KR102516327B1

KR102516327B1 - 수지 필름의 습식 처리 장치

Info

Publication number: KR102516327B1
Application number: KR1020187019946A
Authority: KR
Inventors: 마코토 고토쿠; 야이치로 나카마루; 유키오 시노자키; 데츠야 아오키; 다카시 마츠쿠라; 고키 하시모토
Original assignee: 가부시끼가이샤 제이씨유; 쥬오 기카이 가부시키가이샤
Priority date: 2016-01-12
Filing date: 2016-01-12
Publication date: 2023-03-30
Also published as: TWI605153B; MY193815A; US10640875B2; KR20180101391A; US20190024238A1; CN108699696A; WO2017122229A1; JPWO2017122229A1; CN108699696B; TW201725282A; JP6626129B2

Abstract

(과제) 비교적 얇은 막두께의 수지 필름에 대해서도 무전해 도금법 등의 표면 처리를 실현하는 수지 필름의 습식 처리 장치의 제공을 목적으로 한다.
(해결 수단) 웨브상의 수지 필름을 소정의 처리액에 침지시킴으로써 소정의 처리를 상기 수지 필름면에 실시하는 습식 처리 장치로서, 상기 처리액 중에 상기 수지 필름을 통과시키는 처리조와, 상기 처리조의 상기 수지 필름의 도입측과 상기 수지 필름의 배출측에 각각 형성되는 1 쌍의 반송 부재와, 1 쌍의 상기 반송 부재의 사이에 그 반송 부재보다 낮은 위치에 배치 형성되고, 그 둘레면에는 상기 처리액을 당해 둘레면으로부터 분출시키는 복수의 구멍을 형성하고, 그 구멍으로부터의 분류에 의해 상기 처리액 중에서 비접촉으로 상기 수지 필름을 그 둘레면을 따라 방향 전환시키는 분류 유닛을 갖는 것을 특징으로 한다.

Description

수지 필름의 습식 처리 장치

본 발명은 웨브상의 수지 필름을 소정의 처리액에 침지시킴으로써 소정의 처리를 상기 수지 필름면에 실시하는 수지 필름의 습식 처리 장치에 관한 것이다.

모바일 정보 단말 등의 소형화, 고성능화에 수반하여, 얇고 절곡이 가능한 플렉시블 회로 기판 (FPC) 의 수요가 높아지고 있다. 그에 수반하여 FPC 자체의 경박 단소화, 회로의 미세화나 저비용화도 요망되고 있다. 현재의 FPC 에는 염가의 라미네이트 타입이나 캐스트 타입의 플렉시블 구리 피복 적층판 (FCCL) 이 이용되고 있는데, 미세 회로 형성이나 박형화에는 부적합한 것으로 되어 있다. 시장에서 요구되는 추가적인 FPC 의 경박 단소화를 실현하기 위해서는, 예를 들어 금속막을 형성한 메탈라이즈 타입의 플렉시블 구리 피복 적층판을 사용하는 것이 필요한데, 필름 상에 금속막을 형성하기 위한 스퍼터링의 비용이 높고, FPC 자체의 비용도 고가가 되어 버린다.

이와 같은 고가의 스퍼터링의 대체 기술로서, 비교적 염가의 무전해 도금법을 사용하여, 플렉시블 구리 피복 적층판을 제조하는 방법 (예를 들어, 특허문헌 1 참조) 이 알려져 있다. 그 제조 방법을 이용함으로써, 현행의 메탈라이즈 타입의 플렉시블 구리 피복 적층판과 동등한 성능으로 또한 저비용의 플렉시블 구리 피복 적층판의 제작이 가능하다.

일본 공개특허공보 2010-159478호

무전해 도금법을 사용한 제조 장치에서는, 웨브상의 수지 필름으로서 폴리이미드 필름이 선택되고, 롤 투 롤 방식에 의한 연속 처리가 일반적이며, 그 생산성이 높은 것이 특장이다. 롤 투 롤 방식으로 반송되는 폴리이미드 필름의 두께는 현재 25 ㎛ ∼ 50 ㎛ 가 주류이지만, 향후에는 FPC 시장에서 요구되고 있는 12.5 ㎛ 두께의 폴리이미드 필름으로의 시프트가 예정되어 있다. 그런데 12.5 ㎛ 두께의 폴리이미드 필름은 매우 얇아서 취급이 어렵고, 지금까지의 반송 기술로는 필름이 흠집나거나 혹은 파단되어 버리기 때문에, 롤 투 롤 방식에 의한 도금 가공이 곤란해지고 있다.

또, 폴리이미드 필름 등의 웨브상의 수지 필름에, 무전해 도금의 촉매가 되는 금속 이온 촉매를 흡착시켰을 때, 무전해 도금액에 침지시키기 전에 금속 이온 촉매를 활성화시키는 것이 행해지고 있다. 그러나, 이 활성화에 의해 금속 이온이 환원되어 수지 필름 상의 카르복실산 이온과의 결합력이 약해져, 종래와 같은 롤 투 롤 방식의 반송에서는, 롤과 수지 필름이 접촉할 때에 금속 이온 촉매가 수지 필름 표면으로부터 탈락되기 쉬워, 양호한 두께의 금속막의 피착이 곤란해지고 있다.

그래서, 본 발명은 상기 서술한 기술적인 과제를 감안하여, 비교적 얇은 막두께의 수지 필름에 대해서도 무전해 도금법 등의 표면 처리를 실현하는 수지 필름의 습식 처리 장치의 제공을 목적으로 한다.

상기 서술한 기술적인 과제를 해결하는 본 발명의 수지 필름의 습식 처리 장치는, 막두께가 25 미크론 이하인 웨브상의 수지 필름을 처리액에 침지시킴으로써 피막 처리를 상기 수지 필름면에 실시하는 습식 처리 장치로서, 내부에 상기 처리액을 저류하고 상기 처리액 중에 상기 수지 필름을 통과시키는 처리조와, 상기 처리조의 상기 수지 필름의 도입측과 상기 수지 필름의 배출측에, 상기 처리조 내에 저류된 상기 처리액의 액면보다 높은 위치에 각각 형성되는 1 쌍의 반송 부재와, 1 쌍의 상기 반송 부재의 사이에 그 반송 부재보다 낮은 위치에 배치 형성되고, 그 둘레면에는 상기 처리액을 당해 둘레면으로부터 분출시키는 복수의 구멍을 형성하고, 그 구멍으로부터의 분류 (噴流) 에 의해 상기 처리액 중에서 비접촉으로 상기 수지 필름을 그 둘레면을 따라 방향 전환시키는 분류 유닛을 구비하고, 분류 유닛은 처리조보다 높은 위치에 배치 형성된 헤드 탱크로부터 공급되는 처리액을 둘레면의 구멍으로부터 분출시키는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 일 실시형태에 따르면, 본 발명의 수지 필름의 습식 처리 장치의 분류 유닛은, 단일 혹은 복수의 관을 통하여 헤드 탱크에 접속되고, 각각의 관은 처리액의 유량을 조정할 수 있는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 일 실시형태에 따르면, 본 발명의 수지 필름의 습식 처리 장치의 처리조 내의 바닥부 근방에는, 헤드 탱크로부터의 처리액을 공급하는 바닥부 분출부가 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 일 실시형태에 따르면, 본 발명의 수지 필름의 습식 처리 장치의 분류 유닛은, 그 둘레면의 일부가 원통 형상을 갖는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 일 실시형태에 따르면, 본 발명의 수지 필름의 습식 처리 장치의 분류 유닛의 둘레면에 형성된 구멍은, 분류 유닛으로부터 방사상으로 처리액을 분출시키는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 일 실시형태에 따르면, 본 발명의 수지 필름의 습식 처리 장치는 처리액 중의 분류 유닛보다 높은 위치에, 처리액을 당해 둘레면에 형성한 복수개의 구멍으로부터 분출시키는 벽면 분류 유닛을 구비하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 일 실시형태에 따르면, 본 발명의 수지 필름의 습식 처리 장치의 벽면 분류 유닛의 복수개의 구멍은 처리조의 내벽을 향해 분출액이 분출되도록 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 일 실시형태에 따르면, 본 발명의 수지 필름의 습식 처리 장치는 분류 유닛에 의해 액압을 받는 수지 필름의 면과는 반대의 수지 필름의 면에 분류를 부여하는 제 2 분류부를, 처리조 내에 형성한 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 일 실시형태에 따르면, 본 발명의 수지 필름의 습식 처리 장치의 처리조 내에는, 반송되는 수지 필름의 이송 상태를 검지하는 이송 센서가 형성되고, 그 이송 센서로부터의 신호에 따라 1 쌍의 상기 반송 부재를 제어하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 일 실시형태에 따르면, 본 발명의 수지 필름의 습식 처리 장치의 분류 유닛 내에는, 수지 필름의 반송 방향으로 수직인 필름 폭 방향에서 당해 분류 유닛으로부터 분출되는 처리액의 분출량을 변경하는 키 부재가 형성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 일 실시형태에 따르면, 본 발명의 수지 필름의 습식 처리 장치의 분류 유닛 내에는, 필름 폭 방향에서 당해 분류 유닛으로부터 분출되는 처리액을 분할하기 위한 격벽부가 형성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 일 실시형태에 따르면, 본 발명의 수지 필름의 습식 처리 장치의 1 쌍의 상기 반송 부재의 적어도 일방은 반송 롤러이며, 그 반송 롤러의 회전축의 축 방향은 필름 폭 방향으로 연장됨과 함께 조정시에는 그 축 방향이 기울도록 제어되는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 일 실시형태에 따르면, 본 발명의 수지 필름의 습식 처리 장치의 수지 필름은, 1 쌍의 상기 반송 부재와 상기 분류 유닛의 사이에 형성된 반송 유닛으로부터의 분류에 의해 비접촉으로 반송되는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 일 실시형태에 따르면, 본 발명의 수지 필름의 습식 처리 장치의 수지 필름의 막두께는 12.5 미크론 이하인 것을 특징으로 한다.
본 발명의 다른 실시형태에 따르면, 본 발명의 수지 필름의 습식 처리 장치는 막두께가 25 미크론 이하이고, 금속 이온 촉매를 표면에 흡착시킨 웨브상의 수지 필름을 리액에 침지시킴으로써, 도전성 금속의 피막 처리를 수지 필름면에 실시하는 습식 처리 장치로서, 내부에 상기 처리액을 저류하고 처리액 중에 수지 필름을 통과시키는 처리조와, 처리조의 수지 필름의 도입측과 수지 필름의 배출측에, 처리조 내에 저류된 처리액의 액면보다 높은 위치에 각각 형성되는 1 쌍의 반송 부재와, 1 쌍의 반송 부재의 사이에 그 반송 부재보다 낮은 위치에 배치 형성되고, 그 둘레면에는 처리액을 당해 둘레면으로부터 분출시키는 복수의 구멍을 형성하고, 그 구멍으로부터의 분류에 의해 처리액 중에서 비접촉으로 수지 필름을 그 둘레면을 따라 방향 전환시키는 분류 유닛을 구비하고, 분류 유닛은, 처리조보다 높은 위치에 배치 형성된 헤드 탱크로부터 공급되는 처리액을 둘레면의 구멍으로부터 분출시키는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 일 실시형태에 따르면, 본 발명의 수지 필름의 습식 처리 장치의 처리액은 무전해 금속 도금액이며, 그 무전해 금속 도금액에 의해 형성된 금속막은, 다음의 습식 금속막 형성을 위한 시드층으로서 기능하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 일 실시형태에 따르면, 본 발명의 수지 필름의 습식 처리 장치의 수지 필름은, 폴리이미드 필름을 포함하는 고내열 절연 수지 필름인 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 일 실시형태에 따르면, 본 발명의 수지 필름의 습식 처리 장치의 폴리이미드 필름은, 그 막두께가 12.5 미크론 이하인 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 일 실시형태에 따르면, 본 발명의 수지 필름의 습식 처리 장치의 분류 유닛의 구멍으로부터의 분류는 매분 100 리터 이하인 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 일 실시형태에 따르면, 본 발명의 수지 필름의 습식 처리 장치의 분류 유닛의 구멍으로부터의 분류는 매분 50 리터 이하인 것을 특징으로 한다.

본 발명의 수지 필름의 습식 처리 장치에 의하면, 1 쌍의 상기 반송 부재의 사이에서, 상기 분류 유닛이 상기 처리액 중에서 비접촉으로 상기 수지 필름을 그 둘레면을 따라 방향 전환시키기 때문에, 얇은 수지 필름이 흠집나거나 혹은 파단되거나 하는 것이 미연에 방지된다. 상기 처리액 중에서 수지 필름이 분류 유닛과는 비접촉으로 되기 때문에, 금속 이온 촉매가 수지 필름의 표면으로부터 탈락되는 것도 미연에 방지된다.

도 1 은 본 발명의 제 1 실시형태에 관련된 도금 장치의 구성도이다.
도 2 는 도 1 에 나타내는 도금 장치의 배관계를 나타내는 배관도이다.
도 3 은 본 발명의 제 1 실시형태에 관련된 도금 장치의 분류 유닛의 예를 나타내는 모식도이며, (a) 내지 (e) 는 각각 분출하는 각도를 변경한 예를 나타낸다.
도 4 는 본 발명의 제 1 실시형태에 관련된 도금 장치의 제어계를 나타내는 모식도이다.
도 5 는 본 발명의 제 1 실시형태에 관련된 도금 장치의 벽면 분류부를 나타내는 구성도이다.
도 6 은 도 5 에 나타내는 벽면 분류부를 나타내는 개략 사시도이다.
도 7 은 벽면 분류가 없는 경우를 나타내는 도금 장치의 구성도이다.
도 8 은 본 발명의 제 1 실시형태에 관련된 도금 장치의 변형예의 일례를 나타내는 구성도이다.
도 9 은 본 발명의 제 1 실시형태에 관련된 도금 장치의 변형예의 다른 일례를 나타내는 구성도이다.
도 10 은 본 발명의 제 2 실시형태에 관련된 도금 장치를 나타내는 구성도이다.
도 11 은 본 발명의 제 2 실시형태에 관련된 도금 장치의 변형예의 일례를 나타내는 구성도이다.
도 12 는 본 발명의 제 2 실시형태에 관련된 도금 장치의 변형예의 다른 일례를 나타내는 구성도이다.
도 13A 는 본 발명의 제 3 실시형태에 관련된 도금 장치를 나타내는 주요부 정면도이다.
도 13B 는 본 발명의 제 3 실시형태에 관련된 도금 장치를 나타내는 주요부 측면도이다.
도 14A 는 본 발명의 제 3 실시형태에 관련된 도금 장치의 변형예의 일례를 나타내는 주요부 정면도이다.
도 14B 는 본 발명의 제 3 실시형태에 관련된 도금 장치의 변형예의 일례를 나타내는 주요부 측면도이다.
도 15 는 본 발명의 제 4 실시형태에 관련된 도금 장치를 나타내는 구성도이다.
도 16 은 본 발명의 제 4 실시형태에 관련된 도금 장치의 변형예의 일례를 나타내는 구성도이다.
도 17 은 도 16 에 나타내는 도금 장치의 변형예의 일례를 나타내는 측면도이다.
도 18 은 본 발명의 제 4 실시형태에 관련된 도금 장치의 변형예의 다른 일례를 나타내는 구성도이다.
도 19 는 본 발명의 제 5 실시형태에 관련된 도금 장치를 나타내는 구성도이다.
도 20A 는 본 발명의 제 5 실시형태에 관련된 도금 장치에서의 필름의 통상적인 반송 상태를 나타내는 도면이다.
도 20B 는 본 발명의 제 5 실시형태에 관련된 도금 장치에서의 필름의 사행 (蛇行) 시의 반송 상태를 나타내는 도면이다.
도 21 은 본 발명의 제 6 실시형태에 관련된 도금 장치를 나타내는 구성도이다.
도 22 는 본 발명의 제 6 실시형태에 관련된 도금 장치의 변형예의 일례를 나타내는 구성도이다.
도 23 은 본 발명의 제 6 실시형태에 관련된 도금 장치의 변형예의 다른 일례를 나타내는 구성도이다.
도 24 는 본 발명의 제 7 실시형태에 관련된 도금 장치를 나타내는 구성도이다.
도 25 는 본 발명의 제 7 실시형태에 관련된 도금 장치의 변형예의 일례를 나타내는 구성도이다.
도 26 은 본 발명의 제 7 실시형태에 관련된 도금 장치의 변형예의 다른 일례를 나타내는 구성도이다.
도 27 은 본 발명의 제 8 실시형태에 관련된 도금 장치를 나타내는 구성도이다.
도 28 은 도 27 에 나타내는 도금 장치에 배치 형성되는 측부 분류판의 일례를 나타내는 구성도이다.
도 29 는 본 발명의 제 8 실시형태에 관련된 도금 장치의 변형예의 일례를 나타내는 구성도이다.

본 발명의 실시형태에 대하여, 도면을 참조하면서 설명한다. 또한, 이하의 설명은 본 발명의 몇 가지 구체예로, 본 발명은 그 실시양태에 한정되는 것은 아니다. 또, 본 발명은, 각 도면에 나타내는 각 구성 요소의 배치나 치수 등에 대해서도 한정되는 것은 아니다.

제 1 실시형태

본 실시형태는, 수지 필름의 습식 처리 장치로서, 도금 처리를 실시하는 업다운 반송 방식의 도금 장치의 예이며, 특히 폴리이미드 필름 등의 수지 필름 상에 도전층으로서의 구리층을 형성하는 플렉시블 구리 피복 적층판 (FCCL) 을 제조하는 라인에 형성되고, 일례로서 무전해 도금법에 의해 시드층이 되는 니켈 박막을 형성하는 장치로서 실시된다. 본 실시형태의 도금 장치에서는, 금속 박막을 형성하기 전에 수지 필름 상에는 활성화된 금속 촉매가 존재하는데, 특히 도금조 내에서 수지 필름 자체는 도금액 이외에는 비접촉으로 되기 때문에, 금속 촉매의 수지 필름 상으로부터 탈락을 미연에 억제할 수 있다. 플렉시블 구리 피복 적층판을 제조하는 라인에 형성되고, 웨브상의 수지 필름을 기재로서 사용하기 때문에, 연속적인 처리가 이루어져, 배치식인 것에 비하여 양산에 바람직하다.

도 1, 도 2 에 나타내는 바와 같이, 본 실시형태의 도금 장치는, 웨브상의 폴리이미드 필름 등의 수지 필름 (20) 을 반송하면서 도금 처리를 실시하는 장치로, 수지 필름 (20) 을 반송 방향으로 수직인 방향이 수평 방향이 되도록 연속적으로 반송하고, 처리조 (10) 의 내부에서는 한 번 내려가서 다시 상승하는 반송 경로를 취하는, 이른바 업다운 반송 방식을 채용한다. 이와 같이 도금액 중을 통과할 때에, 수평이 아니라 상하 방향으로 흔들림으로써, 도금액 중에서 발생하여 수지 필름 (20) 의 표면에 피착되는 기포는 도금액 내에서 수지 필름 (20) 의 표면으로부터 떨어지게 되어, 금속 박막을 도금에 의해 형성할 때에는, 기포에 의한 악영향을 최소한으로 억제할 수 있는 데다, 제조 라인 전체의 점유 면적도 작게 할 수 있다.

본 실시형태의 도금 장치는, 수지 필름 (20) 에 도금액을 침지시키기 위해, 내부에 도금액을 저류하고 그 도금액 중에 수지 필름 (20) 을 통과시키는 처리조 (10) 를 갖고, 그 처리조 (10) 의 수지 필름 (20) 의 도입측과 수지 필름 (20) 의 배출측에, 처리조 (10) 내에 저류된 도금액의 액면보다 높은 위치에 각각 형성되는 1 쌍의 반송 부재인 도입 롤러 (14) 와 배출 롤러 (16) 를 갖고 있다. 이들 도입 롤러 (14) 와 배출 롤러 (16) 의 사이에서, 도입 롤러 (14) 와 배출 롤러 (16) 보다 낮은 위치에는, 도금액 중에서 비접촉으로 수지 필름 (20) 을 그 둘레면 (13) 을 따라 방향 전환시키는 분류 유닛 (12) 이 배치 형성되어 있다.

분류 유닛 (12) 은, 바닥측이 원통 형상이고, 상측이 사각형 형상인 내부가 중공으로 되는 부재이며, 예를 들어 PVC (폴리염화비닐) 등의 수지를 가공하여 형성된다. 또, 분류 유닛 (12) 은, 수지 필름 (20) 의 폭 방향에는, 수지 필름 (20) 의 폭보다는 넓은 치수가 되도록 형성되어 있다. 분류 유닛 (12) 은, 예를 들어 폭 방향의 단부에서 처리조 (10) 에 고정되는데, 처리조 (10) 에 대하여 착탈식으로 할 수도 있고, 고정식이 아니라 처리조 (10) 내에서 이동할 수 있는 구조로 하는 것도 가능하며, 처리조 (10) 의 상부로부터 매달아 지지하는 기구여도 된다. 분류 유닛 (12) 의 바닥측의 원통 형상의 둘레면 (13) 에는, 도금액을 당해 둘레면 (13) 으로부터 분출시키는 복수의 구멍 (15) 이 형성되어 있고, 이 구멍 (15) 으로부터 분출되는 도금액의 압력에 의해, 반송되는 수지 필름 (20) 은 분류 유닛 (12) 과는 비접촉으로 반송된다. 구멍 (15) 은, 분류 유닛 (12) 의 바닥측의 원통 형상의 둘레면 (13) 에, 예를 들어 나열 배열되어 둘레면 (13) 의 구성판을 관통하는 관통공으로, 동일한 직경의 구멍 (15) 을 복수 형성해도 되고, 상이한 직경의 구멍 (15) 을 혼재시키는 것도 가능하다. 복수의 구멍 (15) 을 형성하는 둘레면 (13) 상의 각도에 대해서는 후술한다.

분류 유닛 (12) 에는, 도금액 공급관 (38) 이 접속되어 있고, 이 도금액 공급관 (38) 을 통하여 공급된 도금액이 처리조 (10) 내에 소정의 액압으로 분류 유닛 (12) 으로부터 분출된다. 도금액 공급관 (38) 의 하단에는, 수지 필름 (20) 을 비접촉으로 반송하기 위한 분류 유닛 (12) 이 접속되지만, 도금액 공급관 (38) 의 상단에는, 헤드 탱크 (18) 가 처리조 (10) 보다 높은 위치에서 배치 형성된다. 헤드 탱크 (18) 는, 펌프 (24) 에 의해 공급된 도금액을 일시적으로 저류하여 분류 유닛 (12) 에 대하여 공급하는 조이며, 펌프 (24) 의 가동에서 기인하는 도금액의 맥동을 분류 유닛 (12) 에 대해서는 억제할 수 있다. 헤드 탱크 (18) 와 분류 유닛 (12) 을 접속하는 도금액 공급관 (38) 은, 유량계 (22) 와 밸브 (30) 가 형성되어 있고, 밸브 (30) 를 조작함으로써 헤드 탱크 (18) 로부터 분류 유닛 (12) 에 공급되는 도금액의 유량을 조정할 수 있고, 그 유량은 유량계 (22) 에 의해 모니터된다. 헤드 탱크 (18) 로부터는, 도금액의 자중 낙하에 의해, 분류 유닛 (12) 으로부터 처리조 (10) 내로 도금액이 분출된다. 수지 필름 (20) 을 안정적으로 비접촉으로 반송하기 위해서는, 도금액 공급관 (38) 의 도중에 형성되는 밸브 (30) 의 제어도 유효하고, 후술하는 바와 같은 분류 유닛 (12) 으로부터의 도금액의 각도 조정도 유효하다. 또, 분류 유닛 (12) 의 둘레면 (13) 에 형성되어 있는 구멍 (15) 의 사이즈를 주지된 방법으로 제어하는 것이어도 되고, 나아가서는 헤드 탱크 (18) 의 높이를 조정하는 방법이어도 된다.

처리조 (10) 는, 수지 필름 (20) 의 반송을 위해서 상측이 개구된 사각형상의 구조를 갖고 있으며, 도 2 에 나타내는 바와 같이, 상단부에는 처리조 (10) 로부터 흘러넘친 도금액을 수용하는 오버 플로우조 (48) 가 형성되고, 오버 플로우조 (48) 의 바닥부로부터 저조 (26) 에는 드레인 관 (50) 이 접속되어 있다. 따라서, 처리조 (10) 에 대하여 도금액을 수시 혹은 상시 공급해도 처리조 (10) 로부터 도금액이 장치 외부로는 유출되지 않는 구조로 되어 있다. 저조 (26) 의 도금액은 밸브 (28) 를 통하여 펌프 (24) 가 퍼 올리는 구조로 되고, 펌프 (24) 로 퍼 올려진 도금액은 헤드 탱크 (18) 에 공급된다. 헤드 탱크 (18) 의 바닥부에는, 드레인 밸브 (32) 가 형성되어 있고, 드레인 밸브 (32) 를 엶으로써, 헤드 탱크 (18) 의 도금액을 저조 (26) 로 되돌릴 수 있다.

처리조 (10) 내의 측벽에는, 벽면에 분류를 부여하는 제 2 분류부로서의 벽면 분류부 (40, 42) 가 배치 형성되어 있다. 벽면 분류부 (40, 42) 는, 처리조 (10) 내측벽에 배치 형성된 관상의 부재로, 수지 필름 (20) 의 폭 방향 즉 수평 방향을 길이 방향으로 하도록 형성되어 있다. 도 6 에 나타내는 바와 같이, 벽면 분류부 (40, 42) 의 본체 (41) 에는 수평 방향으로 나열되어 단부 (45) 까지의 사이에 복수의 분류 구멍 (43) 이 형성되어 있고, 후술하는 바와 같이 복수의 분류 구멍 (43) 으로부터 분출하는 액류에 의해, 수지 필름 (20) 의 반송 패스를 적정한 위치로 제어할 수 있다. 이 벽면 분류부 (40, 42) 는, 분류 유닛 (12) 에 의해 액압을 받는 수지 필름 (20) 의 면과는 반대의 수지 필름 (20) 의 면에 분류를 부여한다. 벽면 분류부 (40, 42) 의 본체 (41) 에 형성되어 있는 복수의 분류 구멍 (43) 은, 그 방향이 처리조 (10) 의 내부를 직접 향하는 방향이 아니라, 본체 (41) 로부터 처리조 (10) 의 내벽을 향해 분출하도록 형성되어 있어, 수지 필름 (20) 에는 간접적인 도금액의 압력이 가해지는 것이 된다. 벽면 분류부 (40, 42) 로부터 도금액을 수지 필름 (20) 의 표면에 간접적으로 보냄으로써, 반송되는 수지 필름 (20) 이 처리조 (10) 의 가장자리나 내벽에 달라붙는 것을 방지할 수 있어, 수지 필름 (20) 의 반송을 안정되게 할 수 있다.

도 5 는, 벽면 분류부 (40, 42) 를 갖는 도금 장치를 나타내는 구성도이고, 도 7 은 비교를 위해서 벽면 분류부 (40, 42) 를 갖고 있지 않는 도금 장치를 나타내는 구성도이다. 도 7 에 나타내는 바와 같이, 벽면 분류부 (40, 42) 를 처리조 (10) 의 측벽에 형성하지 않는 구성의 장치에서는, 반송되는 수지 필름 (20) 이 분류 유닛 (12) 으로부터의 도금액으로부터 받는 힘으로, 처리조 (10) 의 측벽을 따른 벽면에 가까운 부분을 반송 패스로 해 버린다. 이 때문에 수지 필름 (20) 이 처리조 (10) 의 가장자리나 내벽에 달라붙는 경우가 있고, 특히 예를 들어 12.5 미크론과 같은 얇은 막두께의 수지 필름 (20) 을 사용하는 경우에 현저해진다. 이에 비하여 도 5 에 나타내는 바와 같이, 벽면 분류부 (40, 42) 를 처리조 (10) 의 측면에 배치 형성하는 구성에서는, 얇은 막두께의 수지 필름 (20) 을 사용하는 경우라도, 수지 필름 (20) 이 처리조 (10) 의 가장자리나 내벽에 달라붙지도 않고 적정한 반송 패스를 통과하게 되어, 안정적인 필름의 반송을 진행시킬 수 있다.

수지 필름 (20) 은, 상기 서술한 바와 같이, 예를 들어 25 미크론 이하, 바람직하게는 12.5 미크론 이하 정도의 얇은 막두께를 갖는 폴리이미드 수지 필름으로, 통상 방향족 화합물이 직접 이미드 결합으로 연결된 방향족 폴리이미드이고, 그 이미드 결합을 통하여 방향족끼리의 공액 구조를 갖고, 이 강분자간 힘을 갖는 이미드 결합에 의해, 폴리머 중에서 가장 높은 열적, 기계적, 화학적 특성을 갖는다. 본 실시형태에서는, 예를 들어 토레·듀퐁사 제조의 카프톤 (상품명) 이나 우베코산 주식회사 제조의 유피렉스 (상품명) 를 사용할 수 있다.

이와 같은 도금 장치는, 바람직하게는 연속적인 제조 라인의 하나의 공정을 위한 처리 장치로서 사용되는 것으로, 예를 들어 수지 필름 (20) 상에 도전층으로서의 구리층을 형성하는 플렉시블 구리 피복 적층판을 제조하는 라인 공정의 금속 시드층의 형성 공정에 사용할 수 있다. 이와 같은 플렉시블 구리 피복 적층판을 제조하는 방법에 대해서는, 본건 출원인은, 먼저 미리 Ni 또는 그 합금 등의 도전성 금속의 시드층 형성을 포함하여, 그 시드층 상에 구리 도전층을 두께를 주어 피복 도금 처리하는 전체 공정을, 웨트·프로세스로, 그 전체 구리 부착 공정이 1 공정인 것을 특징으로 하는 2 층 플렉시블 구리 피복 적층 기재 (2 층 FCCL) 의 제조 방법에 대하여 제안하고 있으며, 예를 들어 일본 공개특허공보 2010-159478호에 당해 기술이 개시되어 있다.

간단하게 플렉시블 구리 피복 적층판을 제조하는 방법에 대하여 설명하면, 우선 플렉시블하고, 내열성이고, 내약품성이 우수한 폴리이미드 수지 필름면을 표면 개질시켜 친수성화시키는 전 (前) 처리 공정을 실시한다. 그 표면 개질법은, 알칼리 습식 개질법으로 그 표면에 폴리아믹산 개질층을 형성시킨다. 이어서, 팔라듐 (Pd) 계 촉매로, 그 표면에 Pd 이온을 흡착시킨 후, 환원 처리시켜, 흡착 Pd 이온을 환원 금속화시켜 이루어지는 친수성의 표면 개질층으로 한다. 이 알칼리 습식 개질법에 의한 일련의 변이 거동은, 통상 폴리이미드 수지는 알칼리성 수용액으로 처리하면, 그 표면의 일부가 가수분해 작용하여 이미드환의 일부가 개열 (開裂) 되어, 아미드기와 카르복실기를 생성한다. 이 생성된 카르복실기는 카티온 이온 교환을 하기 쉽기 때문에 금속 이온을 흡착시킬 수 있는 것에 의한다.

이와 같이 친수화 표면 개질된 수지 필름면에, 무전해 도금법으로, 미리 Ni 또는 그 합금 등의 도전성 금속의 도금을 실시하여, 도전성 금속의 시드층을 형성시킨다. 이 때에, 본 실시형태에 관련된 도금 장치를 사용하여, 분류 유닛 (12) 을 이용한 비접촉 반송으로 수지 필름 (20) 을 보낸다. 이 습식 무전해 니켈 도금 처리에서는, 10 ∼ 300 ㎚ 정도의 도전성 니켈 시드층을 양면에 형성시키면 되고, Ni 의 합금으로는, Ni-P, Ni-B, Ni-Cu 등의 합금을 들 수 있다.

이어서, 산성 구리 도금욕 조성물 중에서, 습식 전기 도금시켜, 수지 필름의 시드층 상에, 일단 공정으로 자유롭게 층두께를 컨트롤시키면서 구리 도전층을 두께를 주어 도금시켜, 구리 부착 피복두께 0.05 ∼ 50 ㎛ 범위에 있는 플렉시블 구리 피복 적층 기재를 제조한다. 표면에 금속 피막이 형성된 수지 필름을, 산성 구리 도금욕 조성물로 구리 도금을 실시하는 조건은, 통상적인 황산구리 도금의 조건이어도 된다. 즉, 액온 23 ∼ 27 ℃ 정도, 평균 음극 전류 밀도 1 ∼ 3 A/dm² 정도로 0.1 ∼ 250 분간 정도 도금을 실시하면 된다. 또, 일반적으로는 에어레이션 등에 의한 액 교반하에 구리 도금을 실시하는 것이 바람직하다.

이상의 2 층 플렉시블 구리 피복 적층 기재의 제조 방법에서는, 저렴하고 인라인화가 가능한 무전해 Ni 도금에 의한 시드층 형성을 포함하여, 전체 공정이 습식법 (올 웨트 프로세스) 이고, 게다가, 얻어지는 2 층 플렉시블 구리 피복 적층 기재를 미세 패턴화에 적절히 대응할 수 있다. 또, 미리 도전성 금속 피막의 시드층을 형성시킨 수지 필름면에, 1 차 구리 도금을 통하지 않고, 두께를 주어 구리 도금시켜 제조되는 2 층 플렉시블 구리 피복 적층 기재는, 평활한 광택 외관을 나타내고, 게다가, 얻어진 구리 도금층의 내박리성은 현격하게 향상된 것이 된다.

이와 같은 플렉시블 구리 피복 적층 기재의 제조 방법은, 본 실시형태의 도금 장치의 적용예의 일례를 나타내는 데에 지나지 않고, 본 발명의 수지 필름의 습식 처리 장치는, 도금에 한정하지 않고, 그 밖의 습식 처리 전반에 적용할 수 있다. 즉, 본 발명의 수지 필름의 습식 처리 장치는, 예를 들어 웨트 에칭 장치, 약액 처리 장치, 세정 장치, 도포 장치, 현상 장치, 코팅 장치 등이어도 되고, 또 독립된 장치가 아니라, 대형 제조 라인의 일부로서 장착되는 것이어도 되고, 다른 처리 장치의 일부에 탑재되는 것이어도 된다. 또, 본 발명의 수지 필름의 습식 처리 장치는, 전처리 공정과 구리층을 형성하는 후처리 공정의 사이에 배치되어, 연속적으로 웨브상의 수지 필름이 공급되어 오는 것을 전제로 하고 있지만, 막박리 등의 문제가 생기지 않으면, 전처리 공정 후에 일단 권취한 수지 필름을 공급하도록 구성할 수도 있고, 후처리 공정 전에 일단 수지 필름을 권취할 수도 있다.

처리조 (10) 에 도입되는 도금액으로는, 본 실시형태에서는, 예를 들어 공지된 무전해 니켈 도금욕을 이용할 수 있다. 그 조건도 무전해 니켈 도금욕에서 추천되는 농도, 온도, 시간 등으로 하면 된다. 또한, 무전해 니켈 도금욕으로는, 무전해 Ni-P 도금, 무전해 Ni-B 도금, 무전해 순 Ni 도금 등을 사용할 수 있어 특별히 한정되는 것은 아니지만, Ni-P 계 무전해 니켈 도금욕을 이용하는 것이 바람직하다. 사용 약제의 일례로는, ES-500 (주식회사 JCU 제조) 을 이용하고, 처리 온도를 예를 들어 40 ℃ 로 하는 것이 가능하다.

본 실시형태의 도금 장치에서는, 분류 유닛 (12) 으로부터의 분출류를 수지 필름 (20) 에 많이 맞히면 반송을 안정시키는 것이 가능한 반면, 도금 석출면의 팔라듐이 낙하되어 버려 분출측 수지 필름 (20) 표면의 도금 막두께가 얇아져, 분류 토출이 없는 수지 필름 이면의 도금 막두께와의 막두께차가 발생하여, 표리 균일한 도금 막두께가 되지 않는다. 그래서, 본 실시형태의 도금 장치에서는, 그 분출량을 제한하여, 예를 들어 분류 유닛 (12) 의 구멍 (15) 으로부터의 분류는 매분 100 리터 이하, 바람직하게는 매분 75 리터 이하, 보다 바람직하게는 매분 50 리터 이하로 된다. 이것은, 본건 발명자들이 실시한 실험으로부터 얻어진 것으로, 매분 100 리터 이하의 저분출량, 바람직하게는 매분 75 리터 이하의 저분출량, 보다 바람직하게는 매분 50 리터 이하의 저분출량으로 표리의 막두께가 거의 균일해지는 결과가 얻어졌다.

다음으로, 수지 필름 (20) 을 그 둘레면 (13) 을 따라 방향 전환시키는 분류 유닛 (12) 의 분출 각도에 대하여, 도 3 을 참조하면서 설명한다. 본 실시형태의 도금 장치의 분류 유닛 (12) 은, 하측의 절반이 원통 형상이며, 그 중심으로부터 방사상으로 둘레면 (13) 에 형성된 구멍 (15) 을 통하여 도금액을 토출시키도록 구성되어 있다. 분류 유닛 (12) 을 필름의 반송 방향에서 절단한 단면에서의 구멍 (15) 의 분포가, 분류 유닛 (12) 의 분출 각도를 결정하는 것으로 된다. (a) 는 분류 유닛 (12) 의 분출 각도 θ 가 180 도이며, (b) 는 분류 유닛 (12) 의 분출 각도 θ 가 90 도이고, (c) 는 분류 유닛 (12) 의 분출 각도 θ 가 120 도이며, (d) 는 분류 유닛 (12) 의 분출 각도 θ 가 150 도이고, (e) 는 분류 유닛 (12) 의 분출 각도 θ 가 180 도이고, 추가로 원통부 상의 사각형상의 부분에도 구멍이 형성된 구성을 갖는다. 이들 각 형상을 비교한 결과, 분출 각도 θ 가 180 도인 (a) 와 (e) 의 분류 유닛 (12) 에, 예를 들어 둘레면 (13) 으로부터의 수지 필름 (20) 까지의 거리가 3 ㎜ 정도로 거의 일정한 양호한 수지 필름 (20) 의 반송 안정성이 얻어졌다. 또 (b) 내지 (d) 의 분류 유닛 (12) 의 분출 각도 θ 가 90 도 내지 150 도인 분류 유닛 (12) 이어도, 필요한 10 ∼ 300 ㎚ 정도의 도전성 니켈 시드층을 양면에 형성할 수 있다.

본 실시형태의 도금 장치는, 종래의 수지 필름보다 얇은 막두께의 수지 필름 (20) 을 취급하기 때문에, 사행의 방지나 반송 속도의 안정화가 매우 중요하고, 도 4 에 나타내는 바와 같은 피드백 제어계에 의해, 수지 필름 (20) 의 양면에 균일하게 도금막을 형성할 수 있다. 수지 필름 (20) 의 반송 상태는, 투과형 센서 (44, 46) 에 의해 상시 감시되고 있으며, 감시 결과가 되는 신호가 반송 컨트롤러 (60) 에 보내진다. 투과형 센서 (44, 46) 는, 일방이 발광 소자이고, 타방이 수광 소자이다. 센서 (44, 46) 는, 그 장착 위치로부터 수지 필름 (20) 이 발광 소자로부터 사출된 광을 차단하는지 아닌지를 모니터하고 있다. 일례로서, 센서 (44, 46) 가 수지 필름 (20) 의 위치를 모니터하는 위치는, 분류 유닛 (12) 의 바닥부로부터 1 ㎜ ∼ 15 ㎜, 바람직하게는 3 ㎜ ∼ 10 ㎜ 정도의 위치이다. 반송 컨트롤러 (60) 는, 도입 롤러 (14) 를 구동시키는 모터 (64) 와, 배출 롤러 (16) 를 구동시키는 모터 (66) 를 제어하도록 구성되어 있다.

피드백 제어의 예로는, 수지 필름 (20) 이 분류 유닛 (12) 에 접근하면, 센서 (44, 46) 사이에서 광이 투과되고, 그 신호를 받은 반송 컨트롤러 (60) 가 모터 (64) 에 신호를 보내어 처리조 (10) 의 입구에 있는 도입 롤러 (14) 의 회전 속도를 빠르게 하도록 제어한다. 그러면, 수지 필름 (20) 과 분류 유닛 (12) 의 바닥의 사이가 이간된다. 반대로, 수지 필름 (20) 이 분류 유닛 (12) 으로부터 멀어지면, 센서 (44, 46) 의 사이가 차단되고, 그 신호를 받은 반송 컨트롤러 (60) 가 모터 (64) 에 신호를 보내어 처리조 (10) 입구측에 있는 도입 롤러 (14) 의 회전 속도를 느리게 한다. 그 결과, 수지 필름 (20) 과 분류 유닛 (12) 의 바닥의 사이가 접근한다. 반송 컨트롤러 (60) 에 의한 모터의 제어는, 모터 (66) 에 대하여 실시하도록 할 수도 있고, 그 경우에는 배출 롤러 (16) 의 회전 속도가 제어된다. 또, 반송 컨트롤러 (60) 에 의한 모터의 제어는, 모터 (64) 와 모터 (66) 의 양방에 실시하도록 할 수도 있고, 일방의 회전 속도가 빨라지고, 타방의 회전 속도가 느려지도록 제어함으로써, 신속한 피드백 제어도 가능하다. 따라서, 이 피드백 제어에 의해, 분류 유닛 (12) 과 수지 필름 (20) 의 간격을 적당히 유지할 수 있어, 안정적인 필름 반송을 실시할 수 있다.

도 8, 도 9 에 제 1 실시형태의 도금 장치의 변형예를 각각 나타낸다. 도 8 에 나타내는 제 1 실시형태의 도금 장치의 변형예는, 처리조 (11a) 가 앞의 실시형태에 비하여 좁은 스팬 W1 로 설정되어 있고, 도입 롤러 (14) 와 배출 롤러 (16) 의 사이의 거리도 짧게 되어 있어, 제조 라인 전체의 점유 면적도 작아지는 구조를 갖는다. 도입 롤러 (14) 와 배출 롤러 (16) 의 사이의 거리가 짧아져, 분류 유닛 (12a) 의 처리조 (11a) 내에서의 위치가 도 1 에 나타내는 도금 장치와 동일하면, 도입 롤러 (14) 로부터 분류 유닛 (12a) 에 대한 수지 필름 (20) 의 반송 패스는 보다 가파르게 하강이 되고, 분류 유닛 (12a) 으로부터 배출 롤러 (16) 에 대한 수지 필름 (20) 의 반송 패스는 보다 가파르게 상승이 되어, 설치 면적을 축소화할 수 있음과 함께, 수지 필름 (20) 의 표면으로부터의 기포의 배출도 양호해져, 균일한 막두께로 도금막을 형성할 수 있다.

도 9 에 나타내는 제 1 실시형태의 도금 장치의 변형예는, 더욱 좁은 스팬 W2 를 갖는 처리조 (11b) 를 사용하는 예로, 내부에 배치 형성되는 분류 유닛 (12b) 은 단면 방추 형상으로 되어, 더욱 좁은 스팬 W2 에 대응한 사이즈로 되어 있다. 이와 같은 방추 형상의 분류 유닛 (12b) 을 사용함으로써, 수지 필름 (20) 이 분류 유닛 (12b) 의 측벽에 접촉하는 것을 방지함과 함께, 방추형의 숄더 부분에 액고임이 생김으로써 수지 필름 (20) 과 분류 유닛 (12b) 의 간격을 안정화시킬 수 있다. 또, 분류 유닛 (12b) 과 수지 필름 (20) 의 접촉 방지나 수지 필름 (20) 의 안정 반송을 도모할 수도 있다. 미약한 액류로 처리를 실시하는 경우에는, 방추형으로 한 다음 직경을 작게 하는 것이 바람직하다. 그 결과, 헤드 탱크와 처리조 (11b) 와 저조 (26) 의 용량을 모두 작게 할 수 있고, 필요한 약액의 양을 삭감할 수 있어, 처리 비용, 폐액 처리 비용, 나아가서는 환경 부하를 저감시킬 수도 있다.

제 2 실시형태

본 실시형태는, 분류 유닛이 2 개 이상인 분리된 챔버를 갖는 도금 장치의 예로, 도 10 내지 도 12 에 각각 나타내는 구조를 갖는다. 또한, 본 실시형태의 도금 장치가 앞의 실시형태의 도금 장치와 동일한 구성 요소를 갖는 경우에는, 동일한 참조 부호를 부여하고, 중복되는 설명은 생략한다.

도 10 에 나타내는 본 실시형태의 도금 장치는, 비교적 좁은 스팬 W1 의 처리조 (70) 를 갖고, 그 내부에 배치되는 분류 유닛 (81) 은, 유닛 상측에 배치 형성되는 제 1 챔버 (80) 와, 유닛 하측에 배치 형성되는 제 2 챔버 (82) 로 이루어진다. 이들 제 1 챔버 (80) 와 제 2 챔버 (82) 는, 서로 연통되지 않고, 각각 독립된 도금액 공급관 (92, 96) 을 통하여 헤드 탱크 (18) 에 접속된다. 제 1 챔버 (80) 는 도금액 공급관 (92) 과 밸브 (94) 를 통하여 헤드 탱크 (18) 에 접속된다. 제 2 챔버 (82) 는 도금액 공급관 (96) 과 밸브 (98) 를 통하여 헤드 탱크 (18) 에 접속된다. 제 1 챔버 (80) 는 분류 유닛 (81) 의 상부 절반에 도금액을 분출시키는 구멍을 갖고, 그들 구멍으로부터 수평 방향으로 분류를 방출할 수 있다. 또 제 2 챔버 (82) 는 분류 유닛 (81) 의 하부 절반에 도금액을 분출시키는 구멍을 갖고, 분류 유닛 (81) 의 둘레면을 따라 방사상으로 분류를 방출할 수 있다.

도금액 공급관 (92, 96) 은 독립된 공급로이기 때문에, 밸브 (94, 98) 를 조작함으로써 각각 독립적으로 공급관 내의 유량을 제어할 수 있고, 균일한 도금막의 형성에 유리한 제 1 챔버 (80) 와 제 2 챔버 (82) 의 조합으로 처리를 진행시킬 수 있다. 또, 당해 분류 유닛 (81) 내의 제 1 챔버 (80) 와 제 2 챔버 (82) 를 개별적으로 유량 제어함으로써, 수지 필름 (20) 에 대한 분류 유닛으로부터의 위치를 안정화시킬 수 있다. 또한, 각 챔버 (80, 82) 에 대한 급액은 헤드 탱크 (18) 로부터 실시하는 것이 바람직하다. 도 10 에 나타내는 본 실시형태의 도금 장치에 의하면, 분류 유닛 (81) 과 수지 필름 (20) 의 접촉을 방지할 수 있고, 그 반송도 안정화할 수 있다.

도 11 에 나타내는 본 실시형태의 도금 장치는, 내부에 배치 형성되는 분류 유닛 (85) 은 단면 방추 형상으로 되어, 더욱 좁은 스팬 W2 에 대응한 사이즈로 되고, 이 비교적 소형의 분류 유닛 (85) 은 유닛 상측에 배치 형성되는 제 1 챔버 (84) 와, 유닛 하측에 배치 형성되는 제 2 챔버 (86) 로 이루어진다. 이들 제 1 챔버 (84) 와 제 2 챔버 (86) 는, 서로 연통되지 않고, 각각 독립된 도금액 공급관 (92, 96) 을 통하여 헤드 탱크 (18) 에 접속된다. 제 1 챔버 (84) 는 도금액 공급관 (92) 과 밸브 (94) 를 통하여 헤드 탱크 (18) 에 접속된다. 제 2 챔버 (86) 는 도금액 공급관 (96) 과 밸브 (98) 를 통하여 헤드 탱크 (18) 에 접속된다. 제 1 챔버 (84) 는 분류 유닛 (85) 의 상부 절반에 도금액을 분출시키는 구멍을 갖고, 그들 구멍으로부터 상향인 방사상으로 분류를 방출할 수 있다. 또 제 2 챔버 (82) 는 분류 유닛 (85) 의 하부 절반에 도금액을 분출시키는 구멍을 갖고, 분류 유닛 (85) 의 둘레면을 따라 하향으로 방사상으로 분류를 방출할 수 있다.

도 11 에 나타내는 도금 장치에 있어서도, 도 10 에 나타내는 도금 장치와 동일하게, 도금액 공급관 (92, 96) 은 독립된 공급로이기 때문에, 밸브 (94, 98) 를 조작함으로써 각각 독립적으로 공급관 내의 유량을 제어할 수 있고, 균일한 도금막의 형성에 유리한 제 1 챔버 (84) 와 제 2 챔버 (86) 의 조합으로 처리를 진행시킬 수 있어, 처리시에 통과하는 수지 필름 (20) 의 위치를 안정시킬 수 있다.

도 12 에 나타내는 도금 장치는, 도 11 에 나타내는 도금 장치와 동일한 단면 방추 형상의 분류 유닛 (87) 을 갖고 있으며, 유닛 상측에 배치 형성되는 제 1 챔버 (88) 와, 유닛 하측에 배치 형성되는 제 2 챔버 (90) 로 이루어지는데, 도 11 에 나타내는 도금 장치보다 유닛 상측에 배치 형성되는 제 1 챔버 (88) 가 바닥부측까지 연장되어 있고, 제 2 챔버 (90) 는 바닥부에 작아지도록 배치 형성되어 있다. 이와 같은 구성에 의해서도, 도금액 공급관 (92, 96) 은 독립된 공급로이기 때문에, 밸브 (94, 98) 를 조작함으로써 각각 독립적으로 공급관 내의 유량을 제어할 수 있고, 균일한 도금막의 형성에 유리한 제 1 챔버 (88) 와 제 2 챔버 (90) 의 조합으로 처리를 진행시킬 수 있어, 처리시에 통과하는 수지 필름 (20) 의 위치를 안정시킬 수 있다.

상기 서술한 실시형태에서는, 챔버의 수를 2 개로 했지만, 3 개 혹은 그 이상의 챔버를 형성하는 것도 가능하다. 또, 각 챔버에 도금액을 공급하는 공급관은, 동일한 헤드 탱크 (18) 로부터 도금액을 공급하는 것으로 하고 있지만, 복수의 헤드 탱크를 각각 형성할 수도 있고, 헤드 탱크 자체를 격벽 등으로 소구분하도록 할 수도 있다. 또한, 각 챔버에 도금액을 공급하는 공급관은 모두 동일한 직경으로 할 수도 있지만, 상이한 공급관으로 상이한 직경으로 할 수도 있다.

제 3 실시형태

본 실시형태는, 도 13A, 도 13B, 도 14A, 및 도 14B 에 나타내는 바와 같이, 분류 유닛 (100) 내에 키 부재 (102) 를 형성하여, 분류 유닛 (100) 으로부터 분출되는 도금액을 제어하는 기구를 갖는 도금 장치이다. 또한, 본 실시형태의 도금 장치가 앞의 실시형태의 도금 장치와 동일한 구성 요소를 갖는 경우에는, 동일한 참조 부호를 부여하고, 중복되는 설명은 생략한다.

도 13A, 도 13B 는 본 실시형태의 도금 장치의 주요부 정면도와 주요부 측면도이다. 상측이 사각 형상이고 하측이 반원통 형상인 분류 유닛 (100) 내의 도금액 공급관 (38) 의 단부에는, 판상의 키 부재 (102) 가 도금액 공급관 (38) 의 단부 근방을 지점으로 하여 회동 가능하게 장착되어 있다. 키 부재 (102) 는, 도금액 공급관 (38) 의 단부로부터 분류 유닛 (100) 내로 유입된 도금액의 흐름 방향을 그 키 부재 (102) 의 방향에 따라 제어할 수 있다. 키 부재 (102) 는, 나사 등으로 소정의 각도로 고정시키는 것도 가능하고, 도시되지 않은 모터 등에 의해 키 부재 (102) 의 각도를 변경하도록 제어할 수도 있다.

도금액의 흐름 방향을 제어하는 키 부재 (102) 를 사용함으로써, 분류 유닛 (100) 의 둘레면 (101) 으로부터 분류되는 도금액도 방향성을 갖도록 할 수 있고, 예를 들어 수지 필름의 우측에서 도금액의 액압을 높게 함과 동시에 상대적으로 필름의 좌측에서 도금액의 액압을 낮게 할 수 있어, 수지 필름이 기울어져 있는 경우에 그것을 수정할 수 있다. 또, 예를 들어 수지 필름의 반송 방향에서, 상류측에서 도금액의 액압을 높게 함과 동시에 상대적으로 하류측에서 도금액의 액압을 낮게 할 수 있다. 이 제어에 의해, 수지 필름 (20) 의 사행을 미리 방지하여, 안정 반송을 도모할 수 있다.

도 14A, 도 14B 는, 도 13A 및 도 13B 에 나타낸 본 실시형태의 도금 장치의 주요부인 분류 유닛 (100) 과 동일한 구성을 갖고, 또한 분류 유닛 (100) 내부의 둘레면측에는 칸막이판 (104) 이 돌출 형성되고, 이 칸막이판 (104) 은 둘레면의 대략 중앙부에 둘레면을 이분하도록 배치되고, 또 키 부재 (102) 에 대향하도록 형성되어 있다. 이 칸막이판 (104) 에 의해, 분류 유닛 (100) 내부에서 수지 필름의 폭 방향에 대하여 우측부 (101a) 와 좌측부 (101b) 로 나눌 수 있어, 키 부재 (102) 를 조작하면, 우측부 (101a) 와 좌측부 (101b) 의 사이에서 도금액의 분출량에 차이를 지게 할 수 있다. 따라서, 분류 유닛 (100) 과 수지 필름의 접촉 방지나 수지 필름의 안정 반송을 도모할 수 있다.

제 4 실시형태

본 실시형태는, 도 15 내지 도 18 에 나타내는 바와 같이, 분류 유닛이 2 개 이상인 분리된 챔버를 갖고, 또한 분류 유닛 내에 키 부재를 형성하여, 분류 유닛으로부터 분출되는 도금액을 제어하는 기구를 갖는 도금 장치가 된다. 또한, 본 실시형태의 도금 장치가 앞의 실시형태의 도금 장치와 동일한 구성 요소를 갖는 경우에는, 동일한 참조 부호를 부여하고, 중복되는 설명은 생략한다.

도 15 에 나타내는 바와 같이, 본 실시형태의 도금 장치는, 도 10 에 나타낸 도금 장치와 동일하게, 비교적 좁은 스팬 W1 의 처리조 (70) 를 갖고, 그 내부에 배치되는 분류 유닛 (81) 은, 유닛 상측에 배치 형성되는 제 1 챔버 (80) 와, 유닛 하측에 배치 형성되는 제 2 챔버 (82) 로 이루어진다. 이들 제 1 챔버 (80) 와 제 2 챔버 (82) 는, 각각 독립된 도금액 공급관 (92, 96) 과 밸브 (94, 98) 를 통하여 헤드 탱크 (18) 에 접속된다. 제 1 챔버 (80) 는 분류 유닛 (81) 의 상부 절반에 도금액을 분출시키는 구멍을 갖고, 그들 구멍으로부터 수평 방향으로 분류를 방출할 수 있다. 또 제 2 챔버 (82) 는 분류 유닛 (81) 의 하부 절반에 도금액을 분출시키는 구멍을 갖고, 분류 유닛 (81) 의 둘레면을 따라 방사상으로 분류를 방출할 수 있다.

본 실시형태의 도금 장치에서는, 밸브 (94, 98) 를 조작함으로써 각각 독립적으로 공급관 내의 유량을 제어할 수 있고, 분류 유닛으로부터의 수지 필름 (20) 의 위치를 안정화시켜, 균일한 도금막의 형성을 유리하게 진행시킬 수 있다. 또한, 본 실시형태의 도금 장치는, 분류 유닛 (81) 내의 도금액 공급관 (96) 의 단부에, 판상의 키 부재 (106) 가 도금액 공급관 (96) 의 단부 근방을 지점으로 하여 회동 가능하게 장착되어 있다. 키 부재 (106) 는, 도금액 공급관 (96) 의 단부로부터 분류 유닛 (81) 의 제 2 챔버 (82) 내로 유입된 도금액의 흐름 방향을 그 키 부재 (106) 의 방향에 따라 제어한다. 따라서, 수지 필름이 기울어져 있는 경우에 키 부재 (106) 를 조작하여 그 기울기를 수정할 수 있다.

도 16 및 도 17 에 나타내는 도금 장치는, 도 11 에 나타내는 도금 장치와 동일하게, 내부에 배치 형성되는 분류 유닛 (85) 은 단면 방추 형상으로 되어, 더욱 좁은 스팬 W2 에 대응한 사이즈로 되고, 이 비교적 소형의 분류 유닛 (85) 은 유닛 상측에 배치 형성되는 제 1 챔버 (84) 와, 유닛 하측에 배치 형성되는 제 2 챔버 (86) 로 이루어진다. 이들 제 1 챔버 (84) 와 제 2 챔버 (86) 는, 각각 독립된 도금액 공급관 (92, 96) 과 밸브 (94, 98) 를 통하여 헤드 탱크 (18) 에 접속된다. 제 1 챔버 (84) 는 분류 유닛 (85) 의 상부 절반에 도금액을 분출시키는 구멍을 갖고, 그들 구멍으로부터 상향인 방사상으로 분류를 방출할 수 있다. 또 제 2 챔버 (82) 는 분류 유닛 (85) 의 하부 절반에 도금액을 분출시키는 구멍을 갖고, 분류 유닛 (85) 의 둘레면을 따라 하향으로 방사상으로 분류를 방출할 수 있다.

도 11 에 나타내는 도금 장치와 동일하게, 도 16 및 도 17 에 나타내는 도금 장치에서는, 밸브 (94, 98) 를 조작함으로써 각각 독립적으로 공급관 내의 유량을 제어할 수 있고, 분류 유닛으로부터의 수지 필름 (20) 의 위치를 안정화시켜, 균일한 도금막의 형성을 유리하게 진행시킬 수 있다. 또한, 본 실시형태의 도금 장치는, 분류 유닛 (85) 내의 도금액 공급관 (96) 의 단부에, 판상의 키 부재 (108) 가 도금액 공급관 (96) 의 단부 근방을 지점으로 하여 회동 가능하게 장착되어 있다. 키 부재 (108) 는, 도금액 공급관 (96) 의 단부로부터 분류 유닛 (85) 의 제 2 챔버 (86) 내로 유입된 도금액의 흐름 방향을 그 키 부재 (108) 의 방향에 따라 제어한다. 따라서, 수지 필름 (20) 이 기울어져 있는 경우에는, 키 부재 (108) 를 조작하여 그 기울기를 수정할 수 있다.

또, 도 18 에 나타내는 도금 장치는, 도 17 에 나타낸 도금 장치의 구성에 추가하여, 칸막이부 (110) 를 갖고, 이 칸막이부 (110) 에 의해, 예를 들어 분류 유닛 내부에서 수지 필름의 폭 방향에 대하여 우측부와 좌측부로 나눌 수 있어, 키 부재 (108) 를 조작하면, 우측부와 좌측부의 사이에서 도금액의 분출량에 차이를 지게 할 수 있다. 따라서, 분류 유닛과 수지 필름의 접촉 방지나 수지 필름을 안정적으로 반송할 수 있다.

제 5 실시형태

본 실시형태는, 도 19 및 도 20A, 20B 에 나타내는 바와 같이, 수지 필름 (20) 의 사행된 반송을 방지하기 위한 기구로, 배출 롤러 (16) 의 회전축 (17) 이 일방의 단부측에서 각도 θ 와 같이 선회하도록 제어되어, 반송시의 사행을 보정할 수 있다. 도 19 는 본 실시형태의 도금 장치를 나타내고, 수지 필름 (20) 의 배출측에서 배출 롤러 (16) 의 근방에는, 사행 반송을 판별하는 1 쌍의 광 센서 (21, 23) 가 형성되어 있다. 이들 광 센서 (21, 23) 는, 전술한 투과형 센서 (44, 46) 와 같이, 일방이 발광 소자이고, 타방이 수광 소자이다. 또한, 본 실시형태의 도금 장치가 앞의 실시형태의 도금 장치와 동일한 구성 요소를 갖는 경우에는, 동일한 참조 부호를 부여하고, 중복되는 설명은 생략한다.

광 센서 (21, 23) 는, 그 장착 위치에서의 감시에 의해 수지 필름 (20) 이 어긋나서 반송되고 있는지 아닌지를 모니터할 수 있다. 즉, 도 20A 와 같이 통상적인 반송 상태의 경우에는, 배출 롤러 (16) 의 회전축 (17) 을 움직이는 일은 없지만, 사행이 발생했을 경우, 그것을 쌍의 광 센서 (21, 23) 가 검지하고, 회전축 (17) 의 도시되지 않은 액추에이터가 작동한다. 그 액추에이터의 작동에 의해, 배출 롤러 (16) 는 회전축 (17) 이 일방의 단부측에서 각도 θ 와 같이 선회하도록 제어된다. 이와 같은 피드백 제어에 의해 필름의 사행을 수정할 수 있어, 특히 수지 필름이 얇은 폴리이미드 필름과 같은 취급이 용이하지 않은 경우라도 안정적인 필름 반송이 실현된다.

제 6 실시형태

본 실시형태는, 도 21 내지 도 23 에 나타내는 바와 같이, 반송 패스의 바닥부측에 U 자형 가이드부 (120, 122, 124, 126) 를 형성한 예이다. 도 21 에 나타내는 U 자형 가이드부 (120) 는, 분류 유닛 (12) 의 둘레면을 따른 형상의 U 자형을 갖고 있어, 분류 유닛으로부터 분출한 액의 상승류에 의해 분류 유닛의 도입부와 배출구의 근방에서 필름의 위치가 어지럽혀지는 것을 효과적으로 방지하고, 따라서 확실하고 안정적인 필름의 반송이 행해진다. 도 22 에 나타내는 U 자형 가이드부 (122) 는, 바닥부측에는 구멍 (124) 이 형성되거나 혹은 망목 구조로 되고, 이 구멍 (124) 을 통하여 필름 근방과 가이드 (122) 의 밖과의 액의 출입을 자유롭게 함으로써, 필름 근방의 표리의 액류를 안정화시킬 수 있다. 또, 도 23 에 나타내는 U 자형 가이드부 (126) 는, 비스듬하게 연장된 가로날개 부분에 의해 분류 유닛에 대한 도입부와 배출구의 근방에 원활한 액류를 만들 수 있어, 안정적인 반송을 실시할 수 있다.

제 7 실시형태

본 실시형태는, 도 24 내지 도 26 에 나타내는 바와 같이, 수지 필름 (20) 으로부터 보아 분류 유닛 (12) 이 형성되어 있지 않은 면에 도금액을 공급하기 위한 바닥부 분출부 (130, 132, 134, 136) 를 형성한 예이다. 도 24 에 나타내는 바닥부 분출부 (130) 는 도금 장치의 바닥측면으로부터 도금액을 공급하는 장치이다. 도 25 에 나타내는 바닥부 분출부 (132) 는 도금 장치의 바닥부로부터 도금액을 공급하는 장치이다. 도 26 에 나타내는 1 쌍의 바닥부 분출부 (134, 136) 는 도금 장치의 바닥부로부터 도금액을 각각 공급하는 장치이다. 이들 바닥부 분출부 (130, 132, 134, 136) 에는 헤드 탱크 (18) 로부터의 도금액이 밸브를 통하여 공급되고 있다. 수지 필름 (20) 에 대하여 표측 (턴부 내측) 과 이측 (턴부 외측) 의 액류를 양방 형성함으로써, 바꾸어 말하면, 분류 유닛 (12) 으로부터의 도금액을 필름의 표측에 공급함과 함께, 이들 바닥부 분출부 (130, 132, 134, 136) 로부터도 도금액을 필름의 이측에 공급함으로써, 도금 막두께가 균일해지는 효과가 얻어지고, 또 양측으로부터 액압을 받는 액류 중에서 필름 반송을 실시함으로써 필름 반송이 안정되고, 액류의 방향을 적절히 설정함으로써 보다 반송을 안정적으로 실시할 수 있다.

제 8 실시형태

본 실시형태는, 도 27 내지 도 29 에 나타내는 바와 같이, 분류 유닛 (12) 과 도입 롤러 (14) 의 사이, 및 분류 유닛 (12) 과 배출 롤러 (16) 의 사이에서, 각각 반송 유닛으로서 측부 분류판 (140, 142, 150, 152) 을 형성한 도금 장치이다. 도 27, 29 는 각각 도금 장치의 구성을 나타내고, 도 28 은 측부 분류판 (140) 의 단면 구조를 나타낸다.

도 28 에 나타내는 바와 같이, 측부 분류판 (140) 은, 예를 들어 PVC 등의 수지로 이루어지는 1 쌍의 케이싱부 (144, 146) 를 갖고 있으며, 이들 1 쌍의 케이싱부 (144, 146) 의 사이의 공극에, 수지 필름 (20) 을 통과시키는 구조를 갖고 있다. 1 쌍의 케이싱부 (144, 146) 는 중공으로 되고, 상기 서술한 헤드 탱크 (18) 로부터의 도금액이 밸브를 통하여 공급되고 있다. 수지 필름 (20) 을 통과시키는 공극부에는, 필름 반송 방향에 대하여 경사 방향이 분출 방향이 되는 복수의 구멍 (148, 154) 이 1 쌍의 케이싱부 (144, 146) 의 사이의 공극부 전체에 걸쳐 형성되어 있고, 이들 복수의 구멍 (148, 154) 으로부터 도금액을 분출시킴으로써, 안정적인 필름 반송을 실시할 수 있다. 1 쌍의 케이싱부 (144, 146) 중, 수지 필름의 내측에 배치되는 유닛을 내측 유닛, 수지 필름의 외측에 배치되는 유닛을 외측 유닛이라고 한다.

분류 유닛 (12) 에 대한 수지 필름 (20) 의 출입구 근방에서 수지 필름 (20) 이 팽창되지 않고 이완된 상태가 되면, 필름 반송이 불안정해지기 쉽다. 그래서 측부 분류판 (140, 142, 150, 152) 을 분류 유닛 (12) 의 출입구 근방에 형성함으로써, 이와 같은 불안정 요소를 불식시킬 수 있다. 측부 분류판 (140, 142, 150, 152) 의 액분출 각도와 액류를 적절히 조정할 수 있고, 수지 필름 (20) 이 이완되지 않고 분류 유닛 (12) 로 출입할 수 있도록 설치하는 것이 바람직하다.

도 27 에 나타내는 도금 장치는, 측부 분류판 (140, 142) 을 갖고 있으며, 측부 분류판 (140, 142) 은 분류 유닛 (12) 의 입구측과 출구측에서 동일한 분류 방향이 되도록 배치 형성되어 있다. 또, 도 29 에 나타내는 도금 장치는, 측부 분류판 (150, 152) 을 갖고 있으며, 측부 분류판 (150, 152) 은 분류 유닛 (12) 의 입구측과 출구측에서 반대의 분류 방향이 되도록 배치 형성되어 있다. 이와 같은 측부 분류판의 분출 방향은, 전체적인 액류 밸런스에 따라 선택되는 것이다. 측부 분류판 (140, 142, 150, 152) 의 복수의 구멍 (148, 154) 으로부터 도금액을 분출시킴으로써, 안정적인 필름 반송을 실시할 수 있다.

또한, 측부 분류판 (140, 142, 150, 152) 의 외측 유닛의 액류를 내측 유닛의 액류보다 크게 함으로써, 전체적으로 필름에 닿는 액류를 표리 동등하게 하여, 도금 막두께를 균일화시킬 수 있다. 즉, 필름의 내측은 분류 유닛 (12) 으로부터의 분류가 있기 때문에, 측부 분류판으로부터의 분류는 적어도 된다. 측부 분류판은 필름을 사이에 두는 타입을 설명했지만, 필름의 일면에만 배치 형성되는 측부 분류판을 형성할 수도 있다. 또, 수지 필름의 반송 상태를 모니터하여, 안정적인 필름 반송을 실시하도록, 측부 분류판을 이동시키거나, 분류판으로부터 출력되는 도금액의 압력을 변경하는 제어를 해도 된다. 수지 필름에 대하여 표측 (턴부 내측) 과 이측 (턴부 외측) 의 막두께가 상이한 경우에는, 필름에 대하여 (턴부 내측) 과 이측 (턴부 외측) 의 액류를 양방 형성하고, 또 양측으로부터 분사하는 액류 중에서 필름 반송을 실시함으로써, 필름 반송을 안정시켜도 된다.

본 발명은 상기 서술한 실시형태에 한정되는 것은 아니고, 본 발명의 취지에 기초하여 다양하게 변형시키는 것이 가능하며, 그것들을 본 발명의 범위로부터 배제시키는 것은 아니다.

10 처리조
12 분류 유닛
14 도입 롤러
16 배출 롤러
18 헤드 탱크
20 수지 필름
21, 23 센서
22 유량계
24 펌프
26 저조
28, 30 밸브
32 드레인 밸브
38 도금액 공급관
40, 42 벽면 분류부
44, 46 센서
48 오버 플로우조
50 드레인 관
60 반송 컨트롤러
64, 66 모터
70 처리조
80 제 1 챔버
82 제 2 챔버
84 제 1 챔버
85 분류 유닛
86 제 2 챔버
92, 96 도금액 공급관
94, 98 밸브
106, 108 키 부재

Claims

막두께가 25 미크론 이하인 웨브상의 수지 필름을 처리액에 침지시킴으로써 피막 처리를 상기 수지 필름면에 실시하는 습식 처리 장치로서,
내부에 상기 처리액을 저류하고 상기 처리액 중에 상기 수지 필름을 통과시키는 처리조와,
상기 처리조의 상기 수지 필름의 도입측과 상기 수지 필름의 배출측에, 상기 처리조 내에 저류된 상기 처리액의 액면보다 높은 위치에 각각 형성되는 1 쌍의 반송 부재와,
1 쌍의 상기 반송 부재의 사이에 그 반송 부재보다 낮은 위치에 배치 형성되고, 그 둘레면에는 상기 처리액을 당해 둘레면으로부터 분출시키는 복수의 구멍을 형성하고, 그 구멍으로부터의 분류에 의해 상기 처리액 중에서 비접촉으로 상기 수지 필름을 그 둘레면을 따라 방향 전환시키는 분류 유닛을 구비하고,
상기 분류 유닛은, 상기 처리조보다 높은 위치에 배치 형성된 헤드 탱크로부터 공급되는 처리액을 상기 둘레면의 구멍으로부터 분출시키는 것을 특징으로 하는 수지 필름의 습식 처리 장치.
제 1 항에 있어서,
상기 분류 유닛은, 단일 혹은 복수의 관을 통하여 상기 헤드 탱크에 접속되고, 각각의 관은 상기 처리액의 유량을 조정할 수 있는 것을 특징으로 하는 수지 필름의 습식 처리 장치.
제 1 항에 있어서,
상기 처리조 내의 바닥부 근방에는, 상기 헤드 탱크로부터의 처리액을 공급하는 바닥부 분출부가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 수지 필름의 습식 처리 장치.
제 1 항에 있어서,
상기 분류 유닛은, 그 둘레면의 일부가 원통 형상을 갖는 것을 특징으로 하는 수지 필름의 습식 처리 장치.
제 4 항에 있어서,
상기 분류 유닛의 둘레면에 형성된 구멍은, 상기 분류 유닛으로부터 방사상으로 처리액을 분출시키는 것을 특징으로 하는 수지 필름의 습식 처리 장치.
제 1 항에 있어서,
처리액 중의 상기 분류 유닛보다 높은 위치에, 상기 처리액을 당해 둘레면에 형성한 복수개의 구멍으로부터 분출시키는 벽면 분류 유닛을 구비하는 것을 특징으로 하는 수지 필름의 습식 처리 장치.
제 6 항에 있어서,
상기 벽면 분류 유닛의 복수개의 구멍은 처리조의 내벽을 향해 분출액이 분출되도록 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 수지 필름의 습식 처리 장치.
제 1 항에 있어서,
상기 분류 유닛에 의해 액압을 받는 상기 수지 필름의 면과는 반대의 상기 수지 필름의 면에 분류를 부여하는 제 2 분류부를, 상기 처리조 내에 형성한 것을 특징으로 하는 수지 필름의 습식 처리 장치.
제 1 항에 있어서,
상기 처리조 내에는, 반송되는 상기 수지 필름의 이송 상태를 검지하는 이송 센서가 형성되고, 그 이송 센서로부터의 신호에 따라 1 쌍의 상기 반송 부재를 제어하는 것을 특징으로 하는 수지 필름의 습식 처리 장치.
제 1 항에 있어서,
상기 분류 유닛 내에는, 상기 수지 필름의 반송 방향으로 수직인 필름 폭 방향에서 당해 분류 유닛으로부터 분출되는 처리액의 분출량을 변경하는 키 부재가 형성되는 것을 특징으로 하는 수지 필름의 습식 처리 장치.
제 1 항에 있어서,
상기 분류 유닛 내에는, 필름 폭 방향에서 당해 분류 유닛으로부터 분출되는 처리액을 분할하기 위한 격벽부가 형성되는 것을 특징으로 하는 수지 필름의 습식 처리 장치.
제 1 항에 있어서,
1 쌍의 상기 반송 부재의 적어도 일방은 반송 롤러이며, 그 반송 롤러의 회전축의 축 방향은 필름 폭 방향으로 연장됨과 함께 조정시에는 그 축 방향이 기울도록 제어되는 것을 특징으로 하는 수지 필름의 습식 처리 장치.
제 1 항에 있어서,
상기 수지 필름은, 1 쌍의 상기 반송 부재와 상기 분류 유닛의 사이에 형성된 반송 유닛으로부터의 분류에 의해 비접촉으로 반송되는 것을 특징으로 하는 수지 필름의 습식 처리 장치.
제 1 항에 있어서,
상기 수지 필름의 막두께는 12.5 미크론 이하인 것을 특징으로 하는 수지 필름의 습식 처리 장치.
막두께가 25 미크론 이하이고, 금속 이온 촉매를 표면에 흡착시킨 웨브상의 수지 필름을 처리액에 침지시킴으로써, 도전성 금속의 피막 처리를 상기 수지 필름면에 실시하는 습식 처리 장치로서,
내부에 상기 처리액을 저류하고 상기 처리액 중에 상기 수지 필름을 통과시키는 처리조와,
상기 처리조의 상기 수지 필름의 도입측과 상기 수지 필름의 배출측에, 상기 처리조 내에 저류된 상기 처리액의 액면보다 높은 위치에 각각 형성되는 1 쌍의 반송 부재와,
1 쌍의 상기 반송 부재의 사이에 그 반송 부재보다 낮은 위치에 배치 형성되고, 그 둘레면에는 상기 처리액을 당해 둘레면으로부터 분출시키는 복수의 구멍을 형성하고, 그 구멍으로부터의 분류에 의해 상기 처리액 중에서 비접촉으로 상기 수지 필름을 그 둘레면을 따라 방향 전환시키는 분류 유닛을 구비하고,
상기 분류 유닛은, 상기 처리조보다 높은 위치에 배치 형성된 헤드 탱크로부터 공급되는 처리액을 상기 둘레면의 구멍으로부터 분출시키는 것을 특징으로 하는 수지 필름의 습식 처리 장치.
제 15 항에 있어서,
상기 처리액은 무전해 금속 도금액이며, 그 무전해 금속 도금액에 의해 형성된 금속막은, 다음의 습식 금속막 형성을 위한 시드층으로서 기능하는 것을 특징으로 하는 수지 필름의 습식 처리 장치.
제 15 항에 있어서,
상기 수지 필름은, 폴리이미드 필름을 포함하는 고내열 절연 수지 필름인 것을 특징으로 하는 수지 필름의 습식 처리 장치.
제 17 항에 있어서,
상기 폴리이미드 필름은, 그 막두께가 12.5 미크론 이하인 것을 특징으로 하는 수지 필름의 습식 처리 장치.
제 1 항 또는 제 15 항에 있어서,
상기 분류 유닛의 구멍으로부터의 분류는 매분 100 리터 이하인 것을 특징으로 하는 수지 필름의 습식 처리 장치.
제 19 항에 있어서,
상기 분류 유닛의 구멍으로부터의 분류는 매분 50 리터 이하인 것을 특징으로 하는 수지 필름의 습식 처리 장치.