlich betrifft die vorliegende Erfindung die Verwendung eines erfindungsgemäßen Ventils, eines erfindungsgemäßen Chips und/oder einer erfindungsgemäßen Pumpe in mikrofluidischen, insbesondere druckgetriebenen, Systemen; zum Öffnen und Schließen von Kanälen, insbesondere in 2 ½D Strukturen; zur Änderung des fluidischen Widerstandes, insbesondere durch lokales Einstellen des Kanalquerschnitts; als peristaltische Pumpe mittels drei hintereinander geschalteten Ventilen die periodisch geöffnet und geschlossen werden; zum Messen von Flüssigkeitsvolumina, insbesondere durch definierten Abstand der Ventile zueinander; und/oder zum Mischen von Flüssigkeiten.

Claims (15)

  1. Quetschventil, insbesondere mikrofluidisches Quetschventil, umfassend ein erstes (1), zweites (2) und drittes (3) Substrat, – wobei das dritte Substrat (3) aus einem elastischen Material ausgebildet ist und zwischen dem ersten (1) und zweiten (2) Substrat angeordnet ist, – wobei das erste Substrat (1) an das dritte Substrate (3) angrenzt und an der an das dritte Substrat (3) angrenzenden Seite mindestens eine erste Aussparung (4) aufweist, – wobei das zweite Substrat (2) an das dritte Substrate (3) angrenzt und an der an das dritte Substrat (3) angrenzenden Seite mindestens eine zweite Aussparung (5) aufweist, – wobei die erste Aussparung (4) und die zweite Aussparung (5) einander zumindest teilweise gegenüber angeordnet sind.
  2. Quetschventil nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Quetschventil durch eine externe Druckvorrichtung aktivierbar, insbesondere teilweise oder vollständig schließbar oder öffenbar ist.
  3. Quetschventil nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die erste Aussparung (4) mit einer elektrisch beheizbaren, insbesondere in das erste Substrat (1) integrierten, Druckkammer (6) verbunden ist.
  4. Quetschventil nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass in der Druckkammer (6) ein Heizwendel (8) angeordnet ist, der über zwei durch das erste Substrat (1) geführte Leiterbahnen (7a, 7b) an eine externe Spannungs- und/oder Stromversorgungsvorrichtung (9) angeschlossen ist.
  5. Quetschventil nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das zweite Substrat (2) an der an das dritte Substrate (3) angrenzenden Seite mindestens eine dritte Aussparung (5b) aufweist, welche zu der zweiten Aussparung (5a) benachbart angeordnet ist, wobei die zweite Aussparung (5a) und die dritte Aussparung (5b) zumindest teilweise gegenüber der ersten Aussparung (4) angeordnet sind.
  6. Quetschventil nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das dritte Substrat (3) eine Elastomerfolie ist.
  7. Quetschventil nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das das erste (1), zweite (2) und/oder dritte (3) Substrat aus einem thermoplastischen Elastomer ausgebildet ist.
  8. Mikrofluidischer Chip, insbesondere Biochip, umfassend mindestens ein Quetschventil nach einem der Ansprüche 1 bis 9.
  9. Peristaltische Pumpe, umfassend mindestens ein Quetschventil nach einem der Ansprüche 1 bis 7.
  10. Verfahren zur Herstellung eines Quetschventils nach einem der Ansprüche 1 bis 7 und/oder eines Chips nach Anspruch 8 und/oder einer peristaltischen Pumpe nach Anspruch 9, umfassend die Verfahrensschritte: – Bereitstellen eines ersten (1) und eines zweites (2) Substrats mit jeweils mindestens einer Aussparung (4, 5); – Bereitstellen eines dritten elastischen Substrates (3); und – Verbinden des ersten Substrates (1) mit dem dritten Substrat (3) und des dritten Substrates (3) mit dem zweiten Substrat (2).
  11. Verfahren nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass die Substrate (1, 2, 3) durch eine Schweiß- und/oder Klebetechnik miteinander verbunden werden.
  12. Verfahren nach Anspruch 10 oder 11, dadurch gekennzeichnet, dass die Substrate (1, 2, 3) durch Thermokompressionsschweißen, Laserdurchstrahlschweißen und/oder Ultraschallschweißen miteinander verbunden werden.
  13. Verfahren nach einem der Ansprüche 10 bis 12, dadurch gekennzeichnet, dass das erste (1) und/oder zweite (2) und/oder dritte (3) Substrat einen schwarzen Farbstoff und/oder einen anderen Absorber umfasst und/oder mindestens eine Fügelinie (11) aus einem schwarzen Farbstoff und/oder einem anderen Absorber aufweist.
  14. Verfahren nach einem der Ansprüche 10 bis 13, dadurch gekennzeichnet, dass das Verfahren mindestens einen der Verfahrensschritte: – Einbringen eines schwarzen Farnstoffs und/oder eines anderen Absorbers in ein Substrat (1, 2, 3); und/oder – Aufdrucken von mindesten einer Fügelinie (11) auf mindestens ein Substrat (1, 2, 3) umfasst.
  15. Verfahren nach einem der Ansprüche 10 bis 14, dadurch gekennzeichnet, dass das erste (1) und/oder zweite (2) und/oder dritte (3) Substrat mindestens eine Richtungsgeberstruktur (12), insbesondere eine Energierichtungsgeberstruktur (12), aufweist.
DE102008002336A 2008-06-10 2008-06-10 Quetschventil und Verfahren zu dessen Herstellung Withdrawn DE102008002336A1 (de)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102008002336A DE102008002336A1 (de) 2008-06-10 2008-06-10 Quetschventil und Verfahren zu dessen Herstellung
EP09761549A EP2286126A1 (de) 2008-06-10 2009-04-23 Quetschventil und verfahren zu dessen herstellung
CN200980121722XA CN102057198A (zh) 2008-06-10 2009-04-23 压缩阀和它的制造方法
US12/994,919 US8869815B2 (en) 2008-06-10 2009-04-23 Pinch valve and method for manufacturing same
PCT/EP2009/054902 WO2009149986A1 (de) 2008-06-10 2009-04-23 Quetschventil und verfahren zu dessen herstellung

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102008002336A DE102008002336A1 (de) 2008-06-10 2008-06-10 Quetschventil und Verfahren zu dessen Herstellung

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE102008002336A1 true DE102008002336A1 (de) 2009-12-24

Family

ID=40849159

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE102008002336A Withdrawn DE102008002336A1 (de) 2008-06-10 2008-06-10 Quetschventil und Verfahren zu dessen Herstellung

Country Status (5)

Country Link
US (1) US8869815B2 (de)
EP (1) EP2286126A1 (de)
CN (1) CN102057198A (de)
DE (1) DE102008002336A1 (de)
WO (1) WO2009149986A1 (de)

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2011091943A1 (de) * 2010-02-01 2011-08-04 Robert Bosch Gmbh Mikrofluidisches bauelement zur handhabung eines fluids und mikrofluidischer chip
WO2011127908A1 (de) 2010-04-16 2011-10-20 Technische Universität Dresden Mikrofluidiksystem und verfahren zu dessen betreiben
WO2011113630A3 (de) * 2010-03-18 2012-01-12 Robert Bosch Gmbh Verfahren zur herstellung einer mikrofluidischen vorrichtung
WO2012004062A1 (de) 2010-07-06 2012-01-12 Robert Bosch Gmbh Verfahren zur aktiven hybridisierung in microarrays mit denaturierungsfunktion
US20120181460A1 (en) * 2011-01-14 2012-07-19 Integenx Inc. Valves with Hydraulic Actuation System
DE102011081887A1 (de) 2011-08-31 2013-02-28 Robert Bosch Gmbh Polymerschichtsystem-Drucksensorvorrichtung und Polymerschichtsystem-Drucksensorverfahren
DE102011086856A1 (de) 2011-11-22 2013-05-23 Robert Bosch Gmbh Mikrofluidische Membranventilvorrichtung und entsprechendes Herstellungsverfahren
DE102016222040A1 (de) 2016-11-10 2018-05-17 Robert Bosch Gmbh Mikrofluidische Vorrichtung

Families Citing this family (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2011082276A1 (en) * 2009-12-31 2011-07-07 General Electric Company Microvalve
EP2479466A1 (de) * 2011-01-21 2012-07-25 Biocartis SA Mikropumpe oder Normal-Aus-Mikroventil
DE102011078770B4 (de) 2011-07-07 2016-04-28 Robert Bosch Gmbh Mikrofluidische Vorrichtung, mikrofluidisches System und Verfahren zum Transport von Fluiden
CN102671728A (zh) * 2012-05-07 2012-09-19 博奥生物有限公司 一种微流控气动阀芯片
CN102679039A (zh) * 2012-05-07 2012-09-19 博奥生物有限公司 一种集成于微流控芯片内的气动微阀
EP2719460B1 (de) 2012-10-12 2016-12-14 Sony DADC Austria AG Mikrofluidische Vorrichtungen
NL2009660C2 (en) * 2012-10-18 2014-04-22 Avantium Technologies B V Pressure controller.
CN103335154B (zh) * 2013-07-15 2015-07-29 大连海事大学 一种集成于微流控芯片上的电磁微阀
US10180133B2 (en) 2013-11-22 2019-01-15 Rheonix, Inc. Channel-less pump, methods, and applications thereof
CN104728492A (zh) * 2015-01-27 2015-06-24 东南大学 一种微型被动流量调节阀及其制作工艺
CN108217576B (zh) * 2016-12-21 2020-05-22 上海傲睿科技有限公司 膜片截止阀及其制造方法
DE102018210673A1 (de) 2018-06-29 2020-01-02 Robert Bosch Gmbh Mikrofluidische Flusszelle und Verfahren mit veränderlichen Isolatoren
EP3763439A1 (de) * 2019-07-12 2021-01-13 Curiosity Diagnostics sp. z o.o Mikrofluidischer chip und ventil, herstellungsverfahren und verwendungen

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6929030B2 (en) * 1999-06-28 2005-08-16 California Institute Of Technology Microfabricated elastomeric valve and pump systems
JP2003524738A (ja) 1999-06-28 2003-08-19 カリフォルニア インスティチュート オブ テクノロジー 微細製作エラストマーバルブおよびポンプシステム
DE19960104A1 (de) * 1999-12-14 2001-06-21 Bayer Ag Laserdurchstrahlschweißbare thermoplastische Formmassen
CN1331575C (zh) * 2002-09-09 2007-08-15 塞通诺米公司 微射流系统中的微射流部件的实现
KR101216828B1 (ko) * 2002-12-30 2013-01-04 더 리전트 오브 더 유니버시티 오브 캘리포니아 병원균 검출과 분석을 위한 방법과 기구
US7059352B2 (en) * 2004-03-31 2006-06-13 Lifescan Scotland Triggerable passive valve for use in controlling the flow of fluid
US7832429B2 (en) 2004-10-13 2010-11-16 Rheonix, Inc. Microfluidic pump and valve structures and fabrication methods
TWI269776B (en) * 2005-01-27 2007-01-01 Univ Nat Cheng Kung Microfluidic driving apparatus and method for manufacturing the same
US20060272716A1 (en) * 2005-05-12 2006-12-07 University Of Washington Method of adhesiveless lamination of polymer films into microfluidic networks with high dimensional fidelity
US8220493B2 (en) 2005-08-23 2012-07-17 University Of Virginia Patent Foundation Passive components for micro-fluidic flow profile shaping and related method thereof
DE102006017482A1 (de) 2006-04-13 2007-10-18 Technische Universität Chemnitz Mikrofluidischer Aktor, Aktorverfahren und Verfahren zum Herstellen eines Mikroaktors
EP1905514A1 (de) * 2006-09-30 2008-04-02 Roche Diagnostics GmbH Vorrichtung mit reversibel verschliessbarem Fluidventil
KR20080073934A (ko) * 2007-02-07 2008-08-12 삼성전자주식회사 밸브 충전물 및 이를 구비한 밸브 유닛

Cited By (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102010001412A1 (de) 2010-02-01 2011-08-04 Robert Bosch GmbH, 70469 Mikrofluidisches Bauelement zur Handhabung eines Fluids und mikrofluidischer Chip
WO2011091943A1 (de) * 2010-02-01 2011-08-04 Robert Bosch Gmbh Mikrofluidisches bauelement zur handhabung eines fluids und mikrofluidischer chip
CN102713389B (zh) * 2010-02-01 2014-05-07 罗伯特·博世有限公司 用于操纵流体的微流体的结构元件以及微流体的芯片
CN102713389A (zh) * 2010-02-01 2012-10-03 罗伯特·博世有限公司 用于操纵流体的微流体的结构元件以及微流体的芯片
US20130061961A1 (en) * 2010-03-18 2013-03-14 Robert Bosch Gmbh Method for Producing a Microfluidic Device
WO2011113630A3 (de) * 2010-03-18 2012-01-12 Robert Bosch Gmbh Verfahren zur herstellung einer mikrofluidischen vorrichtung
US9266280B2 (en) 2010-03-18 2016-02-23 Robert Bosch Gmbh Method for producing a microfluidic device
WO2011127908A1 (de) 2010-04-16 2011-10-20 Technische Universität Dresden Mikrofluidiksystem und verfahren zu dessen betreiben
DE102010015161A1 (de) * 2010-04-16 2011-10-20 Technische Universität Dresden Mikrofluidiksystem und Verfahren zu dessen Betreiben
DE102010015161B4 (de) * 2010-04-16 2014-03-13 Technische Universität Dresden Mikrofluidiksystem und Verfahren zu dessen Betreiben
WO2012004062A1 (de) 2010-07-06 2012-01-12 Robert Bosch Gmbh Verfahren zur aktiven hybridisierung in microarrays mit denaturierungsfunktion
DE102010030962A1 (de) 2010-07-06 2012-04-05 Robert Bosch Gmbh Verfahren zur aktiven Hybridisierung in Microarrays mit Denaturierungsfunktion
US9556476B2 (en) 2010-07-06 2017-01-31 Robert Bosch Gmbh Method for active hybridization in microarrays with denaturing function
DE102010030962B4 (de) 2010-07-06 2023-04-20 Robert Bosch Gmbh Verfahren zur aktiven Hybridisierung in Microarrays mit Denaturierungsfunktion
US20120181460A1 (en) * 2011-01-14 2012-07-19 Integenx Inc. Valves with Hydraulic Actuation System
WO2013029836A1 (de) 2011-08-31 2013-03-07 Robert Bosch Gmbh Polymerschichtsystem-drucksensorvorrichtung und polymerschichtsystem-drucksensorverfahren
DE102011081887A1 (de) 2011-08-31 2013-02-28 Robert Bosch Gmbh Polymerschichtsystem-Drucksensorvorrichtung und Polymerschichtsystem-Drucksensorverfahren
US9766144B2 (en) 2011-08-31 2017-09-19 Robert Bosch Gmbh Polymer layer system pressure sensor device, and polymer layer system pressure sensor method
DE102011086856A1 (de) 2011-11-22 2013-05-23 Robert Bosch Gmbh Mikrofluidische Membranventilvorrichtung und entsprechendes Herstellungsverfahren
WO2013075871A1 (de) 2011-11-22 2013-05-30 Robert Bosch Gmbh Mikrofluidische membranventilvorrichtung und entsprechendes herstellungsverfahren
DE102016222040A1 (de) 2016-11-10 2018-05-17 Robert Bosch Gmbh Mikrofluidische Vorrichtung

Also Published As

Publication number Publication date
EP2286126A1 (de) 2011-02-23
US8869815B2 (en) 2014-10-28
CN102057198A (zh) 2011-05-11
WO2009149986A1 (de) 2009-12-17
US20110076204A1 (en) 2011-03-31

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE102008002336A1 (de) Quetschventil und Verfahren zu dessen Herstellung
EP2796200B1 (de) Mikrofluidische analysekartusche und verfahren zu ihrer herstellung
DE602004002407T2 (de) Mikrofluidventil mit elektrischer öffnungssteuerung
EP2138233B1 (de) Mikrofluidische Folienstruktur zum Dosierren von Flüssigkeiten
EP2547618B1 (de) Verfahren zur herstellung einer mikrofluidischen vorrichtung
DE60103924T2 (de) Mikrofluidische durchflussregelvorrichtung
EP1216141B1 (de) Verfahren zum fremdstofffreien verbinden von zwei werkstücken aus kunststoff
EP2647435B1 (de) Anordnung aus einer flusszelle und einem temperierelement
EP2687290A1 (de) Mikrofluidische Lagerungsvorrichtung zum Vorlagern eines Fluids, Verfahren zu dessen Herstellung und eine Verwendung derselben
EP3049186B1 (de) Analyseeinheit zum durchführen einer polymerasekettenreaktion, verfahren zum betreiben einer solchen analyseeinheit und verfahren zum herstellen einer solchen analyseeinheit
WO2012028595A1 (de) Verfahren zum herstellen einer mikrofluidischen vorrichtung sowie diesbezügliche laminiereinrichtungen
DE102013209866B4 (de) Vorrichtung mit vorgegebener Fluidverdrängung
WO2012126646A1 (de) Mikrofluidisches ventil und mikrofluidische plattform
EP2783752A1 (de) Normal-geschlossenes Ventil für mikrofluidische Bauteile aus einem polymeren Schichtsystem sowie Verfahren
DE102012206042B4 (de) Verfahren und Vorrichtung zur gezielten Prozessführung in einem Mikrofluidik-Prozessor mit integrierten aktiven Elementen
DE102004008009A1 (de) Integriertes Mikroventil und Verfahren zum Herstellen eines Mikroventils
EP2522427B1 (de) Mikrofluidvorrichtung und Verfahren zum Herstellen derselben
DE112019005871B4 (de) Thermoplastische Formanordnung
EP2759751B1 (de) Verfahren zum Herstellen eines normal-geschlossenen Rückschlagventils für mikrofluidische Bauteile aus einem polymeren Schichtsystem und Rückschlagventil
DE102011075127A1 (de) Mikroventilstruktur mit einem Polymeraktor und Lab-on-a-chip Modul
DE10335492B4 (de) Verfahren zum selektiven Verbinden von mikrostrukturierten Teilen
DE102013209645A1 (de) Ventilvorrichtung für eine Fluidbereitstellungseinheit und Verfahren zum Betreiben einer Ventilvorrichtung für eine Fluidbereitstellungseinheit
WO2022175361A1 (de) Mikrofluidisches system aus einer gefalteten folie und herstellungsverfahren
DE102012209676B4 (de) Verfahren zum Herstellen einer mikrofluidischen Vorrichtung und nach dem Verfahren hergestellte Vorrichtung
AT503116B1 (de) Mikroreaktor

Legal Events

Date Code Title Description
OP8 Request for examination as to paragraph 44 patent law
R016 Response to examination communication
R119 Application deemed withdrawn, or ip right lapsed, due to non-payment of renewal fee