KR20000062299A - 전기액츄에이터 - Google Patents

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다까다 요시유끼
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Abstract

본 발명의 전기액츄에이터는 주액츄에이터본체(12)와, 구동부(16)와, 회전구동원(14)의 회전구동력을 전달하는 이송스크류샤프트(32)와, 이송스크류샤프트(32)를 둘러싸고 외부에서 결합되어 숫나사(36)와 암나사(42)사이의 결합작용에 따라서 축방향을 따라서 이동하는 이동부재(40)와, 주액츄에이터본체(12)의 측면부에 제공된 센서부착용 장홈(24a, 24b)과, 센서부착용 장홈(24a, 24b)내의 소정부위에 설치된 센서(25)를 구비한다.

Description

전기액츄에이터 {ELECTRIC ACTUATOR}
지금까지 전기액츄에이터는 예를 들어 공작물을 운반하는 수단으로서 사용되었다. 도 9 및 도 10에 도시한 바와 같이, 이런 전기액츄에이터는 주액츄에이터본체로서 작용하는 개구가 형성된 긴 프레임(1)과 이 프레임(1)의 일단에 고정된 블록형상의 전기모터(2)로 구성된다. 이 전기액츄에이터는 도시하지 않은 커플링부재를 사용하여 서로 동축상태로 연결되는 볼스크류(3)와 전기모터(2)의 모터샤프트를 구비한다. 볼스크류(3)와 결합된 도시하지 않은 너트부재에는 가동부재(4)가 고정되어 있다.
프레임(1)의 측면에는 프레임(1)의 종방향을 따라서, 센서를 부착하기 위한 장홈(5a, 5b)이 형성된다. 이 센서(6)는 장홈(5a, 5b)의 소정부에 설치된다. 센서(6)에 전기적으로 접속되는 도선(7)은 장홈(5a, 5b)속으로 들어간다. 도선(7)의 일단부는 컨트롤러같은 외부장치에 연결된다. 센서(6)에 의해 검출되는 검출신호는 상기 외부장치에 입력된다.
프레임(1)의 개구부는 커버플레이트(8)로 막혀진다. 커버플레이트(8)(도 10참조)로 막히지 않은 나머지부분에는 슬릿(9a, 9b)이 형성된다. 이 슬릿(9a, 9b)은 외부와 연통되고 이 슬릿은 프레임(1)의 축방향을 따라서 형성된다.
이 구조에서, 볼스크류(3)와 결합된 너트부재는 전기모터(2)의 구동작용에 따라서 슬릿(9a, 9b)을 따라서 직선상으로 이동된다. 따라서, 너트부재에 고정된 가동부재(4)가 일체적으로 이동된다.
그러나, 상술한 종래기술과 관련한 전기액츄에이터의 경우, 너트부재를 이동시키기 위한 공간으로서 작용하는 슬릿(9a, 9b)이 프레임(1)의 개구에 형성된다. 따라서, 먼지 등이 슬릿(9a, 9b)을 통하여 외부로부터 프레임(1)의 내부로 들어가서 볼스크류(3)에 달라붙는다. 그 결과, 볼스크류(3)의 구동력전달기능이 저하하며, 가동부재(4)가 원활한 왕복동작할 수 없게 되는 불편이 생긴다.
또한, 예를 들어 어떤 수리작업을 수행하면 다음과 같은 불편이 생긴다. 즉, 조작자는 장홈(5a, 5b)으로부터 외부로 노출된 도선(7)과 접촉하며, 이에 따라서 도선이 걸린다. 그 결과, 장홈(5a, 5b)의 소정부분에 설치된 센서(6)의 위치가 이탈한다.
본 발명은 구동력전달수단에 의해 회전구동원의 회전구동력을 이동부재에 전달하여 예를 들어 공작물의 운반기구로서 기능하는 전기액츄에이터에 관한 것이다.
도 1은 본 발명의 구체예에 따른 전기액츄에이터를 나타내는 정면도.
도 2는 도 1에 나타낸 선 II-II를 따라서 취한 종단면도.
도 3은 도 2에 나타낸 선 III-III을 따라서 취한 단면도.
도 4는 도 1에 나타낸 전기액츄에이터를 구성하는 구동부를 나타내는 종단면도.
도 5는 도 1에 나타낸 전기액츄에이터를 구성하는 커버부재를 나타내는 사시도.
도 6은 본 발명의 다른 구체예에 따른 전기액츄에이터를 나타내는 단면도.
도 7은 도 6에 도시한 전기액츄에이터가 다른 부재에 조립된 상태를 나타내는 개략도.
도 8은 도 6에 도시한 전기액츄에이터가 또 다른 부재에 조립된 상태를 나타내는 개략도.
도 9는 종래기술에 관련된 전기액츄에이터를 나타내는 분해사시도.
도 10은 도 9에 나타낸 선 X-X을 따라서 취한 단면도.
본 발명의 목적은 주액츄에이터본체의 내부에 먼지 등이 침입하는 것을 방지하여 구동력전달기능의 감소를 피할 수 있으며, 도선에서 이루어지는 신축작용에 의해 생길 수 있는 센서의 어떤 이탈도 피할 수 있는 전기액츄에이터를 제공하는 것이다.
본 발명에 따르면, 회전구동원의 구동작용에 따라서 동작하는 회전구동력전달부재가 이동부재와 주액츄에이터본체로 2중으로 둘러싸인다.
또한, 본 발명에 따르면, 주액츄에이터본체의 측면에 제공된 장홈내의 소정부위에 센서가 부착된다. 이 센서는 이동부재와 일체로 이동하는 영구자석의 자장을 검출한다. 따라서 이동부재의 이동량을 검출할 수 있다.
도 1 및 도 2에 있어서, 도면부호 10은 본 발명의 구체예에 따른 전기액츄에이터를 나타낸다. 이 전기액츄에이터(10)는 중공의 평행육면체형상을 가지며 축방향을 따라서 형성된 통공을 구비하는 주액츄에이터본체(12)와, 이 주액츄에이터본체(12)의 측면과 대체로 동일면상에 있도록 형성되어 회전구동원(14)(도 4참조)과 정렬된 구동부(16)로 구성된다.
주액츄에이터본체(12)는 각각 중공의 평행육면체형상을 가지면서 각각 측면을 갖도록 형성된 제 1본체(18) 및 제 2본체(20)와, 상기 제 1본체(18)의 일단에 연결되는 헤드커버(22)로 구성된다. 제 1본체(18), 제 2본체(20) 및 헤드커버(22)의 두 개의 양측면의 각각에는 아크형구조를 갖는 한 쌍의 센서부착용 장홈(24a, 24b)이 대략 서로 평행하게 형성된다(도 3참조). 센서부착용 장홈(24a, 24b)의 소정부위에는 원기둥형 센서(25)가 설치된다(도 3참조). 피스톤의 위치는 후술하는 바와 같이 피스톤에 일체로 이동하도록 설치된 영구자석의 자장을 검출하여 검출할 수 있다.
도 2에 도시하는 바와 같이, 구동부(16)에 연결된 제 2본체(20)의 내부에는 연결부재(26) 및 록크너트(28)에 의해 회전구동원(14)의 구동샤프트(30)에 동축상태로 연결되는 이송스크류샤프트(회전구동력전달부재)(32)가 설치된다. 이송스크류샤프트(32)는 볼베어링(33)이 설치된 제 1베어링부재(34)에 의해 회전가능하게 지지된다. 이송스크류샤프트(32)의 외주면상의 소정부에는 숫나사(36)가 형성된다. 이송스크류샤프트(32)에는 피스톤(38)을 갖는 이동부재(40)가 외부에 결합된다. 이송스크류샤프트(32)의 외주면에 형성된 숫나사(36)에는 이동부재(40)의 내주면에 형성된 암나사(42)가 결합된다. 따라서, 이동부재(40)는 이송스크류샤프트 (32)의 결합작용에 따라서 화살표 X1또는 X2로 나타낸 방향으로 이동된다.
제 1본체(18)와 피스톤(38)이 알루미늄압출형성이나 수지성형에 의해 형성되는 경우 저렴하게 제조될 수 있는 것이 유리하다.
제 1본체(18)의 구멍(44)을 따라서 슬라이딩이동하는 피스톤(38)은 원통형 이동부재(40)의 일단부에 설치된다. 피스톤(38)에는 환형홈에 의해 영구자석(46)이 결합된다. 피스톤(38)의 외주면에는 스플라인(48)이 형성된다. 피스톤(38)이 슬라이딩이동하는 제 1본체(18)의 구멍(44)의 내측벽면에는 스플라인(48)에 대응하는 스플라인홈(50)이 형성된다(도 3참조). 스플라인홈(50)의 안내작용에 따라서 구멍(44)을 따라서 피스톤(38)이 이동함에 의해 이동부재(40)에 대한 회전방지기능이 이루어진다.
센서부착용 장홈(24a, 24b)에 설치된 센서(25)는 피스톤(38)과 일체로 이동된 영구자석(46)의 자장을 검출한다. 따라서 피스톤(38)의 위치를 검출할 수 있다. 제 1본체(18)의 양단부에는 각각 말단위치의 변위를 조절하고 피스톤(38)과의 접촉시의 충격을 경감하는 한 쌍의 댐퍼부재(52a, 52b)가 배치된다. 제 1베어링부재(34)와 댐퍼부재(52b)사이에는 스페이서(54)가 개재된다.
헤드커버(22)에는 제 1본체(18)의 구멍(44)의 내부로 먼지 등이 침입하는 것을 방지하기 위해 이동부재(40)를 둘러싸는 로드팩킹(56)과, 이동부재(40)가 화살표 X1또는 X2의 방향으로 이동할 때 안내작용하는 부시(58)가 설치된다.
도 5에 도시한 바와 같이, 제 2본체(20)의 측면부에는 스크류(62)에 의해 장방형 커버부재(60)가 착탈가능하게 부착된다. 커버부재(60)에는 센서부착용 장홈 (24a, 24b)과 연동되어 센서(25)로부터 나오는 도선을 외부에서 안내하는 한 쌍의 도선출구(66a, 66b)가 제공된다.
즉, 커버부재(60)에는 센서부착용 장홈(24a, 24b)과 동축상태로 연장되는 한 쌍의 제 1구멍(68a, 68b)이 형성된다. 커버부재(60)에는 또한 제 1구멍(68a, 68b)으로부터 소정의 각도로 외부로 휘어진 한 쌍의 제 2홀(70a, 70b)이 형성된다. 출구(66a, 66b)에는 각각 도선(64)을 고정하는 예각구조를 갖는 고정탭(71a, 71b)이 형성된다.
본 구체예에 있어서, 센서(25)는 주액츄에이터본체(12)의 센서부착용 장홈(24a, 24b)의 소정부위에 설치된다. 센서부착용 장홈(24a, 24b)을 따라서 내부에서 안내되는 도선(64)은 제 1구멍(68a, 68b)과 제 2구멍(70a, 70b)을 따라서 휘어진다. 도선(64)은 도선출구(66a, 66b)에 제공된 고정탭(71a, 71b)을 사용하여 그 소정부위가 고정된다. 따라서, 이 도선(64)은 커버부재(60)에 의해 고정된다.
도 4에 도시한 바와 같이, 구동부(16)는 회전구동원(14)과 브레이크기구(72)로 구성되며, 하우징(73) 내에 수용된다. 회전구동원(14)의 구동샤프트(30)는 서로 소정의 이격간격으로 분리된 제 2베어링부재(74)와 제 3베어링부재(76)에 의해 회전가능하게 지지된다. 구동샤프트(30)의 말단부는 브레이크기구(72)까지 연장된다. 회전구동원(14)은 구동샤프트(30)와 일체로 회전하도록 구동샤프트(30)에 고정된 회전자(78)와, 하우징(73)에 고정된 고정자(80)를 구비한다.
브레이크기구(72)는 전자석코일(82)이 정렬된 케이싱(84)과, 케이싱(84)의 외부에 제공되며 구동샤프트(30)와 일체로 회전하는 브레이킹패드(86)를 구비한다. 한 쌍의 개재판(88a, 88b)이 제공되며 그 사이에는 브레이킹패드(86)가 끼워진다. 제 1개재판(88a)은 케이싱(84)의 오목부에 고정된 스프링부재(90)의 탄성력에 의해 제 2개재판(90)측으로 가압되게 설치된다. 그러므로, 브레이킹패드(86)는 스프링부재(90)의 탄성력의 작용에 따라서 한 쌍의 개재판(88a, 88b)을 사용하여 개재하여 그 양면을 고정한다. 따라서, 브레이킹작용이 이루어져 구동샤프트(30)의 회전을 정지시킨다. 전자석코일(82)을 둘러싸는 케이싱(84)과 제 1개재판(88a)사이에는 소정의 틈새를 갖는 갭(89)이 형성된다.
스프링부재(90)에 의해 가압력이 가해지는 제 1개재판(88a)은 구동샤프트 (30)의 축방향을 따라서 이동가능하게 제공된다. 전자석코일(82)에 전원이 인가되어 도 4에 도시한 상태로부터 ON상태가 될 때, 제 1개재판(88a)은 스프링부재(90)의 탄성력을 극복하면서 전자석코일(82)측으로 당겨진다. 그 결과, 브레이킹작용이 소실되고 구동샤프트(30)가 소정방향으로 회전된다.
본 발명의 구체예에 따른 전기액츄에이터(10)는 기본적으로는 상술한 바와 같이 구성된다. 다음으로 그 동작, 작용 및 효과를 설명한다.
먼저 한 쌍의 센서(25)가 센서부착용 장홈(24a, 24b)내의 소정부위에 설치된다. 이후, 센서(25)에 연결된 도선(64)은 센서부착용 장홈(24a, 24b)을 따라서 내부에서 안내되어 커버부재(60)의 제 1구멍(68a, 68b)과 제 2구멍(70a, 70b)을 따라서 설치된다. 이 도선(64)은 도선출구(66a, 66b)로부터 외부에서 안내된다.
본 구조에 있어서, 도선(64)은 커버부재(60)내에 소정각도로 경사진 제 2구멍(70a, 70b)에 의해 휘어진다. 이 도선(64)은 도선출구(66a, 66b)에 제공된 고정탭(71a, 71b)에 의해 고정된다. 그러므로, 후술하는 바와 같이, 조작자가 실수로 도선(64)과 접촉하여 도선(64)이 걸리는 경우라도, 도선(64)이 커버부재(60)에 의해 고정되어 있기 때문에, 센서(25)는 도선(64)에서 이루어지는 신축작용에 의해 생길 수 있는 센서위치의 이탈을 방지할 수 있다.
이후, 도시하지 않은 동력원이 작용하는 경우, 회전구동원(14)이 회전구동한다. 회전구동원(14)의 회전구동력은 이에 동축상태로 연결된 이송스크류(32)에 연결부재(26)에 의해 전달된다. 이동부재(40)는 이송스크류샤프트(32)의 숫나사(36)와 이동부재(40)의 내주면에 형성된 암나사(36)사이의 결합작용에 따라서 이동부재 (40)는 화살표 X1또는 X2로 나타낸 방향으로 이동된다.
이 과정 중에, 피스톤(38)의 외주면에 형성된 스플라인(48)은 이동부재(40)에 대하여 회전방지작용을 한다. 또한, 각각 헤드커버(22)에 제공된 부시(58)와 제 2본체(20)에 제공된 제 1베어링부재(34)에 의해 안내작용이 나타난다.
피스톤(38)은 이송스크류샤프트(32)의 결합작용에 따라서 화살표 X1(X2)의 방향으로 이동부재(40)가 이동하는 이동공정 중에 댐퍼부재(52a) 또는 (52b) 중의 하나와 접촉한다. 따라서, 이동말단위치가 제한되며, 접속시의 충격이 흡수된다.
한편, 도시하지 않은 스위칭수단을 사용하여 회전구동원(14)을 상기와 반대방향으로 회전시킴으로써, 이동부재(40)가 화살표 X2(X1)의 방향으로 이동하여 본래의 위치로 복귀한다.
본 구체예에 있어서, 센서(25)는 주액츄에이터본체(12)의 측면에 형성된 센서부착용 장홈(24a, 24b)의 소정부위에 편리하게 설치된다. 따라서, 이동부재(40)의 변위량을 검출할 수 있다.
본 구체예에 있어서, 연결부재(26)에 의해 회전구동원(14)의 구동샤프트(30)에 동축상태로 연결된 이송스크류샤프트(32)는 이송스크류샤프트(32)에 외부에서 결합된 이동부재(40)와 주액츄에이터본체(12)에 의해 이중으로 둘러싸인다. 따라서, 이송스크류샤프트(32)에 먼지 등이 달라붙는 것을 방지할 수 있다.
그러므로, 이송스크류샤프트(32)에 먼지 등이 달라붙어 생길 수 있는 이송스크류샤프트(32)의 슬라이딩저항의 증가를 피하여 내구성을 향상시킬 수 있다. 또한, 회전구동원(14)의 회전구동력이 원활하게 이동부재(40)에 전달될 수 있다.
또한, 본 구체예에 있어서, 도선(64)은 커버부재(60)에 제공된 제 1구멍 (68a) 및 제 2구멍(70a, 70b)을 따라서 삽입되고, 도선(64)의 부분들이 커버부재 (60)에 의해 고정된다. 따라서, 예를 들어 조작자가 센서부착용 장홈(24a, 24b)으로부터 외부로 노출된 도선(64)과 접촉하고 도선(64)이 수리작업을 실시할 때 걸린다면, 도선(64)의 부분이 커버부재(60)에 의해 고정되기 때문에, 도선에서 이루어지는 신축작용에 의해 생길 수 있는 센서(25)의 위치이탈을 피할 수 있다.
본 발명의 본 구체예는 커버부재(60)에 제공된 도선출구(66a, 66b)를 통하여 도선(64)이 외부로 안내되고, 도선(64)이 구동부(16)와 접촉하는 것이 방지되며 구동부(16)의 구동동작 중에 발생된 열의 방출에 의해 생길 수 있는 도선(64)의 손상을 피할 수 있는 점이 유리한 구조를 채용한다.
다음으로, 본 발명의 다른 구체예에 따른 전기액츄에이터(10a)가 도 6에 도시되어 있다. 이 전기액츄에이터(10a)는 다음의 점에서 다르다. 즉, 이 전기액츄에이터(10a)는 도 3에 도시한 바와 같은 스플라인(48) 및 스플라인홈(50)같은 회전방지수단을 구비하지 않는다. 피스톤(38)의 외주면과 제 1본체(18)의 구멍(44)의 단면구조가 각각 원형이 되도록 형성된다. 이동부재(40)에 대한 회전방지작용을 나타내기 위하여 부가의 방식으로 외부에 제공된 다른 부재(후술함)가 사용된다. 도 1에 도시한 전기액츄에이터(10)와 동일한 구성요소는 동일한 도면부호로 나타내고 그 상세한 설명은 생략함을 알아야 한다.
상기 다른 구체예에 따른 전기액츄에이터(10a)가 사용되는 상세예가 예를 들어 도 7에 도시되어 있다. 기판(92)에는 한 쌍의 지주(94a, 94b)가 고정된다. 전기액츄에이터(10a)를 화살표로 나타낸 방향으로 회전가능하게 지지하기 위해 상기 한 쌍의 지주(94a, 94b)사이에 지지되는 핀부재(96)가 회전중심으로서 사용된다. 이동부재(40)의 일단부에 연결된 커플링부재(98)는 평판(100)을 지지하는데 사용된다. 본 구체예에서, 이동부재(40)는 전기액츄에이터(10a)의 구동작용에 따라서 화살표로 나타낸 방향으로 전후진한다. 따라서, 회전중심으로서 점 A를 사용하여 평판(100)이 소정각도만큼 회전이동될 수 있다.
다른 방식으로, 도 8에 도시한 바와 같이, 전기액츄에이터(10a)를 기판(104)에 대체로 평행하게 고정하는데 지지블록(102)이 사용된다. 기판(104)상에 고정된 선형가이드(106)에는 나사에 의해 플랜지(108)가 고정된다. 이 플랜지(108)는 이동부재(40)의 일단부에 연결된다. 그 결과, 선형가이드레일(110)의 안내작용에 따라서 이동부재(40)와 플랜지(108)가 일체로 이동된다.
상술한 바와 같이, 상기 다른 구체예에 따른 전기액츄에이터(10a)의 경우는, 가이드부재같은 다른 부가의 부재에 의해 이동부재(40)가 회전이 방지된다. 따라서, 이동부재(40)에 대한 회전방지수단을 제공할 필요가 없다. 그러므로, 상술한 구조는 처리동작이 간단하게 되고 제조비용을 줄일 수 있다는 점에서 유리하다.
제조단계 중에 생기는 예리한 모서리나 거친 부위는 경우에 따라서 이송스크류샤프트(32)의 외주면에 부착된다. 이런 예리한 모서리나 거친 부위는 이송스크류샤프트(32)와 이동부재(40)사이의 결합부에 손상을 입힐 수 있어 원활한 회전동작이 방해받을 수 있는 것이 우려된다.
이런 경우, 이송스크류샤프트(32)가 처리된 후, 이송스크류샤프트(32)의 나사부가 예를 들어 케미칼폴리싱, 엘렉트로폴리싱 또는 숏트피닝처리된다. 따라서, 예리한 모서리, 거친 부위, 공정스크래치 등이 제거될 수 있다. 또한, 터프트라이드(Tufftride) 및 무전해도금처리같은 표면처리를 이송스크류샤프트(32)의 외면에 적용할 수도 있다. 이런 처리는 슬라이딩성능이 더욱 향상될 수 있다는 점이 유리하다.
본 발명에 따르면, 회전구동력전달부재가 이동부재 및 주액츄에이터본체에 의해 이중으로 둘러싸인다. 따라서, 회전구동력전달부재에 먼지 등이 달라붙는 것을 방지할 수 있다.
그러므로, 회전구동력전달부재에 먼지 등이 달라붙어 생길 수 있는 회전구동력전달부재의 슬라이딩저항의 증가를 피하여 내구성을 향상시킬 수 있다. 또한, 회전구동원의 회전구동력을 이동부재에 원활하게 전달할 수 있다.
또한, 도선은 커버부재에 의해 고정된다. 따라서, 도선에서 생기는 신축작용에 의해 생길 수 있는 센서의 위치이탈을 피할 수 있다.

Claims (9)

  1. 원통형의 주액츄에이터본체(12)와,
    상기 주액츄에이터본체(12)의 옆에 배치된 구동부(16)에 배치된 회전구동원 (14)과,
    상기 회전구동원(14)의 회전구동력을 전달하기 위해, 상기 회전구동원(14)의 구동샤프트(30)에 동축상태로 연결된 회전구동력전달부재(32)와,
    상기 회전구동력전달부재(32)를 둘러싸며, 상기 회전구동력전달부재(32)와의 결합작용에 따라서 상기 주액츄에이터본체(12)의 축방향을 따라서 이동가능한 이동부재(40)로 구성되는데,
    상기 회전구동력전달부재는 이송스크류샤프트(32)로 구성되며, 상기 이동부재(40)는 상기 이송스크류샤프트(32)의 외주에 형성된 숫나사(36)와 상기 이동부재 (40)의 내주면에 형성된 암나사(42)에 의한 결합작용에 따라서 상기 축방향을 따라서 이동가능한 것을 특징으로 하는 전기액츄에이터.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 구동부(16)에는 상기 회전구동원(14)의 상기 구동샤프트(30)의 회전력을 제동하는 브레이크기구(72)가 제공되는 것을 특징으로 하는 전기액츄에이터.
  3. 제 1항에 있어서, 상기 주액츄에이터본체(12)의 측면부에는 장홈(24a, 24b)이 형성되고, 상기 장홈(24a, 24b)의 소정부위에는 상기 이동부재(40)와 일체로 이동가능한 영구자석(46)의 자장을 검출하는데 사용되는 센서(25)가 제공되는 것을 특징으로 하는 전기액츄에이터.
  4. 제 3항에 있어서, 상기 주액츄에이터본체(12)의 측면부에는 상기 장홈(24a, 24b)을 따라서 배치된 상기 센서(25)의 도선을 고정하는데 사용되는 고정부재(60)가 제공되는 것을 특징으로 하는 전기액츄에이터.
  5. 제 4항에 있어서, 상기 고정부재는 커버부재(60)로 구성되며, 상기 커버부재 (60)에는 상기 장홈(24a, 24b)과 연통되는 제 1구멍(68a, 68b)과, 상기 제 1구멍 (68a, 68b)으로부터 소정각도만큼 외부로 경사진 제 2구멍(70a, 70b)과, 상기 제 2구멍(70a, 70b)과 연통되는 도선출구(66a, 66b)가 형성되며, 상기 도선출구(66a, 66b)에는 상기 도선(64)을 고정하는 예리한 고정탭(71a, 71b)이 제공되는 것을 특징으로 하는 전기액츄에이터.
  6. 제 1항에 있어서, 상기 이동부재(40)의 일단부에는 상기 주액츄에이터본체 (12)의 구멍(44)을 따라서 상기 이동부재(40)와 일체로 이동가능한 피스톤(38)이 제공되고, 상기 피스톤(38)에는 상기 이동부재(40)에 대한 회전방지작용을 하는 스플라인(48)이 형성되는 것을 특징으로 하는 전기액츄에이터.
  7. 제 6항에 있어서, 상기 주액츄에이터본체(12)의 상기 구멍(44)에는 상기 피스톤(38)의 접촉시에 상기 이동부재(40)의 변위량을 제한하는데 사용되는 한 쌍의 댐퍼부재(52a, 52b)가 배치되는 것을 특징으로 하는 전기액츄에이터.
  8. 제 2항에 있어서, 상기 브레이크기구(72)는 상기 회전구동원(14)의 상기 구동샤프트(30)와 일체로 회전하는 브레이킹패드(86)와, 스프링부재(90)의 탄성력의 작용에 따라서 상기 브레이킹패드(86)를 개재하는 한 쌍의 개재판(88a, 88b)과, 전원의 인가에 따라서 상기 스프링부재(90)의 상기 탄성력에 대항하여 상기 개재판 중의 하나(88a 또는 88b)를 당겨서 제동작용을 감쇠시키는 전자석코일(82)을 구비하는 것을 특징으로 하는 전기액츄에이터.
  9. 제 1항에 있어서, 상기 주액츄에이터본체(12)의 일단부에는 상기 주액츄에이터본체(12)의 구멍(44)에 먼지 등이 침입하는 것을 방지하도록 상기 이동부재(40)의 외주면을 둘러싸는데 사용되는 시일부재(56)가 제공되는 것을 특징으로 하는 전기액츄에이터.
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