KR20220140377A - 가스공급장치와 개스킷 교체 방법 - Google Patents

가스공급장치와 개스킷 교체 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 개스킷이 용기의 밸브 커넥터에 붙어 개스킷이 이중으로 삽입되는 것을 방지할 수 있는 가스공급장치와 개스킷 교체 방법을 제공하고자 함에 그 목적이 있다. 이를 구현하기 위한 본 발명의 개스킷 교체 방법은, a) 용기에 구비된 밸브 커넥터와 가스 소요처에 연결되는 연결배관 커넥터가 개스킷을 사이에 두고 결합되는 단계; b) 상기 밸브 커넥터와 연결배관 커넥터의 결합을 해제하는 단계; c) 상기 밸브 커넥터와 연결배관 커넥터 사이에서 상기 개스킷을 분리한 후 이송하는 이송하는 단계;를 포함하고, 상기 a) 내지 c) 단계가 수행되는 과정에 개스킷 홀더가 상기 개스킷을 파지하고, 상기 개스킷을 파지한 개스킷 홀더와 상기 연결배관 커넥터를 동시에 이송시키는 단계가 포함된다.

Description

가스공급장치와 개스킷 교체 방법{Gas supply apparatus and gasket replacing method}
본 발명은 가스공급장치와 개스킷 교체 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 개스킷의 이탈을 방지하고, 개스킷이 용기의 밸브 커넥터에 붙는 것을 방지할 수 있는 가스공급장치와 개스킷 교체 방법에 관한 것이다.
일반적으로 가스를 이용하는 장치, 특히, 반도체장비와 같이 정밀한 작업이 수행되는 가스소요처에 가스를 공급하는 장치의 경우, 각각의 목적에 적합한 종류의 가스가 일정한 농도와 압력 등을 만족할 것이 요구된다.
이를 효율적으로 제공하기 위해 많은 종류의 가스가 고압 상태로 보관되며, 특히 가연성, 독성, 부식성 등의 유해 성질을 가지는 가스는 인적이 차단된 별도의 공간에서 엄중하게 관리된다.
가스를 보관하는 가스 저장 용기(이하, '용기'라 약칭함)는 가스소요처에 연결되며, 용기에 보관된 가스가 모두 소모되면, 가스소요처에 연결된 연결배관을 가스용기의 밸브로부터 분리하여 용기를 교체한 후 교체된 용기의 밸브 커넥터에 가스소요처에 연결된 연결배관 커넥터를 결합시켜 가스를 다시 공급하게 된다.
상기 용기의 밸브 커넥터와 연결배관 커넥터가 결합되는 경우에는 이들 사이에 기밀 유지를 위한 개스킷(gasket)이 구비된다. 이러한 개스킷은 수지 재질로 이루어져 있어, 밸브 커넥터와 연결배관 커넥터가 장시간 결합된 상태에서 용기의 교체를 위해 밸브 커넥터로부터 연결배관 커넥터를 분리하는 경우, 개스킷이 밸브 커넥터에 그대로 붙어 있는 경우가 발생한다.
이와 같이 밸브 커넥터에 개스킷이 붙어 있는 경우에는 이를 감지하는 별도의 수단이 없고, 감지 센서 등을 이용하여 개스킷이 붙어 있는지 확인하기 위해서는 추가적인 부품이 필요하게 되므로, 장치의 제조비용이 상승하는 문제점이 있었다.
만약, 밸브 커넥터에 사용된 개스킷이 그대로 붙어 있는 상태에서, 새로운 개스킷을 연결배관 커넥터에 결합한 후, 연결배관 커넥터와 밸브 커넥터를 결합하게 되면, 연결배관 커넥터와 밸브 커넥터 사이에는 기존 개스킷과 새로운 개스킷 2개가 이중으로 삽입되므로, 기밀이 유지되지 않아 가스가 누설되는 사고가 발생할 수 있다.
또한, 새로운 개스킷을 연결배관 커넥터에 결합한 상태에서 연결배관 커넥터를 이송하여 연결배관 커넥터를 밸브 커넥터에 결합하게 되는데, 연결배관 커넥터를 이송하는 동안에 새로운 개스킷이 연결배관 커넥터로부터 이탈하는 문제가 발생할 수 있다.
반도체 장비의 가스공급장치에 대한 종래기술로서, 대한민국 등록특허 제10-0242982호가 공개되어 있다.
본 발명은 상술한 제반 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 개스킷이 용기의 밸브 커넥터에 붙어 개스킷이 이중으로 삽입되는 것을 방지할 수 있는 가스공급장치와 개스킷 교체 방법을 제공하고자 함에 그 목적이 있다.
본 발명의 다른 목적은, 개스킷의 교체를 위해 연결배관 커넥터가 이송되는 경우 개스킷이 연결배관 커넥터로부터 이탈하는 것을 방지할 수 있는 가스공급장치와 개스킷 교체 방법을 제공하고자 함에 있다.
상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명의 가스공급장치의 개스킷 교체 방법은, a) 용기에 구비된 밸브 커넥터와 가스 소요처에 연결되는 연결배관 커넥터가 개스킷을 사이에 두고 결합되는 단계; b) 상기 밸브 커넥터와 연결배관 커넥터의 결합을 해제하는 단계; c) 상기 밸브 커넥터와 연결배관 커넥터 사이에서 상기 개스킷을 분리한 후 이송하는 이송하는 단계;를 포함하고, 상기 a) 내지 c) 단계가 수행되는 과정에 개스킷 홀더가 상기 개스킷을 파지하고, 상기 개스킷을 파지한 개스킷 홀더와 상기 연결배관 커넥터를 동시에 이송시키는 단계를 포함한다.
상기 b) 단계에서 상기 밸브 커넥터와 연결배관 커넥터의 결합이 해제된 상태에서 상기 개스킷 홀더가 상기 개스킷을 파지할 수 있다.
상기 c)단계 후, 상기 개스킷 홀더가 상기 개스킷의 파지를 해제하여 상기 개스킷을 개스킷 수거부에 수거할 수 있다.
상기 c)단계에서 상기 연결배관 커넥터와 상기 개스킷을 파지한 개스킷 홀더를 함께 상기 밸브 커넥터와 대향하는 방향에서 멀어지도록 1차 이송시킨 후, 상기 개스킷 홀더를 상기 1차 이송과 수직되는 방향으로 2차 이송시킬 수 있다.
상기 a)단계는, a-1) 상기 개스킷 홀더가 개스킷 공급부에서 새로운 개스킷을 파지하고, 상기 개스킷 홀더를 이송시켜 상기 파지한 개스킷을 상기 연결배관 커넥터에 결합하는 단계; a-2) 상기 개스킷 홀더가 상기 개스킷을 파지한 상태에서 상기 개스킷 홀더를 연결배관 커넥터와 같은 방향으로 동시에 이송시켜 상기 개스킷을 사이에 두고 상기 밸브 커넥터와 연결배관 커넥터를 결합하는 단계가 포함될 수 있다.
상기 a-2)단계에서 상기 연결배관 커넥터를 포함하는 커넥터 연결부를 제1이송수단을 구동하여 상기 밸브 커넥터의 위치까지 1차 이송하고, 연결배관 커넥터 이송수단을 구동하여 상기 연결배관 커넥터만을 2차 이송하여 상기 밸브 커넥터와 연결배관 커넥터를 결합시키는 것일 수 있다.
상기 개스킷 홀더는, 한 쌍의 개스킷 홀더부재가 서로 가까워짐으로써 상기 개스킷을 파지하거나, 서로 멀어짐으로써 상기 개스킷의 파지 상태가 해제될 수 있다.
상기 개스킷 홀더를 이송시키는 개스킷 홀더 이송수단은 상기 개스킷 홀더를 수평 방향으로 이동하되, 상기 밸브 커넥터와 마주보는 방향으로 이송하거나, 상기 밸브 커넥터와 마주보는 방향에 수직인 방향으로 이송하는 것일 수 있다.
본 발명의 다른 개스킷 교체 방법은, a) 용기에 구비된 밸브 커넥터와 가스 소요처에 연결되는 연결배관 커넥터가 개스킷을 사이에 두고 결합되는 단계; b) 상기 밸브 커넥터와 연결배관 커넥터의 결합을 해제하고, 상기 개스킷을 개스킷 홀더가 파지하는 단계; c) 상기 개스킷을 파지한 개스킷 홀더와 상기 연결배관 커넥터를 동시에 이송하여 상기 개스킷을 상기 밸브 커넥터로부터 분리하는 단계를 포함한다.
본 발명의 가스공급장치는, 가스 소요처에 연결되는 연결배관 커넥터를 용기에 구비된 밸브 커넥터에 연결하기 위한 커넥터 체결부; 상기 커넥터 체결부를 상기 밸브 커넥터 방향으로 전후진시키는 제1이송수단과 상기 전후진시키는 방향과 수직되는 수평 방향으로 이송시키는 제2이송수단; 상기 밸브 커넥터와 연결배관 커넥터 사이에 개재되는 개스킷을 파지한 상태에서 이송하기 위해 개스킷 홀더를 포함하는 개스킷 이송부; 상기 연결배관 커넥터에 결합된 개스킷을 파지한 개스킷 홀더를 상기 연결배관 커넥터와 동시에 이송시키도록 제어하는 제어부를 포함한다.
상기 제어부는, 상기 밸브 커넥터와 연결배관 커넥터가 개스킷을 사이에 두고 결합된 상태에서, 상기 밸브 커넥터와 연결배관 커넥터의 결합을 해제하고, 개스킷 홀더가 상기 개스킷을 파지한 후, 상기 연결배관 커넥터와 개스킷 홀더를 동시에 이송시키도록 제어할 수 있다.
상기 제어부는 상기 개스킷을 파지한 개스킷 홀더를 개스킷 수거부의 위치로 이송한 후 상기 개스킷의 파지를 해제하여 상기 개스킷을 상기 개스킷 수거부에 수거되도록 제어할 수 있다.
상기 제어부는 상기 연결배관 커넥터와 개스킷 홀더를 상기 밸브 커넥터와 대향하는 방향에서 멀어지도록 1차 이송시킨 후, 상기 개스킷 홀더를 상기 1차 이송과 수직되는 방향으로 2차 이송시키도록 제어할 수 있다.
상기 제어부는, 상기 개스킷 홀더가 개스킷 공급부에서 새로운 개스킷을 파지하고, 상기 개스킷 홀더를 이송시켜 상기 파지한 개스킷을 상기 연결배관 커넥터에 결합시키고, 상기 개스킷 홀더가 상기 개스킷을 파지한 상태에서 상기 연결배관 커넥터와 같은 방향으로 동시에 이송시켜 상기 개스킷을 사이에 두고 상기 밸브 커넥터와 연결배관 커넥터를 결합하도록 제어할 수 있다.
상기 개스킷 홀더는 서로 가까워지거나 멀어지는 한 쌍의 개스킷 홀더부재로 이루어지고; 상기 한 쌍의 개스킷 홀더부재를 서로 가까워지거나 멀어지도록 이송하는 개스킷홀더 동작수단과, 상기 개스킷 홀더를 수평 방향으로 이송하는 개스킷홀더 이송수단을 더 포함하고; 상기 제어부는 상기 개스킷홀더 동작수단을 구동하여 상기 한 쌍의 개스킷 홀더부재가 서로 가까워짐으로써 상기 개스킷을 파지하거나, 서로 멀어짐으로써 상기 개스킷의 파지 상태가 해제되도록 제어할 수 있다.
상기 연결배관 커넥터의 외부를 둘러싸는 연결배관 커넥터 하우징; 상기 연결배관 커넥터와 연결배관 커넥터 하우징을 일체로 상기 밸브 커넥터 방향으로 이송하기 위한 제1이송수단; 상기 연결배관 커넥터 하우징을 제외하고 상기 연결배관 커넥터만 상기 밸브 커넥터 방향으로 이송하기 위한 연결배관 커넥터 이송수단이 구비될 수 있다.
본 발명에 의하면, 개스킷이 용기의 밸브 커넥터에 붙어 개스킷이 이중으로 삽입되는 것을 방지할 수 있다.
또한, 개스킷의 교체를 위해 연결배관 커넥터가 이송되는 경우 개스킷이 연결배관 커넥터로부터 이탈하는 것을 방지할 수 있다.
도 1은 본 발명의 가스공급장치를 보여주는 사시도
도 2는 본 발명의 가스공급장치에서 용기의 밸브부에 고정블럭이 결합된 상태를 보여주는 사시도
도 3은 본 발명의 가스공급장치의 하부모듈을 보여주는 사시도
도 4는 본 발명의 가스공급장치에서 플러그모듈을 보여주는 사시도
도 5는 본 발명의 가스공급장치에서 개스킷 공급부를 보여주는 사시도
도 6은 본 발명의 가스공급장치에서 개스킷 이송부를 보여주는 사시도
도 7은 본 발명의 가스공급장치에서 연결배관 커넥터 이송수단을 보여주는 사시도
도 8은 본 발명의 가스공급장치에서 밸브 커넥터와 연결배관 커넥터를 결합하기 위한 초기상태를 보여주는 평면도
도 9는 도 8의 상태에서 개스킷 공급부가 이송되어 개스킷 홀더가 개스킷을 파지하는 상태를 보여주는 평면도
도 10은 도 9의 상태에서 개스킷 이송부가 개스킷을 연결배관 커넥터에 결합한 상태를 보여주는 평면도
도 11은 도 10을 다른 각도에서 본 것으로 개스킷을 연결배관 커넥터에 결합한 상태를 보여주는 사시도
도 12는 도 10의 상태에서 개스킷 이송부와 커넥터 체결부가 동시에 이송되어 연결배관 커넥터와 밸브 커넥터가 대향하도록 위치한 상태를 보여주는 평면도
도 13은 도 12의 상태에서 연결배관 커넥터가 회전 및 이송되어 연결배관 커넥터와 밸브 커넥터가 결합된 상태를 보여주는 평면도
도 14는 용기를 교체하는 경우 커넥터 체결부가 회전 및 이송되어 연결배관 커넥터와 밸브 커넥터가 분리되고, 개스킷 홀더가 이송되어 개스킷을 파지한 상태를 보여주는 평면도
도 15는 도 14의 상태에서 개스킷을 파지한 개스킷 홀더가 커넥터 체결부와 함께 이송되는 상태를 보여주는 평면도
도 16은 도 15의 상태에서 개스킷 홀더의 개스킷을 개스킷 수거부에 수거한 상태를 보여주는 평면도
도 17은 도 16의 상태에서 개스킷 홀더가 초기 위치로 이송된 상태를 보여주는 평면도
이하 본 발명에 대하여 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
여기서 방향을 지칭함에 있어서, 도 1에 도시된 X축은 전후 방향, Y축은 좌우 방향, Z축은 수직방향이라 한다. 또한, 수평 방향이라 함은 XY평면에 의해 이루어지는 상기 좌우 방향과 전후 방향이 포함된다. 또한, 전후 방향을 구별함에 있어서는 용기(10)가 위치한 측을 전방, 하부모듈(3)이 위치한 측을 후방이라 한다. 또한, 커버 분리부(320)와 커넥터 체결부(330)를 기준으로 좌우 방향을 구별함에 있어서는 커버 분리부(320)가 위치한 측을 우측, 커넥터 체결부(330)가 위치한 측을 좌측으로 정의한다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명의 가스공급장치(1)는, 용기(10)의 상단에 구비된 밸브부로부터 상측으로 이격된 위치에 고정되도록 설치된 상부플레이트(211)를 포함하는 상부모듈(2), 상기 상부모듈(2)의 하부에 구비되어 상기 밸브부에 구비된 밸브 커넥터(30;도2)를 덮는 커버(31)를 분리하는 커버 분리부(320)와 가스 소요처에 연결되는 연결배관 커넥터(331)를 상기 밸브 커넥터(30)에 연결하기 위한 커넥터 체결부(330)를 구비한 하부모듈(3), 상기 밸브부의 밸브를 개폐하기 위한 밸브개폐모듈(4)을 포함할 수 있다.
상기 용기(10)는 반도체장치 등의 가스소요처에 공급되는 공정 가스를 저장하여 공급하기 위한 구성으로, 용기(10)의 상부에는 상기 밸브부가 구비된다.
상기 밸브부는, 가스의 공급을 단속하기 위한 밸브(미도시)와, 상기 밸브의 일측에 구비되어 하부모듈(3)의 커넥터 체결부(330)에 체결되는 밸브 커넥터(30)와, 상기 밸브 커넥터(30)를 덮는 커버(31)와, 상기 밸브를 개폐하는 밸브 셔터(미도시)와, 상기 밸브 셔터의 상부에 연결되어 회전됨에 따라 밸브 셔터를 승강시켜 밸브가 개폐되도록 하는 핸들(50)을 포함하여 구성된다.
상기 밸브부에는 고정블럭(510,520,530)이 결합되어 있다. 상기 고정블럭(510,520,530)에는 상기 제1얼라인부(512)가 구비되어 있다.
상기 고정블럭(510,520,530)은 상기 밸브부를 감싸는 제1고정블럭(510)과 제2고정블럭(520) 및 제3고정블럭(530)으로 이루어질 수 있다.
상기 제2고정블럭(520) 및 제3고정블럭(530)의 결합에 의해 상기 밸브부를 감싸게 되면, 상기 밸브부 중 상기 밸브 커넥터(30) 및 커버(31)가 상기 고정블럭(520,530)에 대하여 측방향으로 돌출되어 노출되고, 상기 밸브부 중 상기 핸들(50)이 상기 고정블럭(520,530)에 대하여 상방향으로 돌출되어 노출된다.
상기 제1고정블럭(510)은 Y축 방향의 길이를 갖는 사각통 형상으로 이루어지고, 상기 Y축 방향의 일측면에 상기 제2고정블럭(520)가 결합되고, X축 방향의 일측면에 제1얼라인부(512)가 구비되어 있다.
상기 제1얼라인부(512)는 상기 X축 방향의 일측면에 오목하게 형성된 얼라인핀 삽입홈(512)으로 이루어질 수 있다.
상기 하부모듈(3)은 상부모듈(2)에 대하여 수평방향 이송이 가능함과 동시에 수직방향으로 승하강 이송이 가능하도록 되어 있다.
상기 제1얼라인부(512)는 하부모듈(3)의 수평방향 이송시 하부모듈(3)에 구비된 제2얼라인부(351)와의 결합에 의해 용기(10)의 얼라인이 이루어지도록 되어 있다.
상기 제2얼라인부(351)는 후술하는 하부모듈(3)의 얼라인 블럭(350)에서 상기 얼라인핀 삽입홈(512)과 마주보는 방향인 X축 방향으로 돌출되어 수평방향의 길이를 갖는 얼라인핀(351)으로 이루어질 수 있다.
상기 얼라인핀(351)이 상기 얼라인핀 삽입홈(512)에 삽입되도록 함으로써 상기 용기(10)의 얼라인이 이루어진다.
본 실시예에서는 제1얼라인부(512)가 얼라인핀 삽입홈으로 이루어지고, 제2얼라인부(351)가 얼라인핀으로 이루어진 것으로 예시하였으나, 제1얼라인부를 얼라인핀으로 구성하고, 제2얼라인부를 얼라인핀 삽입홈으로 구성할 수도 있다.
또한, 본 실시예에서는 얼라인핀이 얼라인핀 삽입홈에 삽입되는 것으로 예시하였으나, 이에 한정되지 않고 제1얼라인부와 제2얼라인부가 체결 또는 결합되는 것으로 구성할 수도 있다. 상기 제1얼라인부와 제2얼라인부가 삽입, 체결, 결합되는 방식을 통칭하여 '결합'으로 정의한다.
상기 제1고정블럭(510)에는 상기 제1얼라인부(512)에 인접한 위치에 제1결합부(511)가 구비되어 있고, 상기 제1결합부(511)와 결합이 이루어지는 제2결합부(352)가 상기 하부모듈(3)의 얼라인 블럭(350)에 구비되어 있다.
상기 제1결합부(511)는 상기 제1고정블럭(510)에서 상기 제1얼라인부(512)가 형성된 면과 같은 면에 X축 방향으로 오목하게 형성된 고정홈(511)으로 이루어질 수 있다.
상기 제2결합부(352)는 상기 제2얼라인부(351)에 인접한 위치의 얼라인 블럭(350)에서 상기 제1결합부(511)를 향하여 돌출된 고정블럭 결합부재(352)로 이루어질 수 있다.
상기 고정블럭 결합부재(352)의 외측면에는 복수의 돌기(352a)가 구비되고, 상기 복수의 돌기(352a)는 내부에 구비된 스프링(미도시)에 의해 탄성지지되어 있다. 상기 고정홈(511)의 내부에는 상기 돌기(352a)가 삽입되는 돌기삽입홈(미도시)이 형성되어 있다. 상기 고정블럭 결합부재(352)가 상기 고정홈(511)에 삽입되면, 상기 돌기(352a)가 상기 돌기삽입홈에 삽입되어, 상기 고정블럭 결합부재(352)가 상기 고정홈(511)으로부터 빠짐이 방지되어, 상기 하부모듈(3)이 상기 제1고정블럭(510)에 결합된 상태를 유지할 수 있다.
상기 고정블럭 결합부재(352)를 고정홈(511)으로부터 빼내는 경우에는 에어(air)를 공급하여 상기 돌기(352a)가 상기 스프링의 탄성력을 극복하고 고정블럭 결합부재(352)의 표면으로부터 내측으로 들어가도록 하면, 상기 돌기(352a)가 상기 돌기삽입홈으로부터 빠져나온다. 따라서 상기 고정블럭 결합부재(352)가 고정홈(511)으로부터 빠질 수 있게 된다.
상기 상부모듈(2)에는 상기 하부모듈(3)을 X축과 Y축 및 Z축 방향으로 각각 이송할 수 있도록 이송가이드(미도시)가 구비될 수 있다. 작업자가 상기 하부모듈(3)을 손으로 잡고 축 방향으로 힘을 가하면, 하부모듈(3)은 X축과 Y축 및 Z축 중 어느 하나의 방향으로 이송된다. 또한, 이와 같은 하부모듈(3)의 이송에 의해 제1얼라인부(512)와 제2얼라인부(351)의 결합에 의해 용기(10)의 얼라인이 이루어질 수 있다.
상기 하부모듈(3)에는, 복수의 하우징(311,312,313,314)과 커버 분리부(320)와 커넥터 체결부(330)와 서브모듈 이송수단(340)과 얼라인블럭(350)과 플러그모듈(360)과 개스킷 공급부(370) 및 개스킷 이송부(380)가 구비되어 있다.
상기 복수의 하우징(311,312,313,314)은, 상기 하부모듈(3)의 상부에 플레이트 형상으로 구비된 상부하우징(311), 상기 상부하우징(311)의 Y축 방향 양측에 각각 결합된 제1측면하우징(312)과 제2측면하우징(313), 상기 상부하우징(311)으로부터 하측으로 이격되고 양측이 상기 제1측면하우징(312)과 제2측면하우징(313)에 결합된 하부하우징(314)으로 이루어진다.
상기 상부하우징(311)과 제1,제2측면하우징(312,313) 및 하부하우징(314)은 상기 하부모듈(3)의 전후방을 제외하고 상부와 하부 및 양 측부를 둘러싸도록 구비되어 있다.
상기 커버 분리부(320)는 상기 밸브부에 구비된 밸브 커넥터(30)를 덮는 커버(31)를 상기 밸브 커넥터(30)로부터 분리한다.
상기 커버 분리부(320)는 상기 커버(31)가 내부에 삽입되도록 홈이 형성되어 있고, 상기 커버(31)가 상기 커버 분리부(320)의 홈에 삽입된 상태에서 회전수단(미도시)을 구동시켜 상기 커버 분리부(320)를 회전시키면, 상기 밸브 커넥터(30)로부터 상기 커버(31)가 분리된다. 이와 반대로 상기 커버 분리부(320)에 분리되어 있던 커버(31)를 상기 회전수단을 구동시켜 상기 밸브 커넥터(30)에 결합시킬 수 있다.
상기 커넥터 체결부(330)는 가스 소요처에 연결되는 연결배관 커넥터(331), 상기 연결배관 커넥터(331)의 외측을 둘러싸는 연결배관 커넥터 하우징(332;도 7)을 포함한다. 상기 커넥터 체결부(330)는 상기 연결배관 커넥터(331)를 상기 밸브 커넥터(30)에 연결할 수 있도록 구비되어 있다. 상기 커넥터 체결부(330)와 밸브 커넥터(30)가 연결된 상태에서 핸들(50)을 회전시켜 밸브를 개방시키면, 용기(10) 내부의 가스가 밸브 커넥터(30)와 연결배관 커넥터(331)를 통해 가스 소요처에 공급된다. 상기 연결배관 커넥터(331)와 연결배관 커넥터 하우징(332)은 상기 회전수단의 구동에 의해 함께 회전한다.
상기 서브모듈 이송수단(340)은 상기 커버 분리부(320)와 커넥터 체결부(330)를 일체로 좌우 방향(Y축 방향)과 전후 방향(X축 방향)으로 이송한다. 상기 서브모듈 이송수단(340)은, 상기 커버 분리부(320)와 커넥터 체결부(330)를 일체로 전후 방향으로 이송시키기 위한 제1이송수단(340a)과, 상기 커버 분리부(320)와 커넥터 체결부(330)를 일체로 좌우 방향으로 이송시키기 위한 제2이송수단(340b)으로 이루어질 수 있다.
상기 제1이송수단(340a)은 전후 방향을 따라 이송되도록 하기 위한 이송가이드와 에어(air)의 공급에 의해 이송력을 인가하기 위한 에어실린더로 이루어질 수 있다. 또한, 상기 제2이송수단(340b)은 좌우 방향을 따라 이송되도록 하기 위한 이송가이드와 에어(air)의 공급에 의해 이송력을 인가하기 위한 에어실린더로 이루어질 수 있다.
상기 회전수단은, 상기 커버 분리부(320)와 커넥터 체결부(330)를 회전시킨다. 상기 회전수단은, 회전력을 발생시키는 모터와 감속기를 포함하고, 상기 회전력을 상기 커버 분리부(320)와 커넥터 체결부(330)에 전달하기 위한 회전전달부재를 포함한다.
상기 회전전달부재는 상기 회전력을 커버 분리부(320)와 커넥터 체결부(330)에 각각 전달하고, 상기 모터가 구동되면 상기 커버 분리부(320)와 커넥터 체결부(330)가 동시에 회전하게 된다. 이와 달리, 상기 회전수단은 2개의 모터를 구비하고, 상기 2개의 모터를 이용하여 상기 커버 분리부(320)와 커넥터 체결부(330)가 각각 회전되도록 구성할 수도 있다.
상기 커버 분리부(320)와 커넥터 체결부(330)가 설치되도록, 전방과 후방이 개방되고 좌우와 상하를 둘러싸는 내부하우징(315)이 구비될 수 있다. 상기 내부하우징(315)은 하부하우징(314)의 상부에 결합될 수 있다.
상기 얼라인블럭(350)은 상기 내부하우징(315)의 전방 단부에서 돌출되도록 결합되어 있고, 대략 다면체 형상으로 이루어져 있다. 상기 얼라인블럭(350)의 전방면에는 제2얼라인부(351)인 얼라인핀(351)이 상기 밸브부를 향해 돌출된 형상으로 형성되어 있고, 상기 얼라인핀(351)의 측부에는 상기 제2결합부(352)인 고정블럭 결합부재(352)가 상기 밸브부를 향하여 돌출된 형상으로 형성되어 있다.
도 3과 도 4를 참조하여 플러그모듈(360)에 대해 설명한다.
상기 플러그모듈(360)은, 밸브 커넥터(30)와 커넥터 체결부(330)가 체결되지 않은 상태에서 커넥터 체결부(330) 내부에 이물질이 유입되는 것을 방지하기 위해 커넥터 체결부(330)에 결합되는 플러그(361), 상기 플러그(361)의 단부를 지지하기 위한 플러그 지지부재(362), 상기 플러그 지지부재(362)가 결합되어 지지되는 플러그 지지 하우징(363), 상기 플러그(361)와 플러그 지지부재(362) 및 플러그 지지 하우징(363)을 일체로 전후 방향으로 이송하기 위해 가이드 기능을 하는 플러그 이송가이드(364), 상기 플러그(361)와 플러그 지지부재(362) 및 플러그 지지 하우징(363)을 일체로 전후 방향으로 이송하기 위한 구동력을 제공하는 플러그 이송 구동부(365)로 이루어진다.
도 3과 도 5를 참조하여 개스킷 공급부(370)에 대해 설명한다.
상기 개스킷 공급부(370)는 용기(10)의 교체시 상기 연결배관 커넥터(331)와 밸브 커넥터(30) 사이에 장착하기 위한 새로운 개스킷(gasket)을 공급하기 위한 것으로서, 복수의 개스킷(371)을 수용하는 개스킷 수용부(372), 상기 개스킷 수용부(372)를 전후 방향으로 이송하기 위한 개스킷 수용부 이송수단(373)을 포함한다.
상기 개스킷 수용부 이송수단(373)은 전후 방향에 따른 이송을 가이드하는 이송가이드와 상기 이송가이드를 따라 이송되도록 하는 구동력을 제공하는 구동부로 이루어질 수 있다.
상기 개스킷 수용부(372)에는 복수의 개스킷(371a)이 세워진 상태로 구비되고, 일측 가장자리에 있는 개스킷을 후술하는 개스킷 홀더(381)가 파지한 후 개스킷 수용부(372)에 형성된 개구부인 개스킷 배출부(372a)를 통해 빠져나올 수 있도록 되어 있다.
도 3과 도 6을 참조하여 개스킷 이송부(380)에 대해 설명한다.
상기 개스킷 이송부(380)는, 개스킷을 파지하기 위해 한 쌍의 개스킷 홀더부재(381a,381b)로 이루어진 개스킷 홀더(381), 상기 한 쌍의 개스킷 홀더부재(381a,381b)가 서로 가까워지거나 멀어지도록 동작시키기 위한 개스킷홀더 동작수단(382), 상기 개스킷 홀더(381)와 개스킷홀더 동작수단(382)을 일체로 전후 방향으로 이송하기 위한 제1 개스킷홀더 이송수단(383), 상기 개스킷 홀더(381)와 개스킷홀더 동작수단(382) 및 제1 개스킷홀더 이송수단(383)을 일체로 좌우 방향으로 이송하기 위한 제2 개스킷홀더 이송수단(384)으로 이루어진다.
상기 제1 개스킷홀더 이송수단(383)과 제2 개스킷홀더 이송수단(384)은 전후 방향과 좌우 방향으로 이송을 가이드하기 위한 이송가이드와 상기 이송가이드를 따라 이송되도록 구동력을 제공하는 구동부로 이루어질 수 있다.
도 7을 참조하여 연결배관 커넥터 이송수단(335)에 대해 설명한다.
상기 커버 분리부(320)와 커넥터 체결부(330)는 제1이송수단(340a)에 의해 전방과 후방으로 직선 이송이 이루어질 수 있다. 상기 제1이송수단(340a)을 구동하여 상기 밸브 커넥터(30)에 연결배관 커넥터(331)를 결합하는 것으로 구성할 수도 있지만, 상기 제1이송수단(340a)의 구동에 의해 커버 분리부(320)와 커넥터 체결부(330)를 포함하여 커버 분리부(320)와 커넥터 체결부(330)를 회전시키기 위한 구성부품 전체가 함께 이송되므로, 그 무게로 인해 밸브 커넥터(30)에 연결배관 커넥터(331)를 결합할 때 충격이 발생할 수 있다.
이러한 문제를 방지하기 위해 제1이송수단(340a)과 별도로 연결배관 커넥터 이송수단(335)을 구비하여, 밸브 커넥터(30)에 연결배관 커넥터(331)를 결합하는 경우에는 제1이송수단(340a)을 구동하지 않고, 연결배관 커넥터(331)만 전후 방향으로 이송하기 위한 연결배관 커넥터 이송수단(335)을 구동하는 것으로 구성할 수 있다.
상기 연결배관 커넥터 이송수단(335)은, 연결배관 커넥터(331)의 단부에 형성된 홈(미도시)에 하부 일부가 삽입되어 연결배관 커넥터(331)와 걸림이 이루어지는 커넥터 걸림부재(335-1), 상기 커넥터 걸림부재(335-1)의 상부에 걸림되고 전후 방향으로 직선 이송될 수 있도록 구비된 걸림축(335-2), 상기 걸림축(335-2)이 전후 방향으로 직선 이송될 수 있도록 구동력을 제공하는 구동부(미도시), 상기 걸림축(335-2)이 직선 이송되는 경우 가이드 기능을 하는 가이드축(335-3)으로 이루어질 수 있다.
상기 밸브 커넥터(30)와 연결배관 커넥터(331)가 결합되도록 인접하게 위치한 상태에서, 상기 연결배관 커넥터 이송수단(335)의 구동부를 구동하면, 상기 걸림축(335-2)과, 상기 걸림축(335-2)에 걸림되어 있는 커넥터 걸림부재(335-1)와, 상기 커넥터 걸림부재(335-1)에 걸림되어 있는 연결배관 커넥터(331)가 일체로 후방으로 이송되어, 밸브 커넥터(30)에 연결배관 커넥터(331)가 결합된다.
이 경우 연결배관 커넥터(331)은 밸브 커넥터(30)에 결합될 때 회전수단의 구동에 의해 회전이 동시에 이루어질 수 있다. 또한, 상기 커버 분리부(320), 커버 분리부(320)와 커넥터 체결부(330)를 회전시키기 위한 구성부품들은 상기 연결배관 커넥터(331)와 함께 이송되지 않으므로, 밸브 커넥터(30)에 연결배관 커넥터(331)의 결합시 충격을 최소화시킬 수 있다.
한편, 상기 서브모듈 이송수단(340), 회전수단, 플러그 이송 구동부(365), 개스킷 수용부 이송수단(373), 제1 개스킷홀더 이송수단(383), 제2 개스킷홀더 이송수단(384)을 포함하여 본 발명의 가스공급장치를 제어하기 위한 제어부가 구비되어 있다. 또한, 상기 밸브 커넥터(30)와 연결배관 커넥터(331) 사이에 장착되어 있던 제2개스킷을 분리한 후 수거하기 위한 개스킷 수거부(390)가 구비되어 있다.
도 8 내지 도 17을 참조하여 용기(10)의 교체시 이루어지는 개스킷 교체 방법에 대해 설명한다.
도 8 내지 도 13은 용기(10)의 밸브 커넥터(30)와 연결배관 커넥터(331) 사이에 새로운 개스킷(제1개스킷)을 장착하는 과정을 나타낸 것이고, 도 14 내지 도 17은 용기(10)에 장착되어 있던 개스킷(제2개스킷)을 분리 및 제거하는 과정을 나타낸 것이다.
도 8에는 개스킷 교체를 위한 초기 상태가 나타나 있다. 도 8에는 나타나 있지 않지만, 제1얼라인부(512)와 제2얼라인부(351)가 결합되어 용기(10)의 얼라인이 이루어진 상태이다. 개스킷 홀더(381)는 개스킷 공급부(370)로부터 이격되어 있고, 커넥터 체결부(330)로부터도 이격되어 있다. 이때의 각 부품의 위치를 '초기위치'라 한다.
도 9를 참조하면, 도 8의 상태에서 개스킷 수용부 이송수단(373)을 구동하여, 개스킷 수용부(372)를 개스킷 홀더(381)의 위치까지 후방으로 이송한다. 이 상태에서 한 쌍의 개스킷 홀더부재(381a,381b) 사이가 가까워지도록 개스킷홀더 동작수단(382)을 구동하면, 개스킷 수용부(372)에서 가장 후방에 있는 하나의 제1개스킷(371a)이 한 쌍의 개스킷 홀더부재(381a,381b) 사이에 파지된다.
도 10을 참조하면, 도 9의 상태에서 제2 개스킷홀더 이송수단(384)을 구동하여 제1개스킷(371a)을 파지한 개스킷 홀더(381)를 우측으로 이송하고, 다시 제1 개스킷홀더 이송수단(383)을 구동하여 개스킷 홀더(381)를 후방으로 이송하여, 연결배관 커넥터(331)의 전방 단부에 제1개스킷(371a)을 결합한다.
도 10의 상태에서는 도 11에 나타난 바와 같이, 상기 제1개스킷(371a)에는 중앙부에 구멍이 형성되어 있고, 상기 연결배관 커넥터(331)의 전방 단부에는 원통 형상의 돌출부(331a)가 형성되어 있어, 상기 돌출부(331a)가 상기 제1개스킷(371a)의 구멍에 삽입되도록 함으로써, 연결배관 커넥터(331)에 제1개스킷(371a)의 결합이 이루어진다.
도 12를 참조하면, 도 10의 상태에서 제2이송수단(340b)과 제2개스킷홀더 이송수단(384)을 동시에 구동하여 커넥터 체결부(330)와 제1개스킷(371a)을 파지한 개스킷 홀더(381)를 우측방향으로 1차 이송한 후, 제1개스킷홀더 이송수단(383)과 제1이송수단(340a)을 동시에 구동하여 커넥터 체결부(330)와 제1개스킷(371a)을 파지한 개스킷 홀더(381)를 전방으로 2차 이송하면, 밸브 커넥터(30)의 후방의 근접한 위치에 제1개스킷(371a)을 사이에 두고 연결배관 커넥터(331)가 위치하게 된다. 이 경우 개스킷 수용부 이송수단(373)을 구동하여 개스킷 수용부(372)를 다시 전방으로 이송하여 초기위치가 되도록 한다.
종래에는 개스킷을 연결배관 커넥터(331)의 돌출부(331a)에 삽입하여 연결배관 커넥터(331)에 개스킷이 결합된 상태로 이송되었으므로, 개스킷이 연결배관 커넥터(331)의 돌출부(331a)로부터 이탈되는 문제가 있었으나, 본 발명의 경우 상기한 바와 같이 연결배관 커넥터(331)가 이송되는 경우 제1개스킷(371a)을 개스킷 홀더(381)가 파지한 상태로 연결배관 커넥터(331)와 함께 이송되므로, 제1개스킷(371a)이 연결배관 커넥터(331)로부터 이탈되는 것을 방지할 수 있다.
도 13을 참조하면, 도 12의 상태에서 개스킷홀더 동작수단(382)을 구동하여 한 쌍의 개스킷 홀더부재(381a,381b)가 멀어지도록 함으로써 제1개스킷(371a)의 파지 상태를 해제하고, 제2개스킷홀더 이송수단(384)을 구동하여 좌측으로 이송한다. 이 경우 제1개스킷(371a)은 연결배관 커넥터(331)의 돌출부(331a)에 삽입된 상태로 있게 된다. 또한, 회전수단을 구동시켜 커넥터 체결부(330)를 회전시킴과 동시에 연결배관 커넥터 이송수단(335)을 구동시켜 연결배관 커넥터(331)를 전방으로 이송시켜 연결배관 커넥터(331)와 밸브 커넥터(30)를 결합시킨다.
이와 같은 과정을 통해 연결배관 커넥터(331)와 밸브 커넥터(30) 사이에 제1개스킷(371a)을 개재시킨 상태에서, 커넥터 체결부(330)와 밸브 커넥터(30)의 결합이 이루어진다. 상기 커넥터 체결부(330)와 밸브 커넥터(30)의 결합이 이루어지면, 핸들(50)을 밸브 개폐부(4)가 회전시켜 밸브가 개방되어 용기(10)의 가스가 연결배관 커넥터(331)를 통해 가스소요처로 공급된다.
도 14 내지 도 17을 참조하여, 용기(10)에 장착되어 있던 제2개스킷(371b)을 분리 및 제거하는 과정에 대해 설명한다.
도 14를 참조하면, 회전수단과 연결배관 커넥터 이송수단(335)을 구동하여 연결배관 커넥터(331)와 밸브 커넥터(30)의 결합을 해제하고, 제1개스킷홀더 이송수단(383)과 제2개스킷홀더 이송수단(384) 및 개스킷홀더 동작수단(382)을 구동하여 개스킷 홀더(381)가 초기위치로부터 이송되어, 연결배관 커넥터(331)와 밸브 커넥터(30) 사이에 있던 제2개스킷(371b)을 개스킷 홀더(381)가 파지한다.
도 15를 참조하면, 도 14의 상태에서, 제1이송수단(340a)과 연결배관 커넥터 이송수단(335) 및 제1개스킷홀더 이송수단(383)을 구동하여 개스킷 홀더(381)가 제2개스킷(371b)을 파지한 상태로 후방으로 1차 이송되고, 제2이송수단(340b)과 제2개스킷홀더 이송수단(384)를 구동하여 커넥터 체결부(330)와 함께 개스킷 홀더(381)가 제2개스킷(371b)을 파지한 상태로 좌측으로 2차 이송된다.
종래의 가스공급장치의 경우, 연결배관 커넥터(331)를 밸브 커넥터(30)로부터 분리할 때 제2개스킷(371b)이 연결배관 커넥터(331)와 함께 분리되지 않고 밸브 커넥터(30)에 잔존할 수 있다. 즉, 상기 제2개스킷(371b)을 사이에 두고 연결배관 커넥터(331)와 밸브 커넥터(30)가 결합된 상태에서 시간이 경과하게 되면, 상기 제2개스킷(371b)과 밸브 커넥터(30)의 접촉하는 면이 압착된다. 이 상태에서 연결배관 커넥터(331)를 밸브 커넥터(30)로부터 분리되면, 제2개스킷(371b)이 밸브 커넥터(30)의 접촉면에 붙어 제2개스킷(371b)이 연결배관 커넥터(331)와 함께 분리되지 않고 밸브 커넥터(30)에 잔존할 수 있다. 이와 같은 상태에서 새로운 제1개스킷을 연결배관 커넥터(331)와 밸브 커넥터(30) 사이에 장착하게 되면, 제거되지 않고 잔존한 제2개스킷과 새로운 제1개스킷이 이중으로 장착되어 가스 누설의 위험이 있다.
본 발명의 경우 개스킷 홀더(381)가 제2개스킷(371b)을 파지한 상태로 밸브 커넥터(30)로부터 제2개스킷(371b)을 분리하게 되므로, 제2개스킷(371b)이 용기(10)의 밸브 커넥터(30)에 붙어 제1개스킷(371a)과 함께 개스킷이 이중으로 연결배관 커넥터(331)와 밸브 커넥터(30) 사이에 장착되는 것을 방지할 수 있다.
도 16을 참조하면, 도 15의 상태에서, 제1개스킷홀더 이송수단(383)을 구동하여 제2개스킷(371b)을 파지한 개스킷 홀더(381)를 전방으로 이송한 후, 개스킷홀더 동작수단(382)을 구동하여 개스킷 홀더(381)의 파지 상태를 해제한다. 상기 개스킷 홀더(381)의 파지 상태 해제에 의해 제2개스킷(371b)은 개스킷 수거부(390)에 수거된다.
도 17을 참조하면, 도 16의 상태에서, 좌측으로 이송하여 제2개스킷홀더 이송수단(384)를 구동하여 개스킷 홀더(381)를 초기위치로 복귀시킨다.
상기에서는 가스공급장치가 상부모듈(2)과 하부모듈(3)로 이루어진 구조를 예시하여 설명하였으나, 이에 한정되지 않고 다양한 구조에 적용 가능하다.
또한, 용기(10)의 얼라인을 수동으로 하는 가스공급장치를 예시하여 설명하였으나, 이에 한정되지 않고 용기(10)의 얼라인을 자동으로 수행하는 가스공급장치에도 적용 가능하다.
전술한 바와 같이 본 발명에 대하여 바람직한 실시예를 들어 상세히 설명하였지만, 본 발명은 전술한 실시예들에 한정되는 것이 아니고, 특허청구범위와 발명의 상세한 설명 및 첨부한 도면의 범위 안에서 여러 가지로 변형하여 실시하는 것이 가능하고 이 또한 본 발명에 속한다.
1 : 가스공급장치 2 : 상부모듈
3 : 하부모듈 4 : 밸브개폐모듈
10 : 용기 20 : 밸브
30 : 밸브 커넥터 31 : 커버
50 : 핸들 211 : 상부플레이트
311 : 상부하우징 312 : 제1측면하우징
313 : 제2측면하우징 314 : 하부하우징
315 : 내부하우징 320 : 커버 분리부
330 : 커넥터 체결부 331 : 연결배관 커넥터
335 : 연결배관 커넥터 이송수단 335-1 : 커넥터 걸림부재
335-2 : 걸림축 335-3 : 가이드축
340 : 서브모듈 이송수단 340a : 제1이송수단
340b : 제2이송수단 350 : 얼라인블럭
351 : 제2얼라인부 352 : 제2결합부
352a : 돌기 360 : 플러그모듈
361 : 플러그 362 : 플러그 지지부재
363 : 플러그 지지 하우징 364 : 플러그 이송가이드
370 : 개스킷 공급부 371a,371b : 개스킷
372 : 개스킷 수용부 373 : 개스킷 수용부 이송수단
380 : 개스킷 이송부 381 : 개스킷 홀더
382 : 개스킷홀더 동작수단 383 : 제1 개스킷홀더 이동수단
384 : 제2 개스킷홀더 이동수단 510, 520, 530 : 고정블럭
511 : 제1결합부 512 : 제1얼라인부

Claims (8)

  1. a) 용기에 구비된 밸브 커넥터와 가스 소요처에 연결되는 연결배관 커넥터가 개스킷을 사이에 두고 결합되는 단계;
    b) 상기 밸브 커넥터와 연결배관 커넥터의 결합을 해제하는 단계;
    c) 상기 밸브 커넥터와 연결배관 커넥터 사이에서 상기 개스킷을 분리한 후 이송하는 이송하는 단계;를 포함하고,
    상기 a) 내지 c) 단계가 수행되는 과정에 개스킷 홀더가 상기 개스킷을 파지하는 단계가 포함되고,
    상기 개스킷 홀더는, 한 쌍의 개스킷 홀더부재의 일측이 서로 가까워짐으로써 상기 개스킷을 파지하거나, 서로 멀어짐으로써 상기 개스킷의 파지 상태가 해제되는 가스공급장치의 개스킷 교체 방법
  2. 제1항에 있어서,
    상기 b) 단계에서 상기 밸브 커넥터와 연결배관 커넥터의 결합이 해제된 상태에서 상기 개스킷 홀더가 상기 개스킷을 파지하는 것을 특징으로 하는 가스공급장치의 개스킷 교체 방법
  3. 제1항에 있어서,
    상기 c)단계 후, 상기 개스킷 홀더가 상기 개스킷의 파지를 해제하여 상기 개스킷을 개스킷 수거부에 수거하는 단계가 수행되는 것을 특징으로 하는 가스공급장치의 개스킷 교체 방법
  4. 제1항에 있어서,
    상기 a) 내지 c) 단계가 수행되는 과정에 상기 개스킷을 파지한 상기 개스킷 홀더와 상기 연결배관 커넥터를 동시에 이송시키는 단계가 포함되는 개스킷 교체방법
  5. 가스 소요처에 연결되는 연결배관 커넥터를 용기에 구비된 밸브 커넥터에 연결하기 위한 커넥터 체결부;
    상기 연결배관 커넥터를 상기 밸브 커넥터 방향으로 이송시키는 이송수단;
    한 쌍의 개스킷 홀더부재의 일측이 서로 가까워짐으로써 상기 밸브 커넥터와 연결배관 커넥터 사이에 개재되는 개스킷을 파지하거나, 상기 한 쌍의 개스킷 홀더부재의 일측이 서로 멀어짐으로써 상기 개스킷의 파지 상태가 해제되는 개스킷 홀더;
    상기 이송수단 이송과 상기 개스킷 홀더 파지를 제어하는 제어부;
    를 포함하는 가스공급장치
  6. 제5항에 있어서,
    상기 제어부는, 상기 밸브 커넥터와 연결배관 커넥터가 개스킷을 사이에 두고 결합된 상태에서, 상기 밸브 커넥터와 연결배관 커넥터의 결합을 해제하고, 개스킷 홀더가 상기 개스킷을 파지한 후, 상기 연결배관 커넥터와 개스킷 홀더를 동시에 이송시키도록 제어하는 것을 특징으로 하는 가스공급장치
  7. 제5항에 있어서,
    상기 한 쌍의 개스킷 홀더부재를 서로 가까워지거나 멀어지도록 이송하는 개스킷홀더 동작수단과, 상기 개스킷 홀더를 수평 방향으로 이송하는 개스킷홀더 이송수단을 더 포함하고;
    상기 제어부는 상기 개스킷홀더 동작수단을 구동하여 상기 한 쌍의 개스킷 홀더부재가 서로 가까워짐으로써 상기 개스킷을 파지하거나, 서로 멀어짐으로써 상기 개스킷의 파지 상태가 해제되도록 제어하는 것을 특징으로 하는 가스공급장치
  8. 제5항에 있어서,
    상기 연결배관 커넥터의 외부를 둘러싸는 연결배관 커넥터 하우징;
    상기 연결배관 커넥터와 연결배관 커넥터 하우징을 일체로 상기 밸브 커넥터 방향으로 이송하기 위한 제1이송수단;
    상기 연결배관 커넥터 하우징을 제외하고 상기 연결배관 커넥터만 상기 밸브 커넥터 방향으로 이송하기 위한 연결배관 커넥터 이송수단;
    이 구비된 것을 특징으로 하는 가스공급장치
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