JP2002316116A - プラスチックフィルムの洗浄装置およびそれを用いた洗浄方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 フィルムに付着する微塵埃やイオン性不純物
等の少ないより高度の清浄性が要求されるクリーンプラ
スチックフィルムを洗浄する洗浄装置とそれを用いた洗
浄方法を提供すること。 【解決手段】 フィルムロールの巻き出し部を設け、巻
き出したフィルムを洗浄液で洗浄する洗浄部、蒸気乾燥
部、空気乾燥部、巻取り部を順に設けることを特徴とす
るプラスチックフィルムの洗浄装置。また、前記洗浄部
の洗浄液をアルコール系としたことを特徴とする請求項
１記載のプラスチックフィルムの洗浄装置。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、微塵埃（パーティ
クル）等を嫌う電子部品等の包装に用いるクリーンプラ
スチックフィルムの洗浄装置とそれを用いた洗浄方法に
関するものであり、特にインフレーション式（円形ダイ
式ともいう）溶融押出成形法や張り合わせ法で製造され
るフィルムを洗浄する洗浄装置と洗浄方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、プラスチックフィルムの製造方法
の一つとして、ポリエチレンやポリプロピレンなどの溶
融樹脂を環状（チューブ状）に押し出し、引き伸ばしな
がら封筒状に巻き取るインフレーション式溶融押出成形
法（円形ダイ式ともいう）が知られ、その代表的な構成
は、溶融樹脂を円形ダイの押出口から上に向かってチュ
ーブ状に押し出しを行い、上側で封筒状に押しつぶしな
がら巻き取りを行っている。この円形ダイの押出口から
封筒状に押しつぶすまでの間のフィルムの形状は円筒状
となっている。この円筒状の部分は、円筒内部に空気が
吹き込まれており円筒がつぶれないようになっている。
この円筒状の部分で押し出された樹脂の自然冷却が行わ
れ、場合によっては延伸が行われる。

【０００３】上記プラスチックフィルムは、食品等いろ
いろな物の包装に使われているが、これら包装される内
容物と接触する面は、インフレーション式溶融押出成形
法で製造されたフィルムを包装材に使用する場合、フィ
ルム成形時に円筒内面になっている面を、包装される内
容物に接するように使用されていることが多い。これは
フィルム内面は、製造環境の外気と直接的に接しないた
め、外部の機械類などの油ミストや、外気の粉塵の影響
が少なく、フィルム内面には微塵埃等の付着が少ないか
らと考えられているからである。

【０００４】しかしながら、前記インフレーション式溶
融押出成形法の場合、押出し成形時以外でフィルム内面
へ微塵埃等が付着することは少ないが、従来のインフレ
ーション式溶融押出成形装置では、内部へ吹き込む空気
は機械の油ミストや製造所の微塵埃等を含んだまま送風
機やブロアで送り込まれることが多く、それらがフィル
ム内面へ付着することが多い事が知られている。またフ
ィルム外面は、そのまま製造所の外気環境にさらされて
おり、やはり機械の油ミストや製造所の微塵埃が付着す
ることが多い。

【０００５】一方、押出し樹脂に由来する微塵埃とし
て、例えばポリエチレン樹脂は押出し後フィルム状に成
形されるが、すべての樹脂がフィルムを構成する高分子
量になるわけではなく、数％程度は低分子量のポリエチ
レンとして存在している。押し出されたフィルム内部の
空気に樹脂臭がするのはこの低分子量の樹脂がモノマー
ガスとして発生するためである。また押出し直後の溶融
樹脂周辺から蒸気の様な物が立ち登るのも、このモノマ
ーガスと考えられている。これらが微塵埃（パーティク
ル）としてフィルムへ付着することも知られている。

【０００６】また先端に円形ダイを有する押出機の押出
口の形状は、樹脂が滞留しにくいように構成されている
が、若干の滞留が常に確認されていて、この滞留により
樹脂に過大な熱が加わり続け、樹脂の酸化、分解や炭化
が発生し、これらが微塵埃となってフィルム面へ付着す
ることも知られている。

【０００７】またエレクトロニクス関連分野に使用され
るフィルム用の樹脂は、酸化防止剤や、その他の添加物
の少ない樹脂が使われている事が多い。これは酸化防止
剤や添加物が、高温処理によるフィルム化に際し、表面
に例えば塩素イオン等各種イオンがブリードアウトし、
そのイオンがイオン性不純物としてエレクトロニクス部
品に悪影響を与えるためであり、使用量を極力少なくし
ているが、そのイオン性不純物の介在はゼロではない。

【０００８】このように、特に微塵埃（パーティクル）
やイオン性不純物等を嫌うエレクトロニクス関連分野に
おいて、例えばハードディスク装置に使用されるハード
ディスクの包装材用として、上記のような従来方法で製
造されたフィルムでは、フィルムに付着している微塵埃
やイオン性不純物が要求されている量よりはるかに多
く、使用は不可能という問題があった。張り合わせ法で
製造されるフィルムにおいても同様な事が存在すること
が知られている。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、かかる従来
技術の問題点を解決するものであり、その課題とすると
ころは、特にエレクトロニクス関連分野におけるよう
に、フィルムに付着するモノマーガスを含む微塵埃やイ
オン性不純物等の少ないより高度の清浄性が要求される
クリーンプラスチックフィルムを、インフレーション式
溶融押出成形法や張り合わせ法で製造したプラスチック
フィルムを洗浄する洗浄装置とそれを用いた洗浄方法で
提供することにある。

【００１０】

【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、フィ
ルムロールの巻き出し部を設け、巻き出したフィルムを
洗浄液で洗浄する洗浄部、蒸気乾燥部、空気乾燥部、巻
取り部を順に設けることを特徴とするプラスチックフィ
ルムの洗浄装置である。

【００１１】請求項２の発明は、前記洗浄部の洗浄液を
アルコール系としたことを特徴とする請求項１記載のプ
ラスチックフィルムの洗浄装置である。

【００１２】請求項３の発明は、前記洗浄部が、洗浄液
を満たした洗浄タンクと、洗浄液の連続噴射洗浄ノズル
と間欠噴射ノズルからなることを特徴とする請求項１ま
たは２記載のプラスチックフィルムの洗浄装置である。

【００１３】請求項４の発明は、前記蒸気乾燥部が、洗
浄液を加熱し蒸気を満たす蒸気発生部を設けたことを特
徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のプラスチック
フィルムの洗浄装置である。

【００１４】請求項５の発明は、前記乾燥部が、乾燥空
気の加熱部と帯電防止部を設けたことを特徴とする請求
項１〜４のいずれかに記載のプラスチックフィルムの洗
浄装置である。

【００１５】請求項６の発明は、前記蒸気乾燥部の洗浄
液を加熱する加熱部と、前記乾燥部の乾燥空気を加熱す
る加熱部の熱源に洗浄液の蒸気を冷却して復水する蒸気
復水部の冷却熱源を相互利用する加熱冷却部を設け、復
水した洗浄液内の異物や、塵埃等を取り除く洗浄液フィ
ルタ部を設けたことを特徴とする請求項１〜５のいずれ
かに記載のプラスチックフィルムの洗浄装置である。

【００１６】請求項７の発明は、フィルムロールの巻き
出しする工程、洗浄部する工程、蒸気乾燥する工程、空
気乾燥工程、巻取り工程を含むことを特徴とするプラス
チックフィルムの洗浄方法である。

【００１７】請求項８の発明は、前記洗浄工程の洗浄液
が、アルコール系であることを特徴とする請求項７に記
載のプラスチックフィルムの洗浄方法である。

【００１８】

【発明の実施の形態】以下本発明の実施の形態を図面を
用いながら説明する。本発明のプラスチックフィルムの
洗浄装置は、図１の側断面で表した概略図に示すよう
に、ロールフィルム（１）を移動台（２）の乗せた状態
を示す。通常ロールフィルムには汚れ防止のため一次包
装（３ａ）を施してある。一次包装（３ａ）は洗浄装置
（４）の前室（４ａ）にロールフィルムを搬入する直前
に除去する。前室（４ａ）に入った状態のロールフィル
ムと移動台の状態（１００）から洗浄室（４）にロール
フィルム（１）を入れ、巻き出し部（１ｃ）に取付けた
状態（１ａ）を示す。巻き出し部（１ｃ）からフィルム
を洗浄部（５）へ通す。洗浄部内では、一次洗浄タンク
（５ａ）を通り、二次洗浄タンク（５ｂ）を通り、洗浄
液を噴射する洗浄ノズルである連続噴射ノズル（６ａ）
と間欠噴射ノズル（６ｂ）を通り、エアナイフ（７）で
洗浄液滴を吹き飛ばす。次の蒸気乾燥部（８）を通す。
蒸気乾燥部（８）内へ吹き込む高温の洗浄液の蒸気を生
成する蒸気発生部（８ｃ）を設け、これを蒸気乾燥部
（８）内へ吹き出す蒸気吹き出しノズル（８ａ）と蒸気
吸込みノズル（８ｂ）があり、蒸気を適宜循環させて常
にクリーンな蒸気を供給するようにして蒸気乾燥部
（８）内の温度と蒸気湿度を保つようになっている。次
の乾燥部（９）を通す。乾燥部内では高温の乾燥したク
リーンな空気を吹き出す高温空気吹き出しノズル（９
ａ）と空気吸込みノズル（９ｂ）があり高温空気を適宜
循環させて常にクリーンな空気を供給するようにして乾
燥部（９）内の温度を保つようにしている。乾燥部
（９）内は乾燥しているためフィルム搬送の摩擦で帯電
することがある。帯電防止のために除電装置１（１０
ａ）を取付ける。次にフィルムは巻取り部（１ｄ）でロ
ールに巻き取られてロールフィルム（１ｂ）の形状に戻
る。洗浄されたロールフィルム（１ｂ）は次に、洗浄室
（４ｂ）から洗浄装置（４）の後室（４ｃ）に移動し移
動台（２ｂ）に乗せられる。移動台（２ｂ）に乗せられ
たロールフィルム（１ｂ）の状態（１１０）で新しくて
クリーンな一次包装材（３ｂ）で梱包する。この一次包
装材（３ｂ）は、洗浄を終了したロールフィルム（１
ｂ）から切り出して使用するようにしてもよい。洗浄装
置（４）の後室（４ｃ）ではクリーンエアを流入してい
るが、ロールフィルム（１ｂ）はやはり帯電するので帯
電防止のため除電装置２（１０ｂ）を取付ける。一次包
装材（３ｂ）で覆われた洗浄の終了したロールフィルム
（１ｂ）は移動台（２ｂ）に乗せた状態（１１０）のま
ま洗浄装置（４）の後室（４ｃ）を出て次の工程に運ば
れることになる。次の工程は、例えば製袋工程であった
り、洗浄済みロールフィルムとして保管されたりする。
洗浄装置（４）は、全体をクリーン化してある。洗浄装
置（４）の天井部分はクリーンフィルタ（１１）があり
洗浄室（４ａ）の天井全面からクリーンエアを吹き降ろ
す状態（１１ａ）になっている。洗浄室（４ｂ）の床は
全面グレーチングで吹き抜けて（１１ｂ）いる。吹き抜
けたエアは循環通路（１１ｃ）を通りクリーンフィルタ
（１１）に戻り循環する。洗浄室（４ｂ）に入ったクリ
ーンエアは一部分を前室（４ａ）と後室（４ｃ）に送風
器（１１ｇ）で送られ前室下部（１１ｈ）と後室下部
（１１ｉ）から排気される。前室（４ａ）と後室（４
ｃ）は外部環境に近く汚れが多いことが予想されるため
クリーンエアは循環再利用せず排気する。この排気した
分と同僚の外気（１１ｅ）を適宜、送風器（１１ｄ）で
プレフィルタ（１１ｆ）を通しクリーンフィルタ（１
１）に取り込む。

【００１９】また、本発明のプラスチックフィルムの洗
浄装置は、図２の側断面で表した概略図に示すように、
フィルムを下から上方向に向かって移動するようにす
る。フィルムに向かい洗浄ノズルの連続噴射ノズル（６
ａ）と間欠噴射ノズル（６ｂ）を配置しより洗浄効果を
上げている。また噴出する洗浄液の温度を６０［℃］程
度まで加熱することでさらに洗浄効果を上げることが出
来る。加えてアルコール系の洗浄液であるため加熱した
ことで、より乾燥が早くなる効果がある。連続噴射ノズ
ル（６ａ）は図示したようにフィルム面に向けて少し下
向きに３０度から４５度の角度で吹き付けるように取付
ける。洗浄液の噴出し圧力は、２［Ｋｇ／ｃｍ２］から
４［Ｋｇ／ｃｍ２］である。連続噴射ノズル（６ａ）
は、フィルム面から１０［ｃｍ］から２０［ｃｍ］離し
フィルムの幅方向に複数取付ける。複数取付ける場合、
隣同士のノズルから噴射する洗浄液の勢いが相殺しない
ように高さ方向に互い違いに千鳥状に取付けるようにす
る。高さ方向に５［ｃｍ］から１０［ｃｍ］、横方向に
１０［ｃｍ］から２０［ｃｍ］の間隔を設けて取付ける
様にする。間欠噴射ノズル（６ｂ）は、連続噴射ノズル
の上方に２０［ｃｍ］から３０［ｃｍ］離して設置す
る。間欠噴射ノズル（６ｂ）は図示したようにフィルム
面に向けて少し下向きに３０度から４５度の角度で吹き
付けるように取付ける。洗浄液の噴出し圧力は、２［Ｋ
ｇ／ｃｍ２］から４［Ｋｇ／ｃｍ２］である。間欠噴射
ノズル（６ｂ）は、フィルム面から１０［ｃｍ］から２
０［ｃｍ］離しフィルムの幅方向に複数取付ける。複数
取付ける場合、隣同士のノズルから噴射する洗浄液の勢
いが相殺しないように高さ方向に互い違いに千鳥状に取
付けるようにする。高さ方向に５［ｃｍ］から１０［ｃ
ｍ］、横方向に１０［ｃｍ］から２０［ｃｍ］の間隔を
設けて取付ける様にする。間欠噴射ノズル（６ｂ）の間
欠噴射の時間間隔は、噴射ＯＮと噴射ＯＦＦを同じ時間
で繰り返し噴射する。繰返し時間は、１０［ｍＳｅｃ］
から５０［ｍＳｅｃ］でおこなう。繰返し時間を短くし
て噴射した方が洗浄効果が高いようである。また図示し
ていないが洗浄ノズルはフィルムの内面、外面の両面を
洗浄するように図の左側にも同様に配置する。間欠噴射
をおこなう構造の一例を概略断面で図示する。間欠噴射
ノズル（６ｂ）は、洗浄液の通るノズルオリフィス（６
ｂ１）を設け、先端が針状でノズルオリフィス（６ｂ
１）に嵌まって通路を塞ぐプランジャニードル（６ｂ
２）を設け、通常は、プランジャニードル（６ｂ２）を
引張ってノズルオリフィス（６ｂ１）を開けるように設
けられたバックプレッシャスプリング（６ｂ３））と、
電磁石の力でプランジャニードル（６ｂ２）引き付けて
ノズルオリフィス（６ｂ１）の通路を塞ぐようにするソ
レノイドコイル（６ｂ４）を設けている。間欠噴射ノズ
ルに洗浄液を供給しソレノイドコイル（６ｂ４）にバル
ブ駆動信号（６ｂ５）を１０［ｍＳｅｃ］でＯＮ／ＯＦ
Ｆに切り替えることで洗浄液を間欠噴射することができ
る。

【００２０】さらにまた、本発明では、図３の構成概略
図に示すように、例えば蒸気乾燥部（８）で使用する加
熱空気と洗浄液を加熱して蒸気とする熱源と、乾燥部
（９）で使用する加熱空気の熱源と、洗浄ノズル（６
ａ）（６ｂ）から噴出する洗浄液を加熱する熱源と、洗
浄液の蒸気を回収して冷却し蒸気から洗浄液を復水する
冷却熱源の加熱熱源、冷却熱源の循環サイクルを示す。
加熱、冷却の双方を同時に発生する機構は、ヒートポン
プ方式が知られているが、本項案では、電熱変換効果
（ペルチェ効果）を利用したペルチェ素子を使用する。
ペルチェ素子は半導体の一種で、例えば平板状をしてお
り電流をある方向に流すと、平板の片面に熱が発生（加
熱）し、もう一方の面は熱が吸収（冷却）される。この
素子を本項案では使用する。ペルチェ素子は、冷却する
能力を「１」とすると発生する熱は「３〜４」となる。
またペルチェ素子は加熱側の温度と冷却側の温度の温度
差を１０［℃］〜２０［℃］の範囲とするように使用方
法が制限されている。温度差は少ないほど素子の耐久性
がよくなる傾向になる。そのため本項案では、図示した
ように必用な温度まで加熱するペルチェ素子の熱源を１
段当り１０［℃］になるように多段に設置している。一
段当りのペルチェ素子は、冷却側は復水のため回収した
蒸気を冷却するためヒートパイプで熱の受け渡しをおこ
なう。加熱側は、乾燥や蒸気生成、洗浄液の加熱のため
やはりヒートパイプで熱の受け渡しをおこなう。ヒート
パイプで熱を受け渡しは、ペルチェ素子と接する面と、
加熱、冷却をおこなう放熱／吸熱面がある。ヒートパイ
プがペルチェ素子と接する面は、なるべく広い面積で素
子と接触するようにする。ヒートパイプが空気や蒸気、
洗浄液と接する加熱／冷却面はフィン状にして接触面積
を大きくする。前記ペルチェ素子の冷却能力を「１」と
すると、発熱（加熱）能力は「３〜４」となることが知
られている。そのため図示では、冷却用ヒートパイプが
「１個」に対して加熱用ヒートパイプは「３個〜４個」
としている。図３では、温度に注目して図示しているが
必用な熱量は、加熱する空気量、洗浄液量、蒸気量と復
水量で適宜算定して決定する。同様にヒートパイプの熱
容量や熱を受け渡す相手（空気や洗浄液、複水する蒸気
の潜熱など）から接触面積を適宜算定し決定する。さら
に同様にペルチェ素子の大きさは、これは加熱／冷却の
熱容量であり、前記温度差を小さくすることを留意して
適宜算定する。またペルチェ素子一段当りの熱容量が不
足の場合は、必要な数量を並列に配置することで対処す
る。熱容量は、冷却能力を基準に算定し、余分な熱は、
排熱として装置外へ排気する。一例としてペルチェ素子
１（２１）の排熱（２１ｆ）を示す。本項案では、例え
ばフィルムの洗浄幅は、３０［ｃｍ］から５０［ｃｍ］
で装置を考えており、この幅のフィルムを毎秒１［ｍ］
〜３［ｍ］の速さで動かし洗浄することを想定してい
る。洗浄液は６０［℃］まで加熱し毎秒０．１［Ｌ（リ
ットル）］〜０．３［Ｌ］で洗浄と循環をおこない、蒸
気乾燥部には蒸気温度を７０［℃］まで加熱し毎秒２
［Ｌ（リットル）］〜３［Ｌ］で供給と循環をおこな
い、乾燥部は空気を８０［℃］まで加熱し毎秒２［Ｌ
（リットル）］〜３［Ｌ］で供給と循環をしている。蒸
気を復水するため蒸気を７０［℃］から１０［℃］まで
冷却している。本考案ではペルチェ素子一段当りの冷却
熱容量は１［Ｋｃａｌ（キロカロリー）・秒］〜３［Ｋ
ｃａｌ・秒］である。繰返しになるがペルチェ素子の加
熱面と冷却面の温度差を少なくするため多段に構成する
ようにしている。図に従い構成を説明する。ペルチェ素
子１（２１）からペルチェ素子７（２７）を設ける。乾
燥部（９）へ供給する空気は、まづ乾燥部（９）を循環
するため乾燥空気循環ブロア（９ｃ）を通りフィルタ
（９ｄ）で空気中の微塵埃を除去しペルチェ素子２（２
２）からペルチェ素子７（２７）の各段の乾燥空気加熱
部２（２２ａ）から乾燥空気加熱部７（２７ａ）を通る
間に室温（２０［℃］）から８０［℃］まで加熱され
る。加熱された空気は乾燥部（９）の高温空気吹き出し
ノズル（９ａ）から吹き出し、乾燥部（９）内を循環し
フィルムへ熱を与え乾燥させる。冷えた空気は、空気吸
込みノズル（９ｂ）から吸引され乾燥空気循環ブロア
（９ｃ）へ戻ってくる。外気導入ブロア（９ｆ）から外
気を適宜導入する。外気はフィルタ（９ｇ）を通り微塵
埃を除去する。新気導入バルブ（９ｅ）で前記乾燥空気
の循環通路へ導入される。新気は毎分１０［Ｌ］〜２０
［Ｌ］を導入する。この新気を導入した分は、巻取り部
（１ｄ）へ大部分吹き出されるように乾燥部（９）から
のフィルム出口を大きく開口する。フィルム出口から排
出された空気は洗浄室（４ｂ）を循環するクリーンエア
に合流して内部を循環し、やがて前室（４ａ）の下部
（１１ｈ）と後室（４ｃ）の下部（１１ｉ）から排出さ
れる。次に蒸気乾燥部（８）へ送られる蒸気は、まず乾
燥蒸気循環ブロア（８ｅ）で毎秒２［Ｌ（リットル）］
〜３［Ｌ］で送り出される、次にフィルタ（８ｆ）を通
り微塵埃を除去されてからペルチェ素子２（２２）の蒸
気乾燥加熱部２（２２ｂ）からペルチェ素子７（２７）
の蒸気乾燥加熱部７（２７ｂ）を通り８０［℃］以上ま
で加熱される。この加熱された空気は蒸気発生部（８
ｃ）にて、蒸気発生ノズル（８ｄ）から吹き出す加熱さ
れた洗浄液と混合されて洗浄液が乾燥気化し蒸気とな
る。洗浄液はＩＰＡであり６０［℃］〜７０［℃］で気
化する。蒸気発生ノズル（８ｄ）から吹き出す洗浄液量
は毎秒１０［ｍｌ（ミリリットル）］〜５０［ｍｌ］で
ある。生成された蒸気は毎秒２［Ｌ（リットル）］〜３
［Ｌ］で蒸気乾燥部（８）へ蒸気吹きだしノズル（８
ａ）から供給される。また図示していないが、この高温
の蒸気は、フィルムが洗浄室から蒸気乾燥室に入る直前
に洗浄液滴を吹き飛ばすエアナイフ（７）に使用するよ
うに分岐をおこなう。フィルムはここで液滴の除去とフ
ィルムの加温がおこなわれ蒸気乾燥部（８）内の温度差
をなくしフィルム面への結露を防止する。次に蒸気乾燥
部（８）を循環してフィルムを乾燥させた蒸気は蒸気吸
込みノズル（８ｂ）から吸込まれる。この時、エアナイ
フ（７）で使用された分の空気を補うために乾燥部
（９）からフィルムの通る隙間を通して高温の空気が吸
込まれ一所に蒸気吸込みノズル（８ｂ）から吸込まれ
る。蒸気吸込みノズル（８ｂ）から吸込まれた蒸気は、
ペルチェ素子７（２７）の冷却復水部７（２７ｄ）から
ペルチェ素子１（２１）の冷却復水部１（２１ｄ）を通
る間に冷却され洗浄液が復水される。復水された洗浄液
は各冷却復水部（２７ｄ〜２１ｄ）から雫となって復水
受け７（２７ｅ）から復水受け１（２１ｅ）へしたたり
落ちる。復水受け７〜１（２７ｅ〜２１ｅ）一次洗浄タ
ンクへ接続されており一次洗浄液として再利用される。
そして循環する空気は、乾燥蒸気循環ブロア（８ｅ）に
戻り蒸気の生成動作が繰返される。次に洗浄液は、一次
洗浄タンク（５ａ）と二次洗浄タンク（５ｂ）と予備タ
ンク（５ｃ）に溜まっている。まず循環ポンプ（５ｄ）
が作動し洗浄液が循環を始める。循環ポンプ（５ｄ）の
圧力は３［Ｋｇ／ｃｍ２］から５［Ｋｇ／ｃｍ２］で、
流量は毎秒０．１［Ｌ（リットル）］〜０．２［Ｌ］で
ある。循環ポンプ（５ｄ）は図示の下方から上方へ洗浄
液を送り出す。洗浄液は次に、微塵埃を除去する洗浄液
フィルタ（５ｅ）を通る。洗浄液フィルタを通過すると
き圧力損失が０．５［Ｋｇ／ｃｍ２］から１［Ｋｇ／ｃ
ｍ２］発生する。フィルタによって微塵埃が除去された
洗浄液はペルチェ素子２（２２）の洗浄液加熱部２（２
２ｃ）からペルチェ素子５（２５）の洗浄液加熱部５
（２５ｂ）で６０［℃］まで加熱されてから分岐され一
方は蒸気発生部（８ｃ）の蒸気発生ノズル（８ｄ）へ送
られる。もう一方は、洗浄ノズルへ送られ連続噴射ノズ
ル（６ａ）と間欠噴射ノズル（６ｂ）から噴射される。
噴射された洗浄液はフィルム面を洗い二次洗浄タンク
（５ｂ）へ落ちる。二次洗浄タンク（５ｂ）内の二次洗
浄液は順次予備タンク（５ｃ）へ戻る。一次洗浄タンク
（５ａ）内の一次洗浄液も同様に順次予備タンク（５
ｃ）へ戻る。予備タンク（５ｃ）は、洗浄液量を調整す
るバッファとなっている。予備タンク（５ｃ）内から循
環ポンプ（５ｄ）に戻り洗浄液は循環する。

【００２１】

【発明の効果】本発明は以上の構成であるから、下記に
示す如き効果がある。即ち、溶融樹脂を円形ダイから押
し出すインフレーション式溶融押出成形装置で製造した
フィルムや、フィルムを複数枚張り合わせたフィルムを
巻取り、ロール形状にしたフィルムロールにおいて、フ
ィルムロールの巻き出し部を設け、次に洗浄部を設けた
ことによって、フィルムに付着している樹脂の熱溶融で
発生したモノマーガスやイオン性不純物等や、樹脂の熱
溶融で発生したモノマーガスやイオン性不純物の他に外
気からの油ミストや微塵埃を洗浄することができ、さら
に洗浄液をアルコール系としたことで、洗浄液を超純水
や、界面活性剤などにした場合、前記汚れを洗い流せな
かったり、洗浄液の成分が残ったりする洗浄不良の発生
がない洗浄装置を提供できる。アルコール系の洗浄液と
してＩＰＡ（イソプロピルアルコール）を使用すること
で半導体グレードと言われる微塵埃の混入が少なく、微
塵埃の混入度合いが保証された製品を利用でき洗浄不良
の発生がない洗浄装置を提供できる。さらに洗浄部に洗
浄液を満たした洗浄タンクを設け、タンク内の洗浄液に
フィルムを通すことによって樹脂の熱溶融で発生したモ
ノマーガスやイオン性不純物等や、樹脂の熱溶融で発生
したモノマーガスやイオン性不純物の他に外気からの油
ミストや微塵埃やその他異物等の汚れを洗浄することが
出来る。前記洗浄液の連続噴射洗浄ノズルあるいは間欠
噴射ノズルを設けることによってタンク内の洗浄液を通
しだけでは除去できない上記の汚れを強力に吹き飛ば
し、フィルム内面、外面をよりクリーンな状態にするこ
とを可能にするプラスチックフィルムの洗浄装置とする
ことができる。次に蒸気乾燥部に洗浄液を加熱し蒸気を
満たす蒸気発生部を設けることによって、この蒸気は導
電性があることから絶縁体であるフィルムが装置内を移
動することで、摩擦され帯電し微塵埃等を再吸着するこ
とを防止することができる。さらに加熱されているため
洗浄液で洗浄して濡れたフィルム内面、外面をクリーン
状態に保ったままフィルムを効果的に乾燥するプラスチ
ックフィルムの洗浄装置とすることができる。次に乾燥
部に乾燥空気の加熱部を設けることによって、さらにフ
ィルムの乾燥を進めることができる。帯電防止部を設け
ることによって絶縁体であるフィルムが、乾燥部内を移
動することで摩擦され帯電し微塵埃等を再吸着すること
を防止することができ、フィルム内面、外面をクリーン
状態に保ったままフィルムをより乾燥状態にするプラス
チックフィルムの洗浄装置とすることができる。

【００２２】従って本発明は、特にエレクトロニクス関
連分野の部品等を包装する、パーティクル等を極端に嫌
う包装材の洗浄装置およびそれを用いた洗浄方法とし
て、優れた実用上の効果を発揮する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のプラスチックフィルムの洗浄装置の一
実施の形態を側断面で表した説明図である。

【図２】本発明のプラスチックフィルムの洗浄装置を構
成する洗浄ノズルの一実施の形態を側断面で表した説明
図である。

【図３】本発明のプラスチックフィルムの洗浄装置を構
成する加熱、冷却部分の一実施の形態を模式的に表した
説明図である。

【図４】図３中の各部の温度を示す図である。

【符号の説明】

１ ・・・・ロールフィルム １ａ・・・・巻き出し部にロールフィルムを取付けた状
態 １ｂ・・・・洗浄されたロールフィルム １ｃ・・・・巻き出し部 １ｄ・・・・巻き取り部 ２ ・・・・移動台（洗浄前） ２ｂ・・・・移動台（洗浄後） ３ａ・・・・一次包装（洗浄前） ３ｂ・・・・一次包装（洗浄後） ４ ・・・・洗浄装置 ４ａ・・・・前室 ４ｂ・・・・後室 ５ ・・・・洗浄部 ５ａ・・・・一次洗浄タンク ５ｂ・・・・二次洗浄タンク ５ｃ・・・・予備タンク ５ｄ・・・・循環ポンプ ５ｅ・・・・洗浄液フィルタ ６ａ・・・・連続噴射ノズル ６ｂ・・・・間欠噴射ノズル ６ｂ１・・・・ノズルオリフィス ６ｂ２・・・・プランジャニードル ６ｂ３・・・・バックプレッシャスプリング ６ｂ４・・・・ソレノイドコイル ６ｂ５・・・・バルブ駆動信号 ７ ・・・・エアナイフ ８ ・・・・蒸気乾燥部 ８ａ・・・・蒸気吹きだしノズル ８ｂ・・・・蒸気吸込みノズル ８ｃ・・・・蒸気発生部 ８ｄ・・・・蒸気発生ノズル ８ｅ・・・・乾燥蒸気循環ブロア ８ｆ・・・・フィルタ ９ ・・・・乾燥部 ９ａ・・・・高温空気吹き出しノズル ９ｂ・・・・空気吸込みノズル ９ｃ・・・・乾燥空気循環ブロア ９ｄ・・・・フィルタ ９ｅ・・・・新気導入バルブ ９ｆ・・・・外気導入ブロア ９ｇ・・・・フィルタ １０ａ・・・・除電装置１ １０ｂ・・・・除電装置２ １１・・・・クリーンフィルタ １１ａ・・・・天井全面からクリーンエアを吹き降ろす
状態 １１ｂ・・・・床が全面グレーチングで吹き抜けている
状態 １１ｃ・・・・循環通路 １１ｄ・・・・送風器 １１ｅ・・・・外気 １１ｆ・・・・プレフィルタ １１ｇ・・・・送風器 １１ｈ・・・・前室下部 １１ｉ・・・・後室下部 ２１〜２７・・・・ペルチェ素子１〜ペルチェ素子７ ２２ａ〜２７ａ・・・・乾燥空気加熱部２〜乾燥空気加
熱部７ ２２ｂ〜２７ｂ・・・・蒸気乾燥加熱部２〜蒸気乾燥加
熱部７ ２２ｃ〜２５ｃ・・・・洗浄液加熱部２〜洗浄液加熱部
５ ２１ｄ〜２７ｄ・・・・冷却復水部１〜冷却復水部７ ２１ｅ〜２７ｅ・・・・復水受け１〜復水受け７ ２１ｆ・・・・排熱 １００・・・・洗浄装置の前室に入った状態のロールフ
ィルムと移動台 １１０・・・・洗浄装置の後室で洗浄の終了したロール
フィルムを移動台に乗せてある状態

フロントページの続き Ｆターム(参考） 3B116 AA08 AB13 BB02 BB11 BB21 BB72 BB82 CC03 CD11 3B201 AA08 AB13 BB02 BB13 BB21 BB72 BB82 BB95 CB15 CC12 CD11 4F201 AA04 AA11 AC03 AG01 AH54 BA07 BC01 BC02 BC13 BC15 BD05 BR38

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】フィルムロールの巻き出し部を設け、巻き
   出したフィルムを洗浄液で洗浄する洗浄部、蒸気乾燥
   部、空気乾燥部、巻取り部を順に設けることを特徴とす
   るプラスチックフィルムの洗浄装置。
2. 【請求項２】前記洗浄部の洗浄液をアルコール系とした
   ことを特徴とする請求項１記載のプラスチックフィルム
   の洗浄装置。
3. 【請求項３】前記洗浄部が、洗浄液を満たした洗浄タン
   クと、洗浄液の連続噴射洗浄ノズルと間欠噴射ノズルか
   らなることを特徴とする請求項１または２記載のプラス
   チックフィルムの洗浄装置。
4. 【請求項４】前記蒸気乾燥部が、洗浄液を加熱し蒸気を
   満たす蒸気発生部を設けたことを特徴とする請求項１〜
   ３のいずれかに記載のプラスチックフィルムの洗浄装
   置。
5. 【請求項５】前記乾燥部が、乾燥空気の加熱部と帯電防
   止部を設けたことを特徴とする請求項１〜４のいずれか
   に記載のプラスチックフィルムの洗浄装置。
6. 【請求項６】前記蒸気乾燥部の洗浄液を加熱する加熱部
   と、前記乾燥部の乾燥空気を加熱する加熱部の熱源に洗
   浄液の蒸気を冷却して復水する蒸気復水部の冷却熱源を
   相互利用する加熱冷却部を設け、復水した洗浄液内の異
   物や、塵埃等を取り除く洗浄液フィルタ部を設けたこと
   を特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載のプラスチ
   ックフィルムの洗浄装置。
7. 【請求項７】フィルムロールの巻き出しする工程、洗浄
   部する工程、蒸気乾燥する工程、空気乾燥工程、巻取り
   工程を含むことを特徴とするプラスチックフィルムの洗
   浄方法。
8. 【請求項８】前記洗浄工程の洗浄液が、アルコール系で
   あることを特徴とする請求項７に記載のプラスチックフ
   ィルムの洗浄方法。