KR20010093807A - 다공성 재료, 에어필터 여재, 에어필터 유닛 및 에어필터여재용 지지재료 - Google Patents

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KR20010093807A
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이노우에오사무
우라오까노부끼
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이노우에 노리유끼
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Abstract

폴리테트라플루오로에틸렌 다공막과, 이 다공막의 적어도 한 면에 적층된 통기성 지지재료를 갖는 에어필터 여재에 있어서 폴리테트라플루오로에틸렌 다공막과 통기성 지지재료는 독립 섬유상 및/또는 결절에 의해 연결된 섬유상의 핫 멜트 접착제를 삽입하여 결합한다. 이것에 의해, 에어필터 여재의 포집효율을 높게 유지할 수 있고, 또한 열 융착한 경우에 비해서도 압력손실이 크지 않다.

Description

다공성 재료, 에어필터 여재, 에어필터 유닛 및 에어필터 여재용 지지재료{POROUS MATERIAL, AIR FILTER FILTER MEDIUM, AIR FILTER UNIT AND SUPPORT MATERIAL FOR AIR FILTER FILTER MEDIUM}
클린룸 등의 공기청정에 사용되는 필터로서, 폴리테트라플루오로에틸렌 (이하, 「PTFE」라고 함) 의 다공막이 제안되고 있다 (예컨대, 일본 공개특허공보 평5-202217호 참조). 또, PTFE 다공막을 사용하는 경우는 막자체가 얇기 때문에 상처방지나 핀홀 발생방지를 위해, PTFE 다공막의 양면에, 심초 (core/sheath) 구조의 장섬유를 사용한 스판본드 부직포등의 열가소성 재료를 적층하여 보호하는 것도 제안되고 있다 (일본 공개특허공보 평6-218899호 참조).
최근, 반도체의 집적도나 액정의 성능이 높아짐에 따라서, 클린룸의 청정도는 점점 높은 레벨이 요구되고, 종래는 고체 미립자의 개수가 문제가 되고 있지만, 최근에는 총유기탄소 (TOC) 도 문제가 되고 있다. TOC 가 높으면, 클린룸에서 제조되는 반도체나 액정의 품질저하가 초래될지도 모른다. TOC 란, 예컨대 도데칸, 트리데칸, 부틸히드록시톨루엔 (BHT), 인산에스테르, 디옥틸프탈레이트, 실록산등의 각종 가스상 유기물의 총량을 의미한다.
그러나, 상기 공보에 개시된 바와 같은 종래기술의 에어필터 여재로부터 발생하는 TOC 는, 점점 증대하는 집적도의 반도체나 액정을 제조하기 위한 클린룸에서는 무시할 수 없는 수준으로 될 수 있다.
본 발명자들의 연구에 의하면, PTFE 다공막에 적층하는 통기성 지지재료의 재질을 폴리에스테르만으로 하면, TOC 를 저하시킬 수 있다는 것을 발견하였다. 그러나, 폴리에스테르제 통기성 지지재료, 예컨대 폴리에틸렌테레프탈레이트제 부직포를 충분한 통기성을 유지하면서 (낮은 압력손실을 유지하면서) 직접 PTFE 다공막에 접착 (열융착) 하는 것은 곤란하다.
거기서, 양자를 접촉시키기 위해서 핫 멜트 접착제를 사용하는 것을 생각할 수 있다. 그러나, 본 발명자들은 핫 멜트 접착제의 도포형태에 따라서는, 접착제에 의해 PTFE 다공막의 구멍이 메워지고, 에어필터 여재의 포집효과가 저하하거나, 압력손실이 증가하거나, 또 PTFE 다공막과 지지재료가 충분히 접착되지 않는 경우가 있는 것을 발견하였다.
본 발명은 다공성 재료, 에어필터 여재, 에어필터 유닛 및 에어필터 여재용 지지재료에 관한 것이고, 특히 폴리테트라플루오로에틸렌 다공막과 통기성 지지재료를 함유하여 이루어지는 에어필터 여재, 이 여재를 조립한 에어필터 유닛, 및 이 에어필터 여재용 지지재료에 관한 것이다.
본 발명의 첫번째 목적은 PTFE 다공막과 통기성 다공막을, 집적효율을 높게 유지하고, 또한 열융착한 경우와 비교해도 압력손실이 크게되지 않도록 핫 멜트 접착제에 의해 접착되어 형성한 에어필터 여재를 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 그와 같은 에어필터 여재를 사용한 에어필터 유닛, 및 그와 같은 에어필터 여재용 지지재료를 제공하는 것이다.
상기 목적은 폴리테트라플루오로에틸렌 다공막과, 이 다공막의 적어도 한 면에 적층된 통기성 지지재료를 갖고 이루어지고, 상기 폴리테트라플루오로에틸렌 다공막과 상기 통기성 지지재료가 독립섬유상 핫 멜트 접착제 및 결절에 의해 연결된 섬유상 핫 멜트 접착제로부터 이루어지는 군에서 선택되는 1 종 이상의 핫 멜트 접착제를 삽입하여 결합되는 다공성 재료,
본 발명의 상기 다공성 재료로 이루어진 에어필터 여재,
필터 지지체, 및 지지체에 설치된 본 발명의 상기 에어필터 여재를 함유하여 이루어지는 에어필터 유닛, 및
통기성 지지재료 및 그 표면의 적어도 일부에 도포된 독립섬유상 핫 멜트 접착제 및 결절에 의해 연결된 섬유상 핫 멜트 접착제로부터 이루어지는 군에서 선택되는 1 개 이상의 핫 멜트 접착제로 이루어지는 에어필터 여재용 지지재료에 의해 달성된다.
(발명을 실시하기 위한 최선의 형태)
(PTFE 다공막)
본 발명의 다공성 재료, 및 에어필터 여재에 사용하는 PTFE 다공막은 특히 한정되지 않고, 공지된 것을 사용할 수 있다. 이 중에서도, 반도체, 액정등의 제조용 클린룸이나 이들의 제조장치에 사용되는 필터 유닛에 요구되는 부유 미립자의 포집효과, 압력손실 등의 성능 [HEPA 필터 (High Efficiency Particulate AirFilter), ULPA 필터 (Ultra Low Penetration Air Filter) 와 동등 또는 그 이상의 성능] 을 달성 가능한 PTFE 연신 다공막이 바람직하다.
예컨대, 5.3 cm/sec 의 유속으로 공기를 투과시켰을 때의 압력손실이 100 ~ 1000 pa 의 범위이고, 입경이 0.10 ~ 0.12 ㎛ 의 디옥틸프탈레이트 (DOP) 시험입자의 포집효과가 99.0 % 이상인 PTFE 다공막이 바람직하다.
이와 같은 PTFE 다공막은 일본 공개특허공보 평5-202217호, 국제공개공보 WO 94/16802호 등에 기재되어 있다.
본 발명에서 사용하는 PTFE 다공막은 공지의 제법에 의해 용이하게 제조할 수 있다. 예컨대, PTFE 미세분말을 압출 보조제와 함께 페이스트 압출하고, 압연에 의해서 테이프를 수득하고, 이 테이프를 미소성한 그대로, 또는 반 (半) 소성한 후, 이축방향으로 연신함으로써 수득된다. 이와 같은 제법은 일본 공개특허공보 평5-202217호, 국제공개공보 WO 94/16802호 등에 상세히 기재되어 있다.
PTFE 다공막에 적층되는 통기성 지지재료는 PTFE 다공막을 보강, 보호하기 위하여 사용되고, 그에 의해 필터 여재의 취급성이 향상됨과 동시에 플리트 등의 형상의 엘레멘트 가공에서의 가공성이 향상한다.
통기성 지지재료는 바람직하게는 PTFE 다공막보다 작은 압력손실을 갖는다. 통기성 지지재료는 통상, 부직포, 직포, 메쉬, 다공막, 편물등에서 구성되고, 이중에서 부직포가 바람직하다.
통기성 지지재료는 일반적으로 섬유재료로서 이루어지고, 이 경우 섬유는 0.1 ~ 100 ㎛ 의 평균섬유직경을 갖는 것이 바람직하다.
보다 바람직한 통기성 지지재료는 실질적으로 폴리에스테르 섬유, 특히 폴리올레핀을 함유하지 않는 폴리에스테르 섬유로 형성되어 있는 통기성 지지재료이다.
통기성 지지재료는 2 개 이상의 융점을 갖는 통기성 지지재료이어도 된다.
여기서 폴리에스테르란, 종래 공지의 폴리에스테르의 어느 것이라도 되고, 바람직하게는 폴리에틸렌테레프탈레이트 (PET), 폴리부틸렌테레프탈레이트 (PBT) 등 이다. 폴리에스테르는 공중합체이어도 된다.
폴리에스테르섬유 부직포의 바람직한 예로서는, 예컨대 PET 섬유 부직포, PBT 섬유 부직포, 심 (core) 성분이 PET 이고 초 (sheath) 성분이 PBT 인 심초구성 섬유의 부직포 (PET/PBT 심초구조 부직포), 심 성분이 고융점 PET 이고 초 성분이 저융점 PET 인 심초구조 섬유의 부직포 (고융점 PET/저융점 PET 심초구조 부직포), PET 섬유 및 PBT 섬유의 복합섬유로 이루어지는 부직포, 고융점 PET 섬유 및 저융점 PET 섬유의 복합섬유로 이루어지는 부직포 등을 들 수 있다.
바람직한 상기 저융점 PET 는 이소프탈산, 아디프산, 디에틸렌글리콜, 폴리에틸렌글리콜 등을 공중합한 공중합 폴리에틸렌테레프탈레이트이고, 바람직한 상기 고융점 PET 및 통상의 PET 는, 실질적으로 테레프탈산 성분과 에틸렌글리콜 성분으로서 이루어지는 융점 약 260 ℃ 의 것이다.
또, 상기 PBT 도 다른 공중합 가능한 성분과의 공중합체이어도 된다.
하나의 바람직한 형태에 있어서, 필터여재의 통기성 지지재료는 폴리에스테르섬유 부직포, 특히 장섬유를 사용한 부직포이다. 장섬유를 사용한 부직포는 용융방사시에 부직포를 형성할 수 있고 (방사직결 부직포), 처음부터 청정한 상태로유지할 수 있기 때문이다. 장섬유를 사용한 부직포는, 예컨대 스판본드법, 플래쉬방사법, 멜트블로우법에 의해 제조할 수 있다. 이 중에서도, 스판본드법이 바람직하다.
부직포에 있어서는 겉보기 무게는 10 ~ 600 g/㎡, 바람직하게는 15 ~ 300 g/㎡, 보다 바람직하게는 15 ~ 100 g/㎡ 이다. 겉보기 무게가 100 g/㎡ 를 초과하면, 필터여재를 예컨대 플리트형의 에어필터로 가공시에 가공하기 어렵게 되고 (예컨대, 절단되기 어렵고), 또 비용이 많이 드는 경향이 있다.
단섬유를 사용한 부직포는 개섬 (開纖) 을 행하기 위하여 카드를 통과시킬 필요가 있고, 이 공정 통과성을 유지하기 위하여 섬유에 필연적으로 유제가 부여된다. 이 경우, 부직포는 유제를 제거한 후에 사용한다. 단섬유를 사용한 부직포는 니들펀치법, 워터제트법, 스티치본드법, 서멀본드법, 레진본드법 등에 의해 제조할 수 있다.
본 발명의 필터여재에 있어서는, 통기성 지지재료가 난연성 통기성 지지재료인 것을 사용하여도 된다. 여기서 난연성이란, 사단법인 일본공기청정협회 (JACA), 여재규격위원회가 작성한 「공기청정장치용 여재연소성 시험법」 (JACA-No. 11-1977) 에 있어서, 최대 탄화길이가 150 mm 이하의 것을 말한다.
난연성을 부여하는 수단으로는 난연성을 발휘하는 화합물을 공중합한 것이 바람직하고, 특히 폴리에스테르섬유에 난연제인 유기인계 화합물을 공중합한 것은 유기물의 발생을 낮게 억제함과 동시에 인 자체의 발생도 없어 필터여재 전체에 난연성을 갖게 할 수 있어 바람직하다.
핫 멜트 접착제 (HMA) 의 도포방법으로는 통기성 지지재료 및 그 표면의 적어도 일부에 HMA 를 독립 섬유상 및/또는 결절에 의해 결합된 섬유상에 형성할 수 있는 한, 일반적인 핫 멜트 어플리케이터를 사용하는 방법을 채택할 수 있지만, 핫 에어의 압력에 의해 HMA 를 피착체 (지지재료) 에 비접촉으로 섬유상에 퇴적하도록 도포하고, 피착체를 이동시킴으로써 연속하여 도포하는 방법이 바람직하다.
특히, 미세 노즐 (예컨대, 직경 0.3 ~ 0.5 mm 의 노즐) 에 의해 토출시킨 HMA 를 핫 에어의 고속기류에 통과시킴으로써 균일한 섬유상에 안개화 (霧化) 시켜, 피착체 표면에 HMA 섬유층을 퇴적, 형성시키는 방법이 보다 바람직하다. 이와 같은 방법에 의해, HMA 가 고온 (예컨대 180 ℃ 이상) 으로 가열용융시킨 상태로 도포되지만, HMA 는 미세하게 균일화되고 섬유상으로 되어 통기성 지지재료에 퇴적하므로, 예컨대 얇고, 또는 비교적 저융점을 갖는 통기성 지지재료에 도포한 경우에도 열에 의한 손상은 없고, 또한 PTFE 다공막과 피착하여도 PTFE 다공막의 구멍을 막는 것을 적극적으로 저지할 수 있다.
또, HMA 섬유층을 부직포 등의 피착체에 효과적으로 형성시키기 위해서는 HMA 의 양이나 온도, 핫 에어의 압력이나 온도의 관리가 중요하게 된다.
섬유층의 형성에 바람직한 HMA 의 양은 피착체의 이동속도 (라인스피드) 에 좌우되지만, 예컨대 10 m/min 의 경우에는 0.04 g/㎡ ~ 30 g/㎡ 가 바람직하고, 보다 바람직하게는 0.1 g/㎡ ~ 10 g/㎡ 이다.
HMA 의 용융점도는 20,000 cp 이하인 것이 바람직하고, 보다 바람직하게는 10,000 cp 이하이다.
HMA 의 토출온도나 핫 에어 온도는 HMA 의 용해온도에 대해 - 50 ℃ ~ + 100 ℃ 가 바람직하고, 보다 바람직하게는 HMA 의 용해온도에 대해 0 ℃ ~ + 50 ℃ 이다.
핫 에어의 압력은 0.1 kgf/㎠ ~ 5.0 kgf/㎠ 가 바람직하고, 더욱 바람직하게는 0.2 kgf/㎠ ~ 2.0 kgf/㎠ 이다.
핫 멜트 접착제로서는, 예컨대 폴리아미드계, 폴리에스테르계, 합성고무 (엘라스토머) 계, EVA 계, 변성 올레핀계 핫 멜트 접착제를 사용할 수 있다. 이 중에서도, TOC 면에서 폴리아미드계 및 폴리에스테르계 핫 멜트 접착제가 바람직하다.
도포된 섬유상 또는 결절에 의해 연결된 섬유상 핫 멜트 접착제의 섬유직경은, 통상 100 ㎛ 이하, 바람직하게는 0.1 ~ 30 ㎛ 이다.
또한, 섬유상이란 외관상 접착제가 섬유와 같고, 큰 덩어리가 존재하지 않고, 또 구상의 입자도 존재하지 않는 것을 의미한다.
본 발명의 에어필터 여재는, 그 편면에 핫 멜트 접착제를 섬유상에 도포한 통기성 지지재료를 PTFE 다공막의 편면 또는 양면에 접착제 도포면이 PTFE 다공막으로 향하도록 중첩하여 가열하고, 필요에 따라 가압하여 제조할 수 있다.
가열은 어떠한 가열수단을 사용하여 행하여도 되지만, 통상 열 롤상을 중첩한 통기성 지지재료 및 PTFE 다공막을 통과시켜 행한다. 이 때, 필요에 의해 가압 롤에 의해 가압하여도 되지만, 필터여재의 통기성을 손상시키지 않기 위해, 가압하지 않고 (예컨대 자체중량만, 또는 열 롤상에 배치하지만 핀치하지 않고) 제조하는 것이 바람직하다.
가열온도는 사용하는 핫 멜트 접착제의 종류에 따라서 적절하게 결정하면 된다.
본 발명의 에어필터 유닛에서는, 에어필터 여재는 바람직하게는 파상 (波狀) 에 절곡된 상태로 틀체인 지지체에 수납되고, 또한 그 주변이 실링되어 있다.
본 발명의 에어필터 유닛은, 바람직하게는 본 발명의 에어필터 여재를 핫 멜트 접착제로 이루어지는 띠 형상 또는 리본 형상의 스페이서를 갖는 미니플리트식 필터엘레멘트를 수납하여 이루어진다. 이와 같은 구조의 에어필터는 콤펙트로 여재의 전체면적을 유효하게 사용할 수 있으므로, 반도체나 액정 등의 전자 디바이스 제조장치에 바람직하게 사용할 수 있다.
이상, 본 발명의 다공성 재료로 이루어지는 에어필터 여재, 에어필터 유닛을 중심으로 설명하였지만, 본 발명의 다공성 재료는 에어필터 여재의 다른 디스크 장치 등에 사용되는 가스벤트, 연료용기나 내화고체 (耐火庫體) 등의 통기 밸브, 방충제나 탈산소제 등의 통기 포장재, 가스센서등 소자의 보호재, 메디칼패드의 보호층, 종이 기저귀등 위생재료, 방수재료, 기액 분리막, 전지용 세퍼레이터로서도 유용하게 사용할 수 있다.
이하, 실시예를 나타내고 본 발명을 보다 구체적으로 설명한다.
실시예 중, 필터유닛은 필터지지체 틀로 개구면적의 35 배의 면적을 갖는 에어필터 여재를 조립하여 제작하였다.
또, 압력손실 및 입자 포집율은 각각 JIS B 9927 에 준하여, 풍속 0.5 m/sec의 조건하에서 측정하였다. 입자 포집율의 시험입자에는 입경 0.1 ~ 0.2 ㎛ 의 DOP 입자를 사용하였다.
실시예 1
폴리에스테르계 핫 멜트 접착제를 핫 멜트 접착제 도포장치 (가부시끼가이샤 산쯔르제조) 를 사용하고, 용융점도가 10,000 cp 로 되도록 용융온도를 210 ℃ 로 하고, 핫 에어의 압력을 1.2 kgf/㎠, 핫 에어온도를 230 ℃ 로 조정하고, 직경 0.5 mm 의 미세 노즐로부터 50 g/min/m 의 토출량으로, 라인속도 10 m/min 로 이동하는 폴리에틸렌테레프탈레이트 (PET) 제의 스판본드 부직포 (겉보기 무게 50 g/㎡, 압력손실 2 pa) 에 도포함으로써, 결절에 의해 결합된 섬유상 핫 멜트 접착제가 도포량 5 g/㎡ 로 퇴적한 통기성 지지재료를 수득하였다.
PTFE 다공막 (겉보기 무게 2 g/㎡, 압력손실 327 pa, 두께 4 ㎛) 의 양면 각각에, 먼저 형성한 통기성 지지재료를 접착제 도포면이 PTFE 다공막에 마주 향하도록 중첩하고, 라인속도 10 m/min 으로 200 ℃ 의 열 롤에 접착시켜, 가압 롤 없이 적층하여 다공성 재료로 이루어지는 에어필터 여재를 수득하였다. 이 섬유상 핫 멜트 접착제의 섬유 직경은 20 ㎛ 이었다.
수득된 여재를 필터 지지체 틀 (610 x 610 x 65 mm) 로 조립하여 필터 유닛을 제작하여 압력손실과 입자 포집율을 측정하였다. 압력손실은 61 pa 이고, 입자 포집율은 99.9999 % 이었다.
실시예 2
폴리아미드계 핫 멜트 접착제를 실시예 1 에 사용한 것과 동일한 핫 멜트 접착제 도포장치를 사용하고, 용융점도가 5,500 cp 로 되도록 용융온도를 200 ℃ 로 하고, 핫 에어의 압력을 1.0 kgf/㎠, 핫 에어온도를 230 ℃ 로 조정하고, 직경 0.5 mm 의 미세 노즐로부터 50 g/min/m 의 토출량으로, 라인속도 10 m/min 로 이동하는 폴리에틸렌테레프탈레이트 (PET) 제의 스판본드 부직포 (겉보기 무게 40 g/㎡, 압력손실 2 pa) 에 도포함으로써, 결절에 의해 결합된 섬유상 핫 멜트 접착제가 도포량 5 g/㎡ 로 퇴적한 통기성 지지재료를 수득하였다.
PTFE 다공막 (겉보기 무게 2 g/㎡, 압력손실 338 pa, 두께 5 ㎛) 의 양면 각각에, 먼저 형성한 통기성 지지재료를 접착제 도포면이 PTFE 다공막에 마주 향하도록 중첩하고, 라인속도 10 m/min 으로, 200 ℃ 의 열 롤에 접촉시켜, 가압 롤 없이 적층하여, 다공성 재료로 이루어지는 에어필터 여재를 수득하였다. 이 섬유상 핫 멜트 접착제의 섬유 직경은 15 ㎛ 이었다.
수득된 여재를 필터 지지체 틀 (610 x 610 x 65 mm) 로 조립하여 필터 유닛을 제작하여 압력손실과 입자 포집율을 측정하였다. 압력손실은 63 pa 이고, 입자 포집율은 99.9999 % 이었다.
비교예 1
실시예 1 에서 사용한 것과 동일한 PET 제 스판본드 부직포에, 프린트휠식 핫 멜트 접착제 도포장치 (산세이 리고오 가부시끼가이샤 제조) 를 사용하여, 실시예 1 에서 사용한 것과 동일한 핫 멜트 접착제를 칭량 5 g/㎡ 로 도포하여, 핫 멜트 접착제가 도트 형상으로 (섬유를 함유하지 않고) 표면에 형성된 압력손실 21 pa 의 통기성 지지재료를 수득하였다.
PTFE 다공막 (겉보기 무게 2 g/㎡; 압력손실 327 pa; 두께 4 ㎛) 의 양면 각각에, 먼저 형성한 통기성 지지재료를 접착제 도포면이 PTFE 다공막에 마주 향하도록 중첩하고, 라인속도 10 m/min 로, 200 ℃ 의 열 롤에 접촉시켜 적층 (가압 롤 없이) 하여, 다공성 재료로 이루어지는 에어필터 여재를 수득하였다.
이 여재를 사용한 이외에는 실시예 1 과 동일하게 하여 필터유닛을 제작하여 압력손실과 입자 포집율을 측정하였다. 압력손실은 60 pa 이고, 입자 포집율은 99.97 % 이었다. 실시예 1 에 비교하여 입자 포집율이 크게 저하하였다.
비교예 2
핫 멜트 접착제를 T 다이식 도포장치에 의해 도포하는 것 이외는 비교예 1 과 동일하게 하여 필터유닛을 제작하고, 압력손실과 입자 포집율을 측정하였다. 핫 멜트 접착제는 섬유를 함유하지 않고 100 ㎛ 이상의 덩어리로 하여 지지재료의 표면에 형성되어 있었다. 압력손실은 65 pa 이고, 입자 포집율은 99.9992 % 이었다. 실시예 1 에 비교하여, 압력손실 및 입자 포집율이 함께 저하하였다. 특히 포집율의 저하는 실시예 1 에 비교하여 한 자릿수 범위안에 있고, 차세대의 ULPA 필터에서 요구되는 성능을 만족할 수 없다.
비교예 3
실시예 1 에서 사용한 것과 동일한 PET 제 스판본드 부직포에, 신더식 접착제 도포장치를 사용하여, 실시예 1 에서 사용한 것과 동일한 핫 멜트 접착제를 칭량하여 5 g/㎡ 로 도포하고, 압력손실 21 pa 의 통기성 지지재료를 수득하였다. 그러나, 이 지지재료는 실시예 1 과 동일방법에서는 PTFE 다공막과 PET 부직포의접착강도가 약하여, 실질적으로 PTFE 다공막에 접착시킬 수 없었다.
비교예 4
가열 롤상에 니프용 고무롤을 배치하고, 비교예 3 에서 수득한 통기성 지지재료를 고무롤로 가압하면서 PTFE 다공막에 적층하는 이외는, 실시예 1 과 동일하게 하여 필터유닛을 제작하여 압력손실과 입자 포집율을 측정하였다. 압력손실은 93 pa 이고, 입자 포집율은 99.997 % 이었다. 실시예 1 에 비교하여 압력손실 및 입자 포집율이 함께 크게 저하하였다.

Claims (9)

  1. 폴리테트라플루오로에틸렌 다공막과, 이 다공막의 적어도 한 면에 적층된 통기성 지지재료를 갖고 이루어지고, 상기 폴리테트라플루오로에틸렌 다공막과 상기 통기성 지지재료가 독립 섬유상 핫 멜트 접착제 및 결절에 의해 연결된 섬유상 핫 멜트 접착제로 이루어지는 군에서 선택되는 1 개 이상의 핫 멜트 접착제를 삽입하여 결합되어 있는 다공성 재료.
  2. 제 1 항에 기재된 다공성 재료로부터 이루어진 에어필터 여재.
  3. 필터 지지체, 및 이 지지체에 부착된 제 2 항에 기재된 에어필터 여재를 함유하여 이루어진 에어필터 유닛.
  4. 제 3 항에 있어서, 상기 여재가 파상 (波狀) 에 절곡된 상태로 상기 지지체에 수납되고, 여재 주변이 실링되어 있는 에어필터 유닛.
  5. 통기성 지지재료 및 그 표면의 적어도 일부에 도포된 독립 섬유상 핫 멜트 접착제 및 결절에 의해 연결된 섬유상 핫 멜트 접착제로부터 이루어지는 군에서 선택되는 1 개 이상의 핫 멜트 접착제로 이루어진 에어필터 여재용 지지재료.
  6. 미세 노즐로부터, 가열용융시킨 핫 멜트 접착제를 핫 에어의 기류에 통과시킴으로써 섬유상에 안개화 (霧化) 시켜, 통기성 지지재료 표면의 적어도 일부에 섬유상 핫 멜트 접착제를 퇴적시키는 것을 특징으로 하는 에어필터 여재용 지지재료의 제조방법.
  7. 폴리테트라플루오로에틸렌 다공막과 제 5 항에 기재된 에어필터 여재용 지지재료를 적층하여 이루어진 다공성 재료.
  8. 제 7 항에 기재된 다공성재료를 사용한 에어필터 여재.
  9. 필터 지지체, 및 이 지지체에 부착한 제 8 항에 기재된 에어필터 여재를 함유하여 이루어진 에어필터 유닛.
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