DE4223067A1

DE4223067A1 - Mikromechanischer Durchflußbegrenzer in Mehrschichtenstruktur

Info

Publication number: DE4223067A1
Application number: DE19924223067
Authority: DE
Inventors: Juergen Dipl Ing Joswig
Original assignee: Individual
Current assignee: Technische Universitaet Dresden
Priority date: 1992-07-14
Filing date: 1992-07-14
Publication date: 1994-01-20
Anticipated expiration: 2012-07-15
Also published as: DE4223067C2

Description

Die Erfindung betrifft einen mikromechanischen Durchflußbe grenzer in Mehrschichtenstruktur, insbesondere für kleine Durchflußmengen, der im wesentlichen aus mindestens drei, un lösbar miteinander verbundenen Schichten besteht, die mit einem Betätigungselement gekoppelt sind und wobei zwischen einer Grund- und einer Deckschicht mindestens eine membran artige Zwischenschicht mit flächenartigen Strukturierungen in Form von Ein- und Auslaßkanälen und Ein- und Auslaßkammern und einem mittigen Durchgang für den Durchfluß des Mediums ange ordnet ist.

Derartige Durchflußbegrenzer sind außer in der Medizintechnik überall dort einsetzbar, wo vorgegebene Flüssigkeits- oder Gasmengen in einem bestimmten Zeitregime an bestimmte Orte transportiert werden müssen, wie es beispielsweise auch in der Labor- und Analysetechnik, in der Kfz- sowie der Luft- und Raumfahrttechnik und bei pneumatischen Steuerungen der Fall ist. Dazu dienen immer komplizierter werdende Steuersysteme, die den Durchfluß freigeben bzw. sperren und so die Medienmen ge, die während der Öffnungsphasen die Steuereinrichtung pas sieren, regeln.

Oftmals wird bei solchen Einrichtungen gefordert, daß der Druck am Applikationsort den Innendruck des Fluids nicht über steigt, so daß ein Rückströmen ausgeschlossen ist.

Bei vielen Anwendungsfällen erfordert es die notwendige Si cherheit, daß auch bei Ausfall eines Bauelementes sowohl ein Rückströmen als auch eine unkontrollierte Abgabe des Mediums unterbleibt. Von besonderer Bedeutung sind derartige Eigen schaften z. B. bei medizinischen Infusionssystemen, da hier oftmals das Leben eines Patienten von der korrekten Dosierung des Infusates abhängt. Ein Rückströmen muß aufgrund der Gefahr von Mikroembolien unbedingt verhindert werden.

Es sind mikromechanische Durchflußbegrenzer in Form von mikro mechanischen Ventilen bekannt, die in Mehrschichtenstruktur mittels Fertigungstechniken, wie sie in der Halbleitertechnik eingesetzt werden, hergestellt werden. Die strukturierte Zwi schenschicht besteht vorzugsweise aus monokristallinem Silizi um, während die Grund- und die Deckschicht aus Silizium oder thermisch an das Silizium angepaßten Werkstoffen, z. B. Glas bestehen. Die Schichten werden unlösbar miteinander verbun den. Von außen ist an einer der Schichten ein piezoelektri sches, thermoelektrisches oder elektrostatisches Betätigungs element so angeordnet, daß die Schicht in diesem Bereich als Membran wirkt. Mit Ansteuerung durch das Betätigungselement werden Membran und Zwischenschicht, die unlösbar miteinander verbunden sind, ausgelenkt und der Durchfluß von Einlaß- in Auslaßkammer durch den Durchgang in der Zwischenschicht wird frei. Damit ist die Funktion des Ventils abhängig von der Antriebsspannung des Betätigungselementes, das Ventil kann jederzeit von außen geöffnet oder geschlossen werden.

Nachteilig an dieser Lösung ist, daß das Ventil nicht für alle der eingangs beschriebenen Anwendungsfälle geeignet ist, son dern nur dann, wenn lediglich eine gezielte zeitliche Dosie rung des Mediums von Bedeutung ist.

Es ist deshalb Aufgabe der Erfindung, einen mit großer Zuver lässigkeit arbeitenden mikromechanischen Durchflußbegrenzer in Mehrschichtenstruktur zu schaffen, mit welchem ein übermäßiges Rückfließen des Mediums infolge veränderter Druckverhältnisse verhindert werden kann und welches vor zu hohen Durchflüssen schützt. Je nach Einsatzfall soll er auch einen zeitlich do sierten Durchfluß des Mediums gestatten.

Erfindungsgemäß wird die Aufgabe dadurch gelöst, daß der mi kromechanische Durchflußbegrenzer als passiver Durchflußbe grenzer arbeitet und so angeordnet ist, daß das durch den Einlaßkanal in die Einlaßkammer einströmende Medium den Durch fluß durch Durchgang, Auslaßkammer und Auslaßkanal dadurch verändert, daß es während seines Durchflusses die membranarti ge Zwischenschicht in Richtung Auslaßkammer drückt. Dabei ist die Größe der Auslenkung der Zwischenschicht abhängig von der Durchflußmenge des Mediums und dem dadurch erzeugten Druck. Bei zu hohen Durchflußmengen wird die membranartige Zwischen schicht gegen die Innenfläche der Grundschicht gedrückt und so der Durchfluß unterbrochen. Das Betätigungselement ist so angeordnet, daß es lediglich dazu dient, die jeweils maximale Durchflußmenge einzustellen. Mit dem Ein- und/oder Auslaßkanal ist außerdem je nach Einsatzfall mindestens ein weiteres mi kromechanisches Element in Mehrschichtenstruktur verbunden.

Nach einer Ausführungsform der erfindungsgemäßen Lösung ist im Bereich der Einlaßkammer um den Durchgang in der membranarti gen Zwischenschicht ein oberer Wall und im Bereich der Aus laßkammer um den Durchgang in der membranartigen Zwischen schicht ein unterer Wall angeordnet.

Bei einer weiteren Fortbildung der Erfindung ist in Grund- und Deckschicht im Bereich der Wälle je eine Aussparung eingear beitet, die so dimensioniert ist, daß sie im geöffneten Zu stand des Durchflußbegrenzers den kontinuierlichen Durchfluß des Mediums über Einlaßkanal, Einlaßkammer und Durchgang in die Auslaßkammer gewährleistet und mit Erreichen der maximalen Durchflußmenge ein instabiler Zustand erreicht wird, in dessen Folge sich der jeweilige Wall an der Innenfläche der Grund bzw. Deckschicht dicht anlegt.

Nach einer weiteren erfindungsgemäßen Ausführungsform kann der Rückfluß des durchströmenden Mediums dadurch vollständig ver hindert werden, daß die Aussparung in der Deckschicht entfällt und der obere Wall der membranartigen Zwischenschicht so di mensioniert ist, daß er im Ruhezustand an der Innenfläche der Deckschicht dicht anliegt.

Des weiteren sind die den Innenflächen von Grund- oder Deck schicht gegenüberliegenden Flächen der beiden Wälle zusätzlich mit einer Oberflächenschicht aus nichtbondbarem Material über zogen. Dabei können je nach Einsatzfall in die aus nichtbond barem Material bestehenden Oberflächenschichten schmale radia le Kanäle eingearbeitet sein, die ein Ansaugen der Wälle ver hindern.

Nach einer anderen Ausführung der Erfindung ist das Betäti gungselement derart angeordnet, daß es an der Außenfläche der Grundschicht im Bereich ihrer Aussparung befestigt ist, so daß die Grundschicht in diesem Bereich eine membranartige Fläche bildet. Durch eine Auslenkung der membranartigen Fläche ändert sich die Spaltbreite und damit der maximale Durchfluß.

Die erfindungsgemäße Lösung gestattet außerdem, daß der Durch flußbegrenzer auch ohne Betätigungselement einsetzbar ist.

Zusätzlich können zur Funktionsüberwachung in mindestens einer der Schichten im Bereich des oberen bzw. unteren Walls Schalt kontakte oder Sensoren einer Detektoreinheit angeordnet sein, die außerhalb des Durchflußbegrenzers mit einer Anzeigeeinheit verbunden werden und die Lage der membranartigen Zwischen schicht überwachen.

Nach einer weiteren Fortbildung der Erfindung ist mit dem Ein- oder Auslaßkanal ein mikromechanisches Element gekoppelt, das mittels aktiver Ansteuerung den Durchfluß des Mediums zeitlich variabel zu- bzw. abschaltet.

Dabei ist vorgesehen, daß als aktives mikromechanisches Element vorzugsweise ein mikromecha nisches Ventil für mikromechanische Dosiereinrichtungen nach der deutschen Patentanmeldung P 41 38 491.1-12 eingesetzt wird.

Die erfindungsgemäße Lösung soll nachfolgend anhand von Aus führungsbeispielen näher erläutert werden. Die Zeichnungen zeigen dabei in

Fig. 1 den prinzipiellen Aufbau des erfindungsgemäßen Durchflußbegrenzers ohne weiteres mikromechani sche Element und ohne Betätigungselement im Ruhe zustand,

Fig. 2 den Durchflußbegrenzer nach Fig. 1 im durchflos senen Zustand,

Fig. 3 den Durchflußbegrenzer nach Fig. 1 im Endzustand und mit angeordnetem Betätigungselement,

Fig. 4 eine schematische Darstellung eines rückflußfreien Durchflußbegrenzers mit eingebautem Detektor,

Fig. 5 den vergrößerten Ausschnitt A nach Fig. 4 und

Fig. 6 den Durchflußbegrenzer nach Fig. 1 mit angekoppel tem mikromechanischen Ventil.

Nach Fig. 1 besteht der erfindungsgemäße mikromechanische Durchflußbegrenzer im wesentlichen aus drei übereinander angeordneten Schichten. Die Grundschicht 1 und die Deckschicht 2 bestehen vorzugsweise aus Silizium oder aus einem an Silizi um thermisch angepaßten Glasmaterial. Die Zwischenschicht 3 ist aus einem Siliziumsubstrat gefertigt. Die drei Schichten sind mittels anodischem oder Waferbonden untrennbar mitein ander verbunden. Grund- und Deckschicht 1, 2 sind im wesentli chen gleich groß ausgebildet. Die membranartige Zwischen schicht weist beidseitig strukturierte Flächen auf, die einen Einlaßkanal 4, eine Einlaßkammer 5, eine Auslaßkammer 6 und einen Auslaßkanal 7 bilden. Des weiteren weist die membran artige Zwischenschicht 3 einen mittigen Durchgang 8 auf, durch den das Medium im geöffneten Zustand hindurchströmen kann. Rings um den Durchgang 8 sind in die Einlaßkammer 5 ragend an der membranartigen Zwischenschicht 3 ein oberer Wall 9 und in die Auslaßkammer 6 ragend ein unterer Wall 10 angeordnet.

Die Grundschicht 1 und die Deckschicht 2 weisen im Bereich der Wälle 9 und 10 je eine Aussparung 11 und 12 auf, deren Tiefe abhängig ist von der maximal möglichen Auslenkung der membran artigen Zwischenschicht 3. Ihre Breite wurde so gewählt, daß ein ungehinderter Durchfluß des Mediums möglich ist und daß gleichzeitig die verbleibende Schichtdicke im Bereich der Aussparungen 11 und 12 als membranartige Fläche für ein Betä tigungselement 13, welches von außen an der Grundschicht 1 bzw. der Deckschicht 2 befestigt ist, dienen kann.

Im Ausgangszustand befindet sich der untere Wall 10 der mem branartigen Zwischenschicht 3, wie aus Fig. 1 ersichtlich, unmittelbar über der Aussparung 11 und der obere Wall 9 un mittelbar unter der Aussparung 12. Um zu verhindern, daß wäh rend des Bondprozeßes bei der Herstellung des Durchflußbegren zers die beiden Wälle 9, 10 unlösbar mit der Grund- bzw. Deck schicht 1, 2 verbunden werden, weisen die zu der jeweiligen Schicht 1, 2 gerichteten Flächen der Wälle 9, 10 einen dünnen Überzug aus einem nichtbondbarem Material, wie zum Beispiel Siliziumoxid oder Siliziumnitrit, auf. Um ein Ansaugen der membranartigen Zwischenschicht 3 bzw. der Wälle 9, 10 während des Betriebes zu verhindern, können die Überzüge zusätzlich schmale, radiale, kanalartige Strukturen aufweisen. Diese ent fallen, wenn Wert auf absolute Dichtheit gelegt wird.

Die Funktionsweise des mikromechanischen Durchflußbegrenzers ist aus den Fig. 2 und 3 ersichtlich. Ein geringer positiver Druck, der infolge des einströmenden Mediums in die Einlaßkam mer 4 entsteht, bewirkt, daß die membranartige Zwischenschicht 3 in Richtung Auslaßkammer 6 ausgelenkt wird, der obere Wall 9 gibt den Durchfluß zunehmend frei. Der Druck über der mem branartigen Zwischenschicht 3 ist in diesem Falle eine Funk tion des Durchflusses.

Mit steigender Durchflußmenge, damit mit steigendem Druck, wird die membranartige Zwischenschicht 3 immer mehr in Rich tung Grundschicht 1 verformt. Solange der in der Einlaßkammer 4 gebildete Spalt zwischen Innenwand der Deckschicht 2 und oberem Wall 9 kleiner ist, als der Spalt zwischen unterem Wall 10 und Aussparung 11 in der Grundschicht 1, nimmt der Durch flußwiderstand ab.

Erhöht sich die Durchflußmenge und damit der Druck über einen vorbestimmten Wert, wird die membranartige Zwischenschicht 3 über den kritischen Punkt, der den maximalen Durchfluß ermög licht, hinaus verformt. Der in diesem Fall in erster Linie vom verbleibenden Spalt zwischen unterem Wall 10 und Aussparung 11 bestimmte Durchgangswiderstand steigt stark an, so daß auch der Druck über der membranartigen Zwischenschicht 3 stark steigt und den unteren Wall 10 in seine Endstellung drückt. Damit ist der Durchfluß unterbrochen. Somit wird passiv, das heißt ohne äußeren Einfluß ein kontinuierlicher Durchfluß eines Mediums gewährleistet, wobei der Durchfluß immer nur dann unterbrochen wird, wenn sich die Durchflußmenge ungewollt über ein bestimmtes Maß erhöht.

Um den Durchflußbegrenzer aus diesem Zustand heraus wieder zu öffnen, muß der auf die membranartige Zwischenschicht 3 wir kende Druck unter den Rücksetzdruck gesenkt werden.

Für solche Einsatzfälle, die eine genaue Begrenzung der maxi mal zulässigen Durchflußmenge oder eine ständig wechselnde maximale Durchflußmenge erfordern, ist es notwendig, zusätz lich von außen die maximale Durchflußmenge zu steuern. Dazu ist, wie Fig. 3 zeigt, an der Deckschicht 2 im Bereich der Aussparung 12 ein Betätigungselement 13 in Form einer Piezo scheibe, eines elektrostatischen oder eines thermoelektrischen Membrananregungselementes, befestigt. Die Befestigung des Betätigungselementes 13 kann zum Beispiel durch Aufkleben auf die Außenfläche der Deckschicht 2 vorgenommen werden. Die Anordnung eines solchen Betätigungselementes 13 , wie in Fig. 3 gezeigt, ist ebenso an der Grundschicht 1 im Bereich der Aussparung 11 möglich. Je nach angelegter Antriebsspannung, die in Abhängigkeit von der gewünschten maximalen Durchfluß menge variabel einstellbar ist, wird das Betätigungselement wirksam und lenkt die als Membran wirkende Grundschicht 1 innerhalb der Aussparung 11 aus und verändert die zur Verfü gung stehende Spaltbreite. Es ist möglich, zu jeder beliebigen Zeit, auch während des kontinuierlichen Durchflusses des Medi ums die maximale Durchflußmenge einzustellen.

Fig. 4 und 5 zeigen, wie der aktuelle Zustand des Durchflußbe grenzers zwecks Erhöhung der Sicherheit und zur Einbindung in komplexe Mikrosysteme ständig überprüft werden kann. Dazu sind in eine der Schichten 1, 2, hier in die Deckschicht 2, unmit telbar auf bzw. über dem oberen Wall 9 Schaltkontakte oder Sensoren 14 eingearbeitet. Diese Sensoren 14 können auf piezo resistiver Grundlage, d. h. durch Überwachung der vom Wall 10 bzw. 9 im geschlossenen Zustand in die Grund- bzw. Deckschicht 1 bzw. 2 eingeprägten mechanischen Spannungen basieren. Die aktuelle Zustandsüberprüfung kann auch durch Überwachung der vom Abstand zwischen Wall 10 bzw. 9 und Grund- bzw. Deck schicht 1 bzw. 2 abhängigen Stärke eines elektrischen Feldes, welches durch eine Kontaktspannung zwischen Wall 10 bzw. 9 und Grund- bzw. Deckschicht 1 bzw. 2 erzeugt wird, erfolgen. Diese Variante ist in Fig. 5 dargestellt.

Aus Fig. 4 ist weiterhin ersichtlich, daß der Durchflußbegren zer auch ohne Aussparung 12 eingesetzt werden kann. Diese Variante ist für den Fall vorgesehen, daß ein Rückfließen des durchströmenden Mediums vollständig verhindert werden muß.

Um zu erreichen, daß der Durchflußbegrenzer aus dem geschlos senen Zustand schnell wieder arbeitsbereit wird und auch, um zu erreichen, daß der Durchflußbegrenzer dort eingesetzt wer den kann, wo variable Ein- und Ausschaltzeiten erforderlich sind, wird, wie in Fig. 6 dargestellt ist, der Durchflußbe grenzer in Kombination mit einem mikromechanischen Ventil 21 für mikromechanische Dosiereinrichtungen eingesetzt, dessen Betätigungselement 22 die aktive Steuerung der Ventilmembran 23 übernimmt. Das Ventil 21 ist mit dem Einlaßkanal 4 des Durchflußbegrenzers verbunden und weist im wesentlichen den gleichen Grundaufbau in Mehrschichtenstruktur auf, so daß beide Elemente auf vorteilhafte Art und Weise herstellbar sind und auch ihre Größe den Anforderungen an die Miniaturisierung nicht zuwider läuft. Die Patentanmeldung P 41 38 491.1-12 beschreibt Aufbau und Funktion des mikromechanischen Ventils 21.

Um die universelle Einsetzbarkeit des mikromechanischen Durch flußbegrenzers noch zu erhöhen, ist es auch möglich, weitere mikromechanische Elemente mit dem Durchflußbegrenzer zu kop peln. Dies ist durch Verbindung weiterer mikromechanischer Elemente sowohl mit dem Einlaßkanal 4 als auch mit dem Aus laßkanal 7 des Durchflußbegrenzers denkbar. Ebenso ist es möglich, gleichzeitig an beide Kanäle 4, 7 weitere mikromecha nische Elemente anzuschließen.

Die Anordnung des mikromechanischen Durchflußbegrenzers be wirkt, daß das durchfließende Medium weder in den Wirkungs bereich elektrischer noch magnetischer Felder gerät.

Vorstellbar ist auch, den mikromechanischen Durchflußbegrenzer aus drei einzeln gefertigten Kunststoffschichten herzustellen, die die Grundschicht 1, Deckschicht 2 und membranartige Zwi schenschicht 3 bilden und unlösbar miteinander verbunden wer den.

Bezugszeichenliste

1 Grundschicht
2 Deckschicht
3 membranartige Zwischenschicht
4 Einlaßkanal
5 Einlaßkammer
6 Auslaßkammer
7 Auslaßkanal
8 mittiger Durchgang
9 oberer Wall
10 unterer Wall
11 Aussparung
12 Aussparung
13 Betätigungselement
14 Sensor
21 mikromechanisches Ventil
22 Betätigungselement
23 Ventilmembran

Claims

1. Mikromechanischer Durchflußbegrenzer in Mehrschichten struktur, insbesondere für kleine Durchflußmengen, im wesentlichen bestehend aus mindestens drei, unlösbar mit einander verbundenen Schichten, die mit einem Betätigungs element gekoppelt sind und wobei zwischen einer Grund- und einer Deckschicht mindestens eine membranartige Zwischen schicht mit flächenartigen Strukturierungen in Form von Ein- und Auslaßkanälen und Ein- und Auslaßkammern und einem mittigen Durchgang für den Durchfluß des Mediums angeordnet ist, dadurch gekennzeich net, daß der mikromechanische Durchflußbegrenzer als passiver Durchflußbegrenzer arbeitet und so angeordnet ist, daß das durch den Einlaßkanal (4) in die Einlaßkammer (5) einströmende Medium den Durchfluß durch Durchgang (8), Auslaßkammer (6) und Auslaßkanal (7) dadurch verändert, daß es während seines Durchflusses die membranartige Zwi schenschicht (3) in Richtung Auslaßkammer (6) drückt, wobei die Größe der Auslenkung der Zwischenschicht (3) abhängig ist von der Durchflußmenge des Mediums und dem dadurch erzeugten Druck und daß bei zu hohen Durchflußmen gen die membranartige Zwischenschicht (3) gegen die Innen fläche der Grundschicht (1) gedrückt wird und den Durch fluß unterbricht;
daß das Betätigungselement (13) so angeordnet ist, daß es lediglich dazu dient, die jeweils maximale Durchflußmenge einzustellen;
und daß mit dem Ein- und/oder Auslaßkanal (4, 7) je nach Einsatzfall mindestens ein weiteres mikromechanisches Ele ment (21) in Mehrschichtenstruktur verbunden ist.

2. Mikromechanischer Durchflußbegrenzer nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß im Be reich der Einlaßkammer (5) um den Durchgang (8) in der membranartigen Zwischenschicht (3) ein oberer Wall (9) und im Bereich der Auslaßkammer (6) um den Durchgang (8) in der membranartigen Zwischenschicht (3) ein unterer Wall (10) angeordnet ist.

3. Mikromechanischer Durchflußbegrenzer nach Anspruch 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß in die Grundschicht (1) im Bereich des unteren Walles (10) eine Aussparung (11) eingearbeitet ist, die so dimensio niert ist, daß sie im geöffneten Zustand des Durchflußbe grenzers den kontinuierlichen Durchfluß des Mediums über Einlaßkanal (4), Einlaßkammer (5) und mittiger Durchgang (8) in die Auslaßkammer (6) gewährleistet, daß sich bei Überschreiten der maximalen Durchflußmenge der untere Wall (10) an der Innenfläche der Grundschicht (1) dicht anlegt und daß in die Deckschicht (2) im Bereich des oberen Wal les (9) eine Aussparung (12) eingearbeitet ist, die in gleicher Weise den Rückfluß begrenzt.

4. Mikromechanischer Durchflußbegrenzer nach Anspruch 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Rückfluß des durchströmenden Mediums dadurch vollständig verhindert werden kann, daß die Aussparung (12) der Deck schicht (2) entfällt und der obere Wall (9) der membran artigen Zwischenschicht (3) so dimensioniert ist, daß er im Ruhezustand an der Innenfläche der Deckschicht (2) dicht anliegt.

5. Mikromechanischer Durchflußbegrenzer nach Anspruch 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die den Innenflächen von Grund- oder Deckschicht (1; 2) gegen überliegenden Flächen der beiden Wälle (9; 10) mit einer Oberflächenschicht aus nichtbondbarem Material überzogen sind.

6. Mikromechanischer Durchflußbegrenzer nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß je nach Einsatzfall in die aus nichtbondbarem Material bestehenden Oberflächenschichten schmale, radiale Kanäle eingearbeitet sind.

7. Mikromechanischer Durchflußbegrenzer nach Anspruch 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß das Betätigungselement (13) derart angeordnet ist, daß es an der Außenfläche der Grundschicht (1) im Bereich ihrer Aussparung (11) befestigt ist, so daß die Grundschicht (1) in diesem Bereich eine membranartige Fläche bildet, deren Zentrum in Richtung der Flächennormalen beweglich ist.

8. Mikromechanischer Durchflußbegrenzer nach einem der An sprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeich net, daß der Durchflußbegrenzer ohne Betätigungselement (12) einsetzbar ist.

9. Mikromechanischer Durchflußbegrenzer nach einem der An sprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeich net, daß zur Funktionsüberwachung in mindestens einer der Schichten (1; 2; 3) im Bereich des oberen bzw. unteren Walls (9; 10) Schaltkontakte oder Sensoren (13) einer De tektoreinheit angeordnet sind, die außerhalb des Durch flußbegrenzers mit einer Anzeigeeinheit verbunden sind.

10. Mikromechanischer Durchflußbegrenzer nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß mit dem Ein- oder Auslaßkanal (4; 7) ein mikromechanisches Element gekoppelt ist, das mittels aktiver Ansteuerung den Durch fluß des Mediums zeitlich variabel zu- bzw. abschaltet.

11. Mikromechanischer Durchflußbegrenzer nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß als aktives mikromechanisches Element vorzugsweise ein mikro mechanisches Ventil (21) für mikromechanische Dosierein richtungen nach der deutschen Patentanmeldung P 41 38 491.1-12 eingesetzt wird.