DE102006002924B3 - Fluidhandhabungsvorrichtung und Verfahren zum Handhaben eines Fluids - Google Patents

Fluidhandhabungsvorrichtung und Verfahren zum Handhaben eines Fluids Download PDF

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Abstract

Eine Fluidhandhabungsvorrichtung umfasst einen Körper, der eine Fluidhandhabungsstruktur aufweist und eine flexible Membran, die an dem Körper angebracht ist und ausgelegt ist, um mit einem Fluid in der Fluidhandhabungsstruktur zu interagieren, wobei die Membran eine erste Betätigungskomponente aufweist. Eine zweite Betätigungskomponente ist vorgesehen, wobei die erste und die zweite Betätigungskomponente derart ausgebildet sind, dass dieselben einander in einer ersten Lagebeziehung anziehen oder abstoßen, um die flexible Membran zu betätigen. Eine Antriebseinrichtung ist vorgesehen, um den Körper relativ zu der zweiten Betätigungskomponente zu bewegen, um die erste und die zweite Betätigungskomponente in die erste und aus der ersten Lagebeziehung zu bringen.

Description

  • Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Fluidhandhabungsvorrichtung und ein Verfahren zum Handhaben eines Fluids, und insbesondere eine Fluidhandhabungsvorrichtung und ein Verfahren zum Handhaben eines Fluids, die zum Handhaben eines gasförmigen Fluids auf dem Gebiet der Mikrofluidik geeignet sind.
  • Zum Pumpen von Fluiden, d.h. Gasen und Flüssigkeiten, sind in der Mikrofluidik zahlreiche Funktionsprinzipien bekannt. So ist es aus Goulpeau, J. et al., „Experimental study and modeling of polydimethylsiloxane peristaltic micropumps.", Journal of Applied Physics 98, 044914, 2005; und Unger, M.A., et al., „Monolithic microfabricated valves and pumps by multilayer soft lithography," Science, Vol 288, 2000, Seiten 113–116 und der EP 1065378 B1 bekannt, Elastomere, vornehmlich PDMS (PDMS = Polydimethylsiloxan), als elastisches Membran-Element einzusetzen und beispielsweise durch einen in einer zweiten Kanalebene angelegten externen Druck auszulenken, um Flüssigkeiten zu handhaben. Dadurch können Flüssigkeiten verdrängt/gepumpt werden.
  • Auch eine magnetische Auslenkung derartiger Membranelemente in Fluidhandhabungsvorrichtungen ist bekannt. Beispielsweise offenbaren Yamahata, C., et al., "A Ball Valve Micropump in Glass Fabricated by Powder Blasting", Sensors and Actuators B-Chemical 110 (2005), Seiten 1–7; und Yamahata, C., F. Lacharme, and M. A. M. Gijs. "Glass valveless micropump using electromagnetic actuation", Microelectronic Engineering 78–79 (2005), Seiten 132–137, den Einsatz von Permanentmagneten, die mit einer elastischen Membran verbunden sind. Zum Auslenken der Membran wird dabei ein Elektromagnet eingesetzt.
  • Eine bei Pan, T. R., et al. "A magnetically driven PDMS micropump with ball check-valves" Journal of Micromechanics and Microengineering 15.5 (2005), Seiten 1021 bis 1026, offenbarte Mikropumpe nutzt einen auf der Spindel eines Minimotors angebrachten Permanentmagneten zur periodischen Anregung einer auf einer Membran einer Mikropumpe angeordneten magnetischen Platte. Die Spindel rotiert dabei unter der Pumpkammer, so dass die Pumpe mit der Drehfrequenz des Motors betrieben wird.
  • Aus der WO 97/10435 A2 und aus Stehr, M., et al., "The VAMP – A new device for handling liquids or gases" Sensors and Actuators A-Physical 57.2 (1996), Seiten 153–157 ist eine rückschlagventillose Fluidpumpe bekannt, die einen Pumpenkörper, einen Verdränger in der Form einer elastischen Membran, über die eine Öffnung verschlossen und geöffnet werden kann, und einen elastischen Puffer, der an eine in dem Pumpenkörper gebildete Pumpenkammer angrenzt, aufweist.
  • Aus Günther, A., et al., "Micromixing of miscible liquids in segmented gas-liquid flow", Langmuir 21.4 (2005), Seiten 1547–1555 ist ein mikrofluidisches System zum effizienten Mischen zweier mischbarer Flüssigkeitsströme durch Einführen einer Gasphase bekannt, dass einen segmentierten Gas-Flüssigkeits-Fluss erzeugt und die gemischten Flüssigkeits- und Gas-Ströme in einem planaren kapillaren Separator vollständig trennt. Dabei werden Flüssigkeiten und Gase durch externe Pumpen in Mikrokanäle eingeführt, wobei es durch geeignete Wahl der Strömungsverhältnisse an einer Verbindungsstelle zu einer Zwei-Phasen-Strömung kommt, in der sich entlang des Kanals Flüssigkeits- und Gassegmente abwechseln. Die segmentierte Gas-Flüssigkeits-Strömung wurde durch die Zugabe eines fluoreszierenden Farbstoffs zur flüssigen Phase visualisiert.
  • Aus der DE 4244619 A1 und der DE 4118628 A1 sind jeweils Membranpumpen bekannt, bei denen eine Membran magnetische Schichtabschnitte aufweist. Magnetische Betätigungsglieder sind in eine Position zu den magnetischen Schichtabschnitten bewegbar, um die Membran zu betätigen.
  • Die Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht darin, eine alternative Möglichkeit zur Betätigung einer flexiblen Membran zum Handhaben von Fluiden zu schaffen.
  • Diese Aufgabe wird durch eine Fluidhandhabungsvorrichtung nach Anspruch 1 und ein Verfahren nach Anspruch 11 gelöst.
  • Die vorliegende Erfindung schafft eine Fluidhandhabungsvorrichtung mit folgenden Merkmalen:
    einem Körper, der eine Fluidhandhabungsstruktur aufweist;
    einer flexiblen Membran, die an dem Körper angebracht ist und ausgelegt ist, um mit einem Fluid in der Fluidhandhabungsstruktur zu interagieren, wobei die Membran eine erste Betätigungskomponente aufweist;
    einer zweiten Betätigungskomponente, wobei die erste und die zweite Betätigungskomponente derart ausgebildet sind, dass dieselben einander in einer ersten Lagebeziehung anziehen oder abstoßen, um die flexible Membran zu betätigen;
    und
    einer Antriebseinrichtung zum Bewegen des Körpers, um die erste und die zweite Betätigungskomponente in die erste und aus der ersten Lagebeziehung zu bringen.
  • Die vorliegende Erfindung schafft ferner ein Verfahren zum Handhaben eines Fluids, mit folgenden Schritten: Bereitstellen eines Körpers, der eine Fluidhandhabungsstruktur aufweist, und einer flexiblen Membran, die an dem Körper angebracht ist und ausgelegt ist, um mit einem Fluid in der Fluidhandhabungsstruktur zu interagieren, wobei die Membran eine erste Betätigungskomponente aufweist; und Bewegen des Körpers, um die erste und die zweite Betätigungskomponente in eine erste und aus der ersten Lagebeziehung zu bringen, in der sich die erste und die zweite Betätigungskomponente anziehen oder abstoßen, um die flexible Membran zu betätigen.
  • Erfindungsgemäß wird somit ein Körper, in dem eine Fluidhandhabungsstruktur gebildet ist, relativ zu einer Betätigungskomponente bewegt, um dadurch eine flexible Membran durch Abstoßung oder Anziehung auszulenken, um dadurch eine Interaktion mit einem Fluid zu bewirken. Die vorliegende Erfindung eignet sich insbesondere zum Handhaben, z.B. Pumpen, von gasförmigen Fluiden auf einem rotierenden Körper, ohne aktive Vorrichtungen, wie z.B. Pumpen, auf dem rotierenden Körper vorsehen zu müssen.
  • Bei Ausführungsbeispielen der Erfindung kann dabei die Fluidhandhabungsstruktur zusammen mit der flexiblen Membran ein mikrofluidisches Ventil oder eine mikrofluidische Pumpe definieren.
  • Bei einem Ausführungsbeispiel der Erfindung sind die erste Betätigungskomponente und die zweite Betätigungskomponente ausgelegt, um eine magnetische Betätigung zu bewirken. Dabei weist die flexible Membran zumindest abschnittsweise ein magnetisches oder magnetisierbares (paramagnetisch oder diamagnetisch) Material, z.B. Metall, auf. Beispielsweise kann die Membran magnetisch passive paramagnetische Stahlplättchen zur Kraftübertragung, um die Membran zu betätigen, aufweisen. Die zweite Betätigungskomponente kann ein statisch angebrachter Magnet sein, so dass die Membran beim Passieren des Magneten ausgelenkt wird.
  • Bei alternativen Ausführungsbeispielen der Erfindung kann die erste Betätigungskomponente ein elektrostatisch anziehbares oder elektrostatisch abstoßbares Material aufweisen, um zusammen mit einer dazupassenden zweiten Betätigungskomponente eine elektrostatische Betätigung zu ermöglichen.
  • Bei Ausführungsbeispielen der Erfindung ist die erste Betätigungskomponente in eine elastische Deckelfolie, die eine Versiegelung mikrofluidischer Kanäle liefert, integriert.
  • Bei einem Ausführungsbeispiel der Erfindung ist die Antriebseinrichtung ausgelegt, um eine Rotation des Körpers mit der daran angebrachten flexiblen Membran zu bewirken, um diesen relativ zu der zweiten Betätigungskomponente, die statisch angebracht sein kann, zu bewirken. Durch die Rotation kann dadurch eine periodische Auslenkung der Membran jeweils beim Passieren der zweiten Betätigungseinrichtung bewirkt werden.
  • Bei einem Ausführungsbeispiel der Erfindung weist die Fluidhandhabungsstruktur eine Kavität auf, in die die Membran beim Betätigen ausgelenkt wird, um dadurch eine Volumenverdrängung zu bewirken.
  • Bei einem Ausführungsbeispiel kann der Körper eine Mehrzahl von Fluidhandhabungsstrukturen aufweisen, denen jeweils flexible Membranen oder ein flexibler Membranabschnitt zugeordnet ist, so dass durch eine Bewegung, beispielsweise eine Rotation, des Körpers relativ zu der zweiten Betätigungskomponente die mehreren Membrane oder die mehreren Membranabschnitte gleichzeitig oder nacheinander ausgelenkt und somit betätigt werden können. Somit kann eine einzelne, zweite Betätigungskomponente zur Betätigung einer Mehrzahl von Membranen oder Membranabschnitten verwendet werden. Wenn die zweite Betätigungskomponente ausreichend groß ist, kann die Mehrzahl von Membranen oder Membranabschnitten auch gleichzeitig betätigt werden.
  • Bei Ausführungsbeispielen der Erfindung ist die Antriebseinrichtung ausgelegt, um eine Rotationsbewegung oder eine beschleunigte Translationsbewegung des Körpers zu be wirken. Bei weiteren Ausführungsbeispielen der Erfindung ist in dem Körper ferner ein Flüssigkeitskanal gebildet, so dass durch die bei der Rotationsbewegung auftretende Zentrifugalkraft oder die bei der beschleunigten Translation auftretende Eulerkraft eine Flüssigkeit durch den Flüssigkeitskanal des Körpers getrieben wird. Der Bewegung des Körpers kommt somit eine Doppelfunktion zu, nämlich zum einen das Betätigen der Membran und zum anderen das Treiben einer Flüssigkeit durch den Flüssigkeitskanal.
  • Die vorliegende Erfindung eignet sich insbesondere zur Handhabung von Gasen auf rotierenden Systemen, auf denen ferner Flüssigkeiten zentrifugal gehandhabt werden. Diesbezüglich kann die vorliegende Erfindung eine vorteilhafte Lösung für das Problem liefern, auf einem rotierenden Körper Gas in einen Flüssigkeitskanal zu pumpen, ohne auf dem Körper eine aktive Gaspumpe, die unabhängig von der Rotation arbeitet, vorsehen zu müssen.
  • Diesbezüglich bilden bei einem Ausführungsbeispiel der Erfindung die Fluidstruktur und die flexible Membran eine Gaspumpe, die durch eine Rotation des Körpers betätigbar ist, um dadurch ein Gas in einen Flüssigkeitskanal, durch den zentrifugal (durch die Rotation) eine Flüssigkeit getrieben wird, zu pumpen. Ein alternatives Prinzip zur Druck-Beaufschlagung auf (gasförmige) Fluide in zentrifugalen Systemen, welches hydrodynamisch unabhängig von der Zentrifugalkraft wirkt, gleichzeitig aber mit der Rotation des mikrofluidischen Substrats sowohl herstellungstechnisch (keine aktiven Elemente) als auch durch die Aktuation über den Drehmotor selbst sehr gut vereinbar ist, ist nicht bekannt. Bei derartigen Ausführungsbeispielen kommt der Rotation somit eine Doppelfunktion zu, zum einem zum zentrifugalen Antrieb von Flüssigkeiten und zum anderen zum Handhaben gasförmiger Fluide, indem eine Betätigung einer flexiblen Membran aufgrund der Rotation bewirkt wird.
  • Die vorliegende Erfindung ermöglicht bei solchen Ausführungsbeispielen insbesondere die Herstellung von Flüssigkeits-Gas-Dispersionen auf einer rotierenden Plattform (Lab-On-A-Disk), die einen zentrifugalen Flüssigkeitsantrieb verwendet. Diesbezüglich ermöglicht die Erfindung eine gerichtete und durch eine Rotation periodisch gesteuerte Verdrängung eines diskreten Gasvolumens auf einer rotierenden Plattform in einen Flüssigkeitskanal, um dadurch in dem Kanal einen segmentierten Fluss, in dem die Flüssigkeit in durch Gasblasen voneinander getrennte Segmente unterteilt ist, zu erzeugen.
  • Bei Ausführungsbeispielen der vorliegenden Erfindung stellt die Betätigung der Membran eine reversible Auslenkung derselben dar, d.h. Membran kehrt nach dem Betätigen derselben in ihre Ausgangslage zurück. Die hierfür erforderliche Rückstellkraft kann durch eine Elastizität der Membran geliefert werden. Alternativ kann eine externe Vorrichtung vorgesehen sein, um diese Rückstellkraft bereitzustellen, beispielsweise eine weitere Betätigungseinrichtung (z.B. ein Magnet), die angeordnet ist, um die Membran aus der ausgelenkten in die Ausgangsstellung zurückzubringen.
  • Bevorzugte Ausführungsbeispiele der vorliegenden Anmeldung werden nachfolgend bezugnehmend auf die beiliegenden Zeichnungen näher erläutert. Es zeigen:
  • 1a eine schematische Draufsicht auf ein Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Fluidhandhabungsvorrichtung;
  • 1b eine schematische Schnittansicht entlang der Linie B-B von 1a;
  • 2 eine schematische Draufsicht auf Fluidhandhabungsstrukturen eines Ausführungsbeispiels einer erfindungsgemäßen Fluidhandhabungsvorrichtung;
  • 3a bis 3d schematische Querschnittansichten entlang der Linie entlang der Linie X-X von 2;
  • 4a schematisch Fluidhandhabungsstrukturen eines Ausführungsbeispiels der Erfindung;
  • 4b vergrößerte Darstellungen eines Mündungsbereichs der in 4a gezeigten Struktur;
  • 4c schematisch Darstellungen zur Veranschaulichung unterschiedlicher Flüssigkeits-Gas-Strömungen; und
  • 5 bis 7 schematische Darstellungen zur Veranschaulichung eines Messprinzip des Pumpdrucks.
  • Bevor auf die Figuren im einzelnen näher eingegangen wird, sei zunächst darauf hingewiesen, dass die Figuren schematischer Natur und somit nicht maßstabsgetreu sind.
  • Das in den 1a und 1b gezeigte Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Handhabungsvorrichtung umfasst ein Substrat 10, in dem eine Fluidhandhabungsstruktur 12 gebildet ist. Auf der Oberseite des Substrats 10 ist, bei dem gezeigten Ausführungsbeispiel ganzflächig, eine flexible Membran 14 angebracht. Die Fluidhandhabungsstruktur 12 und die flexible Membran 14 sind ausgebildet, um eine Interaktion mit einem Fluid zu ermöglichen, wobei dieselben beliebige herkömmliche Fluidikkomponenten, beispielsweise Pumpen oder Ventile, definieren können. Bei dem gezeigten Ausführungsbeispiel bilden das Substrat 10 und die flexible Membran 14 einen Rotationskörper 18, der um eine Rotationsachse 16 rotierbar ist. Alternativ könnten das Substrat und die flexible Membran in einem Modul gebildet sein, das in einen Rotor einsetzbar ist, über den eine Rotation des Moduls bewirkt werden kann.
  • Der Rotationskörper 18 ist über eine Halterung 20 an einer Welle 22 gehalten, die durch einen Motor 24 antreibbar ist. Die Halterung 20, die Welle 22 und der Motor 24 stellen somit eine Antriebseinrichtung dar, die beispielsweise durch eine herkömmliche Zentrifuge gebildet sein kann, die eine gesteuerte Rotation des Rotationskörpers ermöglicht.
  • In der Membran 14 ist oberhalb der Fluidhandhabungsstruktur 12 eine Betätigungskomponente 30 in der Form eines paramagnetischen Stahlplättchens vorgesehen, wobei die Membran 14 in 1a mit Ausnahme der Betätigungskomponente 30 durchsichtig dargestellt ist. Das paramagnetische Stahlplättchen 30 ermöglicht zusammen mit einem Magnet 32 eine Betätigung der Membran 14, indem der oberhalb der Fluidhandhabungsstruktur 12 liegende Bereich der Membran durch den Magneten 32 abgestoßen oder angezogen wird, wenn das Stahlplättchen 30 und der Magnet 32 einander gegenüber angeordnet sind, wie dies in den 1a und 1b gezeigt ist. Wird nun der Rotationskörper 18 relativ zu dem stationären Magneten 32 aus der Lagebeziehung, wie sie in den 1a und 1b gezeigt ist, gedreht, so dass sich das Plättchen 30 und der Magnet 32 nicht mehr gegenüber liegen, so endet die Betätigung und die Membran 14 kehrt in den nicht ausgelenkten Zustand zurück. Somit wird durch Bewegen des Körpers 10 relativ zu dem stationären Magnet 32 die über der Fluidhandhabungsstruktur 12 angeordnete Membran reversibel betätigt.
  • Das Substrat 10 kann aus einem beliebigen geeigneten Material bestehen, beispielsweise Silizium, Keramik, Glas oder einem Polymermaterial. Die Membran kann aus einem beliebigen geeigneten Material, das die erforderliche Flexibilität und gegebenenfalls elastische Rückstellkraft bietet, bestehen, beispielsweise aus Polydimethylsiloxan.
  • Wie in 1a angedeutet ist, kann in dem Substrat 10 ferner eine zweite Fluidhandhabungsstruktur 12' gebildet sein, dem ein Membranabschnitt der Membran 14 zugeordnet ist, in der wiederum eine Betätigungskomponente 30' angeordnet ist. Der über der Fluidhandhabungsstruktur 12' angeordnete Membranbereich kann somit betätigt werden, indem der Rotationskörper 18 aus der gezeigten Lage um 180 Grad gedreht wird, so dass die Betätigungskomponente 30' dem Magnet 32 gegenüber liegt. An dieser Stelle sei angemerkt, dass auch eine größere Anzahl von entsprechenden Strukturen in dem Rotationskörper gebildet sein kann, wobei derselbe vorzugsweise rotationssymmetrisch ausgebildet sein wird. Durch die Rotation des Rotationskörpers 18 über den statischen Magneten kann somit periodisch eine Interaktion mit einem in den entsprechenden Fluidhandhabungsstrukturen befindlichen Fluid getriggert werden.
  • Bei bevorzugten Ausführungsbeispielen der vorliegenden Erfindung sind die Fluidhandhabungsstruktur und der zugeordnete Membranbereich ausgebildet, um eine Pumpe zu implementieren. Ein derartiges Ausführungsbeispiel und dessen Funktionsweise wird nachfolgend bezugnehmend auf die 2 und 3 erläutert.
  • Die Fluidhandhabungsstruktur 40 der Pumpe umfasst dabei eine Ventilkammer 42 mit einem, bei diesem Ausführungsbeispiel, senkrechten Einlass 44 zur Umgebungsluft. Die Ventilkammer 42 ist mit einer Pumpkammer 46 verbunden, die einen in einen Mikrokanal mündenden Auslass 48 aufweist. Diese Fluidhandhabungsstrukturen 40 sind in ein Substrat 50 strukturiert, wie den 3a bis 3d zu entnehmen ist, wobei an dieser Stelle darauf hingewiesen sei, dass dort lediglich ein kleiner Abschnitt des Substrats dargestellt ist. Um den Einlass 44 ist ein erhöhter Ring 52 vorgesehen, der als Ventilsitz dient. Wie in den 3a bis 3d ferner zu sehen ist, kann der Boden der Fluidhandhabungsstrukturen 40 im Bereich der Pumpkammer Strukturierungen aufweisen, die in 2 aus Gründen der Übersichtlichkeit nicht dargestellt sind. Derartige Strukturierungen können beispielsweise einen Anschlag 54 aufweisen.
  • Auf dem Substrat 50 ist die Ventilkammer 42 und die Pumpkammer 46 überdeckend eine flexible Membran 60 vorgesehen, in der in einem der Ventilkammer 42 zugeordneten Membranabschnitt eine erste Betätigungskomponente 62 und in einem der Pumpkammer 46 zugeordneten Membranabschnitt eine zweite Betätigungskomponente 64 gebildet sind. Die Betätigungskomponenten 62 und 64 können beispielsweise durch temporär magnetisierbare Metallplättchen gebildet sein. Die Membran 60 ist in Bereichen außerhalb der Fluidhandhabungsstrukturen an dem Substrat 50 angebracht, wobei die über den Fluidhandhabungsstrukturen angeordneten Bereiche flexibel sind.
  • Der zeitliche Verlauf eines Pumpzyklus ist in den 3a bis 3d dargestellt, die die Bewegung des Substrats 50 relativ zu einem stationären Magneten 66 entlang einer Bewe- gungsrichtung 68 zeigen.
  • Aus einem nicht betätigten Zustand wird das Substrat 50 nach rechts über den Magneten 66 bewegt, wie in 3a gezeigt ist. Dadurch wird das Metallplättchen 62 durch den Magneten 66 angezogen. Dadurch wird der Membranbereich, in dem das Metallplättchen gebildet ist, nach unten ausgelenkt, so dass die Membran 60 auf dem Ventilsitz 52 aufliegt und somit den Einlass 44 verschließt. Die Membran 60, die beispielsweise aus PDMS bestehen kann, dient dabei als dichtendes Element. Wird ausgehend von dieser Situation das Substrat 50 weiter nach rechts bewegt, so gelangt der Magnet 66 unter das zweite Metallplättchen 64, so dass das selbe angezogen wird und der zugeordnete Bereich der Membran nach unten ausgelenkt wird. Somit wird ein festes Volumen eines in der Pumpkammer 46 befindlichen Fluids durch den Auslass 48 aus der Pumpkammer 46 verdrängt, wie durch einen Pfeil 70 in 3b andeutet ist. Hierbei ist das Ventil noch immer geschlossen, da der Magnet 66 nun beide Metallplättchen 62 und 64 nach unten auslenkt.
  • Bei einer weiteren Bewegung nach rechts gibt nunmehr der Magnet 66 das erste Metallplättchen 62 frei, so dass die Membran in dem zugeordneten Bereich entspannt und den Einlass 94 freigibt. Dadurch wird ein Fluidvolumen durch den Einlass 44 angesaugt, wie durch einen Pfeil 72 in 3c gezeigt ist. Anschließend bewegt sich das Substrat 50 weiter nach rechts, so dass auch die Betätigung des dem zweiten Metallplättchen 64 zugeordneten Membranabschnitts endet und sich die Membran auch dort entspannt. Somit nimmt die Pumpkammer wieder ihr ursprüngliches Volumen ein, siehe 3d. Von Bedeutung ist hierbei, das der Pumpkanal, durch den das verdrängte Volumen aus der Pumpkammer 46 gepumpt wird, gegenüber dem Einlass, bei dem gezeigten Beispiel dem senkrechten Ventil, einen hohen fluidischen Widerstand aufweist, so dass in der Gesamtbilanz über einen kompletten Pumpzyklus Nettoluft in den Einlass 44 eingesaugt wird (siehe Pfeile 42 und 74 in den 3c und 3d) und aus dem Ausstoß 48 ausgestoßen wird.
  • Um die Entspannung der Membran zu unterstützen, können die Betätigungskomponenten als Federplättchen, beispielsweise Federstahlplättchen, ausgebildet sein.
  • Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung zur Erzeugung eines segmentierten Flüssigkeits-Gas-Flusses wird nun bezugnehmend auf die 4a bis 4c beschrieben. Dabei kann beispielsweise eine Pumpe, wie sie oben bezugnehmend auf die 2 und 3 beschrieben wurde, verwendet werden. Alternativ könnte eine andere mikrofluidische Pumpe verwendet werden, die durch das Auslenken einer Membran betätigbar ist und mit Ausnahme der Betätigung der Membran nach einem herkömmlichen Prinzip arbeitet, z.B. eine peristaltische Pumpe oder eine Pumpe, die eine Pumpkammer mit Rückschlagventilen an einem Einlass und an einem Auslass der Pumpkammer verwendet.
  • 4 zeigt schematisch eine Draufsicht auf einen Rotationskörper 80, der eine Pumpe, wie sie oben bezugnehmend auf die 2 und 3 beschrieben wurde, mit Ventilkammer 42, Pumpkammer 46, Auslass 48 und Betätigungskomponenten 62 und 64 aufweist.
  • Der Auslass 48 ist mit einem Fluidkanal 82 verbunden, der in einen Flüssigkeitskanal 84 mündet. Bei einer Rotation des Rotationskörpers 80 um eine Rotationsachse 86 wird Flüssigkeit aus einem Reservoirbereich 88 durch den Flüssigkeitskanal 84 zentrifugal nach außen getrieben. In einem gegebenen Frequenz-Arbeitsbereich wird bei jeder Rotation der Pumpe über den ortsfesten Magneten (siehe 66 in den 3a bis 3d) ein von der Pumpe verdrängtes Gas-Volumen in den Flüssigkeitsfluss durch den Flüssigkeitskanal 84 eingepumpt und entlang des Kanals 84 radial nach außen abgeführt. Vergrößerte Darstellungen der Mündungsstelle zwischen Gaskanal 82 und Flüssigkeitskanal 84 sind dabei in 4b gezeigt. Durch die Zentrifugalkraft wird ein kontinuierlicher Flüssigkeitsfluss 90 durch den Flüssigkeitskanal 84 radial nach außen bewirkt. Beim Betätigen der Pumpe wird durch den Kanal 82 ein Gasvolumen 92 in den Kanal 84 eingepumpt, wie der mittleren Darstellung von 4b zu entnehmen ist, das dann als Gasblase 94 durch die darauffolgende Flüssigkeit in den Kanal 84 radial nach außen getrieben wird, wie in der unteren Darstellung von 4b gezeigt ist. Dadurch ist es möglich, segmentierte Gas-Flüssigkeits-Flüsse herzustellen, die sich durch entlang des Kanals sequentiell angeordnete Flüssigkeits- und Gas-Segmente auszeichnen.
  • Werden mehrere Magneten entlang des Orbits der Pumpe positioniert, so kann die Anzahl der pro Umdrehung erzeugten Gasblasen gesteigert und auch die Länge der Flüssigkeitssegmente entlang des Kanals eingestellt werden. Dies ist in den Teilbildern der 4c dargestellt, die unter anderem fotographische Aufnahmen des Flüssigkeitskanals 84 nach der Einmündung des Fluidkanals 82 zeigen, wobei das Rechteck 100 in den Teilbildern die Kameraposition darstellt, während die Rechtecke 102 Magnetpositionen darstellen. Bei ei ner Rotation im Uhrzeigersinn mit einer Rotationsfrequenz von ν = 10 Hz erfolgt ein periodisches Einpumpen einer jeweiligen Luftmenge in einen kontinuierlich fließenden Flüssigkeitsstrom 104. Die Gasblasen sind in 4c jeweils mit den Bezugszeichen 106 bezeichnet. Wie zu erkennen ist wird die Flüssigkeit entlang des Kanals durch die Gasblasen in voneinander räumlich getrennte Segmente unterteilt, wobei die Länge der Flüssigkeitssegmente durch die Position und Anzahl der Magneten 102 eingestellt werden kann.
  • Die 5 bis 7 zeigen die experimentelle Charakterisierung der oben bezugnehmend auf die 2 und 3 beschriebenen Mikropumpe. Dabei wurde der Auslass der mikrofluidischen Pumpe 40 mit einem U-förmigen Kanal 110 verbunden, und ein mit Tinte gefärbtes Wasser 102 wurde in den U-förmigen Kanal eingefüllt. Ohne Magnet unter der Pumpe, also ohne eine Aktuation der Pumpe, wirkt dann unter Rotation (siehe Zeile ν in 5) nur die radial nach außen gerichtete Zentrifugalkraft Fν, welche die zwei Wasser-Luft-Menisken in den beiden symmetrischen Armen des Kanals auf gleicher Höhe austariert.
  • Wird nun der Magnet unter der rotierenden Scheibe, in der die genannten Strukturen gebildet sind, so positioniert, dass die Pumpe ihn während der Rotation passiert, so kommt es pro Umdrehung zu einer Druckerhöhung, die gegebenenfalls zu einer Auslenkung der Wassersäule in Richtung des rechten Kanalarmes führt. Wird diese periodische Auslenkung nun an einer festen Winkelposition kurz nach Passieren des Magneten stroboskopisch beobachtet, so ergibt sich eine quasi statische Höhendifferenz der beiden Grenzflächen, welche dem von der Pumpe verdrängten, fest definierten (so lange eine komplette Auslenkung in der Pumpkammer vorausgesetzt wird) Gasvolumen unter Berücksichtung der Kompressibilität entspricht. Je höher die Rotationsfrequenz ν ist, desto größer wird der (hydrostatische) Druck, den dieser Füllstandsunterschied erzeugt, und der von der Pumpe aufgebracht werden muss.
  • Entsprechende stroboskopische Aufnahmen für unterschiedliche Rotationsfrequenzen von 10 Hz, 17, 5 Hz und 30 Hz sind in 6 gezeigt. Ferner sind in 7 der Füllstandsunterschied Δr und der diesem Unterschied entsprechende zentrifugale Druck p über der Rotationsfrequenz ν dargestellt.
  • Alternativ zu der oben beschriebenen Pumpe könnte der erfindungsgemäße Lösungsansatz zusammen mit einer Pumpe, wie sie in der WO 97/10435 A2 beschrieben ist, verwendet werden. Die dort beschriebene Ventilpumpe umfasst einen Pumpenkörper und eine auslenkbare Membran, die derart ausgebildet sind, dass zwischen denselben eine Pumpkammer, die über eine erste und eine zweite Öffnung mit einem Einlass und einem Auslass fluidmäßig verbindbar ist, definiert ist. Ein elastischer Puffer grenzt an die Pumpkammer an. Die auslenkbare Membran verschließt die erste Öffnung, wenn sie in der ersten Einstellung ist, und lässt die erste Öffnung offen, wenn sie in der zweiten Einstellung ist. Beim Öffnen der ersten Öffnung wird zunächst kein Fluid in die beiden Öffnungen eingesaugt, sondern es wird lediglich der Puffer ausgelenkt. Bei der Entspannung des Puffers wird Fluid durch die beiden Öffnungen eingesaugt. Danach wird die erste Öffnung wieder geschlossen, wobei sich wiederum das verdrängte Volumen im Puffer speichert. Im letzten Schritt entspannt sich der Puffer erneut und das in demselben „gespeicherte" Volumen wird durch die zweite Öffnung ausgestoßen, da die erste Öffnung verschlossen ist. Somit kommt es zu einem Nettofluss von der ersten Öffnung zu der zweiten Öffnung.
  • Die Offenbarung der WO 97/10435 A2 hinsichtlich des Aufbaus und der Funktionalität einer solchen Pumpe wird hiermit durch Bezugnahme aufgenommen.
  • Beim erfindungsgemäßen Einsatz würde die Membran einer solchen Pumpe statt der in der WO 97/10435 A2 gelehrten piezoelektrischen Betätigung betätigt werden, indem die Membran mit einer entsprechenden Betätigungskomponente ausgestattet wird und der Ventilkörper dann auf die erfindungsgemäße Weise relativ zu einer dazu passenden Betätigungskomponente bewegt wird, so dass die zum Erreichen der Pumpwirkung erforderliche Auslenkung der Membran auftritt.
  • Ein weiteres Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Fluidhandhabungsvorrichtung ist ein fluidisches Ventil. Dabei wird wiederum eine in eine Membran integrierte Betätigungskomponente, beispielsweise ein paramagnetisches Metallplättchen, beim Passieren einer statischen zweiten Betätigungskomponente, beispielsweise eines statischen Permanentmagneten, ausgelenkt. In Folge dieser Auslenkung wird der Verschluss einer Ventilöffnung herbeigeführt. Auf diese Weise lassen sich Flüssigkeitsströme während des kurzen Moments des Passierens unterbrechen und somit periodisch schalten. Alternativ dazu ist eine normal geschlossene Version eines solchen Ventils denkbar. Dabei wird die Membran über dem Ventilsitz im nicht-angeregten Zustand vorgespannt. Bei einer magnetisch bewirkten Auslenkung bewegt sich die Membran vom Ventilsitz und das Ventil öffnet sich vorübergehend.
  • Die oben beschriebenen Ausführungsbeispiele arbeiten unter Verwendung einer magnetischen Anziehung, um eine Auslenkung einer flexiblen Membran und somit eine Betätigung zu bewirken, wobei die in der Membran angeordnete Betätigungskomponente kein Permanentmagnet ist. Der Betrieb des Elektromagneten kann beispielsweise mit der Rotation des die Fluidhandhabungsstruktur enthaltenden Körpers synchronisiert sein, so dass immer dann, wenn die Betätigungskomponente der flexiblen Membran den selben passiert, das erforderliche Magnetfeld bereitgestellt wird.
  • Vorzugsweise stellt dabei die stationäre Betätigungskomponente einen Magnetfeldgeber dar, der beispielsweise durch einen Permanentmagneten oder einen Elektromagneten implementiert sein kann.
  • Bei Verwendung eines Permanentmagneten kann die aus erster und zweiter Betätigungskomponente bestehende Betätigungseinrichtung deaktiviert (bzw. ausgeschaltet) werden, indem die zweite Betätigungskomponente derart entfernt wird (beispielsweise bei dem in 1b gezeigten Beispiel nach unten bewegt wird), dass die erste und zweite Betätigungskomponente durch die Bewegung der ersten Betätigungskomponente nicht mehr in die erste Lagebeziehung gebracht werden. Diesbezüglich kann bei Ausführungsbeispielen der vorliegenden Erfindung eine Handhabungseinrichtung vorgesehen sein, die die zweite Betätigungskomponente zwischen einer inaktiven und einer aktiven Position bewegen kann.
  • Alternativ kann ein Permanentmagnet in der Membran vorgesehen sein, wobei dann eine Auslenkung der Membran durch eine magnetische Anziehung oder eine magnetische Abstoßung realisiert werden kann.
  • Bei Verwendung eines Elektromagneten kann ein Aktivieren und Deaktivieren der Betätigungseinrichtung einfach durch Ein- und Abschalten des Elektromagneten bewirkt werden. Ferner ermöglicht die Verwendung eines Elektromagneten auch auf einfache Weise eine beliebige Modulation des durch denselben erzeugten Magnetfelds.
  • Alternativ zu einer magnetischen Anziehung oder Abstoßung kann die vorliegende Erfindung auch unter Verwendung einer elektrostatischen Anziehung oder Abstoßung implementiert werden, wobei entsprechende Vorrichtungen vorzusehen sind, um die hierfür erforderlichen Ladungen auf die Betätigungskomponente der flexiblen Membran und die stationäre Betätigungskomponente aufzubringen.

Claims (13)

  1. Fluidhandhabungsvorrichtung mit folgenden Merkmalen: einem Körper (10; 50; 80), der eine Fluidhandhabungsstruktur (12; 40) aufweist; einer flexiblen Membran (14; 60), die an dem Körper (10; 50; 80) angebracht ist und ausgelegt ist, um mit einem Fluid in der Fluidhandhabungsstruktur zu interagieren, wobei die Membran (14; 60) eine erste Betätigungskomponente (30; 62; 64) aufweist; einer zweiten Betätigungskomponente (32; 66), wobei die erste und die zweite Betätigungskomponente derart ausgebildet sind, dass dieselben einander in einer ersten Lagebeziehung anziehen oder abstoßen, um die flexible Membran (14; 60) zu betätigen; und einer Antriebseinrichtung (20, 22, 24) zum Bewegen des Körpers (10; 50; 80), um die erste und die zweite Betätigungskomponente in die erste und aus der ersten Lagebeziehung zu bringen.
  2. Fluidhandhabungsvorrichtung nach Anspruch 1, bei der die Antriebseinrichtung (20, 22, 24) ausgelegt ist, um eine Rotationsbewegung oder eine beschleunigte Translation des Körpers (10; 50; 80) zu bewirken, um die erste und die zweite Betätigungskomponente in und aus der ersten Lagebeziehung zu bringen.
  3. Fluidhandhabungsvorrichtung nach Anspruch 2, bei der der Körper ferner einen Flüssigkeitskanal aufweist, wobei die Antriebseinrichtung ausgelegt ist, um den Körper so zu bewegen, dass neben der Betätigung der flexiblen Membran ferner eine Flüssigkeit durch den Flüssigkeitskanal getrieben wird.
  4. Fluidhandhabungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, bei der die Fluidhandhabungsstruktur und die flexible Membran ein Ventil bilden, wobei die Fluidhandhabungsstruktur einen Fluiddurchlass aufweist, der durch die Betätigung der flexiblen Membran geöffnet oder geschlossen werden kann.
  5. Fluidhandhabungsvorrichtung nach Anspruch 3, bei der die Fluidhandhabungsstruktur (12; 40) und die flexible Membran (14; 60) eine Fluidpumpe bilden, die ausgelegt ist, um durch die Betätigung der flexiblen Membran (14; 60) ein Fluid zu pumpen.
  6. Fluidhandhabungsvorrichtung nach Anspruch 5, bei der die Fluidpumpe mit dem Flüssigkeitskanal (84) fluidisch verbunden ist, so dass durch die Bewegung des Körpers (80) durch die Antriebseinrichtung mittels der Fluidpumpe ein Fluid in die Flüssigkeit im Flüssigkeitskanal (84) gepumpt wird.
  7. Fluidhandhabungsvorrichtung nach Anspruch 6, die eine oder mehrere zweite Betätigungskomponenten aufweist, wobei die Antriebseinrichtung ausgelegt ist, um die erste Betätigungskomponente (62, 64) sequentiell in die erste Lagebeziehung mit der oder den zweiten Betätigungskomponenten zu bringen, so dass mehrere voneinander getrennte Fluidbereiche in einer Flüssigkeit, die durch den Flüssigkeitskanal getrieben wird, erzeugt werden.
  8. Fluidhandhabungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, bei der der Körper eine Mehrzahl von Fluidhandhabungsstrukturen (42, 46) aufweist, denen jeweils eine flexible Membran 60 oder ein flexibler Membranbereich mit einer ersten Betätigungskomponente (62, 64) zugeordnet ist, wobei die Vorrichtung derart ausgelegt ist, dass gleichzeitig oder sequentiell die Mehrzahl von flexiblen Membranen oder flexiblen Membranbereichen durch die zweite Betätigungskomponente (66) betätigbar sind.
  9. Fluidhandhabungsvorrichtung nach Anspruch 8, bei der die Fluidhandhabungsstrukturen eine Ventilkammer (42) und eine Pumpkammer (46) definieren, die fluidisch verbunden sind, wobei die Ventilkammer (46) eine Einlassöffnung (44) aufweist und wobei die Pumpkammer einen Auslass (48) aufweist, wobei an die Ventilkammer (42) und die Pumpkammer (46) flexible Membranbereiche angrenzen, die jeweils eine erste Betätigungskomponente aufweisen, wobei die Antriebseinrichtung ausgelegt ist, um den Körper derart an der zweiten Betätigungskomponente vorbei zu bewegen, dass durch Betätigen der der Ventilkammer (42) zugeordneten Betätigungskomponente (62), die Einlassöffnung (44) verschlossen wird und nachfolgend durch Betätigen der der Pumpkammer (46) zugeordneten Betätigungskomponente (46) ein Fluidvolumen durch den Auslass (48) ausgestoßen wird, während die der Ventilkammer (42) zugeordnete Betätigungskomponente (62) betätigt bleibt.
  10. Fluidhandhabungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 9, bei der die erste und zweite Betätigungskomponente ausgelegt sind, um durch magnetische oder elektrostatische Anziehung oder Abstoßung die Membran zu betätigen.
  11. Verfahren zum Handhaben eines Fluids, mit folgenden Schritten: Bereitstellen eines Körpers (10; 50; 80), der eine Fluidhandhabungsstruktur (12; 40) aufweist, und einer flexiblen Membran (14; 60), die an dem Körper (10; 50; 80) angebracht ist und ausgelegt ist, um mit einem Fluid in der Fluidhandhabungsstruktur zu interagieren, wobei die Membran (14; 60) eine erste Betätigungskomponente (30; 62; 64) aufweist; und Bewegen des Körpers (10; 50; 80), um die erste und die zweite Betätigungskomponente in eine erste und aus einer ersten Lagebeziehung zu bringen, in der sich die erste und die zweite Betätigungskomponente anziehen oder abstoßen, um die flexible Membran (14; 60) zu betätigen.
  12. Verfahren nach Anspruch 11, bei der die Bewegung des Körpers (10; 50; 80) eine Rotationsbewegung oder eine beschleunigte Translation des Körpers (10; 50; 80) umfasst, um die erste und die zweite Betätigungskomponente in und aus der ersten Lagebeziehung zu bringen, wobei durch eine durch die Rotationsbewegung bewirkte Zentrifugalkraft oder durch eine durch die beschleunigte Translation bewirkte Eulerkraft eine Flüssigkeit durch einen Flüssigkeitskanal des Körpers getrieben wird.
  13. Verfahren nach Anspruch 11, bei dem die Fluidhandhabungsstruktur (40) und die flexible Membran (60) eine Fluidpumpe definieren, die einen Auslass (48) aufweist, der mit einem Flüssigkeitskanal (84) verbunden ist, und wobei der Schritt des Bewegens des Körpers (80) einen Schritt des Rotierens desselben aufweist, so dass durch das Rotieren eine Flüssigkeit zentrifugal durch den Flüssigkeitskanal (84) getrieben wird, und durch das Rotieren die flexible Membran (60) betätigt wird, um ein Fluid in die Flüssigkeit in den Flüssigkeitskanal (84) zu pumpen.
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