KR101952625B1 - 슬라이드 가이드가 적용된 리니어 엑츄에이터 - Google Patents

Abstract

본 발명의 일 실시예에 따른 리니어 액츄에이터는 내부에 소정의 공간이 형성되고, 상부가 개방되고, 하부면에 길이방향을 따라 슬라이딩 홈이 형성된 하우징; 상기 슬라이딩 홈에 슬라이딩 결합되는 슬라이딩 레일; 상기 하우징의 내부에 위치하는 볼스크류; 및 상기 하우징의 일측에 배치되어, 구동력을 발생시켜, 상기 볼스크류를 회전시키는 구동부를 포함한다.

Description

슬라이드 가이드가 적용된 리니어 엑츄에이터{LINEAR ACTUATOR HAVING SLIDE GUIDE}

본 발명은 슬라이드 가이드가 적용된 리니어 엑츄에이터에 관한 것이다.

리니어 엑츄에이터는 구동모터를 이용하여 샤프트가 직선운동을 하도록 한 것으로서 각종 산업용 기계에 적용되고 있다. 이러한 리니어 엑츄에이터의 주요 적용분야로는 산업용 로봇이나 자동제어장치가 있다.

이러한 리니어 엑츄에이터는 이미 여러 종류의 것들이 공지되었으며, 등록실용신안 제0426031호(발명의 명칭: 서보 리니어 액츄에이터) 및 공개특허공보 특1997-0008794호(발명의 명칭: 서보 리니어 액츄에이터)에 개시되어 있다.

전기의 등록실용신안의 경우, 본체 커버의 내부에 스크류를 장착하고 스크류의 하단에 감속기, 미니모터 및 마이크로 엔코더를 배치하여, 스크류가 상하로 직선운동하도록 구성한 것이며, 후기의 등록특허의 경우 구동모터와 벨트에 의하여 동력 연결되어 회전하는 볼스크류의 양단이 유니버설 죠인트에 연결되어 직선운동과 함께 자유도를 구현하도록 된 것이다.

그러나, 종래의 리니어 액츄에이터는 테이블에 고정하기 위해, 별도의 브라켓을 이용하여, 테이블에 고정하여, 정밀도가 떨어지는 문제점이 있다. 또한, 별도의 브라켓을 액츄에이터에 장착하는 만큼 액츄에이터의 전체 부피와 면적이 커지게 되고, 좁은 공간에 액츄에이터를 장착하기 어려워지며, 액츄에이터가 장착된 로봇의 부피나 크기가 커지게 되는 문제점이 있다.

본원은 전술한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 정밀도를 향상시킬 수 있는 리니어 액츄에이터를 제공하는 것을 목적으로 한다.

다만, 본 실시예가 이루고자 하는 기술적 과제는 상기된 바와 같은 기술적 과제들로 한정되지 않으며, 또 다른 기술적 과제들이 존재할 수 있다.

상기한 기술적 과제를 달성하기 위한 기술적 수단으로서, 본원의 제1 측면에 따른 리니어 액츄에이터는, 내부에 소정의 공간이 형성되고, 상부가 개방되고, 하부면에 길이방향을 따라 슬라이딩 홈이 형성된 하우징; 상기 슬라이딩 홈에 슬라이딩 결합되는 슬라이딩 레일; 상기 하우징의 내부에 위치하는 볼스크류; 및 상기 하우징의 일측에 배치되어, 구동력을 발생시켜, 상기 볼스크류를 회전시키는 구동부를 포함한다.

또한, 본원의 제2 측면에 따른 리니어 액츄에이터 장착 방법은 슬라이딩 레일의 하부면을 평평하도록 연마하는 단계; 하우징의 하부에 상기 슬라이딩 레일을 슬라이딩 결합하는 단계; 및 상기 슬라이딩 레일에 형성된 체결홈에 체결부재를 결합하여, 리니어 액츄에이터를 테이블에 장착하는 단계를 포함한다.

전술한 본원의 과제 해결 수단에 의하면, 하우징의 하부에 위치한 슬라이딩 레일에 하부체결방식으로 테이블을 직접결합하고, 하우징의 하부면 및 슬라이딩 레일의 하부면이 연마되며, 테이블에 장착 시, 정밀도를 향상시킬 수 있는 효과가 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 리니어 액츄에이터의 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 리니어 액츄에이터의 단면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 볼 스크류부의 단면도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시에에 따른 슬라이딩 레일의 결합방법을 설명하기 위한 도면이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 리니어 액츄에이터의 저면도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 슬라이딩 레일의 측면도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 리니어 액츄에이터 장착 방법의 순서도이다.

아래에서는 첨부한 도면을 참조하여 본원이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 본원의 실시예를 상세히 설명한다. 그러나 본원은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 그리고 도면에서 본원을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 유사한 도면 부호를 붙였다.

본원 명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 "연결"되어 있다고 할 때, 이는 "직접적으로 연결"되어 있는 경우뿐 아니라, 그 중간에 다른 소자를 사이에 두고 "전기적으로 연결"되어 있는 경우도 포함한다.

본원 명세서 전체에서, 어떤 부재가 다른 부재 “상에” 위치하고 있다고 할 때, 이는 어떤 부재가 다른 부재에 접해 있는 경우뿐 아니라 두 부재 사이에 또 다른 부재가 존재하는 경우도 포함한다.

본원 명세서 전체에서, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함" 한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성 요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다. 본원 명세서 전체에서 사용되는 정도의 용어 "약", "실질적으로" 등은 언급된 의미에 고유한 제조 및 물질 허용오차가 제시될 때 그 수치에서 또는 그 수치에 근접한 의미로 사용되고, 본원의 이해를 돕기 위해 정확하거나 절대적인 수치가 언급된 개시 내용을 비양심적인 침해자가 부당하게 이용하는 것을 방지하기 위해 사용된다. 본원 명세서 전체에서 사용되는 정도의 용어 "~(하는) 단계" 또는 "~의 단계"는 "~ 를 위한 단계"를 의미하지 않는다.

본원은 리니어 액츄에이터(10)에 관한 것이다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 리니어 액츄에이터(10)의 사시도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 리니어 액츄에이터(10)의 단면도이고, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 볼 스크류부(200)의 단면도이고, 도 4는 본 발명의 일 실시에에 따른 슬라이딩 레일(700)의 결합방법을 설명하기 위한 도면이고, 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 리니어 액츄에이터(10)의 저면도이고, 도 6는 본 발명의 일 실시예에 따른 슬라이딩 레일(700)의 측면도이고, 도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 리니어 액츄에이터(10) 장착 방법의 순서도이다.

이하, 본원의 일 실시예에 따른 리니어 액츄에이터(10)에 대해 설명한다.

리니어 액츄에이터(10)는 하우징(100), 슬라이딩 레일(700), 볼스크류(200), 및 구동부(400)를 포함한다.

하우징(100)은 내부에 소정의 공간이 형성되고, 상부가 개방되고, 하부면에 길이방향을 따라 슬라이딩 홈이 형성된다. 예시적으로, 하우징(100)은, 도 1에 도시된 바와 같이, 전체적인 형상이 직사각형으로 형성되고, 내부에 볼스크류(200)가 구비되고, 상부면이 개방되어 개방된 면을 통해 후술되는 볼스크류(200)의 너트부(220)와 하우징(100)의 외부에 위치한 플레이트(300)가 서로 결합될 수 있다.

또한, 하우징(100)의 하부면에는 슬라이딩 레일(700)이 삽입되는 슬라이딩 홈(120)이 형성되어, 슬라이딩 홈(120)에 슬라이딩 레일(700)이 슬라이딩 결합된다. 이에 대한 상세한 설명은 후술하도록 한다.

볼스크류(200)는 회전축(210), 너트부(220), 및 복수의 볼(230)을 포함할 수 있으며, 이에 대한 상세한 설명은 후술하도록 한다.

회전축(210)은 하우징(100)의 내부에 위치하고, 길이방향으로 연장형성되고, 둘레면을 따라 나선형의 외주홈(211)이 형성된다. 다시 말해, 회전축(210)의 둘레면에는 일단에서 타단까지 나선형의 외주홈(211)이 형성될 수 있다.

또한, 도 2를 참조하면, 회전축(210)은 일단이 하우징(100)에 볼베어링(110)을 통해 고정되고, 타단이 구동부(400)에 직접연결되거나 후술되는 커플링(500)에 연결되어 구동부(400)로부터 구동력을 전달받을 수 있다.

너트부(220)는 회전축(210)이 삽입되고, 외주홈(211)과 마주하는 나선형의 내주홈(225)이 형성된다. 다시 말해, 너트부(220)는 회전축(210)이 삽입되는 홀이 천공되고, 천공된 홀의 내주면을 따라 나선형의 내주홈(225)이 형성될 수 있다. 또한, 너트부(220)는 회전축(210)이 회전함에 따라 회전축(210)의 길이방향을 따라 직선운동할 수 있다. 이에 대한 상세한 설명은 후술하도록 한다.

볼(230)은 회전축(210)의 외주홈(211)과 너트부(220)의 내주홈(225) 사이에 복수가 구비될 수 있다. 이에 따라, 너트부(220)는 회전축(210)의 회전함에 따라 좀 더 원활히 길이방향으로 이동될 수 있다.

또한, 너트부(220)는 전체적인 형상이 직육면체 형상으로 형성되고, 상부면에 플레이트(300)를 장착하기 위한 복수의 결합홈이 형성될 수 있다. 하지만 이에 한하지 않고, 너트부(220)는 상부면이 평평하게 형성되고, 하부는 소정의 형상을 가질 수 있다. 또한, 결합홈은, 도 1에 도시된 바와 같이, 상부면의 꼭지점 부근에 각각 형성될 수 있으나, 이에 한하지는 않는다.

리니어 액츄에이터(10)는 볼스크류(200)의 너트부(220)에 결합되는 플레이트(300)를 더 포함할 수 있다.

플레이트(300)는 너트부(220)에 체결부재를 통해 결합된다. 상세하게는, 플레이트(300)는 플레이트(300)를 관통하여 너트부(220)의 상부에 형성된 결합홈에 체결되는 결합부재를 통해 너트부(220)의 상부에 고정될 수 있다.

구동부(400)는 하우징(100)의 일측에 배치되어, 구동력을 발생시켜, 회전축(210)을 회전시킬 수 있다. 상술한 바와 같이, 구동부(400)는 회전축(210)에 직접 연결되어 구동력을 전달할 수 있으나, 이에 한하지 않고, 도 2에 도시된 바와 같이, 커플링(500)을 통해 회전축(210)에 구동력을 전달할 수도 있다.

볼베어링(110)은, 상술한 바와 같이, 회전축(210)의 일단에 위치하고, 회전축(210)이 회전가능하도록 지지할 수 있다. 이에 따라, 회전축(210)은 구동부(400)로부터 구동력을 전달받아 원활히 회전될 수 있다.

도 2를 참조하면, 리니어 액츄에이터(10)는 구동부(400)와 회전축(210)에 결합되어, 구동부(400)의 회전력을 회전축(210)으로 전달하는 커플링(500)을 더 포함할 수 있다.

다시 말해, 커플링(500)은 구동부(400)와 회전축(210)을 연결하고 토크를 전달하는 것으로서, 구동부(400)와 회전축(210) 간에 발생하는 미스얼라이먼트를 흡수하여 조립 조정 부하를 줄일 수 있다. 또한, 예기치 못한 과부하가 발생했을 때 커플링(500)이 파괴되고, 구동부(400)와 회전축(210) 간의 연결이 해제되어, 구동부(400) 및 장치 전체를 보호할 수 있다.

리니어 액츄에이터(10)는 하우징(100)의 일측면에 길이방향으로 소정의 거리 이격되어 각각 설치되는 위치 감지 센서(600) 및 플레이트(300)의 일측에 결합되고, 위치 감지 센서(600)에 하단부가 위치하는 피감지부(310)를 더 포함할 수 있다. 상술한 길이 방향이란 도 2의 12시 및 6시 방향일 수 있다.

상세하게는, 리니어 액츄에이터(10) 구동 시, 플레이트(300)는 길이방향으로 직선왕복운동하게 되며, 플레이트(300)가 이동됨에 따라 플레이트(300)에 부착된 피감지부(310)가 위치 감지 센서(600)에 도달할 경우, 리니어 액츄에이터(10)의 구동을 멈추거나 반대방향으로 회전하도록 제어할 수 있다. 또한, 위치 감지 센서(600)의 위치를 변경하여, 플레이트(300)의 이동 한계 지점을 설정할 수 있다.

이하, 도 3을 참조하여, 본 발명의 볼스크류(200)에 대해서 상세히 설명한다.

상술한 바와 같이, 볼스크류(200)는 회전축(210)의 외주홈(211)과 너트부(220)의 내주홈(225) 사이에 복수의 볼(230)이 위치하여, 복수의 볼(230)이 순환하면서, 회전축(210)의 구동력을 너트부(220)에 원활히 전달할 수 있다.

너트부(220)는 상부면의 중앙부에 내측방향으로 소정의깊이로 함몰형성되는 함몰부(222), 함몰부(222)의 내부에 위치하고, 볼스크류(200)의 볼(230)이 순환되는 순환로(223), 및 순환로(223)를 덮는 덮개부(224)를 포함할 수 있다.

상세하게는, 복수의 볼(230)은 회전축(210)의 외주홈(211)과 너트부(220)의 내주홈(225)을 따라 일측에서 타측 또는 타측에서 일측방향으로 이동할 수 있으며, 일측 단부까지 이동된 볼(230)은 순환로(223)를 따라 타측 단부로 이동될 수 있다. 또한, 볼(230)이 이탈되거나 변형될 경우, 덮개부(224)를 개방하여, 볼(230)을 추가하거나 볼스크류(200)를 수리할 수 있다.

이하, 도 4 내지 6을 참조하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 슬라이딩 레일(700)에 대해서 상세히 설명한다.

본 발명은 슬라이딩 레일(700)을 통해, 리니어 액츄에이터(10)가 테이블에 장착되는 것을 주요특징으로 한다. 이를 위해, 하우징(100)의 하부면에는 슬라이딩 레일(700)이 위치하며, 체결부재가 테이블을 관통하여 슬라이딩 레일(700)에 하부체결됨에 따라, 리니어 액츄에이터(10)가 테이블에 고정될 수 있다.

상세하게는, 슬라이딩 레일(700)은, 도 4를 참조하면, 하우징(100)의 하부면에 형성된 슬라이딩 홈(120)에 슬라이딩 결합될 수 있다.

또한, 슬라이딩 레일(700)이 슬라이딩 홈(120)에 손쉽게 결합되기 위해, 슬라이딩 레일(700)의 폭방향 측면에는 길이방향으로 연장되어 가이드 홈(730)이 함몰 형성되고, 슬라이딩 홈(120)의 폭방향 측면에는 가이드 홈(730)과 대응되는 형상으로 가이드 돌출부(121)를 돌출형성될 수 있다. 다시 말해, 슬라이딩 레일(700)의 가이드 홈(730)에 슬라이딩 홈(120)의 가이드 돌출부(121)를 삽입됨에 따라, 슬라이딩 레일(700)을 슬라이딩 홈(120)에 손쉽게 슬라이딩 결합할 수 있다. 상술한 폭방향이란 도 4의 4시 및 10시 방향일 수 있다.

또한, 슬라이딩 레일(700)은 하우징(100)에 고정되기 위해, 상하방향으로 천공된 복수의 결합홈(720) 및 결합홈(720)을 관통하여 하우징(100)에 결합되는 나사부(740)를 포함할 수 있다. 즉, 슬라이딩 레일(700)을 하우징(100)의 슬라이딩 홈(120)에 결합한 후, 슬라이딩 레일(700)의 결합홈(720)에 나사부(740)를 결합하여, 슬라이딩 레일(700)이 슬라이딩 홈(120)을 따라 이동되지 않도록 고정할 수 있다. 아울러, 결합홈(720)은 내부에 단차부가 형성되어, 나사부(740)는 슬라이딩 레일(700)의 하부로 돌출되지 않도록 하우징(100)에 결합될 수 있다.

또한, 슬라이딩 레일(700)은 길이방향을 따라 소정의 간격이 이격되어 형성되는 복수의 체결홈(710)을 포함할 수 있다. 리니어 액츄에이터(10)를 테이블에 설치할 경우, 결합부재를 테이블의 하부에서 테이블을 관통하여, 단부를 슬라이딩 레일(700)의 체결홈(710)에 결합하여, 리니어 액츄에이터(10)가 이동되지 않도록 테이블에 고정할 수 있다.

다시 말해, 리니어 액츄에이터(10)를 정밀하게 작동하기 위해서는 테이블 상에 하우징(100)의 하부면이 밀착되도록 설치하는데, 하우징(100)의 하부면을 평평하도록 연삭할 수 없기 때문에, 슬라이딩 레일(700)의 하부면을 연삭하여 평평하도록 하고, 슬라이딩 레일(700)을 하우징(100)의 하부에 결합한 후, 슬라이딩 레일(700)의 하부면이 테이블의 상부면이 밀착되도록 고정함에 따라, 리니어 액츄에이터(10)의 정밀성이 월등히 향상되는 효과가 있다.

본 발명의 일 실시예는 슬라이딩 레일(700)이 하우징(100)의 외부에 장착되는 것이 아니라, 하우징(100)의 내부에 장착되는 것이므로, 슬라이딩 레일(700)이 결합한다고 하더라도 리니어 액츄에이터(10)의 부피나 면적을 넓히지 않는다. 또한, 본 발명의 일 실시예는 슬라이딩 레일(700)이 이미 연삭된 금속 소재로 형성되어 있기 때문에, 슬라이딩 레일(700)을 장착한 후 별도의 연삭/연마 과정을 거칠 필요 없다. 종래의 경우, 액츄에이터의 하부에 추가로 장착된 브라켓은 하우징과 유사한 재질로 구성되어 있으며, 액츄에이터의 객체 장착시 발생될 수 있는 조립공차 등의 오차를 줄이기 위하여 브라켓이 장착된 액츄에이터에 대한 반드시 연삭/연마 과정을 거쳐야만 하는 불편함이 있다. 또한, 본 발명은 슬라이드 형태로 구성되어 있어, 슬라이딩 레일(700)을 하우징(100)에 장착시킬 때 매우 쉽게 결합할 수 있어, 조립 작업시 공정효율을 높일 수 있다. 또한, 슬라이딩 레일(700) 상에 나사가 결합될 수 있는 홀(710, 720)이 형성되어 있어, 나사를 통하여 리니어 액츄에이터(10)와 객체를 결합하고자할 때, 나사에 의한 돌출 부분이 별도로 발생되지 않는다. 종래의 액츄에이터의 경우 나사가 하우징의 외부에서 결합되는 형태로서, 나사가 외부에 그대로 노출되어 다른 부품들의 조립마진을 줄이게 되고 부피를 많이 차지하는 문제점이 있다.

이하, 도 7을 참조하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 리니어 액츄에이터의 장착 방법에 대해서 설명한다.

단계(S110)에서는 슬라이딩 레일(700)의 하부면을 평평하도록 연마할 수 있다.

단계(S120)에서는 하우징(100)의 하부에 슬라이딩 레일(700)을 슬라이딩 결합할 수 있다.

상세하게는, 슬라이딩 레일(700)의 가이드 홈(730)에 슬라이딩 홈(120)의 가이드 돌출부(121)를 삽입한 후, 슬라이딩 레일(700)의 결합홈(720)에 나사부(740)를 결합하여, 슬라이딩 레일(700)이 슬라이딩 홈(120)을 따라 이동되지 않도록 고정할 수 있다.

단계(S130)에서는 슬라이딩 레일(700)에 형성된 체결홈(710)에 체결부재를 결합하여, 리니어 액츄에이터(10)를 테이블에 장착할 수 있다.

상세하게는, 결합부재를 테이블의 하부에서 테이블을 관통하여, 단부를 슬라이딩 레일(700)의 체결홈(710)에 결합하여, 리니어 액츄에이터(10)가 이동되지 않도록 테이블에 고정할 수 있다. 이를 통해, 슬라이딩 레일(700)의 하부면과 테이블의 상부면이 완전히 밀착되어, 리니어 액츄에이터(10)의 정밀성이 월등히 향상될 수 있는 효과가 있다.

전술한 본원의 설명은 예시를 위한 것이며, 본원이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 본원의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 쉽게 변형이 가능하다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 예를 들어, 단일형으로 설명되어 있는 각 구성 요소는 분산되어 실시될 수도 있으며, 마찬가지로 분산된 것으로 설명되어 있는 구성 요소들도 결합된 형태로 실시될 수 있다.

본원의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본원의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.

10 : 리니어 액츄에이터
100 : 하우징 110 : 볼베어링
120 : 슬라이딩 홈 121 : 가이드 돌출부
200 : 볼스크류
210 : 회전축 211 : 외주홈
220 : 너트부
222 : 함몰부 223 : 순환로
224 : 덮개부 225 : 내주홈
230 : 볼
300 : 플레이트 310 : 피감지부
400 : 구동부
500 : 커플링 600 : 위치 감지 센서
700 : 슬라이딩 레일 710 : 체결홀
720 : 결합홀 730 : 가이드 홈
740 : 나사부

Claims (9)

1. 리니어 액츄에이터에 있어서,
   내부에 소정의 공간이 형성되고, 상부가 개방되고, 하부면에 길이방향을 따라 슬라이딩 홈이 형성된 하우징;
   상기 슬라이딩 홈에 슬라이딩 결합되는 슬라이딩 레일;
   상기 하우징의 내부에 위치하는 볼스크류;
   상기 볼스크류의 회전축의 일단에 위치하고, 상기 회전축이 회전가능하도록 지지하는 볼베어링;
   상기 하우징의 일측에 배치되어, 구동력을 발생시켜, 상기 볼스크류를 회전시키는 구동부;
   상기 구동부와 상기 볼스크류의 회전축에 결합되어, 상기 구동부의 회전력을 상기 회전축으로 전달하는 커플링;
   상기 볼스크류에 결합되는 플레이트;
   상기 하우징의 일측면에 길이방향으로 소정의 거리 이격되어 각각 설치되는 위치 감지 센서; 및
   상기 플레이트의 일측에 결합되고, 상기 위치 감지 센서에 하단부가 위치하는 피감지부를 포함하고,
   상기 플레이트가 이동됨에 따라 상기 피감지부가 상기 위치 감지 센서에 도달할 경우 상기 리니어 액츄에이터의 구동을 멈추거나 반대방향으로 회전하도록 제어하며, 상기 위치감지센서의 위치는 변경가능하도록 구성되어 상기 플레이트의 이동 한계지점이 변경가능하도록 설계되는 것이고,
   상기 슬라이딩 레일은
   상기 리니어 액츄에이터를 테이블에 고정하기 위해 길이방향을 따라 서로 소정의 간격이 이격되어 형성되는 복수의 체결홀;
   상하방향으로 천공된 복수의 결합홈 및
   상기 결합홈을 관통하여 상기 하우징에 결합되는 나사부를 포함하고,
   상기 결합홈은 내부에 단차부가 형성되어 상기 나사부가 상기 슬라이딩 레일의 하부로 돌출되지 않도록 구성되며,
   상기 나사부는 상기 슬라이딩 레일의 하부로 돌출되지 않도록 상기 하우징에 결합되며,
   상기 슬라이딩 레일은
   폭방향 측면에 각각 길이방향으로 연장되어 함몰 형성된 가이드 홈을 포함하고,
   상기 슬라이딩 홈은
   폭방향 측면에 상기 가이드 홈과 대응되는 형성으로 돌출 형성된 가이드 돌출부를 포함하는 것인 리니어 액츄에이터.
2. 삭제
3. 삭제
4. 삭제
5. 삭제
6. 삭제
7. 삭제
8. 삭제
9. 제1항에 따른 리니어 액츄에이터 장착 방법에 있어서,
   슬라이딩 레일의 하부면을 평평하도록 연마하는 단계;
   하우징의 하부에 상기 슬라이딩 레일을 슬라이딩 결합하는 단계; 및
   상기 슬라이딩 레일에 형성된 체결홈에 체결부재를 결합하여, 리니어 액츄에이터를 테이블에 장착하는 단계를 포함하는 리니어 액츄에이터 장착 방법.

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