KR20010110303A

KR20010110303A - 활성에너지선 조사 방법 및 장치

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Publication number: KR20010110303A
Application number: KR1020017007327A
Authority: KR
Inventors: 도미나가히로시; 기자끼아끼히꼬; 이이다야스오; 오자끼구니히꼬
Original assignee: 나가시마 므쓰오; 도요 잉키 세이조 가부시끼가이샤
Priority date: 1999-10-12
Filing date: 2000-10-11
Publication date: 2001-12-12
Also published as: US6727508B1; AU778181B2; US6930315B2; US20040178363A1; WO2001026803A1; AU7683600A; DE10083500T1; TW487647B

Abstract

반송입구로부터 피조사물을 반입한 후, 활성에너지선 조사부에서, 불활성가스 분위기하에서, 피조사물에 활성에너지선을 조사하고, 반송출구로부터 피조사물을 반출하는 때에, 반송출입구의 기체유동저항을 제어하여, 반송입구를 통과하는 기체량을 X, 반송출구를 통과하는 기체량을 Y 로 했을 때, X/Y ≥1 의 조건으로 활성에너지선의 조사를 행한다.

Description

활성에너지선 조사 방법 및 장치 {METHOD AND APPARATUS FOR IRRADIATING ACTIVE ENERGY RAY}

근년, 전자선, 자외선 등의 활성에너지선 조사에 의해 경화하는 도료, 인쇄잉크, 접착제 등은, 종래의 열경화 건조형의 도료, 인쇄잉크, 접착제 등과 비교하여 처리속도의 고속화, 무용제에 의한 무공해화, 활성에너지선 조사장치의 소형화 등의 이점을 갖는 점에서 실용화되게 되었다. 활성에너지선 조사에 있어서는, 불활성가스 분위기하에서 조사가 실행되는 것이 많지만, 반응성가스에 의한 조사도 검토되고 있다. 이하에서는, 불활성가스 분위기에서의 조사를 중심으로 설명한다.

도료, 인쇄잉크, 접착제 등의 중에는, 그 조사 분위기가 질소가스 등의 불활성가스 분위기가 아니면 산소에 의한 경화 저해를 일으켜 경화하지 않는 것도 있다. 이와 같은 경우, 조사실내에 불활성가스를 공급하여 조사실내의 분위기를 불활성가스로 치환하여 활성에너지선을 조사할 필요가 발생한다. 그러나, 예컨대, 피조사물이 웨브와 같이 연속되어 있는 경우, 반송 출입구는 폐쇄할 수 없으므로, 처리속도의 고속화에 따라 웨브에 감겨져 조사실내로 침입하는 공기량이 증대하여 조사실내의 불활성분위기 순도를 악화시킨다. 그 대책으로서 불활성가스 사용량을 어쩔 수 없이 증가시키게 되기 때문에, 결과적으로 런닝코스트의 증대 등, 중요한 문제로 되고 있다.

이와 같은 문제를 해결하기 위해, 예컨대 일본공개특허공보 소48-86930 호 에 기재된 발명은, 피조사물의 조사실 반송출구는 닙롤로 막고, 반송입구에 불활성가스 분사기 및 복수개의 격실을 설치하고, 상기 격실에는 가스배출관을 설치함으로써, 공기의 침입을 방지하여, 조사실내의 산소농도를 수% 이하로 유지할 수 있다고 되어 있다.

일본공개특허공보 평5-60899 호에 기재된 발명은, 피조사물의 반송통로를 따라, 피조사물의 표면을 향하여 불활성가스를 불어넣는 복수의 노즐과, 피조사물의 반송을 가이드하는 롤의 적어도 일부분을 감싸는 반송덕트를 형성함으로써, 조사영역을 불활성분위기로 하기 위한 불활성가스의 이용효율을 높일 수 있다고 되어 있다.

일본공개특허공보 소60-90762 호에 기재된 발명은, 반송입구를 인쇄기 실린더로 밀봉하고, 그리고 반송출구를 1 쌍의 롤로 밀봉한 조사실내에 불활성가스 공급부와 이 조사실 근방에 가스배기부를 설치함으로써, 불활성가스의 사용량을 저감하고, 또한 고속에서의 처리가 가능해지는 것으로 되어 있다.

일본공개특허공보 평9-138300 호에 기재된 발명은, 반입구에 반송롤을 배치함으로써, 개구가 적어져 불활성가스의 공급을 적게 할 수 있고, 또한 연속하여 반송되는 피조사물의, 흐름에 의해 발생하는 떨림을 없앨 수 있다고 되어 있다.

그러나 상기와 같은 구성에서는, 조사실내에 공급하는 불활성가스 외에, 조사실 전후의 어느 일방 또는 양방에 설치되는 불활성가스 분사노즐에도 불활성가스를 공급하지 않으면 안되어, 전체적인 불활성가스의 사용량의 증가를 초래하고 있다.

또, 가스배출관을 설치할 경우에 있어서는, 조사실내 분위기를 제어하기 위해서는, 불활성가스의 공급량과 가스배출량과의 균형을 꾀하는 것이 곤란하고, 밸런스가 매우 나쁜 경우에는, 오히려 불활성가스 사용량이 증대하는 문제가 있다. 또,불활성가스 분사노즐로부터 유속이 빠른 불활성가스를 분사시킨 경우, 노즐근방의 압력을 부압으로 유지해버려, 반송출입구나 조사실 주위의 간극 등으로부터 공기를 불어넣어, 산소농도가 원하는 농도이하로 되지 않는다는 문제도 있다. 또, 롤에 커버를 설치하지 않은 장치에서는 불활성가스의 누설이 많아진다는 결점도 있다.

또한, 불활성가스 공급부 및 가스배출부를 갖는 것이나, 특히 인쇄기와 일체형으로 하는 것, 또는 조사실 전측 격실을 설치하는 것 등으로 장치가 커져버리는 점에서, 치환해야하는 장치용적이 증대되어, 결과적으로 불활성가스 사용량을 저하시킬 수 없게 되어버린다. 또, 반송입구를 인쇄기의 실린더로 밀봉할 경우, 인쇄기와 활성에너지선 조사장치가 세트로 된 형태로 제공되어야 하므로, 기존의 인쇄기에 활성에너지선 조사장치를 추가하는 것은 현실적으로 곤란하다.

다시말하면, 종래의 활성에너지선 조사 방법 또는 장치에서는, 기체유동저항을 높게 하는 연구는 있지만, 반송출입구를 통과하는 기체량을 제어하는 개념은 없고, 기체유동저항의 밸런스가 나쁜 경우에는, 불활성가스 분위기로 하기 위한 불활성가스량이 증대되기 어려웠다.

또, 조사실내가 부압으로 유지된 경우에는, 반송출입구나 조사실 주위의 간극 등으로부터 공기를 불어넣어, 조사실내 분위기가 충분히 치환되지 않아, 산소농도가 원하는 농도 이하로 되지 않는다는 문제도 있다.

본 발명은 활성에너지선 조사실내에서의 조사처리에 있어서, 불활성가스 또는 반응성가스 분위기를 필요로 하는 경우의 활성에너지선을 피조사물에 조사하는 방법 및 장치에 관한 것이다.

도 1 은 본 발명의 제 1 실시형태에 관련되는 활성에너지선 조사장치를 나타낸 개략단면도이다.

도 2 는 활성에너지선 조사장치에 사용되는 반송덕트의 일례를 나타낸 개략단면도이다.

도 3 은 활성에너지선 조사장치에 사용되는 반송덕트의 다른 예를 나타낸 개략단면도이다.

도 4 는 활성에너지선 조사장치에 사용되는 반송덕트의 또 다른 예를 나타낸개략단면도이다.

도 5 는 본 발명의 제 1 실시형태에 관련되는 활성에너지선 조사장치의 다른 예를 나타낸 개략단면도이다.

도 6 은 활성에너지선 조사장치에 사용되는 반송덕트의 또 다른 예를 나타낸 개략단면도이다.

도 7 은 본 발명의 제 2 실시형태에 관련되는 활성에너지선 조사장치를 나타낸 개략단면도이다.

도 8 은 본 발명의 제 2 실시형태에 관련되는 활성에너지선 조사장치의 다른 예를 나타낸 개략단면도이다.

도 9 는 반송속도를 200 m/min, 반송입구높이를 2 ㎜ 로 고정하고, 반송출구높이를 5 ㎜ 및 0 ㎜ 로 변화시킨 경우의 질소가스유량과 산소농도와의 관계, 및 질소가스유량과 차압과의 관계를 나타내는 그래프이다.

도 10 은 반송속도를 200 m/min, 반송입구높이를 5 ㎜ 로 고정하고, 반송출구높이를 5 ㎜ 및 0 ㎜ 로 변화시킨 경우의 질소가스유량과 산소농도와의 관계, 및 질소가스유량과 차압과의 관계를 나타낸 그래프이다.

도 11 은 반송속도를 150 m/min, 반송입구높이를 2 ㎜ 로 고정하고, 반송출구높이를 5 ㎜ 및 0 ㎜ 로 변화시킨 경우의 질소가스유량과 산소농도와의 관계, 및 질소가스유량과 차압과의 관계를 나타낸 그래프이다.

도 12 는 반송속도를 150 m/min, 반송입구높이를 5 ㎜ 로 고정하고, 반송출구높이를 5 ㎜ 및 0 ㎜ 로 변화시킨 경우의 질소가스유량과 산소농도와의 관계, 및질소가스유량과 차압과의 관계를 나타낸 그래프이다.

본 발명의 목적은, 활성에너지선을 조사하는 경우에, 효율적으로 조사실내의 가스치환을 행할 수 있는 활성에너지선 조사 방법 및 장치를 제공하는 것에 있다.

또, 이와 같은 활성에너지선 조사장치에 사용되는 반송덕트를 제공하는 것을 목적으로 한다,

또한, 조사실내의 분위기를 안정적으로 유지할 수 있는 활성에너지선 조사 방법 및 장치를 제공하는 것에 있다.

본 발명자들은 상기 목적을 달성하기 위해 실험을 행한 결과, 피조사물을 어느 반송속도로 조사실내에 반송하는 계(系) 또는 피조사물을 실질적으로 연속하여 조사실내에 반송하는 계에 있어서, 소량의 치환가스 사용량으로 조사실내의 가스분위기를 치환하기 위해서는, 예컨대 소량의 불활성가스 사용량으로 조사실내의 산소농도를 낮게 안정적으로 유지하기 위해서는, 활성에너지 조사실내부에 치환가스, 예컨대, 불활성가스를 도입하여, 반송출구의 기체유동저항을 반송입구의 기체유동저항 이상으로 하는 것이 유효하고, 반송출구의 기체유동저항을 반송입구보다 크게 하는 것이 특히 유효한 것을 발견하였다.

또, 이와 같은 것을 달성할 수 있는 장치에 있어서, 반송입구 및/또는 반송출구에 불활성가스 또는 반응성가스의 유동저항을 발생시키는 구조로서,

1. 반송덕트를 통과하는 피조사물의 표리(表裏)중 어느 일방에 반송롤 및 그 반송롤의 적어도 일부를 감싸는 구조의 롤커버를 갖고, 추가로 타방에 1 장 이상의 격벽을 설치하여 이루어지는 반송덕트

2. 반송덕트를 통과하는 피조사물의 표리중 어느 일방에 반송롤과 그 반송롤의 적어도 일부를 감싸는 구조의 롤커버를 갖고, 타방에 반송롤의 형상에 맞춰, 피조사물 및 반송롤을 감싸는 구조의 커버를 배치하여 이루어지는 반송덕트

3. 반송덕트를 통과하는 피조사물의 표리중 어느 일방에 반송롤과 그 반송롤의 적어도 일부를 감싸는 구조의 롤커버를 갖고, 추가로 타방에 닙롤과 이 닙롤을 감싸는 롤커버를 배치하여 이루어지는 반송덕트

가 유효한 것을 발견하였다. 다시말하면, 이상과 같은 3 개의 구조의 덕트를 사용함으로써, 소형이면서, 기체유동저항을 유효하게 제어할 수 있고, 또한 활성에너지선을 유효하게 차폐할 수 있는 것을 발견하였다. 이와 같은 덕트를 사용함으로써, 종래보다 적은 불활성가스 사용량으로 조사실내의 산소농도를 낮게 안정적으로 유지할 수 있음과 동시에 X 선 등의 활성에너지선 차폐를 자기(自己)의 케이스로 행하는 것이 가능하다.

또한, 기체유동저항이란, 기체에 대한 유동저항으로, 이 유동저항이 클수록기체가 흐르기 어려워진다.

또, 본 발명자들은 다른 실험을 행한 결과, 피조사물을 어느 일정한 반송속도로 조사실내에 반송한 경우, 조사실내의 분위기를 안정적으로 유지하기 위해서는 (예컨대, 조사실내를 산소농도가 낮은 안정한 불활성가스 분위기로 유지하기 위해서는), 조사실내와 조사실외 (실외는 통상, 대기) 와의 차압이 정압, 다시말하면 조사실내의 기압이 조사실외의 기압보다 높은 상태로 되는 것, 나아가서는, 그 상태로 일정하게 되는 것이 유효한 것을 발견하였다.

본 발명은 이상과 같은 지견에 의거하여 이루어진 것이다.

본 발명의 제 1 관점에 의하면, 활성에너지선을 조사하는 조사실의 반송입구로부터 피조사물을 반입하여, 활성에너지선 조사부에서, 불활성가스 또는 반응성가스 분위기하에서, 피조사물에 활성에너지선을 조사하고, 반송출구로부터 피조사물을 반출하는 활성에너지선 조사방법으로, 반송출입구의 기체유동저항을 제어함으로써, 반송입구를 통과하는 기체량을 X, 반송출구를 통과하는 기체량을 Y 로 했을 때에 X/Y ≥1 의 조건이 되도록 하여, 그 상태에서 활성에너지선의 조사를 행하는 활성에너지선 조사방법이 제공된다.

본 발명의 제 2 관점에 의하면, 피조사물을 반입하는 반송입구 및 피조사물을 반출하는 반송출구를 갖고, 피조사물에 활성에너지선을 조사하기 위한 조사실과, 상기 조사실내에서 피조사물에 활성에너지선을 조사하는 조사장치와, 상기 조사실내에 불활성가스 또는 반응성가스를 공급하여 조사실을 불활성가스 분위기 또는 반응성가스 분위기로 하는 가스공급기구를 구비하고, 상기 조사실은, 상기 조사장치로부터의 활성에너지선을 피조사물에 조사하는 조사부와, 상기 반송입구를 통과하는 기체량을 X, 상기 반송출구를 통과하는 기체량을 Y 로 했을 때에 X/Y≥1 의 조건이 되는 기체유동저항체를 갖는 반송덕트를 갖는 활성에너지선 조사장치가 제공된다.

이들의 구성에 의하면 종래보다 적은 가스사용량으로 조사실내의 공기를 치환하는 것이 가능하다. 불활성가스를 공급하는 경우에는, 적은 불활성가스 사용량으로 조사실내의 산소농도를 낮게 안정적으로 유지할 수 있다.

특히, X/Y〉1 의 조건으로 조사를 행함으로써, 피조사물의 반송속도가 큰 경우이더라도, 보다 적은 가스사용량으로 조사실내의 공기를 치환할 수 있다.

본 발명의 제 3 관점에 의하면, 피조사물을 반입하는 반송입구 및 피조사물을 반출하는 반송출구를 갖는 조사실과, 조사실내에서 피조사물에 활성에너지선을 조사하는 조사장치와, 상기 조사실내에 불활성가스 또는 반응성가스를 공급하여 조사실을 불활성가스 분위기 또는 반응성가스 분위기로 하는 가스공급기구를 구비하고, 상기 조사실은, 상기 조사장치로부터의 활성에너지선을 피조사물에 조사하는 조사부와, 상기 반송입구측에 설치된 반입측 반송덕트와, 상기 반송출구측에 설치된 반출측 반송덕트를 갖고, 상기 반출측 반송덕트의 기체유동저항이 상기 반입측 반송덕트의 기체유동저항 이상인 활성에너지선 조사장치가 제공된다.

이와 같은 구성에 의해서도 보다 적은 가스사용량으로 조사실내의 공기를 치환할 수 있다.

본 발명의 제 4 관점에 의하면, 피조사물을 반입하는 반송입구 및 피조사물을 반출하는 반송출구를 갖는 조사실과, 조사실내에서 피조사물에 활성에너지선을 조사하는 조사장치와, 상기 조사실내에 불활성가스 또는 반응성가스를 공급하여 조사실을 불활성가스 분위기 또는 반응성가스 분위기로 하는 가스공급기구를 구비하고, 상기 조사실은, 상기 조사장치로부터의 활성에너지선을 피조사물에 조사하는 조사부와, 상기 반송입구측에 설치된 반입측 반송덕트와, 상기 반송출구측에 설치된 반출측 반송덕트를 갖고, 상기 반입측 반송덕트는, 그곳을 통과하는 피조사물의 표리중 어느 일방측에 반송롤 및 그 반송롤의 적어도 일부를 감싸는 구조의 롤커버를 갖고, 타방측에 1 장 이상의 격벽, 또는 상기 반송롤의 형상에 맞춰 배치된, 피조사물 및 반송롤을 감싸는 구조의 커버를 갖는 기체유동저항체를 갖고, 상기 반출측 반송덕트는, 그곳을 통과하는 피조사물의 표리중 어느 일방측에 반송롤 및 그 반송롤의 적어도 일부를 감싸는 구조의 롤커버를 갖고, 타방측에 닙롤과 이 닙롤을 감싸는 롤커버를 배치하여 이루어지는 기체의 유동저항체를 갖고, 상기 반출측 반송덕트의 기체유동저항이 상기 반입측 반송덕트의 기체유동저항보다 큰 활성에너지선 조사장치가 제공된다.

본 발명의 제 5 관점에 의하면, 통과하는 피조사물의 표리중 어느 일방측에 반송롤 및 그 반송롤의 적어도 일부를 감싸는 구조의 롤커버를 갖고, 타방측에 1 장 이상의 격벽을 설치하여 이루어지는 기체의 유동저항체를 갖는 활성에너지선 조사장치용 반송덕트가 제공된다.

본 발명의 제 6 관점에 의하면, 통과하는 피조사물의 표리중 어느 일방측에 반송롤 및 그 반송롤의 적어도 일부를 감싸는 구조의 롤커버를 갖고, 타방측에 반송롤의 형상에 맞춰, 피조사물 및 반송롤을 감싸는 구조의 커버를 배치하여 이루어지는 기체의 유동저항체를 갖는 활성에너지선 조사장치용 반송덕트가 제공된다.

상기 제 5 관점 및 제 6 관점의 반송덕트에 의하면 피조사물의 떨림에 의한 접촉이 없어 기체유동저항의 제어를 엄밀하게 실행하는 것이 가능한데다, X 선 등의 활성에너지선 차폐를 실행하는 것이 가능하여, 소형인 활성에너지선 조사장치를 제공하는 것이 가능하다.

본 발명의 제 7 관점에 의하면, 통과하는 피조사물의 표리중 어느 일방측에 반송롤 및 그 반송롤의 적어도 일부를 감싸는 구조의 롤커버를 갖고, 타방측에 닙롤 및 그 닙롤을 감싸는 롤커버를 배치하여 이루어지는 기체의 유동저항체를 갖는 활성에너지선 조사장치용 반송덕트가 제공된다.

이 구성에 의해서도, 기체유동저항의 제어를 엄밀하게 실행하는 것이 가능한데다, X 선 등의 활성에너지선 차폐를 실행하는 것이 가능하여, 소형인 활성에너지선 조사장치를 제공하는 것이 가능하다. 이 경우에, 1 쌍의 닙롤의 배치를 피조사물이 조사실을 통과하는 라인보다 오프셋하고, X 선 등의 활성에너지선의 직진경로를 없애는 위치에 설치함으로써 X 선 등의 활성에너지선 차폐를 더욱 효과적으로 실행할 수 있다.

본 발명의 제 8 관점에 의하면, 활성에너지선을 조사하는 조사실에 불활성가스 또는 반응성가스를 공급하여 그 분위기를 형성하고, 조사실의 반송입구로부터 피조사물을 반입하고, 활성에너지선 조사부에서 활성에너지선을 조사하여, 반송출구로부터 피조사물을 반출하는 활성에너지선 조사방법으로,

조사실내 및 조사실외의 기압을 측정하여, 조사실내 및 조사실외의 차압의 값에 의거하여, 불활성가스 또는 반응성가스의 공급을 조정하는 것을 특징으로 하는 활성에너지선 조사방법이 제공된다.

본 발명의 제 9 관점에 의하면, 활성에너지선을 조사하는 조사실에 불활성가스 또는 반응성가스를 공급하여 그 분위기를 형성하고, 조사실의 반송입구로부터 피조사물을 반입하고, 활성에너지선 조사부에서 활성에너지선을 조사하고, 반송출구로부터 피조사물을 반출하는 활성에너지선 조사방법으로, 조사실내 및 조사실외의 기압을 측정하고, 조사실내 및 조사실외의 차압의 값에 의거하여, 반송입구 및/또는 반송출구의 개구부의 크기를 조정하는 활성에너지선 조사방법이 제공된다.

본 발명의 제 10 관점에 의하면, 피조사물을 반입하는 반송입구 및 피조사물을 반출하는 반송출구를 갖고, 피조사물에 활성에너지선을 조사하기 위한 조사실과, 상기 조사실내에서 피조사물에 활성에너지선을 조사하는 조사장치와, 피조사물을 반송하는 반송기구와, 상기 조사실내에 불활성가스 또는 반응성가스를 공급하는 가스공급기구와, 상기 조사실내 및 조사실외의 기압의 차이를 측정하는 차압측정장치와, 상기 차압측정장치에 의해 측정된 차압의 값에 의거하여, (a) 불활성가스의 공급, (b) 반송입구 및/또는 반송출구의 개구부의 크기, (c) 피조사물의 반송속도 중 적어도 1 종을 조정하는 기구를 구비하는 활성에너지선 조사장치가 제공된다.

제 11 관점에 의하면, 피조사물을 반입하는 반송입구 및 피조사물을 반출하는 반송출구를 갖고, 피조사물에 활성에너지선을 조사하기 위한 조사실과, 상기 조사실내에서 피조사물에 활성에너지선을 조사하는 조사장치와, 피조사물을 반송하는반송기구와, 상기 조사실내에 불활성가스 또는 반응성가스를 공급하는 가스공급기구와 상기 조사실내 및 조사실외의 기압의 차이를 측정하는 차압측정장치와, 불활성가스의 공급량을 조정하는 공급량조정기구와, 반송입구 및/또는 반송출구의 개구부의 크기를 조정하는 개구조정기구와, 피조사물의 반송속도를 조정하는 속도조정기구를 구비하고, 상기 차압측정장치에 의해 측정된 차압의 값에 의거하여, 상기 공급량조정기구, 상기 개구조정기구 및 상기 속도조정기구 중 적어도 하나에 의한 조정을 실행하는 활성에너지선 조사장치가 제공된다.

상기 제 8 관점으로부터 제 11 관점에 관련되는 활성에너지선 조사장치에 있어서는, 조사실내와 조사실외 (통상은 대기) 와의 차압을 측정함으로써, 조사실내의 분위기, 예컨대, 불활성분위기를 안정적으로 유지할 수 있다. 또, 종래 산소농도계로 실행하였던 불활성분위기의 관리 등을 보다 간편하고 저렴한 미차압계(微差壓計)를 사용하여 실행할 수 있으므로, 장치의 비용절감을 꾀할 수 있다.

이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명의 실시형태에 대하여 구체적으로 설명한다.

(제 1 실시형태)

도 1 은 본 발명의 제 1 실시형태에 관련되는 활성에너지선 조사장치의 개략단면도이다. 이 활성에너지선 조사장치는, 피조사부에 활성에너지선을 조사하기 위한 조사실 (1) 과, 이 조사실 (1) 내에서 피조사물 (10) 에 활성에너지선을 조사하는 조사유닛 (조사장치 ; 2) 과, 조사실 (1) 내에 불활성가스 공급관 (4) 을 통하여 불활성가스를 공급하는 불활성가스 공급기구 (3) 를 갖고 있다.

조사실 (1) 은, 피조사물 (10) 을 연속적으로 반입하는 반송입구 (5) 와, 연속적으로 반출하는 반송출구 (6) 를 갖고 있고, 조사유닛 (2) 으로부터의 활성에너지선 (7) 을 피조사물 (10) 에 조사하는 조사부 (8) 와, 반송입구 (5) 측의 반입측 반송덕트 (9a) 와, 반송출구 (6) 측의 반출측 반송덕트 (9b) 로 구성되어 있다.

이들 반송덕트 (9a, 9b) 는, 각각 기체유동저항을 제어하는 기체유동저항체 (11) 와, 피조사물 (10) 을 반송하는 반송롤 (12) 과, 반송롤 (12) 을 감싸는 롤커버 (13) 를 갖고 있다. 일방측 (도면에서는 반송입구측) 의 반송롤 (12) 은 구동기구 (14) 에 의해 구동되어도 된다.

기체유동저항체 (11) 는, 도 2 에 나타낸 바와 같이 반송롤 (12) 을 감싸는 커버구조 (11a) 를 갖는 것이나, 도 3 에 나타낸 바와 같이 반송롤 (12) 상에 1 장이상, 바람직하게는 3 장 이상의 격벽 (11b) 을 나열한 것을 적합하게 사용할 수 있다. 또한, 격벽은, 기체의 유동저항을 높이기 위한 구조 또는 장치로, 실질적인 기체의 차단성, 다시말하면, 기체의 통과에 저항하고, 또한 실질적으로 외부와의 기체의 차단성을 갖는 것이다.

이와 같은 구조로 하면, 도 1 에 나타낸 기체유동저항체 (11) 와 반송롤 (12) 과의 클리어런스 (a) 또는 그 클리어런스가 이루는 거리 (L) 를 제어함으로써, 또는 기체유동저항체 (11) 가 격벽 (11b) 을 갖는 경우에는 그 매수를 제어함으로써 임의의 기체유동저항을 얻는 것이 가능해진다. 즉, 클리어런스 (간격, 간극 ; a), 거리 (L) 의 크기, 격벽의 매수 등의 적어도 1 종 또는 2 종 이상의 조합을 적용함으로써 기체유동저항을 제어할 수 있다.

반송출입구 (5, 6) 에 설치한 반송덕트 (9a, 9b) 내를 통과하는 기체의 유량을 계측함으로써, 기체유동저항의 비를 구할 수 있다. 즉, 불활성가스 공급기구 (3) 로부터 불활성가스 공급관 (4) 을 통하여 조사실 (1) 내로 공급되는 불활성가스는, 반송출입구 (5, 6) 의 반송덕트 (9a, 9b) 에 설정된 개개의 기체유동저항체 (11) 의 기체유동저항에 의해, 조사실 (1) 내부에서, 반송입구 (5) 측으로 배출되는 불활성가스와 반송출구측으로 배출되는 불활성가스로 일정한 비율로 분배된다. 여기에서 반송입구 (5) 측으로 배출되는 불활성가스의 유량을 X[L/min], 반송출구 (6) 측으로 배출되는 불활성가스의 유량을 Y[L/min] 로 하면, 분배비 (C) 는 C=X/Y 로 나타난다.

본 실시형태에서는, 이 분배비 (C) 를 1 이상으로 설정한다. 이로써 불활성가스를 효율적으로 조사실 (1) 내의 가스치환에 이용할 수 있어, 적은 불활성가스 사용량으로 안정적이고 고순도인 불활성가스 분위기를 제공하는 것이 가능해진다. 분배비 (C) 는 1 보다 큰 것이 바람직하다. 이로써, 피조사물 (10) 의 반송속도가 커도, 보다 적은 불활성가스 사용량으로 안정적이고 고순도인 불활성가스분위기를 제공하는 것이 가능해진다. 분배비 (C) 의 더욱 바람직한 범위는 1.5 이상이다.

또한, 분배비 (C) 는 반송덕트 (9a, 9b) 를 통과하는 기체통과량의 비로, 활성에너지선을 조사하는 조사유닛 (2) 에 설치된 다른 가스배출기구 등으로 부터 배출하는 기체를 조금도 제한하는 것은 아니다.

기체유동저항체 (11) 와 반송롤 (12) 과의 사이의 클리어런스 (a) 는 피조사물의 두께 등을 고려하여 적당히 설계할 수 있지만, 클리어런스를 너무 크게 취하면 조사부 (8) 를 불활성가스분위기로 유지하는데 충분한 기체유동저항을 얻을 수 없게 되기 때문에, 클리어런스의 크기는 피조사물 표면으로부터 5 ㎜ 이하가 바람직하고, 2 ㎜ 이하가 보다 바람직하다.

또, 기체유동저항체 (11) 는, 조사유닛 (2) 으로부터 조사되는 활성에너지선 또는 조사에 의해 이차적으로 발생하는 활성에너지선 (X 선 등) 등이 누설되지 않도록 설계할 필요가 있다. 즉, 기체유동저항체 (11) 는, 활성에너지선 또는 조사에 의해 이차적으로 발생하는 활성에너지선을 차폐하는 기능도 겸비하고 있을 필요가 있다.

이와 같은 관점을 고려하여, 기체유동저항체 (11) 가 반송롤 (12) 에 덮이는각도 (θ) 를 설정한다. 이 각도 (θ) 는, 반송라인의 허용도를 고려하여 설계할 필요가 있으나, 활성에너지선이 조사실내부로부터 직선적으로 외계 (외부) 에 누설되지 않도록 하는 관점에서, 5 도 이상인 것이 바람직하고, 15 도 이상이 보다 바람직하다. 또한 기체유동저항체 (11) 는 활성에너지선의 관통을 방지할 수 있는 재질과 두께를 적당히 설정한다.

또, 반송롤 (12) 에는 롤커버 (13) 가 형성되어 외계의 공기가 조사실내로 침입하는 것을 방지하고 있다. 따라서 반송롤 (12) 과 롤커버 (13) 와의 사이의 클리어런스 (b) 는 가능한한 작게 설정하는 것이 바람직하고, 바람직하게는 2 ㎜ 이하, 보다 바람직하게는 1 ㎜ 이하로 설정한다. 또 롤커버의 롤의 원주상을 감는 거리는 긴 것이 바람직하고, 바람직하게는 롤원주의 1/3, 보다 바람직하게는 1/2 이상을 커버한다.

피조사물 (10) 은 반송덕트내에서의 반송롤 (12) 에 의해 떨림이 억제되어 인쇄표면과의 접촉을 피할 수 있음과 동시에, 기체유동저항체 (11) 와 반송롤 (12) 과의 사이의 클리어런스를 엄밀하게 설정하는 것이 가능해진다.

기체유동저항체로서 도 4 에 나타낸 바와 같은 닙롤 (15) 을 사용할 수도 있다. 이 경우에 있어서는 닙롤측에도 롤커버 (16) 를 설치하는 것이 바람직하다. 닙롤 (15) 을 사용함으로써 기체유동저항을 높게 할 수 있으므로, 도 5 에 나타낸 바와 같이, 반송출구 (6) 측의 반송덕트 (9b) 의 기체유동저항체로서 닙롤 (15) 을 설치하고, 반송입구 (5) 측의 반송덕트 (9a) 에 커버구조 (11a) 또는 격벽 (11b) 을 갖는 기체유동저항체 (11) 를 설치함으로써, 상기 분배비 (C) 를 용이하게 1 보다 크게 할 수 있다.

또, 도 6 에 나타낸 바와 같이 반송롤 (12) 과 롤커버 (13) 와의 사이에 독터 (doctor;17) 를 배치하여, 물리적으로 기체의 흐름을 차단하는 것도 유용하다. 독터로서는, 플라스틱, 고무, 금속 등의 1 종 또는 2 종 이상을 조합한 소재를 사용할 수 있다. 또한, 도 4 의 닙롤 (15) 과 롤커버 (16) 와의 사이에 독터를 배치할 수도 있다.

조사유닛 (2) 으로부터 조사되는 활성에너지선 (7) 으로서는, 전자선, 자외선, γ선, X 선 및 중성자선 등을 들 수 있다. 활성에너지선 (7) 으로서, 바람직하게는, 불활성가스가 필요하게 되는 경우가 많은 전자선이다. 또, 경화, 가교 또는 개질하는 피조사물, 예컨대, 인쇄잉크, 도료, 접착제를 도포 또는 형성한, 종이, 금속, 플라스틱 필름 또는 시트 등에는, 출력 및 조작상의 점에서 전자선 및/또는 자외선을 사용하는 것이 실용적이다.

전자선 조사장치의 일례로서는, 저가속전압, 바람직하게는 100 ㎸ 이하가 바람직하고, 나아가서는 진공관형의 전자선 조사부를 갖는 조사장치가 바람직하다. 이 진공관형의 전자선 조사부는, 원통형상을 이루는 유리 또는 세라믹제의 진공용기와, 그 용기내에 설치되어, 음극으로부터 방출된 전자를 전자선으로서 꺼내어 이것을 가속하는 전자선 발생부와, 진공용기의 단부에 설치되어, 전자선을 사출하는 전자선 사출부를 갖는 것이다. 이와 같은 전자선 조사부는, 미국특허 제 5,414,267 호에 개시되어 있다.

불활성가스는 불활성가스 공급관 (4) 을 통하여 조사실 (1) 에 공급되지만,통상의 전자선 조사장치 등에 보이는 바와 같이, 전자선 투과창의 냉각에 불활성가스를 사용하고 있는 경우에는, 이것을 불활성가스 공급관으로서 공용하여도 상관없다.

본 발명에 사용하는 불활성가스는 대표적으로는 질소, 탄산가스, 헬륨, 아르곤 등의 화학반응을 용이하게 행하지 않는 가스를 의미하지만, 실용적으로는 질소가스, 탄산가스가 사용된다. 또, 공기보다 산소가스의 함유율이 낮은, 산소와 불활성가스와의 혼합기체를 불활성가스로서 사용할 수도 있다. 불활성가스의 공급기구로서, 분사노즐을 단독으로 또는 다른 기구와 함께 사용할 수도 있다.

도면에서는, 활성에너지선의 조사를 편면의 예를 나타내고 있으나, 양면 조사이어도 된다.

(제 2 실시형태)

도 7 은 본 발명의 제 2 실시형태에 관련되는 활성에너지선 조사장치의 개략단면도이다. 이 활성에너지선 조사장치는, 피조사부에 활성에너지선을 조사하기 위한 조사실 (21) 과, 이 조사실 (21) 내에서 피조사물 (10) 에 활성에너지선을 조사하는 조사유닛 (조사장치 ; 22) 과, 조사실 (21) 내에 불활성가스 공급관 (24) 을 통하여 불활성가스를 공급하는 불활성가스 공급기구 (23) 와, 미차압계 (25) 를 갖고 있다.

조사실 (21) 은, 피조사물 (10) 을 연속적으로 반입하는 반송입구(26) 와, 연속적으로 반출하는 반송출구 (27) 를 갖고 있고, 그 내부를 복수의 반송롤 (28) 에 의해 피조사물 (10) 이 반송된다.

반송입구 (26) 에는, 피조사물 (10) 과의 거리가 조정가능한 슬릿 (29) 이 설치되고, 이 슬릿 (29) 은 실린더 등의 승강기구 (30) 에 의해 승강가능하게 되어 있고, 이로써 피조사물 (10) 과의 거리, 즉 개구부의 크기를 조절가능하게 되어 있다. 슬릿 (29) 은 반송롤 (28) 상에 배치된다. 이와 같은 구조로 하면, 피조사물 (10) 은 반송입구 (26) 에서의 떨림이 억제되어 반송입구 (26) 의 슬릿 (29) 의 높이를 임의로 조정할 수 있는 이점이 있다.

반송출구측에는 닙롤 (31) 이 설치되어 있다. 닙롤 (31) 도 실린더 등의 승강기구 (32) 에 의해 승강가능하게 되어 있어, 높이를 임의로 조정할 수 있다. 닙롤 (31) 은 반송롤 (28) 상에 배치된다. 닙롤 (28) 에 의해 완전히 닙하는 것도 가능하지만, 피조사물의 종류에 따라서는 표면에 상처 등을 생기지 않게 하기 위해 절대로 접촉하지 않는 것이 바람직한 경우도 있으므로 간극을 조정할 수 있는 기구로 되어 있다. 또, 이와 같이 닙롤 (31) 의 높이를 조정하는 승강기구 (32) 가, 조사실내를 원하는 농도의 불활성가스분위기로 유지하기 위한 조정기구로서도 작용한다. 또한, 개구부의 크기의 조정은 제 1 실시형태에 있어서의 반송덕트의 클리어런스를 조정함으로써도 실시가능하다.

불활성가스 공급기구 (23) 로부터 연장되는 2 개의 불활성가스 공급관 (24) 의 도중에는, 각각 유량조정기구 (33) 가 설치되어 있고, 이 유량조정기구 (33) 를 조절함으로써 조사실 (21) 로의 불활성가스의 공급량이 조정된다.

반송롤 (28) 의 하나 (도면에서는 반송입구측) 는 구동롤로 되어 있고, 구동기구 (34) 에 의해 구동되도록 되어 있다. 이로써, 피조사물 (10) 이 소정의속도로 반송된다. 또, 구동기구 (34) 에 의한 반송속도는, 변속기 (35) 에 의해 가변으로 되어 있다.

미차압계 (25) 는, 조사실내와 조사실외 (대기압) 와의 차압을 계측한다. 본 실시형태에서는, 이 차압에 의거하여, 불활성가스의 공급, 또는 반송입구 및/또는 반송출구의 개구부의 크기, 또는 이들의 양방을 조정한다. 이로써, 차압이 원하는 값, 바람직하게는 일정값으로 유지되도록 한다.

차압을 측정하는 장치로서는, 미차압계 (25) 와 같이 하나의 장치로 차압을 계측할 수 있는 장치 뿐만아니라, 조사실내와 조사실외에 각각 기압의 측정장치를 사용하여, 양자의 측정치로부터 차압을 계산하는 것이어도 된다.

또한, 활성에너지선 조사장치의 종류 등에 따라, 바람직한 차압의 값은 통상적으로 다르지만, 차압을 일정하게 유지하도록 컨트롤할 때에, 차압의 값의 오차범위 또는 허용범위로서는, 10 Pa 이내, 바람직하게는 5 Pa 이내, 보다 바람직하게는 2 Pa 이내로 유지하도록 조정한다.

불활성가스공급의 조정으로서는, 공급량의 조정이 일반적이며, 예컨대 불활성가스압 또는 유량을 계측하여 공급량의 조정을 행한다. 상기 장치에서는 유량조정기구 (33) 에 의해 불활성가스의 공급량의 조정을 행할 수 있다.

또, 개구부의 크기는, 반송입구 (26) 측의 슬릿 (29) 및/또는 반송출구 (27) 측의 닙롤 (31) 의 승강에 의해 조정할 수 있다.

또, 조사실내와 조사실외의 차압의 적정한 값은, 피조사물 (10) 의 반송속도에 따라 다르기 때문에, 그 차압에 의거하여 피조사물 (10) 의 반송속도를 변화시킴으로써도, 차압을 적정한 값으로 할 수도 있다. 예컨대, 상기 차압이 저하된 경우에, 반송속도를 느리게 함으로써, 충분한 불활성가스 분위기로 할 수 있는 영역으로 조정할 수도 있다. 이 경우에는, 미차압계 (25) 가 계측한 차압에 의거하여 변속기 (35) 를 조정하면 된다.

이상과 같이, 미차압계 (25) 에 의해 측정된 차압의 값에 의거하여, (a) 불활성가스의 공급, (b) 반송입구 및/또는 반송출구의 개구부의 크기, (c) 피조사물의 반송속도 중 적어도 1 종을 조정함으로써, 차압을 적정한 값으로 할 수 있어, 조사실 (21) 내의 분위기를 안정적으로 유지할 수 있다.

또, 도 8 에 나타낸 바와 같이, 제어기구 (40) 를 설치하고, 미차압계 (25) 의 차압값에 의거하여, 유량조정기구 (33), 승강기구 (30, 32) 및 변속기 (35) 의적어도 1 종을 제어하여, 불활성가스의 공급량, 반송입구의 개구부의 크기, 반송출구의 개구부의 크기, 및 피조사물의 반송속도의 적어도 1 종을 제어하도록 하는 것도 가능하다. 이로써, 보다 바람직하게 효율적으로 조사실 (21) 내의 분위기를 안정화할 수 있다.

조사유닛 (22) 으로부터 조사되는 활성에너지선 (36) 으로서는, 전자선, 자외선, γ선, X 선 및 중성자선 등을 들 수 있다. 활성에너지선 (36) 으로서, 바람직하게는 불활성가스가 필요하게 되는 경우가 많은 전자선이다. 경화, 가교 또는 개질하는 피조사물, 예컨대, 인쇄잉크, 도료, 접착제를 도포 또는 형성한, 종이, 금속, 플라스틱필름 또는 시트 등에는, 출력 및 조작상의 점에서 전자선 및/또는 자외선을 사용하는 것이 실용적이다. 전자선 조사장치의 일례로서는, 저가속전압, 바람직하게는 100 ㎸ 이하의 진공관형의 전자선 조사부를 갖는 조사장치가 바람직하다.

본 실시형태에 있어서도, 사용하는 불활성가스는, 대표적으로는 질소, 탄산가스, 헬륨, 아르곤 등의 화학반응을 용이하게 행하지 않는 가스를 의미하지만, 실용적으로는 질소가스, 탄산가스가 사용된다. 또, 공기보다 산소가스의 함유율이 낮은, 탄소가스와 불활성가스와의 혼합기체를 불활성가스로서 사용할 수도 있다.

본 실시형태에 있어서, 반송입구측의 슬릿 (29) 의 개구높이를 저감하고, 반송출구측의 닙롤 (31) 을 닙함으로써, 조사실 (21) 내와 대기압과의 차압을 크게 할 수 있으므로, 조사실 전부(前部)에 격실 등을 설치할 필요가 없어 장치의 소형화를 꾀할 수 있고, 결과적으로 더욱 불활성가스 사용량을 저감할 수 있다.

또, 피조사물 (10) 의 반송속도에 따라, 필요한 조사실내와 조사실외 (통상은 대기이지만, 대기일 필요는 없다) 와의 차압은 정압으로 일정하게 되므로, 불활성분위기제어는 상술한 바와 같이 저렴하고 간편한 미차압계 (25) 의 값에 의거하여 행할 수 있다.

본 실시형태에서는, 상술한 바와 같이 하여 조사실 (21) 내외의 차압을 일정하게 유지할 수 있으므로, 원하는 불활성가스 분위기에서, 활성에너지선 조사가 가능하여, 피조사물을 경화, 가교 또는 개질을 할 수 있다.

제 2 실시형태에 있어서도, 활성에너지선 조사장치에 따라서는 X 선을 방출하는 것도 있으므로 X 선 차폐를 위한 구조로 하는 것이 바람직하다.

또한, 상기 2 개의 실시형태에서는, 불활성가스 분위기하에서의 활성에너지선 조사에 대하여 나타냈으나, 본 발명은, 불활성가스 뿐만아니라, 반응성가스 (예컨대, 산소가스, 수소가스, 탄화수소가스, 불소가스, 염소가스 등) 을 사용하여, 반응성가스 분위기하에서, 반응성가스와 피조사물을 활성에너지선 조사에 의해, 반응 또는 개질을 행할 수도 있어, 반응성가스를 효율적으로 피조사물로의 반응 또는 개질에 이용할 수도 있다. 또, 반응성가스로서는, 공기보다 산소가스의 함유율이 높은 질소가스와의 혼합기체이어도 된다.

본 발명의 방법 및 장치는, 활성에너지선 조사에 의해, 경화, 가교 또는 개질하는 피조사물에 대하여 적용할 수 있고, 예컨대, 인쇄잉크, 도료, 접착제를 도포 또는 형성한 기재 (종이, 금속, 플라스틱 필름 또는 시트) 등에 적용할 수 있다.

피조사물로서는, 연속된 시트상물 (웨브) 에 한정하는 것이 아니라, 1 장 1 장의 시트를 연속하여, 또는 단속적으로 반송할 수도 있다.

실시예

이하, 본 발명의 실시예에 대하여 설명한다.

이하의 실시예 1 ∼ 5, 비교예 1, 2 는 제 1 실시형태에 대응하는 것이고, 실시예 6, 7 은 제 2 실시형태에 대응하는 것이다.

(실시예 1)

반송입구 및 반송출구에 배치된 개개의 반송덕트의 기체유동저항에 의한, 불활성가스 분배비 (C=X/Y) 와 조사실내의 불활성분위기 순도의 인과관계를 조사하기위해, 도 2 에 나타낸 커버구조 (11a) 를 갖는 기체유동저항체 (11) 를 적용한 반송덕트를 반송출입구에 설치하여 이루어지는 활성에너지선 조사장치 (도 1)에, 질소가스를 200 L/min 으로 불활성가스 공급관으로부터 공급했을 때의, 반송속도에 대한 조사실내의 산소농도를 측정하였다. 또한, 활성에너지선원으로서, 아메리칸 인터내쇼널 테크놀로지즈사 (미국) 의 Min-EB 장치 (진공관형 전자선 조사장치) 를 사용하였다. 또, 가속전압은 60 ㎸ 로 하였다.

이 때, 도 1 에 나타낸 클리어런스 (b) 를 1 ㎜, 거리 (L) 를 60 ㎜ 에 설정하였다. 또 각도 (θ) 는 45도로 하였다. 또, 개구부의 횡폭은 입구 및 출구 모두 340 ㎜ 이었다.

산소농도계 (토레이 엔지니어링사의 지르코니아식 산소농도계 (LC-750H/PC-111)) 는 조사실내의 중앙에 장착하였다. 피조사물로서는 PET (폴리에틸렌테레프탈레이트) 필름 (횡폭 250 ㎜, 기재두께 50 ㎛) 를 사용하여, 반송속도를 0, 50, 100, 150, 200, 250 m/min 으로 변화시켰다.

불활성가스 분배비 (C=X/Y) 는, 반송입구 및 출구에 설치한 반송덕트의 반송덕트내의 반송롤과 기체유동저항체가 이루는 클리어런스 (a) 를 변화시킴으로써 기체의 유동저항을 조정한 후, 해당 덕트내를 통과하여 배출된 질소가스의 유량으로부터 계산하였다. 반송출입구에 배치된 반송덕트의 클리어런스 (a) 는 이하의 조건으로 하였다.

실험 1 : 반송입구 클리어런스 1.0 ㎜, 반송출구 클리어런스 0.5 ㎜

실험 2 : 반송입구 클리어런스 1.5 ㎜, 반송출구 클리어런스 1.0 ㎜

실험 3 : 반송입구 클리어런스 2.0 ㎜, 반송출구 클리어런스 1.5 ㎜

실험 1 ∼ 3 의 조건은 모두 입구측보다도 출구측의 클리어런스 (a) 는 좁게 설정되어 있기 때문에, 입구측의 반송덕트보다도 출구측의 반송덕트의 것이 보다 높은 기체유동저항을 갖게 된다. 즉 C=X/Y〉1 에 설정되어 있다.

상세한 결과는 표 1 에 나타내지만, 이들 실험의 결과, 피조사물의 반송속도가 0 내지 250 m/min 의 전역에 있어서 산소농도는 200 ppm 이하로 유지하는 것이 가능하였다. 또한 활성에너지선원을 1000W 로 운전했을 때의 누설선량은 측정한계 이하이었다.

(실시예 2)

반송출입구에 배치된 반송덕트의 클리어런스 (a) 를 이하의 조건으로 한 것 이외에는 실시예 1 과 동일한 조건으로 실험하였다.

실험 4 : 반송입구 클리어런스 0.5 ㎜, 반송출구 클리어런스 0.5 ㎜

실험 5 : 반송입구 클리어런스 1.0 ㎜, 반송출구 클리어런스 1.0 ㎜

실험 6 : 반송입구 클리어런스 1.5 ㎜, 반송출구 클리어런스 1.5 ㎜

실험 7 : 반송입구 클리어런스 2.0 ㎜, 반송출구 클리어런스 2.0 ㎜

실험 4 ∼ 7 의 조건은 모두 입구측과 출구측의 클리어런스를 동일하게 설정하고 있기 때문에 입구측의 반송덕트와 출구측의 반송덕트가 동일한 기체의 유동저항을 갖게 된다. 즉, C=X/Y=1 에 설정되어 있다. 상세한 결과는 표 1 에 나타낸다.

(실시예 3)

도 3 에 나타낸 격벽 (11b) 을 갖는 기체유동저항체 (11) 를 적용한 반송덕트를 조사실 전후에 배치하였다. 기체유동저항체 (11) 로서 5 장의 격벽 (11b) 을 갖는 것을 사용하였다. 반송입구 및 출구에 설치한 반송덕트내의 반송롤과 기체유동저항체가 이루는 클리어런스 (a) 는 이하의 조건으로 하였다.

실험 8 : 반송입구 클리어런스 1.0 ㎜, 반송출구 클리어런스 0.5 ㎜

실험 9 : 반송입구 클리어런스 1.5 ㎜, 반송출구 클리어런스 1.0 ㎜

실험 10 : 반송입구 클리어런스 2.0 ㎜, 반송출구 클리어런스 1.5 ㎜

상기 이외는 실시예 1 과 동일하게 실시하였다.

실험 8 ∼ 10 의 조건은 모두 입구측보다도 출구측의 클리어런스 (a) 를 좁게 설정하고 있기 때문에, 입구측의 반송덕트보다도 출구측의 반송덕트의 것이 보다 높은 기체유동저항을 갖게 된다. 즉 C=X/Y〉1 에 설정되어 있다.

상세한 결과는 표 1 에 나타냈으나, 이들의 실험결과, 피조사물의 반송속도가 0 내지 250 m/min 의 전역에 있어서 산소농도를 100 ppm 이하로 유지하는 것이 가능하였다. 또한 활성에너지선원을 1000W 로 운전했을 때의 누설선량은 측정한계 이하이었다.

(실시예 4)

실시예 1 의 반송출입구의 반송덕트에, 도 6 에 나타낸 독터를 추가한 것 이외에는 실시예 1 과 동일한 조건의 실험을 행하였다 (실험 11 ∼ 13). 이들의 실험결과, 피조사물의 반송속도가 0 내지 250 m/min 의 전역에 있어서 산소농도는 100 ppm 이하로 유지하는 것이 가능하였다. 또한 활성에너지선원을 1000W 로운전했을 때의 누설선량은 측정한계 이하이었다.

(실시예 5)

도 5 에 나타낸 바와 같이, 도 2 에 나타낸 반송덕트를 반송입구측에 설치하고, 반송출구측에는 도 4 에 나타낸 닙롤식의 반송덕트를 설치하였다. 반송입구에 설치한 반송덕트내의 반송롤과 기체유동저항체가 이루는 클리어런스는 이하의 조건으로 하였다.

실험 14 : 반송입구 클리어런스 1.0 ㎜

실험 15 : 반송입구 클리어런스 1.5 ㎜

실험 16 : 반송입구 클리어런스 3.0 ㎜

실험 17 : 반송입구 클리어런스 5.0 ㎜

그 외는 실시예 1 과 동일한 조건으로 산소농도와 누설 X선량을 측정하였다. 이들의 실험결과, 실험 14, 15 및 16 에 대해서는, 피조사물의 반송속도가 0 내지 250 m/min 의 전역에 있어서 산소농도는 200 ppm 이하로 유지하는 것이 가능하고, 실험 17 에 대해서는 피조사물의 반송속도가 0 내지 250 m/min 의 전역에 있어서 산소농도는 500 ppm 이하로 유지하는 것이 가능하였다. 또한, 활성에너지선원을 1000W 로 운전했을 때의 누설선량은 측정한계 이하이었다.

(비교예 1)

실시예 1 의 활성에너지선 조사장치 및 반송덕트를 사용하여, 반송입구 및 출구에 설치한 반송덕트내의 반송롤과 기체유동저항체가 이루는 클리어런스는 이하의 조건으로 하였다.

실험 18 : 반송입구 클리어런스 0.5 ㎜, 반송출구 클리어런스 1.0 ㎜

실험 19 : 반송입구 클리어런스 1.0 ㎜, 반송출구 클리어런스 1.5 ㎜

실험 20 : 반송입구 클리어런스 1.5 ㎜, 반송출구 클리어런스 2.0 ㎜

상기 이외에는 실시예 1 과 동일하게 실시하였다.

실험 18 ∼ 20 의 조건은 출구측의 반송덕트보다도 입구측의 반송덕트의 것이 보다 높은 기체유동저항을 갖도록, 전부 입구측보다도 출구측의 클리어런스는 넓게 설정되어 있다. 즉, C=X/Y〈1 에 설정되어 있다.

이 실험결과, 피조사물 정지시의 산소농도가 100 ppm 이하이었던 것에 대하여, 반송속도가 100 m/min 이상의 고속으로 되면 1000ppm 이상으로 악화되었다.

(비교예 2)

실시예 3 의 활성에너지선 조사장치 및 반송덕트를 사용하여, 반송입구 및 출구에 설치한 반송덕트내의 반송롤과 기체유동저항체가 이루는 클리어런스는 이하의 조건으로 하였다.

실험 21 : 반송입구 클리어런스 0.5 ㎜, 반송출구 클리어런스 1.0 ㎜

실험 22 : 반송입구 클리어런스 1.0 ㎜, 반송출구 클리어런스 1.5 ㎜

실험 23 : 반송입구 클리어런스 1.5 ㎜, 반송출구 클리어런스 2.0 ㎜

상기 이외는 실시예 3 과 동일하게 실시하였다.

실험 21 ∼ 23 조건은 출구측의 반송덕트보다도 입구측의 반송덕트의 것이 보다 높은 기체유동저항을 갖도록, 모든 입구측보다도 출구측의 클리어런스는 넓게 설정되어 있다. 즉, C=X/Y〈1 에 설정되어 있다.

이 실험결과, 피조사물 정지시의 산소농도가 100 ppm 이하이었던 것에 대하여, 반송속도가 100 m/min 이상의 고속으로 되면 1000 ppm 이상으로 악화되었다.

실시예 1 ∼ 5 와 비교예 1, 2 를 비교하면 피조사물을 어느 반송속도로 조사실내에 반송하는 계에 있어서, 소량의 불활성가스 사용량으로 조사실내의 산소농도를 낮게 안정적으로 유지하기 위해서는, 반송출입구를 형성하는 반송덕트를, 반송출구에서의 기체유동저항이 반송입구에서의 기체유동저항 이상이 되도록, 바람직하게는 반송출구에서의 기체유동저항이 반송입구에서의 기체유동저항보다 커지도록 설계하고, 불활성가스 분배비 (C) 를 1 이상, 바람직하게는 1 보다 크게, 보다 바람직하게는 1.5 이상으로 설정하면 불활성가스를 효율적으로 치환에 이용할 수 있다.

표 1 중의 산소농도의 란에 있어서, ◎ 는 반송속도에 관계없이 안정적으로 200 ppm 이하인 것을 나타내고, ○ 는 반송속도가 낮으면 200 ppm 이하이지만 속도가 빨라지면 500 ppm 에 가까운 경향이 보이는 것을 나타내고, △ 는 반송속도가 빨라지면 500 ppm 을 초과하여, 1000 ppm 에 가까운 것을 나타내고, ×는 반송속도가 빨라지면 1000 ppm 을 초과하는 것을 나타낸다. 또, 표 1 의 조사실과 대기압의 차압의 란은 피조사물이 정지상태에서의 값이다.

(실시예 6)

반송입구 및 반송출구의 개구높이의 영향을 조사하기 위해, 도 7 에 나타낸 활성에너지선 조사장치 (Min-EB 장치) 를 사용하여, 불활성가스유량에 대한 조사실내의 산소농도 및 조사실내와 대기와의 차압 (이하, 차압이라 약칭함) 을 측정하였다. 또한, 산소농도계 및 차압을 측정하는 미차압계는 조사실내의 중앙에 장착하였다. 불활성가스는 질소가스를 사용하고, 피조사물은 PET (폴리에틸렌테레프탈레이트) 필름 (횡폭 250 ㎜, 막두께 50 ㎛) 을 사용하여, 반송속도 200 m/min 으로 반송하였다. 반송입구 및 출구 높이는 표 2 의 조건으로 실시하였다. 또, 개구부의 횡폭은 입구 및 출구 모두 340 ㎜ 이었다.

도 9 는 반송입구높이를 2 ㎜ 로 고정하고, 반송출구높이를 5 ㎜ 및 0 ㎜ (닙상태) 로 변화시킨 경우의 질소가스유량과 산소농도와의 관계, 및 질소가스유량과 차압과의 관계를 나타내는 그래프이다.

그래프로부터 반송출구높이 5 ㎜ 이고 산소농도 100 ppm 이하로 되는 것은 질소가스유량이 490 L/min 이고, 이 때의 차압은 38 ㎩ (파스칼) 이었다.

또, 반송출구높이 0 ㎜ 이고 산소농도 100 ppm 이하로 되는 것은 질소가스유량이 230 L/min 일 때이고, 이 때의 차압은 38 ㎩ 이었다.

도 10 은 반송입구높이를 5 ㎜ 로 고정하고, 반송출구높이를 5 ㎜ 및 0 ㎜ (닙상태) 로 변경한 경우의 질소가스유량과 산소농도와의 관계, 및 질소가스유량과 차압과의 관계를 나타낸 도면이다.

그래프로부터 반송출구높이 5 ㎜ 이고 산소농도가 100 ppm 이하로 되는 것은 질소가스유량이 560 L/min 일 때이고, 이 때의 차압은 40 ㎩ 이었다. 또, 반송출구높이는 0 ㎜ 이고 산소농도 100 ppm 이하로 되는 것은 질소가스유량이 270 L/min 일 때이고, 이 때의 차압은 39 ㎩ 이었다.

이와 같이 피조사물의 반송속도를 200 m/min 으로서, 안정적으로 조사실내의 산소농도가 100 ppm 이하로 되는 조건은, 조사실내와 대기와의 차압이 약 39 ㎩ 로 되면 된다는 것을 알 수 있다.

또한, 본 실시예에서는, PET 필름에, 트리메틸롤프로판트리아크릴레이트, 디알릴프탈레이트수지, 하이드로퀴논을 용해한 와니스 60 (중량)부, 안료 20 부, 펜타엘리스리톨테트라아크릴레이트 20 부를 3 개 롤로 분산시킨 전자선 경화형 인쇄잉크를, PET 필름에 인쇄하고, 진공관형의 전자선 조사장치에 의해 가속전압 50 ㎸ 로 조사하였다.

어느 실험에서도, 인쇄잉크는 경화되어 있어, 가령 반송출구높이가 0 ㎜ (닙상태) 인 경우이더라도, 닙롤에 잉크가 부착되는 일은 없었다.

(실시예 7)

실시예 6 과 동일하게 하여, 반송입구 및 출구의 높이는 표 3 의 조건으로실시하였다. 또, 피조사물의 반송속도는 150 m/min 으로 하였다.

도 11 은 반송입구높이를 2 ㎜ 로 고정하고, 반송출구높이를 5 ㎜ 및 0 ㎜ (닙상태) 로 변경한 경우의 질소가스유량과 산소농도와의 관계, 및 질소가스유량과 차압과의 관계를 나타낸 도면이다.

그래프로부터 반송출구높이 5 ㎜ 이고 산소농도 100 ppm 이하로 되는 것은 질소가스유량이 390 L/min 일 때이고, 이 때의 차압은 29 ㎩ 이었다. 또, 반송출구높이 0 ㎜ 이고 산소농도 100 ppm 이하로 되는 것은 질소가스유량 180 L/min 이고, 이 때의 차압도 29 ㎩ 이었다.

도 12 는 반송입구높이를 5 ㎜ 로 고정하고, 반송출구높이를 5 ㎜ 및 0 ㎜ (닙상태) 로 변경한 경우의 질소가스유량과 산소농도와의 관계, 및 질소가스유량과 차압과의 관계를 나타낸 도면이다.

그래프로부터 반송출구높이 5 ㎜ 이고 산소농도 100 ppm 이하로 되는 것은 질소가스유량은 400 L/min 이고, 이 때의 차압은 28 ㎩ 이었다. 또, 반송출구높이 0 ㎜ 이고 산소농도 100 ppm 이하로 되는 것은 질소가스유량 200 L/min 이고, 이 때의 차압은 27 ㎩ 이었다.

이와 같이 피조사물의 반송속도를 150 m/min 으로서, 안정적으로 조사실내의 산소농도가 100 ppm 이하로 되는 조건은, 조사실내와 대기와의 차압이 약 28 ㎩ 로 되면 좋은 것을 알 수 있다.

실시예 7 의 실험에서도, 실시예 6 과 동일하게, 인쇄잉크는 경화되어 있었다.

이상, 실시예 6, 7 의 결과를 표 4 (실시예 6, 7 에서의 조사실내의 산소농도가 100 ppm 이하로 되는 조건) 에 정리하였다.

표 4 를 보면, 조사실내의 산소농도가 100 ppm 이하에서 안정하게 되는 조건은, 반송속도를 일정하게 하면, 차압이 어느 실험에서도 거의 일정해지는 것을 알 수 있다. 따라서, 이 일정한 차압으로 되는 질소가스유량, 반송입구, 출구 높이의 조합이 활성에너지선을 조사하기 위한 조건으로 된다. 다시말하면, 어느 속도로 피조사물을 반송하는 경우에 중요한 것은, 조사실내를 필요한 차압으로 컨트롤하면 된다. 따라서, 질소가스유량이 적어도 차압이 높아지는 구조로 하면질소가스유량을 저감할 수 있고, 런닝비용이 삭감된다.

여기에서, 조사부내와 대기와의 차압이 높은 구조란, 반송출구는 닙롤을 사용하는 구조이고, 반송입구는 높이를 가능한한 좁게 한 구조이다. 이와 같은 구조에서는, 기본적으로는 조사부 전부(前部)에 격실 등을 형성할 필요도 없이 종래의 장치를 소형화할 수 있다. 또, 종래와 같이 고가인 산소농도계를 사용하지 않고 저렴한 미차압계에 의해 조사분위기를 관리 및 컨트롤할 수 있으므로, 장치의 비용절감도 동시에 실행할 수 있다.

Claims

활성에너지선을 조사하는 조사실의 반송입구로부터 피조사물을 반입하고, 활성에너지선 조사부에서, 불활성가스 또는 반응성가스 분위기하에서, 피조사물에 활성에너지선을 조사하여, 반송출구로부터 피조사물을 반출하는 활성에너지선 조사방법으로서,

반송출입구의 기체유동저항을 제어함으로써, 반송입구를 통과하는 기체량을 X, 반송출구를 통과하는 기체량을 Y 로 했을 때에 X/Y ≥1 의 조건이 되도록 하여, 그 상태에서 활성에너지선의 조사를 행하는 활성에너지선 조사방법.
제 1 항에 있어서, X/Y〉1 의 조건으로 조사를 행하는 활성에너지선 조사방법.
제 1 항에 있어서, 상기 활성에너지선은 전자선이고, 질소가스 분위기하에서 피조사물에 전자선을 조사하는 활성에너지선 조사방법.
피조사물을 반입하는 반송입구 및 피조사물을 반출하는 반송출구를 갖고, 피조사물에 활성에너지선을 조사하기 위한 조사실과,

상기 조사실내에서 피조사물에 활성에너지선을 조사하는 조사장치와,

상기 조사실내에 불활성가스 또는 반응성가스를 공급하여 조사실을 불활성가스 분위기 또는 반응성가스 분위기로 하는 가스공급기구를 구비하고,

상기 조사실은,

상기 조사장치로부터의 활성에너지선을 피조사물에 조사하는 조사부와,

상기 반송입구를 통과하는 기체량을 X, 상기 반송출구를 통과하는 기체량을 Y 로 했을 때에 X/Y≥1 의 조건이 되는 기체유동저항체를 갖는 반송덕트를 구비한 활성에너지선 조사장치.
제 4 항에 있어서, 상기 반송덕트는, X/Y〉1 의 조건으로 되는 기체유동저항체를 갖는 활성에너지선 조사장치.
제 4 항에 있어서, 상기 활성에너지선은 전자선이고, 상기 가스공급기구는 질소가스를 공급하는 활성에너지선 조사장치.
피조사물을 반입하는 반송입구 및 피조사물을 반출하는 반송출구를 갖는 조사실과,

조사실내에서 피조사물에 활성에너지선을 조사하는 조사장치와,

상기 조사실내에 불활성가스 또는 반응성가스를 공급하여 조사실을 불활성가스 분위기 또는 반응성가스 분위기로 하는 가스공급기구를 구비하고,

상기 조사실은,

상기 조사장치로부터의 활성에너지선을 피조사물에 조사하는 조사부와,

상기 반송입구측에 설치된 반입측 반송덕트와,

상기 반송출구측에 설치된 반출측 반송덕트를 갖고,

상기 반출측 반송덕트의 기체유동저항이 상기 반입측 반송덕트의 기체유동저항 이상인 활성에너지선 조사장치.
제 7 항에 있어서, 상기 반출측 반송덕트의 기체유동저항이 상기 반입측 반송덕트의 기체유동저항보다도 큰 활성에너지선 조사장치.
제 4 항 또는 제 7 항에 있어서, 상기 반송입구의 클리어런스는 상기 반송출구의 클리어런스 이상인 활성에너지선 조사장치.
제 5 항 또는 제 8 항에 있어서, 상기 반송입구의 클리어런스보다 상기 반송출구의 클리어런스가 큰 활성에너지선 조사장치.
제 4 항에 있어서, 상기 반송덕트는, 그곳을 통과하는 피조사물의 표리중 어느 일방측에 반송롤 및 그 반송롤의 적어도 일부를 감싸는 구조의 롤커버를 갖고, 타방측에 기체유동저항체를 갖는 활성에너지선 조사장치.
제 7 항에 있어서, 상기 반입측 반송덕트 또는 상기 반출측 반송덕트는, 그곳을 통과하는 피조사물의 표리중 어느 일방측에 반송롤 및 그 반송롤의 적어도 일부를 감싸는 구조의 롤커버를 갖고, 타방측에 기체유동저항체를 갖는 활성에너지선 조사장치.
제 11 항 또는 제 12 항에 있어서, 상기 기체유동저항체는, 1 장 이상의 격벽을 갖는 구조, 상기 반송롤의 형상에 맞춰 배치된, 피조사물 및 반송롤을 감싸는 구조의 커버를 갖는 구조, 및 닙롤 및 그 닙롤을 감싸는 롤커버를 배치하여 이루어지는 구조의 적어도 1 종인 활성에너지선 조사장치.
제 12 항에 있어서, 상기 반입측 반송덕트와 상기 반출측 반송덕트는 다른 구조를 갖는 활성에너지선 조사장치.
제 14 항에 있어서, 상기 반입측 반송덕트는, 1 장 이상의 격벽을 갖는 구조, 상기 반송롤의 형상에 맞춰 배치된, 피조사물 및 반송롤을 감싸는 구조의 커버를 갖는 구조, 그리고 닙롤 및 그 닙롤을 감싸는 롤커버를 배치하여 이루어지는 구조의 어느 하나이고, 상기 반출측 반송덕트는, 1 장 이상의 격벽을 갖는 구조, 상기 반송롤의 형상에 맞춰 배치된, 피조사물 및 반송롤을 감싸는 구조의 커버를 갖는 구조, 그리고 닙롤 및 그 닙롤을 감싸는 롤커버를 배치하여 이루어지는 구조 중, 상기 반입측 반송덕트의 구조 이외의 구조를 갖는 활성에너지선 조사장치.
제 11 항 또는 제 12 항에 있어서, 상기 반송롤과 롤커버와의 사이, 또는 닙롤과 닙롤을 감싸는 롤커버와의 사이에, 기체침입을 차단하는 독터를 갖는 활성에너지선 조사장치.
피조사물을 반입하는 반송입구 및 피조사물을 반출하는 반송출구를 갖는 조사실과,

조사실내에서 피조사물에 활성에너지선을 조사하는 조사장치와,

상기 조사실내에 불활성가스 또는 반응성가스를 공급하여 조사실을 불활성가스 분위기 또는 반응성가스 분위기로 하는 가스공급기구를 구비하고,

상기 조사실은,

상기 조사장치로부터의 활성에너지선을 피조사물에 조사하는 조사부와,

상기 반송입구측에 설치된 반입측 반송덕트와,

상기 반송출구측에 설치된 반출측 반송덕트를 갖고,

상기 반입측 반송덕트는, 그곳을 통과하는 피조사물의 표리중 어느 일방측에 반송롤 및 그 반송롤의 적어도 일부를 감싸는 구조의 롤커버를 갖고, 타방측에 1 장 이상의 격벽, 또는 상기 반송롤의 형상에 맞춰 배치된, 피조사물 및 반송롤을 감싸는 구조의 커버를 갖는 기체유동저항체를 갖고,

상기 반출측 반송덕트는, 그곳을 통과하는 피조사물의 표리중 어느 일방측에 반송롤 및 그 반송롤의 적어도 일부를 감싸는 구조의 롤커버를 갖고, 타방측에 닙롤과 이 닙롤을 감싸는 롤커버를 배치하여 이루어지는 기체의 유동저항체를 갖고,

상기 반출측 반송덕트의 기체유동저항이 상기 반입측 반송덕트의 기체유동저항보다 큰 활성에너지선 조사장치.
통과하는 피조사물의 표리중 어느 일방측에 반송롤 및 그 반송롤의 적어도 일부를 감싸는 구조의 롤커버를 갖고,

타방측에 1 장 이상의 격벽을 설치하여 이루어지는 기체의 유동저항체를 갖는 활성에너지선 조사장치용 반송덕트.
통과하는 피조사물의 표리중 어느 일방측에 반송롤 및 그 반송롤의 적어도 일부를 감싸는 구조의 롤커버를 갖고,

타방측에 반송롤의 형상에 맞춰, 피조사물 및 반송롤을 감싸는 구조의 커버를 배치하여 이루어지는 기체의 유동저항체를 갖는 활성에너지선 조사장치용 반송덕트.
통과하는 피조사물의 표리중 어느 일방측에 반송롤 및 그 반송롤의 적어도 일부를 감싸는 구조의 롤커버를 갖고,

타방측에 닙롤 및 그 닙롤을 감싸는 롤커버를 배치하여 이루어지는 기체의 유동저항체를 갖는 활성에너지선 조사장치용 반송덕트.
제 18 항 내지 제 20 항중 어느 한 항에 있어서, 상기 반송롤과 롤커버와의 사이에, 기체침입을 차단하는 독터를 갖는 활성에너지선 조사장치용 반송덕트.
활성에너지선을 조사하는 조사실에 불활성가스 또는 반응성가스를 공급하여 그 분위기를 형성하고, 조사실의 반송입구로부터 피조사물을 반입하고, 활성에너지선 조사부에서 활성에너지선을 조사하여, 반송출구로부터 피조사물을 반출하는 활성에너지선 조사방법으로서,

조사실내 및 조사실외의 기압을 측정하여, 조사실내 및 조사실외의 차압의 값에 의거하여, 불활성가스 또는 반응성가스의 공급을 조정하는 활성에너지선 조사방법.
제 22 항에 있어서, 차압을 일정하게 유지하도록 불활성가스 또는 반응성가스의 공급을 행하는 활성에너지선 조사방법.
제 22 항에 있어서, 상기 활성에너지선은 전자선이고, 상기 조사실에 질소가스가 공급되는 활성에너지선 조사방법.
활성에너지선을 조사하는 조사실에 불활성가스 또는 반응성가스를 공급하여 그 분위기를 형성하고, 조사실의 반송입구로부터 피조사물을 반입하고, 활성에너지선 조사부에서 활성에너지선을 조사하여, 반송출구로부터 피조사물을 반출하는 활성에너지선 조사방법으로서,

조사실내 및 조사실외의 기압을 측정하고, 조사실내 및 조사실외의 차압의값에 의거하여, 반송입구 및/또는 반송출구의 개구부의 크기를 조정하는 활성에너지선 조사방법.
제 25 항에 있어서, 차압을 일정하게 유지하도록 반송입구 및/또는 반송출구의 개구부의 크기를 조정하는 활성에너지선 조사방법.
피조사물을 반입하는 반송입구 및 피조사물을 반출하는 반송출구를 갖고, 피조사물에 활성에너지선을 조사하기 위한 조사실과,

상기 조사실내에서 피조사물에 활성에너지선을 조사하는 조사장치와,

피조사물을 반송하는 반송기구와,

상기 조사실내에 불활성가스 또는 반응성가스를 공급하는 가스공급기구와,

상기 조사실내 및 조사실외의 기압의 차이를 측정하는 차압측정장치와,

상기 차압측정장치에 의해 측정된 차압의 값에 의거하여, (a) 불활성가스의 공급, (b) 반송입구 및/또는 반송출구의 개구부의 크기, (c) 피조사물의 반송속도 중 적어도 1 종을 조정하는 기구를 구비하는 활성에너지선 조사장치.
피조사물을 반입하는 반송입구 및 피조사물을 반출하는 반송출구를 갖고, 피조사물에 활성에너지선을 조사하기 위한 조사실과,

상기 조사실내에서 피조사물에 활성에너지선을 조사하는 조사장치와,

피조사물을 반송하는 반송기구와,

상기 조사실내에 불활성가스 또는 반응성가스를 공급하는 가스공급기구와,

상기 조사실내 및 조사실외의 기압의 차이를 측정하는 차압측정장치와,

불활성가스 또는 반응성가스의 공급량을 조정하는 공급량조정기구와,

반송입구 및/또는 반송출구의 개구부의 크기를 조정하는 개구조정기구와,

피조사물의 반송속도를 조정하는 속도조정기구를 구비하고,

상기 차압측정장치에 의해 측정된 차압의 값에 의거하여, 상기 공급량조정기구, 상기 개구조정기구, 및 상기 속도조정기구 중의 적어도 하나에 의한 조정을 행하는 활성에너지선 조사장치.
제 28 항에 있어서, 상기 개구조정기구는 롤을 갖는 활성에너지선 조사장치.
제 28 항에 있어서, 싱기 차압측정장치에 의해 측정된 차압의 값에 의거하여, 상기 공급량조정기구, 상기 개구조정기구, 및 상기 속도조정기구 중의 적어도 하나를 제어하는 제어기구를 추가로 갖는 활성에너지선 조사장치.
제 27 항 또는 제 28 항에 있어서, 상기 활성에너지선은 전자선이고, 상기 가스공급기구는 질소가스를 공급하는 활성에너지선 조사장치.