TW487647B - Method and apparatus for irradiating active energy ray - Google Patents

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五、發明說明（1) [技術領域] 本發明係有關一種在活化能 必須採用惰性氣體或反應性辨;;射室内之照射處理中， 照射於被照射物之方法及带置瑕氣圍之場合，將活化能線 [背景技術] ~ ° 近年，藉由電子線、紫外線 塗料、印刷油墨、接基如姑 寸/古化能線之照射而硬化之 ... ^ 牧有W寻，遍羽m

料、印刷油墨、接著劑等相白用之熱硬化乾燥型塗 使用溶劑所帶來的無公宝化、又’具有處理速度高度化、不 等之優點，因而已實用^。、居化能線照射裝置可小型化 性氣體氛圍下進行S射，作於活化能線照射中，多是在惰 研討。以下，茲以在惰松If反應性氣體進行照射也有被 明 A圍中之照射為中心進行說 在為氮 不硬 内將 必要 送出 入而 性氛 不得 題。 為 塗料、 氣等惰 化者。 照射室 。然而 入口無 侵入照 圍的純 已之舉 性氣體氛圍則會 此—場合下，i 内之氛圍以惰性 ’當被照射物為 法閉鎖，伴隨著 射室内之空氣量 度。作為其對策 ’因此，運轉成 了 決此等問 發生因氧所 必要將惰性 氣體置換再 條片般之連 處理逮度的 會大增，而 ，增加惰性 本之增大等 有如果照 造成之硬 氣體供給 作活化能 續的場合 高速化， 惡化照射 氣體之使 乃成為重 射氛圍^ 化阻礙fl 至照射^ 線照射^ ，由於奉 由條片老 室内之# 用量是屬 要的問 題 例如 曰本特開昭48-86930號公報中 487647 五、發明說明（2) 所記載之發明，係將被照射物之照射室輸送出口以壓輥封 塞，在輸送入口設置惰性氣體喷射機及複數個分隔室.，在 上述分隔室中設置氣體排出管，藉而可防止空氣之侵入及 將照射室内之氧濃度保持於數％以下， 另，曰本特開平5 - 6 0 8 9 9號公報中所記載之發明，係沿 被照射物之輸送通路形成朝被照射物之表面吹送惰性氣體 之複數個喷嘴、以及形成將被照射物輸送引導用輥之至少 一部份包入之輸送導管，藉而提高用以將照射區域形成為 惰性氛圍之惰性氣體的利用效率。 參 曰本特開平6 0 - 9 0 7 6 2號公報中所記載的發明，係將輸送 入口以印刷機汽缸密封，及在輸送出口以一對輥密封之照 射室内密封，且輸送出口以一對輥密封之照射室内，設置 惰性氣體供給部，及在該照射室附近設置氣體排氣部，藉 而降低惰性氣體之使用量，且可作高速之處理。. 曰本特開平9 - 1 3 8 3 0 0號公報中所記載之發明，係藉由在 輸入口配置輸送輥而使開口減少並使惰性氣體之開口減 少，再者，也可使連續輸送之被照射物的因氣體流動所造 成的晃動消除。 然而，根據上述構成，除了供給照射室内之惰性氣體以 外，照射室前後之至少一側或兩侧所設置的惰性氣體喷射 喷嘴中也須供給惰性氣體，而招致整體惰性氣體使用量之 增力口。 又，在設置氣體排出管之場合，為控制照射室内氛圍， 謀求惰性氣體供給量與氣體排出量之平衡將有所困難’甚

89121288.ptd 第5頁 487647 五、發明說明（3) 至在平衡不良之 題。又，自惰性 合，喷嘴附近之 照射室周圍之間 期望濃度以下之 有惰性氣體之洩 再者，配置惰 刷機成一體之類 會造成裝置之增 成惰性氣體使用 缸密封之場合， 組狀之形態提供 裝置在實際上有 亦即，根據習 氣體流阻有下工 的概念，在氣體 惰性氣體氛圍之 又，當照射室 室周邊之間隙等 置換’還會有氧 [發明之概要] 本發明之目的 可有效率地進行 及裝置。 場合， 氣體噴 壓力係 隙等吸 問題。 漏增多 性氣體 型、或 大，因 量無法 有必要 ，而在 所困難 用之活 夫，但 流阻平 惰性氣 保持於 會吸入 濃度無 反而會 射噴嘴 保持於 入空氣 又，在 的缺點 供給部 是在印 此，可 降低之 將印刷 既有之 有惰性 噴射流 負壓， ’以致 幸昆上不 〇 及氣體 刷機前 置換之 結果。 機與活 印刷機 化能線照射方 並無控制通過 衡不佳之場合 體量增大。 負壓之場合， 空氣，使得照 法降到所期望 氣體使用量增大的 速快的惰性氣體之二 而有自輸送出入D I 氧濃度無法形成為^ 設置罩體之裝置，貝4 排出部、特別是與印 側設置分隔室等等， 裝置容積增大，而造 又，當以印刷機之汽 化能線照射裝置以套 上追加活化能線照射 法或裝置，雖對增高 輸送出入口之氣體量 ，有可能須將供形成 自輸送出入口或照射 射室内氛圍無法充# 濃度以下的問題。 ’係在提供一種在照射活化能線之場合’ 照射室内之氣體置換的活化能線照射方法

%兄叨 射ί ίIί Ϊ二s的，係在提供一種用於此種 t置之輸廷導管。 種〉苦化能線择 本發明之又一目沾 安定地保持之活化处糸提供一種可將照射宇 發明人等為達/線照射方法及裝置。复内之氛園 照射物以某種輪逆，目的進行貫驗的結果發現 實質上連碎址」逮度輸送至照射室内之系味見，在將被 氣體氛二ϊίΐ:射室内之系中，為射物 低，在活化能綿π以 乳/辰度女定地仅从 氣體，將輸送出：射室内部導入置換氣體，例1於較 較輸送入口 ^;，此夕卜，又發現令輸送出：氣體流阻以 、，,又，於可達：：=;=舉特別有效。…流隊 :::3:;氣體或：應性氣：3::入口及/或輸 構造有效： ，,l阻的構造，發明人 •i ·在通過輪送1 ，編亥輪送；表裡之任一側，具有輸 另一側設有—片以1 #伤包入之構造的輥罩，且在 2·在通過輪送、首，刀^i之輸送導管。 之被照射物的表裡之任 送輥及將該輪送，:之被照射物的表裡之任一側，具有輸 另一側配置配合=、、，至少一部份包入之構造的輥罩，且在 而成之輸送導^二迗輥形狀之包入被照射物及輸送輥構造 3·在通過輪送 $ & < w脱尉物从士 . 側，具肩 89121288.ptd 487647 五、發明說明（5) 送輥及將該輸送輥之至少一部份包入之構造的輥罩，且在 另一側配置壓輥及包入該壓輥之輥罩而成之輸送導管。 具體而言，發明人等發現藉由使用上述三種構造之導 管，雖其為小型，但仍可有效控制氣體流阻，且可有效遮 蔽活化能線，藉由使用此一導管，可以較習用為少的惰性 氣體使用量，將照射室内之氧濃度安定地保持於較低，且 可以本身之框體遮蔽X射線等之活化能線。 又，氣體之流阻係指對於氣體之流阻，此一流阻愈大， 氣體愈不易流動。 另，根據發明人等所作之其他實驗的結果發現，當被照 射物以一定之輸送速度輸送至照射室内之場合，為了使照 射室内之氛圍安定地保持（例如為了將照射室内保持於低 氧濃度之安定的惰性氣體氛圍\，有效的是使照射室内與 照射室外（室外通常為大氣）之差壓為正壓，亦即，使照射 室内之氣壓成為較照射室外之氧壓為高的狀態，且使該狀 態為一定。 本發明係根據以上之知識及見解完成。 根據本發明之第一觀點，提供一種活化能線照射方法， 係自照射活化能線之照射室的輸送入口將被照射物輸入， 並於活化能線照射部在惰性氣體或反應性氣體氛圍下，對 於被照射物照射活化能線，且自輸送出口將被照射物輸 出，其特徵在於：藉由控制輸送出入口之氣體流阻，當將 通過輸送入口之氣體量設為X，將通過輸送出口之氣體量 設為Y時，令其滿足X/Y - 1之條件，於此狀態下進行活化

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89121288.ptd 第8頁 /〇47 五、發明說明^~ ______ 能線之照射者，。 根據本發明之第二觀點，提供一種活化处 :、有··照射室，具備輸入被照射物之輸送入、…、射裝置， 子物之輸送出口，用以對被照射物照射活化处及輸出被照 置，在上述照射室内對被照射物照射活化a =線；照射裝 給機構，對於上述照射室内供給惰性氣體^、、’ ，及氣體供 令照射室成為惰性氣體氛圍或反應性氣體备反應性氣體， 照射室具備：照射部，將出自上述照射裝置或圍’又，上述 射至被照射物；及輸送導管，具有氣體流之縣舌化能線照 上述輪送入口之氣體量為X，通過上述輸> ~ ’當設通過 為Y時，其可滿足χ/γ - 1之條件者。 ^ 口之氣體量 很據此等構成，可以較習用為少之氣體 曰 室内之空氣。在供給惰性氣體之場合，可^ ^量置換照射 使用量，將照射室内之氧濃度安定地保持情性氣體 特別是藉由以X / y〉1之條件進行照射，即 * 之輪送速度大的場合，更少的氣體吏旦是:广射物 内之空氣。 便用里置換照射室 根據本發明之第三觀點，提供一種活化 具有：照射室，具備輸入被照射物之輪误、、“、、射袭置， 射物之輸送出口；照射裴置，在上述照' 口及輸出被照 照射活化能線；及氣體供給機構，對上：：被照射物 應性氣體氛圍；又，上述為惰性氣體氛圍或反 述照射裝置之活化能線照射於被照射 ⑺物，輸入側輸送導

89121288.ptd 第9頁 487647 五、發明說明（7) 管，設於上述輸送入口侧；及輸出侧輸送導管，設於上述 輸送出口側；又，上述輸出側輸送導管之氣體流阻，係上 述輪入側輸送導管之氣體流阻以上者。 藉由此一構成，也可以少的氣體使用量置換照射室内之 空氣。

根據本發明之第四觀點，提供一種活化能線照射裝置， 具有：照射室’具備輸入被知、射物之輸送入口及輸出被照 射物之輸送出口；照射裝置，在上述照射室内對被照射物 照射活化能線；及氣體供給機構，對於上述照射室内供給 惰性氣體或反應性氣體’令照射室成為惰性氣體氛圍或反 應性氣體氛圍；又，上述照射室具備：照射部，將出自上 述照射裝置之活化能線照射於被照射物；輸入側輸送導 管，設於上述輸送入口侧；及輸出側輪送導管，設於上述 輸送出口側；上述輸入侧輸送導管在通過其之被&射物的 表裡之任一侧具有輸送輥及包入該輸送轉至少一部份之構 造的輥罩，而在另一側具有氣體流阻體，

備】片以…隔壁或配合上述輸送報的形狀 被照射物及輸送輥的構造之罩；上述輸出侧輸送導管在通 過其之被照射物的表裡之任一侧具有輸送輥及包入該輪送’ 輥至少一部份之構造的輥罩，而在另一側具有氣體流阻 體，該氣體流阻體係藉配置壓輥及包入該壓輥之構造的輥 罩而構成；上述輸出側輸送導管之氣體流阻，係較上述^ 入側輸送導管之氣體流陴為大者。 別

89121288.ptd 第10頁 487647 五、發明說明（8) 一根彳^發明之第五觀點，提供一種活化能線照射裝置用 矜、$言 其在通過之被照射物的表裡之任一侧具有輸送 =及^入6亥輪送輥至少一部份之構造的輥罩，而在另一侧 有°又置1片以上之分隔壁而成的氣體流阻體。 轸發明之第六觀點，提供一種活化能線照射裝置用 :运V官’其在通過之被照射物的表裡之任一側具有輸送 2 ^包^该輸送輥至少一部份之構造的輥罩，而在另一侧 、 配口輪送輥之形狀配置之包入被照射物及輸送輥的構 之罩而成的氣體流阻體。

射2據上述第五觀點及第六觀點之搬送導管，導因於被照 <、之晃動的接觸少，可嚴密地進行氣體流阻之控制，且 進行X射線等活化能線之遮蔽。

輪t ί ί發明之第七觀點，提供一種活化能線照射裝置用 t $官’其在通過之被照射物的表裡之任一側具有輸送 ^ 包入該輸送輥至少一部份之構造的輥罩，而在另一側 >、雜配置壓輥及包入該壓輥之輥罩而成的氣體流阻體。 错由此一構成，也可達成氣體流阻之嚴 〜射繞笙、壬作处从 ^ J IP ' 此、、表之遮蔽，可提供小型活化能線照射裝 Ϊ 0 J.L __ 揚人 照 θ下，藉由將一對壓輥之配置較被照射物通過 直谁至之路線為偏離，且設於可消除Χ射線等活化能線之 彿^路線之位置，可進一步有效地作Χ射線等活化能線之 根據本無明之第八觀點，提供一種活化能線照射方法，

487647 五、發明說明（9) 係對照活化能線之照射室供給惰性氣體或反應性氣體形成 此等氣體之氛圍，並自該照射室之輸送入口輸入被照射 物，而在活化能線照射部照射活化能線，同時自輸送出口 輸出被照射物；其特徵在於：測定照射室内及照射室外之 氣壓，並根據照射室内及照射室外之差壓的值，調整惰性 氣體或反應性氣體之供給者。 根據本發明之第九觀點，提供一種活化能線照射方法， 係對照活化能線之照射室供給惰性氣體或反應性氣體形成 此等氣體之氛圍，並自該照射室之輸送入口輸入被照射 物，而在活化能線照射部照射活化能線，同時自輸送出口 輸出被照射物；其特徵在於：測定照射室内及照射室外之 氣壓，並根據照射室内及照射室外之差壓的值，調整輸送 入口及/或輸送出口之開口部的大小。 根據本發明之第十觀點，提供一種活化能線照射裝置， 具有：照射室，具備輸入被照射物之輸送入口及輸出被照 射物之輸送出口，用以對被照射物照射活化能線；照射裝 置，在上述照射室内對於被照射物照射活化能線；輸送機 構，輸送被照射物；氣體供給機構，對於上述照射室内供 給惰性氣體或反應性氣體；差壓測定裝置，測定上述照射 室内與照射室外氣壓之差；及調整機構，根據由上述差壓 測定裝置所測定之差壓的值，調整（a)惰性氣體之供給、 (b)輸送入口及/或輸送出口的開口部之大小及（c)被照射 物之輸送速度中的至少一種。 根據本發明之第十一觀點，提供一種活化能線照射裝

89121288.ptd 第12頁 487647 五、發明說明（ίο) 置，具有：照射室，具備輸入被照射物之輸送入口及輪& 被照射物之輸送出口，用以對被照射物照射活化能線；日^ 射裝置，在上述照射室内對於被照射物照射活化能、線；f 送機構，輸送被照射物；氣體供給機構，對於上述照射= 内供給惰性氣體或反應性氣體；差壓測定裝置，測定上| 照射室内與照射室外氣壓之差；供給量調整機構，調整， 性氣體或反應性氣體之供給量；開口調整機構，調整輪= 入口及/或輸送出口之開口部的大小；及速度調整機構'送 調整被照射物之輸送速度；根據由上述差壓測定， ，進行基於上述供給量調整機構、開口 钱構及速度調整機構中之至少一種的調整。 過a 藉：第十一觀點之活化能線照射裝置中， 照射室内：氛圍 射室夕:（通常為大氣)之差壓，可將 用更簡便且價廉之^如惰性氛圍安定地保持。X，還可使 進行之惰性氛Ϊ = ϊ差壓計作迄，為止向來㈣氧濃度計 [實施發明之最佳、/〜理，因此可謀求裝置之成本降低。 下，兹佐 (第一實施形態）附圖就本發明之實施形態具體說明。 圖1係本發明窠 ^ 面圖。此一活化^一貫施形態活化能線照射裝置之概略斷 射活性能線之照照射裝置具有：一用以對被照射部照 照射活化能線之昭至一在該照射室1内對於被照射物1 〇 内介以惰性氣體二射單兀（照射裝置）2、以及一對照射室1 /、、、、ό | 4供給惰性氣體之惰性氣體供給機

89121288.ptd 第13頁 487647 五、發明說明（11) 構3。 照射室1具有將被照射物1 〇連續輸入之輸送入口 5及連續 輸出之輸送出口 6，其係由將出自照射單元2之活化能線7 照射於被照射物1 0之照射部8、輸送入口 5側之輸入側輸送 導管9a、輸送出口 6側之輸出側輸送導管9b所構成。 此等輸送導管9a、9b，分別具有：一控制氣體流阻之氣 體流阻體11、一輸送被照射物1 0之輸送輥1 2、以及一包入 輸送輥1 2之輥罩1 3。一側（圖中為輸送入口側）之輸送輥1 2 可由驅動機構1 4所驅動。 氣體流阻體11如圖2所示般之可適當地使用將輸送輥1 2 包入般之罩構造1 1 a，或如圖3所示般之在輸送輥1 2上並列 1片以上，宜為3片以上之分隔壁lib而成之構造。又，分 隔壁係用以提高氣體之流阻的構造或裝置，實質上具有氣 體遮斷性，亦即對於氣體之通過有阻力，且實質上與外部 具有氣體遮斷性者。 採用此一構造，藉由將圖1所示之氣體流阻體1 1與輸送 輥1 2之間隙a或該間隙之形成距離L控制，或在氣體流阻體 11具有分隔壁11 b之場合控制其片數，可獲得任意之氣體 流阻。亦即，藉由適當地應用間隙（間隔）a、距離L之大 小、分隔壁之片數等之至少一種或兩種以上之組合，可控 制氣體流阻。 藉由測量輸送出入口5、6處所設之輸送導管9a、9b中通 過的氣體之流量，可求得氣體流阻之比。亦即，自惰性氣 體供給機構3介以惰性氣體供給管4而供給至照射室1内之

89121288.ptd 第14頁 487647 五、發明說明（12) 惰性氣體，係藉由在輸送出入口 5、6之輸送導管9a、9b處 所設定之各個氣體流阻體11的氣體流阻，在照射室1内 部’以一定之比率被分配成排出至輸送入口 5側之惰性氣 體及排出至輸送出口側之惰性氣體。此處，若設排出至輸 送入口 5側之惰性氣體的流量為x[L/min]，設排出至輸送 出口 6側之惰性氣體的流量為γ [ L/m丨n ]時，分配比c係以c = X/Y表示。 在本實施形態中，係將此分配比設為1以上。精此 ^ 將惰性氣體有效地用於照射室1内之氣體置換，可以少的 惰性氣體使用量提供高純度之惰性氣體氛圍。分配比c宜 大於1。藉^此，即使被照射物10之輸送速度大，仍可以較 义之h〖生氣體使用量提供安定且高純度之惰性氣體氛圍。 为配比C更好的範圍係1 · 5以上。 比又對二己Γ、係通過輸送導管9a、9b之氣體通過量的 對於叹在活化能線照射用照射 々触从山 機構所排出之氣體，並無任何限：早位2之另--體排出 氣體流阻體11與輸送輥12之間的間隙叮去*、^a ^ 物之厚度等作適告 隙a，叮考慮被照射 殚撂☆於々》 田之° ' 仁右该間隙過大時，反會盔法 獲仔充份之氣體流阻以將照射部 才反曰套 因此，間隙之大小宜為自被照射物呆持？性氣體氣圍’ 是2mm以下。 切表面5mm以下，更好的 又’氣體流p且體1〗有必尊母古+ 活化能線或因照射而二以發生^ 2由照射單元2照射之 於茂漏。亦即，氣體流阻體有必=射線等）不至 要兼具遮蔽活化能線或因

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第15頁 487647 五、發明說明（13) 照射而二次發生之活化能線。 考慮此等觀點，乃設定氣體流阻體1 1覆蓋輸送輥1 2之角 度0。此一角度（9雖有考慮輸送線之容許度而設計的必 要，但由使活化能線不自照射室内部直線地洩漏至外界 (外部）之觀點，宜為5度以上，最好為1 5度以上。又，氣 體流阻體1 1宜適當設定成可阻止活化能線貫通之材質及厚 度。 又，輸送輥1 2上設有輥罩1 3以防止外界空氣侵入照射室 内。因此，宜將輸送輥1 2與輥罩1 3之間的間隙b設成儘量 小，宜為2mm以下，更好為1 mm以下。又，輥罩之在輥的圓 周上之捲覆距離以長為宜，較好的是捲覆輥圓周之1 / 3， 宜為1 / 2以上。 被照射物1 0藉由在輸送導管内之輸送輥1 2而被抑制晃 動，除可避免與印刷表面接觸外，還可嚴密地設定氣體流 阻體11與輸送輥1 2間之間隙。 作為氣體流阻體也可使用圖4所示般之壓輥1 5。此一場 合下，壓輥側也宜設置報罩1 6。藉由使用壓輥1 5，因可提 高氣體流阻之故，如圖5所示，藉由設置壓輥1 5作為輸送 出口 6側之輸送導管9 b的氣體流阻體，在輸送入口 5側之輸 送導管9a設置罩構造1 1 a或具有分隔壁1 1 b之氣體流阻體 1 1，可將上述分配比容易地設成較1為大。 又，如圖6所示，也可有用地在輸送輥1 2與輥罩1 3之間 配置遮板1 7以物理地遮斷氣體之流動。作為遮板，可使用 塑膠、橡膠、金屬之一種或二種以上的組合素材。又，在

89121288.ptd 第16頁 487647 五、發明說明（14) 圖4之壓輥15與輥罩16之間也可 作為自照射單元2照射之活化能匕板可 7射線、X射線及中子線等。作左 牛勺疋電子線、 性氣體之電子線。又，硬化、加、’ 11此線7，宜為多項惰 如塗布或形成有印刷油墨、塗料貝之被照射物，例 膠膜或片體等，自輸出及操作上二者劑之紙、金屬、塑 子線及/或紫外線。 之層面而言，實用的是電 作為電子線照射裝置之一例，〜 1 OOkV以下，更好的是具有直空乾且刑、、t加速電壓，最好為 裝置。此-真空管型電子線照V部型電 陶竞製真空容器、設於容器内將自陰極放玻璃或 線取出並予加速之電子線發生部、以電子以電子 部的射出電子線之電子線射出部。此種=子=容器之端 示於美國專利第5 4 1 4 2 6 7號中。 v々、射部係揭 惰=係經由惰性氣體供給管4供給 般之電子線照射裝置等中所見，當電子線透至1，如： 採用惰性氣體之場合，將苴你 " 匈之冷卻係 妨。 #其作為惰性氣體供給管也屬無 j發=中所使用之惰性氣體係、 氬專：易進行化學反應之氣體為代表的氣體，、乱、 之氧與惰性氣體的混合氣體氣：有J較空氣為低 給機構係可單獨使用噴射噴5二:乳體二性氣體之供 圖面中，活化能線之照其=機構併用。 係以片面為例，但也可兩面照 89121288.ptd 第17

射0 (弟一貫施形態） 圖7係本發明第二實施形能 斷面圖。^舌化能線照射；置，：有線照:以：概略 射活化能線之照射室21，一在該昭射：；-對被 '射部照 照射活化能線之照射單元（照射裝、、二21内對被照射物1〇 經由惰性氣體供給管24供給惰性、 、一對照射室21内 23，以及一微差壓計25。 軋驵之惰性氣體供給機構 照射室21具有可將被照射物1〇 及連續輸出之輸送出口27，其間係二輪入之輸运入口⑼以 被照射物1 〇。 、谩數個輸送輥2 8輸送 可調整的調節 構3 0昇降，藉 開口部之大 用此一構造， 且可任意調整 由汽缸等之昇 幸昆3 1係配置於 依被照射物之 與被照射物接 之機構。又， 作為調整機構 之惰性氣體氛 哭26中’设有與被照射物10之距離 :29 ’此一調節器29係可藉由汽缸 此而可調節與被照射物1〇之距離，亦 小。調節器29係配置於輸送輥28上。二= 被照射物1 0在輸送入口 26之晃動可獲扣曰木 輸送入口 26之調節器29的高度，是A甘^ 輸送出口侧設有壓輥3 1。壓輥3 i也是= 降機構32可作昇降，其高度可任意調；猎： 輸送輥28上。藉由壓輥28雖可完全壓 二 種類，為儘量避免在其表面上造成損 : 觸為宜為場合，因此，還可作為可整 此種可調整壓輥31高度之昇降機構32， 發揮作用，而將照射室内保持於所期望濃度

^0/04/ 五、發明說明（16) 圍。又，開口 中輸送導管之 自惰性氣體 途中，分別設 機構33，可調 輸送輥28之 機構3 4所驅動 又’利用驅動 化。 微差壓計2 5 壓。於本實施 給或輸送入口 此二者。藉此 持於一定值。 作為測定差 一個裝置計測 別使用氣壓之 又，依活化 常不同，為保 差範圍或容許 好是2Pa以内c 有關惰性t 方法，例如， 整。上述裝置

部大小之調整，也可藉由調整第一實施形態 間隙而實施。 供給，構23延伸之兩條惰性氣體供給管24之 有々丨l里调整機構3 3，藉由調整此一流量調整 整對於照射室2 1内惰性氣體之供給量。 一，（圖中為輸送入口侧）為驅動輥，由驅動 。藉此，被照射物1 〇係以一定速度被輸送。 機構34之輸送速度，係由變速機35而可作變 係計測照射室内與照射室外（大氣壓）之差 形憑中’基於此一差壓而調整惰性氣體之供 及/或輸送出口之開口部的大小，或是調整 ’可將差壓保持於所期望之值，較佳的是保 壓之裝置，不只可為如微差壓計2 5般之可以 差壓之裝置，也可在照射室内及照射室外分 測定裝置，自兩者之測定值計算差壓。 月線照射裝置之種類等，較佳之差壓的值通 持差壓於一定而施以控制時，差壓之值的誤 範圍係調整成10Pa以内，宜為5Pa以内，更 ► 體供給之調整，供給量之調整係一般採用之 可計測惰性氣體壓或流量，進行供給量之調 中，係以流量調整機構3 3進行惰性氣體供給

第19頁 487647 五、發明說明（17) 量之調整。 又，開口部之大小，係可藉輸送入口 2 6側之調節器2 9及 /或輸送出口 2 7侧之壓輥3 1的昇降而調整。 又，照射室内與照射室外之差壓的適當值，係依被照射 物10之輸送速度而有所不同，因此，基於其差壓而變化被 照射物1 0之輸送速度，也可將差壓維持於適當之值。例 如，上述差壓降低之場合，藉由減緩輸送速度，可調整能 形成充分惰性氣體氣圍之區域。此一場合下，基於微差壓 計2 5所計測之差壓調整變速機3 5即可。 如上所述，基於由微差壓計25所測定之差壓的值，作 (a)惰性氣體之供給、（b )輸送入口及/或輸送出口之開口 部的大小、（c)被照射物之輸送速度中之至少一種的調 整，可將差壓設成適當之值，而安定地保持照射室2丨内之 氛圍。 又，如圖8所示，也可設置控制機構4〇，根據微差壓計 2 5之差壓值，控制流量調整機構3 3、昇降機構3 3 2、及 變速機3 5之至少一種，而控制惰性氣體之供給量、輸送入 口之開口部的大小、輸送出口之開口部的大小、以及被照 射物的輪送速度中之至少一種。藉此，可更有效率地將^ 射室2 1内之氛圍安定化。 ' 作為自照射單元2 2照射之活化能線3 6，可舉的是電子 線、7射線、X射線及中子線等。作為活性能線36，宜為 夕項惰性氣體之電子線。又，硬化、架橋或改質之被照…射 物’例如塗布或形成有印刷油墨、塗料、接著劑之紙了金

89121288.ptd 第20頁 487647 五、發明說明（18) 屬、塑膠膜或片體等，自輸出及操作上之層面而言，實用 的是電子線及/或紫外線。作為電子線照射裝置之一例， 宜為低加速電壓，最好為lOOkV以下，更好的是具有真空 管型電子線照射部之照射裝置。 本實施形態中所使用之惰性氣體係指以氮、二氧化碳、 氦、氬等不易進行化學反應之氣體為代表的氣體，實用上 係使用氮氣、二氧化碳。又，也可使用氧氣含有率較空氣 為低之氧氣與惰性氣體的混合氣體作為惰性氣體。 於本實施形態中，藉由降低輸送入口側之調節器2 9之開 口高度，或令輸送出口側之壓輥3 1夾壓，可減小照射室2 1 内與大氣壓之差壓，因此，在照射室前部等無須設置分隔 室等，可謀求裝置之小型化，如此，可減少惰性氣體使用 量。 又，因應被照射物1 0之輸送速度，必要之照射室内與照 射室外（通常為大氣，但不一定必得為大氣）之差壓一定， 因此，惰性氛圍之控制如上所述可由價廉且簡便之微差壓 計2 5之值進行。 本實施形態係如上所述，因可將照射室2 1内外之差壓保 持一定，因此可於所期望之惰性氣體氛圍中照射活化能 線，而可將被照射物硬化、架橋或改質。 於第二實施形態中也是，有因活化能線照射裝置而放出 X射線者，因此，宜為可遮蔽X射線之構造。 又，上述兩個實施形態中，係就惰性氣體氛圍下之活化 能線照射說明，但本發明不限惰性氣體，也可使用反應性

mm 89121288.ptd 第21頁 487647 氣體（例如氧氣、a氣、煙系氣體'氣氣體、氯氣體反 應性氣體说圍了 ’藉由以活化能線照射反應性氣體 射物’作反應或改質，彳有效率地將反應性氣體用於對^ 照射物反應或改質。又’作為反應性氣體，可〜：被 亂’乳氣含有率局的與氮氣之混合氣體。 本發明之方法及裝置可藉活化能線之照射而適用於 化、架橋或改質之被照射物，例如可適用於塗布或成 印刷油墨、塗料、接著劑之基 、 乂成有 體）等。 忒月 可將一片 作為被照射4匆，不限於連續之片狀物（膜片） 一片之片體連續或斷續地輸送。 實施例 以下，茲將本發明之實施例說明之。 此以:之貝鈿例1〜5、比較例丨、2係對應於第一實施 悲，貫施例6、7係對應於第二實施形態。 (貫施例1) 查由t於设在輸送入口及輸送出口之各輸送導管的 二u二之惰性氣體分配比C=X/Y與照射室内之惰性氛 的5二、、☆因果關係」’在將應用具有圖2所示之罩構造11 a 線照射聚置（圖η Φ，、導管設於輸送出入口而成之活化能 、¥片 广 回）中’自惰性氣體供給管以200L/min供給 5 U:t時相對輪送速度之照射室内的氧濃度。又， 1 "真空官型電子線照射裝置）。又，加速電壓係

487647 五、發明說明（20) 採60kV 。 此時，圖1所示之間隙b係設為imm，距離l係設為6〇mm。 又’角度係設為4 5度。又，開口部之橫寬，在入口及出口 均為3 4 0 m m。 氧濃度計（東嫘工程公司之氧化锆式氧濃度計1(：、75〇H/ pc-π 1)係安裝於照射室之中央。被照射物係使用pET(聚 對欧酸乙二酯）薄膜（橫寬2 5 0mm，基材厚50 //πι)，輸送速 度係變化於0. 50、1〇〇、150、2 0 0、2 5 0m/min。 惰性氣體分配比OX/Y，係藉由變化由設於輸送入口及 出口之輸送導管内的輸送輥與氣體流阻體所形成之間隙a 而調整氣體之流阻後，由通過相關導管内排出之氮氣的流 量計算。設於輸送出入口之輸送導管之間隙a係採以下之 條件。 實驗1 輸送入口間隙1 · 〇mm，輸送出口間隙〇 . 5mm 實驗2 輸送入口間隙1 · 5mm，輸送出口間隙j 〇mm 實驗3 輸送入口間隙2 · 0mm，輸送出口間隙} 5_ 實驗1〜3之條件均是以較之入口侧，以出口侧之間隙a 為狹小，因此，較之入口侧之輸送導管，以出口侧之輸送 導管為具有高的氣體流阻。亦即，設定成〇Χ/γ>;ι。 詳細結果係如表1所示，此等實驗之結果，發現在被戶、召 射物之輸送速度自0〜250m/min之全範圍中，可將％、農产 保持於2 0 0ppm以下。又，活化能線源在1 0 0 0W運轉時，其 洩漏線量係測定界限以外。 ^ (實施例2 )

89121288.ptd 第 23 頁 487647 五、發明說明（21) 除輸送出入口侧所配設之輸送導管的間隙a採用以下之 條件之外，依同於實施例1之條件實驗。 實驗4 輸送入口間隙0· 5mm，輸送出口間隙0· 5mm 實驗5 輸送入口間隙1. Omm，輸送出口間隙1· Omm 實驗6 輸送入口間隙1. 5mm，輸送出口間隙1. 5mm 實驗7 輸送入口間隙2. 0mm，輸送出口間隙2. 0mm 實驗4〜7之條件均是入口側與出口側之間隙設為相同， 因此，入口側之輸送導管與出口側之輸送導管具有相同之 氣體流阻。亦即設成C = X / Y = 1。詳細結果係如表1所示。 (實施例3) 將應用具備圖3所示分隔壁11 b之氣體流阻體11的輸送導 管，配置於照射室前後。作為氣體流阻體11，係使用具有 5片分隔壁者。設於輸送入口及出口之輸送導管内輸送輥 與氣體流阻體所形成之間隙a，係設成以下之條件。 實驗8 輸送入口間隙1. 0mm，輸送出口間隙0· 5mm 實驗9 輸送入口間隙1. 5mm，輸送出口間隙1. 0mm 實驗1 0 輸送入口間隙2. 0mm，輸送出口間隙1. 5mm 除上述以外，係同於實施例1之方式實施。 實驗8〜1 0之條件均是以較之入口側，以出口側之間隙a 為狹小，因此，較之入口側之輸送導管，以出口側之輸送 導管為具有高的氣體流阻。亦即，設定成C = X/Y>1。 詳細結果係如表1所示，此等實驗之結果，發現在被照 射物之輸送速度自0〜250m/min之全範圍中，可將氧濃度 保持於1 0 0 p P m以下。又，活化能線源在1 0 0 0 W運轉時，其

89121288.ptd 第24頁 五、發明說明（22) _____ 洩漏線量係測定界限以外。 (實施例4 ) 在貫施例1之輸出入口之輸送導管 板，除此之外係進行與實施例1同停：’追加圖6所示之遮 13)。此等實驗之結果，在被照射實驗(/驗η〜 25〇m/min之全範圍中，可將氧濃 輪达速度自0〜 者，將活化能線源以1 0 0 0W運轉時之呆f於100ppm以下。再 以下。 ^ ^ t洩漏線量係測定界限 (實施例5 ) 如圖5所示，將圖2所示之輸送導管执 輸送出口侧設置圖4所示之壓輥式於輸达入口側，在 口之輸送導管内的輸送輥與氣體流阻=管1☆輸送入 如以下之條件。 體所形成之間隙，係 測定氧濃度與洩漏X射 1 5、1 6，在被照射物 =驗14輸送入口間隙1· 〇mni =驗15 輸送入口間隙1. 5mm =驗1 6輸送入口間隙3. Omm 貫驗17 輸送入口間隙5.0mm 其他均是採同於實施例1之條件， 線s。此等實驗之結果，就實 之輸送速度自〇〜謝min之全範圍；b、16，^ 於以下；就實驗17，在被二中物7將氧濃度保持 者，將可將氧濃度保持於_PPm以下。再 ^下將化此線源以1〇刚運轉時之茂漏線量係測定界^

89121288.ptd 第25頁 487647 五、發明說明（23) (比較例1 ) 使用實施例1之活化能線照射裝置及輸送導管，設於輸 送入口及出口之輸送導管内的輸送輥與氣體流阻體所形成 之間隙，係採以下之條件。 實驗18 輸送入口間隙0. 5mm，輸送出口間隙1. Omm 實驗1 9 輸送入口間隙1. 0mm，輸送出口間隙1 · 5mm 實驗2 0 輸送入口間隙1. 5mm，輸送出口間隙2. 0mm 除上述以外，係採同於實施例1之實施方式。 實驗1 8〜2 0之條件，均係使出口側之間隙較入口側為寬 廣，使入口側之輸送導管具有輸出口側之輸送導管為高的 氣體流阻。亦即’設為C = X / Y < 1。 實驗結果顯示，被照射物停止時之氧濃度為1 0 Oppm以 下，相對於此，當輸送速度為100m/min以上之高速時，惡 化成lOOOppm以上。 (比較例2) 使用實施例3之活化能線照射裝置及輸送導管，設於輸 送入口及出口之輸送導管内的輸送輥與氣體流阻體所形成 之間隙，係採以下之條件。 實驗21 輸送入口間隙0. 5mm，輸送出口間隙1. 0mm 實驗22 輸送入口間隙1. 0mm，輸送出口間隙1. 5mm 實驗23 輸送入口間隙1. 5mm，輸送出口間隙2. 0mm 除上述以外，係採同於實施例3之實施方式。 實驗2 1〜2 3之條件，均係使出口側之間隙較入口側為寬 廣，使入口側之輸送導管具有輸出口側之輸送導管為高的

89121288.ptd 第26頁 487647 五、發明說明（24) 氣體流阻。亦即 實驗結果顯示 下，相對於此， 化成lOOOppm以」 實施例1〜5與 某種輸送速度輸 使用量將照射室 輸送出入口之輸 送出口之氣體流 較輸送出口之氣 1以上，宜為1以 率地用於置換。 ，設為OX/YC1。 ，被照射物停止時之氧濃度為1 0 0 p p m以 當輸送速度為l〇〇m/min以上之高速時，惡 二 〇 比較例1、2比較下可知，在將被照射物以 送至照射室内之系中，為以少的惰性氣體 内之氧濃度安定地保持於較低，係將形成 送導管設計成使輸送出口之氣體流阻為輸 阻以上，更好的是使輸送出口之氣體流阻 體流阻為大，若將惰性氣體分配比設定成 上，更好為1. 5以上，可將惰性氣體有效

BI \\312\2d-code\90-04\89121288.ptd 第27頁 487647 五、發明說明（25) 表 1

實施例 實驗編號 配置於輸送 入口之輸送 導管的間隙 [mm] 配置於输送 入口之輸送 導管的間隙 [mm] X/Y 照射室與大 氣壓之差壓 [Pa] 氧濃度 [ppm] 實施例1 1 1 0.5 3.3 150 ◎ 2 1.5 1 1.8 50 ◎ 3 2 1.5 1.6 20 ◎ 實施例2 4 0.5 0.5 1.0 730 ◎ 5 1 1 1.0 100 ◎ 6 1.5 1.5 1.0 50 〇 7 2 2 1.0 2 Δ 實施例3 8 1 0.5 3.5 60 ◎ 9 1.5 1 2.0 20 ◎ 10 2 1.5 1.8 10 ◎ 實施例4 11 1 0.5 3.3 150 ◎ 12 1.5 1 1.8 50 ◎ 13 2 1.5 1.6 20 ◎ 實施例5 14 1 壓輥 7.0 200 ◎ 15 1.5 壓輥 9.0 80 ◎ 16 3 壓輥 12.3 15 ◎ 17 5 壓輥 19.0 5 ◎ 比較例1 18 0.5 1 0.3 60 X 19 1 1.5 0.6 20 X 20 1.5 2 0.6 10 X 比較例2 21 0.5 1 0.3 150 X 22 1 1.5 0.6 50 X 23 1.5 2 0.6 20 X

__隱1 89121288.ptd 第28頁 45/04/

表1之氧》辰度搁中’ ◎矣纟 、， 2 0 0ppm以下，〇表有輪译〜％ 1示狩於 #⑶， 迗速度若低為2〇〇PPm以下，而土亲痄 右快則接近5 0 0ppm之傾向， 速度 A表輪运連度右快則超過w 〇 ppm，接近lOOOppm，X 砉-、、，、古命—l47 …+ J (心bUU 衣輸迗速度若快則超過1 0〇〇ppm。 又’表1之照射室與大氣懕兰厭 在主- 礼i之差歷的欄，係表不被昭射物 停止狀態之值。 ''' (實施例6) 為調查輸送入口及輸送出口之開口高度的影響，使用圖 7所示之活化能線照射裝置（Min_EB裝置），測定相對惰性 氣體流量之照射室内的氧濃度及照射室内與大氣之差壓 (以下簡稱為差壓）。又，氧濃度計及差壓測定用微差壓計 係安裝於照射室内中央。惰性氣體係使用氮氣，被照射物 係使用PET(對酞酸乙二酯）薄膜（橫寬25 0mm，膜厚50 # m)，以輸送速度200m/min進行輸送。輸送入口及出口高度 係以表2之條件實施。又，開口部之橫寬，入口及出口均 為 340mm 〇

實驗編號 輸送入口高度 輸送出口南度 參照圖 24 2mra 5mm 圖9 25 2mm Omm 圖9 26 5mm 5mm 圖1 0 27 5mm Omm 圖10 圖9係將輸送入口高度固定於2 mm，將輸送出口高度在 5mm及Omm(壓夾狀態）間變化時，氮氣流量與氧濃度的關

89121288.ptd 第29頁 487647 五、發明說明（27) 係，以及氮氣流量與差壓的關係之曲線圖。 由圖可知，輸送出口高度5mm下，氧澧疮 > 上、 辰度之成為IOOddiu

以下係氮氣流量為4 9 0L/inin時，此時之#厭PP 又，輸送出口高度〇mmT，氧濃度之成為1〇〇ppm以下， 係氮氣流量為2 3 0 L / m i η時，此時之差壓為Μ p 圖10係將輸送入口鬲度固定於5mm，將'輸送出口古 5mm及Omm(壓夾狀態）間變化時，氮氣流量與氧濃产H 係’以及氮氣流置與差壓的關係之曲線圖。 、 以 由圖出口高度5_下，氧濃度之成為⑽解 下係氮氣/瓜里為5 6 0 L / m i η時，此時之差壓為4 〇 p a 又 輸送出口高度0mm下，氧濃度之成為1〇〇ppm以下，m’ 流量為270L/min時，此時之差壓為39Pa〇 … 如此，可知在被照射物之輸送速度200m/min下，安定地 使照射室内之氧濃度為10〇ppm以下之條件為照射室内與大 氣之差壓在約3 9Pa下即可。 ’、 又，於本實施例中，係在PET薄膜上，將三羥甲基丙烷 丙烯酸酯、酞酸二烯丙酯、氫醌溶解而成之清漆6(^重 份、顏料20份、四丙烯酸季戊四醇酯2〇份，以三支輥分散 成之電子線硬化型印刷油墨印刷之，並以真空管型電子線 照射裝置以加速電壓5 〇 kV照射之。 、 不論是任何一個實驗，印刷油墨均硬化，即使輸送出口 高度為0mm(壓夹狀態）時，也不會有油墨附著於壓報之情 形。 (實施例7)

487647 五、發明說明（28) 依同於實施例6之方式，在輸送入口及出口之高度為表3 條件下實施。又，被照射物之輸送速度為1 5〇m/min。 A_3 實驗編號 輸送入口高度 輸送出口高度 參照圖 28 2mm 5mm 圖11 29 2mm 0mm 圖11 30 5mm 5mm 圖12 31 5mm Omm 圖12 圖11係將輸送入口高度固定於2mm，將輸送出口高度在 5mm及Omm(壓夾狀態）間變化時，氮氣流量與氧濃度的關 係，以及氮氣流量與差壓的關係之曲線圖。 由圖可知，輸送出口高度5mm下，氧濃度之成為1〇〇ppm 以下係氮氣流量為3 9 0 L / m i η時，此時之差壓為2 9 p a。又， 輸送出口局度0mm下’氧激度之成為i〇〇ppm以下，係氮氣 流量為180L/min時，此時之差壓也為29Pa。 圖12係將輸送入口南度固定於5mm，將輸送出口高产在 5mm及0mm(壓夾狀態）間變化時，氮氣流量與氧濃度的關 係，以及氮氣流量與差壓的關係之曲線圖。 由圖可知，輸送出口高度5mm下，氧濃度之成為1〇〇ppm 以下係氮氣流量為4 0 0 L / m i η時，此時之差壓為2 8 p a。又， 輸送出口高度0mm下，氧濃度之成為l〇〇ppm以下，係氮氣 流量為2 0 0L/min時，此時之差壓為27Pa。 由此可知，藉由將被照射物之輸送速度設成15〇m/min， 可安定地使照射室内之氧濃度為1 0 0 p p m以下之條件，為日、召

89121288.ptd 第 31 頁 487647 五、發明說明（29) 射室内與大氣之差壓為約28Pa。 實施例7之實驗也是，與實施例6相同，印刷油墨硬化。 以下’將貫施例6、7之結果綜合於表4 (實施例6、7中之 照射至内的氧》辰度成為1 〇 〇 p p jjj以下之條件）。 產 4 實驗 編號 輸送速度 (m/min) 輪送入 ϋ高度 (mm) 輸送出 口高度 (mm) 差壓 (Pa) 氮氣使用量 (L/min) 24 200 2 5 38 490 25 200 2 0 38 230 26 200 5 5 40 560 27 200 5 0 39 270 28 150 2 5 29 390 29 150 2 0 29 180 30 150 5 5 28 400 31 150 5 —-— 0 27 200 由表4可知，照射室内之氧濃度為1〇〇ppm以下安定之條 件丄在輸送速度為一定時，差壓在任何實驗中均大致成為 一疋因此’形成此一差壓之氮氣流量、輸送入口、出口 咼度之組合，乃是供照射活化能線之條件。亦即，以某一 速度輸送被照射物時，重要的是將照射室内控制於必要之 差壓即可。因此，若採用即使氮氣流量小，而差壓仍高的 構造，可減少氮氣流量，減縮運轉成本。 处 π射邛内與大氣之差壓高的構造，係指輸送出口

89121288.ptd 第32頁 487647 五、發明說明（30) 使用壓輥之構造，係輸送入口採高度儘量狹小之構造。以 此一構造，基本上並無在照射部前部設置分隔室等之構 造，可使習用裝置小型化。又，由於可不如習用般之使用 高價之氧濃度計，以廉價之微差壓計即可將照射氛圍管理 及控制，因此同時也可減低成本。 [元件編號之說明] 1 照射室 2 照射單元 3 惰性氣體供給機構 4 5 惰性氣體供給管 輸送入口 6 輸送出口 7 活化能線 8 照射部 9a 輸入側輸送導管 9b 輸出側輸送導管 10 被照射物 11 氣體流阻體 11a 罩構造 lib 分隔壁 12 輸送輥 13 輥罩 14 驅動機構 15 壓輥

89121288.ptd 第33頁 487647 五、發明說明（31) 16 報罩 17 遮板 21 照射室 22 照射單元 23 惰性氣體供給機構 24 惰性氣體供給管 25 微差壓計 26 輸送入口 27 輸送出口 28 輸送輥 29 調節器 30 昇降機構 31 壓輥 32 昇降機構 33 流量調整機構 34 驅動機構 35 變速機 a 間隙 b 間隙 L 距離 θ 角度

89121288.ptd 第34頁 487647 圖式簡單說明 圖1係本發明第一實施形態活化能線照射裝置之概略斷 面圖 。 圖2係用於活化能線照射裝置之輸送導管的一例之概略 斷面圖。 圖3係用於活化能線照射裝置之輸送導管的另一例之概 略斷面圖。 圖4係用於活化能線照射裝置之輸送導管的又一其他例 之概略斷面圖。 圖5係本發明第一實施形態活化能線照射裝置之概略斷 面圖 。 圖6係用於活化能線照射裝置之輸送導管的另一例之概 略斷面圖。 圖7係本發明第二實施形態活化能線照射裝置之概略斷 面圖。 圖8係本發明第二實施形態活化能線照射裝置之其他例 之概略斷面圖。 圖9係將輸送速度固定於200m/min，將輸送入口高度固 定於2mm，將輸送出口高度在5mm及Omm間變化之場合，氮 氣流量與氧濃度之關係，以及氮氣流量與差壓之關係的曲 線圖。 圖10係將輸送速度固定於200m/min，將輸送入口高度固 定於5mm，將輸送出口高度在5mm及0mm間變化之場合，氮 氣流量與氧濃度之關係，以及氮氣流量與差壓之關.係的曲 線圖。

89121288.ptd 第35頁 487647 圖式簡單說明 圖11係將輸送速度固定於150m/min，將輸送入口高度固 定於2mm，將輸送出口高度在5mm及Omm間變化之場合，氮 氣流量與氧濃度之關係，以及氮氣流量與差壓之關係的曲 線圖。 圖12係將輸送速度固定於150m/min，將輸送入口高度固 定於5mm，將輸送出口高度在5mm及0mm間變化之場合，氮 氣流量與氧濃度之關係，以及氮氣流量與差壓之關係的曲 線圖。

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Claims (1)

1. 487647 六、申請專利範圍 、丄一種活化能線照射方法’係自照射活化能線之 的輸送入口將被照射物輸入，並於活化能線照射部 氣體或反應性氣體氛圍下，對於被照射物照射活^ =性 且自輸送出口將被照射物輸出，其特徵在於· 此” 藉由控制輸送出入口之氣體流阻，當將通過輸送入口 氣體量設為X，將通過輸送出口之氣體量設為γ時，八=之 足X/Y g 1之條件，於此狀態下進行活化能線之^射二其滿 2·如申請專利範圍第1項之活化能線照射方法、，盆° 以X/Y>1之條件進行照射者。 〃中係 3·如申請專利範圍第1項之活化能線照射方法，苴 活化能線係電子線，且係在氮氣氛圍下對於被照射物照射 電子線者。 ' 4 · 一種活化能線照射裝置，具有·· 照射室，具備輸入被照射物之輸送入口及輪 之輸送出Ρ，用以對被照射物照射活化能線；“ 及照射裝置，在上述照射室内對被照射物照射活化能線； 氣體供給機構，對於上述照射室内供給惰性 性氣體，八昭射金#炎沒U 氣體或反應 又上i以:惰性氣體氛圍或反應性氣體氛圍； 物照J部’將出自上述照射裝置之活化能線照射至被照射 輸运導管，具有氣體流阻體，當設通過上 氣體量為X，通過上述輸送出口之氣體量 輪J入口之 再可滿足 1 89121288.ptd 第37頁 487647 六、申請專利範圍 X/Y - 1之條件者。 5. 如申請專利範圍第4項之活化能線照射裝置，其中該 輸送導管具有滿足X/Y>1之條件的氣體流阻體。 6. 如申請專利範圍第4項之活化能線照射裝置，其中該 活化能線係電子線，上述氣體供給機構係供給氮氣者。 7. —種活化能線照射裝置，具有： 照射室，具備輸入被照射物之輸送入口及輸出被照射物 之輸送出口； 照射裝置，在上述照射室内對被照射物照射活化能線； 及 氣體供給機構，對於上述照射室内供給惰性氣體或反應 性氣體，令照射室成為惰性氣體氛圍或反應性氣體氛圍； 又，上述照射室具備： 照射部，將出自上述照射裝置之活化能線照射於被照射 物； 輸入側輸送導管，設於上述輸送入口側；及 輸出侧輸送導管，設於上述輸送出口側； 又，上述輸出側輸送導管之氣體流阻，係上述輸入側輸 送導管之氣體流阻以上者。 8. 如申請專利範圍第7項之活化能線照射裝置，其中該 輸出側輸送導管之氣體流阻，係較上述輸入側輸送導管之 氣體流阻為大者。 9. 如申請專利範圍第4或7項之活化能線照射裝置，其中 該輸送入口之間隙，係上述輸送出口之間隙以上者。

   89121288.ptd 第38頁 487647 六、申請專利範圍 1 (K如申請專利範圍第5或8項之活化能線照射裝置，其 中較之該輸送入口之間隙，以上述輸送出口之間隙為大 者。 Π .如申請專利範圍第4項之活化能線照射裝置，其中該 輸送導管在通過其之被照射物的表裡之任一側具有輸送輥 及包入該輸送輥至少一部份之構造的輥罩，而在另一側具 有氣體流阻體。 ^ 1 2.如申請專利範圍第7項之活化能線照射裝置，其中該 輸入侧輸送導管或上述輸出側輸送導管，在通過其之被照 射物的表裡之任一側具有輸送輥及包入該輸送輥至少一部 份之構造的輥罩，而在另一側具有氣體流阻體。 1 3.如申請專利範圍第11或1 2項之活化能線照射裝置， 其中該氣體流阻體係具備1片以上之分隔壁的構造、具備 配合上述輸送輥之形狀配置的包入被照射物及輸送輥之罩 的構造、及配置壓輥及包入該壓輥之輥罩而成的構造中之 至少一種。 1 4.如申請專利範圍第1 2項之活化能線照射裝置，其中 該輸入侧輸送導管及輸出側輸送導管，具有不同之構造。 1 5.如申請專利範圍第1 4項之活化能線照射裝置，其中 該輸入側輸送導管，係具備1片以上x之分隔壁的構造、具 備配合上述輸送輥之形狀配置的包入被照射物及輪送輥之 罩的構造、及配置壓輥及包入該壓輥之輥罩而成的構造中 之任一種；上述輸出側輸送導管，係具備1片以上之分隔 壁的構造、具備配合上述輸送輥之形狀配置的包入被照射

   89121288.ptd 第39頁 /、、申請專利範圍 物及輪送親之罩 而成的構造中， 1 6 ·如申請專； 其中該輪送輥與 間，具有供遮斷 1 7 · 一種活化$ 照射室，具備 之輸送出口； 照射裝置，在 及 氣體供給機構 性氣體，令照射 又，上述照射 照射部，將出 物； 輪入側輸送導 輪出側輸送導 上述輪入側輸 侧具有輪送輥及 而在另一側具有 之分隔壁或配合, 輸送輥的構造之, 上述輪出側輸: 側具有輸送輥及； 的構造、及配置壓輥及包入該壓輥之輥罩 ^述輸入側輸送導管之構造以外 柯範圍第"或12項之活化能線照射裝#置， f罩之間，或壓輥與包入壓輥之輥 氣體侵入之遮板。 电線照射裝置，具有： 輪入被照射物之輸送入口及輸出被照射物 上述照射室内對被照射物照射活化能線； 〜對於上述照射室内供給惰性氣體或反應 至成為N性氣體氛圍或反應性氣體氛圍； 室具備： 自上述照射裝置之活化能線照射於被照射 I ’設於上述輸送入口側；及 嘗’设於上述輸送出口側； 送導官在通過其之被照射物的表裡之任一 ，入該輸送輥至少一部份之構造的輥罩， 氣體流阻體’該氣體流阻體具備1片以上 ^述輸送輥的形狀配置之包入被照射物及 送導管在通過其之被照射物的表裡之任一 包入該輸送輥至少一部份之構造的輥罩， 487647 六、申請專利範圍 而在另一側具有氣體流阻體’該氣體流阻體係籍配置壓幸昆 及包入該壓輥之構造的輥罩而構成； 上述輸出側輸送導管之氣體流阻，係較上述輸入側輸送 導管之氣體流阻為大者。 1 8. —種活化能線照射裝置用輸送導管，其在通過之被 照射物的表裡之任一側具有輸送報及包入該輸送輥至少一 部份之構造的輥罩，而在另一侧具有設置1片以上之分隔 壁而成的氣體流阻體。 1 9. 一種活化能線照射裝置用輸送導管，其在通過之被 照射物的表裡之任一侧具有輸送輥及包入該輸送輥至少一 部份之構造的輥罩，而在另一側具有配合輸送輥之形狀配 置之包入被照射物及輸送輥的構造之罩而成的氣體流阻 體。 2 0. —種活化能線照‘射裝置用輸送導管，其在通過之被 照射物的表裡之任一侧具有輸送輥及包入該輸送輥至少一 部份之構造的輥罩，而在另一侧具有配置壓輥及包入該壓 輥之輥罩而成的氣體流阻體。 2 1.如申請專利範圍第1 8至2 0項中任一項之活化能線照 射裝置用輸送導管，其中該輸送輕與親罩之間，具有供遮 斷氣體侵入之遮板。 2 2種活化能線照射方法，係對照射活化能線之照射 室供給惰性氣體或反應性氣體形成此等氣體之氛圍，並自 該照射室之輸送入口輸入被照射物，而在活化能線照射部 照射活化能線，同時自輸送出口輸出被照射物；其特徵在

   89121288.ptd 第41頁 487647 六、申請專利範圍 於： 測定照射室内及照射室外之氣壓，並根據照射室内及照 射室外之差壓的值，調整惰性氣體或反應性氣體之供給 者。 2 3.如申請專利範圍第2 2項之活化能線照射方法，其中 係供給惰性氣體或反應性氣體使差壓保持於一定者。 2 4.如申請專利範圍第2 2項之活化能線照射方法，其中 上述活化能線係電子線，且上述照射室内係被供給氮氣 者。 2 5. —種活化能線照射方法，係對照活化能線之照射室 供給惰性氣體或反應性氣體形成此等氣體之氛圍，並自該 照射室之輸送入口輸入被照射物，而在活化能線照射部照 射活化能線，同時自輸送出口輸出被照射物；其特徵在 於： 測定照射室内及照射室外之氣壓，並根據照射室内及照 射室外之差壓的值，調整輸送入口及/或輸送出口之開口 部的大小。 2 6.如申請專利範圍第2 5項之活化能線照射方法，其中 係調整輸送入口及/或輸送出口之開口部的大小，使差壓 保持於一定者。 2 7. —種活化能線照射裝置，具有： 照射室，具備輸入被照射物之輸送入口及輸出被照射物 之輸送出口，用以對被照射物照射活化能線； 照射裝置，在上述照射室内對於被照射物照射活化能

   89121288.ptd 第42頁 487647 六、申請專利範圍 線； 輸送機構，輸送被照射物； 氣體供給機構，對於上述照射室内供給惰性氣體或反應 性氣體； 差壓測定裝置，測定上述照射室内與照射室外氣壓之 差；及 調整機構，根據由上述差壓測定裝置所測定之差壓的 值，調整（a)惰性氣體之供給、（b)輸送入口及/或輸送出 口的開口部之大小及（c )被照射物之輸送速度中的至少一 種。 2 8. —種活化能線照射裝置，具有： 照射室，具備輸入被照射物之輸送入口及輸出被照射物 之輸送出口，用以對被照射物照射活化能線； 照射裝置，在上述照射室内對於被照射物照射活化能 線； 輸送機構，輸送被照射物； 氣體供給機構，對於上述照射室内供給惰性氣體或反應 性氣體； 差壓測定裝置，測定上述照射室内與照射室外氣壓之 差； 供給量調整機構，調整惰性氣體或反應性氣體之供給 量； 開口調整機構，調整輸送入口及/或輸送出口之開口部 的大小；及

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   速度調整機構，調整被照射物之輸送速度； 根據由上述差壓测定裝置所測定之差壓的值， t述供給量調整機構、開口調整機構及速度調整機構i之 至少一種的調整。 X俄稱f之 2;.如申請專利範圍第28項之活化能線照 该開口調整機構具有輥。 < 直其中 1 f 28 ^ ^ ^ ^ ^^ ^ ^ £ t 的值，據由上述差壓測定裝置所測定之差壓 整機構中量調整機構、開口調整機構及速度調 其3中圍第27或28項之活化能線照射裝置， 氣。 此線係電子線，上述氣體供給機構係供給氮

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