KR970001658Y1 - 볼 스크류우 연결장치 - Google Patents

Abstract

내용 없음.

Description

볼 스크류우 연결장치

제1도는 본 고안에 따른 볼 스크류우 연결장치의 작용 상태도,

제2도는 제1도의 연결장치의 상세도.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명

1 : 볼 스크류우 2 : 고정 플레이트

3 : 구동모타 4 : 벨트

5 : 연결장치 6 : 이동 플레이트

7 : 도아 9 : 공정챔버

11 : LM블럭 13 : LM레일

14 : 볼 부쉬 21 : 하우징

22 : 연결부 23 : 구형축

24,24' : 스프링 25 : 카바

26 : 갭

본 고안은 볼 스크류우에 연결되어 회전력을 직선운동으로 변환한 볼 스크류우를 직선 이동장치에 연결하는 볼 스크류우 연결장치에 관한 것이다.

일반적으로 볼 스크류우 연결장치는 회전하는 스크류우에 볼베어링이 형성되어 있어 스크류우의 회전을 직선운동으로 바꾸어 정밀한 직선운동을 이루게 된다.

반도체 제조 공정에서 공정챔버의 도아를 개폐하는 도아 개폐장치는 회전운동을 직선운동으로 바꾸어 챔버 도아를 이동시켜 공정챔버내를 대기와 완전히 차단하게 된다.

그러나 볼 스크류우의 회전운동을 직선운동으로 전환하여 직선운동력을 전달하는 이동플레이트와 연결하는데 있어, 연결장치와 이동 플레이트가 서로 움직이지 못하도록 고정되어 있어 진동 및 직선운동에서의 뒤틀림을 방지하지 못하여 공정챔버의 도아를 정확히 밀폐시키지 못함으로써 공정챔버내를 대기와 완전히 차단하지 못하는 문제점이 있었다.

상기 문제점을 해결하기 위하여 안출된 본 고안은 공정챔버내를 대기와 확실히 차단하여 반도체 공정의 신뢰도를 증진 시키고 챔버도아의 개폐장치의 수명을 연장할 수 있는 볼 스크류우 연결장치를 제공하는 데 그 목적이 있다.

상기 목적을 달성하기 위하여 본 고안은, 회전운동을 직선운동으로 바꾸는 볼 스크류우에 형성되어 있는 볼부쉬에 결합되어 이동 플레이트를 움직이도록 하는 볼 스크류우 연결장치에 있어서, 상기 볼 스크류우의 볼부쉬에 수직한 축방향으로 연결되는 연결부 ; 상기 연결부에 결합되어 상기 이동 플레이트를 이동 시키는 힘을 전달하는 구형축 ; 상기 구형축을 감싸고 있되 상기 구형축을 중심으로하여 미동할 수 있는 하우징 ; 상기 구형축과 완전히 밀착하지 않고 소정의 간격을 두고 감싸는 카바 ; 상기 하우징 내에 형성되되 상기 구형축과 상기 카바 사이에 형성되어 상기 이동플레이트에 스프링의 복원력을 게속 적으로 제공하면서 상기 이동 플레이트에 무리한 힘이 가해지지 않도록 하는 제1스프링 ; 및 상기 상기 하우징 내에 형성되되 공정챔버의 도아를 열 때 발생되는 소음을 방지하기 위하여 상기 구형축을 중심으로 반대편에 형성되는 제2스프링을 포함하는 것을 특징으로 한다.

이하, 첨부된 도면 제1도 및 제2도를 참조하여 본 고안을 상세히 설명하면 다음과 같다.

먼저, 제1도는 본 고안에 따른 볼 스크류우 연결장치의 작용상태도를 도시한 것이다.

도면에 도시된 바와같이 회전하는 볼 스크류우(1)에는 볼 부쉬(14)가 형성되어 있어 이 볼 부쉬(14)에 회전에 따라 수평 왕복운동을 할 수 있도록 구성된 연결장치(5)가 연결되어 있어 구동모타가 회전함에 따라 볼 스크류우(1)가 회전하게 되면, 이동플레이트(6)와 연결되어 있는 상기 연결장치(5)는 수평운동을 하게 된다.

볼 스크류우(1)에 의한 회전력은 연결장치(5)를 수평운동하도록 하고 이 연결장치(5)는 이동 플레이트(6)를 이동시켜 공정챔버의 도아(7)를 공정챔버의 플랜지와 밀착되도록 함으로써 대기와 공정챔버를 차단하게 된다.

또한, 도아 구동장치를 지탱하고 있는 고정 플레이트(2)의 일측 상단에는 LM블러(11)이 형성되어 지고 이 LM블럭(11)은 상기 이동 플레이트(6) 하부에 연결되어져 있는 LM레일(13)을 안내하여 수평운동하는 이동 플레이트(6)의 운동이 도아(7)를 움직임을 정확히 전달 되도록 한다.

제2도는 상기 연결장치의 부분 상세도로서, 볼 스크류우(1)의 연결부(22)를 통해 결합된 연결장치(5)가 다시 이동 플레이트(6)와 연결되어 있어 상기 볼 스크류우(1)의 회전에 의해 발생된 직선운동을 이동 플레이트(6)에 전달하는 동작 상태를 상세히 보여 주고 있다.

상기 연결장치(5)는 공정챔버의 도아 개폐시 도아가 원활히 움직여 진공누설을 방지 할 수 있도록 구성되어 있다.

상기 이동 플레이트(6)와 결합되어 있는 하우징(21)내에는 상기 연결부(22)와 연결되어 있는 구형축(23)을 형성하고 이 구형축(23)을 사이에 두고 스프링(24,24')이 형성되어 있다. 이 스프링(24,24')은 구형축(23)의 변위를 흡수하여 볼 스크류우(1)에 무리한 힘이 가해지는 것을 피할수 있기 때문에 장비의 수명을 증가시킬수 있다. 또한, 상기 스프링(24)은 압력차에 의한 힘을 흡수함으로써 고정챔버 도아의 미소한 움직임을 가능케 하여 챔버의 진공누설을 방지할 수 있다.

상기 하우징(21)내에 들어있는 구형축(23)과 스프링(24)은 상기 하우징(21)과 구형축(23) 후미에 위치하는 카바(25)에 의해 감싸여 지게 되는데, 상기 카바(25)와 구형축(23) 사이에는 약간의 갭(gap)(26)을 두어 구형축(23)을 감싸는 하우징(21)이 미동할 수 있도록 구성되어 있다.

더욱이 상기 스프링(24,24')은 구형축을 사이에 두고 양쪽 두 개가 형성되어 있는데 구형축(23) 뒤에 형성되어 있는 스프링(24)은 스프링의 복원력에 의해 상기 볼 스크류우(1)가 작동하지 않을 때에도 계속 도아를 공정챔버의 플랜지에 밀착하도록 함으로써 공정챔버의 진공도를 유지하도록 한다.

또한 상기 구형축(23) 앞에 형성되어 있는 스프링(24')은 밀폐된 도아를 열 때 발생하는 하우징(21)과 구형축(23) 사이의 충돌로 발생하는 소음을 방지하는 역할을 하게 된다.

상기와 같이 이루어 지는 본 고안은 공정챔버의 대기와의 차단을 확실히 함으로써 반도체소자의 제조공정에 있어서의 신뢰도를 향상시킬 수 있으며, 무리한 힘의 가해지지 않기 때문에 장비의 수명을 증가 시키는 효과가 있다.

Claims (1)

1. 회전운동을 직선운동으로 바꾸는 볼 스크류우(1)에 형성되어 있는 볼 부쉬(14)에 결합되어 이동 플레이트(6)를 움직이도록 하는 볼 스크류우 연결장치(5)에 있어서,

   상기 볼 스크류우(1)의 볼 부쉬(14)에 수직한 축방향으로 연결되는 연결부(22); 상기 연결부(22)에 결합되어 상기 이동 플레이트(6)를 이동시키는 힘을 전달하는 구형축(23); 상기 구형축(23)을 감싸고 있되 상기 구형축(23)을 중심으로하여 미동할 수 있는 하우징(21); 상기 구형축(23)과 완전히 밀착하지 않고 소정의 간격을 두고 감싸는 카바(25); 상기 하우징(21) 내에 형성되되 상기 구형축(23)과 상기 카바(25) 사이에 형성되어 상기 이동플레이트(6)에 스프링의 복원력을 계속 적으로 제공하면서 상기 이동 플레이트(6)에 무리한 힘이 가해지지 않도록 하는 제1스프링(24) ; 및 상기 상기 하우징(21) 내에 형성되되 공정챔버의 도아를 열 때 발생되는 소음을 방지하기 위하여 상기 구형축(23)을 중심으로 반대편에 형성되는 제2스프링(24') ; 을 포함하는 것을 특징으로 하는 볼 스크류우 연결장치.