JPH09274199A

JPH09274199A - 断線修復用配線を有する薄膜トランジスタマトリクス及び断線・短絡修復方法

Info

Publication number: JPH09274199A
Application number: JP8112096A
Authority: JP
Inventors: Tatsuyuki Sanada; 達行真田
Original assignee: Fujitsu Ltd
Current assignee: Fujitsu Ltd
Priority date: 1996-04-03
Filing date: 1996-04-03
Publication date: 1997-10-21

Abstract

(57)【要約】【課題】断線修復用配線を有する薄膜トランジスタマ
トリクス及び断線・短絡修復方法に関し、断線修復が正
常に行われたか否かの判定を、断線・短絡検査用判定用
ソフトと同じソフトを用いて判定する。【解決手段】各バスライン１を囲む周辺接続２の対向
する辺に、バスライン１を１本おきに接続するととも
に、この周辺接続２に抵抗４を介して断線修復用配線３
を接続する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は断線修復用配線を有
する薄膜トランジスタマトリクス及び断線・短絡修復方
法に関するものであり、ゲートバスライン及びドレイン
バスライン等のバスラインの断線を修復する断線修復用
配線に抵抗を設けることにより、断線修復後の確認検査
の精度を改善したことを特徴とする断線修復用配線を有
する薄膜トランジスタマトリクス及び断線・短絡修復方
法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、液晶表示装置等の駆動には薄膜ト
ランジスタマトリクスが用いられているが、このような
薄膜トランジスタマトリクスにおいて、ドレインバスラ
イン或いはゲートバスラインの断線が一本でもあると不
良品となってしまうため、断線箇所の有無がその製造歩
留りを大きく左右する要因となっていた。

【０００３】この様に、ドレインバスライン（信号線）
或いはゲートバスライン（走査線）に断線がある場合に
も、不良品を良品にするために断線箇所を修復すること
が提案（必要ならば、特開平６−３４２１７０号公報参
照）されており、例えば、液晶表示パネルの周囲にドレ
インバスラインやゲートバスライン等のバスラインとゲ
ート絶縁膜を介して異なる層水準に形成した予備のライ
ン、即ち、断線修復用配線を設けておき、断線箇所を有
するバスラインと断線修復用配線の交差点にレーザ光を
照射して、交差点の電極を絶縁膜ごと溶融して断線箇所
を有するバスラインと断線修復用配線とを接続するレー
ザウエルディング法が一般的に採用されている。

【０００４】また、ゲートバスライン或いはドレインバ
スライン同士の短絡、即ち、同層短絡や、ゲートバスラ
インとドレインバスラインとの間の短絡、即ち、層間短
絡がある場合にも不良品となるため、短絡箇所の近傍に
おいて一方のバスラインを切り離して断線箇所を形成し
たのち、通常の断線修復を行うことが一般的であった。

【０００５】この従来の断線・短絡修復方法を、図５を
参照して説明する。なお、説明を簡単にするために、ド
レインバスラインの断線・短絡修復方法のみを説明す
る。図５（ａ）参照マトリクス状の薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）を駆動する
ためのドレインバスライン４１の周囲を囲むように周辺
接続４２を設け、且つ、各ドレインバスライン４１を交
互に周辺接続４２の対向する辺に接続すると共に、ゲー
トバスライン（図示せず）と同時に形成した断線修復用
配線４３も周辺接続４２に接続する。

【０００６】このＴＦＴ基板を検査する場合、互いに隣
合った検査用端子４５間、例えば、図のＡ−Ｂ間にプロ
ーブを当てて抵抗を測定することによって断線・短絡を
測定することになるが、断線や短絡のない正常な場合に
は、ドレインバスライン４１の抵抗の２倍に、当該ドレ
インバスライン４１との接続点で二本に分割される周辺
接続４２の並列接続抵抗成分を加えた値となる。

【０００７】しかし、ドレインバスライン４１に断線箇
所４４がある場合には、Ａ−Ｂ間の抵抗は極めて高い値
になり、一方、同層短絡がある場合にはドレインバスラ
イン４１の抵抗に、周辺接続４２の並列接続抵抗成分と
短絡部の抵抗との並列抵抗が直列に加えられたものとな
るが、短絡部の抵抗の抵抗値は略０であるので、並列抵
抗も略０となり、全体としては、ドレインバスライン１
本分の抵抗が測定されることになり、この測定を順次行
うことにより、断線したドレインバスライン或いは短絡
したドレインバスラインを同定することができる。

【０００８】この測定の結果、断線箇所４４の存在する
ドレインバスライン４１については、当該ドレインバス
ライン４１と断線修復用配線４３の交差点、即ち、断線
修復箇所４６にレーザ光を照射して、交差点の電極を絶
縁膜ごと溶融してドレインバスライン４１と断線修復用
配線４３とを接続して断線を修復する。

【０００９】また、短絡があった場合には、短絡箇所を
同定した後、短絡箇所近傍において、互いに短絡してい
るドレインバスライン４１の一方を切り離し、断線箇所
を形成したのち、通常の断線修復と同様に、切り離した
ドレインバスライン４１と断線修復用配線４３の交差点
にレーザ光を照射して、交差点の電極を絶縁膜ごと溶融
してドレインバスライン４１と断線修復用配線４３とを
接続して短絡を修復する。

【００１０】図５（ｂ）参照図５（ｂ）は、断線修復用配線４３と周辺接続４２とを
電気的に接続しない場合であり、その他の構成は図５
（ａ）の場合と同様であり、断線検査方法及び短絡検査
方法も図５（ａ）の場合と同様である。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】しかし、従来の図５
（ａ）に示す断線修復用配線の場合には、断線修復工程
後に断線が正常に修復されたか否かの確認の測定を行っ
た場合、ドレインバスライン４１の１本分の抵抗が測定
されることになり、同層短絡の測定結果と同様になり、
同一の判定ソフトでは正確な判定ができないので、断線
修復前後に判定の仕方を変えたソフトが必要になるとい
う問題があった。

【００１２】即ち、断線修復工程を行った場合には、断
線修復前が断線と判定された検査用端子間においては、
断線修復後の測定結果が同層短絡に相当する抵抗が測定
された場合に、正常と判定するソフトが必要になり、さ
らに、この方式では断線修復前に存在した同層短絡との
区別が困難になるという問題がある。

【００１３】一方、図５（ｂ）に示す断線修復用配線の
場合には、断線修復用配線４３が周辺接続４２と接続さ
れていないので、通常の検査では断線修復工程後も依然
として断線状態となり、断線修復が正常に行われたか否
かの判定が不可能であるという問題がある。

【００１４】したがって、本発明は、断線修復が正常に
行われたか否かの判定を、断線・短絡検査用判定用ソフ
トと同じソフトを用いて判定するための断線修復用配線
の構造を提供することを目的とする。

【００１５】

【課題を解決するための手段】図１は本発明の原理的構
成の説明図であり、この図１を参照して本発明における
課題を解決するための手段を説明する。図１（ａ）及び（ｂ）参照（１）本発明は、断線修復用配線３を有する薄膜トラン
ジスタマトリクスにおいて、各バスライン１を囲む周辺
接続２の対向する辺に、バスライン１を１本おきに接続
するとともに、この周辺接続２に抵抗４を介して断線修
復用配線３を接続したことを特徴とする。

【００１６】この様に、断線修復用配線３を抵抗４を介
して周辺接続２に接続することによって、抵抗４の抵抗
値をＲ_r、及び、バスライン１の抵抗値をＲ_dとした場
合、断線修復後の検査用端子６の間の抵抗値はＲ_r／２
＋Ｒ_dとして観測され、同層短絡の場合の測定抵抗値Ｒ
_d、或いは、断線の場合の高抵抗値と異なった値になる
ので、同じ判定ソフトを用いても同層短絡と間違う虞が
なくなる。

【００１７】（２）また、本発明は、上記（１）におい
て、抵抗４を周辺接続２の線幅内に設けることを特徴と
する。

【００１８】この様に、抵抗４の配置スペースとして、
周辺接続２を用いることによって、パネルの有効面積を
最大限に利用することができる。

【００１９】（３）また、本発明は、上記（１）または
（２）において、周辺接続２の並列接続抵抗成分の抵抗
値を、バスライン１の抵抗値よりも大きくしたことを特
徴とする。

【００２０】この様に、周辺接続２の並列接続抵抗成分
の抵抗値をＲとした場合、Ｒ＞Ｒ_dとすることによっ
て、短絡時に測定される抵抗値Ｒ_dを正常時に測定され
る抵抗値２Ｒ_d＋Ｒの１／３以下にすることができ、短
絡測定精度を高めることができる。

【００２１】なお、この周辺接続２の並列接続抵抗成分
の抵抗値Ｒとは、図１（ｂ）における検査用端子６のＡ
−Ｂ間に介在する周辺接続２の抵抗成分であり、図にお
いて検査用端子Ａを有するバスライン１の周辺接続２と
の接続点のＲ₃からの距離をｘとし、検査用端子Ｂを有
するバスライン１の周辺接続２との接続点のＲ₂からの
距離をｘ’とし、且つ、Ｒ₁−Ｒ₂間及びＲ₃−Ｒ₄間
の距離をｂ、Ｒ₁−Ｒ ₄間及びＲ₂−Ｒ₃間の距離をａ
とし、且つ、周辺接続２の単位抵抗値ｒがどの部分にお
いても等しいと仮定した場合、ｘ≒ｘ’であるのでｘ＝
ｘ’と見做すと、周辺接続２の並列接続抵抗成分の抵抗
値Ｒは、１／Ｒ＝１／（ａ＋２ｘ）・ｒ＋１／（ａ＋２ｂ−２ｘ）・ｒ＝２（ａ＋ｂ）・ｒ／（ａ²＋２ａｂ＋４ｂｘ−４ｘ²）・ｒ² ＝２（ａ＋ｂ）・ｒ／｛（ａ＋ｂ）²−（ｂ−２ｘ）²｝・ｒ² であるので、Ｒ＝（ａ＋ｂ）・ｒ／２−（ｂ−２ｘ）²・ｒ／２（ａ
＋ｂ）となる。

【００２２】そして、０＜ｘ＜ｂであるので、Ｒはｘ＝
ｂ／２において最大値（ａ＋ｂ）・ｒ／２となり、ｘ≒
０，ｂで最小値（ａ²＋２ａｂ）・ｒ／２（ａ＋ｂ）と
なるので、この最小値（ａ²＋２ａｂ）・ｒ／２（ａ＋
ｂ）がバスライン１の抵抗値Ｒ_dより大きくなるように
設定すれば良い。

【００２３】因に、ａ＝ｂとすると、Ｒの最大値はａ・
ｒとなり、周辺接続２の一辺の抵抗値に等しくなり、ま
た、Ｒの最小値は（３／４）×ａ・ｒとなり、周辺接続
２の一辺の抵抗値の３／４となる。

【００２４】また、この周辺接続２の線幅はバスライン
１の線幅に比べて通常は広いので、周辺接続２の抵抗成
分を０と見做し、周辺接続２の各辺の接続部に抵抗Ｒｃ
を接続すると、周辺接続２の並列接続抵抗成分の抵抗値
Ｒは、Ｒ＝Ｒｃとなるので、このＲｃがＲ_dより大きく
なるように設定しても良く、本願明細書においてはこの
様な抵抗を含めて、周辺接続２の並列接続抵抗成分とい
う。

【００２５】（４）また、本発明は、上記（１）乃至
（３）のいずれかにおいて、抵抗４の抵抗値を、バスラ
イン１の抵抗値をＲ_d、及び、周辺接続２の並列接続抵
抗成分の抵抗値をＲとした場合、２（Ｒ_d＋Ｒ）以上
で、且つ、断線時の測定抵抗値以下に設定したことを特
徴とする。

【００２６】この様に、抵抗４の抵抗値Ｒ_rを２（Ｒ_d
＋Ｒ）以上にすることによって、断線修復後の検査用端
子６間の抵抗値Ｒ_r／２＋Ｒ_dは、正常時の測定される
抵抗値２Ｒ_d＋Ｒ以上となり、同層短絡の場合の測定抵
抗値Ｒ_dと異なった値になるので同じ判定ソフトを用い
ても同層短絡と判定されることがなく、また、断線時の
測定抵抗値以下に設定したので断線と判定されることも
ない。

【００２７】（５）また、本発明は、上記（１）乃至
（４）のいずれかの断線修復用配線３を有する薄膜トラ
ンジスタマトリクスの断線・短絡修復方法において、隣
接するバスライン１の周辺接続２に接続されていない端
部間の抵抗値を測定することによって、バスライン１の
断線の有無と、隣接するバスライン１間の短絡とを同時
に検査し、断線が検出された場合には、断線箇所５を有
するバスライン１と断線修復用配線３の交差部において
両者を電気的に接続することを特徴とする。

【００２８】この様に、従来と同様な検査方法及び断線
修復方法によって断線を修復しても、断線修復用配線３
が抵抗４を介して周辺接続２に接続しているので、同じ
判定ソフトを用いても、断線修復が正常に行われたか否
かの判断を正確に行うことができる。

【００２９】（６）また、本発明は、上記（１）乃至
（４）のいずれかの断線修復用配線３を有する薄膜トラ
ンジスタマトリクスの断線・短絡修復方法において、隣
接するバスライン１の周辺接続２に接続されていない端
部間の抵抗値を測定することによって、バスライン１の
断線の有無と、隣接するバスライン１間の短絡とを同時
に検査し、短絡が検出された場合には、短絡箇所の近傍
において、互いに短絡しているバスライン１の一方を切
離し、この切り離したバスライン１と断線修復用配線３
の交差部において両者を電気的に接続することを特徴と
する。

【００３０】この様に、従来と同様な検査方法及び短絡
修復方法によって短絡を修復しても、断線修復用配線３
が抵抗４を介して周辺接続２に接続しているので、同じ
判定ソフトを用いても、短絡修復が正常に行われたか否
かの判断を正確に行うことができる。

【００３１】

【発明の実施の形態】ここで、図２を参照して、本発明
の第１の実施の形態における断線修復用配線の製造工程
を説明する。図２（ａ）参照まず、無アルカリガラス等からなるガラス基板１１上に
Ｃｒ等の導電膜を堆積させてパターニングすることによ
ってゲートバスライン、ゲート電極、及び、補助容量電
極（いずれも図示せず）を形成すると同時に、断線修復
用配線１２を形成する。

【００３２】次いで、ＳｉＮ等のゲート絶縁膜、α−Ｓ
ｉ層、及び、チャネル保護膜となるＳｉＮ膜等の絶縁膜
（いずれも図示せず）を順次堆積したのち、α−Ｓｉ層
及びチャネル保護膜となる絶縁膜をエッチングしてゲー
ト電極近傍のみにＴＦＴを構成するα−Ｓｉ層及びチャ
ネル保護膜を残存させる。

【００３３】次いで、ソース・ドレインコンタクトとな
るｎ⁺型α−Ｓｉ層及びソース・ドレイン電極等となる
Ｃｒ膜を順次堆積し、パターニングすることによってド
レインバスライン１３、ソース・ドレイン電極（図示せ
ず）、引出電極１４、及び、周辺接続１５を同時に形成
する。

【００３４】なお、各ドレインバスライン１３は、１本
おきに周辺接続１５の互いに対向する辺に引出電極１４
によって接続されており、また、各ドレインバスライン
１３の周辺接続１５と接続する側の端部にタブ１６を設
け、また、周辺接続１５に接続しない側の端部近傍に検
査用端子１７を設けておく。

【００３５】図２（ｂ）参照次いで、ＳｉＮ膜等のパッシベーション膜（図示せず）
を設けたのち、タブ１６或いはタブ相当部、及び、ソー
ス電極に対するビアホール１８を形成し、全面にＩＴＯ
膜を堆積させ、パターニングすることによって画素電極
（図示せず）を形成すると同時に、断線修復用配線１２
と各ドレインバスライン１３とを接続する抵抗１９を形
成する。

【００３６】なお、この抵抗１９は引出電極１４を介し
て周辺接続１５に接続されており、また、この抵抗１９
と接続する断線修復用配線１２は、タブブロック毎、例
えば、２４０本のドレインバスラインに対して１対設け
るようにする。

【００３７】また、この抵抗１９は周辺接続１５の線幅
と投影的に重複するように設けているので、パネルの有
効面積を最大限に利用することができるが、必ずしも、
周辺接続１５の線幅内に設ける必要はなく、ガラス基板
１１のサイズに余裕があれば他の部分に形成しても良
い。

【００３８】次に、図３を参照して、本発明の第１の実
施の形態の断線・短絡修復方法を説明する。図３参照このドレインバスライン１３に断線箇所２０がある場
合、隣接するドレインバスライン１３の検査用端子１７
間の抵抗値を順次測定することによって断線箇所２０の
あるドレインバスライン１３を同定することができる。

【００３９】例えば、検査用端子１７のＡ−Ｂ間、Ｂ−
Ｃ間、Ｃ−Ｄ間を順次測定することによって、Ａ−Ｂ間
では高抵抗値、Ｂ−Ｃ間及びＣ−Ｄ間では正常な抵抗
値、即ち、上述のように周辺接続１５の並列接続抵抗成
分の抵抗値をＲ、及び、ドレインバスライン１３の抵抗
値をＲ_dとした場合、略２Ｒ_d＋Ｒとして観測され、順
次測定した抵抗値の比較から、検査用端子Ａを有するド
レインバスライン１３が断線していることが判明する。

【００４０】その場合、断線箇所２０の存在するドレイ
ンバスライン１３と断線修復用配線１２との交差点にレ
ーザ光を照射する、所謂レーザウエルディング法を用い
ることによってドレインバスライン１３と断線修復用配
線１２とを上下の断線修復箇所２１において接続する。

【００４１】また、検査用端子１７間の抵抗値を順次測
定することによって、略Ｒ_dに相当する抵抗値が測定さ
れた場合には、当該ドレインバスライン１３同士が短絡
しているので、この短絡箇所を同定したのち、当該ドレ
インバスライン１３の一方を短絡箇所近傍において上下
に切り離して断線箇所を形成し、この切り離した方のド
レインバスライン１３に対して上述の断線修復工程を施
すことによって、短絡も修復される。

【００４２】次いで、修復が正常に行われたか否かを確
認するために再び当該測定用端子間、例えば、Ａ−Ｂ間
の抵抗値を測定すると、上述のように抵抗１９の片側の
抵抗値をＲ_r、及び、ドレインバスライン１３の抵抗値
をＲ_dとした場合、略Ｒ_r／２＋Ｒ_dとして観測され
る。

【００４３】したがって、抵抗１９の片側の抵抗値Ｒ_r
を、Ｒ_r＝２（Ｒ_d＋Ｒ）にすることによって、Ｒ_r／
２＋Ｒ_d＝２Ｒ_d＋Ｒとなり、正常な接続状態の抵抗値
が測定されるので、断線・短絡判定用ソフトをそのまま
用いても、同層短絡とは判定されず、正常な接続状態と
して判定することができる。

【００４４】なお、この周辺接続１５の並列接続抵抗成
分の抵抗値Ｒを、ドレインバスライン１３の１本分の抵
抗Ｒ_dより大きく設定しておくことによって、測定値Ｒ
_r／２＋Ｒ_dは、Ｒ_r／２＋Ｒ_d＞３Ｒ_dとなり、同層
短絡と測定値であるＲ_dの３倍以上となるので、判定精
度はより高まることになる。

【００４５】また、この抵抗値Ｒ_rは、Ｒ_r＝２（Ｒ_d
＋Ｒ）である必要は必ずしもなく、Ｒ_r≧２（Ｒ_d＋
Ｒ）であれば良いが、断線修復後の判定において断線と
判断されないように、断線・短絡測定時に断線と判断さ
れる抵抗値以下、例えば、数１０ＭΩ以下にする必要が
ある。

【００４６】なお、図３においては、抵抗１９を構成す
る抵抗パターンを両側に設け、断線修復用配線１２の両
端と接続しているが、抵抗パターンを１つだけ形成し、
断線修復用配線１２の１端のみと接続しても同様の効果
がある。

【００４７】次いで、これらの工程が終了した後、アク
ティブマトリクス型液晶表示装置として駆動するため
に、図において一点鎖線で示す切断箇所２２において、
周辺接続１５及び抵抗１９と、断線修復用配線１２及び
ドレインバスライン１３とを切断する。

【００４８】次いで、図示しないものの、個々のタブ１
６を電気的に開放にしたのち、断線修復用配線１２の端
部に設けたタブを含めて、タブ打ちを行い、一方の断線
修復用配線１２の端部に設けたタブと他方の断線修復用
配線１２の端部に設けたタブとを、ガラス基板１１の周
辺にはりめぐらしたジャンパ線によって接続する。

【００４９】そして、実際の駆動の際には、駆動電圧を
断線修復用配線１２のタブに印加することによって、断
線箇所２０を有するドレインバスライン１３は両側から
電圧が印加されるので、正常に動作することができる。

【００５０】次に、図４を参照して、本発明の第２の実
施の形態であるゲートバスラインの断線・短絡修復方法
を説明する。図４参照この場合の製造工程は、上記第１の実施の形態の製造工
程と基本的に同等であるが、ゲートバスライン３１の断
線を修復するための断線修復用配線３３はドレインバス
ライン（図示せず）のパターニング工程において同時に
形成するものであり、また、抵抗３４の抵抗値Ｒ_rは、
ゲートバスライン３１の１本分の抵抗値をＲ_gとした場
合、Ｒ_r≧２（Ｒ_g＋Ｒ）とすれば良く、且つ、断線修
復後の確認検査において断線と判定されないように、ゲ
ート断線時の抵抗値以下、例えば、数１０ＭΩ以下に設
定すれば良い。

【００５１】なお、一般に、ゲートバスラインは、平坦
なガラス基板上に直接形成するのでパターニング精度が
良好であり、ゲートバスラインの断線・短絡の発生が少
ないので、その上、即ち、凹凸のある面上に設けるドレ
インバスラインに対してのみ断線修復用配線１２を設け
ることが経済的に有効であるが、第２の実施の形態のよ
うに、ゲートバスライン３１に対しても断線修復用配線
３３を合わせて設けても良い。

【００５２】また、補助容量電極についても断線修復用
配線を設けても良いが、補助容量電極は、ゲートバスラ
インと同時に平坦なガラス基板上に直接形成するもので
あり、且つ、通常はゲートバスラインの線幅よりも太
く、断線発生の確率がゲートバスラインより低くなるの
で、通常の設計基準の場合には設けなくとも良い。

【００５３】また、上記実施の形態においては、断線修
復用配線を２４０本のバスライン毎に一対設けている
が、どの程度の頻度で設けるかはパターニング精度に応
じて適宜決定すれば良い。

【００５４】また、上記の各実施の形態の説明において
は、ＴＦＴをアモルファスシリコンで構成しているが、
多結晶シリコンを用いても良いものであり、また、その
製造工程も最初にゲートバスラインを形成してからドレ
インバスラインを形成する工程にに限定されるものでは
なく、本発明の技術思想は各種の構造の薄膜トランジス
タ及び各種の製造工程の薄膜トランジスタマトリクスに
適用されるものである。

【００５５】

【発明の効果】本発明によれば、薄膜トランジスタマト
リクスの断線の修復を、レーザウエルディング法によっ
て行う場合に、断線修復用配線を抵抗を介して周辺接続
に接続しているので、断線修復後の確認検査を断線・短
絡検査に用いた判定ソフトと同じソフトを用いて行うこ
とができるので、別個の判定ソフトが不要になり、確認
検査の精度が高まる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の原理的構成の説明図である。

【図２】本発明の第１の実施の形態の製造工程の説明図
である。

【図３】本発明の第１の実施の形態の断線・短絡修復方
法の説明図である。

【図４】本発明の第２の実施の形態の説明図である。

【図５】従来の断線修復用配線の説明図である。

【符号の説明】

１バスライン２周辺接続３断線修復用配線４抵抗５断線箇所６検査用端子７断線修復接続部１１ガラス基板１２断線修復用配線１３ドレインバスライン１４引出電極１５周辺接続１６タブ１７検査用端子１８ビアホール１９抵抗２０断線箇所２１断線修復箇所２２切断箇所３１ゲートバスライン３２周辺接続３３断線修復用配線３４抵抗３５断線箇所３６検査用端子３７断線修復接続部４１ドレインバスライン４２周辺接続４３断線修復用配線４４断線箇所４５検査用端子４６断線修復接続部

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】各バスラインを囲む周辺接続の対向する
辺に、前記バスラインを１本おきに接続するとともに、
前記周辺接続に抵抗を介して断線修復用配線を接続した
ことを特徴とする断線修復用配線を有する薄膜トランジ
スタマトリクス。
【請求項２】上記抵抗を、上記周辺接続の線幅内に設
けることを特徴とする請求項１記載の断線修復用配線を
有する薄膜トランジスタマトリクス。
【請求項３】上記周辺接続の並列接続抵抗成分の抵抗
値を、上記バスラインの抵抗値よりも大きくしたことを
特徴とする請求項１または２に記載の断線修復用配線を
有する薄膜トランジスタマトリクス。
【請求項４】上記抵抗の抵抗値を、上記バスラインの
抵抗値をＲ_d、及び、上記周辺接続の並列接続抵抗成分
の抵抗値をＲとした場合、２Ｒ_d＋Ｒ以上で、且つ、断
線時の測定抵抗値以下に設定したことを特徴とする請求
項１乃至３のいずれか１項に記載の断線修復用配線を有
する薄膜トランジスタマトリクス。
【請求項５】請求項１乃至４のいずれか１項に記載の
断線修復用配線を有する薄膜トランジスタマトリクスの
断線・短絡修復方法において、隣接するバスラインの周
辺接続に接続されていない端部間の抵抗値を測定するこ
とによって、前記バスラインの断線の有無と、前記隣接
するバスライン間の短絡とを同時に検査し、断線が検出
された場合には、断線箇所を有するバスラインと前記断
線修復用配線の交差部において両者を電気的に接続する
ことを特徴とする断線・短絡修復方法。
【請求項６】請求項１乃至４のいずれか１項に記載の
断線修復用配線を有する薄膜トランジスタマトリクスの
断線・短絡修復方法において、隣接するバスラインの周
辺接続に接続されていない端部間の抵抗値を測定するこ
とによって、前記バスラインの断線の有無と、前記隣接
するバスライン間の短絡とを同時に検査し、短絡が検出
された場合には、短絡箇所の近傍において、互いに短絡
している前記バスラインの一方を切り離し、前記切り離
したバスラインと前記断線修復用配線の交差部において
両者を電気的に接続することを特徴とする断線・短絡修
復方法。