KR19980032320A - 웨이퍼 링의 공급장치 - Google Patents

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Abstract

웨이퍼링이 가이드레일에 걸리는 것을 방지할 수 있고, 또 웨이퍼 링을 펠릿픽업장치의 지그홀더의 소정위치에 위치결정 반송한다.
웨이퍼링 카세트(10)로부터 웨이퍼링(1)이 한쌍의 가이드레일(86A,86B)에 반송될때에, 한쌍의 가이드레일(86A,86B)을 닫는 방향으로 이동시켜 웨이퍼링(1)의 회전방향 및 치우침을 수정하는 개폐기구를 구비하고 있다.

Description

웨이퍼 링의 공급장치
본 발명은 웨이퍼 링의 공급장치에 관한 것이다.
종래, 웨이퍼 링의 공급장치로서 예를들면 일본특개소 62-1066142호공보에 기재의 것이 있다. 그 장치는 웨이퍼 링을 일정피치로 수납하는 웨이퍼 링 카세트와, 이 웨이퍼 링 카세트를 상하동 시키는 엘리베이터와, 웨이퍼 링 카세트에 수납된 웨이퍼 링을 1개씩 반송하여 펠릿 픽업장치에 공급함과 동시에, 반도체 펠릿이 픽업된 후의 사용필 웨이퍼 링을 상기 웨이퍼 링 카세트의 빈것으로 되어 있는 수납부에 반송하는 웨이퍼 링 반송수단과 이 웨이퍼 링 반송수단에 의하여 반송되는 웨이퍼 링의 양측단부를 안내하는 한쌍의 가이드 레일와를 구비하고 있다. 더욱 웨이퍼 링에는 웨이퍼 시트의 외주부가 장치가 장치되어 웨이퍼 시트에는 반도체 펠릿이 XY방향으로 정열하는 붙여져 있다.
상기 한쌍의 가이드레일의 가이드 면의 폭은, 웨이퍼 링의 2면의 가이드면폭에 적합하도록 조정하여 맞붙여져 있다. 그런데, 웨이퍼 링은 그 웨이퍼 링의 2면의 가이드면이 웨이퍼 링 카세트의 수납부에 위치하도록 웨이퍼 링 카세트에 수납되어 있다. 그러나, 웨이퍼 링은 웨이퍼 링 카세트내에서 약간 회전하고 있는 것과 웨이퍼 링 카세트의 한쪽측에 치우치고 있는 것이 있다. 이와같이 회전하고 있는 웨이퍼 링이나 치우치고 있는 웨이퍼링은 웨이퍼 링 반송수단에 의하여 반송할때에 가이드 레일에 걸리거나 또 펠릿 픽업장치의 지구홀더의 위치 결정핀에 웨이퍼 링의 위치 결정부가 들어가지 않았거나 라는 문제가 있었다.
본 발명의 과제는 웨이퍼 링이 가이드레일에 걸리는 것을 방지할 수 있어, 또 웨이퍼 링을 펠릿 픽업 장치의 지구홀더의 소정위치에 위치결정 반송할 수 있는 웨이퍼 링의 공급장치를 제공하는 것에 있다.
도 1은 본 발명의 웨이퍼 링의 공급장치의 일실시의 형태를 도시하는 일부 단면정면도이다.
도 2는 평면도이다.
도 3은 웨이퍼 링을 클램프하는 위클릭 및 아래클릭 부분을 도시하고, (a)는 일부 단면 정면도 (b)는 저면도이다.
도 4는 가이드레일이 수평상태에 있는 웨이퍼 링 가이드 수단을 도시하고 (a)는 평면도 (b)는 정면도 (c)는 우측면도이다.
도 5는 가이드 레일이 수직상태에 있는 웨이퍼 링 가이드 수단을 도시하고, (a)는 평면도, (b)는 정면도, (c)는 우측면도이다.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *
1:웨이퍼링 2:웨이퍼시트
3:반도체펠릿 10:웨이퍼링카세트
12:수납부 13:엘리베이터장치
17:웨이퍼링반송레벨 20:펠릿픽업장치
50:웨이퍼링반송수단 54:슬라이더
57:아암 60:윗클릭
61:아래클릭 80:웨이퍼링가이드수단
82:슬라이드축 83:가이드레일구동부지지판
85A,85B:가이드레일지지판 86A,86B:가이드레일
87A,87B:에어실린더 88A,88B:스프링
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 수단은 펠릿이 붙여져 있는 웨이퍼시트가 점착고정된 웨이퍼 링을 일정피치로 수납하는 웨이퍼 링 카세트와, 이 웨이퍼 링 카세트를 상하동시키는 엘리베이터장치와, 웨이퍼 링 카세트에 수납된 웨이퍼 링을 1개씩 반송하여 펠릿 픽업장치에 공급하는 웨이퍼 링 반송수단과, 이 웨이퍼 링 반송수단에 의하여 반송되는 웨이퍼 링의 양측단부를 안내하는 한쌍의 가이드레일와를 구비한 웨이퍼링의 공급장치에 있어서, 상기 웨이퍼 링 카세트로부터 웨이퍼 링이 상기 한쌍의 가이드 레일에 반송되었을때에 상기 한쌍의 가이드 레일을 닫는 방향으로 이동시켜 상기 웨이퍼 링의 회전방향 및 치우침을 수정하는 개폐기구를 구비하고 있는 것을 특징으로 한다.
(발명 실시의 형태)
본 발명의 1실시의 형태를 도 1 및 도 2에 의하여 설명한다. 엘리베이터장치(13)에 의하여 상하동케 되는 웨이퍼 링 카세트(10)와 펠릿픽업장치(20)사이에는 웨이퍼 링(1)을 웨이퍼 링 반송수단(50)의 위클릭(60)과 아래클릭(61)으로 클램프하여 웨이퍼 링 카세트(10)로부터 펠릿픽업장치(20)에 또 펠리픽업장치(20)로부터 웨이퍼 링 카세트(10)에 이송할때에 웨이퍼 링(1)을 안내하는 한쌍의 가이드 레일 86A,86B를 갖는 웨이퍼 링 가이드수단(80)이 설치되어 있다. 상기 한쌍의 가이드레일(86A,86B)은 개폐기구로 개폐된다.
거기서, 웨이퍼 링 카세트(10)로부터 웨이퍼 링(1)이 반송될때에 한쌍의 가이드 레일(86A,86B)를 개폐기구로 닫으므로서, 웨이퍼 링(1)의 회전방향 및 치우침을 수정할 수가 있다. 상기 개폐기구로서는 예를들면 가이드레일(86A,86B)를 슬라이드축(82)에 미끄럼가능하게 설치하고, 가이드레일(86A,86B)를 각각 닫는 방향으로 스프링(88A,88B)로 가압한다.
그리고, 가이드 레일(86A,86B)를 스프링(88A,88B)에 맞서서 에어실린더(87A,87B)등의 구동수단으로 이동시키는 기구로 한다.
(실시예)
이하, 본 발명의 일실시예를 도 1 내지 도 5에 의하여 설명한다. 도 1 및 도 2에 도시하는 바와같이, 웨이퍼 링(1)에는 웨이퍼시트(2)의 외주부가 장치되고, 웨이퍼시트(2)에는 웨이퍼를 종횡으로 절단한 반도체 펠릿(3)군이 XY방향으로 정열하여 붙여져 있다. 본 실시예는 웨이퍼 링(1)을 수납하고 있는 웨이퍼 링 카세트(10)와 이 웨이퍼 링 카세트(10)를 상하동시키는 엘리베이터장치(13)와, 웨이퍼 링 카세트(10)내의 웨이퍼 링(1)을 밀어내는 푸셔수단(16)과 웨이퍼 링 카세트(10)의 수납구(11)측에 일정거리 떨어져 배설된 펠릿 픽업장치(20)와, 상기 웨이퍼 링 카세트(10)내의 미사용의 웨이퍼 링(1)을 1개씩 반송하여 펠릿픽업장치(20)에 공급함과 동시에, 반도체 펠릿(3)이 픽업된 후의 사용필 웨이퍼 링(1)을 웨이퍼 링 카세트(10)의 빈것으로 되어 있는 수납부(12)에 반송하는 웨이퍼 링 반송수단(50)과 이 웨이퍼 링 반송수단(50)에 의한 반송시에 웨이퍼 링(1)을 안내하는 웨이퍼 링 가이드 수단(80)로 이루어져 있다. 이하, 각 수단의 구조에 대하여 설명한다.
우선,웨이퍼 링 카세트(10), 엘리베이터장치(13) 및 푸셔수단(16)의 구조에 대하여 설명한다. 이들 웨이퍼 링 카세트(10), 엘리베이터장치(13) 및 푸셔수단(16)은 종래 주지의 구조이므로 간단히 설명한다. 웨이퍼 링 카세트(10)는 상하방향(Z방향)으로 복수의 수납부(12)를 소정피치로 구비하여 있고, 각 수납부(12)에는 웨이퍼링(1)이 수납되어 있다. 엘리베이터장치(13)는 웨이퍼 링 카세트(10)을 위치결정 재치하는 엘리베이터부(14)를 갖고, 엘리베이터부(14)는 도시하지 않는 모터로 회전구동되는 나사축(15)에 나사맞춤하고 있다. 푸셔수단(16)은 에어실린더로 이루어지고, 웨이퍼 링 카세트(10)에 수납된 웨이퍼 링(1)은 작동로드(16a)로 수납구(11)로부터 밀어 내는 것처럼, 웨이퍼 링 반송레벨(17)로 배설되어 있다.
다음에 펠릿픽업장치(20)에 대하여 설명한다. 기판(21)상에는 XY방향으로 구동게되는 XY테이블(22)이 설치되어, XY테이블(22)상에는 스탠드(23)가 고정되어 있다. 스탠드(23)에는 지지판(24)이 고정되어, 지지판(24)상에는, 웨이퍼 시트 고정링(25)이 축받이(26)를 통하여 회전자유로이 지지되어 있다. 여기서, 웨이퍼 시트 고정링(25)에는 웨이퍼 링(1)의 내경 보다 작은 외경을 갖는 원환부(25a)가 형성되어 있고, 웨이퍼 시트 고정링(25)은 펠릿(3,3,…)의 각도 방향을 수정하기위한 도시하지 않는 구동수단으로 회전케 되도록 되어 있다.
상기 지지판(24)에는 웨이퍼 시트 고정링(25)의 중심에 대하여 대칭 위치에 축받이(27A,27B)가 고정되어 있고 축받이(27A,27B)에는 수나사축(28A,28B)이 회전자유로이 지지되어 있다. 수나사축(28A,28B)에는 암나사(29A,29B)가 나사맞춤하여 있고, 암나사(29A,29B)는 링 홀더 상하동부재(30A,30B)에 고정되어 있다. 링 홀더 상하동부재(30A,30B)에는 웨이퍼 시트 확대링 홀더(31)의 주부의 상하로부터 협지하도록 롤러(32,33)가 회전자유로이 지지되어 있다.
웨이퍼 시트 확대 링 홀더(31)에는 웨이퍼 링(1)을 일시 계속 유지하는 웨이퍼 링 계속유지판(34)과 이 웨이퍼 링 계속유지판(34)에서 일정간격을 갖고 상방으로 배치된 웨이퍼 시트 확대 링(35)이 고정되어 있다. 여기서, 웨이퍼 시트 확대 링(35)은 도 2에 도시하는 우측부분과 일정폭의 틈새를 갖도록, 반월형상의 연결판(38)를 통하여 웨이퍼 시트 확대 링 홀더(31)에 고정되어 있다. 웨이퍼 시트 확대 링(35)은 내경부(35a)가 상기 웨이퍼 시트 고정링(25)의 원환부(25a)에 이동가능하게 끼워지는 크기로 되어 있다. 또 상기 웨이퍼 링 계속유지판(34)에는 웨이퍼 링(1)의 판위치 결정부(1a)를 위치결정하는 위치결정판(36,37)이 고정되어 있다. 상기 수나사축(28A,28B)의 지지판(24)보다 하방으로 돌출한 부분에는 기어(40A,40B)가 고정되어 있다. 또 지지판(24)에는 모터지지판(41A,41B)을 통하여 제 1 및 제2모터(42A,42B)가 고정되어 있고, 제 1 및 제 2의 모터(42A,42B)의 출력축에 고정된 기어(43A,43B)가 상기 기어(40A,40B)에 맞물려 있다. 픽업위치(44)의 상방측에는 도시하지 않는 상하구동수단 및 XY테이블에서 Z방향 및 XY방향으로 이동케되는 흡착노즐(45)이 배설되고, 픽업위치(44)의 하방측에는 도시하지 않는 상하구 동수단으로 Z방향으로 이동케 되는 니들(4b)이 배치되어 있다.
다음에 웨이퍼 링 반송수단(50)의 구조에 대하여 설명하다. 기판(21)상에는 지지틀(51,52)이 고정되어 있고, 지지틀(51,52)의 상단부에는 X방향으로 신장한 가이드레일(53)이 고정되어 있다. 가이드 레일(53)에는 슬라이더(54)가 미끄럼 자유로이 끼워넣어져 있고, 슬라이더(54)에는 상방으로 신장한 지지봉(55)이 고정되어 있다. 지지봉(55)의 상단부에는 지지블록(56)이 고정되어, 지지블록(56)에는 Y방향으로 신장한 아암(57)이 고정되어 있다. 아암(57)의 선단부에는 클릭홀더(58)가 고정되고, 클릭홀더(58)에는 도 3에 도시하는 바와같이 에어실린더(59)가 고정되어 있다. 에어실린더(59)의 작동로드(59a)에는 위클릭(60)이 고정되고, 클릭홀더(58)에는 아래클릭(61)이 위클릭(60)의 하면에 대항하여 고정되어 있다. 위크릭(60)의 클림프부(60a)에는 파이버센서(62)가 고정되어 있다. 아래클릭(61)에는 상기 클램프부(60a)에 대향한 부분에 홈(61a)이 설치되어 있다.
상기 지지틀(51)의 가이드레일(53)의 하방에는 풀리축(65)이 회전자유로이 지지되어 있다. 풀리축(65)에는 2개의 풀리(66,67)가 고정되어 있다. 상기 지지틀(52)에는 상기 풀리축(65)에 대응하여 풀리축(68)이 회전자유로이 지지되고, 풀리축(68)에는 상기 풀리(66)에 대응하여 풀리(69)가 고정되어 있다. 상기 기판(21)에는 모터(70)가 고정되고, 모터(70)의 출력축에는 풀리(71)가 고정되어 있다. 그리고 풀리(67)와(71)에는 구동벨트(72)가 걸처져 풀리(66)와(69)에는 반송벨트(73)가 걸쳐져 있다. 반송벨트(73)의 상단부의 일부는 상기 슬라이더(54)에 고정되어 있다.
최후에, 웨이퍼 링 가이드 수단(80)의 구조를 도 1 내지 도 5(특히 도 4 및 도 5참조)에 의하여 설명한다. 상기 웨이퍼 링 카세트(10)의 상기 펠릿픽업장치(20)측에는 틀체(81)가 배설되어 있다. 틀체(81)의 상단부에는 웨이퍼 링 반송레벨(17)보다 약간하방으로 신장한 슬라이드축(82)이 회전자유로이 지지되어 있고, 슬라이드축(82)의 중앙부에는 가이드 레일 구동부 지지판(83)이 고정되어 있다. 가이드레일 구동부 지지판(83)에는 상기 슬라이드축(82)과 평행으로 배설된 가이드봉(84)이 고정되어 있고, 슬라이드축(82) 및 가이드봉(84)에는 상기 가이드레일 구동부 지지판(83)의 양측에 위치하도록 한쌍의 가이드레일 지지판(85A,85B)이 Y방향으로 미끄럼자유롭게 끼워넣어져 있다. 가이드레일 지지판 85A,85B상에는 웨이퍼 링(1)의 양측단부를 안내하는 한쌍의 가이드레일(86A,86B)이 고정되어 있다. 여기서, 가이드레일(86A,86B)이 수평상태일때, 가이드레일(86A,86B)의 반송면(86a,86b)은 웨이퍼 링 반송레벨(17)에 위치하도록 되어 있다.
가이드레일 구동부 지지판(83)에는 가이드레일 지지판(85A,85B)의 방향을 향하여 에어실린더(87A,87B)가 고정되어 있다. 가이드레일 구동부 지지판(83)과 가이드 레일 지지판(85A,85B)에는 각각 스프링(88A,88B)이 걸쳐 있고, 가이드레일 지지판(85A,85B)은 에어실린더(87A,87B)의 작동로드(87a,87b)에 당접하여 있다. 상기 슬라이드축(82)에는 측판 81a으로부터 돌출한 부분에 크랭크 레버(90)가 고정되어 있다. 측판(81a)의 하방측에는 에어실린더 지지블록(91)이 고정되어, 에어실린더 지지블록(91)에는 에어실린더(92)가 회전자유로이 지지되어 있다. 에어실린더(92)의 작동로드(92a)에는 연결구(93)가 고정되어 연결구(93)가 상기 클랭크레버(90)에 회전자유로이 연결되어 있다.
다음에 작용에 대하여 설명한다. 엘리베이터장치(13)의 나사축(15)이 회전하면, 엘리베이터부(14) 및 웨이퍼링 카세트(10)가 상하동한다. 이로서, 웨이퍼 링 웨이퍼링 카세트(10)의 대응하는 수납부(12)는 웨이퍼링 반송레벨(17)에 위치한다. 이때 웨이퍼링 가이드수단(80)의 가이드레일(86A,86B)는 수평상태에 있다. 또 웨이퍼링 가이드수단(80)의 에어실린더(87A,87B)의 작용로드(87a,87b)가 돌출한 상태에 있고, 가이드레일(86A,86B)의 반송면(86a,86b)사이의 폭은 웨이퍼링 카세트(10)의 수납부(12)의 폭보다 약간 넓게 되어 있다.
다음에 위클릭(60)은 열린상태로 웨이퍼링 반송수단(50)의 슬라이더(54)는 웨이퍼링 카세트(10)측에 위치하고, 위클릭(60)은 도 1의 좌방에 2점쇄선으로 도시하는 바와같이 가이드 레일 구동부 지지판(83)의 상방에 위치한다. 거기서, 푸셔수단(16)이 작동하여 작동로드(16a)이 전진하고, 웨이퍼링 카세트(10)내의 웨이퍼링(1)을 밀고, 웨이퍼링(1)은 위클릭(60)과 아래클릭(61)사이에 공급된다. 이로서, 파이버센서(62)의 빛이 웨이퍼링(1)에서 반사하고, 그의 반사광을 파이버센서(62)는 감지하여 온 신호를 출력한다. 이 온신호에 의하여 에어실린더(59)가 작동항 작동로드(59a)가 하강하고, 위클릭(60)이 하강하여 상클릭(60)과 하클릭(61)으로 웨이퍼링(1)의 단부를 클램프한다.
다음에, 모터(70)가 화살표 A방향으로 정회전하고, 풀리(71)에 의하여 반송벨트(72)가 화살표 B방향(도 1의 우방향)으로 이동하고, 슬라이더(54)가 가이드레일(53)에 따라 동방향으로 이동한다. 이로서 웨이퍼링(1)은 웨이퍼링 가이드수단(80)의 한쌍의 가이드레일(86A,86B)에 안내되어 2점쇄선으로 도시하는 바와같이, 그 가이드레일(86A,86B)상에 반송되면, 모터(70)는 일단 정지한다. 다음에 에어실린더(59)의 작동로드(59a)가 상승하여 위클릭(60)이 열리고, 웨이퍼링(1)의 클램프를 해제한다. 계속하여 웨이퍼링 가이드수단(80)의 에어실린더(87A,87B)가 작동하여 작동로드(87a,87b)가 안으로 들어간다. 이로서, 가이드레일 지지판(85A,85B)및 가이드레일(86A,86B)는 스프링(88A,88B)의 가압력에 의하여 슬라이드축(82) 및 가이드붕(84)에 따라 중앙방향에 대향하여 웨이퍼링(1)의 회전방향의 어긋남 및 치우침을 수정한다.
다음에 에어실린더(59)가 다시 작동하여 작동로드(59a)가 하강하여 위클릭(60)과 아래클릭(61)으로 웨이퍼링(1)을 클램프한다. 그후, 에어실린더(87A,87B)의 작동로드(87a,87b)이 돌출하여, 가이드레일(86A,86B)는 상기와 역방향을 이동하여 열린다. 또 동시에 모터(70)가 다시 화살표 A방향으로 정회전하고, 웨이퍼링(1)이 펠릿픽업장치(20)의 웨이퍼링 계속유지판(34)과 웨이퍼시트 확대링(35)사이에 공급되어, 위치결정 핀(36,37)에 의하여 위치결정되면, 모터(70)의 회전은 일시정지한다. 다음에 에어실린더(59)가 상기와 역방향으로 안으로 들어가 웨이퍼링(1)의 클램프를 해제한다. 계속하여 모터(70)가 재차정회전하고, 위클릭(60) 및 아래클릭(61)은 슬라이더(54)의 우방향으로의 이동에 의하여 도 1에 2점쇄선으로 도시하는 바와같이, 웨이퍼링 계속유지판(34)의 우방으로 위치케된다. 이로서, 웨이퍼링(1)은 웨이퍼링 보유판(34)상에 재치된다.
또, 웨이퍼링(1)의 웨이퍼링 보유판(34)상에 이동하면, 웨이퍼링 가이드 수단(80)의 에어실린더(92)가 작동하여 작동로드(92a)가 안으로 들어가다. 이로서, 도 4의 상태에서 클램퍼 레버(90) 및 슬라이드축(82)이 화살표 C방향으로 회전운동하고, 한쌍의 가이드레일 86A,86B도 동방향으로 회전이동하여, 도 5에 도시하는 바와같이 수직상태로 된다.
상기한 바와같이, 웨이퍼링 보유판(34)상에 웨이퍼링(1)이 재치되면, 제 1 및 제 2의 모터(42A,42B)가 동기하여 회전하고, 기어(43A,43B), 기어(40A,40B)을 통하여 수나사축(28A,28B)이 회전하고, 암나사(29A,29B), 링홀더 상하동부재(30A,30B), 롤러(32,33), 웨이퍼시트 확대링 홀더(31)및 웨이퍼시트 확대링(35)이 하강한다. 웨이퍼시트 확대링 홀더(31)가 하강하면, 우선 웨이퍼시트(2)가 웨이퍼시트 고정링(25)의 원환부(25a)상에 재치되게 되어 있다.
더욱, 웨이퍼시트 확대링홀더(31)가 하강하면, 웨이퍼링 보유판(34)이 웨이퍼시트 고정링(25)의 원환부(25a)의 상면(25b)보다 하방에 위치하여 웨이퍼링 보유판(34)상의 웨이퍼링(1)은 웨이퍼시트 고정링(25)의 원환부(25a)의 상면(25b)에 재치된다. 그후, 웨이퍼시트 확대 링(35)은 웨이퍼링(1)을 밀어내리면서 웨이퍼시트 고정링(25)의 원환부(25a)에 이동가능하게 끼워진다. 이로서, 웨이퍼시트(2)는 확대되어 펠릿(3)사이의 간격은 널혀진다.
다음에 XY테이블(22)이 구동하여 픽업되는 반도체 펠릿(3)이 픽업위치(44)에 위치결정된다. 그후, 니들(46)이 상승하여 반도체 펠릿(3)을 밀어올려 또 흡착노즐(45)이 하강하여 픽업위치(44)에 위치케된 반도체 펠릿(3)을 흡착하여 픽업한다. 반도체 펠릿(3)을 흡착보유한 흡착노즐(45)은 상승, XY방향으로 이동 및 하강케되어, 도시하지 않는 반도체 펠릿위치결정부 또는 본딩위치에 반도체펠릿(3)을 재치하고 다시 픽업위치(44)로 이동한다.
이와같이, 픽업위치(44)에 위치결정된 반도체펠릿(3)이 픽업되면, XY테이블(22)이 구동하여 다음에 픽업되는 반도체펠릿(3)이 픽업위치(44)에 위치결정된다. 이와같이 반도체펠릿(3)이 흡착노즐(45)로부터 순착픽업되어, 웨이퍼시트(2)상의 모든 반도체펠릿(3)의 픽업이 완료하면 웨이퍼링(1)은 사용필 웨이퍼링으로서 다시 웨이퍼링 카세트(10)로 반송된다.
다음에 사용필 웨이퍼링(1)의 반송에 대하여 설명한다. XY테이블(22)이 구동되고, 펠릿픽업장치(20)는 초기위치(웨이퍼링(1)이 공급되는 경우의 위치)로이동한다. 제 1및 제 2의 모터(42A,42B)가 역회전하여 웨이퍼시트 확대링홀더(31)및 웨이퍼시트확대 링(35)이 상승하여 웨이퍼링(1)을 웨이퍼링 보유판(34)상으로 들올린다. 다음에 에어실린더(92)가 상기와 역방향으로 작동하여 작동로드(92a)가 돌출하고 클램프레버(90), 슬라이드축(82)이 상기와 역방향으로 회전운동하여 가이드레일(86A,86B)은 도 4에 도시하는 바와같이 수평상태로 된다. 또, 위클릭(60), 아래클릭(61)이 열림상태로 모터(70)가 상기와 역방향으로 회전하여 도 1의 좌방향으로 이동케되어, 위클릭(60)과 아래클릭(61)사이에 사용필 웨이퍼링(1)의 만부가 위치케된다. 이때, 위클릭(60)과 아래클릭(61)사이에 웨이퍼링(1)이 존재하는가 여부는 파이버센서(62)에 의하여 검출된다. 계속하여 에어실린더(59)의 작동로드(59a)가 작동하여 하강하고, 웨이퍼링(1)은 위클릭(60)과 아래클릭(61)으로 클램프된다.
다음에 모터(70)가 화살표 A방향과 역방향으로 작동하여 슬라이더(54)가 도 1의 좌방으로 이동하여 위클리(60) 및 아래클릭(61)에 클램프된 사용필 웨이퍼링(1)은 가이드레일 86A,86B에 안내된 웨이퍼 링 카세트(10)의 번상태의 수납부(12)내로 이송된다. 그후 에어실린더(59)가 작동하여 작동로드(59a)가 안으로 들어가고, 위클릭(60)는 웨이퍼링(1)을 개방한다. 이로서, 사용필 웨이퍼링(1)은 수납부(12)내에 수납된다. 이와같이하여 하나의 웨이퍼링(1)의 공급이 완료하면, 엘리베이터장치(13)의 엘리베이터부(14)의 하강동작에 의한 웨이퍼링(1)이 웨이퍼링 반송레벨(17)에 위치결정된다. 그리고 상기한 바와같이 일련의 동작에 의하여 그 웨이퍼링(1)의 공급이 행해진다.
이와같이, 한쌍의 가이드레일(86A,86B)는 에어실린더(87A,87B)로 개폐케되어 있다. 거기서, 웨이퍼링 카세트(10)로 부터 웨이퍼링(1)을 한상의 가이드레일(86A,86B)로 반송할때는 가이드레일 86A,86B의 반송면 86a,86b 사이의 폭을 웨이퍼카세트(10)의 수납부(12)의 폭보다 약간 넓게하여 둠으로서, 가이드레일(86A,86B)에 걸려지는 일이 없다. 또 웨이퍼링 카세트(10)로부터 웨이퍼링(1)이 한쌍의 가이드레일 86A,86B에 반송되였을때에, 한쌍의 가이드레일 86A,86B를 에어실린더 87A,87B로 닫히는 방향으로 이동케한다. 이로서 웨이퍼링(1)의 회전방향 및 치우침이 수정되므로, 웨이퍼링(1)은 펠릿픽업자치(20)의 소정위치 즉 위치결정 핀(36,37)에 위치어금남이 없이 위치결정 반송할 수가 있다.
더욱, 상기 실시예는 가이드레일(86A,86B)의 개폐기구로서 에어실린더 87A,87B와 스프링 88A,88B에서으 가이드레일 86A,86B를 개폐시키도록 하였지만, 본 실시예에서는 이에 한정되는 것은 아니다. 예를들면, 가이드레일(86A,86B)에 랙을 고정하고, 이 랙에 맞물리는 피니온을 가이드레일 구동부 지지판(83)에 고정한 모터로 회전시키도록 하여도 좋다. 또 가이드 레일(86A,86B)을 회전운동하는 형식을 하였지만, 예를들면 일본특개소 62-106642호 공보에 표시하는 바와같이 가이드레일이 회전운동하지 않는 것에도 적용할 수 있는 것을 말할 것도 없다.
본 발명에 의하면 웨이퍼 링 카세트로부터 웨이퍼링이 상기 한쌍의 가이드레일로 반송될때에, 상기 한쌍의 가이드레일을 닫는 방향으로 이동시켜 상기 웨이퍼링의 회전방향 및 치우침을 수정하는 개폐기구를 구비하여 있으므로, 웨이퍼링이 가이드 레일에 걸리는 것을 방지할 수 있어, 도 웨이퍼링을 펠릿픽업장치의 지구홀더의 소정위치에 위치결정 반송할 수가 있다.

Claims (2)

  1. 펠릿이 붙여져 있는 웨이퍼시트가 점착고정된 웨이퍼 링을 일정피치로 수납하는 웨이퍼 링 카세트와, 이 웨이퍼 링 카세트를 상하동시키는 엘리베이터장치와, 웨이퍼 링 카세트에 수납된 웨이퍼 링을 1개씩 반송하여 펠릿 픽업장치에 공급하는 웨이퍼 링 반송수단과, 이 웨이퍼 링 반송수단에 의하여 반송되는 웨이퍼 링의 양측단부를 안내하는 한쌍의 가이드레일과를 구비한 웨이퍼링의 공급장치에 있어서, 상기 웨이퍼 링 카세트로부터 웨이퍼 링이 상기 한쌍의 가이드 레일에 반송되었을때에, 상기 한쌍의 가이드 레일을 닫는 방향으로 이동시켜 상기 웨이퍼 링의 회전방향 및 치우침을 수정하는 개폐기구를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 웨이퍼링의 공급장치.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 개폐기구는 상기 가이드 레일이 미끄럼 자유로이 설치되고, 웨이퍼링의 반송방향과 직각으로 수평방향으로 배설된 슬라이드축과, 상기 한쌍의 가이드레일를 닫는 방향으로 각각 가압한 스프링 수단과, 상기 한쌍의 가이드레일을 각각 상기 스프링수단에 맞서서 여는 방향으로이동시키는 가이드 레일 구동수단으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 링의 공급장치.
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