KR20010062236A

KR20010062236A - 액정표시장치 및 그 제조방법

Info

Publication number: KR20010062236A
Application number: KR1020000074481A
Authority: KR
Inventors: 스미아키노리; 다카사키이치로; 히로스에미유키
Original assignee: 히로 산쥬; 가부시키가이샤 아드반스트 디스프레이
Priority date: 1999-12-10
Filing date: 2000-12-08
Publication date: 2001-07-07
Also published as: US6717629B2; US20010005256A1; JP3868687B2; US6480256B2; US20030063250A1; TW554196B; KR100690408B1; JP2001166324A

Abstract

2장의 기판에 액정을 끼워유지해서 화상표시를 실행하는 액정표시장치 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 모따기량 안표로 되는 도전성의 패턴에 생기는 정전기에 기인해서 발생하는 표시불량에 의한 공정 효율(양품률) 저하를 방지하고 또한 모따기량을 축소하는 것에 의해서 저가격화와 경량화 및 협케이싱화를 실현하는 표시장치를 제공하기 위해서, 제1 기판에 마련되고 제1 기판의 모따기시에 안표로서 이용하는 도전성 모따기량 안표는 적어도 제1 기판상의 모따기의 중심, 상한, 하한중의 어느 하나로 이루어지는 기준위치에 배치되는 안표패턴 및 안표패턴에 접속하는 접속배선에 의해서 구성되고, 모따기량 안표는 제1 기판의 모따기된 끝부와 접해서 남겨지는 구성으로 하였다.

이와 같은 구성으로 하는 것에 의해서, 액정표시장치의 제조과정의 모따기 작업시에 제1 기판상에 형성한 모따기량 안표를 육안 관찰에 의해 관찰하면서 모따기 작업을 실행할 수 있기 때문에, 모따기 정밀도를 향상시킬 수 있고 모따기량을 축소하는 것에 의해 저가격화와 경량화 및 협케이싱화를 실현하는 표시장치가 얻어진다는 등의 효과가 얻어진다.

Description

액정표시장치 및 그 제조방법{LIQUID CRYSTAL DISPLAY DEVICE AND METHOD FOR MANUFACTURING THEREOF}

본 발명은 2장의 기판에 액정을 끼워유지해서 화상표시를 실행하는 액정표시장치 및 그 제조방법에 관한 것이다.

도 9의 (a)에 박막트랜지스터(TFT)를 스위칭소자로서 이용하는 액티브 매트릭스형 TFT 액정표시장치의 평면도를, 또 도 9의 (b)에 액정표시장치를 구성하는 기판끝부의 모따기영역A2를 중심으로 하는 주요부 평면도를 도시한다. 이 액정표시장치는 제1 기판(101)과 제2 기판(102)사이에 액정재료가 끼워유지되고 제1 기판(101)상에 여러개의 신호배선(103), 주사배선(104)를 형성하고, 신호배선(103)과 주사배선(104)가 교차하는 위치에 TFT 및 화소전극을 접속하여 TFT를 구동하는 것에 의해서, 액정재료의 배향을 제어하여 화상을 표시한다. A1은 표시영역을 나타내고 있다.

제1 기판(101)은 제2 기판(102) 보다 약간 크게 제작되어 있고, 제2 기판(102)의 외측까지 연장된 신호배선(103) 및 주사배선(104)에 접속 단자부(신호배선 접속 단자부(105)와 주사배선 접속 단자부(106)을 총칭한다)가 형성되어 있고, 이 접속 단자부에 있어서 외부의 구동용회로와 접속되어 있다. 그 밖에, (107)은 제1 기판(101)의 접속 단자부가 형성되는 측의 끝부에 대해서 실행되는 모따기 작업시의 모따기 상한 및 하한을 나타내는 안표(표지)로서 형성된 모따기량 안표이고, (109)는 신호배선(103) 또는 주사배선(104)에서 연장된 연장배선이고,(110)은 모따기되는 제1 기판(101)의 끝부에 형성되고 여러개의 연장배선(109)와 전기적으로 접속되는 쇼트배선을 각각 나타내고 있다.

제1 기판(101)과 그것에 대향하는 제2 기판(102)의 중합(오버랩) 및 액정주입 등을 실행하는 셀조립 공정에 있어서는 액정재료를 배향시키기 위해서 제1 기판(101)과 제2 기판(102)상에 도포된 폴리이미드막(배향막)을 천으로 마찰하는 러빙 등의 공정이 필요하지만, 이들 공정에서는 매우 큰 정전기를 발생하여 주사배선(104)와 신호배선(103)에 과전압이 인가되어 배선상의 TFT의 열화 등에 의한 선결함을 일으키는 경우가 있다. 이와 같은 선결함을 방지하는 대책으로서는 신호배선(103) 및 주사배선(104)를 단락시키는 쇼트배선(110)을 기판끝부 근방에 배치하고 점등검사 공정 전에 끝면의 모따기 작업에 의해서 이 쇼트배선(110)을 절제하는 방법이 알려져 있다.

그러나, 쇼트배선(110)은 모따기량의 편차(변동) 등에 의해 제거불량을 일으키는 경우가 있고 이 경우 인접하는 배선사이의 단락이 발생하여 선결함 등의 표시불량, 검사용 구동회로의 파괴 등이 발생한다는 문제가 있었다. 또, 반대로 제거불량 방지를 위해 모따기량을 많이 설정한 경우에 있어서는 모따기 작업의 시간이 걸려 고가로 될 뿐만 아니라 단자접속부 등을 깎아 버리는 등의 폐해가 발생한다는 문제가 있었다.

또, 한편으로는 액정표시장치는 노트형 퍼스널 컴퓨터, 휴대단말 등에 사용되기 때문에 경량화, 협케이싱화에 대한 요구가 강하다. 이들을 만족시키는 한가지 수단으로서 패널 끝에서의 모따기량을 삭감하는 것에 의해서 모따기 영역을절약하는 방법이 있다. 이 경우, 종래보다 모따기 정밀도를 향상시키는 것이 요구되고 비용을 들이지 않고 모따기 정밀도향상을 실현하기 위해서는 통상의 제조과정에 있어서 모따기량을 정밀도 좋게 공정관리하는 방법을 확립하지 않으면 안된다.

상기와 같은 제거불량 방지 및 모따기량 축소와 같은 과제를 해결하기 위해서, 일본국 특허공개공보 평성8-278514호에 개시되어 있는 바와 같은 모따기 상태를 나타내는 안표를 형성하는 방법이 알려져 있다. 이 방법에 있어서는 도 9의 (b)에 도시한 바와 같이 모따기량의 하한위치인 쇼트배선(110)을 포함하는 모따기될 필요 최소한의 영역을 나타내는 위치 및 모따기량의 상한위치인 모따기되어서는 안되는 영역을 나타내는 위치에 모따기 상태를 나타내는 모따기량 안표(107)의 패턴을 배치해서 형성하고, 모따기 공정에 있어서 안표부를 육안 관찰로 확인하면서 작업하는 것에 의해서, 간이하게 쇼트배선(110)의 제거불량방지와 과잉 모따기량의 방지를 실행할 수 있다고 개시되어 있다. 또, 모따기량 안표(107)을 사용해서 모따기량을 관리하는 것에 의해서, 모따기량의 편차를 간이하고 정밀도 좋게 파악할 수 있고, 새로운 설비투자를 하지 않고 모따기 정밀도를 향상시킬 수 있다는 것에 대해 기술되어 있다.

그러나, 통상 모따기량 안표(107)의 형성에는 모따기량 안표(107) 형성을 위한 신규프로세스를 추가하는 것을 회피하기 위해 제 1기판(101)상에 있는 박막층을 유용해서 형성하기 때문에 주로 Cr, Aℓ 등의 도전성박막이 사용된다.

그래서, 다른 도전성 패턴과 독립적으로 형성되어 있는 경우, 셀조립 공정 등의 제조공정에서 발생하는 정전기에 의해서 모따기량 안표(107)의 패턴이 대전하고 후 공정에 있어서 방전이 발생하여 모따기량 안표(107) 및 그것에 인접하는 절연막이나 도전성막의 패턴을 파손시키거나, 또 모따기량 안표(107)근방에 있는 주사배선(104) 및 신호배선(103)을 결락(缺落)시키는 것에 의해서 선결함 등의 표시불량이 발생할 위험성이 있었다.

상기과 같은 방전장해를 회피하는 경우에 모따기량 안표(107)의 패턴을 절연막으로 하는 대책이 고려되지만, 안표로서의 기능을 갖기 위해서는 불투명한 재료를 사용할 필요가 있고 제1 기판(101)상에서 사용하는 질화실리콘 등의 절연재료를 유용할 수 없어 신규의 모따기량 안표(107)의 형성공정이 필요하게 되어 비용상승으로 이어지고 있었다.

또, 종래의 모따기량 안표(107)은 쇼트배선(110) 등의 다른 도전성 배선과 독립적으로 형성되어 있었기 때문에, 모따기량 안표(107)을 도전성 배선이 배치되어 있지 않은 위치에 형성하는 등 모따기량 안표(107)의 형성개소가 한정되고 버려 임의의 개소에서 모따기 치수를 정밀도 좋게 파악하는 것이 곤란하였다.

본 발명의 목적은 이와 같은 종래의 과제를 해결하기 위해 이루어진 것으로서, 모따기량 안표로 되는 도전성의 패턴에 생기는 정전기에 기인해서 발생하는 표시불량에 의한 공정 효율(양품률) 저하를 방지하고 또한 모따기량을 축소하는 것에 의해서 저가격화와 경량화 및 협케이싱화를 실현하는 표시장치를 제공하는 것이다.

도 1은 본 발명의 실시예 1에 의한 액정표시장치를 도시한 도면,

도 2는 본 발명의 실시예 2에 의한 액정표시장치를 도시한 도면,

도 3은 본 발명의 실시예 3에 의한 액정표시장치를 도시한 도면,

도 4는 본 발명의 실시예 4에 의한 액정표시장치를 도시한 도면,

도 5는 본 발명의 실시예 5에 의한 액정표시장치를 도시한 도면,

도 6은 본 발명의 실시예 6에 의한 액정표시장치를 도시한 도면,

도 7은 본 발명의 실시예 7에 의한 액정표시장치를 도시한 도면,

도 8은 본 발명의 실시예 8에 의한 액정표시장치를 도시한 도면,

도 9는 종래의 기술에 의한 액정표시장치를 도시한 도면.

<부호의 설명>

1; 제1 기판, 2; 제2 기판, 3; 신호배선, 4; 주사배선, 5; 신호배선 접속 단자부, 6; 주사배선 접속 단자부, 7; 모따기량 안표(표지), 8a, 8aa; 접속배선, 8b, 8c. 8d, 8e; 안표패턴, 9; 연장배선, 10; 쇼트배선, 11; 투명 절연성 막, 12; 투명 도전성 막, 13; 도전성 배선, 13a; 분기배선, 14; 굴곡부, 15; 배선폭 변경부, A1; 표시영역, A2; 모따기영역.

본 발명에 따른 액정표시장치는 제1 기판과 제2 기판사이에 액정을 끼워유지하는 액정표시장치에 있어서, 상기 제1 기판에 마련되고 상기 제1 기판의 모따기시에 안표로서 이용하는 도전성의 모따기량 안표는 적어도 상기 제1 기판상의 모따기의 중심, 상한, 하한중의 어느 하나로 이루어지는 기준위치에 배치되는 안표패턴 및 상기 안표패턴에 접속하는 접속배선에 의해서 구성되고, 상기 모따기량 안표는 상기 제1 기판의 모따기된 끝부에 접해서 남겨지는 것이다.

또, 본 발명에 따른 액정표시장치는 제1 기판과 제2 기판사이에 액정을 끼워유지하는 액정표시장치에 있어서, 상기 제1 기판에 마련되고 상기 제1 기판의 모따기시에 안표로서 이용하는 도전성의 모따기량 안표는 적어도 상기 제1 기판상의 모따기의 중심, 상한, 하한중의 어느 하나로 이루어지는 기준위치에 배치되는 안표패턴 및 상기 안표패턴과 상기 제1 기판상에 형성되는 도전성 배선을 접속하는 접속배선에 의해서 구성되는 것이다.

또, 본 발명에 따른 액정표시장치는 상기와 바와 같은 구성에 있어서 도전성 배선과 모따기량 안표는 1개로 연속하는 패턴으로 형성되는 것이다.

또, 본 발명에 따른 액정표시장치는 상기와 같은 구성에 있어서 안표패턴과접속배선은 투명 절연성 막을 거쳐서 배치되고, 상기 투명 절연성 막에 개구된 콘택트홀내에 있어서 전기적으로 접속되는 것이다.

또, 본 발명에 따른 액정표시장치는 제1 기판과 제2 기판사이에 액정을 끼워유지하는 액정표시장치에 있어서, 상기 제1 기판에 마련되고 상기 제1 기판의 모따기시에 안표로서 이용하는 모따기량 안표는 적어도 상기 제1 기판상의 모따기의 중심, 상한, 하한중의 어느 하나로 이루어지는 기준위치에 배치되는 안표패턴을 갖는 도전성 패턴에 의해서 구성되고, 상기 제1 기판상에 형성된 도전성 배선과 상기 도전성 패턴은 서로 중첩하는 위치에 있어서 전기적으로 접속되는 것이다.

또, 본 발명에 따른 액정표시장치는 상기와 같은 구성에 있어서 안표패턴은 다른 도전성 패턴 또는 네가티브패턴(negative pattern)에 의해서 구성되는 것이다.

또, 본 발명에 따른 액정표시장치는 제1 기판과 제2 기판사이에 액정을 끼워유지하는 액정표시장치에 있어서, 상기 제1 기판의 모따기시에 안표로서 이용하는 모따기량 안표는 상기 제1 기판상에 형성되는 도전성 배선의 끝부에 의해서 구성되고, 전기적으로 접속 가능한 여러개 인접하는 상기 도전성 배선사이를 사다리형상으로 접속하는 안표패턴이 적어도 모따기의 중심, 상한, 하한중의 어느 하나로 이루어지는 기준위치에 배치되어 이루어지는 것이다.

또, 본 발명에 따른 액정표시장치는 제1 기판과 제2 기판사이에 액정을 끼워유지하는 액정표시장치에 있어서, 상기 제1 기판에 마련되고 상기 제1 기판의 모따기시에 안표로서 이용하는 모따기량 안표는 상기 제1 기판상에 형성되는 도전성 배선의 끝부에 의해서 구성되고, 선단이 분기된 상기 도전성 배선의 분기배선사이를 사다리형상으로 접속하는 안표패턴이 적어도 모따기의 중심, 상한, 하한중의 어느 하나로 이루어지는 기준위치에 배치되어 이루어지는 것이다.

또, 본 발명에 따른 액정표시장치는 제1 기판과 제2 기판사이에 액정을 끼워유지하는 액정표시장치에 있어서, 상기 제1 기판에 마련되고 상기 제 1 기판의 모따기시에 안표로서 이용하는 모따기량 안표는 상기 제1 기판상에 형성되는 도전성 배선의 끝부를 절곡시키는 것에 의해서 구성되고, 상기 도전성 배선을 절곡시키는 굴곡부로 이루어지는 안표패턴이 적어도 모따기의 중심, 상한, 하한중의 어느 하나로 이루어지는 기준위치에 배치되어 이루어지는 것이다.

또, 본 발명에 따른 액정표시장치는 제1 기판과 제2 기판사이에 액정을 끼워유지하는 액정표시장치에 있어서, 상기 제1 기판에 마련되고 상기 제1 기판의 모따기시에 안표로서 이용하는 모따기량 안표는 상기 제1 기판상에 형성되는 도전성 배선의 끝부의 배선폭을 소정 간격으로 변화시키는 것에 의해서 구성되고, 상기 도전성 배선의 폭을 변경시키는 배선폭 변경부로 이루어지는 안표패턴이 적어도 모따기의 중심, 상한, 하한중의 어느 하나로 이루어지는 기준위치에 배치되어 이루어지는 것이다.

또, 본 발명에 따른 액정표시장치의 제조방법은 제1 기판상에 도전성 배선을 형성함과 동시에 여러개의 상기 도전성 배선을 상기 제1 기판의 끝부 근방에 있어서 서로 전기적으로 접속하는 쇼트배선을 형성하고, 또 상기 쇼트배선 또는 상기 도전성 배선에 전기적으로 접속되고 적어도 상기 제1 기판상의 모따기의 중심, 상한, 하한중의 어느 하나로 이루어지는 기준위치에 배치되는 안표패턴 및 여리개의 상기 안표패턴을 서로 전기적으로 접속하는 접속배선에 의해서 구성되는 모따기량 안표를 형성하는 공정; 배향처리후의 상기 제1 기판과 제2 기판을 접합(접착)하고 액정을 주입하는 공정 및: 상기 제1 기판에 마련된 상기 모따기량 안표를 기준으로 해서 모따기를 실행하여 상기 쇼트배선을 절제하는 공정을 포함하는 것이다.

또, 본 발명에 따른 액정표시장치의 제조방법은 제1 기판상에 도전성 배선을 형성함과 동시에 여러개의 상기 도전성 배선을 상기 제1 기판의 끝부 근방에 있어서 서로 전기적으로 접속하는 쇼트배선을 형성하고, 또 상기 도전성 배선에 전기적으로 접속되고 적어도 상기 제1 기판상의 모따기의 중심, 상한, 하한중의 어느 하나로 이루어지는 기준위치에 배치된 안표패턴 및 상기 안표패턴과 상기 도전성 배선을 서로 전기적으로 접속하는 접속배선에 의해서 구성되는 모따기량 안표를 형성하는 공정; 배향처리후의 상기 제1 기판과 제2 기판을 접합하고 액정을 주입하는 공정 및: 상기 제1 기판에 마련된 상기 모따기량 안표를 기준으로 해서 모따기를 실행하여 상기 쇼트배선을 절제하는 공정을 포함하는 것이다.

또, 본 발명에 따른 액정표시장치의 제조방법은 제1 기판상에 도전성 배선을 형성함과 동시에 여러개의 상기 도전성 배선을 상기 제1 기판의 끝부 근방에 있어서 서로 전기적으로 접속하는 쇼트배선을 형성하는 공정; 상기 제1 기판상에 상기 쇼트배선에 전기적으로 접속되고 적어도 상기 제1 기판상의 모따기의 중심, 상한, 하한중 어느 하나로 이루어지는 기준위치에 배치되는 안표패턴 및 투명 절연성 막을 거쳐서 상기 안표패턴과 중첩하고 상기 투명 절연성 막에 개구된 콘택트홀내에 있어서 상기 안표패턴과의 전기적 접속을 실행하고 여리개의 상기 안표패턴을 서로 전기적으로 접속하거나 또는 상기 안표패턴과 상기 도전성 배선을 전기적으로 접속하는 접속배선에 의해서 구성되는 모따기량 안표를 형성하는 공정; 배향처리후의 상기 제1 기판과 제2 기판을 접합하고 액정을 주입하는 공정 및: 상기 제1 기판에 마련된 상기 모따기량 안표를 기준으로 해서 모따기를 실행하여 상기 쇼트배선을절제하는 공정을 포함하는 것이다.

또, 본 발명에 따른 액정표시장치의 제조방법은 제1 기판상에 도전성 배선을 형성함과 동시에 여러개의 상기 도전성 배선을 상기 제1 기판의 끝부 근방에 있어서 서로 전기적으로 접속하는 쇼트배선을 형성하는 공정; 상기 도전성 배선의 표면을 포함하는 상기 제1 기판상에 투명 절연성 막을 형성하는 공정; 상기 도전성 배선상에 위치하는 상기 투명 절연성 막에 콘택트홀을 형성하는 공정; 상기 투명 절연성 막상에 적어도 상기 제1 기판상의 모따기의 중심, 상한, 하한중의 어느 하나로 이루어지는 기준위치에 배치된 안표패턴을 포함하는 도전성 패턴에 의해서 구성되는 모따기량 안표를 형성하고, 상기 콘택트홀내에 있어서 상기 도전성 배선과 상기 모따기량 안표의 전기적 접속을 실행하는 공정; 배향처리후의 상기 제1 기판과 제2 기판을 접합하고 액정을 주입하는 공정 및; 상기 제1 기판에 마련된 상기 모따기량 안표를 기준으로 해서 모따기를 실행하여 상기 쇼트배선을 절제하는 공정을 포함하는 것이다.

또, 본 발명에 따른 액정표시장치의 제조방법은 제1 기판상의 모따기가 실행되는 끝부 근방에 적어도 상기 제1 기판의 모따기의 중심, 상한, 하한중의 어느 하나로 이루어지는 기준위치에 배치된 안표패턴을 포함하는 도전성 패턴에 의해서 구성되는 모따기량 안표를 형성하는 공정; 상기 모따기량 안표의 표면을 포함하는 상기 제1 기판상에 투명 절연성 막을 형성하는 공정; 상기 모따기 안표상에 위치하는 상기 투명 절연성 막에 콘택트홀을 개구하는 공정; 상기 투명 절연성 막상에 도전성 배선을 형성함과 동시에 여러개의 상기 도전성 배선을 상기 제1 기판끝부 근방에 있어서 서로 전기적으로 접속하는 쇼트배선을 형성하고, 상기 콘택트홀내에 있어서 상기 도전성 배선과 상기 모따기량 안표의 전기적 접속을 실행하는 공정, 배향처리후의 상기 제1 기판과 제2 기판을 접합하고 액정을 주입하는 공정 및; 상기 제1 기판에 마련된 상기 모따기량 안표를 기준으로 해서 모따기를 실행하여 상기 쇼트배선을 절제하는 공정을 포함하는 것이다.

또, 본 발명에 따른 액정표시장치의 제조방법은 상기와 같은 제조방법에 있어서, 안표패턴은 다른 도전성 패턴 또는 네가티브패턴에 의해서 형성되는 것이다.

또, 본 발명에 따른 액정표시장치의 제조방법은 제1 기판상에 도전성 배선을 형성함과 동시에, 이 도전성 배선의 끝부에 의해서 구성되고 전기적으로 접속 가능한 여러개의 인접하는 상기 도전성 배선사이를 사다리형상으로 접속하는 안표패턴이 적어도 모따기의 중심, 상한, 하한중의 어느 하나로 이루어지는 기준위치에 배치되어 이루어지는 모따기량 안표를 형성하는 공정; 배향처리후의 상기 제1 기판과 제2 기판을 접합하고 액정을 주입하는 공정 및; 상기 제1 기판상에 마련된 상기 모따기량 안표를 기준으로 해서 모따기를 실행하는 공정을 포함하는 것이다.

또, 본 발명에 따른 액정표시장치의 제조방법은 제1 기판상에 도전성 배선을 형성함과 동시에, 이 도전성 배선의 끝부에 의해서 구성되고 선단이 분기된 상기 도전성 배선의 분기배선사이를 사다리형상으로 접속하는 안표패턴이 적어도 모따기의 중심, 상한, 하한중의 어느 하나로 이루어지는 기준위치에 배치되어 이루어지는 모따기량 안표를 형성하는 공정; 배향처리후의 상기 제1 기판과 제2 기판을 접합하고 액정을 주입하는 공정 및;, 상기 제1 기판상에 마련된 상기 모따기량 안표를 기준으로 해서 모따기를 실행하는 공정을 포함하는 것이다.

또, 본 발명에 따른 액정표시장치의 제조방법은 제1 기판상에 도전성 배선을 형성함과 동시에, 이 도전성 배선의 끝부에 의해서 구성되고, 상기 도전성 배선의 끝부를 절곡시키는 것에 의해서 구성되고 적어도 모따기의 중심, 상한, 하한중의 어느 하나로 이루어지는 기준위치에 굴곡부가 마련되어 이루어지는 모따기량 안표를 형성하는 공정; 배향처리후의 상기 제1 기판과 제2 기판을 접합하고 액정을 주입하는 공정 및; 상기 제1 기판에 마련된 상기 모따기량 안표를 기준으로 해서 모따기를 실행하는 공정을 포함하는 것이다.

또, 본 발명에 따른 액정표시장치의 제조방법은 제1 기판상에 도전성 배선을 형성함과 동시에, 이 도전성 배선의 끝부에 의해서 구성되고 상기 도전성 배선의 끝부의 배선폭을 소정 간격으로 변화시키고 적어도 상기 제1 기판상의 모따기의 중심, 상한, 하한중의 어느 하나로 이루어지는 기준위치에 배선폭 변경부가 마련되어 이루어지는 모따기량 안표를 형성하는 공정; 배향처리후의 상기 제1 기판과 제2 기판을 접합하고 액정을 주입하는 공정; 상기 제1 기판에 마련된 상기 모따기량 안표를 기준으로 해서 모따기를 실행하는 공정을 포함하는 것이다.

또, 본 발명에 따른 액정표시장치의 제조방법은 상기의 도전성 배선의 끝부에 의해서 모따기량 안표가 구성되는 제조방법에 있어서, 제1 기판상에 도전성 배선을 형성할 때 동시에 상기 제1 기판의 끝부 근방에 상기 도전성 배선과 전기적으로 접속하는 쇼트배선을 형성하는 공정 및; 모따기량 안표를 기준으로 해서 모따기를 실행할 때 동시에 상기 쇼트배선을 절제하는 공정을 포함하는 것이다.

<발명의 실시예>

<실시예 1>

다음에 본 발명의 실시예 1에 따른 액정표시장치에 대해서 설명한다. 도 1의 (a)는 신호배선 또는 주사배선을 전기적으로 단락시키는 쇼트배선을 갖고, 표시검사 공정 전에 기판 끝부를 모따기하는 것에 의해서 쇼트배선을 절제하는 방법에 의해 제조되는 본 발명에 따른 TFT 액정표시장치의 평면도이고, 또 도 1의 (b)는 본 발명에 따른 액정표시장치의 모따기영역A2를 중심으로 하는 주요부 사시도이다.

도면에 있어서, (1)은 제1 기판, (2)는 제1 기판(1) 중 표시영역A1로 되는 영역과 대향해서 배치되는 제2 기판, (3)은 신호배선, (4)는 신호배선(3)과 표시영역A1에 있어서 직교하는 주사배선, (5)는 신호배선(3)과 전기적으로 접속되고 제1 기판(1) 끝부의 신호배선(3)이 연장하는 위치에 배치되고 외부구동용 기판으로의 접속을 도모하기 위한 신호배선 접속 단자부, (6)은 주사배선(4)와 전기적으로 접속되고 제1 기판(1)의 끝부의 주사배선(4)가 연장하는 위치에 배치되는 주사배선 접속 단자부이다.

또, (7)은 모따기영역A2의 절제작업(모따기 작업)시에 육안 관찰에 의해 모따기 상태를 용이하게 확인할 수 있도록 하기 위해서 안표로서 이용하는 모따기량 안표이고, 모따기가 실행되기 전의 단계에 있어서는 이 모따기량 안표(7)은 접속 단자부(신호배선 접속 단자부(5) 및 주사배선 접속 단자부(6)의 총칭)에서 제1 기판(1)의 끝부측으로 연장하는 여러개의 연장배선(9)를 전기적으로 접속하는 쇼트배선(10)과 전기적으로 접속하도록 마련되어 있다. 또한, 신호배선(3), 주사배선(4), 연장배선(9)는 도전성 배선에 상당하고 있다.

모따기량 안표(7)은 도 1의 (b)에 그의 사시도를 도시하고 있는 바와 같이, 모따기 목표의 중심으로 되는 기준위치를 중심으로 해서 소정 간격만큼 떨어진 위치인 모따기 상한, 하한위치에 각각 배치된 도전성 안표패턴(8b) 및 여러개의 안표패턴(8b)와 쇼트배선(10)을 전기적으로 접속하는 접속배선(8a)에 의해 구성되어 있다.

또한, 모따기 상한위치보다 기판중심측에 모따기 후의 단면이 형성되는 상태로 된 경우는 접속 단자부 등을 구성하는 도전성 패턴의 부분적인 결락 등의 문제가 발생하고, 모따기 하한위치보다 기판끝면측에 모따기 후의 단면이 형성되는 상태로 된 경우에는 쇼트배선(10)의 제거가 불완전하게 되는 등 배선이 쇼트(단락)하는 등의 문제가 발생하기 때문에, 이상적으로는 모따기 목표 중심위치에 있어서 또는 모따기 상한위치와 하한위치사이에 있어서 모따기를 실행할 필요가 있는 것에 대해서는 종래 기술의 설명에 있어서 기재한 바와 같다.

이와 같은 상태로 형성된 액정표시장치는 접속배선(8a) 및 안표패턴(8b)로 이루어지는 도전성의 모따기량 안표(7)이 모따기 공정 전의 단계에 있어서 쇼트배선(10) 및 연장배선(9)와 동일 전위로 유지되고 있어 모따기량 안표(7) 자체에 생기는 정전기에 기인하는 장해를 방지할 수 있는 구조로 되어 있다.

또한, 이 실시예를 주사배선 취출부와 신호배선 취출부중의 어느 한쪽에 실시하는 것에 의해서도 모따기 관리가 효율화되지만, 쌍방에 있어서 실시하는 것에의해서 더욱 모따기 관리의 효율화를 도모할 수 있는 것은 물론이다. 또, 모따기량 안표(7)은 모따기영역A2로 되는 제1 기판(1)의 1변에 대해 적어도 2개소에 마련한 것으로 하고, 더욱 많은 수의 모따기량 안표(7)을 마련하는 것에 의해 모따기 후의 단면과 모따기량 안표를 육안 관찰에 의해 비교하여 간단하게 모따기 정밀도를 더욱 고정밀도로 파악하는 것이 가능하다.

또, 도 1의 (b)의 사시도에 도시한 바와 같이, 신호배선 접속 단자부(5) 및 연장배선(9), 쇼트배선(10)의 패터닝과 동시에 동일 재질의 도전성 막에 의해서 모따기량 안표(7)을 형성하기 때문에 모따기량 안표(7)의 제조 프로세스를 추가하지 않고 공정 효율 저하를 방지할 수 있다.

또, 모따기량 안표(7)을 육안 관찰에 의해 확인하면서 모따기 작업을 실행할 수 있고, 모따기 정밀도가 향상되기 때문에 모따기량의 편차가 없어져 쇼트배선(10)의 제거불량과 과잉 모따기를 방지할 수 있다. 또, 모따기 치수 파악의 고정밀도화에 의해 경량화, 협케이싱화가 가능하게 된다.

또한, 상기 설명에서는 주로 모따기시의 기준위치가 모따기 중심인 경우에 대해서 설명했지만, 이 기준위치는 모따기 상한, 하한위치중의 어느 것으로 해도 좋다. 또, 상기 예에서는 기준위치인 모따기 중심에서 소정 거리만큼 떨어진 위치에 상한, 하한위치를 배치하는 경우를 설명했지만, 예를 들면 기준위치로 되는 상한 또는 하한위치에만 안표패턴(8b)를 배치해도 좋고, 상한 및 하한위치에 안표패턴(8b)를 배치해도 좋으며, 여러가지 조합에 의해 안표패턴(8b)를 배치하는 것이 가능하다.

<실시예 2>

다음에 본 발명의 실시예 2에 따른 액정표시장치의 모따기량 안표(7)을 중심으로 주요부 평면도를 도 2에 도시한다. 도 2에 있어서, (8aa)는 연장배선(9)에 직접분기된 접속배선이고 이 접속배선(8aa)는 안표패턴(8b)에 각각 접속되어 있는 것이다. 또한, 그 밖에 이미 설명을 위해 사용한 부호와 동일한 부호는 동일 또는 상당 부분을 나타내는 것이다.

상술한 실시예 1에 있어서는 모따기량 안표(7)을 구성하는 1개의 배선으로 이루어지는 접속배선(8a)가 여러개의 안표패턴(8b)와 쇼트배선(10)에 접속되는 예에 대해서 기술했지만, 도 2에 도시한 바와 같이 여러개의 접속배선(8aa)가 도전성 배선인 연장배선(9)에 접속되는 구조이어도 마찬가지 효과를 얻을 수 있다.

또, 접속배선(8aa)가 모따기된 기판끝부에 의해서 구성되는 모따기 라인과 평행하게 배치되기 때문에, 모따기 공정후에 있어서도 남겨진 모따기량 안표(7)이 접속배선(8aa)를 거쳐서 다른 도전성 배선에 접속되어 동일 전위로 유지되고 있으므로 그 후의 정전기 장해도 방지할 수 있다.

또, 도 2에 도시한 바와 같이 모따기량 안표(7)을 구성하는 안표패턴(8b)를 모따기 중심으로 되는 기준위치, 모따기 상한, 하한위치 이외에 패턴의 길이를 변경하는 등 그의 중간위치에도 등간격으로 배치하는 것에 의해서 안표패턴(8b)를 눈금으로서 기능시킬 수 있어 모따기 치수를 정밀도 좋게 파악할 수 있게 된다.

또한, 통상의 모따기량은 0.2∼0.5㎜정도이기 때문에, 안표패턴(8b)의 배치주기는 0.01∼0.1㎜정도로 하는 것이 바람직하다.

또, 모따기 중심, 상한, 하한중의 어느 하나의 위치를 기준위치로 해서 눈금으로 되는 안표패턴(8b)를 배치하는 것 이외에, 예를 들면 모따기 전 단계의 제1 기판(1)의 끝부에서 동간격으로 안표패턴을 배치하는 것에 의해 눈금을 부가하는 것, 또는 쇼트배선(10)의 배치위치에서 등간격으로 안표패턴을 배치하는 것에 의해 눈금을 부가하고 이 눈금을 기준으로 해서 모따기를 실행하는 것도 가능하다.

<실시예 3>

상술한 도 1의 예에 있어서는 안표패턴(8b), 접속배선(8a), 연장배선(9), 쇼트배선(10)은 Cr, Aℓ 등으로 형성되고 다른 도전성 패턴과 동일한 박막층으로 성막하고 현상공정에서 일괄하여 패터닝하는 것에 의해서, 신규의 안표형성공정을 추가하지 않고 개개의 전기적 접속을 실현하는 것에 대해서 기술하였다. 이 실시예 3에서는 도 3에 그의 주요부 단면도를 도시한 바와 같이, 모따기량 안표(7)을 구성하는 접속배선(8a)와 안표패턴(8b)를 다른 공정에서 형성하는 경우에 대해서 설명한다. 또한, 도 3에 있어서 (11)은 투명 절연성 막을 나타내고 있다.

제1 기판(1)상에 접속배선(8a)를 형성한 후 투명 절연성 막(11)를 형성하고, 후 공정에서 형성되는 안표패턴(8b)와 접속배선(8a)가 중첩하는 영역에 위치하는 투명 절연성 막(11)에 콘택트홀을 개구한다. 또, 콘택트홀상에 안표패턴(8b)를 형성하는 것에 의해 콘택트홀내에 있어서 전기적 접속을 확보할 수 있다. 또한, 접속배선(8a)와 안표패턴(8b)를 반대 순서로 형성해서 접속하는 것도 가능하다.

<실시예 4>

다음에 본 발명의 실시예 4에 따른 액정표시장치의 모따기량 안표(7)을 중심으로 하는 주요부 평면도를 도 4에 도시하여 설명한다.

도 4에 있어서 (8c)는 연장배선(9)와 전기적으로 접속되는 1개로 연속하는 도전성 패턴으로 이루어지는 모따기량 안표(7)상에 형성되고 중첩하는 위치에 있는 안표패턴이고, 이 안표패턴(8c)는 모따기 중심으로 되는 기준위치 및 이 기준위치에서 소정 간격만큼 떨어진 위치에 배치되는 모따기 상한, 하한위치에 상당하는 위치에 각각 배치해서 형성되어 있는 것이다. 모따기량 안표(7)은 안표패턴(8c) 및 여러개 마련된 안표패턴(8c)의 형성 영역을 덮고 또 연장배선(9)에 까지 연장하는 1개로 연속하는 투명 도전성 막(12)에 의해서 구성되어 있다.

또, 도 4에 도시된 안표패턴(8c)는 모따기 중심으로 되는 기준위치, 상한, 하한위치의 3점에 마련된 경우를 설명하고 있지만, 실시예 2에 있어서 설명한 경우와 마찬가지로 그의 중간점에 눈금으로서 다른 안표패턴을 형성해도 좋다. 또, 도 4에 도시한 안표패턴(8c)는 다른 도전성 배선인 연장배선(9)와 동일한 제조공정에 의해 형성할 수 있고, 그 후 투명 절연성 막을 거쳐서 투명 도전성 막(12)를 형성하고, 실시예 3에 있어서 설명한 바와 같이 연장배선(9)와 중첩하는 영역에 있어서 콘택트(접속)를 취하는 것에 의해 전기적 접속을 도모할 수 있다. 또, 먼저 투명 도전성 막(12)를 형성해 두고 그 후 연장배선(9) 및 안표패턴(8c)를 형성하고, 양자를 층사이에 개재하는 절연막에 마련한 콘택트홀내부을 거쳐서 전기적으로 접속하는 것도 가능하다.

또한, 투명 도전성 막(12)을 연장배선(9)에 접속하는 구조로 한 경우 모따기후에 남겨지는 투명 도전성 막(12)와 연장배선(9)가 그 후에도 동일 전위로 유지되기 때문에, 모따기량 안표(7)에 정전기가 대전하는 것을 억제할 수 있다.

또, 투명 도전성 막(12)는 연장배선(9)에 접속하는 경우 이외에 쇼트배선(10)에 접속하는 구조로 해도 좋고, 안표패턴(8c)를 도전성 배선과는 다른 도전성 패턴에 의해서 구성하는 것 이외에 투명 도전성 막(12)의 일부를 잘라낸 네가티브패턴으로서 형성하는 것도 가능하다.

도 4에 도시한 바와 같이 1개로 연속하는 비교적 큰 도전성 패턴으로서 모따기량 안표(7)을 형성하는 경우, 모따기 공정후에 있어서도 연장배선(9)에 접속되는 모따기량 안표(7)이 부분적으로 남겨지지만, 통상 연속해서 배치되는 도전성 배선(신호배선(3)이나 주사배선(4) 및 이들과 전기적으로 접속하는 연장배선(9)에 상당한다)의 배열에 위치하는 끝부의 배선은 예비적으로 배치되는 배선이거나 또 거의 전위의 변화가 없는 배선이기 때문에, 이 도전성 배선에 모따기량 안표(7)이 접속되어 남아 있더라도 신호제어에 악영향을 미치는 일은 없다.

<실시예 5>

다음에 본 발명의 실시예 5에 대해서 설명한다. 도 5에 있어서 (8d)는 여러개의 도전성 배선(13)의 끝부에 배치된 모따기량을 결정하기 위한 안표패턴으로서, 모따기량 안표가 인접하는 여러개의 도전성 배선(13)사이에 사다리형상으로 이 안표패턴(8d)를 배치한 상태로 형성되어 있다. 또한, 도전성 배선(13)은 신호배선(3) 또는 주사배선(4)와 전기적으로 접속된 배선으로서, 이 도면에 있어서는 모따기영역A2 근방에 배치된 배선을 나타내고 있다. 또, 여러개의 도전성배선(13)이 모따기 공정후에 있어서도 서로 접속된 상태로 되기 때문에, 안표패턴(8d)에 의해서 접속되는 도전성 배선(13)은 동일 전위가 인가되는 배선 또는 예비적으로 배치되는 배선 등 접속에 의해서 신호제어에 문제가 발생하지 않는 배선으로 할 필요가 있다.

이 도 5에 있어서는 상술한 실시예 1∼4에 설명한 쇼트배선(10)이 기재되어 있지 않지만, 안표패턴(8d)를 사다리형상으로 배선사이에 연속해서 배치하는 것에 의해서 각 배선과의 전기적 접속이 가능하게 되기 때문에, 별도로 쇼트배선에 의해 여러개의 배선을 접속하지 않더라도 정전기에 의한 악영향을 방지할 수 있다.

또한, 상술한 실시예 1∼4에서 설명한 경우와 마찬가지로 쇼트배선(10)을 형성하는 것에 의해, 더욱 확실하게 정전기에 의한 악영향을 억제할 수 있는 것은 물론이다.

또, 도 5에 도시한 안표패턴(8d)는 모따기 중심으로 되는 기준위치, 상한, 하한위치에 각각 배치하는 것으로 하고, 또 모따기 중심으로 되는 기준위치의 모따기라인을 따라 배치되는 안표패턴(8d)의 개수를 상한위치, 하한위치에 배치되는 안표패턴(8d)의 수보다 증감시키는 것 등에 의해서, 기준위치와 다른 상한, 하한위치의 차별화를 하는 것이 가능하게 된다.

이와 같이, 도전성 배선(13)의 끝부를 이용해서 모따기량 안표를 형성하는 경우에 안표를 도전성 배선이 형성되어 있지 않은 위치를 선택해서 배치할 필요가 없고, 동일 전위가 인가되는 배선사이 또는 더미(dummy)배선사이이면 어디라도 안표의 형성 개소로 할 수 있어 임의의 개소에서 모따기 치수를 정밀도 좋게 파악할수 있게 된다.

<실시예 6>

다음에 본 발명에 따른 실시예 6에 대해서 도 6을 사용해서 설명한다. 도 6에 있어서 (8e)는 도전성 배선(13)의 끝부가 여러개(도 6의 경우는 2개)로 분기해서 이루어지는 분기배선(13a)의 배선사이에 마련된 모따기를 위한 안표패턴으로서, 모따기량 안표는 분기배선(13a)가 배치된 영역에 의해서 구성되어 있다. 또한, 분기배선(13a)의 배선사이에 배치되고 부분적으로 배선사이를 접속하는 안표패턴(8e)는 도전성 배선(13)의 형성과 동시에 패터닝하는 것이 가능하다.

도 6에 도시한 바와 같이 안표패턴(8e)를 2개 마련한 경우에는 도전성 배선(13)의 분기부에 가까운 측의 안표패턴(8e)를 모따기 중심위치로 하고, 도전성 배선(13)의 분기부를 모따기 상한위치, 도전성 배선(13)의 끝부에 가까운 위치에 배치되는 안표패턴(8e)를 모따기 하한위치로 하는 것이 가능하고, 그 밖에 여러가지 상태로 안표, 눈금을 배치하는 것이 가능하다.

또, 도 6에서는 1개의 배선에서 분기한 분기배선(13a)의 길이가 일치하도록 형성된 예를 설명했지만, 다른 길이로 형성하여 분기배선끝을 안표의 1개로서 이용하는 등의 방법을 취하는 것도 가능하다.

이와 같이, 1개의 배선을 분기해서 그 분기배선(13a)사이에 사다리형상으로 안표패턴(8e)를 형성하는 형태로 하면 상술한 실시예 5에 설명한 바와 같이 동일 전위가 인가되는 배선사이 또는 더미배선의 배선사이를 선택해서 모따기량 안표를 배치할 필요는 없고, 도전성 배선(13)의 끝부이면 어디라도 모따기량 안표를 형성하는 것이 가능하게 된다.

<실시예 7>

다음에 본 발명의 실시예 7에 대해서 도 7를 사용해서 설명한다. 도 7에 있어서 (14)는 모따기영역A2 근방에 위치하는 도전성 배선(13)의 굴곡부를 나타내는 것이고, 이 굴곡부(14)에 있어서 도전성 배선(13)이 절곡되어 비틀리는(뒤틀리는) 상태로 되고 있고, 1개의 도전성 배선(13)의 모따기 중심으로 되는 기준위치, 상한위치, 하한위치에 각각 이 굴곡부(14)가 배치해서 형성되어 있다.

이와 같은 굴곡부(14)에 의해서 모따기량 안표 또는 모따기를 위한 눈금을 구성하는 것에 의해, 안표를 도전성 배선(13)이 형성되어 있지 않은 위치를 선택해서 배치할 필요가 없고, 안표의 형성 개소가 한정되지 않아 임의의 개소에서 모따기 치수를 정밀도 좋게 파악할 수 있게 된다.

<실시예 8>

다음에 본 발명의 실시예 8에 대해서 도 8를 사용해서 설명한다. 도 8에 있어서 (15)는 모따기영역A2의 근방에 위치하는 도전성 배선(13)의 배선폭 변경부를 도시한 것이고, 배선폭 변경부(15)에 있어서 배선의 폭을 변화시키는 것에 의해 모따기량 안표로 하고 있는 예이다.

또한, 배선폭은 도 8에 도시한 바와 같이 배선폭을 2종류로 해서 배선폭 변경부(15)에 있어서 그의 폭이 교대로 변화되도록 해도 좋고, 배선폭을 3종류로 해서 도전성 배선(13)의 끝부에 가까울수록 미세한 배선으로 하는 등 다양하게 형성할 수 있는 것은 물론이다.

본 발명에 따르면, 액정표시장치의 제조과정의 모따기 작업시에 제1 기판상에 형성한 모따기량 안표를 육안 관찰에 의해 관찰하면서 모따기 작업을 실행할 수 있기 때문에, 모따기 정밀도를 향상시킬 수 있고 모따기량을 축소하는 것에 의해 저가격화와 경량화 및 협케이싱화를 실현하는 표시장치를 얻을 수가 있다.

또, 모따기량 안표를 구성하는 여러개의 안표패턴을 전기적으로 접속한 상태로 하고 있기 때문에, 모따기 공정 전의 단계에 있어서 모따기량 안표를 다른 도전성 배선에 접속한 상태로 하여 대전을 방지할 수 있게 된다.

또, 본 발명에 따르면 모따기량 안표를 모따기 작업 후에도 도전성 배선에 전기적으로 접속하는 상태로 되도록 구성하는 것에 의해서, 모따기 공정후에 있어서도 모따기량 안표에 대전하는 정전기의 방전을 실행하는 것이 가능하게 되어 정전기에 기인해서 발생하는 표시불량에 의한 공정 효율 저하를 방지하는 것이 가능하게 된다.

또, 모따기량 안표와 도전성 배선을 1개의 연속하는 패턴으로서 형성할 수 있기 때문에, 모따기량 안표를 형성하기 위한 제조 프로세스를 추가할 필요가 없다.

또, 본 발명에 따르면 모따기량 안표를 도전성 배선의 끝부의 배선사이에 사다리형상으로 배치한 안표패턴을 포함하는 구성으로서 형성하고 모따기량 안표에 대전하는 정전기를 방전 가능할 수 있는 상태로서 형성하는 것이 가능하여 모따기 정밀도의 향상이 가능하게 됨과 동시에, 도전성 배선의 끝부에 안표를 형성할 수있기 때문에 안표형성을 위한 면적을 제1 기판상에 별도로 확보할 필요가 없다.

또, 모따기량 안표를 도전성 배선의 끝부를 분기해서 이루어지는 분기배선사이에 사다리형상으로 배치한 안표패턴을 포함하는 구성으로서 형성하는 것, 또 도전성 배선의 끝부의 안표로 되는 개소에 굴곡부를 마련한 구조로 하는 것, 또 도전성 배선의 끝부의 안표로 되는 개소에 있어서 배선폭 변경부를 마련한 구조로 하는 것에 의해서 형성할 수 있기 때문에, 안표형성을 위한 면적을 제1 기판상에 별도로 확보할 필요가 없다.

Claims

제1 기판과 제2 기판사이에 액정을 끼워유지하는 액정표시장치에 있어서,

상기 제1 기판에 마련되고 상기 제1 기판의 모따기시에 안표로서 이용하는 도전성 모따기량 안표는

적어도 상기 제1 기판상의 모따기의 중심, 상한, 하한중의 어느 하나로 이루어지는 기준위치에 배치되는 안표패턴 및

상기 안표패턴에 접속하는 접속배선에 의해서 구성되고,

상기 모따기량 안표는 상기 제1 기판의 모따기된 끝부와 접해서 남겨지는 것을 특징으로 하는 액정표시장치.
제1 기판과 제2 기판사이에 액정을 끼워유지하는 액정표시장치에 있어서,

상기 제1 기판에 마련되고, 상기 제1 기판의 모따기시에 안표로서 이용하는 도전성의 모따기량 안표는

적어도 상기 제1 기판상의 모따기의 중심, 상한, 하한중의 어느 하나로 이루어지는 기준위치에 배치되는 안표패턴 및

상기 안표패턴과 상기 제1 기판상에 형성되는 도전성 배선을 접속하는 접속배선에 의해서 구성되는 것을 특징으로 하는 액정표시장치.
제2항에 있어서,

도전성 배선과 모따기량 안표는 1개의 연속하는 패턴으로 형성되는 것을 특징으로 하는 액정표시장치.
제1항 또는 제2항에 있어서,

상기 안표패턴과 접속배선은 투명 절연성 막을 거쳐서 배치되고, 상기 투명 절연성 막에 개구된 콘택트홀내에 있어서 전기적으로 접속되는 것을 특징으로 하는 액정표시장치.
제1 기판과 제2 기판사이에 액정을 끼워유지하는 액정표시장치에 있어서,

상기 제1 기판에 마련되고 상기 제1 기판의 모따기시에 안표로서 이용하는 모따기량 안표는 적어도 상기 제1 기판상의 모따기의 중심, 상한, 하한중의 어느 하나로 이루어지는 기준위치에 배치되는 안표패턴을 갖는 도전성 패턴에 의해서 구성되고,

상기 제1 기판상에 형성된 도전성 배선과 상기 도전성 패턴은 서로 중첩하는 위치에 있어서 전기적으로 접속되는 것을 특징으로 하는 액정표시장치.
제5항에 있어서,

상기 안표패턴은 다른 도전성 패턴 또는 네가티브패턴에 의해서 구성되는 것을 특징으로 하는 액정표시장치.
제1 기판과 제2 기판사이에 액정을 끼워유지하는 액정표시장치에 있어서,

상기 제1 기판의 모따기시에 안표로서 이용하는 모따기량 안표는 상기 제1 기판상에 형성되는 도전성 배선의 끝부에 의해서 구성되고,

전기적으로 접속 가능한 여러개의 인접하는 상기 도전성 배선사이를 사다리형상으로 접속하는 안표패턴이 적어도 모따기의 중심, 상한, 하한중의 어느 하나로 이루어지는 기준위치에 배치되어 이루어지는 것을 특징으로 하는 액정표시장치.
제1 기판과 제2 기판사이에 액정을 끼워유지하는 액정표시장치에 있어서,

상기 제1 기판에 마련되고 상기 제1 기판의 모따기시에 안표로서 이용하는 모따기량 안표는 상기 제1 기판상에 형성되는 도전성 배선의 끝부에 의해서 구성되고,

선단이 분기된 상기 도전성 배선의 분기배선사이를 사다리형상으로 접속하는 안표패턴이 적어도 모따기의 중심, 상한, 하한중의 어느 하나로 이루어지는 기준위치에 배치되어 이루어지는 것을 특징으로 하는 액정표시장치.
제1 기판과 제2 기판사이에 액정을 끼워유지하는 액정표시장치에 있어서,

상기 제1 기판에 마련되고 상기 제1 기판의 모따기시에 안표로서 이용하는 모따기량 안표는 상기 제1 기판상에 형성되는 도전성 배선의 끝부를 절곡시키는 것에 의해서 구성되고,

상기 도전성 배선을 절곡시키는 굴곡부로 이루어지는 안표패턴이 적어도 모따기의 중심, 상한, 하한중의 어느 하나로 이루어지는 기준위치에 배치되어 이루어지는 것을 특징으로 하는 액정표시장치.
제1 기판과 제2 기판사이에 액정을 끼워유지하는 액정표시장치에 있어서,

상기 제1 기판에 마련되고 상기 제1 기판의 모따기시에 안표로서 이용하는 모따기량 안표는 상기 제1 기판상에 형성되는 도전성 배선의 끝부의 배선폭을 소정 간격으로 변화시키는 것에 의해 구성되고,

상기 도전성 배선의 폭을 변경시키는 배선폭 변경부로 이루어지는 안표패턴이 적어도 모따기의 중심, 상한, 하한중의 어느 하나로 이루어지는 기준위치에 배치되어 이루어지는 것을 특징으로 하는 액정표시장치.
제1 기판상에 도전성 배선을 형성함과 동시에, 여러개의 상기 도전성 배선을 상기 제 1기판의 끝부 근방에 있어서 서로 전기적으로 접속하는 쇼트배선을 형성하고, 또 상기 쇼트배선 또는 상기 도전성 배선에 전기적으로 접속되고 적어도 상기 제1 기판상의 모따기의 중심, 상한, 하한중의 어느 하나로 이루어지는 기준위치에 배치되는 안표패턴 및 여리개의 상기 안표패턴을 서로 전기적으로 접속하는 접속배선에 의해서 구성되는 모따기량 안표를 형성하는 공정;

배향처리 후의 상기 제1 기판과 제2 기판을 접합하고 액정을 주입하는 공정 및;

상기 제1 기판에 마련된 상기 모따기량 안표를 기준으로 해서 모따기를 실행하여 상기 쇼트배선을 절제하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.
제1 기판상에 도전성 배선을 형성함과 동시에, 여러개의 상기 도전성 배선을 상기 제1 기판의 끝부 근방에 있어서 서로 전기적으로 접속하는 쇼트배선을 형성하고, 또 상기 도전성 배선에 전기적으로 접속되고 적어도 상기 제1 기판상의 모따기의 중심, 상한, 하한중의 어느 하나로 이루어지는 기준위치에 배치된 안표패턴 및 상기 안표패턴과 상기 도전성 배선을 서로 전기적으로 접속하는 접속배선에 의해서 구성되는 모따기량 안표를 형성하는 공정;

배향처리 후의 상기 제1 기판과 제2 기판을 접합하고 액정을 주입하는 공정 및

상기 제1 기판에 마련된 상기 모따기량 안표를 기준으로 해서 모따기를 실행하여 상기 쇼트배선을 절제하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.
제1 기판상에 도전성 배선을 형성함과 동시에, 여러개의 상기 도전성 배선을 상기 제1 기판의 끝부 근방에 있어서 서로 전기적으로 접속하는 쇼트배선을 형성하는 공정;

상기 제1 기판상에 상기 쇼트배선과 전기적으로 접속되고 적어도 상기 제1 기판상의 모따기의 중심, 상한, 하한중의 어느 하나로 이루어지는 기준위치에 배치되는 안표패턴 및 투명 절연성 막을 거쳐서 상기 안표패턴과 중첩하고 상기 투명 절연성 막에 개구된 콘택트홀내에서 상기 안표패턴과의 전기적 접속을 실행하고 여리개의 상기 안표패턴을 서로 전기적에 접속하거나 또는 상기 안표패턴과 상기 도전성 배선을 전기적으로 접속하는 접속배선에 의해서 구성되는 모따기량 안표를 형성하는 공정;

배향처리 후의 상기 제1 기판과 제2 기판을 접합하고 액정을 주입하는 공정 및;

상기 제1 기판에 마련된 상기 모따기량 안표를 기준으로 해서 모따기를 실행하여 상기 쇼트배선을 절제하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.
제1 기판상에 도전성 배선을 형성함과 동시에, 여러개의 상기 도전성 배선을 상기 제1 기판의 끝부 근방에 있어서 서로 전기적으로 접속하는 쇼트배선을 형성하는 공정;

상기 도전성 배선의 표면을 포함하는 상기 제1 기판상에 투명 절연성 막을 형성하는 공정;

상기 도전성 배선상에 위치하는 상기 투명 절연성 막에 콘택트홀을 형성하는 공정;

상기 투명 절연성 막상에 적어도 상기 제1 기판상의 모따기의 중심, 상한, 하한중의 어느 하나로 이루어지는 기준위치에 배치된 안표패턴을 포함하는 도전성패턴에 의해서 구성되는 모따기량 안표를 형성하고, 상기 콘택트홀내에 있어서 상기 도전성 배선과 상기 모따기량 안표의 전기적 접속을 하는 공정;

배향처리 후의 상기 제1 기판과 제2 기판을 접합하고 액정을 주입하는 공정 및;

상기 제1 기판에 마련된 상기 모따기량 안표를 기준으로 해서 모따기를 실행하여 상기 쇼트배선을 절제하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.
제1 기판상의 모따기가 실행되는 끝부 근방에 적어도 상기 제1 기판의 모따기의 중심, 상한, 하한중의 어느 하나로 이루어지는 기준위치에 배치된 안표패턴을 포함하는 도전성 패턴에 의해서 구성되는 모따기량 안표를 형성하는 공정;

상기 모따기량 안표의 표면을 포함하는 상기 제1 기판상에 투명 절연성 막을 형성하는 공정;

상기 모따기량 안표상에 위치하는 상기 투명 절연성 막에 콘택트홀을 개구하는 공정;

상기 투명 절연성 막상에 도전성 배선을 형성함과 동시에, 여러개의 상기 도전성 배선을 상기 제1 기판끝부 근방에 있어서 서로 전기적으로 접속하는 쇼트배선을 형성하고, 상기 콘택트홀내에서 상기 도전성 배선과 상기 모따기량 안표의 전기적 접속을 실행하는 공정;

배향처리 후의 상기 제1 기판과 제2 기판을 접합하고 액정을 주입하는 공정;

상기 제1 기판에 마련된 상기 모따기량 안표를 기준으로 해서 모따기를 실행하여 상기 쇼트배선을 절제하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.
제14항 또는 제15항에 있어서,

상기 안표패턴은 다른 도전성 패턴 또는 네가티브패턴에 의해서 형성되는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.
제1 기판상에 도전성 배선을 형성함과 동시에, 이 도전성 배선의 끝부에 의해서 구성되고 전기적으로 접속 가능한 여러개의 인접하는 상기 도전성 배선사이를 사다리형상으로 접속하는 안표패턴이 적어도 모따기의 중심, 상한, 하한중의 어느 하나로 이루어지는 기준위치에 배치되어 이루어지는 모따기량 안표를 형성하는 공정;

배향처리 후의 상기 제1 기판과 제2 기판을 접합하고 액정을 주입하는 공정 및;

상기 제1 기판상에 마련된 상기 모따기량 안표를 기준으로 해서 모따기를 실행하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.
제1 기판상에 도전성 배선을 형성함과 동시에, 이 도전성 배선의 끝부에 의해서 구성되고 선단이 분기된 상기 도전성 배선의 분기배선사이를 사다리형상으로접속하는 안표패턴이 적어도 모따기의 중심, 상한, 하한중의 어느 하나로 이루어지는 기준위치에 배치되어 이루어지는 모따기량 안표를 형성하는 공정;

배향처리 후의 상기 제1 기판과 제2 기판을 접합하고 액정을 주입하는 공정 및;

상기 제1 기판상에 마련된 상기 모따기량 안표를 기준으로 해서 모따기를 실행하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.
제1 기판상에 도전성 배선을 형성함과 동시에, 이 도전성 배선의 끝부에 의해서 구성되고 상기 도전성 배선의 끝부를 절곡시키는 것에 의해서 구성되고 적어도 모따기의 중심, 상한, 하한중의 어느 하나로 이루어지는 기준위치에 굴곡부가 마련되어 이루어지는 모따기량 안표를 형성하는 공정;

배향처리 후의 상기 제1 기판과 제2 기판을 접합하고 액정을 주입하는 공정 및;

상기 제1 기판에 마련된 상기 모따기량 안표를 기준으로 해서 모따기를 실행하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.
제1 기판상에 도전성 배선을 형성함과 동시에, 이 도전성 배선의 끝부에 의해서 구성되고 상기 도전성 배선의 끝부의 배선폭을 소정 간격으로 변화시키고 적어도 상기 제1 기판상의 모따기의 중심, 상한, 하한중의 어느 하나로 이루어지는 기준위치에 배선폭 변경부가 마련되어 이루어지는 모따기량 안표를 형성하는 공정;

배향처리 후의 상기 제1 기판과 제2 기판을 접합하고 액정을 주입하는 공정 및;

상기 제1 기판에 마련된 상기 모따기량 안표를 기준으로 해서 모따기를 실행하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.
제17항 내지 제20항 중 어느 한항에 있어서,

제1 기판상에 도전성 배선을 형성할 때 동시에 상기 제1 기판의 끝부 근방에상기 도전성 배선과 전기적으로 접속되는 쇼트배선을 형성하는 공정 및;

모따기량 안표를 기준으로 해서 모따기를 실행할 때 동시에 상기 쇼트배선을 절제하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.