KR102436858B1 - 세정 모듈, 절단 장치 및 절단품의 제조 방법 - Google Patents

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Abstract

절단품의 사이즈가 작은 경우라도, 세정 효율을 높일 수 있는 세정 모듈, 절단 장치 및 절단품의 제조 방법을 제공한다.
패키지 기판이 절단되어 형성된 복수의 절단품(Sa)을 수용하는 용기(21)와, 용기(21)를 회전시키는 회전 기구(22)와, 용기(21) 내에 세정액을 공급하는 급액 기구(23)와, 용기(21) 내의 세정액을 배출하는 배액 기구(24)를 구비하고, 복수의 절단품(Sa)은, 세정액에 침지된 상태에서 회전 기구(22)에 의해 회전시킨 용기(21) 내에서 세정된다.

Description

세정 모듈, 절단 장치 및 절단품의 제조 방법 {CLEANING MODULE, CUTTING DEVICE, AND METHOD OF MANUFACTURING CUT PRODUCT}
본 발명은, 세정 모듈, 세정 모듈을 구비한 절단 장치 및 절단품의 제조 방법에 관한 것이다.
칩이 탑재된 리드 프레임이나 기판 등은, 일반적으로 수지 밀봉함으로써 전자 부품으로서 사용된다. 종래, 복수의 칩을 탑재하여 배선한 기판을 일괄적으로 수지 밀봉하여 패키지 기판을 제조한 후, 이 패키지 기판을 절단(개편화)하여 복수의 절단품(전자 부품)을 제조하는 절단 장치가 알려져 있다(예를 들어, 특허문헌 1 참조).
특허문헌 1에 기재된 절단 장치는, 패키지 기판을 복수의 절단품으로 절단하는 절삭 수단과, 복수의 절단품을 흡인하여 반송하는 반송 수단과, 복수의 절단품의 상면을 분사한 세정액으로 세정하는 상면 세정 수단과, 복수의 절단품의 하면을 스펀지 등으로 이루어지는 세정 롤러로 세정하는 하면 세정 수단과, 히터 또는 온풍에 의해 복수의 절단품의 상면 및 하면을 건조시키는 건조 수단을 구비하고 있다. 절단, 세정, 건조 후의 복수의 절단품은, 브러시에 의해 버어 제거 용기에 낙하되고, 요동 기구가 버어 제거 용기를 요동시킴으로써, 절단품에 진동을 부여하여 버어가 제거된다.
일본 특허 공개 제2017-084893호 공보
종래의 절단 장치에서는, 패키지 기판이 절단되어 형성된 복수의 절단품을 반송, 세정, 건조시키는데, 절단품의 사이즈가, 예를 들어 한 변이 2㎜인 정사각형 미만으로 작아지면 반송 등이 곤란해진다. 특히, 절단품의 사이즈가 작아지면, 세정 시에 칩 시프트(절단품이 흡인 위치로부터 이동하는 것)나 절단품의 비산이 발생하기 쉬워진다.
그래서 절단품의 사이즈가 작은 경우라도, 세정 효율을 높일 수 있는 세정 모듈, 절단 장치 및 절단품의 제조 방법이 요망되고 있다.
본 발명에 관한 세정 모듈의 특징 구성은, 패키지 기판이 절단되어 형성된 복수의 절단품을 수용하는 용기와, 상기 용기를 회전시키는 회전 기구와, 상기 용기 내에 세정액을 공급하는 급액 기구와, 상기 용기 내의 상기 세정액을 배출하는 배액 기구를 구비하고, 복수의 상기 절단품은, 상기 세정액에 침지된 상태에서 상기 회전 기구에 의해 회전시킨 상기 용기 내에서 세정되는 점에 있다.
본 발명에 관한 절단 장치의 특징 구성은, 상기 세정 모듈과, 상기 패키지 기판을 절단하는 절단 기구와, 상기 절단 기구에 의해 절단되어 형성된 복수의 상기 절단품을 상기 용기로 반송하는 반송 기구를 구비한 점에 있다.
본 발명에 관한 절단품의 제조 방법의 특징은, 패키지 기판을 절단하여 복수의 절단품을 형성하는 절단 공정과, 복수의 상기 절단품을 용기에 수용하는 수용 공정과, 상기 용기 내에 세정액을 공급하고, 상기 용기를 회전시켜 복수의 상기 절단품을 세정하는 세정 공정과, 상기 용기를 상하 반전시켜, 복수의 상기 절단품을 취출하는 취출 공정을 포함하는 점에 있다.
본 발명에 따르면, 절단품의 사이즈가 작은 경우라도, 세정 효율을 높일 수 있는 세정 모듈, 절단 장치 및 절단품의 제조 방법을 제공한다.
도 1은 절단 장치를 도시하는 모식도이다.
도 2는 반송 기구를 도시하는 개략 사시도이다.
도 3은 세정 모듈을 도시하는 개략 사시도이다.
도 4는 도 3의 IV-IV선 단면도이다.
도 5는 세정 모듈의 구동 형태를 나타내는 도면이다.
도 6은 복수의 절단품을 용기 내에 수용하는 상태를 도시하는 단면도이다.
도 7은 복수의 절단품을 용기 내에서 세정하는 상태를 도시하는 단면도이다.
도 8은 복수의 절단품을 용기 내에서 건조시키는 상태를 도시하는 단면도이다.
도 9는 세정 모듈의 용기를 이동시키는 상태를 도시하는 단면도이다.
도 10은 세정 모듈의 용기를 이동시키는 상태를 도시하는 평면도이다.
도 11은 세정 모듈의 반전 기구를 도시하는 개략 사시도이다.
도 12는 다른 실시 형태에 관한 반송 기구를 도시하는 개략도이다.
도 13은 다른 실시 형태에 관한 반송 기구의 절단품의 반송 상태를 도시하는 개략도이다.
이하에, 본 발명에 관한 세정 모듈, 절단 장치 및 절단품의 제조 방법의 실시 형태에 대해, 도면에 기초하여 설명한다. 단, 이하의 실시 형태에 한정되지 않고, 그 요지를 일탈하지 않는 범위 내에서 다양한 변형이 가능하다.
[장치 구성]
칩이 탑재된 리드 프레임이나 기판 등의 성형 대상물은 수지 밀봉함으로써 전자 부품으로서 사용된다. 성형 대상물을 수지 밀봉하는 기술로서, 컴프레션 방식이나 트랜스퍼 방식을 들 수 있다. 컴프레션 방식은, 예를 들어 이형 필름 상에 액상 또는 분립체상의 수지를 공급한 후, 성형 형의 캐비티에 그 이형 필름을 적재하고, 이형 필름 상의 수지에 성형 대상물을 담가 넣어 수지 성형하는 방식이다. 트랜스퍼 방식은, 예를 들어 성형 대상물을 성형 형의 캐비티에 수용하고, 성형 형의 포트에 수지 태블릿을 공급하여 가열, 용융한 후, 용융 수지를 캐비티에 공급하여 수지 성형하는 방식이다.
컴프레션 방식이나 트랜스퍼 방식의 수지 성형 장치는, 제조 효율화의 관점에서, 복수의 칩을 탑재하여 배선한 기판을 일괄적으로 수지 밀봉하는 MAP(molded array packaging) 등의 패키지 기판을 제조하는 장치가 사용되는 경우가 있다. 이 장치에서 패키지 기판을 제조한 후, 절단 장치에서 절단되고(개편화되고), 형성된 절단품이 품질 검사를 거친 후, 전자 부품으로서 사용된다. 절단 장치에서는, 패키지 기판이 절단되어 형성된 복수의 절단품을 반송, 세정, 건조시키는데, 절단품의 사이즈가, 예를 들어 한 변이 2㎜인 정사각형 미만으로 작아지면 반송 등이 곤란해진다. 특히, 절단품의 사이즈가 작아지면, 세정 시에 칩 시프트(절단품이 흡인 위치로부터 이동하는 것)나 절단품의 비산이 발생하기 쉬워진다. 그래서 본 실시 형태에서는, 절단품의 사이즈가 작은 경우라도, 세정 효율을 높일 수 있는 세정 모듈, 절단 장치 및 절단품의 제조 방법을 제공한다. 이하에 있어서, 복수의 반도체 칩이 탑재된 패키지 기판을 절단 대상물의 일례로서 설명하고, 중력 방향을 하방, 중력 방향과는 반대 방향을 상방으로 하여 설명하는 경우가 있다.
도 1에는, 절단 장치(D)의 모식도가 도시되어 있다. 본 실시 형태에 있어서의 절단 장치(D)는, 수지 성형 장치(E)와 별체로 구성되어 있고, 수지 성형 장치(E)에서 수지 밀봉된 패키지 기판(S)을 도입하여, 이 패키지 기판(S)을 절단, 세정, 건조시켜, 복수의 절단품(Sa)을 제조한다. 이 제조된 절단품(Sa)은, 소정의 품질 검사를 거친 후, 전자 부품으로서 사용된다.
절단 장치(D)는, 절단 모듈(1)과 세정 모듈(2)과 제어부(3)를 갖고 있다. 절단 모듈(1)과 세정 모듈(2)은, 독립적으로 장착 또는 분리할 수 있다. 또한, 절단 장치(D)는, 절단 모듈(1)과 세정 모듈(2)에 걸쳐 반송 기구(4)를 갖고 있다. 제어부(3)는, 절단 장치(D)의 동작을 제어하는 소프트웨어로서, HDD나 메모리 등의 하드웨어에 기억된 프로그램으로 구성되어 있고, 컴퓨터의 CPU에 의해 실행된다. 즉, 제어부(3)는, 절단 모듈(1), 세정 모듈(2) 및 반송 기구(4)의 동작을 제어한다.
절단 모듈(1)은, 도입부(11)와 절단 기구(12)를 갖고 있다. 또한, 도입부(11)나 절단 기구(12)의 개수는, 1개 또는 2개 이상 형성해도 되며, 특별히 한정되지 않는다.
도입부(11)는, 수지 성형 장치(E)로부터, 절단 대상물로서 평면으로 보아 직사각 형상의 패키지 기판(S)을 도입한다. 도입된 패키지 기판(S)은 프리 스테이지(11a) 상에 적재된다. 절단 기구(12)는, 패키지 기판(S)을 이송하는 2개의 절단용 이송 기구(12a)와, 절단용 이송 기구(12a) 상에 배치된 2개의 절단 테이블(12b)과, 2개의 절단부(12c)를 포함하고 있다. 절단용 이송 기구(12a)는, 패키지 기판(S)이 절단 테이블(12b) 상에 고정된 상태에서, Y 방향으로 이동 가능하면서 θ 방향으로 회전 가능하게 구성되어 있다. 절단용 이송 기구(12a) 및 절단부(12c)의 구동원은, 특별히 한정되지 않지만, 예를 들어 서보 모터 등의 전동 모터를 사용할 수 있다.
절단 테이블(12b)에서는, 도입부(11)로부터 수취한 패키지 기판(S)이, 수지 밀봉된 측을 하면으로 하여, 에어 흡착 등에 의해 고정되어 있다. 절단부(12c)는, 스핀들부(12c1)와 회전 블레이드(12c2)를 포함하고 있고, 회전 블레이드(12c2)에 의해 절단 테이블(12b)에 고정된 패키지 기판(S)을 절단한다. 또한, 절단 테이블(12b)의 상면, 즉, 패키지 기판(S)이 고정되는 고정면에는, 회전 블레이드(12c2)가 진입 가능하도록 홈이 형성되어 있다. 회전 블레이드(12c2)는, 스핀들부(12c1)의 회전축에 고정되어 있고, X 방향 및 Z 방향으로 이동 가능하면서 고속 회전 가능하게 구성되어 있다. 절단용 이송 기구(12a)가 Y 방향 및 θ 방향으로 이동 및 회전하고, 회전 블레이드(12c2)가 X 방향 및 Z 방향으로 이동함으로써, 회전 블레이드(12c2)와 패키지 기판(S)의 상대 위치가 조정된다. 이 상대 위치의 조정을 반복하면서, 회전 블레이드(12c2)에 의해, 패키지 기판(S)이, 상면으로부터 하면을 향해 관통하도록 절단되어, 평면으로 보아 직사각 형상인 복수의 절단품(Sa)이 형성된다. 이때, 회전 블레이드(12c2)와 패키지 기판(S)의 접촉 부위에 절삭수를 공급하면서, 절단해도 된다. 또한, 절단용 이송 기구(12a) 또는 회전 블레이드(12c2) 중 어느 것을 이동시켜 상대 위치의 조정을 행해도 된다. 또한, 2개의 절단부(12c)는, 스핀들부(12c1)가 직선 형상이며 회전 블레이드(12c2)가 서로 대향하도록 위치할 수 있고, 2개의 회전 블레이드(12c2)의 간격의 거리가 가변이고, X 방향에 있어서 2개의 절단 테이블(12b) 중 어느 상부로도 이동 가능하다.
세정 모듈(2)은, 세정 기구(2A)와 유체 급배 기구(2B)와 평면으로 보아 직사각 형상인 회수 박스(2C)를 갖고 있다. 세정 기구(2A)는, 복수의 절단품(Sa)을 물 등의 세정액과 함께 용기(21) 내에 수용하여, 이 용기(21)를 회전시킴으로써 액류를 발생시켜 복수의 절단품(Sa)을 세정한다. 유체 급배 기구(2B)는, 세정 기구(2A)의 용기(21) 내에 압축 공기(기체의 일례)를 공급하거나, 또는 후술하는 유체관(42) 내의 공기를 흡인하여 배출하는 기체 급배 펌프(도시하지 않음)를 포함하고 있다. 또한, 유체 급배 기구(2B)는, 급수원(예를 들어 상수도, 공장 내의 순수 공급 파이프)으로부터 용기(21) 내로 세정액을 공급하는 것이 가능하다. 세정 모듈(2)의 상세는 후술한다.
반송 기구(4)는, 절단 기구(12)에서 절단되어 형성된 복수의 절단품(Sa)을 세정 기구(2A)의 용기(21)로 반송한다. 도 2에 도시하는 바와 같이, 본 실시 형태에 있어서의 반송 기구(4)는, 측면으로 보아 삼각 형상인 중공판 부재로 형성된 노즐(41)(흡인 노즐의 일례)과, 기체 및 액체가 절단품(Sa)과 함께 유통하는 유체관(42)과, 유체 급배 기구(2B)에 마련된 기체 급배 펌프와, 액체 공급 기구(43)를 포함하고 있다. 노즐(41)의 일단에 형성된 개구는, 패키지 기판(S)의 한 변(짧은 변)을 덮고 있고, 노즐(41)의 타단에 형성된 개구는, 유체관(42)과 연통되어 있다. 노즐(41)은, 유체 급배 기구(2B)에 포함되는 기체 급배 펌프의 구동력에 의해 절단 테이블(12b) 상의 모든 절단품(Sa)을 흡인한다. 구체적으로는, 노즐(41)은, X 방향 및 Z 방향으로 이동 가능하게 구성되어 있고, 패키지 기판(S)의 한 변 상에 배치된 1열의 복수의 절단품(Sa)을, 일단에 형성된 개구가 덮도록 위치 정렬한 후, 패키지 기판(S)의 다른 변(긴 변, X 방향)을 따라 이동하면서 모든 절단품(Sa)을 흡인한다. 유체관(42)의 일단(42a)은, 물 등의 액체를 공급하는 액체 공급 기구(43)가 접속되어 있고, 유체관(42)의 타단(42b)은, 용기(21)의 내부와 연통되어 있다. 이 액체 공급 기구(43)는, 상술한 유체 급배 기구(2B)의 급수원(예를 들어, 상수도, 공장 내의 순수 공급 파이프)으로부터의 액체를 유체관(42) 내로 공급한다. 노즐(41)로부터 흡인된 복수의 절단품(Sa)은, 유체관(42)으로 유입되어, 액체 공급 기구(43)로부터 공급된 액류에 의해 용기(21)까지 반송된다.
이하, 도 3 내지 도 4를 사용하여, 세정 모듈(2)의 세정 기구(2A)에 대해 상세하게 설명한다.
세정 모듈(2)의 세정 기구(2A)는, 패키지 기판(S)이 절단되어 형성된 복수의 절단품(Sa)을 수용하는 용기(21)와, 용기(21)를 회전시키는 회전 기구(22)와, 용기(21) 내에 세정액을 공급하는 급액 기구(23)와, 용기(21) 내의 세정액을 배출하는 배액 기구(24)와, 용기(21) 내에 압축 공기(기체의 일례)를 공급하는 급기 기구(25)와, 용기(21) 내의 공기(기체의 일례)를 배출하는 배기 기구(26)와, 용기(21)를 회동 및 반전시키는 회동 반전 기구(27)를 포함하고 있다. 또한, 세정 기구(2A)는, 용기(21) 내가 소정의 수위를 초과하였을 때에 중간 통(T)(구획벽의 일례)의 상단면(정상부)을 타고 넘은 절삭 칩 등의 미소한 티끌을 포함하는 세정액을 배수하는 드레인 기구(28)와, 상술한 반송 기구(4)의 유체관(42) 내의 공기를 흡인하는 진공 기구(29)를 포함하고 있어도 된다.
용기(21)는, 중력 방향에 대해 소정 각도 기울어져 배치되어 있다. 이 소정 각도는, 5° 내지 50°이고, 바람직하게는 10° 내지 40°이고, 보다 바람직하게는 20° 내지 30°의 범위 내에서 설정되어 있다. 용기(21)는, 저벽이 원뿔 형상으로 형성된 바닥이 있는 통 형상의 내통(21b)(내용기의 일례)과, 내통(21b)의 외측에 배치된 외통(28a)(외용기의 일례)을 갖고 있고, 내통(21b) 및 외통(28a)은 일체 회전 가능하게 구성되어 있다. 내통(21b)의 저벽의 내면에는, 중앙(회전 기구(22)의 회전축(22b))으로 접근할수록 중력 방향을 향해 경사진 경사면(21b1)이 형성되어 있다.
내통(21b)과 외통(28a) 사이에는, 중간 통(T)(구획벽의 일례)이 회전 불가능하게 고정되어 있다. 내통(21b) 중, 측벽에 있어서의 중간 통(T)의 상단면보다 조금 높은 위치(소정의 수위)로부터 저벽까지, 절삭 칩 등의 미소한 티끌은 통과하지만, 절단품(Sa)이 통과하지 않는 크기의 다수의 미세 구멍(21c)(관통 구멍의 일례)이 형성되어 있다. 즉, 내통(21b)은, 중간 통(T)의 상단면 부근의 측벽으로부터 저벽에 걸쳐 메쉬 구조를 갖고 있다. 또한, 내통(21b)에는, 직경 방향 외측에 환형으로 연장된 환형 플랜지(21d)가 형성되어 있고, 이 환형 플랜지(21d)의 하면에는, 회전 방향에서 보아 경사면을 갖는 복수의 경사 돌기(21d1)가 형성되어 있다(도 3의 확대도 참조). 중간 통(T)의 저벽은, 배액 기구(24)의 배액관(24a)이 고정된 원뿔대 형상으로 구성되어 있다. 외통(28a)은, 용기(21) 내가 소정의 수위를 초과하였을 때에 내통(21b)의 미세 구멍(21c)을 통해 중간 통(T)의 상단면을 타고 넘은 절삭 칩 등의 미소한 티끌을 포함하는 세정액을 배수하는 드레인 기구(28)로서 구성되어 있다. 외통(28a)의 저벽은, 배수처(예를 들어 하수도, 공장 내의 배수 파이프)로 세정액을 배출하는 드레인관(28b)에 대해 상대 회전 가능하게 내부 삽입된 내부 삽입관(28a1)이 돌출된 원뿔대 형상으로 구성되어 있다(도 4 참조). 또한, 외통(28a)의 상단 외표면에는, 내통(21b)의 경사 돌기(21d1)의 경사면에 대해, 회전 방향에서 맞닿는 경사면을 갖는 복수의 경사 돌기(28a2)가 돌출 형성되어 있다(도 3의 확대도 참조).
또한, 세정 모듈(2)에는, 내통(21b)의 상부 개구를 폐색하는 덮개(30)가 마련되어 있고, 이 덮개(30)를 상하 이동시키는 에어 실린더 등으로 구성되는 덮개 이동 기구(31)가 마련되어 있다. 덮개(30)에는, 반송 기구(4)의 유체관(42), 급액 기구(23)의 급액관(23a) 및 급기 기구(25)의 급기관(25a)이 고정되어 있다. 덮개(30)를 내통(21b)에 밀착시킨 상태에서, 내통(21b) 내에 유체관(42)으로부터 복수의 절단품(Sa)이 액류에 의해 공급되고, 내통(21b) 내에 급액관(23a)으로부터 세정액이 공급된다. 이때, 내통(21b)에는 다수의 미세 구멍(21c)이 형성되어 있으므로, 내통(21b) 내의 세정액은 중간 통(T) 내로 유출되지만, 절단품(Sa)은 미세 구멍(21c)을 통과할 수 없다. 본 실시 형태에서는, 복수의 절단품(Sa)을 액류에 의해 내통(21b) 내에 공급하고 있으므로, 절단품(Sa)이 유체관(42)의 관 내에 부착되어 잔존하는 것과 같은 문제를 방지할 수 있다.
회전 기구(22)는, 회전축(22b) 주위로 내통(21b) 및 외통(28a)을 회전시키는 전동 모터(22a)와, 상술한 내통(21b)의 경사 돌기(21d1) 및 외통(28a)의 경사 돌기(28a2)를 포함하고 있다. 전동 모터(22a)의 구동력에 의해 외통(28a)이 회전함으로써, 외통(28a)의 경사 돌기(28a2)가 내통(21b)의 경사 돌기(21d1)에 맞닿아, 내통(21b)도 일체 회전한다. 회전 기구(22)에 의해 내통(21b) 및 외통(28a)이 회전하여 메쉬 구조의 내통(21b)의 내부에 액류가 발생하고, 내통(21b) 내에서 세정액에 침지된 복수의 절단품(Sa)이 선회하는 세정액에 의해 세정된다.
급액 기구(23)는 일단이 상수도 또는 공장 내의 순수 공급 파이프에 접속되고 타단이 덮개(30)에 접속된 급액관(23a)을 포함하고 있다. 배액 기구(24)는, 일단이 하수도 또는 공장 내의 배수 파이프에 접속되고 타단이 중간 통(T)의 저벽에 접속된 배액관(24a)을 포함하고 있다. 급액 기구(23)의 급액관(23a) 및 배액 기구(24)의 배액관(24a)에는, 각각 전자 밸브 등으로 구성되는 개폐 밸브 Va 및 개폐 밸브 Vb가 마련되어 있다.
급기 기구(25)는, 유체 급배 기구(2B)에 마련된 기체 급배 펌프와, 압축 공기 등을 도입 가능하게 일단이 기체 급배 펌프에 접속되고 타단이 덮개(30)에 접속된 급기관(25a)을 포함하고 있다. 배기 기구(26)는, 일단이 외기에 접속되고 타단이 분기부(20a)를 개재하여 중간 통(T) 및 외통(28a)의 저벽에 접속된 배기관(26a)을 포함하고 있다. 급기 기구(25)의 급기관(25a) 및 배기 기구(26)의 배기관(26a)에는, 각각 전자 밸브 등으로 구성되는 개폐 밸브 Vc 및 개폐 밸브 Vd가 마련되어 있다. 또한, 급기 기구(25)는, 기체 급배 펌프를 포함할 필요는 없으며, 급기관(25a)에 압축 공기 등을 도입 가능한 구성이면 되고, 예를 들어 공장 내의 압축 공기 공급용 배관 파이프가 급기관(25a)의 일단에 전자 밸브를 개재하여 접속되는 구성으로 해도 된다.
회동 반전 기구(27)는, 내통(21b)을 끼움 지지하는 클램프 부재(27a1)를 작동시키는 척 기구(27a)와, 클램프 부재(27a1) 사이에 끼움 지지된 내통(21b)을 상하 이동시키는 내통 상하 기구(27d)와, 회동 축(27b1) 주위로 내통(21b)을 회동시키는 회동 기구(27b)와, 내통(21b)을 반전 축(27c1) 주위로 회전시켜 상하 반전시키는 내통 반전 기구(27c)(반전 기구의 일례)를 포함하고 있다. 회동 반전 기구(27)의 구동원은, 전동 모터나 에어 실린더 등으로 구성되어 있다.
드레인 기구(28)는, 외통(28a)과, 일단이 하수도 또는 공장 내의 배수 파이프에 접속되고 타단이 외통(28a)의 저벽에 접속된 드레인관(28b)을 포함하고 있다. 진공 기구(29)는, 유체 급배 기구(2B)에 마련된 기체 급배 펌프와, 배기 가능하게 일단이 기체 급배 펌프에 접속되고 타단이 분기부(20a)를 개재하여 중간 통(T) 및 외통(28a)의 저벽에 접속된 진공관(29a)을 포함하고 있다. 드레인 기구(28)의 드레인관(28b) 및 진공 기구(29)의 진공관(29a)에는, 각각 전자 밸브 등으로 구성되는 개폐 밸브 Ve 및 개폐 밸브 Vf가 마련되어 있다. 상술한 드레인관(28b)은 분기부(20a)에서 배액관(24a)과 합류하여 하방으로 연장되어 있고, 배기관(26a) 및 진공관(29a)은 분기부(20a)에서 드레인관(28b)과 합류하여 상방으로 연장되어 있다. 이 구성에 의해, 액체는 배액관(24a) 및 드레인관(28b) 내를 흘러내리고, 기체는 배기관(26a) 및 진공관(29a) 내를 유통한다. 본 실시 형태에 있어서의 분기부(20a)는, 중간 통(T)의 상단면(중간 통(T)의 상단면을 타고 넘는 최고 수위(20b))보다도 상방에 위치하고 있어, 절단품(Sa)의 세정, 건조 시에 중간 통(T)의 상단면을 타고 넘은 세정액은, 분기부(20a)와 용기(21) 내의 최고 수위(20b)의 수두차에 의해 배기관(26a) 및 진공관(29a)으로 유입되는 일이 없다. 또한, 절단품(Sa)의 세정 중에 있어서 배액 기구(24)의 개폐 밸브 Vb가 폐쇄 상태에 있을 때, 배액관(24a)에 체류하는 세정액은, 분기부(20a)와 용기(21) 내의 최고 수위(20b)의 수두차에 의해 배기관(26a) 및 진공관(29a)으로 유입되는 일이 없다. 만일, 배액관(24a)에 체류하는 세정액이 분기부(20a)의 수위에 도달한 경우라도, 분기부(20a)와 접속된 드레인관(28b)으로부터 배수된다. 또한, 진공 기구(29)는, 외통(28a) 내를 부압으로 하지 않는 것이면, 기체 급배 펌프를 포함할 필요는 없으며, 분기부(20a)를 통해 진공관(29a)으로부터 배기 가능한 구성이면 되고, 예를 들어 공장 내의 배기 덕트가 진공관(29a)의 일단에 접속되는 구성으로 해도 된다.
[절단품의 제조 방법]
도 1 내지 도 11을 사용하여 절단품(Sa)의 제조 방법에 대해 설명한다.
도 1에 도시하는 바와 같이, 수지 성형 장치(E)에서 수지 성형된 패키지 기판(S)이 도입부(11)로 반송되고, 이 패키지 기판(S)이 프리 스테이지(11a) 상에 적재된다. 이어서, 절단용 이송 기구(12a)는, 도입부(11)로부터 수취한 절단 대상물로서의 패키지 기판(S)을, 수지 밀봉된 측을 하면으로 하여 절단 테이블(12b)에 고정하고, 절단부(12c)까지 이송한다. 그리고 절단용 이송 기구(12a) 및 절단부(12c)에 의해, 패키지 기판(S)과 회전 블레이드(12c2)의 상대 위치가 조정되고, 회전 블레이드(12c2)에 의해, 패키지 기판(S)이, 상면으로부터 하면을 향해 관통되도록 절단되어, 평면으로 보아 직사각 형상인 복수의 절단품(Sa)이 형성된다(절단 공정).
이어서, 반송 기구(4)는, 절단 기구(12)에서 절단되어 형성된 복수의 절단품(Sa)을 세정 기구(2A)의 용기(21)로 반송한다(반송 공정). 도 2에 도시하는 바와 같이, 본 실시 형태에 있어서의 반송 기구(4)는, 절단 테이블(12b) 상에 있는 절단품(Sa)의 에어 흡착을 정지한 상태에서, 노즐(41)이 절단 테이블(12b) 상의 복수의 절단품(Sa)을 흡인하여 유체관(42)에 유입시킴과 함께 액체 공급 기구(43)로부터 공급된 액류에 의해 용기(21)까지 반송하고, 복수의 절단품(Sa)을 유체관(42)의 타단(42b)으로부터 용기(21)의 내부에 수용한다(반송 공정, 수용 공정). 이때, 도 5의 반송 수용 공정에 나타내는 바와 같이, 급액 기구(23), 배액 기구(24), 급기 기구(25), 배기 기구(26) 및 드레인 기구(28)의 개폐 밸브 Va 내지 Ve를 폐쇄 상태, 회전 기구(22)를 비구동 상태로 한 채, 진공 기구(29)의 개폐 밸브 Vf를 개방한다. 그 결과, 도 6에 도시하는 바와 같이, 유체 급배 기구(2B)에 포함되는 기체 급배 펌프에 의해, 진공 기구(29)의 진공관(29a)과 연통된 용기(21) 및 유체관(42)을 통해 노즐(41)에 부압을 작용시켜, 복수의 절단품(Sa)이 흡인된다(도 2도 참조). 이와 같이, 노즐(41)에 의해 복수의 절단품(Sa)을 흡인하고, 액류에 의해 용기(21)로 반송하기 때문에, 절단품(Sa)의 사이즈가 예를 들어 한 변이 2㎜인 정사각형 미만으로 작아진 경우라도, 일거에 흡인, 반송할 수 있다.
이어서, 세정 기구(2A)는, 급액 기구(23)에 의해 용기(21)(내통(21b)) 내에 세정액을 공급함으로써, 복수의 절단품(Sa)이 세정액과 함께 용기(21)(내통(21b)) 내에 수용되고, 세정액이 미세 구멍(21c)을 통해 중간 통(T)의 내측에 존재하게 된다. 그리고 회전 기구(22)에 의해 용기(21)(내통(21b) 및 외통(28a))를 회전시킴으로써 복수의 절단품(Sa)을 세정한다(세정 공정). 이때, 도 5의 세정 공정에 나타내는 바와 같이, 배액 기구(24) 및 급기 기구(25)의 개폐 밸브 Vb, Vc를 폐쇄 상태로 한 채, 진공 기구(29)의 개폐 밸브 Vf를 폐쇄하고, 회전 기구(22)를 구동시킴과 함께, 급액 기구(23), 배기 기구(26) 및 드레인 기구(28)의 개폐 밸브 Va, Vd, Ve를 개방한다. 그 결과, 도 7에 도시하는 바와 같이, 급액 기구(23)에 의해 용기(21)의 내통(21b) 내에 세정액이 공급되고, 회전 기구(22)에 의해 용기(21)를 회전시킴으로써 복수의 절단품(Sa)이 세정된다. 또한, 내통(21b)의 미세 구멍(21c)을 통해 중간 통(T)의 상단면을 타고 넘은 절삭 칩 등의 미소한 티끌을 포함하는 세정액은, 드레인 기구(28)에 의해 배수되고, 내통(21b) 내의 공기는, 배기 기구(26)에 의해 배기된다.
이와 같이, 본 실시 형태에서는, 용기(21)(내통(21b) 및 외통(28a))를 회전시킴으로써, 세정액에 침지된 절단품(Sa)의 주변에는 액류가 발생하기 때문에, 절단품(Sa) 전역을 빠짐없이 세정할 수 있다. 즉, 절단품(Sa)의 사이즈가 예를 들어 한 변이 2㎜인 정사각형 미만으로 작아진 경우라도, 구석구석까지 세정하는 것이 가능해져, 세정 효율을 높일 수 있다. 또한, 세정액이 공급된 용기(21)(내통(21b) 및 외통(28a))를 회전시키기 때문에, 절단품(Sa)의 세정 구성이 간편하고, 세정액의 공급, 배출도 매우 용이하다. 게다가, 용기(21)가 중력 방향에 대해 기울어져 배치되어 있기 때문에, 용기(21)를 회전시켰을 때, 복수의 절단품(Sa)의 위치가 상하 방향으로 변동되기 쉬워, 세정 효율을 높일 수 있다. 또한, 소정의 수위를 초과하였을 때에 절삭 칩 등의 미소한 티끌을 포함하는 세정액을 배수하는 드레인 기구(28)를 마련하고 있으면, 내통(21b) 내에 있어서의 수위 조정 기구가 간편하다.
이어서, 세정 공정에 의해 복수의 절단품(Sa)을 세정한 후에 배액 기구(24) 및 드레인 기구(28)에 의해 절삭 칩 등의 미소한 티끌을 포함하는 세정액을 배출하고, 급기 기구(25)에 의해 용기(21)의 내통(21b) 내에 압축 공기를 공급함과 함께 회전 기구(22)에 의해 용기(21)(내통(21b) 및 외통(28a))를 회전시키면서 복수의 절단품(Sa)을 건조시킨다(건조 공정). 이때, 도 5의 건조 공정에 나타내는 바와 같이, 진공 기구(29)의 개폐 밸브 Vf의 폐쇄 상태, 배기 기구(26) 및 드레인 기구(28)의 개폐 밸브 Vd, Ve의 개방 상태를 유지하고, 회전 기구(22)의 구동을 계속한 채, 급액 기구(23)의 개폐 밸브 Va를 폐쇄하고, 배액 기구(24) 및 급기 기구(25)의 개폐 밸브 Vb, Vc를 개방한다. 그 결과, 도 8에 도시하는 바와 같이, 배액 기구(24) 및 드레인 기구(28)에 의해 용기(21) 내의 절삭 칩 등의 미소한 티끌을 포함하는 세정액이 배출되고, 유체 급배 기구(2B)의 기체 급배 펌프에 의해 급기관(25a)을 통해 용기(21)의 내통(21b) 내에 압축 공기가 공급되고, 회전 기구(22)에 의해 용기(21)(내통(21b) 및 외통(28a))를 회전시키면서 복수의 절단품(Sa)을 건조시킨다. 즉, 용기(21)를 회전시키면서 복수의 절단품(Sa)을 건조시키기 때문에, 복수의 절단품(Sa)을 유동시켜 절단품(Sa) 전역을 건조시킬 수 있다. 이때, 내통(21b)의 저벽의 내면이 경사면(21b1)으로 형성되어 있으므로, 용기(21)를 회전시켰을 때, 용기(21)의 저벽 중앙 부분에 퇴적된 복수의 절단품(Sa)의 위치가 직경 방향 외측으로 이동한다. 그 결과, 복수의 절단품(Sa)의 겹침을 감소시키는 것이 가능해져, 절단품(Sa)의 건조 효율을 높일 수 있다. 이와 같이, 절단품(Sa)의 사이즈가, 예를 들어 한 변이 2㎜인 정사각형 미만으로 작아진 경우라도, 효율적으로 건조시킬 수 있다. 게다가, 용기(21) 내에서, 절단품(Sa)의 세정 및 건조를 완결하면, 건조 용기를 별도로 마련할 필요가 없어, 세정 모듈(2)(절단 장치(D))의 콤팩트화가 도모된다.
이어서, 배액 기구(24), 급기 기구(25), 배기 기구(26) 및 드레인 기구(28)의 개폐 밸브 Vb 내지 Ve를 폐쇄하고, 회전 기구(22)의 구동을 정지시킨 후, 회동 반전 기구(27)에 의해 내통(21b)을 회동 및 상하 반전시켜, 복수의 절단품(Sa)을 취출한다(취출 공정). 이 취출 공정에 대해, 도 9 내지 도 11을 사용하여 설명한다.
도 9에 도시하는 바와 같이, 덮개 이동 기구(31)에 의해 덮개(30)를 상승시킴과 함께, 척 기구(27a)의 클램프 부재(27a1)에 의해 내통(21b)을 끼움 지지한 상태에서 내통 상하 기구(27d)에 의해 내통(21b)을 상승시켜, 내통(21b)을 중간 통(T)으로부터 이탈시킨다. 이어서, 도 10에 도시하는 바와 같이, 회동 기구(27b)에 의해, 회동 축(27b1) 주위로 내통(21b)을 회동시켜 회수 박스(2C)의 상방으로 이동시킨다. 이어서, 도 11에 도시하는 바와 같이, 내통 반전 기구(27c)에 의해 내통(21b)을 반전 축(27c1) 주위로 상하 반전시키고, 내통(21b) 내에 수용된 복수의 절단품(Sa)을 회수 박스(2C)에 낙하시켜 취출한다. 그리고 회수 박스(2C)에 수납된 세정, 건조 완료된 절단품(Sa)이 회수된다. 이와 같이, 용기(21)의 내통(21b)을 상하 반전시켜 절단품(Sa)을 취출하고 있기 때문에, 종래와 같이, 흡인된 상태의 절단품(Sa)을 단순히 브러시로 불출하는 것은 아니어서, 브러시에 절단품(Sa)이 끼이거나, 비산하거나 하는 문제가 없다.
[다른 실시 형태]
이하, 상술한 실시 형태와 마찬가지의 부재에 대해서는, 이해를 용이하게 하기 위해, 동일한 용어, 부호를 사용하여 설명한다.
<1> 도 12 내지 도 13에 도시하는 바와 같이, 반송 기구(4)는, 복수의 절단품(Sa)을 수납하는 수납부(45)를 갖고, 복수의 절단품(Sa)이 수납된 수납부(45)를 내통(21b)까지 이동시켜, 수납부(45)로부터 내통(21b)으로 복수의 절단품(Sa)을 옮겨도 된다(반송 공정). 보다 상세하게 설명하면, 본 실시 형태에 있어서의 반송 기구(4)는, 절단 기구(12)의 절단 테이블(12b) 상에 배치되고, 패키지 기판(S)이 절단되어 형성된 복수의 절단품(Sa)과 접촉하면서 이동 가능한 이동체(44)와, 복수의 절단품(Sa)을 수납 가능한 수납부(45)와, 이동체(44)를 구동시키는 구동 기구(46)를 갖고 있고, 이들 이동체(44), 수납부(45) 및 구동 기구(46)는, 반송 박스(4A) 내에 일체 유닛으로서 구성되어 있다. 또한, 반송 기구(4)는, 반송 박스(4A)를 세정 기구(2A)의 용기(21)까지 반송한다.
이동체(44)는, 회전축(44a1)을 중심으로 회전하는 회전 본체(44a)와, 회전 본체(44a)의 주위로부터 직경 방향 외측으로 돌출된 복수의 돌출부(44b)와, 회전축(44a1)을 지지하고, 회전 본체(44a)의 슬라이드 이동을 안내하는 가이드 홈(44c)을 포함하고 있다. 복수의 돌출부(44b)는, 절단품(Sa)과 접촉하여 절단 테이블(12b)로부터 분리될 때에 변형되기 어렵고, 절단품(Sa)을 손상시키지 않는 나일론, PBT(폴리부틸렌테레프탈레이트) 등의 수지 재료로 구성되어 있다. 후술하는 슬라이드 구동 기구(46b)에 의해, 회전 본체(44a)가 가이드 홈(44c)을 따라 절단 테이블(12b) 상을 전진 또는 후진 이동 가능하게 구성되어 있다.
구동 기구(46)는, 이동체(44)를 회전 구동시키는 회전 구동 기구(46a)와, 이동체(44)를 절단 테이블(12b)의 표면을 따라 슬라이드 이동시키는 슬라이드 구동 기구(46b)를 갖고 있다. 이 구동 기구(46)의 구동원은, 서보 모터 등의 전동 모터나 에어 실린더 등으로 구성되어 있다.
절단품(Sa)의 반송 방법으로서, 먼저, 도 12에 도시하는 바와 같이, 절단 테이블(12b) 상에 있는 절단품(Sa)의 에어 흡착을 정지한 상태에서, 패키지 기판(S)이 절단되어 형성된 복수의 절단품(Sa)을, 회전 구동 기구(46a)에 의해 회전시킨 이동체(44)의 돌출부(44b)와 접촉시켜 절단 테이블(12b)로부터 분리한다. 이어서, 이동체(44)의 돌출부(44b)가 절단품(Sa)에 접촉한 상태에서, 이동체(44)를 슬라이드 구동 기구(46b)에 의해 전진시켜, 절단품(Sa)을 수납부(45)를 향해 압출한다. 이때, 회전 구동 기구(46a)에 의해 회전시킨 이동체(44)의 돌출부(44b)가 다음 절단품(Sa)에 접촉하여 절단 테이블(12b)로부터 분리된다. 절단 테이블(12b) 상의 절단품(Sa)의 분리와 압출이 반복되어, 최종적으로 모든 복수의 절단품(Sa)이 수납부(45)에 수납된다.
이어서, 반송 기구(4)는, 반송 박스(4A)(복수의 절단품(Sa)이 수납된 수납부(45))를, 용기(21)의 개구가 수납부(45)의 하방이 되도록, 세정 기구(2A)의 용기(21)의 근방까지 반송한다. 이어서, 반송 기구(4)는, 반송 박스(4A)를 틸팅시킴과 함께 진동시켜, 복수의 절단품(Sa)을 용기(21) 내로 낙하시킨다. 이와 같이, 내통(21b)으로 옮기기 전에 수납부(45)에 절단품(Sa)을 수납하면, 복수의 절단품(Sa)이 수납된 수납부(45)를 반송하기만 하면 돼, 반송 효율을 높일 수 있다. 게다가, 반송 박스(4A)를 틸팅시켜 진동시키면, 복수의 절단품(Sa)을 한번에 용기(21)에 수용하는 것이 가능해지므로, 액류나 흡인에 의해 절단품(Sa)을 반송하는 경우에 비해, 절단품(Sa)의 회수 불량이 발생하기 어렵다. 또한, 도 12 내지 도 13에 도시하는 구성에 있어서는, 상술한 실시 형태에 있어서의 절단 후의 절단품(Sa)의 반송 및 용기(21)로의 수용의 설명과 다르다. 즉, 복수의 절단품(Sa)을 유체관(42)의 타단(42b)으로부터 용기(21)의 내부에 수용하는 것이 아니라, 복수의 절단품(Sa)을 반송 기구(4)의 반송 박스(4A)로부터 직접 용기(21)의 내부에 수용하게 된다.
<2> 상술한 실시 형태에서는, 용기(21) 내에 중간 통(T)을 마련하였지만, 중간 통(T)을 생략하고 내통(21b)의 측벽(구획벽의 일례)에 형성된 드레인 구멍으로부터 유출된 세정액을, 드레인 기구(28)에 의해 배출시켜도 된다. 이 경우, 배액 기구(24)의 배액관(24a)이 내통(21b)에 접속되게 된다. 또한, 중간 통(T) 및 외통(28a)을 생략하고, 용기(21)를 내통(21b)만으로 구성하여, 급액 기구(23)나 배액 기구(24)에 의해 세정액의 공급량을 제어해도 된다.
<3> 상술한 실시 형태에서는, 급기 기구(25)에 의해 용기(21)의 내통(21b) 내에 공기를 공급하여 복수의 절단품(Sa)을 건조시켰지만, 용기(21) 외부에 복수의 절단품(Sa)을 건조시키는 건조 장치를 마련해도 된다.
<4> 상술한 실시 형태에서는, 회동 반전 기구(27)에 의해 용기(21)의 내통(21b)을 회동 및 반전시켜 복수의 절단품(Sa)을 낙하시켰지만, 회동 반전 기구(27)를 생략하고, 흡인 등에 의해 용기(21) 내의 절단품(Sa)을 취출해도 된다.
<5> 상술한 실시 형태에서는, 건조 공정에 있어서, 회전 기구(22)에 의해 용기(21)(중간 통(T))를 회전시키면서, 급기 기구(25)에 의해 공급된 압축 공기를 사용하여 복수의 절단품(Sa)을 건조시켰지만, 용기(21)의 회전을 정지시킨 상태에서 급기 기구(25)에 의해 공급된 압축 공기를 사용하여 복수의 절단품(Sa)을 건조시켜도 된다.
<6> 상술한 실시 형태에 있어서의 반송 기구(4)에서는, 유체관(42)의 일단(42a)에 액체 공급 기구(43)를 접속하여, 액류에 의해 복수의 절단품(Sa)을 반송하였지만, 액체 공급 기구(43)를 생략하고, 진공 기구(29)에 의한 흡인만으로 복수의 절단품(Sa)을 반송해도 된다.
<7> 상기 <1>에서 나타낸 반송 기구(4)에서는, 반송 박스(4A)를 용기(21)까지 반송하였지만, 이동체(44)에 의해 절단 테이블(12b)로부터 분리된 복수의 절단품(Sa)을 흡인이나 액류에 의해 용기(21)까지 반송해도 된다.
<8> 상술한 실시 형태에서는, 회전 기구(22)에 의해 용기(21)의 내통(21b) 및 외통(28a)을 회전시켰지만, 용기(21)의 내통(21b)만을 회전시켜도 되고, 용기(21)의 내통(21b) 및 중간 통(T)을 회전시켜도 되고, 회전 대상은 특별히 한정되지 않는다.
<9> 상술한 실시 형태에서는, 급액관(23a)의 일단을 상수도 또는 공장 내의 순수 공급 파이프에 접속하고, 배액관(24a) 및 드레인관(28b)의 일단을 하수도 또는 공장 내의 배수 파이프에 접속하였지만, 유체 급배 기구(2B)에 세정액 조를 마련하고, 급액관(23a), 배액관(24a) 및 드레인관(28b)의 일단을 세정액 조에 접속하여, 세정액을 순환시켜도 된다. 이 경우, 급액관(23a), 또는 배액관(24a) 및 드레인관(28b)에 세정액을 여과하기 위한 여과 기구를 마련하는 것이 바람직하다.
<10> 용기(21)를 중력 방향에 대해 경사시키지 않고, 중력 방향을 따르는 직립 자세여도 된다. 또한, 내통(21b)의 저벽은, 경사면(21b1)을 마련하지 않고 편평하게 형성해도 된다.
[상기 실시 형태의 개요]
이하, 상술한 실시 형태에 있어서 설명한 세정 모듈(2), 절단 장치(D) 및 절단품(Sa)의 제조 방법의 개요에 대해 설명한다.
(1) 세정 모듈(2)의 특징 구성은, 패키지 기판(S)이 절단되어 형성된 복수의 절단품(Sa)을 수용하는 용기(21)와, 용기(21)를 회전시키는 회전 기구(22)와, 용기(21) 내에 세정액을 공급하는 급액 기구(23)와, 용기(21) 내의 세정액을 배출하는 배액 기구(24)를 구비하고, 복수의 절단품(Sa)은, 세정액에 침지된 상태에서 회전 기구(22)에 의해 회전시킨 용기(21) 내에서 세정되는 점에 있다.
본 구성에 의하면, 회전 기구(22)에 의해 회전시킨 용기(21) 내에서 선회하는 액류가 발생하여, 복수의 절단품(Sa)이 세정액에 의해 세정된다. 즉, 종래와 같이 정지 상태인 절단품(Sa)에 대해 세정액을 분사하거나, 세정 브러시를 대고 세정하거나 하는 것이 아니라, 절단품(Sa)을 세정액에 침지한 상태에서 세정하고 있기 때문에, 절단품(Sa)의 칩 시프트나 비산을 방지할 수 있어, 절단품(Sa) 전역을 빠짐없이 세정할 수 있다. 그 결과, 절단품(Sa)의 사이즈가 작다고 하더라도, 구석구석까지 세정하는 것이 가능해져, 세정 효율을 높일 수 있다.
또한, 세정액이 공급된 용기(21)를 회전시키기 때문에, 절단품(Sa)의 세정 구성이 간편하고, 세정액의 공급, 배출도 매우 용이하다. 이와 같이, 세정 효율을 높일 수 있는 세정 모듈(2)을 제공할 수 있었다.
(2) 용기(21) 내에 압축 공기(기체)를 공급하는 급기 기구(25)와, 용기(21) 내의 공기(기체)를 배출하는 배기 기구(26)를 더 구비해도 된다.
본 구성과 같이 급기 기구(25) 및 배기 기구(26)를 구비하면, 용기(21) 내에서 세정 후의 절단품(Sa)을 건조시킬 수 있다. 그 결과, 용기(21) 외부에 건조 용기를 별도로 마련할 필요가 없어, 세정 모듈(2)의 콤팩트화가 도모된다.
(3) 내통(21b)(용기(21))을 상하 반전시키는 회동 반전 기구(27)(반전 기구)를 더 구비해도 된다.
본 구성과 같이 내통(21b)을 반전시키는 회동 반전 기구(27)를 마련하면, 절단품(Sa)의 불출을 원활하게 행할 수 있다. 또한, 종래와 같이, 흡인된 상태의 절단품(Sa)을 브러시로 불출하는 것은 아니므로, 브러시에 절단품(Sa)이 끼이거나, 비산하거나 하는 문제도 없다.
(4) 용기(21)는, 적어도 저벽에 절단품(Sa)이 통과하지 않는 크기의 미세 구멍(21c)(관통 구멍)이 형성된 내통(21b)(내용기)과, 내통(21b)의 외측에 배치된 외통(28a)(외용기)을 포함하고 있고, 내통(21b)과 외통(28a) 사이에는 중간 통(T)(구획벽)이 형성되어 있고, 내통(21b)에 공급된 세정액이 미세 구멍(21c)을 통해 내통(21b) 및 중간 통(T)의 내측에 존재하고, 세정액 중, 중간 통(T)의 정상부를 타고 넘은 세정액을 외통(28a)으로부터 배수하는 드레인 기구(28)를 더 구비해도 된다.
본 구성과 같이, 중간 통(T)의 정상부를 타고 넘은 세정액을 외통(28a)으로부터 배수하는 드레인 기구(28)를 마련하고 있으면, 수위 조정을 위한 기구가 간편하다.
(5) 용기(21)는, 중력 방향에 대해 기울어져 배치되어 있어도 된다.
본 구성과 같이 용기(21)가 중력 방향에 대해 기울어져 배치되어 있으면, 용기(21)를 회전시켰을 때, 복수의 절단품(Sa)의 위치가 상하 방향으로 변동되기 쉽다. 즉, 복수의 절단품(Sa)의 유동성이 향상되므로, 절단품(Sa)의 세정 효율이나 건조 효율을 높일 수 있다.
(6) 내통(21b)(용기(21))의 저벽의 내면은, 회전 기구(22)의 회전축(22b)에 접근할수록 중력 방향을 향해 경사진 경사면(21b1)으로 형성되어 있어도 된다.
본 구성과 같이 내통(21b)의 저벽의 내면이 경사면(21b1)으로 형성되어 있으면, 용기(21)를 회전시켰을 때, 용기(21)의 저벽 중앙 부분에 퇴적된 복수의 절단품(Sa)의 위치가 직경 방향 외측으로 이동한다. 그 결과, 복수의 절단품(Sa)의 겹침을 감소시키는 것이 가능해져, 절단품(Sa)의 세정 효율이나 건조 효율을 높일 수 있다.
(7) 절단 장치(D)의 특징 구성은, 상기 (1) 내지 (6) 중 어느 것에 기재된 세정 모듈(2)과, 패키지 기판(S)을 절단하는 절단 기구(12)와, 절단 기구(12)에 의해 절단되어 형성된 복수의 절단품(Sa)을 용기(21)로 반송하는 반송 기구(4)를 구비한 점에 있다.
본 구성에서는, 세정 효율이 높은 세정 모듈(2)을 구비함과 함께, 세정하기 위한 용기(21)로 절단품(Sa)을 반송하는 반송 기구(4)를 구비하고 있으므로, 세정 효율이 높은 절단 장치(D)를 제공할 수 있다.
(8) 반송 기구(4)는, 노즐(41)(흡인 노즐)에 의해 복수의 절단품(Sa)을 흡인하여 용기(21)로 반송해도 된다.
본 구성에서는, 노즐(41)에 의해 절단품(Sa)을 흡인하여 용기(21)로 반송하므로, 절단품(Sa)의 사이즈가 작은 경우라도 일거에 흡인, 반송할 수 있다.
(9) 반송 기구(4)는, 복수의 절단품(Sa)을 액류에 의해 용기(21)로 반송해도 된다.
본 구성과 같이, 절단품(Sa)을 액류에 의해 용기(21)로 반송하면, 절단품(Sa)을 원활하게 반송할 수 있다.
(10) 반송 기구(4)는, 복수의 절단품(Sa)을 수납하는 수납부(45)를 갖고, 복수의 절단품(Sa)이 수납된 수납부(45)를 용기(21)의 근방까지 반송하여, 수납부(45)로부터 용기(21)로 복수의 절단품(Sa)을 옮겨도 된다.
본 구성과 같이, 용기(21)로 옮기기 전에 수납부(45)에 절단품(Sa)을 수납하면, 복수의 절단품(Sa)이 수납된 수납부(45)를 반송하기만 하면 돼, 반송 효율을 높일 수 있다.
(11) 절단품(Sa)의 제조 방법의 특징은, 패키지 기판(S)을 절단하여 복수의 절단품(Sa)을 형성하는 절단 공정과, 복수의 절단품(Sa)을 용기(21)에 수용하는 수용 공정과, 용기(21) 내에 세정액을 공급하고, 용기(21)를 회전시켜 복수의 절단품(Sa)을 세정하는 세정 공정과, 내통(21b)(용기(21))을 상하 반전시켜, 복수의 절단품(Sa)을 취출하는 취출 공정을 포함하는 점에 있다.
본 방법에 의하면, 회전 기구(22)에 의해 회전시킨 용기(21) 내에서 액류가 발생하여, 복수의 절단품(Sa)이 세정액에 의해 세정된다. 즉, 종래와 같이 정지 상태인 절단품(Sa)에 대해 세정액을 분사하거나, 세정 브러시를 대고 세정하거나 하는 것이 아니라, 절단품(Sa)을 세정액에 침지한 상태에서 세정하고 있으므로, 절단품(Sa)의 칩 시프트나 비산을 방지할 수 있어, 절단품(Sa) 전역을 빠짐없이 세정할 수 있다. 그 결과, 절단품(Sa)의 사이즈가 작다고 하더라도, 구석구석까지 세정하는 것이 가능해져, 세정 효율을 높일 수 있다. 또한, 내통(21b)을 상하 반전시켜 절단품(Sa)을 취출하고 있기 때문에, 종래와 같이, 흡인된 상태의 절단품(Sa)을 브러시로 불출하는 것은 아니어서, 브러시에 절단품(Sa)이 끼이거나, 비산하거나 하는 문제가 없다.
(12) 세정 공정에 의해 복수의 절단품(Sa)을 세정한 후에 세정액을 배출하고, 용기(21) 내에 압축 공기(기체)를 공급하여 상기 용기를 회전시키면서 복수의 절단품(Sa)을 건조시키는 건조 공정을 더 포함해도 된다.
본 방법과 같이, 용기(21) 내에서, 절단품(Sa)의 세정 및 건조를 완결하면, 건조 용기를 별도로 마련할 필요가 없어, 절단 장치(D)의 콤팩트화가 도모된다. 게다가, 용기(21)를 회전시키면서 복수의 절단품(Sa)을 건조시키기 때문에, 복수의 절단품(Sa)을 유동시켜 절단품(Sa) 전역을 건조시킬 수 있다.
(13) 절단 공정 후이면서 세정 공정 전에 복수의 절단품(Sa)을 용기(21)로 반송하는 반송 공정을 더 포함하고, 반송 공정은, 노즐(41)(흡인 노즐)에 의해 복수의 절단품(Sa)을 흡인하여 용기(21)로 반송해도 된다.
본 방법에서는, 노즐(41)에 의해 절단품(Sa)을 흡인하여 용기(21)로 반송하기 때문에, 절단품(Sa)의 사이즈가 작은 경우라도 일거에 흡인, 반송할 수 있다.
(14) 절단 공정 후이면서 세정 공정 전에 복수의 절단품(Sa)을 용기(21)로 반송하는 반송 공정을 더 포함하고, 반송 공정은, 복수의 절단품(Sa)을 액류에 의해 용기(21)로 반송해도 된다.
본 방법과 같이, 절단품(Sa)을 액류에 의해 용기(21)로 반송하면, 절단품(Sa)을 원활하게 반송할 수 있다.
(15) 절단 공정 후이면서 세정 공정 전에 복수의 절단품(Sa)을 용기(21)로 반송하는 반송 공정을 더 포함하고, 반송 공정은, 복수의 절단품(Sa)을 수납부(45)에 수용하고, 수납부(45)를 용기(21)의 근방까지 반송한 후, 수납부(45)로부터 용기(21)로 복수의 절단품(Sa)을 옮겨도 된다.
본 방법과 같이, 용기(21)로 옮기기 전에 수납부(45)에 절단품(Sa)을 수납하면, 복수의 절단품(Sa)이 수납된 수납부(45)를 반송하기만 하면 돼, 반송 효율을 높일 수 있다.
또한, 상술한 실시 형태(다른 실시 형태를 포함함, 이하 동일.)에서 개시되는 구성은, 모순이 발생하지 않는 한, 다른 실시 형태에서 개시되는 구성과 조합하여 적용하는 것이 가능하다. 또한, 본 명세서에서 개시된 실시 형태는 예시이며, 본 발명의 실시 형태는 이것에 한정되지 않고, 본 발명의 목적을 일탈하지 않는 범위 내에서 적절하게 개변하는 것이 가능하다.
본 발명은, 세정 모듈, 세정 모듈을 구비한 절단 장치 및 절단품의 제조 방법에 이용 가능하며, 특히 절단품의 사이즈가, 한 변이 2㎜인 정사각형 미만으로 작아지는 경우에 유효하다.
1: 절단 모듈
2: 세정 모듈
2A: 세정 기구
3: 제어부
4: 반송 기구
12: 절단 기구
21: 용기
21b: 내통(내용기)
21b1: 경사면
21c: 미세 구멍(관통 구멍)
22: 회전 기구
22b: 회전축
23: 급액 기구
24: 배액 기구
25: 급기 기구
26: 배기 기구
27: 회동 반전 기구
27a: 척 기구
27b: 회동 기구
27c: 내통 반전 기구(반전 기구)
27d: 내통 상하 기구
28: 드레인 기구
28a: 외통(외용기)
29: 진공 기구
41: 노즐(흡인 노즐)
42: 유체관
43: 액체 공급 기구
44: 이동체
45: 수납부
D: 절단 장치
E: 수지 성형 장치
S: 패키지 기판
Sa: 절단품
T: 중간 통(구획벽)

Claims (15)

  1. 삭제
  2. 패키지 기판이 절단되어 형성된 복수의 절단품을 수용하는 용기와,
    상기 용기를 회전시키는 회전 기구와,
    상기 용기 내에 세정액을 공급하는 급액 기구와,
    상기 용기 내의 상기 세정액을 배출하는 배액 기구를 구비하고,
    복수의 상기 절단품은, 상기 세정액에 침지된 상태에서 상기 회전 기구에 의해 회전시킨 상기 용기 내에서 세정되고,
    상기 용기 내에 기체를 공급하는 급기 기구와, 상기 용기 내의 상기 기체를 배출하는 배기 기구를 더 구비한 세정 모듈.
  3. 패키지 기판이 절단되어 형성된 복수의 절단품을 수용하는 용기와,
    상기 용기를 회전시키는 회전 기구와,
    상기 용기 내에 세정액을 공급하는 급액 기구와,
    상기 용기 내의 상기 세정액을 배출하는 배액 기구를 구비하고,
    복수의 상기 절단품은, 상기 세정액에 침지된 상태에서 상기 회전 기구에 의해 회전시킨 상기 용기 내에서 세정되고,
    상기 용기를 상하 반전시키는 반전 기구를 더 구비한 세정 모듈.
  4. 패키지 기판이 절단되어 형성된 복수의 절단품을 수용하는 용기와,
    상기 용기를 회전시키는 회전 기구와,
    상기 용기 내에 세정액을 공급하는 급액 기구와,
    상기 용기 내의 상기 세정액을 배출하는 배액 기구를 구비하고,
    복수의 상기 절단품은, 상기 세정액에 침지된 상태에서 상기 회전 기구에 의해 회전시킨 상기 용기 내에서 세정되고,
    상기 용기는, 적어도 저벽에 상기 절단품이 통과하지 않는 크기의 관통 구멍이 형성된 내용기와, 당해 내용기의 외측에 배치된 외용기를 포함하고 있고,
    상기 내용기와 상기 외용기 사이에는 구획벽이 형성되어 있고, 상기 내용기에 공급된 상기 세정액이 상기 관통 구멍을 통해 상기 내용기 및 상기 구획벽의 내측에 존재하고,
    상기 세정액 중, 상기 구획벽의 정상부를 타고 넘은 상기 세정액을 상기 외용기로부터 배수하는 드레인 기구를 더 구비한 세정 모듈.
  5. 패키지 기판이 절단되어 형성된 복수의 절단품을 수용하는 용기와,
    상기 용기를 회전시키는 회전 기구와,
    상기 용기 내에 세정액을 공급하는 급액 기구와,
    상기 용기 내의 상기 세정액을 배출하는 배액 기구를 구비하고,
    복수의 상기 절단품은, 상기 세정액에 침지된 상태에서 상기 회전 기구에 의해 회전시킨 상기 용기 내에서 세정되고,
    상기 용기는, 중력 방향에 대해 기울어져 배치되어 있는 세정 모듈.
  6. 패키지 기판이 절단되어 형성된 복수의 절단품을 수용하는 용기와,
    상기 용기를 회전시키는 회전 기구와,
    상기 용기 내에 세정액을 공급하는 급액 기구와,
    상기 용기 내의 상기 세정액을 배출하는 배액 기구를 구비하고,
    복수의 상기 절단품은, 상기 세정액에 침지된 상태에서 상기 회전 기구에 의해 회전시킨 상기 용기 내에서 세정되고,
    상기 용기의 저벽의 내면은, 상기 회전 기구의 회전축으로 접근할수록 중력 방향을 향해 경사진 경사면으로 형성되어 있는 세정 모듈.
  7. 제2항 내지 제6항 중 어느 한 항에 기재된 세정 모듈과,
    상기 패키지 기판을 절단하는 절단 기구와,
    상기 절단 기구에 의해 절단되어 형성된 복수의 상기 절단품을 상기 용기로 반송하는 반송 기구를 구비한 절단 장치.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 반송 기구는, 흡인 노즐에 의해 복수의 상기 절단품을 흡인하여 상기 용기로 반송하는 절단 장치.
  9. 제7항에 있어서,
    상기 반송 기구는, 복수의 상기 절단품을 액류에 의해 상기 용기로 반송하는 절단 장치.
  10. 제7항에 있어서,
    상기 반송 기구는, 복수의 상기 절단품을 수납하는 수납부를 갖고, 복수의 상기 절단품이 수납된 상기 수납부를 상기 용기의 근방까지 반송하여, 상기 수납부로부터 상기 용기로 복수의 상기 절단품을 옮기는 절단 장치.
  11. 패키지 기판을 절단하여 복수의 절단품을 형성하는 절단 공정과,
    복수의 상기 절단품을 용기로 반송하는 반송 공정과,
    복수의 상기 절단품을 용기로 수용하는 수용 공정과,
    상기 용기 내에 세정액을 공급하고, 상기 용기를 회전시켜 복수의 상기 절단품을 세정하는 세정 공정과,
    상기 용기를 상하 반전시켜, 복수의 상기 절단품을 취출하는 취출 공정을 포함하고,
    상기 반송 공정은, 흡인 노즐에 의해 복수의 상기 절단품을 흡인하여 상기 용기로 반송하는 절단품의 제조 방법.
  12. 패키지 기판을 절단하여 복수의 절단품을 형성하는 절단 공정과,
    복수의 상기 절단품을 용기로 반송하는 반송 공정과,
    복수의 상기 절단품을 용기로 수용하는 수용 공정과,
    상기 용기 내에 세정액을 공급하고, 상기 용기를 회전시켜 복수의 상기 절단품을 세정하는 세정 공정과,
    상기 용기를 상하 반전시켜, 복수의 상기 절단품을 취출하는 취출 공정을 포함하고,
    상기 반송 공정은, 복수의 상기 절단품을 액류에 의해 상기 용기로 반송하는 절단품의 제조 방법.
  13. 패키지 기판을 절단하여 복수의 절단품을 형성하는 절단 공정과,
    복수의 상기 절단품을 용기로 반송하는 반송 공정과,
    복수의 상기 절단품을 용기로 수용하는 수용 공정과,
    상기 용기 내에 세정액을 공급하고, 상기 용기를 회전시켜 복수의 상기 절단품을 세정하는 세정 공정과,
    상기 용기를 상하 반전시켜, 복수의 상기 절단품을 취출하는 취출 공정을 포함하고,
    상기 반송 공정은, 복수의 상기 절단품을 수납부에 수용하고, 당해 수납부를 상기 용기의 근방까지 반송한 후, 상기 수납부로부터 상기 용기로 복수의 상기 절단품을 옮기는 절단품의 제조 방법.
  14. 제11항 내지 제13항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 세정 공정에 의해 복수의 상기 절단품을 세정한 후에 상기 세정액을 배출하고, 상기 용기 내에 기체를 공급하여 상기 용기를 회전시키면서 복수의 상기 절단품을 건조시키는 건조 공정을 더 포함하는 절단품의 제조 방법.
  15. 삭제
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