KR19980703432A - 소량의 액체를 혼합하기 위한 장치 - Google Patents

소량의 액체를 혼합하기 위한 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 매우 소량의 액체라도 매우 효율적으로 균질화시킬 수 있으면서 제조하기 쉬운 장치를 고안하는 것이다. 이는 하기 특징을 제공함으로써 본 발명에 따라 수득된다: 장치는 하나이상의 유입관 및 하나이상의 유출관을 갖는 하나이상의 혼합 부재를 포함한다; 2개이상의 모세관이 유입관으로부터 파생된다(모든 파생관은 하나의 지부 평면상에 위치한다); 모세관은 지부 평면에 대해 90°회전된 평면내의 합류 부재로 향한다; 혼합 부재는 기재 평면 표면에 배열되고, 평면 표면은 차폐물에 의해 용접 밀봉된다. 본 발명은 혼합될 액체가 좁은 관을 통해 유동하면서 혼합되는 액체 혼합용 장치에 관한 것이다.

Description

소량의 액체를 혼합하기 위한 장치
액체 혼합용 장치는 정적 또는 동적 혼합기의 형태로 종래 분야에서 공지되어있다. 정적 혼합기는 일반적으로 내부 고정구가 있는 파이프 시스템으로 구성된다. 유동 액체의 동적 에너지를 이용함으로써 특정한 유동 경로후에 균질화된다. 동적 혼합기는 회전하는 혼합 기구를 갖는다. 이들은 혼합 생성물이 들어가서 균질화되게하는 혼합 에너지를 일으킨다. 기구의 크기 때문에, 이들 유형의 혼합기는 다량의 액체의 경우에만 사용될 수 있다. 그러나, 중간 또는 최종 생성물은 종종 이 양이 필요하지않다.
반응 환경에서 매우 환원됨으로써, 이용되는 물질을 소량 혼합할 수 있는 배열을 제공하고자하여왔다. 이런 혼합기는 액체 입자의 분산 원리에 따라 소량의 액체를 균질하게 혼합시키는 정적 혼합기로서 작동한다. 문헌[Proceedings μ-TAS; Enschede 1994; p142-151; ISBN 0-7923-3217-2]에서는, 액체가 좁은 관을 통해 유동하여 상응하는 긴 유동 경로후의 분산에 의해 혼합되는 장치가 개시된다. 이들 배열에서, 고압 손실 및 낮은 효율이 단점으로 제시된다.
정적 혼합기의 또다른 디자인이 문헌[Proceedings μ-TAS; Enschede 1994; p79]에서 개시된다. 이 배열은 혼합되는 액체가 다른 곳으로 강제 이동되는 다수의 노즐을 갖는다. 이 디자인 역시 고압 손실 및 낮은 효율이 단점이다.
또한, 복잡한 형태의 관을 가져서, 내부 고정구에 의해 회전되어 액체가 혼합되고, 각각의 혼합 부재 다음에서 불리한 액체의 분할이 일어나고, 후속 부재후에서, 분할이 다시 액체의 기계적 분리를 일으키는 혼합기가 공지되어있다(문헌[Proceedings μ-TAS; Enschede 1994; p237-243]. 소량 액체용의 공지된 혼합기는 매우 복잡한 구조이거나 매우 효율이 낮다.
본 발명은 혼합될 액체가 좁은 관을 통해 유동하면서 혼합되는 액체 혼합용 장치에 관한 것이다.
도 1a는 수직 분리 및 액체의 수평 적층용 혼합 부재에 대한 기본 배열을 나타낸다.
도 1b는 수평 분리 및 액체의 인접한 수직 적층용 혼합 부재에 대한 기본 배열을 나타낸다.
도 2는 유입구 기재판, 구축된 기재판 및 차폐판을 갖는 혼합 부재의 전면도를 나타낸다.
도 3은 2개의 구축된 기재로 구성된 혼합 부재의 전면도를 나타낸다.
도 4는 2개의 구축된 기재, 및 측면 배열된 혼합 부재의 유입구 및 유출구로 구성된 혼합 부재의 전면도이다.
도 5는 2개의 구축된 기재, 및 상부 기재판에 배열된 혼합 부재의 유입구 및 유출구로 구성된 혼합 부재의 전면도이다.
도 6은 3개의 구축된 기재판으로 구성된 혼합 부재의 전면도를 나타낸다.
도 7은 기재에 모든 구축물이 구성된 혼합 부재의 전면도를 나타낸다.
도 8은 2개의 구축된 기재판, 및 측면 배열된 액체 유입구 및 유출구로 구성된 2개이상의 유체를 혼합시키기위한 혼합 부재의 전면도를 나타낸다.
도 9는 2개의 구축된 기재판, 및 상부 기재에 배열된 액체 유입구 및 유출구로 구성된 2개이상의 유체를 혼합시키기위한 혼합 부재의 전면도를 나타낸다.
도 10은 3개의 기재를 갖는, 하나 뒤에 다른 하나가 배열되는 다수의 혼합 부재의 가능한 연결의 평면도를 나타낸다.
도 11은 도 10의 배열의 단면을 예시한다.
본 발명은 매우 소량의 액체를 매우 효율적으로 균질화시킬 수 있고 제조하기가 단순한 장치를 설계하는 것을 목적으로한다.
본 발명에 따르면, 목적은 하기에 의해 달성된다:
- 장치는 하나이상의 유입관 및 하나이상의 유출관을 갖는 하나이상의 혼합 부재로 구성되고,
- 유입관으로부터 2개이상의 모세관이 파생되고, 모든 파생관은 하나의 지부 평면에 위치하고,
- 모세관은 합류 부재로 향하여, 지부 평면에 대해 90°회전되어 배열된 하나의 평면에서 유입되고,
- 혼합 부재는 기재의 표면에 배열되고, 기재의 표면은 차폐물에 의해 용접 밀봉된다.
본 발명에 따른 배열의 유리한 세부 사항은 청구범위에서 구체화된다.
본 발명에 따른 장치는 매우 소량의 액체를 고효율로 혼합시키기에 적합하고 매우 작은 크기의 구축물이 특징이다. 각각의 부재는 액체가 혼합되는 2개이상의 유입관을 갖는다. 이들 관은 수직 또는 수평면에 배열될 수 있다. 유동 방향에서, 이들 관은 한 점, 합류 부재에서 만난다. 이는 n개의 유입관, n개의 유출관의 수평 위치가 각각 n개의 상이한 수직 평면의 이 합류점으로부터 파생되는 방식으로 고안된다. n개의 유입관이 수직 평면에 위치한다면, n개의 유출관은 수평 평면의 상기 합류점으로부터 파생된다. 또한 유출관은 후속 혼합 부재의 유입관을 형성한다. 총 배열은 이들 부재의 2개이상의 다수의 상호 연결로 구성된다. 액체의 혼합은 예를 들면 수직 경계 층이 2개의 액체사이에서 전개되도록 수평 유동관을 유동하는 2개의 액체가 합류점에서 서로 만나서 수득된다. 그런다음, 2개의 유출관이 서로에 대해 직각으로 배치된 두 평면의 이 합류점으로부터 파생된다. 이는 총 유동을 수직 분리시킨다. 제 1 부분 유동은 제 1 평면에서 유동한다. 제 2 부분 유동은 제 2 평면에서 유동한다. 후속 합류점에 도달하기 전에, 2개의 부분-유동은 다시 하나의 평면으로 인도된다. 합류점에서, 액체는 유동하여, 3개의 경계 층을 갖는 4개의 액체 층을 전개한다. 유출관은 또한 이 합류점으로부터 파생되어 다시 직각으로 배열된다. 다시 이들은 후속 합류점의 한 평면상에서 열린다. 이 합류점에서, 액체중의 경계 층의 수는 7이다. 유출관은 각각의 경우 액체의 유동 경로가 동일한 길이를 갖고 유동 저항이 같도록 고안된다.
부재는 미세구축가능한 물질로 제조된다. 이들은 순서대로 또는 적층 배열된다. 후속 부재는 선행 부재에 대해 원하는 각, 바람직하게는 90°회전하여 배열될 수 있다.
본 발명은 설명적인 양태를 참고로 하기에 더욱 자세하게 설명된다.
도 1a는 혼합 부재의 기본 배열을 도식적으로 예시한다. 이 혼합 부재의 경우, 균질화되는 액체는 유입구(1)에서 모세관을 통해 혼합 부재로 안내된다. 이 모세관은 모세관(3) 및 (4)가 파생되는 분기점(2)을 갖는다. 분기점(2)에서 가상의 수직선을 따라 액체가 분리된다. 혼합 부재는 여러번 순차적으로 배열될 수 있다. 출발점에서 배열된 혼합 부재의 경우, 혼합되는 액체는 횡단면 영역(1.1) 및 (1.2)를 통해 유입된다. 유입구(1), 횡단면 영역(1.1) 및 (1.2), 분기점(2) 및 모세관(3,4)은 수평면에 위치한다. 후속 모세관은 모세관(6)이 이 평면을 이탈하는 방식으로 배열된다. 모세관(5)은 수평면에 남아있다. 모세관(5) 및 (6)은 합류 부재(7)에서 다시 만나고, 2개의 모세관(5) 및 (6)이 다른 평면에 위치되는 방식으로 배열된다. 따라서, 모세관(5) 및 (6)에서 흘러나온 액체는 가상의 수평선을 따라 합류 부재(7)에서 서로 적층된다. 액체가 합류 부재(7)를 통과한 후, 이들은 다른 모세관(8)으로 유입된다. 이 모세관(8)은 후속 혼합 부재에 대한 새로운 유입구 형태를 형성하거나, 최종 혼합 부재의 경우는 미세혼합기의 출구로 유출된다.
도 1b는 균질화될 액체가 유입구(1)에서 모세관을 통해 혼합 부재로 안내되는 혼합 부재의 도식적 기본 배열을 예시한다. 이 모세관은 모세관(3) 및 (4)가 파생되는 분기점(2)으로 열린다. 분기점(2)에서는, 액체가 가상의 수평선을 따라 분리된다. 출발점에서 배열된 혼합 부재의 경우, 상이한 액체가 횡단면 영역(1.1) 및 (1.2)를 따라 유입된다. 이 혼합 부재의 경우, 유입구(1), 횡단면 영역(1.1) 및 (1.2) 및 모세관(3) 및 (4)는 2개의 수평면에 위치한다. 분기점(2)은 성형된 개구를 통해 2개의 수평면을 연결한다. 모세관의 또다른 경로에서, 모세관중의 하나(4)는 수평면에서 이탈하고, 반면 다른 모세관(3)은 거기에 남아있는다. 혼합관(5) 및 (6)은 이들이 합류 부재(7)에서 다시 만나는 방식으로 배열된다. 그러나, 두 모세관(5) 및 (6) 모두가 동일한 수평면에 위치하므로, 모세관(5) 및 (6)에서 흘러나온 액체는 가상의 수직선을 따라 합류 부재(7)에서 인접하게 적층된다. 또다른 모세관(8)은 합류 부재(7)의 뒤에 배열된다. 이 모세관은 후속 혼합 부재에 대한 새로운 유입구를 형성하거나, 최종 혼합 부재의 경우, 미세혼합기의 출구로 유출된다.
도 2는 평면 기재(10)에 위치된 혼합 부재를 예시한다. 또다른 기재(11)는 기재(10)의 상부상에 배열된다. 기재(11)는 혼합 부재로의 유입구(12) 및 (13), 및 혼합기 외부로의 유출구(14)를 포함한다. 임의의 바람직한 수의 혼합 부재가 기재(10)에 배열될 수 있다. 혼합 부재의 위치에 대한 유입구(12) 및 (13) 및 유출구(14)의 위치는 화살표(15a), (15b) 및 (15c)에 의해 예시된다. 이 경우, 미세혼합기의 제 1 혼합 부재에는, 유입구(12) 및 (13)이 기재(10)의 모세관(16) 및 (17)로 직접 연결되는 방식으로 기재(11)에 위치된다. 기재(10) 및 (11)은 용접 밀봉 방식에 의해 서로 연결된다. 모세관(16) 및 (17)은 기재(10)상에서 인접하게 배열된다. 모세관(16) 및 (17)을 통해 공급되는 액체는 모세관(18)에서 서로 연결된다. 2개의 모세관(16) 및 (18)에서 유출되는 액체는 연결점(19)에서 다시 만나고, 연결점에서 모세관(18)으로부터 유동된 액체와는 상이한 수평면에서 위치된 모세관(16)으로부터 액체가 유동한다. 연결부(19)에서 출발하여 모세관(18a)으로부터 유동되는 액체는 분기점(20)까지 기재(10)의 제 2 평면상에서 계속 유동한다. 2개의 모세관(21) 및 (22)가 다시 분기점(20)으로부터 파생되어 모세관(22)에서 출발한 액체는 기재의 제 2 수평면(10)에 남아있는 반면, 모세관(21)에서 출발한 제 2 유체 유동은 이 수평면을 떠나고 기재(10)의 제 1 수평면에서 모세관(23)으로 열린다. 기재(10)의 상이한 수평면에 위치한 모세관(22) 및 (23)으로부터의 2개의 액체 유동은 연결점(24)에서 다시 만나고 관(23)과는 연결점(24)에서 상이한 수평면에 위치한 관(22)으로부터 액체가 유동한다. 연결점(24)에서 파생된 모세관(23a)은 분기점(25)까지 기재(10)의 제 1 평면에서 계속된다. 이 분기점(25)에서, 모세관(16a), (17a)로부터 유동되는 2개의 액체 유동이 다시 형성된다. 모세관(16a) 및 (17a)는 또다른 혼합 부재를 위한 유입관이다. 최종 혼합 부재의 경우, 개구는 기재(10)의 관(23a)에 직접적으로 연결되는 방식으로 기재(11)에 배열된다. 모든 혼합 부재의 구축물이 위치되는 전체 기재(10)는 또다른 기재(26)에 의해 하부상에서 용접 밀봉된다.
혼합 부재의 또다른 양태가 도 3에 도시된다. 혼합 부재는 서로 단단히 용접 밀봉된 2개의 기재(30) 및 (31)에 의해 제공된다. 모세관(32), (33) 및 (34)는 수평면인 기재(31)의 상부 면에서 형성된다. 이들 관의 각각은 기재(31)의 다른 관(32), (33) 및 (34)로부터 분리된다. 다른 단면을 갖는 모세관 구축물은 또다른 수평면인 기재(30)의 하부에서 유사하게 형성된다. 제 1 횡단면(35)에서, 모세관은 직선으로 성형된다. 분기점(36)은 이 횡단면에 인접해있다.
이 분기점(36)에서부터 파생되어 2개의 새로운 모세관(37) 및 (38)이 형성된다. 이 경우에, 기재(30)의 모세관은 모세관(32), (33)의 말단이 관(35)과 직접 접촉하는 방식으로 제 2 기재(31)에 연결된다. 또한, 모세관의 말단(37), (38)이 제 2 기재(31)의 모세관(34)을 차폐하는 방식으로 배열되는 것이 가능하다.
기재(31)의 관(32), (33)의 말단을 차폐하는 모세관(39)이 기재(30)의 하부에 위치한다. 이 모세관(39)은 혼합될 액체를 위한 전체 표면(40)을 갖는다. 혼합 부재의 유출구는 출구 표면(42)을 갖는 모세관(41)에 의해 형성된다.
액체가 들어오고 나오기위한 적당한 배열이 도 4에 나타난다. 제 2 기재(31)의 모세관(53) 및 (54)의 전체 폭을 차폐하는 모세관(47) 및 (48)이 제 1 기재(30)에 위치되고, 모세관(47) 및 (48)의 말단은 유사하게 기재(31)의 모세관(32) 및 (33)을 차폐한다. 제 1 기재(30)의 모세관(47) 및 (48)과 함께 제 2 기재(30)의 모세관(53) 및 (54)는 혼합되는 액체를 위한 전체 표면(45) 및 (46)을 형성한다. 액체 출구는 제 1 기재(30)의 모세관(49) 및 제 2 기재(31)의 모세관(55)을 차폐하여 형성된다. 2개의 모세관(49) 및 (55)의 이 차폐물에 의해 공통 출구 표면이 수득된다. 유체 접촉의 경우, 기재(30) 및 (31)로부터 원주에서 밀봉된 모세관은 또한 입구 표면(45) 및 (46) 및 출구 표면(50)을 통해 밀려날 수 있다는 사실은 예시되지않는다.
미세혼합 부재의 외부 유체 접촉의 또다른 가능성은 도 5에 예시된다. 기재(30)는 기재(31)상의 모세관(32) 및 (33)의 말단을 차폐하는 성형된 개구(56)를 갖는다. 이들 개구는 혼합 부재로 혼합되는 액체의 유입이 가능한 방식으로 고안된다. 혼합 부재의 출구는 유사하게 기재(30)의 개구(57)에 의해 형성된다. 이 경우, 상기 개구(57)는 기재(31)의 모세관(34)의 말단을 차폐하도록 배열된다. 관이 기재(30)의 표면상에 배열되고, 상기 관의 전체 횡단면이 기재 표면에 평행하게 배열된다는 사실은 예시되지않았다.
도 6에 따른 다른 실시 양태에서는, 혼합 부재가 도시되고, 이는 총 3개의 기재로 구성된다. 유입관(63) 및 (64)는 제 1 기재(60)에 위치된다. 상기 유입관의 말단은 제 2 기재(61)의 2개의 모세관 횡단면(67) 및 (69)의 유동 방향으로 배열되어 차폐된다. 모세관 횡단면(67) 및 (69)는 합류 부재(68)로 열린다. 합류 부재(68)는 기재(60)의 모세관(65)에 의해 그 상부가 차폐되고 제 3 기재(62)의 모세관(66)이 하부를 형성한다. 모세관(65) 및 (66)은 유동 방향에서 보았을 때 제 2 기재(61)의 모세관 횡단면(70) 및 (71)과 일치하는 방식으로 성형된다. 모세관 횡단면(70) 및 (71)은 합류 부재(72)로 열린다. 혼합 부재를 또다른 혼합 부재에 연결시키는 새로운 모세관(73)이 이 지점에서 파생된다.
도 7은 모든 구축물이 기재(75)에 위치하는 혼합 부재를 나타낸다. 액체용 유입관은 기재(75)의 상부면에 배열된다. 제 2 액체용 유입관(76)은 동일한 기재(75)의 하부면에 위치된다. 둘 모두의 모세관은 2개의 새로운 모세관(79) 및 (80)이 기재의 하부면에서 파생되는 방식으로 고안되는 합류 부재(78)로 열린다. 이 경우에는, 합류 부재(78)는 기재(75)의 상부면 및 하부면을 서로 연결시키는 방식으로 고안된다. 모세관중 하나(80)는 기재(75)의 하부면에서의 또다른 경로에 남아있는다. 제 2 모세관(79)은 기재(75)의 상부면과 하부면사이의 개구(81)로 열린다. 기재(75)의 상부면의 새로운 모세관(82)이 이 개구(81)로부터 파생되고, 이는 최종적으로 합류 부재(78)와 유사한 디자인인 합류 부재(83)로 다시 열린다. 기재의 상부면의 합류 부재(83)로부터 다시 2개의 모세관(80) 및 (81)이 파생된다. 이 경우에, 점선은 혼합 부재의 말단 및 새로운 혼합 부재로의 전환을 정의한다. 유입구 (76) 및 (77)은 혼합 부재를 조작하기위해 사용될 수 있다. 이 경우에, 유출구는 관(80) 및 (81)에 의해 형성된다. 혼합 부재의 유입구로서 관(80) 및 (81)을 고안하는 것이 가능하다. 이 경우에, 혼합 부재의 유출구는 관(76) 및 (77)에 의해 형성된다.
도 8은 2개이상의 상이한 액체를 혼합하는데 적합한 혼합 부재를 나타낸다. 모세관(85), (86), (87) 및 (88)은 액체 출입을 위해 고안된다. 이들 관은 개별적인 액체의 적층이 모세관(89)에서 필연적으로 일어나는 방식으로 서로 연결된다. 분지점(90)에서, 모세관은 액체 출입시 형성된 것과 동일한 수의 모세관(92)으로 분할된다. 모세관(92)은 모세관(91)에 의해 말단에서 서로 연결된다. 출구는 모세관(93)에 의해서 형성된다.
도 9는 2개이상의 상이한 액체를 혼합하기위한 또다른 가능성을 나타낸다. 액체 입구(93)은 혼합 부재의 제 2 평면의 모세관(94), (95) 및 (96)으로 연결된다. 모세관(94), (95) 및 (96)은 혼합 부재의 제 1 평면의 모세관(97)으로 이들의 말단에서 열린다. 혼합 부재의 제 2 평면의 2개이상의, 본원에서는 모세관(99) 및 (100)으로의 분지점(98)이 모세관(97)의 한 말단에 위치한다. 혼합 부재로부터의 출구(102)가 모세관(101)의 한 말단에서 배열된다.
도 10은 다수의 혼합 부재의 상호 연결의 평면도를 나타낸다. 명확하게 하기위해서, 상부 기재는 도시되지않았다. 실선(103)은 제 1 평면의 모세관의 구조를 나타낸다. 제 2 평면의 구조는 점선(104)에 의해 나타난다. 평면들사이의 개구는 2개의 평면 구조의 차폐물(105)에 위치한다.
도 11은 입구 개구(107) 및 출구 개구(108)가 예시된 차폐물 기재(106)가 예시된, 도 10의 횡단면 예시를 나타낸다. 기재(11)의 관 구축물(109) 및 개구(110)가 명확하게 도시된다. 구축된 기재(111)의 하부는 또다른 기재(112)로 차폐된다.
도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명
1 유입구
1.1, 1.2 횡단면 영역
2 분기점
3, 4 모세관
5, 6 모세관
7 합류 부재
8 모세관
10, 11 기재
12, 13 유입구
14 유출구
15a, b, c 화살표
16, 17, 18 모세관
18a 모세관
19 연결부
20 분기점
21, 22, 23 모세관
24 연결부
25 분기점
26 기재
30, 31 기재
32, 33, 34 모세관
35 모세관의 제 1 횡단면
36 분기점
37, 38, 39 모세관
40 입구 표면
41 모세관
42 출구 표면
45, 46 입구 표면
47, 48 모세관
49 차폐물
50 출구 표면
53, 54 모세관
55 모세관

Claims (11)

  1. 하나이상의 유입관 및 하나이상의 유출관을 갖는 하나이상의 혼합 부재로 구성되고; 상기 유입관으로부터 2개이상의 모세관이 파생되며, 이때 모든 파생관은 하나의 지부 평면에 위치하고; 상기 모세관이 합류 부재로 향하여, 지부 평면에 대해 90° 회전되어 배열된 하나의 평면으로 유입되고; 차폐물에 의해 용접 밀봉된 기재의 평면 표면에 상기 혼합 부재가 배열되어 있음을 특징으로하는, 혼합될 액체가 좁은 관을 통해 유동하면서 혼합되는 액체 혼합용 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    유출관이 유입관의 면에 평행한 면에서 진행되고 면사이의 개구를 통해 유입관의 면으로 귀환됨을 특징으로하는 장치.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    후속 평면에 위치한 연결관에 의해 형성된 개구가 합류 부재에서 후속 평면으로 향하고, 새로운 혼합관이 이들 개구로부터 파생됨을 특징으로하는 장치.
  4. 제 1 항 내지 제 3 항중 어느 한 항에 있어서,
    유출관이 동일한 유동 저항을 갖는 합류 부재로부터 파생됨을 특징으로하는 장치.
  5. 제 1 항 내지 제 4 항중 어느 한 항에 있어서,
    다수의 혼합 부재가 한 면에서 연속적으로 배열되고, 각각 후속 혼합 부재가 선행 혼합 부재에 대해 회전되어 배열됨을 특징으로하는 장치.
  6. 제 5 항에 있어서,
    후속 혼합 부재가 선행 혼합 부재에 대해 90° 회전 배열됨을 특징으로하는 장치.
  7. 제 1 항 내지 제 6 항중 어느 한 항에 있어서,
    차폐물이 실리콘 또는 유리로 구성됨을 특징으로하는 장치.
  8. 제 1 항 내지 제 7 항중 어느 한 항에 있어서,
    각각의 평면의 모세관이 개별적인 기재상에 위치함을 특징으로하는 장치.
  9. 제 1 항 내지 제 8 항중 어느 한 항에 있어서,
    중간층이 개별적인 평면사이를 연결하기위한 개구를 갖는 기재사이에 위치함을 특징으로하는 장치.
  10. 제 1 항 내지 제 9 항중 어느 한 항에 있어서,
    기재 물질이 단일 결정 실리콘 또는 현미경 기술의 도움을 받아서 구축된 구축성 유리임을 특징으로하는 장치.
  11. 제 1 항 내지 제 10 항중 어느 한 항에 있어서,
    모세관 및 개구가 화학적 에칭 공정, 레이저 구축 공정, 사진 형성 공정, 모래 발파 등과 같은 현미경 구축 방법의 도움을 받아서 제조됨을 특징으로하는 장치.
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