JPH0881799A - 電解めっき方法、電解めっき装置、電解めっき用ラック - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 装置の早期劣化、複雑化及び大型化を回避し
つつ、被めっき物の孔内に確実に電解めっき膜を形成す
ることができる電解めっき方法を提供する。 【構成】 電解めっき液の満たされた電解めっき槽４の
カソード側に、孔２を有する被めっき物としてのプリン
ト配線板１を固定する。プリント配線板１の両側面に第
１及び第２のめっき液供給管１４，１５を配置する。各
めっき液供給管１４，１５から供給される電解めっき液
の流速が交互に相対的に大きくなるように、電解めっき
液の流速を周期的に変化させる。すると、プリント配線
板１の孔、即ちスルーホール形成用孔２内に確実に電解
めっき液が供給され、同部分へのめっき付き回り性が向
上する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、電解めっき方法、電解
めっき装置、電解めっき用ラックに関する。特には、被
めっき物が有する孔、例えばプリント配線板等が有する
スルーホール形成用孔の内壁面に電解めっき膜を形成す
るときに好適な電解めっき方法、電解めっき装置、電解
めっき用ラックに関する。

【０００２】

【従来の技術】金属イオンを含んだ電解質溶液に電流を
通じることによって、目的の金属を被めっき物上に析出
させる方法として、従来より各種の電解めっき法が知ら
れている。また、このような電解めっき法は、例えばス
ルーホールを有するプリント配線板の製造にとって不可
欠な技術である。

【０００３】図８には、プリント配線板に電解めっきを
施すための電解めっき装置３０の一例が示されている。
この電解めっき装置３０は、電解めっき液を満たすため
の電解めっき槽３１を備えている。電解めっき槽３１の
内壁面付近には、一対のアノード３２が配置されてい
る。両アノード３２間には、カソードを構成する電解め
っき用ラック３３が配置されている。電解めっき用ラッ
ク３３には、被めっき物であるプリント配線板３４が固
定されている。前記プリント配線板３４には、スルーホ
ール形成用孔３５が多数透設されている。また、電解め
っき液は、濾過装置３７によって濾過された後、再び電
解めっき槽３１内に戻される。

【０００４】この電解めっき装置３０の場合、スルーホ
ール形成用孔３５内へのめっきの付き回り性の向上等を
目的として、多数のエア供給孔を有する配管３６が電解
めっき槽３１の底部に設けられている。これらの配管３
６には、エアポンプ３８からエアが供給される。その結
果、電解めっき液の通気攪拌（いわゆるバブリング）が
行われる。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ところが、プリント配
線板３４に対する電解めっきの場合、バブリングを行っ
てもスルーホール形成用孔３５内に電解めっき液を充分
に行き渡らせることが困難であった。従って、スルーホ
ール形成用孔３５の内壁面に対してめっきが均一に析出
せず、好適なめっきスルーホールが形成されにくいとい
う問題があった。また、この方法であると、浮き上がっ
てきたバブル３９が液面において弾けることにより、電
解めっき液がミスト状になって飛散する。このため、ア
ノードの接点や周囲の器具に電解めっき液が付着し、電
解めっき装置３０の劣化が早まるという問題があった。

【０００６】バブリングを実施せずにめっき付き回り性
を向上させる方法としては、例えば電解めっき液中にお
いてプリント配線板３４を左右に（厚さ方向に）揺動さ
せるという方法がある。しかし、この方法を実施するに
はカソード揺動機構が別に必要になるため、電解めっき
装置３０が複雑化したり大型化するという問題があっ
た。

【０００７】本発明は上記の課題を解決するためになさ
れたものであり、その目的は、装置の早期劣化、複雑化
及び大型化を回避しつつ、被めっき物の孔内に確実に電
解めっき膜を形成することができる電解めっき方法を提
供することにある。

【０００８】また、本発明の別の目的は、上記の電解め
っき方法を実施するうえで好適な電解めっき装置及び電
解めっき用ラックを提供することにある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めに、請求項１に記載の発明は、電解めっき液の満たさ
れた電解めっき槽のカソード側に、孔を有する被めっき
物を固定するとともに、その被めっき物の両側面に第１
及び第２のめっき液供給手段を配置し、前記各めっき液
供給手段から供給される電解めっき液の流速が交互に相
対的に大きくなるように、前記電解めっき液の流速を周
期的に変化させる電解めっき方法をその要旨とする。

【００１０】請求項２に記載の発明は、請求項１におい
て、前記被めっき物は、前記電解めっき槽の中央部にお
いてほぼ垂直に支持され、前記第１及び第２のめっき液
供給手段は、前記カソードの上部においてその両側に配
置されるとともに、前記電解めっき液は、前記両めっき
液供給手段からカソード面に向けて斜め下方向に噴出さ
れることをその要旨とする。

【００１１】請求項３に記載の発明は、電解めっき液を
満たすための電解めっき槽と、前記電解めっき槽内に配
置されたアノードと、孔を有する被めっき物を前記電解
めっき液中において固定するための電解めっき用ラック
と、前記電解めっき用ラックの上部においてその両側に
配置された一対のめっき液供給管と、前記電解めっき用
ラックの下部においてその両側に配置された一対のめっ
き液排出管と、前記両めっき液排出管から排出される電
解めっき液を前記両めっき液供給管に送り出すことによ
って電解めっき液を循環させるめっき液循環手段と、前
記電解めっき用ラックの両側面に近接した状態で配置さ
れる一対の隔壁とによって構成された電解めっき装置を
その要旨とする。

【００１２】請求項４に記載の発明では、孔を有する被
めっき物を収容する開口部を備えた枠体と、前記開口部
の上部に形成されためっき液反射面と、前記被めっき物
を前記枠体に固定するとともに、同被めっき物に対して
電流を供給するための通電体とを備えた実施例１または
２の電解めっき方法を実施するための電解めっき用ラッ
クをその要旨とする。

【００１３】

【作用】請求項１に記載の発明によると、被めっき物の
両側を流れる電解めっき液の流速に差ができると、被め
っき物の孔内を抜けて流速の大きい側の面から流速の小
さい側の面へと移動する電解めっき液の流れができる。
このような流れが交互に起こることによって、電解めっ
き液が孔内に確実に供給される。

【００１４】請求項２に記載の発明によると、電解めっ
き液の液面に乱れが生じにくくなるため、電解めっき液
の周囲への飛散が防止される。請求項３に記載の発明に
よると、電解めっき用ラックに被めっき物を固定した状
態で、同電解めっき用ラックとアノードとの間に電流を
流すことによって、被めっき物側の所定部分に電気めっ
き膜が形成される。一対のめっき液供給管から噴出され
る電解めっき液は、被めっき物の両側を通って一対のめ
っき液排出管から排出される。このとき、一対のめっき
液供給管から噴出される電解めっき液の流量を変更すれ
ば、被めっき物の両側を流れる電解めっき液の流速に差
が形成される。

【００１５】請求項４に記載の発明によると、電解めっ
き液をめっき液供給管からめっき液反射板に向けて噴射
することにより、電解めっき液を被めっき物に対して間
接的に供給することができる。

【００１６】

【実施例】以下、本発明をプリント配線板に対する電気
銅めっき方法及び装置に具体化した一実施例を図１〜図
６に基づき詳細に説明する。

【００１７】図１，図２には、被めっき物であるプリン
ト配線板（いわゆる両面板）１が示されている。このプ
リント配線板１には、電解銅めっきを経てスルーホール
となる複数個のスルーホール形成用孔２が形成されてい
る。本実施例では、プリント配線板１の寸法は縦×横×
厚さ＝３４０mm，５１０mm，１．６mmで、スルーホール
形成用孔２の内径は２．０３mmである。なお、同プリン
ト配線板１の表裏両面には、あらかじめ導体層とめっき
レジスト（いずれも図示略）とが形成されている。

【００１８】図１には、本実施例の電解めっき装置３が
示されている。電解めっき装置３は、電解めっき液を満
たすための電解めっき槽４を備えている。電解めっき槽
４の内壁面付近には、一対のアノード５が配置されてい
る。両アノード５の中間となる位置、即ち電解めっき槽
４のほぼ中央部には、カソードＫを構成する電解めっき
用ラック６が配置されている。両アノード５とカソード
Ｋとの間には、電解めっきのときに所定量の電流が流さ
れる。電解めっき用ラック６は、電解めっき槽４の中央
部においてプリント配線板１を垂直に支持する。

【００１９】図２に示されるように、電解めっき用ラッ
ク６は、枠体７、開口部８、めっき液反射面９及び通電
体１０によって構成されている。本実施例の場合、枠体
７の形成用の材料として、塩化ビニル等のような絶縁性
板材が選択されている。枠体７に設けられた開口部８
は、プリント配線板１を収容するために、同プリント配
線板１よりもひとまわり大きく形成されている。めっき
液反射面９は、開口部８の上部の領域に形成されてい
る。開口部９及びめっき反射面９以外の領域（即ち、枠
体７の外縁部）には、ステンレス板１１が貼着されてい
る。プリント配線板１は、８本の金属製の通電体１０と
ねじ１２とによって、開口部８内に固定されている。電
解めっき時においては、これらの通電体１０を介してプ
リント配線板１側に電流が供給される。

【００２０】なお、電解めっき槽４の底部中央には、電
解めっき用ラック６の横揺れ防止用の手段として、電解
めっき用ラック６の厚さよりも若干広いスリットを有す
る固定部１３が形成されている。電解めっき用ラック６
の下縁は、前記固定部１３のスリット内に挿入される。

【００２１】図１に示されるように、電解めっき用ラッ
ク６の上部においてその左右両側には、第１及び第２の
めっき液供給管１４，１５が配置されている。図３に示
されるように、めっき液供給管１４，１５には、スリッ
ト状の噴射口１８が複数個かつ一列に形成されている。
本実施例では、両めっき液供給管１４，１５の直径は６
０mm〜１００mm程度である。噴射口１８の寸法は長さ×
幅＝１００mm×２mmであり、その間隔は１０mmである。
なお、図４に示される変形例のように、噴射口１８の形
状を円形にしてもよい。この場合、円形状の噴射口１８
の直径は、３mm〜１０mm程度、かつその間隔は直径と同
じ程度が好ましい。ただし、図３のようにスリット状の
噴射口１８を備えるめっき液供給管１４，１５のほう
が、より均一な電解めっき膜が形成されやすい。

【００２２】図１に示されるように、各噴射口１８は、
電解めっき液よりも下側、かつプリント配線板１よりも
上側になるように配置される。そして、電解めっき液
は、各噴射口１８からカソード面に向けて斜め下方向に
噴出される。この場合、電解めっき液をプリント配線板
１に向けて噴射する直接的な供給方法と、電解めっき液
をめっき液反射面９に向けて噴射する間接的な供給方法
とがある。

【００２３】一方、電解めっき用ラック６の下部におい
てその左右両側には、第１及び第２のめっき液排出管１
６，１７が配置されている。めっき液排出管１６，１７
にも、同様にスリット状の噴射口１８が複数個かつ一列
に形成されている。

【００２４】前記両めっき液排出管１６，１７と、前記
両めっき液供給管１４，１５とは、めっき液循環手段１
９の一部を構成する循環パイプ２０によって接続されて
いる。循環パイプ２０の途上には、電解めっき液を圧送
するためのポンプＰが設けられている。循環パイプ２０
は、ポンプＰの上流側においていったん合流し、同ポン
プＰの下流側において２つに分岐する。分岐した循環パ
イプ２０上には、それぞれ第１の電磁バルブ２２及び第
２の電磁バルブ２３が設けられている。そして、第１の
電磁バルブ２２が設けられたほうの循環パイプ２０は、
第１のめっき液供給管１４に接続されている。一方、第
２の電磁バルブ２３が設けられたほうの循環パイプ２０
は、第２のめっき液供給管１５に接続されている。

【００２５】図１に示されるように、電解めっき用ラッ
ク６の両側面には、一対の隔壁２４が電解めっき用ラッ
ク６に近接した状態で配置されている。これらの隔壁２
４は、両めっき液供給管１４，１５から噴出された電解
めっき液を、プリント配線板１の両側面に沿って下方向
へ導く。プリント配線板１の下側に導かれた電解めっき
液の一部は、両めっき液排出管１６，１７から排出され
る。そこで排出されなかった電解めっき液は、前記両隔
壁２４の外側を通って上方向に移動する。つまり、めっ
き液循環手段１９を作動させると、電解めっき液全体に
所定の対流が生じる。

【００２６】また、本実施例の場合、外縁部を枠で固定
したナイロンメッシュが隔壁２４として使用されてい
る。前記隔壁２４の材料を上記のようにメッシュ状とし
たのは、電解めっき液中の金属イオンが隔壁２４を自由
に通過できるようにするためである。隔壁２４を構成す
る枠は、電解めっき槽４に対して固定されている。電解
めっき用ラック６と隔壁２４との間の隙間は、３０mm〜
１００mm程度に設定される。この隙間が小さすぎると、
隙間を電解めっき液が流れにくくなるおそれがある。一
方、この隙間が大きすぎると、電解めっき液が流れやす
くなる反面、プリント配線板１の左右を流れる電解めっ
き液の流速に差が生じにくくなるおそれがある。

【００２７】また、この電解めっき装置３は、上記のめ
っき液循環手段１９とは別に、図示しない濾過装置を備
えている。電解めっき槽４内の電解めっき液は、濾過装
置を構成するポンプによって常時一定の流速で排出され
た後、フィルタによって濾過される。濾過された電解め
っき液は、再び電解めっき槽４内に戻される。

【００２８】上述した両電磁バルブ２２，２３の開度
は、図示しない制御回路からの制御信号に基づいて周期
的に変化する。具体的にいうと、第１の電磁バルブ２２
の開度が徐々に大きくなるとき、第２の電磁バルブ２３
の開度が徐々に小さくなる。第１の電磁バルブ２２が最
大設定開度に達した後、逆に第２の電磁バルブ２３の開
度が徐々に大きくなり、第１の電磁バルブ２２の開度が
徐々に小さくなる。次いで、第２の電磁バルブ２３が最
大設定開度に達した後、再び第１の電磁バルブ２２の開
度が徐々に大きくなり、第２の電磁バルブ２３の開度が
徐々に小さくなる。以上の結果、両めっき液供給管１
４，１５から供給される電解めっき液の流量に変化が生
じ、プリント配線板１の左右を流れる電解めっき液の流
速が周期的に変化する。

【００２９】この場合、上記の流速変化の１サイクル
は、１０秒〜６０秒となるように設定されることが好ま
しい。また、電解めっき液の最大流速差ΔＶは１ｍ／ｓ
以上に設定されることが好ましい。さらに、電解めっき
液の最小設定流速値は１ｍ／ｓ以上に設定されることが
好ましい。最小設定流速値を１ｍ／ｓ以上とする理由
は、「焼け」等のめっき不良を生じにくくするためであ
る。

【００３０】次に、図５（ａ），図５（ｂ）に基づいて
本実施例の電解めっき方法の原理を説明する。同図にお
いて、矢印Ａ1 は第１のめっき液供給管１４から供給さ
れる電解めっき液の流れを示し、矢印Ａ2 は第２のめっ
き液供給管１５から供給される電解めっき液の流れを示
す。

【００３１】図５（ａ）には、第１の電磁バルブ２２の
開度のほうが相対的に大きいとき、即ち第１のめっき液
供給管１４からの電解めっき液の流速のほうが相対的に
大きいときの流れの状態が示されている。この場合、前
記隙間の部分に単位時間あたりに供給される電解めっき
液の量は、プリント配線板１の右側のほうが多くなる。
すると、隔壁２４の存在によって、プリント配線板１の
右側を流れる電解めっき液の圧力が相対的に大きくな
り、スルーホール形成用孔２内を右側から左側へと抜け
る矢印Ａ1 のような流れが生じる。

【００３２】これとは逆に、図５（ｂ）には、第２の電
磁バルブ２３の開度のほうが相対的に大きいとき、即ち
第２のめっき液供給管１５からの電解めっき液の流速の
ほうが相対的に大きいときの流れの状態が示されてい
る。この場合、前記隙間の部分に単位時間あたりに供給
される電解めっき液の量は、プリント配線板１の左側の
ほうが多くなる。すると、隔壁２４の存在によって、プ
リント配線板１の左側を流れる電解めっき液の圧力が相
対的に大きくなり、スルーホール形成用孔２内を左側か
ら右側へと抜ける矢印Ａ2 のような流れが生じる。

【００３３】つまり、スルーホール形成用孔２内を反対
方向に抜ける流れが周期的に起こることによって、スル
ーホール形成用孔２内に電解めっき液が充分に行き渡
る。その結果、スルーホール形成用孔２の内壁面に電解
めっき膜を確実にかつ比較的短時間で形成することがで
きる。従って、本実施例によると、好適なめっきスルー
ホールを得ることができる。勿論、この実施例では電解
めっき液の流速を大きく設定しているため、プリント配
線板１表面への電解めっき液の供給（具体的には銅イオ
ンの供給）も充分に行われる。そのため、スルーホール
形成用孔２内ばかりでなく、プリント配線板１の表面部
分に形成される電解めっき膜の状態も確実に向上する。
加えて、電解めっき液の流速を大きく設定したことによ
って、プリント配線板１へのガス（即ち、電気めっきに
よって生じる水素ガス）の吸着が確実に防止される。

【００３４】また、本実施例では、バブリングを実施し
ない代わりに、電解めっき液をカソードＫの上側から斜
め下方に向けて噴射している。よって、液面に乱れが生
じにくくなり、電解めっき液の飛散を防止することがで
きる。ゆえに、アノード５の接点や周囲の器具に電解め
っき液が付着する可能性も極めて小さく、電解めっき装
置３の早期劣化や故障発生等が確実に回避される。さら
に、本実施例ではカソード揺動機構を特に必要としない
ため、それに伴う電解めっき装置３の複雑化や大型化も
確実に回避される。

【００３５】図６は、電解めっき液の流速が電解めっき
膜の性状に与える影響を調査するための試験の結果を示
す。この試験における調査項目は、焼けが発生した部
分の面積（％）、くもりが発生した部分の面積
（％）、発生したピットの数（個／シート）及び設
定めっき厚（20μｍ）に対するめっき厚のばらつき（μ
ｍ）の４つである。なお、この試験では各条件を以下の
ように設定するとともに、電解めっき液の最大流速差Δ
Ｖを１ｍ／ｓ〜５ｍ／ｓの範囲内で３段階に設定した。
ここで、最大流速差ΔＶ＝１ｍ／ｓの区では、最大設定
流速値が３ｍ／ｓ，最小設定流速値が２ｍ／ｓである。
最大流速差ΔＶ＝３ｍ／ｓの区では、最大設定流速値が
５ｍ／ｓ，最小設定流速値が２ｍ／ｓである。そして、
最大流速差ΔＶ＝５ｍ／ｓの区では、最大設定流速値が
７ｍ／ｓ，最小設定流速値が２ｍ／ｓである。

【００３６】 ・めっき液の種類； 硫酸銅電気銅めっき（組成；硫酸、硫酸銅、塩素） ・電解めっき液のｐＨ ＝１ ・めっき時間； ６０分 ・電解めっき液の温度； ２５℃， ・カソード電流 ２Ａ／ｄｍ² ・流速変化の１サイクル； ２０秒， ・噴射口１８の形状； スリット状 ・プリント配線板１と隔壁２４との隙間； ４mm ・両めっき液供給管１４，１５からの電解めっき液の供給方法； 直接法 図６（ａ）のグラフによると、焼けが発生した部分の
面積は、ΔＶ＝１ｍ／ｓで０．０８％となり、ΔＶ＝３
ｍ／ｓ，５ｍ／ｓで０％となった。従って、焼けを防止
するためには、ΔＶ＝２ｍ／ｓ以上に、好ましくはΔＶ
＝３ｍ／ｓ以上に設定することが有効であると考えられ
る。

【００３７】図６（ｂ）のグラフによると、くもりが
発生した部分の面積は、ΔＶ＝１ｍ／ｓで０％であるも
のの、ΔＶ＝３ｍ／ｓ，５ｍ／ｓと大きくなるに従って
増加する傾向があった。よって、くもりを防止するため
には、ΔＶをできるだけ小さく設定することが有効であ
る。

【００３８】図６（ｃ）のグラフによると、シートあ
たりのピット数は、ΔＶ＝１ｍ／ｓで１０７個である反
面、ΔＶ＝３ｍ／ｓ，５ｍ／ｓで０個であった。よっ
て、ピットの発生を防止するためには、ΔＶ＝２ｍ／ｓ
以上に、好ましくはΔＶ＝３ｍ／ｓ以上に設定すること
が有効である。

【００３９】図６（ｄ）のグラフによると、めっき厚
のばらつきは、ΔＶ＝３ｍ／ｓで２．７μｍと最も小さ
く、ΔＶ＝５ｍ／ｓで３．５μｍ，ΔＶ＝１ｍ／ｓで
３．７μｍであった。よって、めっき厚のばらつきを少
なくするためには、ΔＶ＝３ｍ／ｓ程度に設定すること
が有効である。

【００４０】従って、〜の好適条件を可能な限り充
足しようとするならば、ΔＶ＝２ｍ／ｓ〜４ｍ／ｓに、
好ましくはΔＶ＝２．５ｍ／ｓ〜３．５ｍ／ｓに、さら
に好ましくはΔＶ＝３ｍ／ｓに設定することが望まし
い。また、両めっき液供給管１４，１５からの電解めっ
き液の供給方法を間接法に代えたところ、さらによい結
果が得られた。即ち、めっきのくもり等もなくなり、め
っき厚のばらつきもさらに小さくなった。

【００４１】なお、本発明は上記実施例のみに限定され
ることはなく、例えば次のように変更することが可能で
ある。 （１） 図７に示す別例の電解めっき装置２５のよう
に、両めっき液排出手段１６，１７を省略する代わり
に、例えば電解めっき用ラック６の下側に一対のプロペ
ラ２６を設けてもよい。そして、これらのプロペラ２６
をモータＭで回転させることにより、実施例と同じよう
な電解めっき液の流れを形成することも可能である。

【００４２】（２） 一対のめっき液供給管１４，１５
を電解めっき用ラック６の下部に配置し、一対のめっき
液排出管１６，１７を電解めっき用ラック６の上部に配
置してもよい。

【００４３】（３） 実施例のようなナイロンメッシュ
製の隔壁２４に代えて、例えばその他の化学繊維からな
る布を使用してもよい。また、薄い多孔性セラミックス
板等を使用してもよい。

【００４４】（４） 隔壁２４を電解めっき槽４側に固
定した実施例に代えて、例えば隔壁２４を電解めっき用
ラック６側に固定してもよい。また、電解めっき用ラッ
ク６と隔壁２４とを一体に形成してもよい。

【００４５】（５） 実施例において使用した２つの電
磁バルブ２２，２３の作用を、１つの電磁バルブによっ
て代替させることも可能である。この方式によると、め
っき液循環手段１９の構成がより簡略になる。

【００４６】（６） 例えば、両めっき液排出管１６，
１７から両めっき液供給管１４，１５への流路をそれぞ
れ別の経路にし、各々の経路にポンプＰと電磁バルブ２
２，２３とを１つずつ設けた構成にしてもよい。また、
第１及び第２の電磁バルブ２２，２３を省略し、その代
わりに２つのポンプＰの回転数を制御することによっ
て、電解めっき液の流速を周期的に変化させてもよい。

【００４７】（７） 本発明の電解めっき方法及び装置
は、スルーホール形成用孔２を有するプリント配線板１
に対する電解銅めっき以外の用途にも適用可能である。
つまり、スルーホール形成用孔２のような、円柱状かつ
等断面形状の貫通孔を有する被めっき物ばかりではな
く、例えば三次元網目状構造物の網目内に電解めっき膜
を形成したい場合などにも適用できる。

【００４８】ここで、特許請求の範囲に記載された技術
的思想のほかに、前述した実施例及び別例によって把握
される技術的思想をその効果とともに以下に列挙する。 （１） 請求項１，２において、電解めっき液の最大流
速差ΔＶを２ｍ／ｓ〜４ｍ／ｓに設定する電解めっき方
法。この方法であると、電解めっき膜の焼けやくもり等
を低減できる。

【００４９】（２） 請求項１，２，技術的思想（１）
において、電解めっき液の最小設定流速を１ｍ／ｓ以上
にする電解めっき方法。この方法であると、電解めっき
膜の焼けやくもり等を低減できる。

【００５０】（３） 請求項３において、めっき液供給
管の噴射口をスリット状にした電解めっき装置。この構
成であると、電解めっき膜の均一性が向上する。 （４） 請求項３において、電解めっき用ラックの下縁
を電解めっき槽底面の固定部に固定する。この構成であ
ると、横揺れ防止が図られ、プリント配線板と隔壁との
接触を防止できる。

【００５１】なお、本明細書中において使用した技術用
語を次のように定義する。 「電解めっき用ラック： カソードの一部を構成し、被
めっき物を電解めっき液中において支持する器具をい
う。」

【００５２】

【発明の効果】以上詳述したように、請求項１に記載の
発明によれば、バブリングを行うことがないため、装置
の早期劣化、複雑化及び大型化を回避することができ
る。しかも、被めっき物の孔内に電解めっき液が充分に
供給されるため、同孔内に確実に電解めっき膜を形成す
ることができる。

【００５３】請求項２に記載の発明によれば、電解めっ
きの際でも液面に乱れが生じにくくなるため、装置の早
期劣化がより確実に回避される。請求項３に記載の発明
によれば、一対のめっき液供給管から噴出される電解め
っき液の流量を変更すれば、被めっき物の両側を流れる
電解めっき液の流速に差を形成することができる。

【００５４】請求項４に記載の発明によれば、電解めっ
き液を被めっき物に対して間接的に供給することができ
るため、焼けやくもり等といっためっき不良の発生をよ
り低減することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 実施例の電解めっき装置を示す概略図であ
る。

【図２】 （ａ）は電解めっき用ラックを示す概略正面
図、（ｂ）はその概略側断面図である。

【図３】 めっき液供給管を示す部分破断斜視図であ
る。

【図４】 めっき液供給管の変形例を示す部分破断斜視
図である。

【図５】 （ａ），（ｂ）は実施例の原理説明図であ
る。

【図６】 （ａ）〜（ｄ）は試験結果を示すグラフであ
る。

【図７】 別例の電解めっき装置を示す概略図である。

【図８】 従来の電解めっき装置の概略図である。

【符号の説明】

１…被めっき物としてのプリント配線板、２…孔として
のスルーホール形成用孔、３，２５…電解めっき装置、
４…電解めっき槽、５…アノード、６…電解めっき用ラ
ック、７…枠体、８…開口部、９…めっき液反射面、１
０…通電体、１４…第１のめっき液供給手段としての第
１のめっき液供給管、１４…第２のめっき液供給手段と
しての第２のめっき液供給管、１６，１７…めっき液排
出管、１９…めっき液循環手段、２４…隔壁、Ｋ…カソ
ード。

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】電解めっき液の満たされた電解めっき槽の
   カソード側に、孔を有する被めっき物を固定するととも
   に、その被めっき物の両側面に第１及び第２のめっき液
   供給手段を配置し、前記各めっき液供給手段から供給さ
   れる電解めっき液の流速が交互に相対的に大きくなるよ
   うに、前記電解めっき液の流速を周期的に変化させる電
   解めっき方法。
2. 【請求項２】前記被めっき物は、前記電解めっき槽の中
   央部においてほぼ垂直に支持され、前記第１及び第２の
   めっき液供給手段は、前記カソードの上部においてその
   両側に配置されるとともに、前記電解めっき液は、前記
   両めっき液供給手段からカソード面に向けて斜め下方向
   に噴出される請求項１に記載の電解めっき方法。
3. 【請求項３】電解めっき液を満たすための電解めっき槽
   と、 前記電解めっき槽内に配置されたアノードと、 孔を有する被めっき物を前記電解めっき液中において固
   定するための電解めっき用ラックと、 前記電解めっき用ラックの上部においてその両側に配置
   された一対のめっき液供給管と、 前記電解めっき用ラックの下部においてその両側に配置
   された一対のめっき液排出管と、 前記両めっき液排出管から排出される電解めっき液を前
   記両めっき液供給管に送り出すことによって電解めっき
   液を循環させるめっき液循環手段と、 前記電解めっき用ラックの両側面に近接した状態で配置
   される一対の隔壁とによって構成された請求項１または
   ２の電解めっき方法を実施するための電解めっき装置。
4. 【請求項４】孔を有する被めっき物を収容する開口部を
   備えた枠体と、前記開口部の上部に形成されためっき液
   反射面と、前記被めっき物を前記枠体に固定するととも
   に、同被めっき物に対して電流を供給するための通電体
   とを備えた請求項１または２の電解めっき方法を実施す
   るための電解めっき用ラック。