KR19990045089A - 가변 인덕터 소자 - Google Patents

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KR19990045089A
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가추지 마추타
마사히코 가와구치
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무라따 미치히로
가부시끼가이샤 무라따 세이사꾸쇼
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Abstract

본 발명의 가변 인덕터(inductor) 소자는 절연성 기판 위에 인덕턴스 조정부를 사이에 두고 2개의 코일이 형성된다. 인덕턴스 조정부의 한쪽 말단부는 중간탭 전극에 전기적으로 접속된다. 2개의 코일은 인덕턴스 조정부를 사이에 두고 전기적으로 접속된다. 이러한 인덕턴스 조정부를 레이저 빔을 조사하는 등의 방법으로 가변 인덕터 소자에 홈을 형성하는 동시에 인덕턴스 조정부의 수직 통로를 순서대로 1개씩 절단하여 인덕턴스 값을 변화시킨다. 따라서, 본 발명은 인쇄 회로 기판 상에서 소자의 점유 면적이 작고, 인덕턴스 값을 보다 균형있게 유지하면서 안정하게 조정하는 것이 용이한 가변 인덕터 소자를 제공한다.

Description

가변 인덕터 소자
본 발명은 가변 인덕터(inductor) 소자에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 이동 통신 장치 등에 사용되는 가변 인덕터 소자에 관한 것이다.
소형화가 요구되는 전자 기기, 특히 휴대 전화와 자동차 전화 등의 이동 통신 기기에서는, 그의 내부에 사용되는 부품에 있어서도 소형화가 요구되고 있다. 또한, 사용 주파수가 높아짐에 따라서 회로는 복잡하게 되고, 따라서 사용 부품은 작은 편차를 갖도록 요구된다. 종래에, 코일의 전기적 중앙점에 접속된 중간탭(tap)을 구비한 회로를 제작하기 위해서는, 도 25에 도시한 바와 같이, 2개의 코일 부품 201, 202를 인쇄기판 206에 실장하고, 인쇄기판 206상에 형성된 회로 패턴 203, 204 또는 중간탭 패턴 205에 의해서 2개의 코일 부품 201, 202를 전기적으로 접속하였다. 그리고, 2개의 코일 부품 201, 202의 인덕턴스 값을 변화시키는 방법으로서는, 이들 2개의 코일 부품 201, 202를 빼내어 다른 인덕턴스 값을 갖거나 또는 미리 균형 잡은 다른 2개의 코일 부품으로 교환하는 방법, 또는 코일 부품 201, 202에 가변 코일을 사용하여 양자의 인덕턴스 값을 균형(balance) 잡으면서 변화시키는 방법 등이 제안되고 있었다.
그러나, 이들 방법은 2개의 코일 부품 201, 202의 인덕턴스 값의 변화와 실장시의 위치 변동에 의해서 2개의 코일 부품 201, 202의 인덕턴스 값의 균형 상태가 나쁘고, 중간탭 패턴 205가 코일 부품 201, 202로 구성된 코일의 전기적 중앙점에서 벗어난 점에서 접속되게 된다. 게다가, 2개의 코일 부품 201, 202를 인쇄기판 206상에 형성한 중간탭 패턴 205를 사이에 두고 전기적으로 접속하기 때문에, 인쇄기판 206상의 점유 면적도 크게 된다는 문제점이 있다.
또한, 2개의 코일 부품 201, 202를 다른 2개의 코일 부품으로 교환하여 인덕턴스 값을 변화시키는 방법은, 코일 부품 201, 202를 빼내는 작업이 복잡하여 자동화에 대응하는 것이 곤란하였다. 게다가, 코일 부품 201, 202에 가변 코일을 사용하여 양자의 인덕턴스 값을 균형 잡으면서 변화시키는 방법은 코일 부품 201, 202의 균형을 잡으면서 인덕턴스 값을 조정하는 작업이 복잡하여 자동화에 대응하는 것이 곤란하였다.
따라서, 본 발명의 목적은 인쇄기판상에서의 점유 면적이 억제되고, 또한 인덕턴스 값을 보다 균형 잡히도록 조정하기가 용이한 가변 인덕터 소자를 제공하는 데 있다.
도 1은 본 발명의 제1구현예에 따른 가변 인덕터 소자를 나타내는 사시도,
도 2는 도 1에 도시된 공정에 계속되는 가변 인덕터 소자의 제조공정을 나타내는 사시도,
도 3은 도 2에 도시된 공정에 계속되는 가변 인덕터 소자의 제조공정을 나타내는 사시도,
도 4는 도 3에 도시된 공정에 계속되는 가변 인덕터 소자의 제조공정을 나타내는 사시도,
도 5는 도 4에 도시된 공정에 계속되는 가변 인덕터 소자의 제조공정을 나타내는 사시도,
도 6은 도 5에 도시된 가변 인덕터 소자의 인덕턴스 조정방법을 나타내는 사시도,
도 7은 도 6에 도시된 가변 인덕터 소자의 부분 단면도,
도 8a는 본 발명의 제2구현예에 따른 가변 인덕터 소자를 나타내는 사시도,
도 8b는 본 발명의 제2구현예의 변형예에 따른 가변 인덕터 소자를 나타내는 사시도,
도 8c는 본 발명의 제2구현예의 또 다른 변형예에 따른 가변 인덕터 소자를 나타내는 사시도,
도 9는 본 발명의 제3구현예에 따른 가변 인덕터 소자를 나타내는 사시도,
도 10은 도 9에 도시된 공정에 계속되는 가변 인덕터 소자의 제조공정을 나타내는 사시도,
도 11은 도 10에 도시된 공정에 계속되는 가변 인덕터 소자의 제조공정을 나타내는 사시도,
도 12는 도 11에 도시된 공정에 계속되는 가변 인덕터 소자의 제조공정을 나타내는 사시도,
도 13은 도 12에 도시된 가변 인덕터 소자의 인덕턴스 조정방법을 나타내는 사시도,
도 14는 본 발명의 제4구현예에 따른 가변 인덕터 소자를 나타내는 사시도,
도 15는 도 14에 도시된 가변 인덕터 소자의 변형예를 나타내는 사시도,
도 16은 본 발명의 제5구현예에 따른 가변 인덕터 소자를 나타내는 사시도,
도 17은 본 발명의 제6구현예에 따른 가변 인덕터 소자를 나타내는 사시도,
도 18은 도 17에 도시된 가변 인덕터 소자의 변형예를 나타내는 사시도,
도 19는 본 발명의 제7구현예에 따른 적층형 가변 인덕터 소자를 나타내는 사시도,
도 20은 도 19에 도시된 가변 인덕터 소자의 외관을 나타내는 사시도,
도 21은 본 발명의 제8구현예에 따른 가변 인덕터 소자를 나타내는 사시도,
도 22는 도 21에 도시된 가변 인덕터 소자의 외관을 나타내는 사시도,
도 23은 도 6에 도시된 가변 인덕터 소자의 변형예를 나타내는 사시도,
도 24는 도 16에 도시된 가변 인덕터 소자의 변형예를 나타내는 사시도,
도 25는 종래의 가변 인덕터 소자를 나타내는 사시도이다.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
1. 31 절연성 기판
2, 3, 32, 33 코일
4, 34 인덕턴스 조정부
10, 11, 40, 41 입력/출력 외부 전극
12, 42 중간탭 전극
16 수직 통로
20, 30 가변 인덕터 소자
51 절연성 기판
52, 53, 92, 93, 102, 103 코일
54, 81, 94, 104 인덕턴스 조정부
54a, 94a 수평 통로
54b∼54e, 81a∼81d, 94b∼94e, 104a∼104d 수평 통로
60, 61, 82, 83 입력/출력 외부 전극
62 중간탭 전극
72, 80, 90, 100 가변 인덕터 소자
112 절연성 시트
121, 122, 151, 152 코일
125, 155 인덕턴스 조정부
135, 136, 165, 166 입력/출력 외부 전극
137, 167 중간탭 전극
111, 141 가변 인덕터 소자
이상의 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 가변 인덕터 소자는, (a) 절연성 기판과, (b) 상기 절연성 기판에 제공되는 적어도 제1코일 및 제2코일과, (c) 상기 절연성 기판에 제공되고, 상기 제1코일의 일단부와 상기 제2코일의 일단부를 전기적으로 접속하며, 인덕턴스 값을 조정하기 위하여 트리밍되는 인덕턴스 조정부와, (d) 상기 절연성 기판에 제공되고, 상기 제1코일과 제2코일의 각각의 타단부에 전기적으로 접속된 입력/출력 외부 전극 및 (e) 상기 절연성 기판에 제공되고, 상기 인덕턴스 조정부의 말단부에 전기적으로 접속된 중간탭 전극을 구비한 것을 특징으로 한다.
여기에서, 코일은 소용돌이(spiral) 형상, 나선(helical) 형상, 미앤더링(meandering) 형상 또는 직선 형상으로 형성된다. 또한, 인덕턴스 조정부는 래더형 전극 또는 솔리드형 전극 중의 하나이다. 게다가, 래더형 전극은 중앙부에 수직 통로를 구비하고 있다. 또한, 각 코일의 인덕턴스 값은 동일하거나 서로 다르고, 코일은 다른 형상으로 형성된다.
코일과 인덕턴스 조정부는 박막 형성법으로 절연성 기판상에 제공되거나, 시트 공법(sheet-processing technique) 또는 인쇄 공법(printing technique)으로 절연성 기판의 내부에 형성된다. 또한, 코일과 인덕턴스 조정부는 동일면상에 나란하게 배치되고, 코일은 인덕턴스 조정부를 기준으로 하여 대칭적으로 배치된다. 한편, 코일과 인덕턴스 조정부는 절연성 기판의 다른 면에 배치될 수 있다. 예를 들어, 인덕턴스 조정부를 절연성 기판의 표면에 배치하고 코일을 절연성 기판의 내부에 배치한다. 입력/출력 외부 전극측에서 본 제1코일의 종단은 제1코일에 인접하게 위치하고, 동시에 다른 입력/출력 외부 전극측에서 본 제2코일의 종단은 제2코일에 인접하게 위치한다. 각각의 코일의 권수(turns of windings)는 소용돌이 형상인 경우에 1.5회 이상으로 설정한다.
또한, 본 발명에 따른 가변 인덕터 소자는 인덕턴스 조정부를 트리밍함으로써, 입력/출력 외부 전극 사이의 인덕턴스 값 및 입력/출력 외부 전극과 중간탭 전극과의 사이의 인덕턴스 값을 각각 변화시키는 것을 특징으로 한다. 또한, 가변 인덕터 소자는 인덕턴스 조정부를 트리밍함으로써, 입력/출력 외부 전극과 중간탭 전극과의 사이의 인덕턴스 값을 유지한 상태에서 입력/출력 외부 전극 사이의 인덕턴스 값을 변화시키는 것을 특징으로 한다. 이때, 각 코일의 인덕턴스 값을 일정 비율로 변화시키는 것이 바람직하다.
또한, 본 발명에 따른 가변 인덕터 소자는 입력/출력 외부 전극이 절연성 기판의 길이 방향의 말단부에 설치되고, 상기 중간탭 전극이 상기 절연성 기판의 길이 방향의 중앙부에 설치되는 것을 특징으로 한다. 또한, 가변 인덕터 소자는 입력/출력 외부 전극이 절연성 기판의 길이 방향의 한쪽 말단부에 설치되고, 상기 중간탭 전극이 상기 절연성 기판의 다른쪽 말단부에 설치되는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 가변 인덕터 소자는 인덕턴스 조정부를 트리밍하여 적어도 2개의 코일의 인덕턴스 값의 균형을 깨뜨리지 않고, 각 코일의 입력/출력 외부 전극 사이의 인덕턴스 값 또는 입력/출력 외부 전극과 중간탭 전극과의 사이의 인덕턴스 값을 변화시킨다.
이하, 본 발명에 따른 가변 인덕터 소자의 구현예에 관하여, 그 제조방법과 함께 첨부된 도면을 참조하여 설명한다.
[제1구현예, 도1∼도7]
도1에 나타낸 바와 같이, 절연성 기판 1의 상면을 평평한 면으로 연마한 후에, 후막인쇄법 또는 석판 인쇄술 등의 박막형성법으로 코일 2, 3 및 인덕턴스 조정부 4를 절연성 기판 1의 상면에 형성한다. 후막인쇄법은 예를 들어 소정의 패턴 형성을 갖는 개구부를 구비한 마스킹(masking) 재료를 절연성 기판 1의 상면에 피복한 후에, 도전성 페이스트를 마스킹 재료 위에 도포하고, 마스킹 재료의 개구부에 노출된 절연성 기판 1의 상면에 비교적 막 두께가 두꺼운 소정의 패턴 형성의 도전체(제1구현예의 경우, 코일 2, 3 및 인덕턴스 조정부 4)를 형성하는 방법이다.
또한, 석판인쇄(photolithographic technique) 등의 박막 형성법은 이하에서 설명한다. 절연성 기판 1의 상면의 실질적인 전면에 비교적 막 두께가 얇은 도전성 막을 형성한 후에, 레지스트 막(예를 들어, 감광수지막 등)을 스핀코팅 또는 인쇄로 도전성 막의 실질적인 전면에 형성한다. 다음으로, 레지스트(resist) 막의 상면에 소정의 화상 패턴이 형성된 마스트 필름을 덮고, 자외선 등을 조사하는 등의 방법으로 레지스터 막의 소정 부분을 경화시킨다. 그런 다음, 경화된 부분을 남기며 레지스트 막을 제거한 후에 노출된 부분의 도전성 막을 제거하고 소정의 패턴 형상의 도전체(코일 2, 3 및 인덕턴스 조정부 4)를 형성한다. 그 후에, 경화된 레지스트 막을 제거한다.
게다가, 다른 석판 인쇄술로서는 절연성 기판 1의 상면에 감광성 도전 페이스트를 도포하고, 그 후에 소정의 화상 패턴이 형성된 마스트 필름을 덮어서 노광하고 현상하는 방법이 있다.
인덕턴스 조정부 4는 대략 U-형상 프레임부 15와 이 U-형상 프레임부 15의 2개의 아암부(arm)에 다리 놓여진 복수개의 수평 통로 16으로 구성된 래더형 전극이고, 절연성 기판 1의 중앙부에 배치된다. 인덕턴스 조정부 4의 한쪽 말단부 4a는 절연성 기판 1의 뒤쪽 가장자리에 노출된다. 이러한 인덕턴스 조정부 4를 사이에 두고 동일한 치수의 소용돌이 형상의 코일 2, 3이 각각 절연성 기판 1의 좌우에 배치된다. 코일 2의 한쪽 말단부 2a는 절연성 기판 1의 왼쪽에 노출되고, 코일 3의 한쪽 말단부 3a는 절연성 기판 1의 오른쪽에 노출된다. 인덕턴스 조정부 4는 좌우 대칭 형상이고, 이러한 인덕턴스 조정부 4의 선 대칭 축 L을 기준으로 하여 코일 2와 코일 3이 대칭으로 배치된다. 코일 2와 코일 3의 각각의 인덕턴스 값은 동일하게 되도록 설정되어 있다.
절연성 기판 1의 재료로서는 유리, 유리 세라믹, 알루미나(alumina), 페라이트 등이 사용된다. 코일 2, 3 및 인덕턴스 조정부 4의 재료로서는 Ag, Ag-Pb, Cu, Au, Ni, Al 등이 사용된다.
다음으로, 도 2에 나타낸 바와 같이, 개구부 5a∼5d를 구비한 절연보호막 5가 석판 인쇄술에 의해 형성된다. 즉, 액체 상태의 절연성 재료를 절연성 기판 1의 상면의 전면에 스핀코팅(spin-coating) 또는 인쇄 등으로 도포하고, 건조하여 절연보호막 5를 형성한다. 절연성 재료에는 예를 들어 감광성 폴리이미드 수지 등의 석판 인쇄술에 적합한 재질의 재료가 사용된다. 다음으로, 절연보호막 5의 상면에 소정의 화상 패턴이 형성된 마스크 필름을 피복하고, 자외선 등을 조상하는 등의 방법으로 절연보호막 5의 소정 부분을 경화시킨다. 그런 다음, 절연보호막 5의 미경화 부분을 제거하고, 개구부 5a∼5d를 형성한다. 개구부 5a, 5b에는 각각 소용돌이 형상의 코일 2, 3의 내측에 위치하는 말단부 2b, 3b가 노출되어 있다. 개구부 5c, 5d에는 각각 인덕턴스 조정부 4의 다른쪽 말단부 4b, 4c가 노출되어 있다.
다음으로, 도 3에 나타낸 바와 같이, 중계 전극 6, 7이 코일 2, 3 등을 형성한 경우와 동일하게 후막인쇄법 또는 석판 인쇄술 등의 박막형성법으로 형성된다. 중계 전극 6은 절연보호막 5의 개구부 5a, 5c를 사이에 두고 코일 2의 말단부 2b와 인덕턴스 조정부 4의 말단부 4b를 전기적으로 접속하고 있다. 중계 전극 7은 절연보호막 5의 개구부 5b, 5d를 사이에 두고 코일 3의 말단부 3b와 인덕턴스 조정부 4의 말단부 4c를 전기적으로 접속하고 있다.
다음으로, 도 4에 나타낸 바와 같이, 액체 상태의 절연성 재료를 절연성 기판 1의 상면측 전면에 스핀코팅 또는 인쇄 등으로 도포하고 건조하여 중계 전극 6, 7을 피복한 절연보호막 5가 형성된다.
다음으로, 도 5에 나타낸 바와 같이, 절연성 기판 1의 길이 방향의 좌우의 양쪽 말단부에 각각 입력/출력 외부 전극 10, 11을 설치한다. 입력/출력 외부 전극 10은 코일 2의 말단부 2a에 전기적으로 접속하고, 입력/출력 외부 전극 11은 코일 3의 말단부 3a에 전기적으로 접속된다. 게다가, 절연성 기판 1의 길이 방향의 중앙부의 뒤쪽 측면부 및 앞쪽 측면부에 각각 중간탭 전극 12 및 솔더링용의 더미(dummy) 전극 13을 설치한다. 중간탭 전극 12는 인덕턴스 조정부 4의 말단부 4a에 전기적으로 접속된다. 이들 전극 10∼13은 Ag, Ag-Pb 등의 도전성 페이스트를 도포하고 하소하거나, 건식 도금하여 형성된다.
이렇게 얻어진 가변 인덕터 소자 20은 절연성 기판 1상에 2개의 코일 2, 3과 이 2개의 코일 2, 3의 사이에 배치된 인덕턴스 조정부 4가 중계 전극 6, 7을 사이에 두고 전기적으로 접속되는 회로를 갖는다. 그리고, 이러한 가변 인덕터 소자 20을 인쇄기판 등에 실장한 후에, 인덕턴스 조정부 4를 트리밍한다. 즉, 펄세이팅 레이저 빔을 가변 인덕터 소자 20의 상면측에 조사하는 등의 방법으로 도 6 및 도 7에 도시된 바와 같이 가변 인덕터 소자 20에 홈 21을 형성하는 동시에, 인덕턴스 조정부 4의 수평 통로 16을 외측에서부터 1개씩 절단한다(도 6은 2개의 수평 통로 16이 절단되어 있는 상태를 나타내고 있다). 이에 의해서, 입력/출력 외부 전극 10과 중간탭 전극 12와의 사이의 인덕턴스 값을 변화시키지 않고, 입력/출력 외부 전극 10과 입력/출력 외부 전극 11과의 인덕턴스 값을 단계적으로 변화시킬 수 있다.
또한, 인덕턴스 조정부 4의 트리밍은 레이저 빔으로 한정되지 않고, 샌드 블래스팅(sand blasting) 등의 임의의 수단으로 실시할 수 있다. 홈 21은 반드시 형성될 필요가 없고 수평 통로 16이 전기적으로 절단되면 홈 21은 물리적으로 존재하고 있지 않아도 된다. 이하, 각 구현예에 있어서 동일하다.
따라서, 입력/출력 외부 전극 10, 11 사이의 인덕턴스 값이 소정의 피치로 변화하도록 미리 인덕턴스 조정부 4의 수평 통로 16을 배치시켜 두는 것이 바람직하고, 입력/출력 외부 전극 10과 중간탭 전극 12 사이의 인덕턴스 값 및 입력/출력 외부 전극 11과 중간탭 전극 12와의 사이의 인덕턴스 값의 균형을 무너뜨리지 않고서 입력/출력 외부 전극 10과 입력/출력 외부 전극 11과의 사이의 인덕턴스 값을 단계적으로 조정할 수 있는 가변 인덕터 소자 20을 얻을 수 있다.
또한, 이러한 가변 인덕터 소자 20은 2개의 코일 2, 3을 내장하고 있기 때문에, 2개의 코일 부품을 회로 패턴으로 전기적으로 접속할 필요가 없고, 인쇄기판 상의 점유면적을 작게 할 수 있다. 예를 들어, 제1구현예의 가변 인덕터 소자 20의 크기는 길이 3.2㎜, 폭 1.6㎜, 높이 0.5㎜이다.
[제2구현예, 도8a∼8c]
도 8a에 나타낸 바와 같이, 가변 인덕터 소자 30은 절연성 기판 31의 상면에 예를 들어 석판 인쇄술 등의 박막형성법으로 코일 32, 33 및 인덕턴스 조정부 34를 형성한 것이다. 인덕턴스 조정부 34는 직방형의 솔리드형 전극이고 절연성 기판 31의 중앙부에 배치된다. 인덕턴스 조정부 34의 한쪽 말단부는 절연성 기판 31의 뒤쪽 측면 중앙부에 설치된 중간탭 전극 42에 전기적으로 접속된다.
동일한 치수의 미앤더링 형상의 코일 32, 33은 인덕턴스 조정부 34를 사이에 두고, 절연성 기판 31의 좌우에 배치되어 있다. 코일 32의 한쪽 말단부는 절연성 기판 31의 좌측 말단부에 설치된 입력/출력 외부 전극 40에 전기적으로 접속된다. 코일 33의 한쪽의 말단부는 절연성 기판 31의 우측 말단부에 설치된 입력/출력 외부 전극 41에 전기적으로 접속된다. 코일 32, 33의 다른쪽 말단부는 각각 인덕턴스 조정부 34의 다른쪽의 말단부에 전기적으로 접속된다. 인덕턴스 조정부 34는 좌우 대칭이고, 이 인덕턴스 조정부 34의 대칭축 선을 기준으로 하여 코일 32와 33이 대칭적으로 배치된다. 코일 32와 코일 33의 각각의 인덕턴스 값은 동일하게 설정된다. 코일 32, 33 및 인덕턴스 조정부 34는 절연성 기판 1의 상면에 형성된 절연보호막 5에 의해 피복된다. 또한, 도 8에 있어서 43은 솔더링용의 더미 전극이다.
가변 인덕터 소자 30은 상술한 제1구현예의 가변 인덕터 소자 20과 동일한 작용효과를 나타내는 동시에, 인덕턴스 조정부 34가 솔리드형 전극이기 때문에 인덕턴스 조정부 34를 무단계적으로 트리밍할 수 있다. 즉, 레이저 빔을 가변 인덕터 소자 30의 상면측에 조사하는 등의 방법으로 가변 인덕터 소자 30에 홈을 형성하는 동시에 인덕턴스 조정부 34를 일부 제거하여 입력/출력 외부 전극 40과 입력/출력 외부 전극 41과의 사이의 인덕턴스 값을 조정할 수 있다. 이때, 인덕턴스 조정부 34는 솔리드형 전극이기 때문에, 솔리드형 전극의 제거량을 연속적으로 변화시킬 수 있고, 이에 의해서 입력/출력 외부 전극 40과 입력/출력 외부 전극 41과의 사이의 인덕턴스 값도 연속적으로 변화시킬 수 있다. 또한, 제2구현예에서는 코일 32, 33을 미앤더링 형상으로 형성한 경우에, 제1구현예에서 이용된 것과 같은 중계 전극 6, 7이 필요하지 않게 되어 제조공정을 단순화할 수 있다.
도 8b는 본 발명의 제2구현예의 변형예를 나타내는 사시도이다. 도 8b에 나타낸 바와 같이, 미앤더링 형상의 코일 32, 33과 래더형 전극으로 형성된 인덕턴스 조정부 4는 절연성 기판 31 위에 배치된다. 도 8b에서, 참조부호 40과 41은 입력/출력 외부 전극을 나타내고 참조부호 42는 중간탭 전극을 나타낸다. 본 구현예에 의하면, 인덕턴스 조정부 4가 래더형 전극으로 형성되기 때문에, 트리밍에 의한 2개의 코일 32와 33의 인덕턴스 불균형은 도 8a의 구현예에서보다 더 감소될 수 있고, 여기에서 인덕턴스 조정부 4는 솔리드형 전극으로 형성된다.
도 8c는 본 발명의 제2구현예의 또 다른 변형예를 나타내는 사시도이다. 도 8a의 구현예에서는 미앤더링 형상의 코일 32, 33이 제공되었지만, 도 8c에 도시된 것과 같은 소용돌이 형상의 코일 32', 33'이 제공될 수도 있다.
[제3구현예, 도9∼도13]
도 9에 나타낸 바와 같이, 절연성 기판 51의 상면에, 후막인쇄법 또는 석판 인쇄술 등의 박막형성법으로 동일한 치수의 소용돌이 형상의 코일 52, 53을 형성한다. 코일 52는 절연성 기판 51의 뒤쪽에 배치되고, 그의 한쪽 말단부 52a는 절연성 기판 51의 뒤쪽 가장자리의 왼쪽에 노출된다. 코일 53은 절연성 기판 51의 앞쪽에 배치되고, 그의 한쪽 말단부 53a는 절연성 기판 51의 앞족 가장자리의 오른쪽에 노출된다.
다음으로, 도 10에 나타낸 바와 같이, 개구부 55a∼55h를 구비한 절연보호막 55가 석판 인쇄술 등에 의해 형성된다. 개구부 55a∼55d에는 소용돌이 형상의 코일 52의 안쪽에 위치하고 있는 말단부 52b의 일부분이 노출된다. 개구부 55e∼55h에는 소용돌이 형상의 코일 53의 안쪽에 위치하고 있는 말단부 53b의 일부분이 노출된다.
다음으로, 도 11에 나타낸 바와 같이, 인덕턴스 조정부 54가 후막인쇄법 또는 석판 인쇄술 등의 박막형성법에 의해 형성된다. 인덕턴스 조정부 54는 중앙부에 수평 통로 54a를 갖는 동시에, 이 수평 통로 54a에 직교하는 수직 통로 54b∼54e를 구비한 래더형 전극이다. 인덕턴스 조정부 54는 절연성 기판 51의 중앙부에 배치되고, 수직 통로 54b∼54e가 소용돌이 형상의 코일 52, 53으로 둘러싸인 각각의 안쪽(내주면쪽)의 영역과 포개진다.
이러한 인덕턴스 조정부 54의 한쪽 말단부 54f는 절연성 기판 51의 오른쪽에 노출된다. 수직 통로 54b는 절연보호막 55의 개구부 55a, 55e를 사이에 두고 코일 52의 말단부 52b의 소정 부분과 코일 53의 말단부 53b의 소정 부분도 전기적으로 접속하고 있다. 동일하게, 수직 통로 54c∼54e는 절연보호막 55의 개구부 55b∼55d, 55f∼55h를 사이에 두고 각각 코일 52의 말단부 52b의 소정 부분과 코일 53의 말단부 53b의 소정 부분을 전기적으로 접속하고 있다. 인덕턴스 조정부 54는 좌우 대칭의 선대칭 형상이고, 이 인덕턴스 조정부 54의 대칭축 선을 기준으로 하여 코일 52와 코일 53이 대칭적으로 배치된다. 코일 52와 코일 53의 각각의 인덕턴스 값은 동일하게 설정되어 있다.
다음으로, 도 12에 나타낸 바와 같이, 예를 들어 액체 상태의 절연성 재료를 절연성 기판 51의 상면의 전면에 스핀코팅 또는 인쇄 등으로 도포하고 건조하여 인덕턴스 조정부 54를 피복하는 절연보호막 55를 형성한다. 그 후에, 절연성 기판 51의 길이 방향의 왼쪽 말단부의 뒤쪽 및 앞쪽의 측면에 각각 입력/출력 외부 전극 60, 61을 설치한다. 입력/출력 외부 전극 60은 코일 52의 말단부 52a에 전기적으로 접속되고, 입력/출력 외부 전극 61은 코일 53의 말단부 53a에 전기적으로 접속된다. 게다가, 절연성 기판 51의 길이 방향의 오른쪽 말단부에 중간탭 전극 62를 설치한다. 중간탭 전극 62는 인덕턴스 조정부 54의 말단부 54f에 전기적으로 접속된다.
이렇게 얻어진 가변 인덕터 소자 70은 절연성 기판 51상에 2개의 코일 52, 53의 사이에 포개져 배치된 인덕턴스 조정부 54를 사이에 두고 전기적으로 접속되는 회로를 갖는다. 그리고, 이 가변 인덕터 소자 70을 인쇄기판 등에 실장한 후에, 인덕턴스 조정부 54를 트리밍한다. 즉, 펄세이팅(pulsating) 레이저 빔을 가변 인덕터 소자 70의 상면에 조사하는 등의 방법으로 도 13에 나타낸 것과 같이 인덕턴스 조정부 54의 수평 통로 54a 위에 홈 71을 형성하는 동시에, 인덕턴스 조정부 54의 수직 통로 54b∼54e를 순서대로 1개씩 절단한다(도 13은 수직 통로 54b가 절단되어 있는 상태를 나타내고 있다). 이에 의해서, 입력/출력 외부 전극 60과 중간탭 전극 62와의 사이의 인덕턴스 값과, 입력/출력 외부 전극 61과 중간탭 전극 62와의 사이의 인덕턴스 값 및 입력/출력 외부 전극 60과 입력/출력 외부 전극 61과의 사이의 인덕턴스 값을 단계적으로 변화시킬 수 있다.
이때, 2개의 코일 52와 53의 각각의 인덕턴스 값의 비율(다시 말해서 입력/출력 외부 전극 60과 중간탭 전극 62와의 사이의 인덕턴스 값과 입력/출력 외부 전극 61과 중간탭 전극 62와의 사이의 인덕턴스 값의 비율)은, 인덕턴스 조정부 54를 트리밍하여도 일정하게 된다. 왜냐하면, 2개의 코일 52와 53은 인덕턴스 조정부 54를 기준으로 하여 대칭이기 때문에, 코일 52와 53의 인덕턴스 값은 동일하다. 게다가, 인덕턴스 조정부 54가 2개의 코일 52, 53의 각각에 대하여 전기적인 등가로 접속하고 있기 때문에, 인덕턴스 조정부 54의 수직 통로 54b∼54d를 순서대로 절단하면, 2개의 코일 52와 53의 인덕턴스 값은 동일하게 변화하기 때문이다.
이와 같이, 가변 인덕터 소자 70에서는 2개의 코일 52와 53의 각각의 인덕턴스 값의 비율이 인덕턴스 조정부 54를 트리밍해도 일정하게 되도록 설정된다. 이에 반하여, 2개의 코일 52와 53의 인덕턴스 값이 다른 임의의 경우에는 인덕턴스 조정부 54의 코일 52, 53의 각각에 대한 접속 위치도 다르게 되도록 할 필요가 있다. 다시 말해서, 인덕턴스 조정부 54의 수직 통로 54b∼54d를 수평 통로 54a를 기준으로 하여 비대칭형으로 설계하고, 수직 통로 54b∼54d를 순서대로 절단할 때에, 2개의 코일 52와 53의 인덕턴스 값의 각각의 변화량을 다르게 하여 2개의 코일 52와 53의 인덕턴스 값의 비가 실질적으로 일정하게 되도록 한다.
이상의 결과로부터, 각 인덕턴스 값이 소정의 피치로 변화하도록 미리 인덕턴스 조정부 54의 수직 통로 54b∼54d를 배치시켜 둠으로써, 입력/출력 외부 전극 60과 중간탭 전극 62와의 사이의 인덕턴스 값과, 입력/출력 외부 전극 61과 중간탭 전극 62와의 사이의 인덕턴스 값의 균형을 무너뜨리지 않고서 입력/출력 외부 전극 60과 입력/출력 외부 전극 61과의 사이의 인덕턴스 값을 단계적으로 조정할 수 있는 가변 인덕터 소자 70을 얻을 수 있다.
[제4구현예, 도14 및 도15]
도 14에 도시되어 있는 가변 인덕터 소자 80은 인덕턴스 조정부 81과 입력/출력 외부 전극 82, 83을 남기고 상술한 제3구현예의 가변 인덕터 소자 70(도12 참조)과 동일한 것이다. 단, 소자 80은 인덕턴스 조정부 81을 절연보호막 55로 덮지 않는다. 인덕턴스 조정부 81은 상술한 제3구현예의 인덕턴스 조정부 54의 수평 통로 54a를 생략한 것과 동일한 구조를 하고 있고, 4개의 수평 통로 81a∼81d를 구비하고 있는 래더형 전극이다. 수직 통로 81d의 양단에서 인출된 인덕턴스 조정부 81의 한쪽 말단부 81e, 81f는 중간탭 전극 62에 각각 직접 접속할 수도 있지만, 도 14에 도시되어 있는 바와 같이 공통의 인출부 81g를 사이에 두고 중간탭 전극 62에 전기적으로 접속된다. 수직 통로 81a∼81d는 절연보호막 55의 개구부 55a∼55d, 55f∼55h(도10 참조)를 사이에 두고 코일 52의 말단부 52b쪽의 소정의 부분과 코일 53의 말단부 53b쪽의 소정의 부분을 전기적으로 접속하고 있다.
입력/출력 외부 전극 82, 83은 절연성 기판 51의 길이 방향의 왼쪽 가장자리의 뒤쪽 및 앞쪽에 각각 설치된다. 이에 의해서 입력/출력 외부 전극 82, 83의 간격은 상술한 제3구현예의 입력/출력 외부 전극 60, 61의 간격보다 더욱 좁게 될 수 있다.
이러한 가변 인덕터 소자 80은 인쇄 기판 등에 실장된 후에, 인덕턴스 조정부 81을 트리밍한다. 즉, 펄세이팅 레이저 빔을 가변 인덕터 소자 80의 상면에 조사하는 등의 방법으로 가변 인덕터 소자 80에 홈을 형성하는 동시에, 인덕턴스 조정부 81의 수직 통로 81a∼81d를 순서대로 1개씩 절단한다. 이에 의해서, 입력/출력 외부 전극 83과 중간탭 전극 62와의 사이의 인덕턴스 값 및 입력/출력 외부 전극 83과 중간탭 전극 62와의 사이의 인덕턴스 값을 변화시키지 않고서 입력/출력 외부 전극 82와 입력/출력 외부 전극 83과의 사이의 인덕턴스 값을 단계적으로 변화시킬 수 있다. 따라서, 입력/출력 외부 전극 82, 83 사이의 인덕턴스 값이 소정의 피치로 변화되도록 미리 인덕턴스 조정부 81의 수직 통로 81a∼81d를 배치시켜 둠으로써, 입력/출력 외부 전극 82와 중간탭 전극 62와의 사이의 인덕턴스 값 및 입력/출력 외부 전극 83과 중간탭 전극 62와의 사이의 인덕턴스 값의 균형을 무너뜨리지 않고서 입력/출력 외부 전극 82와 입력/출력 외부 전극 83과의 사이의 인덕턴스 값을 단계적으로 조정할 수 있는 가변 인덕터 소자 80을 얻을 수 있다.
또한, 도 15에 나타낸 바와 같이, 중간탭 전극 62쪽의 접속은 수직 통로 81d의 양단으로부터 이루어지지 않고 중앙에서 인출된 1개의 인출부 81h에 의해 이루어질 수 있다. 단, 양단에서 접속하는 것이 코일 52, 53의 인덕턴스를 크게 할 수 있다. 이러한 가변 인덕터 소자 80A를 인쇄기판 등에 실장한 후에, 인덕턴스 조정부 81을 트리밍한다. 즉, 펄세이팅 레이저 빔을 가변 인덕터 소자 80A의 상면에 조사하는 등의 방법으로 가변 인덕터 소자 80A에 홈을 형성하는 동시에, 인덕턴스 조정부 81의 수직 통로 81a∼81c를 순서대로 1개씩 절단한다. 이에 의해서, 입력/출력 외부 전극 82와 중간탭 전극 62와의 사이의 인덕턴스 값 및 입력/출력 외부 전극 83과 중간탭 전극 62와의 사이의 인덕턴스 값을 변화시키지 않고서, 입력/출력 외부 전극 82와 입력/출력 외부 전극 83과의 사이의 인덕턴스 값을 단계적으로 변화시킬 수 있다.
[제5구현예, 도16]
도 16에 도시되어 있는 가변 인덕터 소자 90은 코일 92, 93과 인덕턴스 조정부 94를 남기고, 상술한 제3구현예의 가변 인덕터 소자 70(도12 참조)과 동일한 것이다. 동일한 치수의 소용돌이 형상의 코일 92, 93의 한쪽 말단부 92a, 93a는 각각 입력/출력 외부 전극 60, 61에 전기적으로 접속된다. 게다가, 코일 92는 입력/출력 외부 전극 60쪽에서 본 종단부 92b쪽이 코일 93쪽에 위치하도록 형성된다. 동일하게, 소용돌이 형상의 코일 93는 입력/출력 외부 전극 61쪽에서 본 종단부 93b쪽이 코일 92쪽에 위치하도록 형성된다. 이때, 코일 92, 93의 권수는 1.5회 이상, 보다 구체적으로는 (1.5+n)회가 된다. 여기에서, n은 정수(0, 1, 2 ……)이다. 이에 의해서, 인덕턴스 조정부 94가 소용돌이 형상의 코일 92, 93으로 둘러싸이는 각각의 안쪽(내주면쪽)의 영역과 포개지지 않는다.
인덕턴스 조정부 94는 중앙부에 수평 통로 94a를 구비하는 동시에, 이 수평 통로 94a에 직교하는 수직 통로 94b∼94e를 갖는 래더형 전극이 된다. 인덕턴스 조정부 94는 절연성 기판 51의 중앙부에 배치되고 한쪽의 말단부 94f는 중간탭 전극 62에 전기적으로 접속된다. 수직 통로 94b∼94e는 절연보호막 55의 개구부(미도시)를 사이에 두고 코일 92의 말단부 92b쪽의 소정 부분과 코일 93의 말단부 93 b쪽의 소정 부분을 전기적으로 접속하고 있다.
이러한 가변 인덕터 소자 90은 상술한 제3구현예의 가변 인덕터 소자 70과 동일한 작용효과를 나타내는 동시에, 인덕턴스 조정부 94가 소용돌이 형상의 코일 92, 93으로 둘러싼 각각의 안쪽 영역을 포개지 않는 구조이기 때문에, 코일 92, 93의 각각의 안쪽의 영역을 통한 자속을 인덕턴스 조정부 94가 상쇄시키지 않고, 따라서 높은 Q값을 얻을 수 있다.
[제6구현예, 도17 및 도18]
도 17에 도시되어 있는 가변 인덕터 소자 100은 코일 102, 103과 인덕턴스 조정부 104를 제외하고 상술한 제4구현예의 가변 인덕터 소자 80(도14 참조)과 동일한 것이다.
또한, 코일 102는 입력/출력 외부 전극 82쪽에서 본 종단부 102b가 코일 103쪽에 위치하도록 형성되어 있다. 동일하게, 코일 103은 입력/출력 외부 전극 83쪽에서 본 종단부 103b가 코일 102쪽에 위치하도록 형성되어 있다. 이때, 코일 102, 103의 권수는 1.5회 이상, 보다 구체적으로는 (1.5+n)회가 된다. 여기에서, n은 정수(0, 1, 2 ‥‥‥)이다. 이에 의해서, 인덕턴스 조정부 104가 소용돌이 형상의 코일 102, 103으로 둘러싸인 각각의 안쪽(내주면쪽)의 영역과 포개지지 않는다. 소용돌이 형상의 코일 102, 103의 한쪽 말단부 102a, 103a는 각각 입력/출력 외부 전극 82, 83에 전기적으로 접속되어 있다.
인덕턴스 조정부 104는 4개의 수직 통로 104a∼104d를 구비하고 있는 래더형 전극이다. 인덕턴스 조정부 104는 절연성 기판 51의 중앙부에 배치되고 수직 통로 104d의 양단에서 인출된 인덕턴스 조정부 104의 한쪽 말단부 104e, 104f는 중간탭 전극 62에 각각 전기적으로 접속된다. 수직 통로 104a∼104d는 절연보호막 55에 형성된 개구부(미도시)를 사이에 두고 코일 102의 말단부 102b쪽의 소정의 부분과 코일 103의 말단부 103b쪽의 소정의 부분을 전기적으로 접속하고 있다.
이러한 가변 인덕터 소자 100은 상술한 제4구현예의 가변 인덕터 소자 80과 동일한 작용효과를 나타내는 동시에, 인덕턴스 조정부 104가 소용돌이 형상의 코일 102, 103으로 둘어싸인 각각의 안쪽의 영역을 포개지 않는 구조이기 때문에, 코일 102, 103의 각각의 안쪽의 영역을 통과하는 자속을 인덕턴스 조정부 104가 상쇄하지 않고 따라서 높은 Q값을 얻을 수 있다.
더욱이, 도 18에 나타낸 바와 같이, 중간탭 전극 62쪽의 접속은 수직 통로 104d의 양단에서 이루어지지 않고, 중앙에서 인출된 1개의 인출부 104h에 의해 이루어지는 가변 인덕터 소자 100A인 것도 바람직하다. 단, 양단에서 접속하는 것이 코일 102, 103의 인덕턴스를 크게 할 수 있다.
[제7구현예, 도19 및 도20]
제7구현예에서는 적층형 가변 인덕터 소자에 관하여 설명한다.
도 19에 나타낸 바와 같이, 적층형 가변 인덕터 소자 111은 인덕턴스 조정부 125를 표면에 형성한 절연성 시트 112와, 코일 도체 113, 114, 115, 116을 각각 형성한 절연성 시트 112와, 보호용 및 중간층용의 절연성 시트 112 등으로 구성된다.
코일 도체 114는 그의 인출부 114a가 절연성 시트 112의 왼쪽에 노출되어 있다. 코일 도체 116은 그의 인출부 116a가 절연성 시트 112의 오른쪽에 노출되어 있다. 그리고, 코일 도체 113과 코일 도체 114는 시트 112에 형성된 비아홀 130b를 통해서 전기적으로 접속되고, 나선형(솔리드형) 코일 121을 구성하고 있다. 동일하게, 코일 도체 115와 코일 도체 116은 시트 112에 형성된 비아홀 131d를 통해서 전기적으로 접속되고, 나선형 코일 122를 구성하고 있다.
인덕턴스 조정부 125는 U-형상 프레임부 125a와 이 U-형상 프레임부 125a의 2개의 아암에 다리 놓여진 복수개의 수직 통로 125b로 구성된 래더형 전극이다. 인덕턴스 조정부 125의 한쪽의 말단부 125c는 시트 112의 앞쪽 가장자리에 노출되어 있다. 인덕턴스 조정부 125의 다른쪽의 말단부의 왼쪽부분 125d는 시트 112에 형성된 비아홀 130a를 통해서 코일 121의 일단(구체적으로는 코일 도체 113의 일단)에 전기적으로 접속된다. 동일하게, 인덕턴스 조정부 125의 다른쪽의 말단부의 오른쪽부분 125e는 시트 112에 형성된 비아홀 131a, 131b, 131c를 통해서 코일 122의 일단(구체적으로는 코일 도체 115의 일단)에 전기적으로 접속된다. 인덕턴스 조정부 125와 코일 도체 113∼116은 Ag, Ag-Pd, Cu 등의 도전성 페이스트를 이용하여 각각 시트 112위에 인쇄 등의 방법에 의해 형성된다.
이들 각 절연성 시트 112는 적층되어 일체적으로 소성되고 도 20에 나타낸 것과 같은 적층체로서 형성된다. 또한, 필요에 따라서 인덕턴스 조정부 125의 표면에 추가로 보호용 절연성 시트 112를 적층할 수도 있다. 다음으로, 이 적층체의 좌우의 양쪽에 각각 입력/출력 외부 전극 135, 136을 설치하고, 앞쪽 측면부에 중간탭 전극 137을 설치할 수 있다. 입력/출력 외부 전극 135는 코일 도체 114의 인출부 114a에 전기적으로 접속되고, 입력/출력 외부 전극 136은 코일 도체 116의 인출부 116a에 전기적으로 접속되어 있다. 중간탭 전극 137은 인덕턴스 조정부 125의 말단부 125c에 전기적으로 접속되어 있다. 이들 전극 135∼137은 Ag, Ag-Pd 등의 도전성 페이스트를 도포하고 하소하거나 Ni-Cr 또는 Cu합금을 건식 도금하는 등의 방법으로 형성된다.
이렇게 얻어진 적층형 인덕터 소자 111은 2개의 코일 121, 122가 인덕턴스 조정부 125를 사이에 두고 전기적으로 접속되어 있는 회로를 갖는다. 이 적층형 가변 인덕터 소자 111은 상술한 제1구현예의 가변 인덕터 소자 20과 동일한 작용효과를 나타내는 동시에 코일 121, 122 및 인덕턴스 조정부 125를 적층한 구조이기 때문에, 인쇄 기판상의 점유 면적을 더욱 작게 할 수 있다.
[제8구현예, 도21 및 도22]
제8구현예에서는 또 다른 적층형 가변 인덕터 소자에 관하여 설명한다.
도 21에 나타낸 바와 같이, 적층형 가변 인덕터 소자 141은 인덕턴스 조정부 155를 표면에 형성한 절연성 시트 142와, 코일 도체 143∼148을 각각 형성한 절연성 시트 112와, 보호용 및 중간층용의 절연성 시트 142 등으로 구성되어 있다.
코일 도체 145는 그의 인출부 145a가 절연성 시트 142의 앞쪽 가장자리의 오른쪽에 노출되어 있다. 코일 도체 148은 그의 인출부 148a가 절연성 시트 142의 뒤쪽 가장자리의 오른쪽에 노출되어 있다. 그리고, 코일 도체 143∼145는 시트 142에 형성된 비아홀 160b, 160c를 통해서 전기적으로 접속되고, 나선형 코일 151을 구성하고 있다. 동일하게, 코일 도체 146∼148은 시트 112에 형성된 비아홀 161e, 161f를 통해서 전기적으로 접속되고, 나선형 코일 152를 구성하고 있다.
인덕턴스 조정부 155는 U-형상 프레임부 155a와 이 U-형상 프레임부 155a의 2개의 아암에 다리 놓여진 복수개의 수평 통로 155b로 구성된 래더형 전극이다. 인덕턴스 조정부 155의 한쪽의 말단부 155c는 시트 142의 왼쪽에 노출되어 있다. 인덕턴스 조정부 155의 다른쪽의 말단부의 앞쪽부분 155d는 시트 142에 형성된 비아홀 160a를 통해서 코일 151의 일단(구체적으로는 코일 도체 143의 일단)에 전기적으로 접속된다. 동일하게, 인덕턴스 조정부 155의 다른쪽의 말단부의 뒤쪽부분 155e는 시트 142에 형성된 비아홀 161a∼161d를 통해서 코일 152의 일단(구체적으로는 코일 도체 146의 일단)에 전기적으로 접속된다.
이들 각 절연성 시트 142는 적층되어 일체적으로 소성되고 도 22에 나타낸 것과 같은 적층체로서 형성된다. 또한, 필요에 따라서 인덕턴스 조정부 155의 표면에 추가로 보호용 절연성 시트를 적층할 수도 있다. 다음으로, 이 적층체의 오른쪽의 앞쪽 측면 및 뒤쪽 측면에 각각 입력/출력 외부 전극 165, 166을 설치하고, 적층체의 왼쪽 측면부에 중간탭 전극 167을 설치할 수 있다. 입력/출력 외부 전극 165는 코일 도체 145의 인출부 145a에 전기적으로 접속하고, 입력/출력 외부 전극 166은 코일 도체 148의 인출부 148a에 전기적으로 접속되어 있다. 중간탭 전극 167은 인덕턴스 조정부 155의 말단부 155c에 전기적으로 접속되어 있다.
이렇게 얻어진 적층형 인덕터 소자 141은 상술한 제7구현예의 가변 인덕터 소자 111과 동일한 작용효과를 나타낸다.
[그 외의 구현예]
본 발명에 따른 가변 인덕터 소자는 상술한 구현예에 한정되는 것이 아니고, 그 기술적 요지의 범위 내에서 다양한 형태의 변화가 가능하다.
상술한 구현예는 개개의 소자를 생산하는 경웨에 대하여 설명하였지만, 양산하는 경우에는 복수개의 가변 인덕터 소자를 구비한 모기판(웨이퍼)의 형태로 제조하고, 최종공정에서 다이싱, 스크라이브 브레이크 등의 공법으로 각각의 적절한 제품 크기로 절단하는 방법이 효과적이다.
또한, 적층형 가변 인덕터 소자를 제조하는 경우에, 상술한 제7 및 제8구현예와 같이 각각 도체 패턴이 형성된 절연성 시트를 적층한 후에 일체적으로 소성하는 공정이, 소위 시트 공법으로 한정되는 것이 아니다. 절연성 시트는 미리 소정한 것을 이용할 수도 있다. 또한, 이하에 설명하는 인쇄공법으로 적층형 가변 인덕터 소자를 제조할 수 있다. 즉, 인쇄 등의 수단으로 페이스트 상태의 절연성 재료로 절연층을 형상한 후에 그 절연층의 표면에 페이스트 상태의 도전성 재료를 도포하여 임의의 패턴을 형성할 수 있다. 다음으로, 페이스트 상태의 절연성 재료를 상술한 패턴 위에 도포하여 패턴이 내장된 절연층으로 형성할 수 있다. 동일한 순서대로 절연성 재료를 겹쳐서 도포함으로써 적층 구조를 갖는 가변 인덕터 소자를 얻을 수 있다.
또한, 2개의 코일은 인덕턴스 조정부를 기준으로 하여 반드시 대칭형으로 배치할 필요가 없고 예를 들어 도 23에 나타낸 바와 같이 상술한 제1구현예의 가변 인덕터 소자 20(도6 참조)의 소용돌이 형상의 코일 2의 대신에 직선형 코일 172를 이용하여 2개의 코일 3, 172가 다른 형상 또는 다른 인덕턴스 값을 갖도록 설정한 가변 인덕터 소자 171로 형성할 수도 있다.
또한, 상술한 제3∼제6구현예의 가변 인덕터 소자 70, 80,90, 100은 입력/출력 외부 전극이 절연성 기판의 길이 방향의 한쪽 말단부에 설치되고 중간탭 전극이 절연성 기판의 다른쪽 말단부에 설치되지만, 반드시 이러한 배치에 한정되지는 않는다. 예를 들어, 제5구현예의 가변 인덕터 소자 90(도16 참조)의 입력/출력 외부 전극 60, 61과 중간탭 전극 62의 배치를 변화시켜서 도 24에 나타낸 바와 같이 입력/출력 외부 전극 60, 61을 각각 절연성 기판 51의 길이 방향의 양단부에 설치하고 중간탭 전극 62를 절연성 기판 51의 길이 방향의 중간부 측면에 설치한 가변 인덕터 소자 90A로 형성할 수도 있다. 이와 같이 외부 전극을 배치하면, 소자의 크기가 보다 소형화되어도 각 외부 전극 간의 내절연성을 저하시키지 않고 외부 전극을 형성할 수 있다. 물론, 도 24의 실시예에서도 인덕턴스 조정부 94 위에 추가로 절연성 층을 형성할 수 있다.
또한, 상술한 제7과 제8구현예의 가변 인덕터 소자 111, 141에서는 코일 121, 122 또는 151, 152가 적층 방향으로 겹쳐진 것이지만, 예를 들어 코일 도체 113, 115 또는 114, 116을 동일한 시트상에 형성하고 적층체 내에서 코일 121, 122 또는 151, 152를 병설시키도록 형성할 수도 있다.
또한, 가변 인덕터 소자는 3개 이상의 코일을 구비할 수도 있으며, 이런 경우에 인접한 2개의 코일 사이에 각각 인덕턴스 조정부가 설치되고 각 인덕턴스 조정부의 일단부는 1개의 중간탭 전극에 전기적으로 접속된다.
또한, 상술한 제2구현예에서만은 코일을 미앤더링 형상으로 형성하였지만, 그 외의 구현예에서도 미앤더링 형상의 코일을 이용할 수도 있고, 반대로 제2구현예에서 소용돌이 형상의 코일을 이용할 수도 있다. 게다가, 도 23의 구현예와 같은 직선형 코일을 이용할 수도 있다. 본 발명에서는 그의 취지를 벗어나지 않는 범위 내에서 각각의 구현예의 구성을 적절하게 조합시킬 수 있다는 것이 명백하다.
이상의 설명에서 명백한 바와 같이, 본 발명에 의하면, 적어도 2개의 코일을 인덕턴스 조정부를 사이에 두고 전기적으로 접속하기 때문에, 인덕턴스 조정부를 트리밍하는 것에 의해서도 각 코일의 인덕턴스 값의 균형을 무너뜨리지 않고, 각 코일의 입력/출력 외부 전극 같의 인덕턴스 값 또는 입력/출력 외부 전극와 중간탭 전극과의 사이의 인덕턴스 값을 변화시킬 수 있다.
또한, 본 가변 인덕터 소자는 적어도 2개의 코일을 내장하고 있기 때문에, 2개의 코일 부품을 인쇄 기판 상에 형성한 회로 패턴으로 전기적으로 접속할 필요가 없고, 따라서 인쇄 기판 상의 점유 면적을 작게 할 수 있다.
이상에서, 본 발명을 특정 구현예들을 참조하여 설명하였지만, 본 발명의 기술적 요지를 벗어나지 않는 다양한 형태들이 첨부한 특허청구범위 내에서 가능하다. 그러므로, 본 발명의 범위는 특허청구범위에 의해서만 제한된다.

Claims (22)

  1. 절연성 기판과;
    상기 절연성 기판에 제공된 적어도 제1 및 제2코일과;
    상기 절연성 기판에 제공되고, 상기 제1코일의 일단부와 상기 제2코일의 일단부가 접속하며, 인덕턴스(inductances)를 조정하기 위하여 트리밍되는(being trimmed) 인덕턴스 조정부와;
    상기 절연성 기판에 제공되고, 상기 제1코일 및 상기 제2코일의 각각의 타단부에 전기적으로 접속된 입력/출력 외부 전극; 및
    상기 절연성 기판에 제공되고, 상기 인덕턴스 조정부의 한쪽 말단부에 전기적으로 접속된 중간탭 전극;
    을 포함하는 것을 특징으로 하는 가변 인덕터 소자.
  2. 제1항에 있어서, 상기 제1코일과 제2코일 및 상기 인덕턴스 조정부가 상기 절연성 기판의 상부면에 제공되는 것을 특징으로 하는 가변 인덕터 소자.
  3. 제2항에 있어서, 상기 제1코일과 제2코일 및 상기 인덕턴스 조정부가 박막 형성법에 의해서 형성되는 것을 특징으로 하는 가변 인덕터 소자.
  4. 제1항에 있어서, 상기 제1코일과 제2코일 및 상기 인덕턴스 조정부가 상기 절연성 기판의 내부에 제공되는 것을 특징으로 하는 가변 인덕터 소자.
  5. 제4항에 있어서, 상기 제1코일과 제2코일 및 상기 인덕턴스 조정부가 시트 제조 기술 또는 인쇄 기술에 의해서 형성되는 것을 특징으로 하는 가변 인덕터 소자.
  6. 제1항에 있어서, 상기 제1코일과 제2코일 및 상기 인덕턴스 조정부가 상기 절연성 기판의 동일면에 나란히 배열되는 것을 특징으로 하는 가변 인덕터 소자.
  7. 제6항에 있어서, 상기 제1코일과 제2코일은 상기 인덕턴스 조정부에 대하여 대칭적으로 배치되는 것을 특징으로 하는 가변 인덕터 소자.
  8. 제1항에 있어서, 상기 제1코일과 제2코일은 상기 인턱턴스 조정부가 배치되어 있는 면과는 다른 면에 배치되는 것을 특징으로 하는 가변 인덕터 소자.
  9. 제8항에 있어서, 상기 인덕턴스 조정부는 상기 절연성 기판의 표면에 배치되고, 상기 제1코일과 제2코일은 상기 절연성 기판의 내부에 배치되는 것을 특징으로 하는 가변 인덕터 소자.
  10. 제1항에 있어서, 상기 제1코일과 제2코일의 인덕턴스는 서로 동일한 것을 특징으로 하는 가변 인덕터 소자.
  11. 제1항에 있어서, 상기 제1코일과 제2코일은 소용돌이(spiral) 형상, 나선(helical) 형상, 미앤더링(meandering) 형상 또는 직선 형상으로 형성되는 것을 특징으로 하는 가변 인덕터 소자.
  12. 제1항에 있어서, 상기 인덕턴스 조정부는 래더형(ladder-shaped) 전극 또는 솔리드형(solid-shaped) 전극을 포함하는 것을 특징으로 하는 가변 인덕터 소자.
  13. 제1항에 있어서, 상기 인덕턴스 조정부는 상기 래더형 전극의 실질적인 중앙부에 수직 통로를 구비한 래더형 전극을 포함하는 것을 특징으로 하는 가변 인덕터 소자.
  14. 제1항에 있어서, 상기 입력/출력 외부 전극은 상기 절연성 기판의 길이 방향의 말단부에 제공되고, 상기 중간탭 전극은 상기 절연성 기판의 길이 방향의 실질적인 중앙부에 제공되는 것을 특징으로 하는 가변 인덕터 소자.
  15. 제1항에 있어서, 상기 입력/출력 외부 전극은 상기 절연성 기판의 길이 방향의 한쪽 말단부에 각각 제공되고, 상기 중간탭 전극은 상기 절연성 기판의 길이 방향의 다른쪽의 말단부에 제공되는 것을 특징으로 하는 가변 인덕터 소자.
  16. 제1항에 있어서, 상기 입력/출력 외부 전극에서 본 상기 제1코일의 종단은 상기 제2코일에 인접하게 배치되고, 나머지 입력/출력 외부 전극에서 본 상기 제2코일의 종단은 상기 제1코일에 인접하게 배치되는 것을 특징으로 하는 가변 인덕터 소자.
  17. 제1항에 있어서, 상기 제1코일과 제2코일은 상기 코일의 각 권수(turns of winding)가 1.5회 이상의 소용돌이 형상으로 형성되며, 상기 입력/출력 외부 전극측에서 본 상기 제1코일의 종단은 상기 제2코일에 인접하게 배치되고, 나머지 입력/출력 외부 전극에서 본 상기 제2코일의 종단은 상기 제1코일에 인접하게 배치되는 것을 특징으로 하는 가변 인덕터 소자.
  18. 제1항에 있어서, 상기 인덕턴스 조정부를 트리밍하여 상기 제1코일과 제2코일에 각각 접속된 상기 입력/출력 외부 전극들 사이의 인덕턴스 값 및 상기 각각의 입력/출력 외부 전극과 상기 중간탭 전극과의 사이의 인덕턴스 값을 변화시키는 것을 특징으로 하는 가변 인덕터 소자.
  19. 제1항에 있어서, 상기 인덕턴스 조정부를 트리밍하여 상기 각각의 입력/출력 외부 전극과 상기 중간탭 전극과의 인덕턴스 값을 변화시키지 않고, 상기 제1코일과 제2코일에 각각 접속된 상기 입력/출력 외부 전극 사이의 인덕턴스 값을 변화시키는 것을 특징으로 하는 가변 인덕터 소자.
  20. 제1항에 있어서, 상기 인덕턴스 조정부를 트리밍하여, 상기 제1코일과 제2코일의 인덕턴스 값을 소정의 비율로 변화시키는 것을 특징으로 하는 가변 인덕터 소자.
  21. 제1항에 있어서, 상기 제1코일의 형상 또는 인덕턴스 중의 적어도 하나는 상기 제2코일의 형태 및 인덕턴스 중의 적어도 하나와 다른 것을 특징으로 하는 가변 인덕터 소자.
  22. 절연성 기판과;
    상기 절연성 기판에 제공된 적어도 제1 및 제2코일과;
    상기 절연성 기판에 제공되고 적어도 하나의 수평 통로를 구비하며, 상기 제1코일의 일단부와 상기 제2코일의 일단부가 접속하며, 인덕턴스(inductances)를 조정하기 위하여 트리밍되는(being trimmed) 래더형 전극과;
    상기 절연성 기판에 제공되고, 상기 제1코일과 제2코일의 각각의 타단부에 전기적으로 접속된 입력/출력 외부 전극; 및
    상기 절연성 기판에 제공되고, 상기 제1코일과 제2코일의 각각의 말단부에 전기적으로 접속된 중간탭 전극;
    을 포함하는 것을 특징으로 하는 가변 인덕터 소자.
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TW (1) TW422997B (ko)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100372156B1 (ko) * 2000-05-09 2003-02-14 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 칩 인덕터 및 그것의 제조방법
KR100481310B1 (ko) * 2002-06-07 2005-04-07 최대규 가변 인덕터
KR20190133836A (ko) * 2018-05-24 2019-12-04 삼성전기주식회사 코일 부품

Families Citing this family (44)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6329715B1 (en) * 1996-09-20 2001-12-11 Tdk Corporation Passive electronic parts, IC parts, and wafer
US6194248B1 (en) * 1997-09-02 2001-02-27 Murata Manufacturing Co., Ltd. Chip electronic part
JP3511895B2 (ja) * 1998-06-05 2004-03-29 株式会社村田製作所 セラミック多層基板の製造方法
US8178435B2 (en) * 1998-12-21 2012-05-15 Megica Corporation High performance system-on-chip inductor using post passivation process
US6869870B2 (en) 1998-12-21 2005-03-22 Megic Corporation High performance system-on-chip discrete components using post passivation process
JP3384977B2 (ja) * 1999-02-02 2003-03-10 株式会社村田製作所 可変インダクタンス素子
DE19963290B4 (de) * 1999-12-27 2011-07-21 Tridonic Gmbh & Co Kg Planare Induktivität
JP4502090B2 (ja) * 2000-01-26 2010-07-14 Ｔｄｋ株式会社 電子部品及びその製造方法
JP3307382B2 (ja) * 2000-03-07 2002-07-24 株式会社村田製作所 可変インダクタンス素子およびその製造方法
JP3435636B2 (ja) * 2000-04-06 2003-08-11 株式会社村田製作所 可変インダクタンス素子
JP2001291615A (ja) * 2000-04-06 2001-10-19 Murata Mfg Co Ltd ３端子型可変インダクタンス素子
US6759275B1 (en) 2001-09-04 2004-07-06 Megic Corporation Method for making high-performance RF integrated circuits
US7259639B2 (en) * 2002-03-29 2007-08-21 M/A-Com Eurotec, B.V. Inductor topologies and decoupling structures for filters used in broadband applications, and design methodology thereof
JP3754406B2 (ja) * 2002-09-13 2006-03-15 富士通株式会社 可変インダクタおよびそのインダクタンス調整方法
TWI236763B (en) * 2003-05-27 2005-07-21 Megic Corp High performance system-on-chip inductor using post passivation process
US7145413B2 (en) * 2003-06-10 2006-12-05 International Business Machines Corporation Programmable impedance matching circuit and method
US7432794B2 (en) * 2004-08-16 2008-10-07 Telefonaktiebolaget L M Ericsson (Publ) Variable integrated inductor
WO2006109374A1 (ja) * 2005-04-12 2006-10-19 Murata Manufacturing Co., Ltd. 積層コイル部品
TWI320219B (en) 2005-07-22 2010-02-01 Method for forming a double embossing structure
JP4668719B2 (ja) * 2005-07-25 2011-04-13 Ｏｋｉセミコンダクタ株式会社 インダクタの特性調整方法
JP2007213463A (ja) * 2006-02-13 2007-08-23 Dainippon Printing Co Ltd 非接触データキャリア、非接触データキャリア用配線基板
US7881693B2 (en) 2006-10-17 2011-02-01 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Semiconductor device
US8362587B2 (en) * 2007-05-08 2013-01-29 Scanimetrics Inc. Ultra high speed signal transmission/reception interconnect
US8212155B1 (en) * 2007-06-26 2012-07-03 Wright Peter V Integrated passive device
TWI340612B (en) * 2007-07-24 2011-04-11 Advanced Semiconductor Eng Circuit substrate and method for fabricating inductive circuit
SE534510C2 (sv) * 2008-11-19 2011-09-13 Silex Microsystems Ab Funktionell inkapsling
JP5114793B2 (ja) * 2009-03-03 2013-01-09 旭化成エレクトロニクス株式会社 可変インダクタ及び電圧制御発振器
JP5084801B2 (ja) * 2009-08-31 2012-11-28 株式会社村田製作所 インダクタおよびｄｃ−ｄｃコンバータ
JP5222258B2 (ja) * 2009-09-15 2013-06-26 アルプス電気株式会社 プリントインダクタおよびその製造方法ならびに電圧制御発振器
EP2309829A1 (en) * 2009-09-24 2011-04-13 Harman Becker Automotive Systems GmbH Multilayer circuit board
US8638114B2 (en) 2009-12-08 2014-01-28 Qualcomm Incorporated Transformer within wafer test probe
CN101819870B (zh) * 2010-04-01 2012-06-27 深圳顺络电子股份有限公司 一种叠层线圈元器件的电感量调整方法
US8530821B2 (en) 2010-06-08 2013-09-10 International Business Machines Corporation Low distortion high bandwidth adaptive transmission line for integrated photonics applications
US8963674B2 (en) * 2010-12-20 2015-02-24 Mediatek Singapore Pte. Ltd. Tunable inductor
TWI494957B (zh) * 2011-03-03 2015-08-01 Realtek Semiconductor Corp 可變電感
CN102299134A (zh) * 2011-07-22 2011-12-28 华东师范大学 一种内插有Dummy金属阵列的片上集成电感
GB2501725B (en) * 2012-04-30 2019-04-10 Nidec Control Techniques Ltd Fan guard
JP5773102B2 (ja) * 2013-05-14 2015-09-02 株式会社村田製作所 インダクタのシミュレーション方法並びにインダクタのシミュレーション装置およびその使用方法
KR102105394B1 (ko) * 2015-03-09 2020-04-28 삼성전기주식회사 코일 부품 및 그 실장 기판
JP6531712B2 (ja) * 2016-04-28 2019-06-19 株式会社村田製作所 複合インダクタ
JP6520875B2 (ja) 2016-09-12 2019-05-29 株式会社村田製作所 インダクタ部品およびインダクタ部品内蔵基板
JP7075185B2 (ja) * 2017-04-27 2022-05-25 太陽誘電株式会社 コイル部品及び電子機器
JP6954478B2 (ja) * 2018-08-17 2021-10-27 株式会社村田製作所 平面アレイコイル及びスイッチング電源装置
KR20210144031A (ko) * 2020-05-21 2021-11-30 삼성전기주식회사 코일 부품

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS609220U (ja) * 1983-06-28 1985-01-22 株式会社村田製作所 Ｌｃ複合部品
JPS62145806A (ja) * 1985-12-20 1987-06-29 Matsushita Electric Ind Co Ltd 高周波コイル
JP2505135B2 (ja) * 1987-03-13 1996-06-05 株式会社村田製作所 Ｌｃフィルタ
JPS6427305A (en) * 1987-07-22 1989-01-30 Murata Manufacturing Co Lc filter
US5015975A (en) * 1988-08-19 1991-05-14 Murata Manufacturing Co., Ltd. Noise filter
JP2601666Y2 (ja) * 1992-05-08 1999-11-29 株式会社村田製作所 積層型コイル
JPH06314622A (ja) * 1993-04-30 1994-11-08 Murata Mfg Co Ltd チップ型回路部品及びその製造方法
JPH07202618A (ja) * 1993-12-28 1995-08-04 Rohm Co Ltd チップ型フィルタ−
US5572180A (en) * 1995-11-16 1996-11-05 Motorola, Inc. Surface mountable inductor

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100372156B1 (ko) * 2000-05-09 2003-02-14 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 칩 인덕터 및 그것의 제조방법
KR100481310B1 (ko) * 2002-06-07 2005-04-07 최대규 가변 인덕터
KR20190133836A (ko) * 2018-05-24 2019-12-04 삼성전기주식회사 코일 부품

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