KR20040071931A

KR20040071931A - 액정표시장치용 리페어 장치

Info

Publication number: KR20040071931A
Application number: KR1020030007851A
Authority: KR
Inventors: 김철호; 이형곤
Original assignee: 삼성전자주식회사
Priority date: 2003-02-07
Filing date: 2003-02-07
Publication date: 2004-08-16

Abstract

액정표시장치에 이용되는 리페어 장치가 개시된다. 리페어부는 신호라인의 결함시 신호라인과 전기적으로 연결되는 제1 및 제2 리페어 라인으로 이루어지고, 제1 및 제2 리페어 라인은 다수의 연결라인에 의해서 전기적으로 연결된다. RC 측정부는 상기 제1 및 제2 리페어 라인이 신호라인과 전기적으로 연결된 상태에서, 다수의 연결라인이 하나씩 절단될 때마다 연결부의 RC 값을 측정하고, 측정된 RC 값과 적정한 RC 값을 비교하여 연결부의 전체적인 폭을 결정한다. 따라서, 연결부에서의 신호 지연을 감소시켜 액정표시장치의 표시 특성을 향상시킬 수 있다.

Description

액정표시장치용 리페어 장치{REPAIR DEVICE FOR LIQUID CRYSTAL DISPLAY}

본 발명은 리페어 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 액정표시장치에 이용되는 리페어 장치에 관한 것이다.

일반적으로, 액정표시장치는 어레이 기판, 컬러필터기판 및 상기 어레이 기판과 컬러필터기판과의 사이에 개재된 액정층으로 이루어진다. 상기 어레이 기판은 주사 신호를 전달하는 게이트 라인, 영상 신호를 전달하는 데이터 라인, 상기 게이트 라인과 상기 데이터 라인에 연결된 박막 트랜지스터, 상기 박막 트랜지스터에 연결된 화소전극으로 이루어진 화소가 매트릭스 형태로 형성된 기판이다.

상기 게이트 라인과 데이터 라인 각각은 상기 화소마다 형성되기 때문에 마이크로 미터 단위 이하의 매우 미세한 크기로 형성된다. 따라서, 상기 어레이 기판의 제조 과정에서 라인이 단선되는 불량이 발생할 가능성이 상존한다.

이러한 불량을 수리하기 위하여 추가 배선(Redundancy) 구성 즉, 리페어할 경우를 고려하여 리페어 라인을 형성하는 기술이 일반적으로 사용되고 있다. 상기 리페어 라인은 정상시에는 절연막을 경계로 각 배선과 전기적으로 분리되고, 특정 부위의 데이터 라인이 단선되면, 상기 리페어 라인과 단선된 상기 데이터 라인이 교차되는 구간을 레이저로 용접시킨다. 따라서, 상기 데이터 라인이 단선되더라도 상기 데이터 라인에 연결된 화소들이 정상적으로 동작된다.

그러나, 상기 액정표시장치의 화면이 대형화됨에 따라서 상기 데이터 라인의 개수가 증가한다. 또한, 상기 리페어 라인이 상기 데이터 라인과 교차하는 구간도 증가하게 되어 상기 리페어 라인에서 발생되는 라인 저항이 증가된다. 따라서, 상기 리페어 라인을 통해 이동하는 각종 신호들이 상기 라인 저항에 의해서 지연되는 현상이 발생한다.

또한, 상기 액정표시장치의 화면이 대형화되면, 상기 리페어 라인의 길이도 그에 따라서 증가된다. 이러한 현상은 상기 리페어 라인의 라인 저항이 증가시키는 요인으로 작용하여 상기 액정표시장치의 표시 특성을 저하시킨다.

따라서, 본 발명의 목적은 라인 저항을 감소시킬 수 있는 액정표시장치용 리페어 장치를 제공하는 것이다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 액정표시장치를 나타낸 단면도이다.

도 2는 도 1에 도시된 어레이 기판의 평면도이다.

도 3은 도 2에 도시된 제1 콘택 영역을 구체적으로 나타탠 평면도이다.

도 4는 도 3의 A 부분을 확대한 도면이다.

도 5는 도 3의 B 부분을 확대한 도면이다.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

100 : 어레이 기판 120 : 박막 트랜지스터

140 : 화소 전극 400 : 액정표시장치

500 : RC 측정부 RL1 : 제1 리페어 라인

RL2 : 제2 리페어 라인 DL : 데이터 라인

GL : 게이트 라인 CR1 : 제1 콘택영역

CR2 : 제2 콘택영역

상술한 본 발명의 특징에 따른 액정표시장치용 리페어 장치는, 액정표시장치의 어레이 기판 상에 구비된 신호라인의 일단부와 절연되어 교차하는 제1 리페어 라인 및 상기 신호라인의 타단부와 절연되어 교차하는 제2 리페어 라인으로 이루어지고, 상기 신호라인의 결함시 상기 제1 및 제2 리페어 라인이 상기 신호라인과 전기적으로 연결되는 리페어부; 다수의 연결라인으로 이루어져 상기 제1 및 제2 리페어 라인을 전기적으로 연결하기 위한 연결부; 및 상기 신호라인이 상기 제1 및 제2 리페어 라인과 전기적으로 연결된 상태에서 상기 다수의 연결라인이 하나씩 절단될 때마다 상기 연결부의 RC 값을 측정하여, 적정한 RC 값을 갖는 상기 연결부의 전체적인 폭을 결정하기 위한 RC 측정부를 포함한다.

이러한 액정표시장치용 리페어 장치는 데이터 라인에 상기 제1 및 제2 리페어 라인이 전기적으로 연결된 상태에서 적정한 RC 값이 측정될때까지 상기 다수의 연결라인을 절단함으로써 상기 연결부의 RC 값을 결정할 수 있다.

이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 보다 상세하게 설명하고자 한다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 액정표시장치를 나타낸 단면도이고, 도 2는 도 1에 도시된 어레이 기판의 평면도이다.

도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 액정표시장치(400)는 어레이 기판(100), 컬러필터기판(200) 및 상기 어레이 기판(100)과 상기 컬러필터기판(200)과의 사이에 개재된 액정층(300)으로 이루어진다. 상기 액정표시장치(400)는 영상을 표시하는 활성 영역(AR)과 상기 활성 영역(AR)의 주변에 형성된 비활성 영역(NAR)으로 구분된다.

상기 어레이 기판(100)은 제1 기판(110) 상에서 서로 직교하는 방향으로 연장된 다수의 게이트 라인(GL) 및 다수의 데이터 라인(DL)을 구비한다. 상기 활성 영역(AR)에 대응하여 상기 제1 기판(110) 상에는 상기 게이트 라인들(GL)과 데이터 라인들(DL)에 의해서 매트릭스 형태의 화소 영역들이 구획된다. 상기 화소 영역 각각에는 박막 트랜지스터(120) 및 상기 박막 트랜지스터(120)의 드레인 전극(126)에 접속된 화소 전극(140)이 형성된다.

구체적으로, 상기 박막 트랜지스터(120)는 poly-si층(121), 그 위에 적층된 게이트 절연막(122) 및 상기 게이트 절연막(122) 상에 적층된 게이트 전극(123)을 구비한다. 상기 poly-si층(121)은 붕소(B) 또는 인(P)에 의해서 도핑된 n 또는 p 채널로 형성된 층이다. 또한, 상기 게이트 전극(123)이 형성된 상기 게이트 절연막(122) 상에는 상기 poly-si층(121)의 일부분을 노출시키는 제1 및 제2 콘택홀이 형성된 층간 절연막(124)이 적층된다. 상기 층간 절연막(124) 상에는 상기제1 콘택홀을 통해 상기 poly-si층(121)과 전기적으로 연결된 상기 소오스 전극(125) 및 상기 제2 콘택홀을 통해 상기 poly-si층(121)과 전기적으로 연결된 상기 드레인 전극(126)이 구비된다.

상기 소오스 및 드레인 전극(125, 126)이 형성된 상기 제1 기판(110) 상에는 상기 드레인 전극(126)을 노출시키기 위한 제3 콘택홀(131)을 갖는 보호막(130)이 구비된다. 상기 보호막(130) 상에는 상기 제3 콘택홀(131)을 통해 상기 드레인 전극(126)과 전기적으로 접속되는 상기 화소 전극(140)이 적층된다. 상기 화소 전극(140)은 투명한 도전성 물질인 인듐 틴 옥사이드(Indium Tin Oxide; 이하, ITO) 또는 인듐 징크 옥사이드(Indium Zinc Oxide; 이하, IZO)로 이루어진다.

상기 비활성 영역(NAR)에 대응하여 상기 제1 기판(110) 상에는 상기 게이트 라인들(GL)에 순차적으로 게이트 구동신호를 출력하기 위한 게이트 구동부(150)가 집적되고, 상기 데이터 라인들(DL)에 영상신호를 출력하기 위한 데이터 구동부(160)가 IC의 형태로 구비되어 상기 제1 기판(110) 상에 부착된다.

한편, 상기 컬러필터기판(200)은 제2 기판(210) 상에 적층된 컬러필터(220) 및 상기 컬러필터(220) 상에 형성된 공통전극(230)을 구비한다. 상기 공통전극(230)은 투명성 도전 물질인 ITO 또는 IZO로 이루어진다. 상기 컬러필터기판(200)이 상기 액정층(300)이 개재된 상태로 상기 어레이 기판(100)과 결합되면, 상기 공통전극(230)은 상기 액정층(300)을 사이에 두고 상기 화소전극(140)과 마주본다.

상기 어레이 기판(100) 상에는 상기 데이터 라인들(DL) 중 특정 데이터 라인에 결함이 발생된 경우, 상기 특정 데이터 라인을 리페어 하기 위한 리페어 장치가 구비된다.

상기 리페어 장치는 상기 데이터 라인들(DL)과 절연되어 교차하는 제1 및 제2 리페어 라인(RL1, RL2), 상기 제1 및 제2 리페어 라인(RL1, RL2)을 연결하는 제1 내지 제8 연결라인(CL1, CL2, CL3, CL4, CL5, CL6, CL7, CL8) 및 상기 제1 내지 제8 연결라인(CL1 ~ CL8)의 라인 저항(저항 성분과 커패시턴스 성분의 곱; 이하, RC)을 측정하기 위한 RC 측정부(500)를 포함한다.

상기 비활성 영역(NAR)에 대응하여 상기 어레이 기판(100)에는 상기 데이터 라인들(DL)과 절연되어 교차하는 상기 제1 및 제2 리페어 라인(RL1, RL2)이 구비된다. 상기 제1 및 제2 리페어 라인(RL1, RL2)은 상기 활성 영역(AR)에 구비된 상기 박막 트랜지스터(120)의 게이트 전극(123) 및 게이트 라인들(GL)과 동일한 공정 시간 및 조건 상에서 패터닝된다. 상기 제1 및 제2 리페어 라인(RL1, RL2) 상에는 상기 활성 영역(AR)에 구비된 상기 층간 절연막(124)이 상기 비활성 영역(NAR)까지 연장된다. 상기 층간 절연막(124) 상에는 상기 데이터 라인들(DL)이 구비되어 상기 제1 및 제2 리페어 라인(RL1, RL2)과 전기적으로 절연된다.

상기 데이터 라인들(DL) 각각의 일단부는 상기 제1 리페어 라인(RL1)과 절연되어 교차하고 상기 데이터 라인들(DL) 각각의 타단부는 상기 제2 리페어 라인(RL2)과 절연되어 교차한다. 상기 제1 리페어 라인(RL1)과 상기 제2 리페어 라인(RL2)은 제1 콘택 영역(CR1)에서 제1 내지 제4 연결라인(CL1, CL2, CL3, CL4)과 전기적으로 연결되고, 상기 제2 콘택 영역(CR2)에서 제5 내지 제8 연결라인(CL5,CL6, CL7, CL8)과 전기적으로 연결된다.

즉, 상기 제1 리페어 라인(RL1), 제2 리페어 라인(RL2), 제1 내지 제8 연결라인(CL1 ~ CL8)은 동일한 공정 시간 및 조건 상에서 동시에 패터닝된다.

상기 데이터 라인들(DL) 중 특정 데이터 라인의 소정 부분이 단선되면, 상기 특정 데이터 라인으로 인가되는 영상 신호가 상기 단선된 지점(BP) 이후에는 인가되지 않는다. 따라서, 상기 단선된 지점(BP) 이후에서 상기 특정 데이터 라인에 연결된 화소 전극에는 상기 영상 신호가 제공되지 못하기 때문에 상기 액정표시장치(400)의 화면 상에 표시 불량이 나타난다.

상기 특정 데이터 라인에 불량이 발생하기 이전에 상기 제1 및 제2 리페어 라인(RL1, RL2)은 상기 특정 데이터 라인과 절연되어 교차한다. 그러나, 상기 특정 데이터 라인에 불량이 발생하면, 상기 특정 데이터 라인은 제1 지점(LP1)에서 레이저로 용접되어 상기 제1 리페어 라인(RL1)과 전기적으로 연결된다. 또한, 상기 특정 데이터 라인은 제2 지점(LP2)에서 레이저로 용접되어 상기 제2 리페어 라인(RL2)과 전기적으로 연결된다.

상기 액정표시장치(400)가 동작되면, 상기 데이터 구동부(160)로부터 출력된 상기 영상 신호는 상기 특정 데이터 라인으로 인가됨과 동시에, 상기 제1 지점(LP1)을 통해 상기 제1 리페어 라인(RL1)으로 인가된다. 상기 제1 리페어 라인(RL1)으로 인가된 상기 영상 신호는 상기 제1 내지 제4 연결라인(CL1 ~ CL4)을 통해 상기 제2 리페어 라인(RL2)으로 제공되고, 상기 제2 지점(LP2)에서 상기 특정 데이터 라인으로 인가된다. 따라서, 상기 특정 데이터 라인의 단선된 지점(BP)을제외한 나머지 부분에는 상기 영상 신호가 제공될 수 있음으로써 상기 액정표시장치(400)의 화면 상에 나타나는 표시 불량을 감소시킬 수 있다.

상기 제1 및 제2 리페어 라인(RL1, RL2)은 상기 데이터 라인들(DL)과 전체적으로 교차한다. 이러한 구조에서 상기 데이터 라인들(DL)은 상기 제1 및 제2 리페어 라인(RL1, RL2)에서의 신호 흐름을 방해하는 성분으로 작용한다. 즉, 상기 제1 및 제2 리페어 라인(RL1, RL2)은 상기 데이터 라인들(DL)과 상기 층간 절연막(124)을 사이에 두고 마주보기 때문에 상기 제1 및 제2 리페어 라인(RL1, RL2)과 상기 데이터 라인들(DL)과의 사이에서 제1 커패시턴스(C)가 형성된다. 상기 제1 커패시턴스(C)를 감소시키는 구조는 이후 도면을 참조하여 설명하기로 한다.

한편, 상기 제1 및 제2 리페어 라인(RL1, RL2)을 연결하는 상기 제1 내지 제8 연결라인(CL1 ~ CL8)에 의해서 상기 영상 신호를 방해하는 저항 성분(R)이 생성된다. 또한, 상기 제1 내지 제8 연결라인(CL1 ~ CL8)과 상기 컬러필터기판(200)에 구비된 상기 공통 전극(230)과의 사이에서 제2 커패시턴스(C2)가 생성된다.

상기 저항 성분(R) 및 상기 제2 커패시턴스(C2)는 상기 제1 내지 제8 연결라인(CL1 ~ CL8)의 길이와 전체적인 폭에 의해서 결정된다. 길이는 상기 제1 및 제2 리페어 라인(RL1, RL2)의 이격 거리로 정해진다. 그러나, 상기 폭이 증가하게되면 상기 저항 성분(R)이 감소되는 반면 상기 제2 커패시턴스(C2)는 증가되고, 상기 폭이 감소하게되면 상기 저항 성분(R)이 증가되는 반면 상기 제2 커패시턴스(C2)는 감소된다. 즉, 상기 폭에 의해서 상기 제1 내지 제8 연결라인(CL1 ~ CL8)의 RC가 결정된다.

이때, 상기 RC 측정부(500)는 상기 제1 및 제2 콘택영역(CR1, CR2)에 구비되는 상기 제1 내지 제8 연결라인(CL1 ~ CL8)에 접속된다. 구체적으로, 상기 RC 측정부(500)는 상기 제1 콘택영역(CR1)에서 상기 제1 내지 제4 연결라인(CL1 ~ CL4)에 접속되어, 상기 제1 내지 제4 연결라인(CL1 ~ CL4)을 하나씩 절단하면서 상기 제1 내지 제4 연결라인(CL1 ~ CL4)의 RC를 측정한다. 이후, 측정된 상기 RC 값을 미리 설정된 적절한 RC 값(임계치)과 비교하여 일치하는 경우, 상기 제1 콘택영역(CR1)에 구비되는 연결라인의 개수를 결정한다. 상기 제2 콘택영역(CR2)에서도 이와 동일한 과정을 반복하여 상기 제2 콘택영역(CR2)에 구비되는 연결라인의 개수를 결정한다.

도 3은 도 2에 도시된 제1 콘택 영역을 구체적으로 나타탠 평면도이고, 도 4는 도 3의 A 부분을 확대한 도면이다.

도 2 내지 도 4를 참조하면, 제1 콘택영역(CR1)에는 제1 내지 제4 연결라인(CL1 ~ CL4)이 구비되고, 상기 제1 내지 제4 연결라인(CL1 ~ CL4) 각각은 제1 폭(w1)을 갖는다. 상기 제1 콘택영역(CR1)에서의 RC 값은 상기 제1 내지 제4 연결라인(CL1 ~ CL4)에 의해서 결정된다. 즉, 상기 제1 콘택영역(CR1)에서의 RC 값은 상기 제1 내지 제4 연결라인(CL1 ~ CL4) 각각의 폭에 영향을 받는다.

먼저, 상기 RC 측정부(500)는 상기 제1 내지 제4 연결라인(CL1 ~ CL4)이 모두 절단되지 않는 상태에서 상기 제1 콘택영역(CR1)에서의 RC 값을 측정한다. 측정된 상기 RC 값을 임계치와 비교한 후, 상기 측정값이 상기 임계치보다 크면 상기 제1 내지 제4 연결라인(CL1 ~ CL4) 중 어느 하나(예를 들어, 제1 연결라인; CL1)를절단하여 세 개의 연결라인(제2 내지 제4 연결라인; CL2 ~ CL4)에 대해서 RC 값을 측정한다.

상기 제1 연결라인(CL1)이 절단되면, 상기 제1 콘택영역(CR1)에서의 전체적인 라인 폭은 상기 제1 폭(w1)만큼 감소된다. 이때, 상기 제1 콘택영역(CR1)에서의 저항 성분은 증가하는 반면 커패시턴스 성분은 감소되면서 RC 값이 변경된다. 변경된 상기 RC 값을 다시 상기 임계치와 비교하여 변경된 상기 RC 값이 상기 제1 콘택영역(CR1)에 적절한가를 판단한다.

이러한 방식으로 상기 제1 콘택영역(CR1)의 RC 값을 측정하여 측정된 상기 RC 값이 상기 임계치와 거의 일치하는 경우, 상기 제1 콘택영역(CR1)의 연결라인들은 더 이상 절단되지 않는다. 따라서, 상기 제1 콘택영역(CR1)은 절단되지 않는 연결라인들(예를 들어, 제2 내지 제4 연결라인; CL2 ~ CL4)을 통해 상기 제1 리페어 라인(RL1)으로부터 출력된 영상신호를 상기 제2 리페어 라인(RL2)으로 제공한다.

한편, 도면에 도시하지는 않았지만 이와 동일하게 상기 제2 콘택영역(CR2)에서도 상기 임계치와 일치하는 RC 값을 가질 수 있는 연결라인들의 개수를 결정한다.

도 5는 도 3의 B 부분을 확대한 도면이다. 단, 도 5에서는 상기 제1 리페어 라인(RL1)과 상기 데이터 라인들(DL)이 교차하는 구조만을 도시하고, 상기 제2 리페어 라인(RL2)과 상기 데이터 라인들(DL)이 교차하는 구조는 이와 동일하기 때문에 생략한다.

도 3 및 도 5를 참조하면, 제1 및 제2 리페어 라인(RL1, RL2)은 데이터 라인들(DL)의 일단부 및 타단부가 배치되는 비활성 영역(NAR)에서 상기 데이터 라인들(DL) 각각의 일단부와 교차한다.

구체적으로, 상기 제1 리페어 라인(RL1)은 상기 데이터 라인들(DL) 각각의 일단부와 교차하는 제1 영역(B1)과 상기 제1 영역(B1) 사이에 마련되는 제2 영역(B2)으로 구분된다. 상기 제1 영역(B1)에서 상기 제1 리페어 라인(RL1)은 제2 폭(w2)을 갖고, 상기 제2 영역(B2)에서 상기 제1 리페어 라인(RL1)은 제3 폭(w3)을 갖는다.

따라서, 상기 제1 영역(B1)에서 상기 데이터 라인들(DL) 각각의 일단부와 상기 제1 리페어 라인(RL1)이 마주보는 면적을 감소시킬 수 있다. 마주보는 면적이 감소됨에 따라서, 상기 데이터 라인들(DL)과 상기 제1 리페어 라인(RL1)과의 사이에서 발생되는 제1 커패시턴스(C1)도 감소된다.

상기 제1 리페어 라인(RL1)의 폭이 감소함에 따라서 상기 제1 리페어 라인(RL1)의 저항 성분이 증가되더라도, 상기 저항 성분의 증가분보다 상기 제1 커패시턴스(C1) 성분의 감소분이 크다. 따라서, 상기 제1 리페어 라인(RL1)의 RC 값이 전체적으로 감소되어 상기 제1 리페러 라인(RL1)으로 인가되는 영상 신호의 지연을 방지할 수 있다.

이와 같은 액정표시장치용 리페어 장치에 따르면, 데이터 라인에 제1 및 제2 리페어 라인이 전기적으로 연결된 상태에서, 상기 연결부에서 적정한 RC 값이 측정될때까지 상기 제1 및 제2 리페어 라인을 연결하는 다수의 연결라인을 순차적으로절단함으로써, 상기 연결부의 전체적인 폭을 결정한다.

따라서, 상기 다수의 연결라인을 통해 인가되는 영상 신호가 지연되는 현상을 방지할 수 있고, 그로 인해서 상기 액정표시장치의 표시 특성을 향상시킬 수 있다.

또한, 상기 제1 및 제2 리페어 라인은 상기 데이터 라인과 교차하는 영역에서 그렇지 않은 영역보다 좁은 폭을 가짐으로써 상기 제1 및 제2 리페어 라인을 통해 이동하는 상기 영상 신호가 지연되는 현상을 방지할 수 있다.

이상 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

Claims

액정표시장치의 어레이 기판 상에 배치된 신호라인을 리페어하기 위한 리페어 장치에서,

상기 신호라인의 일단부와 절연되어 교차하는 제1 리페어 라인 및 상기 신호라인의 타단부와 절연되어 교차하는 제2 리페어 라인으로 이루어지고, 상기 신호라인의 결함시 상기 제1 및 제2 리페어 라인이 상기 신호라인과 전기적으로 연결되는 리페어부;

다수의 연결라인으로 이루어져 상기 제1 및 제2 리페어 라인을 전기적으로 연결하기 위한 연결부; 및

상기 신호라인이 상기 제1 및 제2 리페어 라인과 전기적으로 연결된 상태에서 상기 다수의 연결라인이 하나씩 절단될 때마다 상기 연결부의 RC 값을 측정하여, 적정한 RC 값을 갖는 상기 연결부의 전체적인 폭을 결정하기 위한 RC 측정부를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치용 리페어 장치.
제1항에 있어서, 상기 다수의 연결선 각각은 서로 동일한 폭을 갖는 것을 특징으로 하는 액정표시장치용 리페어 장치.
제1항에 있어서, 상기 제1 및 제2 리페어 라인은 상기 신호라인과 교차하는 영역에서 폭이 좁아지는 형상을 갖는 것을 특징으로 하는 액정표시장치용 리페어장치.
제1항에 있어서, 상기 어레이 기판에는 박막 트랜지스터가 구비되고,

상기 신호라인은 상기 박막 트랜지스터의 소오스 전극에 연결된 데이터 라인인 것을 특징으로 하는 액정표시장치용 리페어 장치.