JP2007270321A - 洗浄装置、めっき被膜付きフィルムの製造装置、洗浄方法及びめっき被膜付きフィルムの製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】連続して搬送するフィルムを少量の洗浄液で効率よく確実に洗浄する。
【解決手段】洗浄装置７０Ａには、感光ウエブ１８に新鮮な洗浄水Ｌを吹き付ける複数のパイプ８２Ａ、８２Ｂ、８４Ａ、８４Ｂと、感光ウエブ１８に吹き付けられた洗浄水Ｌを受ける第１洗浄槽７２を備えている。第１洗浄槽７２の隣には、隔壁１０８と仕切板１１０を挟んで第２洗浄槽７４が配設される。仕切板１１０は、上端部１１０Ａが隔壁１０８より高く形成され、下部に通水口１１２を備えている。第１洗浄槽７２の洗浄水Ｌは隔壁１０８からオーバーフローして仕切板１１０との間を通って通水口１１２から第２洗浄槽７４に導入される。感光ウエブ１８は、第２洗浄槽７４、第１洗浄槽７２、パイプ８２Ａ、８２Ｂ、８４Ａ、８４Ｂの順で搬送されるにしたがって、より清浄な洗浄水Ｌで洗浄される。
【選択図】図２

Description

本発明は、帯状長尺のフィルムを搬送しながらフィルムを洗浄する洗浄装置、この洗浄装置を備えためっき被膜付きフィルムの製造装置、及びフィルムの洗浄方法、この洗浄方法を適用しためっき被膜付きフィルムの製造方法に関する。

フィルムを連続的に搬送しながらめっき被膜を形成する方式では、めっき浴槽に浸漬しためっき被膜付きフィルムを洗浄し、めっき液を除去する必要がある。

この洗浄方法としては、例えば、特許文献１（図１や図５など）や特許文献２に記載されている様に、整流板を有する洗浄槽にめっき被膜付フィルムを通過させる方法が知られている。また、特許文献３に記載されている様に、多段の洗浄槽の間にシールローラやブラシを設け、めっき被膜付フィルムを多段の洗浄槽へ搬送して洗浄する方法が知られている。

しかし、特許文献１、特許文献２に記載されている方法では、洗浄液でめっき被膜付きフィルムを洗浄処理する際に、洗浄液がその洗浄工程前の処理液で汚染され、充分な洗浄効果が得られなくなる。

また、特許文献３に記載されているシールローラやブラシでは、洗浄槽間のシールが困難で、洗浄液漏れが発生するという懸念がある。また、浸漬タイプの洗浄槽では、単に被洗浄フィルムが静置状態の洗浄液を通過するのみで充分な洗浄効果を得ることができず、また、洗浄液も有効に利用されていない。
特開平５−８９４５３号公報 特開平９−１３１９９号公報 特開２００４−２７０００３号公報

本発明は、かかる事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、連続的に搬送するフィルムを少量の洗浄液で効率よく確実に洗浄できる洗浄装置、めっき被膜付きフィルムの製造装置、洗浄方法及びめっき被膜付きフィルムの製造方法を提供することである。

上記課題を解決するために、請求項１に記載の発明は、フィルムを搬送しながら洗浄する洗浄装置であって、前記フィルムに新鮮な洗浄液を吹き付ける吹き付け手段と、前記吹き付け手段より前記フィルムの搬送方向上流側に設けられ、通過する前記フィルムを洗浄すると共に、前記吹き付け手段によって前記フィルムに吹き付けられた洗浄液を受ける第１洗浄槽と、を有することを特徴としている。

請求項１に記載の発明によれば、吹き付け手段よりフィルムの搬送方向上流側に第１洗浄槽を備えており、通過するフィルムが第１洗浄槽によって洗浄される。第１洗浄槽を通過したフィルムは、吹き付け手段に搬送され、フィルムに新鮮な洗浄液が吹き付けられることにより、フィルムが洗浄される。そして、吹き付け手段によってフィルムを洗浄した後の洗浄液を第１洗浄槽で受けている。これにより、一旦フィルムを洗浄した洗浄液が入った第１洗浄槽でフィルムが洗浄された後、吹き付け手段で新鮮な洗浄液を吹き付けてフィルムが洗浄されるので、フィルムは清浄な状態に保たれる。このため、少量の洗浄液でフィルムを効率よく確実に洗浄することが可能となる。

請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の洗浄装置において、前記吹き付け手段より前記フィルムの搬送方向下流側に、前記フィルムをニップする１対の液絞りローラを備え、前記吹き付け手段の一部が、前記液絞りローラに洗浄液を吹き付けることを特徴としている。

請求項２に記載の発明によれば、吹き付け手段よりフィルムの搬送方向下流側に１対の液絞りローラが設けられており、吹き付け手段によって洗浄されたフィルムは１対の液絞りローラでニップされ、洗浄液で濡れたフィルムが絞られる。その際、吹き付け手段の一部が、液絞りローラに洗浄液を吹き付けるため、液絞りローラの汚れが除去され、フィルムに汚れが付着することが抑制される。

請求項３に記載の発明は、請求項２に記載の洗浄装置において、前記液絞りローラに下方から洗浄液を吹き付けることを特徴としている。

請求項３に記載の発明によれば、液絞りローラに下方から洗浄液を吹き付けるので、液絞りローラの上方のニップ部に洗浄液が溜まることがなく、液絞り効果が維持される。

請求項４に記載の発明は、請求項１から請求項３までのいずれか１項に記載の洗浄装置において、前記第１洗浄槽より前記フィルムの搬送方向上流側に、前記第１洗浄槽と隔壁を挟んで隣接する第２洗浄槽と、前記隔壁より前記第２洗浄槽側に設けられ、前記隔壁より上端部が高く、前記第２洗浄槽の底面との間に通水口を構成する仕切板とを備え、前記第１洗浄槽の洗浄液を前記隔壁でオーバーフローさせて、前記通水口から前記第２洗浄槽へ導入することを特徴としている。

請求項４に記載の発明によれば、第１洗浄槽よりフィルムの搬送方向上流側に隔壁を挟んで隣接する第２洗浄槽が設けられており、第２洗浄槽を通過したフィルムが第１洗浄槽を通過する。隔壁より第２洗浄槽側には、隔壁より上端部が高く、第２洗浄槽の底面との間に通水口を構成する仕切板が設けられており、第１洗浄槽の洗浄液が隔壁でオーバーフローして隔壁と仕切板との間を通り、下方の通水口から第２洗浄槽に導入される。すなわち、仕切板があるので、洗浄液が第２洗浄槽内を循環され、洗浄液の上澄みだけが移動することがない。また、フィルムが第２洗浄槽から第１洗浄槽へ搬送されるに従って、より清浄な洗浄液で洗浄される。このため、より少ない洗浄液でフィルムを効率よく洗浄することが可能となる。

請求項５に記載の発明は、導電面を有するフィルムを搬送しながら、フィルム導電面をカソード給電ローラに接触させ、電解めっき浴にて前記フィルム導電面にめっき被膜を形成するめっき被膜付きフィルムの製造装置であって、前記電解めっき浴より前記フィルムの搬送方向下流側に、前記フィルムに付着しためっき液を洗浄する請求項１から請求項４までのいずれか１項に記載の洗浄装置が設けられていることを特徴としている。

請求項５に記載の発明によれば、電解めっき浴よりフィルムの搬送方向下流側に請求項１から請求項４までのいずれか１項に記載の洗浄装置が設けられており、電解めっき浴にてフィルム導電面にめっき被膜を形成した後、フィルムに付着しためっき液が洗浄装置によって洗浄される。このため、少量の洗浄液でフィルムを効率よく確実に洗浄することが可能となる。

請求項６に記載の発明は、フィルムを搬送しながら洗浄する洗浄方法であって、前記フィルムに新鮮な前記洗浄液を吹き付ける噴射工程と、前記噴射工程の前に、前記フィルムに吹き付けられた洗浄液を受ける第１洗浄槽に前記フィルムを通過させる工程と、を有することを特徴としている。

請求項６に記載の発明によれば、噴射工程によってフィルムに吹き付けられた洗浄液を受ける第１洗浄槽を備えており、第１洗浄槽にフィルムを通過させ、使用済みの洗浄液でフィルムを洗浄した後、噴射工程で新鮮な洗浄液を吹き付けてフィルムを洗浄する。このため、フィルムが清浄な状態になり、少量の洗浄液でフィルムを効率よく確実に洗浄することが可能となる。

請求項７に記載の発明は、請求項６に記載の洗浄方法において、前記第１洗浄槽の洗浄液がオーバーフローして導入される第２洗浄槽を備え、前記第１洗浄槽に前記フィルムを通過させる前に、前記第２洗浄槽に前記フィルムを通過させる工程を設けたことを特徴としている。

請求項７に記載の発明によれば、第１洗浄槽の洗浄液がオーバーフローして導入される第２洗浄槽を備えており、フィルムを第２洗浄槽、第１洗浄槽の順に通過させることにより、フィルムがより清浄な洗浄液で洗浄される。このため、より少ない洗浄液でフィルムを効率よく洗浄することが可能となる。

請求項８に記載の発明は、導電面を有するフィルムを搬送しながら、フィルム導電面をカソード給電ローラに接触させ、電解めっき浴にて前記フィルム導電面にめっき被膜を形成するめっき被膜付きフィルムの製造方法であって、前記フィルムを前記電解めっき浴に搬送した後、前記フィルムに付着しためっき液を請求項６又は請求項７に記載の洗浄方法で洗浄することを特徴としている。

請求項８に記載の発明によれば、電解めっき浴にてフィルム導電面にめっき被膜を形成した後、フィルムに付着しためっき液を請求項５又は請求項６に記載の洗浄方法で洗浄する。このため、少量の洗浄液でフィルムを効率よく確実に洗浄することが可能となる。

本発明は、上記のように構成したので、フィルムを搬送しながら、少量の洗浄液で効率よく確実に洗浄することができる。

本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。なお、実質的に同一の機能を有する部材には全図面を通して同じ符号を付与し、重複する説明は省略する場合がある。

図１は、本発明の一実施形態に係る洗浄装置７０Ａが配設されためっき被膜付きフィルムの製造装置１０を示す概略構成図である。

このめっき被膜付きフィルムの製造装置１０は、図１に示すように、露光装置１２、現像装置１４、洗浄装置７０Ａを備えた電解めっき装置１６、後処理装置１７及び巻取装置１９から構成されている。

まず、露光装置１２について説明する。露光装置１２は、被めっき素材として、銀塩含有層が設けられた長尺幅広フィルムからなる光透過性感光ウエブ１８を搬送しながら、所望の細線状パターン（例えば、格子状、ハニカム状などのパターン）露光を行う装置である。このパターン露光により、感光ウエブ１８の銀塩含有層の露光部にはパターン化された細線状の金属銀部が形成される。

露光装置１２には、光透過性感光ウエブ１８の搬送路に沿って複数の搬送ローラ対２０が設けられており、これらの搬送ローラ対２０は、駆動ローラとニップローラとから構成される。

露光装置１２には、搬送方向の最上流部に供給部が設けられている。供給部には、ローラ状に巻かれた長尺幅広の光透過性感光ウエブ１８を収納するマガジン２２がセットされる。光透過性感光ウエブ１８には、光透過性感光ウエブ１８を引き出して下流側に向けて搬送するための引出ローラ２２Ａが設けられている。

そして、供給部からの搬送方向下流側は、露光ユニット２４が設けられている。この露光ユニット２４により、光透過性感光ウエブ１８に露光が行われる。露光ユニット２４は、フォトマスクを利用した連続面露光ユニットであってもよく、レーザービームによる走査露光ユニットあってもよい。この走査露光ユニットとしては、ガスレーザー、発光ダイオード、半導体レーザー、半導体レーザー又は半導体レーザーを励起光源に用いた固体レーザーと非線形光学結晶を組合わせた第二高調波発光光源（ＳＨＧ）等の単色高密度光を用いた走査露光方式を好ましく適用することができる。また走査露光ユニットとしては、さらにＫｒＦエキシマレーザー、ＡｒＦエキシマレーザー、Ｆ２レーザー等を用いた走査露光方式も適用することができる。

また、走査露光ユニットをコンパクトで、安価なものにするために、露光は、半導体レーザー、半導体レーザーあるいは固体レーザーと非線形光学結晶を組合わせた第二高調波発生光源（ＳＨＧ）を適用することがよい。特にコンパクトで、安価、さらに寿命が長く、安定性が高い装置を設計するためには、半導体レーザーを適用することがよい。

走査露光ユニットのレーザー光源としては、具体的には、波長４３０〜４６０ｎｍの青色半導体レーザー（２００１年３月の第４８回応用物理学関係連合講演会で日亜化学発表）、半導体レーザー（発振波長約１０６０ｎｍ）を導波路状の反転ドメイン構造を有するＬｉＮｂＯ₃のＳＨＧ結晶により波長変換して取り出した約５３０ｎｍの緑色レーザー、波長約６８５ｎｍの赤色半導体レーザー（日立タイプＮｏ．ＨＬ６７３８ＭＧ）、波長約６５０ｎｍの赤色半導体レーザー（日立タイプＮｏ．ＨＬ６５０１ＭＧ）などが好ましく適用でききる。

なお、露光装置１２は、上記構成に限られず、銀塩写真フィルムや印画紙、印刷製版用フィルム、フォトマスク用エマルジョンマスク等に用いられる通常の露光装置を適用することができる。

次に、現像装置１４について説明する。現像装置１４は、露光装置１２の搬送方向の下流側に配置され、所望の細線状パターン露光が施された光透過性感光ウエブ１８を現像・定着・洗浄を行う装置である。

現像装置１４には、搬送方向の上流側から順に、現像槽２６、漂白定着槽２８、及び水洗槽３０が設けられており、水洗槽３０は、第１水洗槽３０Ａ、第２水洗槽３０Ｂ、第３水洗槽３０Ｃ、及び第４水洗槽３０Ｄからなる。現像槽２６には、例えば、現像液２６Ｌが所定量貯蔵され、漂白定着槽２８には、漂白定着液２８Ｌが所定量貯蔵され、第１水洗槽３０Ａ〜第４水洗槽３０Ｄには、洗浄液３０Ｌが所定量貯蔵されている。各処理槽２６〜３０内のローラとガイドによって感光ウエブ１８が各処理槽２６〜３０の液内を搬送されることで、現像・定着・洗浄の各処理が行われるようになっている。また、現像槽２６の最上流側には、駆動ローラ３２Ａと従動ローラ３２Ｂとを備えた搬入ローラ対３２が配置されており、この搬入ローラ対３２は、露光装置１２から搬出される感光ウエブ１８を現像液２６Ｌ内に案内している。

ここで、現像・定着・洗浄の各処理は、銀塩写真フィルム、印刷製版用フィルム、フォトマスク用エマルジョンマスク等に用いられる通常の現像処理技術を適用することができる。現像液２６Ｌ、漂白定着液２８Ｌ、洗浄液３０Ｌもこれらに準じて適宜適用することができる。例えば、現像液２６Ｌとしては、特に限定しないが、ＰＱ現像液、ＭＱ現像液、ＭＡＡ現像液等を用いることもでき、例えば、富士フィルム社製のＣＮ−１６、ＣＲ−５６、ＣＰ４５Ｘ、ＦＤ−３、パピトール、ＫＯＤＡＫ社製のＣ−４１、Ｅ−６、ＲＡ−４、Ｄ−１９、Ｄ−７２などの現像液、又はそのキットに含まれる現像液、また、Ｄ−８５などのリス現像液を用いることができる。なお、定着処理は、未露光部分の銀塩を除去して安定化させる目的で行われる。

また、現像液２６Ｌには、画質を向上させる目的で、画質向上剤を含有することができる。画質向上剤としては、例えば、ベンゾトリアゾールなどの含窒素へテロ環化合物を挙げることができる。また、リス現像液を利用する場合特に、ポリエチレングリコールを使用することも好ましい。

なお、現像装置１４では、各処理槽２６〜３０の液内を通過した感光ウエブ１８は、乾燥させず現像装置１４から排出されるようになっている。

次に、電解めっき装置１６について説明する。電解めっき装置１６は、露光・現像を施され、細線状の金属銀部が形成された感光ウエブ１８に対し、電解めっき処理を施し、当該金属銀部に導電性微粒子を担持させめっき（導電性金属部）を形成する装置である。

電解めっき装置１６には、感光ウエブ１８の搬送方向上流側に、水洗槽３０を通過した後の感光ウエブ１８の水分を除去する水分除去装置４０Ａが配設されている。水分除去装置４０Ａには、感光ウエブ１８の両側にエアーナイフ装置４２、４４が配置されており、感光ウエブ１８の両側からエアーナイフを吹き付けることで、感光ウエブ１８に付着した水分を除去する。

水分除去装置４０Ａより感光ウエブ１８の搬送方向下流側には、感光ウエブ１８の金属銀部に接触しながら給電を行うカソード給電ローラ５０Ａが配設されている。感光ウエブ１８を挟んでカソード給電ローラ５０Ａと対向する位置には、感光ウエブ１８の金属銀部をカソード給電ローラ５０Ａに押圧して接触させる弾性ローラ５２Ａが配設されている。この弾性ローラ５２Ａは、回転可能に支持された芯金の外周面にゴムなどからなる弾性体層が形成されたものである。弾性体層としてウレタンゴムなどが用いられる。

弾性ローラ５２Ａを構成する芯金の両端部には、芯金の回転を阻害しないようにバネ材５４が装着されており、このバネ材５４の上部に重り５５が取り付けられている。この重り５５によって感光ウエブ１８をカソード給電ローラ５０Ａに押圧する押圧力（ニップ部の押圧力）が調整されている。弾性ローラ５２Ａによって感光ウエブ１８をカソード給電ローラ５０Ａに押圧することで、感光ウエブ１８とカソード給電ローラ５０Ａとを密着させることができる。

カソード給電ローラ５０Ａより感光ウエブ１８の搬送方向下流側には、感光ウエブ１８を案内する支持ローラ５６が配設され、さらにその下流側にめっき液６１で満たされためっき槽６０Ａが配置されている。この工程では、カソード給電ローラ５０Ａに接触させた感光ウエブ１８の金属銀部をめっき槽６０Ａのめっき浴中で液中ローラ６２Ａにより搬送する。銅ボールを積層充填したケース６４Ａをアノード電極にして、カソード電極をカソード給電ローラ５０Ａとして、直流電源（図示省略）により給電し、感光ウエブ１８に層状のめっき被膜を形成する。本実施形態では、直流電源（図示省略）により、カソード給電ローラ５０Ａからアノード電極であるケース６４Ａへ給電し、感光ウエブ１８に、０．２〜１０Ａ／ｄｍ²の電流密度となるようにしてめっき被膜を形成する。

ここで、電解めっき処理として、例えば、プリント配線板などで用いられている電解めっき技術を適用することができ、電解めっきは電解銅めっきであることが好ましい。本実施形態では、めっき液６１として、電解銅めっき浴液が適用されている。電解銅めっき浴としては、硫酸銅浴、ピロリン酸銅浴、ホウフッ化銅浴等が挙げられる。電解銅めっき液に含まれる化学種としては、硫酸銅や塩化銅、めっき液の安定性、導電性を高め、均一電着性の増加を図る硫酸、アノードの溶解促進及び添加剤の補助効果作用の塩素、浴の安定化やめっき緻密性を向上させるための添加剤としてポリエチレンオキサイド、ビピリジン等が挙げられる。

なお、図１に示すように、めっき槽６０Ａの下部には循環用のパイプ６７が連結され、パイプ６７にポンプ６８とフィルター６９と複数の開閉弁６５が配設されている。めっき槽６０Ａ内のめっき液６１は、ポンプ６８によってパイプ６７内を流れ、フィルター６９を通ってめっき槽６０Ａ内に戻されることで循環使用される。

図１に示すように、めっき槽６０Ａより感光ウエブ１８の搬送方向下流側には、感光ウエブ１８を案内する複数（本例では２つ）の支持ローラ５８が配置され、さらにその搬送方向下流側に洗浄装置７０Ａが配設されている。この洗浄装置７０Ａは、感光ウエブ１８の搬送方向下流側から上流側の順で、洗浄水Ｌが満たされた第１洗浄槽７２と第２洗浄槽７４とを備えている。さらに、第１洗浄槽７２の上部であって感光ウエブ１８の搬送方向下流側に、新鮮な洗浄水Ｌを噴出する複数のパイプ８２Ａ、８２Ｂ、８４Ａ、８４Ｂを備えている。

第２洗浄槽７４内には液中ローラ７６Ａが設けられ、第１洗浄槽７２内には液中ローラ７６Ｂが設けられている。第１洗浄槽７２と第２洗浄槽７４との境界の上方には、略水平に配置された２つの搬送ローラ７８Ａ、７８Ｂが設けられている。これにより、感光ウエブ１８は第２洗浄槽７４の洗浄水Ｌ内を搬送された後、液中ローラ７６Ａと２つの搬送ローラ７８Ａ、７８Ｂに案内されて搬送され、第１洗浄槽７２の洗浄水Ｌ内を搬送されるようになっている。第１洗浄槽７２を通過した感光ウエブ１８は、液中ローラ７６Ｂと上部に配置された支持ローラ８０に案内されて上方に搬送される。

第１洗浄槽７２の上部には、感光ウエブ１８の一方側の面と対向して複数（本例では４本）の長尺のパイプ８２Ａ、８２Ｂが幅方向にほぼ平行に配置されている。また、感光ウエブ１８の他方側の面と対向して複数（本例では４本）の長尺のパイプ８４Ａ、８４Ｂが幅方向にほぼ平行に配置されている。パイプ８２Ａ、８４Ａには、感光ウエブ１８面と垂直又は若干下方の角度で洗浄水Ｌを噴出する複数のノズルが形成されている。

最上部のパイプ８２Ｂ、８４Ｂの上方であって、感光ウエブ１８の搬送方向下流側には、感光ウエブ１８の表裏に圧接される１対の液絞りローラ８６が配設されている。液絞りローラ８６は、感光ウエブ１８の搬送に伴い、矢印方向に従動回転する。パイプ８２Ｂ、８４Ｂには、下方から液絞りローラ８６に当たる方向に洗浄水Ｌを吹き付けるように、斜め上部に複数のノズルが形成されている。下方から液絞りローラ８６に洗浄水Ｌを吹き付けることで、液絞りローラ８６の上方に洗浄水Ｌが溜まることがなく、感光ウエブ１８の液絞り効果を維持することができる。

本実施形態では、パイプ８２Ａ、８２Ｂ、８４Ａ、８４Ｂに形成されるノズルの径は約０．３ｍｍに設定されており、洗浄水Ｌの流速を上げるためにノズルの径を小さくしている。これにより、複数のノズルから洗浄水Ｌが霧状に吹き付けられる。液絞りローラ８６は、ＰＶＡ（ポリビニルアルコール）で形成されており、周面が洗浄水Ｌによって常に濡れた状態で使用される。

複数のパイプ８２Ａ、８２Ｂは、感光ウエブ１８と対向する位置の外側で、新鮮な洗浄水Ｌを供給する供給管９０から分岐され、複数のパイプ８４Ａ、８４Ｂは新鮮な洗浄水Ｌを供給する供給管９２から分岐されている。供給管９０、９２は、１本の導入管９４から分岐されている。供給管９０、９２には、それぞれ流量を一定に制御する流量調整弁９６と、圧力計９８と、流量計１００が設けられている。これらによって、複数のパイプ８２Ａ、８４Ｂと、複数のパイプ８４Ａ、８４Ｂに供給する洗浄水Ｌが所定の流量に調整される。なお、洗浄液の流量は、感光ウエブ１８の片面にめっき被膜を形成する場合、めっき被膜面に裏面よりも多くの洗浄水Ｌを吹き付けるように設定されている。

また、第１洗浄槽７２は、複数のパイプ８２Ａ、８４Ｂと、複数のパイプ８４Ａ、８４Ｂの下部に設けられており、複数のパイプ８２Ａ、８４Ｂと複数のパイプ８４Ａ、８４Ｂから吹き付けられた洗浄水Ｌが感光ウエブ１８を伝って第１洗浄槽７２内に注がれるように構成されている。第１洗浄槽７２内には、液中ローラ７６Ｂの上流側と下流側に、感光ウエブ１８の表裏に洗浄水を吹き付ける複数の略Ｕ字状（例えば角形のＵ字状）のパイプ１０２が設けられている。パイプ１０２には、感光ウエブ１８面と垂直方向に洗浄水Ｌを噴出する複数のノズルが形成されている。パイプ１０２は、略Ｕ字状の開口部分に感光ウエブ１８を挿通させることによって感光ウエブ１８の表裏と対向するように配置されている。

第１洗浄槽７２の底部には循環パイプ１０４が設けられ、複数のパイプ１０２と連結されている。循環パイプ１０４には、流量調整弁１０５と、循環ポンプ１０６が設けられており、第１洗浄槽７２内の洗浄水Ｌが循環パイプ１０４に導通されて複数のパイプ１０２から吹き出されることで、洗浄水Ｌが循環使用される。

第１洗浄槽７２と第２洗浄槽７４との間には、隔壁１０８が設けられており、隔壁１０８より第２洗浄槽７４側には、隔壁１０８とほぼ平行に仕切板１１０が設けられている。仕切板１１０は、上端部１１０Ａが隔壁１０８の上端部より高く形成され、第２洗浄槽７４の底面との間に通水口１１２を備えている。これにより、第１洗浄槽７２内の洗浄水Ｌは、矢印に示すように隔壁１０８の上端部からオーバーフローして仕切板１１０の側に導入され、隔壁１０８と仕切板１１０との間を通って下方の通水口１１２から第２洗浄槽７４に導入される。また、仕切板１１０を設けることで、洗浄水Ｌが第２洗浄槽７４内を循環し、洗浄水Ｌの上澄みだけが第２洗浄槽７４内を移動することが抑制される。

また、第２洗浄槽７４内には、第１洗浄槽７２と同様に複数のパイプ１０２が配設され、また、循環パイプ１０４、流量調整弁１０５、及び循環ポンプ１０６が設けられている。さらに、第２洗浄槽７４には、仕切板１１０と反対側に、隔壁１５４を挟んで排水槽１５６が設けられている。隔壁１５４の上端部の高さは隔壁１０８の上端部の高さと同じに設定されている。排水槽１５６の底部には、排水管１５８が設けられている。これにより、第２洗浄槽７４内の洗浄水Ｌは隔壁１５４の上端部からオーバーフローして排水槽１５６に導入され、排水管１５８を通って排出される。

上記構成の電解めっき装置１６では、図１に示すように、まず、長尺幅広の感光ウエブ１８が矢印方向に搬送され、エアーナイフ装置４２、４４によって感光ウエブ１８に付着した水分が除去された後、カソード給電ローラ５０Ａと弾性ローラ５２Ａとのニップ部で感光ウエブ１８の金属銀部をカソード給電ローラ５０Ａに接触させた後、めっき槽６０Ａに搬送される。その際、銅ボールを積層、充填したケース６４Ａをアノード電極とし、カソード給電ローラ５０Ａをカソード電極として、直流電源（図示省略）により給電することで、感光ウエブ１８の金属銀部の電解めっきにより銅めっき被膜が形成される。

その後、感光ウエブ１８は支持ローラ５８に案内されて洗浄装置７０Ａに搬送される。洗浄装置７０Ａでは、感光ウエブ１８はまず第２洗浄槽７４に搬送され、第２洗浄槽７４の洗浄水Ｌ内で感光ウエブ１８の表裏にパイプ１０２から洗浄水Ｌが吹き付けられ、感光ウエブ１８に付着しためっき液が洗浄される。感光ウエブ１８は、液中ローラ７６Ａと搬送ローラ７８Ａ、７８Ｂに案内されて第２洗浄槽７４を通過した後、第１洗浄槽７２に搬送される。そして、第１洗浄槽７２の洗浄水Ｌ内で感光ウエブ１８の表裏にパイプ１０２から洗浄水Ｌが吹き付けられ、感光ウエブ１８が洗浄される。

さらに、感光ウエブ１８は、液中ローラ７６Ｂと支持ローラ８０に案内されて第１洗浄槽７２から搬出された後、パイプ８２Ａ、８４Ｂとパイプ８４Ａ、８４Ｂとの対向位置を通過し、パイプ８２Ａ、８４Ｂとパイプ８４Ａ、８４Ｂから新鮮な洗浄水Ｌが吹き付けられることで、感光ウエブ１８が洗浄される。

このような洗浄装置７０Ａでは、パイプ８２Ａ、８４Ｂとパイプ８４Ａ、８４Ｂから吹き付けられた洗浄水Ｌは感光ウエブ１８を伝って第１洗浄槽７２に注がれ、また、第１洗浄槽７２内の洗浄水Ｌは隔壁１０８からオーバーフローして仕切板１１０の下方の通水口１１２から第２洗浄槽７４に導入される。このため、感光ウエブ１８は、第２洗浄槽７４、第１洗浄槽７２、パイプ８２Ａ、８４Ｂとパイプ８４Ａ、８４Ｂとの対向部に搬送されるにしたがって、古い洗浄水Ｌから新しい洗浄水Ｌの順（より清浄な洗浄水Ｌ）で洗浄されることになる。このため、感光ウエブ１８を少量の洗浄水Ｌで効率よく確実に洗浄することができる。

その後、感光ウエブ１８は、液絞りローラ８６の圧接部を通過し、感光ウエブ１８に付着した洗浄液が絞られる。液絞りローラ８６には、下方のパイプ８２Ｂ、８４Ｂから洗浄水Ｌが吹き付けられているので、液絞りローラ８６が洗浄され、清浄な状態に保たれる。このため、感光ウエブ１８に汚れが付着することが防止される。

図示を省略するが、電解めっき装置１６では、水分除去装置４０Ａと、カソード給電ローラ５０Ａと、めっき槽６０Ａと、洗浄装置７０Ａとを備えたユニットが複数配置されており（本実施形態では８ユニット）、上記のような工程が複数回繰り返されることで、感光ウエブ１８に所定の厚みの銅めっきが形成される。

さらに、感光ウエブ１８の搬送方向下流側には、ニッケルめっきを施すための水分除去装置４０Ｂと、カソード給電ローラ５０Ｂと、めっき槽６０Ｂと、洗浄装置７０Ｂとを備えたユニットが複数配置されており（本実施形態では８ユニット）、上記と同様の工程が複数回繰り返されることで、感光ウエブ１８に所定の厚みのニッケルめっき被膜が形成される。

次いで、図１に示すように、フィルム張力を検出できるローラ１２５を介して、めっき液を除去する水洗部１１４、めっき被膜を保護する防錆処理液１１７の入った防錆処理部１１６を経て、過剰な防錆処理液を除去する水洗部１１８を経て、水分を除去する乾燥炉をもつ乾燥工程部１２０を経て、速度調整部１２１を経て、バランスローラ部１２２を経て、張力調整された後、アキュムレータ１２３を通してローラ状フィルム１２４とする。こうしてめっき被膜付きフィルムが得られる。

実質的なフィルム搬送張力は、５Ｎ／ｍ以上２００Ｎ／ｍ以下とすることが好ましい。実際に張力を５Ｎ／ｍ未満にすると、フィルムが蛇行し始め、搬送経路の制御がうまくいかなかった。また２００Ｎ／ｍを超えると、フィルムの形成されるめっき被膜金属が内部歪みを持つために、製品にカールが発生するなどの問題があった。

搬送張力制御は、張力検出ローラ１２５を用いて、搬送張力を検出し、この張力値が一定になるように速度調整部１２１によって速度を増減させるフィードバック制御を行うと良い。

このようにして、感光ウエブ１８の細線状金属銀部にめっき（導電性金属部）が形成される。このような工程により、めっき被膜付きフィルムを得ることができる。

なお、電解めっき装置１６のめっき槽の数は、所望のめっき膜厚（導電性金属部の厚み）に応じて８セット以上増設してもよい。この数に応じて、所望のめっき膜厚（導電性金属部の厚み）を容易に得ることができる。

次に、感光ウエブ１８について説明する。被めっき素材としての感光ウエブ１８は、例えば、光透過性支持体上に銀塩（例えばハロゲン化銀）が含有した銀塩含有層を設けた、感光材料からなる長尺幅広フレキシブル基材である。また、銀塩含有層上には保護層が設けられていてもよく、この保護層とは例えばゼラチンや高分子ポリマーといったバインダーからなる層を意味し、擦り傷防止や力学特性を改良する効果を発現するために銀塩含有層上に形成される。保護層の厚みは０．０２〜２０μｍであることが好ましく、より好ましくは０．１〜１０μｍであり、さらに好ましくは０．３〜３μｍである。

これらの銀塩含有層や保護層の組成などは、銀塩写真フィルム、印画紙、印刷製版用フィルム、フォトマスク用エマルジョンマスク等に適用されるハロゲン化銀乳剤層（銀塩含有層）や保護層を適宜適用することができる。

特に、感光ウエブ１８（感光材料）としては、銀塩写真フィルム（銀塩感光材料）が好ましく、白黒銀塩写真フィルム（白黒銀塩感光材料）が最もよい。また、銀塩含有層に適用する銀塩としては、特にハロゲン化銀が最も好適である。

一方、光透過性支持体としては、単層のプラスチックフィルムや、これを２層以上組み合わせた多層フィルムを適用することができる。プラスチックフィルムの原料としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、及びポリエチレンナフタレートなどのポリエステル類；ポリエチレン（ＰＥ）、ポリプロピレン（ＰＰ）、ポリスチレン、ＥＶＡなどのポリオレフィン類；ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデンなどのビニル系樹脂；その他、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）、ポリサルホン（ＰＳＦ）、ポリエーテルサルホン（ＰＥＳ）、ポリカーボネート（ＰＣ）、ポリアミド、ポリイミド、アクリル樹脂、トリアセチルセルロース（ＴＡＣ）などを用いることができる。

これらの中でも、透明性、耐熱性、取り扱いやすさ及び価格の点から、支持体としてのプラスチックフィルムは、銀塩写真フィルム（銀塩感光材料）に通常適用されるポリエチレンテレフタレートフィルムやセルロールトリアセテートフィルム、また、その他、ポリイミドフィルムであることが好ましい。特に、ポリエチレンテレフタレートフィルムであることが最も好ましい。

また、ディスプレイ用の電磁波遮蔽材では透明性が要求されるため、支持体の透明性は高いことが望ましい。この場合における光透過性支持体の全可視光透過率は７０〜１００％が好ましく、さらに好ましくは８５〜１００％であり、特に好ましくは９０〜１００％である。

感光ウエブ１８の幅は、例えば、５０ｃｍ以上とし、厚みは５０〜２００μｍとすることがよい。

また、感光ウエブ１８には、露光・現像後、その露光部に金属銀部が形成されるが、この金属銀部に含まれる金属銀の質量が、露光前の露光部に含まれていた銀の質量に対して５０質量％以上の含有率であることが好ましく、８０質量％以上であることがさらに好ましい。露光部に含まれる銀の質量が露光前の露光部に含まれていた銀の質量に対して５０質量％以上であれば、その後の電解めっき処理で高い導電性を得ることができるため好ましい。

露光及び現像処理により形成された金属銀部に導電性を付与するために、上述の電解めっき装置１６によって、金属銀部に導電性金属粒子を担持させる電解メッキ処理を行う。すなわち、めっき被膜付きフィルムの製造装置１０では、被めっき素材として、銀塩含有層が設けられた光透過性感光ウエブ１８を用い、これの銀塩含有層に露光・現像を行って被めっき部として所望の細線状金属銀部を形成する。この細線状金属銀部は、銀塩含有層に露光・現像して形成されるため、非常に細い細線でパターン化された細線状金属銀部となる。このような光透過性感光ウエブ１８に対し、電解めっき処理を施すと、細線状金属銀部上に導電性粒子が担持され、これが導電性金属部となる。このため、得られる電磁波遮蔽材料は、非常に細い細線でパターン化された細線状金属部と大面積の光透過部とを有することとなる。

このようなめっき被膜付きフィルムの製造装置１０では、洗浄装置７０Ａを備えているので、連続的に搬送される感光ウエブ１８に付着しためっき液を少量の洗浄水Ｌで効率よく確実に洗浄できる。このため、めっき時の洗浄処理の負担を大幅に低減し、生産効率の向上を図ることができ、安価に製品を提供できる。

なお、本実施形態の洗浄装置７０Ａでは、第１洗浄槽７２と第２洗浄槽７４が設けられているが、洗浄槽の数は上記構成に限るものではなく、第１洗浄槽７２のみでもよい。また、３つ以上の複数の洗浄槽を設けてもよい。

なお、本実施形態では、感光ウエブ１８の片面にめっき被膜を形成しているが、両面にめっき被膜を形成する場合にも洗浄装置７０Ａを適用可能である。その場合には、感光ウエブ１８の両側のパイプ８２Ａ、８２Ｂとパイプ８４Ａ、８４Ｂから吹き付けられる洗浄水Ｌを同量に設定することが望ましい。なお、パイプ８２Ａ、８２Ｂとパイプ８４Ａ、８４Ｂの本数は適宜に設定可能である。また、本実施形態では、パイプ８２Ａ、８２Ｂとパイプ８４Ａ、８４Ｂは、感光ウエブ１８を挟んでほぼ平行に配置されているが、例えば千鳥状に配置してもよい。

なお、本実施形態では、洗浄液として洗浄水Ｌを使用したが、水に限らす、アルカリ性洗浄液、酸性洗浄液など、他の洗浄液も使用可能である。

なお、本実施形態では、めっき被膜付きフィルムの製造装置１０に用いられた洗浄装置及び洗浄方法について説明したが、これに限られず、例えば、その他工業品などの微細な導電性金属部からなる細線状パターンを有する光透過性導電性材料の洗浄装置及び洗浄方法としても適用することができる。また、同様に、本実施形態は、その他工業品などを洗浄するための洗浄装置及び洗浄方法としても適用することができる。

本発明の一実施形態の洗浄装置を備えためっき被膜付きフィルムの製造装置を示す概略縦断面図である。 図１に示す電解めっき装置に配設された洗浄装置を示す概略断面図である。

符号の説明

１０ めっき被膜付きフィルム製造装置
１８ 感光ウエブ（フィルム）
６０Ａ めっき槽
６０Ｂ めっき槽
６１ めっき液
７０Ａ 洗浄装置
７０Ｂ 洗浄装置
７２ 第１洗浄槽
７４ 第２洗浄槽
７６Ａ 液中ロール
７６Ｂ 液中ロール
７８Ａ、７８Ｂ 搬送ロール
８２Ａ パイプ（吹き付け手段）
８２Ｂ パイプ（吹き付け手段）
８４Ａ パイプ（吹き付け手段）
８４Ｂ パイプ（吹き付け手段）
８６ 液絞りロール
９０ 供給管
９２ 供給管
９４ 導入管
９６ 流量調整弁
９８ 圧力計
１００ 流量計
１０２ パイプ
１０８ 隔壁
１１０ 仕切板
１１０Ａ 上端部
１１２ 通水口
１５４ 隔壁
１５６ 排水槽
１５８ 排水管
Ｌ 洗浄水（洗浄液）

Claims (8)

1. フィルムを搬送しながら洗浄する洗浄装置であって、
   前記フィルムに新鮮な洗浄液を吹き付ける吹き付け手段と、
   前記吹き付け手段より前記フィルムの搬送方向上流側に設けられ、通過する前記フィルムを洗浄すると共に、前記吹き付け手段によって前記フィルムに吹き付けられた洗浄液を受ける第１洗浄槽と、
   を有することを特徴とする洗浄装置。
2. 前記吹き付け手段より前記フィルムの搬送方向下流側に、前記フィルムをニップする１対の液絞りローラを備え、
   前記吹き付け手段の一部が、前記液絞りローラに洗浄液を吹き付けることを特徴とする請求項１に記載の洗浄装置。
3. 前記液絞りローラに下方から洗浄液を吹き付けることを特徴とする請求項２に記載の洗浄装置。
4. 前記第１洗浄槽より前記フィルムの搬送方向上流側に、前記第１洗浄槽と隔壁を挟んで隣接する第２洗浄槽と、
   前記隔壁より前記第２洗浄槽側に設けられ、前記隔壁より上端部が高く、前記第２洗浄槽の底面との間に通水口を構成する仕切板とを備え、
   前記第１洗浄槽の洗浄液を前記隔壁でオーバーフローさせて、前記通水口から前記第２洗浄槽へ導入することを特徴とする請求項１から請求項３までのいずれか１項に記載の洗浄装置。
5. 導電面を有するフィルムを搬送しながら、フィルム導電面をカソード給電ローラに接触させ、電解めっき浴にて前記フィルム導電面にめっき被膜を形成するめっき被膜付きフィルムの製造装置であって、
   前記電解めっき浴より前記フィルムの搬送方向下流側に、前記フィルムに付着しためっき液を洗浄する請求項１から請求項４までのいずれか１項に記載の洗浄装置が設けられていることを特徴とするめっき被膜付きフィルムの製造装置。
6. フィルムを搬送しながら洗浄する洗浄方法であって、
   前記フィルムに新鮮な前記洗浄液を吹き付ける噴射工程と、
   前記噴射工程の前に、前記フィルムに吹き付けられた洗浄液を受ける第１洗浄槽に前記フィルムを通過させる工程と、
   を有することを特徴とする洗浄方法。
7. 前記第１洗浄槽の洗浄液がオーバーフローして導入される第２洗浄槽を備え、
   前記第１洗浄槽に前記フィルムを通過させる前に、前記第２洗浄槽に前記フィルムを通過させる工程を設けたことを特徴とする請求項６に記載の洗浄方法。
8. 導電面を有するフィルムを搬送しながら、フィルム導電面をカソード給電ローラに接触させ、電解めっき浴にて前記フィルム導電面にめっき被膜を形成するめっき被膜付きフィルムの製造方法であって、
   前記フィルムを前記電解めっき浴に搬送した後、前記フィルムに付着しためっき液を請求項６又は請求項７に記載の洗浄方法で洗浄することを特徴とするめっき被膜付きフィルムの製造方法。

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