KR20210095047A - 웨이퍼 건조 모듈 및 이를 포함하는 씨엠피 장치 - Google Patents

웨이퍼 건조 모듈 및 이를 포함하는 씨엠피 장치 Download PDF

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KR20210095047A
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주식회사 씨티에스
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Abstract

본 발명은 웨이퍼 건조 모듈 및 이를 포함하는 씨엠피 장치에 관한 것이다. 본 발명의 실시 예를 따르는 웨이퍼 건조 모듈은, 웨이퍼 건조부; 및 상기 웨이퍼 건조부 상으로 웨이퍼를 이송하는 웨이퍼 이송부;를 포함하고, 상기 웨이퍼 이송부는, 웨이퍼를 이송하는 롤러, 상기 롤러를 구동하는 롤러회전부재, 및 상기 롤러를 수평방향으로 이동하는 수평이동부재,를 포함한다.

Description

웨이퍼 건조 모듈 및 이를 포함하는 씨엠피 장치{Wafer drying module and CMP apparatus having the same}
본 발명은 웨이퍼 건조 모듈 및 이를 포함하는 씨엠피 장치에 관한 것이다.
반도체 제조 시 수반되는 평탄화 공정인 씨엠피(CMP, Chemical Mechanical Polishing) 공정은 씨엠피 장치에 의해 수행된다.
씨엠피 장치는 FOUP이라고 불리는 웨이퍼 보관함이 배치되고 상기 웨이퍼 보관함으로부터 웨이퍼를 개별적으로 이송하는 전단이송장치(EFEM), 전단이송장치에서 이송된 웨이퍼를 연마장치로 이동하는 후단이송장치, 상기 이송된 웨이퍼를 해드에 부착하여 연마하는 연마장치, 연마가 완료된 웨이퍼를 세정하는 세정 장치로 구분된다.
상기 세정 장치는 웨이퍼의 표면에 묻어 있는 이물질을 제거하는 세정 모듈 및 상기 세정 모듈에서 세정이 완료된 웨이퍼를 건조하는 건조 모듈로 구성된다. 상기 건조 모듈에서는 핑거로 웨이퍼를 파지하여 회전하여 웨이퍼 표면의 물기를 제거한다. 상기 핑거는 웨이퍼를 파지하는 위치까지 상승한 후 다시 공정 수행을 위해 하강하는 작동을 수행한다. 그러나, 이러한 작업이 수행되기 위해서는 핑거를 상하로 이동하기 위한 모터 등의 요소가 필요하기 때문에, 건조 모듈의 부피가 커지는 문제가 있고, 핑거가 웨이퍼를 파지하여 회전하면서 높이가 변하는 문제가 발생하기도 한다.
한국 특허등록공보 제10-0811457호
본 발명은 웨이퍼 건조를 안정적으로 수행할 수 있는 웨이퍼 건조 모듈 및 이를 포함하는 씨엠피 장치를 제공함을 목적으로 한다.
또한, 건조 모듈의 부피를 작게 제작할 수 있다.
본 발명의 실시 예를 따르는 웨이퍼 건조 모듈은, 웨이퍼 건조부; 및 상기 웨이퍼 건조부 상으로 웨이퍼를 이송하는 웨이퍼 이송부;를 포함하고, 상기 웨이퍼 이송부는, 웨이퍼를 이송하는 롤러, 상기 롤러를 구동하는 롤러회전부재, 및 상기 롤러를 수평방향으로 이동하는 수평이동부재,를 포함한다.
상기 롤러를 수직방향으로 이동하는 수직이동부재를 더 포함할 수 있다.
상기 롤러회전부재는 상기 롤러에 회전력을 제공하고 상기 롤러를 지지하는 롤러연결부재 및 상기 롤러연결부재에 회전력을 제공하는 롤러회전모터를 포함할 수 있다.
본 발명의 실시 예를 따르는 웨이퍼 세정 장치는 앞서 설명한 건조 모듈을 포함한다.
본 발명의 실시 예를 따르는 씨엠피 장치는 앞서 설명한 웨이퍼 세정 장치를 포함한다.
본 발명의 실시 예를 따르는 건조 모듈을 이용한 웨이퍼 건조 방법은, 핑거유닛 및 용기를 포함하는 웨이퍼 건조부; 및 웨이퍼를 이송하는 롤러, 상기 롤러를 구동하는 롤러회전부재, 상기 롤러를 수평방향으로 이동하는 수평이동부재, 및 상기 롤러를 수직방향으로 이동하는 수직이동부재를 포함하는 웨이퍼 이송부를 포함하는 건조 모듈을 이용하여 수행한다. 본 방법은, 상기 수평이동부재를 이용하여 상기 롤러를 상기 용기 상부 방향으로 이동하는 단계; 상기 롤러를 구동하여 웨이퍼를 상기 용기 상부로 이동하는 단계; 상기 수직이동부재를 이용하여 상기 롤러를 하부 방향으로 이동하는 단계; 상기 핑거유닛으로 상기 웨이퍼를 잡는 단계; 및 상기 수평이동부재를 이용하여 상기 롤러를 상기 용기 상부로부터 이탈시키는 단계;를 포함한다.
본 발명의 실시 예를 따르는 웨이퍼 건조 모듈 및 이를 포함하는 씨엠피 장치는 웨이퍼 건조를 안정적으로 수행할 수 있다.
또한, 건조 모듈의 부피를 작게 제작할 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시 예를 따르는 씨엠피 장치를 도시한 것이다.
도 2는 본 발명의 실시 예를 따르는 웨이퍼 세정 장치를 도시한 것이다.
도 3은 웨이퍼 세정 장치 중 세정 모듈의 커버를 제거한 후 위에서 본 모습이다.
도 4는 본 발명의 실시 예를 따르는 건조 모듈을 도시한 것이다.
도 5 내지 7은 웨이퍼 이송부의 작동 순서를 도시한 것이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 형태들을 다음과 같이 설명한다. 그러나, 본 발명의 실시 형태는 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 이하 설명하는 실시 형태로 한정되는 것은 아니다.　 또한, 본 발명의 실시 형태는 당해 기술분야에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위해서 제공되는 것이다.　 따라서, 도면에서의 요소들의 형상 및 크기 등은 보다 명확한 설명을 위해 과장될 수 있으며, 도면 상의 동일한 부호로 표시되는 요소는 동일한 요소이다. 또한, 유사한 기능 및 작용을 하는 부분에 대해서는 도면 전체에 걸쳐 동일한 부호를 사용한다. 덧붙여, 명세서 전체에서 어떤 구성요소를 "포함"한다는 것은 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있다는 것을 의미한다.
도 1은 본 발명의 실시 예를 따르는 씨엠피 장치(1)를 도시한 것이다.
본 발명의 실시 예를 따르는 씨엠피 장치(1)는 웨이퍼 세정 장치(10)를 포함하고, 상기 웨이퍼 세정 장치(10)는 건조 모듈(100) 및 세정 모듈(200)을 포함한다. 또한, 상기 씨엠피 장치(1)는 웨이퍼를 보관함으로부터 개별적으로 이송하는 전단이송장치(EFEM)(20), 상기 전단이송장치(20)에서 이송된 웨이퍼를 연마장치(40)로 이동하는 후단이송장치(30), 상기 이송된 웨이퍼를 해드에 부착하여 연마하는 연마장치(40)를 더 포함할 수 있다.
도 2는 본 발명의 실시 예를 따르는 웨이퍼 세정 장치(10)를 도시한 것이고, 도 3은 웨이퍼 세정 장치(10) 중 세정 모듈(200)의 커버를 제거한 후 위에서 본 모습이다.
본 발명의 실시 예를 따르는 웨이퍼 세정 장치(10)는 웨이퍼의 표면에 묻어 있는 이물질을 제거하는 세정 모듈(200) 및 상기 세정 모듈(200)에서 세정이 완료된 웨이퍼를 건조하는 건조 모듈(100)을 포함할 수 있고, 상기 건조 모듈(100)은 컨베이어베트부(110), 웨이퍼 건조부(120), 유체공급부(130) 및 웨이퍼 이송 도어(140)를 포함할 수 있다.
도 4는 본 발명의 실시 예를 따르는 건조 모듈(100)을 도시한 것이다.
도 4를 참조하면, 본 발명의 실시 예를 따르는 웨이퍼 건조 모듈(100)은, 웨이퍼 건조부(120); 및 상기 웨이퍼 건조부(120) 상으로 웨이퍼를 이송하는 웨이퍼 이송부(110);를 포함하고, 상기 웨이퍼 이송부(110)는, 웨이퍼를 이송하는 롤러(111), 상기 롤러(111)를 구동하는 롤러회전부재(112), 및 상기 롤러(111)를 수평방향으로 이동하는 수평이동부재(113),를 포함한다. 또한, 상기 롤러(111)를 수직방향으로 이동하는 수직이동부재(114)를 더 포함할 수 있다. 또한, 웨이퍼 상에 유체를 공급하여 추가 세정 및 건조를 하는 유체공급부(130)를 더 포함할 수 있다. 또한, 세정 모듈(200)에서 웨이퍼가 공급되는 통로를 개방 및 차단하는 웨이퍼 이송 도어(140)를 더 포함할 수 있다.
웨이퍼 건조부(120)는 웨이퍼를 내부 공간에 담지하여 건조 공정을 진행한다. 상기 웨이퍼 건조부(120)는 복수의 핀형 그리퍼를 이용하여 웨이퍼를 잡는 핑거유닛(121), 건조 공정을 진행하는 공간을 제공하고 웨이퍼 상부의 물이 외부로 튀는 것을 방지하는 용기(122) 및 상기 핑거 유닛을 회전하는 회전모터(123)를 포함할 수 있다.
상기 핑거유닛(121)은 상기 용기(122) 내부에 배치될 수 있다. 상기 핑거유닛(121)의 핀형 그리퍼는 일단에 관절 또는 힌지 유닛을 포함할 수 있고, 상기 관절 또는 힌지 유닛을 액츄에이터 또는 모터를 이용하여 닫힘 및 열림 동작을 수행하도록 할 수 있다. 이를 통해 웨이퍼가 상기 용기(122)의 상부에 배치되면 웨이퍼를 용이하게 파지할 수 있으며, 안전하게 회전할 수 있다.
상기 용기(122)는 상기 핑거유닛(121)을 감싸도록 배치됨으로써 핑거유닛(121)이 회전하여 웨이퍼 상부의 물을 제거하는 중에도 상기 제거된 물이 웨이퍼 이송부(110) 등 외부로 튀는 것을 방지할 수 있다. 상기 용기(122)는 내부 공간이 원기둥 형상을 가질 수 있다. 이를 통해 핑거유닛(121)이 회전하는 동안 내부에 층류(laminar flow)가 생성되어 웨이퍼의 물이 효과적으로 제거되고 공기 중의 미세 파티클 등이 웨이퍼 상부에 접촉하지 않도록 할 수 있다.
상기 회전모터(123)는 상기 핑거유닛(121)을 회전하는 회전력을 제공하는 것이면 특별히 제한하지 않는다.
웨이퍼 이송부(110)는 세정 모듈(200)에서 유입되는 웨이퍼를 웨이퍼 건조부(120)로 이동하는 역할을 수행한다. 이를 위해 상기 웨이퍼 이송부(110)는 롤러(111), 롤러회전부재(112) 및 수평이동부재(113)를 포함한다. 상기 웨이퍼 이송부(110)는 상기 웨이퍼 건조부(120)의 상부로 이동하여 웨이퍼가 세정 모듈(200)에서부터 상기 웨이퍼 건조부(120) 상부로 이동하는 경로를 제공할 수 있고, 상기 웨이퍼 건조부(120)의 핑거유닛(121)이 웨이퍼를 파지한 후에는 상기 웨이퍼 건조부(120)의 상부에서 이탈할 수 있다. 이를 통해 핑거유닛(121)의 상하 위치이동 없이 웨이퍼를 손쉽게 이동할 수 있다.
상기 롤러(111)는 상부에서 웨이퍼가 상기 롤러(111)가 회전하는 방향으로 이동할 수 있도록 하며, 상기 웨이퍼가 이동하는 경로를 제공한다. 상기 롤러(111)는 적어도 하나일 수 있으며, 도 4를 참조하면 복수의 롤러(111)가 웨이퍼가 이동하는 경로를 따라 배치되어 있을 수 있다. 상기 롤러(111)는 원기둥 형상일 수 있으며, 중간에 고무 등의 고분자 물질로 된 오-링이 끼워져 있을 수 있다. 상기 오-링은 웨이퍼 표면과의 마찰력을 증대시켜 웨이퍼가 상기 롤러(111) 상에서 미끄러지지 않게 한다.
상기 롤러회전부재(112)는 상기 롤러(111)가 회전하도록 회전력을 전달하는 역할을 수행한다. 상기 롤러회전부재(112)는 복수의 기어, 밸트 및 풀리 등의 구성요소를 포함할 수 있으며, 이를 통해 복수의 롤러(111)가 일정한 속력으로 회전하도록 할 수 있다.
상기 웨이퍼 이송부(110)는 롤러(111)를 회전하는 롤러회전모터(112b)를 더 포함할 수 있다. 상기 롤러회전모터(112b)는 상기 롤러회전부재(112)와 기어, 밸트 및 풀리 등의 구성요소로 연결되어 배치될 수 있으며, 상기 롤러회전부재(112)를 통해 상기 롤러(111)를 일정한 속력으로 회전시킬 수 있다.
상기 수평이동부재(113)는 상기 롤러(111)를 웨이퍼 건조부(120)의 상부 및 그 외부로 이동한다. 이를 위해 상기 수평이동부재(113)는 이동 대상이 이동하는 경로를 제공하는 제1가이드부재(113a) 및 구동력을 제공하는 제1구동부재(113b)를 포함할 수 있다. 상기 수평이동부재(113)에 의해 이동하는 대상은 롤러(111) 및/또는 롤러연결부재(112a) 및/또는 롤러회전모터(112b)일 수 있다. 상기 제1가이드부재(113a)는 롤러(111)가 이동하는 경로를 따라 배치된 봉, 스크류 또는 레일 형상의 부재를 포함할 수 있고, 상기 봉, 스크류 또는 레일을 따라 이동하는 이동 부재를 포함할 수 있다. 상기 이동 부재가 상기 롤러(111) 및/또는 롤러연결부재(112a) 및/또는 롤러회전모터(112b)에 결합하여, 상기 롤러(111) 및/또는 롤러연결부재(112a) 및/또는 롤러회전모터(112b)가 상기 봉, 스크류 또는 레일 형상의 부재가 제공하는 경로를 따라 이동할 수 있다. 상기 제1구동부재(113b)는 상기 이동 부재가 상기 봉, 스크류 또는 레일 형상의 부재를 따라 이동하도록 구동력을 제공하는 것이면 특별히 제한하지 않는다. 상기 제1구동부재(113b)는 모터 또는 액츄에이터일 수 있으며, 기어, 밸트 또는 풀리 등의 구성에 의해 상기 제1가이드부재(113a)를 작동시킬 수 있다.
수직이동부재(114)는 상기 롤러(111)를 상부 및 하부 방향으로 이동하는 역할을 수행한다. 이를 위해 상기 수직이동부재(114)는 이동 대상이 이동하는 경로를 제공하는 제2가이드부재(114a) 및 구동력을 제공하는 제2구동부재(114b)를 포함할 수 있다. 상기 수직이동부재(114)에 의해 이동하는 대상은 롤러(111) 및/또는 롤러연결부재(112a) 및/또는 롤러회전모터(112b) 및/또는 수평이동부재(113)일 수 있다. 상기 제2가이드부재(114a)는 롤러(111)가 이동하는 경로를 따라 배치된 봉, 스크류 또는 레일 형상의 부재를 포함할 수 있고, 상기 봉, 스크류 또는 레일을 따라 이동하는 이동 부재를 포함할 수 있다. 상기 이동 부재가 상기 롤러(111) 및/또는 롤러연결부재(112a) 및/또는 롤러회전모터(112b) 및/또는 수평이동부재(113)에 결합하여, 상기 롤러(111) 및/또는 롤러연결부재(112a) 및/또는 롤러회전모터(112b) 및/또는 수평이동부재(113)가 상기 봉, 스크류 또는 레일 형상의 부재가 제공하는 경로를 따라 이동할 수 있다. 상기 제2구동부재(114b)는 상기 이동 부재가 상기 봉, 스크류 또는 레일 형상의 부재를 따라 이동하도록 구동력을 제공하는 것이면 특별히 제한하지 않는다. 상기 제2구동부재(114b)는 모터 또는 액츄에이터일 수 있으며, 기어, 밸트 또는 풀리 등의 구성에 의해 상기 제2가이드부재(114a)를 작동시킬 수 있다.
도 4를 참조하면, 상기 롤러회전부재(112)는 y축 방향, 상기 수평이동부재(113)는 x축 방향, 상기 수직이동부재(114)는 z축 방향으로 각각 배치되어 있다. 이를 통해 웨이퍼 이송부(110)가 x축 및 z축 방향으로 이동하여 웨이퍼에 y축 방향의 이동경로를 제공할 수 있게 된다.
상기 유체공급부(130)는 웨이퍼의 상면에 물 또는 CDA(Clean dried air)를 공급할 수 있다. 물을 공급하여 추가적인 세정을 수행할 수 있으며, CDA를 공급하여 건조 효율을 높일 수 있다. 이를 위해 상기 유체공급부(130)는 일단에 유체를 공급하는 노즐을 포함할 수 있다. 상기 용기(122) 내부에 웨이퍼가 공급된 경우에는 상기 노즐을 웨이퍼 상면 방향으로 이동하여 유체를 공급하고, 웨이퍼가 없는 경우에는 도 4와 같이 용기(122) 외부 방향으로 이동하여 배치됨으로써, 웨이퍼가 이송하는 데 방해가 되지 않도록 할 수 있다. 상기 유체공급부(130)는 유체 공급을 위한 펌프, 레귤레이터 및 밸브 등의 구성을 더 포함할 수 있다.
상기 웨이퍼 이송 도어(140)는 세정 모듈(200)과 건조 모듈(100) 사이에 배치된 웨이퍼 투입구를 차단하는 기능을 수행한다. 상기 세정 모듈(200)에서 웨이퍼를 세정하는 동안 사용되는 세정액이 건조 모듈(100) 내부로 유입되는 것을 방지하고, 건조 모듈(100)에서 제거된 물이 세정 모듈(200)로 유입되는 것을 방지할 수 있다. 상기 웨이퍼 이송 도어(140)는 칸막이 및 상기 칸막이를 구동하는 액츄에이터를 포함할 수 있다.
도 5 내지 7은 웨이퍼 이송부(110)의 작동 순서를 도시한 것이다.
본 발명의 실시 예를 따르는 건조 모듈(100)을 이용한 웨이퍼 건조 방법은, 핑거유닛(121) 및 용기(122)를 포함하는 웨이퍼 건조부(120); 및 웨이퍼를 이송하는 롤러(111), 상기 롤러(111)를 구동하는 롤러회전부재(112), 상기 롤러(111)를 수평방향으로 이동하는 수평이동부재(113), 및 상기 롤러(111)를 수직방향으로 이동하는 수직이동부재(114)를 포함하는 웨이퍼 이송부(110)를 포함하는 건조 모듈(100)을 이용하여 수행한다. 본 방법은, 상기 수평이동부재(113)를 이용하여 상기 롤러(111)를 상기 용기(122) 상부 방향으로 이동하는 단계; 상기 롤러(111)를 구동하여 웨이퍼를 상기 용기(122) 상부로 이동하는 단계; 상기 수직이동부재(114)를 이용하여 상기 롤러(111)를 하부 방향으로 이동하는 단계; 상기 핑거유닛(121)으로 상기 웨이퍼를 잡는 단계; 및 상기 수평이동부재(113)를 이용하여 상기 롤러(111)를 상기 용기(122) 상부로부터 이탈시키는 단계;를 포함한다. 상기 건조 모듈(100)은 앞서 설명한 것과 동일한 것일 수 있다. 본 발명의 실시 예에서, 상기 각 단계는 그 순서가 한정되는 것은 아니다.
본 방법은 웨이퍼 세정 장치(10) 또는 씨엠피 장치(1)를 제어하는 제어부에 의해 제어되어 구현될 수 있다. 보다 구체적으로 상기 제어부는 컴퓨터일 수 있고, 상기 제어부는 하드웨어에 의해 실행되는 소프트웨어 모듈이나 컴퓨터 프로그램을 실행함으로써 상기 각각의 구성요소의 작동을 구현할 수 있다. 상기 소프트웨어 모듈은 RAM(Random Access Memory), ROM(Read Only Memory), EPROM(Erasable Programmable ROM), EEPROM(Electrically Erasable Programmable ROM), 플래시 메모리(Flash Memory), 하드 디스크, 착탈형 디스크, CD-ROM, 또는 본 발명이 속하는 기술 분야에서 잘 알려진 임의의 형태의 컴퓨터 판독가능 기록매체에 상주할 수도 있다.
세정 모듈(200)에서 웨이퍼를 세정하는 동안 상기 롤러(111)는 도 4와 같이 상기 용기(122)의 외부 영역에 배치되어 대기 상태로 유지될 수 있다. 세정 모듈(200)에서 세정 공정이 완료되면 웨이퍼 이송 도어(140)가 웨이퍼 투입구를 개방하고, 세정 모듈(200) 내부의 웨이퍼가 상기 웨이퍼 투입구를 통해 건조 모듈(100) 내부로 유입된다.
웨이퍼가 건조 모듈(100) 내부로 유입되기 전에, 상기 수평이동부재(113)를 이용하여 상기 롤러(111)를 상기 용기(122) 상부 방향으로 이동하는 단계가 수행된다(도 5 참조). 본 단계에서 상기 수평이동부재(113)의 제1구동부재(113b)가 작동하여 상기 롤러(111)가 제1가이드부재(113a)를 따라 x 축 방향으로 이동하게 된다. 본 단계에서는 롤러(111)가 상부 방향에 위치하고 있는 상태이고, 핑거유닛(121)이 열림 상태이므로 핑거유닛(121)의 간섭을 방지할 수 있다.
다음으로 상기 롤러(111)를 구동하여 웨이퍼를 상기 용기(122) 상부로 이동하는 단계를 수행한다. 세정 모듈(200)에서 유입된 웨이퍼는 롤러(111)가 제공하는 경로를 따라 y축 방향으로 이동하게 되고, 경로의 끝에 있는 스토퍼에 의해 이동을 멈출 수 있다.
다음으로, 상기 수직이동부재(114)를 이용하여 상기 롤러(111)를 하부 방향으로 이동하는 단계를 수행한다(도 6 참조). 이를 통해 웨이퍼 및 롤러(111) 사이의 간섭을 완전히 배제할 수 있다. 본 단계는 상기 수직이동부재(114)의 제2구동부재(114b)를 작동하여 롤러(111)를 제2가이드부재(114a)가 제공하는 경로를 따라 z축으로 이동하여 수행할 수 있다.
다음으로 상기 핑거유닛(121)으로 상기 웨이퍼를 잡는 단계를 수행한다(도 6 참조). 핑거유닛(121)이 닫힘 상태로 되면서 핑거유닛(121)의 핀형 그리퍼가 웨이퍼의 가장자리를 파지하게 된다. 이 때, 상기 웨이퍼의 위치가 상승하여 상기 롤러(111)와 접하지 않을 수 있다.
다음으로 상기 수평이동부재(113)를 이용하여 상기 롤러(111)를 상기 용기(122) 상부로부터 이탈시키는 단계를 수행한다(도 7 참조). 본 단계는 상기 수평이동부재(113)의 제1구동부재(113b)를 작동하여 수행할 수 있다. 도 7을 참조하면, 복수의 롤러(111) 사이가 일정한 간격을 갖도록 이격하여 배치되어 있고, 상기 롤러(111)의 일단은 롤러회전부재(112)에 연결된 반면 타단은 개방되어 있기 때문에, 상기 핑거유닛(121)이 웨이퍼를 파지하고 있는 상태에서 상기 롤러(111)를 상기 웨이퍼 건조부(120)의 외부로 이동하더라도 상기 롤러(111)가 상기 핑거유닛(121)과 부딪히지 않는 다.
본 단계 이후에, 상기 수직이동부재(114)를 이용하여 상기 롤러(111)를 상부 방향으로 이동하는 단계를 수행할 수 있다. 이를 통해 세정 모듈(200)에서 웨이퍼가 유입되는 경우 즉각적으로 롤러(111)를 상기 웨이퍼 건조부(120)의 상부로 이동할 수 있다.
본 발명은 상술한 실시 형태 및 첨부된 도면에 의해 한정되는 것이 아니며 첨부된 청구범위에 의해 한정하고자 한다. 따라서, 청구범위에 기재된 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 당 기술분야의 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 형태의 치환, 변형 및 변경이 가능할 것이며, 이 또한 본 발명의 범위에 속한다고 할 것이다.
1: 씨엠피 장치, 10: 웨이퍼 세정 장치, 100: 건조 모듈, 110: 웨이퍼 이송부, 111: 롤러, 112: 롤러회전부재, 112a: 롤러연결부재, 112b: 롤러회전모터, 113: 수평이동부재, 113a: 제1가이드부재, 113b: 제1구동부재, 114: 수직이동부재, 114a: 제2가이드부재, 114b: 제2구동부재, 120: 웨이퍼 건조부, 121: 핑거유닛, 122: 용기, 123: 회전모터, 130: 유체공급부, 140: 웨이퍼 이송 도어, 200: 세정 모듈, 20: 전단이송장치, 30: 후단이송장치, 40: 연마장치

Claims (6)

  1. 웨이퍼 건조부; 및
    상기 웨이퍼 건조부 상으로 웨이퍼를 이송하는 웨이퍼 이송부;를 포함하고,
    상기 웨이퍼 이송부는,
    웨이퍼를 이송하는 롤러, 상기 롤러를 구동하는 롤러회전부재, 및 상기 롤러를 수평방향으로 이동하는 수평이동부재,를 포함하는,
    건조 모듈.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 롤러를 수직방향으로 이동하는 수직이동부재를 더 포함하는,
    건조 모듈.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 롤러회전부재는 상기 롤러에 회전력을 제공하고 상기 롤러를 지지하는 롤러연결부재 및 상기 롤러연결부재에 회전력을 제공하는 롤러회전모터를 포함하는,
    건조 모듈.
  4. 제1항의 건조 모듈을 포함하는 웨이퍼 세정 장치.
  5. 제4항의 웨이퍼 세정 장치를 포함하는 씨엠피 장치.
  6. 핑거유닛 및 용기를 포함하는 웨이퍼 건조부; 및 웨이퍼를 이송하는 롤러, 상기 롤러를 구동하는 롤러회전부재, 상기 롤러를 수평방향으로 이동하는 수평이동부재, 및 상기 롤러를 수직방향으로 이동하는 수직이동부재를 포함하는 웨이퍼 이송부를 포함하는 건조 모듈을 이용한 웨이퍼 건조 방법에 있어서,
    상기 수평이동부재를 이용하여 상기 롤러를 상기 용기 상부 방향으로 이동하는 단계;
    상기 롤러를 구동하여 웨이퍼를 상기 용기 상부로 이동하는 단계;
    상기 수직이동부재를 이용하여 상기 롤러를 하부 방향으로 이동하는 단계;
    상기 핑거유닛으로 상기 웨이퍼를 잡는 단계; 및
    상기 수평이동부재를 이용하여 상기 롤러를 상기 용기 상부로부터 이탈시키는 단계;를 포함하는,
    건조 모듈을 이용한 웨이퍼 건조 방법.

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