KR102398266B1

KR102398266B1 - 얼라인 기능이 구비된 가스공급장치

Info

Publication number: KR102398266B1
Application number: KR1020210093577A
Authority: KR
Inventors: 박용건; 이상욱; 김용철; 서철교; 김상진
Original assignee: 주식회사 케이씨
Priority date: 2020-03-24
Filing date: 2021-07-16
Publication date: 2022-05-17
Also published as: TWI777241B; KR20210102125A; TW202136677A; CN113446515A; CN113446515B; KR102292288B1

Abstract

본 발명은 수직방향으로 승하강 가능함과 동시에 수평방향 이송시 얼라인이 이루어지도록 함으로써 얼라인부의 파손을 방지할 수 있는 가스공급장치를 제공하고자 함에 그 목적이 있다. 이를 구현하기 위한 본 발명의 가스공급장치는, 용기의 상단에 구비된 밸브부로부터 상측에 고정되도록 설치된 메인플레이트를 구비한 상부모듈; 상기 밸브부에 구비된 밸브 커넥터를 덮는 커버를 상기 밸브 커넥터로부터 분리하는 커버 분리부와, 가스 소요처에 연결되는 연결배관 커넥터를 상기 밸브 커넥터에 연결하기 위한 커넥터 체결부와, 수평방향으로 이송시 상기 밸브부에 구비된 제1얼라인부와의 결합에 의해 상기 용기의 얼라인이 이루어지는 제2얼라인부를 포함하되, 상기 상부모듈에 대하여 수직방향으로 승하강이 가능한 하부모듈을 포함한다.

Description

얼라인 기능이 구비된 가스공급장치{Gas supply apparatus having align function}

본 발명은 가스공급장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 가스 저장 용기의 교체시 가스 저장 용기의 밸브 커넥터와 가스소요처에 연결되는 연결배관 커넥터를 체결하기 전에 가스 저장 용기를 얼라인할 수 있는 가스공급장치에 관한 것이다.

일반적으로 가스를 이용하는 장치, 특히, 반도체장비와 같이 정밀한 작업이 수행되는 가스소요처에 가스를 공급하는 장치의 경우, 각각의 목적에 적합한 종류의 가스가 일정한 농도와 압력 등을 만족할 것이 요구된다.

이를 효율적으로 제공하기 위해 많은 종류의 가스가 고압 상태로 보관되며, 특히 가연성, 독성, 부식성 등의 유해 성질을 가지는 가스는 인적이 차단된 별도의 공간에서 엄중하게 관리된다.

가스를 보관하는 가스 저장 용기(이하, '용기'라 약칭함)는 가스소요처에 연결되며, 용기에 보관된 가스가 모두 소모되면, 가스소요처에 연결된 연결배관을 가스용기의 밸브로부터 분리하여 용기를 교체한 후 교체된 용기의 밸브 커넥터에 가스소요처에 연결된 연결배관 커넥터를 결합시켜 가스를 다시 공급하게 된다.

이와 같이 용기를 교체하는 경우 작업자가 용기를 용기 적재부의 정위치에 올려 놓아야 하지만, 용기를 정위치에 올려놓기 위한 자동화 장치가 구비되지 않으면, 작업자가 가스통을 정확히 정위치에 올려놓기가 어려운 문제점이 있다.

물론, 자동화 장치를 구비하게 되면, 용기를 정위치에 올려 놓는 것이 가능하지만, 장치의 구성이 복잡하고, 제조비용이 높은 문제점이 있다.

반도체 장비의 가스공급장치에 대한 종래기술로서, 대한민국 등록특허 제10-0242982호가 공개되어 있다.

본 발명은 상술한 제반 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 수직방향으로 승하강 가능함과 동시에 수평방향 이송시 얼라인이 이루어지도록 함으로써 얼라인부의 파손을 방지할 수 있는 가스공급장치를 제공하고자 함에 그 목적이 있다.

본 발명의 다른 목적은 수평방향 이송시 얼라인부의 회전이 가능하도록 함으로써 보다 정확한 얼라인이 이루어지도록 하는 가스공급장치를 제공하고자 함에 있다.

상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명의 얼라인 기능이 구비된 가스공급장치는, 용기의 상단에 구비된 밸브부로부터 상측에 설치된 메인플레이트를 구비한 상부모듈; 상기 밸브부에 구비된 밸브 커넥터를 덮는 커버를 상기 밸브 커넥터로부터 분리하는 커버 분리부와, 가스 소요처에 연결되는 연결배관 커넥터를 상기 밸브 커넥터에 연결하기 위한 커넥터 체결부를 포함하는 하부모듈; 상기 밸브부에 결합된 고정블럭;을 포함하고, 상기 고정블럭에 구비된 제1결합부와, 상기 하부모듈에 구비된 제2결합부가 결합되어 상기 고정블럭과 상기 하부모듈의 결합된 상태가 유지된다.

상기 제2결합부는 상기 하부모듈의 외측에 구비된 측면 하우징에 결합된 얼라인 블럭에 구비될 수 있다.

상기 제2결합부는 상기 얼라인 블럭에서 상기 밸브부를 향하는 면에 구비될 수 있다.

상기 제2결합부는 상기 얼라인 블럭에서 상기 제1결합부를 향해 돌출된 고정블럭 결합부재로 이루어질 수 있다.

상기 제1결합부는 상기 고정블럭 결합부재가 삽입되도록 상기 고정블럭에 형성된 고정홈으로 이루어지고; 상기 고정블럭 결합부재가 상기 고정홈에 삽입되면, 상기 고정블럭 결합부재가 상기 고정홈으로부터 빠짐이 방지되고, 에어를 공급하면 상기 고정블럭 결합부재가 상기 고정홈으로부터 빠지도록 구비될 수 있다.

상기 고정블럭은, 가스의 공급을 단속하기 위한 밸브가 개폐되도록 하는 핸들이 상부로 노출되고, 상기 밸브 커넥터가 상기 연결배관 커넥터가 위치한 방향으로 노출되도록 상기 밸브부를 감싸는 제1고정블럭과 제2고정블럭으로 이루어질 수 있다.

상기 제1고정블럭은 수평방향의 길이를 갖되, 상기 수평방향의 일측부가 상기 밸브부를 감싸고, 상기 수평방향의 타측부에 상기 제1결합부가 구비될 수 있다.

본 발명에 의하면, 하부모듈이 수직방향으로 승하강 가능함과 동시에 수평방향 이송시 얼라인이 이루어지도록 함으로써 얼라인부의 파손을 방지할 수 있다.

또한, 하부모듈이 상부모듈에 대하여 회전 가능하도록 함으로써 얼라인이 보다 정확하게 이루어질 수 있다.

또한, 작업자가 용기를 용기 적재부의 정확한 위치에 올려 놓지 않더라도 용기의 정확한 얼라인이 이루어질 수 있으므로, 작업이 편리해진다.

도 1은 본 발명의 가스공급장치를 보여주는 사시도
도 2는 본 발명의 가스공급장치에서 용기에 밸브고정모듈이 결합된 상태를 보여주는 사시도
도 3은 본 발명의 가스공급장치의 상부모듈을 보여주는 사시도
도 4는 본 발명의 가스공급장치의 하부모듈을 보여주는 사시도
도 5는 본 발명의 가스공급장치에서 플러그 모듈과 가스켓 공급부를 보여주는 사시도
도 6은 본 발명의 가스공급장치에서 제1얼라인부와 제2얼라인부가 대향하도록 위치된 상태를 보여주는 평면도
도 7은 도 6의 상태에서 하부모듈을 전진시켜 제1얼라인부와 제2얼라인부가 결합된 상태를 보여주는 평면도
도 8은 도 7의 상태에서 커버 분리부가 전진하여 커버에 결합된 상태를 보여주는 평면도
도 9는 도 8의 상태에서 커넥터 체결부가 밸브 커넥터에 대향하도록 위치된 상태를 보여주는 평면도
도 10은 도 9의 상태에서 가스켓 공급부로부터 밸브 커넥터에 가스켓이 공급되는 상태를 보여주는 평면도
도 11은 도 10의 상태에서 가스켓 홀더가 이동하고, 커넥터 체결부와 밸브 커넥터가 연결된 상태를 보여주는 평면도

이하 본 발명에 대하여 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.

여기서 방향을 지칭함에 있어서, 도 1에 도시된 X축은 좌우 방향, Y축은 전후 방향, Z축은 수직방향이라 한다. 또한, 수평 방향이라 함은 XY평면에 의해 이루어지는 상기 좌우 방향과 전후 방향이 포함된다.

도 1을 참조하면, 본 발명의 얼라인 기능이 구비된 가스공급장치(1)는, 용기(10)의 상단에 구비된 밸브부로부터 상측에 고정되도록 설치된 메인플레이트(211)를 구비한 상부모듈(2), 상기 상부모듈(2)의 하부에 구비되고 수평방향 이송시 상기 용기(10) 측에 구비된 제1얼라인부(530; 도 2)와의 결합에 의해 상기 용기(10)의 얼라인이 이루어지는 제2얼라인부(351; 도 4)를 포함하되 상기 상부모듈(2)에 대하여 수직방향으로 승하강이 가능한 하부모듈(3)을 포함하여 이루어진다.

도 2를 참조하면, 상기 용기(10)는 반도체장치 등의 가스소요처에 공급되는 공정 가스를 저장하여 공급하기 위한 구성으로, 용기(10)의 상부에는 상기 밸브부가 구비된다.

상기 밸브부는, 가스의 공급을 단속하기 위한 밸브(20)와, 상기 밸브(20)의 일측에 구비되어 커넥터 체결부(330)에 체결되는 밸브 커넥터(30)와, 상기 밸브 커넥터(30)의 덮는 커버(31)와, 상기 밸브(20)를 개폐하는 밸브 셔터(40)와, 상기 밸브 셔터(40)의 상부에 연결되어 회전됨에 따라 밸브 셔터(40)를 승강시켜 밸브(20)가 개폐되도록 하는 핸들(50)을 포함하여 구성된다.

상기 밸브부에는 고정블럭(510,520)이 결합되어 있다. 상기 고정블럭(510,520)에는 상기 제1얼라인부(530)가 구비되어 있다.

상기 고정블럭(510,520)은 상기 밸브부를 감싸는 제1고정블럭(510)과 제2고정블럭(520)으로 이루어질 수 있다.

상기 제1고정블럭(510)과 제2고정블럭(520)의 결합에 의해 상기 밸브부를 감싸게 되면, 상기 밸브부 중 상기 밸브 커넥터(30) 및 커버(31)가 상기 고정블럭(510,520)에 대하여 측방향으로 돌출되어 노출되고, 상기 밸브부 중 상기 핸들(50)이 상기 고정블럭(510,520)에 대하여 상방향으로 돌출되어 노출된다.

상기 제1고정블럭(510)은 수평방향의 길이를 갖되, 상기 수평방향의 일측부가 상기 밸브부를 감싸고, 상기 수평방향의 타측부에 상기 제1얼라인부(530)가 구비되어 있다.

상기 제1고정블럭(510)의 일측부는 상기 밸브부가 수용되도록 홈이 형성되어 있고, 상기 홈에 상기 밸브부가 수용된 상태에서 상기 제2고정블럭(520)을 이용하여 상기 밸브부를 감싸도록 한 후, 결합핀(540)을 이용하여 제1고정블럭(510)과 제2고정블럭(520)이 결합된 상태를 유지하도록 되어 있다.

상기 제1얼라인부(530)는 상기 제1고정블럭(510)의 측면에서 상기 밸브 커넥터(30)와 같은 방향인 X축 방향으로 돌출되어 수평방향의 길이를 갖는 얼라인핀(530)으로 이루어질 수 있다.

상기 제2얼라인부(351)는 후술하는 하부모듈(3)의 얼라인 블럭(350; 도 4)에 형성된 얼라인핀 삽입홈(351)으로 이루어질 수 있다.

상기 얼라인핀(530)이 상기 얼라인핀 삽입홈(351)에 삽입되도록 함으로써 상기 용기(10)의 얼라인이 이루어진다.

본 실시예에서는 제1얼라인부(530)가 얼라인핀으로 이루어지고, 제2얼라인부(351)가 얼라인핀 삽입홈으로 이루어진 것으로 예시하였으나, 제1얼라인부를 얼라인핀 삽입홈으로 구성하고, 제2얼라인부를 얼라인핀으로 구성할 수도 있다.

또한, 본 실시예에서는 얼라인핀이 얼라인핀 삽입홈에 삽입되는 것으로 예시하였으나, 이에 한정되지 않고 제1얼라인부와 제2얼라인부가 체결 또는 결합되는 것으로 구성할 수도 있다. 상기 제1얼라인부와 제2얼라인부가 삽입, 체결, 결합되는 방식을 통칭하여 '결합'으로 정의한다.

상기 제1고정블럭(510)에는 상기 제1얼라인부(530)에 인접한 위치에 제1결합부(511)가 구비되어 있고, 상기 제1결합부(511)와 결합이 이루어지는 제2결합부(352)가 상기 하부모듈(3)에 구비되어 있다.

상기 제1결합부(511)는 상기 제1고정블럭(510)에서 상기 제1얼라인부(530)가 형성된 면과 같은 면에 X방향을 따라 오목하게 형성된 고정홈(511)으로 이루어질 수 있다.

상기 제2결합부(352)는 상기 제2얼라인부(351)에 인접한 위치의 얼라인 블럭(350)에서 상기 제1결합부(511)를 향하여 돌출된 고정블럭 결합부재(352)로 이루어질 수 있다.

상기 고정블럭 결합부재(352)의 외측면에는 복수의 돌기(352a)가 구비되고, 상기 복수의 돌기(352a)는 내부에 구비된 스프링(미도시)에 의해 탄성지지되어 있다. 상기 고정홈(511)의 내부에는 상기 돌기(352a)가 삽입되는 돌기삽입홈(미도시)이 형성되어 있다. 상기 고정블럭 결합부재(352)가 상기 고정홈(511)에 삽입되면, 상기 돌기(352a)가 상기 돌기삽입홈에 삽입되어, 상기 고정블럭 결합부재(352)가 상기 고정홈(511)으로부터 빠짐이 방지되어, 상기 하부모듈(3)이 상기 제1고정블럭(510)에 결합된 상태를 유지할 수 있다.

상기 고정블럭 결합부재(352)를 고정홈(511)으로부터 빼내는 경우에는 에어(air)를 공급하여 상기 돌기(352a)가 상기 스프링의 탄성력을 극복하고 고정블럭 결합부재(352)의 표면으로부터 내측으로 들어가도록 하면, 상기 돌기(352a)가 상기 돌기삽입홈으로부터 빠져나온다. 따라서 상기 고정블럭 결합부재(352)가 고정홈(511)으로부터 빠질 수 있게 된다.

도 3을 참조하면, 상기 상부모듈(2)에는, 상기 메인플레이트(211), 중간플레이트(212), 하부플레이트(213), 제1이송가이드(220), 제2이송가이드(230), 제3이송가이드(241,242)가 구비되어 있다.

상기 메인플레이트(211)는 평판 형상으로 이루어진 것으로서, 도시되지 않은 캐비넷과 같이 위치가 고정된 상대물에 결합되어 있다.

상기 중간플레이트(212)는 상기 메인플레이트(211)의 하부에 이격되도록 구비되고, 상기 하부플레이트(213)는 상기 중간플레이트(212)의 하부에 이격되도록 구비되어 있다.

상기 제1이송가이드(220)는 상기 메인플레이트(211)와 중간플레이트(212) 사이에 구비되어, 상기 중간플레이트(212)와 제2이송가이드(230)와 하부플레이트(213) 및 하부모듈(3)을 포함하여 상기 중간플레이트(212)의 하부에 연결된 모든 부품을 수평방향인 X축 방향(제1방향)으로 이송되도록 가이드하는 LM가이드로 이루어질 수 있다.

상기 제2이송가이드(230)는 상기 중간플레이트(212)와 하부플레이트(213) 사이에 구비되어, 상기 하부플레이트(231) 및 하부모듈(3)을 포함하여 상기 하부플레이트(231)의 하부에 연결된 모든 부품을 수평방향으로서 X축에 직교하는 Y축 방향(제2방향)으로 이송되도록 가이드하는 LM가이드로 이루어질 수 있다.

상기 하부플레이트(213)에는 한 쌍의 이송가이드 결합플레이트(243,244)가 결합되어 있고, 상기 한 쌍의 이송가이드 결합플레이트(243,244) 각각에는 한 쌍의 제3이송가이드(241,242)가 각각 결합되어 있다.

상기 한 쌍의 이송가이드 결합플레이트(243,244)는 상기 하부플레이트(213)의 일측과 타측에 서로 대향하도록 구비되어 있고, 상하 방향의 길이를 갖는 플레이트 형상으로 이루어져 있다.

상기 제3이송가이드(241,242)의 하부에는 상기 하부모듈(3)이 결합되어 있고, 상기 제3이송가이드(241,242)는 상기 하부모듈(3)이 수직방향으로 이송되도록 가이드하는 LM가이드로 이루어질 수 있다.

상기 한 쌍의 제3이송가이드(241,242)의 하단부에는 한 쌍의 이송가이드 지지부재(251,252)가 각각 결합되어 있다.

상기 제1 내지 제3이송가이드(220,230,241,242)에는 구동수단이 연결되지 않고, 작업자가 수동으로 이송할 수 있도록 가이드 기능만 한다. 즉, 작업자가 하부모듈(3)을 손으로 잡고 X축, Y축, Z축 방향으로 힘을 가하게 되면 힘이 가해진 방향으로 각각의 이송가이드를 따라 하부모듈(3)이 이송된다.

한편, 상기 제1 내지 제3이송가이드(220,230,241,242)에는 브레이크 기능을 하는 제동부가 구비될 수 있다.

상기 제1이송가이드(220)에 의해 가이드되어 제1방향으로 이송되는 경우 특정 위치에서 정지 상태를 유지하기 위한 브레이크 기능을 수행하는 수평방향 제동부(미도시)가 구비될 수 있다. 또한, 상기 제2이송가이드(230)에 의해 제2방향으로 이송되는 경우 특정 위치에서 정지 상태를 유지하기 위한 브레이크 기능을 수행하는 수평방향 제동부(미도시)가 구비될 수 있다. 또한, 상기 제3이송가이드(241,242)에 의해 수직방향으로 이송되는 경우 특정 위치에서 정지 상태를 유지하기 위한 브레이크 기능을 수행하는 수직방향 제동부(260)가 구비될 수 있다.

이 경우 상기 수평방향 제동부는 상기 제1이송가이드(220)와 제2이송가이드(230) 각각에 구비될 수도 있고, 둘 중 어느 하나에만 구비될 수도 있다.

상기 수평방향 제동부와 수직방향 제동부(260)는 작업자가 하부모듈(3)을 제1이송가이드(220)와 제2이송가이드(230), 제3이송가이드(241,242)를 따라 이송시킨 후 버튼(미도시)을 누르게 되면 에어(air)가 공급되어 이송가이드가 움직이지 않도록 고정되어 이송된 위치에서 하부모듈(3)의 위치를 고정된 상태를 유지할 수 있다.

상기 한 쌍의 이송가이드 지지부재(251,252)는 단면이 ㄴ자 형상으로서 대칭되는 형상이 되도록 서로 대향하도록 구비되어 있다. 상기 이송가이드 지지부재(251,252)의 몸체부(251a,252a)의 상단부는 상기 제3이송가이드(241,242)의 하단부에 결합되어 있고, 하단부는 하부모듈(3)의 상단부에 결합되어 있다.

상기 일측의 이송가이드 지지부재(251)의 바닥부(251b)와 상기 하부모듈(3)은 고정핀(253)에 의해 결합되어 있다. 상기 고정핀(253)은 상기 이송가이드 지지부재(251)에 대하여 자전(自轉) 가능하도록 결합되어 있다.

상기 타측의 이송가이드 지지부재(252)의 바닥부(252b)에는 원호 형상의 가이드홈(252c)이 형성되어 있고, 상기 하부모듈(3)의 상부에 결합된 가이드핀(254)이 상기 가이드홈(252c)에 삽입되어 있다. 상기 가이드핀(254)은 상기 가이드홈(252c) 내부에서 이동 가능하게 되어 있다.

이와 같이 구성하게 되면, 작업자가 하부모듈(3)에 회전되는 방향으로 힘을 가하게 되면, 하부모듈(3)이 상기 고정핀(253)을 회전 중심으로 하여 회전하게 된다. 이 경우 상기 가이드핀(254)이 가이드홈(252c) 내에서 가이드되어 회전각도가 제한된다.

도 4를 참조하면, 상기 하부모듈(3)에는 복수의 하우징(311,312,312)과 커버 분리부(320)와 커넥터 체결부(330)와 이송수단(340)과 얼라인블럭(350)과 플러그모듈(360)과 개스킷 공급부(370) 및 회전수단(380)이 구비되어 있다.

상기 복수의 하우징(311,312,312)은, 상기 하부모듈(3)의 상부에 플레이트 형상으로 구비된 상부하우징(311), 상기 상부하우징(311)의 양측에 각각 결합된 제1측면하우징(312)과 제2측면하우징(313)으로 이루어진다.

상기 상부하우징(311)에는 상부모듈(2)의 고정핀(253)과 가이드핀(254)이 결합되어 있다. 상기 상부하우징(311)과 제1,제2측면하우징(312,313)은 상기 하부모듈(3)의 상부와 외측 둘레의 일부를 둘러싸도록 구비되어 있다.

상기 커버 분리부(320)는 상기 밸브부에 구비된 밸브 커넥터(30)를 덮는 커버(31)를 상기 밸브 커넥터(30)로부터 분리한다.

상기 커버 분리부(320)는 상기 커버(31)를 내부에 삽입되도록 홈이 형성되어 있고, 상기 커버(31)가 상기 커버 분리부(320)의 홈에 삽입된 상태에서 상기 회전수단(380)을 구동시켜 상기 커버 분리부(320)를 회전시키면, 상기 밸브 커넥터(30)로부터 상기 커버(31)가 분리된다. 이와 반대로 상기 커버 분리부(320)에 분리되어 있던 커버(31)를 상기 회전수단(380)을 구동시켜 상기 밸브 커넥터(30)에 결합시킬 수 있다.

상기 커넥터 체결부(330)는 가스 소요처에 연결되는 연결배관 커넥터(331)를 상기 밸브 커넥터(30)에 연결할 수 있도록 구비되어 있다. 상기 커넥터 체결부(330)와 밸브 커넥터(30)가 연결된 상태에서 밸브(20)를 개방시키면, 용기(10) 내부의 가스가 밸브 커넥터(30)와 커넥터 체결부(330)를 통해 가스 소요처에 공급된다.

상기 이송수단(340)은 상기 커버 분리부(320)와 커넥터 체결부(330)를 일체로 좌우 방향(X축 방향)과 전후 방향(Y축 방향)으로 이송한다.

상기 이송수단(340)은, 상기 커버 분리부(320)와 커넥터 체결부(330)를 일체로 전후 방향으로 이송시키기 위한 제1이송수단과, 상기 커버 분리부(320)와 커넥터 체결부(330)를 일체로 좌우 방향으로 이송시키기 위한 제2이송수단으로 이루어질 수 있다.

상기 제1이송수단은 전후 방향을 따라 이송되도록 하기 위한 이송가이드와 에어(air)의 공급에 의해 이송력을 인가하기 위한 에어실린더로 이루어질 수 있다. 또한, 상기 제2이송수단은 좌우 방향을 따라 이송되도록 하기 위한 이송가이드와 에어(air)의 공급에 의해 이송력을 인가하기 위한 에어실린더로 이루어질 수 있다.

상기 회전수단(380)은, 상기 커버 분리부(320)와 커넥터 체결부(330)를 회전시킨다. 상기 회전수단(380)은, 회전력을 발생시키는 모터와 감속기를 포함하고, 상기 회전력을 상기 커버 분리부(320)와 커넥터 체결부(330)에 전달하기 위한 회전전달부재를 포함한다.

상기 회전전달부재는 상기 회전력을 커버 분리부(320)와 커넥터 체결부(330)에 각각 전달하고, 상기 모터가 구동되면 상기 커버 분리부(320)와 커넥터 체결부(330)가 동시에 회전하게 된다. 이와 달리, 상기 회전수단(380)은 2개의 모터를 구비하고, 상기 2개의 모터를 이용하여 상기 커버 분리부(320)와 커넥터 체결부(330)가 각각 회전되도록 구성할 수도 있다.

상기 이송수단(340)과 상기 회전수단(380)을 제어하기 위한 제어부가 구비되어 있다.

상기 얼라인블럭(350)은 상기 제2측면하우징(313)의 전방 단부에서 돌출되도록 결합되어 있고, 대략 4각통 형상으로 이루어져 있다. 상기 얼라인블럭(350)의 전방면에는 제2얼라인부(351)인 얼라인핀 삽입홈(351)이 형성되어 있고, 상기 얼라인핀 삽입홈(351)의 하측에는 상기 제2결합부(352)인 고정블럭 결합부재(352)가 상기 밸브부를 향하여 돌출된 형상으로 형성되어 있다.

도 4와 도 5를 참조하여 플러그모듈(360)과 개스킷 공급부(370)에 대하여 설명한다.

상기 플러그모듈(360), 밸브 커넥터(30)와 커넥터 체결부(330)가 체결되지 않은 상태에서 커넥터 체결부(330) 내부에 이물질이 유입되는 것을 방지하기 위해 커넥터 체결부(330)에 결합되는 플러그(361), 상기 플러그(361)의 단부를 지지하기 위한 플러그 지지부재(362), 상기 플러그 지지부재(362)가 결합되어 지지되는 플러그 지지 하우징(363), 상기 플러그(361)와 플러그 지지부재(362) 및 플러그 지지 하우징(363)을 일체로 전후 방향으로 이송하기 위한 플러그 이송가이드(364), 상기 플러그 이송가이드(364)가 결합되어 지지되고 상기 상부하우징(311)에 결합된 플러그 모듈 지지대(314)를 포함하여 이루어진다.

상기 개스킷 공급부(370)는 용기(10)의 교체시 상기 연결배관 커넥터(331)에 새로운 개스킷을 장착하기 위한 것으로서, 개스킷(371)을 파지하는 개스킷 홀더(372), 복수의 개스킷(371)을 수용하는 개스킷 수용부(373), 상기 개스킷 수용부(373)에 수용된 개스킷(371)을 상기 연결배관 커넥터(331)에 장착하기 위해 이송하는 개스킷 이송수단(374)을 포함하여 이루어진다. 상기 개스킷 이송수단(374)은 상기 개스킷 홀더(372)에 개스킷(371)이 파지된 상태에서 X축 방향을 따라 왕복 이동하도록 구비되어 있다.

도 6 내지 도 11을 참조하여 본 발명에 의한 가스공급장치의 동작에 대해 설명한다.

먼저, 용기(10)를 교체하기 위해 용기(10)를 용기 적재부(미도시) 위에 적재한다.

그 다음 작업자가 하부모듈(3)을 전후 방향, 좌우 방향, 상하 방향으로 움직여 도 6에 나타난 바와 같이, 제2얼라인부(351)가 제1얼라인부(530)와 마주보도록 얼라인이 이루어진다.

이와 같이 얼라인을 하기 위해 작업자가 하부모듈(3)에 전후 방향, 좌우 방향, 상하 방향으로 힘을 가하게 되면 하부모듈(3)이 힘이 가해진 방향으로 각각의 이송가이드(220,230,241,242)를 따라 이송된다.

또한, 작업자가 하부모듈(3)에 수평방향으로 회전되도록 힘을 가하게 되면, 고정핀(253)을 회전 중심으로 하여 가이드핀(254)이 가이드홈(252c) 내부를 따라 회전하게 되어, 하부모듈(3)을 XY평면 상에서 회전시켜 얼라인이 이루어지게 된다.

따라서 작업자가 하부모듈(3)을 전후 방향, 좌우 방향, 상하 방향 뿐만 아니라 수평방향으로 회전하도록 힘을 가할 수 있어, 제1얼라인부(530)와 제2얼라인부(351)를 손쉽게 얼라인시킬 수 있다.

도 6의 상태에서 하부모듈(3)을 Y축 방향인 전방으로 더 밀면, 도 7에 나타난 바와 같이, 제2얼라인부(351)인 얼라인핀 삽입홈(351)에 제1얼라인부(530)인 얼라인핀(530)이 삽입된다. 이 경우 제1결합부(511)와 제2결합부(352)가 결합되어, 하부모듈(3)과 고정블럭(510,520)이 분리되는 것을 방지할 수 있다. 또한, 커버분리부(320)가 커버(31)와 마주보도록 위치하게 된다.

도 7의 상태에서 이송수단(340)의 제1이송수단을 구동하여 커버 분리부(320)를 전방으로 이동시키면, 도 8에 나타난 바와 같이, 커버 분리부(320)에 커버(31)가 삽입된다. 이 경우 커버 분리부(320)를 Y축 방향인 전방으로 이동시키고, 회전수단(380)을 구동하여 커버 분리부(320)를 회전시켜, 커버 분리부(320)에 커버(31)가 삽입되도록 구성할 수도 있다.

상기 커버 분리부(320)에 커버(31)가 삽입되면, 도 8 내지 도 11에 나타난 동작은 제어부에 의해 제어되어 자동으로 동작이 이루어진다.

상기 제어부에 의해 회전수단(380)이 구동되어 커버 분리부(320)를 회전시킴과 동시에, 상기 제1이송수단을 구동하여 커버 분리부(320)를 후방으로 이동시키면, 커버(31)가 밸브 커넥터(30)로부터 분리된다.

상기 커버(31)가 밸브 커넥터(30)로부터 분리된 후 이송수단(340)의 제2이송수단을 구동하면, 도 9에 나타난 바와 같이 커버 분리부(320)와 커넥터 체결부(330)가 일체로 X축 방향을 따라 이동하여 커넥터 체결부(330)와 밸브 커넥터(30)가 마주보도록 위치하게 된다.

도 9의 상태에서 개스킷 이송수단(374)을 구동하면, 도 10에 나타난 바와 같이 개스킷 홀더(372)에 개스킷(371)이 파지된 상태에서 X축 방향을 따라 이송되어 밸브 커넥터(30)의 단부에 개스킷(371)이 위치하게 된다.

도 10의 상태에서 이송수단(340)의 제1이송수단을 구동하여 커넥터 체결부(330)를 전방으로 이송함과 동시에 회전수단(380)을 구동하여 커넥터 체결부(330)가 회전하게 되면, 도 11에 나타난 바와 같이 커넥터 체결부(330)의 연결배관 커넥터(331)에 밸브 커넥터(30)가 결합되고, 개스킷 이송수단(374)을 구동하여 개스킷 홀더(372)는 밸브 커넥터(30)로부터 벗어난 위치로 이동하게 된다.

상기와 같은 과정을 통해 연결배관 커넥터(331)에 밸브 커넥터(30)가 결합된 상태에서, 핸들(50)을 회전시켜 밸브(20)를 개방하여 용기(1)에 수용된 가스가 가스소요처에 공급된다.

이 경우 상기 핸들(50)을 회전시키기 위한 핸들 회전부(미도시)가 더 구비될 수 있고, 상기 핸들 회전부는 제어부에 의해 위치 제어가 이루어져, 상기 핸들(50)을 자동으로 개방시키는 것으로 구성할 수 있다.

상기와 같은 구성에 의하면, 하부모듈(3)이 수직방향으로 승하강 가능함과 동시에 수평방향 이송시 얼라인이 이루어지도록 함으로써 제1얼라인부와 제2얼라인부의 파손을 방지할 수 있다. 또한, 하부모듈(3)이 상부모듈(2)에 대하여 회전 가능하도록 함으로써 얼라인이 보다 정확하게 이루어질 수 있다. 또한, 작업자가 용기(10)를 용기 적재부의 정확한 위치에 올려 놓지 않더라도 용기의 정확한 얼라인이 이루어질 수 있으므로, 작업이 편리해진다.

전술한 바와 같이 본 발명에 대하여 바람직한 실시예를 들어 상세히 설명하였지만, 본 발명은 전술한 실시예들에 한정되는 것이 아니고, 특허청구범위와 발명의 상세한 설명 및 첨부한 도면의 범위 안에서 여러 가지로 변형하여 실시하는 것이 가능하고 이 또한 본 발명에 속한다.

1 : 가스공급장치 2 : 상부모듈
3 : 하부모듈 10 : 용기
20 : 밸브 30 : 밸브 커넥터
31 : 커버 40 : 밸브 셔터
50 : 핸들 211 : 메인플레이트
212 : 중간플레이트 213 : 하부플레이트
220 : 제1이송가이드 230 : 제2이송가이드
241,242 : 제3이송가이드 243,244 : 이송가이드 결합플레이트
251,252 : 이송가이드 지지부재 251a, 252a : 몸체부
251b, 252b : 바닥부 252c : 가이드홈
253 : 고정핀 254 : 가이드핀
311 : 상부하우징 312 : 제1측면하우징
313 : 제2측면하우징 314 : 플러그모듈 지지대
320 : 커버 분리부 330 : 커넥터 체결부
331 : 연결배관 커넥터 340 : 이송수단
350 : 얼라인블럭 351 : 제2얼라인부
352 : 제2결합부 352a : 돌기
360 : 플러그모듈 361 : 플러그
370 : 개스킷 공급부 371 : 개스킷
372 : 개스킷 홀더 374 : 개스킷 이동수단
380 : 회전수단 510, 520 : 고정블럭
511 : 제1결합부 530 : 제1얼라인부
540 : 결합핀

Claims

용기의 상단에 구비된 밸브부로부터 상측에 설치된 메인플레이트를 구비한 상부모듈;
상기 밸브부에 구비된 밸브 커넥터를 덮는 커버를 상기 밸브 커넥터로부터 분리하는 커버 분리부와, 가스 소요처에 연결되는 연결배관 커넥터를 상기 밸브 커넥터에 연결하기 위한 커넥터 체결부를 포함하는 하부모듈;
상기 밸브부에 결합된 고정블럭;
을 포함하고,
상기 하부모듈의 수평방향 이동시 상기 고정블럭에 구비된 제1결합부와 상기 하부모듈에 구비된 제2결합부가 수평방향으로 삽입 결합되되, 돌기가 돌기삽입홈에 삽입됨으로써 상기 제1결합부와 제2결합부의 빠짐이 방지되도록 결합되어 상기 고정블럭과 상기 하부모듈의 결합된 상태가 유지되고, 에어의 공급 여부에 따라 상기 돌기가 상기 돌기삽입홈으로부터 빠짐으로써 상기 제2결합부와 상기 제1결합부의 결합이 해제되는 가스공급장치.
제1항에 있어서,
상기 제2결합부는 상기 하부모듈의 외측에 구비된 측면 하우징에 결합된 얼라인 블럭에 구비된 것을 특징으로 하는 가스공급장치
제2항에 있어서,
상기 제2결합부는 상기 얼라인 블럭에서 상기 밸브부를 향하는 면에 구비된 것을 특징으로 하는 가스공급장치
제2항에 있어서,
상기 제2결합부는 상기 얼라인 블럭에서 상기 제1결합부를 향해 돌출된 고정블럭 결합부재로 이루어진 가스공급장치
제4항에 있어서,
상기 제1결합부는 상기 고정블럭 결합부재가 삽입되도록 상기 고정블럭에 형성된 고정홈으로 이루어지고;
상기 고정블럭 결합부재가 상기 고정홈에 삽입되면, 상기 고정블럭 결합부재가 상기 고정홈으로부터 빠짐이 방지되고, 에어를 공급하면 상기 고정블럭 결합부재가 상기 고정홈으로부터 빠질 수 있는 것을 특징으로 하는 가스공급장치
제1항에 있어서,
상기 고정블럭은, 가스의 공급을 단속하기 위한 밸브가 개폐되도록 하는 핸들이 상부로 노출되고, 상기 밸브 커넥터가 상기 연결배관 커넥터가 위치한 방향으로 노출되도록 상기 밸브부를 감싸는 제1고정블럭과 제2고정블럭으로 이루어진 것을 특징으로 하는 가스공급장치
제6항에 있어서,
상기 제1고정블럭은 수평방향의 길이를 갖되, 상기 수평방향의 일측부가 상기 밸브부를 감싸고, 상기 수평방향의 타측부에 상기 제1결합부가 구비된 것을 특징으로 하는 가스공급장치