KR19990037095A - 액츄에이터 - Google Patents

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마사키 미야하라
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다까다 요시유끼
에스엠씨 가부시키 가이샤
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Abstract

볼스크류(36)의 회전운동은 이송너트(60)에 의해 직선운동으로 변환되어 변위기구(38)가 직선운동을 만들게 한다. 볼스크류(36)가 축방향편차를 수반할 때, 결합부재(68)는 제 1가이드기구(72)에 의해 너트홀더(64)에 대하여 화살표 C의 방향으로 슬라이드하고, 제 2슬라이딩가이드(76)는 제 1가이드기구(80)에 의해 결합부재(68)에 대하여 화살표 B의 방향으로 슬라이드한다. 따라서 볼스크류(36)가 제 1슬라이딩가이드(76)에 대하여 축방향편차를 수반할 때라도 제 2슬라이딩가이드(76)와 액츄에이터(30)의 프레임(32)사이의 슬라이딩저항이 증가하지 않는다. 그러므로 볼스크류(36)와 프레임(32)사이에 어떤 축방향편차도 없을 때라도 변위부재(84)의 변위작용을 방해할 염려가 없다.

Description

액츄에이터
본 발명은 이송나사의 회전운동을 직선운동으로 변환시켜 변위부재가 직선운동을 수행할 수 있게 하는 액츄에이터에 관한 것이다.
이송나사의 사용에 기초하는 액츄에이터는 지금까지 공작물 등을 수송하기 위한 구동원으로서 사용되어 왔다. 예를 들어, 도 8에 도시한 바와 같이, 이런 액츄에이터(10)는 일단부가 모터(12)의 회전샤프트(14)에 연결된 볼스크류(16)로 구성된다. 볼스크류(16)의 타단부는 샤프트지지부재(18)에 의해 회전가능하게 지지된다. 이송너트(20)는 볼스크류(16)와 맞물린다. 이송너트(20)는 변위부재(22)에 의해 둘러싸인다. 변위부재(22)에는 변위부재(22)의 상부에서 돌출하여 그 변위방향을 따라서 연장되는 부착부(24)가 형성된다. 부착부(24)는 액츄에이터(10)의 프레임(26)의 상부에 형성된 슬릿(28)으로 통해 상방으로 돌출한다.
모터(12)가 동작할 때, 볼스크류(16)의 회전운동은 이송너트(20)에 의해 직선운동으로 변환된다. 직선운동은 변위부재(22)에 전달된다. 따라서, 변위부재(22)는 액츄에이터(10)의 종방향으로 따라서 변위를 만든다.
그러나 상술한 바와 같은 종래의 액츄에이터(10)가 프레임(26)과 볼스크류(16)사이에 어떤 축방향편차를 수반한다면, 변위부재(22)가 변위를 만들 때 프레임(26)의 내측벽에 대한 슬라이딩저항이 증가되며, 변위부재(22)가 프레임(26)내에서 변위를 만들 때 변위부재(22)의 변위작용이 방해된다.
이 때문에, 볼스크류(16)가 프레임(26)에 조립될 때 볼스크류(16)의 양 단부가 회전샤프트(14)와 샤프트지지부재(18)에 대하여 중심조정될 필요가 있고, 또한 볼스크류(16)가 이송너트(20)에 대하여 중심조정될 필요가 있다. 그러므로 조립조작이 복잡하다는 문제점이 생긴다.
또한 예를 들어 액츄에이터(10)가 긴 사이즈를 갖거나, 또는 공작물 등의 부하가 변위부재(22)에 가해질 때 볼스크류(16)의 중심부가 왜곡된다면, 변위부재(22)와 프레임(26)사이의 슬라이딩저항이 상술한 바와 같은 방식으로 증가되며, 가끔 변위부재(22)는 변위를 만들지 못한다. 이 때문에 액츄에이터(10)가 아주 긴 사이즈를 갖게 하는 것이 불가능하였으며, 또한 공작물의 부하를 제한할 필요가 있었다.
본 발명의 일반적인 목적은 액츄에이터가 이송나사와 프레임사이의 축방향 편차를 수반할 때라도 변위부재의 변위작용을 방해할 염려가 없는 액츄에이터를 제공하는 것이다.
본 발명의 주목적은 변위부재의 변위방향에 직교방향으로 변위가능한 축방향편심흡수기구를 사용하여 이송나사의 축방향편심을 흡수함으로써 변위부재의 변위작용이 이송나사의 위치편차와 이송나사의 왜곡에 의해 영향받지 않게 하여, 이송나사의 위치편차 및 왜곡을 허용할 수 있게 하는 액츄에이터를 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 변위부재의 변위방향에 직교방향으로 직선상으로 변위가능하게 설계된 제 1가이드기구와 변위부재의 변위방향에 직교하지만 제 1가이드기구의 변위방향과는 다른 방향으로 직선적으로 변위가능하게 설계된 제 2가이드기구로 구성되어 비교적 간단한 기구를 사용하여 이송나사의 축방향편심을 흡수할 수 있게 하는 액츄에이터를 제공하는 것이다.
도 1은 본 발명의 제 1구체예에 따른 액츄에이터를 도시하는 사시도.
도 2는 도 1에 도시한 액츄에이터를 도시하는 종단면도.
도 3은 도 1에 도시한 액츄에이터에 사용되는 변위기구를 도시하는 사시도.
도 4는 도 3에 도시한 변위기구를 도시하는 분해사시도.
도 5는 도 1에 도시한 액츄에이터를 도시하는 선 V-V를 따라서 취한 단면도.
도 6은 도 1에 도시한 액츄에이터를 도시하는 선 VI-VI를 따라서 취한 단면도.
도 7은 본 발명의 제 2구체예에 따른 액츄에이터를 도시하는 종단면도.
도 8은 종래기술과 관련된 액츄에이터를 도시하는 종단면도
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
10 액츄에이터 12 모터
14 회전샤프트 16 볼스크류
18 샤프트지지부재 20 이송너트
22 변위부재 24 부착부
26 프레임 28 슬릿
30 액츄에이터 32 프레임
34 모터 36 볼스크류
40a-40d 연장부착홈 42a, 42b 센서홈
44 스페이서 46 회전샤프트
48 커플링 50a, 50b 샤프트지지부재
52a-52c 베어링 54 슬라이딩가이드
56 직경방향확장부 57 링형상의 영구자석
60 이송너트 62 볼부재
64 너트홀더 66 제 1가이드홈
68 결합부재 70 제 1가이드부
72 제 1가이드기구 73 구멍
74 제 2가이드부 76 제 2슬라이딩가이드
78 제 2가이드홈 82 직경방향확장부
84 원통형변위부재 86 돌출부
88 슬릿 90a, 90b 가이드부재
100 액츄에이터 102 프레임
103 샤프트지지부재 104 케이싱
106 모터 108 회전샤프트
110, 112 풀리 113 벨트
114 슬라이딩가이드 116 원통형변위부재
118 원통형부재 120 지지부재
본 발명의 상기 및 그 외의 목적, 특징 및 이점은 본 발명의 우선구체예를 예로서 도시한 첨부도면을 참고하면 이후의 설명으로부터 보다 명백해질 것이다.
이하 본 발명에 따른 액츄에이터를 우선구체예에 관련된 첨부도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도 1 및 도 2에 있어서, 도면부호 30은 본 발명의 제 1구체예에 따른 액츄에이터를 지시한다. 액츄에이터(30)는 근본적으로 긴 사이즈를 갖도록 형성된 프레임(32)과, 프레임(32)의 일단부에 제공된 모터(34)와, 프레임(32)내에 회전가능하게 지지되는 볼스크류(36)와, 프레임(32)의 내주와 슬라이드가능하게 접촉하여 볼스크류(36)의 도움에 의해 변위를 만드는 변위기구(38)로 구성된다.
볼트같은 도시하지 않은 부착수단에 의해 액츄에이터(30)를 다른 부재에 부착하기 위하여 사용되는 다수의 연장부착홈(40a-40d)이 프레임(32)의 측면에 종방향을 따라서 형성된다. 도시하지 않은 위치센서가 부착되는 센서홈(42a, 42b)가 연장부착홈(40a, 40b, 40c, 40d)사이에 형성되어 종방향을 따라서 연장된다.
프레임(32)의 일단부에는 스페이서(44)의 일단부가 고정된다. 모터(34)는 스페이서(44)의 타단부에 고정된다. 볼스크류(36)는 거플링(48)에 의해 모터(34)의 회전샤프트(46)에 연결된다. 볼스크류(36)의 양 단부는 프레임(32)의 양 단부에서 내부에 설치된 샤프트지지부재(50a, 50b)에 의해 베어링(52a-52c)을 통해 회전가능하게 지지된다.
볼스크류(36)는 변위기구(38)속에 삽입된다(도 3 참조). 도 4에 도시한 바와 같이, 변위기구(38)의 일단부에는 제 1슬라이딩가이드(34)가 제공된다. 제 1슬라이딩가이드(54)는 볼스크류(36)로부터 소정의 이격거리만큼 이격된 내측벽을 갖는다. 제 1슬라이딩가이드(54)의 일단부에는 직경방향확장부(56)가 형성된다. 직경방향확장부(56)는 프레임(32)의 내측벽에서 슬라이드할 수 있다. 직경방향확장부(56)에 는 링형상의 영구자석(57)이 설치된다. 본 구체예에 있어서, 프레임(32)의 센서홈(42a, 42b)의 소정위치에 설치된 센서(도시하지 않음)는 변위기구(38)와 함께 변위되는 영구자석(57)의 자기력을 검출한다. 따라서 예를들어 변위기구(38)의 변위량이 검출될 수 있다.
대체로 원통형상을 갖도록 형성된 이송너트(60)은 제 1슬라이딩가이드(54)의 일단부에 접한다. 이송너트(60)는 볼부재(62)에 의해 볼스크류(36)과 맞물린다. 축방향편심흡수기구(58)를 구성하는 너트홀더(64)의 일단부는 이송너트(60)의 일단부에 고정된다. 너트홀더(64)는 볼스크류(36)로부터 소정이격거리만큼 이격된 내측벽을 갖는다. 도 4에 도시한 바와 같이, 너트홀더(64)의 타단부에는 볼스크류(36)에 직교방향으로 연장되는 제 1가이드홈(66)이 형성된다. 축방향편심흠수기구(58)를 구성하기 위한 링형상을 갖도록 형성된 결합부재(68)는 제 1가이드홈(66)과 슬라이드가능하게 결합하는 제 1가이드부(70)를 갖는다. 제 1가이드기구(72)는 제 1가이드홈(66) 및 제 1가이드부(70)에 의해 구성된다. 결합부재(68)의 구멍(73)을 형성하기 위한 내측벽은 볼스크류(36)로부터 소정의 이격거리만큼 이격된다.
제 2가이드부(74)는 제 1가이드부(70)의 반대측결합부재(68)의 표면에 돌출하도록 형성되며, 제 2가이드부(74)는 각각 볼스크류(36)의 축방향 및 제 1가이드부(70)의 변위방향에 직교방향으로(화살표 B로 지시한 방향으로) 연장된다. 축방향편심흡수기구(58)는 제 1슬라이딩가이드(76)를 구비한다. 제 2슬라이딩가이드(76)에 형성된 제 2가이드홈(78)은 제 2가이드부(74)와 결합된다. 제 2가이드기구(80)는 제 2가이드부(74)와 제 2가이드홈(78)에 의해 구성된다. 제 2슬라이딩가이드(76)는 볼스크류(36)로부터 소정의 이격거리만큼 이격된 내측벽을 갖는다. 제 2슬라이딩가이드(76)의 일단부에는 직경방향확장부(82)가 형성된다. 직경방향확장부(82)는 프레임(32)의 내측벽에서 슬라이드할 수 있다.
제 1슬라이딩가이드(54)와 제 2슬라이딩가이드(76)는 원통형변위부재(84)의 양 단부에 나사결합된다. 이송너트(60), 너트홀더(64) 및 결합부재(68)는 변위부재(84)속으로 삽입된다. 변위부재(84)의 상측부에는 액츄에이터(30)의 종방향을 따라서 연장하는 돌출부(86)가 돌출하도록 형성된다. 돌출부(86)는 프레임(32)의 상측부에 형성된 슬릿(88)속에 삽입된다. 돌출부(86)의 양 단부에는 각각 모서리를 갖는 U형상을 갖도록 형성된 가이드부재(90a, 90b)가 고정된다. 가이드부재(90a, 90b)는 슬릿(88)을 형성하는 벽에서 슬라이드가능하다. 돌출부(86)에는 도시하지 않은 테이블 등이 설치될 수 있다.
제 1구체예에 따른 액츄에이터(30)는 근본적으로 상술한 바와 같이 구성된다. 다음으로 그 동작을 설명한다.
모터(34)가 회전샤프트(46)를 회전시키기 위해 동작할 때, 볼스크류(36)가 커플링(48)을 통해 회전된다. 회전운동은 볼부재(62)에 의해 이송너트(60)에 전달된다. 이 과정중에, 돌출부(86)의 가이드부재(90a, 90b)가 슬릿(88)의 벽과 결합하기 때문에 변위기구가 회전되지 않게 된다. 따라서 회전운동이 이송너트(60)에 의해 직선운동으로 변환된다. 따라서 변위기구(38)는 화살표A의 방향으로 변위된다.
다음으로 도 5 및 도 6에 도시한 바와 같이 볼스크류(36)가 프레임(32)에 대하여 축방향편차를 겪는 경우에 대하여 설명한다.
도 5에 도시한 바와 같이, 볼스크류(36)가 프레임(32)에 대하여 회살표 B의 방향으로 b량의 축방향편차를 수반할 때, 결합부재(68)의 제 2가이드부(74)는 제 2가이드기구(80)를 구성하는 제 2슬라딩가이드(76)의 제 2가이드홈(78)에 대하여 b량만큼 변위된다. 도 6에 도시한 바와 같이, 볼스크류(36)가 프레임(32)에 대하여 화살표 C의 방향으로 c량의 축방향편차를 수반할 때, 결합부재(68)의 제 1가이드부(70)는 제 1가이드기구(72)를 구성하는 너트홀더(64)의 제 1가이드홈(66)에 대하여 c량만큼 변위된다. 한편 제 1슬라이딩가이드(54)와 제 2슬라이딩가이드(76)는 프레임(32)에 대하여 화살표 B, C방향으로는 변위하지 않는다. 그러므로 볼스크류(36)가 프레임(32)에 대하여 축방향편차를 수반하는 상태에서 회전할 때, 너트홀더(64)는 도 5 및 도 6에 도시한 깊이방향으로 변위된다. 그러나 제 1슬라이딩가이드(54) 및 제 2슬라이딩가이드(76)의 직경방향확장부(56) 및 (82)와 프레임(32)의 내측벽사이에 슬라딩저항의 증가는 없다. 따라서 변위기구(38)의 변위작용을 방해할 염려가 없다(도 2 참조).
따라서 액츄에이터(30)가 조립될 때, 볼스크류(36)의 양 단부가 샤프트지지부재(50a, 50b)에 대하여 중심조정되는 것이 충분하다. 프레임(32)에 대하여 볼스크류(36) 및 이송너트(60)의 엄격한 중심조정을 수행하기 위한 어떤 단계를 제공할 필요가 없다. 그러므로 액츄에이터(30)의 조립조작이 단순화되며, 조작효율이 향상된다.
변위기구(38)는 액츄에이터(30)가 길게 형성된 볼스크류(36)를 갖는 기다란 사이즈를 가지며 볼스크류(36)가 그 자중에 의해 왜곡될 때라도 또는 볼스크류(36)가 변위기구(38)에 가해진 공작물 등의 부하에 의해 왜곡될 때라도 역시 적절한 변위를 만들 수 있다. 그러므로 긴 변위범위를 갖는 액츄에이터(30)를 얻을 수 있다. 액츄에이터(30)에 의해 수송될 수 있는 공작물의 부하를 증가시킬 수 있다.
다음으로 제 2구체예에 따른 액츄에이터(100)를 도 7을 참조하여 설명한다. 제 1구체예에서 설명한 것과 같은 구성요소 또는 부분들은 동일한 참조부호로 지시하며, 그 상세한 설명은 생략한다.
액츄에이터(100)의 프레임(102)의 일단부에는 케이싱(104)이 고정된다. 케이싱(104)에는 프레임(102)에 평행하게 배치된 모터(106)가 제공된다. 모터(106)의 회전샤프트(108)에는 풀리(110)가 제공된다. 한편 프레임(102)의 샤프트지지부재(103)에 의해 회전가능하게 지지되는 볼스크류(111)의 일단부에는 풀리(112)가 제공된다. 풀리(110, 112)의 주위에는 벨트(113)가 감긴다.
이송너트(60)는 제 1구체예에 따른 액츄에이터(30)에서와 동일한 방식으로 볼부재(62)에 의해 볼스크류(111)와 결함된다. 너트홀더(64)는 이송너트(60)에 고정된다. 도 4에 도시한 바와 같이, 결합부재(68)의 제 1가이드부(70)는 너트홀더(64)의 제 1가이드홈(66)과 슬라이드가능하게 결합된다. 결합부재(68)의 제 2가이드부(74)는 슬라이딩가이드(114)에 형성된 제 2가이드홈(78)과 슬라이드가능하게 결합된다.
슬라이딩가이드(114)의 일단부에는 이송너트(60), 너트홀더(64) 및 결합부재(68)를 둘러싸는 원통형변위부재(116)가 제공된다. 슬라이딩가이드(114)의 타단부에는 원통형부재(118)의 일단부가 고정된다. 원통형부재(118)의 타단부는 프레임(102)의 단부를 통해 돌출하며, 지지부재(120)에 의해 프레임(102)에 슬라이드가능하게 지지된다. 볼스크류(111)의 단부는 원통형부재(118)내의 샤프트지지부재(122)에 의해 회전가능하게 지지된다. 원통형부재(118)는 커버부재(124)에 의해 폐쇄된다. 따라서 액츄에이터(100)는 액츄에이터(100)로부터 프레임(102)의 내측으로의 침입을 일으킬 수 있는 먼지 등으로부터 보호된다. 액츄에이터(100)는 볼스크류(111)에 먼지 등이 부착할 염려가 완전히 없다.
제 2구체예에 따른 액츄에이터(100)는 상술한 바와 같이 구성된다. 다음으로 그 동작을 설명한다.
모터(106)가 동작할 때, 풀리(110)가 회전샤프트(108)를 통해 회전된다. 회전운동은 벨트(113)와 풀리(112)에 의해 볼스크류(111)에 전달된다. 볼스크류(111)의 회전운동은 이송너트(60)에 의해 직선운동으로 변환되며, 슬라이딩가이드(114)는 화살표 D의 방향으로 변위된다. 따라서 원통형부재(118)는 프레임(102)에 대하여 전후진운동을 만드는 방향으로 변위된다.
볼스크류(111)가 프레임(102)에 대하여 축방향변위를 수반할 때, 제 1구체예에 따른 액츄에이터(30)에서와 동일한 방식으로 다음의 작용이 만들어진다. 즉 제 2가이드부(74)는 제 2가이드홈(78)에 대하여 슬라이딩운동을 만들며, 따라서 결합부재(68)는 슬라이딩가이드(114)에 대하여 변위된다. 또한 제 1가이드부(70)는 제 1가이드홈(66)에서 슬라이딩운동을 만들며, 따라서 너트홀더(64)는 결합부재(68)에 대하여 변위된다(도 4 참조). 따라서 볼스크류(111)가 프레임(102)에 대한 축방향편차의 상태에서 회전할 때라도 슬라이딩가이드(114)와 프레임(102)의 내측벽사이에 슬라이딩저항이 증가하지 않는다. 따라서 원통형부재(118)의 변위작용을 방해할 염려가 없다(도 7 참조).
그러므로 액츄에이터(100)가 조립될 때 볼스크류(111)의 양 단부가 지지부재(120), 샤프트지지부재(122) 및 샤프트지지부재(103)에 대하여 중심조정되는 것이 충분하다. 프레임(102)에 대하여 볼스크류(111)와 이송너트(60)의 엄격한 중심조정을 수행하는 어떤 단계를 제공할 필요가 없다. 그러므로 액츄에이터(100)의 조립조작이 단순화되며, 조작효율이 향상된다.
원통형부재(118)는 볼스크류(111)가 그 자중에 의해 왜곡될 때라도 또는 볼스크류(111)가 원통형부재(118)에 가해진 부하에 의해 왜곡될 때라도 역시 적절한 변위를 만들 수 있다. 따라서 긴 변위범위를 갖는 액츄에이터(100)를 얻을 수 있다. 공작물의 부하를 증가시킬 수 있다.
상술한 바와 같이, 제 1 및 제 2구체예에 따른 액츄에이터(30, 100)에 있어서, 이송스크류로서 볼스크류(36, 111)가 사용되었다. 그러나 슬라이드스크류를 사용하는 것도 바람직하다.
축방향편심흡수기구(58)가 구성되도록 너트홀더(64)를 제 2슬라이딩가이드(76) 또는 슬라이드가이드(114)에 연결하기 위해 결합부재(68)대신에 고무로 만들어진 것 같은 유연성부재가 사용될 수도 있다.
본 발명에 관한 액츄에이터에 따르면, 이하와 같은 효과 및 이점이 얻어진다.
이송나사가 휘어져도 변위부재의 변위작용에 지장을 초래할 염려가 없기 때문에, 액츄에이터를 조립할 때, 이송나사의 양단을 프레임에 대하여 센터링하는 것만으로 좋고, 종래 필요하였던 이송나사 및 이송너트의 프레임에 대한 엄밀한 센터링공정이 불필요하게 되며, 조립작업이 간소화되며, 작업효율이 향상된다.
또한 액츄에이터가 길어지면 이송나사도 길어지고, 그 자중으로 휘어지는 경우, 변위부재에 걸리는 하중에 의해 이송나사가 휘어지는 경우라도 변위부재의 변위작용에 지장을 초래하는 일이 없이 액츄에이터의 변위작용을 양호하게 영위할 수 있다. 따라서 변위범위가 긴 액츄에이터를 얻을 수 있으며, 공작물의 하중을 크게 할 수 있다.

Claims (9)

  1. 회전구동원(34, 106)에 의해 회전되는 이송스크류(36, 111)와,
    상기 이송스크류(36, 111)과 결합되어 상기 이송스크류(36, 111)의 회전운동을 직선운동으로 변환하기 위한 이송너트(60)와,
    상기 이송너트(60)의 변위작용에 따라서 상기 이송스크류(36, 111)와 상기 이송너트(60)를 수용하는 프레임(32, 102)을 따라서 변위를 만들기 위한 변위부재(84, 116)와,
    상기 변위부재(84, 116)의 변위방향에 직교방향으로 변위할 수 있는 상태에서 상기 변위부재(84, 116)와 상기 이송너트(60)와 결합하기 위한 축방향편심흡수기구(58)로 구성되는 것을 특징으로 하는 액츄에이터(30, 100).
  2. 제 1항에 있어서, 상기 축방향편심흡수기구(58)에는 상기 이송너트(60)와 상기 변위부재(84, 116)를 연결하기 위한 결합부재(68)가 제공되며, 상기 이송너트(60)와 상기 결합부재(68)사이의 연결부에는 상기 변위부재(84, 116)의 상기 변위방향에 직교방향으로 직선적으로 변위할 수 있는 제 1가이드기구(72)가 제공되며, 상기 결합부재(68)와 상기 변위부재(84, 116)사이의 연결부에는 상기 변위부재(84, 116)의 상기 변위방향에 직교방향이지만 상기 제 1가이드기구(72)의 상기 변위방향과는 다른 상기 방향으로 직선적으로 변위가능한 제 2가이드기구(80)가 제공되는 것을 특징으로 하는 액츄에이터(30, 100).
  3. 제 2항에 있어서, 상기 제 1가이드기구(72)와 상기 제 2가이드기구(80)의 각각은 직선형상을 갖도록 형성된 가이드부(70, 74)와, 상기 가이드부(70, 74)와 슬라이드가능하게 결합되는 가이드홈(66, 78)으로 구성되는 것을 특징으로 하는 액츄에이터(30, 100).
  4. 제 2항에 있어서, 상기 제 2가이드기구(80)는 상기 제 1가이드기구(72)의 상기 변위방향에 직교방향으로 직선변위가능한 것을 특징으로 하는 액츄에이터(30, 100).
  5. 제 2항에 있어서, 상기 결합부재(68)에는 상기 이송스크류(36, 111)가 삽입되는 구멍(73)이 형성되며, 상기 구멍(73)을 구성하는 벽은 상기 이송스크류(36, 111)로부터 소정의 이격거리만큼 이격되는 것을 특징으로 하는 액츄에이터(30, 100).
  6. 제 1항에 있어서, 상기 변위부재(84)에는 상기 프레임(32)을 통해 형성된 슬릿(88)을 통해 외부로 돌출하는 돌출부(86)가 형성되며, 상기 변위부재(84)의 변위운동은 상기 돌출부(86)를 통하여 상기 프레임(32)의 외측에 전달되는 것을 특징으로 하는 액츄에이터(30).
  7. 제 1항에 있어서, 상기 이송스크류(111)를 둘러싸도록 상기 프레임(102)에 배치된 원통형부재(118)는 상기 변위부재(116)에 고정된 일단부를 가지며, 상기 원통형부재(118)는 상기 프레임(102)에 대하여 전후진운동을 만드는 방향으로 변위가능한 것을 특징으로 하는 액츄에이터(100).
  8. 제 1항에 있어서, 상기 회전구동원(34)은 상기이송스크류(36)와 동심상태로 배치되며, 상기 회전구동원(34)의 회전운동은 커플링(48)을 통하여 상기 이송스크류(36)에 전달되는 것을 특징으로 하는 액츄에이터(30).
  9. 제 1항에 있어서, 상기 회전구동원(106)은 상기 이송스크류(111)에 평행하게 배치되며, 상기 회전구동원(106)의 회전구동력은 회전구동력전달수단(110, 112, 113)에 의해 상기 이송스크류(111)에 전달되는 것을 특징으로 하는 액츄에이터(100).
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