KR19990006420A - 자기 헤드 연마 방법 및 장치 - Google Patents

자기 헤드 연마 방법 및 장치 Download PDF

Info

Publication number
KR19990006420A
KR19990006420A KR1019980016240A KR19980016240A KR19990006420A KR 19990006420 A KR19990006420 A KR 19990006420A KR 1019980016240 A KR1019980016240 A KR 1019980016240A KR 19980016240 A KR19980016240 A KR 19980016240A KR 19990006420 A KR19990006420 A KR 19990006420A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
polishing
grinding
grinding head
jig
workpiece
Prior art date
Application number
KR1019980016240A
Other languages
English (en)
Other versions
KR100459307B1 (ko
Inventor
신야 요시하라
신도히로시
요시아키 이토
마사오 야마구치
Original Assignee
사토 히로시
티디케이 가부시기가이샤
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 사토 히로시, 티디케이 가부시기가이샤 filed Critical 사토 히로시
Publication of KR19990006420A publication Critical patent/KR19990006420A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100459307B1 publication Critical patent/KR100459307B1/ko

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
    • G11B5/187—Structure or manufacture of the surface of the head in physical contact with, or immediately adjacent to the recording medium; Pole pieces; Gap features
    • G11B5/1871—Shaping or contouring of the transducing or guiding surface
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B1/00—Processes of grinding or polishing; Use of auxiliary equipment in connection with such processes
    • B24B1/04—Processes of grinding or polishing; Use of auxiliary equipment in connection with such processes subjecting the grinding or polishing tools, the abrading or polishing medium or work to vibration, e.g. grinding with ultrasonic frequency
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B41/00—Component parts such as frames, beds, carriages, headstocks
    • B24B41/06—Work supports, e.g. adjustable steadies
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B7/00—Machines or devices designed for grinding plane surfaces on work, including polishing plane glass surfaces; Accessories therefor
    • B24B7/10—Single-purpose machines or devices
    • B24B7/16—Single-purpose machines or devices for grinding end-faces, e.g. of gauges, rollers, nuts, piston rings
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B7/00—Machines or devices designed for grinding plane surfaces on work, including polishing plane glass surfaces; Accessories therefor
    • B24B7/20—Machines or devices designed for grinding plane surfaces on work, including polishing plane glass surfaces; Accessories therefor characterised by a special design with respect to properties of the material of non-metallic articles to be ground
    • B24B7/22—Machines or devices designed for grinding plane surfaces on work, including polishing plane glass surfaces; Accessories therefor characterised by a special design with respect to properties of the material of non-metallic articles to be ground for grinding inorganic material, e.g. stone, ceramics, porcelain
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
    • G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
    • G11B5/3103—Structure or manufacture of integrated heads or heads mechanically assembled and electrically connected to a support or housing
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
    • G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
    • G11B5/3109—Details
    • G11B5/3116—Shaping of layers, poles or gaps for improving the form of the electrical signal transduced, e.g. for shielding, contour effect, equalizing, side flux fringing, cross talk reduction between heads or between heads and information tracks
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
    • G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
    • G11B5/3163—Fabrication methods or processes specially adapted for a particular head structure, e.g. using base layers for electroplating, using functional layers for masking, using energy or particle beams for shaping the structure or modifying the properties of the basic layers
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T29/00—Metal working
    • Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
    • Y10T29/49002—Electrical device making
    • Y10T29/4902—Electromagnet, transformer or inductor
    • Y10T29/49021—Magnetic recording reproducing transducer [e.g., tape head, core, etc.]
    • Y10T29/49032—Fabricating head structure or component thereof
    • Y10T29/49048—Machining magnetic material [e.g., grinding, etching, polishing]
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T29/00—Metal working
    • Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
    • Y10T29/49002—Electrical device making
    • Y10T29/4902—Electromagnet, transformer or inductor
    • Y10T29/49021—Magnetic recording reproducing transducer [e.g., tape head, core, etc.]
    • Y10T29/49032—Fabricating head structure or component thereof
    • Y10T29/49048—Machining magnetic material [e.g., grinding, etching, polishing]
    • Y10T29/4905—Employing workholding means

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
  • Magnetic Heads (AREA)
  • Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)

Abstract

연마될 물건이 그라인딩 헤드 위로 수평으로 긴 지구를 장착하고 회전 구동되고 있는 그라인딩 디스크의 연마 면과 물건을 접촉하게 함으로써 연마되고 있는 경우에, 그라인딩 헤드의 모양은 그라인딩 헤드를 이동시키고 있는 동안에 그라인딩 헤드의 연마 면과 접촉하는 표면에 존재하는 조정 링과 그 위에 배열된 다수의 박막 자기 헤드를 가지고 있는 물건을 그 위에 파지하는 수평으로 긴 지그에 의해 제어된다. 그에 의해, 물건의 편평도는 개선되고, 연마될 물건에 형성될 많은 자기 헤드의 목 높이의 변화는 레퍼런스(reference)로써 그라인딩 디스크의 연마 면과 함께 물건의 자세를 제어되도록 함으로써 감소된다.

Description

자기 헤드 연마 방법 및 장치
본 발명은 그 위에 배열된 다수의 자기 헤드를 가지고 있는 피가공물을 연마하기 위한 장치 및 연마 방법에 관한 것이다.
컴퓨터의 디스크 구동 장치에서 사용되는 박막 자기 헤드를 제조하기 위한 종래의 배치(batch)형 공정에 있어서, 절단 중에 슬라이더로 되는 세라믹 바 위에 단일 배열로 정렬된 자기 박막을 포함하는 많은 전환 부를 가지고 있는 연마될 공작물이 연마되어, 전환 부 갭의 목 높이가 데이터 신호를 읽고 쓰기 위해 최적화될 값으로 설정될 수 있다.
자기 헤드의 목 높이가 연마 공정 중에 적절한 값으로 설정된 경우에 있어서, 연마될 공작물인 세라믹 바가 뒤틀려서 바람직하지 못한 굽힘을 가지게 되는 문제가 발생한다. 즉, 세라믹 바가 뒤틀리고 굽혀진 경우에는, 세라믹 바는 연마 장치의 그라인딩 디스크에 의해 균일하게 연마될 수 없다. 그러므로, 세라믹 바의 양 단부 상의 박막 자기 헤드의 목 높이는 너무 크거나 또는 너무 작아서 양 단부 상의 자기 헤드는 예를들어 세라믹 바의 중앙에 있는 박막 자기 헤드의 목 높이가 적절한 경우에도 결함을 가지게 된다.
이와같은 문제를 극복하기 위해서, 미합중국 특허 제5,620,356호에 개시될 자기 헤드 연마 장치는 세라믹 바가 그 위에 배열된 다수의 박막 자기 헤드의 목높이에 따라 변화는 저항을 측정하면서 그 굽힘을 수정함으로써 연마된다. 결과적으로, 세라믹 바에 형성된 각각의 박막 자기 헤드의 목 높이는 적절한 값으로 설정될 수 있다.
그런데, 미합중국 특허 제5,620,356호에서 제안된 바와같은 종래의 연마장치는 세라믹 바 위에 단일 배열로 정렬된 자기 박막을 포함하는 많은 전환 부를 가지고 있는 연마될 공작물을 판형이고 수평으로 긴 지그의 바닥면에 부착하고, 또한 이와같은 수평으로 긴 지그가 장치 측면에 배치될 후 판 상으로 장착되도록 구성되어 있다. 그러나, 이와같은 종래의 연마장치는 그 위에 장착될 수평으로 긴 지그를 가진 후 판의 모양은 레퍼런스로서 그라인딩 디스크의 연마 면과 함께 세팅되지 않는 문제를 가진다. 예를들어, 그라인딩 디스크의 연마 면이 수평인 경우에 후 판이 초기에 수평으로 세팅된 경우에 있어서, 연마 면이 수평이라는 사실은 공작물을 연마하는데 따른 정확도에 영향을 미친다(연마 면의 편평도가 감소하고, 목 높이의 변화가 증가하는 것 등).
본 발명은 전술된 환경의 견지에서 행해진 것이다. 그러므로, 본 발명의 목적은 그라인딩 디스크의 연마 면에 따라서 연마될 공작물의 모양을 제어하는 자기 헤드 연마 장치 및 자기 헤드 연마 방법을 제공하는 것이며, 따라서, 연마될 공작물의 편평도는 개선될 수 있으며 또한 공작물 위에 형성된 많은 자기 헤드의 목 높이의 변화가 감소될 수 있다.
상기 목적들을 달성하기 위하여, 본 발명의 자기 헤드 연마 방법에 따라서, 그 위에 정렬된 다수의 자기 헤드를 가지고 있는 연마될 공작물을 그 위에 파지하는 지그는 그라인딩 헤드 위로 장착되고, 그라인딩 헤드를 이동시키는 중에 회전구동되는 그라인딩 디스크의 연마 면과 공작물이 접촉되는 동안에 공작물이 연마되고, 그라인딩 헤드의 모양은 그라인딩 디스크의 연마 면과 면 접촉하는 조정 링을 사용하여 제어된다.
자기 헤드 연마 방법에 있어서, 그라인딩 헤드는 연속적으로 회전하게 될 수 있거나 또는 소정의 각도 내에서 반복적으로 스윙 운동할 수 있다.
또한, 연마되는 공작물은 조정 링이 회전하는 동안에 연마될 수 있다.
또한, 공작물은 그라인딩 헤드와 조정 링이 선형적으로 왕복 운동하는 동안에 연마될 수 있다.
본 발명의 제2 관점의 자기 헤드 연마 방법은 다음과 같은 방법으로 구성된다. ; 즉, 후 판 위로 정렬된 다수의 자기 헤드를 가지고 있고, 그라인딩 헤드, 경사부 및 후 판을 가지고 있으며, 상기 그라인딩 헤드는 회전 구동되는 그라인딩 디스크의 연마 면과 면 접촉하는 조정 링에 의해 제어되는 모양을 가지고 있고, 상기 경사 부는 그라인딩 헤드에 대하여 연마 면과 평행하게 뻗은 경사 축 둘레에서 경사질 수 있으며, 상기 후 판은 경사부에 대하여 수직으로 이동 가능한 수직 이동부의 하부에 회전 가능하게 부착된다;
연마 면에 대해 수직한 면으로 지그를 균일하게 지지함으로써, 후 판이 밸런싱 액츄에이터들과 회전 가능하게 부착되는 점의 양측에 각각 압축력을 인가함으로써, 그리고 수정 액츄에이터로 지그의 양 단부와 중앙부에 작동력을 인가함으로써 공작물에 부착된 다수의 자기 헤드를 연마하기 위한 제1 연마 공정을 수행하는 단계; 및
그라인딩 헤등 등에 대해 경사 부를 경사지게 한 상태에서 연마 면에 대해 수직한 평면으로부터 경사질 수 있도록 지그를 지지하여서 공작물의 바닥 면을 경사지게 하기 위한 제2 연마 공정을 수행하는 단계; 로 구성되며,
전술된 각 단계는 순차적으로 진행된다.
제2 자기 헤드 연마 방법에 있어서, 제2 연마 공정에서 연마되는 양이 센서를 사용하는 지그의 좌측 및 우측 단부의 위치를 탐지함으로써 탐지되는 것이 제안된다.
본 발명의 자기 헤드 연마 장치는 회전 구동되는 그라인딩 디스크; 그라인딩 디스크의 연마 면과 면 접촉할 수 있도록 지지되는 조정 링; 그 모양이 조정 링에 의해 제어되는 그라인딩 헤드; 연마 면과 평행하게 뻗은 경사 축 둘레에서 그라인딩 헤드에 대하여 경사질 수 있는 경사부; 경사 부를 기울어지게 하는 경사 수단; 경사부에 대하여 수직으로 이동 가능한 수직 이동 부의 하부에 회전 가능하게 부착된 후 판; 각각 후 판이 회전 가능하게 부착된 지점의 양 측에 압축력을 인가하는 밸런싱 액츄에이터; 그 위에 배열된 다수의 자기 헤드를 가지며, 연마될 공작물을 파지하기 위한 후 판 위로 장착되는 지그; 및 지그의 양 단부와 중앙부에 압축력을 인가하는 수정 액츄에이터로 구성된다.
자기 헤드 연마 장치에 있어서, 그라인딩 헤드와 조정 링은 그라인딩 디스크의 연마 면과 평행한 평면 내에서 이동 가능한 그라인딩 헤드 장착 프레임에 대해 회전 가능하게 지지될 수 있도록 하며, 그라인딩 헤드 장착 프레임 위에 배치된 스윙수단에 의해 소정의각도 범위 내에서 스윙 운동을 하도록 할 수 있다.
지그는 장착 수단에 의해 그 중앙 부분에 한 점에서 후 판 위로 장착될 수 있다.
또한, 지그의 좌 단부 및 우 단부의 위치를 탐지하기 위한 센서들이 배열될 수도 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예인, 자기 헤드 연마 방법 및 장치의 주요 부분의 전체적인 구성을 도시하는 정면 단면도.
도 2는 본 발명 실시예의 전체 구성을 도시하는 정면도.
도 3은 본 발명 실시예의 전체 구성을 도시하는 평면도.
도 4는 실시예의 주요 부분의 구성을 도시하는 정면도.
도 5는 수평으로 긴 지그의 좌측 및 우측의 양 단부의 위치를 탐지하기 위한 센서를 포함하는 실시예의 주요 부분의 구성을 도시하는 부분 생략 정면도.
도 6은 실시예의 주요 부분의 구성을 도시하는 측 단면도.
도 7은 실시예의 주요 부분의 구성을 도시하는 측면도.
도 8은 수평으로 긴 지그의 좌측 단부의 확대 단면으로, 실시예에서 수평으로 긴 지그 장착 부분인, 주요 부분을 도시하는 확대 측 단면도.
도 9는 수평으로 긴 지그의 중앙 부분의 단면을 가진 주요 부분에 대한 확대 측 단면도.
도 10은 그라인딩 헤드와 조정 링이 본 실시예에서 그라인딩 헤드 장착 프레임 위에 장착된 부분을 도시하는 정면 단면도.
도 11은 본 실시예에 사용되는 조정 링의 지면도.
도 12는 본 실시예에서 공작물을 테이퍼 작업하는 것을 보여주기 위해 연마되는 공작물을 도시하는 측 단면도.
도 13은 본 발명의 다른 실시예의 주요 부분의 구성을 도시하는 정면도.
도 14는 본 발명의 상기 다른 실시예에서 사용되는 조정 링의 저면도.
※도면의 주요부분에 대한 부호의 설명※
1: 베이스 테이블 2: 그라인딩 디스크
3: 판 구동 모터 4, 17: 벨트
5: 가이드 레일 6: 슬라이디
7: 그라인딩 헤드 장착프레임 8: 환형 베어링 부
9: 회전 지지 부 10: 그라이딩 헤드
11: 탄성 부재 12: 바닥 판
13: 수직 지지 판 14, 16: 벨트 폴리
20: 조정 링(마면 패드) 21: 링 메인 바디
22: 원통형 더미(dummy) 23, 24: 아치형 부분
30: 경사 부 31: 경사 축
32, 38: 지래대(fulcrum) 축 33: 모터 장착 베이스 부
34: 모터 35: 볼 베어링 리드스쿠루우
36: 너트 37: 암
40: 후(back) 판 41, 44: 지래대 축
43A, 43B: 밸런싱 액츄에이터 45: 벨(bell) 크랭크(레버)
46: 커플링 링크 48: 미끄럼 베어링(크로스롤러 가이드)
49: 수직 이동 부 50: 직사각형 판형부
51A, 51B, 51C: 컬럼형 돌출부 52: 단진(stepped) 표면
53: 장착 머신 스쿠루우 55: 측정핀
57: 상부 연장 부 60: 공작물
61: 세라믹 바 61a: 길이 방향 연장 측면
70: 수평방향으로 긴지그 71: 관통 공
72: 수정(correcting)공 80A, 80B, 80C: 수정 액츄에이터
81A, 81B, 81C: 회전축 82A: 암
83A: 구동 암 84A, 84B, 84C: 수직 이동 막대
85A: 수정 수직 이동 부재 86A, 86B, 86C: 수정 핀
90: 접촉 센서 91: 접점
본 발명의 일 실시예에 따른 자기 헤드 연마 방법 및 자기 헤드 연마 장치가 첨부 도면을 참고로하여 이하에서 설명된다.
도 1은 본 발명의 일 실시예의 주요 부분의 구성을 개략적으로 도시하고 있다; 제2도 및 제3도는 그 전체 부분의 구성을 상세하게 도시하고 있다; 제4도 내지 제7도는 그 주요 부분의 구성을 상세히 도시하고 있다.
우선, 일 실시예의 전체 구성을 제2도 및 제3도를 참고로하여 설명한다. 제2도 및 제3도에서, 부호(1)은 수평면 내에서 회전될 수 있도록 그라인딩 디스크(2)를 지지하는 베이스 테이블을 표시한다. 그라인딩 디스크(2)는 벨트(4)를 통해 면 판 구동모터(3)를 회전 구동시키며, 상기 면 판 구동모터(3)는 베이스판(1) 내에서 회전 구동원으로써 기능한다.
상기 베이스 테이블(1) 위에는 한 쌍의 가이드 레일(5)이 있다. 상기 한 쌍의 가이드 레일(5)은 베이스 테이블 측면에서 수평으로 지지된다. 제3도에 도시된 수평 이동 슬라이더(6)는 한 쌍의 가이드 레일(5)에 의해 미끄럼 가능하게 지지된다. 그라인딩 헤드 장착 프레임(7)은 수직 방향으로 이동될 수 있도록 수평 이동 슬라이더(6) 위에 장착된다(그라인딩 헤드 장착 플레임(7)이 자유롭게 높이를 조정할 수 있도록 상하로 구동된다). 수평 이동 슬라이더(6)는 예를들어, 가이드 레일들(5)과 평행하게 뻗은 볼 베어링 리드스크루우를 슬라이디(6) 위에 있는 너트와 나사 결합시킴으로써 그리고 모터로 볼 베어링 리드스크로우를 회전하도록 구동함으로써 구동된다. 슬라이더(6)와 그라인딩 헤드 장착 프레임(7)은 왕복 선형 운동을 한다.
도 1 및 도 10에 도시된 바와같이, 회전 지지 부(9)는 환상 베어링 부(8)를 통해 그라인딩 헤드 장착 프레임(7) 내측에 회전 가능하게 지지되고, 그라인딩 헤드(10)는 평판 스프링 또는 고무와 같은 탄성 부재(11)를 통해 회전 지지 부(9)에 장착된다. 그라인딩 헤드(10)는 서로 평행하게 뻗고 바닥 판(12) 위에 세워져 고정된 바닥 판(12)과 수직 지지 판(13)들을 가지고 있다. 조정 링(마멸 패드)(20)은 바닥 판(12)의 바닥 면에 고착된다. 조정 링(20)은 그라인딩 디스크(2)의 상부 면인 연마 면(2a)과 면 접촉하게 된다. 벨트 풀리(14)는 회전 지지부(9)에 고착되고, 제2도 및 제3도에 도시된 바와같이, 벨트 풀리(14)16)를 회전 구동하기 위한, 그라인딩 헤드 스윙 모터(15)는 그라인딩 헤드 장착 프레임(7) 외측에 장착되어 있다. 벨트(17)는 벨트 풀리들(14)(16) 사이에 실지된다. 스윙 모터(15), 벨트 풀리들(14)(16) 및 벨트(17)는 그라인딩 헤드(10)와 조정 링(20)으로 하여금 소정의 각도 범위내에서 스윙 운동을 하도록 하는 스윙 수단으로서 기능한다.
도 11은 조정 링(20)의 저면도이다. 조정 링(20)은 원호부들(23)(24)이 부착되는 알루미늄으로 만들어진 링 메인 바디(21)에 의해 형성된다. 마멸 저항 세라믹으로 만들어진 많은 원통형 더미들(22)은 원호부들(23)(24) 내로 끼워지고, 원통형 더미들(22)의 하단면은 원호 부들(23)(24)로부터 약간 돌출된다. 여기에서, 원통형 더미들(22)의 개수는 조정 링(20) 위에 장착된 그라인딩 헤드(10)의 무게에 대하여 균형을 맞출수 있도록 설정된다. 제11도의 경우에 있어서, 그라인딩 디스크(2)와 면 접촉하는 조정 링(20)의 원호 부들(23)(24) 중에서 원호 부(23)가 그라인딩 헤드(10)로부터 더 많은 양의 부하를 받기 때문에, 원호 부(23) 상의 원통형 더미들(22)의 개수는 원호 부(24) 상의 더미들(22)의 개수보다 많게 만들어진다.
도 4 내지 도 7에 도시된 바와같이, 경사 부(30)는 경사 축(31) 주위에서 경사질 수 있도록 경사 축(31)에 의해 그라인딩 헤드(10)의 수직 지지 판들(13) 사이에 있는 그라인딩 헤드(10) 위로 장착된다. 경사 축(31)은 조성 링(20)의 하부면(즉, 그라인딩 디스크(2)의 연마 면(2a))에 대해 평행하게 뻗는다. 도 6 및 도 7에 도시된 바와같이, 모터장착베이스부(33)의 하부를 지래대축(32)에 의해 그 그라인딩헤드(10)의 수직지지판(13)의 측면에 회전가능하게 장착되고, 경사모터(34)는 모터 장착베이스 부(33)의 상부면에 고정된다. 볼 베어링 리드스크루우(35)는 모터(34)의 회전 구동 축에 연결되고, 너트(36)는 볼 베어링 리드스크루우와 나사 결합한다. 경사 부(30)에 고정된 암(37)은 지래대 축(38)에 의해 너트(36)와 결합한다. 지래대 축(32) 내지 지래대 축(38)을 포함하는 기구는 경사 부(30)가 그라인딩 디스크(2)의 연마 면(2a)에 대해 직립으로 서 있는 상태에서 소정의 각도 만큼 경사 부(30)를 기울게 하는 경사 수단을 구성한다.
수직 이동 부(49)는 경사 부(30)를 따라 수직으로 이동될 수 있도록 미끄럼 베어링(크로스 롤러 가이드)(48)을 통해 경사 부(30) 위로 장착된다. 그러나, 수직 이동 부(49)는 경사 부(30)와 일체적으로 기울어지고, 따라서 경사 부(30)와 수직 이동 부(49)는 서로 평행을 유지한다. 후 판(40)은 지래대 축(41)에 의해 수직 이동 부(49)의 하단부에 회전 가능하게 장착된다. 지래대 축(41)은 그라인딩 디스크(2)의 연마 면(2a)과 평행하게 그리고 경사 축(31)과는 직각으로 뻗는다. 밸런싱 액츄에이터들(43A)(43B)은 도4 및 도5에 도시된 바와같이 경사 부(30)의 상부 위로 장착된다. 밸런싱 액츄에이터들(43A)(43B)은 후 판(40)의 지래대 축(41)의 좌측 및 우측 아래로 압축되도록 한다(압력을 가한다). 제6도에 도시된 바와같이, 밸런싱 액츄에이터들(43A)(43B)의 구동 축들은 지래대 축들(44)에서 경사 부(30)로 저널(journal)된 벨 크랭크(레버)들 (45)의 단부에 연결된다. 커플링 링크들(46)은 벨 크랭크들(45)의 다른 단부들과 후 판(40)의 좌, 우 측면을 연결한다. 좌, 우 커플링 링크들(46)이 후판(40)위로 회전가능하게 장착되는 점들이 L과 R이다. 수직이동부(49), 후 판(40), 수평으로 긴 지그(70) 등을 포함하는 수직 이동 부의 중량이 충분히 크다면, 일정한 경우에 있어서 밸런싱 액츄에이터의 압축력은 음의 값(증가하는 힘)으로 설정될 수 있다. 단진 기둥형 돌출부들(51A)(51B)(51C)은 직사각 판형 부(50)의 정면 위로 직사각 판형의 수평으로 긴 지그(70)를 장착할 수 있도록 도4 및 도5에 도시된 바와같이 직사각 판형 부(50)의 중앙 부분 및 좌, 우측 단부 위에서 일체적으로 배열되고, 직사각 판형 부(50)는 판(40)의 하부를 구성하며, 수평으로 긴 지그(70)는 도 8 및 도 9에 도시된 바와같이 그 바닥면에 부착된 공작물을 가지고 있다. 도 8 및 도 9에 도시한 바와같이 각각의 단진 기둥형 돌출부(51A)(51B)(51C)들은 이와같이 단진 표면(52)에서 소경 부(가는 지름 부)로 그 정면 단부 축을 형성하는, 그 중앙에 단진 표면(52)을 가지고 있다. 수평으로 긴 지그(70)는 단진 기둥형 돌출부들(51A)(51B)(51C)의 정면단부 위에 소경 부에 상당하는 (정면 단부와 결합하는) 관통공들(71)을 가지고 있으며, 수평으로 긴 지그(70)의 후면은 각각의 단진 기둥형 돌출부들(51A(51B)(51C)의 단진 표면들(52)과 접촉할 수 있도록 지지된다. 제9도에 도시된 바와같이 장착 머신 스쿠루우(53)에 의해 나사 결합되는 중앙에 단진 기둥형 돌출부(51C)의 정면 단부 면만 존재하는다는 것이 주목된다; 즉, 직사각 판형의 수평으로 긴 지그(70)는 한점에서 이탈되지 않도록 파지된다. 여기서 수평으로 긴 지그(70)의 장착 관통 공(71)은 각각의 단진 기둥형 돌출부들(51A)(51B)(51C)의 정면 단부들 위에 있는 소경부들보다 약간 클 수 있도록 형성되고, 따라서 수평으로 긴 지그(70)는 어느 정도 후 판(40)의 직사각 판형 부(50)에 대하여 지그가 수직으로 이동될 수 있도록 파지될 수 있다.
수평으로 긴 지그(70)의 바닥면에 부착되는(접착제에 의해 부착되는) 공작물(60)은 홀쭉한 사각 세라믹 바 위에 단일 절렬로 자기 헤드의 많은 전환부를 배열함으로써 형성되고, 각각의 전환부는 자기 박막 패턴으로 형성된다. 세라믹 바는 조각으로 분리되는 동안에 박막 자기 헤드들의 슬라이더들을 구비한다. 전환부들의 자기 박막 패턴들은 세라믹 바(61)의 한 개의 길이 방향으로 뻗은 측면(61a) 위에 정렬된다. 그러므로, 세라믹 바(61)의 바닥면을 연마함으로써, 길이 방향으로 뻗은 측면(61a)에 배치된 전환부들의 목 높이들은 변경(감소)될 수 있다.
도1 및 도4에 도시된 바와같이, 수정 액츄에이터들(80A)(80B)(80C)은 수평으로 긴 지그(70)의 바닥면에 부착된 공작물(60)의 굽힘들 또는 변형을 수정하기 위하여 후 판(40)의 측면에 장착된다. 수정 액츄에이터(80A)는 작동렬을 수평으로 긴 지그(70)의 좌측 단부에 부가하고, 후 판(40)과 일체적으로 형성된 상부확장 부(57)의 상부 상에 회전 가능하게 지지되는 회전 축(80A)에 고착된 암(82A)을 회전할 수 있도록 설계된다. 구동 암(83A)은 회전 축(81A)에 고착되어 있다. 수직이동막대(84A)의 상단부는 회전 가능하게 부착된 점(P)에서 구동암(83A)에 연결된다. 수정 수직이동부재(85A)는 수직이동막대(84A)의 하단부에 고착된다. 제8도에 도시된 바와같이, 수정 수직이동부재(85A)는 직사각 판형 부(50) 위로 장착되는 수평으로 긴 지그(70)와 후 판(40)의 직사각 판형 부(50) 사이의 갭을 따라 수직으로 미끄러질 수 있다. 수정 구멍(72)은 수평으로 긴 지그(70)의 좌측 단부에 배치된다. 그러므로, 암(82a)을 회전시키고 구동암(83A)과 수직 이동막대(84A)를 통해 수직 방향으로 미세하게 이동하는 수정 판(86A)을 가지고 있는 수정 수직이동부재(85A)에 의해, 수평으로 긴 지그(70)의 좌측 단부의 높이와 수평으로 긴 지그(70)에 고착된 공작물의 좌측 단부의 높이는 미세하게 변화될 수 있다.
수정 액츄에이터(80B)는 작동력을 수평으로 긴 지그(70)의 우측 단부로 부가한다. 그에 필요한 기구는 수정 액츄에이터(80A)의 기구와 유사하다. 즉, 상부확장 부(57)에 의해 회전 가능하게 지지되는 회전 축(81B)에 고착된 암(82B)을 회전시킴으로써, 수정 판(86B)을 가지고 있는 수정 수직이동부재(85B)는 구동암(83B)과 수직이동막대(84B)를 통해 수직 방향으로 미세하게 이동될 수 있도록 구동된다.
수정 액츄에이터(80C)는 수평으로 긴 지그(70)의 중앙부에 작동력을 부가한다. 그것에 필요한 기구는 수정 액츄에이터(80A)의 기구와 유사하다. 즉, 상부 연장 부(57)에 의해 회전 가능하게 지지되는 회전 축(81C)에 고착된 암(82C)을 회전시킴으로써, 중앙에 수정 핀(86C)을 가지고 있는 수정 수직이동부재(85C)는 제9도에 도시된 바와같이 수직 이동막대(84C)와 구동암(83C)을 통해 수직 방향으로 미세하게 이동될 수 있도록 구동된다.
수정 액츄에이터들(80A)(80B)의 작동력을 수평으로 긴 지그(70)의 중앙 부분으로 부가함으로써, 수평으로 긴 지그(70)의 바닥면에 부착된 공작물(60)의 굽힘 및 변형은 수정될 수 있다.
연마 작업은 공작물(60)이 될 사각 세라믹 바(61)의 한 개의 길이 방향으로 뻗은 측면(61a)을 따라 배열된 자기 박막으로 만들어진 자기 헤드의 각각의 전환부들 목 높이를 최적으로 설정할 수 있도록 예를들어 소정의 사이클에서 세라믹 바(61)의 중앙부에 배치된 전환 부들과 좌, 우측 단부에 배치된 전환부들의 목 높이에 상당하는 전기 저항을 측정하는 가운데 수행된다는 것이 주목될 수 있다. 상세히 설명되지는 않았지만, 전환부에 전기적으로 연결된 전극들은 후 판(40)의 측면위에서 직사각 판형 부(50)에 대면하는 수평으로 긴 지그(70) 표면 위에 형성되고, 전극들은 직사각 판형 부(50) 위에 형성된 측정핀들(55)에 연결된다. 측정핀들(55)은 도시되지 않은 전기 저항 측정수단에 연결된다.
도5 및 도7에 도시된 바와같이, 접촉 센서들(90)은 패스터(fastener)들에 의해 일체화된 상부 연장 부(57)의 우측 모서리와 좌측 모서리에 고정된다. 접촉 센서들(90)은 후 판(40)의 직사각 판형 부(50) 위로 장착되는 수평으로 긴 지그(70)의 좌, 우측 단부의 위치들(수평으로 긴 지그(70)의 좌, 우측 단부들의 위치들과 실질적으로 대응하는 상부 연장 부(57)의 좌, 우측 모서리들의 위치)을 탐지하기 위해 구비되어 있다. 각 접촉센서(90)의 접점의 끝을 그라인딩 헤드(10)의 상당수직 지지판(13) 위에 형성된 돌출된 상부면과 접촉한다. 접촉센서(90)는 접점(91)의 돌출량에 비례하는 캐패시턴스 변화를 만들어낸다. 다른 탐지 원리에 따라 동작하는 센서들도 사용될 수 있다. 2개의 접촉 센서들(90)들이 상부 연장부(57)의 좌, 우측 모서리들의 높이를 탐지하기 위해 채용되는 이유(수평으로 긴 지그(70)의 좌, 우측 단부들의 위치가 각각 간접적으로 탐지되는 이유)는 좌, 우 양측에서의 균형과 연마량을 탐지하기 위한 것이라는 것이 주목될 수 있다.
본 실시예의 전반적인 동작이 이하에서 설명된다.
다수의 박막 자기 헤드들이 도8 및 도9에 도시된 바와같이 배열된 공작물(60)을 파지하는 수평으로 긴 지그(70)는 도2 및 도3에 도시된 바와같은 그라인딩 디스크(2)에 떨어져 있는 그라인딩 헤드(10)에 의해 후 판(40)의 직사각 판형 부(50) 위에 장착된다. 그라인딩 헤드(10)에 대한 후 판(40)의 경사 각도는 초기에 영(0)(조정 링(20)의 바닥면에 대하여 수직; 즉, 그라인딩 디스크의 연마면에 대하여 수직한 위치)으로 설정된다.
후 판(40)의 경사 각도가 설정되고 수평으로 긴 지그(70)가 장착되었을 때, 그 위에 장착된 그라인딩 헤드(10)를 가지고 있는 그라인딩 헤드 장착 프레임(7)은 가이드 레일들(5)을 따라 선형적으로 이동될 수 있게 되고 그에 의해 그라인딩 헤드 장착 프레임(7)을 회전 구동되고 있는 그라인딩 디스크(2) 위에 위치시킨다. 다음에, 그라인딩 헤드 장착 프레임(7)은 조정 링(20)이 적절한 압축력으로 그라인딩 디스크(2)의 상부면의 연마면(2a)과 면 접촉하도록 밑으로 내려온다. 적절한 압축력을 가지고 그라인딩 디스크(2)의 연마면(2a)과 면 접촉하는 조정 링(20)에 의해서, 조정 링(20) 위에 있는 그라인딩 헤드(10)의 모양은 레퍼런스로써 연마면에 의해 제어된다. 조정 링(20)의 바닥 면 위에 수직으로 설정된 경사부(30), 후 판(40)의 직사각 판형 부(50) 및 직사각 판형 부(50) 위에 장착된 수평으로 긴 지그(70)는 연마 면에 대하여 수직 면을 형성한다. 이와같은 조건하에서, 밸런싱 액츄에이터들(43A)(43B)과 함께 후 판의 측면위에서 직사각 판형부(50)의 회전 가능 부착점으로서 기능하는 지래대 축(41)의 양 측면 상에 인가되는 압축력뿐만 아니라 수직 방향의 작동력이 수정 액츄에이터들(43A)(43B)(43C)에 의해 수평으로 긴 지그(70)의 양 단부와 중앙부에 인가되고, 따라서 제1연마 동작은 공작물에 있는 (세라믹 바(61)의 길이 방향 연장측면(61a) 위에 형성된) 각각의 박막 자기 헤드들의 전환부의 목 높이를 최적으로 설정하기 위하여 수행될 수 있다. 만일, 예를들어, 공작물(60)이 돌출면을 형성할 수 있도록 아래로 굽혀진다면, 수평으로 긴 지그(70)의 좌·우 단부들에 작용하는 수정 액츄에이터(80A)(80B)이 상기 지그(70)의 좌·우 단부 부분을 하향으로 누르도록 작동될 뿐만아니라, 그 중앙 부분에 작용하는 수정 액츄에이터(80C)의 동작도 정지되거나 또는 서서히 느려지고, 따라서 공작물(60)의 하부는 평평하게 만들어질 수 있다. 또한, 밸런싱 액츄에이터들(43A)(43B)은 공작물(60)의 좌·우 양 측면의 연마량을 균일하게 만들기 위해서 뿐만아니라, 연마면(2a)을 향해 공작물(60)을 전진시키기 위해 공작물(60)의 좌·우 양 측면에 가해지는 압축력을 조정한다.
만일 조정링(20)이 제1연마 공정중에 동일한 점에서 그라인딩 디스크(2)와 접촉한다면, 한 쪽 연마가 야기된다. 이와같은 문제를 해결하기 위하여, 그 위에 장착된 조정 링(20)과 그라인딩 헤드(10)를 가지고 있는 회전지지 부(9)가 그라인딩 헤드 오실레이팅 모터(15)에 의해 소정의 각도 범위내에서 두가지 방법으로 회전될 뿐만아니라, 그라인딩 헤드 장착 프레임(7)은 소정의 범위내에서 전형적으로 전·후로 이동하게 된다. 그러므로, 제1연마 공정중에, 그라인딩 헤드(10)와 조정 링(20)은 양 방향으로서 회전 운동이 양 방향에서의 전형 운동과 중첩되는 운동을 만든다.
자기 박막으로 만들어진 자기 헤드들의 전환부는 제8도 및 제9도에 도시된 바와같이 사각 세라믹 바(61)의 길이 방향으로 뻗은 측면(61a) 위에 배열된다. 전환부의 목 높이는 상당 전환부의 전기 저항을 측정하여서 탐지된다. 순환적으로 각각의 전환부의 전기 저항을 측정하는 중에 제1연마 공정을 수행함으로써, 각각의 박막 자기 헤드의 목 높이는 균일하게 만들어질 수 있고 최적으로 설정될 수 있다.
각각의 박막 자기 헤드의 목 높이를 균일하게 만들고 최적으로 설정하는 제1연마 동작후에, 제12도에 도시된 바와같이 수평면에 대하여 최대 약 3°경사진 공작물(60)인 사각 세라믹 바(61)의 바닥면(61b)을 가지게 하는 제2연마 공정이 수행된다(제2연마 공정은 밑줄친부분(Q)을 제거함으로써 사각 세라믹 바(61)의 바닥 면(61b)을 경사지게 하는 경향이 있다). 즉, 경사모터(34)를 동작시킴으로써, 경사부(30)와 후판(40)은 이들 부재들(30)(40)이 그라인딩 디스크(2)의 연마면(2a)에 대해 수직면을 형성한 상태에서 최대 약3°인 소정의 각도를 형성하기 위하여 경사진다. 그들간의 관계에 있어서, 후판(40)의 직사각 편형부(50)와 직사각 판형부(50) 위에 장착된 수평으로 긴 지그(70)는 연마면에 대하여 수직면으로부터 일정 각도만큼 기울어져 있다. 이와같은 조건하에서, 슬라이더로 되는 세라믹 바(61)의 바닥면부는 회전하는 그라인딩 디스크(2)에 의해 연마된다. 또한, 후판(40)과 일체화된 상부 연장부(57)의 좌·우측 모서리들 상의 위치탐지동작을 수행하는 좌·우 측면위에서 접촉 센서(90)에 의해 탐지된 연마량이 소정의 값에 도달했을 때, 연마동작이 종료된다. 그라인딩 헤드(10)와 조정링(20)이 제1연마 공정과 유사하게 중첩 동작을 하도록 한다는 것이 제안될 수 있다 ; 즉, 이들 부재들(10)(20)은 양방향으로의 회전운동이 제2연마 공정에서의 양 방향으로의 선형운동과 중첩되는 운동을 만들도록 한다는 제안이 있을 수 있다.
본 실시예에 의해 다음과 같은 장점들이 얻어질 수 있다.
(1) 그 위에 배열되는 다수의 박막 자기 헤드를 가지고 있는, 공작물(60)을 그 위에서 파지하는 수평으로 긴 지그(70)가 그라인딩 헤드(10) 위에 장착되고 공작물(60)이 그라인딩 헤드(10)을 이동시키는 중에 회전하는 그라인딩 디스크(2)의 연마면(2a)과 공작물(60)을 접촉하도록 하기 위하여 연마되는 경우에, 그라인딩 헤드(10)의 모양은 그라인딩 디스크(2)의 연마면과 면 접촉하는 조정 링(20)에 의해 제어된다.
(2) 그라인딩 헤드(10)의 하중 분포에 따라 조정 링(20)의 원통형 더미들(20)의 개수를 선택함으로써, 조정 링(20)의 한쪽 면의 마모가 방지될 수 있고, 이것은 공작물(60) 바닥면의 편평도를 개선하는 데 이바지한다.
(3) 그라인딩 헤드(10)와 조정 링(20)은 회전 운동이 그라인딩 디스크(2)의 연마면(2a)에 평행한 평면내의 양방향으로의 선형운동과 중첩하는 운동을 만들 수 있고, 이것은 조정 링(20)의 한쪽면의 마모를 방지하는데 뿐만아니라 공작물(60) 바닥면의 평평도를 개선하는 데도 이바지한다.
(4) 공작물(60)인 사각 세라믹 바(61)는 그 중앙부에 있는 단일 점에서 후판(40)의 직사각 판형부(50)에 부착된다. 그러므로, 사각 세라믹 바(61)가 회전 방향으로의 비틀림을 가지고 있는 경우에도, 사각 세라믹 바(61)는 이와같은 비틀림을 수정하지 않고 파지된 상태에서 연마될 수 있다. 결과적으로, 비틀림에 의해서는 어떠한 결함도 야기되지 않는다. 만일 사각 세라믹 바(61)가 그 좌·우 단부 위의 2개의 점들에 부착된다면, 사각 세라믹 바(61)는 강제적으로 수정되는 그 비틀림에 의해 후판(40)에 부착된다. 결과적으로, 사각 세라믹 바(61)가 연마 공정이 끝난 후에 후판(40)에서 제거될 때, 사각 세라믹 바(61)는 다시 비틀리게 된다. 따라서, 사각 세라믹 바(61)가 불완전하게 될 개연성이 있다.
(5) 후 판(40)은 지래대 축(41)에 의해 후 판(40)의 하부에 더욱 근접한 위치에서 수직이동부(49)에 장착되고, 수직이동부(49)는 경사부(30)에 대하여 수직으로 이동될 수 있다. 그러므로, 직사각 판형부(50)에 장착되는 수평으로 긴 지그(70)와 후 판(40)의 하부에서의 직사각 판형부의 위치는 안정화될 수 있다.
(6) 2개의 접촉 센서로 후 판(40)에 장착될 수평으로 긴 지그(70)의 좌·우 양 단부의 위치를 간접적으로 탐지함으로써, 연마량과 제2연마 공정(슬라이더를 경사지게 하는 공정) 중에 좌·우 측면 사이의 균형이 탐지될 수 있다. 또한, 탐지된 결과는 연마동작 등의 자동정지 제어를 달성하기 위해 이용될 수 있다.
제13도와 제14도는 본 발명의 다른 실시예를 도시한다.
제13도와 제14도는 그라인딩 헤드(10)에 대해 조정 링(100)을 회전 가능하게 지지하고 한쪽 마모를 방지하기 위한 구성을 도시하고 있다. 제13도 및 제14도에서, 회전지지부(9)는 그라인딩 헤드 장착 프레임(7) 내측에 있는 환상의 베어링부(8)를 관통해 회전 가능하게 지지되고, 그라인딩 헤드(10)는 평판 스프링 또는 고무와 같은 탄성부재(11)를 통해 회전 지지부(9)에 장착된다. 대경 스퍼 기어(111)는 환상의 베어링부(110)를 통해 그라인딩 헤드(10) 하부의 외주부에 회전 가능하게 지지된다. 조정 링(100)은 스퍼 기어(111)에 고정된다. 반면에, 조정 링 회전모터(112)는 그라인딩 헤드 장착프레임(7) 외측에 존재한다. 모터(112)의 회전축에 고착된 스퍼 기어(113)는 조정링의 측면위에서 스퍼 기어(111)와 맞물린다.
제14도는 조정링(100)의 저면도이다. 예를들어, 조정링(20)은 알루미늄으로 만들어진 링 메인 몸체(101)내로 마모 저항 세락믹으로 만들어진 많은 수의 원통형 더미들(102)을 파묻음으로써 형성된다. 원통형 더미들(102)의 바닥 단면들은 링 메인 몸체(101)로부터 약간 돌출되어 있다. 여기에서, 더미들(102)은 조정링(100)이 연마 동작중에 회전하기 때문에 조정링(100) 위에 고르게 분포되어 있다.
양 기어들이 맞물릴 때 스퍼 기어들(111)(112) 사이에 구비되도록 되어 있는 약간의 갭이 조정 링(100)이 그라인딩 디스크(2)의 연마면(2a)과 점 접촉하는 것을 방지하지 않는다. 또한, 그라인딩 헤드(10)가 평판 스프링 또는 고무등과 같은 탄성부재(11)을 통해 장착되기 때문에, 그라인딩 헤드(10)의 바닥판(12)은 그것과 밀착할 수 있도록 조정링(100) 위에 배치된다. 그러므로, 그라인딩 헤드(10)의 모양은 레퍼런스로서 조정링(100)에 의해 세팅되고, 따라서 레퍼런스로서 연마면(2a)에 의해 세팅된다.
본 실시예의 다른 구성적 관점은 전술된 실시예의 것과 유사하다는 것이 주목될 수 있다.
제13도 및 제14도에 도시된 실시예에서, 그라인딩 헤드(10)가 양방향으로 회전 운동을 일으키도록 할 뿐만아니라, 조정링(100)은 조정링 회전 모터(112)에 의해 기어 기구를 통해 구동되고 회전될 수도 있다. 그러므로, 조정링(100)이 한쪽 마모가 방지될 수 있고, 이것은 연마 공정이 변화가 없을 뿐만아니라 충족될 수 있는 바람직한 편평도를 제공할 수 있도록 해준다.
전자석 액츄에이터들이 밸런싱 액츄에이터들(43A)(43B) 및 수정 액츄에이터들(80A)(80B)(80C)로 채용될 수 있고, 반면에 예를들어 유압실린더와 같이 다른 원리에 의해 작동되는 액츄에이터들도 채용될 수 있다.
또한, 그라인딩 디스크의 회전 속도와 방향은 변경될 수 있으며, 그라인딩 디스크의 온도는 온도 제어에 의해 안정화될 수 있다.
더욱이, 그라인딩 헤드가 소정의 각도 범위내에서 양방향으로 회전되는 경우가 설명되었지만, 그라인딩 헤드가 양방향으로 회전(스윙)하는 이유는 (와이어가 비틀림에 의해 절단되는 것을 방지하기 위하여) 그라인딩 헤드 위에 배치된 모터로의 열전도를 용이하게 하기 위한 것이다. 그러므로, 그라인딩 헤드는 모터로의 열전도가 슬립 링들과 같은 열전도 수단을 배열함으로써 변화될 수 있는 한 일방향으로 연속적으로 회전할 수있도록 구동될 수 있다.
앞서 설명한 것은 본 발명의 실시예이다. 본 발명은 전술된 실시예에 제한되지 않고, 또한 본 발명은 변경될 수 있으며 다양한 모드로 변화될 수 있음은 당해 기술 분야의 당업자들에게는 명백한 것이다.
전술된 바와같이, 본 발명은 그라인딩 헤드의 모양이 레퍼런스로서 이와같은 연마면을 사용하는 그라인딩 디스크의 연마면과 면 접촉하는 조정링에 의해 제어되도록 되어 있는 점에서 특징이 있다. 그러므로, 연마될 공작물을 연마하는 작업은 연마면에 대한 공작물의 모양을 제어하면서 공작물에 (중량 이외에) 기계적인 압축력을 인가함으로써 수행될 수 있다. 또한, 정확하게 공작물의 모양 제어를 수행함으로써, 공작물 바닥면의 편평도가 개선될 뿐만아니라 각각의 자기 헤드의 전환부의 목 높이에서의 변화는 목 높이가 최적으로 설정될 수 있도록 감소될 수 있다.

Claims (10)

  1. 다수의 자기헤드가 배열된 피가공물을 유지하는 지그를 그라인딩헤드(10)에 부착하는 단계;
    그라인딩 디스크(2)의 연마면(2a)과 면 접촉하는 조정링(20)(100)으로 그라인딩 헤드(10)의 자세를 제어하는 단계; 및
    그라인딩 헤드(10)를 이동하는 동안에 구동되고 회전되는 그라인딩 디스크(2)의 연마면(2a)과 피가공물을 접촉하게 하면서 공작물을 연마하는 단계; 로 구성되는 것을 특징으로 하는 자기 헤드 연마 방법.
  2. 제 1항에 있어서,
    그라인딩 헤드(10)가 소정의 각도 범위내에서 각각 스윙 운동하거나 또는 연속적으로 회전하게 되는 것을 특징으로 하는 자기 헤드 연마 방법.
  3. 제 1항 또는 제2항에 있어서,
    조정링(20)(100)이 회전되게 하는 것을 특징으로 하는 자기 헤드 연마 방법.
  4. 제 1항 또는 제2항에 있어서,
    그라인딩 헤드(10)와 조정링(20)(100)이 선형적으로 왕복 운동하게 되는 것을 특징으로 하는 자기 헤드 연마 방법.
  5. 그라인딩 헤드(10), 경사부(30) 및 후 판(40)을 사용하여, 그 위에 배열된 다수의 자기 헤드를 가지고 있고, 그 위에서 후 판(40) 위로 연마될 공작물을 유지하는 지그(70)를 장착하며, 여기에서 그라인딩 헤드(10)는 회전 구동되는 그라인딩 디스크(2)의 연마면(2a)과 면 접촉하는 조정링(20)(100)에 의해 제어되는 모양을 가지고 있고, 경사부(30)는 그라인딩 헤드(10)에 대해 연마면(2a)과 평행하게 뻗은 경사축(31) 주위에서 경사질 수 있으며, 후 판(40)은 경사부(30)에 대하여 수직으로 이동 가능한 수직 이동부의 하부에 회전 가능하게 지지되는 단계;
    연마면(2a)에 대한 수직면으로 지그(70)를 지지함으로써, 각각 후 판(40)이 밸런싱 액츄에이터들(43A)(43B)에 의해 회전 가능하게 지지되는 한 점의 양측에 압축력을 인가함으로써, 그리고 수정 액츄에이터들(80A)(80B)(80C)로 지그(70)의 양 단부들과 중앙부에 작용력을 인가함으로써 균일하게 연마될 공작물에 부착될 다수의 자기 헤드를 연마하기 위한 제1 연마공정을 수행하는 단계;
    그라인딩 헤드(10)에 대해 경사부를 경사지게 하면서 연마면(2a)에 대해 수직한 면으로부터 경사질 수 있도록 하기 위하여 지그(70)를 지지함으로써 연마될 공작물의 바닥면을 점점 가늘어 지게 하는 제2연마 공정을 수행하는 단계; 로 구성되는 것을 특징으로 하는 자기 헤드 연마 방법.
  6. 제 1항 또는 제2항에 있어서,
    조정링(20)(100)이 회전되게 하는 것을 특징으로 하는 자기 헤드 연마 방법.
  7. 회전 구동되는 그라인딩 디스크(2);
    그라인딩 디스크(2)의 연마면(2a)과 면 접촉할 수 있도록 지지되는 조정링(20)(100);
    조정링(20)(100)에 의해 자세가 제어되는 그라인딩 헤드(10);
    연마면(2a)과 평행하게 뻗은 경사축(31) 주위에서 그라인딩 헤드(10)에 대해 경사질 수 있는 경사 부(30);
    경사부(30)를 기울어지게 하기 위한 경사 수단;
    경사부(30)에 대해 수직으로 이동될 수 있는 수직 이동부의 하부에 회전 가능하게 지지되는 후 판(40);
    후 판(40)이 회전 가능하게 부차되는 지점의 양측에 압축력을 가하기 위한 밸런싱 액츄에이터들(43A)(43B);
    후판(40)에 부착되어 다수의 자기헤드가 배열된 피가공물을 유지하는 지그(70);
    지그(70)의 양단부들과 중앙부에 작동력을 인가하기 위한 수정 액츄에이터들(80A)980B)(80C); 로 구성되는 것을 특징으로 하는 자기 헤드 연마 장치.
  8. 제7항에 있어서,
    그라인딩 헤드(10)와 조정링(20)(100)이 그라인딩 디스크(2)의 연마면(2a)과 평행한 평면내에서 이동 가능한 그라인딩 헤드 장착 프레임(7)에 대해 회전 가능하게 지지되고 그라인딩 헤드 장착 프레임(7)상에 배치된 스윙 수단에 의해 소정의 각도 범위내에서 스윙 운동을 하게 되어 있는 것을 특징으로 하는 자기 헤드 연마 장치.
  9. 제7항 또는 제8항에 있어서,
    지그(70)가 장착 수단에 의해 그 중앙부에 있는 일점에서 후 판(40) 위로 장착되는 것을 특징으로 하는 자기 헤드 연마 장치.
  10. 제 7항 또는 제8항에 있어서,
    지그(70)의 좌·우 단부들의 위치를 탐지하기 위한 센서들이 배열되어 있는 것을 특징으로 하는 자기 헤드 연마 장치.
KR10-1998-0016240A 1997-06-21 1998-05-07 자기헤드연마방법및장치 KR100459307B1 (ko)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1997-180475 1997-06-21
JP97-180475 1997-06-21
JP18047597A JP3318512B2 (ja) 1997-06-21 1997-06-21 磁気ヘッドの研磨方法及び装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR19990006420A true KR19990006420A (ko) 1999-01-25
KR100459307B1 KR100459307B1 (ko) 2005-06-02

Family

ID=16083878

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR10-1998-0016240A KR100459307B1 (ko) 1997-06-21 1998-05-07 자기헤드연마방법및장치

Country Status (4)

Country Link
US (1) US5993290A (ko)
JP (1) JP3318512B2 (ko)
KR (1) KR100459307B1 (ko)
CN (1) CN1182515C (ko)

Families Citing this family (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6217425B1 (en) * 1998-06-12 2001-04-17 Tdk Corporation Apparatus and method for lapping magnetic heads
JP2001006141A (ja) * 1999-06-18 2001-01-12 Fujitsu Ltd 磁気ヘッドの製造方法
JP2001121394A (ja) * 1999-10-25 2001-05-08 Tdk Corp 磁気ヘッドの研磨装置および方法
JP3877117B2 (ja) 1999-12-07 2007-02-07 富士通株式会社 ラッピング方法及びラッピング装置
JP3514437B2 (ja) * 2000-02-22 2004-03-31 Ｔｄｋ株式会社 被加工物の加工装置および方法
JP2001236621A (ja) * 2000-02-22 2001-08-31 Tdk Corp 磁気ヘッド用研磨装置および方法
JP3837036B2 (ja) 2000-06-16 2006-10-25 Ｔｄｋ株式会社 磁気ヘッド製造工程における研磨量測定装置および方法
JP3914006B2 (ja) 2000-06-16 2007-05-16 Ｔｄｋ株式会社 磁気ヘッド用研磨装置および方法
US20030076402A1 (en) * 2001-10-18 2003-04-24 Murata Kikai Kabushiki Kaisha Image forming apparatus
JP4464794B2 (ja) * 2004-11-10 2010-05-19 日本碍子株式会社 研磨加工用治具セット及び複数被研磨体の研磨方法
CN105834894B (zh) * 2016-05-31 2018-02-16 苏州速腾电子科技有限公司 一种方便夹持的研磨治具
CN105856065B (zh) * 2016-05-31 2018-09-28 苏州速腾电子科技有限公司 一种可调式研磨治具
CN105834895B (zh) * 2016-05-31 2017-12-26 苏州速腾电子科技有限公司 一种研磨治具
DE102020129872B3 (de) * 2020-11-12 2022-01-05 Koenig & Bauer Ag Stapelschneidevorrichtung mit einer ersten Stapelpositioniereinrichtung
CN112548719B (zh) * 2020-12-15 2022-09-30 长春斯迈尔科技有限公司 一种碳纤维材料加工用表面辅助处理设备

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4689877A (en) * 1985-08-29 1987-09-01 International Business Machines Corp. Method and apparatus for controlling the throat height of batch fabricated thin film magnetic transducers
US4914868A (en) * 1988-09-28 1990-04-10 International Business Machines Corporation Lapping control system for magnetic transducers
US5065483A (en) * 1991-02-19 1991-11-19 International Business Machines Corporation Method of lapping magnetic recording heads
US5210667A (en) * 1991-02-19 1993-05-11 International Business Machines Corporation Magnetic recording heads employing multiple lapping guides
US5620356A (en) * 1995-01-27 1997-04-15 Lackey; Stanley Row tool balance and bow correction apparatus

Also Published As

Publication number Publication date
JP3318512B2 (ja) 2002-08-26
US5993290A (en) 1999-11-30
JPH1116124A (ja) 1999-01-22
CN1182515C (zh) 2004-12-29
KR100459307B1 (ko) 2005-06-02
CN1208912A (zh) 1999-02-24

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100459307B1 (ko) 자기헤드연마방법및장치
US4735452A (en) Article gripper assembly
US5156318A (en) Ultrasonic bonding apparatus for bonding a semiconductor device to a tab tape
KR100325482B1 (ko) 자기 헤드 래핑 장치 및 방법
KR100441336B1 (ko) 자기헤드의 연마장치 및 연마방법
JPS63168226A (ja) 板材折曲げ加工装置用マニピュレータおよびそのマニピュレータを備えた板材折曲げ加工装置
CN1240518C (zh) 涡旋压缩机的调芯装置及其调芯方法
JP3837036B2 (ja) 磁気ヘッド製造工程における研磨量測定装置および方法
JP4417130B2 (ja) ガラス基板の垂直保持装置
JP3673703B2 (ja) 研磨工具
US6565414B2 (en) Polishing apparatus for magnetic head and method therefor
JPH06320412A (ja) 研磨装置
JP4081206B2 (ja) 磁気ヘッドの研磨装置及び研磨方法
KR100365250B1 (ko) 자기 헤드용 연마 장치 및 연마 방법
JPH078082Y2 (ja) 芯高調整機能を備えた長尺棒材の端面揃え装置
WO2020162469A1 (ja) 曲面スクリーン印刷装置、および、曲面スクリーン印刷方法
JP2514999Y2 (ja) フレーム形状測定装置
JPS5913569B2 (ja) ラック歯面の高周波焼入装置
JPH10120169A (ja) 搬入機
JP3175014B2 (ja) レンズ加工機におけるワーク支持装置
JP3483803B2 (ja) レンズ形状測定機
JPH01122619A (ja) プレスブレーキにおける板材支持装置
JPS638143A (ja) 帯状物の間欠給送装置
CN116512048A (zh) 一种光学摄像镜头透镜磨边设备
JPH0572522B2 (ko)

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20111028

Year of fee payment: 8

LAPS Lapse due to unpaid annual fee