TWM615206U - 物料傳送盒之盒體除液裝置 - Google Patents

Abstract

本新型提供一種物料傳送盒之盒體除液裝置，包括在一除液腔室內裝設一轉台及多個風刀，該轉台配置於該除液腔室的底部，用以載放該盒體，並且帶動該盒體在該除液腔室內轉動，多個所述風刀分別具有一能提供呈面狀分佈之線性風力的直線形出風狹嘴，且多個所述風刀分佈於該除液腔室的四周，多個所述出風狹嘴並以相異線性軸向的方式對該除液腔室提供呈面狀分佈之線性風力，用以噴吹該盒體的內表面和外表面，以改善傳統晶元傳送盒之自動化清潔製程中的濕清潔工序，難以對內部構造相對複雜之物料傳送盒進行有效除液的問題。

Description

物料傳送盒之盒體除液裝置

本新型涉及在不同加工區站之間裝填及移載物料用的傳送盒，其盒體在進行濕清潔工序中所需要的除液技術，特別的，是有關一種物料傳送盒之盒體除液裝置。

現有技術中，最接近本新型物料傳送盒的，是一種用於載運半導體晶元的前開式晶元傳送盒(Front Opening Unified Pod,FOUP，以下簡稱晶元傳送盒)。

半導體晶元在產製過程中，特別是在各個加工區站內，以及在各個加工區站之間載運晶元的過程中，對於潔淨度的要求甚高，特別是避免環境中出現微粒，而影響晶元的產製良率。

且知，半導體晶元的載運，常見使用上述晶元傳送盒，通過自動化搬運系統的運作，使多個晶元傳送盒能分別在各個加工區站中擷取、容置晶元，並且能在各個加工區站之間移送晶元，而後在到達目標地的加工區站時卸載晶元。

晶元傳送盒是由一可開啟式的前蓋和一盒體相互組扣而成，該盒體內部的雙側壁面上具有凸伸成梳狀的肋片，用於支撐容置於內的晶元，使得每一晶元傳送盒內皆可容置多數片晶元。

基於潔淨度的高標準要求，晶元傳送盒在使用一段特定時間之後必須要進行自動化清洗。目前，已知的對晶元傳送盒進行自動化清洗的較先進技術，可見於CN102804332B、TW201400202A、CN1082222A、US20140069467A1等專利，該等專利公開教示於晶元的生產線中設置一清洗區站，並且利用自動 化搬運系統將待清洗的晶元傳送盒移送至該清洗區站的一裝載端口(load port)上，利用清洗區站內的自動手臂(robot)擷取裝載端口上的晶元傳送盒，並將晶元傳送盒的前蓋和盒體先行分離，而後自動擷取該前蓋和盒體依序通過清潔液的濕清潔、負壓環境的真空乾燥等工序，以淨化可能殘留於該前蓋和盒體之內、外表面的微粒，進而提升無塵傳送的潔淨度。

且知，無塵傳送晶元用的晶元傳送盒，目前已經被應用至無塵傳送高階電路載板的場合，例如像崁入式多晶片互連橋接(Embedded Multi-Die Interconnect Bridge,EMIB)用電路載板或使用ABF作為增層材料的電路載板等，這些高階電路載板的面域相對較傳統PCB大，且採長方形的排版模式呈現，使得高階電路載板的硬度也相對較傳統PCB軟。依此，當傳送盒內之容置物必須由晶元變更成是高階電路載板時，必須改變傳送盒的內部構造，才能使每一個傳送盒內能夠穩定的容置多片高階電路載板。

請參閱圖1至圖3，揭露現有用於容置所述高階電路載板16(以下簡稱載板16)的物料傳送盒10的態樣，其盒體11及前蓋12具有晶元傳送盒的相同特徵，特別包括該盒體11的雙側壁面11a上具有凸伸成梳狀的肋片13。此外，基於作為容置物之載板16的面域相對較大且較軟，因此該盒體11內還必須形成由底部11b凸伸至容置腔14的懸狀支撐桿15，以便利用雙側肋片13來支撐載板16的雙端16a，並且利用懸狀支撐桿15來架持載板16的中段部16b，避免載板16在傳送盒10內發生塌陷或相互干涉的現象(詳如圖1及圖2所示)。

由此可知，基於不同容置物的差異，會影響傳送盒之盒體內部構造的複雜度，特別的，裝載載板用的傳送盒10，其盒體11內部具有梳狀肋片13和懸狀支撐桿15的整體構造相對較晶元傳送盒的盒體構造複雜。

基於此因，在清洗內部構造相對較複雜之傳送盒的盒體(例如像載板傳送盒的盒體)時，上述已公開的傳送盒清潔技術 仍不理想。特別的是，陳如CN102804332B專利中所公開的濕清潔技術，教示在同一個清洗用的腔室內同時佈設多個噴液嘴和吹氣嘴，先利用圓形口徑的噴液嘴對盒體進行噴洗之後，利用該腔室內佈設之圓形口徑的吹氣嘴將盒體內、外表面上的液體殘留物進行吹除。然而，不論該等噴液嘴和吹氣嘴為固定式或可轉動式，皆容易在同一個腔室內對盒體內具有凸伸之懸狀支撐桿造成牽絆，因而抵減了濕清潔中的濕噴洗效率及除液效率，甚至不利於在濕清洗的腔室內取、放所述內部構造較複雜的盒體，故亟需加以研創並改進。

本新型之目的，旨在改進現有技術對晶元傳送盒之盒體進行濕清潔時，使用同一個腔室來配置噴液嘴和吹氣嘴，分別對盒體進行清潔液的噴洗及噴吹氣體的除液技術，其中本新型特別改進現有技術使用圓形口徑的吹氣嘴對盒體進行氣體噴吹的除液技術，較難對盒體內部構造相對複雜的物料傳送盒進行有效的除液。

本新型特別改善傳統晶元傳送盒之自動化清潔製程中的濕清潔工序，使其中對於盒體的濕清洗和除液作業，能夠在不同腔室中分別進行。

為此，本新型提供一種物料傳送盒之盒體除液裝置，以便能適應內部構造相對複雜的盒體，促使該盒體在接受清潔液的噴洗作業之後，能夠在除液裝置內單獨的接受除液動作，以提升盒體的除液效率。

本新型提供之盒體除液裝置，包括：在一除液腔室內裝設一轉台及多個風刀；該除液腔室形成於一槽體內，該槽體的頂部罩設有一可掀式的槽蓋，該槽蓋能開啟及關閉該槽體內的除液腔室；該轉台配置於該除液腔室的底部，用以載放該盒體，並且帶動該盒體在該除液腔室內轉動；多個所述風刀分別具有一能提供呈面狀分佈之線性風力的直線形出風狹嘴，且多個所述風 刀分別配置於該槽體內，進而分佈於該除液腔室的四周，多個所述出風狹嘴並以相異線性軸向的方式對該除液腔室提供呈面狀分佈之線性風力，用以噴吹該盒體的內表面和外表面。

在進一步實施中，該轉台由中空格狀框體製成，多個所述風刀包含以水平方式跨設於該轉台之底部的一底部風刀，該盒體具一開口，該盒體經由該開口而載放於該轉台上；藉此，該底部風刀能提供線性風力穿透該轉台，該盒體的內表面能經由該底部風刀提供的線性風力進行噴吹。

在進一步實施中，多個所述風刀包含以垂立方式設置於該槽體之內壁一側的至少一側向風刀，該盒體的外表面經由該側向風刀提供的線性風力進行噴吹。

在進一步實施中，所述風刀提供之線性風力的寬度相對大於該盒體之內表面及外表面位在相對應軸向上的寬度。

在進一步實施中，還包含連接多個所述風刀的一風壓供應器，該風壓供應器配置有能夠加熱所述風壓的一電熱器。

在進一步實施中，該除液腔室內排除噴液嘴之配置。

在進一步實施中，該盒體內凸伸有至少一懸狀支撐桿，該盒體的內表面包含所述懸狀支撐桿的四周表面。

本新型上述所揭技術，是針對物料傳送盒之盒體，在通過清潔液的噴洗作業之後，該盒體之內、外表面皆殘留有清潔液之諸多液滴的情況下，能將該盒體置入於本新型之盒體除液裝置的除液腔室內，以便去除清潔液所殘留的諸多液滴。在應用上，本新型所能產生的技術功效包括：

1.利用獨立的除液腔室專責實施盒體濕清洗後的除液工序，避免傳統濕清洗及除液工序共同使用相同的腔室實施時，容易造成吹氣嘴的積水現象，換言之，本新型提供的多個風刀具有免於遭受清洗液侵擾的優點。

2.在除液腔室內利用多個風刀具有在相異線性軸向能各自提供呈面狀分佈之線性風力的特性，對轉動中之盒體的 內、外表面進行噴吹，除了能簡化傳統圓形口徑之噴氣嘴的佈設數量及氣路複雜性之外，還能利用相異線性軸向的多道線性風力來提升對盒體內、外表面之殘留液滴的除液效率。

3.利用除液腔室內提供的風刀和轉台的配置組合，改進傳統除液工序中無法讓盒體在旋轉過程中接受除液的技術缺失。

4.利用除液腔室內提供的風刀和轉台的配置組合，改進傳統噴氣嘴須植入盒體內，容易於盒體轉動時對盒體內部構造相對複雜的內表面造成牽絆的問題；特別是讓盒體以開口朝下的倒扣方式載放於轉台上，使跨設於轉台底部的底部風刀在無需植入盒體內的情況下，即能夠在該開口的外部，由下向上噴吹盒體的內表面讓；依此，對於內部凸伸有懸狀支撐桿等構造相對複雜的盒體內表面而言，該底部風刀提供呈面狀分佈的線性風力，在盒體轉動過程中比較能夠無死角地撤底吹除滯留於盒體內表面的液滴。

5.利用多個風刀所提供相異線性軸向的線性風力，可為經過電熱器加熱及濾除污染微粒之後的線性風力，以促進其噴吹盒體內、外表面之殘留液滴的除液效率。

依上述揭露，必須說明的是，本新型不但能提供具有懸狀支撐桿等構造相對複雜之物料傳送盒的盒體進行除液之外，還能提供一般構造較不複雜之晶元傳送盒的盒體進行除液，均能產生優異的除液效果。為此，相關本新型實施上的詳細內容，將搭配圖式說明於下。

10:物料傳送盒

11:盒體

11a:壁面

11b:底部

11c:開口

11d:內表面

11e:外表面

12:前蓋

13:肋片

14:容置腔

15:支撐桿

16:載板

16a:雙端

16b:中段部

20:除液腔室

21:槽體

22:槽蓋

23:排氣流道

24:排液流道

30:轉台

31:驅動器

40:風刀

40a:出風狹嘴

41:底部風刀

42:側向風刀

50:風壓供應器

51:電熱元件

52:過濾元件

圖1是物料傳送盒的立體分解圖。

圖2是物料傳送盒的剖示圖。

圖3是本新型物料傳送盒之盒體除液裝置的立體圖。

圖4是本新型物料傳送盒之盒體除液裝置的剖示圖。

圖5是圖4的A-A剖示圖。

圖6是本新型物料傳送盒之盒體除液裝置連接風壓供應器時的立體圖。

圖7是物料傳送盒之盒體置放於盒體除液裝置內時的立體圖。

首先，請參閱圖3，揭露本新型之一較佳實施例的態樣，說明本新型所提供的物料傳送盒之盒體除液裝置，包括：一除液腔室20、一轉台30及多個風刀，其中：

該除液腔室20是形成於一槽體21內，該槽體21的頂部罩設有一可掀式的槽蓋22，當該槽蓋22開啟時，使該除液腔室20連通外界，能將待進行除液作業的該盒體11置入該除液腔室20內，或由該除液腔室20內將已完成除液作業的該盒體11取出；反之，當該槽蓋關閉時，使該除液腔室內形成密閉空間，以利於對該除液腔室20內的該盒體11進行除液作業，並能避免在對該盒體11進行除液作業時清潔液飛濺至該除液腔室20外。該除液腔室20內在實施上是排除噴液嘴的配置，換言之，該盒體11的濕清洗和除液作業是在不同腔室中分別進行，藉由盒體11在除液裝置內單獨的接受除液作業，能提升盒體11的除液效率。

請合併參閱圖3、圖4及圖5，說明該轉台30是配置於該除液腔室20的底部，該盒體11是以開口11c朝下的倒扣方式載放於該轉台30上(如圖7所示)，並經由該轉台30的帶動而在該除液腔室20內旋轉。進一步的說，該轉台30是由中空格狀框體製成，該轉台30能經由馬達等驅動器31的驅動而沿水平方向旋轉，進而帶動該盒體11在該除液腔室20內旋轉。

所述風刀40具有一直線形出風狹嘴40a，使所述風刀40能經由該直線形出風狹嘴40a而提供呈面狀分佈之線性風力，且多個所述風刀40是分別配置於該槽體21內，進而分佈於該除液腔室20的四周，令多個所述風刀40能由相異的線性軸向對該除液腔室20提供呈面狀分佈之線性風力，來噴吹該盒體11 的內表面11d和外表面11e。該盒體11的內表面11d在實施上還包含該盒體11內所設置之梳狀肋片13和懸狀支撐桿15的四周表面。

多個所述風刀40包含一底部風刀41及一側向風刀42，其中該底部風刀41是以水平方式跨設於該轉台30之底部，該側向風刀42是以垂立方式設置於該槽體21之內壁一側。在具體實施上，該底部風刀41所提供之線性風力能穿透該轉台30，並經由該開口11c而噴吹該盒體11的內表面11d，該側向風刀42所提供之線性風力能噴吹該盒體11的外表面11e，該盒體11在接受該底部風刀41和該側向風刀42分別在相異軸向提供呈面狀分佈的線性風力的噴吹時，該轉台30能驅動該盒體11轉動，使該底部風刀41和該側向風刀42所提供的線性風力能均勻的噴吹至該盒體11的內表面11d及外表面11e，以便將盒體11的內表面11d及外表面11e所附著之清洗液的液珠充分地吹除，進而提升對盒體11的除液效果；其中，必須說明的是，所述轉台30驅動盒體11的轉動方式，係指能依照控制端所欲取得盒體11之除液效果，而實施包括正轉及反轉程序在內的可變換速度式轉動。再者，在一實施中，該底部風刀41所提供之線性風力的寬度W3可以是相對大於該盒體11之內表面11d位在相對應軸向上的寬度W1，以及該側向風刀42所提供之線性風力的寬度W4可以是相對大於該盒體11之外表面11e位在相對應軸向上的寬度W2，以便增加相異軸向之線性風力的涵蓋範圍，以加強線性風力對盒體11內、外表面11d、11e的除液效果，亦屬本新型所思及之應用，但本新型不因此而受限。

該槽體21之內壁一側設有一連通外界的排氣流道23，該槽體21內由所述風刀40所噴吹出的氣體會經由該排氣流道23的導引而排放至槽體21外；該槽體21的底部設有一排液流道24，該盒體11之內表面11d和外表面11e被吹除的液滴會經由該排液流道24的導引而排放至槽體21外。

請參閱圖6，說明所述風刀40在實施上連接一風壓供應器50，該風壓供應器50包含配置有一電熱元件51及一使用HEPA製成的過濾元件52，可讓風壓供應器50生成的氣體先經過濾和加熱之後，才由所述風刀40提供具有潔淨度及加熱溫度的線性風力噴吹盒體11之內表面11d及外表面11e。依此，除了能在整個除液作業中，加快盒體11之內、外表面11d、11e上所殘留之清潔液珠的受熱揮發速度(即提升乾燥效率)之外，還能濾除所述風刀40提供線性風力中氣體的污染微粒，以確保該盒體11之內表面11d及外表面11e在接受除液後的潔淨度。其中，必須說明的是，使用電熱器51加熱線性風力進行除液後，盒體11本身已具備高於常溫但低於水分子之沸點的一預熱溫度，此預熱溫度能驅使殘留於盒體11之內、外表面11f、11g的水分子也一併受到預熱作用，有利於盒體11接續進行真空乾燥工序時，該等殘留於盒體11之內、外表面11f、11g的水分子，其沸點不至於瞬間受到真空壓的影響而降低，乃至於生成冰凍現象，因此有助於縮短盒體11後續接受真空乾燥工序的時效。

以上實施例僅為表達了本新型的較佳實施方式，但並不能因此而理解為對本新型專利範圍的限制。因此，本新型應以申請專利範圍中限定的請求項內容為準。

20:除液腔室

21:槽體

22:槽蓋

23:排氣流道

30:轉台

40:風刀

40a:出風狹嘴

41:底部風刀

42:側向風刀

Claims (7)

1. 一種物料傳送盒之盒體除液裝置，包括：

   一除液腔室，形成於一槽體內，該槽體的頂部罩設有一可掀式的槽蓋，該槽蓋能開啟及關閉該槽體內的除液腔室；

   一轉台，配置於該除液腔室的底部，用以載放該盒體，並且帶動該盒體在該除液腔室內轉動；及

   多個風刀，分別具有一能提供呈面狀分佈之線性風力的直線形出風狹嘴，且多個所述風刀分別配置於該槽體內，進而分佈於該除液腔室的四周，多個所述出風狹嘴並以相異線性軸向的方式對該除液腔室提供呈面狀分佈之線性風力，用以噴吹該盒體的內表面和外表面。
2. 如請求項1所述物料傳送盒之盒體除液裝置，其中該轉台由中空格狀框體製成，多個所述風刀包含以水平方式跨設於該轉台之底部的一底部風刀，該盒體具一開口，該盒體經由該開口而載放於該轉台上，該底部風刀能提供線性風力穿透該轉台，該盒體的內表面能經由該底部風刀提供的線性風力進行噴吹。
3. 如請求項2所述物料傳送盒之盒體除液裝置，其中多個所述風刀還包含以垂立方式設置於該槽體之內壁一側的至少一側向風刀，該盒體的外表面經由該側向風刀提供的線性風力進行噴吹。
4. 如請求項2所述物料傳送盒之盒體除液裝置，其中所述風刀提供線性風力的寬度相對大於該盒體之內表面及外表面位在相對應軸向上的寬度。
5. 如請求項1所述物料傳送盒之盒體除液裝置，其中還包含連接多個所述風刀的一風壓供應器，該風壓供應器配置 有能夠加熱所述風壓的一電熱器。
6. 如請求項1至5中任1項所述物料傳送盒之盒體除液裝置，其中該除液腔室內排除噴液嘴之配置。
7. 如請求項1至5中任1項所述物料傳送盒之盒體除液裝置，其中該盒體內凸伸有至少一懸狀支撐桿，該盒體的內表面包含所述懸狀支撐桿的四周表面。

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